KR20210091192A - Micro-element transfer device and transfer method - Google Patents

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KR20210091192A
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위춘 류
즈 이 훙
청궁 왕
즈성 리
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청두 비스타 옵토일렉트로닉스 씨오., 엘티디.
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Abstract

본 출원은 마이크로 요소의 이송 장치 및 이송 방법을 제공한다. 상기 이송 장치는 적어도 한 표면으로부터 돌출된 복수의 프로브를 포함하는 이송 기판; 및 복수의 상기 프로브와 연결되며, 각 상기 프로브가 작업을 수행하도록 제어하는 데 사용되는 제어 회로를 포함한다. 복수의 상기 프로브는 선정한 마이크로 요소를 독립적으로 흡착 또는 방출한다. 전술한 방식을 통해, 본 출원은 대량 이송 과정에서 각 마이크로 요소에 대해 독립적인 조작을 수행하도록 구현할 수 있다.The present application provides an apparatus and method for transferring microelements. The transfer device includes: a transfer substrate including a plurality of probes protruding from at least one surface; and a control circuit coupled to the plurality of the probes and used to control each of the probes to perform a task. A plurality of the probes independently adsorb or release the selected microelements. Through the above-described method, the present application can be implemented to perform independent manipulation of each micro-element in the mass transfer process.

Description

마이크로-소자를 위한 전사 장치 및 전사 방법Transfer apparatus and transfer method for micro-devices

본 출원은 디스플레이 기술 분야에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마이크로 요소의 이송 장치 및 이송 방법에 관한 것이다.The present application relates to the field of display technology, and more particularly, to an apparatus and method for transferring microelements.

마이크로 발광 다이오드(Micro-LED) 칩은 일정 도너 기판(예를 들어 도너 웨이퍼 등) 상에 고밀도로 집적된 마이크로 크기의 Micro-LED 어레이를 의미한다. Micro-LED 칩의 크기는 일반적으로 100㎛ 이하이다. 디스플레이 제조 과정에서 일반적으로 정전기 흡착, 자력 흡착, 반데르발스 힘 작용, 진공 흡착 등 기술을 채택하여 Micro-LED 칩을 도너 기판으로부터 타깃 기판으로 대량 이송해야 한다.A micro light emitting diode (Micro-LED) chip refers to a micro-sized micro-LED array that is densely integrated on a predetermined donor substrate (eg, a donor wafer, etc.). The size of the Micro-LED chip is generally less than 100 μm. In the display manufacturing process, in general, electrostatic adsorption, magnetic adsorption, van der Waals force action, vacuum adsorption, etc. are adopted to mass transfer Micro-LED chips from the donor substrate to the target substrate.

장기적인 연구 과정에서 본 출원의 발명자는 종래의 대량 이송 과정에서 각 Micro-LED 칩을 개별적으로 제어할 수 없음을 발견하였다.In the course of long-term research, the inventor of the present application discovered that each Micro-LED chip could not be individually controlled in the conventional mass transfer process.

본 출원에서 해결해야 할 주요 기술적 문제는 마이크로 요소의 이송 장치 및 이송 방법을 제공함으로써, 대량 이송 과정에서 각 마이크로 요소에 대한 독립적인 작업을 구현하는 것이다.The main technical problem to be solved in the present application is to implement an independent operation for each micro element in the mass transfer process by providing a transfer apparatus and a transfer method of the micro element.

전술한 기술적 문제를 해결하기 위해, 본 출원에서 채택하는 기술적 해결책은 마이크로 요소의 이송 장치를 제공하는 것이다. 상기 이송 장치는 적어도 한 표면으로부터 돌출된 복수의 프로브를 포함하는 이송 기판; 및 복수의 상기 프로브와 연결되며, 각 상기 프로브가 작업을 수행하도록 제어하는 데 사용되는 제어 회로를 포함한다. 복수의 상기 프로브는 선정한 마이크로 요소를 독립적으로 흡착 또는 방출한다.In order to solve the above technical problem, the technical solution adopted in the present application is to provide a micro-element transfer device. The transfer device includes: a transfer substrate including a plurality of probes protruding from at least one surface; and a control circuit coupled to the plurality of the probes and used to control each of the probes to perform a task. A plurality of the probes independently adsorb or release the selected microelements.

전술한 기술적 문제를 해결하기 위해, 본 출원에서 채택하는 다른 기술적 해결책은 마이크로 요소의 이송 방법을 제공하는 것이다. 상기 이송 방법은 복수의 마이크로 요소가 설치된 도너 기판을 제공하는 단계; 및 이송 장치를 이용해 복수의 상기 마이크로 요소를 상기 도너 기판으로부터 이송시키는 단계를 포함한다. 여기에서 상기 이송 장치는 이송 기판과 제어 회로를 포함하고, 상기 이송 기판은 상기 이송 기판의 적어도 한 표면으로부터 돌출된 복수의 프로브를 포함한다. 상기 제어 회로는 복수의 상기 프로브의 일단과 연결되며, 복수의 상기 프로브가 작업을 수행하도록 독립적으로 제어하는 데 사용된다. 복수의 상기 프로브는 선정한 상기 마이크로 요소를 독립적으로 흡착 또는 방출한다.In order to solve the above-described technical problem, another technical solution adopted in the present application is to provide a method for transferring microelements. The transfer method includes providing a donor substrate on which a plurality of microelements are installed; and transferring the plurality of microelements from the donor substrate using a transfer device. Here, the transfer device includes a transfer substrate and a control circuit, and the transfer substrate includes a plurality of probes protruding from at least one surface of the transfer substrate. The control circuit is connected to one end of the plurality of probes, and is used to independently control the plurality of probes to perform operations. A plurality of the probes independently adsorb or release the selected microelements.

본 출원에서 제공하는 마이크로 요소의 이송 장치는 각 프로브의 정전 흡착력 생성 또는 제거를 독립적으로 제어할 수 있는 제어 회로를 채택한다. 따라서 이송 헤드가 선정한 마이크로 요소를 흡착 또는 방출하도록 선택적으로 제어하여, 대량 이송 과정에서 각 마이크로 요소에 대한 독립적인 작업을 구현할 수 있다.The micro-element transfer device provided in the present application adopts a control circuit capable of independently controlling the generation or removal of the electrostatic attraction force of each probe. Therefore, by selectively controlling the transfer head to adsorb or release selected microelements, it is possible to implement independent work for each microelements in the mass transfer process.

또한 대량 이송 과정에서 모든 마이크로 요소에 대해 성능 테스트를 수행할 수도 있다. 성능 테스트를 통과하지 못한 마이크로 요소의 경우, 그 대응하는 제어 회로는 프로브가 상기 마이크로 요소를 흡착하여 이송하도록 제어한다. 따라서 대량 이송 과정에서 불량 마이크로 요소를 제거하는 목적을 달성할 수 있다.It is also possible to perform performance tests on all microelements during mass transfer. For microelements that do not pass the performance test, the corresponding control circuit controls the probe to adsorb and transport the microelements. Therefore, it is possible to achieve the purpose of removing defective microelements in the mass transfer process.

이하에서는 본 출원 실시예의 기술적 해결책을 보다 명확하게 설명하기 위해, 실시예 또는 설명에 사용할 필요가 있는 첨부 도면을 간략하게 소개한다. 이하의 첨부 도면은 본 출원의 일부 실시예에 불과하며, 본 출원이 속한 기술분야의 당업자는 창의적인 노력 없이 이러한 도면으로부터 다른 도면을 얻을 수 있다.
도 1은 본 출원 마이크로 요소의 이송 장치에서 일 실시방식의 구조도이다.
도 2는 도 1에서 제어 회로와 프로브가 연결된 일 실시방식의 구조도이다.
도 3은 도 1에서 제어 회로와 프로브가 연결된 다른 일 실시방식의 구조도이다.
도 4는 도 1에서 제어 회로와 프로브가 연결된 다른 일 실시방식의 구조도이다.
도 5는 본 출원 마이크로 요소의 이송 방법에서 일 실시방식의 흐름도이다.
도 6은 도 5에서 단계 S101-S102의 일 실시방식의 구조도이다.
도 7은 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩의 일 실시방식의 구조도이다.
도 8은 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩의 일 실시방식의 구조도이다.
도 9는 도 5에서 단계 S102의 일 실시방식의 흐름도이다.
도 10은 도 9에서 단계 S201의 일 실시방식의 흐름도이다.
도 11은 도 10에서 단계 S301-S302의 일 실시방식의 구조도이다.
도 12는 도 9에서 단계 S201의 일 실시방식의 흐름도이다.
도 13은 도 12에서 단계 S401-S402의 일 실시방식의 구조도이다.
도 14는 도 9에서 단계 S203의 일 실시방식의 구조도이다.
도 15는 도 9에서 단계 S203의 일 실시방식의 흐름도이다.
도 16은 도 15에서 단계 S501-S502의 일 실시방식의 구조도이다.Hereinafter, in order to more clearly explain the technical solutions of the embodiments of the present application, the accompanying drawings that need to be used in the embodiments or descriptions are briefly introduced. The accompanying drawings below are only some embodiments of the present application, and those skilled in the art to which the present application pertains may obtain other drawings from these drawings without creative efforts.
1 is a structural diagram of one embodiment in the transfer device of the micro-element of the present application.
FIG. 2 is a structural diagram of an embodiment in which a control circuit and a probe are connected in FIG. 1 .
FIG. 3 is a structural diagram of another embodiment in which a control circuit and a probe are connected in FIG. 1 .
4 is a structural diagram of another embodiment in which the control circuit and the probe are connected in FIG. 1 .
5 is a flowchart of an embodiment in the method of transferring microelements of the present application.
6 is a structural diagram of an embodiment of steps S101-S102 in FIG. 5 .
7 is a structural diagram of an embodiment of a vertical micro light emitting diode chip.
8 is a structural diagram of an embodiment of a horizontal micro light emitting diode chip.
9 is a flowchart of an embodiment of step S102 in FIG. 5 .
10 is a flowchart of an embodiment of step S201 in FIG. 9 .
11 is a structural diagram of an embodiment of steps S301 to S302 in FIG. 10 .
12 is a flowchart of an embodiment of step S201 in FIG. 9 .
13 is a structural diagram of an embodiment of steps S401-S402 in FIG. 12 .
14 is a structural diagram of an embodiment of step S203 in FIG. 9 .
15 is a flowchart of an embodiment of step S203 in FIG. 9 .
16 is a structural diagram of an embodiment of steps S501-S502 in FIG. 15 .

