KR20210082784A - Crucible device having elevating crucible and Handling device for the crucible device - Google Patents

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KR20210082784A KR1020190175073A KR20190175073A KR20210082784A KR 20210082784 A KR20210082784 A KR 20210082784A KR 1020190175073 A KR1020190175073 A KR 1020190175073A KR 20190175073 A KR20190175073 A KR 20190175073A KR 20210082784 A KR20210082784 A KR 20210082784A
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김영임
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Abstract

The present invention relates to a crucible device having an elevating crucible and an instrument for handling the same. The crucible device comprises: a crucible having an accommodation room with the upper part opened through a spout portion and including a blade portion with a certain diameter at the outer edge portion on the top; a cylindrical cell surrounding the crucible to provide a heater between the crucible and itself and coming in contact with the blade portion; a nozzle shield having a central path with a larger internal diameter than the diameter of the blade portion and a heat blocking unit disposed at a higher altitude than the blade portion; and an elevation induction unit interposed between the blade portion and the cell to lift up the crucible when the crucible is rotated in one direction, thereby exposing the blade portion to the upper part of the heat blocking unit of the nozzle shield. The crucible device having an elevating crucible according to the present invention can lift up the crucible in a simple way without a damage to the inner surface of the crucible, thereby facilitating refilling of an evaporated material and allowing a depositing material to be supplied in a clean state all the time. In addition, when seating the crucible on the cell, a central axis portion of the crucible can be accurately fitted to the central axis portion of the cell to prevent the crucible from being eccentric against the heater.

Description

승강형 도가니를 갖는 도가니장치 및 상기 도가니장치 취급기구{Crucible device having elevating crucible and Handling device for the crucible device}Crucible device having elevating crucible and Handling device for the crucible device

본 발명은 박막 증착장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도가니 내 증착물질의 리필을 위해 도가니를 보다 간단히 들어 올릴 수 있어 그만큼 사용이 편리한 승강형 도가니를 갖는 도가니장치 및 상기 도가니장치 취급기구에 관한 것이다.The present invention relates to thin film deposition equipment, and more particularly, to a crucible device having a lifting-type crucible that is convenient to use because the crucible can be lifted more simply for refilling of the deposition material in the crucible, and the crucible device handling mechanism. .

액정표시소자(LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(PDP), 유기전계발광소자(OLED) 등과 같은 여러 가지 디스플레이 패널 중, OLED는 응답속도가 매우 빠르고, LCD보다 소비전력이 낮으며 가볍고, 특히 별도의 백라이트가 필요 없어 초박형으로 만들 수 있다는 장점을 갖는다.Among various display panels such as liquid crystal display (LCD), plasma display (PDP), and organic light emitting diode (OLED), OLED has a very fast response speed, consumes less power and is lighter than LCD, and especially has a separate backlight. It has the advantage that it can be made ultra-thin because it does not require

유기전계발광소자는, 기판 위에 양극막, 유기박막, 음극막을 차례로 적층하고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써, 유기박막이 에너지의 차이에 의해 스스로 발광하게 하는 원리를 갖는다. 즉, 주입되는 전자와 정공이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트(dopant)의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라의 구현이 가능하다.The organic electroluminescent device has a principle that an anode film, an organic thin film, and a cathode film are sequentially stacked on a substrate, and a voltage is applied between the anode and the cathode, so that the organic thin film emits light by itself due to a difference in energy. That is, the injected electrons and holes recombine, and the remaining excitation energy is generated as light. In this case, since the wavelength of the generated light can be adjusted according to the amount of the dopant of the organic material, full color can be realized.

이러한 유기전계발광소자를 제작하기 위한 공정 중, 가장 중요한 공정은, 유기박막층을 형성하는 공정이다. 유기박막층의 형성은, 증착물질을 도가니 내에서 가열하여 증발시키고, 증발된 기체상태의 증착물질이 기판에 증착되게 하는 과정을 포함한다. 이러한 공정은 진공 증착장치를 통해 수행된다.Among the processes for manufacturing such an organic light emitting device, the most important process is a process of forming an organic thin film layer. The formation of the organic thin film layer includes a process of evaporating a deposition material by heating in a crucible, and allowing the vapor deposition material to be deposited on a substrate. This process is performed through a vacuum deposition apparatus.

도 1은 일반적인 진공 증착장치(10)의 구조를 대략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 진공 증착장치에 적용되는 종래 도가니장치(20)의 문제점을 설명하기 위한 일부 단면도이다. 도 2에서 도가니장치(20)의 하단부는 설명이 필요 없는 부분이므로 생략하였다.1 is a diagram schematically showing the structure of a general vacuum deposition apparatus 10, and FIG. 2 is a partial cross-sectional view for explaining the problems of the conventional crucible apparatus 20 applied to the vacuum deposition apparatus of FIG. In FIG. 2 , the lower end of the crucible device 20 is omitted because it does not require explanation.

도시한 바와 같이, 진공 증착장치(10)는, 진공이 유지되는 챔버(11), 챔버(11)의 내부 상측에 수평으로 설치되는 기판지지부(13), 기판지지부(13)에 고정되는 기판(15), 기판지지부(13)의 하부에 설치되는 도가니장치(20)를 포함한다. 도면부호 31은 도가니장치를 지지하는 지지받침이다.As shown, the vacuum deposition apparatus 10 includes a chamber 11 in which a vacuum is maintained, a substrate support part 13 installed horizontally on the upper side of the inside of the chamber 11 , and a substrate fixed to the substrate support part 13 . 15), and a crucible device 20 installed under the substrate support unit 13 . Reference numeral 31 denotes a support for supporting the crucible device.

도가니장치(20)는, 지지받침(31)에 마련되어 있는 설치공간(31a)내에 안착되며, 증착물질을 수용하는 도가니(21), 도가니(21)를 감싸며 가열하는 히터(24), 히터(24)를 지지하는 셀(23), 셀(23)을 둘러싸는 쿨링자켓(25)을 포함한다. The crucible device 20 is seated in the installation space 31a provided in the support support 31 , and a crucible 21 accommodating the deposition material, a heater 24 that surrounds the crucible 21 and heats it, a heater 24 ) includes a cell 23 supporting the cell 23, and a cooling jacket 25 surrounding the cell 23.

