KR102588789B1 - Plasma generating device with detachable parts for jet guide - Google Patents

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KR102588789B1
KR102588789B1 KR1020220137220A KR20220137220A KR102588789B1 KR 102588789 B1 KR102588789 B1 KR 102588789B1 KR 1020220137220 A KR1020220137220 A KR 1020220137220A KR 20220137220 A KR20220137220 A KR 20220137220A KR 102588789 B1 KR102588789 B1 KR 102588789B1
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김무환
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김무환
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Abstract

본 발명은, 상하로 일정길이를 가지며 돌출되는 삽입단(112)이 상호 간에 일정 간격 이격되어 내면부위에 형성되는 유도몸체(111), 상호 간에 일정간격 이격되어 유도몸체(111)의 상단 외면부위에 따라 형성되는 돌출단(113)이 구비되어, 유도몸체(111)의 삽입단(112)이 분사구(11)의 외면부위에 형성되는 삽입홈(12)에 끼움 결합되는 가스유도부(110); 유도몸체(111)의 내경보다 작은 외경을 가지는 일정길이의 관 구조로 이루어져 유도몸체(111)에 관통 삽입되는 분사몸체(121), 분사몸체(121)의 상단부위에 마련되는 걸림단(125)이 유도몸체(111)의 하단 내면부위를 따라 마련되는 안치단(116)에 밀착되는 가스분사부(120); 내면부위가 가스분사부(120)의 외면부위와 일정간격을 이루며 위치하되, 상단부위가 유도몸체(111)의 돌출단(113)에 결합되어 고정되고, 하단부위는 가스분사부(120)의 하단부위보다 하방으로 일정길이 더 연장되는 가스배출가이드부(130);로 이루어지는 착탈식 분사 가이드부가 구비되는 플라즈마 발생장치를 제공한다.The present invention is a guide body 111 formed on the inner surface by inserting ends 112 that protrude and have a certain length up and down, and are spaced apart from each other at a certain distance, forming an upper outer surface of the guide body 111. A gas guide portion 110 provided with a protruding end 113 formed according to the insertion end 112 of the guide body 111 and fitted into the insertion groove 12 formed on the outer surface of the injection hole 11; The injection body 121 is composed of a tube structure of a certain length having an outer diameter smaller than the inner diameter of the guidance body 111 and is inserted through the guidance body 111, and the stopping end 125 is provided at the upper part of the injection body 121. A gas injection portion 120 in close contact with the resting end 116 provided along the lower inner surface of the guiding body 111; The inner part is located at a certain distance from the outer surface of the gas injection unit 120, the upper part is fixed by being coupled to the protruding end 113 of the guide body 111, and the lower part is of the gas injection unit 120. A plasma generating device is provided having a detachable injection guide section consisting of a gas discharge guide section 130 that extends a certain length downward from the bottom portion.

Description

착탈식 분사 가이드부가 구비되는 플라즈마 발생장치{Plasma generating device with detachable parts for jet guide}Plasma generating device with detachable jet guide parts {Plasma generating device with detachable parts for jet guide}

본 발명은 분사 가이드부가 구비되는 플라즈마 발생장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 작업 대상물이나 작업 목적에 따라 다양한 구경을 가지는 분사가이드 팁을 사용할 수 있으며, 균일한 작업 결과물을 제공해 줄 수 있음은 물론 나아가 특정 부위만을 타겟으로 작업을 수행할 때 처리 작업을 완료한 폐 플라즈마 가스에 의해 작업 표면물이 훼손되는 현상을 원천적으로 방지할 수 있는 분사 가이드부가 구비되는 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma generator provided with a spray guide portion. More specifically, spray guide tips with various diameters can be used depending on the work object or work purpose, and can provide uniform work results as well as furthermore. It relates to a plasma generator provided with a spray guide unit that can fundamentally prevent the work surface from being damaged by waste plasma gas after processing work when performing work targeting only a specific area.

플라즈마(Plasma)란 초고온에서 음전하를 가진 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된 기체로서, 전하의 분리도가 상당히 높으면서도 전체적으로 음과 양의 전하수가 같아서 중성을 띠는 특징이 있다. 플라즈마는 수억 도의 온도를 갖는 초고온 핵융합에 이용되는 플라즈마로부터, 반도체 공정이나 신소재 합성 등에 이용되는 저온 글로우 플라즈마나 아크플라즈마에 이르기까지 다양하게 이용되고 있다. Plasma is a gas that is separated into negatively charged electrons and positively charged ions at extremely high temperatures. It has a fairly high degree of charge separation, but is neutral because the overall number of negative and positive charges is equal. Plasma is used in a variety of ways, from plasma used in ultra-high temperature nuclear fusion with a temperature of hundreds of millions of degrees to low-temperature glow plasma or arc plasma used in semiconductor processing or new material synthesis.

이 중에서 특히, 저온 플라즈마는 플라즈마 내부에서 반응성이 극대화되어 물질의 이온화와 재결합이 활발해지기 때문에, 기존의 물질의 합성이나 가공 방법으로는 수행하기 어려웠던 새로운 물질을 만들 수 있음은 물론 반도체를 제조할 때 포토레지스트의 애싱 처리, 박막 에칭, 세정 등의 공정에 사용되고 있으며, 근자 바이오 의료 분야에의 응용 가능성에 관한 연구가 활발하게 진행되고 있다.Among these, in particular, low-temperature plasma maximizes the reactivity within the plasma and promotes ionization and recombination of materials, making it possible to create new materials that were difficult to perform using existing material synthesis or processing methods, as well as when manufacturing semiconductors. It is used in processes such as photoresist ashing, thin film etching, and cleaning, and research on its applicability to the biomedical field is currently being actively conducted.

대략 50℃ 이하의 영역에서 저온 대기압 플라즈마를 발생시키는 장치에 적용되는 팁의 전극 구조는 대개의 경우 침 형태의 바늘 전극 구조를 가지고 있으며, 외부에서 장치로 불활성 가스가 주입되면, 바늘 전극 구조에 고전압을 가하여 플라즈마를 발생시켜 이를 필요한 공정이나 작업 등에 사용하고 있다. 본 출원인은 이러한 저온 대기압 플라즈마를 발생시키는 수단으로서 도 7에 개시된 것과 같은 대한민국 등록특허 제2399940호를 제안한 바 있다.The electrode structure of the tip applied to devices that generate low-temperature atmospheric pressure plasma in the area of approximately 50℃ or less has a needle-shaped needle electrode structure in most cases, and when inert gas is injected into the device from the outside, a high voltage is applied to the needle electrode structure. Plasma is generated and used for necessary processes or work. The present applicant has proposed Republic of Korea Patent No. 2399940 as disclosed in FIG. 7 as a means of generating such low-temperature atmospheric pressure plasma.