이하에서는 본 출원 실시예 중의 첨부 도면을 참고하여 본 출원 실시예 중의 기술적 해결책을 명확하고 완전하게 설명한다. 설명된 실시예는 본 출원의 전부가 아닌 일부 실시예일 뿐이다. 본 출원의 실시예를 기반으로 창의적인 작업 없이 당업자에 의해 획득된 다른 모든 실시예는 본 출원의 보호 범위에 속한다.Hereinafter, the technical solutions in the embodiments of the present application will be clearly and completely described with reference to the accompanying drawings in the embodiments of the present application. The described embodiments are only some, not all, of the present application. All other embodiments obtained by those skilled in the art without creative work based on the embodiments of the present application fall within the protection scope of the present application.

마이크로 요소, 예를 들어 마이크로 발광 다이오드 칩은 일정한 도너 기판(예를 들어 도너 웨이퍼 등) 상에 고밀도로 집적된 마이크로 크기의 마이크로 발광 다이오드 칩 어레이를 의미한다. 마이크로 발광 다이오드 칩의 크기는 일반적으로 100㎛ 이하이다. 디스플레이 제조 과정에서 일반적으로 정전기 흡착, 자력 흡착, 반데르발스 힘 작용, 진공 흡착 등 기술을 채택하여 마이크로 발광 다이오드 칩을 도너 기판으로부터 타깃 기판으로 대량 이송해야 한다.A micro element, for example, a micro light emitting diode chip, refers to a micro-sized micro light emitting diode chip array that is densely integrated on a certain donor substrate (eg, a donor wafer, etc.). The size of the micro light emitting diode chip is generally 100 μm or less. In the display manufacturing process, in general, electrostatic adsorption, magnetic adsorption, van der Waals force action, vacuum adsorption, etc. are adopted to mass transfer micro light emitting diode chips from donor substrate to target substrate.

도 1을 참고하면, 도 1은 본 출원 마이크로 요소의 이송 장치에서 일 실시방식의 구조도이다. 상기 이송 장치(1)는 이송 기판(10)과 제어 회로(12)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , FIG. 1 is a structural diagram of an embodiment in the apparatus for transferring microelements of the present application. The transfer device 1 includes a transfer substrate 10 and a control circuit 12 .

구체적으로, 이송 기판(10)은 이송 기판(10)의 적어도 한 표면(100)으로부터 돌출된 복수의 프로브(102)를 포함한다. 일 응용 시나리오에 있어서, 프로브(102)는 하나의 팁(A)과 하나의 베이스(B)를 구비한다. 프로브(102)의 베이스(B)는 이송 기판(10)의 표면(100) 상에 고정되거나 이동 가능하도록 설치된다. 프로브(102)는 팁(A)으로부터 베이스(B)까지의 방향이 직선형 또는 만곡형일 수 있다.인접한 프로브(102) 사이의 간격은 흡착해야 하는 마이크로 요소 사이의 간격에 따라 결정할 수 있다. 마이크로 요소 사이의 간격이 클수록 인접한 프로브(102) 사이의 간격도 커진다.다른 일 응용 시나리오에 있어서, 전술한 복수의 프로브(102)는 하나의 프로브 카드 상에 조립될 수 있다. 상기 프로브 카드 상의 한 표면은 이송 기판(10)의 한 표면과 고정된다. 또는 상기 이송 기판(10)과 복수의 프로브(102)가 바로 하나의 프로브 카드이다. 본 출원에 언급된 이송 기판(10)은 정전 흡착력을 제공하는 이송 장치(1) 상에 있는 것으로, 다른 특허에서 언급되는 마이크로 요소를 운반하는 기판이 아님에 유의한다.Specifically, the transfer substrate 10 includes a plurality of probes 102 protruding from at least one surface 100 of the transfer substrate 10 . In one application scenario, the probe 102 has one tip (A) and one base (B). The base B of the probe 102 is fixed or movable on the surface 100 of the transfer substrate 10 . The probe 102 may be straight or curved in the direction from the tip A to the base B. The spacing between adjacent probes 102 may be determined according to the spacing between microelements to be adsorbed. The greater the spacing between microelements, the greater the spacing between adjacent probes 102. In another application scenario, the plurality of probes 102 described above may be assembled on one probe card. One surface on the probe card is fixed to one surface of the transfer board 10 . Alternatively, the transfer board 10 and the plurality of probes 102 are one probe card. Note that the transfer substrate 10 referred to in this application is on the transfer device 1 providing electrostatic attraction force, and is not a substrate carrying microelements mentioned in other patents.

제어 회로(12)는 프로브(102)의 일단(예를 들어 도 1에서 베이스(B))과 연결되며, 각 프로브(102)가 작업을 수행하도록 제어하는 데 사용된다. 복수의 프로브(102)는 선정한 마이크로 요소를 독립적으로 흡착 또는 방출한다. 본 실시예에 있어서, 제어 회로(12)는 각 프로브(102)의 정전 흡착력 생성 또는 제거를 독립적으로 제어하는 데 사용된다. 따라서 프로브(102)가 선정한 마이크로 요소를 흡착 또는 방출하도록 만든다. 제어 회로(12)는 이송 기판(10) 내에 위치하거나, 이송 기판(10) 외부의 나머지 공간에 위치할 수 있다. 본 출원은 이를 한정하지 않는다. 본 출원에서 정전 흡착의 원리는 다음과 같다. 즉, 정전기를 가진 프로브(102)가 마이크로 요소에 가까워지면, 정전 유도 현상으로 인해 마이크로 요소에서 프로브(102)에 가까운 일단이 프로브(102)와 반대인 전하를 유도한다. 이로 인해 정전기를 가진 프로브(102) 상으로 흡인되어 부착된다.The control circuit 12 is connected to one end of the probe 102 (eg, the base B in FIG. 1 ), and is used to control each probe 102 to perform an operation. The plurality of probes 102 independently adsorb or release the selected microelements. In this embodiment, the control circuit 12 is used to independently control the electrostatic attraction force generation or removal of each probe 102 . Therefore, the probe 102 is made to adsorb or release the selected microelements. The control circuit 12 may be located in the transfer substrate 10 or in the remaining space outside the transfer substrate 10 . This application does not limit this. The principle of electrostatic adsorption in the present application is as follows. That is, when the probe 102 with static electricity approaches the micro element, one end close to the probe 102 induces a charge opposite to that of the probe 102 in the micro element due to the electrostatic induction phenomenon. Due to this, it is attracted and attached to the probe 102 with static electricity.

