KR20210109458A - Organic solvent, mixed solution and method for producing polyimide film - Google Patents

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도모노리 안도
가즈아키 가네코
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닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention relates to an organic solvent which allows preparation of a polyamic acid solution having high storage stability and can improve the visibility of a film obtained by using the polyamic acid solution. The present invention also relates to a method for producing a polyimide film which can provide a polyimide film having high visibility by using the organic solvent to inhibit an increase in haze. The organic solvent includes an aprotic polar solvent having a boiling point of 200℃ or lower and water, and has a content of the aprotic polar solvent of 50% or more as determined by gas chromatography and a water content of 40-500 ppm as determined by the Carl Fischer's method. The method for producing a polyimide film uses a mixed solution containing the organic solvent, a tetracarboxylic anhydride ingredient and a diamine ingredient to obtain a polyimide film.

Description

유기 용제, 혼합 용액 및 폴리이미드 필름의 제조 방법{ORGANIC SOLVENT, MIXED SOLUTION AND METHOD FOR PRODUCING POLYIMIDE FILM}Organic solvent, mixed solution, and the manufacturing method of a polyimide film TECHNICAL FIELD

본 발명은 예를 들어 회로 기판 등의 재료로서 이용 가능한 폴리이미드 또는 그의 전구체를 제조하기 위해 유용한 유기 용제, 이 유기 용제와 테트라카르복실산 무수물 성분과 디아민 성분을 포함한 혼합 용액, 및 이 혼합 용액을 사용한 폴리이미드 필름의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention provides an organic solvent useful for producing polyimide or a precursor thereof usable as a material for, for example, a circuit board, a mixed solution containing this organic solvent, a tetracarboxylic anhydride component, and a diamine component, and this mixed solution It relates to the manufacturing method of the used polyimide film.

폴리이미드는 우수한 내열성, 기계 특성, 전기 특성을 구비하고 있다. 이 폴리이미드를 사용한 폴리이미드 필름은 플렉시블 프린트 배선판(FPC; Flexible Printed Circuits)으로 대표되는 회로 배선 기판(단순히 회로 기판이라고도 함)의 기재 외에, 여러 용도로 폭 넓게 이용되고 있다.Polyimide has excellent heat resistance, mechanical properties and electrical properties. The polyimide film using this polyimide is widely used for various purposes other than the base material of the circuit wiring board (simply referred to as a circuit board) typified by Flexible Printed Circuits (FPC).

폴리이미드 필름을 제조하는 방법으로서, 대표적으로는 텐터법과 캐스트법이 알려져 있다. 이 중 텐터법은 폴리이미드 전구체(폴리아미드산)의 용액을 회전 드럼에 유연하고, 겔 필름의 상태로 회전 드럼으로부터 박리하여 텐터 로에서 가열하여 경화시켜 폴리이미드 필름으로 하는 방법이다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 또한, 캐스트법은 구리박 등의 임의의 지지 기재에 폴리이미드 전구체의 용액을 도포하고, 열처리에 의해 건조 및 경화하여 폴리이미드 필름을 얻는 방법이다(예를 들어 특허문헌 2 참조).As a method of manufacturing a polyimide film, the tenter method and the casting method are known typically. Among them, the tenter method is a method in which a polyimide precursor (polyamic acid) solution is cast on a rotating drum, peeled off from the rotating drum in the state of a gel film, and cured by heating in a tenter furnace to obtain a polyimide film (for example, See Patent Document 1). In addition, the casting method is a method of apply|coating the solution of polyimide precursors to arbitrary supporting base materials, such as copper foil, drying and hardening by heat processing, and obtaining a polyimide film (for example, refer patent document 2).

폴리이미드의 제조에 있어서는 통상, 테트라카르복실산 이무수물과 디아민을 반응시켜 전구체인 폴리아미드산으로 한다. 이 상태에서는 유기 용제에 가용이지만, 이것을 200℃ 이상의 고온에서 열처리하면 분자 내에서 탈수 폐환이 일어나고, 유기 용제에 불용인 폴리이미드가 된다. 그 때문에, 텐터법이나 캐스트법의 어느 경우에도 유기 용제를 포함한 폴리이미드 전구체를 사용하여, 이것을 열처리하여 이미드화시키는(경화시키는) 것으로써 폴리이미드를 조제한다.In manufacture of a polyimide, tetracarboxylic dianhydride and diamine are made to react normally, and it is set as the polyamic acid which is a precursor. In this state, it is soluble in organic solvents, but when this is heat-treated at a high temperature of 200°C or higher, dehydration ring closure occurs within the molecule, resulting in polyimide insoluble in organic solvents. Therefore, in either case of the tenter method or the casting method, a polyimide is prepared by using the polyimide precursor containing an organic solvent, heat processing this and imidating (hardening) this.

폴리이미드 전구체는 열이나 물에 대하여 불안정한 경우가 많은데, 보존 안정성을 향상시킨다는 관점에서, 수분 함유량을 1중량% 이하로 하는 것이 제안되어 있다(예를 들어 특허문헌 3 참조).Although a polyimide precursor is unstable with respect to a heat|fever or water in many cases, from a viewpoint of improving storage stability, it is proposed that water content shall be 1 weight% or less (refer patent document 3, for example).

일본 특허 공개 제2000-191806호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2000-191806 일본 특허 공개 제2004-322441호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2004-322441 일본 특허 공개 제2009-263646호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2009-263646

본 발명은 최종적으로 얻어지는 폴리이미드의 화학 구조를 불문하고, 보존 안정성이 높은 폴리아미드산의 용액을 조제할 수 있고, 또한 그 폴리아미드산의 용액을 사용하여 폴리이미드 필름(또는 폴리이미드층)을 얻은 경우에, 얻어지는 폴리이미드 필름(또는 폴리이미드층)의 시인성을 향상시킬 수 있는 유기 용제를 제공하는 것을 목적으로 한다. 나아가, 상기한 유기 용제를 사용함으로써 헤이즈의 상승을 억제하여, 시인성이 우수한 폴리이미드 필름(또는 폴리이미드층)을 얻을 수 있는 폴리이미드 필름의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention can prepare a polyamic acid solution with high storage stability regardless of the chemical structure of the finally obtained polyimide, and further, a polyimide film (or polyimide layer) is prepared using the polyamic acid solution. When obtained, it aims at providing the organic solvent which can improve the visibility of the polyimide film (or polyimide layer) obtained. Furthermore, it aims at providing the manufacturing method of the polyimide film which suppresses a raise of a haze by using said organic solvent, and can obtain the polyimide film (or polyimide layer) excellent in visibility.

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 테트라카르복실산 무수물 성분과 디아민 성분을 포함하는 혼합 용액을 형성하는 유기 용제에 관하여, 그 비점이, 얻어지는 폴리이미드 필름이나 폴리이미드층의 헤이즈(Haze)에 영향을 미치는 것에 착안하여, 유기 용제의 수분량을 적절하게 제어함으로써, 폴리이미드 전구체의 이미드화 온도를 고온화함으로써 이미드화 후의 용제의 잔존을 저감시킬 수 있음을 알아내고, 나아가 헤이즈의 상승을 억제할 수 있는 것으로부터, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.As a result of the inventors earnestly examining in order to solve the said subject, the boiling point about the organic solvent which forms the mixed solution containing a tetracarboxylic-acid anhydride component and a diamine component, the haze of the polyimide film or polyimide layer obtained Focusing on the effect on (Haze), by appropriately controlling the moisture content of the organic solvent, it was found that the imidization temperature of the polyimide precursor could be increased to reduce the residual solvent after imidization, and further increase the haze From being able to suppress this, the present invention was completed.

즉, 본 발명의 요지는 다음과 같다.That is, the gist of the present invention is as follows.

(1) 하기의 성분 A 및 B;(1) the following components A and B;

A) 1기압 하에서의 비점이 200℃ 이하인 비프로톤성 극성 용제;A) an aprotic polar solvent having a boiling point of 200° C. or less under 1 atm;

B) 물B) water

을 함유하고, 가스 크로마토그래피에 의해 측정되는 상기 성분 A의 함유량이 50% 이상이며, 칼 피셔법에 의해 측정되는 상기 성분 B의 함유량이 40 내지 500ppm의 범위 내인 것을 특징으로 하는 유기 용제.contains, the content of the component A measured by gas chromatography is 50% or more, and the content of the component B measured by the Karl Fischer method is in the range of 40 to 500 ppm organic solvent.

(2) 상기 성분 A가 N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 및 디메틸술폭시드로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 (1)에 기재된 유기 용제.(2) The organic solvent according to (1), wherein the component A is at least one member selected from the group consisting of N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide and dimethyl sulfoxide.

(3) 테트라카르복실산 무수물 성분과 디아민 성분을 혼합하고, 중합시켜 폴리아미드산을 얻기 위해 사용되는 용제인 것을 특징으로 하는 (1) 또는 (2)에 기재된 유기 용제.(3) The organic solvent according to (1) or (2), characterized in that it is a solvent used for mixing and polymerizing a tetracarboxylic acid anhydride component and a diamine component to obtain a polyamic acid.

(4) (1) 내지 (3) 중 어느 한 항에 기재된 유기 용제와, 테트라카르복실산 무수물 성분과, 디아민 성분을 함유하는 혼합 용액.(4) A mixed solution containing the organic solvent according to any one of (1) to (3), a tetracarboxylic anhydride component, and a diamine component.

(5) 상기 테트라카르복실산 무수물 성분 및 상기 디아민 성분에서 유래하는 전체 모노머 성분 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머를 50몰% 이상 함유하는 것을 특징으로 하는 (4)에 기재된 혼합 용액.(5) The mixed solution as described in (4) characterized by containing 50 mol% or more of the monomer which has a biphenyl skeleton among all the monomer components derived from the said tetracarboxylic-acid anhydride component and the said diamine component.

(6) 상기 디아민 성분이, 하기 일반식 (1)로 표시되는 디아민 화합물을 20몰% 이상 함유하는 것을 특징으로 하는 (4) 또는 (5)에 기재된 혼합 용액.(6) The said diamine component contains 20 mol% or more of the diamine compound represented by following General formula (1), The mixed solution as described in (4) or (5) characterized by the above-mentioned.

Figure pat00001
Figure pat00001

[일반식 (1)에 있어서, 연결기 Z는 단결합 혹은 -COO-를 나타내고, Y는 독립적으로 할로겐 혹은 페닐기로 치환되어도 되는 탄소수 1 내지 3의 1가의 탄화수소기 혹은 탄소수 1 내지 3의 알콕시기 또는 탄소수 1 내지 3의 퍼플루오로알킬기 혹은 알케닐기를 나타내고, n은 1 내지 2의 정수를 나타내고, p 및 q는 독립적으로 0 내지 4의 정수를 나타낸다.][In the general formula (1), the linking group Z represents a single bond or -COO-, and Y is independently a monovalent hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms which may be substituted with a halogen or phenyl group, or represents a perfluoroalkyl group or alkenyl group having 1 to 3 carbon atoms, n represents an integer of 1 to 2, and p and q independently represent an integer of 0 to 4.]

(7) 하기의 공정 a 내지 d;(7) the following steps a to d;

a) (1) 내지 (3) 중 어느 한 항에 기재된 유기 용제와, 테트라카르복실산 무수물 성분과, 디아민 성분을 함유하는 혼합 용액을 준비하는 공정;a) Step of preparing a mixed solution containing the organic solvent according to any one of (1) to (3), a tetracarboxylic anhydride component, and a diamine component;

b) 상기 혼합 용액 중에서, 상기 테트라카르복실산 무수물 성분과 상기 디아민 성분을 반응시켜 폴리아미드산의 용액을 얻는 공정;b) a step of reacting the tetracarboxylic anhydride component and the diamine component in the mixed solution to obtain a polyamic acid solution;

c) 기재 상에 상기 폴리아미드산의 용액을 도포하고, 건조시킴으로써, 상기 폴리아미드산의 수지막을 형성하는 공정;c) forming a resin film of the polyamic acid by applying the polyamic acid solution on a substrate and drying;

d) 상기 수지막을 열처리하고, 상기 폴리아미드산을 이미드화함으로써, 폴리이미드 필름을 얻는 공정d) a step of heat-treating the resin film and imidizing the polyamic acid to obtain a polyimide film

을 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 필름의 제조 방법.A method for producing a polyimide film, characterized in that it comprises a.

(8) 상기 공정 c에서 발생한 용제 증기로부터 유기 용제를 회수하여, 상기 혼합 용액의 유기 용제로서 재이용하는 것을 특징으로 하는 (7)에 기재된 폴리이미드 필름의 제조 방법.(8) The method for producing a polyimide film according to (7), wherein the organic solvent is recovered from the solvent vapor generated in the step c and reused as an organic solvent in the mixed solution.

(9) 상기 공정 a의 유기 용제가, 상기 공정 c에서 발생한 용제 증기를 회수하는 공정을 경유하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 (7)에 기재된 폴리이미드 필름의 제조 방법.(9) The method for producing a polyimide film according to (7), wherein the organic solvent in the step a is obtained through the step of recovering the solvent vapor generated in the step c.

