KR20210115414A - Gate Valve for Sealing Large Gate Area - Google Patents

Gate Valve for Sealing Large Gate Area Download PDF

Info

Publication number
KR20210115414A
KR20210115414A KR1020200031162A KR20200031162A KR20210115414A KR 20210115414 A KR20210115414 A KR 20210115414A KR 1020200031162 A KR1020200031162 A KR 1020200031162A KR 20200031162 A KR20200031162 A KR 20200031162A KR 20210115414 A KR20210115414 A KR 20210115414A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
blade
opening
chamber
area
gate valve
Prior art date
Application number
KR1020200031162A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김형인
김동욱
유성인
Original Assignee
주식회사 이큐셀
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 이큐셀 filed Critical 주식회사 이큐셀
Priority to KR1020200031162A priority Critical patent/KR20210115414A/en
Publication of KR20210115414A publication Critical patent/KR20210115414A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

A large-area gate valve according to the present invention includes: a blade having an area inserted into an opening of a chamber; a gripper for gripping the blade; a driving unit for driving the gripper to place the blade in the opening of the chamber; and a seal accommodated in a groove formed along a side of the blade to seal between the side of the blade and the chamber, wherein the blade is provided with an air inlet through which air is injected into the seal. A portion to which the blade is fixed in the gripper is configured to move about an axis of rotation in left/right directions. According to the present invention, the opening is sealed more stably compared to the conventional front sealing scheme. Since the air tube scheme provided on the side of the blade is used, the sealing condition is not affected by the surface condition of the blade and chamber, and the thickness of the housing is reduced. In addition, even when left/right asymmetric movement occurs in the process of moving the blade forward, the shock caused by torsion is alleviated, so that damages to linear guides and cylinders are prevented.

Description

대면적 게이트 밸브{ Gate Valve for Sealing Large Gate Area }Large Area Gate Valve { Gate Valve for Sealing Large Gate Area }

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 OLED 패널 처리 등을 위해 챔버의 벽에 형성되는 대면적 개구를 더욱 안정적으로 밀폐할 수 있는 대면적 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve, and more particularly, to a large-area gate valve capable of more stably sealing a large-area opening formed in a wall of a chamber for processing an OLED panel or the like.

일반적으로 반도체와 디스플레이 패널 등 각종 제품의 처리 공정에는 그 내부가 밀폐 상태로 유지되는 다양한 종류의 챔버가 사용된다.In general, various types of chambers in which the inside is kept sealed are used in the processing of various products such as semiconductors and display panels.

챔버에는 작업 대상물의 유입과 유출을 위하여 개구가 형성되며, 개구는 공정이 이루어지는 도중 밀폐되어야 한다. 예를 들어, 반도체 소자나 디스플레이 패널 등 작업 대상물을 유입하거나 유출시킨 후에는 게이트 밸브나 도어 밸브 등으로 불리는 개폐 장치를 이용하여 개구를 밀폐한다.An opening is formed in the chamber for inflow and outflow of a work object, and the opening must be closed during the process. For example, after a work object such as a semiconductor element or a display panel is introduced or discharged, the opening is closed using an opening/closing device called a gate valve or a door valve.

공정 챔버는 일정한 진공 상태를 유지해야 하므로, 게이트 밸브는 공정 가스가 누설되지 않도록 고도의 밀폐 상태를 유지할 수 있어야 한다.Since the process chamber must maintain a constant vacuum, the gate valve must be able to maintain a highly sealed state to prevent leakage of the process gas.

종래에는 챔버에서 개구가 형성된 면과 블레이드(밀폐판)를 서로 마주 보는 방향에서 압착하는 방식이 사용되고 있다.Conventionally, a method of pressing the surface with the opening in the chamber and the blade (sealing plate) in a direction facing each other is used.

즉, 챔버의 개구보다 상대적으로 넓은 면적을 갖는 블레이드를 개구가 형성된 면에 압착시켜 밀폐한다.That is, the blade having a relatively larger area than the opening of the chamber is compressed and sealed on the surface where the opening is formed.

하나의 예로서, 등록특허 제10-1573789호의 도어 밸브는, 챔버의 개구를 개폐하도록 개구보다 상대적으로 넓은 면적을 갖는 밀폐판, 챔버와 대면하는 밀폐판의 일면에 테두리부를 따라 구비되어 공기의 유동에 의해 팽창 및 수축하여 챔버의 개구를 밀폐하는 에어 튜브를 포함하는 밀폐부, 밀폐판이 챔버의 개구를 개폐할 수 있도록 구동시키는 구동부, 에어 튜브의 공기 주입량과 배출량을 제어하는 에어제어밸브 등을 포함하여 이루어진다.As an example, the door valve of Korean Patent Registration No. 10-1573789 is provided along the edge of a sealing plate having a relatively larger area than the opening to open and close the opening of the chamber, and one surface of the sealing plate facing the chamber, so that air flows A sealing part including an air tube that seals the opening of the chamber by expanding and contracting by the is done by

또 다른 예로서, 진공 펌프를 이용하는 진공 흡착 방식은 블레이드를 진공 펌프를 이용하여 개구 면의 외곽에 흡착함으로써, 밀폐 상태를 유지한다.As another example, the vacuum adsorption method using a vacuum pump maintains the sealed state by adsorbing the blade to the outside of the opening surface using the vacuum pump.

