KR20210068883A - Apparatus for storing gas cylinders - Google Patents

Apparatus for storing gas cylinders Download PDF

Info

Publication number
KR20210068883A
KR20210068883A KR1020190158442A KR20190158442A KR20210068883A KR 20210068883 A KR20210068883 A KR 20210068883A KR 1020190158442 A KR1020190158442 A KR 1020190158442A KR 20190158442 A KR20190158442 A KR 20190158442A KR 20210068883 A KR20210068883 A KR 20210068883A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
information
gas cylinder
storage chamber
unit
Prior art date
Application number
KR1020190158442A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102326014B1 (en
Inventor
이용현
이정훈
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020190158442A priority Critical patent/KR102326014B1/en
Publication of KR20210068883A publication Critical patent/KR20210068883A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102326014B1 publication Critical patent/KR102326014B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/08—Mounting arrangements for vessels
    • F17C13/084—Mounting arrangements for vessels for small-sized storage vessels, e.g. compressed gas cylinders or bottles, disposable gas vessels, vessels adapted for automotive use
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/01—Shape
    • F17C2201/0104—Shape cylindrical
    • F17C2201/0109—Shape cylindrical with exteriorly curved end-piece
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/01—Mounting arrangements
    • F17C2205/0123—Mounting arrangements characterised by number of vessels
    • F17C2205/013—Two or more vessels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2260/00—Purposes of gas storage and gas handling
    • F17C2260/03—Dealing with losses
    • F17C2260/035—Dealing with losses of fluid
    • F17C2260/038—Detecting leaked fluid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Abstract

A gas cylinder storage device is disclosed. The gas cylinder storage device comprises: a storage chamber having an interior space for storage of gas cylinders; support members disposed in the storage chamber and configured to support the gas cylinders; grippers disposed within the storage chamber and configured to fix the gas cylinders; an information acquisition unit for acquiring history information of the gas cylinders from information tags individually attached to the gas cylinders; and a horizontal driving unit for horizontally moving the information acquisition unit to allow the information acquisition unit to be adjacent to the information tags. Therefore, the present invention can drastically reduce costs and time spent for history management of the gas cylinders.

Description

가스 실린더 보관 장치{Apparatus for storing gas cylinders}{Apparatus for storing gas cylinders}

본 발명의 실시예들은 가스 실린더 보관 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 사용되는 공정용 가스들의 공급을 위한 가스 실린더들의 보관을 위한 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a gas cylinder storage device. More particularly, it relates to an apparatus for storage of gas cylinders for supplying process gases used in a manufacturing process of a semiconductor device.

일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정을 통해 개별화될 수 있으며 다이 본딩 공정과 패키징 공정을 통해 반도체 패키지들로서 제조될 수 있다.In general, semiconductor devices may be formed on a silicon wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing a series of manufacturing processes. The semiconductor devices formed as described above may be individualized through a dicing process, and may be manufactured as semiconductor packages through a die bonding process and a packaging process.

상기 반도체 소자들의 제조를 위한 제조 공정들에는 다양한 종류의 공정 가스들이 공급될 수 있다. 상기 공정 가스들은 실린더 형태의 저장 용기들에 저장된 상태로 각 공정 설비들에 공급될 수 있으며, 상기 공정 가스들의 저장을 위한 가스 실린더들은 별도의 보관 장치를 통해 보관 및 관리될 수 있다. 그러나, 상기 가스 실린더들의 보관 및 관리에 대한 자동화가 충분하지 않음에 따라 작업자에 의한 수작업으로 보관 및 관리가 이루어지고 있으며, 이에 따라 상기 가스 실린더들의 보관을 위한 이동 중 안전 사고의 위험이 있으며 아울러 가스 누설에 의한 작업자의 위험 노출에 대한 대응 방안이 요구되고 있다.Various types of process gases may be supplied to manufacturing processes for manufacturing the semiconductor devices. The process gases may be supplied to each process equipment in a state of being stored in cylinder-shaped storage containers, and gas cylinders for storing the process gases may be stored and managed through a separate storage device. However, as the automation of the storage and management of the gas cylinders is not sufficient, the storage and management are performed manually by an operator, and accordingly, there is a risk of a safety accident during movement for storage of the gas cylinders, as well as the gas There is a demand for countermeasures against exposure to danger of workers due to leakage.

본 발명의 실시예들은 가스 실린더들의 보관 및 관리를 자동화할 수 있는 가스 실린더 보관 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY Embodiments of the present invention have an object to provide a gas cylinder storage device capable of automating storage and management of gas cylinders.