도가니(21)는 세라믹으로 제작되며 상단부에 주둥이부(21b)와 날개부(21c)를 갖는다. 주둥이부(21b)는 수용공간(21a)을 상부로 개방하는 통로이다. 또한, 날개부(21c)는 일정두께 및 직경을 갖는 수평의 디스크형 부분으로서 셀(23)의 상단부에 안착된다. 도가니(21)는 날개부(21c)를 통해 셀(23)에 지지된 상태로 히터(24)로부터 열을 전달받는다.The crucible 21 is made of ceramic and has a spout 21b and a wing 21c at the upper end. The spout 21b is a passage for opening the accommodation space 21a upward. In addition, the wing portion 21c is seated at the upper end of the cell 23 as a horizontal disk-shaped portion having a predetermined thickness and diameter. The crucible 21 receives heat from the heater 24 while being supported by the cell 23 through the wing portion 21c.

또한, 쿨링자켓(25)의 상측에는 노즐쉴드(29)가 설치된다. 노즐쉴드(29)는, 도가니(21)에서 방출되는 열이 챔버의 내부 공간으로 급히 올라가는 것을 차단하는 것으로서 지지받침(31)에 끼워져 지지된다. 노즐쉴드(29)에는 밀착링부(29a)와 열기차단부(29b)와 걸림턱(29f)이 구비된다. In addition, the nozzle shield 29 is installed above the cooling jacket 25 . The nozzle shield 29 is inserted and supported in the support support 31 as blocking the heat emitted from the crucible 21 from rapidly ascending to the inner space of the chamber. The nozzle shield 29 is provided with a contact ring portion 29a, a heat blocking portion 29b, and a locking protrusion 29f.

걸림턱(29f)은 지지받침(31)에 걸려 지지력을 제공받는 부분이고, 밀착링부(29a)는 설치공간(31a)의 내벽면에 밀착하는 부분이다. 또한 열기차단부(29b)는 관통된 중앙통로(29c)를 제공하며 설치공간(31a)을 커버한다.The locking jaw 29f is a part that is hooked on the support support 31 to receive support, and the contact ring 29a is a part in close contact with the inner wall surface of the installation space 31a. In addition, the heat blocking portion 29b provides a through-through central passage 29c and covers the installation space 31a.

그런데 상기한 종래의 도가니장치(20)는, 증발물질을 리필하기 위해 도가니(21)를 상부로 꺼내기가 불편하다. 그 이유는 날개부(21c)가 노즐쉴드(29)의 열기차단부(29b)보다 낮게 위치하기 때문이다. 도가니(21)를 들어올리기 위해서는 노즐쉴드(29)를 먼저 제거해야 하는데 그 자체가 번거로운 일이다. However, in the conventional crucible device 20 described above, it is inconvenient to take out the crucible 21 to the top in order to refill the evaporation material. The reason is that the wing portion 21c is positioned lower than the heat blocking portion 29b of the nozzle shield 29 . In order to lift the crucible 21, the nozzle shield 29 must first be removed, which itself is cumbersome.

이에 따라, 종래에는 도 2에 도시한 바와 같이, 걸이용 후크(22)를 주둥이부(21b)로 넣어 도가니를 걸어 올렸다. 즉 걸이용 후크(22)의 하단부에 형성되어 있는 절곡부(22a)를 도가니(21)의 걸림면(21d)에 건 상태로 후크(22)를 들어 올리는 것이다. 그런데 이러한 방법은 도가니의 내벽면을 손상시킨다는 단점을 갖는다. 즉 후크(22)의 사용이 반복될수록 절곡부(22a)가 걸림면(21d)을 마모시키거나 손상시키는 것이다. 경우에 따라 절곡부(22a)로부터 미세한 분진이나 세라믹 가루가 떨어져 나온다면 증발물질이 크게 오염됨은 물론이다.Accordingly, in the prior art, as shown in FIG. 2, the hook 22 for hanging is put into the spout 21b and the crucible is hung up. That is, the hook 22 is lifted in a state in which the bent portion 22a formed at the lower end of the hook 22 is hung on the engaging surface 21d of the crucible 21 . However, this method has a disadvantage of damaging the inner wall surface of the crucible. That is, as the use of the hook 22 is repeated, the bent portion 22a wears or damages the engaging surface 21d. In some cases, if fine dust or ceramic powder comes off from the bent portion 22a, the evaporation material is greatly contaminated.

국내 공개특허공보 제10-2018-0112209호 (도가니 분리가 용이한 박막 증착 장치)Domestic Laid-Open Patent Publication No. 10-2018-0112209 (Thin film deposition device for easy crucible separation) 국내 등록특허공보 제10-1971033호 (진공증착장치 및 진공증착장치에 있어서의 도가니 교환방법)Domestic Patent Publication No. 10-1971033 (Vacuum deposition apparatus and crucible exchange method in vacuum deposition apparatus)

본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 증발물질의 리필이 용이하고 항상 청정한 상태의 증착물질을 공급할 수 있으며, 도가니의 안착 시 셀의 중심축부에 도가니의 중심축부를 정확히 맞출 수 있는 승강형 도가니를 갖는 도가니장치 및 상기 도가니장치 취급기구를 제공함에 목적이 있다.The present invention was created to solve the above problems, and it is easy to refill the evaporation material, it can always supply the deposition material in a clean state, and when the crucible is seated, it is an elevating type that can accurately fit the central axis of the crucible to the central axis of the cell. An object of the present invention is to provide a crucible device having a crucible and a mechanism for handling the crucible device.

상기 목적을 달성하기 위한 과제의 해결수단으로서의 본 발명의 승강형 도가니를 갖는 도가니장치는, 주둥이부를 통해 상부로 개방된 수용공간을 가지고, 상단 외곽부에 일정 직경의 날개부를 구비한 도가니와; 상기 도가니를 감싸고 도가니와의 사이에 히터를 제공하며 상기 날개부와 접하는 원통형 셀과; 상기 날개부의 직경보다 큰 내경의 중앙통로를 구비하고 날개부보다 높은 고도에 위치하는 열기차단부를 갖는 노즐쉴드와; 상기 날개부와 셀의 사이에 위치하며, 도가니를 일방향으로 회전시킬 때 도가니를 상승시켜, 상기 날개부가 노즐쉴드의 열기차단부 상부로 노출되게 하는 승강유도부를 포함한다.A crucible device having an elevating type crucible of the present invention as a means of solving the problems for achieving the above object is a crucible having an accommodating space opened upward through a spout portion, and having a wing portion of a certain diameter in the upper periphery; a cylindrical cell surrounding the crucible and providing a heater between the crucible and the wing portion; a nozzle shield having a central passage having an inner diameter greater than the diameter of the wing and having a heat shield located at a higher altitude than the wing; It is located between the wing part and the cell, and raises the crucible when the crucible is rotated in one direction, and includes an elevation induction part that exposes the wing part to the upper part of the heat shield of the nozzle shield.