그런데, 종래 기술과 같이 개구보다 상대적으로 넓은 면적을 갖는 블레이드를 개구가 형성된 면에 압착시켜 밀폐하는 구조에서는, 서로 압착되는 각 면의 평탄도에 따라 밀폐력이 저하되는 문제가 나타날 수 있다.However, in a structure in which a blade having a relatively larger area than the opening is compressed and sealed on the surface on which the opening is formed as in the prior art, there may be a problem in that the sealing force is lowered according to the flatness of the surfaces that are compressed with each other.

뿐만 아니라, 압착될 두 면을 서로 마주보는 방향에서 정확한 위치로 이동시키는 공정이 복잡하며, 압착 위치를 정확하게 조절하기도 쉽지 않다.In addition, the process of moving the two surfaces to be compressed from facing each other to the correct position is complicated, and it is not easy to precisely control the pressing position.

한편, 유기발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 등의 디스플레이 패널 처리를 위한 챔버의 대형화에 따라, 개구의 넓이가 커지고, 이에 따라 개구를 밀폐할 블레이드의 면적도 커진다.On the other hand, as the size of the chamber for processing display panels such as organic light emitting diodes (OLED) increases, the width of the opening increases, and accordingly, the area of the blade to close the opening also increases.

블레이드의 면적이 커지면, 상기와 같은 종래 방식을 사용할 때의 문제가 더욱 심각하게 나타날 수 있다.If the area of the blade increases, the problem when using the conventional method as described above may appear more serious.

또한, 대면적 블레이드를 개구를 향한 방향으로 이동시킬 때, 좌/우 비대칭 운동이 나타나면, 블레이드의 무거운 중량으로 인해 리니어 가이드와 실린더 등의 파손이 발생할 수 있다.In addition, when the large-area blade is moved in the direction toward the opening, if left/right asymmetric movement occurs, damage to the linear guide and the cylinder may occur due to the heavy weight of the blade.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 챔버의 벽에 형성되는 대면적 개구를 더욱 간단하고 안정적으로 밀폐할 수 있고, 블레이드의 수평 방향 이동 시 나타나는 좌/우 비대칭 운동에도 적절히 대처하여 리니어 가이드와 실린더 등의 파손을 방지할 수 있는, 대면적 게이트 밸브를 제공하는 데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been devised to solve the above problems, and it is possible to more simply and stably seal a large-area opening formed in the wall of the chamber, and is suitable for the left/right asymmetric movement that occurs when the blade moves in the horizontal direction. An object of the present invention is to provide a large-area gate valve capable of preventing damage to a linear guide and a cylinder in response.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 대면적 게이트 밸브는, 챔버의 개구로 삽입될 수 있는 면적의 블레이드; 상기 블레이드를 파지하는 파지부; 상기 파지부를 구동하여, 상기 파지부에 의해 파지된 블레이드를 상기 챔버의 개구에 배치하는 구동부; 및 상기 블레이드의 측면을 따라 형성된 홈에 수용되고, 공기의 주입 또는 배출에 따라 팽창 또는 수축하여, 상기 블레이드의 측면과 상기 챔버의 사이를 밀폐하는 밀봉부를 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above object, a large-area gate valve according to the present invention includes a blade having an area that can be inserted into an opening of a chamber; a gripper for gripping the blade; a driving unit for driving the gripping part to place the blade gripped by the gripping part in the opening of the chamber; and a sealing part accommodated in a groove formed along the side surface of the blade, and expands or contracts according to the injection or discharge of air to seal between the side surface of the blade and the chamber.

상기 블레이드에는 상기 밀봉부에 대해 공기를 주입하거나 배출할 수 있는 공기주입구가 구비된다.The blade is provided with an air inlet capable of injecting or discharging air to the sealing portion.

상기 대면적 게이트 밸브는 대면적 디스플레이 패널 적재용 챔버, 대면적 패널 반송용 챔버 등에 적용될 수 있다.The large-area gate valve may be applied to a large-area display panel loading chamber, a large-area panel transport chamber, and the like.