본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 보관 장치는, 가스 실린더들의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버와, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 지지하기 위한 서포트 부재들과, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 고정하기 위한 그리퍼들과, 상기 가스 실린더들에 각각 부착된 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛과, 상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부를 포함할 수 있다.A gas cylinder storage apparatus according to an embodiment of the present invention includes a storage chamber having an internal space for storage of gas cylinders, support members disposed in the storage chamber and supporting the gas cylinders, and the storage chamber an information acquiring unit for acquiring history information of the gas cylinders from grippers disposed within and for fixing the gas cylinders, and information tags respectively attached to the gas cylinders, the information acquiring unit including the information tags and a horizontal driving unit for moving the information obtaining unit in a horizontal direction to be adjacent to .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 가스 실린더들에 각각 인접하도록 배치되며 상기 수평 구동부에 의해 이동되는 상기 정보 획득 유닛을 검출하기 위한 검출 센서들을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device may further include detection sensors for detecting the information acquisition unit disposed adjacent to each of the gas cylinders and moved by the horizontal driving unit.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 구동부는 상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하는 위치들을 경유하여 이동하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키고, 상기 정보 획득 유닛은 상기 수평 방향으로 이동하면서 상기 검출 센서들의 검출 신호에 따라 상기 위치들에서 상기 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더의 이력 정보를 획득할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the horizontal driving unit moves the information obtaining unit in a horizontal direction so that the information obtaining unit moves via positions adjacent to the information tags, and the information obtaining unit moves in the horizontal direction It is possible to obtain the history information of the gas cylinder from the information tags at the locations according to the detection signals of the detection sensors while moving to.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 정보 획득 유닛에 장착되며 상기 검출 센서들에 대응하는 센서 도그를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device may further include a sensor dog mounted on the information acquisition unit and corresponding to the detection sensors.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 가스 실린더들에 각각 인접하도록 배치되는 센서 도그들과, 상기 정보 획득 유닛에 장착되며 상기 정보 획득 유닛이 상기 수평 구동부에 의해 이동되는 동안 상기 센서 도그들을 검출하기 위한 검출 센서를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device includes sensor dogs disposed adjacent to the gas cylinders, respectively, and is mounted on the information acquisition unit and the information acquisition unit is moved by the horizontal drive unit. It may further include a detection sensor for detecting the sensor dogs during the.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 정보 태그들은 각각 바코드 또는 QR 코드를 포함하며, 상기 정보 획득 유닛은 바코드 리더기 또는 QR 코드 리더기를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, each of the information tags includes a barcode or a QR code, and the information obtaining unit may include a barcode reader or a QR code reader.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 구동부는 로드리스 실린더를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the horizontal driving unit may include a rodless cylinder.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버의 일측에 구비되며 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어와, 상기 가스 실린더들의 이송을 위한 이송 장치와 통신이 가능하도록 구성되며 상기 이송 장치가 상기 도어에 근접하는 경우 상기 도어의 개폐를 제어하기 위한 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device is provided at one side of the storage chamber and is capable of communicating with at least one door for opening and closing the inner space and a transport device for transporting the gas cylinders. and a control unit for controlling opening and closing of the door when the transport device approaches the door.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버의 내부 공간은 상기 서포트 부재들이 각각 구비되는 복수의 수납 공간들을 포함하며, 상기 제어 유닛은 가스 실린더의 수납을 위해 상기 수납 공간들 중 빈 수납 공간에 대한 위치 정보 또는 상기 보관 챔버에 보관된 가스 실린더들 중 반출하고자 하는 가스 실린더의 위치 정보를 상기 이송 장치로 전송할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the internal space of the storage chamber includes a plurality of accommodating spaces in which the support members are respectively provided, and the control unit is installed in an empty accommodating space among the accommodating spaces to accommodate the gas cylinder. It is possible to transmit the position information of a gas cylinder to be taken out among the gas cylinders stored in the storage chamber to the transfer device.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device may further include a pressure regulating unit for maintaining the pressure inside the storage chamber at a preset pressure.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device may further include a temperature control unit for maintaining the temperature inside the storage chamber at a preset temperature.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더로부터 누설된 가스를 검출하기 위한 가스 센서를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device may further include a gas sensor disposed in the storage chamber and configured to detect gas leaked from the gas cylinder.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더들은 상기 이송 장치에 의해 상기 보관 챔버 내부에 수납되거나 상기 보관 챔버로부터 반출될 수 있다. 상기 정보 획득 유닛은 상기 가스 실린더들에 부착된 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 획득할 수 있으며, 상기 획득된 이력 정보는 상기 제어 유닛에 의해 관리될 수 있다. 또한, 상기 제어 유닛은 상기 가스 실린더들의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어 및 상기 그리퍼들을 개폐할 수 있으며 아울러 상기 도어가 개방되는 경우에도 상기 압력 조절 유닛을 통해 상기 보관 챔버 내부의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the gas cylinders may be accommodated in the storage chamber or taken out of the storage chamber by the transfer device. The information acquisition unit may acquire history information of the gas cylinders from information tags attached to the gas cylinders, and the acquired history information may be managed by the control unit. In addition, the control unit may open and close the door and the grippers to accommodate or take out the gas cylinders, and also maintain a constant pressure in the storage chamber through the pressure control unit even when the door is opened. have.

상기와 같이 상기 가스 실린더들의 보관 및 관리가 상기 가스 실린더 보관 장치에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들의 취급 과정에서 발생될 수 있는 안전 사고가 크게 감소될 수 있다. 특히, 상기 가스 실린더들의 이력 정보 획득 및 관리가 상기 정보 획득 유닛 및 제어 유닛에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들의 이력 관리에 소요되는 시간과 비용이 크게 절감될 수 있다.As described above, the storage and management of the gas cylinders can be automated by the gas cylinder storage device, and accordingly, safety accidents that may occur in the process of handling the gas cylinders can be greatly reduced. In particular, the acquisition and management of the history information of the gas cylinders can be automated by the information acquisition unit and the control unit, and accordingly, the time and cost required for the history management of the gas cylinders can be greatly reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 가스 실린더 보관 장치에 대한 가스 실린더의 수납 및 반출 방법을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.1 is a schematic front view for explaining a gas cylinder storage device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view for explaining the gas cylinder storage device shown in FIG. 1 .
3 and 4 are schematic plan views for explaining a method of accommodating and unloading a gas cylinder for the gas cylinder storage device shown in FIGS. 1 and 2 .

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. could be Alternatively, where one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, variations from the shapes of the diagrams, eg, variations in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이며, 도 2는 도 1에 도시된 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.FIG. 1 is a schematic front view for explaining a gas cylinder storage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic side view for explaining the gas cylinder storage device shown in FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들은 가스 실린더 보관 장치(100)에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 사용되는 공정용 가스의 공급을 위한 가스 실린더들(10)의 보관을 위한 장치(100)에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는, 가스 실린더들(10)의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버(102)와, 상기 보관 챔버(102) 내에 배치되며 상기 가스 실린더들(10)을 지지하기 위한 서포트 부재들(110)과, 상기 보관 챔버(102) 내에 배치되며 상기 가스 실린더들(10)을 고정하기 위한 그리퍼들(120)을 포함할 수 있다.1 and 2 , embodiments of the present invention relate to a gas cylinder storage device 100 . More particularly, it relates to an apparatus 100 for storage of gas cylinders 10 for supplying a process gas used in a manufacturing process of a semiconductor device. According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device 100 includes a storage chamber 102 having an internal space for storage of gas cylinders 10 , and is disposed in the storage chamber 102 , It may include support members 110 for supporting the gas cylinders 10 , and grippers 120 disposed in the storage chamber 102 and for fixing the gas cylinders 10 .

상기 보관 챔버(102)의 일측에는 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어(130)가 구비될 수 있으며, 상기 도어(130)의 개폐는 제어 유닛(140)에 의해 제어될 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 실린더들(10)의 이송을 위한 이송 장치(20)와 통신이 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 이송 장치(20)의 동작에 대응하여 상기 도어(130)를 개폐할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(20)가 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어(130)에 근접하는 경우 상기 도어(130)를 개방할 수 있으며 상기 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출이 완료된 후 상기 도어(130)를 닫을 수 있다.At least one door 130 for opening and closing the inner space may be provided at one side of the storage chamber 102 , and the opening and closing of the door 130 may be controlled by the control unit 140 . The control unit 140 may be configured to communicate with the transport device 20 for transporting the gas cylinders 10 , and may operate the door 130 in response to the operation of the transport device 20 . can be opened and closed. For example, when the transport device 20 approaches the door 130 to accommodate or take out the gas cylinder 10 , the door 130 may be opened and the gas cylinder 10 may be accommodated or taken out. After unloading is completed, the door 130 may be closed.

