KR20210078717A - Portable plasma device having changeable tip modules - Google Patents

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KR20210078717A
KR20210078717A KR1020190170443A KR20190170443A KR20210078717A KR 20210078717 A KR20210078717 A KR 20210078717A KR 1020190170443 A KR1020190170443 A KR 1020190170443A KR 20190170443 A KR20190170443 A KR 20190170443A KR 20210078717 A KR20210078717 A KR 20210078717A
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김무환
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(주)펨토사이언스
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Abstract

One objective of the present invention is to provide a portable plasma generation device having a changeable tip module, capable of generating plasma at various frequency bands depending on a working environment and a working object, by designing a tip module to be changeable. According to the present invention, the portable plasma generation device having a changeable tip module includes: a main body housing; a push member positioned on one surface of the main body housing to adjust ejection of a plasma frame; a mounting member provided on an opposite surface to the one surface on which the push member are mounted; an external grounding connection unit provided in the main body housing; and a tip module detachably coupled to a lower portion of the main body housing.

Description

팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치{PORTABLE PLASMA DEVICE HAVING CHANGEABLE TIP MODULES}Tip module exchangeable portable plasma generator {PORTABLE PLASMA DEVICE HAVING CHANGEABLE TIP MODULES}

이하 설명하는 기술은 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.The technology to be described below relates to a portable plasma generator with a tip module exchangeable.

플라즈마는 주로 물질의 표면 개질 및 코팅, 환경 정화 등의 분야에서 활용되고 있다. 최근에는 바이오 의료 분야의 응용 가능성에 관하여 연구가 점차 확대되고 있다. 50℃ 이하의 영역에서 저온 대기압 플라즈마를 발생시키는 장치에 적용되는 팁의 전극 구조는 대부분 침 형태의 바늘 전극 구조로, 전원장치에 따라서 다양한 구성과 방식으로 이루어진다. 상기 팁을 사용하는 방식은 주로 외부로부터 불활성 가스를 주입하고 바늘 전극 구조에 고전압을 가하여 플라즈마를 발생시키는 것이다. Plasma is mainly used in the fields of surface modification and coating of materials, and environmental purification. In recent years, research on the application potential of the biomedical field has been gradually expanded. The electrode structure of the tip applied to the device that generates low-temperature atmospheric pressure plasma in the region of 50° C. or less is mostly needle-shaped needle electrode structure, and it is made in various configurations and methods depending on the power supply device. The method of using the tip is to generate plasma by mainly injecting an inert gas from the outside and applying a high voltage to the needle electrode structure.

대기압 플라즈마 발생장치는 고가의 진공 장치를 사용하지 않고 플라즈마를 대기압 하에서 발생시키기 때문에 비용 절감의 효과가 크며, 열린 공간에서 공정이 진행되므로 플라즈마가 적용되는 공간의 제약이 없다. 또한, 실시간으로 연속공정이 가능하다는 장점이 있다. 이러한 장점 등의 이유로 대기압 플라즈마를 이용한 표면 처리에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. Since the atmospheric pressure plasma generator generates plasma under atmospheric pressure without using an expensive vacuum device, the effect of cost reduction is large, and since the process is performed in an open space, there is no restriction on the space to which the plasma is applied. In addition, there is an advantage that a continuous process is possible in real time. For reasons such as these advantages, research on surface treatment using atmospheric pressure plasma is being actively conducted.

그러나 대기압 플라즈마의 경우 기존의 저압 플라즈마와는 매우 다른 물리적 특성을 가지고 있기 때문에, 적용하고자 하는 공정분야에 알맞게 상압 플라즈마를 조정해주는 것이 매우 어려워 다양한 분야에 적용되기에는 해결해야 할 다양한 문제들이 있다. 따라서 각 용도에 맞는 플라즈마를 발생시키기 위한 변수들, 즉 플라즈마 전자 온도, 전자 밀도, 기체 온도, 입력전압이나 기체 유량 등의 방전조건뿐만 아니라 플라즈마 발생 주파수를 자유롭게 조정하여 플라즈마의 상태를 제어할 수 있는 기술이 요구된다.However, in the case of atmospheric pressure plasma, since it has very different physical characteristics from the existing low pressure plasma, it is very difficult to adjust the atmospheric pressure plasma to suit the process field to be applied, and there are various problems to be solved before being applied to various fields. Therefore, it is possible to control the plasma state by freely adjusting the plasma generation frequency as well as the discharge conditions such as plasma electron temperature, electron density, gas temperature, input voltage or gas flow rate, etc., for generating plasma suitable for each use. skills are required

한편, 바이오 의료 분야에 플라즈마를 활발히 활용하기 위해서는 장치의 소형화 및 휴대성과 제어의 용이성이 요구된다. 그러나, 기존의 휴대형 대기압 플라즈마 발생장치들은 주로 피부미용용으로 개발되어 있으며, 플라즈마의 세기가 미약하며, 그 형태나 플라즈마의 발생방식이 바이오 연구 분야에서 사용하기 적합하지 않다. 또한, 기존의 바이오 의료 분야에서 이용되는 표면처리용 플라즈마 기기들은 사용자의 의도에 따라 플라즈마 플레임(flame)의 세기를 조절하는 것이 어렵고 장치 자체의 크기로 인해 마이크로 웰 플레이트(micro well plate)와 같은 미세 구조의 내부 표면을 고르게 국부 처리하는 것이 용이하지 않다는 문제점이 있다.Meanwhile, in order to actively utilize plasma in the biomedical field, miniaturization, portability, and ease of control of the device are required. However, the existing portable atmospheric pressure plasma generators are mainly developed for skin care, the intensity of plasma is weak, and the shape or plasma generation method is not suitable for use in the field of bio research. In addition, in conventional plasma devices for surface treatment used in the biomedical field, it is difficult to control the intensity of a plasma flame according to a user's intention, and due to the size of the device itself, it is difficult to There is a problem in that it is not easy to evenly localize the inner surface of the structure.

