KR102421555B1 - Align Apparatus For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인 장치에 관한 것으로 z축 고정플레이트에 고정 설치되는 z축 구동부에 의하여 상기 z축 고정플레이트에 대하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 z축 가동블럭을 포함하는 z축 얼라인유닛, 상기 z축 가동블럭 어느 일측에 결합되며 상면에 y축 레일이 형성되는 y축 고정블럭과 상기 y축 고정블럭에 설치되는 y축 구동부에 의하여 상기 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동블럭을 포함하는 y축 얼라인유닛, 상기 y축 가동블럭에 결합되며 전면에 x축 레일이 형성되는 x축 고정블럭과 상기 x축 고정블럭에 고정 설치되는 x축 구동부에 의하여 상기 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동블럭을 포함하는 x축 얼라인유닛 및 상기 x축 가동블럭에 결합되며 전면에 원호 형상의 θ축 레일이 형성되는 θ축 고정블럭과 상기 θ축 고정블럭에 고정 설치되는 θ축 구동부에 의하여 상기 θ축 레일을 따라 θ축으로 선회 이동하는 θ축 가동블럭을 포함한다.The present invention relates to an alignment device for an automatic gas cylinder replacement system. A z-axis movable block comprising a z-axis movable block slidingly moved in the z-axis with respect to the z-axis fixed plate by a z-axis driving unit fixedly installed on the z-axis fixed plate. An alignment unit, a y-axis fixed block coupled to either side of the z-axis movable block and having a y-axis rail formed on the upper surface, and a y-axis driving unit installed on the y-axis fixed block slide along the y-axis rail along the y-axis A y-axis alignment unit including a moving y-axis movable block, an x-axis fixing block coupled to the y-axis movable block and having an x-axis rail formed on the front side, and an x-axis driving unit fixedly installed on the x-axis fixing block An x-axis alignment unit comprising an x-axis movable block sliding along the x-axis along the x-axis rail, and a θ-axis fixed block coupled to the x-axis movable block and having a θ-axis rail in the shape of an arc on the front surface, and the and a θ-axis movable block pivotally moved along the θ-axis rail along the θ-axis by a θ-axis driving unit fixedly installed on the θ-axis fixed block.

Description

가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치{Align Apparatus For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder}Alignment Apparatus For Automatic Replacement System Of Gas Cylinder

본 발명은 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 지면과 수평인 누운 상태로 투입되는 비교적 대용량의 가스실린더를 자동으로 교체하여 공정 챔버 측에 연속적으로 가스를 공급할 수 있는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치에 관한 것이다.The present invention relates to an alignment device for an automatic gas cylinder replacement system, and more particularly, a gas capable of continuously supplying gas to a process chamber by automatically replacing a relatively large-capacity gas cylinder that is put in a state lying horizontal with the ground. It relates to an alignment device for an automatic cylinder replacement system.

일반적으로 반도체, 디스플레이 패널 등을 제조하는 공정은 용도에 따라 다양한 가스의 공급이 이루어지며 이러한 가스들은 대부분 유독성, 가연성 등이 비교적 높아 인체에 흡입되거나 대기 중에 노출되는 경우 안전사고 및 환경오염 등의 피해를 발생시킬 수 있다.In general, the process of manufacturing semiconductors and display panels, etc., supplies various gases depending on the use, and most of these gases are relatively toxic and flammable, so if they are inhaled into the human body or exposed to the atmosphere, damage such as safety accidents and environmental pollution may occur. can cause

또한, 이러한 가스들은 단부에 가스출구포트 등이 구비되는 원통형의 실린더(이하, 가스실린더) 내부에 충전되어 보관 및 운반이 이루어지며 외부로 연장되는 가스 유로를 포함하는 커넥터 등에 연결되어 공정 챔버 측으로 가스의 공급이 이루어진다.In addition, these gases are filled in a cylindrical cylinder (hereinafter, referred to as a gas cylinder) having a gas outlet port at the end, stored and transported, and connected to a connector including a gas flow path extending to the outside to supply the gas to the process chamber. supply is made

한편, 종래의 가스실린더 교체장치는 내부에 가스가 충전된 가스실린더의 가스출구포트를 공정 챔버 측으로 연장되는 배관과 연결하여 수동으로 밸브를 개폐하여 공정 챔버에 가스를 공급하도록 구성되었다.On the other hand, the conventional gas cylinder replacement device is configured to supply gas to the process chamber by connecting the gas outlet port of the gas cylinder filled with gas to the pipe extending toward the process chamber to manually open and close the valve.