상기 보관 챔버(102)의 내부 공간은 상기 서포트 부재들(110)이 각각 구비되는 복수의 수납 공간들(104)을 포함할 수 있다. 도시된 바에 의하면 상기 수납 공간들(104)을 구획하기 위한 별도의 격벽이 구비되지는 않고 있으나 필요에 따라 복수의 격벽들이 상기 보관 챔버(102) 내에 구비될 수도 있다.The inner space of the storage chamber 102 may include a plurality of accommodation spaces 104 in which the support members 110 are respectively provided. As illustrated, separate partition walls for partitioning the storage spaces 104 are not provided, but a plurality of partition walls may be provided in the storage chamber 102 as needed.

상기 가스 실린더들(10)에는 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보가 저장되는 정보 태그(12)가 각각 부착될 수 있다. 예를 들면, 상기 정보 태그(12)에는 각각의 가스 실린더(10)에 저장되는 가스 재료를 나타내는 자재 코드, 제조 번호, 충전 가스의 순도, 제조 일자, 만기 일자 등 일련의 정보들이 저장될 수 있으며, 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 가스 실린더들(10)의 정보 태그들(12)로부터 상기 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛(150)이 구비될 수 있다.An information tag 12 in which history information of the gas cylinders 10 is stored may be attached to the gas cylinders 10 , respectively. For example, the information tag 12 may store a series of information such as a material code indicating the gas material stored in each gas cylinder 10, a manufacturing number, the purity of the filling gas, a manufacturing date, an expiration date, etc. , an information acquisition unit 150 for acquiring the history information from the information tags 12 of the gas cylinders 10 may be provided in the storage chamber 102 .

일 예로서, 상기 가스 실린더(10)에 바코드가 부착될 수 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 바코드의 정보를 읽기 위한 바코드 리더기가 구비될 수 있다. 다른 예로서, 상기 가스 실린더(10)에는 QR(Quick Response) 코드가 부착될 수도 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(102) 내에는 QR 코드 리더기가 구비될 수 있다. 또 다른 예로서, 상기 가스 실린더(10)에는 NFC(Near Field Communication) 태그, RFID(Radio Frequency Identification) 태그 등과 같은 전자 태그가 부착될 수도 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(102) 내에는 상기 NFC 태그, RFID 태그 등과 무선 통신이 가능한 무선 단말기가 구비될 수 있다.As an example, a barcode may be attached to the gas cylinder 10 , and in this case, a barcode reader for reading information of the barcode may be provided in the storage chamber 102 . As another example, a Quick Response (QR) code may be attached to the gas cylinder 10 , and in this case, a QR code reader may be provided in the storage chamber 102 . As another example, an electronic tag such as a Near Field Communication (NFC) tag or a Radio Frequency Identification (RFID) tag may be attached to the gas cylinder 10 . In this case, the NFC tag is located in the storage chamber 102 . , RFID tags and the like may be provided with a wireless terminal capable of wireless communication.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 정보 획득 유닛(150)이 상기 정보 태그들(12)에 인접하도록 상기 정보 획득 유닛(150)을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부(152)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 정보 태그들(12)은 상기 가스 실린더들(10)의 상부에 부착될 수 있으며, 상기 정보 획득 유닛(150)은 상기 수평 구동부(150)에 의해 상기 가스 실린더들(10)의 위에서 수평 방향으로 이동될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage apparatus 100 is a horizontal horizontal movement of the information obtaining unit 150 in a horizontal direction so that the information obtaining unit 150 is adjacent to the information tags 12 . A driving unit 152 may be included. For example, the information tags 12 may be attached to the upper portion of the gas cylinders 10 , and the information obtaining unit 150 may be driven by the horizontal driving unit 150 to the gas cylinders 10 . It can be moved horizontally on top of

상기 수납 공간들(104)에는 상기 가스 실린더들(10)에 각각 인접하도록 배치되며 상기 수평 구동부(152)에 의해 이동되는 상기 정보 획득 유닛(150)을 검출하기 위한 검출 센서들(154)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 검출 센서들(154)은 상기 가스 실린더들(10)의 상부 즉 상기 수납 공간들(104)의 상부에 배치될 수 있으며 상기 수평 구동부(152)에 의해 상기 가스 실린더들(10)의 상부에서 이동되는 상기 정보 획득 유닛(150)을 검출할 수 있다. 즉, 상기 수평 구동부(152)는 상기 정보 획득 유닛(150)이 상기 가스 실린더들(10)에 부착된 상기 정보 태그들(12)에 인접하는 위치들을 경유하여 이동하도록 상기 정보 획득 유닛(150)을 이동시킬 수 있으며, 상기 정보 획득 유닛(150)은 상기 수평 방향으로 이동하면서 상기 검출 센서들(154)의 검출 신호에 따라 상기 위치들에서 상기 정보 태그들(12)로부터 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 획득할 수 있다.Detecting sensors 154 for detecting the information acquisition unit 150 moved by the horizontal driving unit 152 are disposed adjacent to the gas cylinders 10 in the storage spaces 104 , respectively. can be For example, the detection sensors 154 may be disposed above the gas cylinders 10 , that is, above the storage spaces 104 , and the gas cylinders 10 may be driven by the horizontal driving unit 152 . ) may be detected by the information obtaining unit 150 moving in the upper part. That is, the horizontal driving unit 152 causes the information obtaining unit 150 to move via positions adjacent to the information tags 12 attached to the gas cylinders 10 . can move, and the information obtaining unit 150 moves in the horizontal direction from the information tags 12 to the gas cylinders 10 at the positions according to the detection signals of the detection sensors 154 while moving in the horizontal direction. ) can be obtained.