한국등록특허 제10-1577207호Korean Patent No. 10-1577207 한국공개특허 제10-2018-0057809호Korean Patent Publication No. 10-2018-0057809

본 발명의 하나의 목적은 플라즈마 발생 팁을 모듈식으로 설계하여, 작업환경과 목적에 따라 다양한 주파수 영역에서 플라즈마를 발생시킬 수 있는, 팁 모듈의 교환이 가능한 휴대형 플라즈마 발생장치를 제공하는 것이다. One object of the present invention is to provide a portable plasma generator that can generate plasma in a variety of frequency ranges according to the working environment and purpose by designing the plasma generating tip in a modular fashion, and the tip module can be exchanged.

본 발명의 다른 하나의 목적은 휴대가 편리하고 성능이 우수하며, 플라즈마 플레임(flame)의 조절이 용이하여 마이크로 웰 플레이트(micro well plate)와 같은 미세 구조의 내부 표면을 간편하고 고르게 국부 처리할 수 있는 플라즈마 발생장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is that it is convenient to carry and has excellent performance, and it is possible to easily and evenly localize the inner surface of a microstructure such as a micro well plate because it is easy to control the plasma flame. It is to provide a plasma generator with

본 발명의 또 다른 하나의 목적은 사용자의 필요에 따라 리모트 방식과 다이렉트 방식을 선택할 수 있는 휴대형 플라즈마 발생장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a portable plasma generator capable of selecting a remote method and a direct method according to the user's needs.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여,In order to achieve the above object,

본 발명은 본체 하우징; 상기 본체 하우징의 일면에 위치하고, 플라즈마 플레임(flame)의 방출을 조절하는 푸쉬부재; 상기 푸쉬부재가 설치된 일면의 반대면에 구비되는 거치부재; 상기 본체 하우징에 구비되는 외부 접지 연결부; 및 상기 본체 하우징 하부에 탈착가능하도록 결합되는 팁 모듈;을 포함하는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치를 제공한다.The present invention is a body housing; a push member positioned on one surface of the main housing and controlling emission of a plasma flame; a holding member provided on the opposite surface of the one surface on which the push member is installed; an external grounding connection part provided in the main body housing; and a tip module that is detachably coupled to a lower portion of the main housing housing; provides a tip module exchangeable portable plasma generator comprising a.

본 발명의 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치는 플라즈마가 방출되는 모듈을 교환형으로 설계하여, 작업환경과 목적에 따라 다양한 주파수 영역에서 플라즈마를 발생시킬 수 있는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치를 제공할 수 있다. 또한, 휴대가 편리하고 성능이 우수하며, 플라즈마 플레임의 조절이 용이하여 마이크로 웰 플레이트와 같은 미세 구조의 내부 표면을 간편하고 고르게 국부 처리할 수 있다. The tip module exchangeable portable plasma generator of the present invention can provide a tip module exchangeable portable plasma generator capable of generating plasma in various frequency ranges according to the working environment and purpose by designing a module that emits plasma as an exchangeable type. have. In addition, it is convenient to carry, excellent in performance, and easy to control the plasma flame, so that the internal surface of a microstructure such as a micro-well plate can be conveniently and evenly localized.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치의 사시도를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치의 측면을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치의 상부면을 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치의 팁 모듈의 탈착 상태를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치의 팁 모듈의 교환 방법을 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 방출부의 구성을 단면도로 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 방출부를 확대하여 나타낸 것이다.
1 is a perspective view of a tip module exchangeable portable plasma generator according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 shows the side of the tip module exchangeable portable plasma generator according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 shows the top surface of the tip module exchangeable portable plasma generator according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 shows the detachable state of the tip module of the tip module exchangeable portable plasma generator according to an embodiment of the present invention.
5 is a diagram illustrating a method of exchanging a tip module of a tip module exchangeable portable plasma generator according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view illustrating the configuration of a plasma emitting unit according to an embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view of a plasma emission unit according to an embodiment of the present invention.

이하 설명하는 기술은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 이하 설명하는 기술을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 이하 설명하는 기술의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The technology to be described below may have various changes and may have various embodiments, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail. However, this is not intended to limit the technology described below to specific embodiments, and it should be understood to include all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the technology described below.

제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않으며, 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 이하 설명하는 기술의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.Terms such as first, second, A, and B may be used to describe various components, but the components are not limited by the above terms, and only for the purpose of distinguishing one component from other components. used only as For example, a first component may be named as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component without departing from the scope of the technology to be described below. and/or includes a combination of a plurality of related listed items or any of a plurality of related listed items.