그러나, 이러한 종래의 가스실린더 교체장치는 작업자의 숙련도에 따라 가스출구포트와 배관 연결부 사이에 누설이 발생할 수 있는 문제점이 있다.However, such a conventional gas cylinder replacement device has a problem in that leakage may occur between the gas outlet port and the pipe connection part depending on the skill level of the operator.

이를 해결하기 위하여 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0040922호에는 가스실린더 리프트에 가스실린더를 로딩하기만 하면 가스실린더를 가스실린더 연결 유닛에 자동으로 연결하고 가스실린더 내의 가스가 적정량 소진되면 가스실린더 연결 유닛으로부터 가스실린더를 자동으로 분리하여 언로딩할 수 있는 가스실린더 교체시스템이 개시되어 있다.In order to solve this problem, Korean Patent Application Laid-Open No. 10-2019-0040922 discloses that simply loading a gas cylinder on a gas cylinder lift automatically connects the gas cylinder to the gas cylinder connection unit, and when the appropriate amount of gas in the gas cylinder is exhausted, the gas cylinder is connected. Disclosed is a gas cylinder replacement system capable of automatically removing and unloading a gas cylinder from a unit.

그러나 이러한 종래의 가스실린더 교체시스템은 가스실린더가 지면에 세워진 상태로 투입됨에 따라, 가스실린더 연결 유닛이 지상에서 비교적 높은 위치에 형성된다.However, in this conventional gas cylinder replacement system, as the gas cylinder is placed on the ground, the gas cylinder connection unit is formed at a relatively high position on the ground.

특히, 길이가 1,800mm 이상인 비교적 대용량의 가스실린더를 이러한 종래의 가스실린더 교체장치에 적용하는 경우 가스실린더 연결 유닛의 유지 보수를 위하여 장치를 분리하거나 작업자가 사다리나 지게차 등을 이용함에 따라 유지 보수성이 저하되는 문제점이 있다.In particular, when a relatively large-capacity gas cylinder with a length of 1,800 mm or more is applied to such a conventional gas cylinder replacement device, maintainability is improved as the device is separated for maintenance of the gas cylinder connection unit or the operator uses a ladder or forklift. There is a problem of degradation.

대한민국 공개특허공보 10-2019-0040922(공개일 2019.04.19.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0040922 (published on April 19, 2019)

본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 비교적 대용량의 가스실린더를 지면에 수평인 방향으로 스키드에 적재한 상태에서 이송하여 다양한 공정 챔버에 원활한 가스 공급을 수행할 수 있는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention was devised to solve the above problems. Gas cylinder automatic that can smoothly supply gas to various process chambers by transporting a relatively large-capacity gas cylinder on a skid in a horizontal direction to the ground It is to provide an alignment device for a replacement system.

또한, 본 발명의 목적은 가스실린더의 가스출구포트와 일단이 공정 챔버 측으로 연결되는 가스 유로를 포함하는 커넥터가 견고하게 결합할 수 있도록 연결장치들을 정렬하기 위한 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치를 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention is to provide an aligning device for an automatic gas cylinder replacement system for aligning the connecting devices so that a gas outlet port of a gas cylinder and a connector including a gas flow path having one end connected to the process chamber side can be firmly coupled. will provide

발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects and advantages of the present invention not mentioned may be understood by the following description, and will be more clearly understood by the embodiments of the present invention.

또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.It will also be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by the means and combinations thereof indicated in the appended claims.

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인 장치는 z축 고정플레이트에 고정 설치되는 z축 구동부에 의하여 상기 z축 고정플레이트에 대하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 z축 가동블럭을 포함하는 z축 얼라인유닛, 상기 z축 가동블럭 어느 일측에 결합되며 상면에 y축 레일이 형성되는 y축 고정블럭과 상기 y축 고정블럭에 설치되는 y축 구동부에 의하여 상기 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동블럭을 포함하는 y축 얼라인유닛, 상기 y축 가동블럭에 결합되며 전면에 x축 레일이 형성되는 x축 고정블럭과 상기 x축 고정블럭에 고정 설치되는 x축 구동부에 의하여 상기 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동블럭을 포함하는 x축 얼라인유닛 및 상기 x축 가동블럭에 결합되며 전면에 원호 형상의 θ축 레일이 형성되는 θ축 고정블럭과 상기 θ축 고정블럭에 고정 설치되는 θ축 구동부에 의하여 상기 θ축 레일을 따라 θ축으로 선회 이동하는 θ축 가동블럭을 포함한다.In order to solve the above problems, the alignment device for an automatic gas cylinder replacement system according to the present invention is a z-axis movable that slides in the z-axis with respect to the z-axis fixed plate by the z-axis driving unit fixedly installed on the z-axis fixed plate. The y-axis rail by a z-axis alignment unit including a block, a y-axis fixed block coupled to either side of the z-axis movable block and having a y-axis rail formed on the upper surface, and a y-axis driving unit installed on the y-axis fixed block A y-axis alignment unit including a y-axis movable block sliding along the y-axis, an x-axis fixing block coupled to the y-axis movable block and having an x-axis rail formed on the front surface, and fixed installation on the x-axis fixing block An x-axis alignment unit including an x-axis movable block that slides along the x-axis along the x-axis by an x-axis driving unit that is coupled to the x-axis movable block and a circular arc-shaped θ-axis rail is formed on the front surface It includes a θ-axis fixed block and a θ-axis movable block pivotally moving along the θ-axis rail along the θ-axis by a θ-axis driving unit fixedly installed on the θ-axis fixed block.