예를 들면, 상기 수평 구동부(152)와 상기 정보 획득 유닛(150)의 동작은 상기 제어 유닛(140)에 의해 제어될 수 있다. 특히, 상기 검출 센서들(154)은 상기 정보 획득 유닛(150)에 대한 검출 신호를 상기 제어 유닛(140)으로 전송할 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 검출 센서들(154)로부터 상기 검출 신호가 수신되면 상기 검출 신호에 대응하는 가스 실린더(10)의 정보 태그(12)로부터 이력 정보를 획득할 수 있다. 특히, 상기 정보 획득 유닛(150)은 이동 중에 상기 검출 센서들(154)의 검출 신호에 따라 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 획득할 수 있으며, 이에 따라 상기 수평 구동부(152)는 상기 가스 실린더들(10)의 상부에서 상기 정보 획득 유닛(150)을 정지시킬 필요가 없으며, 결과적으로 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보 획득에 소요되는 시간이 단축될 수 있다.For example, the operations of the horizontal driving unit 152 and the information obtaining unit 150 may be controlled by the control unit 140 . In particular, the detection sensors 154 may transmit a detection signal for the information acquisition unit 150 to the control unit 140 , and the control unit 140 detects the detection signal from the detection sensors 154 . When the signal is received, history information may be obtained from the information tag 12 of the gas cylinder 10 corresponding to the detection signal. In particular, the information acquisition unit 150 may acquire the history information of the gas cylinders 10 according to the detection signals of the detection sensors 154 during movement, and accordingly, the horizontal driving unit 152 may It is not necessary to stop the information obtaining unit 150 at the top of the gas cylinders 10 , and as a result, the time required for obtaining the history information of the gas cylinders 10 can be shortened.

한편, 상기 정보 획득 유닛(150)에는 상기 검출 센서들(154)에 의한 검출을 위해 상기 검출 센서들(154)에 대응하는 센서 도그(156)가 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 검출 센서들(154)로서 광 센서가 사용되는 경우 상기 정보 획득 유닛(150)에는 상기 센서 도그(154)로서 기능하는 반사판이 장착될 수 있다. 즉, 상기 검출 센서들(154)은 상기 센서 도그(156)를 검출할 수 있으며, 상기 센서 도그(156)가 검출된 위치에서 상기 정보 획득 유닛(150)은 그 아래에 위치된 가스 실린더(10)의 정보 태그(12)로부터 그 이력 정보를 획득할 수 있다.Meanwhile, the information acquisition unit 150 may be equipped with a sensor dog 156 corresponding to the detection sensors 154 for detection by the detection sensors 154 . For example, when an optical sensor is used as the detection sensors 154 , a reflector serving as the sensor dog 154 may be mounted on the information acquisition unit 150 . That is, the detection sensors 154 may detect the sensor dog 156 , and at the position where the sensor dog 156 is detected, the information acquisition unit 150 is located below the gas cylinder 10 . ) of the information tag 12 can obtain the history information.

상기와 다르게, 상기 가스 실린더들(10)에 각각 인접하도록 센서 도그들이 배치될 수도 있으며, 이 경우 상기 정보 획득 유닛(150)에는 상기 정보 획득 유닛(150)이 상기 수평 구동부(152)에 의해 이동되는 동안 상기 센서 도그들을 검출하기 위한 검출 센서가 장착될 수 있다.Unlike the above, sensor dogs may be disposed adjacent to each of the gas cylinders 10 . In this case, the information obtaining unit 150 is moved by the horizontal driving unit 152 in the information obtaining unit 150 . A detection sensor for detecting the sensor dogs may be mounted during the operation.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 수평 구동부(152)는 로드리스 실린더(rodless cylinder)를 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 수평 구동부(152)는 상기 로드리스 실린더로 압축 공기를 공급하기 위한 밸브들을 구비할 수 있으며, 상기 밸브들의 동작은 상기 제어 유닛(154)에 의해 제어될 수 있다. 상기와 같이 로드리스 실린더를 이용하는 경우 모터와 볼 스크루 등의 구동 기구와 별도의 가이드 기구 등을 이용하는 다른 경우와 비교하여 상기 수평 구동부(152)의 장착 공간을 감소시킬 수 있고 아울러 소요 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.According to embodiments of the present invention, the horizontal driving unit 152 may include a rodless cylinder. Although not shown in detail, the horizontal driving unit 152 may include valves for supplying compressed air to the rodless cylinder, and the operation of the valves may be controlled by the control unit 154 . In the case of using the rodless cylinder as described above, the mounting space of the horizontal driving unit 152 can be reduced, and the required cost can be reduced compared to other cases in which a driving mechanism such as a motor and a ball screw and a separate guide mechanism are used. There are advantages that can be

한편, 상기 정보 획득 유닛(150)에 의해 획득된 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보는 상기 제어 유닛(140)으로 전송될 수 있으며, 상기 보관 챔버(102)의 외측에는 사용자에게 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 제공하기 위한 디스플레이 유닛(160)이 배치될 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 전송된 이력 정보를 별도의 메모리 장치(미도시)에 저장하여 관리할 수 있으며 또한 상기 디스플레이 유닛(160)을 통해 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 사용자에게 제공할 수 있다.Meanwhile, the history information of the gas cylinders 10 obtained by the information obtaining unit 150 may be transmitted to the control unit 140 , and the gas cylinder is provided outside the storage chamber 102 to the user. A display unit 160 for providing history information of the players 10 may be disposed. The control unit 140 may store and manage the transmitted history information in a separate memory device (not shown), and also provide history information of the gas cylinders 10 to the user through the display unit 160 . can provide

도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 가스 실린더 보관 장치에 대한 가스 실린더의 수납 및 반출 방법을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.3 and 4 are schematic plan views for explaining a method of accommodating and unloading a gas cylinder for the gas cylinder storage apparatus shown in FIGS. 1 and 2 .

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 가스 실린더들(10)은 무인 반송 로봇과 같은 이송 장치(20)에 의해 상기 보관 챔버(102) 내에 수납되거나 상기 보관 챔버(102)로부터 반출될 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 이송 장치(20)와 무선 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 가스 실린더(10)의 수납을 위해 상기 수납 공간들(104) 중 빈 수납 공간(104)에 대한 위치 정보 또는 상기 보관 챔버(102)에 보관된 가스 실린더들(10) 중 반출하고자 하는 가스 실린더(10)의 위치 정보를 상기 이송 장치(20)로 전송할 수 있다.3 and 4 , the gas cylinders 10 may be accommodated in the storage chamber 102 or taken out from the storage chamber 102 by a transfer device 20 such as an unmanned transfer robot. The control unit 140 may be configured to be capable of wireless communication with the transport device 20 , and a position relative to an empty accommodation space 104 among the accommodation spaces 104 for accommodating the gas cylinder 10 . Information or location information of the gas cylinder 10 to be taken out among the gas cylinders 10 stored in the storage chamber 102 may be transmitted to the transfer device 20 .