본 발명의 유기 용제는, 예를 들어 폴리아미드산의 용액으로서 적용하였을 때의 보존 안정성을 담보함과 함께, 폴리아미드산의 저온에서의 이미드화를 억제하고, 이미드화 후의 잔존 용제량을 저감시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 유기 용제는 특정 범위의 비점을 가짐과 함께 수분량이 제어되어 있으므로, 폴리이미드 필름의 물성을 저하시키지 않고 폴리이미드 필름을 제조할 수 있다. 또한, 사용 완료된 유기 용제를 반복하여 재이용하는 것이 가능하므로 제조 비용을 대폭 삭감할 수 있고, 환경면에서도 우수하고, 예를 들어 롤ㆍ투ㆍ롤 방식 등의 연속 생산에 있어서 높은 수율로의 제조가 가능하고, 공업적으로 이용 가치가 높다. 금속 피복 적층판을 제조함에 있어서 폴리이미드층의 헤이즈의 상승을 억제할 수 있으므로, 예를 들어 FPC의 실장 공정 등에서 폴리이미드층에 광을 투과시켰을 때의 확산을 억제하고, 카메라로 인식할 수 있는 폴리이미드층으로 할 수 있다.The organic solvent of the present invention ensures storage stability when applied, for example, as a solution of polyamic acid, suppresses imidization of polyamic acid at low temperature, and reduces the amount of residual solvent after imidization. can In addition, since the organic solvent of the present invention has a boiling point in a specific range and a water content is controlled, a polyimide film can be produced without reducing the physical properties of the polyimide film. In addition, since it is possible to repeatedly reuse the used organic solvent, the manufacturing cost can be significantly reduced, and it is excellent in terms of environment, and for example, production with high yield in continuous production such as roll-to-roll method possible, and has high industrial use value. Since it is possible to suppress the rise of the haze of the polyimide layer in manufacturing the metal-clad laminate, for example, when light is transmitted through the polyimide layer in the FPC mounting process, diffusion is suppressed, and the polyimide that can be recognized by the camera is suppressed. It can be done as a mid-layer.

이어서, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명한다.Next, an embodiment of the present invention will be described.

[유기 용제][Organic solvent]

본 실시 형태의 유기 용제는 하기의 성분 A 및 B;The organic solvent of this embodiment is the following components A and B;

A) 1기압 하에서의 비점이 200℃ 이하인 비프로톤성 극성 용제;A) an aprotic polar solvent having a boiling point of 200° C. or less under 1 atm;

B) 물B) water

을 함유한다.contains

<성분 A><Component A>

성분 A는 1기압 하에서의 비점이 200℃ 이하인 비프로톤성 극성 용제이지만, 물과의 상용성과 함수량의 제어의 용이함으로부터, 비점의 하한값이 120℃ 이상인 것이 바람직하다. 비점이 200℃ 이하이면 예를 들어 폴리아미드산을 이미드화하는 과정에서 계외로 방출되기 쉽고, 이미드화 후의 폴리이미드 필름에 포함되는 비프로톤성 극성 용제의 함유량을 저감시킬 수 있다. 비프로톤성 극성 용제의 잔존량은 폴리아미드산의 이미드화의 비율과 밀접한 관계가 있고, 비프로톤성 극성 용제의 비율이 이미드화의 비율에 대하여 많으면, 비프로톤성 극성 용제가 가소제로서 기능하고, 분자쇄의 재컨포메이션화가 일어남으로써, 필름화하였을 때의 헤이즈가 상승한다고 생각된다. 따라서, 비점이 200℃를 초과하는 비프로톤성 극성 용제는 이미드화 시에 잔존하기 쉽고, 헤이즈가 높아지므로, 비프로톤성 극성 용제의 비점을 200℃ 이하로 하여 헤이즈의 상승을 억제한다.Component A is an aprotic polar solvent having a boiling point of 200° C. or less under 1 atm. From the viewpoint of compatibility with water and ease of control of water content, it is preferable that the lower limit of the boiling point is 120° C. or more. If the boiling point is 200° C. or less, for example, the polyamic acid is easily released out of the system in the process of imidization, and the content of the aprotic polar solvent contained in the polyimide film after imidization can be reduced. The residual amount of the aprotic polar solvent is closely related to the imidation ratio of polyamic acid, and when the ratio of the aprotic polar solvent is large with respect to the imidation ratio, the aprotic polar solvent functions as a plasticizer, It is thought that the haze at the time of film-forming rises because reconformation of a molecular chain occurs. Therefore, the aprotic polar solvent having a boiling point of more than 200°C tends to remain at the time of imidization, and the haze is high.

성분 A인 비프로톤성 극성 용제의 구체예로서는, 예를 들어 N,N-디메틸포름아미드(비점; 153℃), N,N-디메틸아세트아미드(비점; 166℃), 디메틸술폭시드(비점; 189℃), N,N-디에틸아세트아미드(비점; 168℃), 2-부타논(비점; 79℃), N-메틸 카프로락탐(비점; 106℃), 시클로헥사논(비점; 155℃), 디옥산(비점; 101℃), 테트라히드로푸란(비점; 66℃), 디글라임(비점; 162℃) 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 폴리아미드산의 수지막의 물성 제어의 용이성의 관점에서, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, 디메틸술폭시드가 바람직하고, N,N-디메틸아세트아미드가 보다 바람직하다.As a specific example of the aprotic polar solvent which is component A, For example, N,N- dimethylformamide (boiling point; 153 degreeC), N,N- dimethylacetamide (boiling point; 166 degreeC), dimethyl sulfoxide (boiling point; 189). ° C), N,N-diethylacetamide (boiling point; 168 ° C.), 2-butanone (boiling point; 79 ° C.), N-methyl caprolactam (boiling point; 106 ° C.), cyclohexanone (boiling point; 155 ° C.) , dioxane (boiling point; 101° C.), tetrahydrofuran (boiling point; 66° C.), diglyme (boiling point; 162° C.), and the like. Among these, N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide and dimethylsulfoxide are preferable, and N,N-dimethylacetamide is more preferable from the viewpoint of easiness of controlling the physical properties of the resin film of polyamic acid. .

비프로톤성 극성 용제는 본 발명에 관한 유기 용제의 주성분으로서 함유하고, 가스 크로마토그래피에 의해 측정되는 농도가 50% 이상이다. 수분량의 제어의 용이성의 관점에서, 바람직하게는 99% 이상, 보다 바람직하게는 99.5% 이상, 더욱 바람직하게는 99.99% 이상인 것이 좋다. 또한, 여기서의 농도를 나타내는 %는 특별히 언급하지 않는 한 중량%를 나타낸다.The aprotic polar solvent is contained as a main component of the organic solvent which concerns on this invention, and the density|concentration measured by gas chromatography is 50 % or more. From the viewpoint of easiness of controlling the moisture content, it is preferably 99% or more, more preferably 99.5% or more, still more preferably 99.99% or more. In addition, unless otherwise indicated, % which shows a density|concentration here shows weight%.

본 발명의 유기 용제에서는, 성분 A 이외의 용제를 포함하도록 해도 된다. 이러한 성분 A 이외의 용제로서, 예를 들어 N-메틸-2-피롤리돈, 헥사메틸포스포르아미드, 황산디메틸, 트리글라임, 크레졸 등을 들 수 있다. 이들 용제가 2종 이상 혼합되어 있어도 되고, 나아가 크실렌, 톨루엔과 같은 방향족 탄화수소가 혼합되어 있어도 된다.In the organic solvent of this invention, you may make it contain solvents other than the component A. Examples of the solvent other than the component A include N-methyl-2-pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, dimethyl sulfate, triglyme, and cresol. Two or more types of these solvents may be mixed, Furthermore, aromatic hydrocarbons like xylene and toluene may be mixed.

<성분 B><Component B>

본 발명의 유기 용제에 있어서, 성분 B의 물은 칼 피셔법에 의해 측정되는 함유량이 40 내지 500ppm의 범위 내이고, 바람직하게는 40 내지 450ppm의 범위 내, 보다 바람직하게는 40 내지 400ppm의 범위 내가 좋다. 이러한 범위 내로 제어함으로써, 예를 들어 폴리아미드산을 이미드화하는 과정에서 폴리아미드산의 가수분해가 생기기 어려워지고, 또한 폴리아미드산의 아미드기에 배위 가능한 물 분자가 존재함으로써, 폴리아미드산의 저온에서의 폐환 반응이 저해되기 쉬워지므로, 결과적으로 이미드화 온도를 높일 수 있다고 생각된다. 이 때문에, 폴리아미드산의 이미드화의 진행에 따라 비프로톤성 극성 용제의 잔존량을 저감시킬 수 있어, 필름화하였을 때의 헤이즈 상승을 억제할 수 있다고 생각된다.In the organic solvent of the present invention, the content of water of component B as measured by the Karl Fischer method is within the range of 40 to 500 ppm, preferably within the range of 40 to 450 ppm, more preferably within the range of 40 to 400 ppm good. By controlling within this range, for example, hydrolysis of the polyamic acid in the process of imidization of the polyamic acid is less likely to occur, and water molecules capable of coordinating to the amide group of the polyamic acid exist at low temperature of the polyamic acid. Since the ring-closure reaction of For this reason, with advancing of imidation of polyamic acid, the residual amount of an aprotic polar solvent can be reduced, and it is thought that the haze raise at the time of film-forming can be suppressed.

본 실시 형태의 유기 용제는 테트라카르복실산 무수물 성분과 디아민 성분을 혼합하고, 중합시켜 폴리아미드산을 얻기 위해 이용되는 용제로서 적합하게 사용되며, 폴리아미드산을 이미드화하여 폴리이미드로 한다. 즉, 본 발명에 관한 유기 용제와, 테트라카르복실산 무수물 성분과, 디아민 성분을 함유하여 혼합 용액을 형성하고, 이러한 실시 형태의 유기 용제는 테트라카르복실산 무수물 성분으로부터 유도되는 테트라카르복실산 무수물 잔기 및 디아민 성분으로부터 유도되는 디아민 잔기로 이루어지는 전체 모노머 잔기에 대하여, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기(이하, 「비페닐 골격 함유 잔기」라고 기재하는 경우가 있음)의 비율이 높은 폴리이미드를 포함하는 폴리이미드층을 갖는 폴리이미드 필름의 제조에 적합하게 사용할 수 있다.The organic solvent of this embodiment is suitably used as a solvent used in order to mix and superpose|polymerize a tetracarboxylic-acid anhydride component and a diamine component, and to obtain a polyamic acid, and imidate a polyamic acid, and let it be a polyimide. That is, the organic solvent according to the present invention, the tetracarboxylic acid anhydride component, and the diamine component are included to form a mixed solution, and the organic solvent of this embodiment is a tetracarboxylic acid anhydride derived from the tetracarboxylic acid anhydride component. A polyimide having a high ratio of monomer residues having a biphenyl skeleton (hereinafter, sometimes referred to as "biphenyl skeleton-containing residues") to all monomer residues consisting of residues and diamine residues derived from the diamine component. It can be used suitably for manufacture of the polyimide film which has a polyimide layer.

그 중에서도 테트라카르복실산 무수물 성분 및 디아민 성분에서 유래하는 전체 모노머 성분 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머를 40몰% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 50몰% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 즉, 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대하여, 비페닐 골격 함유 잔기의 비율이 바람직하게는 40몰% 이상, 보다 바람직하게는 50몰% 이상이 좋다. 여기서 「산 무수물 잔기」라 함은, 테트라카르복실산 무수물로부터 유도된 4가의 기를 의미하고, 「디아민 잔기」라 함은, 디아민 화합물로부터 유도된 2가의 기를 의미한다.Among all the monomer components derived from a tetracarboxylic-acid anhydride component and a diamine component, it is preferable to contain 40 mol% or more of the monomer which has a biphenyl skeleton, and it is more preferable to contain 50 mol% or more. That is, the ratio of the biphenyl skeleton-containing residues to all the monomer residues derived from all the monomer components constituting the polyimide is preferably 40 mol% or more, more preferably 50 mol% or more. Here, "acid anhydride residue" means a tetravalent group derived from tetracarboxylic acid anhydride, and "diamine residue" means a divalent group derived from a diamine compound.

비페닐 골격 함유 잔기의 비율이 높은 폴리이미드는 질서 구조를 형성하기 쉽고, 이러한 폴리이미드를 포함하는 폴리이미드층을 갖는 폴리이미드 필름은 헤이즈가 상승하기 쉽고, 시인성이 저하되기 쉽다. 또한, 폴리아미드산을 이미드화하는 공정에서의 비프로톤성 극성 용제의 잔존량이 많을수록 질서 구조가 형성되기 쉽다고 생각된다. 이 이유로서, 비프로톤성 극성 용제가 가소제로서 기능하고, 비페닐 골격 부분의 재컨포메이션화가 일어나는 것이 영향을 주고 있는 것으로 추정된다. 이 때문에, 이미드화 후의 비프로톤성 극성 용제의 잔존량을 제어하는 것은 폴리이미드 필름의 헤이즈를 제어하는 데 중요하다.A polyimide with a high ratio of a biphenyl skeleton-containing residue tends to form an ordered structure, and the polyimide film which has a polyimide layer containing such a polyimide tends to raise a haze and fall easily in visibility. Moreover, it is thought that an ordered structure is easy to form, so that there is much residual amount of the aprotic polar solvent in the process of imidating a polyamic acid. For this reason, it is estimated that an aprotic polar solvent functions as a plasticizer, and the reconformation of a biphenyl skeleton part is having an influence. For this reason, controlling the residual amount of the aprotic polar solvent after imidation is important for controlling the haze of a polyimide film.