이 기술은 몸체(100)에 미도시된 고전압 전극 및 접지 전극(인슐레이터에 의해 간격 유지)을 내장하고, 가스유입부(111)를 통해 외부로부터 가스가 공급되어 도 8과 같이 고전압 전극(124)과 접지 전극(128)의 사이를 통해 가스가 이동할 때, 고전압 전극(124)에 전원이 인가되면 접지 전극(128)과 전원이 대전됨에 따라 고압의 아크를 발생하면서 가스를 플라즈마 상태로 만들게 된다.In this technology, a high voltage electrode and a ground electrode (not shown) (not shown) are built into the body 100, and gas is supplied from the outside through the gas inlet 111 to form the high voltage electrode 124 as shown in FIG. 8. When gas moves between the ground electrode 128 and the ground electrode 128, when power is applied to the high voltage electrode 124, the ground electrode 128 and the power source are charged, generating a high-voltage arc and turning the gas into a plasma state.

도면에서 알 수 있듯이, 이 장치는 작업자가 용이하게 파지할 수 있도록 소형으로 구성하여 휴대가 편리할 뿐 아니라, 장치에 마련되는 푸쉬부재(200)를 이용하게 되면 플라즈마 플레임의 조절이 가능하다는 점에서, 마이크로 웰 플레이트(micro well plate)와 같은 미세 구조의 내부 표면 부위를 매우 간편하면서도 균일하게 처리할 수 있다.As can be seen from the drawing, this device is not only compact and convenient to carry so that the worker can easily hold it, but also the plasma flame can be adjusted by using the push member 200 provided in the device. , the inner surface area of a fine structure such as a micro well plate can be processed very simply and uniformly.

게다가, 이 장치는 몸체(100)의 하단부위에 마련되는 팁 모듈(500)을 교체 가능한 방식으로 구성함으로써, 작업 환경이나 작업 대상에 따라 다양한 주파수 영역에서의 플라즈마를 발생시킬 수 있는 장점을 기대할 수 있으나, 팁 모듈(500)의 단부와 작업 대상물의 표면 사이 간격을 일정하게 유지하는 것이 곤란하며, 타겟팅 부위만에 대하여 플라즈마 처리를 하는 것이 어려운 한계가 있었다.In addition, this device can be expected to have the advantage of generating plasma in various frequency ranges depending on the work environment or work object by configuring the tip module 500 provided at the bottom of the body 100 in a replaceable manner. , it was difficult to maintain a constant distance between the end of the tip module 500 and the surface of the workpiece, and there was a limitation that it was difficult to perform plasma treatment only on the targeting area.

대한민국 등록특허 제2399940호Republic of Korea Patent No. 2399940 대한민국 공개특허 제2021-0092932호Republic of Korea Patent Publication No. 2021-0092932 대한민국 등록특허 제1498392호Republic of Korea Patent No. 1498392

본 발명은 이러한 종래 기술의 문제점을 개선하기 위해 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 휴대가 간편한 장치에 편리하게 착탈식으로 결합이 가능하며, 장치와 작업 대상물의 표면 사이 간격을 일정하게 유지할 수 있음은 물론, 특정 타겟팅 부위만에 대한 처리 작업을 용이하게 수행할 수 있는 플라즈마 발생장치를 제공함에 있다.The present invention was proposed to improve the problems of the prior art, and the object of the present invention is to be able to be conveniently attached to a portable device in a detachable manner and to maintain a constant distance between the device and the surface of the work object. Of course, the aim is to provide a plasma generator that can easily perform processing operations only on specific targeting areas.

본 발명은 이러한 목적을 달성하기 위하여, 내부에는 고전압전극 및 접지전극이 위치하고, 후단부위에는 가스가 유입되는 주입단(2)이 마련되고, 전단부위에는 플라즈마 가스가 분사되는 분사구(11)가 마련되는 플라즈마 발생장치로서, 상호 간에 일정간격 이격되어 분사구(11)의 외면부위에서 일정길이를 가지며 형성되는 복수 개의 삽입홈(12); 상, 하부 각각이 개구되는 유도몸체(111), 상호 간에 일정 간격 이격되어 유도몸체(111)의 내면부위에서 일정길이를 가지며 내측 방향으로 돌출되어 분사구(11)의 삽입홈(12) 각각에 끼움 결합되는 복수 개의 삽입단(112), 상호 간에 일정간격 이격되어 유도몸체(111)의 상단 외면부위에서 외측 방향으로 돌출되는 돌출단(113), 유도몸체(111)의 하단 내면부위를 따라 환형으로 마련되는 안치단(116)이 구비되는 가스유도부(110); 상, 하부 각각이 개구되며 유도몸체(111)의 내경보다 작은 외경을 가지며 유도몸체(111)에 관통 삽입되는 분사몸체(121), 분사몸체(121)의 상단부위에 마련되어 유도몸체(111)의 안치단(116)에 밀착되는 걸림단(125)이 구비되는 가스분사부(120); 상, 하부 각각이 개구되며 상측 내면부위 및 하측 내면부위 각각은 유도몸체(111)의 외면부위 및 가스분사부(120)의 외면부위 각각과 일정간격을 이루며 위치하되, 유도몸체(111)의 돌출단(113)과 결합되는 상단부위의 내면과 유도몸체(111)의 상단 외면 사이에는 배출가이드홈(135)이 형성되고, 하단부위는 가스분사부(120)의 하단부위보다 하방으로 일정길이 더 연장되는 가스배출가이드부(130);로 이루어지는 것을 그 기술적 특징으로 한다.In order to achieve this purpose, the present invention has a high-voltage electrode and a ground electrode located inside, an injection stage 2 through which gas flows in is provided at the rear end, and an injection port 11 through which plasma gas is sprayed is provided at the front end. A plasma generating device comprising: a plurality of insertion grooves (12) spaced apart from each other at regular intervals and having a certain length on the outer surface of the injection port (11); The guiding body 111 is open at the upper and lower ends, spaced apart from each other at a certain distance, has a certain length on the inner surface of the guiding body 111, protrudes inward, and is inserted into each of the insertion grooves 12 of the nozzle 11. A plurality of insertion ends 112 that are coupled, a protruding end 113 that is spaced apart from each other at a certain distance and protrudes in an outward direction from the upper outer surface of the guiding body 111, and is formed in an annular shape along the lower inner surface of the guiding body 111. A gas induction unit 110 provided with a seating platform 116; The upper and lower parts are each open and have an outer diameter smaller than the inner diameter of the guiding body 111. The spraying body 121 is inserted through the guiding body 111, and is provided at the upper part of the spraying body 121 to A gas injection unit 120 provided with a stopping end 125 in close contact with the resting end 116; The upper and lower parts are each open, and each of the upper and lower inner surfaces is located at a certain distance from the outer surface of the guiding body 111 and the outer surface of the gas injection unit 120, but the guiding body 111 protrudes. A discharge guide groove 135 is formed between the inner surface of the upper part coupled to the stage 113 and the upper outer surface of the guide body 111, and the lower part extends a certain length further downward than the lower part of the gas injection unit 120. Its technical feature is that it consists of an extended gas discharge guide part 130.