상기 이송 장치(20)는 상기 제어 유닛(140)으로부터 전송된 위치 정보를 이용하여 상기 빈 수납 공간(104) 또는 상기 반출하고자 하는 가스 실린더(10)에 인접한 위치로 이동할 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 이송 장치(20)가 상기 도어(130)에 근접하는 경우 상기 도어(130)를 개방할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 복수의 도어들(130)을 구비할 수 있으며, 상기 이송 장치(20)가 근접하는 경우 상기 도어들(130) 중 상기 빈 수납 공간(104) 또는 반출하고자 하는 가스 실린더(10)에 인접하는 도어(130)를 개방할 수 있다. 도시된 바에 의하면, 두 개의 도어들(130)이 구비되고 있으나, 상기 도어들(130)의 개수는 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.The transfer device 20 may move to a position adjacent to the empty accommodation space 104 or the gas cylinder 10 to be taken out by using the position information transmitted from the control unit 140, and the control unit ( 140 may open the door 130 when the transfer device 20 approaches the door 130 . According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device 100 may include a plurality of doors 130 , and when the transport device 20 approaches the empty one of the doors 130 . The door 130 adjacent to the storage space 104 or the gas cylinder 10 to be taken out may be opened. As shown, two doors 130 are provided, but the number of the doors 130 can be changed in various ways, so the scope of the present invention will not be limited thereby.

상기와 같이 빈 수납 공간(104)에 대한 상기 가스 실린더(10)의 수납이 완료된 후 또는 상기 반출하고자 하는 가스 실린더(10)의 반출이 완료된 후 상기 제어 유닛(140)은 상기 개방된 도어(130)를 닫을 수 있다. 일 예로서, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 도어들(130)의 개폐를 위한 도어 구동부(미도시)를 구비할 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 도어 구동부의 동작을 제어할 수 있다.As described above, after the storage of the gas cylinder 10 into the empty storage space 104 is completed or after the unloading of the gas cylinder 10 to be taken out is completed, the control unit 140 controls the opened door 130 . ) can be closed. As an example, although not shown in detail, the gas cylinder storage device 100 may include a door driving unit (not shown) for opening and closing the doors 130 , and the control unit 140 may The operation of the driving unit can be controlled.

또한, 상기 제어 유닛(140)은 상기 보관 챔버(102) 내에서 상기 가스 실린더들(10)을 고정하기 위한 상기 그리퍼들(120)의 동작을 제어할 수 있다. 일 예로서, 도시된 바와 같이 상기 그리퍼들(120)은 각각 집게 형태로 구성되는 한 쌍의 그리퍼 부재들과 상기 그리퍼 부재들을 구동하기 위한 그리퍼 구동부(122)를 포함할 수 있다. 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 실린더(10)의 수납 및 반출 동작에 따라 상기 그리퍼 부재들이 개폐되도록 상기 그리퍼 구동부(122)의 동작을 제어할 수 있다.Also, the control unit 140 may control the operation of the grippers 120 for fixing the gas cylinders 10 in the storage chamber 102 . As an example, as illustrated, the grippers 120 may include a pair of gripper members each configured in the shape of a tong and a gripper driving unit 122 for driving the gripper members. The control unit 140 may control the operation of the gripper driving unit 122 so that the gripper members are opened and closed according to the receiving and unloading operations of the gas cylinder 10 .

상기와 같이 가스 실린더들(10)이 상기 보관 챔버(102) 내에 수납되면 상기 제어 유닛(140)은 상기 수평 구동부(152)를 이용하여 상기 정보 획득 유닛(150)을 수평 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 정보 획득 유닛(150)은 상기 수평 구동부(152)에 의한 이동 중에 상기 검출 센서들(154)에 의한 검출 신호에 기초하여 상기 수납된 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 획득할 수 있다.When the gas cylinders 10 are accommodated in the storage chamber 102 as described above, the control unit 140 may move the information acquisition unit 150 in the horizontal direction using the horizontal driving unit 152 , , the information acquisition unit 150 may acquire history information of the accommodated gas cylinders 10 based on a detection signal by the detection sensors 154 during movement by the horizontal driving unit 152 . .

다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 보관 챔버(102) 내부의 온도는 상기 가스 실린더들(10)로부터의 가스 누설을 방지하기 위하여 기 설정된 온도로 일정하게 유지되는 것이 바람직하다. 이를 위해 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 보관 챔버(102) 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛(170)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 온도 조절 유닛(170)은 상기 보관 챔버(102)의 내부 온도를 측정하기 위한 온도 센서와 상기 보관 챔버(102)의 내부 온도를 조절하기 위한 히터와 냉각기 등을 구비할 수 있다.Referring back to FIGS. 1 and 2 , the temperature inside the storage chamber 102 is preferably maintained at a preset temperature to prevent gas leakage from the gas cylinders 10 . To this end, the gas cylinder storage device 100 may include a temperature control unit 170 for maintaining the internal temperature of the storage chamber 102 at a preset temperature. Although not shown in detail, the temperature control unit 170 may include a temperature sensor for measuring the internal temperature of the storage chamber 102 and a heater and a cooler for controlling the internal temperature of the storage chamber 102 . can

아울러, 상기 보관 챔버(102)의 내부는 외부로부터 밀폐되는 것이 바람직하며, 이를 위해 도시되지는 않았으나 상기 도어들(130) 사이 그리고 상기 보관 챔버(102)와 상기 도어들(130) 사이에는 가스 누설을 방지하기 위한 밀봉 부재(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버(102)의 내부는 상기 가스 실린더들(10)로부터 가스가 누설되는 경우 상기 누설된 가스가 외부로 확산되지 않도록 항시 대기압보다 낮은 음압 상태로 유지되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the inside of the storage chamber 102 is sealed from the outside, and for this purpose, although not shown, a gas leak between the doors 130 and between the storage chamber 102 and the doors 130 . A sealing member (not shown) may be provided to prevent . In addition, according to an embodiment of the present invention, the inside of the storage chamber 102 is always in a negative pressure state lower than atmospheric pressure so that when gas leaks from the gas cylinders 10 , the leaked gas does not spread to the outside. It is desirable to keep

