KR20210079330A - 액체 링 펌프의 제어 - Google Patents

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보크 앤드리즈 드
요에리 코켈버그스
신 다이
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에드워즈 테크놀로지스 배큠 엔지니어링 (칭다오) 컴퍼니 리미티드
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Abstract

시스템은: 챔버(102)와, 상기 챔버(102) 내에 장착된 임펠러(106)를 포함하는 액체 링 펌프(10); 상기 임펠러(106)가 챔버(102) 내에서 이동되도록 액체 링 펌프(10)를 구동하도록 구성된 드라이버; 및 상기 챔버(102)에 대한 임펠러(106)의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 임펠러(106)가 챔버(102) 내에서 이동되도록 액체 링 펌프(10)를 구동하기 위해 드라이버를 제어하도록 구성된 컨트롤러(20)를 포함한다.

Description

액체 링 펌프의 제어
본 발명은 액체 링 펌프의 제어에 관한 것이다.
액체 링 펌프는 진공 펌프 및 기체 압축기로 일반적으로 상업적으로 이용되는 공지된 유형의 펌프이다. 액체 링 펌프는 일반적으로 챔버를 내부에 구비하는 하우징과, 챔버로 연장되는 샤프트와, 샤프트에 장착된 임펠러와, 샤프트를 구동하기 위해 샤프트에 작동 가능하게 연결된 모터와 같은 구동 시스템을 포함한다. 임펠러와 샤프트는 액체 링 펌프의 챔버 내에서 편심으로 배치된다.
작동시, 챔버는 작동 액체(또한, 서비스 액체라고도 알려짐)로 부분적으로 충전된다. 구동 시스템이 샤프트와 임펠러를 구동할 때, 챔버의 내부 벽에 액체 링이 형성되어, 인접한 임펠러 베인 사이의 개별 용적을 분리하는 시일을 제공한다. 임펠러와 샤프트는 액체 링에 편심으로 배치되어 임펠러의 인접한 베인과 액체 링 사이에 포함된 용적의 주기적 변화가 발생한다.
액체 링이 샤프트에서 더 멀리 떨어져 있는 챔버의 일 부분에서, 인접한 임펠러 베인 사이에 더 큰 용적이 있어 내부에 더 작은 압력이 형성된다. 이것은 액체 링이 샤프트에서 더 멀리 떨어져 있는 부분이 기체 입력 존으로서 작용하게 한다. 액체 링이 샤프트에 더 가까운 챔버의 일부에서, 인접한 임펠러 베인 사이에 더 작은 용적이 있어 내부에 더 큰 압력이 형성된다. 이것은 액체 링이 샤프트에 더 가까운 부분이 기체 배출 존으로서 작용하게 한다.
액체 링 펌프의 예로는 1-스테이지 액체 링 펌프와 다중-스테이지 액체 링 펌프가 있다. 1-스테이지 액체 링 펌프에는 단일 챔버와 임펠러만 사용된다. 다중-스테이지 액체 링 펌프(예를 들어, 2-스테이지)에는 직렬로 연결된 다중 챔버와 임펠러가 사용된다.
본 발명가들은 긴 셧다운 기간 동안, 즉 액체 링 펌프가 작동하지 않는 기간 동안 액체 링 펌프의 고장정지(seizure)가 발생할 수 있음을 깨달았다. 특히, 본 발명가들은 임펠러 베인 및/또는 챔버의 부식, 및/또는 챔버 내의 작은 입자 또는 침전물이 임펠러 베인 단부 표면과 챔버의 내부 표면 사이에서 고장정지를 야기시킬 수 있음을 깨달았다. 본 발명가들은 예를 들어 셧다운 기간 동안과 같이 액체 링 펌프 고장정지의 가능성을 방지하거나 줄이는 것이 유리할 것이라고 생각했다.
본 발명가들은, 예를 들어 임펠러가 장착된 샤프트를 회전시킴으로써 임펠러가 챔버 내에서 주기적으로 회전하게 함으로써(예를 들어 자동적으로) 액체 링 펌프 고장정지를 방지하거나 그 가능성을 감소시킬 수 있음을 추가로 깨달았다.
제 1 양태에서, 본 발명은, 시스템에 있어서, 챔버와, 상기 챔버 내에 장착된 임펠러를 포함하는 액체 링 펌프; 상기 임펠러가 챔버 내에서 이동되도록 액체 링 펌프를 구동하도록 구성된 드라이버; 및 상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 임펠러가 챔버 내에서 이동되도록 액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어하도록 구성된 컨트롤러를 포함하는, 시스템을 제공한다.
상기 컨트롤러는 챔버에 대한 임펠러의 속도가 적어도 제 1 사전결정된 시간 기간 동안 임계값 속도 미만이었거나, 또는 0이었는가를 결정하도록 구성될 수 있다. 액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어하는 것은, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 적어도 제 1 사전결정된 시간 기간 동안 임계값 속도 미만이었는가, 또는 0이었는가를 결정하는 컨트롤러에 응답하여 실행될 수 있다. 시스템은 제 1 사전결정된 시간 기간을 타이밍하도록 구성된 타이머를 추가로 포함할 수 있다. 상기 컨트롤러는, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가의 결정에 응답하여, 타이머를 시작하도록 구성될 수 있다. 상기 컨트롤러는, 액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어한 후, 타이머를 리셋하도록 구성될 수 있다.
상기 시스템은 챔버에 대한 임펠러의 이동을 감지하도록 구성된 하나 이상의 센서를 더 포함하며, 상기 컨트롤러는, 상기 하나 이상의 센서를 센서에 의해 측정된 측정값을 사용하여, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가를 결정하도록 구성될 수 있다.
상기 컨트롤러는, 액체 링 펌프를 구동하도록 배열된 모터의 속도의 측정; 액체 링 펌프를 구동하도록 배열된 모터의 전력 소비의 측정; 액체 링 펌프를 제어하기 위한 제어 소프트웨어의 유한 상태 기계; 및 액체 링 펌프의 진동의 측정 중 하나 이상을 사용하여, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가를 결정하도록 구성될 수 있다.