상기 가스배출가이드부(130)의 하측부위에는 하단부위에 배출공(141)이 형성되는 보조가스배출가이드부(140)가 마련되되, 상기 보조가스배출가이드부(140)의 내면부위에는 상호 간에 일정간격 이격되어 형성되는 보조삽입홈(147)이 상기 가스배출가이드부(130)의 외면부위에 상호 간에 일정간격 이격되어 형성되는 보조돌출단에 착탈식으로 결합될 수 있다.The lower portion of the gas discharge guide portion 130 is provided with an auxiliary gas discharge guide portion 140 having a discharge hole 141 formed at the lower portion, and the inner portion of the auxiliary gas discharge guide portion 140 has a certain The auxiliary insertion grooves 147 formed at regular intervals may be removably coupled to the auxiliary protruding ends formed at a certain distance from each other on the outer surface of the gas discharge guide portion 130.

상기 가스배출가이드부(130)는 대칭 구조로 이루어지는 좌우 한 쌍의 제1, 2가스배출가이드부(131, 136)로 이루어지며, 상기 제1가스배출가이드부(131)의 상단 일측 및 제2가스배출가이드부(136)의 상단 타측 각각에는 제1결합단(132) 및 제2결합단(137) 각각이 형성되고, 상기 제1가스배출가이드부(131)의 상단 타측 및 제2가스배출가이드부(136)의 상단 일측 각각에는 상기 가스유도부(110)의 돌출단(113) 각각에 밀착되며 상기 제1결합단(132) 및 제2결합단(137) 각각과 결합되는 제1결합면(133) 및 제2결합면(138) 각각이 형성될 수 있다.The gas discharge guide portion 130 consists of a pair of left and right first and second gas discharge guide portions 131 and 136 having a symmetrical structure, and one upper side and the second gas discharge guide portion of the first gas discharge guide portion 131 A first coupling end 132 and a second coupling end 137 are formed on each of the other upper sides of the gas discharge guide part 136, and the upper other side and the second gas discharge of the first gas discharge guide part 131 On each upper side of the guide part 136, a first coupling surface is in close contact with each of the protruding ends 113 of the gas guide part 110 and is coupled to each of the first coupling end 132 and the second coupling end 137. (133) and the second coupling surface 138 may each be formed.

상기 가스유도부(110)의 유도몸체(111) 하측 내면부위는 하방으로 갈수록 그 폭이 감소하도록 일정각도 경사져 형성될 수 있다.The lower inner surface of the guiding body 111 of the gas guiding part 110 may be inclined at a certain angle so that its width decreases downward.

상기 가스분사부(120)의 하측 외면부위와 상기 가스배출가이드부(130)의 하측 내면 사이 단면적 △A1은, 상기 배출가이드홈(135)이 형성되는 유도몸체(111)의 상단 외면과 가스배출가이드부(130)의 상단 내면 사이 단면적 △A2보다 크게 형성될 수 있다.The cross-sectional area △A1 between the lower outer surface of the gas injection part 120 and the lower inner surface of the gas discharge guide part 130 is the upper outer surface of the guide body 111 where the discharge guide groove 135 is formed and the gas discharge. The cross-sectional area between the upper inner surfaces of the guide portion 130 may be formed to be larger than △A2.

본 발명은 휴대가 간편한 소형의 플라즈마 발생장치에 착탈식으로 결합이 가능하다는 점에서, 작업 대상물이나 작업 목적에 따라 다양한 구경을 가지는 분사가이드 팁을 사용할 수 있다는 장점이 있다.The present invention has the advantage that spray guide tips with various diameters can be used depending on the work object or work purpose in that it can be attached to a small, portable plasma generator in a detachable manner.

또한, 본 발명은 분사 가이드부를 통해 플라즈마 발생장치와 작업 대상물의 표면 사이 간격을 일정하게 유지한 상태로 플라즈마 가스에 의한 처리 작업을 수행할 수 있다는 점에서, 균일한 작업 결과물을 제공해 줄 수 있다.In addition, the present invention can provide uniform work results in that processing work using plasma gas can be performed while maintaining a constant distance between the plasma generator and the surface of the work object through the spray guide unit.

또한, 본 발명은 작업 대상물의 표면 중 특정 부위만을 타겟으로 하여 작업을 수행하는 것이 가능하며, 폐 플라즈마 가스를 신속하게 외부로 배출시킬 수 있다는 점에서, 처리 작업을 완료한 폐 플라즈마 가스에 의해 작업 표면물이 훼손되는 현상을 원천적으로 방지할 수 있다.In addition, the present invention makes it possible to perform work by targeting only a specific part of the surface of the work object, and because the waste plasma gas can be quickly discharged to the outside, the work is performed using the waste plasma gas that has completed the processing work. It is possible to fundamentally prevent surface damage.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 발생장치의 개략적인 일 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 발생장치에 있어 분사부와 분사 가이드부 상호 간의 분리 구성도.
도 3은 도 2에 분사 가이드부의 개략적인 전체 구성도.
도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 발생장치에 있어 좌우 분리형으로 이루어지는 가스배출가이드부의 개략적인 다른 구성도.
도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 발생장치에 있어 분사부와 분사 가이드부의 개략적인 단면 구성도.
도 6은 본 발명에 따른 플라즈마 발생장치의 개략적인 작동 구성도.
도 7은 종래 플라즈마 발생장치의 개략적인 일 구성도.
도 8은 도 7에 있어 분사부의 개략적인 내부 구성도.1 is a schematic configuration diagram of a plasma generator according to the present invention.
Figure 2 is a configuration diagram showing the separation between the injection unit and the injection guide unit in the plasma generator according to the present invention.
Figure 3 is a schematic overall configuration diagram of the injection guide part in Figure 2.
Figure 4 is another schematic configuration diagram of the gas discharge guide portion consisting of left and right separate types in the plasma generator according to the present invention.
Figure 5 is a schematic cross-sectional view of the injection unit and the injection guide unit in the plasma generator according to the present invention.
Figure 6 is a schematic operational configuration diagram of the plasma generator according to the present invention.
Figure 7 is a schematic configuration diagram of a conventional plasma generator.
Figure 8 is a schematic internal configuration diagram of the injection unit in Figure 7.

본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 살펴보면 다음과 같은데, 본 발명의 실시예를 상술함에 있어 본 발명의 기술적 특징과 직접적인 관련성이 없거나, 또는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 사항에 대해서는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. Preferred embodiments according to the present invention will be examined in detail with reference to the accompanying drawings as follows. In describing the embodiments of the present invention in detail, there is no direct relationship with the technical features of the present invention, or general knowledge in the technical field to which the present invention belongs. Detailed explanations will be omitted for matters that are obvious to those with knowledge.

본 발명은 분사 가이드부가 착탈식으로 구비되는 플라즈마 발생장치를 제안함에 그 기술적 특징이 있다. 이하, 플라즈마 발생장치 및 분사 가이드부 각각에 대한 구성을 구체적으로 살펴본다.The present invention has a technical feature in that it proposes a plasma generator in which the spray guide part is provided in a detachable manner. Hereinafter, we will look at the configuration of each of the plasma generator and the spray guide unit in detail.