한편, 상기 z축 얼라인유닛은 상기 z축 가동블럭의 전방 측에 설치되는 z축 제 1가동부와 상기 z축 가동블럭의 후방 측에 설치되는 z축 제 2가동부를 포함하며, 상기 z축 가동블럭은 상기 z축 제 1가동부와 상기 z축 제 2가동부의 변위 차에 의하여 yz평면 상에서 x축을 중심으로 회전하는 방향(θ`축)으로 선회 이동할 수 있다.On the other hand, the z-axis alignment unit includes a z-axis first movable part installed on the front side of the z-axis movable block and a z-axis second movable part installed on the rear side of the z-axis movable block, the z-axis movable The block may be pivotally moved in a rotational direction (θ` axis) on the yz plane about the x-axis by the difference in displacement between the first movable part in the z-axis and the second movable part in the z-axis.

또한, 상기 θ축 얼라인유닛은 일단이 상기 θ축 가동블럭에 결합되며, 타단이 상기 z축 가동블럭에 결합하는 댐퍼를 더 포함할 수 있다.In addition, the θ-axis alignment unit may further include a damper having one end coupled to the θ-axis movable block and the other end coupled to the z-axis movable block.

보다 구체적으로 상기 z축 가동블럭은 상기 y축 고정블럭이 배치되는 측과 반대 측에 상기 댐퍼의 타단이 결합하는 댐퍼 체결플레이트를 더 포함할 수 있다.More specifically, the z-axis movable block may further include a damper fastening plate to which the other end of the damper is coupled to a side opposite to the side on which the y-axis fixed block is disposed.

또한, 상기 댐퍼 체결플레이트는 상기 z축 가동블럭에 대하여 x축과 y축으로 각각 슬라이딩 이동할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다In addition, it is preferable that the damper fastening plate is formed to be slidably movable in the x-axis and the y-axis, respectively, with respect to the z-axis movable block.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치는 가스출구포트와 연결되는 연결장치들을 다축으로 정렬하여 가스실린더에 의한 가스공급 시 발생하는 가스의 누출을 방지할 수 있다.As described above, the aligning device for an automatic gas cylinder replacement system according to the present invention can prevent gas leakage occurring when gas is supplied by the gas cylinder by aligning the connecting devices connected to the gas outlet port in a multi-axis manner.

또한, 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체장치는 가스실린더의 이송과 정렬 및 가스공급을 자동으로 수행함에 따라 작업자의 숙련도에 따른 휴먼 에러를 차단하여 가스 누설에 따른 안전사고를 방지할 수 있다.In addition, the gas cylinder automatic replacement device according to the present invention can prevent a safety accident due to gas leakage by blocking human error according to the skill level of the operator by automatically performing the transfer, alignment and gas supply of the gas cylinder.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the above-described effects, the specific effects of the present invention will be described together while describing specific details for carrying out the invention below.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템에서 가스실린더가 스키드에 적재된 상태를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템을 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치의 우측면도이다.1 is a perspective view illustrating a state in which a gas cylinder is loaded on a skid in an automatic gas cylinder replacement system according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing an automatic gas cylinder replacement system according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view of an alignment device for an automatic gas cylinder replacement system according to an embodiment of the present invention.
4 is a right side view of an alignment device for an automatic gas cylinder replacement system according to an embodiment of the present invention.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.The above-described objects, features and advantages will be described below in detail with reference to the accompanying drawings, and accordingly, those skilled in the art to which the present invention pertains will be able to easily implement the technical idea of the present invention.