비페닐 골격 함유 잔기의 비율이 높은 폴리이미드를 포함하는 폴리이미드층은, 예를 들어 금속 피복 적층판을 제조하는데 있어서의 폴리이미드층에서, 주된 층으로서 폴리이미드 필름을 구성하는 것이 바람직하다. 여기서 「주된」이라 함은, 폴리이미드 필름을 구성하는 복수의 폴리이미드층에 있어서 가장 큰 두께를 갖는 것을 의미하며, 바람직하게는 폴리이미드 필름의 전체 두께에 대하여 50% 이상, 보다 바람직하게는 60% 이상의 두께를 갖는 것을 말한다.The polyimide layer containing a polyimide with a high ratio of a biphenyl skeleton containing residue is a polyimide layer in manufacturing a metal clad laminated board, for example, WHEREIN: It is preferable to comprise a polyimide film as a main layer. Here, "main" means having the largest thickness in a plurality of polyimide layers constituting the polyimide film, preferably 50% or more, more preferably 60% with respect to the total thickness of the polyimide film. % or more.

또한 비페닐 골격이라 함은, 하기의 식 (a)에 나타내는 바와 같이 두 페닐기가 단결합한 골격이다. 따라서 비페닐 골격 함유 잔기라 함은, 예를 들어 비페닐디일기, 비페닐테트라일기 등을 들 수 있다. 이들 잔기에 포함되는 방향환은 임의의 치환기를 갖고 있어도 된다.In addition, the biphenyl skeleton is a skeleton in which two phenyl groups are single bonded as shown in the following formula (a). Therefore, as a biphenyl skeleton containing residue, a biphenyldiyl group, a biphenyltetrayl group, etc. are mentioned, for example. The aromatic ring contained in these residues may have arbitrary substituents.

비페닐디일기의 대표예로서는, 하기의 식 (b)로 표시되는 것을 들 수 있다. 비페닐테트라일기의 대표예로서는, 하기의 식 (c)로 표시되는 것을 들 수 있다. 또한, 비페닐디일기 및 비페닐테트라일기에 있어서, 방향환에 있어서의 결합손은 식 (b) 및 식 (c)에 나타내는 위치로 한정되는 것은 아니며, 또한 상기한 바와 같이, 이들 잔기에 포함되는 방향환은 임의의 치환기를 갖고 있어도 된다.As a typical example of a biphenyldiyl group, what is represented by a following formula (b) is mentioned. Representative examples of the biphenyltetrayl group include those represented by the following formula (c). In addition, in a biphenyldiyl group and a biphenyltetrayl group, the bond in an aromatic ring is not limited to the position shown in Formula (b) and Formula (c), Moreover, as mentioned above, it is contained in these residues. The aromatic ring used may have arbitrary substituents.

Figure pat00002
Figure pat00002

비페닐 골격 함유 잔기는 원료 모노머에서 유래하는 구조이며, 테트라카르복실산 무수물로부터 유도되는 것이어도 되고, 디아민 화합물로부터 유도되는 것이어도 되고, 양자로부터 비페닐 골격 함유 잔기가 유도되어도 된다.The biphenyl skeleton-containing residue is a structure derived from a raw material monomer, and may be derived from tetracarboxylic anhydride, may be derived from a diamine compound, or may be derived from both.

폴리이미드에 포함되는 디아민 잔기로서는, 일반식 (1)로 표시되는 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를 바람직하게 들 수 있다.As a diamine residue contained in a polyimide, the diamine residue derived from the diamine compound represented by General formula (1) is mentioned preferably.

Figure pat00003
Figure pat00003

일반식 (1)에 있어서, 연결기 Z는 단결합 혹은 -COO-를 나타내고, Y는 독립적으로 할로겐 혹은 페닐기로 치환되어도 되는 탄소수 1 내지 3의 1가의 탄화수소기 혹은 탄소수 1 내지 3의 알콕시기 또는 탄소수 1 내지 3의 퍼플루오로알킬기 혹은 알케닐기를 나타내고, n은 1 내지 2의 정수를 나타내고, p 및 q는 독립적으로 0 내지 4의 정수를 나타낸다. 여기서 「독립적으로」라 함은, 상기 식 (1)에 있어서 복수의 치환기 Y, 정수 p, q가 동일해도 되고, 상이해도 됨을 의미한다.In general formula (1), linking group Z represents a single bond or -COO-, Y is independently a C1-C3 monovalent hydrocarbon group optionally substituted with a halogen or a phenyl group, or a C1-C3 alkoxy group or carbon number A perfluoroalkyl group or an alkenyl group of 1 to 3 is represented, n is an integer of 1 to 2, p and q independently represent an integer of 0 to 4; Here, "independently" means that a plurality of substituents Y and integers p and q may be the same as or different from each other in the formula (1).

일반식 (1)로 표시되는 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기(이하, 「디아민 잔기(1)」라고 기재하는 경우가 있음)는 질서 구조를 형성하기 쉽고, 치수 안정성을 높일 수 있다. 이러한 관점에서, 디아민 잔기(1)는 폴리이미드에 포함되는 전체 디아민 잔기의 100몰부에 대하여, 20몰부 이상, 바람직하게는 70 내지 99몰부의 범위 내, 보다 바람직하게는 80 내지 99몰부의 범위 내에서 함유하는 것이 좋다.The diamine residue derived from the diamine compound represented by the general formula (1) (hereinafter, may be referred to as "diamine residue (1)") easily forms an ordered structure and can improve dimensional stability. From this point of view, the diamine residue (1) is 20 mole parts or more, preferably within the range of 70 to 99 mole parts, and more preferably within the range of 80 to 99 mole parts with respect to 100 mole parts of the total diamine residues contained in the polyimide. It is better to contain in

디아민 잔기(1)의 바람직한 구체예로서는, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB), 2,2'-디에틸-4,4'-디아미노비페닐(m-EB), 2,2'-디에톡시-4,4'-디아미노비페닐(m-EOB), 2,2'-디프로폭시-4,4'-디아미노비페닐(m-POB), 2,2'-n-프로필-4,4'-디아미노비페닐(m-NPB), 2,2'-디비닐-4,4'-디아미노비페닐(VAB), 4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-디아미노-2,2'-비스(트리플루오로메틸)비페닐(TFMB) 등의 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를 들 수 있다. 이들 중에서도 특히, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB)은 질서 구조를 형성하기 쉬우므로 특히 바람직하다.Preferred specific examples of the diamine residue (1) include 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), 2,2'-diethyl-4,4'-diaminobiphenyl ( m-EB), 2,2'-diethoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-EOB), 2,2'-dipropoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-POB) ), 2,2'-n-propyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-NPB), 2,2'-divinyl-4,4'-diaminobiphenyl (VAB), 4,4 and diamine residues derived from diamine compounds such as '-diaminobiphenyl and 4,4'-diamino-2,2'-bis(trifluoromethyl)biphenyl (TFMB). Among these, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB) is particularly preferable because it tends to form an ordered structure.

또한, 폴리이미드 필름의 탄성률을 낮추고, 신도 및 절곡 내성 등을 향상시키기 위해, 폴리이미드가 하기의 일반식 (2) 및 (3)으로 표시되는 디아민 잔기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 디아민 잔기를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, in order to lower the elastic modulus of the polyimide film and improve elongation and bending resistance, the polyimide is at least one diamine selected from the group consisting of diamine residues represented by the following general formulas (2) and (3). It is preferred to include residues.

Figure pat00004
Figure pat00004

상기 식 (2) 및 식 (3)에 있어서, R5, R6, R7 및 R8은 각각 독립적으로 할로겐 원자 혹은 탄소수 1 내지 4의 할로겐 원자로 치환되어도 되는 알킬기 혹은 알콕시기 또는 탄소수 1 내지 4의 알케닐기를 나타내고, X는 독립적으로 -O-, -S-, -CH2-, -CH(CH3)-, -C(CH3)2-, -CO-, -COO-, -SO2-, -NH- 또는 -NHCO-로부터 선택되는 2가의 기를 나타내고, X1 및 X2는 각각 독립적으로 단결합, -O-, -S-, -CH2-, -CH(CH3)-, -C(CH3)2-, -CO-, -COO-, -SO2-, -NH- 또는 -NHCO-로부터 선택되는 2가의 기를 나타내지만, X1 및 X2의 양쪽이 단결합인 경우를 제외하는 것으로 하고, j, k, l 및 m은 독립적으로 0 내지 4의 정수를 나타낸다.In the formulas (2) and (3), R 5 , R 6 , R 7 and R 8 are each independently a halogen atom or an alkyl group or an alkoxy group optionally substituted with a halogen atom having 1 to 4 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. represents an alkenyl group of, and X is independently -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -C(CH 3 ) 2 -, -CO-, -COO-, -SO 2 represents a divalent group selected from -, -NH- or -NHCO-, and X 1 and X 2 are each independently a single bond, -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )- , -C(CH 3 ) 2 -, -CO-, -COO-, -SO 2 -, -NH- or -NHCO- represents a divalent group selected from, but both X 1 and X 2 are single bonds Except for the case, j, k, l, and m independently represent an integer of 0 to 4.

또한 「독립적으로」라 함은, 상기 식 (2), (3) 중 하나에 있어서 또는 양쪽에 있어서, 복수의 연결기 X, 연결기 X1과 X2, 복수의 치환기 R5, R6, R7, R8, 또한 정수 j, k, l, m이 동일해도 되고 상이해도 됨을 의미한다. In addition, "independently" means a plurality of linking groups X, linking groups X 1 and X 2 , and a plurality of substituents R 5 , R 6 , R 7 in either or both of the formulas (2) and (3). , R 8 , and the integers j, k, l, and m may be the same as or different from each other.

일반식 (2) 및 (3)으로 표시되는 디아민 잔기는 굴곡성의 부위를 가지므로, 폴리이미드에 유연성을 부여할 수 있다. 여기서, 일반식 (3)으로 표시되는 디아민 잔기는 벤젠환이 4개이므로, 열 팽창 계수(CTE)의 증가를 억제하기 위해, 벤젠환에 결합하는 말단기는 파라 위치로 하는 것이 바람직하다. 또한, 폴리이미드에 유연성을 부여하면서 열 팽창 계수(CTE)의 증가를 억제하는 관점에서, 일반식 (2) 및 (3)으로 표시되는 디아민 잔기는 폴리이미드에 포함되는 전체 디아민 잔기의 100몰부에 대하여, 바람직하게는 2 내지 30몰부의 범위 내에서 함유하는 것이 좋다.Since the diamine residue represented by General formula (2) and (3) has a flexible site|part, flexibility can be provided to a polyimide. Here, since the diamine residue represented by General formula (3) has four benzene rings, in order to suppress an increase in the coefficient of thermal expansion (CTE), it is preferable to make the terminal group couple|bonded with a benzene ring into para position. In addition, from the viewpoint of suppressing an increase in the coefficient of thermal expansion (CTE) while imparting flexibility to the polyimide, the diamine residues represented by the general formulas (2) and (3) are added to 100 molar parts of the total diamine residues contained in the polyimide. To this, it is preferable to contain it within the range of 2 to 30 mole parts.

일반식 (2)로 표시되는 디아민 잔기는 m, n 및 o의 하나 이상이 0인 것이 바람직하고, 또한 기 R5, R6 및 R7의 바람직한 예로서는, 탄소수 1 내지 4의 할로겐 원자로 치환되어도 되는 알킬기 또는 탄소수 1 내지 3의 알콕시기 또는 탄소수 2 내지 3의 알케닐기를 들 수 있다. 또한, 일반식 (2)에 있어서 연결기 X의 바람직한 예로서는, -O-, -S-, -CH2-, -CH(CH3)-, -SO2- 또는 -CO-를 들 수 있다. 일반식 (2)로 표시되는 디아민 잔기의 바람직한 구체예로서는, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R), 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-Q), 비스(4-아미노페녹시)-2,5-디-tert-부틸벤젠(DTBAB), 4,4-비스(4-아미노페녹시)벤조페논(BAPK), 1,3-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠, 1,4-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠 등의 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를 들 수 있다.In the diamine residue represented by the general formula (2), at least one of m, n and o is preferably 0, and as a preferable example of the groups R 5 , R 6 and R 7 , which may be substituted with a halogen atom having 1 to 4 carbon atoms and an alkyl group, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkenyl group having 2 to 3 carbon atoms. Moreover, as a preferable example of the coupling group X in General formula (2), -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -SO 2 -, or -CO- is mentioned. Preferred specific examples of the diamine residue represented by the general formula (2) include 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-) Q), bis(4-aminophenoxy)-2,5-di-tert-butylbenzene (DTBAB), 4,4-bis(4-aminophenoxy)benzophenone (BAPK), 1,3-bis[ and diamine residues derived from diamine compounds such as 2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene and 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene.