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(100)는 상기 보관 챔버(102) 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛(180)을 포함할 수 있다. 상기 압력 조절 유닛(180)은 가스 누설을 방지하기 위하여 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력을 대기압보다 낮은 음압, 특히 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력을 외부 압력보다 낮게 유지할 수 있다. 일 예로서, 상기 보관 챔버(102)의 상부에는 팬 필터 유닛이 배치될 수 있으며, 상기 가스 실린더들(10)로부터 가스가 누설되는 경우 상기 누설된 가스는 상기 팬 필터 유닛에 의해 제거될 수 있다. 이 경우, 상기 팬 필터 유닛은 가스 정제를 위한 가스 스크러버 등의 장치와 연결될 수 있다. 그러나, 본 발명의 범위가 상기 팬 필터 유닛에 의해 한정되지는 않으며 다양한 변형이 가능하다. 상기와 다른 예로서, 상기 보관 챔버(102)는 상기 진공 펌프, 진공 이젝터 등의 진공 제공부와 연결될 수도 있으며, 상기 진공 제공부에 의해 배출되는 공기와 가스 등은 상기 가스 스크러버를 통해 정제된 후 외부로 배출될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device 100 may include a pressure adjusting unit 180 for maintaining the pressure inside the storage chamber 102 at a preset pressure. The pressure control unit 180 may maintain the internal pressure of the storage chamber 102 at a negative pressure lower than atmospheric pressure, in particular, the internal pressure of the storage chamber 102 lower than the external pressure in order to prevent gas leakage. As an example, a fan filter unit may be disposed above the storage chamber 102 , and when gas leaks from the gas cylinders 10 , the leaked gas may be removed by the fan filter unit. . In this case, the fan filter unit may be connected to a device such as a gas scrubber for gas purification. However, the scope of the present invention is not limited by the fan filter unit and various modifications are possible. As another example from the above, the storage chamber 102 may be connected to a vacuum providing unit such as the vacuum pump and vacuum ejector, and after the air and gas discharged by the vacuum providing unit are purified through the gas scrubber can be discharged outside.

상기 제어 유닛(140)은 상기 보관 챔버(102) 내부의 압력이 기 설정된 압력으로 유지되도록 상기 압력 조절 유닛(180)의 동작을 제어할 수 있다. 특히, 상기 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어(130)가 개방되는 경우에도 상기 보관 챔버(102)의 외측에서 내측으로 기류가 형성되도록 상기 압력 조절 유닛(180)의 동작을 제어할 수 있으며 이를 통해 상기 가스 실린더(10)의 수납 또는 반출 과정에서 혹시라도 있을 수 있는 가스 유출 사고를 방지할 수 있다.The control unit 140 may control the operation of the pressure adjusting unit 180 so that the pressure inside the storage chamber 102 is maintained at a preset pressure. In particular, the operation of the pressure regulating unit 180 is controlled so that an airflow is formed from the outside to the inside of the storage chamber 102 even when the door 130 is opened to accommodate or take out the gas cylinder 10 . In this way, it is possible to prevent a gas leakage accident that may occur in the process of receiving or taking out the gas cylinder 10 .

또한, 상기 보관 챔버(102) 내부에는 가스 누설을 감지하기 위한 가스 센서(190)가 배치될 수 있으며, 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 센서(190)의 출력 신호에 따라 가스 누설 여부를 판단하고 상기 가스 실린더(10)로부터 가스가 누설되는 경우 사용자에게 이를 알리는 경보 신호를 발생시킬 수 있다. 또한, 상기 압력 조절 유닛(180)을 통해 상기 누설된 가스를 배출할 수 있으며, 상기 보관 챔버(102) 내부에 누설된 가스가 모두 제거되기 전까지 상기 도어(130)가 개방되지 않도록 상기 도어 구동부의 동작을 제어할 수 있다.In addition, a gas sensor 190 for detecting a gas leak may be disposed inside the storage chamber 102 , and the control unit 140 determines whether gas leaks according to an output signal of the gas sensor 190 . And when gas leaks from the gas cylinder 10, an alarm signal notifying the user may be generated. In addition, the leaked gas may be discharged through the pressure control unit 180 , and the door driving unit may prevent the door 130 from being opened until all the leaked gas inside the storage chamber 102 is removed. You can control the action.

추가적으로, 상기 보관 챔버(102) 내부의 상기 누설된 가스가 충분히 제거되고 안전이 확보된 후 상기 제어 유닛(140)은 상기 경보 신호의 중지와 함께 상기 디스플레이 유닛(160) 등을 통해 누설된 가스의 제거 상태를 사용자에게 알릴 수 있다. 특히, 여러 종류의 가스들을 검출할 수 있도록 복수의 가스 센서들(190)을 상기 보관 챔버(102) 내에 배치할 수 있으며, 가스 누설이 발생되는 경우 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 센서들(190)에 의해 검출된 상기 누설된 가스의 종류, 상기 보관 챔버(102) 내부의 가스 농도, 상기 보관 챔버(102)의 내부 압력, 상기 누설된 가스의 제거 상태 등을 상기 디스플레이 유닛(160)을 통해 사용자에게 알릴 수 있다. 특히, 누설된 가스의 무게에 따라 공기보다 무거운 가스와 공기보다 가벼운 가스를 모두 검출하기 위하여 상기 보관 챔버(102)의 바닥과 천장 부위에 각각 가스 센서들(190)이 배치될 수도 있다.Additionally, after the leaked gas inside the storage chamber 102 is sufficiently removed and safety is secured, the control unit 140 stops the alarm signal and controls the gas leaked through the display unit 160 and the like. You can notify the user of the removal status. In particular, a plurality of gas sensors 190 may be disposed in the storage chamber 102 to detect various types of gases, and when a gas leak occurs, the control unit 140 controls the gas sensors ( 190), the type of the leaked gas, the gas concentration inside the storage chamber 102, the internal pressure of the storage chamber 102, the state of removal of the leaked gas, etc. are displayed on the display unit 160 can be notified to the user. In particular, gas sensors 190 may be respectively disposed on the floor and ceiling of the storage chamber 102 to detect both gas heavier than air and gas lighter than air according to the weight of the leaked gas.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더들(10)은 상기 이송 장치(20)에 의해 상기 보관 챔버(102) 내부에 수납되거나 상기 보관 챔버(102)로부터 반출될 수 있다. 상기 정보 획득 유닛(150)은 상기 가스 실린더들(10)에 부착된 정보 태그들(12)로부터 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보를 획득할 수 있으며, 상기 획득된 이력 정보는 상기 제어 유닛(140)에 의해 관리될 수 있다. 또한, 상기 제어 유닛(140)은 상기 가스 실린더들(10)의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어(130) 및 상기 그리퍼들(120)을 개폐할 수 있으며 아울러 상기 도어(130)가 개방되는 경우에도 상기 보관 챔버(102) 내부의 압력을 일정하게 유지하기 위해 상기 압력 조절 유닛(180)의 동작을 제어할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the gas cylinders 10 may be accommodated in the storage chamber 102 or taken out from the storage chamber 102 by the transfer device 20 . . The information acquisition unit 150 may acquire history information of the gas cylinders 10 from the information tags 12 attached to the gas cylinders 10 , and the acquired history information is stored in the control unit may be managed by (140). In addition, the control unit 140 may open and close the door 130 and the grippers 120 to accommodate or take out the gas cylinders 10 , and even when the door 130 is opened. An operation of the pressure adjusting unit 180 may be controlled to maintain a constant pressure inside the storage chamber 102 .