본 명세서에서 사용되는 용어에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 해석되지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함한다" 등의 용어는 설시된 특징, 개수, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 의미하는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 개수, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In terms of the terms used herein, the singular expression should be understood to include a plural expression unless the context clearly dictates otherwise, and terms such as "comprises" refer to the described feature, number, step, operation, and element. , parts or combinations thereof are to be understood, but not to exclude the possibility of the presence or addition of one or more other features or numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

도면에 대한 상세한 설명을 하기에 앞서, 본 명세서에서의 구성부들에 대한 구분은 각 구성부가 담당하는 주기능별로 구분한 것에 불과함을 명확히 하고자 한다. 즉, 이하에서 설명할 2개 이상의 구성부가 하나의 구성부로 합쳐지거나 또는 하나의 구성부가 보다 세분화된 기능별로 2개 이상으로 분화되어 구비될 수도 있다. 그리고 이하에서 설명할 구성부 각각은 자신이 담당하는 주기능 이외에도 다른 구성부가 담당하는 기능 중 일부 또는 전부의 기능을 추가적으로 수행할 수도 있으며, 구성부 각각이 담당하는 주기능 중 일부 기능이 다른 구성부에 의해 전담되어 수행될 수도 있음은 물론이다.Prior to a detailed description of the drawings, it is intended to clarify that the classification of the constituent parts in the present specification is merely a division according to the main function each constituent unit is responsible for. That is, two or more components to be described below may be combined into one component, or one component may be divided into two or more for each more subdivided function. In addition, each of the constituent units to be described below may additionally perform some or all of the functions of the other constituent units in addition to the main function it is responsible for, and may additionally perform some or all of the functions of the other constituent units. Of course, it may be carried out by being dedicated to it.

또한, 방법 또는 동작 방법을 수행함에 있어서, 상기 방법을 이루는 각 과정들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않은 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 과정들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.In addition, in performing the method or method of operation, each process constituting the method may occur differently from the specified order unless a specific order is clearly described in context. That is, each process may occur in the same order as specified, may be performed substantially simultaneously, or may be performed in the reverse order.

도 1 내지 3은 본 발명의 일실시예에 따른 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)를 나타낸 도면이다. 도 1 내지 3을 참조하면, 본 발명의 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)는 본체 하우징(100), 상기 본체 하우징(100)의 일면에 위치하고 플라즈마 플레임(flame)의 방출을 조절하는 푸쉬부재(200), 상기 푸쉬부재(200)가 설치된 일면의 반대면에 구비되는 거치부재(300), 상기 본체 하우징(100)에 구비되는 외부 접지 연결부(400) 및 상기 하우징(100) 하부에 탈착가능하도록 결합되는 팁 모듈(500)을 포함한다. 1 to 3 are diagrams showing a tip module exchangeable portable plasma generator 10 according to an embodiment of the present invention. 1 to 3, the tip module replaceable portable plasma generator 10 of the present invention is a body housing 100, a push member positioned on one surface of the body housing 100 and controlling the emission of a plasma flame (200), the mounting member 300 provided on the opposite side of the one surface on which the push member 200 is installed, the external grounding connection part 400 provided in the main body housing 100, and the housing 100 are detachable from the lower part. It includes a tip module 500 coupled to do so.

상기 본체 하우징(100)은 기본적으로 내부공간을 갖는 축 방향으로 연장된 중공 형태이며, 파지부, 상부 및 하부로 구분될 수 있다. 상기 “파지부”는 사용자가 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10) 사용시 본체 하우징(100)에서 사용자가 손으로 파지하는 부분이다. 상기 “상부”는 사용자가 손으로 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)의 상기 파지부를 파지할 경우, 본체 하우징(100)에서 상기 파지부를 기준으로 파지되지 않은 상방에 위치하는 부분이다. 상기 “하부”는 사용자가 손으로 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)의 상기 파지부를 파지할 경우, 본체 하우징(100)에서 상기 파지부를 기준으로 하방에 위치하는 부분이다.The main body housing 100 is basically a hollow shape extending in the axial direction having an inner space, and may be divided into a gripping part, an upper part, and a lower part. The "holding part" is a part held by the user's hand in the main body housing 100 when the user uses the tip module exchangeable portable plasma generator 10 . The “upper” is a portion located above the gripping portion in the main housing 100 when the user grips the gripping part of the tip module exchangeable portable plasma generator 10 by hand. The “lower” is a portion located below the gripping portion of the main body housing 100 when the user grips the gripping part of the tip module exchangeable portable plasma generator 10 by hand.

상기 본체 하우징(100)에는 가스 유입부(111), 충전단자(112), 전원버튼(113), 플라즈마 플레임(flame)의 출력 세기를 설정하는 설정버튼(114) 및 설정·작동상태를 나타내는 표시부(115) 중 어느 하나 이상이 포함될 수 있다. The main body housing 100 has a gas inlet 111 , a charging terminal 112 , a power button 113 , a setting button 114 for setting the output intensity of the plasma flame, and a display unit indicating the setting/operational state Any one or more of (115) may be included.

상기 가스 유입부(111)는 외부로부터 플라즈마 방전에 필요한 가스를 공급받기 위한 부분으로 가스가 들어있는 컨테이너, 가스통 또는 용기 등과 연결될 수 있다. 상기 연결은 호스, 튜브, 관 등을 이용하여 실시될 수 있다. The gas inlet 111 is a part for receiving a gas required for plasma discharge from the outside, and may be connected to a container, a gas cylinder, or a container containing a gas. The connection may be performed using a hose, tube, tube, or the like.

상기 충전단자(112)는 외부전원과 연결되어 배터리(121)를 충전시킬 수 있다. 상기 전원버튼(113)은 플라즈마 발생장치를 ON/OFF 시킬 수 있다. The charging terminal 112 may be connected to an external power source to charge the battery 121 . The power button 113 may turn on/off the plasma generator.