먼저, 플라즈마 발생장치는 도 1에 개시된 것과 같이, 장치몸체(1), 장치몸체(1)에 내장되는 고전압전극 및 접지전극, 주입단(2), 분사구(11)를 포함하여 이루어질 수 있다. First, as shown in FIG. 1, the plasma generator may include a device body 1, a high voltage electrode and a ground electrode built into the device body 1, an injection end 2, and an injection port 11.

장치몸체(1)의 내부에는 일정크기의 공간이 마련되며, 그 외형은 작업자가 파지가 용이한 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다. 도면부호, 6, 7 각각은, 장치몸체(1)를 거치할 수 있는 거치부재 및 플라즈마 플레임의 출력 정도를 제어하는 푸쉬부재이다.A space of a certain size is provided inside the device body 1, and its outer shape is preferably made in a shape that allows an operator to easily grip it. Reference numerals 6 and 7 are respectively a mounting member capable of holding the device body 1 and a push member controlling the output level of the plasma flame.

도면에는 구체적으로 표현되지는 않았지만, 장치본체(1)에는 작동버튼, 플라즈마의 출력 정도를 설정하는 설정버튼, 그리고 설정된 상태로 플라즈마가 토출되며 정상적으로 작동하는지 여부를 확인할 수 있는 표시부가 장치본체(1)의 외면부위에 더 구비될 수도 있을 것이다. Although not specifically shown in the drawing, the device body (1) includes an operation button, a setting button to set the output level of the plasma, and an indicator that allows you to check whether the plasma is discharged in the set state and operates normally. ) may be further provided on the outer surface of the.

고전압 전극은 미도시된 케이블과 연결되어 고전압이 인가되는 부분으로 장치본체(1) 내부의 중심축 상에 설치된다. 접지 전극은 고전압 전극과 일정간격 이격되어 장치본체(1) 내부에 설치된다. 고전압 전극과 접지 전극 사이에는 절연체가 구비된다. The high voltage electrode is a part that is connected to a cable (not shown) to which high voltage is applied and is installed on the central axis inside the device body (1). The ground electrode is installed inside the device body (1) at a certain distance from the high voltage electrode. An insulator is provided between the high voltage electrode and the ground electrode.

주입단(2)은 플라즈마 방전에 필요한 가스를 공급받는 부분으로, 장치본체(1)의 후단부위에 마련된다. 주입단(2)은 미도시된 별도의 가스 공급 튜브와 연결된다. 분사구(11)는 장치본체(1)의 전단부위에 마련되며, 인가된 고전압에 의한 방전으로 플라즈마 상태가 된 가스가 배출되는 부분이다.The injection stage (2) is a part that receives the gas required for plasma discharge and is provided at the rear end of the device main body (1). The injection stage 2 is connected to a separate gas supply tube, not shown. The injection port 11 is provided at the front end of the device body 1, and is a portion through which gas in a plasma state is discharged due to discharge by an applied high voltage.

전술한, 장치몸체(1)에 있어 거치부재(6), 푸쉬부재(7), 작동버튼, 설정버튼, 표시부, 전극 각각에 대한 구체적인 구성은 본 출원인의 선등록 특허인 대한민국 등록특허 제2399940호 및 대한민국 공개특허 제2021-0092932호 각각에 개시된 구성과 대동소이한 구성으로 이루어질 수 있다.The specific configuration of each of the holding member (6), push member (7), operating button, setting button, display unit, and electrode in the device body (1) described above is disclosed in Korean Patent No. 2399940, which is the applicant's pre-registered patent. and Republic of Korea Patent Publication No. 2021-0092932, respectively.

다음으로, 분사 가이드부를 살펴본다. 본 발명에 있어 분사 가이드부는 플라즈마 발생장치에 착탈식으로 결합되며, 도 2 및 도 3, 그리고 도 5 각각에 개시된 것과 같이, 가스유도부(110), 가스분사부(120), 가스배출가이드부(130)로 이루어지는 특징이 있다.Next, let's look at the injection guide part. In the present invention, the injection guide unit is detachably coupled to the plasma generator, and as shown in FIGS. 2, 3, and 5, respectively, a gas guide unit 110, a gas injection unit 120, and a gas discharge guide unit 130. ) has the characteristic of consisting of

가스유도부(110)는 방전으로 인해 생성된 플라즈마 가스의 배출을 유도하는 부분으로, 가스유도부(110)에는 유도몸체(111), 삽입단(112), 돌출단(113) 각각이 마련된다. 유도몸체(111)는 상하가 개구된 관 형상으로 이루어지며, 삽입단(112)은 유도몸체(111)의 내면부위에 형성된다.The gas guide part 110 is a part that induces the discharge of plasma gas generated by discharge. The gas guide part 110 is provided with a guide body 111, an insertion end 112, and a protruding end 113, respectively. The guiding body 111 has a tubular shape with top and bottom openings, and the insertion end 112 is formed on the inner surface of the guiding body 111.

이때, 삽입단(112)은 상호 간에 일정간격 이격되는 복수 개로 이루어질 수 있으며, 삽입단(112) 각각은 상하로 일정길이를 가지며 내부 중앙부위 방향으로 돌출되는 형상으로 이루어진다. At this time, the insertion end 112 may be composed of a plurality of insertion ends 112 spaced apart from each other at a certain distance, and each of the insertion ends 112 has a certain length up and down and has a shape that protrudes toward the inner central portion.

이 삽입단(112)은 도 2 및 도 5 각각과 같이, 분사구(11)의 외면부위에 형성되는 삽입홈(12)에 끼움 결합된다. 이를 위해, 분사구(11)에 형성되는 삽입홈(12) 역시 삽입단(112)에 대응되는 교호 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.This insertion end 112 is fitted into the insertion groove 12 formed on the outer surface of the injection hole 11, as shown in FIGS. 2 and 5, respectively. For this purpose, it is preferable that the insertion grooves 12 formed in the injection hole 11 also have an alternating structure corresponding to the insertion end 112.

돌출단(113)은 후술할 가스배출가이드부(130)의 상단 부위와 결합되는 부분으로, 상호 간에 일정간격 이격되어 유도몸체(111)의 상단 외면부위에 마련되며, 외측 방향으로 돌출되며 형성된다. 미설명 도면부호 114는 가스배출가이드부(130)와의 결합을 위한 체결홈이다.The protruding end 113 is a part that is coupled to the upper part of the gas discharge guide part 130, which will be described later, and is provided on the upper outer surface of the guide body 111 at a certain distance from each other, and is formed to protrude in the outward direction. . The not-illustrated reference numeral 114 is a fastening groove for coupling with the gas discharge guide portion 130.