또한, 상기 승강유도부는; 상기 날개부의 저면에 형성되며 주둥이부를 중심으로 대칭을 이루는 다수의 날개부삼각홈과, 상기 셀의 상단면에 구비되고 상기 날개부삼각홈에 일대일 대응하며, 날개부삼각홈에 수용된 상태에서, 도가니를 일방향으로 회전시킬 때, 날개부를 받쳐 올리는 다수의 상단삼각돌기를 구비한다.In addition, the lift induction unit; A plurality of wing part triangular grooves formed on the bottom surface of the wing part and symmetrical about the spout part, and provided on the upper surface of the cell and corresponding one-to-one to the wing part triangular grooves, in a state of being accommodated in the wing part triangular grooves, the crucible When rotating in one direction, it has a plurality of upper triangular protrusions that support the wing.

또한, 상기 날개부의 저면에는, 링의 형태를 취하며 날개부에 일체를 이루는 측벽부가 더 형성되고, 상기 날개부삼각홈은, 상기 측벽부내에 하부로 개방되도록 형성된다.In addition, on the bottom surface of the wing portion, a side wall portion integral with the wing portion is further formed in the form of a ring, and the wing portion triangular groove is formed to open downwardly in the side wall portion.

아울러, 상기 승강유도부는; 상기 날개부의 저면에 형성되며 상기 주둥이부를 중심으로 대칭을 이루고 하부로 돌출된 다수의 날개부삼각돌기와, 상기 셀의 상단면에 형성되며 상기 날개부삼각돌기에 일대일 대응하고, 날개부삼각돌기를 수용한 상태에서, 도가니를 일방향 회전시킬 때 날개부삼각돌기를 받쳐 올리는 상단삼각홈을 갖는다.In addition, the lift induction unit; A plurality of wing triangular protrusions formed on the lower surface of the wing and symmetrical about the spout and protruding downward, are formed on the upper surface of the cell and correspond one-to-one to the wing triangular protrusions, and accommodate the wing triangular protrusions. In one state, when the crucible is rotated in one direction, it has an upper triangular groove to support the wing triangular projection.

또한, 상기 날개부의 외주면에는, 날개부가 상승한 상태에서 상기 열기차단부의 상부로 노출되고, 상기 주둥이부를 중심으로 대칭을 이루는 다수의 걸림구멍이 형성된다.In addition, a plurality of locking holes are formed on the outer peripheral surface of the wing portion, which are exposed to the upper portion of the heat shield in a state in which the wing portion is raised and form a symmetry around the spout.

또한, 도가니장치 취급기구는, 주둥이부를 통해 상부로 개방된 수용공간을 가지고 상단 외곽부에 일정 직경 및 두께의 날개부를 구비한 도가니, 상기 도가니를 감싸는 원통형 셀, 상기 날개부의 직경보다 큰 내경의 중앙통로를 가지고 날개부보다 높은 고도에 위치하는 열기차단부가 포함된 노즐쉴드, 상기 날개부와 셀의 사이에 위치하며 도가니를 일방향으로 회전시킬 때 도가니를 상승시켜 상기 날개부가 상기 열기차단부의 상부로 노출되게 하는 승강유도부를 포함하는 도가니장치의 취급에 사용되는 것으로서, 상기 도가니를 회전시킴에 의해 열기차단부의 상부로 노출된 상태의 날개부를 잡아 수직 상부로 끌어 올리는 구조를 갖는다.In addition, the crucible device handling mechanism includes a crucible having a receiving space open upward through the spout and having a wing portion of a certain diameter and thickness in the upper outer portion, a cylindrical cell surrounding the crucible, and a center of an inner diameter larger than the diameter of the wing portion Nozzle shield having a passage and including a heat shield located at a higher altitude than the wing, located between the wing and the cell, and raising the crucible when rotating the crucible in one direction to expose the wing to the top of the heat shield As used in the handling of a crucible device including an elevation induction part that makes it possible, by rotating the crucible, it has a structure to grab the wing part exposed to the upper part of the heat shield and lift it up vertically.

또한, 상기 날개부에는 상기 주둥이부를 중심으로 대칭을 이루는 다수의 걸림구멍이 형성되고, 상기 도가니 취급기구는, 상기 걸림구멍에 끼워지는 삽입돌기를 갖는 다수의 리프팅아암을 포함한다.In addition, a plurality of locking holes symmetrical about the spout are formed in the wing portion, and the crucible handling mechanism includes a plurality of lifting arms having insertion protrusions fitted into the locking holes.

아울러, 상기 걸림구멍은 날개부의 외주면에 형성되되, 상기 주둥이부를 중심으로 반대편에 위치하며, 상기 리프팅아암은; 두 개가 쌍을 이루며 상호 교차된 상태로 커넥팅핀을 통해 링크되고, 하단부에 상기 삽입돌기를 구비한다.In addition, the locking hole is formed on the outer peripheral surface of the wing portion, located on the opposite side with respect to the spout portion, the lifting arm; The two form a pair and are linked through a connecting pin in a crossed state, and the insertion protrusion is provided at the lower end.

또한, 상기 리프팅아암의 상단부에는, 커넥팅핀을 통해 리프팅아암의 상단부에 연결되는 커넥터가 더 구비된다.In addition, a connector connected to the upper end of the lifting arm through a connecting pin is further provided at the upper end of the lifting arm.

또한, 상기 커넥터에는 리프팅아암을 들어올리기 위해 사용되는 손잡이가 구비된다.In addition, the connector is provided with a handle used to lift the lifting arm.

상기와 같이 이루어지는 본 발명의 승강형 도가니를 갖는 도가니장치는, 도가니를 내부면을 손상시키지 않고도 간단한 방법으로 들어 올릴 수 있어 증발물질의 리필이 용이하고 항상 청정한 상태의 증착물질을 공급할 수 있다.The crucible device having an elevating type crucible of the present invention as described above can lift the crucible in a simple way without damaging the inner surface, so that refilling of the evaporation material is easy and the deposition material in a clean state can be supplied at all times.