상기 블레이드의 가로 길이는 600mm 이상 3,000mm 이하, 세로 길이는 800mm 이상 1,500mm 이하로 구성될 수 있다.The blade may have a horizontal length of 600 mm or more and 3,000 mm or less, and a vertical length of 800 mm or more and 1,500 mm or less.

상기 공기주입구는 상기 블레이드의 내부를 통해 상기 밀봉부와 연결되도록 구성될 수 있다.The air inlet may be configured to be connected to the sealing part through the inside of the blade.

상기 파지부는 상기 블레이드의 후면 좌측과 우측에 각각 하나 이상씩 구비될 수 있다. 이때, 상기 블레이드가 고정되는 부분은 좌/우 방향 회전축을 중심으로 유동이 가능하도록 구성될 수 있다.One or more grippers may be provided on the left and right sides of the rear surface of the blade, respectively. In this case, the portion to which the blade is fixed may be configured to be movable about the left/right axis of rotation.

상기 블레이드는 상기 챔버의 개구보다 작게 구성될 수 있다.The blade may be configured to be smaller than the opening of the chamber.

상기 블레이드는 상기 개구의 내부에 삽입되어 상기 개구와 동일선 상에 위치하도록 구성될 수 있다.The blade may be inserted into the opening and configured to be positioned on the same line with the opening.

본 발명에 따르면, 챔버의 개구보다 상대적으로 넓은 면적을 갖는 블레이드를 개구가 형성된 면에 압착시켜 밀폐하는 종래의 전면 밀폐 방식에 비해, 더욱 편리하고 안정적으로 개구를 밀폐시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to close the opening more conveniently and stably compared to the conventional front sealing method in which a blade having a relatively larger area than the opening of the chamber is pressed against the surface on which the opening is formed.

블레이드의 측면에 구비되는 공기튜브 방식을 사용하므로, 밀폐 상태가 블레이드와 챔버의 표면 상태에 영향을 받지 않는다.Since the air tube method provided on the side of the blade is used, the sealing state is not affected by the surface state of the blade and the chamber.

블레이드의 측면을 통해 챔버의 개구와 밀폐를 형성하면, 하우징의 두께가 감소하는 효과도 나타난다.If the opening and sealing of the chamber are formed through the side of the blade, the thickness of the housing is reduced.

또한, 블레이드가 고정되는 부분이 좌/우 방향 회전축을 중심으로 유동할 수 있도록 구성되므로, 블레이드를 개구 방향으로 이동시키는 과정에서 좌/우 비대칭 운동이 발생하더라도, 블레이드의 중량에 의한 충격을 완화시켜, 리니어 가이드와 실린더 등의 파손을 방지할 수 있다.In addition, since the part to which the blade is fixed is configured to flow around the left/right axis of rotation, even if left/right asymmetrical motion occurs in the process of moving the blade in the opening direction, the impact caused by the weight of the blade is alleviated. , it can prevent damage to linear guides and cylinders.

도 1은 본 발명에 따른 대면적 게이트 밸브의 일 실시예,
도 2는 블레이드에 관한 구체적인 실시예,
도 3은 공기주입구와 밀봉부에 관한 일 실시예,
도 4는 블레이드의 개방 상태와 상승 상태를 보인 예,
도 5는 블레이드가 상승 위치에서 개구로 전진하여 밀폐가 이루어지는 것을 설명하는 예,
도 6은 실린더 구동 공압 차이 등에 의한 좌우 비대칭 구동으로 뒤틀림 편차가 발생하는 것을 설명하는 예,
도 7은 좌우 비대칭 구동으로 뒤틀림 편차가 발생할 때, 블레이드가 고정되는 부분이 좌/우 방향 회전축을 중심으로 유동하는 것을 보인 예이다.1 is an embodiment of a large-area gate valve according to the present invention;
2 is a specific embodiment of the blade,
3 is an embodiment of the air inlet and the sealing part,
4 is an example showing the open state and the raised state of the blade,
5 is an example illustrating that the blade is advanced from the raised position to the opening to achieve sealing;
6 is an example for explaining that the distortion deviation occurs due to the left and right asymmetric driving due to the difference in cylinder driving pressure, etc.
7 is an example showing that, when a distortion deviation occurs due to left-right asymmetric driving, the part to which the blade is fixed flows around the left/right axis of rotation.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도 1은 본 발명에 따른 대면적 게이트 밸브(100)의 일 실시예를 보인 것으로서, 챔버(50)에 형성된 대면적 개구(51)에 대응하여 구비되어, 개구(51)의 개폐 상태를 조절한다.1 shows an embodiment of a large-area gate valve 100 according to the present invention, which is provided to correspond to the large-area opening 51 formed in the chamber 50 to control the opening/closing state of the opening 51 .