일반식 (3)으로 표시되는 디아민 잔기는 m, n, o 및 p의 하나 이상이 0인 것이 바람직하고, 또한 기 R5, R6, R7 및 R8의 바람직한 예로서는, 탄소수 1 내지 4의 할로겐 원자로 치환되어도 되는 알킬기, 혹은 탄소수 1 내지 3의 알콕시기, 또는 탄소수 2 내지 3의 알케닐기를 들 수 있다. 또한, 일반식 (3)에 있어서 연결기 X1 및 X2의 바람직한 예로서는, 단결합, -O-, -S-, -CH2-, -CH(CH3)-, -SO2- 또는 -CO-를 들 수 있다. 단, 굴곡 부위를 부여하는 관점에서, 연결기 X1 및 X2의 양쪽이 단결합인 경우를 제외하는 것으로 한다. 일반식 (3)으로 표시되는 디아민 잔기의 바람직한 구체예로서는, 4,4'-비스(4-아미노페녹시)비페닐(BAPB), 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP), 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]에테르(BAPE), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰 등의 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를 들 수 있다.Diamine residue represented by the general formula (3) is preferably in the range of at least one of m, n, o and p 0, also a group of the R 5, R 6, R 7 and R 8 Preferred examples of, 1 to 4 carbon atoms and an alkyl group optionally substituted with a halogen atom, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkenyl group having 2 to 3 carbon atoms. Moreover, as a preferable example of linking group X 1 and X 2 in general formula (3), a single bond, -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -SO 2 -, or -CO - can be heard. However, from a viewpoint of providing a bending site|part , the case where both of coupler X 1 and X 2 is a single bond shall be excluded. As a preferable specific example of the diamine residue represented by General formula (3), 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl (BAPB), 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy) Derived from diamine compounds such as phenyl]propane (BAPP), 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether (BAPE), and bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone and diamine residues to be used.

일반식 (2)로 표시되는 디아민 잔기 중에서도, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R)으로부터 유도되는 디아민 잔기(「TPE-R 잔기」라고 기재하는 경우가 있음)가 특히 바람직하고, 일반식 (3)으로 표시되는 디아민 잔기 중에서도, 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP)으로부터 유도되는 디아민 잔기(「BAPP 잔기」라고 기재하는 경우가 있음)가 특히 바람직하다. TPE-R 잔기 및 BAPP 잔기는 굴곡성의 부위를 가지므로, 폴리이미드 필름의 탄성률을 저하시키고, 유연성을 부여할 수 있다. 또한, BAPP 잔기는 분자량이 크기 때문에, 폴리이미드의 이미드기 농도를 낮추고, 폴리이미드 필름의 흡습을 억제하는 효과도 기대할 수 있다.Among the diamine residues represented by the general formula (2), a diamine residue derived from 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R) (sometimes referred to as “TPE-R residue”) is Particularly preferred, among the diamine residues represented by the general formula (3), a diamine residue derived from 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP) (referred to as “BAPP residue”) may be used) is particularly preferred. Since the TPE-R residue and the BAPP residue have a flexible site, the elastic modulus of the polyimide film can be lowered and flexibility can be imparted. In addition, since the BAPP residue has a large molecular weight, the effect of lowering the imide group concentration of the polyimide and suppressing moisture absorption of the polyimide film can also be expected.

폴리이미드에 포함되는 다른 디아민 잔기로서는, 예를 들어 m-페닐렌디아민(m-PDA), 4,4'-디아미노디페닐에테르(4,4'-DAPE), 3,3'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르, 4,4'-디아미노디페닐메탄, 3,3'-디아미노디페닐메탄, 3,4'-디아미노디페닐메탄, 4,4'-디아미노디페닐프로판, 3,3'-디아미노디페닐프로판, 3,4'-디아미노디페닐프로판, 4,4'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노디페닐술피드, 3,4'-디아미노디페닐술피드, 4,4'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 4,4'-디아미노벤조페논, 3,4'-디아미노벤조페논, 3,3'-디아미노벤조페논, 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)비페닐, 비스[1-(3-아미노페녹시)]비페닐, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]메탄, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]에테르, 비스[4-(3-아미노페녹시)]벤조페논, 9,9-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]플루오렌, 2,2-비스-[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-메틸렌디-o-톨루이딘, 4,4'-메틸렌디-2,6-크실리딘, 4,4'-메틸렌-2,6-디에틸아닐린, 3,3'-디아미노디페닐에탄, 3,3'-디아미노비페닐, 3,3'-디메톡시벤지딘, 3,3''-디아미노-p-테르페닐, 4,4'-[1,4-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 4,4'-[1,3-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 비스(p-아미노시클로헥실)메탄, 비스(p-β-아미노-t-부틸페닐)에테르, 비스(p-β-메틸-δ-아미노펜틸)벤젠, p-비스(2-메틸-4-아미노펜틸)벤젠, p-비스(1,1-디메틸-5-아미노펜틸)벤젠, 1,5-디아미노나프탈렌, 2,6-디아미노나프탈렌, 2,4-비스(β-아미노-t-부틸)톨루엔, 2,4-디아미노톨루엔, m-크실렌-2,5-디아민, p-크실렌-2,5-디아민, m-크실릴렌디아민, p-크실릴렌디아민, 2,6-디아미노피리딘, 2,5-디아미노피리딘, 2,5-디아미노-1,3,4-옥사디아졸, 피페라진 등의 방향족 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를 들 수 있다.Examples of other diamine residues contained in the polyimide include m-phenylenediamine (m-PDA), 4,4'-diaminodiphenyl ether (4,4'-DAPE), 3,3'-diamino Diphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4, 4'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,4'-diaminodiphenylpropane, 4,4'-diaminodiphenylsulfide, 3,3'-diamino Diphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3 ,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminobenzophenone, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, bis[4-(3-aminophenoxy) Phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)biphenyl, bis[1-(3-aminophenoxy)]biphenyl, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[ 4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2, 2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl -4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6- Diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3''-diamino-p-terphenyl, 4, 4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, 4,4'-[1,3-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, bis( p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl) )benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis(β-amino-t-butyl) toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2, 5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole and diamine residues derived from aromatic diamine compounds such as piperazine and the like.

폴리이미드에 포함되는 테트라카르복실산 잔기로서는 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 피로멜리트산 이무수물(PMDA)로부터 유도되는 테트라카르복실산 잔기(이하, PMDA 잔기라고도 함), 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물(BPDA)로부터 유도되는 테트라카르복실산 잔기(이하, BPDA 잔기라고도 함)를 바람직하게 들 수 있다. 이들 테트라카르복실산 잔기는 질서 구조를 형성하기 쉽다. 또한, PMDA 잔기는 열 팽창 계수의 제어와 유리 전이 온도의 제어의 역할을 담당하는 잔기이다. 또한, BPDA 잔기는 테트라카르복실산 잔기 중에서도 극성기가 없고 비교적 분자량이 크기 때문에, 폴리이미드의 이미드기 농도를 낮추고, 폴리이미드 필름의 흡습을 억제하는 효과도 기대할 수 있다.Although there is no restriction|limiting in particular as a tetracarboxylic acid residue contained in polyimide, For example, tetracarboxylic acid residue derived from pyromellitic dianhydride (PMDA) (hereinafter also referred to as PMDA residue), 3,3',4 A tetracarboxylic acid residue derived from ,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) (hereinafter also referred to as a BPDA residue) is preferably used. These tetracarboxylic acid residues tend to form an ordered structure. In addition, the PMDA residue is a residue responsible for the control of the coefficient of thermal expansion and the control of the glass transition temperature. Moreover, since the BPDA residue has no polar group among the tetracarboxylic acid residues and has a relatively large molecular weight, the effect of lowering the imide group concentration of the polyimide and suppressing moisture absorption of the polyimide film can also be expected.

이러한 관점에서, PMDA 잔기 및/또는 BPDA 잔기의 합계량이, 폴리이미드에 포함되는 전체 테트라카르복실산 잔기의 100몰부에 대하여 바람직하게는 50몰부 이상, 보다 바람직하게는 50 내지 100몰부의 범위 내, 가장 바람직하게는 70 내지 100몰부의 범위 내인 것이 좋다.From this point of view, the total amount of PMDA residues and/or BPDA residues is preferably 50 mol parts or more, more preferably 50 to 100 parts by mol relative to 100 mol parts of all tetracarboxylic acid residues contained in the polyimide, Most preferably, it is in the range of 70 to 100 molar parts.

폴리이미드에 포함되는 다른 테트라카르복실산 잔기로서는, 예를 들어 2,3',3,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-옥시디프탈산 무수물, 2,2',3,3'-, 2,3,3',4'- 또는 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,3',3,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)에테르 이무수물, 3,3'',4,4''-, 2,3,3'',4''- 또는 2,2'',3,3''-p-테르페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)-프로판 이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)메탄 이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)술폰 이무수물, 1,1-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)에탄 이무수물, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- 또는 1,2,9,10-페난트렌-테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-안트라센테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)테트라플루오로프로판 이무수물, 2,3,5,6-시클로헥산 이무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 1,4,5,8-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 4,8-디메틸-1,2,3,5,6,7-헥사히드로나프탈렌-1,2,5,6-테트라카르복실산 이무수물, 2,6- 또는 2,7-디클로로나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-(또는 1,4,5,8-)테트라클로로나프탈렌-1,4,5,8-(또는 2,3,6,7-)테트라카르복실산 이무수물, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- 또는 5,6,11,12-페릴렌-테트라카르복실산 이무수물, 시클로펜탄-1,2,3,4-테트라카르복실산 이무수물, 피라진-2,3,5,6-테트라카르복실산 이무수물, 피롤리딘-2,3,4,5-테트라카르복실산 이무수물, 티오펜-2,3,4,5-테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-비스(2,3-디카르복시페녹시)디페닐메탄 이무수물 등의 방향족 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도되는 테트라카르복실산 잔기를 들 수 있다.Examples of the other tetracarboxylic acid residue contained in the polyimide include 2,3',3,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 2,2',3,3'-biphenyltetracarboxyl. Acid dianhydride, 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 2,2',3,3'-, 2,3,3 ',4'- or 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis(2,3 -dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 3,3'', 4,4''-, 2,3,3'', 4''- or 2,2'', 3,3''-p-ter Phenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride , bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 1,1-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,2,7,8 -, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5 ,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1 ,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7- ( Or 1,4,5,8-) tetrachloronaphthalene-1,4,5,8- (or 2,3,6,7-) tetracarboxylic dianhydride, 2,3,8,9-, 3 ,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5,6,11,12-perylene-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5- tetracarboxylic acid and tetracarboxylic acid residues derived from aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as dianhydride and 4,4'-bis(2,3-dicarboxyphenoxy)diphenylmethane dianhydride.

폴리이미드에 있어서, 상기 테트라카르복실산 잔기 및 디아민 잔기의 종류나, 2종 이상의 테트라카르복실산 잔기 또는 디아민 잔기를 적용하는 경우의 각각의 몰비를 선정함으로써, 열 팽창 계수, 저장 탄성률, 인장 탄성률 등을 제어할 수 있다. 또한, 폴리이미드의 구조 단위를 복수 갖는 경우에는, 블록으로서 존재해도 되고, 랜덤하게 존재해도 되지만, 면 내의 변동을 억제하는 관점에서 랜덤하게 존재하는 것이 바람직하다.Polyimide WHEREIN: By selecting the type of the said tetracarboxylic acid residue and a diamine residue, and each molar ratio in the case of applying 2 or more types of tetracarboxylic acid residue or a diamine residue, a thermal expansion coefficient, a storage modulus, and a tensile modulus of elasticity etc can be controlled. Moreover, when it has two or more structural units of a polyimide, although it may exist as a block and may exist randomly, it is preferable to exist randomly from a viewpoint of suppressing in-plane fluctuation|variation.

[폴리이미드 필름의 제조 방법][Method for producing polyimide film]

본 실시 형태의 폴리이미드 필름의 제조 방법은 하기의 공정 a 내지 d;The manufacturing method of the polyimide film of this embodiment is following process a-d;

a) 본 발명에 관한 유기 용제와, 테트라카르복실산 무수물 성분과, 디아민 성분을 함유하는 혼합 용액을 준비하는 공정과,a) the process of preparing the mixed solution containing the organic solvent which concerns on this invention, a tetracarboxylic-acid anhydride component, and a diamine component;

b) 상기 혼합 용액 중에서, 상기 테트라카르복실산 무수물 성분과 상기 디아민 성분을 반응시켜 폴리아미드산의 용액을 얻는 공정과,b) a step of reacting the tetracarboxylic anhydride component and the diamine component in the mixed solution to obtain a solution of polyamic acid;

c) 기재 상에 상기 폴리아미드산의 용액을 도포하고, 건조시킴으로써, 상기 폴리아미드산의 수지막을 형성하는 공정과,c) forming a resin film of the polyamic acid by applying the polyamic acid solution on a substrate and drying;

d) 상기 수지막을 열처리하고, 상기 폴리아미드산을 이미드화함으로써, 폴리이미드 필름을 얻는 공정d) a step of heat-treating the resin film and imidizing the polyamic acid to obtain a polyimide film

을 구비할 수 있다.can be provided.

<공정 a><Process a>

공정 a에서 사용하는 유기 용제는 상기 성분 A 및 B를 함유하는 것이다.The organic solvent used in the process a contains the said components A and B.

<공정 b><Process b>

공정 b에서는, 예를 들어 테트라카르복실산 무수물과 디아민 화합물을 거의 등몰로 유기 용제에 용해하여, 0 내지 100℃의 범위 내의 온도에서 30분 내지 24시간 교반해 중합 반응시켜, 폴리아미드산의 용액을 얻는다. 반응 시에는, 생성되는 폴리아미드산이 용매 중에 5 내지 30질량%의 범위 내, 바람직하게는 10 내지 20질량%의 범위 내가 되도록 반응 성분을 용해한다.In step b, for example, a tetracarboxylic anhydride and a diamine compound are dissolved in an organic solvent in approximately equimolar amounts, stirred at a temperature within the range of 0 to 100°C for 30 minutes to 24 hours, and polymerization reaction is performed, and a solution of polyamic acid get In the case of reaction, a reaction component is melt|dissolved so that the polyamic acid produced|generated may become in the range of 5-30 mass % in a solvent, Preferably it exists in the range of 10-20 mass %.