일 실시예에 있어서, 제어 회로(12)는 각 프로브(102)의 정전 흡착력 생성 또는 제거를 독립적으로 제어하도록 구현한다. 도 2를 참고하면, 도 2는 도 1에서 제어 회로와 프로브가 연결된 일 실시방식의 구조도이다. 제어 회로(12)는 정전기 생성 서브 회로(120), 복수의 스위치(122), 스위치 제어 회로(124)를 포함한다. 여기에서 정전기 생성 서브 회로(120)는 정전기 생성에 필요한 제1 전압을 제공하는 데 사용된다. 하나의 스위치(122)는 하나의 프로브(102)에 대응하도록 연결된다. 스위치(122)의 양단은 각각 프로브(102) 및 정전기 생성 서브 회로(120)와 연결된다. 스위치 제어 회로(124)는 복수의 스위치(122)의 온오프를 제어하는 데 사용된다. 본 실시예에 있어서, 스위치(122)는 도 2에 도시된 트리오드(triode) 또는 다른 유형의 전자 컴포넌트일 수 있다. 스위치(122)는 제어단(K1), 제1단(K2) 및 제2단(K3)을 포함한다. 여기에서 제1단(K2)은 정전기 생성 서브 회로(120)와 연결된다. 제2단(K3)은 대응하는 프로브(102)의 일단과 연결된다. 스위치 제어 회로(124)는 복수의 스위치(122)의 각 제어단(K1)을 각각 연결하는 데 사용된다. 스위치 제어 회로(124)와 복수의 스위치(122) 사이에는 신호 연결 또는 전기적 연결의 방식을 채택할 수 있다. 본 출원은 이를 한정하지 않는다. 또한 전술한 정전기 생성 서브 회로(120)의 설계 방식은 종래 기술 중 어느 하나를 참고할 수 있으므로, 여기에서 더 이상 설명하지 않는다. 스위치 제어 회로(124)의 설계 방식도 종래 기술 중 어느 하나를 참고할 수 있으므로, 여기에서 더 이상 설명하지 않는다.In one embodiment, the control circuit 12 is implemented to independently control the generation or removal of the electrostatic attraction force of each probe 102 . Referring to FIG. 2 , FIG. 2 is a structural diagram of an embodiment in which the control circuit and the probe are connected in FIG. 1 . The control circuit 12 includes a static electricity generation sub-circuit 120 , a plurality of switches 122 , and a switch control circuit 124 . Here, the static electricity generation sub-circuit 120 is used to provide a first voltage necessary for static electricity generation. One switch 122 is connected to correspond to one probe 102 . Both ends of the switch 122 are respectively connected to the probe 102 and the static electricity generating sub-circuit 120 . The switch control circuit 124 is used to control the on/off of the plurality of switches 122 . In this embodiment, the switch 122 may be the triode shown in FIG. 2 or another type of electronic component. The switch 122 includes a control stage K1 , a first stage K2 , and a second stage K3 . Here, the first stage K2 is connected to the static electricity generating sub-circuit 120 . The second end K3 is connected to one end of the corresponding probe 102 . The switch control circuit 124 is used to respectively connect the respective control terminals K1 of the plurality of switches 122 . A method of signal connection or electrical connection may be adopted between the switch control circuit 124 and the plurality of switches 122 . This application does not limit this. In addition, since the above-described design method of the static electricity generating sub-circuit 120 may refer to any one of the prior art, it will not be described further herein. Since the design method of the switch control circuit 124 may also refer to any one of the prior art, it will not be further described herein.

다른 일 실시예에 있어서, 본 출원에서 제공하는 이송 장치(1)를 이용하여 마이크로 요소를 대량 이송하는 과정에서, 마이크로 요소에 대해 성능 검출을 더 수행하여, 성능 검출을 통과하지 못한 마이크로 요소를 발견하고 제거할 수 있다. 도 3을 참고하면, 도 3은 도 1에서 제어 회로와 프로브가 연결된 다른 일 실시방식의 구조도이다. 제어 회로(12)는 제1 검출 서브 회로(120a)를 더 포함한다. 각 프로브(102)(예를 들어 도 1에서 프로브(102)의 베이스(B))는 제1 검출 서브 회로(120a)와 연결된다. 제1 검출 서브 회로(120a)는 복수의 프로브(102)에 테스트 전압/테스트 전류를 제공하는 데 사용된다. 제1 검출 서브 회로(120a)가 복수의 프로브(102)에 테스트 전압/테스트 전류를 제공하면, 스위치 제어 회로(124)는 스위치(122)가 오프되도록 제어한다. 예를 들어 스위치(122)의 제어단(K1)을 통해 제1단(K2)과 제2단(K3)이 오프되도록 제어할 수 있다.In another embodiment, in the process of mass transferring microelements using the transfer device 1 provided in the present application, performance detection is further performed on the microelements to find the microelements that have not passed the performance detection and can be removed. Referring to FIG. 3 , FIG. 3 is a structural diagram of another embodiment in which the control circuit and the probe are connected in FIG. 1 . The control circuit 12 further includes a first detection sub-circuit 120a. Each probe 102 (eg, the base B of the probe 102 in FIG. 1 ) is connected to the first detection sub-circuit 120a. The first detection sub-circuit 120a is used to provide a test voltage/test current to the plurality of probes 102 . When the first detection sub-circuit 120a provides the test voltage/test current to the plurality of probes 102 , the switch control circuit 124 controls the switch 122 to be turned off. For example, the first terminal K2 and the second terminal K3 may be controlled to be turned off through the control terminal K1 of the switch 122 .

전술한 실시예에 있어서 다시 도 1을 참고하면, 본 출원에서 제공하는 이송 장치(1)는 도전 임시 기판(14)을 더 포함한다. 도전 임시 기판(14)은 적어도 한 표면에 도전층(140)이 설치된다. 이는 프로브(102)와 매칭되어 마이크로 요소의 양단에 테스트 전압/테스트 전류를 제공하여, 마이크로 요소를 통전시킴으로써 성능 검출을 수행하도록 만드는 데 사용된다. 본 실시예에 있어서, 도전층(140)의 재질은 금속이며 예를 들어 알루미늄박, 구리박 등이 있다. 도전층(140)은 패턴화 구조 또는 비패턴화 구조일 수 있다. 도전층(140)이 패턴화 구조인 경우, 그 패턴화된 부분은 마이크로 요소의 전극과 접촉한다. 또한 본 실시예에 있어서, 도전 임시 기판(14)에서 도전층(140) 이외의 부분이 도전될 수도, 도전되지 않을 수도 있다.Referring back to FIG. 1 in the above-described embodiment, the transfer device 1 provided in the present application further includes a conductive temporary substrate 14 . A conductive layer 140 is provided on at least one surface of the temporary conductive substrate 14 . This is used to match the probe 102 and provide a test voltage/test current across the micro-element to conduct performance detection by energizing the micro-element. In this embodiment, the material of the conductive layer 140 is a metal, for example, aluminum foil, copper foil, or the like. The conductive layer 140 may have a patterned structure or a non-patterned structure. When the conductive layer 140 has a patterned structure, the patterned portion is in contact with the electrode of the microelement. Also, in the present embodiment, portions of the conductive temporary substrate 14 other than the conductive layer 140 may or may not be conductive.

상기에서 제공하는 도전 임시 기판(14)과 제1 검출 서브 회로(120a)의 조합은 마이크로 요소가 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩일 때의 경우에 적용된다. 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극은 마이크로 발광 다이오드 칩의 대향하는 양측에 위치한다. 프로브(102)와 도전 임시 기판(14)은 각각 두 전극과 접촉한다. 예를 들어 프로브(102)와 도전 임시 기판(14)은 마이크로 발광 다이오드 칩의 대향하는 양측에 위치한다. 따라서 도전 임시 기판(14)에 제1 전압(V1)을 인가하고, 제1 검출 서브 회로(120a)를 통해 프로브(102)에 제2 전압(V2)을 인가할 수 있다. 제1 전압(V1)과 제2 전압(V2)이 다르므로 마이크로 발광 다이오드 칩에 전압차를 생성하여 성능 검출 수행의 목적을 달성할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극은 대향하는 양측에 위치한다. 그 중 일측 전극은 금속으로 불투광하다. 해당 측의 전극은 도전 임시 기판(14)과 접촉하면, 도전 임시 기판(14)이 투명할 수도, 투명하지 않을 수도 있다.The combination of the conductive temporary substrate 14 and the first detection sub-circuit 120a provided above is applied when the micro element is a vertical micro light emitting diode chip. The two electrodes of the vertical micro light emitting diode chip are located on opposite sides of the micro light emitting diode chip. The probe 102 and the conductive temporary substrate 14 are in contact with the two electrodes, respectively. For example, the probe 102 and the conductive temporary substrate 14 are positioned on opposite sides of the micro light emitting diode chip. Accordingly, the first voltage V1 may be applied to the conductive temporary substrate 14 and the second voltage V2 may be applied to the probe 102 through the first detection sub-circuit 120a. Since the first voltage V1 and the second voltage V2 are different, the purpose of performance detection may be achieved by generating a voltage difference in the micro light emitting diode chip. In this embodiment, the two electrodes of the vertical micro light emitting diode chip are located on opposite sides. Among them, one electrode is opaque with metal. When the electrode on the side is in contact with the conductive temporary substrate 14, the conductive temporary substrate 14 may or may not be transparent.