상기 드라이버는 상기 임펠러가 장착되어 있는 샤프트를 회전시키도록 구성된 모터를 포함할 수 있다. 상기 드라이버는 작동 액체를 챔버로 주입하도록 구성된 펌프를 포함할 수 있다.
상기 컨트롤러는, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 챔버 내에서 임펠러를 주기적으로 이동시키도록 드라이버를 제어하도록 구성될 수 있다.
상기 컨트롤러는, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 챔버 내에서 임펠러를 회전시키도록 드라이버를 제어하도록 구성될 수 있다.
다른 양태에서, 본 발명은 액체 링 펌프의 작동을 제어하는 방법을 제공한다. 상기 액체 링 펌프는 챔버와, 상기 챔버 내에 장착된 임펠러를 포함한다. 상기 방법은 상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가를 결정하는 것; 및 상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 임펠러가 챔버 내에서 이동되도록 액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어하는 것을 포함한다.
상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가를 결정하는 것은 임펠러가 챔버에 대해서 정지해 있음을 결정하는 것을 포함한다.
상기 방법은 또한, 반복적으로, 상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 타이머를 시작하는 것; 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나 또는 0으로 유지되는 제 1 사전결정된 시간 기간을 타이밍하는 타이머에 응답하여, 임펠러가 제 2 사전결정된 시간 기간 동안 챔버 내에서 이동되도록 액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어하는 것; 및 상기 타이머를 리셋하는 것을, 포함할 수 있다.
추가 양태에서, 본 발명은 액체 링 펌프와 함께 사용하기 위한 고장정지-방지 장치(anti-seizure apparatus)를 제공한다. 상기 고장정지-방지 장치는, 액체 링 펌프의 비활성화의 기간 동안, 액체 링 펌프를 주기적으로 구동시키도록 구성된다.
추가 양태에서, 본 발명은 시스템에 있어서, 액체 링 펌프; 및 액체 링 펌프가 사전결정된 시간 기간 동안 비활성화되었다는 결정에 응답하여 액체 링 펌프를 활성화하도록 구성된 컨트롤러를 포함하는, 시스템을 제공한다.
상기 임의의 양태에서, 시스템은 작동 액체 라인을 통해 작동 액체를 액체 링 펌프로 펌핑하도록 구성된 펌프를 더 포함할 수 있다. 컨트롤러는 비례 컨트롤러, 적분 컨트롤러, 미분 컨트롤러, 비례 적분 컨트롤러, 비례 적분 미분 컨트롤러, 비례 미분 컨트롤러 및 퍼지 논리 컨트롤로 구성된 컨트롤러의 그룹으로부터 선택된 컨트롤러일 수 있다. 시스템은 액체 링 펌프의 배기 유체에서 작동 액체를 액체 링 펌프로 다시 재순환시키도록 구성된 작동 액체 재순환 시스템을 더 포함할 수 있다. 작동 액체 재순환 시스템은 액체 링 펌프의 배기 유체로부터 작동 액체를 분리하도록 구성된 세퍼레이터를 포함할 수 있다. 작동 액체 재순환 시스템은 재순환 작동 액체가 액체 링 펌프에 의해 수용되기 전에 재순환 작동 액체를 냉각하도록 구성된 냉각 수단을 포함할 수 있다. 시스템은 액체 링 펌프의 흡입 라인에 배치된 역류 방지 밸브를 더 포함할 수 있다. 역류 방지 밸브는 액체 링 펌프로의 유체 흐름을 허용하고 액체 링 펌프에서 유체 흐름에 대항하도록 구성될 수 있다.
도 1은 진공 시스템을 보여주는 개략도이다(축척이 아님).
도 2는 액체 링 펌프의 개략도이다(축척이 아님).
도 3은 고장정지-방지 방법의 특정 단계를 보여주는 프로세스 흐름도이다.
도 1은 진공 시스템(2)을 보여주는 개략도이다(축척이 아님). 진공 시스템(2)은 설비(4)에 연결되어, 작동 중에 진공 시스템(2)이 설비(4)에서 기체(예를 들어, 공기)를 흡인하여 설비(4)에 진공 또는 저압 환경을 설정하도록 한다.
이러한 실시예에서, 진공 시스템(2)은 역류 방지 밸브(6), 액체 링 펌프(10), 모터(12), 세퍼레이터(14), 펌프 시스템(16), 열 교환기(18) 및 컨트롤러(20)를 포함한다.
설비(4)는 흡입 또는 진공 라인 또는 파이프(34)를 통해 액체 링 펌프(10)의 유입구에 연결된다.
역류 방지 밸브(6)는 흡입 라인(34)에 배치된다. 역류 방지 밸브(6)는 설비(4)와 액체 링 펌프(10) 사이에 배치된다.
역류 방지 밸브(6)는, 설비(4)로부터 액체 링 펌프(10)까지의 유체 흐름(예를 들어, 공기와 같은 기체)을 허용하고 그리고 반대 방향에서, 즉 액체 링 펌프(10)로부터 설비(4)까지의 액체 흐름을 방지하거나 반대하도록 구성된다.
이러한 실시예에서, 액체 링 펌프(10)는 1-스테이지 액체 링 펌프이다.
액체 링 펌프(10)의 기체 유입구는 흡입 라인(34)에 연결된다. 액체 링 펌프(10)의 기체 배출구는 배기 라인 또는 파이프(38)에 연결된다. 액체 링 펌프(10)는 제 1 작동 액체 파이프(40)를 통해 열 교환기(18)에 결합된다. 액체 링 펌프(10)는 제 1 작동 액체 파이프(40)를 통해 열 교환기(18)로부터의 작동 액체를 수용하도록 구성되어 있다. 액체 링 펌프(10)는 모터(12)에 의해 구동된다. 따라서, 모터(12)는 액체 링 펌프(10)의 드라이버이다.
도 2는 예시적인 액체 링 펌프(10)의 단면의 개략도이다(축척이 아님). 진공 시스템(2)의 나머지 부분은 도 2에 도시된 액체 링 펌프(10)에 대한 설명을 한 후에 나중에 더 자세히 설명될 것이다.