도 2와 도 3을 함께 참조하면, 대면적 게이트 밸브(100)는 챔버(50)의 개구(51)로 삽입될 수 있는 면적의 블레이드(110), 블레이드(110)를 파지하는 파지부(120), 파지부(120)를 구동하여 블레이드(110)를 챔버의 개구(51)에 배치하는 구동부(130), 공기에 의해 팽창 및 수축하여 블레이드(110)의 측면과 챔버의 사이를 밀폐하는 밀봉부(140)를 포함하여 이루어진다.2 and 3 together, the large-area gate valve 100 includes a blade 110 having an area that can be inserted into the opening 51 of the chamber 50 , and a gripper 120 holding the blade 110 . ), a driving unit 130 that drives the gripping unit 120 to place the blade 110 in the opening 51 of the chamber, and expands and contracts by air to seal between the side of the blade 110 and the chamber and a unit 140 .

블레이드(110)는 챔버의 개구(51)를 물리적으로 막는 요소로서 다양한 형태로 구성될 수 있다. 구체적인 예로서, 블레이드(110)는 판상의 형태로 구성될 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.The blade 110 is an element that physically blocks the opening 51 of the chamber and may be configured in various forms. As a specific example, the blade 110 may be configured in a plate shape, but is not limited thereto.

블레이드(110)에는 지지력을 보강하기 위한 지지대(110-1) 등 필요에 따라 다양한 요소가 포함될 수도 있다. 특히, 블레이드(110)는 챔버의 개구(51)에 끼워지기 때문에 그 크기(면적)가 개구(51)의 크기보다 작다.The blade 110 may include various elements as needed, such as a support 110 - 1 for reinforcing the supporting force. In particular, since the blade 110 is fitted into the opening 51 of the chamber, its size (area) is smaller than the size of the opening 51 .

블레이드(110)는 개구(51)의 내부에 삽입되어 개구(51)와 동일선 상에 위치하도록 구성될 수 있다.The blade 110 may be configured to be inserted into the opening 51 and positioned on the same line as the opening 51 .

본 발명은 개구가 대면적인 여러 종류의 챔버에 바람직하게 적용될 수 있다.The present invention can be preferably applied to various types of chambers having large openings.

구체적으로 본 발명에 따른 대면적 게이트 밸브(100)는 유기 발광 다이오드(OLED) 패널과 같은 대면적 디스플레이 패널 적재용 챔버, 대면적 패널 반송용 챔버 등에 적용될 수 있다.Specifically, the large-area gate valve 100 according to the present invention may be applied to a large-area display panel loading chamber such as an organic light-emitting diode (OLED) panel, a large-area panel transport chamber, and the like.

이러한 챔버의 종류와 크기를 고려할 때, 본 발명의 대면적 게이트 밸브(100)에 사용되는 블레이드(110)의 가로 길이(w)는 600mm 이상 3,000mm 이하, 세로 길이(h)는 800mm 이상 1,500mm 이하로 구성될 수 있다.Considering the type and size of this chamber, the horizontal length (w) of the blade 110 used in the large-area gate valve 100 of the present invention is 600 mm or more and 3,000 mm or less, and the vertical length (h) is 800 mm or more and 1,500 mm It may consist of the following.

블레이드(110)는 일정 두께를 가지고 있으며, 개구(51)를 밀폐할 때, 블레이드(110)의 측면은 챔버의 개구(51)를 둘러싸는 외주면과 마주 본다.The blade 110 has a certain thickness, and when sealing the opening 51 , the side surface of the blade 110 faces the outer peripheral surface surrounding the opening 51 of the chamber.

블레이드(110)는 측면을 따라 밀봉부를 수용하기 위한 홈이 형성되며, 밀봉부(140)는 블레이드(110)의 측면을 따라 형성된 홈에 수용된다.A groove for accommodating the sealing part is formed along the side of the blade 110 , and the sealing part 140 is accommodated in the groove formed along the side of the blade 110 .

밀봉부(140)는 공기의 주입에 따라 팽창하고, 공기의 배출에 따라 수축하며, 블레이드(110)의 측면과, 챔버의 개구를 둘러싸는 외주면 사이를 밀폐한다.The sealing part 140 expands according to the injection of air, contracts according to the discharge of air, and seals between the side surface of the blade 110 and the outer peripheral surface surrounding the opening of the chamber.