본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to refer to the same or similar components.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.In the following, that an arbitrary component is disposed on the "upper (or lower)" of a component or "top (or below)" of a component means that any component is disposed in contact with the upper surface (or lower surface) of the component. Furthermore, it may mean that other components may be interposed between the component and any component disposed on (or under) the component.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.Also, when it is described that a component is “connected”, “coupled” or “connected” to another component, the components may be directly connected or connected to each other, but other components are “interposed” between each component. It should be understood that “or, each component may be “connected,” “coupled,” or “connected” through another component.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.As used herein, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.In the present application, terms such as "consisting of" or "comprising" should not be construed as necessarily including all of the various components or various steps described in the specification, some of which components or some steps are It should be construed that it may not include, or may further include additional components or steps.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.Throughout the specification, when “A and/or B” is used, it means A, B or A and B, unless specifically stated to the contrary, and when “C to D” is used, it means that there is no specific contrary description. Unless otherwise specified, it means that it is greater than or equal to C and less than or equal to D.

이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치를 설명하도록 한다.Hereinafter, an alignment device for an automatic gas cylinder replacement system according to some embodiments of the present invention will be described.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체장치에서 가스실린더가 스키드에 적재된 상태를 도시한 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템을 도시한 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a state in which a gas cylinder is loaded on a skid in an automatic gas cylinder replacement apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a gas cylinder automatic replacement system according to an embodiment of the present invention. is a perspective view.

또한, 도 3과 도 4는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치의 정면도와 우측면도이다.3 and 4 are respectively a front view and a right side view of an alignment device for an automatic gas cylinder replacement system according to an embodiment of the present invention.

우선, 본 발명에서 가스실린더(C)라 함은 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 전체적으로 원통 형상으로 내부에 고압의 가스가 충전되어 있다.First, in the present invention, the gas cylinder (C) has a cylindrical shape as a whole and is filled with a high-pressure gas therein, as shown in FIG. 1 .

또한, 상기 가스실린더(C)는 헤드부에 길이 방향으로 형성되는 밸브(C1)와 상기 밸브(C1)의 직교방향으로 형성되는 가스출구포트(C2) 등을 포함한다.In addition, the gas cylinder (C) includes a valve (C1) formed in the longitudinal direction of the head portion and a gas outlet port (C2) formed in a direction orthogonal to the valve (C1).

또한, 스키드(S)는 상면에 상기 가스실린더(C)가 지면에 누운 상태로 적재되고 저면에 복수 개의 캐스터를 포함한다.In addition, the skid (S) is loaded with the gas cylinder (C) lying on the ground on the upper surface and includes a plurality of casters on the lower surface.

한편, 본 발명에 있어서, 가스실린더 자동교체시스템(1000)은 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 상기 스키드(S)에 누운 상태로 적재된 상기 가스실린더(C)가 투입되어 상기 가스출구포트(C2)와 접속되어 가스를 공정챔버 측에 공급하는 커넥터 등의 연결장치 등이 포함할 수 있다.On the other hand, in the present invention, the gas cylinder automatic replacement system 1000 is the gas cylinder (C) loaded in a state lying on the skid (S) as shown in FIG. 2 is put in the gas outlet port (C2) ) and a connection device such as a connector for supplying gas to the process chamber side, etc. may be included.

이에 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치는 상기 가스실린더 자동교체시스템(1000)에 내장되어 커넥터 등의 연결장치가 연결되어 이들을 상기 가스출구포트(C2)와 정렬하기 위한 것이다.Accordingly, the alignment device for the automatic gas cylinder replacement system according to the present invention is built in the gas cylinder automatic replacement system 1000 and a connector such as a connector is connected to align them with the gas outlet port C2.

또한, 본 명세서에서 x축은 도 1과 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 상기 스키드(S)의 일 측면에서 타 측면으로 향하는 방향을 의미한다.Also, in this specification, the x-axis means a direction from one side of the skid S to the other side as shown in FIGS. 1 and 2 .

또한, y축은 상기 가스실린더(C)가 상기 스키드(S)에 지면에 수평하게 적재된 상태에서 상기 가스실린더(C)의 길이 방향을 의미한다.In addition, the y-axis means the longitudinal direction of the gas cylinder (C) in a state in which the gas cylinder (C) is horizontally loaded on the ground on the skid (S).

또한, z축은 상기 스키드(S)의 캐스터가 형성되는 저면에서 상기 가스실린더(C)가 적재되는 상면으로 향하는 방향을 의미한다.In addition, the z-axis means a direction from the bottom surface where the caster of the skid (S) is formed to the upper surface on which the gas cylinder (C) is loaded.

또한, θ축은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 xz평면 상에서 y축을 기준으로 회전하는 방향을 의미한다.In addition, the θ axis means a direction of rotation based on the y axis on the xz plane as shown in FIG. 3 .