이러한 실시예에서, 액체 링 펌프(10)는 실질적으로 원통형의 챔버(102)를 한정하는 하우징(100), 챔버(102)로 연장되는 샤프트(104), 및 샤프트(104)에 고정 장착된 임펠러(106)를 포함한다. 액체 링 펌프(10)의 기체 유입구(108)(흡입 라인(34)에 결합됨)는 챔버(102)의 기체 유입구에 유동적으로 연결된다. 액체 링 펌프(10)의 기체 배출구(도 2에는 도시되지 않음)는 챔버(102)의 기체 출력부에 유동적으로 연결된다.
액체 링 펌프(10)의 작동 동안, 작동 액체는 제 1 작동 액체 파이프(40)를 통해 챔버(102)로 수신된다. 일부 실시예에서, 작동 액체는 스프레이 노즐을 거쳐서 흡입 라인(34)을 통해 추가로 수용될 수 있다. 또한, 샤프트(104)는 모터(12)에 의해 회전되며, 이에 의해 챔버(102) 내의 임펠러(106)를 회전시킨다. 임펠러(106)가 회전되면, 챔버(102) 내의 작동 액체(도면에 도시되지 않음)는 챔버(102)의 벽에 대해 강제되며, 이에 의해 인접한 임펠러 베인 사이에서 개별 부피를 밀봉 및 분리시키는 액체 링을 형성한다. 또한, 기체(예를 들어, 공기)는 기체 유입구(108)와 챔버(102)의 기체 입력부를 통해 흡입 라인(34)으로부터 챔버(102)로 흡인된다. 이 기체는 임펠러(106)의 인접한 베인 사이에 형성된 부피로 흐른다. 임펠러(106)의 회전은 챔버(102)의 기체 입력부로부터 챔버(102)의 기체 출력부로 이동하므로 부피 내에 포함된 기체를 압축시키며, 여기서 압축된 기체는 챔버(102)를 빠져 나간다. 다음에, 챔버(102)를 빠져 나간 압축된 기체는 기체 배출구 및 배기 라인(38)을 통해 액체 링 펌프를 빠져 나간다.
이제 도 1의 설명으로 돌아가면, 배기 라인(38)은 액체 링 펌프(10)의 기체 배출구와 세퍼레이터(14)의 유입구 사이에 결합된다. 세퍼레이터(14)는 배기 라인(38)을 통해 액체 링 펌프(10)에 연결되어, 배기 유체(예를 들어, 물 방울 및/또는 증기를 포함할 수 있는 압축된 기체)가 세퍼레이터에 의해 수용된다.
세퍼레이터(14)는 액체 링 펌프(10)로부터 수용한 배기 유체를 기체(예를 들어, 공기) 및 작동 액체로 분리하도록 구성되어 있다. 따라서, 세퍼레이터(14)는 작동 액체의 재순환을 제공한다.
수용된 배기 유체로부터 분리된 기체는 시스템 배출구 파이프(42)를 통해 세퍼레이터(14) 및 진공 시스템(2)으로부터 방출된다.
이러한 실시예에서, 세퍼레이터(14)는, 세퍼레이터(14)가 작동 액체 공급원(도면에 도시되지 않음)으로부터 추가 또는 "보충(top-up)" 작동 액체의 공급을 수용할 수 있는 추가 유입구(44)를 포함한다. 제 1 밸브(46)는 추가 유입구(44)를 따라 배치된다. 제 1 밸브(46)는 추가 유입구(44)를 통해 세퍼레이터(14)로 추가 작동 액체의 유동을 제어하도록 구성된다. 제 1 밸브(46)는 솔레노이드 밸브일 수 있다.
세퍼레이터(14)는 3개의 작동 액체 배출구를 포함한다. 세퍼레이터(14)의 제 1 작동 액체 배출구는 제 2 작동 액체 파이프(56)를 통해 펌프 시스템(16)에 연결되어, 작동 액체가 세퍼레이터(14)로부터 펌프 시스템(16)으로 유동할 수 있다. 세퍼레이터(14)의 제 2 작동 액체 배출구는 과잉 작동 액체를 위한 배출구를 제공하는 오버플로우 파이프(50)에 연결된다. 세퍼레이터(14)의 제 3 작동 액체 배출구는 세퍼레이터가 작동 액체를 배수할 수 있는 라인을 제공하는 드레인 또는 배기 파이프(52)에 결합되어 있다. 제 2 밸브(54)는 배기 파이프(52)를 따라 배치된다. 제 2 밸브(54)는 개방 또는 폐쇄 상태로 되도록 구성되며, 이에 의해 각각 배기 파이프(52)를 통해 세퍼레이터(14)에서 빠져나오는 작동 액체의 유동을 허용하거나 방지한다. 제 2 밸브(54)는 솔레노이드 밸브일 수 있다.
세퍼레이터(14)는 세퍼레이터(14)에서 작동 액체의 양의 표시를, 예를 들어 진공 시스템(2)의 인간 사용자에게 제공하도록 구성된 레벨 표시기(56)를 추가로 포함한다. 레벨 표시기(56)는 예를 들어 사용자가 세퍼레이터(14)의 액체 저장 탱크 내에서 액체 레벨을 볼 수 있는 투명한 창을 포함할 수 있다.
이러한 실시예에서, 제 2 작동 액체 파이프(48)를 통해 세퍼레이터(14)에 결합되는 것에 추가해서, 펌프 시스템(16)은 제 3 작동 액체 파이프(58)를 통해 열 교환기(18)에 결합된다. 펌프 시스템(16)은 펌프(예를 들어, 원심 펌프)와, 당해 펌프를 구동하도록 구성된 모터를 포함한다. 펌프 시스템(16)은 제 2 작동 액체 파이프(48)를 통해 세퍼레이터(14)를 빠져나오는 작동 액체를 펌핑하고, 제 3 작동 액체를 통해 열 파이프 교환기(18)로 작동 액체를 펌핑하도록 구성된다.