이때, 본 발명은 유도몸체(111)의 하측 내면부위(117)는 도 3에 개시된 것과 같이, 하방으로 갈수록 그 폭이 감소하도록 일정각도 경사져 형성되는 경우를 제안한다. 이럴 경우, 장치본체(1)의 분사구(11)를 통해 유도몸체(111) 내부로 이동하는 플라즈마 가스는 유도몸체(111)의 하측 중앙부위로 집속되면서 가스분사부(120)로 공급될 수 있다.At this time, the present invention proposes a case where the lower inner portion 117 of the guiding body 111 is formed inclined at a certain angle so that its width decreases downward, as shown in FIG. 3. In this case, the plasma gas moving inside the guide body 111 through the injection port 11 of the device body 1 may be concentrated in the lower central portion of the guide body 111 and supplied to the gas injection unit 120.

가스분사부(120)는 분사구(11)를 통해 공급되는 플라즈마 가스를 작업 대상물 표면으로 분사시키는 부분으로, 분사몸체(121), 걸림단(125) 각각이 마련된다. 분사몸체(121)는 일정길이를 가지는 관 구조로 이루어져 유도몸체(111)의 중앙부위에 관통 삽입된다. 이를 위해, 가스분사부(120)의 외경은 유도몸체(111)의 내경보다 작게 이루어지는 것이 바람직하다.The gas injection unit 120 is a part that sprays the plasma gas supplied through the injection hole 11 onto the surface of the work object, and is provided with a spray body 121 and a stopping end 125, respectively. The injection body 121 is made of a tube structure with a certain length and is inserted through the central portion of the induction body 111. For this purpose, it is preferable that the outer diameter of the gas injection unit 120 is smaller than the inner diameter of the guiding body 111.

분사몸체(121)의 상단부위에는 걸림단(125)이 마련되며, 걸림단(125)은 도 3에 개시된 것과 같이, 유도몸체(111)의 하단 내면부위를 따라 마련되는 안치단(116)에 밀착된다. 미설명 도면부호 126은 가압링으로, 안치단(116)에 밀착된 걸림단(125)을 가스분사부(110) 내면부위에 가압 고정시킨다.A stopping end 125 is provided at the upper end of the spraying body 121, and the stopping end 125 is in close contact with a resting end 116 provided along the lower inner surface of the inducing body 111, as shown in FIG. 3. do. The not-illustrated reference numeral 126 is a pressure ring, which pressurizes and fixes the stopping end 125 in close contact with the resting end 116 to the inner surface of the gas injection unit 110.

가스배출가이드부(130)는 가스분사부(120)의 하단부위를 작업 대상물 표면과 일정 간격으로 유지시킴과 동시에 처리 작업이 완료된 플라즈마 가스를 외부로 가이드하는 부분으로, 상, 하부가 개구되는 구조로 이루어지며, 그 내면부위는 도 5와 같이, 가스유도부(100) 및 가스분사부(120) 각각의 외면부위와 일정간격을 이루며 위치한다.The gas discharge guide unit 130 is a part that maintains the lower part of the gas injection unit 120 at a certain distance from the surface of the work object and guides the plasma gas on which the processing work has been completed to the outside. The gas discharge guide unit 130 has a structure in which the upper and lower parts are open. It consists of, and the inner part is located at a certain distance from the outer surface part of each of the gas induction part 100 and the gas injection part 120, as shown in FIG.

이때, 가스배출가이드부(130)의 상단 내면에 있어 상호 간에 일정간격 이격된 부위 각각은 도 2에 개시된 것과 같이, 체결볼트(b)에 의해 가스유도부(110)의 유도몸체(111)에 구비되는 돌출단(113) 각각에 결합된다. 이에 따라, 유도몸체(111)의 돌출단(113) 각 부위와 결합되지 않는 가스배출가이드부(130)의 상단 내면부위와 유도몸체(111)의 상단 외면 사이에는, 도 5에 개시된 것과 같은 배출가이드홈(135)이 형성된다. 이 배출가이드홈(135)은 타겟부위에 대한 처리 작업을 완료한 폐 플라즈마 가스를 배출시키는 부분으로서, 이는 후술한다.
그리고, 가스배출가이드부(130)의 하단부위는, 가스분사부(120)의 하단부위보다 하방으로 일정길이 더 연장되는 것이 바람직하다. 이럴 경우, 연장부위를 통해 가스분사부(120)와 작업 대상물의 표면 사이 간격을 일정하게 유지할 수 있고, 처리 작업을 완료한 폐 플라즈마 가스에 의해 작업 표면물이 훼손되는 현상을 원천적으로 방지할 수 있다. At this time, each of the parts spaced apart from each other at a certain distance on the upper inner surface of the gas discharge guide part 130 is provided on the guiding body 111 of the gas guiding part 110 by a fastening bolt (b), as shown in FIG. 2. It is coupled to each of the protruding ends 113. Accordingly, between the upper inner surface of the gas discharge guide portion 130 that is not coupled to each part of the protruding end 113 of the guiding body 111 and the upper outer surface of the guiding body 111, the discharge as shown in FIG. 5 A guide groove 135 is formed. This discharge guide groove 135 is a part that discharges waste plasma gas that has completed processing work on the target area, which will be described later.
Additionally, it is desirable that the lower end of the gas discharge guide unit 130 extends a certain length further downward than the lower end of the gas injection unit 120. In this case, the distance between the gas injection unit 120 and the surface of the work object can be maintained at a constant level through the extension portion, and the damage to the work surface caused by the waste plasma gas that has completed the treatment work can be fundamentally prevented. there is.

또한, 가스배출가이드부(130)는 하방으로 갈수록 그 폭이 감소하도록 일정각도 경사져 형성되는 것이 바람직하다. 가스배출가이드부(130)가 하방으로 갈수록 그 폭이 감소하는 구조로 이루어지면, 가스분사부(120)를 통해 분사되는 플라즈마가 작업 대상물의 표면 중 특정 부위만을 타겟으로 하여 작업을 수행하는 것이 매우 용이해진다.In addition, the gas discharge guide portion 130 is preferably formed inclined at a certain angle so that its width decreases downward. If the gas discharge guide part 130 has a structure whose width decreases as it goes downward, it is very difficult to perform work by targeting only a specific part of the surface of the work object with the plasma sprayed through the gas injection part 120. It becomes easier.

한편, 본 발명은 도 5 및 도 6 각각과 같이, 가스분사부(120)의 하측 외면부위와 가스배출가이드부(130)의 하측 내면부위 사이의 단면적 △A1이, 배출가이드홈(135)이 형성되는 가스유도부(110)의 유도몸체(111) 상단 외면부위와 가스배출가이드부(130)의 상단 내면부위 사이의 단면적 △A2보다 크게 형성되는 경우를 제안한다.Meanwhile, in the present invention, as shown in FIGS. 5 and 6, the cross-sectional area △A1 between the lower outer surface of the gas injection portion 120 and the lower inner surface of the gas discharge guide portion 130 is, and the discharge guide groove 135 is We propose a case where the cross-sectional area between the upper outer surface of the guiding body 111 of the gas inducing part 110 and the upper inner surface of the gas discharge guide part 130 is formed larger than △A2.