폴리아미드산의 용액의 점도는 500cps 내지 100,000cps의 범위 내인 것이 바람직하다. 이 범위를 벗어나면, 코터 등에 의한 도공 작업 시에 필름에 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬워진다.The viscosity of the solution of polyamic acid is preferably in the range of 500 cps to 100,000 cps. When it deviates from this range, it will become easy to generate|occur|produce defects, such as thickness nonuniformity and a stripe, in a film at the time of the coating operation by a coater etc.

<공정 c 및 공정 d><Process c and process d>

공정 b에서 얻어진 폴리아미드산의 용액을 기재 상에 도포하고, 그 후의 열처리로 건조 및 이미드화(또는 경화)된다. 열처리의 방법은, 일반적으로는, 예를 들어 80 내지 400℃의 범위 내의 온도 조건에서 1 내지 60분간의 범위 내의 시간 가열하는 등의 열처리가 적합하게 채용된다. 그때 폴리아미드산의 이미드화를 진행시키기 위해서는, 용해 또는 혼화하는 유기 용제를 증발시키는 열처리와, 폴리아미드산에 배위된 유기 용제를 계외로 방출시키는 열처리가 필요하게 된다.The polyamic acid solution obtained in step b is applied on a substrate, and then dried and imidized (or cured) by heat treatment. As the method of heat treatment, generally, heat treatment such as heating for a period of time within a range of 1 to 60 minutes under a temperature condition within a range of 80 to 400°C is suitably employed. At that time, in order to advance imidization of the polyamic acid, a heat treatment for evaporating the organic solvent to be dissolved or miscible and a heat treatment for releasing the organic solvent coordinated with the polyamic acid to the outside of the system are required.

공정 c에서 폴리아미드산의 수지막을 형성한 후, 기재 상에서 이미드화해도 되고, 기재로부터 수지막을 박리하고, 이미드화해도 된다. 또한, 폴리이미드 필름이 복수층의 폴리이미드층을 포함하는 폴리이미드 필름인 경우, 그의 제조 방법의 양태로서는, 예를 들어 기재 상에 폴리아미드산의 용액을 도포ㆍ건조하는 것을 복수회 반복한 후, 이미드화를 행하는 방법(이하, 캐스트법), 다층 압출에 의해, 동시에 폴리아미드산을 다층으로 적층한 상태에서 도포ㆍ건조시킨 후, 이미드화를 행하는 방법(이하, 다층 압출법) 등을 들 수 있다.After forming the resin film of polyamic acid in the process c, you may imidate on a base material, and you may peel a resin film from a base material, and may imidate it. In the case where the polyimide film is a polyimide film including a plurality of polyimide layers, as an aspect of the method for producing the polyimide film, for example, applying and drying a solution of polyamic acid on a substrate is repeated a plurality of times. , a method of imidization (hereinafter, the casting method), a method of imidization after coating and drying in a state in which polyamic acid is simultaneously laminated in multiple layers by multilayer extrusion (hereinafter, the multilayer extrusion method), etc. can

폴리이미드 필름이 단층 또는 복수층 중 어느 것인 경우에도, 기재 상에서 폴리아미드산의 이미드화를 완결시키는 것이 바람직하다. 폴리아미드산의 수지막이 기재에 고정된 상태에서 이미드화되므로, 이미드화 과정에 있어서의 폴리이미드층의 신축 변화를 억제하여 폴리이미드 필름의 두께나 치수 정밀도를 유지할 수 있다.Even when the polyimide film is a single layer or a multiple layer, it is preferable to complete imidization of the polyamic acid on the substrate. Since the resin film of polyamic acid is imidated while being fixed to the base material, it is possible to suppress the expansion/contraction change of the polyimide layer in the imidization process, and to maintain the thickness and dimensional accuracy of the polyimide film.

<기재><Reference>

공정 c에서 사용되는 기재에 대해서는, 폴리이미드 필름(또는 폴리이미드층)을 보강할 목적과, 폴리이미드 필름의 신축 변화를 억제하여 치수 정밀도를 유지할 목적으로 사용되는 것이다. 또한, 기재는 폴리아미드산의 용액이 도포되는 대상이 되며, 커트 시트상, 롤상 또는 엔드리스 벨트상 등의 형상을 사용할 수 있다. 생산성을 얻기 위해서는 롤상 또는 엔드리스 벨트상의 형태로 하고, 연속 생산 가능한 형식으로 하는 것이 효율적이다. 또한, 폴리이미드 필름의 치수 정밀도의 개선 효과를 보다 크게 발현시키는 관점에서, 지지 기재는 긴 형상으로 형성된 롤상인 것이 바람직하다.About the base material used in process c, it is used for the objective of reinforcing a polyimide film (or a polyimide layer), and suppressing the expansion-contraction change of a polyimide film, and maintaining dimensional accuracy. In addition, the base material becomes the object to which the solution of polyamic acid is apply|coated, and shapes, such as a cut sheet form, a roll form, or an endless belt form, can be used. In order to obtain productivity, it is efficient to set it as the form of roll form or endless belt form, and set it as the form which can produce continuously. Moreover, it is preferable that the support base material is roll shape formed in the elongate shape from a viewpoint of expressing the improvement effect of the dimensional accuracy of a polyimide film more largely.

기재의 재질로서는, 금속, 세라믹스, 수지, 탄소 등 내열성이 있는 것을 들 수 있지만, 열전도성이나 유연성의 관점에서 금속이 바람직하다. 따라서, 기재로서는 금속의 필름, 예를 들어 구리박, 알루미늄박, 스테인리스박, 철 박, 은박, 금박, 아연박, 인듐박, 주석박, 지르코늄박, 탄탈박, 티타늄박, 코발트박 및 이들의 합금박을 들 수 있다. 폴리이미드 필름을 회로 배선 기판의 절연층으로서 적용하고, 또한 기재를 회로 배선 기판의 배선층으로서 적용하는 경우에는, 기재는 구리박 또는 구리 합금박이 바람직하다. 또한, 폴리이미드 필름을 기재로부터 박리하여 사용하는 경우에는, 기재로서는, 평활한 스테인리스 벨트나 스테인리스 드럼 등이 적합하게 사용 가능하다.Examples of the material of the base material include metals, ceramics, resins, and those having heat resistance such as carbon, but metals are preferred from the viewpoint of thermal conductivity and flexibility. Therefore, as a base material, metal films, for example, copper foil, aluminum foil, stainless steel foil, iron foil, silver foil, gold foil, zinc foil, indium foil, tin foil, zirconium foil, tantalum foil, titanium foil, cobalt foil, and these alloy foil is mentioned. When a polyimide film is applied as an insulating layer of a circuit wiring board and a base material is applied as a wiring layer of a circuit wiring board, copper foil or copper alloy foil is preferable as a base material. In addition, when peeling and using a polyimide film from a base material, a smooth stainless steel belt, a stainless drum, etc. can be used suitably as a base material.

기재로서의 금속박의 두께는 예를 들어 5 내지 35㎛의 범위 내가 바람직하고, 9 내지 18㎛의 범위 내가 보다 바람직하다. 금속박이 35㎛보다 두꺼우면, 폴리이미드층 및 금속박층을 포함하는 적층체로서의 굴곡성이나 절곡성이 나빠진다. 한편, 금속박이 5㎛보다 얇으면, 적층체로서의 제조 공정에 있어서 장력 등의 조정이 곤란해지고, 주름 등의 불량이 발생하기 쉬워진다. 또한, 이들 금속박은 접착력 등의 향상을 목적으로 하여, 그의 표면에 화학적 혹은 기계적인 표면 처리를 실시해도 되고, 방청을 목적으로 하는 화학적인 표면 처리를 실시해도 된다.The inside of the range of 5-35 micrometers is preferable, for example, and, as for the thickness of the metal foil as a base material, the inside of the range of 9-18 micrometers is more preferable. When metal foil is thicker than 35 micrometers, the flexibility and bendability as a laminated body containing a polyimide layer and a metal foil layer will worsen. On the other hand, when metal foil is thinner than 5 micrometers, in the manufacturing process as a laminated body, adjustment of tension|tensile_strength etc. becomes difficult, and it will become easy to produce defects, such as wrinkles. Moreover, these metal foils may give chemical or mechanical surface treatment to the surface for the purpose of improvement, such as adhesive force, and may give chemical surface treatment for the purpose of rust prevention.

<유기 용제의 회수ㆍ재이용><Recovery and Reuse of Organic Solvents>

공정 c에서 발생한 용제 증기로부터 유기 용제를 회수하는 공정을 갖는 것이 바람직하다. 유기 용제의 회수는, 폴리아미드산의 용액을 도포한 후의 건조에 의해 발생된 용제 증기로부터 유기 용제를 회수하는 것에 의해 행하지만, 공정 d의 열처리 공정에서 발생한 용제 증기로부터도 유기 용제를 회수해도 된다. 이와 같이 회수한 용제는 공정 a의 유기 용제로서 재이용한다.It is preferable to have a process of recovering|recovering the organic solvent from the solvent vapor|steam generated in process c. The organic solvent is recovered by recovering the organic solvent from the solvent vapor generated by drying after applying the polyamic acid solution, but the organic solvent may also be recovered from the solvent vapor generated in the heat treatment step of step d. . The solvent recovered in this way is reused as the organic solvent in step a.

용제 증기를 회수ㆍ재이용하는 방법으로는 특별히 제한되지는 않지만, 예를 들어 냉각법, 활성탄ㆍ제올라이트 등의 고체 흡착제를 사용하는 흡착법, 액체상 난 휘발성 용제를 사용하는 흡착법, 물을 사용하는 흡수법 등을 들 수 있다. 또한, 일반적인 용제 회수 장치를 사용할 수 있고, 예를 들어 다중 효용 증기식 용제 회수 장치, 히트 펌프식 용제 회수 장치, 히트 펌프식 다중 효용형 농축 장치, 증발 농축 장치 등을 들 수 있다.The method for recovering and reusing the solvent vapor is not particularly limited, but for example, a cooling method, an adsorption method using a solid adsorbent such as activated carbon or zeolite, an adsorption method using a liquid non-volatile solvent, an absorption method using water, etc. can be heard Moreover, a general solvent recovery apparatus can be used, for example, a multiple effect vapor type solvent recovery apparatus, a heat pump type solvent recovery apparatus, a heat pump type multiple effect type concentration apparatus, an evaporation concentration apparatus, etc. are mentioned.

용제 증기는 친수성이며 물에 용해되기 쉽고, 물보다 고비점이며 물의 증기압보다 작으므로 물보다 증발되기 쉽고, 물과 공비점을 갖지 않는다는 관점에서, 용제 증기로부터 용제를 회수하는 공정은 용제 증기에 포함되는 수용성 물질을 물에 용해시키는 공정을 포함하는 것이 바람직하다. 회수액은, 외부로부터 공급되는 열 에너지에 의해 증기압이 높은 물을 증발시키고, 회수액을 농축할 수 있다. 열 에너지는 용제 증기의 열을 이용하는 것이 바람직하지만, 용제 증기가 저온인 경우에는 가열기 등에 의한 열을 이용해도 된다. 농축된 회수액은 필요에 따라 산 처리나 알칼리 처리, 활성탄 처리 등을 행해도 된다.Solvent vapor is hydrophilic and easily soluble in water, has a higher boiling point than water and is less than the vapor pressure of water, so it is easier to evaporate than water. It is preferable to include a step of dissolving the water-soluble substance to be used in water. The recovered solution can be concentrated by evaporating water having a high vapor pressure by thermal energy supplied from the outside. As the thermal energy, it is preferable to use the heat of the solvent vapor, but when the solvent vapor is low temperature, heat by a heater or the like may be used. The concentrated recovered liquid may be subjected to acid treatment, alkali treatment, activated carbon treatment, or the like as necessary.

또한, 농축된 회수액은 예를 들어 증류 등의 정제에 의해, 공정 a에서의 원료의 유기 용제로서 재생하여 재이용할 수 있다.In addition, the concentrated recovery liquid can be regenerated and reused as an organic solvent of the raw material in step a by purification such as distillation, for example.

재이용한 용제를 포함하는 유기 용제를 사용하는 경우, 원료가 되는 유기 용제의 50체적% 이상이 재이용 용제인 것이 바람직하다. 원료가 되는 유기 용제에서 차지하는 재이용 용제의 비율을 50체적% 이상으로 함으로써 비용 장점이 증대된다.When using the organic solvent containing the recycled solvent, it is preferable that 50 volume% or more of the organic solvent used as a raw material is a recycled solvent. When the ratio of the reused solvent to the organic solvent used as a raw material shall be 50 volume% or more, a cost advantage increases.

실시예Example

이하에 실시예를 나타내어 본 발명의 특징을 보다 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명의 범위는 실시예로 한정되지 않는다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 특별히 언급하지 않는 한 각종 측정, 평가는 하기에 의한 것이다.The features of the present invention will be described in more detail with reference to Examples below. However, the scope of the present invention is not limited to the examples. In addition, in the following examples, various measurements and evaluation are based on the following unless otherwise indicated.