열 교환기(18)는 펌프 시스템(16)으로부터의 상대적으로 고온의 작동 액체를 수용하고, 상대적으로 저온의 작동 액체를 제공하도록 상기 상대적으로 고온의 작동 액체를 냉각시키고, 상기 상대적으로 저온의 작동 액체를 출력하도록 구성된다.
이러한 실시예에서, 열 교환기(18)는 상기 상대적으로 고온의 작동 액체로부터의 열을 열 교환기(18)를 통해 또한 유동하는 유체 냉각제에 전달함으로써 열 교환기(18)를 통해 유동하는 상대적으로 고온의 작동 액체를 냉각하도록 구성된다. 작동 액체와 냉각제는 열이 전달되는 고체 벽에 의해 열 교환기(18)에서 분리되며, 이에 의해 작동 액체가 냉각제와 혼합되는 것을 방지한다. 열 교환기(18)는 냉각제 유입구(60)를 통해 냉각제 공급원(도면에 도시되지 않음)으로부터의 냉각제를 수용한다. 열 교환기(18)는 냉각제 배출구(62)를 통해 냉각제(열이 전달된)를 방출한다.
열 교환기(18)는 냉각된 작동 액체(즉, 펌프 시스템(16)에 의해 펌핑됨)가 유동하는 작동 액체 배출구를 포함한다. 작동 액체 배출구는 제 1 작동 액체 파이프(40)에 결합된다. 따라서, 열 교환기(18)는 제 1 작동 액체 파이프(40)를 통해 액체 링 펌프(10)에 연결되며, 그 결과 작동시 냉각된 작동 액체가 열 교환기(18)로부터 액체 링 펌프(10)까지 펌프 시스템(16)에 의해 펌핑된다.
컨트롤러(20)는 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있다. 이러한 실시예에서, 컨트롤러(20)는 2개의 가변 주파수 드라이브(variable frequency drive: VFD), 즉 제 1 VFD(201)와 제 2 VFD(202)를 포함한다. 제 1 VFD(201)는 모터(12)의 속도를 제어하도록 구성된다. 제 1 VFD(201)는 모터(12)를 제어하기 위한 인버터(12)를 포함할 수 있다. 제 2 VFD(202)는 펌프 시스템(16)의 모터의 속도를 제어하도록 구성된다. 제 2 VFD(202)는 펌프 시스템(16)의 모터를 제어하기 위한 인버터를 포함할 수 있다.
컨트롤러는 카운트다운 타이머(203)를 더 포함한다. 이러한 실시예에서, 카운트다운 타이머(203)는 사전결정된 제 1 시간에서 0까지 카운트다운하도록 구성된다. 이러한 실시예에서, 카운트다운 타이머(203)는 도 3을 참조하여 아래에서 보다 상세하게 설명하는 바와 같이 모터(12)의 작동을 제어하는 데 사용된다.
컨트롤러(20)는 제 1 VFD를 통해 그리고 제 1 연결부(66)를 통해 모터(12)에 연결되어, 모터(12)를 제어하기 위한 제어 신호가 컨트롤러(20)로부터 모터(12)까지 전송될 수 있다. 제 1 연결부(66)는 전기 와이어, 광 섬유 또는 무선 연결을 포함하지만 이에 제한되지 않은 임의의 적절한 유형의 연결일 수 있다. 모터(12)는 컨트롤러(20)로부터 모터에 의해 수신된 제어 신호에 따라 작동하도록 구성된다. 컨트롤러(20)에 의한 모터(12)의 제어는 도 3을 참조하여 아래에서 보다 상세하게 설명된다.
컨트롤러(20)는 제 2 VFD를 통해 그리고 제 2 연결부(68)를 통해 펌프 시스템(16)에 연결되어, 펌프 시스템(16)을 제어하기 위한 제어 신호가 컨트롤러(20)로부터 펌프 시스템(16)의 모터까지 전송될 수 있다. 제 2 연결부(68)는 전기 와이어, 광 섬유 또는 무선 연결을 포함하지만 이에 제한되지 않는 임의의 적절한 유형의 연결일 수 있다. 펌프 시스템(16)은 컨트롤러(20)로부터 펌프 시스템에 의해 수신된 제어 신호에 따라 작동하도록 구성된다.
컨트롤러(20)는 각 연결부(도면에 도시되지 않음)를 통해 제 1 밸브(46)와 제 2 밸브(54)에 또한 연결되어, 밸브(46, 54)를 제어하기 위한 제어 신호가 컨트롤러(20)로부터 밸브(46, 54)로 전송될 수 있다.
따라서, 진공 시스템(2)의 실시예가 제공된다.
상기 구성을 구현하고 그리고 아래에 설명되는 방법 단계들을 실행하기 위한 컨트롤러(20)를 포함하는 장치는 임의의 적절한 장치, 예를 들어 하나 이상의 컴퓨터 또는 다른 처리 장치 또는 프로세서를 구성 또는 채용함으로써 및/또는 추가의 모듈을 제공함으로써 제공될 수 있다. 장치는, 컴퓨터 메모리, 컴퓨터 디스크, ROM, PROM 등과 같은 기계-판독가능 저장 매체, 또는 이들 또는 다른 저장 매체의 임의의 조합 내에 또는 상에 저장된 컴퓨터 프로그램 또는 복수의 컴퓨터 프로그램의 형태의 명령 및 데이터를 포함하여, 명령을 구현하고 그리고 데이터를 사용하기 위한 컴퓨터, 컴퓨터의 네트워크 또는 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있다.
이제 진공 시스템(2)에 의해 수행 가능한 제어 프로세스의 실시예를 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3의 흐름도에 설명되어 있고 그리고 아래에 설명된 특정 프로세스 단계들은 생략될 수 있거나, 이러한 프로세스 단계들은 아래에 제시되고 도 3에 도시된 것과 상이한 순서로 수행될 수 있다는 점에 유의해야 한다. 또한, 모든 프로세스 단계들에는 편의성과 이해의 용이성을 위해 개별 시간-순차 단계들로 설명되었지만, 그럼에도 불구하고 프로세스 단계들 중 일부는 실제로 동시에 또는 적어도 어느 정도 시간적으로 중복될 수 있다.