다른 실시예에 있어서, 마이크로 요소가 다른, 예를 들어 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩(즉, 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극이 동일 측에 위치함)인 경우, 본 출원에서 제공하는 이송 장치(1)를 이용해 마이크로 요소를 대량 이송하는 과정에서, 마찬가지로 마이크로 요소에 대해 성능 검출을 수행할 수 있다. 도 4를 참고하면, 도 4는 도 1에서 제어 회로와 프로브가 연결된 다른 일 실시방식의 구조도이다. 제어 회로(12)는 제2 검출 서브 회로(120b)와 제3 검출 서브 회로(120c)를 포함한다. 인접한 한 세트의 프로브(102)는 각각 제2 검출 서브 회로(120b) 및 제3 검출 서브 회로(120c)와 연결된다. 제2 검출 서브 회로(120b)와 제3 검출 서브 회로(120c)는 프로브(102)와 매칭되어 마이크로 요소의 두 전극에 테스트 전압/테스트 전류를 제공하여, 마이크로 요소를 통전시킴으로써 성능 검출을 수행하는 데 사용된다. 본 실시예에 있어서, 도전 임시 기판(14)을 마이크로 요소의 운반 기판으로 도입할 수도 있다. 마이크로 요소 검출 과정에서 도전 임시 기판(14)의 도전 성능이 이용되지 않을 수도 있다. 본 실시예에 있어서, 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩의 양측은 모두 투광될 수 있다. 따라서 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩 일측에 위치한 도전 임시 기판(14)은 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩의 발광 효과를 관찰하기 용이하도록 투명해야 한다.In another embodiment, when the micro element is different, for example, a horizontal type micro light emitting diode chip (ie, two electrodes of a horizontal type micro light emitting diode chip are located on the same side), the transfer device provided in the present application ( In the process of mass transporting microelements using 1), performance detection can also be performed on microelements. Referring to FIG. 4 , FIG. 4 is a structural diagram of another embodiment in which the control circuit and the probe are connected in FIG. 1 . The control circuit 12 includes a second detection sub-circuit 120b and a third detection sub-circuit 120c. A set of adjacent probes 102 is connected to the second detection sub-circuit 120b and the third detection sub-circuit 120c, respectively. The second detection sub-circuit 120b and the third detection sub-circuit 120c are matched with the probe 102 to provide a test voltage/test current to two electrodes of the micro-element to conduct performance detection by energizing the micro-element. used to In this embodiment, the conductive temporary substrate 14 may be introduced as a transport substrate of the microelements. The conductive performance of the conductive temporary substrate 14 may not be utilized in the micro-element detection process. In this embodiment, both sides of the horizontal type micro light emitting diode chip may be transmitted. Therefore, the conductive temporary substrate 14 located on one side of the horizontal micro light emitting diode chip should be transparent so that the light emitting effect of the horizontal micro light emitting diode chip can be easily observed.

도 5 및 도 6을 참고하면, 도 5는 본 출원에 따른 마이크로 요소의 이송 방법에서 일 실시방식의 흐름도이다. 도 6은 도 5에서 단계 S101-S102의 일 실시방식의 구조도이다. 본 출원에서 제공하는 마이크로 요소의 이송 방법은 하기 단계를 포함한다.5 and 6 , FIG. 5 is a flowchart of an embodiment in a method of transporting a micro element according to the present application. 6 is a structural diagram of an embodiment of steps S101-S102 in FIG. 5 . The method for transferring microelements provided in the present application includes the following steps.

S101: 도너 기판(2)을 제공하며, 도너 기판(2) 상에는 복수의 마이크로 요소(3)가 설치된다.S101: Provide a donor substrate 2, on which a plurality of microelements 3 are installed.

구체적으로 도 6a를 참고하면, 본 실시예에 있어서 도너 기판(2)은 도너 웨이퍼일 수 있다. 마이크로 요소(3)는 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩 또는 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩일 수 있다. 또한 전술한 복수의 마이크로 요소(3)는 동일한 컬러(예를 들어 적색 또는 녹색 또는 청색)이거나 다른 컬러의 마이크로 발광 다이오드 칩일 수 있다.Specifically, referring to FIG. 6A , in this embodiment, the donor substrate 2 may be a donor wafer. The micro element 3 may be a vertical micro light emitting diode chip or a horizontal micro light emitting diode chip. Also, the plurality of microelements 3 described above may be of the same color (eg, red or green or blue) or micro light emitting diode chips of different colors.

S102: 이송 장치(1)를 이용하여 복수의 마이크로 요소(3)를 도너 기판(2)으로부터 이송한다. 여기에서 이송 장치(1)는 이송 기판(10)과 제어 회로(12)를 포함한다. 이송 기판(10)은 이송 기판(10)의 적어도 한 표면(100)으로부터 돌출된 복수의 프로브(102)를 포함한다. 제어 회로(12)는 복수의 프로브(102)와 연결되며, 복수의 프로브(102)가 작업을 수행하도록 독립적으로 제어하는 데 사용된다. 복수의 프로브(102)는 선정한 마이크로 요소를 독립적으로 흡착 또는 방출한다.S102: Transfer the plurality of microelements 3 from the donor substrate 2 using the transfer device 1 . Here, the transfer device 1 includes a transfer substrate 10 and a control circuit 12 . The transfer substrate 10 includes a plurality of probes 102 protruding from at least one surface 100 of the transfer substrate 10 . The control circuit 12 is connected to the plurality of probes 102 and is used to independently control the plurality of probes 102 to perform a task. The plurality of probes 102 independently adsorb or release the selected microelements.

구체적으로 도 6b를 참고하며, 본 실시예에 있어서 이송 장치(1)의 구체적인 구조는 전술한 실시예를 참고할 수 있으므로 여기에서 더 이상 설명하지 않는다. 또한 본 출원에서 제공하는 제어 회로(12)는 각 프로브(102)의 정전 흡착력 생성 또는 제거를 독립적으로 제어하는 데 사용된다. 따라서 프로브(102)가 선정한 마이크로 요소를 흡착 또는 방출하도록 만든다.Referring specifically to FIG. 6B , the specific structure of the conveying device 1 in this embodiment will not be described further herein because reference may be made to the above-described embodiment. In addition, the control circuit 12 provided in the present application is used to independently control the generation or removal of the electrostatic attraction force of each probe 102 . Therefore, the probe 102 is made to adsorb or release the selected microelements.

일 응용 시나리오에 있어서, 도 7을 참고하면, 도 7은 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩의 일 실시방식의 구조도이다. 마이크로 요소(3)는 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)이다. 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극(30a, 32a)은 각각 마이크로 발광 다이오드 에피택셜층의 대향하는 양측에 위치한다. 전술한 단계 S102는 구체적으로 다음을 포함한다. 이송 장치(1)를 이용하여 복수의 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)을 도너 기판(2)으로부터 도전 임시 기판까지 이송한다. 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)의 하나의 전극(30a)은 프로브(102)와 접촉하고, 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)의 다른 하나의 전극(32a)은 도전 임시 기판의 도전층과 접촉한다.물론 다른 응용 시나리오에 있어서, 다른 방식을 채택할 수도 있다. 예를 들어 정전기에 의해 생성되는 전압 또는 전류가 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)에 미치는 영향을 줄이기 위해, 프로브(102)는 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)의 하나의 전극(30a) 이외의 부분과 접촉할 수 있다.In one application scenario, referring to FIG. 7 , FIG. 7 is a structural diagram of an embodiment of a vertical micro light emitting diode chip. The micro element 3 is a vertical micro light emitting diode chip 3a. The two electrodes 30a and 32a of the micro light emitting diode chip are respectively positioned on opposite sides of the micro light emitting diode epitaxial layer. Step S102 described above specifically includes the following. A plurality of micro light emitting diode chips 3a are transferred from the donor substrate 2 to the conductive temporary substrate using the transfer device 1 . One electrode 30a of the micro light emitting diode chip 3a is in contact with the probe 102, and the other electrode 32a of the micro light emitting diode chip 3a is in contact with the conductive layer of the conductive temporary substrate. For other application scenarios, other approaches may be adopted. For example, in order to reduce the influence of voltage or current generated by static electricity on the micro light emitting diode chip 3a, the probe 102 is in contact with a portion other than one electrode 30a of the micro light emitting diode chip 3a. can do.