[수분량의 평가][Evaluation of moisture content]

재생 용제의 수분량은 칼 피셔 수분 측정 장치(미량 수분 측정 장치 AQ-300, 히라누마 산교사제)를 사용하여 측정을 행하였다.The moisture content of the regenerated solvent was measured using a Karl Fischer moisture measuring device (a trace moisture measuring device AQ-300, manufactured by Hiranuma Sangyo).

[용제 순도의 측정][Measurement of solvent purity]

가스 크로마토그래프(칼럼: G-100)를 사용하여 용제 순도를 측정하였다. 얻어진 전체 피크 면적에 있어서의 용제의 주 피크 면적의 비율을 백분율로 나타낸 값이다.Solvent purity was measured using a gas chromatograph (column: G-100). It is the value which showed the ratio of the main peak area of the solvent in the obtained total peak area in percentage.

[점도의 측정][Measurement of viscosity]

E형 점도계(브룩필드사제, 상품명; DV-II+Pro)를 사용하여, 25℃에서의 점도를 측정하였다. 토크가 10% 내지 90%가 되도록 회전수를 설정하고, 측정을 개시하고 나서 2분 경과한 후, 점도가 안정되었을 때의 값을 판독하였다.The viscosity in 25 degreeC was measured using the E-type viscometer (The Brookfield company make, brand name; DV-II+Pro). The rotation speed was set so that the torque might be 10% to 90%, and after 2 minutes had elapsed from the start of the measurement, the value when the viscosity was stabilized was read.

[구리박의 표면 조도의 측정][Measurement of surface roughness of copper foil]

구리박의 표면 조도는 AFM(브루커ㆍAXS사제, 상품명; Dimension Icon형SPM), 프로브(브루커ㆍAXS사제, 상품명; TESPA(NCHV), 선단 곡률 반경 10㎚, 용수철 상수 42N/m)를 사용하여, 탭핑 모드로 구리박 표면의 80㎛×80㎛의 범위에서 측정하고, 10점 평균 조도(Rzjis)를 구하였다.For the surface roughness of copper foil, AFM (Brooker AXS, brand name; Dimension Icon type SPM), probe (Brooker AXS, brand name; TESPA (NCHV), tip curvature radius 10nm, spring constant 42N/m) Using, it measured in the range of 80 micrometers x 80 micrometers of the copper foil surface in tapping mode, and calculated|required 10-point average roughness (Rzjis).

[헤이즈(HAZE)의 평가][Evaluation of HAZE]

헤이즈 측정 장치(탁도계: 닛폰 덴쇼쿠 고교사제, 상품명; NDH5000)를 사용하여, 5㎝×5㎝ 사이즈의 폴리이미드 필름에 대하여 ASTM D 1003에 기재된 측정 방법에 의해 행하였다.Using a haze measuring apparatus (turbidimeter: Nippon Denshoku Kogyo Co., Ltd. make, brand name; NDH5000), it carried out by the measuring method of ASTM D1003 about the polyimide film of 5 cm x 5 cm size.

[열 팽창 계수(CTE)의 측정][Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE)]

3㎜(도공 폭 방향)×20㎜(도공 길이 방향) 사이즈의 폴리이미드 필름을, 서모 메커니컬 애널라이저(Bruker사제, 상품명; 4000SA)를 사용하여, 5.0g의 하중을 가하면서 일정한 승온 속도로 30℃부터 260℃까지 승온시키고, 또한 그 온도에서 10분 유지한 후, 5℃/분의 속도로 냉각하고, 250℃부터 100℃까지의 평균 열 팽창 계수(열 팽창 계수)를 구하였다.Using a thermomechanical analyzer (manufactured by Bruker, trade name; 4000SA), a polyimide film having a size of 3 mm (coating width direction) x 20 mm (coating length direction) was applied at a constant temperature increase rate of 30°C while applying a load of 5.0 g. The temperature was raised to 260°C, and the temperature was maintained at that temperature for 10 minutes, then cooled at a rate of 5°C/min, and the average coefficient of thermal expansion (coefficient of thermal expansion) from 250°C to 100°C was obtained.

실시예 및 참고예에 사용한 약호는 이하의 화합물을 나타낸다.The symbol used for the Example and the reference example shows the following compounds.

PMDA: 피로멜리트산 이무수물PMDA: pyromellitic dianhydride

BPDA: 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride

m-TB: 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl

TPE-Q: 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠TPE-Q: 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene

BAPP: 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane

비스아닐린-P: 1,4-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠(미츠이 가가쿠 파인사제, 상품명; 비스아닐린-P)Bisaniline-P: 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene (manufactured by Mitsui Chemicals Fine, trade name; bisaniline-P)

DMAc: N,N-디메틸아세트아미드DMAc: N,N-dimethylacetamide

DMF: N,N-디메틸포름아미드DMF: N,N-dimethylformamide

[합성예 1][Synthesis Example 1]

반응조에 14.20질량부의 m-TB(0.067몰부) 및 3.45질량부의 TPE-Q(0.012몰부) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 신규품의 DMAc(함수율 10wt ppm, 순도 99.9% 이상)를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에, 12.66질량부의 PMDA(0.058몰부) 및 5.69질량부의 BPDA(0.019몰부)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속해서 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 a-1을 얻었다. 폴리아미드산 용액 a-1의 점도는 34,900cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 30,100cps였다.14.20 parts by mass of m-TB (0.067 parts by mol) and 3.45 parts by mass of TPE-Q (0.012 parts by mol) and DMAc (water content of 10 wt ppm, purity of 99.9% or more) of a new product in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15 wt % in the reaction tank It was added and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 12.66 parts by mass of PMDA (0.058 mol parts) and 5.69 parts by mass of BPDA (0.019 mol parts), stirring was continued for 3 hours at room temperature to perform polymerization reaction to obtain polyamic acid solution a-1. The viscosity of the polyamic acid solution a-1 was 34,900 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 30,100 cps.

[합성예 2][Synthesis Example 2]

반응조에 14.49질량부의 m-TB(0.068몰부), 1.11질량부의 TPE-Q(0.004몰부) 및 1.31질량부의 비스아닐린-P(0.004몰부) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 신규품의 DMAc(함수율 10wt ppm, 순도 99.9% 이상)를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에, 8.13질량부의 PMDA(0.037몰부) 및 10.97질량부의 BPDA(0.037몰부)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속해서 중합 반응을 하여, 폴리아미드산 용액 b-1을 얻었다. 폴리아미드산 용액 b-1의 점도는 35,500cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 32,800cps였다.14.49 parts by mass of m-TB (0.068 parts by mol), 1.11 parts by mass of TPE-Q (0.004 parts by mol) and 1.31 parts by mass of bisaniline-P (0.004 mol parts) and a new product in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight in the reactor DMAc (water content 10 wt ppm, purity 99.9% or more) was added and dissolved by stirring at room temperature. Next, after adding 8.13 mass parts PMDA (0.037 mol part) and 10.97 mass parts BPDA (0.037 mol part), stirring was continued at room temperature for 3 hours, the polymerization reaction was carried out, and the polyamic-acid solution b-1 was obtained. The viscosity of the polyamic acid solution b-1 was 35,500 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 32,800 cps.

[합성예 3][Synthesis Example 3]

반응조에 14.20질량부의 m-TB(0.067몰부) 및 3.45질량부의 TPE-Q(0.012몰부) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 신규품의 DMF(함수율 15wt ppm, 순도 99.9% 이상)를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에, 12.66질량부의 PMDA(0.058몰부) 및 5.69질량부의 BPDA(0.019몰부)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속해서 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 a-2를 얻었다. 폴리아미드산 용액 a-2의 점도는 32,700cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 28,900cps였다.14.20 parts by mass of m-TB (0.067 parts by mol) and 3.45 parts by mass of TPE-Q (0.012 mol parts) and DMF of a new product in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight (water content 15 wt ppm, purity 99.9% or more) was added to the reaction tank It was added and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 12.66 parts by mass of PMDA (0.058 mol parts) and 5.69 parts by mass of BPDA (0.019 mol parts), stirring was continued for 3 hours at room temperature, followed by polymerization reaction to obtain polyamic acid solution a-2. The viscosity of the polyamic acid solution a-2 was 32,700 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 28,900 cps.

[합성예 4][Synthesis Example 4]

반응조에 18.71질량부의 BAPP(0.046몰부) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 12중량%가 되는 양의 신규품의 DMAc(함수율 10wt ppm, 순도 99.9% 이상)를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에, 10.09질량부의 PMDA(0.046몰부)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속해서 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 c-1을 얻었다. 폴리아미드산 용액 c-1의 점도는 2,100cps였다.18.71 parts by mass of BAPP (0.046 mol parts) and a new DMAc (moisture content of 10 wt ppm, purity of 99.9% or more) in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 12% by weight were added to the reaction tank, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 10.09 mass parts PMDA (0.046 mol part), stirring was continued at room temperature for 3 hours, the polymerization reaction was performed, and the polyamic-acid solution c-1 was obtained. The viscosity of the polyamic acid solution c-1 was 2,100 cps.

[합성예 5][Synthesis Example 5]

반응조에 18.71질량부의 BAPP(0.046몰부) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 12중량%가 되는 양의 신규품의 DMF(함수율 15wt ppm, 순도 99.9% 이상)를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 이어서, 10.09질량부의 PMDA(0.046몰부)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속해서 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 c-2를 얻었다. 폴리아미드산 용액 c-2의 점도는 1,600cps였다.18.71 parts by mass of BAPP (0.046 mol parts) and new DMF (moisture content: 15 wt ppm, purity of 99.9% or more) in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 12% by weight were added to the reaction tank, and stirred at room temperature to dissolve. Subsequently, after adding 10.09 mass parts of PMDA (0.046 mol part), stirring was continued at room temperature for 3 hours, the polymerization reaction was performed, and the polyamic-acid solution c-2 was obtained. The viscosity of the polyamic acid solution c-2 was 1,600 cps.

[제조예 1][Production Example 1]

두께 18㎛이며 폭 1,080㎜의 긴 형상의 압연 구리박(Rzjis=0.88㎛)의 편면에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이어서, 건조시킨 폴리아미드산 용액 c-1 상에 합성예 1에서 조제한 폴리아미드산 용액 a-1을 경화 후 두께가 20㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 또한, 건조시킨 폴리아미드산 용액 a-1 상에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이때, 폴리아미드산 용액 c-1, 폴리아미드산 용액 a-1 및 폴리아미드산 용액 c-1의 도포, 가열 처리에 사용한 상기 공정을 제1 열처리 공정으로 하였다. 그 후, 160℃에서 360℃까지 승온하여 이미드화시키는 제2 열처리 공정을 거쳐, 두께 25㎛의 다층의 폴리이미드 수지층을 포함하는 동장 적층체 1을 얻었다. 얻어진 동장 적층판 A-1에 대하여, 염화제2철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 다층 폴리이미드 필름 A-1을 조제하였다. 이 다층 폴리이미드 필름 A-1의 헤이즈는 75.30%, CTE는 21ppm/K였다.After the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm to a thickness of 2.5 μm after curing, The solvent was removed by heating and drying at 130°C. Then, on the dried polyamic acid solution c-1, the polyamic acid solution a-1 prepared in Synthesis Example 1 was uniformly applied to a thickness of 20 μm after curing, and then the solvent was removed by heating at 130° C. . Further, on the dried polyamic acid solution a-1, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to a thickness of 2.5 μm after curing, and then the solvent was removed by heating at 130° C. . At this time, the said process used for application|coating and heat treatment of the polyamic acid solution c-1, the polyamic acid solution a-1, and the polyamic acid solution c-1 was made into the 1st heat treatment process. Then, through the 2nd heat treatment process of heating up from 160 degreeC to 360 degreeC and imidating, the copper clad laminated body 1 containing the polyimide resin layer of 25 micrometers in thickness was obtained. With respect to the obtained copper clad laminated board A-1, copper foil was etched away using ferric chloride aqueous solution, and the multilayer polyimide film A-1 was prepared. The haze of this multilayer polyimide film A-1 was 75.30 %, and CTE was 21 ppm/K.

(용제를 회수해 재생하는 공정)(Process of recovering and regenerating the solvent)

이때 제1 열처리 공정에서 발생한 용제 증기는 물과 기액 접촉시켜 용해시켜 용제 회수액으로 한 후, 증류에 의해 용제와 물로 분리하여 재생 DMAc1을 얻었다.At this time, the solvent vapor generated in the first heat treatment process was dissolved in gas-liquid contact with water to obtain a solvent recovery solution, and then separated by distillation into solvent and water to obtain regenerated DMAc1.

이때, 재생 DMAc1의 순도는 99.99(%), 함수율은 41(wt ppm)이었다.At this time, the purity of the regenerated DMAc1 was 99.99 (%) and the moisture content was 41 (wt ppm).

[제조예 2][Production Example 2]

두께 18㎛이며 폭 1,080㎜의 긴 형상의 압연 구리박(Rzjis=0.88㎛)의 편면에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이어서, 건조시킨 폴리아미드산 용액 c-1 상에 합성예 2에서 조제한 폴리아미드산 용액 b-1을 경화 후 두께가 20㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 또한, 건조시킨 폴리아미드산 용액 b-1 상에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다.After the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm to a thickness of 2.5 μm after curing, The solvent was removed by heating and drying at 130°C. Then, on the dried polyamic acid solution c-1, the polyamic acid solution b-1 prepared in Synthesis Example 2 was uniformly applied to a thickness of 20 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130° C. . Further, on the dried polyamic acid solution b-1, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to a thickness of 2.5 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130° C. .