상기 설정버튼(114)은 플라즈마 플레임의 출력 세기를 설정할 수 있다. 상기 표시부(115)는 상기 설정된 세기를 표시하는 외에 배터리(121)의 잔량 등 플라즈마 발생장치의 작동에 필요한 정보를 표시할 수 있다.The setting button 114 may set the output intensity of the plasma flame. The display unit 115 may display information necessary for the operation of the plasma generator, such as the remaining amount of the battery 121 in addition to displaying the set intensity.

상기 외부 전원버튼(113), 설정버튼(114) 및 표시부(115)는 본체 하우징(100)에서 사용자가 파지하는 손의 상부에 위치하는 것이 바람직하다. 이로써 사용자는 본체 하우징(100)을 파지한 상태에서 파지한 손의 손가락만으로도 전원버튼(113) 및 설정버튼(114)을 용이하고 자유롭게 작동시키고, 상기 버튼의 작동에 응답하는 표시부(115)의 신호를 명확하게 볼 수 있게 된다. The external power button 113 , the setting button 114 , and the display unit 115 are preferably located on the upper part of the hand held by the user in the main body housing 100 . Accordingly, the user can easily and freely operate the power button 113 and the setting button 114 with only the finger of the hand gripped in the state of holding the body housing 100, and the signal of the display unit 115 responding to the operation of the button can be seen clearly.

상기 본체 하우징(100)의 내부공간은 배터리(121), 가스 튜브(123), 밸브(124) 및 제어회로(125)를 포함할 수 있다. The inner space of the main body housing 100 may include a battery 121 , a gas tube 123 , a valve 124 , and a control circuit 125 .

상기 배터리(121)는 충전단자(112)와 연결되어 충방전이 가능하며, 착탈 가능할 수 있다. 상기 가스 튜브(123)는 가스 유입부(111)와 연결되어 외부로부터 유입된 가스를 팁 모듈(500)의 방출전극(521)로 전달한다. 상기 밸브(124)는 상기 가스 튜브(123)의 일부에 연결되어 개폐 작동에 의해 가스의 이동을 조절한다. 상기 제어회로(125)는 전원버튼(113), 설정버튼(114), 표시부(115), 배터리(121), 전압 발생부(122), 외부 접지 연결부(400), 변압기(512), 밸브(124), 방출전극(521), 내부 접지전극(522) 등과 회로로 연결되어, 플라즈마 발생장치의 ON/OFF, 플라즈마 플레임의 방출 세기 설정, 상기 밸브(124) 개폐, 외부 접지 연결부(400) 작동, 방출전극(521) 작동 및 내부 접지전극(522) 설정 등 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)의 전반적인 설정·작동을 제어한다. The battery 121 may be connected to the charging terminal 112 to be charged and discharged, and may be detachable. The gas tube 123 is connected to the gas inlet 111 to transfer the gas introduced from the outside to the discharge electrode 521 of the tip module 500 . The valve 124 is connected to a part of the gas tube 123 to control the movement of gas by an opening/closing operation. The control circuit 125 includes a power button 113 , a setting button 114 , a display unit 115 , a battery 121 , a voltage generator 122 , an external ground connection unit 400 , a transformer 512 , a valve ( 124), the emission electrode 521, the internal ground electrode 522, etc. are connected to the circuit, and the ON/OFF of the plasma generator, the emission intensity setting of the plasma flame, the opening and closing of the valve 124, the external grounding connection part 400 operation , controls the overall setting and operation of the tip module exchangeable portable plasma generator 10 such as the operation of the emission electrode 521 and the setting of the internal ground electrode 522 .

상기 푸쉬부재(200)는 상기 본체 하우징(100)의 일면에 구비되어 플라즈마 플레임(flame)의 방출을 조절할 수 있다. 상기 푸쉬부재(200)는 상기 본체 하우징(100)의 길이 방향의 하방으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 상기 구성에 따라, 본 발명의 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)는 상기 푸쉬부재(200)의 하방 이동에 의해 플라즈마 플레임을 팁 모듈(500)의 플라즈마 방출부를 통해 방출할 수 있다. 하방 이동은 사용자가 본체 하우징(100)을 파지하고 있는 동안 푸쉬부재(200) 상에 사용자에 의해서 가해지는 하방향의 엄지손가락 힘에 의해 조절된다. 상기 푸쉬부재(200)는 하방으로 가해지는 힘에 대응하여 이동된 푸쉬부재(200)의 위치를 원위치로 되돌리는 탄성부재(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다.The push member 200 may be provided on one surface of the main body housing 100 to control emission of a plasma flame. The push member 200 may be provided to be movable downward in the longitudinal direction of the main body housing 100 . According to the above configuration, the tip module exchangeable portable plasma generator 10 of the present invention may emit a plasma flame through the plasma emission part of the tip module 500 by the downward movement of the push member 200 . The downward movement is controlled by a downward thumb force applied by the user on the push member 200 while the user is holding the body housing 100 . The push member 200 may further include an elastic member (not shown) for returning the position of the push member 200 moved to the original position in response to a downward force.

상기 거치부재(300)는 상기 푸쉬부재(200)가 구비된 본체 하우징(100)의 일면의 반대면에 구비된다. 상기 거치부재(300)가 사용자의 검지 (또는 중지) 손가락의 일부 면과 밀착됨으로써, 상기 푸쉬부재(200)에 힘을 가할 때, 본체 하우징(100)을 안정적으로 파지할 수 있다. 구체적인 일 실시예로, 상기 거치부재(300)는 사용자의 검지 (또는 중지) 손가락의 일부 면과 밀착되어 맞닿도록 곡선형을 갖는 형태를 가질 수 있다. The mounting member 300 is provided on the opposite surface of one surface of the body housing 100 provided with the push member 200 . Since the holding member 300 is in close contact with a portion of the user's index (or middle finger) finger, when a force is applied to the push member 200, the body housing 100 can be stably gripped. In a specific embodiment, the holding member 300 may have a curved shape so as to be in close contact with some surfaces of the user's index (or middle finger) finger.