또한, 셀에 대한 도가니의 안착 시, 셀의 중심축부에 도가니의 중심축부를 정확히 맞출 수 있으므로, 히터에 대해 도가니가 편심될 염려가 없다.In addition, since the central axis of the crucible can be precisely aligned with the central axis of the cell when the crucible is mounted on the cell, there is no fear that the crucible is eccentric with respect to the heater.

도 1은 일반적인 증착장치의 구조를 대략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 증착장치에 적용되는 종래 도가니장치의 문제점을 설명하기 위한 일부 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 승강형 도가니를 갖는 도가니장치의 구성을 나타내 보인 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시한 승강형도가니와 셀의 절제 분해 사시도이다.
도 5는 도 4의 승강형도가니와 셀의 변형 예를 도시한 절제 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 취급기구를 이용해 도가니를 들어 올린 후의 모습을 도시한 도면이다.1 is a diagram schematically showing the structure of a general deposition apparatus.
FIG. 2 is a partial cross-sectional view for explaining a problem of a conventional crucible apparatus applied to the deposition apparatus of FIG. 1 .
3 is a cross-sectional view showing the configuration of a crucible device having an elevating type crucible according to an embodiment of the present invention.
4 is an exploded perspective view of the elevating crucible and the cell shown in FIG. 3 .
5 is an exploded perspective view illustrating a modified example of the elevating crucible and the cell of FIG. 4 .
6 is a view illustrating a state after lifting a crucible using a handling mechanism according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, one embodiment according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

기본적으로, 본 발명의 도가니장치는 승강형 도가니를 갖는다. 승강형도가니는 사용자가 도가니를 일측 방향으로 회전시킬 때 상부로 들어 올려지는 구조를 갖는다. 이러한 도가니장치는, 주둥이부를 통해 상부로 개방된 수용공간을 가지고, 상단 외곽부에 일정 직경의 날개부를 구비한 도가니와; 상기 도가니를 감싸고 도가니와의 사이에 히터를 제공하며 상기 날개부와 접하는 원통형 셀과; 상기 날개부의 직경보다 큰 내경의 중앙통로를 구비하고 날개부보다 높은 고도에 위치하는 열기차단부를 갖는 노즐쉴드와; 상기 날개부와 셀의 사이에 위치하며, 도가니를 일방향으로 회전시킬 때 도가니를 상승시켜, 상기 날개부가 노즐쉴드의 열기차단부 상부로 노출되게 하는 승강유도부를 포함하는 구성을 갖는다.Basically, the crucible apparatus of the present invention has an elevating type crucible. The elevating crucible has a structure that is lifted upward when the user rotates the crucible in one direction. The crucible device includes: a crucible having an accommodating space opened upward through a spout, and having a wing portion having a predetermined diameter in an upper outer portion; a cylindrical cell surrounding the crucible and providing a heater between the crucible and the wing portion; a nozzle shield having a central passage having an inner diameter greater than the diameter of the wing and having a heat shield located at a higher altitude than the wing; It is located between the wing portion and the cell and raises the crucible when the crucible is rotated in one direction, so that the wing portion is exposed to the top of the heat blocking portion of the nozzle shield.

또한 본 발명의 도가니 취급기구는, 상부로 들어 올려진 도가니를 잡아 상부로 빼내는 것이며, 주둥이부를 통해 상부로 개방된 수용공간을 가지고 상단 외곽부에 일정 직경 및 두께의 날개부를 구비한 도가니, 상기 도가니를 감싸는 원통형 셀, 상기 날개부의 직경보다 큰 내경의 중앙통로를 가지고 날개부보다 높은 고도에 위치하는 열기차단부가 포함된 노즐쉴드, 상기 날개부와 셀의 사이에 위치하며 도가니를 일방향으로 회전시킬 때 도가니를 상승시켜 상기 날개부가 상기 열기차단부의 상부로 노출되게 하는 승강유도부를 포함하는 도가니장치의 취급에 사용되는 것으로서, 상기 도가니를 회전시킴에 의해 열기차단부의 상부로 노출된 상태의 날개부를 잡아 수직 상부로 끌어 올리는 구조를 갖는다.In addition, the crucible handling mechanism of the present invention is to grab the crucible lifted to the upper part and take it out to the upper part, the crucible having a receiving space open upward through the spout part and having a wing part of a certain diameter and thickness in the upper periphery part, the crucible A cylindrical cell surrounding the wing, a nozzle shield having a central passage with an inner diameter greater than the diameter of the wing, and a heat blocking portion located at a higher altitude than the wing, located between the wing and the cell, when rotating the crucible in one direction It is used for handling a crucible device including an elevation induction part that raises the crucible so that the wing part is exposed to the upper part of the heat shield part, and by rotating the crucible, hold the wing part exposed to the upper part of the heat shield part and hold the wing part vertically It has a structure that is pulled upwards.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 승강형 도가니(41)를 갖는 도가니장치의 구성을 나타내 보인 단면도이고, 도 4는 도 3에 도시한 승강형도가니(41)와 셀(43)의 절제 분해 사시도이다.3 is a cross-sectional view showing the configuration of a crucible device having an elevating crucible 41 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is the elevating crucible 41 and the cell 43 shown in FIG. It is an exploded perspective view.

상기한 도면부호와 동일한 도면부호는 동일한 기능의 동일한 부재로서 그에 관한 설명은 가급적 생략한다.The same reference numerals as the above reference numerals refer to the same members having the same function, and a description thereof will be omitted if possible.

도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 승강형 도가니를 갖는 도가니장치(40)는, 승강 가능한 승강형도가니(41), 원통형 셀(23), 쿨링자켓(25), 노즐쉴드(29), 승강유도부를 포함한다.As shown, the crucible device 40 having an elevating crucible according to the present embodiment includes a elevating elevating crucible 41, a cylindrical cell 23, a cooling jacket 25, a nozzle shield 29, and elevating. includes an induction part.