즉, 밀봉부(140)는 공기 튜브(Air Tuble)의 역할을 수행하며, 공기의 주입에 따라 팽창하면, 개구(51)를 이루는 외주면에 밀착하게 된다. 블레이드(110)의 측면을 따라 형성된 홈은 밀봉부(140)가 수축되었을 때 완전하게 수용될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다. 밀봉부(140)는 이러한 기능을 적절하게 수행할 수 있도록 다양한 재질과 형태로 구성될 수 있다.That is, the sealing part 140 performs the role of an air tube, and when it expands according to the injection of air, it comes into close contact with the outer peripheral surface forming the opening 51 . The groove formed along the side surface of the blade 110 is preferably configured to be completely accommodated when the sealing portion 140 is contracted. The sealing unit 140 may be formed of various materials and shapes to appropriately perform these functions.

밀봉부(140)에 대한 공기의 유입 및 유출과 관련하여, 블레이드(110)에는 밀봉부(140)로 공기를 주입하거나, 밀봉부(140)에 충전된 공기를 배출할 수 있는 공기주입구(150)가 구비된다.Regarding the inflow and outflow of air to and from the sealing unit 140 , the blade 110 has an air inlet 150 that can inject air into the sealing unit 140 or discharge the air filled in the sealing unit 140 . ) is provided.

도 2에는 블레이드(110)의 후면 우측 가장자리 부근에 공기주입구(150)가 구비된 예가 나타나 있지만, 공기주입구(150)의 배치와 형태는 필요에 따라 다양하게 구성될 수 있는 것으로서, 이에 한정되는 것은 아니다.2 shows an example in which the air inlet 150 is provided near the rear right edge of the blade 110, but the arrangement and shape of the air inlet 150 may be variously configured as needed, and it is not limited thereto no.

공기주입구(150)는 블레이드(110)의 내부를 통해 밀봉부(140)와 연결될 수 있다. 도 3a에 도시된 예에서, 공기통로는 블레이드 표면과 평행하게 이어지다가 휘어져 블레이드(110)의 내부로 연결되고, 블레이드(110)의 내부에서 다시 밀봉부(140)와 연결되고 있다.The air inlet 150 may be connected to the sealing part 140 through the inside of the blade 110 . In the example shown in FIG. 3A , the air passage runs parallel to the blade surface, bends, and connects to the inside of the blade 110 , and is again connected to the sealing unit 140 inside the blade 110 .

또한, 블레이드(110)의 내부로 연결된 공기통로에서의 공기 누출을 막기 위해 오링 등의 패킹수단(157)이 구비될 수 있다.In addition, a packing means 157 such as an O-ring may be provided to prevent air leakage from the air passage connected to the inside of the blade 110 .

공기주입구(150)를 통해 공기가 주입되어 밀봉부(140)가 팽창하면, 도 3b에 보인 예와 같이, 개구(51)를 둘러싸는 외주면(51-1)에 밀봉부(140)가 밀착된다.When air is injected through the air inlet 150 and the sealing unit 140 expands, the sealing unit 140 is in close contact with the outer circumferential surface 51-1 surrounding the opening 51 as shown in the example shown in FIG. 3B . .

도 3에 도시된 공기통로의 실시예는 설명의 이해를 돕기 위한 것이며, 공기통로는 필요에 따라 다양하게 구성될 수 있다.The embodiment of the air passage shown in FIG. 3 is provided to help understanding of the description, and the air passage may be variously configured as necessary.

다시 도 1을 참조하자면, 파지부(120)는 블레이드(110)를 파지하며, 구동부(130)는 파지부(120)를 구동하여 파지부(120)에 의해 파지된 블레이드(110)를 챔버의 개구(51)로 운반한다.Referring back to FIG. 1 , the gripper 120 grips the blade 110 , and the driving unit 130 drives the gripper 120 to hold the blade 110 gripped by the gripper 120 of the chamber. transported to the opening 51 .

구동부(130)는 파지부(120)를 상/하로 운반하는 수직 이동부(131), 파지부(120)를 개구(51)와의 사이에서 전진 또는 후진시키는 실린더부(133), 파지부(120)의 전/후진 경로를 가이드하는 리니어 가이드(135) 등을 포함하여 구성될 수 있다. 구동부(130)는 블레이드(110)를 파지하고 있는 파지부(120)를 임의 위치로 운반하기 위하여 다양하게 구성될 수 있다.The driving unit 130 includes a vertical moving unit 131 for transporting the holding unit 120 up/down, a cylinder unit 133 for moving the holding unit 120 forward or backward between the opening 51 and the holding unit 120 . ) may be configured to include a linear guide 135 for guiding the forward / backward path. The driving unit 130 may be configured in various ways to transport the holding unit 120 holding the blade 110 to an arbitrary position.