상기 푸쉬부재(200)와 거치부재(300)를 이용함으로써, 사용자는 푸쉬부재(200)에 적당한 힘을 가하여 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)를 작동시킬 수 있다. 따라서 안정적으로 용이하게 플라즈마 플레임의 방출을 조절할 수 있다. 또한, 사용자는 본체 하우징(100)을 한손으로 파지하고 다른 손으로 바이알, 시험관, 웰 플레이트 등을 파지한 상태에서도, 본체 하우징(100)을 파지한 손의 손가락만을 이용하여 하우징(100) 상부에 구비된 전원버튼(113) 또는 설정버튼(114)과 같은 작동부재 등을 용이하고 자유롭게 작동시킬 수 있다. By using the push member 200 and the mounting member 300 , the user can operate the tip module exchangeable portable plasma generator 10 by applying an appropriate force to the push member 200 . Therefore, it is possible to stably and easily control the emission of the plasma flame. In addition, even in a state in which the user holds the body housing 100 with one hand and a vial, test tube, well plate, etc. with the other hand, the user uses only the fingers of the hand holding the body housing 100 on the upper part of the housing 100 . An operating member such as the provided power button 113 or setting button 114 can be operated easily and freely.

따라서, 본 발명의 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)는 사용자의 엄지 손가락에 부적절하게 스트레스를 주지 않으면서, 작동에 필요한 시간 동안에 사용자가 자유롭게 사용할 수 있도록 하여 사용자의 제어 하에 상기 플라즈마 발생장치(10)를 정확하고 반복 가능하게 작동할 수 있게 한다.Therefore, the tip module interchangeable portable plasma generator 10 of the present invention allows the user to freely use it for a time required for operation without unduly stressing the user's thumb, so that the plasma generator ( 10) can be operated accurately and repeatably.

상기 외부 접지 연결부(400)는 상기 본체 하우징(100)에 구비될 수 있다. 상기 외부 접지 연결부(400)에는 접지선(도시하지 않음)을 연결하여 외부에 마련된 접지전극(도시하지 않음)에 접지시킬 수 있다. 상기 외부에 마련된 접지전극은 금속으로 이루어진 판의 형태로 구비될 수 있다. 이와 같이 외부 접지 연결부(400)와 외부에 마련된 접지전극을 접지선으로 연결할 경우, 플라즈마 플레임의 방출 세기를 높여, 바이알(vial), 시험관, 웰 플레이트 등의 내부 표면을 개질, 코팅, 살균 효율을 높일 수 있다. 상기 외부 전극은 전도체 재질로 이루어져 있으며, 상기 외부 접지전극과 플라즈마 방출부(520) 사이에 바이알(vial), 시험관, 웰 플레이트 등 플라즈마 플레임 방출 대상을 위치시킬 수 있다. 이와 같이, 상기 외부 접지 연결부(400)와 외부 접지전극을 연결할 경우 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)는 다이렉트(Direct) 플라즈마를 형성할 수 있게 된다.The external ground connection part 400 may be provided in the main body housing 100 . A ground wire (not shown) may be connected to the external ground connection part 400 to be grounded to a ground electrode (not shown) provided outside. The ground electrode provided outside may be provided in the form of a plate made of metal. In this way, when the external grounding connection part 400 and the externally provided grounding electrode are connected with a grounding wire, the emission intensity of the plasma flame is increased, and the inner surface of a vial, a test tube, a well plate, etc. can The external electrode is made of a conductive material, and a plasma flame emission target such as a vial, a test tube, or a well plate may be positioned between the external ground electrode and the plasma emission unit 520 . In this way, when the external ground connection part 400 and the external ground electrode are connected, the tip module exchangeable portable plasma generator 10 can form a direct plasma.

도 4 및 5에 도시된 바와 같이, 상기 팁 모듈(500)은 상기 본체 하우징(100) 하부에 탈착가능하도록 결합될 수 있다. 상기 팁 모듈(500)은 작업 환경에 요구되는 플라즈마의 주파수, 팁 모듈의 형태와 구성에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 4 and 5 , the tip module 500 may be detachably coupled to the lower portion of the body housing 100 . The tip module 500 may be variously changed according to the plasma frequency required for the working environment, and the shape and configuration of the tip module.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 일실시예로, 교체 가능한 팁 모듈(500)은 길이 방향의 중심축을 기준으로 대칭적인 형태가 될 수 있으며, 또는 길이 방향의 중심축을 기준으로 한쪽으로 치우쳐진 비대칭적인 형태가 될 수 있다. 상기와 같이 팁 모듈(500)이 비대칭적인 형태인 경우, 사용자가 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)를 파지하여 사용하는 동안 플라즈마 플레임의 방출상태를 용이하며 파악할 수 있다. 또한, 휴대형 플라즈마 발생장치를 한 손에 파지하고 바이알, 시험관 등을 다른 한 손에 파지하는 경우 자연스러운 자세로 휴대형 플라즈마 발생장치를 기울여 사용하기 편리하다. 또한, 사용 후 거치 시 주변 기물로부터 이격거리가 길어져 전극의 오염을 방지할 수 있다. 5, in one embodiment according to the present invention, the replaceable tip module 500 may have a symmetrical shape with respect to the central axis in the longitudinal direction, or to one side with respect to the central axis in the longitudinal direction. It can be a skewed asymmetrical shape. When the tip module 500 is asymmetrical as described above, the user can easily and easily grasp the emission state of the plasma flame while using the tip module exchangeable portable plasma generator 10 by holding it. In addition, when holding the portable plasma generating device in one hand and holding the vial, test tube, etc. in the other hand, it is convenient to tilt the portable plasma generating device in a natural posture. In addition, it is possible to prevent contamination of the electrode by increasing the separation distance from the surrounding objects when mounted after use.