플라즈마에 의해 처리 작업이 이루어지는 공간의 단면적 △A1이, 처리 작업을 완료한 플라즈마가 외부로 배출되는 공간으로서의 배출가이드홈(135) 단면적 △A2보다 작아지면, 단면적 △A2를 통한 배출 속도가 증가될 수 있다는 점에서, 폐 플라즈마에 의한 작업 대상물의 표면 손상을 최소화하면서 외부로 신속하게 배출시키는 것이 가능하다.If the cross-sectional area △A1 of the space where processing work is performed by plasma becomes smaller than the cross-sectional area △A2 of the discharge guide groove 135, which is the space where the completed plasma is discharged to the outside, the discharge speed through the cross-sectional area △A2 will increase. In that it is possible to quickly discharge the waste plasma to the outside while minimizing surface damage to the work object caused by the waste plasma.

이에 부가하여, 본 발명은 도 4와 같이, 가스배출가이드부(130)가 좌우 한 쌍의 제1, 2가스배출가이드부(131, 136)로 이루어져 상호 결합되는 경우를 배제하지 않는다. 이때, 제1, 2가스배출가이드부(131, 136)는 대칭 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the present invention does not exclude the case where the gas discharge guide portion 130 is composed of a pair of left and right first and second gas discharge guide portions 131 and 136 and are coupled to each other, as shown in FIG. 4. At this time, it is preferable that the first and second gas discharge guide parts 131 and 136 have a symmetrical structure.

즉, 가스배출가이드부(130)가 역 원뿔 구조로 이루어짐을 감안하면, 제1, 2가스배출가이드부(131, 136) 각각은 1/2 구조의 역 원뿔 구조로 구성하는 것이다. 이때, 제1가스배출가이드부(131)의 상단 일측 및 제2가스배출가이드부(136)의 상단 타측 각각에는 제1결합단(132) 및 제2결합단(137)이 형성되고, 제1가스배출가이드부(131)의 상단 타측 및 제2가스배출가이드부(136)의 상단 일측 각각에는 제1결합면(133) 및 제2결합면(138) 각각이 형성된다.That is, considering that the gas discharge guide portion 130 has an inverted cone structure, each of the first and second gas discharge guide portions 131 and 136 has an inverted cone structure with a 1/2 structure. At this time, a first coupling end 132 and a second coupling end 137 are formed on one upper side of the first gas discharge guide part 131 and the other upper side of the second gas discharge guide part 136, respectively, A first coupling surface 133 and a second coupling surface 138 are formed on the other upper side of the gas discharge guide portion 131 and the upper upper side of the second gas discharge guide portion 136, respectively.

제1결합면(133) 및 제2결합면(138) 각각은 가스유도부(110)의 돌출단(113) 각각에 밀착되며, 제1결합단(132) 및 제2결합단(137) 각각은 제1결합면(133) 및 제2결합면(138) 각각에 밀착된 상태로 도 3과 같이 체결부재(b)가 체결되면, 제1, 2가스배출가이드부(131, 136)는 일체화되면서 가스유도부(110)의 체결홈(114)에 고정 결합된다. Each of the first coupling surface 133 and the second coupling surface 138 is in close contact with each of the protruding ends 113 of the gas guide portion 110, and each of the first coupling end 132 and the second coupling end 137 is When the fastening member (b) is fastened as shown in Figure 3 in close contact with each of the first coupling surface 133 and the second coupling surface 138, the first and second gas discharge guide parts 131 and 136 are integrated. It is fixedly coupled to the fastening groove 114 of the gas guide part 110.

도면부호 134, 139 각각은 제1, 2가스배출가이드부(131, 136) 각각의 외면 하측부위에서 일정길이를 가지며 돌출되는 보조돌출단이며, 도면부호 131′, 136′각각은 제1, 2가스배출가이드부(131, 136) 각각의 내면이다. 보조돌출단(134, 139)과 관련된 설명은 후술한다.Reference numerals 134 and 139 are auxiliary protruding ends that have a certain length and protrude from the lower portion of the outer surface of the first and second gas discharge guide parts 131 and 136, respectively, and reference numerals 131' and 136' respectively refer to the first and second gas discharge guide parts (131 and 136). This is the inner surface of each of the gas discharge guide parts (131, 136). Descriptions related to the auxiliary protruding ends 134 and 139 will be described later.

또한, 본 발명은 가스배출가이드부(130)의 하측부위에, 보조가스배출가이드부(140)가 마련되는 경우를 배제하지 않는다. 이때, 보조가스배출가이드부(140)의 하단부위에는 배출공(141)이 형성되며, 보조가스배출가이드부(140)는 가스배출가이드부(130)에 대하여 착탈식으로 결합되도록 구성되는 것이 바람직하다.In addition, the present invention does not exclude the case where the auxiliary gas discharge guide portion 140 is provided on the lower portion of the gas discharge guide portion 130. At this time, an discharge hole 141 is formed at the lower end of the auxiliary gas discharge guide portion 140, and the auxiliary gas discharge guide portion 140 is preferably configured to be detachably coupled to the gas discharge guide portion 130.

이는, 전술한 삽입홈(12)과 돌출단(112)과 유사하게, 보조가스배출가이드부(140)의 내면부위에 상호 간에 일정간격 이격되어 형성되는 보조삽입홈(147)을 형성하고, 가스배출가이드부(130)의 하측 외면부위 또는 제1, 2가스배출가이드부(131, 136) 각각에는 보조삽입홈(147)에 대응하는 보조돌출단(134, 139) 각각을 형성시키는 방식으로 구성할 수 있다.This forms an auxiliary insertion groove 147 that is spaced apart from each other at a predetermined distance on the inner surface of the auxiliary gas discharge guide portion 140, similar to the above-described insertion groove 12 and the protruding end 112, and It is configured in such a way that auxiliary protruding ends (134, 139) corresponding to the auxiliary insertion grooves (147) are formed on the lower outer surface of the discharge guide portion (130) or the first and second gas discharge guide portions (131, 136), respectively. can do.

가스배출가이드부(130)의 하측부위에 보조가스배출가이드부(140)가 마련되면, 작업 대상물과의 간격을 더욱 용이하게 조절하면서 플라즈마 가스를 작업 대상물의 표면부위에 집속시킬 수 있고, 작업을 완료한 폐 플라즈마 가스의 배출을 더욱 신속하게 외부로 배출시키는 것이 가능하다.If the auxiliary gas discharge guide part 140 is provided on the lower part of the gas discharge guide part 130, the plasma gas can be focused on the surface area of the work object while more easily adjusting the gap with the work object, and the work can be performed. It is possible to discharge the completed waste plasma gas to the outside more quickly.

이러한 구성으로 이루어지는 본 발명이 개략적인 작동 구성을 전술한 설명부분 및 첨부된 도 6을 참조하여 살펴본다.The schematic operational configuration of the present invention comprised of this configuration will be examined with reference to the above-described description and the attached FIG. 6.