다른 일 응용 시나리오에 있어서, 도 8을 참고하면, 도 8은 마이크로 발광 다이오드 칩의 일 실시방식의 구조도이다. 마이크로 요소(3)가 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)(예를 들어 논플립 또는 플립 마이크로 발광 다이오드 칩)일 때, 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)의 두 전극(30b, 32b)은 마이크로 발광 다이오드 에피택셜층의 동일 측에 위치한다. 전술한 단계 S102는 구체적으로 다음을 포함한다. 이송 장치(1)를 이용하여 복수의 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)을 도너 기판(2)으로부터 도전 임시 기판까지 이송한다. 인접한 제1 프로브와 제2 프로브는 각각 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)의 두 전극(30b, 32b)과 접촉한다.물론 다른 응용 시나리오에 있어서, 다른 방식을 채택할 수도 있다. 예를 들어 정전기에 의해 생성되는 전압 또는 전류가 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)에 미치는 영향을 줄이기 위해, 프로브(102)는 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)의 두 전극(30b, 32b) 사이의 영역과 접촉할 수 있다.In another application scenario, referring to FIG. 8, FIG. 8 is a structural diagram of an embodiment of a micro light emitting diode chip. When the micro element 3 is a horizontal micro light emitting diode chip 3b (for example, a non-flip or flip micro light emitting diode chip), the two electrodes 30b and 32b of the micro light emitting diode chip 3b are micro light emitting diodes. located on the same side of the epitaxial layer. Step S102 described above specifically includes the following. A plurality of micro light emitting diode chips 3b are transferred from the donor substrate 2 to the conductive temporary substrate using the transfer device 1 . The adjacent first and second probes are in contact with the two electrodes 30b and 32b of the micro light emitting diode chip 3b, respectively. Of course, in other application scenarios, other methods may be adopted. For example, in order to reduce the effect of a voltage or current generated by static electricity on the micro light emitting diode chip 3b, the probe 102 is positioned between the two electrodes 30b and 32b of the micro light emitting diode chip 3b and can be contacted

다른 실시예에 있어서, 도 9를 참고하면 도 9는 도 5에서 단계 S102 이후 일 실시방식의 흐름도이다. 전술한 단계 S102 이후 본 출원에서 제공하는 이송 방법은 구체적으로 하기 단계를 포함한다.In another embodiment, referring to FIG. 9 , FIG. 9 is a flowchart of an embodiment after step S102 in FIG. 5 . After the above-described step S102, the transfer method provided in the present application specifically includes the following steps.

S201: 복수의 마이크로 요소에 대해 성능 검출을 수행하여, 성능 검출 통과 및 성능 검출 미통과된 복수의 마이크로 요소를 획득한다.S201: Perform performance detection on a plurality of microelements to obtain a plurality of microelements that pass performance detection and fail performance detection.

구체적으로 일 실시예에 있어서, 마이크로 요소가 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩인 경우, 도 10 및 도 11을 참고하면, 도 10은 도 9에서 단계 S201의 일 실시방식의 흐름도이다. 도 11은 도 10에서 단계 S301-S302의 일 실시방식의 구조도이다. 전술한 단계 S201은 구체적으로 하기 단계를 포함한다.Specifically, in one embodiment, when the micro element is a vertical micro light emitting diode chip, referring to FIGS. 10 and 11 , FIG. 10 is a flowchart of an embodiment of step S201 in FIG. 9 . 11 is a structural diagram of an embodiment of steps S301 to S302 in FIG. 10 . Step S201 described above specifically includes the following steps.

S301: 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)의 하나의 전극(30a)은 프로브(102)와 접촉한다. 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)의 다른 하나의 전극(32a)은 도전 임시 기판(14)의 도전층(140)과 접촉한다. 도전 임시 기판(14)의 도전층(140) 및 제어 회로(12) 중의 제1 검출 서브 회로(미도시)와 연결된 프로브(102)는 동시에 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)에 테스트 전압/테스트 전류를 인가한다.S301: One electrode 30a of the micro light emitting diode chip 3a is in contact with the probe 102 . The other electrode 32a of the micro light emitting diode chip 3a is in contact with the conductive layer 140 of the conductive temporary substrate 14 . The conductive layer 140 of the conductive temporary substrate 14 and the probe 102 connected to the first detection sub-circuit (not shown) in the control circuit 12 simultaneously apply a test voltage/test current to the micro light-emitting diode chip 3a. approve

구체적으로, 도 11을 참고하면 본 실시예에 있어서 도전 임시 기판(14)은 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)과 접촉하는 일측에 도전층(140)이 설치된다. 도전 임시 기판(14)의 다른 부분은 도전될 수도, 도전되지 않을 수도 있다. 또한 본 실시예에 있어서, 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)은 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩이다. 따라서 도전 임시 기판(14)은 투명하거나 투명하지 않을 수 있다. 본 실시예에 있어서, 프로브(102)와 도전 임시 기판(14)의 테스트 전압/테스트 전류는 모두 검출 서브 회로에 의해 제공될 수 있다. 물론 다른 실시예에서는 2개의 상이한 회로에 의해 제공될 수도 있다. 또한 본 실시예에서 전술한 성능 검출 방식은 전계 발광 방법이다. 다른 실시예에서는 다른 방식을 채택하여 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)의 성능에 대한 검출을 수행할 수도 있다. 예를 들어 전자 유도 등의 방법으로 검출을 수행할 수 있다.Specifically, referring to FIG. 11 , in the present embodiment, the conductive layer 140 is provided on one side of the conductive temporary substrate 14 in contact with the micro light emitting diode chip 3a. Other portions of the conductive temporary substrate 14 may or may not be conductive. Also, in this embodiment, the micro light emitting diode chip 3a is a vertical micro light emitting diode chip. Accordingly, the conductive temporary substrate 14 may or may not be transparent. In this embodiment, both the test voltage/test current of the probe 102 and the conductive temporary substrate 14 may be provided by the detection sub-circuit. Of course, other embodiments may be provided by two different circuits. In addition, the above-described performance detection method in this embodiment is an electroluminescence method. In another embodiment, the detection of the performance of the micro light emitting diode chip 3a may be performed by adopting a different method. For example, detection may be performed by a method such as electromagnetic induction.

S302: 마이크로 발광 다이오드 칩(3a) 성능이 소정의 조건을 충족시킬 경우, 마이크로 발광 다이오드 칩(3a) 성능이 통과된 것으로 판정한다. 그러하지 않은 경우, 마이크로 발광 다이오드 칩(3a) 성능이 통과되지 않은 것으로 판정한다. 구체적으로 본 실시예에 있어서, 전술한 성능에는 전기학, 광학, 컬러 등 측면 중 어느 하나 이상의 성능이 포함된다. 실제 검출 수요에 따라 전술한 전체 또는 일부 성능을 선택적으로 검출할 수 있다. 성능마다 소정의 조건이 설정된다. 마이크로 발광 다이오드 칩(3a)의 성능이 모든 소정의 조건을 충족시켜야만 그 성능이 통과된 것으로 판정된다.S302: When the performance of the micro light emitting diode chip 3a meets a predetermined condition, it is determined that the performance of the micro light emitting diode chip 3a has passed. If not, it is determined that the performance of the micro light emitting diode chip 3a is not passed. Specifically, in the present embodiment, the performance described above includes any one or more of the aspects such as electrical, optical, and color. All or part of the performance described above may be selectively detected according to the actual detection demand. A predetermined condition is set for each performance. It is determined that the performance of the micro light emitting diode chip 3a has passed only when all predetermined conditions are satisfied.

구체적으로 다른 일 실시예에 있어서, 마이크로 요소가 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩인 경우, 도 12 및 도 13을 참고하면, 도 12는 도 9에서 단계 S201의 일 실시방식의 흐름도이다. 도 13은 도 12에서 단계 S401-S402의 일 실시방식의 구조도이다. 전술한 단계 S201은 구체적으로 하기 단계를 포함한다.Specifically, in another embodiment, when the micro element is a horizontal micro light emitting diode chip, referring to FIGS. 12 and 13 , FIG. 12 is a flowchart of an embodiment of step S201 in FIG. 9 . 13 is a structural diagram of an embodiment of steps S401-S402 in FIG. 12 . Step S201 described above specifically includes the following steps.

S401: 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)의 두 전극(30b, 32b)은 각각 인접한 제1 프로브(102a) 및 제2 프로브(102b)와 접촉된다. 제어 회로(12) 중의 제2 검출 서브 회로 및 제3 검출 서브 회로는 각각 제1 프로브(102a) 및 제2 프로브(102b)와 동시에 테스트 전압/테스트 전류를 인가한다.S401: The two electrodes 30b and 32b of the micro light emitting diode chip 3b are in contact with the adjacent first and second probes 102a and 102b, respectively. The second detection sub-circuit and the third detection sub-circuit in the control circuit 12 apply the test voltage/test current simultaneously with the first probe 102a and the second probe 102b, respectively.