도 3은 진공 시스템(2)에 의해 수행된 제어 프로세스의 실시예의 특정 단계들을 도시하는 프로세스 흐름도이다.
단계 S2에서, 컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)의 챔버(102) 내에 정지해 있는지 여부를 결정한다. 정지 상태인 임펠러(106)는 액체 링 펌프(10)가 셧다운되었거나 또는 턴 오프되었거나, 또는 액체 링 펌프(10)가 작동하지 않는 것에 대응할 수 있다.
컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 임의의 적절한 방식으로 정지해 있는지 여부를 결정할 수 있다. 예를 들어, 컨트롤러(20)는, 예를 들어 모터(12)에 장착할 수 있는 적절한 센서를 사용하여 모터(12)의 속도를 측정 또는 모니터링할 수 있다. 모터(12)의 속도가 0이거나, 일부 사전결정된 임계값(예를 들어, 0.1rpm보다 작거나 같음) 미만인 경우, 컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 실질적으로 정지해 있다고 결정할 수 있다. 다른 실시예로서, 컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 소프트웨어 유한 상태를 사용(예를 들어, 상태 "오프" 및 "대기"를 사용)하여 정지해 있는지 여부를 결정할 수 있다. 소프트웨어 유한 상태는 컨트롤러에 의해 저장되거나, 컨트롤러에 의해 액세스 가능할 수 있다. 소프트웨어 유한 상태는 임펠러(106)가 정지되어 있는 것에 대응하는 액체 링 펌프(10)가 "오프" 상태임을 지정할 수 있다. 다른 실시예로서, 컨트롤러(20)는, 모터(12)에 의한 전력 소비 또는 사용의 측정에 기초하여 임펠러(106)가 정지해 있는지 여부를 결정할 수 있다. 모터(12)의 전력 소비/사용이 사전결정된 임계값 양 미만인 경우, 컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 실질적으로 정지해 있다고 결정할 수 있다. 모터(12)의 전력 소비 또는 사용은 임의의 적절한 센서 측정을 사용하여 컨트롤러에 의해 측정하거나 모니터링할 수 있다. 다른 실시예로서, 컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)와 관련된 진동 데이터를 기반으로 정지해 있는지 여부를 결정할 수 있다. 예를 들어, 액체 링 펌프(10)에 장착할 수 있는 진동 센서는 액체 링 펌프(10)의 진동을 측정하고, 진동 측정값을 컨트롤러(20)로 전송할 수 있다. 액체 링 펌프(10)의 진동은 챔버(102) 내에서 임펠러(106)의 회전으로 인해 야기될 수 있다. 액체 링 펌프(10)의 측정된 진동이 사전결정된 임계값 미만인 경우, 컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 실질적으로 정지해 있다고 결정할 수 있다.
단계 S2에서 컨트롤러(20)가 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)의 챔버(102) 내에서 정지해 있지 않다고 결정하는 경우, 즉 임펠러(106)가 회전되고 있다고 결정하는 경우, 도 3의 방법은 단계 S4로 진행한다. 임펠러(106)의 이동은 프로세스 요구를 충족시키기 위해 모터(12)(인버터를 통해서)를 활성화시키는 컨트롤러 때문일 수 있다.
그러나, 단계 S2에서 컨트롤러(20)가 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)의 챔버(102) 내에 정지해 있다고 결정하는 경우, 도 3의 방법은 단계 S6으로 진행한다. 단계 S6은 단계 S4의 설명 후에 아래에서 보다 상세하게 설명한다.
단계 S4에서, 이러한 실시예에서, 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)의 챔버(102) 내에 정지해 있지 않다는 결정에 응답하여, 컨트롤러(20)가 카운트다운 타이머(203)를 리셋한다. 일부 실시예에서, 카운트다운 타이머(203)가 시작되지 않은 경우(즉, 카운트다운이 시작되지 않은 경우), 카운트다운 타이머(203)의 리셋팅은 생략될 수 있다. 이러한 실시예에서, 카운트다운 타이머(203)의 리셋팅은 카운트다운 타이머(203)를 시작시키지 않는다.
단계 S4 이후에, 도 3의 프로세스가 재시작되고, 즉, 방법은 단계 S2로 다시 진행하고, 이 단계에서 컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)의 챔버(102) 내에 정지해 있는지 여부를 결정한다.
이제 단계 S2에서 컨트롤러(20)가 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)의 챔버(102) 내에 정지해 있다고 결정하는 경우로 돌아가면, 단계 S6에서, 컨트롤러(20)는 카운트다운 타이머(203)를 활성화시키거나 또는 시작한다. 따라서, 카운트다운 타이머(203)는 제 1 사전결정된 시간으로부터 0까지 카운트다운을 시작한다. 제 1 사전결정된 시간은 예를 들어, 24시간 이하, 또는 18시간 이하, 또는 12시간 이하, 또는 이하 6시간 이하, 또는 3시간 이하, 또는 1시간 이하의 시간과 같은 임의의 적절한 시간일 수 있다. 예를 들어, 제 1 사전결정된 시간은 24시간, 18시간, 12시간, 6시간, 5시간, 4시간, 3시간, 2시간 또는 1시간일 수 있다.
단계 S8에서, 컨트롤러(20)는 카운트다운 타이머(203)가 경과했는지, 즉 카운트다운 타이머(203)가 제 1 사전결정된 시간으로부터 0까지 카운트다운을 완료했는지 여부를 결정한다.
단계 S8에서, 컨트롤러(20)가 카운트다운 타이머(203)가 경과하지 않았다고 결정하는 경우, 즉 카운트다운 타이머(203)가 아직 제 1 사전결정된 시간으로부터 0까지 카운트다운하는 과정에 있는 것으로 결정하는 경우, 도 3의 방법은 단계 S10으로 진행한다.
그러나, 단계 S8에서, 컨트롤러(20)가 카운트다운 타이머(203)가 경과했다고 결정하는 경우, 즉 카운트다운 타이머(203)가 제 1 사전결정된 시간으로부터 0까지 카운트다운을 완료했다고 결정하면, 도 3의 방법은 단계 S12로 진행한다. 단계 S12는 단계 S10의 설명 후에 아래에서 보다 상세하게 설명한다.