승강형도가니(41)는 세라믹으로 제작되며 증착물질을 수용하는 수용공간(41a)을 갖는다. 수용공간(41a)은 주둥이부(41b)를 통해 상부로 개방된다. 수용공간(41a) 내에서 증발된 기체상태의 증발물질은 주둥이부(41b)을 통과하여 대기하고 있는 기판에 증착된다.The elevating crucible 41 is made of ceramic and has an accommodating space 41a for accommodating the deposition material. The receiving space 41a is opened upward through the spout 41b. The vaporized material evaporated in the receiving space 41a passes through the spout 41b and is deposited on the waiting substrate.

승강형도가니(41)의 상단부에는 일정직경 및 두께를 갖는 날개부(41c)가 형성되어 있다. 날개부(41c)는 셀(43)의 상단부에 얹힌 상태로 히터(24)를 밀폐하여, 히터(24)로부터 발생한 열이 외부로 누설되지 않게 하는 것으로서, 외곽부 저면에 측벽부(41d)를 갖는다. 측벽부(41d)는 일정 직경을 갖는 링의 형태를 취하며 날개부의 저면에 일체를 이루고, 승강유도부의 일부인 날개부삼각홈(41e)을 포함한다.A wing portion 41c having a predetermined diameter and thickness is formed at the upper end of the elevating crucible 41 . The wing portion 41c seals the heater 24 while resting on the upper end of the cell 43 to prevent the heat generated from the heater 24 from leaking to the outside. have The side wall portion 41d takes the form of a ring having a certain diameter and is integrally formed with the bottom surface of the wing portion, and includes a wing portion triangular groove 41e that is a part of the lift induction portion.

아울러 측벽부(41d)에는 두 개의 걸림구멍(41f)이 형성되어 있다. 걸림구멍(41f)은 주둥이부(41b)를 중심으로 반대 위치에 형성된 관통구멍으로서, 도 6에 도시한 취급기구(50)의 삽입돌기(51a)가 끼워지는 구멍이다. 걸림구멍(41f)은 개수는 필요에 따라 달라질 수 있다.In addition, two locking holes 41f are formed in the side wall portion 41d. The locking hole 41f is a through hole formed at an opposite position with respect to the spout portion 41b, and is a hole through which the insertion protrusion 51a of the handling mechanism 50 shown in FIG. 6 is fitted. The number of the locking holes 41f may vary as needed.

측벽부(41d)는 셀(43)의 상단면에 대응하며, 도 3에 도시한 바와 같이, 셀(43)의 상단면에 맞춤 결합한다. 셀(43)은 측벽부(41d)와 결합함으로써 셀(43)의 중심축선에 승강형도가니(41)의 중심축선을 일치시키는 역할을 겸한다. 많은 경우, 도가니(21)에 증착물질을 리필한 후 도가니(21)를 셀(23) 내부에 재장착할 때, 승강형도가니(41)가 셀(23) 내부에서 편심 될 수 있는데, 이러한 현상이 전혀 발생하지 않는 것이다. 승강형도가니(41)의 편심은 도가니 내부의 온도 구배를 야기하여 증착물질의 균일한 증발을 방해한다.The side wall portion 41d corresponds to the top surface of the cell 43 , and is fit-coupled to the top surface of the cell 43 , as shown in FIG. 3 . The cell 43 serves to match the central axis of the elevating crucible 41 with the central axis of the cell 43 by being coupled to the side wall portion 41d. In many cases, when the crucible 21 is remounted inside the cell 23 after refilling the deposition material in the crucible 21 , the elevating crucible 41 may be eccentric inside the cell 23 , this phenomenon This is not happening at all. The eccentricity of the elevating crucible 41 causes a temperature gradient inside the crucible to prevent uniform evaporation of the deposition material.

노즐쉴드(29)는, 밀착링부(29a), 걸림턱(29f), 열기차단부(29b)를 갖는다. 열기차단부(29b)는, 날개부(41c)의 직경보다 큰 내경의 중앙통로(29c)를 갖는다. 노즐쉴드(29)는 걸림턱(29f)을 통해 지지받침(31)에 지지되고, 이 때 중앙통로(29c)의 중심은 셀(43)의 중심축선과 만난다. 승강형도가니(41)가 상승할 때, 도 6에 도시한 바와 같이, 중앙통로(29c)를 상향 통과한다.The nozzle shield 29 has a contact ring portion 29a, a locking protrusion 29f, and a heat blocking portion 29b. The heat shielding portion 29b has a central passage 29c having an inner diameter larger than the diameter of the blade portion 41c. The nozzle shield 29 is supported on the support support 31 through the locking protrusion 29f, and at this time, the center of the central passage 29c meets the central axis of the cell 43 . When the elevating crucible 41 rises, as shown in FIG. 6, it passes upward through the central passage 29c.

한편, 상기 승강유도부는, 날개부(41c)와 셀(43)의 사이에 위치하며, 승강형도가니(41)를 반시계방향, 즉 화살표 a방향으로 회전시킬 때 승강형도가니(41)가 중앙통로(29c)를 통과해 상승하도록 작용한다. 걸림구멍(41f)은 승강형도가니(41)가 최대로 상승한 상사점에서 열기차단부(29b) 보다 높게 위치한다.On the other hand, the elevating induction unit is located between the wing portion 41c and the cell 43, and when the elevating crucible 41 is rotated counterclockwise, that is, in the direction of the arrow a, the elevating crucible 41 is located in the center tube. It acts to ascend through the furnace 29c. The locking hole 41f is located higher than the heat blocking portion 29b at the top dead center where the elevating crucible 41 is maximally elevated.

승강유도부는, 3개의 날개부삼각홈(41e)과, 각 날개부삼각홈(41e)에 일대일 대응하는 상단삼각돌기(43a)를 포함한다. The lift guide unit includes three wing part triangular grooves 41e and an upper triangular protrusion 43a corresponding to each wing part triangular groove 41e one-to-one.

날개부삼각홈(41e)은, 날개부(41c)의 내부에 형성되며 하부로 개방된 삼각형 모양의 홈으로서 세 개가 120도 각도로 등각 형성된다. 또한 각 날개부삼각홈(41e)에는 슬라이딩면(41m)이 형성된다. 슬라이딩면(41m)은 수평면에 대해 30도 내지 45도의 사이각을 갖는 경사면으로서, 상단삼각돌기(43a)의 받침경사면(43e)에 면접한 상태로 슬라이딩 가능하다.The wing part triangular groove 41e is formed inside the wing part 41c and is a triangular-shaped groove that is opened downward, and three of them are formed at an angle of 120 degrees. Also, a sliding surface 41m is formed in each wing triangular groove 41e. The sliding surface 41m is an inclined surface having an angle between 30 and 45 degrees with respect to the horizontal plane, and is slidable in a state in which it faces the support inclined surface 43e of the upper triangular protrusion 43a.