도 4a는 챔버의 개구(51)가 개방된 상태를 보인 예로서, 블레이드(110)는 개구(51)의 반대면에 배치되어 있다. 도 4b와 도 5a는 블레이드(110)가 개구(51)의 위치까지 상승한 상태를 보이고 있다. 도 5b는 블레이드(110)가 전방으로 운반되어, 챔버의 개구(51)에 꼭 맞게 끼워진 상태를 보이고 있다.FIG. 4A shows an example in which the opening 51 of the chamber is opened, and the blade 110 is disposed on the opposite surface of the opening 51 . 4B and 5A show a state in which the blade 110 is raised to the position of the opening 51 . 5B shows a state in which the blade 110 is transported forward and fits snugly into the opening 51 of the chamber.

그리고, 도 5b에는 공기주입구(150)를 통해 공기가 주입됨에 따라, 밀봉부(140)의 팽창으로 인해 개구(51)의 상측 외주면과 블레이드(110)의 상측면 사이가 밀폐된 상태가 나타나 있다. 밀봉부(140)는 블레이드(110)의 측면에 형성된 홈을 통해 전체적으로 배치되어 있으므로, 밀봉부(140)의 팽창에 의한 밀폐는 블레이드(110)의 전체 측면에 대해 이루어진다.And, as air is injected through the air inlet 150 in FIG. 5b , the sealing state is shown between the upper outer peripheral surface of the opening 51 and the upper surface of the blade 110 due to the expansion of the sealing unit 140 . . Since the sealing part 140 is entirely disposed through the groove formed on the side surface of the blade 110 , sealing by the expansion of the sealing part 140 is made with respect to the entire side surface of the blade 110 .

한편, 구동부(130)가 파지부(120)를 전진시켜 블레이드(110)를 챔버의 개구(51)를 향해 운반하는 도중, 실린더 구동 공압차 등으로 인해 블레이드(110)의 좌우측에 비대칭 운동이 이루어지면, 리니어 가이드(135)와 실린더부(133) 등이 파손될 위험이 있다.On the other hand, while the driving unit 130 advances the gripping unit 120 to transport the blade 110 toward the opening 51 of the chamber, an asymmetric movement is made on the left and right sides of the blade 110 due to a difference in cylinder driving pneumatic pressure, etc. There is a risk of damage to the ground, the linear guide 135 and the cylinder part 133 .

도 6은 블레이드(110)를 위에서 바라본 예로서, 좌우측 비대칭 운동으로 인해 나타날 수 있는 전후방 방향의 뒤틀림 현상을 보이고 있다.6 is an example of the blade 110 viewed from above, and shows a front-to-rear distortion phenomenon that may occur due to left-right asymmetrical movement.

이러한 위험을 방지하기 위해서는 실린더 구동 공압 차이 등에 의한 좌우 비대칭 구동 시에 발생할 수 있는 뒤틀림 편차를 보완할 필요가 있다In order to prevent this risk, it is necessary to compensate for the distortion deviation that may occur during left-right asymmetrical driving due to the difference in cylinder driving pressure.

파지부(120)는 블레이드(110)의 후면 좌측과 우측에 각각 하나 이상씩 배치될 수 있는데, 뒤틀림 편차 보완을 위하여, 각 파지부(120)는 좌/우 방향의 회전축을 중심으로 유동이 가능하도록 구성될 수 있다.One or more grippers 120 may be disposed on the left and right sides of the rear surface of the blade 110, respectively. can be configured to

그러면, 파지부(120)에 의해 파지된 블레이드(110)를 챔버의 개구(51)를 향해 운반하는 도중 좌/우측에 비대칭 운동이 이루어지더라도, 각 파지부(120)가 비대칭 운동으로 각 지점에 인가되는 힘에 따라 일정 각도로 유동하면서 뒤틀림 편차를 보완하여, 충격을 흡수할 수 있다.Then, even if an asymmetric movement is made on the left/right side while the blade 110 gripped by the gripper 120 is transported toward the opening 51 of the chamber, each gripper 120 moves to each point with an asymmetrical movement. The shock can be absorbed by compensating for the distortion deviation while flowing at a certain angle according to the force applied to it.

도 1에는 좌측과 우측에 각각 4개씩 총 8개의 파지부(120)가 구비된 예가 나타나 있지만, 파지부(120)의 개수와 배치, 구조는 필요에 따라 다양하게 구성될 수 있는 것으로서 이에 한정되는 것은 아니다.1 shows an example in which a total of 8 gripping units 120 are provided, 4 each on the left and right sides, but the number, arrangement, and structure of the gripping units 120 may be variously configured as needed. it is not

블레이드(110)의 후면 좌측과 우측 가장자리에는 체결 홈이 형성되어 있으며, 도시된 예와 같이, 파지부(120)의 전면 말단에서 블레이드(110)의 각 체결 홈과 볼트(121)를 이용하여 체결함으로써, 블레이드(110)를 블레이드 고정 블록(120-1)에 고정할 수 있다. 블레이드(110)를 블레이드 고정 블록(120-1)에 고정하는 방식은 다양하게 구성될 수 있는 것으로서, 이에 한정되는 것은 아니다.Fastening grooves are formed on the rear left and right edges of the blade 110 , and fastening using each fastening groove and bolt 121 of the blade 110 at the front end of the gripper 120 , as shown in the illustrated example. By doing so, the blade 110 can be fixed to the blade fixing block 120-1. A method of fixing the blade 110 to the blade fixing block 120-1 may be variously configured, but is not limited thereto.