단계 S10에서, 이러한 실시예에서, 카운트다운 타이머(203)가 경과되지 않았 다는 결정에 응답하여, 컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)의 챔버(102) 내에 여전히 정지해 있는지 여부를 결정한다. 컨트롤러(20)는 임펠러(106)가 위에서 자세히 설명된 단계 S2에서 실행된 것과 동일한 방식으로 고정되어 있는지 여부를 결정할 수 있다.
단계 S10에서, 컨트롤러(20)가 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)의 챔버(102) 내에 정지해 있지 않다고 결정하는 경우, 즉 임펠러(106)가 회전되고 있다고 결정하는 경우, 도 3의 방법은 다시 단계 S4로 진행하며, 이 단계에서 컨트롤러(20)는 카운트다운 타이머(203)를 정지시키고, 리셋한다.
그러나, 단계 S10에서, 컨트롤러(20)가 임펠러(106)가 액체 링 펌프(10)의 챔버(102) 내에 정지해 있다고 결정하면, 도 3의 방법은 단계 S8로 다시 진행하고, 이 단계에서, 컨트롤러(20)는 카운트다운 타이머(203)가 경과했는지를 결정한다.
단계 S8 및 단계 S10은, 카운트다운 타이머(203)가 카운트다운되는 동안, 컨트롤러(20)는, 임펠러(106)가 더 이상 정지하지 않을 때까지(즉, 임펠러(106)가 회전됨), 또는 카운트타이머(203)가 경과했을 때까지, 임펠러(106)가 정지해 있는지 결정하기 위해서 임펠러(106)를 지속적으로 또는 연속적으로 모니터링한다.
이제 단계 S8에서 컨트롤러(20)가 카운트다운 타이머(203)가 경과했음을 결정하는 경우로 돌아가면, 단계 S12에서, 컨트롤러(20)는 모터(12)를 제어하여 액체 링 펌프(10)를 구동한다. 환언하면, 컨트롤러(20)는 모터(12)를 제어하여 샤프트(104)를 이동하거나 회전시켜 챔버(102) 내에서 임펠러(106)를 이동하거나 회전시킨다.
일부 실시예에서, 단계 S12에서, 카운트다운 타이머(203)가 경과했다는 것의 결정에 응답하여, 컨트롤러(20)는 카운트다운 타이머(203)를 정지시키고, 리셋한다.
단계 S14에서, 컨트롤러(20)는, 임펠러(106)가 사전결정된 운전 기간 동안 챔버(102) 내에서 이동되거나 회전되도록 모터(12)를 제어한다. 사전결정된 운전 시간은 제 2 사전결정된 시간 기간일 수 있다. 사전결정된 운전 시간은 예를 들어 5초 이하의 시간 기간, 예컨대 1초와 5초 사이의 시간 기간과 같은 임의의 적절한 시간 기간 또는 지속시간일 수 있다. 예를 들어, 사전결정된 운전 시간은 1초, 2초, 3초, 4초 또는 5초일 수 있다. 단계 S14에서 모터(12)를 제어할 때, 컨트롤러(20)는 사전결정된 운전 시간으로부터 0까지 카운트다운하도록 구성된 추가 카운트다운 타이머를 구현할 수 있다.
컨트롤러(20)는 모터(12)를 제어하여 챔버(102) 내에서 임펠러(106)를 사전결정된 구동 속도로 이동시키커나 회전시킬 수 있다. 일부 실시예에서, 이 구동 속도는 가능한 가장 낮은 구동 속도이다. 바람직하게, 사전결정된 구동 속도는 중요한 프로세스 진공 방해를 방지하는 속도, 즉 추가 프로세스 기체가 설비(4)에서 인출되지 않는 속도이다. 일부 실시예에서, 사전결정된 구동 속도는 10㎐ 이하이거나, 또는 보다 바람직하게 5㎐ 이하이다. 예를 들어, 사전결정된 구동 속도는 1㎐, 2㎐, 3㎐, 4㎐, 5㎐, 6㎐, 7㎐, 8㎐, 9㎐ 또는 10㎐일 수 있다.
단계 S16에서, 액체 링 펌프(10)가 사전결정된 구동 기간 동안 모터에 의해 구동된 후, 컨트롤러(20)는 모터(12)를 제어하여 액체 링 펌프(10)의 구동을 중지한다. 환언하면, 이러한 실시예에서, 모터(12)가 비활성화되고, 임펠러(106)가 챔버(102) 내에서 이동을 정지한다.
단계 S16 후에, 도 3의 방법은 단계 S4로 다시 진행하고, 이 단계에서 컨트롤러(20)는 카운트다운 타이머(203)를 리셋한다.
따라서, 진공 시스템(2)에 의해 구현된 고장정지-방지 프로세스의 실시예가 제공된다.
도 3의 프로세스는 진공 시스템(2) 작동 동안에 지속적으로 또는 연속적으로 수행될 수 있다. 도 3의 프로세스는 비활성화된, 예를 들어 정지되거나, 또는 중지되어 있는 진공 시스템(2) 또는 모터(12)에 대한 응답(예를 들어, 컨트롤러(20) 또는 외부 엔티티(external entity)에 의해)으로 시작될 수 있다. 도 3의 프로세스는 설비(4)에서 기체를 흡인하기 위해 활성화되는 진공 시스템(2) 또는 모터(12)에 대한 응답으로 중단(예를 들어, 중지 또는 일시중지)될 수 있다. 도 3의 프로세스는 프로세스 요구를 충족하기 위해 진공 시스템(2)을 제어하는 것과 같은 더 높은 우선 순위 프로세스에 의해 중단될 수 있다.