상단삼각돌기(43a)는, 셀(43)의 상단면에 수직으로 배치된 직각 삼각형 형태의 판상부재로서, 받침경사면(43e)을 제공한다. 위에 언급한 바와 같이, 상단삼각돌기(43a)는 날개부삼각홈(41e)에 일대일 대응하며, 날개부삼각홈에 끼워진다. The upper triangular protrusion 43a is a plate-shaped member in the form of a right-angled triangle disposed perpendicular to the upper surface of the cell 43, and provides a support inclined surface 43e. As mentioned above, the upper triangular protrusion 43a corresponds one-to-one to the wing part triangular groove 41e, and is fitted into the wing part triangular groove.

상단삼각돌기(43a)는 날개부삼각홈(41e)내에 삽입된 상태로 대기하며, 승강형도가니(41)를 화살표 a방향으로 회전시킬 때, 날개부삼각홈(41e)의 슬라이딩면(41m)을 받쳐 올리는 역할을 한다. 슬라이딩면(41m)은 받침경사면(43e)과 면접한 상태로 슬라이딩 운동하며 상승하는 것이다. The upper triangular protrusion 43a waits in a state inserted into the wing triangular groove 41e, and when the elevating crucible 41 is rotated in the arrow a direction, the sliding surface 41m of the wing triangular groove 41e. serves to support the The sliding surface (41m) is to rise while sliding in the state in contact with the inclined surface (43e) of the support.

승강형도가니(41)을 더욱 회전시키면, 도 6에 도시한 바와 같이, 상단삼각돌기(43a)가 날개부삼각홈(41e)으로부터 벗어나 측벽부(41d)의 하단면(41k)에 접한다. 결국, 날개부(41c)가 상단삼각돌기(43a)의 높이(H1) 만큼 상승하는 것이다. 상단삼각돌기(43a)의 높이(H1)는 필요에 따라 달라질 수 있다.When the lifting crucible 41 is further rotated, as shown in FIG. 6 , the upper triangular protrusion 43a comes into contact with the lower end surface 41k of the side wall 41d away from the wing triangular groove 41e. As a result, the wing portion 41c rises as much as the height H1 of the upper triangular protrusion 43a. The height H1 of the upper triangular protrusion 43a may vary as needed.

도 5는 상기한 승강유도부의 변형 예를 도시한 절제 분해 사시도이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 승강형도가니(41)의 날개부(41c)에서 측벽부(41d)가 생략될 수도 있다. 측벽부(41d)가 생략되더라도 걸림구멍(41f)은 남아 있다.Figure 5 is an exploded perspective view showing a modified example of the lifting induction unit described above. As shown in FIG. 5 , the side wall portion 41d may be omitted from the wing portion 41c of the elevating crucible 41 . Even if the side wall portion 41d is omitted, the locking hole 41f remains.

도 5에 도시한 승강유도부는, 날개부(41c)의 저면에 등각 배치되며 하부로 돌출된 세 개의 날개부삼각돌기(41g)와, 셀(43)의 상단면에 형성되는 세 개의 상단삼각홈(43b)을 포함한다. 날개부삼각돌기(41g)와 상단삼각홈(43b)은 일대일 대응한다.The lift induction part shown in FIG. 5 is isometrically disposed on the bottom surface of the wing part 41c and includes three wing part triangular projections 41g protruding downward, and three upper triangular grooves formed on the upper surface of the cell 43 . (43b). The wing part triangular protrusion (41g) and the upper triangular groove (43b) correspond one-to-one.

날개부삼각돌기(41g)는, 날개부(41c)에 일체를 이루며 직각삼각형의 형태를 취하는 판상부재로서 수평면에 대해 수직을 이룬다. 또한 날개부삼각돌기(41g)에는 슬라이딩면(41m)이 형성되어 있다. 슬라이딩면(41m)은 수평면에 대해 30도 내지 45도의 사이각을 갖는다.The wing part triangular protrusion 41g is a plate-shaped member integrally formed with the wing part 41c and taking the form of a right-angled triangle, and is perpendicular to the horizontal plane. Also, a sliding surface 41m is formed on the wing triangular projection 41g. The sliding surface 41m has an angle between 30 degrees and 45 degrees with respect to the horizontal plane.

상단삼각홈(43b)은 상부로 개방된 직각 삼각형 형태의 홈으로서, 날개부삼각돌기(41g)에 일대일 대응한다. 또한 상단삼각홈(43b)에는 받침경사면(43e)이 형성되어 있다. 받침경사면(43e)은 슬라이딩면(41m)에 면접한다. The upper triangular groove 43b is a right-angled triangle-shaped groove that is opened upward, and corresponds one-to-one to the wing triangular protrusion 41g. In addition, a support inclined surface 43e is formed in the upper triangular groove 43b. The support inclined surface 43e is in contact with the sliding surface 41m.

상단삼각홈(43b)은 날개부삼각돌기(41g)를 수용한 상태에서 대기하며, 승강형도가니(41)를 화살표 a방향으로 회전시킬 때 날개부삼각돌기를 받쳐 올린다. 날개부삼각돌기(41g)는 상단삼각홈(43b)으로부터 빠져나온 후 상단면(43c)에 받쳐진다. 상단면(43c)에 대한 날개부(41c)의 상승 높이는 날개부삼각돌기(41g)의 높이(H2)와 같다.The upper triangular groove 43b waits in a state that accommodates the wing triangular protrusion 41g, and raises the wing triangular protrusion when rotating the elevating crucible 41 in the direction of the arrow a. The wing part triangular protrusion (41g) is supported on the upper end surface (43c) after coming out from the upper triangular groove (43b). The rising height of the wing portion 41c with respect to the upper end surface 43c is equal to the height H2 of the wing portion triangular projection 41g.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 취급기구(50)를 이용해 도가니를 들어 올린 후의 모습을 도시한 도면이다.6 is a view showing a state after lifting the crucible using the handling mechanism 50 according to an embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 측벽부(41d)가 상단삼각돌기(43a)의 상부에 올라서 있고, 걸림구멍(41f)은 열기차단부(29b)의 상부로 돌출되어 있다. 이 상태에서 승강형도가니(41)를 상부로 완전히 들어올리기 위해 취급기구(50)를 사용한다. 승강형도가니(41)를 들어 올리는 이유는 수용공간(41a)에 증착물질을 리필하기 위해서이다.As shown, the side wall portion 41d is on top of the upper triangular protrusion 43a, and the locking hole 41f protrudes above the heat blocking portion 29b. In this state, the handling mechanism 50 is used to completely lift the lifting crucible 41 upward. The reason for lifting the elevating crucible 41 is to refill the deposition material in the receiving space 41a.