또한, θ`축(요잉)은 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 zy평면 상에서 x축을 기준으로 회전하는 방향을 의미한다.In addition, the θ` axis (yaw) refers to a direction of rotation based on the x axis on the zy plane as shown in FIG. 4 .

도 3과 도 4를 참조하면 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치는 z축 얼라인유닛(100)과 y축 얼라인유닛(200)과 x축 얼라인유닛(300) 및 θ축 얼라인유닛(400)을 포함한다.3 and 4, the alignment device for an automatic gas cylinder replacement system according to the present invention includes a z-axis alignment unit 100, a y-axis alignment unit 200, an x-axis alignment unit 300, and θ. A shaft alignment unit 400 is included.

보다 구체적으로 상기 z축 얼라인유닛(100)은 z축 고정플레이트(110)에 고정 설치되는 z축 구동부(120)에 의하여 상기 z축 고정플레이트(110)에 대하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 z축 가동블럭(130)을 포함한다.More specifically, the z-axis alignment unit 100 is a z-axis that slides in the z-axis with respect to the z-axis fixing plate 110 by the z-axis driving unit 120 fixedly installed on the z-axis fixing plate 110 . It includes a movable block 130 .

이때, 상기 z축 가동블럭(130)은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 x축 고정 플레이트(110)와 평행한 플레이트에 양단이 각각 상측을 향하도록 형성되어 상기 가스실린더(C)의 저면과 양측면을 감싸도록 형성되는 것이 바람직하다.At this time, as shown in FIG. 3 , the z-axis movable block 130 is formed on a plate parallel to the x-axis fixed plate 110 so that both ends face upward, respectively, and the bottom surface of the gas cylinder C and It is preferably formed so as to surround both sides.

또한, 상기 z축 얼라인유닛(100)은 상기 z축 가동블럭(130)의 전방 측에 설치되는 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 가동블럭(130)의 후방 측에 설치되는 z축 제 2가동부(122)를 포함한다.In addition, the z-axis alignment unit 100 is a z-axis first movable part 121 installed on the front side of the z-axis movable block 130 and z installed on the rear side of the z-axis movable block 130 . The shaft includes a second movable part 122 .

또한, 상기 z축 구동부(120)는 상기 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 제 2가동부(122)를 각각 제어하며 유압 또는 공압 실린더를 포함한 가동 거리의 제어가 가능한 서버모터, 리니어모터 등이 적용될 수 있다.In addition, the z-axis driving unit 120 controls the z-axis first movable part 121 and the z-axis second movable part 122, respectively, and a server motor capable of controlling a movable distance including a hydraulic or pneumatic cylinder, a linear motor etc. may be applied.

이에 따라, 상기 z축 가동블럭(130)은 상기 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 제 2가동부(122)의 변위 차에 의하여 yz평면 상에서 x축을 중심으로 회전하는 방향(θ`축)으로 선회 이동할 수 있다.Accordingly, the z-axis movable block 130 rotates about the x-axis on the yz plane by the displacement difference between the z-axis first movable part 121 and the z-axis second movable part 122 (θ` axis). ) to turn around.

한편, 상기 y축 얼라인유닛(200)은 상기 z축 가동블럭(130) 어느 일측에 결합되며 상면에 y축 레일(211)이 형성되는 y축 고정블럭(210)과 상기 y축 고정블럭(210)에 설치되는 y축 구동부(220)에 의하여 상기 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동블럭(230)을 포함한다.On the other hand, the y-axis alignment unit 200 is coupled to either side of the z-axis movable block 130 and the y-axis fixed block 210 and the y-axis fixed block ( It includes a y-axis movable block 230 that slides along the y-axis rail along the y-axis by the y-axis driving unit 220 installed in the y-axis.

이에 따라, 상기 y축 가동블럭(230)은 상기 z축 가동블럭(130)의 어느 한 지점에 대하여 y축으로 슬라이딩 이동할 수 있다.Accordingly, the y-axis movable block 230 can slide in the y-axis with respect to any one point of the z-axis movable block 130 .

또한, 상기 y축 구동부(220)는 유압 또는 공압 실린더를 포함하여 공압 또는 유압으로 작동되는 서버모터나 리니어모터 등이 적용될 수 있다.Also, the y-axis driving unit 220 may include a hydraulic or pneumatic cylinder, and a server motor or a linear motor operated by pneumatic or hydraulic pressure may be applied.