구체적으로 도 13을 참고하면, 본 실시예에 있어서 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)의 타측에는 도전 임시 기판(14)이 거치된다. 도전 임시 기판(14)은 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)과 접촉하는 일측에 도전층(140)이 설치된다. 물론 다른 실시예에서 전술한 도전 임시 기판(14)은 도전성이 없는 기판으로 교체될 수도 있다. 또한 본 실시예에 있어서, 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)은 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩이다. 도전 임시 기판(14)은 투명할 수 있다. 상기 단계에서 도전 임시 기판(14)은 운반의 작용을 한다. 또한 그 도전층(140)의 도전 성능을 이용하지 않을 수 있다. 도전층(140)의 도전 성능은 후속 단계에서 구현될 수 있다. 본 실시예에 있어서 이송 장치(1)의 프로브(102)를 직접 채택하여 성능 검출을 수행할 수 있다. 다른 실시예에서는 다른 장치의 프로브를 채택하여 검출을 수행할 수도 있다. 또한 본 실시예에서 전술한 성능 검출 방식은 전계 발광 방법이다. 다른 실시예에서는 다른 방식을 채택하여 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)의 성능에 대한 검출을 수행할 수도 있다. 예를 들어 전자 유도 등의 방법으로 검출을 수행할 수 있다.Specifically, referring to FIG. 13 , in the present embodiment, the conductive temporary substrate 14 is mounted on the other side of the micro light emitting diode chip 3b. A conductive layer 140 is provided on one side of the conductive temporary substrate 14 in contact with the micro light emitting diode chip 3b. Of course, in another embodiment, the conductive temporary substrate 14 may be replaced with a non-conductive substrate. Also, in this embodiment, the micro light emitting diode chip 3b is a horizontal type micro light emitting diode chip. The conductive temporary substrate 14 may be transparent. In this step, the conductive temporary substrate 14 serves as a transport. Also, the conductive performance of the conductive layer 140 may not be used. The conductive performance of the conductive layer 140 may be implemented in a subsequent step. In this embodiment, the performance detection can be performed by directly adopting the probe 102 of the transport device 1 . In other embodiments, the detection may be performed by employing probes from other devices. In addition, the above-described performance detection method in this embodiment is an electroluminescence method. In another embodiment, the detection of the performance of the micro light emitting diode chip 3b may be performed by adopting a different method. For example, detection may be performed by a method such as electromagnetic induction.

S402: 마이크로 발광 다이오드 칩(3b) 성능이 소정의 조건을 충족시킬 경우, 마이크로 발광 다이오드 칩(3b) 성능이 통과된 것으로 판정한다. 그러하지 않은 경우, 마이크로 발광 다이오드 칩(3b) 성능이 통과되지 않은 것으로 판정한다. 구체적으로 본 실시예에 있어서, 전술한 성능에는 전기학, 광학, 컬러 등 측면 중 어느 하나 이상의 성능이 포함된다. 실제 검출 수요에 따라 전술한 전체 또는 일부 성능을 선택적으로 검출할 수 있다. 성능마다 대응하는 소정의 조건이 설정된다. 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)의 성능이 모든 소정의 조건을 충족시켜야만 그 성능이 통과된 것으로 판정된다.S402: When the performance of the micro light emitting diode chip 3b meets a predetermined condition, it is determined that the performance of the micro light emitting diode chip 3b has passed. If not, it is determined that the performance of the micro light emitting diode chip 3b is not passed. Specifically, in the present embodiment, the performance described above includes any one or more of the aspects such as electrical, optical, and color. All or part of the performance described above may be selectively detected according to the actual detection demand. A predetermined condition corresponding to each performance is set. It is determined that the performance of the micro light emitting diode chip 3b has passed only when all predetermined conditions are satisfied.

S202: 성능 검출 미통과된 마이크로 요소를 제거한다.S202: Remove the microelements that have not passed the performance detection.

구체적으로 일 응용 시나리오에 있어서, 전술한 S202 단계는 구체적으로 다음을 포함한다. 성능 검출 미통과된 마이크로 요소에 대응하는 제어 회로 중의 정전기 생성 서브 회로는 프로브가 정전 흡착력을 생성하도록 제어한다. 성능 검출 통과된 마이크로 요소에 대응하는 제어 회로 중의 정전기 생성 서브 회로는 프로브가 정전 흡착력을 갖지 않도록 제어한다. 따라서 성능 검출 미통과된 마이크로 요소는 임시 기판으로부터 흡착 및 이송된다.Specifically, in one application scenario, the above-described step S202 specifically includes the following. The static electricity generation sub-circuit in the control circuit corresponding to the micro element that has not passed the performance detection controls the probe to generate an electrostatic attraction force. The static electricity generation sub-circuit in the control circuit corresponding to the micro element that has passed the performance detection controls the probe not to have an electrostatic attraction force. Therefore, microelements that do not pass performance detection are adsorbed and transferred from the temporary substrate.

S203: 성능 검출 통과된 마이크로 요소를 타깃 기판의 소정 위치까지 이송한다.S203: Transfer the microelements that have passed the performance detection to a predetermined position on the target substrate.

구체적으로 일 실시예에 있어서, 마이크로 요소가 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩인 경우, 도 14를 참고하면 도 14는 도 9에서 단계 S203에 대응하는 일 실시방식의 구조도이다. 전술한 단계 S203은 구체적으로 다음을 포함한다. 성능 검출 통과된 마이크로 요소(3a)에 대응하는 제어 회로(12)는 프로브(102)가 정전 흡착력을 생성하도록 제어한다. 이를 통해 성능 검출 통과된 마이크로 요소(3a)를 타깃 기판(16)의 소정 위치로 흡착 및 이송한 후 방출한다.Specifically, in one embodiment, when the micro element is a vertical micro light emitting diode chip, referring to FIG. 14 , FIG. 14 is a structural diagram of an embodiment corresponding to step S203 in FIG. 9 . Step S203 described above specifically includes the following. The control circuit 12 corresponding to the micro-element 3a that has passed the performance detection controls the probe 102 to generate an electrostatic attraction force. Through this, the microelements 3a that have passed the performance detection are adsorbed and transported to a predetermined position on the target substrate 16 and then released.

다른 일 실시예에 있어서, 마이크로 요소가 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩인 경우, 도 15 및 도 16을 참고하면, 도 15는 도 9에서 단계 S203에 대응하는 일 실시방식의 흐름도이다. 도 16은 도 15에서 단계 S501-S502에 대응하는 일 실시방식의 구조도이다. 전술한 단계 S203은 구체적으로 하기 단계를 포함한다.In another embodiment, when the micro element is a horizontal micro light emitting diode chip, referring to FIGS. 15 and 16 , FIG. 15 is a flowchart of an embodiment corresponding to step S203 in FIG. 9 . 16 is a structural diagram of an embodiment corresponding to steps S501-S502 in FIG. 15 . Step S203 described above specifically includes the following steps.

S501: 성능 검출 통과된 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)을 도전 임시 기판(14) 상에 흡착시킨다.S501: The micro light emitting diode chip 3b that has passed the performance detection is adsorbed onto the conductive temporary substrate 14.

구체적으로 일 실시예에 있어서 도전 임시 기판(14)에 제3 전압을 인가하여, 도전 임시 기판(14)이 정전 흡착 작용을 통해 마이크로 요소(3b)를 흡착하도록 만들 수 있다. 다른 일 실시예에 있어서 도전 임시 기판(14)에서 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)으로부터 먼 일측에 정전/자력 흡착 장치를 설치하여, 성능 검출 통과된 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)이 도전 임시 기판(14) 상에 흡착되도록 만들 수도 있다.예를 들어 정전 흡착 장치는 복수의 프로브일 수 있다. 복수의 프로브는 통전 조건 하에서 정전기를 생성한다. 다른 예를 들면 자력 흡착 장치는 자성이 있는 장치일 수 있다.Specifically, in one embodiment, a third voltage may be applied to the conductive temporary substrate 14 to make the conductive temporary substrate 14 adsorb the micro-element 3b through an electrostatic absorption action. In another embodiment, by installing an electrostatic/magnetic absorption device on one side far from the micro light emitting diode chip 3b in the conductive temporary substrate 14, the micro light emitting diode chip 3b that has passed the performance detection is the conductive temporary substrate 14 ) ). For example, the electrostatic adsorption device may be a plurality of probes. The plurality of probes generate static electricity under energized conditions. For another example, the magnetic attraction device may be a magnetic device.

S502: 도전 임시 기판(14)에서 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)이 흡착된 일측을 타깃 기판(16)을 향하도록 만든다. 또한 마이크로 발광 다이오드 칩(3b)의 두 전극을 타깃 기판(16)의 소정 위치와 접촉시킨 후 방출한다.S502: On the conductive temporary substrate 14, one side on which the micro light emitting diode chip 3b is adsorbed faces the target substrate 16. In addition, the two electrodes of the micro light emitting diode chip 3b are brought into contact with predetermined positions of the target substrate 16 and then emitted.

다른 실시예에 있어서, 전술한 단계 S203 이후 본 출원에서 제공하는 이송 방법은 마이크로 요소를 소정 위치와 바인딩 또는 본딩하는 단계를 더 포함한다. 본 실시예에 있어서 바인딩과 본딩 공정은 종래 기술 중 어느 하나의 실시방식을 참고할 수 있다. 따라서 여기에서 더 이상 설명하지 않는다.In another embodiment, after the above-described step S203, the transport method provided in the present application further includes binding or bonding the micro-element to a predetermined position. In this embodiment, the binding and bonding process may refer to any one implementation method of the prior art. Therefore, no further explanation is given here.

상기 내용을 요약하면, 종래 기술과 비교할 때 본 출원에서 제공하는 마이크로 요소의 이송 장치는 각 프로브의 정전 흡착력 생성 또는 제거를 독립적으로 제어할 수 있는 제어 회로를 채택한다. 따라서 이송 헤드가 선정한 마이크로 요소를 흡착 또는 방출하도록 선택적으로 제어하여, 대량 이송 과정에서 각 마이크로 요소에 대한 독립적인 작업을 구현할 수 있다.To summarize the above, compared with the prior art, the micro-element transfer device provided in the present application adopts a control circuit capable of independently controlling the generation or removal of the electrostatic attraction force of each probe. Therefore, by selectively controlling the transfer head to adsorb or release selected microelements, it is possible to implement independent work for each microelements in the mass transfer process.