도시한 바와 같이, 도가니 취급기구(50)는, 한 쌍의 리프팅아암(51), 커넥터(53), 커넥팅핀(55), 손잡이(57)를 포함하여 구성된다.As shown, the crucible handling mechanism 50 includes a pair of lifting arms 51 , a connector 53 , a connecting pin 55 , and a handle 57 .

리프팅아암(51)은, 하단부 내측에 삽입돌기(51a)를 구비한 막대형 부재로서, 두 개가 하나의 쌍을 이루며 상단부가 교차된 상태로 커넥터(53) 및 커넥팅핀(55)을 통해 링크된다. The lifting arm 51 is a rod-shaped member having an insertion protrusion 51a inside the lower end, and the two form a pair and are linked through the connector 53 and the connecting pin 55 with the upper end crossed. .

커넥터(53)는 리프팅아암(51)의 사이에 개재된 상태로 커넥팅핀(55)을 통해 리프팅아암(51)을 회전 가능하게 지지한다. 커넥팅핀(55)은 일측 리프팅아암(51)과 커넥터(53)와 타측 리프팅아암(51)을 차례로 통과하며, 리프팅아암(51)을 커넥터(53)에 지지시킨다.The connector 53 rotatably supports the lifting arm 51 through the connecting pin 55 in a state interposed between the lifting arms 51 . The connecting pin 55 sequentially passes through one lifting arm 51 , the connector 53 , and the other lifting arm 51 , and supports the lifting arm 51 to the connector 53 .

손잡이(57)는 커넥터(53)에 고정되며 사용자가 잡아 올리는 부분이다. 손잡이(57)를 잡고 취급기구(50)를 들어 올리면, 리프팅아암(51)은 자중에 의해 오므라지는 방향으로 좁아진다. The handle 57 is a part fixed to the connector 53 and lifted by the user. When the handling mechanism 50 is lifted by holding the handle 57, the lifting arm 51 narrows in a retracting direction by its own weight.

상기 걸림구멍(41f)이 열기차단부(29b)의 상부로 노출된 상태에서, 양측 삽입돌기(51a)를 걸림구멍(41f)에 삽입하고 손잡이(57)를 잡아 올리면, 승강형도가니(41)가 중앙통로(29c)를 상향 통과하여 기판지지부(13)로부터 분리된다.In a state in which the locking hole 41f is exposed to the upper part of the heat blocking part 29b, inserting both insertion protrusions 51a into the locking hole 41f and grabbing the handle 57 to raise the elevating crucible 41 is separated from the substrate support 13 by passing upward through the central passage 29c.

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.As mentioned above, although the present invention has been described in detail through specific embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible by those of ordinary skill within the scope of the technical spirit of the present invention.

10:증착장치 11:챔버 13:기판지지부
15:기판 20:도가니장치 21:도가니
21a:수용공간 21b:주둥이부 21c:날개부
21d:걸림면 22:후크 22a:절곡부
23:셀 24:히터 25:쿨링자켓
29:노즐쉴드 29a:밀착링부 29b:열기차단부
29c:중앙통로 29f:걸림턱 40:도가니장치
41:승강형도가니 41a:수용공간 41b:주둥이부
41c:날개부 41d:측벽부 41e:날개부삼각홈
41f:걸림구멍 41g:날개부삼각돌기 41k:하단면
41m:슬라이딩면 43:셀 43a:상단삼각돌기
43b:상단삼각홈 43c:상단면 43e:받침경사면
50:취급기구 51:리프팅아암 51a:삽입돌기
53:커넥터 55:커넥팅핀 57:손잡이10: deposition apparatus 11: chamber 13: substrate support
15: substrate 20: crucible device 21: crucible
21a: accommodating space 21b: spout 21c: wing
21d: hooking surface 22: hook 22a: bent part
23: cell 24: heater 25: cooling jacket
29: Nozzle shield 29a: Adhesive ring part 29b: Heat blocking part
29c: central passage 29f: locking jaw 40: crucible device
41: elevating crucible 41a: accommodating space 41b: spout
41c: wing part 41d: side wall part 41e: wing part triangular groove
41f: Locking hole 41g: Wing part triangular projection 41k: Bottom surface
41m: sliding surface 43: cell 43a: upper triangular projection
43b: upper triangular groove 43c: upper end face 43e: support inclined surface
50: handling mechanism 51: lifting arm 51a: insertion projection
53: connector 55: connecting pin 57: handle

Claims (10)