보다 바람직하게, 상기 y축 얼라인유닛(200)은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 z축 가동블럭(130)의 일측에 형성되어 상기 z축 가동블럭(130)의 중앙부 측에 상기 가스실린더(C)의 일단이 투입될 수 있는 공간을 확보할 수 있다.More preferably, the y-axis alignment unit 200 is formed on one side of the z-axis movable block 130 as shown in FIG. 3 , and the gas cylinder is formed on the central side of the z-axis movable block 130 . It is possible to secure a space where one end of (C) can be put.

한편, 상기 x축 얼라인유닛(300)은 상기 y축 가동블럭(230)에 결합되며 전면에 x축 레일(311)이 형성되는 x축 고정블럭(310)과 상기 x축 고정블럭(310)에 고정 설치되는 x축 구동부(320)에 의하여 상기 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동블럭(330)을 포함한다.On the other hand, the x-axis alignment unit 300 is coupled to the y-axis movable block 230 and the x-axis fixing block 310 and the x-axis fixing block 310 in which the x-axis rail 311 is formed on the front side. It includes an x-axis movable block 330 that slides along the x-axis rail along the x-axis by the x-axis driving unit 320 fixedly installed on the .

이에 따라, 상기 x축 가동블럭(330)은 상기 y축 가동블럭(230)의 어느 한 지점에 대하여 x축으로 슬라이딩 이동할 수 있다.Accordingly, the x-axis movable block 330 can slide in the x-axis with respect to any one point of the y-axis movable block 230 .

또한, 상기 x축 얼라인유닛(300)은 상기 y축 얼라인유닛(200)의 상측에 위치하여 상기 z축 가동블럭(130)의 중앙부 측에 상기 가스실린더(C)의 일단이 투입될 수 있는 공간을 확보할 수 있다.In addition, the x-axis alignment unit 300 is located on the upper side of the y-axis alignment unit 200, one end of the gas cylinder (C) can be put into the central part of the z-axis movable block 130. space can be obtained.

또한, 상기 x축 구동부(320)는 유압 또는 공압 실린더를 포함하여 공압 또는 유압으로 작동되는 서버모터나 리니어모터 등이 적용될 수 있다.Also, the x-axis driving unit 320 may include a hydraulic or pneumatic cylinder, and a server motor or a linear motor operated by pneumatic or hydraulic pressure may be applied.

한편, 상기 θ축 얼라인유닛(400)은 상기 x축 가동블럭(330)에 결합되며 전면에 원호 형상의 θ축 레일(411)이 형성되는 θ축 고정블럭(410)과 상기 θ축 고정블럭(410)에 고정 설치되는 θ축 구동부(420)에 의하여 상기 θ축 레일을 따라 θ축으로 선회 이동하는 θ축 가동블럭(430)을 포함한다.On the other hand, the θ-axis alignment unit 400 is coupled to the x-axis movable block 330 and the θ-axis fixing block 410 and the θ-axis fixing block having an arc-shaped θ-axis rail 411 formed on the front surface. It includes a θ-axis movable block 430 pivotally moving along the θ-axis rail along the θ-axis by the θ-axis driving unit 420 fixedly installed on the 410 .

이에 따라, 상기 θ축 가동블럭(430)은 상기 z축 가동블럭(130)의 어느 한 지점에 대하여 선회 이동할 수 있다.Accordingly, the θ-axis movable block 430 may pivotally move with respect to any one point of the z-axis movable block 130 .

또한, 상기 θ축 구동부(420)는 유압 또는 공압 실린더를 포함하여 공압 또는 유압으로 작동되는 서버모터나 리니어모터 등이 적용될 수 있다.Also, the θ-axis driving unit 420 may include a hydraulic or pneumatic cylinder, and a server motor or a linear motor operated by pneumatic or hydraulic pressure may be applied.

또한, 상기 θ축 가동블럭(430)은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 x축 고정 플레이트(110)와 평행한 플레이트에 양단이 각각 하측을 향하도록 형성되어 상기 가스실린더(C)의 상면과 양측면을 감싸도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, as shown in FIG. 3, the θ-axis movable block 430 is formed on a plate parallel to the x-axis fixed plate 110 so that both ends face downward, respectively, the upper surface of the gas cylinder (C) and It is preferably formed so as to surround both sides.

보다 바람직하게 상기 θ축 얼라인유닛(400)은 일단이 상기 θ축 가동블럭(430)에 결합되며, 타단이 상기 z축 가동블럭(130)에 결합하는 댐퍼(440)를 더 포함할 수 있다.More preferably, the θ-axis alignment unit 400 may further include a damper 440 having one end coupled to the θ-axis movable block 430 and the other end coupled to the z-axis movable block 130 . .