이때, 폴리아미드산 용액 c-1, 폴리아미드산 용액 b-1 및 폴리아미드산 용액 c-1의 도포, 가열 처리에 사용한 상기 공정을 제1 열처리 공정으로 하였다. 그 후, 160℃에서 360℃까지 승온하여 이미드화시키는 제2 열처리 공정을 거쳐, 두께 25㎛의 다층의 폴리이미드 수지층을 포함하는 동장 적층체 B-1 얻었다. 얻어진 동장 적층판 B-1에 대하여, 염화제2철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 다층 폴리이미드 필름 B-1을 조제하였다. 이 다층 폴리이미드 필름 B-1의 헤이즈는 81.83%, CTE는 23ppm/K였다.At this time, the said process used for application|coating and heat treatment of the polyamic acid solution c-1, the polyamic acid solution b-1, and the polyamic acid solution c-1 was made into the 1st heat treatment process. Then, the copper clad laminated body B-1 containing a 25-micrometer-thick multilayer polyimide resin layer was obtained through the 2nd heat treatment process of heating up and imidating from 160 degreeC to 360 degreeC. With respect to the obtained copper clad laminated board B-1, copper foil was etched away using ferric chloride aqueous solution, and multilayer polyimide film B-1 was prepared. The haze of this multilayer polyimide film B-1 was 81.83 %, and CTE was 23 ppm/K.

제1 열처리 공정에서 발생한 용제 증기에 대하여, 제조예 1과 마찬가지로 물과 기액 접촉시켜 용해시키고 용제 회수액으로 한 후, 증류에 의해 용제와 물로 분리하여 재생 DMAc2를 얻었다. 또한 제조예 2와 마찬가지의 제조를 2회 행하고, 그때 제1 열처리 공정에서 발생한 용제 증기에 대하여 회수 및 물과의 분리를 실시해 재생 DMAc3, 재생 DMAc4를 얻었다.The solvent vapor generated in the first heat treatment step was dissolved by contacting water and gas-liquid in the same manner as in Production Example 1 to obtain a solvent recovery solution, followed by separation with a solvent and water by distillation to obtain regenerated DMAc2. Further, the same production as in Production Example 2 was performed twice, and the solvent vapor generated in the first heat treatment step was recovered and separated from water to obtain regenerated DMAc3 and regenerated DMAc4.

이때 얻어진 재생 DMAc의 순도의 측정 및 함수율을 실시한 결과를 표 1에 나타낸다.Table 1 shows the results of measuring the purity and moisture content of the obtained regenerated DMAc.

Figure pat00005
Figure pat00005

[제조예 3][Production Example 3]

두께 18㎛이며 폭 1,080㎜의 긴 형상의 압연 구리박(Rzjis=0.88㎛)의 편면에 합성예 5에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-2를 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이어서, 건조시킨 폴리아미드산 용액 c-2 상에 합성예 3에서 조제한 폴리아미드산 용액 a-2를 경화 후 두께가 20㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 또한, 건조시킨 폴리아미드산 용액 a-2 상에 합성예 5에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-2를 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이때, 폴리아미드산 용액 c-2, 폴리아미드산 용액 a-2 및 폴리아미드산 용액 c-2의 도포, 가열 처리에 사용한 상기 공정을 제1 열처리 공정으로 하였다. 그 후, 160℃에서 360℃까지 승온하여 이미드화시키는 제2 열처리 공정을 거쳐, 두께 25㎛의 다층의 폴리이미드 수지층을 포함하는 동장 적층체 A-2 얻었다. 얻어진 동장 적층판 A-2에 대하여, 염화제2철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 다층 폴리이미드 필름 A-2를 조제하였다. 이 다층 폴리이미드 필름 A-2의 헤이즈는 72.16%, CTE는 20ppm/K였다.After the polyamic acid solution c-2 prepared in Synthesis Example 5 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm, The solvent was removed by heating and drying at 130°C. Then, on the dried polyamic acid solution c-2, the polyamic acid solution a-2 prepared in Synthesis Example 3 was uniformly applied to a thickness of 20 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130° C. . Further, on the dried polyamic acid solution a-2, the polyamic acid solution c-2 prepared in Synthesis Example 5 was uniformly applied to a thickness of 2.5 μm after curing, and then the solvent was removed by heating at 130° C. . At this time, the said process used for application|coating and heat treatment of the polyamic acid solution c-2, the polyamic acid solution a-2, and the polyamic acid solution c-2 was made into the 1st heat treatment process. Then, the copper clad laminated body A-2 containing a 25-micrometer-thick multilayer polyimide resin layer was obtained through the 2nd heat treatment process of heating up and imidating from 160 degreeC to 360 degreeC. With respect to the obtained copper clad laminated board A-2, copper foil was etched away using ferric chloride aqueous solution, and the multilayer polyimide film A-2 was prepared. The haze of this multilayer polyimide film A-2 was 72.16 %, and CTE was 20 ppm/K.

제1 열처리 공정에서 발생한 용제 증기에 대하여, 제조예 1과 마찬가지로 물과 기액 접촉시켜 용해시키고 용제 회수액으로 한 후, 증류에 의해 용제와 물로 분리하여 재생 DMF1을 얻었다.The solvent vapor generated in the first heat treatment step was dissolved by contacting water and gas-liquid in the same manner as in Production Example 1 to obtain a solvent recovery solution, followed by separation with a solvent and water by distillation to obtain regenerated DMF1.

이때, 재생 DMF1의 순도는 99.98(%), 함수율은 246(wt ppm)이었다.At this time, the purity of the regenerated DMF1 was 99.98 (%) and the moisture content was 246 (wt ppm).

[제조예 4][Production Example 4]

두께 18㎛이며 폭 1,080㎜의 긴 형상의 압연 구리박(Rzjis=0.88㎛)의 편면에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이어서, 건조시킨 폴리아미드산 용액 c-1 상에 합성예 3에서 조제한 폴리아미드산 용액 a-2를 경화 후 두께가 20㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 또한, 건조시킨 폴리아미드산 용액 a-2 상에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이때, 폴리아미드산 용액 c-1, 폴리아미드산 용액 a-2 및 폴리아미드산 용액 c-1의 도포, 가열 처리에 사용한 상기 공정을 제1 열처리 공정으로 하였다. 그 후, 160℃에서 360℃까지 승온하여 이미드화시키는 제2 열처리 공정을 거쳐, 두께 25㎛의 다층의 폴리이미드 수지층을 포함하는 동장 적층체 A-3 얻었다. 얻어진 동장 적층판 A-3에 대하여, 염화제2철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 다층 폴리이미드 필름 A-3을 조제하였다. 이 다층 폴리이미드 필름 A-3의 헤이즈는 72.52%, CTE는 20ppm/K였다.After the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm to a thickness of 2.5 μm after curing, The solvent was removed by heating and drying at 130°C. Then, on the dried polyamic acid solution c-1, the polyamic acid solution a-2 prepared in Synthesis Example 3 was uniformly applied to a thickness of 20 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130° C. . Further, on the dried polyamic acid solution a-2, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to a thickness of 2.5 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130° C. . At this time, the said process used for application|coating and heat treatment of the polyamic acid solution c-1, the polyamic acid solution a-2, and the polyamic acid solution c-1 was made into the 1st heat treatment process. Then, the copper clad laminated body A-3 which consists of a 25-micrometer-thick multilayer polyimide resin layer was obtained through the 2nd heat treatment process of heating up and imidating from 160 degreeC to 360 degreeC. About the obtained copper clad laminated board A-3, copper foil was etched away using ferric chloride aqueous solution, and the multilayer polyimide film A-3 was prepared. The haze of this multilayer polyimide film A-3 was 72.52 %, and CTE was 20 ppm/K.

제1 열처리 공정에서 발생한 용제 증기에 대하여, 제조예 1과 마찬가지로 물과 기액 접촉시켜 용해시켜 용제 회수액으로 한 후, 증류에 의해 용제와 물로 분리하여 재생 DMF/DMAc 혼합 용액 1을 얻었다.The solvent vapor generated in the first heat treatment step was dissolved in gas-liquid contact with water in the same manner as in Production Example 1 to obtain a solvent recovery solution, and then separated by distillation with a solvent and water to obtain a regenerated DMF/DMAc mixed solution 1.

이때, 재생 DMF/DMAc 혼합 용액 1의 순도는 99.98(%), 함수율은 121(wt ppm)이었다.At this time, the regenerated DMF/DMAc mixed solution 1 had a purity of 99.98 (%) and a moisture content of 121 (wt ppm).

[실시예 1][Example 1]

반응조에 14.20질량부의 m-TB(0.067몰부) 및 3.45질량부의 TPE-Q(0.012몰부) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 재생 DMAc1을 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 이어서, 12.66질량부의 PMDA(0.058몰부) 및 5.69질량부의 BPDA(0.019몰부)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속해서 중합 반응을 하여 폴리아미드산 용액 a-3을 얻었다. 폴리아미드산 용액 a-3의 점도는 31,200cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 26,500cps였다.14.20 parts by mass of m-TB (0.067 mol parts) and 3.45 parts by mass of TPE-Q (0.012 mol parts) and regenerated DMAc1 in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight were added to the reaction tank, and stirred at room temperature to dissolve. Then, after adding 12.66 mass parts PMDA (0.058 mol part) and 5.69 mass parts BPDA (0.019 mol part), stirring was continued at room temperature for 3 hours, the polymerization reaction was carried out, and the polyamic-acid solution a-3 was obtained. The viscosity of the polyamic acid solution a-3 was 31,200 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 26,500 cps.

이어서, 두께 18㎛이며 폭 1,080㎜의 긴 형상의 압연 구리박(Rzjis=0.88㎛)의 편면에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이어서, 건조시킨 폴리아미드산 용액 c-1 상에 폴리아미드산 용액 a-3을 경화 후 두께가 20㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 또한, 건조시킨 폴리아미드산 용액 a-3 상에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 그 후, 160℃에서 360℃까지 승온하여 이미드화시키는 제2 열처리 공정을 거쳐, 두께 25㎛의 다층의 폴리이미드 수지층을 포함하는 동장 적층체 A-3 얻었다. 얻어진 동장 적층판 A-3에 대하여, 염화제2철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 다층 폴리이미드 필름 A-3을 조제하였다. 이 다층 폴리이미드 필름 A-3의 헤이즈는 71.78%, CTE는 21ppm/K였다.Next, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm. Then, the solvent was removed by heating and drying at 130°C. Then, the polyamic acid solution a-3 was uniformly coated on the dried polyamic acid solution c-1 to a thickness of 20 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130°C. Further, on the dried polyamic acid solution a-3, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to a thickness of 2.5 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130° C. . Then, the copper clad laminated body A-3 which consists of a 25-micrometer-thick multilayer polyimide resin layer was obtained through the 2nd heat treatment process of heating up and imidating from 160 degreeC to 360 degreeC. About the obtained copper clad laminated board A-3, copper foil was etched away using ferric chloride aqueous solution, and the multilayer polyimide film A-3 was prepared. The haze of this multilayer polyimide film A-3 was 71.78 %, and CTE was 21 ppm/K.

[실시예 2][Example 2]

사용한 DMAc를 재생 DMAc2로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 폴리아미드산 용액 a-4, 동장 적층판 A-4, 다층 폴리이미드 필름 A-4를 얻었다.A polyamic acid solution a-4, a copper clad laminate A-4, and a multilayer polyimide film A-4 were obtained in the same manner as in Example 1 except that the DMAc used was changed to the regenerated DMAc2.

얻어진 폴리아미드산 용액 a-4의 점도는 28,700cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 19,100cps였다. 또한 다층 폴리이미드 필름 A-4의 헤이즈는 65.20%, CTE는 22ppm/K였다.The obtained polyamic acid solution a-4 had a viscosity of 28,700 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 19,100 cps. Moreover, the haze of the multilayer polyimide film A-4 was 65.20 %, and CTE was 22 ppm/K.

[실시예 3][Example 3]

사용한 DMAc를 재생 DMAc3으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 폴리아미드산 용액 a-5, 동장 적층판 A-5, 다층 폴리이미드 필름 A-5를 얻었다.A polyamic acid solution a-5, a copper clad laminate A-5, and a multilayer polyimide film A-5 were obtained in the same manner as in Example 1 except that the DMAc used was changed to the regenerated DMAc3.

얻어진 폴리아미드산 용액 a-5의 점도는 26,500cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 15,500cps였다. 또한 다층 폴리이미드 필름 A-5의 헤이즈는 61.71%, CTE는 22ppm/K였다.The obtained polyamic acid solution a-5 had a viscosity of 26,500 cps. Moreover, the viscosity at the time of storing for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 15,500 cps. Moreover, the haze of the multilayer polyimide film A-5 was 61.71 %, and CTE was 22 ppm/K.

[실시예 4][Example 4]

사용한 DMAc를 재생 DMF1로 변경한 것, 및 폴리아미드산 용액 c-1을 폴리아미드산 용액 c-2로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 폴리아미드산 용액 a-6, 동장 적층판 A-6, 다층 폴리이미드 필름 A-6을 얻었다.Polyamic acid solution a-6, copper clad laminate A in the same manner as in Example 1, except that the DMAc used was changed to recycled DMF1, and the polyamic acid solution c-1 was changed to the polyamic acid solution c-2. -6, multilayer polyimide film A-6 was obtained.