유리하게, 상술된 시스템 및 방법은 예를 들어 긴 셧다운 기간 동안 액체 링 펌프의 고장정지의 가능성을 방지하거나 줄이는 경향이 있다. 예를 들어, 챔버 내에서 임펠러의 주기적 회전은 챔버 내에서 임펠러의 이동을 달리 방해할 수 있는 미립자 물질, 침전물 또는 부스러기의 축적을 방지하거나 반대하는 경향이 있다. 액체 링 펌프는 일반적으로 단지 작은 입자 크기만 처리할 수 있는 기계적 시일을 사용한다. 또한, 내마모성은 제한적인 경향이 있다. 기계적 시일 밀봉 표면들 사이의 입자 침전을 방지하는 것이 중요하다. 또한, 챔버 내 임펠러의 주기적 회전은 임펠러 및/또는 챔버 벽이 임펠러와 챔버 벽이 함께 결합되는 것을 방지하거나 반대하는 경향이 있다. 샤프트와 하우징 사이의 고장정지 또한 방지될 수 있다.
유리하게, 위에 설명된 시스템 및 방법은 베어링 그리스(grease) 기반 재료에서 오일 분리를 방지하거나 줄이는 경향이 있다. 이것은 그리스가 과도하게 수반된 경우, 및 설계된 통상의 블리드 속도로 인해 시간이 경과에 따라, 오랜 시간 기간 동안 아이들 상태를 유지하고 있는 드라이브에서 발생할 수 있다.
상술된 시스템 및 방법은 컨트롤러의 제어 하에서 자동적으로 수행될 수 있다.
상술된 제어 프로세스에서, 액체 링 펌프는 가변 주파수 드라이브(VFD)로 작동된다. 환언하면, 컨트롤러는 액체 링 펌프가 설비에서 기체를 펌핑하는 속도를 변경하기 위해 액체 링 펌프를 제어한다. VFD를 사용하는 경우, 너무 낮은 속도로 작동되면 액체 링 펌프가 셧다운의 위험이 있다. 액체 링 펌프가 셧다운된 경우, 액체 링 펌프의 챔버로부터의 기체가 챔버로부터 그리고 액체 링 펌프를 벗어나 설비로 역류하려고 할 수 있다. 바람직하게, 역류 방지 밸브는 바람직하지 않은 기체 흐름을 방지하거나 반대하는 경향이 있으며, 특히 VFD를 사용하여 작동되는 액체 링 펌프에 유리하다.
상기 실시예에서, 컨트롤러는 모터를 활성화하여 임펠러가 챔버 내에서 주기적으로 이동하게 하는데, 즉 모터가 액체 링 펌프를 구동하게 한다. 예를 들어, 컨트롤러는 인버터를 제어하여 DC 전류 펄스를 변조할 수 있다. 그러나, 다른 실시예에서, 컨트롤러(또는 진공 시스템에서 멀리 있는 엔티티와 같은 다른 엔티티)는 임펠러가 상이한 방식으로 챔버 내에서 주기적으로 이동하게 한다. 환언하면, 상이한 드라이버가 모터가 아닌 액체 링 펌프를 구동할 수 있다. 예를 들어, 컨트롤러는 펌프 시스템을 제어하여(예를 들어, 펌프를 제어하는 모터를 제어하여) 액체(예를 들어, 물, 작동 액체 등)를 액체 링 펌프의 챔버로 주입하여 임펠러를 챔버 내에서 회전시킬 수 있다. 예를 들어, 펌프 시스템의 원심 펌프를 제어하여 챔버 내에서 임펠러에 대항하여 주기적으로 액체를 분사하여 임펠러를 이동하게 할 수 있다.
상기 실시예에서, 컨트롤러는 카운트다운 타이머를 포함하며, 임펠러가 제 1 사전결정된 시간 기간 동안 정지되었는지(또는 그 속도가 임계값 속도 미만인지) 결정하기 위한 카운트다운 타이머를 구현한다. 그러나, 다른 실시예에서, 컨트롤러는 임펠러가 상이한 방식으로 제 1 사전결정된 시간 기간 동안 정지되었는지(또는 그 속도가 임계값 속도 미만인지) 결정한다. 예를 들어, 카운트-업 타이머와 같은 상이한 유형의 타이머가 구현될 수 있다.
상기 실시예에서, 진공 시스템은 도 1을 참조하여 위에 설명된 요소들을 포함한다. 그러나, 다른 실시예에서, 진공 시스템은 위에 설명된 요소들 대신 또는 추가로 다른 요소로 구성된다. 또한, 다른 실시예에서, 진공 시스템의 일부 또는 모든 요소가 위에 설명된 것과 상이한 적절한 방법으로 함께 연결될 수 있다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 다중 액체 링 펌프를 구현할 수 있다.
위의 실시예에서, 열 교환기는 관통 유동하는 작동 액체를 냉각시킨다. 그러나, 다른 실시예에서, 열 교환기 대신 또는 열 교환기에 추가하여 액체 링 펌프에 의해 수신되기 전에 작동 액체를 냉각하기 위해 다른 냉각 수단이 구현된다.
위의 실시예에서, 작동 액체를 액체 링 펌프로 다시 재순환하기 위해 세퍼레이터가 구현되었다. 그러나, 다른 실시예에서, 상이한 유형의 재순환 기술이 구현된다. 작동 액체를 재순환하면 운영 비용과 물 사용량을 줄이는 데 유리하게 작용한다. 그럼에도 불구하고, 일부 실시예에서, 작동 액체의 재순환이 수행되지 않는다. 예를 들어, 진공 시스템은 새로운 작동 액체가 액체 링 펌프에 공급되고 그리고 배출된 작동 액체가 폐기될 수 있는 개방형 루프 작동 액체 순환 시스템을 포함할 수 있다. 따라서, 세퍼레이터는 생략될 수 있다.
상기 실시예에서, 액체 링 펌프는 1-스테이지 액체 링 펌프이다. 그러나, 다른 실시예에서, 액체 링 펌프는 상이한 유형의 액체 링 펌프, 예를 들어, 다중-스테이지 액체 링 펌프이다.
상기 실시예에서, 작동 액체는 물이다. 그러나, 다른 실시예에서, 작동 액체는 상이한 유형의 작동 액체이다.