먼저, 가스배출가이드부(130)의 하단부위를 작업 대상물(P)에 근접시킨 다음, 미도시된 펌프를 작동시켜 가스가 장치본체(1)의 주입단(2)으로 공급되는 상태에서, 전원버튼을 온 시켜 전극에 고전압을 인가한다. 전극에 고전압이 인가되면 방전이 발생하면서 공급되는 가스가 플라즈마 상태로 변환되고, 플라즈마 상태의 가스가 장치본체(1)의 배출구(11)를 통해 분사된다(도 6의 ① 참조).First, the lower part of the gas discharge guide part 130 is brought close to the work object (P), and then the pump (not shown) is operated to supply gas to the injection end (2) of the device main body (1), and then the power supply is turned on. Turn on the button to apply high voltage to the electrode. When a high voltage is applied to the electrode, a discharge occurs and the supplied gas is converted into a plasma state, and the gas in the plasma state is injected through the outlet 11 of the device body 1 (see ① in FIG. 6).

배출구(11)로 분사되는 플라즈마 가스는 가스유도부(110)의 유도몸체(111)에 의해 집속된 다음, 가스분사구(120)의 상단부위로 진입하여 가스분사구(120)를 따라 이동한다(도 6의 ② 참조). 가스분사구(120)를 따라 이동한 플라즈마 가스는 가스분사구(120)의 하단부위[또는/및 보조가스배출가이드부(140)의 배출공(141)]를 빠져나오면서 작업 대상물(P)에 있어 타겟의 상면부위(T)에 집중적으로 분사되어 의도하는 표면 처리 작업이 이루어진다(도 6의 ③ 참조).The plasma gas injected into the outlet 11 is focused by the guiding body 111 of the gas guiding part 110, then enters the upper part of the gas injecting port 120 and moves along the gas injecting port 120 (see FIG. 6 (see ②). The plasma gas moving along the gas injection hole 120 exits the lower part of the gas injection hole 120 (or/and the discharge hole 141 of the auxiliary gas discharge guide portion 140) and targets the work object (P). It is sprayed intensively on the upper surface area (T) to achieve the intended surface treatment (see ③ in FIG. 6).

타겟부위(T)에 대한 처리 작업이 완료된 폐 플라즈마 가스는 타겟부위(T)와 인접한 작업 대상물(P)의 표면부위를 손상시키지 않은 상태로, 가스분사부(120)의 하단부위[또는/및 보조가스배출가이드부(140)의 내부 하측부위]를 지나 가스분사부(120)의 외면과 가스배출가이드부(130)의 내면 사이 공간을 통해 상측으로 이동한다(도 6의 ④ 참조). The waste plasma gas for which the processing work on the target area (T) has been completed is stored in the lower part of the gas injection unit 120 [or/and It passes through the inner lower part of the auxiliary gas discharge guide part 140] and moves upward through the space between the outer surface of the gas injection part 120 and the inner surface of the gas discharge guide part 130 (see ④ in FIG. 6).

이때, 배출가이드홈(135)이 형성되는 가스배출가이드부(130)의 상단 내면부위와 유도몸체(111)의 상단 외면부위 사이 단면적 △A2는, 가스배출가이드부(130)의 하측 내면부위와 가스분사부(120)의 하측 외면부위 사이 단면적 △A1 보다 작기 때문에, 가스분사부(120)의 하측 외면과 가스배출가이드부(130)의 하측 내면 사이를 통해 이동하는 폐 플라즈마 가스는 가스배출가이드부(130)의 상측부위로 이동하면서 속도가 빨라지며 신속하게 이동한 다음 배출가이드홈(135)을 통해 외부로 배출된다(도 6의 ⑤ 참조). 폐 플라즈마 가스가 외부로 신속하게 배출됨에 따라, 작업을 완료한 폐 플라즈마 가스에 의해 영향 없이 뒤이어 공급되는 플라즈마 가스에 의한 타겟부위(T) 처리 작업이 연속적으로 수행될 수 있다.At this time, the cross-sectional area △A2 between the upper inner surface of the gas discharge guide part 130 where the discharge guide groove 135 is formed and the upper outer surface of the guide body 111 is the lower inner surface of the gas discharge guide part 130 and Since the cross-sectional area between the lower outer surface of the gas injection unit 120 is smaller than △A1, the waste plasma gas moving between the lower outer surface of the gas injection unit 120 and the lower inner surface of the gas discharge guide unit 130 flows through the gas discharge guide. As it moves to the upper part of the part 130, the speed increases and it moves quickly and is then discharged to the outside through the discharge guide groove 135 (see ⑤ in FIG. 6). As the waste plasma gas is quickly discharged to the outside, the treatment of the target area (T) by the subsequently supplied plasma gas can be performed continuously without being affected by the waste plasma gas that has completed the work.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 한정하여 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐이며, 본 발명은 이에 한정되지 않고 여러 다양한 방법으로 변경되어 실시될 수 있으며, 나아가 개시된 기술적 사상에 기초하여 별도의 기술적 특징이 부가되어 실시될 수 있음은 자명하다 할 것이다.Although the description above is limited to preferred embodiments of the present invention, this is only an example, and the present invention is not limited thereto and can be modified and implemented in various ways, and further, separate technical features are provided based on the disclosed technical idea. It is obvious that it can be added and implemented.

1 : 플라즈마 발생장치 2 : 주입단
11 : 분사구 12 : 삽입홈
110 : 가스유도부 111 : 유도몸체
112 : 삽입단 113 : 돌출단
116 : 안치단
120 : 가스분사부 121 : 분사몸체
125 : 걸림단 126 : 가압링
130 : 가스배출가이드부 131, 136 : 제1, 2가스배출가이드부
132, 137 : 제1, 2결합단 133, 138 : 제1, 2결합면
134, 139 : 보조돌출단 135 : 배출가이드홈
140 : 보조가스배출가이드부 141 : 배출공
147 : 보조삽입홈1: Plasma generator 2: Injection stage
11: Nozzle 12: Insertion groove
110: gas induction part 111: induction body
112: insertion end 113: protrusion end
116: Enshrinement Dan
120: gas injection unit 121: injection body
125: Stopping end 126: Pressure ring
130: gas discharge guide section 131, 136: first and second gas discharge guide sections
132, 137: 1st, 2nd coupling end 133, 138: 1st, 2nd coupling surface
134, 139: Auxiliary protrusion 135: Discharge guide groove
140: Auxiliary gas discharge guide part 141: Discharge hole
147: Auxiliary insertion groove

Claims (5)