블레이드 고정 블록(120-1)은 회전 기준 핀(120-2)의 중심축(회전축)을 중심으로 원주 방향으로 일정 범위를 유동할 수 있도록 구성된다.The blade fixing block 120-1 is configured to flow in a certain range in the circumferential direction around the central axis (rotation axis) of the rotation reference pin 120-2.

이를 위하여, 블레이드 고정 블록(120-1)은 베어링 등을 이용하여 회전 기준 핀(120-2)과 결합될 수 있다. 베어링은 회전 베어링과 하중 베어링 등을 포함할 수 있으며, 회전 기준 핀(120-2)의 중심축을 중심으로 한 원활한 원주 방향 유동을 통해 충격을 잘 흡수할 수 있도록 다양하게 구성될 수 있다.To this end, the blade fixing block 120-1 may be coupled to the rotation reference pin 120-2 using a bearing or the like. The bearing may include a rotating bearing and a load bearing, and may be configured in various ways to well absorb shock through smooth circumferential flow centered on the central axis of the rotation reference pin 120-2.

도 7은 파지부(120)에 의해 파지된 블레이드(110)를 챔버의 개구(51)를 향해 운반하는 도중 좌우측에 비대칭 운동이 이루어질 때, 각 파지부(120)의 블레이드 고정 블록(120-1)이 비대칭 운동으로 인한 뒤틀림에 따라 회전축을 중심으로 일정 각도로 유동하면서 충격을 흡수하는 상태를 나타내고 있다.7 shows the blade fixing block 120-1 of each gripper 120 when an asymmetrical movement is made on the left and right sides while the blade 110 gripped by the gripper 120 is transported toward the opening 51 of the chamber. ) shows the state of absorbing shock while flowing at a certain angle around the axis of rotation according to distortion caused by asymmetric motion.

즉, 실린더 구동 공압 차이 등에 의한 좌우 비대칭 구동 시에 발생할 수 있는 뒤틀림 편차를 힌지 방식으로 보완할 수 있다.That is, it is possible to compensate for the distortion deviation that may occur during left-right asymmetric driving due to the difference in cylinder driving pressure, etc., by using the hinge method.

상기에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 마련되는 본 발명의 기술적 특징이나 분야를 이탈하지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될 수 있다는 것은 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 것이다.Although the present invention has been shown and described in relation to specific preferred embodiments, the present invention may be modified and changed in various ways without departing from the technical features or fields of the present invention provided by the following claims. It will be apparent to those of ordinary skill in the art.

50: 챔버
51: 개구
51-1: 개구 외주면
100: 대면적 게이트 밸브
110: 블레이드
110-1: 지지대
120: 파지부
120-1: 블레이드 고정 블록
120-2: 회전 기준 핀
130: 구동부
131: 수직 이동부
133: 실린더부
135: 리니어 가이드
140: 밀봉부
150: 공기주입구
157: 패킹수단50: chamber
51: opening
51-1: outer peripheral surface of the opening
100: large area gate valve
110: blade
110-1: support
120: grip part
120-1: blade fixing block
120-2: rotation reference pin
130: driving unit
131: vertical moving part
133: cylinder part
135: linear guide
140: seal
150: air inlet
157: packing means

Claims (7)