이때, 상기 댐퍼(440)는 가스 댐퍼 등을 포함한 다양한 댐핑 장치가 적용될 수 있다.In this case, various damping devices including a gas damper may be applied to the damper 440 .

또한, 상기 z축 가동블럭(130)은 상기 y축 고정블럭(210)이 배치되는 측과 반대 측에 상기 댐퍼(440)의 타단이 결합하는 댐퍼 체결플레이트(131)를 더 포함하며, 상기 댐퍼 체결플레이트(131)는 상기 z축 가동블럭(130)에 대하여 x축과 y축으로 각각 슬라이딩 이동할 수 있다.In addition, the z-axis movable block 130 further includes a damper fastening plate 131 to which the other end of the damper 440 is coupled to a side opposite to the side on which the y-axis fixed block 210 is disposed, and the damper The fastening plate 131 can slide in the x-axis and the y-axis with respect to the z-axis movable block 130 , respectively.

이에 따라, 상기 θ축 가동블럭(430)은 x축, y축, θ축 중 적어도 어느 한 방향으로 이동하는 경우에 상기 댐퍼(440)로 인하여 상기 θ축 고정블럭(410)과 비교적 원거리에 위치하는 측에 작용하는 진동을 저감시킬 수 있다.Accordingly, the θ-axis movable block 430 is located relatively far from the θ-axis fixed block 410 due to the damper 440 when it moves in at least one of the x-axis, the y-axis, and the θ-axis. It is possible to reduce the vibration acting on the side.

보다 바람직하게 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치는 상기 z축 가동블럭(130)의 상면이나 상기 상기 θ축 가동블럭(430)의 내측면에 상기 가스실린더(C)의 밸브(C1)를 개폐하거나 상기 가스출구포트(C2)에 탈부착되어 공정챔버 측으로 가스를 공급하기 위한 커넥터 등의 연결장치들이 결합될 수 있다.More preferably, the alignment device for the automatic gas cylinder replacement system according to the present invention is a valve (C) of the gas cylinder (C) on the upper surface of the z-axis movable block 130 or the inner surface of the θ-axis movable block 430 Connection devices such as a connector for opening and closing C1) or for supplying gas to the process chamber side by being detachably attached to the gas outlet port C2 may be coupled thereto.

이에 따라, 상기 연결장치들은 본 발명에 따른 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치에 의하여 상기 밸브(C1) 또는 가스출구포트(C2) 등에 대향되도록 정렬될 수 있다.Accordingly, the connection devices may be aligned to face the valve C1 or the gas outlet port C2 by the alignment device for the automatic gas cylinder replacement system according to the present invention.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.As described above, the present invention has been described with reference to the illustrated drawings, but the present invention is not limited by the embodiments and drawings disclosed in the present specification. It is obvious that variations can be made.

아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.In addition, although the effects according to the configuration of the present invention are not explicitly described and described while describing the embodiments of the present invention, it is natural that the effects predictable by the configuration should also be recognized.

C. 가스실린더
C1. 밸브
C2. 가스출구포트
S. 스키드
100. z축 얼라인유닛
110. z축 고정플레이트
120. z축 구동부
121. z축 제 1가동부
122. z축 제 2가동부
130. z축 가동블럭
131. 댐퍼 체결플레이트
200. y축 얼라인유닛
210. y축 고정플레이트
211. y축 레일
220. y축 구동부
230. y축 가동블럭
300. x축 얼라인유닛
310. x축 고정플레이트
311. x축 레일
320. x축 구동부
330. x축 가동블럭
400. θ축 얼라인유닛
410. θ축 고정플레이트
411. θ축 레일
420. θ축 구동부
430. θ축 가동블럭
440. 댐퍼C. Gas cylinder
C1. valve
C2. gas outlet port
S. Skid
100. z-axis alignment unit
110. Z-axis fixed plate
120. z-axis drive unit
121. Z-axis 1st movable part
122. Z-axis 2nd movable part
130. Z-axis movable block
131. Damper fastening plate
200. y-axis alignment unit
210. Y-axis fixed plate
211. y-axis rail
220. y-axis drive unit
230. Y-axis movable block
300. x-axis alignment unit
310. x-axis fixed plate
311. x-axis rail
320. x-axis drive unit
330. x-axis movable block
400. θ-axis alignment unit
410. θ axis fixed plate
411. θ axis rail
420. θ-axis drive unit
430. θ axis movable block
440. Damper