한편, 상기 팁 모듈(500)은 발진기(oscillator)(511), 변압기(transformer)(512), 신호전달부(513), 가스 튜브(514) 및 플라즈마 방출부(520)를 포함할 수 있다. Meanwhile, the tip module 500 may include an oscillator 511 , a transformer 512 , a signal transmission unit 513 , a gas tube 514 , and a plasma emission unit 520 .

상기 발진기(511)는 오실레이터(oscillator)로 상기 배터리로부터 직류 전력을 공급받아 교류 전력으로 출력하여 플라즈마의 주파수를 조절한다. 상기 변압기(512)는 트랜스포머(transformer)로 상기 발진기(511)로부터 출력된 교류 전력의 레벨을 변환시킨다. 상기 신호전달부(513)는 상기 본체 하우징(100)에 구비된 제어회로(124)로 장착된 팁 모듈(500), 발진기(511) 및 변압기(512)의 유형에 대한 정보를 전송할 수 있다. 상기 정보에 의하여 제어회로(124)는 결합된 팁 모듈(500) 종류에 따라 적합한 가스를 공급 및 조절하고, 팁 모듈(500)에 구비된 발진기(511)와 변압기(512)의 유형에 적절한 전압이 인가되도록 할 수 있다. 이와 같은 팁 모듈(500)의 정보는 제어회로(124)에 미리 입력되어 있을 수 있으며, 팁 모듈(500)을 결합시키는 것만으로 해당 팁 모듈(500)에 대한 적절한 설정값으로 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치(10)가 작동되도록 할 수 있다.The oscillator 511 receives DC power from the battery as an oscillator and outputs AC power to adjust the frequency of plasma. The transformer 512 converts the level of AC power output from the oscillator 511 with a transformer. The signal transmission unit 513 may transmit information on the types of the tip module 500 , the oscillator 511 , and the transformer 512 mounted to the control circuit 124 provided in the main body housing 100 . Based on the information, the control circuit 124 supplies and regulates a suitable gas according to the type of the combined tip module 500 , and a voltage suitable for the type of the oscillator 511 and the transformer 512 provided in the tip module 500 . This can be approved. Such information of the tip module 500 may be input in advance to the control circuit 124, and only by coupling the tip module 500 to the appropriate setting value for the tip module 500, the tip module exchangeable portable plasma The generator 10 can be made to operate.

도 6에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 방출부(520)는 플라즈마가 방출돠는 말단부에 방출전극(521), 내부 접지전극(ground)(522) 및 유전체(dielectric wall)(523)를 포함할 수 있다. As shown in FIG. 6 , the plasma emission unit 520 may include an emission electrode 521, an internal ground electrode 522 and a dielectric wall 523 at the distal end from which the plasma is emitted. can

상기 방출전극(521)은 이에 제한되는 것은 아니나, 금, 백금, 은, 구리, 몰리망간, 알루미늄, 스테인레스 또는 이들의 합금 등의 재질로 이루어질 수 있으며, 다양한 전도체 금속이 사용될 수 있다. 상기 방출전극(521)은 가스 튜브(123)와 연결되어, 가스 유입부(111)를 통해 유입되는 가스를 공급받을 수 있다. 상기와 같이 공급되는 가스에 전압을 가하여 플라즈마 플레임을 생성·방출함으로써, 플라즈마 방전을 수행한다. 상기 방출전극(521)은 전극 내부로 가스가 이동할 수 있는 속이 비어있는 관 또는 튜브 형태일 수 있다. 상기 방출전극(521)의 형태와 내부 중공의 크기를 조절함으로써, 방출되는 플라즈마 플레임의 형태를 조절할 수 있다. The emission electrode 521 is not limited thereto, but may be made of a material such as gold, platinum, silver, copper, molymanganese, aluminum, stainless steel, or an alloy thereof, and various conductive metals may be used. The emission electrode 521 may be connected to the gas tube 123 to receive gas introduced through the gas inlet 111 . Plasma discharge is performed by generating and emitting a plasma flame by applying a voltage to the gas supplied as described above. The emission electrode 521 may be in the form of a hollow tube or tube through which gas can move into the electrode. By adjusting the shape of the emission electrode 521 and the size of the inner hollow, the shape of the emitted plasma flame can be adjusted.

구체적인 일실시예로, 상기 방출전극(521)이 속이 비어있는 관 또는 튜브 형태일 경우, 마이크로 웰 플레이트(micro well plate)와 같은 미세 구조의 내부 표면을 처리하기에 적절한 플라즈마 플레임을 발생시키기 위해서는, 이에 제한되는 것은 아니나, 상기 관 또는 튜브의 내부 직경이 0.05 내지 3.0 mm인 것이 바람직하다.In a specific embodiment, when the emission electrode 521 is in the form of a hollow tube or tube, in order to generate a plasma flame suitable for processing the inner surface of a microstructure such as a micro well plate, Although not limited thereto, it is preferable that the inner diameter of the tube or tube is 0.05 to 3.0 mm.