상기와 같이 상기 가스 실린더들(10)의 보관 및 관리가 상기 가스 실린더 보관 장치(100)에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들(10)의 취급 과정에서 발생될 수 있는 안전 사고가 크게 감소될 수 있다. 특히, 상기 가스 실린더들(10)의 이력 정보 획득 및 관리가 상기 정보 획득 유닛(150) 및 제어 유닛(140)에 의해 자동화될 수 있으며 이에 따라 상기 가스 실린더들(10)의 이력 관리에 소요되는 시간과 비용이 크게 절감될 수 있다.As described above, the storage and management of the gas cylinders 10 can be automated by the gas cylinder storage device 100 , and accordingly, a safety accident that may occur in the process of handling the gas cylinders 10 is greatly increased. can be reduced. In particular, acquisition and management of the history information of the gas cylinders 10 may be automated by the information acquisition unit 150 and the control unit 140 , and accordingly, Time and cost can be greatly saved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 가스 실린더 12 : 정보 태그
20 : 이송 장치 100 : 가스 실린더 보관 장치
102 : 보관 챔버 104 : 수납 공간
110 : 서포트 부재 120 : 그리퍼
130 : 도어 140 : 제어 유닛
150 : 정보 획득 유닛 152 : 수평 구동부
154 : 검출 센서 160 : 디스플레이 유닛
170 : 온도 조절 유닛 180 : 압력 조절 유닛
190 : 가스 센서10 : gas cylinder 12 : information tag
20: transport device 100: gas cylinder storage device
102: storage chamber 104: storage space
110: support member 120: gripper
130: door 140: control unit
150: information acquisition unit 152: horizontal driving unit
154: detection sensor 160: display unit
170: temperature control unit 180: pressure control unit
190: gas sensor

Claims (12)

가스 실린더들의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버;
상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 지지하기 위한 서포트 부재들;
상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더들을 고정하기 위한 그리퍼들;
상기 가스 실린더들에 각각 부착된 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더들의 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛; 및
상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.a storage chamber having an interior space for storage of gas cylinders;
support members disposed within the storage chamber for supporting the gas cylinders;
grippers disposed within the storage chamber for holding the gas cylinders;
an information acquiring unit for acquiring history information of the gas cylinders from information tags respectively attached to the gas cylinders; and
and a horizontal driving unit for moving the information obtaining unit in a horizontal direction so that the information obtaining unit is adjacent to the information tags. 제1항에 있어서, 상기 가스 실린더들에 각각 인접하도록 배치되며 상기 수평 구동부에 의해 이동되는 상기 정보 획득 유닛을 검출하기 위한 검출 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The gas cylinder storage apparatus according to claim 1, further comprising detection sensors arranged adjacent to each of the gas cylinders and configured to detect the information acquisition unit moved by the horizontal drive unit. 제2항에 있어서, 상기 수평 구동부는 상기 정보 획득 유닛이 상기 정보 태그들에 인접하는 위치들을 경유하여 이동하도록 상기 정보 획득 유닛을 수평 방향으로 이동시키고,
상기 정보 획득 유닛은 상기 수평 방향으로 이동하면서 상기 검출 센서들의 검출 신호에 따라 상기 위치들에서 상기 정보 태그들로부터 상기 가스 실린더의 이력 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The method according to claim 2, wherein the horizontal driving unit moves the information obtaining unit in a horizontal direction so that the information obtaining unit moves via positions adjacent to the information tags,
and the information acquiring unit acquires the history information of the gas cylinder from the information tags at the positions according to the detection signals of the detection sensors while moving in the horizontal direction. 제2항에 있어서, 상기 정보 획득 유닛에 장착되며 상기 검출 센서들에 대응하는 센서 도그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.3. The gas cylinder storage apparatus according to claim 2, further comprising a sensor dog mounted on the information acquisition unit and corresponding to the detection sensors. 제1항에 있어서, 상기 가스 실린더들에 각각 인접하도록 배치되는 센서 도그들과,
상기 정보 획득 유닛에 장착되며 상기 정보 획득 유닛이 상기 수평 구동부에 의해 이동되는 동안 상기 센서 도그들을 검출하기 위한 검출 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The method according to claim 1, further comprising: sensor dogs disposed adjacent to each of the gas cylinders;
and a detection sensor mounted on the information acquisition unit and configured to detect the sensor dogs while the information acquisition unit is moved by the horizontal drive unit. 제1항에 있어서, 상기 정보 태그들은 각각 바코드 또는 QR 코드를 포함하며, 상기 정보 획득 유닛은 바코드 리더기 또는 QR 코드 리더기를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The gas cylinder storage device according to claim 1, wherein the information tags each include a barcode or a QR code, and the information obtaining unit includes a barcode reader or a QR code reader. 제1항에 있어서, 상기 수평 구동부는 로드리스 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The gas cylinder storage device of claim 1, wherein the horizontal drive comprises a rodless cylinder. 제1항에 있어서, 상기 보관 챔버의 일측에 구비되며 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 적어도 하나의 도어와,
상기 가스 실린더들의 이송을 위한 이송 장치와 통신이 가능하도록 구성되며 상기 이송 장치가 상기 도어에 근접하는 경우 상기 도어의 개폐를 제어하기 위한 제어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The method of claim 1, further comprising: at least one door provided on one side of the storage chamber to open and close the inner space
The gas cylinder storage device according to claim 1, further comprising a control unit configured to be in communication with a transport device for transporting the gas cylinders and for controlling opening and closing of the door when the transport device approaches the door. 제8항에 있어서, 상기 보관 챔버의 내부 공간은 상기 서포트 부재들이 각각 구비되는 복수의 수납 공간들을 포함하며,
상기 제어 유닛은 가스 실린더의 수납을 위해 상기 수납 공간들 중 빈 수납 공간에 대한 위치 정보 또는 상기 보관 챔버에 보관된 가스 실린더들 중 반출하고자 하는 가스 실린더의 위치 정보를 상기 이송 장치로 전송하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The method of claim 8, wherein the internal space of the storage chamber comprises a plurality of storage spaces in which the support members are respectively provided,
The control unit transmits, to the transfer device, location information on an empty accommodation space among the storage spaces or location information of a gas cylinder to be taken out among the gas cylinders stored in the storage chamber to accommodate the gas cylinder. gas cylinder storage device. 제1항에 있어서, 상기 보관 챔버 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The gas cylinder storage apparatus according to claim 1, further comprising a pressure regulating unit for maintaining the pressure inside the storage chamber at a preset pressure. 제1항에 있어서, 상기 보관 챔버 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The gas cylinder storage apparatus according to claim 1, further comprising a temperature control unit for maintaining a temperature inside the storage chamber at a preset temperature. 제1항에 있어서, 상기 보관 챔버 내에 배치되며 상기 가스 실린더로부터 누설된 가스를 검출하기 위한 가스 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 보관 장치.The gas cylinder storage apparatus of claim 1, further comprising a gas sensor disposed within the storage chamber and configured to detect gas leaking from the gas cylinder.
KR1020190158442A 2019-12-02 2019-12-02 Apparatus for storing gas cylinders KR102326014B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190158442A KR102326014B1 (en) 2019-12-02 2019-12-02 Apparatus for storing gas cylinders