Claims (5)

z축 고정플레이트(110)에 고정 설치되는 z축 구동부(120)에 의하여 상기 z축 고정플레이트(110)에 대하여 z축으로 슬라이딩 이동하는 z축 가동블럭(130)과 상기 z축 가동블럭(130)의 전방 측에 설치되는 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 가동블럭(130)의 후방 측에 설치되는 z축 제 2가동부(122)를 포함하며, 상기 z축 제 1가동부(121)와 상기 z축 제 2가동부(122)의 변위 차에 의하여 yz평면 상에서 x축을 중심으로 회전하는 방향(θ`축)으로 선회 이동하는 z축 얼라인유닛(100);
상기 z축 가동블럭(130) 어느 일측에 결합되며 상면에 y축 레일(211)이 형성되는 y축 고정블럭(210)과 상기 y축 고정블럭(210)에 설치되는 y축 구동부(220)에 의하여 상기 y축 레일을 따라 y축으로 슬라이딩 이동하는 y축 가동블럭(230)을 포함하는 y축 얼라인유닛(200);
상기 y축 가동블럭(230)에 결합되며 전면에 x축 레일(311)이 형성되는 x축 고정블럭(310)과 상기 x축 고정블럭(310)에 고정 설치되는 x축 구동부(320)에 의하여 상기 x축 레일을 따라 x축으로 슬라이딩 이동하는 x축 가동블럭(330)을 포함하는 x축 얼라인유닛(300); 및
상기 x축 가동블럭(330)에 결합되며 전면에 원호 형상의 θ축 레일(411)이 형성되는 θ축 고정블럭(410)과 상기 θ축 고정블럭(410)에 고정 설치되는 θ축 구동부(420)에 의하여 상기 θ축 레일을 따라 θ축으로 선회 이동하는 θ축 가동블럭(430)을 포함하는 θ축 얼라인유닛(400);을 포함하는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치.
The z-axis movable block 130 and the z-axis movable block 130 slidingly moved in the z-axis with respect to the z-axis fixed plate 110 by the z-axis driving unit 120 fixedly installed on the z-axis fixed plate 110 . ) including a z-axis first movable part 121 installed on the front side and a z-axis second movable part 122 installed on the rear side of the z-axis movable block 130, and the z-axis first movable part 121 ) and the z-axis alignment unit 100 for pivoting and moving in a rotational direction (θ` axis) about the x-axis on the yz plane by the displacement difference of the z-axis second movable part 122;
The z-axis movable block 130 is coupled to one side and the y-axis rail 211 is formed on the upper surface of the y-axis fixed block 210 and the y-axis driving unit 220 installed on the y-axis fixed block 210. a y-axis alignment unit 200 including a y-axis movable block 230 that slides along the y-axis rail along the y-axis rail;
By the x-axis fixing block 310 coupled to the y-axis movable block 230 and having an x-axis rail 311 formed on the front side and the x-axis driving unit 320 fixedly installed on the x-axis fixing block 310 an x-axis alignment unit 300 including an x-axis movable block 330 sliding along the x-axis along the x-axis rail; and
A θ-axis fixing block 410 coupled to the x-axis movable block 330 and having an arc-shaped θ-axis rail 411 formed on the front surface and a θ-axis driving unit 420 fixedly installed on the θ-axis fixing block 410 . ) by the θ-axis alignment unit 400 including a θ-axis movable block 430 that pivots along the θ-axis along the θ-axis rail;
 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 θ축 얼라인유닛(400)은 일단이 상기 θ축 가동블럭(430)에 결합되며, 타단이 상기 z축 가동블럭(130)에 결합하는 댐퍼(440)를 더 포함하는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치.
The method of claim 1,
The θ-axis alignment unit 400 has one end coupled to the θ-axis movable block 430 and the other end of the gas cylinder automatic replacement system further comprising a damper 440 coupled to the z-axis movable block 130 . for aligner.
 제 3항에 있어서,
상기 z축 가동블럭(130)은 상기 y축 고정블럭(210)이 배치되는 측과 반대 측에 상기 댐퍼(440)의 타단이 결합하는 댐퍼 체결플레이트(131)를 더 포함하는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치.
4. The method of claim 3,
The z-axis movable block 130 is a gas cylinder automatic replacement system further comprising a damper fastening plate 131 to which the other end of the damper 440 is coupled to the opposite side to the side on which the y-axis fixed block 210 is disposed. for aligner.
 제 4항에 있어서,
상기 댐퍼 체결플레이트(131)는 상기 z축 가동블럭(130)에 대하여 x축과 y축으로 각각 슬라이딩 이동할 수 있는 가스실린더 자동교체시스템용 얼라인장치. 5. The method of claim 4,
The damper fastening plate 131 is an alignment device for an automatic gas cylinder replacement system capable of sliding movement in the x-axis and the y-axis with respect to the z-axis movable block 130, respectively.
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