챔버의 개구로 삽입될 수 있는 면적의 블레이드;
상기 블레이드를 파지하는 파지부;
상기 파지부를 구동하여, 상기 파지부에 의해 파지된 블레이드를 상기 챔버의 개구에 배치하는 구동부; 및
상기 블레이드의 측면을 따라 형성된 홈에 수용되고, 공기의 주입 또는 배출에 따라 팽창 또는 수축하여, 상기 블레이드의 측면과 상기 챔버의 사이를 밀폐하는 밀봉부를 포함하고,
상기 블레이드에는 상기 밀봉부에 대해 공기를 주입하거나 배출할 수 있는 공기주입구가 구비된, 대면적 게이트 밸브.a blade having an area that can be inserted into the opening of the chamber;
a gripper for gripping the blade;
a driving unit for driving the gripping part to place the blade gripped by the gripping part in the opening of the chamber; and
It is accommodated in the groove formed along the side surface of the blade, and expands or contracts according to the injection or discharge of air, comprising a sealing portion for sealing between the side of the blade and the chamber,
The blade is provided with an air inlet capable of injecting or discharging air with respect to the sealing portion, a large-area gate valve. 제 1 항에 있어서,
대면적 디스플레이 패널 적재용 챔버, 및 대면적 패널 반송용 챔버 중 하나 이상에 적용되는 것을 특징으로 하는, 대면적 게이트 밸브.The method of claim 1,
A large-area gate valve, characterized in that it is applied to at least one of a large-area display panel loading chamber and a large-area panel conveying chamber. 제 1 항에 있어서,
상기 블레이드의 가로 길이는 600mm 이상 3,000mm 이하, 세로 길이는 800mm 이상 1,500mm 이하인 것을 특징으로 하는, 대면적 게이트 밸브.The method of claim 1,
The horizontal length of the blade is 600mm or more and 3,000mm or less, and the vertical length is 800mm or more and 1,500mm or less, a large-area gate valve. 제 1 항에 있어서,
상기 공기주입구는 상기 블레이드의 내부를 통해 상기 밀봉부와 연결되는 것을 특징으로 하는, 대면적 게이트 밸브.The method of claim 1,
The air inlet is a large area gate valve, characterized in that connected to the sealing portion through the inside of the blade. 제 1 항에 있어서,
상기 파지부는 상기 블레이드의 후면 좌측과 우측에 각각 하나 이상씩 구비되고, 상기 블레이드가 고정되는 부분은 좌/우 방향 회전축을 중심으로 유동할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 대면적 게이트 밸브.The method of claim 1,
At least one gripper is provided on the left and right sides of the rear surface of the blade, and the portion to which the blade is fixed is configured to flow around a left/right axis of rotation, a large-area gate valve. 제 1 항에 있어서,
상기 블레이드는 상기 챔버의 개구보다 작은 것을 특징으로 하는, 대면적 게이트 밸브.The method of claim 1,
wherein the blade is smaller than the opening of the chamber. 제 1 항에 있어서,
상기 블레이드는 상기 개구의 내부에 삽입되어 상기 개구와 동일선 상에 위치하는 것을 특징으로 하는, 대면적 게이트 밸브.The method of claim 1,
The blade is inserted into the opening, characterized in that located on the same line with the opening, large-area gate valve.
KR1020200031162A 2020-03-13 2020-03-13 Gate Valve for Sealing Large Gate Area KR20210115414A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200031162A KR20210115414A (en) 2020-03-13 2020-03-13 Gate Valve for Sealing Large Gate Area

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200031162A KR20210115414A (en) 2020-03-13 2020-03-13 Gate Valve for Sealing Large Gate Area

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210115414A true KR20210115414A (en) 2021-09-27

Family

ID=77925394

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200031162A KR20210115414A (en) 2020-03-13 2020-03-13 Gate Valve for Sealing Large Gate Area

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20210115414A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102288697B1 (en) Purge nozzle unit, mounting table, load port and stocker
KR101037846B1 (en) A gate valve device, a vacuum process devide and a method of opening and closing a valve body in the gate valve device
KR102267858B1 (en) Gas enclosure systems and methods utilizing an auxiliary enclosure
US20080053619A1 (en) Substrate assembly apparatus and method
US8419337B2 (en) Gate valve and substrate processing system using same
KR20060133491A (en) Vacuum processing apparatus and method of operation thereof
JP4661716B2 (en) Board bonding equipment
KR20010025070A (en) Isolation valves
US10472544B2 (en) System and method for bonding
US6173938B1 (en) Two speed air cylinder for slit valve motion control
KR20210115414A (en) Gate Valve for Sealing Large Gate Area
KR101401279B1 (en) A substrate handling mechanism and a semiconductor manufacturing apparatus with the use of the substrate handling mechanism
KR102122559B1 (en) Gate valve and chamber
US20090113684A1 (en) Uniformly Compressed Process Chamber Gate Seal for Semiconductor Processing Chamber
JP5415781B2 (en) Vacuum processing apparatus and control method of vacuum processing apparatus
JP4246234B2 (en) Fluid pressure cylinder
TWI589792B (en) Static pressure gas bearings
KR102325279B1 (en) Door Device with Sealing Function using Air
KR102421555B1 (en) Align Apparatus For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder
KR20190136699A (en) Saving space type gate valve system
KR101204220B1 (en) Gate valve of Vacuum chamber device
KR20190136700A (en) Saving space type multi-plunger gate valve system
KR101353019B1 (en) Vacuum processing apparatus having slit valve
TWI517284B (en) A substrate processing device and a loading interlock device
US20230347560A1 (en) Liquid introduction apparatus, adhesive dispensing apparatus and liquid introduction method

Legal Events

Date Code Title Description
E601 Decision to refuse application