또한 대량 이송 과정에서 모든 마이크로 요소에 대해 성능 테스트를 수행할 수도 있다. 성능 테스트를 통과하지 못한 마이크로 요소의 경우, 그 대응하는 제어 회로는 프로브가 상기 마이크로 요소를 흡착하여 이송하도록 제어한다. 따라서 대량 이송 과정에서 불량 마이크로 요소를 제거하는 목적을 달성할 수 있다.It is also possible to perform performance tests on all microelements during mass transfer. For microelements that do not pass the performance test, the corresponding control circuit controls the probe to adsorb and transport the microelements. Therefore, it is possible to achieve the purpose of removing defective microelements in the mass transfer process.

Claims (16)

마이크로 요소의 이송 장치에 있어서,
적어도 한 표면으로부터 돌출된 복수의 프로브를 포함하는 이송 기판; 및
복수의 상기 프로브와 연결되며 각 상기 프로브가 작업을 수행하도록 제어하는 제어 회로를 포함하고, 복수의 상기 프로브는 선정한 마이크로 요소를 독립적으로 흡착 또는 방출하는 마이크로 요소의 이송 장치.A micro-element transport device, comprising:
a transfer substrate comprising a plurality of probes protruding from at least one surface; and
and a control circuit connected to the plurality of probes and controlling each of the probes to perform an operation, wherein the plurality of probes independently adsorbs or releases the selected microelements. 제1항에 있어서,
상기 제어 회로는 각 상기 프로브의 정전 흡착력 생성 또는 제거를 제어하는 데 사용되며, 상기 제어 회로는,
정전기 생성에 필요한 제1 전압을 제공하는 데 사용되는 정전기 생성 서브 회로;
복수의 스위치-하나의 상기 스위치는 상기 프로브에 대응하도록 연결되고, 상기 스위치의 양단은 각각 상기 프로브 및 상기 정전기 생성 서브 회로와 연결됨;
복수의 상기 스위치의 온오프를 제어하는 데 사용되는 스위치 제어 회로를 포함하는 마이크로 요소의 이송 장치.According to claim 1,
The control circuit is used to control the generation or removal of the electrostatic attraction force of each of the probes, the control circuit comprising:
a static electricity generation sub-circuit used to provide a first voltage necessary for static electricity generation;
a plurality of switches—one of the switches is connected to correspond to the probe, and both ends of the switch are respectively connected to the probe and the static electricity generating sub-circuit;
A micro-element transfer device comprising a switch control circuit used to control on-off of a plurality of said switches. 제2항에 있어서,
상기 스위치는 제어단, 제1단 및 제2단을 포함하고, 상기 제1단은 상기 정전기 생성 서브 회로와 연결되고, 상기 제2단은 대응하는 상기 프로브의 일단과 연결되고, 상기 제어단은 상기 스위치 제어 회로에 연결되는 마이크로 요소의 이송 장치.3. The method of claim 2,
The switch includes a control end, a first end, and a second end, the first end connected to the static electricity generating sub-circuit, the second end connected to the corresponding end of the probe, the control end A micro-element transport device coupled to the switch control circuit. 제2항에 있어서,
상기 제어 회로는 제1 검출 서브 회로를 더 포함하고, 각 상기 프로브는 상기 제1 검출 서브 회로와 연결되고, 상기 제1 검출 서브 회로는 복수의 상기 프로브에 테스트 전압/테스트 전류를 제공하는 데 사용되는 마이크로 요소의 이송 장치.3. The method of claim 2,
The control circuit further includes a first detection sub-circuit, each of the probes coupled with the first detection sub-circuit, the first detection sub-circuit being used to provide a test voltage/test current to a plurality of the probes A device for transporting microelements. 제4항에 있어서,
상기 제1 검출 서브 회로가 상기 프로브에 테스트 전압/테스트 전류를 제공할 때, 상기 스위치 제어 회로는 상기 스위치가 오프되도록 제어하는 마이크로 요소의 이송 장치.5. The method of claim 4,
When the first detection sub-circuit provides a test voltage/test current to the probe, the switch control circuit controls the switch to be turned off. 제4항에 있어서,
상기 마이크로 요소는 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩이고, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극은 각각 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 대향하는 양측에 위치하고, 상기 이송 장치는,
적어도 한 표면에 도전층이 설치된 도전 임시 기판을 더 포함하고, 상기 도전 임시 기판 및 상기 프로브는 각각 두 상기 전극과 접촉하고, 상기 도전 임시 기판은 상기 프로브와 매칭되어 상기 마이크로 요소의 양단에 테스트 전압/테스트 전류를 제공하여 상기 마이크로 요소를 통전시킴으로써 성능 검출을 수행하도록 만드는 데 사용되는 마이크로 요소의 이송 장치.5. The method of claim 4,
The micro element is a vertical micro light emitting diode chip, the two electrodes of the micro light emitting diode chip are respectively located on opposite sides of the micro light emitting diode chip, and the transfer device comprises:
and a conductive temporary substrate provided with a conductive layer on at least one surface, wherein the conductive temporary substrate and the probe are in contact with the two electrodes, respectively, and the conductive temporary substrate is matched with the probe to apply a test voltage to both ends of the micro-element /Transportation device of a microelement used to provide a test current to energize the microelement to perform performance detection. 제1항에 있어서,
상기 마이크로 요소는 수평형 마이크로 발광 다이오드이고, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극은 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 동일 측에 위치하고, 상기 제어 회로는 제2 검출 서브 회로 및 제3 검출 서브 회로를 포함하고, 인접한 한 세트의 상기 프로브는 각각 상기 제2 검출 서브 회로 및 상기 제3 검출 서브 회로와 연결되고, 상기 제2 검출 서브 회로 및 상기 제3 검출 서브 회로는 상기 프로브와 매칭되어 상기 마이크로 요소의 두 상기 전극에 테스트 전압/테스트 전류를 제공하여 상기 마이크로 요소를 통전시킴으로써 성능 검출을 수행하도록 만드는 데 사용되는 마이크로 요소의 이송 장치.According to claim 1,
the micro element is a horizontal micro light emitting diode, the two electrodes of the micro light emitting diode chip are located on the same side of the micro light emitting diode chip, and the control circuit includes a second detection sub-circuit and a third detection sub-circuit, an adjacent set of the probes are respectively connected with the second detection sub-circuit and the third detection sub-circuit, wherein the second detection sub-circuit and the third detection sub-circuit are matched with the probe so that the two A micro-element transport device used to provide a test voltage/test current to an electrode to energize the micro-element to perform performance detection. 제1항에 있어서,
상기 프로브는 대향하도록 설치된 팁과 베이스를 포함하고, 상기 프로브의 상기 베이스는 상기 이송 기판의 표면 상에 고정되거나 이동 가능하도록 설치되고, 상기 프로브는 상기 팁으로부터 상기 베이스까지의 방향이 직선형으로 연장되거나 만곡형으로 연장되는 마이크로 요소의 이송 장치.According to claim 1,
The probe includes a tip and a base installed to face each other, and the base of the probe is fixed or movable on the surface of the transfer substrate, and the probe extends from the tip to the base in a straight line or A transport device for curvedly extending microelements. 마이크로 요소의 이송 방법에 있어서, 상기 이송 방법은,
복수의 마이크로 요소가 설치된 도너 기판을 제공하는 단계; 및
이송 장치를 이용해 복수의 상기 마이크로 요소를 상기 도너 기판으로부터 이송시키는 단계를 포함하고, 여기에서 상기 이송 장치는 이송 기판과 제어 회로를 포함하고, 상기 이송 기판은 상기 이송 기판의 적어도 한 표면으로부터 돌출된 복수의 프로브를 포함하고, 상기 제어 회로는 복수의 상기 프로브와 연결되며, 복수의 상기 프로브가 작업을 수행하도록 독립적으로 제어하는 데 사용되고, 복수의 상기 프로브는 선정한 상기 마이크로 요소를 독립적으로 흡착 또는 방출하는 마이크로 요소의 이송 방법.In the method of transporting microelements, the transport method comprises:
providing a donor substrate on which a plurality of microelements are installed; and
transferring a plurality of the microelements from the donor substrate using a transfer device, wherein the transfer device comprises a transfer substrate and a control circuit, wherein the transfer substrate protrudes from at least one surface of the transfer substrate. a plurality of probes, wherein the control circuit is connected to the plurality of the probes and is used to independently control the plurality of the probes to perform a task, the plurality of the probes independently adsorb or release the selected microelements A method of transporting microelements. 제9항에 있어서,
상기 마이크로 요소는 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩이고, 상기 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극은 각각 상기 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩의 대향하는 양측에 위치하고, 상기 이송 장치를 이용하여 복수의 상기 마이크로 요소를 상기 도너 기판으로부터 이송하는 단계는,
상기 이송 장치를 이용하여 복수의 상기 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩을 상기 도너 기판으로부터 도전 임시 기판까지 이송하는 단계를 포함하고, 상기 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩의 하나의 전극은 상기 프로브와 접촉하고, 상기 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩의 다른 하나의 전극은 상기 도전 임시 기판의 도전층과 접촉하는 마이크로 요소의 이송 방법.10. The method of claim 9,
The micro element is a vertical micro light emitting diode chip, and the two electrodes of the vertical micro light emitting diode chip are respectively located on opposite sides of the vertical micro light emitting diode chip, and a plurality of the micro elements are transported using the transfer device. The step of transferring from the donor substrate,