주둥이부를 통해 상부로 개방된 수용공간을 가지고, 상단 외곽부에 일정 직경의 날개부를 구비한 도가니와;
상기 도가니를 감싸고 도가니와의 사이에 히터를 제공하며 상기 날개부와 접하는 원통형 셀과;
상기 날개부의 직경보다 큰 내경의 중앙통로를 구비하고 날개부보다 높은 고도에 위치하는 열기차단부를 갖는 노즐쉴드와;
상기 날개부와 셀의 사이에 위치하며, 도가니를 일방향으로 회전시킬 때 도가니를 상승시켜, 상기 날개부가 노즐쉴드의 열기차단부 상부로 노출되게 하는 승강유도부를 포함하는 승강형 도가니를 갖는 도가니장치.a crucible having an accommodating space opened upward through the spout and having a wing portion having a predetermined diameter in the upper periphery;
a cylindrical cell surrounding the crucible and providing a heater between the crucible and the wing portion;
a nozzle shield having a central passage having an inner diameter greater than the diameter of the wing and having a heat shield located at a higher altitude than the wing;
A crucible device having an elevating type crucible, which is located between the wing unit and the cell, and includes an elevating induction unit that raises the crucible when rotating the crucible in one direction so that the wing unit is exposed to the top of the heat shield of the nozzle shield. 제2항에 있어서,
상기 승강유도부는;
상기 날개부의 저면에 형성되며 주둥이부를 중심으로 대칭을 이루는 다수의 날개부삼각홈과,
상기 셀의 상단면에 구비되고 상기 날개부삼각홈에 일대일 대응하며, 날개부삼각홈에 수용된 상태에서, 도가니를 일방향으로 회전시킬 때, 날개부를 받쳐 올리는 다수의 상단삼각돌기를 구비하는 승강형 도가니를 갖는 도가니장치.3. The method of claim 2,
The lift induction unit;
A plurality of wing part triangular grooves formed on the bottom surface of the wing part and symmetrical with respect to the spout part;
It is provided on the upper surface of the cell and corresponds one-to-one to the wing part triangular groove, and when the crucible is rotated in one direction in a state accommodated in the wing part triangular groove, an elevating type crucible having a plurality of upper triangular protrusions that support the wing part A crucible device having 제2항에 있어서,
상기 날개부의 저면에는, 링의 형태를 취하며 날개부에 일체를 이루는 측벽부가 더 형성되고,
상기 날개부삼각홈은, 상기 측벽부내에 하부로 개방되도록 형성된 승강형 도가니를 갖는 도가니장치.3. The method of claim 2,
On the bottom surface of the wing portion, a side wall portion that takes the form of a ring and is integral with the wing portion is further formed,
The wing part triangular groove is a crucible device having an elevating type crucible formed to be opened downwardly in the side wall part. 제2항에 있어서,
상기 승강유도부는;
상기 날개부의 저면에 형성되며 상기 주둥이부를 중심으로 대칭을 이루고 하부로 돌출된 다수의 날개부삼각돌기와,
상기 셀의 상단면에 형성되며 상기 날개부삼각돌기에 일대일 대응하고, 날개부삼각돌기를 수용한 상태에서, 도가니를 일방향 회전시킬 때 날개부삼각돌기를 받쳐 올리는 상단삼각홈을 갖는 승강형 도가니를 갖는 도가니장치.3. The method of claim 2,
The lift induction unit;
A plurality of wing part triangular projections formed on the lower surface of the wing part and symmetrical about the spout and projecting downward;
It is formed on the upper surface of the cell and corresponds one-to-one to the wing triangular protrusion, and in a state in which the wing triangular protrusion is accommodated, an elevating type crucible having an upper triangular groove that supports the wing triangular protrusion when rotating the crucible in one direction. having a crucible device. 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 날개부의 외주면에는, 날개부가 상승한 상태에서 상기 열기차단부의 상부로 노출되고, 상기 주둥이부를 중심으로 대칭을 이루는 다수의 걸림구멍이 형성된 승강형 도가니를 갖는 도가니장치.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
A crucible device having an elevating type crucible on the outer peripheral surface of the wing, exposed to the upper portion of the heat shield in a state in which the wing is raised, and having a plurality of engaging holes symmetrically formed around the spout. 주둥이부를 통해 상부로 개방된 수용공간을 가지고 상단 외곽부에 일정 직경 및 두께의 날개부를 구비한 도가니, 상기 도가니를 감싸는 원통형 셀, 상기 날개부의 직경보다 큰 내경의 중앙통로를 가지고 날개부보다 높은 고도에 위치하는 열기차단부가 포함된 노즐쉴드, 상기 날개부와 셀의 사이에 위치하며 도가니를 일방향으로 회전시킬 때 도가니를 상승시켜 상기 날개부가 상기 열기차단부의 상부로 노출되게 하는 승강유도부를 포함하는 도가니장치의 취급에 사용되는 것으로서,
상기 도가니를 회전시킴에 의해 열기차단부의 상부로 노출된 상태의 날개부를 잡아 수직 상부로 끌어 올리는 도가니 취급기구.A crucible having a receiving space open upward through the spout and having a wing part of a certain diameter and thickness in the upper outer part, a cylindrical cell surrounding the crucible, a central passage with an inner diameter larger than the diameter of the wing part, and a height higher than the wing part A nozzle shield including a heat shield located in a position between the wing portion and the cell, and raises the crucible when rotating the crucible in one direction to expose the wing portion to the upper part of the heat shield Crucible including a lift induction part As used in the handling of the device,
By rotating the crucible, the crucible handling mechanism grabs the wing part exposed to the upper part of the heat shield and lifts it up vertically. 제6항에 있어서,
상기 날개부에는 상기 주둥이부를 중심으로 대칭을 이루는 다수의 걸림구멍이 형성되고,
상기 도가니 취급기구는,
상기 걸림구멍에 끼워지는 삽입돌기를 갖는 다수의 리프팅아암을 포함하는 도가니 취급기구.7. The method of claim 6,
A plurality of engaging holes symmetrical about the spout are formed in the wing portion,
The crucible handling mechanism,
A crucible handling mechanism including a plurality of lifting arms having insertion protrusions fitted into the locking holes. 제7항에 있어서,
상기 걸림구멍은 날개부의 외주면에 형성되되, 상기 주둥이부를 중심으로 반대편에 위치하며,
상기 리프팅아암은;
두 개가 쌍을 이루며 상호 교차된 상태로 커넥팅핀을 통해 링크되고, 하단부에 상기 삽입돌기를 구비하는 도가니 취급기구.8. The method of claim 7,
The locking hole is formed on the outer circumferential surface of the wing portion, located on the opposite side with respect to the spout portion,
the lifting arm;
A crucible handling mechanism comprising two pairs, linked through a connecting pin in a crossed state, and provided with the insertion protrusion at a lower end. 제8항에 있어서,
상기 리프팅아암의 상단부에는, 커넥팅핀을 통해 리프팅아암의 상단부에 연결되는 커넥터가 더 구비된 도가니 취급기구.9. The method of claim 8,
A crucible handling mechanism further comprising a connector connected to the upper end of the lifting arm through a connecting pin at the upper end of the lifting arm. 제9항에 있어서,
상기 커넥터에는 리프팅아암을 들어올리기 위해 사용되는 손잡이가 구비된 도가니 취급기구.10. The method of claim 9,
The connector has a crucible handling mechanism provided with a handle used to lift the lifting arm.
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