얻어진 폴리아미드산 용액 a-6의 점도는 26,100cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 13,700cps였다. 또한 다층 폴리이미드 필름 A-6의 헤이즈는 60.08%, CTE는 21ppm/K였다.The obtained polyamic acid solution a-6 had a viscosity of 26,100 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 13,700 cps. Moreover, the haze of the multilayer polyimide film A-6 was 60.08 %, and CTE was 21 ppm/K.

[실시예 5][Example 5]

반응조에 14.49질량부의 m-TB(0.068몰부), 1.11질량부의 TPE-Q(0.004몰부) 및 1.31질량부의 비스아닐린-P(0.004몰부) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 재생 DMAc2를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 이어서, 8.13질량부의 PMDA(0.037몰부) 및 10.97질량부의 BPDA(0.037몰부)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속해서 중합 반응을 하여 폴리아미드산 용액 b-2를 얻었다. 폴리아미드산 용액 b-2의 점도는 29,900cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 22,500cps였다.14.49 parts by mass of m-TB (0.068 parts by mol), 1.11 parts by mass of TPE-Q (0.004 parts by mol) and 1.31 parts by mass of bisaniline-P (0.004 mol parts) in the reactor, and regenerated DMAc2 in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight was added and dissolved by stirring at room temperature. Then, after adding 8.13 mass parts PMDA (0.037 mol part) and 10.97 mass parts BPDA (0.037 mol part), stirring was continued at room temperature for 3 hours, the polymerization reaction was carried out, and the polyamic-acid solution b-2 was obtained. The viscosity of the polyamic acid solution b-2 was 29,900 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 22,500 cps.

이어서, 두께 18㎛이며 폭 1,080㎜의 긴 형상의 압연 구리박(Rzjis=0.88㎛)의 편면에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이어서, 건조시킨 폴리아미드산 용액 c-1 상에 폴리아미드산 용액 b-2를 경화 후 두께가 20㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 또한, 건조시킨 폴리아미드산 용액 b-2 상에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 그 후, 160℃에서 360℃까지 승온하여 이미드화시키는 제2 열처리 공정을 거쳐, 두께 25㎛의 다층의 폴리이미드 수지층을 포함하는 동장 적층체 B-2를 얻었다. 얻어진 동장 적층판 B-2에 대하여, 염화제2철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 다층 폴리이미드 필름 B-2를 조제하였다. 이 다층 폴리이미드 필름 B-2의 헤이즈는 78.67%, CTE는 23ppm/K였다.Next, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm. Then, the solvent was removed by heating and drying at 130°C. Next, the polyamic acid solution b-2 was uniformly coated on the dried polyamic acid solution c-1 to a thickness of 20 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130°C. Further, on the dried polyamic acid solution b-2, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to a thickness of 2.5 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130°C. . Then, the copper clad laminated body B-2 containing the polyimide resin layer of 25 micrometers in thickness was obtained through the 2nd heat treatment process of heating up and imidating from 160 degreeC to 360 degreeC. About the obtained copper clad laminated board B-2, copper foil was etched away using ferric chloride aqueous solution, and the multilayer polyimide film B-2 was prepared. The haze of this multilayer polyimide film B-2 was 78.67 %, and CTE was 23 ppm/K.

[실시예 6][Example 6]

반응조에 14.49질량부의 m-TB(0.068몰부), 1.11질량부의 TPE-Q(0.004몰부) 및 1.31질량부의 비스아닐린-P(0.004몰부) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 재생 DMF/DMAc 혼합 용액 1을 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 이어서, 8.13질량부의 PMDA(0.037몰부) 및 10.97질량부의 BPDA(0.037몰부)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속해서 중합 반응을 하여, 폴리아미드산 용액 a-7을 얻었다. 폴리아미드산 용액 a-7의 점도는 25,900cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 17,700cps였다.14.49 parts by mass of m-TB (0.068 parts by mol), 1.11 parts by mass of TPE-Q (0.004 parts by mol), and 1.31 parts by mass of bisaniline-P (0.004 mol parts) in the reactor, and recycled DMF in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight /DMAc mixed solution 1 was added and stirred at room temperature to dissolve. Then, after adding 8.13 mass parts PMDA (0.037 mol part) and 10.97 mass parts BPDA (0.037 mol part), stirring was continued at room temperature for 3 hours, the polymerization reaction was carried out, and the polyamic-acid solution a-7 was obtained. The viscosity of the polyamic acid solution a-7 was 25,900 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 17,700 cps.

이어서, 두께 18㎛이며 폭 1,080㎜의 긴 형상의 압연 구리박(Rzjis=0.88㎛)의 편면에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 이어서, 건조시킨 폴리아미드산 용액 c-1 상에 폴리아미드산 용액 a-7을 경화 후 두께가 20㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 또한, 건조시킨 폴리아미드산 용액 a-7 상에 합성예 4에서 조제한 폴리아미드산 용액 c-1을 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 130℃에서 가열 건조하여 용제를 제거하였다. 그 후, 160℃에서 360℃까지 승온하여 이미드화시키는 제2 열처리 공정을 거쳐, 두께 25㎛의 다층의 폴리이미드 수지층을 포함하는 동장 적층체 A-7을 얻었다. 얻어진 동장 적층판 A-7에 대하여, 염화제2철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 다층 폴리이미드 필름 A-7을 조제하였다. 이 다층 폴리이미드 필름 A-7의 헤이즈는 63.87%, CTE는 21ppm/K였다.Next, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm. Then, the solvent was removed by heating and drying at 130°C. Next, the polyamic acid solution a-7 was uniformly coated on the dried polyamic acid solution c-1 to a thickness of 20 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130°C. Further, on the dried polyamic acid solution a-7, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to a thickness of 2.5 μm after curing, and then the solvent was removed by heating at 130° C. . Then, the copper clad laminated body A-7 containing the polyimide resin layer of 25 micrometers in thickness was obtained through the 2nd heat processing process of heating up and imidating from 160 degreeC to 360 degreeC. With respect to the obtained copper clad laminated board A-7, copper foil was etched away using ferric chloride aqueous solution, and the multilayer polyimide film A-7 was prepared. The haze of this multilayer polyimide film A-7 was 63.87 %, and CTE was 21 ppm/K.

[참고예 1][Reference Example 1]

사용한 DMAc를 재생 DMAc4로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 폴리아미드산 용액 a-8, 동장 적층판 A-7, 다층 폴리이미드 필름 A-8을 얻었다.A polyamic acid solution a-8, a copper-clad laminate A-7, and a multilayer polyimide film A-8 were obtained in the same manner as in Example 1 except that the DMAc used was changed to the regenerated DMAc4.

얻어진 폴리아미드산 용액 a-7의 점도는 21,900cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 9,100cps였다. 또한 다층 폴리이미드 필름 A-8의 헤이즈는 59.55%, CTE는 23ppm/K였다.The obtained polyamic acid solution a-7 had a viscosity of 21,900 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 9,100 cps. Moreover, the haze of the multilayer polyimide film A-8 was 59.55 %, and CTE was 23 ppm/K.

[참고예 2][Reference Example 2]

사용한 DMAc를 재생 DMAc4로 변경한 것 이외에는, 실시예 5와 마찬가지로 하여 폴리아미드산 용액 b-3, 동장 적층판 B-3, 다층 폴리이미드 필름 B-3을 얻었다.A polyamic acid solution b-3, a copper clad laminate B-3, and a multilayer polyimide film B-3 were obtained in the same manner as in Example 5 except that the DMAc used was changed to the regenerated DMAc4.

얻어진 폴리아미드산 용액 b-3의 점도는 22,100cps였다. 또한 23℃, 50%RH에서 20일간 보존하였을 때의 점도는 9,800cps였다. 또한 다층 폴리이미드 필름 B-3의 헤이즈는 72.22%, CTE는 24ppm/K였다.The obtained polyamic acid solution b-3 had a viscosity of 22,100 cps. Moreover, the viscosity when it preserve|saved for 20 days at 23 degreeC and 50 %RH was 9,800 cps. Moreover, the haze of the multilayer polyimide film B-3 was 72.22 %, and CTE was 24 ppm/K.

이상, 본 발명의 실시 형태를 예시의 목적으로 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 제약되는 일 없이 다양한 변형이 가능하다.As mentioned above, although embodiment of this invention was described in detail for the purpose of illustration, this invention can be variously modified without being limited to the said embodiment.

Claims (9)

하기의 성분 A 및 B;
A) 1기압 하에서의 비점이 200℃ 이하인 비프로톤성 극성 용제;
B) 물
을 함유하고, 가스 크로마토그래피에 의해 측정되는 상기 성분 A의 함유량이 50% 이상이며, 칼 피셔법에 의해 측정되는 상기 성분 B의 함유량이 40 내지 500ppm의 범위 내인 것을 특징으로 하는 유기 용제.
The following components A and B;
A) an aprotic polar solvent having a boiling point of 200° C. or less under 1 atm;
B) water
contains, the content of the component A measured by gas chromatography is 50% or more, and the content of the component B measured by the Karl Fischer method is in the range of 40 to 500 ppm organic solvent.
제1항에 있어서, 상기 성분 A가 N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 및 디메틸술폭시드로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 유기 용제.The organic solvent according to claim 1, wherein the component A is at least one selected from the group consisting of N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide and dimethylsulfoxide. 제1항 또는 제2항에 있어서, 테트라카르복실산 무수물 성분과 디아민 성분을 혼합하고, 중합시켜 폴리아미드산을 얻기 위해 사용되는 용제인 것을 특징으로 하는 유기 용제.The organic solvent according to claim 1 or 2, which is a solvent used to obtain polyamic acid by mixing and polymerizing the tetracarboxylic anhydride component and the diamine component. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 유기 용제와, 테트라카르복실산 무수물 성분과, 디아민 성분을 함유하는 혼합 용액.The mixed solution containing the organic solvent in any one of Claims 1-3, a tetracarboxylic-acid anhydride component, and a diamine component. 제4항에 있어서, 상기 테트라카르복실산 무수물 성분 및 상기 디아민 성분에서 유래하는 전체 모노머 성분 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머를 50몰% 이상 함유하는 것을 특징으로 하는 혼합 용액.The mixed solution according to claim 4, wherein 50 mol% or more of a monomer having a biphenyl skeleton is contained in the total monomer components derived from the tetracarboxylic anhydride component and the diamine component. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 디아민 성분이, 하기 일반식 (1)로 표시되는 디아민 화합물을 20몰% 이상 함유하는 것을 특징으로 하는 혼합 용액.
Figure pat00006

[일반식 (1)에 있어서, 연결기 Z는 단결합 혹은 -COO-를 나타내고, Y는 독립적으로 할로겐 혹은 페닐기로 치환되어도 되는 탄소수 1 내지 3의 1가의 탄화수소기 혹은 탄소수 1 내지 3의 알콕시기 또는 탄소수 1 내지 3의 퍼플루오로알킬기 혹은 알케닐기를 나타내고, n은 1 내지 2의 정수를 나타내고, p 및 q는 독립적으로 0 내지 4의 정수를 나타낸다.]
The mixed solution according to claim 4 or 5, wherein the diamine component contains 20 mol% or more of the diamine compound represented by the following general formula (1).
Figure pat00006

[In the general formula (1), the linking group Z represents a single bond or -COO-, and Y is independently a monovalent hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms which may be substituted with a halogen or phenyl group, or represents a perfluoroalkyl group or alkenyl group having 1 to 3 carbon atoms, n represents an integer of 1 to 2, and p and q independently represent an integer of 0 to 4.]
하기의 공정 a 내지 d;
a) 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 유기 용제와, 테트라카르복실산 무수물 성분과, 디아민 성분을 함유하는 혼합 용액을 준비하는 공정;
b) 상기 혼합 용액 중에서, 상기 테트라카르복실산 무수물 성분과 상기 디아민 성분을 반응시켜 폴리아미드산의 용액을 얻는 공정;
c) 기재 상에 상기 폴리아미드산의 용액을 도포하고, 건조시킴으로써, 상기 폴리아미드산의 수지막을 형성하는 공정;
d) 상기 수지막을 열처리하고, 상기 폴리아미드산을 이미드화함으로써, 폴리이미드 필름을 얻는 공정
을 구비하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 필름의 제조 방법.
The following steps a to d;
a) The process of preparing the mixed solution containing the organic solvent in any one of Claims 1-3, a tetracarboxylic-acid anhydride component, and a diamine component;
b) a step of reacting the tetracarboxylic anhydride component and the diamine component in the mixed solution to obtain a polyamic acid solution;
c) forming a resin film of the polyamic acid by applying the polyamic acid solution on a substrate and drying;
d) a step of heat-treating the resin film and imidizing the polyamic acid to obtain a polyimide film
A method for producing a polyimide film, comprising:
제7항에 있어서, 상기 공정 c에서 발생한 용제 증기로부터 유기 용제를 회수하여, 상기 혼합 용액의 유기 용제로서 재이용하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 필름의 제조 방법.The method for producing a polyimide film according to claim 7, wherein the organic solvent is recovered from the solvent vapor generated in the step c, and reused as the organic solvent of the mixed solution. 제7항에 있어서, 상기 공정 a의 유기 용제가, 상기 공정 c에서 발생한 용제 증기를 회수하는 공정을 경유하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 폴리이미드 필름의 제조 방법.The method for producing a polyimide film according to claim 7, wherein the organic solvent in the step a is obtained through the step of recovering the solvent vapor generated in the step c.
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