상기 내부 접지전극(522)은 상기 방출전극(521)의 둘레를 감싸도록 이격되어 배치될 수 있다. 상기 내부 접지전극(522)은 상기 방출전극(521)과 마찬가지로 이에 제한되는 것은 아니나, 금, 백금, 은, 구리, 몰리망간, 알루미늄, 스테인레스 또는 이들의 합금 등의 재질로 이루어질 수 있으며, 다양한 전도체 금속이 사용될 수 있다. 또한, 플라스틱, 아크릴, 수지, 세라믹 또는 석영 계열 등의 재질로 형성되고, 상기 플라스틱 재질의 표면에 상기 금속 재질로 코팅된 것일 수 있다. The internal ground electrode 522 may be spaced apart to surround the periphery of the emission electrode 521 . The internal ground electrode 522, like the emission electrode 521, is not limited thereto, but may be made of a material such as gold, platinum, silver, copper, molymanganese, aluminum, stainless steel, or an alloy thereof, and various conductors. A metal may be used. In addition, it may be formed of a material such as plastic, acrylic, resin, ceramic or quartz, and coated with the metal material on the surface of the plastic material.

상기 유전체(523)는 상기 방출전극(521)과 내부 접지전극(522) 사이에 위치하여, 상기 방출전극(521)과 내부 접지전극(522)이 직접 접촉되는 것을 방지한다. 상기 유전체(523)는 플라스틱, 아크릴, 수지, 세라믹 또는 석영 계열 등의 물질일 수 있으며, 방출전극(521) 및 내부 접지전극(522) 중 어느 하나 이상에 코팅될 수 있다. The dielectric 523 is positioned between the emission electrode 521 and the internal ground electrode 522 to prevent direct contact between the emission electrode 521 and the internal ground electrode 522 . The dielectric 523 may be made of a material such as plastic, acrylic, resin, ceramic, or quartz, and may be coated on any one or more of the emission electrode 521 and the internal ground electrode 522 .

상기와 같은 플라즈마 방출부(520)의 구성에 의해 방출전극(521)과 내부 접지전극(522)의 작동에 의해 플라즈마(리모트(Remote) 플라즈마) 플레임이 생성될 수 있다. 방출되는 플라즈마 플레임은 라디칼과 이온들을 포함한다. 생성된 라디칼과 이온들은 마이크로 웰 플레이트(micro well plate)와 같은 미세 구조의 내부 표면을 개질, 코팅 또는 살균할 수 있다. By the configuration of the plasma emission unit 520 as described above, a plasma (remote plasma) flame may be generated by the operation of the emission electrode 521 and the internal ground electrode 522 . The emitted plasma flame contains radicals and ions. The generated radicals and ions may modify, coat, or sterilize the inner surface of a microstructure such as a micro well plate.

한편, 외부 접지 연결부(400)에 접지선을 연결하여 외부 금속판(외부 그라운드)에 연결할 경우, 상기 내부 접지전극(522)은 작동이 중단되며, 방출전극(521)과 외부 금속판이 상호 작동하여 외부 접지전극(금속판) 사이에 놓인 플라즈마 처리대상에 다이렉트(Direct) 플라즈마 플레임이 방전될 수 있다. On the other hand, when a grounding wire is connected to the external grounding connection part 400 and connected to an external metal plate (external ground), the internal grounding electrode 522 is stopped, and the emission electrode 521 and the external metal plate are mutually operated to provide an external grounding. A direct plasma flame may be discharged to the plasma processing target placed between the electrodes (metal plate).

또한, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 플라즈마 방출부(400) 말단에는 투명부재(524)를 더 포함할 수 있다. 상기 투명부재(524)는 플라스틱, 아크릴, 수지, 세라믹 또는 석영 계열 등의 물질일 수 있다. 투명부재(524)를 구비함으로써, 사용자는 플라즈마 플레임의 방출 상태를 용이하게 파악할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 7 , a transparent member 524 may be further included at the distal end of the plasma emitting part 400 . The transparent member 524 may be made of a material such as plastic, acrylic, resin, ceramic, or quartz. By providing the transparent member 524, the user can easily grasp the emission state of the plasma flame.

한편, 상기 방출전극(521)의 방전은 상기 밸브(124)가 개방된 다음, 설정된 일정 시간 경과 후에 이루어질 수 있다. 이와 같이 시간의 차이를 두고 방출전극(521)을 방전시키는 경우, 대기 중의 질소(N2)와 반응하여 플라즈마 플레임 발생되는 것을 방지하고, 순수하게 사용하고자 하는 가스만을 이용하여 목적하는 종류의 플라즈마 플레임을 발생시킬 수 있다. 또한, 가스의 방출 후 방전이 이루어지기 때문에 불필요한 전력의 소비를 줄일 수 있고, 방출되는 가스의 압력으로 바이알, 시험관, 웰 플레이트 등의 표면에 존재하는 미세먼지와 같은 불순물을 제거할 수 있으며, 플라즈마 플레임의 초기 방출세기를 일정하게 조절할 수 있다. 구체적인 실시예로, 상기 개방 후 방전이 이루어지기까지 걸리는 시간은 제어회로(124)의 설정을 통해 조절될 수 있다. On the other hand, the discharge of the discharge electrode 521 may be performed after a predetermined time has elapsed after the valve 124 is opened. When the discharge electrode 521 is discharged with a time difference in this way, it reacts with nitrogen (N 2 ) in the atmosphere to prevent the plasma flame from being generated, and uses only the gas to be used purely to create the desired type of plasma flame. can cause In addition, since the discharge is performed after the gas is released, unnecessary power consumption can be reduced, and impurities such as fine dust present on the surface of the vial, test tube, and well plate can be removed by the pressure of the emitted gas, and plasma The initial emission intensity of the flame can be constantly adjusted. In a specific embodiment, the time required for discharge after opening may be adjusted through the setting of the control circuit 124 .