transferring a plurality of the vertical micro light emitting diode chips from the donor substrate to a conductive temporary substrate using the transfer device, wherein one electrode of the vertical micro light emitting diode chip is in contact with the probe, and A method of transferring a micro element, wherein the other electrode of the vertical micro light emitting diode chip is in contact with the conductive layer of the conductive temporary substrate. 제9항에 있어서,
상기 마이크로 요소는 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩이고, 상기 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극은 각각 상기 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩의 동일 측에 위치하고, 상기 이송 장치를 이용하여 복수의 상기 마이크로 요소를 상기 도너 기판으로부터 이송하는 단계는,
상기 이송 장치를 이용하여 복수의 상기 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩을 상기 도너 기판으로부터 도전 임시 기판까지 이송하는 단계를 포함하고, 인접한 제1 프로브와 제2 프로브는 각각 상기 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극과 접촉하는 마이크로 요소의 이송 방법.10. The method of claim 9,
The micro element is a horizontal micro light emitting diode chip, and the two electrodes of the horizontal micro light emitting diode chip are respectively located on the same side of the horizontal micro light emitting diode chip, and a plurality of the micro elements are transferred using the transfer device. The step of transferring from the donor substrate comprises:
and transferring a plurality of the horizontal micro light emitting diode chips from the donor substrate to the conductive temporary substrate using the transfer device, wherein adjacent first and second probes are respectively two of the horizontal micro light emitting diode chips. Method of transporting microelements in contact with electrodes. 제9항에 있어서,
상기 이송 장치를 이용하여 복수의 상기 마이크로 요소를 상기 도너 기판으로부터 이송한 후, 상기 이송 방법은,
복수의 상기 마이크로 요소에 대해 성능 검출을 수행하여, 성능 검출 통과 및 성능 검출 미통과된 복수의 상기 마이크로 요소를 획득하는 단계;
성능 검출 미통과된 상기 마이크로 요소를 제거하는 단계; 및
성능 검출 통과된 상기 마이크로 요소를 타깃 기판의 소정 위치까지 이송하는 단계를 포함하는 마이크로 요소의 이송 방법.10. The method of claim 9,
After transferring the plurality of microelements from the donor substrate using the transfer device, the transfer method comprises:
performing performance detection on a plurality of the micro-elements to obtain a plurality of the micro-elements that pass performance detection and fail performance detection;
removing the microelements that do not pass performance detection; and
and transferring the micro-element that has passed the performance detection to a predetermined position on a target substrate. 제12항에 있어서,
상기 마이크로 요소는 수직형 마이크로 발광 다이오드 칩이고, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극은 각각 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 대향하는 양측에 위치하고,
복수의 상기 마이크로 요소에 대해 성능 검출을 수행하여, 성능 검출 통과 및 성능 검출 미통과된 복수의 상기 마이크로 요소를 획득하는 단계는,
상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 하나의 상기 전극은 상기 프로브와 접촉하고, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 다른 하나의 상기 전극은 도전 임시 기판의 도전층과 접촉하며, 상기 도전 임시 기판의 상기 도전층 및 상기 제어 회로 중의 제1 검출 서브 회로와 연결된 프로브가 동시에 테스트 전압/테스트 전류를 상기 마이크로 발광 다이오드 칩에 인가하는 단계;
상기 마이크로 발광 다이오드 칩 성능이 소정의 조건을 충족시키는 경우, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩 성능이 통과된 것으로 판정하고, 그러하지 않은 경우, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩 성능이 통과되지 않은 것으로 판정하는 단계를 포함하는 마이크로 요소의 이송 방법.13. The method of claim 12,
The micro element is a vertical micro light emitting diode chip, and the two electrodes of the micro light emitting diode chip are respectively located on opposite sides of the micro light emitting diode chip,
Performing performance detection on the plurality of microelements to obtain a plurality of microelements that pass performance detection and fail performance detection include:
One of the electrodes of the micro light emitting diode chip is in contact with the probe, and the electrode of the other of the micro light emitting diode chip is in contact with the conductive layer of the conductive temporary substrate, the conductive layer of the conductive temporary substrate and the control applying a test voltage/test current to the micro light-emitting diode chip simultaneously by a probe connected to a first detection sub-circuit in the circuit;
if the micro light emitting diode chip performance meets a predetermined condition, determining that the micro light emitting diode chip performance has passed, otherwise, determining that the micro light emitting diode chip performance has not passed. Method of transport of elements. 제13항에 있어서,
상기 성능 검출 통과된 상기 마이크로 요소를 타깃 기판의 소정 위치까지 이송하는 단계는,
성능 검출 통과된 상기 마이크로 요소에 대응하는 상기 제어 회로는 상기 프로브가 정전 흡착력을 생성하도록 제어하여, 성능 검출 통과된 상기 마이크로 요소를 상기 타깃 기판의 소정 위치까지 흡착 및 이송한 후 방출하는 단계를 포함하는 마이크로 요소의 이송 방법.14. The method of claim 13,
The step of transferring the micro-element that has passed the performance detection to a predetermined position on the target substrate comprises:
The control circuit corresponding to the microelements that have passed the performance detection includes controlling the probe to generate an electrostatic attraction force, adsorbing and transferring the microelements that have passed the performance detection to a predetermined position on the target substrate, and then releasing them A method of transporting microelements. 제12항에 있어서,
상기 마이크로 요소는 수평형 마이크로 발광 다이오드 칩이고, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극은 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 동일 측에 위치하고,
복수의 상기 마이크로 요소에 대해 성능 검출을 수행하여, 성능 검출 통과 및 성능 검출 미통과된 복수의 상기 마이크로 요소를 획득하는 단계는,
상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 상기 전극은 각각 인접한 제1 프로브 및 제2 프로브와 접촉하고, 상기 제어 회로 중의 제2 검출 서브 회로 및 제3 검출 서브 회로는 각각 상기 제1 프로브 및 상기 제2 프로브에 대해 동시에 테스트 전압/테스트 전류를 인가하는 단계;
상기 마이크로 발광 다이오드 칩 성능이 소정의 조건을 충족시키는 경우, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩 성능이 통과된 것으로 판정하고, 그러하지 않은 경우, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩 성능이 통과되지 않은 것으로 판정하는 단계를 포함하는 마이크로 요소의 이송 방법.13. The method of claim 12,
The micro element is a horizontal micro light emitting diode chip, and the two electrodes of the micro light emitting diode chip are located on the same side of the micro light emitting diode chip,
Performing performance detection on the plurality of microelements to obtain a plurality of microelements that pass performance detection and fail performance detection include:
The two electrodes of the micro light emitting diode chip are in contact with adjacent first and second probes, respectively, and a second detection sub-circuit and a third detection sub-circuit in the control circuit are connected to the first probe and the second probe, respectively. simultaneously applying a test voltage/test current to the
if the micro light emitting diode chip performance meets a predetermined condition, determining that the micro light emitting diode chip performance has passed, otherwise, determining that the micro light emitting diode chip performance has not passed. Method of transport of elements. 제15항에 있어서,
상기 성능 검출 통과된 상기 마이크로 요소를 타깃 기판의 소정 위치까지 이송하는 단계는,
성능 검출 통과된 상기 마이크로 발광 다이오드 칩을 도전 임시 기판 상에 흡착하는 단계; 및
상기 도전 임시 기판에서 상기 마이크로 발광 다이오드 칩이 흡착된 일측이 상기 타깃 기판을 향하도록 만들고, 상기 마이크로 발광 다이오드 칩의 두 전극을 상기 타깃 기판의 소정 위치와 접촉시킨 후 방출하는 단계를 포함하는 마이크로 요소의 이송 방법.16. The method of claim 15,
The step of transferring the micro-element that has passed the performance detection to a predetermined position on the target substrate comprises:
adsorbing the micro light emitting diode chip that has passed the performance detection on a conductive temporary substrate; and
Micro-element comprising the step of making one side to which the micro light emitting diode chip is adsorbed on the conductive temporary substrate face the target substrate, and releasing the two electrodes of the micro light emitting diode chip in contact with a predetermined position of the target substrate of transport method.
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