컨트롤러는 비례 적분(PI) 컨트롤러, 비례(P) 컨트롤러, 적분(I) 컨트롤러, 미분(D) 컨트롤러, 비례 미분(PD) 컨트롤러, 비례 적분 미분(PID) 컨트롤러, 퍼지 논리 컨트롤러 또는 임의의 다른 유형의 컨트롤러일 수 있다.
상기 실시예에서, 단일 컨트롤러는 다중 시스템 요소(예를 들어, 모터)의 작동을 제어한다. 그러나, 다른 실시예에서, 다중 컨트롤러를 사용할 수 있으며, 각 컨트롤러는 요소 그룹의 각 하위 집합을 제어한다.
상기 실시예에서, 펌프는 작동 액체의 액체 링 펌프로의 유동을 조절하거나 조정하도록 제어된다. 그러나, 다른 실시예에서, 작동 액체의 유동을 제어하기 위한 하나 이상의 밸브와 같이 펌프 대신 또는 펌프에 추가하여 하나 이상의 상이한 유형의 조절 장치가 구현된다. 컨트롤러는 하나 이상의 조절 장치의 작동을 제어하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 작동 액체 유동은 변조되거나 조절되지 않으며, 펌프의 진공 유입 압력에 의해 인출된다.
2: 진공 시스템
4: 설비
6: 역류 방지 밸브
10: 액체 링 펌프
12: 모터
14: 세퍼레이터
16: 펌프 시스템
18: 열 교환기
20: 컨트롤러
34: 흡입 라인
38: 배기 라인
40: 제 1 작동 액체 파이프
42: 시스템 배출구 파이프
44: 추가 유입구
46: 제 1 밸브
48: 제 2 작동 액체 파이프
50: 오버플로우 파이프
52: 배기 파이프
54: 제 2 밸브
56: 레벨 표시기
58: 제 3 작동 액체 파이프
60: 냉각제 유입구
62: 냉각제 배출구
66: 제 1 연결부
68: 제 2 연결부
100: 하우징
102: 챔버
104: 샤프트
106: 임펠러
108: 기체 유입구
201: 제 1 가변 주파수 드라이브
202: 제 2 가변 주파수 드라이브
203: 카운트다운 타이머

Claims (15)

  1. 시스템에 있어서,
    챔버와, 상기 챔버 내에 장착된 임펠러를 포함하는 액체 링 펌프;
    상기 임펠러가 챔버 내에서 이동되도록 액체 링 펌프를 구동하도록 구성된 드라이버; 및
    상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 임펠러가 챔버 내에서 이동되도록 액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어하도록 구성된 컨트롤러를 포함하는
    시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는 챔버에 대한 임펠러의 속도가 적어도 제 1 사전결정된 시간 기간 동안 임계값 속도 미만이었거나, 또는 0이었는가를 결정하도록 구성되며; 및
    액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어하는 것은, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 적어도 제 1 사전결정된 시간 기간 동안 임계값 속도 미만이었거나, 또는 0이었는가를 결정하는 컨트롤러에 응답하여 실행되는
    시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    제 1 사전결정된 시간 기간을 타이밍하도록 구성된 타이머를 추가로 포함하는
    시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는,
    챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가의 결정에 응답하여, 타이머를 시작하도록; 및
    액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어한 후, 타이머를 리셋하도록
    구성되는
    시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    챔버에 대한 임펠러의 이동을 감지하도록 구성된 하나 이상의 센서를 더 포함하며,
    상기 컨트롤러는, 상기 하나 이상의 센서에 의해 측정된 측정값을 사용하여, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가를 결정하도록 구성되는
    시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 액체 링 펌프를 구동하도록 배열된 모터의 속도의 측정; 액체 링 펌프를 구동하도록 배열된 모터의 전력 소비의 측정; 액체 링 펌프를 제어하기 위한 제어 소프트웨어의 유한 상태 기계; 및 액체 링 펌프의 진동의 측정 중 하나 이상을 사용하여, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가를 결정하도록 구성되는
    시스템.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 드라이버는 상기 임펠러가 장착되어 있는 샤프트를 회전시키도록 구성된 모터를 포함하는
    시스템.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 드라이버는 작동 액체를 챔버로 주입하도록 구성된 펌프를 포함하는
    시스템.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 챔버 내에서 임펠러를 주기적으로 이동시키도록 드라이버를 제어하도록 구성되는
    시스템.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 챔버 내에서 임펠러를 회전시키도록 드라이버를 제어하도록 구성되는
    시스템.
  11. 액체 링 펌프의 작동을 제어하는 방법으로서, 상기 액체 링 펌프는 챔버와, 상기 챔버 내에 장착된 임펠러를 포함하는, 방법에 있어서,
    상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가를 결정하는 것; 및
    상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 임펠러가 챔버 내에서 이동되도록 액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어하는 것을 포함하는
    방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0인가를 결정하는 것은 임펠러가 챔버에 대해서 정지해 있음을 결정하는 것을 포함하는
    방법.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 방법은 또한, 반복적으로,
    상기 챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나, 또는 0이라는 결정에 응답하여, 타이머를 시작하는 것;
    챔버에 대한 임펠러의 속도가 임계값 속도 미만이거나 또는 0으로 유지되는 제 1 사전결정된 시간 기간을 타이밍하는 타이머에 응답하여, 임펠러가 제 2 사전결정된 시간 기간 동안 챔버 내에서 이동되도록 액체 링 펌프를 구동하기 위해 드라이버를 제어하는 것; 및
    상기 타이머를 리셋하는 것을
    포함하는
    방법.
  14. 액체 링 펌프와 함께 사용하기 위한 고장정지-방지 장치(anti-seizure apparatus)에 있어서,
    상기 고장정지-방지 장치는, 액체 링 펌프의 비활성화의 기간 동안, 액체 링 펌프를 주기적으로 구동시키도록 구성된
    고장정지-방지 장치.
  15. 시스템에 있어서,
    액체 링 펌프; 및
    액체 링 펌프가 사전결정된 시간 기간 동안 비활성화되었다는 결정에 응답하여 액체 링 펌프를 활성화하도록 구성된 컨트롤러를 포함하는
    시스템.
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