본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 전술한 기술에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 전술한 기술의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시예는 모두 전술한 기술의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다.This embodiment and the drawings attached to this specification only clearly show a part of the technical idea included in the above-described technology, and within the scope of the technical idea included in the specification and drawings of the aforementioned technology, those skilled in the art can easily It will be apparent that all inferred modified examples and specific embodiments are included in the scope of the above-described technology.

10 : 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치
100 : 본체 하우징 111: 가스 유입부
112 : 충전단자 113 : 전원버튼
114: 설정버튼 115 : 표시부
121 : 배터리 122 : 가스 튜브
123 : 밸브 124 : 제어회로
200 : 푸쉬부재 300 : 거치부재
400 : 외부 접지 연결부 500 : 팁 모듈
511 : 발진기 512 : 변압기
513 : 신호전달부 520 : 플라즈마 방출부
521 : 방출전극 522 : 내부 접지전극
523 : 유전체 524 : 투명부재
10: tip module exchangeable portable plasma generator
100: body housing 111: gas inlet
112: charging terminal 113: power button
114: setting button 115: display unit
121: battery 122: gas tube
123: valve 124: control circuit
200: push member 300: holding member
400: external ground connection 500: tip module
511: oscillator 512: transformer
513: signal transmission unit 520: plasma emission unit
521: emission electrode 522: internal ground electrode
523: dielectric 524: transparent member

Claims (8)

본체 하우징;
상기 본체 하우징의 일면에 위치하고, 플라즈마 플레임(flame)의 방출을 조절하는 푸쉬부재;
상기 푸쉬부재가 설치된 일면의 반대면에 구비되는 거치부재;
상기 본체 하우징에 구비되는 외부 접지 연결부; 및
상기 본체 하우징 하부에 탈착가능하도록 결합되는 팁 모듈;을 포함하는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치.
body housing;
a push member positioned on one surface of the main housing and controlling emission of a plasma flame;
a holding member provided on the opposite surface of the one surface where the push member is installed;
an external grounding connection part provided in the main body housing; and
A tip module exchangeable portable plasma generator comprising a; a tip module detachably coupled to the lower portion of the main housing housing.
제 1 항에 있어서,
상기 푸쉬부재는 상기 본체 하우징의 길이 방향의 하방으로 이동 가능하게 설치되어 이동 거리에 따라 플라즈마 플레임의 방출을 조절하는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치.
The method of claim 1,
The push member is installed movably downward in the longitudinal direction of the body housing to control the emission of the plasma flame according to the moving distance of the tip module exchangeable portable plasma generator.
제 1 항에 있어서,
상기 본체 하우징은 가스 유입부; 충전단자; 전원버튼; 플라즈마 플레임의 출력 세기를 설정하는 설정버튼; 및 설정·작동상태를 나타내는 표시부;를 어느 하나 이상을 포함하는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치.
The method of claim 1,
The body housing includes a gas inlet; charging terminal; power button; a setting button for setting the output intensity of the plasma flame; And a display unit indicating the setting and operating state; Tip module exchangeable portable plasma generator comprising any one or more.
제 1 항에 있어서,
상기 팁 모듈은,
발진기(oscillator); 변압기(transformer); 신호전달부; 및 플라즈마 방출부;를 포함하는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치.
The method of claim 1,
The tip module is
oscillators; transformers; signal transmission unit; and a plasma emitting unit; a tip module exchangeable portable plasma generator comprising a.
제 4 항에 있어서,
상기 플라즈마 방출부는, 방출전극; 상기 방출전극의 둘레를 감싸도록 이격되어 배치되는 내부 접지전극; 및 상기 방출전극과 접지전극 사이에 위치하는 유전체;를 더 포함하는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치.
5. The method of claim 4,
The plasma emission unit may include an emission electrode; an internal grounding electrode spaced apart to surround the emission electrode; and a dielectric positioned between the emission electrode and the ground electrode.
제 5 항에 있어서,
상기 유전체는 상기 방출전극 및 접지전극 중 어느 하나 이상에 코팅되는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치.
6. The method of claim 5,
The dielectric is a tip module exchangeable portable plasma generator that is coated on any one or more of the emission electrode and the ground electrode.
제 1 항에 있어서,
플라즈마가 방출되는 상기 팁 모듈의 말단부에는 투명부재가 구비되는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치.
The method of claim 1,
A tip module exchangeable portable plasma generator provided with a transparent member at the distal end of the tip module from which plasma is emitted.
제 1 항에 있어서,
상기 외부 접지 연결부가 외부에 마련된 접지전극과 연결되는 경우 상기 내부 접지전극의 작동이 중지되고 상기 방출전극과 외부에 마련된 접지전극 사이에 다이렉트(Direct) 플라즈마가 형성되는 팁 모듈 교환식 휴대형 플라즈마 발생장치.
The method of claim 1,
When the external grounding connection part is connected to the externally provided grounding electrode, the operation of the internal grounding electrode is stopped and a direct plasma is formed between the emission electrode and the externally provided grounding electrode.
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