내부에는 고전압전극 및 접지전극이 위치하고, 후단부위에는 가스가 유입되는 주입단(2)이 마련되고, 전단부위에는 플라즈마 가스가 분사되는 분사구(11)가 마련되는 플라즈마 발생장치로서,
상호 간에 일정간격 이격되어 분사구(11)의 외면부위에서 일정길이를 가지며 형성되는 복수 개의 삽입홈(12);
상, 하부 각각이 개구되는 유도몸체(111), 상호 간에 일정 간격 이격되어 유도몸체(111)의 내면부위에서 일정길이를 가지며 내측 방향으로 돌출되어 분사구(11)의 삽입홈(12) 각각에 끼움 결합되는 복수 개의 삽입단(112), 상호 간에 일정간격 이격되어 유도몸체(111)의 상단 외면부위에서 외측 방향으로 돌출되는 돌출단(113), 유도몸체(111)의 하단 내면부위를 따라 환형으로 마련되는 안치단(116)이 구비되는 가스유도부(110);
상, 하부 각각이 개구되며 유도몸체(111)의 내경보다 작은 외경을 가지며 유도몸체(111)에 관통 삽입되는 분사몸체(121), 분사몸체(121)의 상단부위에 마련되어 유도몸체(111)의 안치단(116)에 밀착되는 걸림단(125)이 구비되는 가스분사부(120);
상, 하부 각각이 개구되며 상측 내면부위 및 하측 내면부위 각각은 유도몸체(111)의 외면부위 및 가스분사부(120)의 외면부위 각각과 일정간격을 이루며 위치하되, 유도몸체(111)의 돌출단(113)과 결합되는 상단부위의 내면과 유도몸체(111)의 상단 외면 사이에는 배출가이드홈(135)이 형성되고, 하단부위는 가스분사부(120)의 하단부위보다 하방으로 일정길이 더 연장되는 가스배출가이드부(130);로 이루어지는 착탈식 분사 가이드부가 구비되는 플라즈마 발생장치.It is a plasma generating device in which a high voltage electrode and a ground electrode are located inside, an injection stage 2 through which gas flows is provided at the rear end, and an injection port 11 through which plasma gas is sprayed is provided at the front end,
a plurality of insertion grooves (12) spaced apart from each other at regular intervals and having a certain length on the outer surface of the injection nozzle (11);
The guiding body 111 is open at the upper and lower ends, spaced apart from each other at a certain distance, has a certain length on the inner surface of the guiding body 111, protrudes inward, and is inserted into each of the insertion grooves 12 of the nozzle 11. A plurality of insertion ends 112 that are coupled, a protruding end 113 that is spaced apart from each other at a certain distance and protrudes in an outward direction from the upper outer surface of the guiding body 111, and is formed in an annular shape along the lower inner surface of the guiding body 111. A gas induction unit 110 provided with a seating platform 116;
The upper and lower parts are each open, and the injection body 121 has an outer diameter smaller than the inner diameter of the guidance body 111 and is inserted through the guidance body 111. It is provided at the upper part of the injection body 121 and A gas injection unit 120 provided with a stopping end 125 in close contact with the resting end 116;
The upper and lower parts are each open, and each of the upper and lower inner surfaces is located at a certain distance from the outer surface of the guiding body 111 and the outer surface of the gas injection unit 120, but the guiding body 111 protrudes. A discharge guide groove 135 is formed between the inner surface of the upper part coupled to the stage 113 and the upper outer surface of the guide body 111, and the lower part extends a certain length further downward than the lower part of the gas injection unit 120. A plasma generating device provided with a detachable injection guide section consisting of an extending gas discharge guide section 130. 제1항에 있어서,
상기 가스배출가이드부(130)의 하측부위에는 하단부위에 배출공(141)이 형성되는 보조가스배출가이드부(140)가 마련되되, 상기 보조가스배출가이드부(140)의 내면부위에는 상호 간에 일정간격 이격되어 형성되는 보조삽입홈(147)이 상기 가스배출가이드부(130)의 외면부위에 상호 간에 일정간격 이격되어 형성되는 보조돌출단에 착탈식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 착탈식 분사 가이드부가 구비되는 플라즈마 발생장치.According to paragraph 1,
The lower portion of the gas discharge guide portion 130 is provided with an auxiliary gas discharge guide portion 140 having a discharge hole 141 formed at the lower portion, and the inner portion of the auxiliary gas discharge guide portion 140 has a certain A removable injection guide unit is provided, wherein auxiliary insertion grooves 147 formed at intervals are detachably coupled to auxiliary protruding ends formed at regular intervals from each other on the outer surface of the gas discharge guide unit 130. Plasma generator. 제1항에 있어서,
상기 가스배출가이드부(130)는 대칭 구조로 이루어지는 좌우 한 쌍의 제1, 2가스배출가이드부(131, 136)로 이루어지며, 상기 제1가스배출가이드부(131)의 상단 일측 및 제2가스배출가이드부(136)의 상단 타측 각각에는 제1결합단(132) 및 제2결합단(137) 각각이 형성되고, 상기 제1가스배출가이드부(131)의 상단 타측 및 제2가스배출가이드부(136)의 상단 일측 각각에는 상기 가스유도부(110)의 돌출단(113) 각각에 밀착되며 상기 제1결합단(132) 및 제2결합단(137) 각각과 결합되는 제1결합면(133) 및 제2결합면(138) 각각이 형성되는; 것을 특징으로 하는 착탈식 분사 가이드부가 구비되는 플라즈마 발생장치.According to paragraph 1,
The gas discharge guide portion 130 consists of a pair of left and right first and second gas discharge guide portions 131 and 136 having a symmetrical structure, and one upper side and the second gas discharge guide portion of the first gas discharge guide portion 131 A first coupling end 132 and a second coupling end 137 are formed on each of the other upper sides of the gas discharge guide part 136, and the upper other side and the second gas discharge of the first gas discharge guide part 131 On each upper side of the guide part 136, a first coupling surface is in close contact with each of the protruding ends 113 of the gas guide part 110 and is coupled to each of the first coupling end 132 and the second coupling end 137. (133) and the second coupling surface (138) are each formed; A plasma generator equipped with a removable spray guide, characterized in that. 제1항에 있어서,
상기 가스유도부(110)의 유도몸체(111) 하측 내면부위는 하방으로 갈수록 그 폭이 감소하도록 일정각도 경사져 형성되는 것을 특징으로 하는 착탈식 분사 가이드부가 구비되는 플라즈마 발생장치.According to paragraph 1,
A plasma generator equipped with a detachable spray guide, characterized in that the lower inner surface of the guiding body 111 of the gas guiding part 110 is inclined at a certain angle so that the width decreases downward. 제1항에 있어서,
상기 가스분사부(120)의 하측 외면부위와 상기 가스배출가이드부(130)의 하측 내면 사이 단면적 △A1은, 상기 배출가이드홈(135)이 형성되는 유도몸체(111)의 상단 외면과 가스배출가이드부(130)의 상단 내면 사이 단면적 △A2보다 크게 형성되는; 것을 특징으로 하는 착탈식 분사 가이드부가 구비되는 플라즈마 발생장치.According to paragraph 1,
The cross-sectional area △A1 between the lower outer surface of the gas injection part 120 and the lower inner surface of the gas discharge guide part 130 is the upper outer surface of the guide body 111 where the discharge guide groove 135 is formed and the gas discharge. The cross-sectional area between the upper inner surfaces of the guide portion 130 is formed to be larger than △A2; A plasma generator equipped with a removable spray guide, characterized in that.
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