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190158442A KR102326014B1 (en) 2019-12-02 2019-12-02 Apparatus for storing gas cylinders

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210068883A true KR20210068883A (en) 2021-06-10
KR102326014B1 KR102326014B1 (en) 2021-11-15

Family

ID=76378110

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190158442A KR102326014B1 (en) 2019-12-02 2019-12-02 Apparatus for storing gas cylinders

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102326014B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102414546B1 (en) * 2022-03-22 2022-06-30 주식회사 엔이아이디 Holder for fixing storage container containing raw material used in semiconductor manufacturing process

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130068059A (en) * 2011-12-15 2013-06-25 주식회사 플로웰 Block type gas cabinet for process of manufacturing semiconductors
KR20130086891A (en) * 2012-01-26 2013-08-05 한미아이티 주식회사 System for scanning of shelf
KR20150038716A (en) * 2006-07-10 2015-04-08 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 Systems and methods for managing material storage vessels having information storage elements
KR20150116194A (en) * 2014-04-07 2015-10-15 서강래 Gas cylinder information providing system using short range wireless communication for manufacturing semiconductor device
KR20170039861A (en) * 2015-10-02 2017-04-12 김영준 Gas Bottle Management Information Providing System for Manufacturing Semiconductor Device
KR200488021Y1 (en) * 2018-09-18 2018-12-04 최용태 Monitoring and control system of Gas cabinet apparatus for semiconductor manufacturing
KR20190071461A (en) * 2017-12-14 2019-06-24 주식회사 쏠락 Fixing apparatus for gas container

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150038716A (en) * 2006-07-10 2015-04-08 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 Systems and methods for managing material storage vessels having information storage elements
KR20130068059A (en) * 2011-12-15 2013-06-25 주식회사 플로웰 Block type gas cabinet for process of manufacturing semiconductors
KR20130086891A (en) * 2012-01-26 2013-08-05 한미아이티 주식회사 System for scanning of shelf
KR20150116194A (en) * 2014-04-07 2015-10-15 서강래 Gas cylinder information providing system using short range wireless communication for manufacturing semiconductor device
KR20170039861A (en) * 2015-10-02 2017-04-12 김영준 Gas Bottle Management Information Providing System for Manufacturing Semiconductor Device
KR20190071461A (en) * 2017-12-14 2019-06-24 주식회사 쏠락 Fixing apparatus for gas container
KR200488021Y1 (en) * 2018-09-18 2018-12-04 최용태 Monitoring and control system of Gas cabinet apparatus for semiconductor manufacturing

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102414546B1 (en) * 2022-03-22 2022-06-30 주식회사 엔이아이디 Holder for fixing storage container containing raw material used in semiconductor manufacturing process

Also Published As

Publication number Publication date
KR102326014B1 (en) 2021-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102606604B1 (en) Gas cylinder transfer apparatus and gas cylinder logistics system including the same
JP6451453B2 (en) GAS PURGE DEVICE, LOAD PORT DEVICE, PURGE CONTAINER CONTAINER STAND, AND GAS PURGE METHOD
US11282725B2 (en) Wafer transfer unit and wafer transfer system
KR102205503B1 (en) Storage System and Storage Method
KR102326015B1 (en) Apparatus for storing gas cylinders
KR102300629B1 (en) Apparatus for storing gas cylinders
KR102101303B1 (en) Apparatus for sampling chemical
ITMI20081469A1 (en) "LOADING AND UNLOADING OF BIOLOGICAL MATERIAL CONTAINERS IN AN AUTOMATION SYSTEM"
US11597607B2 (en) Automated material handling system having carrier pollution management function
US10766652B2 (en) Carrier element and packaging device for packaging at least one product into at least one package
EP3265829B1 (en) Pipettor system
JP2020096118A (en) Transport error detection system and transport error detection method
KR102326014B1 (en) Apparatus for storing gas cylinders
KR102135264B1 (en) A control system for supplying unalive gas in semiconductor manufacturing process and method using the same
KR20220013840A (en) Gas cylinder transfer apparatus and gas cylinder logistics system including the same
CN106716598B (en) Container storage device
US20240085807A1 (en) Reticle storage pod and method for securing reticle
KR20240062270A (en) Control apparatus and logistics system including the same
KR20220013838A (en) Apparatus for storing gas cylinders
KR102538656B1 (en) Sealing member exchange type gate valve system, sealing plate and magazine for sealing plate
JP2023505572A (en) Laboratory storage cabinet with rotating body in transport airlock
KR102590268B1 (en) Substrate processing apparatus and method
CN113345823B (en) Automatic conveying system with pollution management function in carrier
US20230249350A1 (en) Automated gas supply system
TW202330376A (en) Automated gas supply system

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant