KR102606604B1 - Gas cylinder transfer apparatus and gas cylinder logistics system including the same - Google Patents

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Abstract

가스 실린더 이송 장치와 이를 포함하는 가스 실린더 물류 시스템이 개시된다. 상기 가스 실린더 물류 시스템은, 가스 실린더의 이송을 위한 이송 차량 및 상기 이송 차량의 상부에 배치되는 이송 로봇을 포함하는 가스 실린더 이송 장치와, 상기 가스 실린더 이송 장치에 의해 이송된 상기 가스 실린더를 보관하기 위한 가스 실린더 보관 장치를 포함한다. 상기 이송 로봇은, 상기 가스 실린더의 하부면 부위를 지지하기 위한 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드를 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 핸드 구동부를 포함한다.A gas cylinder transfer device and a gas cylinder logistics system including the same are disclosed. The gas cylinder logistics system includes a gas cylinder transfer device including a transfer vehicle for transporting gas cylinders and a transfer robot disposed on top of the transfer vehicle, and storing the gas cylinders transferred by the gas cylinder transfer device. Includes a gas cylinder storage device for: The transfer robot includes a robot hand for supporting a lower surface of the gas cylinder, and a hand drive unit for moving the robot hand in horizontal and vertical directions.

Description

가스 실린더 이송 장치 및 이를 포함하는 가스 실린더 물류 시스템{Gas cylinder transfer apparatus and gas cylinder logistics system including the same}Gas cylinder transfer apparatus and gas cylinder logistics system including the same}

본 발명의 실시예들은 가스 실린더 이송 장치와 이를 포함하는 가스 실린더 물류 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 공정 가스의 공급을 위한 가스 실린더를 이송하기 위한 장치와 이를 포함하는 가스 실린더 물류 시스템에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a gas cylinder transfer device and a gas cylinder logistics system including the same. More specifically, it relates to a device for transporting a gas cylinder for supplying process gas in a semiconductor device manufacturing process and a gas cylinder logistics system including the same.

일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정을 통해 개별화될 수 있으며 다이 본딩 공정과 패키징 공정을 통해 반도체 패키지들로서 제조될 수 있다.Generally, semiconductor devices can be formed on a silicon wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing a series of manufacturing processes. Semiconductor devices formed as described above can be individualized through a dicing process and manufactured as semiconductor packages through a die bonding process and packaging process.

상기 반도체 소자들의 제조를 위한 제조 공정들에는 다양한 종류의 공정 가스들이 공급될 수 있다. 상기 공정 가스들은 실린더 형태의 저장 용기들에 저장된 상태로 각 공정 설비들에 공급될 수 있으며, 상기 공정 가스들의 저장을 위한 가스 실린더들은 별도의 보관 장치를 통해 보관 및 관리될 수 있다. 그러나, 상기 가스 실린더들의 이송 및 보관을 위한 자동화가 충분하지 않음에 따라 작업자에 의한 수작업으로 상기 가스 실린더들의 이송 및 보관이 이루어지고 있다. 따라서, 상기 가스 실린더들을 이송하는 동안 사고 발생 가능성이 있으므로 이에 대한 대응 방안이 요구되고 있다.Various types of process gases may be supplied to manufacturing processes for manufacturing the semiconductor devices. The process gases can be stored in cylinder-shaped storage containers and supplied to each process facility, and the gas cylinders for storing the process gases can be stored and managed through a separate storage device. However, as automation for transport and storage of the gas cylinders is not sufficient, the transport and storage of the gas cylinders is performed manually by workers. Therefore, since there is a possibility that an accident may occur while transporting the gas cylinders, a response plan is required.

본 발명의 실시예들은 가스 실린더의 이송을 위한 가스 실린더 이송 장치와 이를 포함하는 가스 실린더 물류 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.The purpose of embodiments of the present invention is to provide a gas cylinder transport device for transporting gas cylinders and a gas cylinder logistics system including the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 가스 실린더 이송 장치는, 가스 실린더의 이송을 위한 이송 차량과, 상기 이송 차량의 상부에 배치되는 이송 로봇을 포함하며, 상기 이송 로봇은, 상기 가스 실린더의 하부면 부위를 지지하기 위한 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드를 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 핸드 구동부를 포함할 수 있다.A gas cylinder transfer device according to an aspect of the present invention for achieving the above object includes a transfer vehicle for transporting gas cylinders, and a transfer robot disposed on an upper part of the transfer vehicle, wherein the transfer robot includes the gas cylinder. It may include a robot hand for supporting the lower surface of the cylinder, and a hand drive unit for moving the robot hand in horizontal and vertical directions.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 핸드 구동부는, 상기 로봇 핸드를 상기 이송 차량의 전후 방향으로 이동시키기 위한 제1 수평 구동부와, 상기 로봇 핸드를 상기 이송 차량의 좌우 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부와, 상기 로봇 핸드를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the hand drive unit includes a first horizontal drive unit for moving the robot hand in the front and rear directions of the transfer vehicle, and a second horizontal drive unit for moving the robot hand in the left and right directions of the transfer vehicle. 2 It may include a horizontal driving part and a vertical driving part for moving the robot hand in the vertical direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 핸드 구동부는, 상기 가스 실린더가 상기 로봇 핸드 상에 지지된 후 상기 가스 실린더의 상부가 후방으로 기울어지도록 상기 로봇 핸드의 기울기를 조절하는 틸트 구동부를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the hand drive unit may include a tilt drive unit that adjusts the tilt of the robot hand so that the upper part of the gas cylinder is tilted backward after the gas cylinder is supported on the robot hand. You can.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은 상기 로봇 핸드 상에 지지된 상기 가스 실린더의 양측 부위들을 파지하기 위한 그리퍼 유닛을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer robot may further include a gripper unit for gripping both sides of the gas cylinder supported on the robot hand.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 로봇 핸드는, 상기 이송 차량의 전후 방향으로 연장하며 상기 가스 실린더의 하부면 부위를 지지하기 위한 서포트 부재와, 상기 서포트 부재의 후방 부위로부터 상기 서포트 부재에 대하여 수직 방향으로 연장하는 핸드 브래킷을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the robot hand includes a support member extending in the front and rear direction of the transport vehicle and supporting a lower surface of the gas cylinder, and a support member from a rear portion of the support member to the support member. It may include a hand bracket extending in a vertical direction.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 그리퍼 유닛은 상기 핸드 브래킷에 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the gripper unit may be mounted on the hand bracket.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치는, 상기 로봇 핸드에 장착되며 상기 가스 실린더가 놓여지는 스테이지를 검출하기 위한 카메라 유닛을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the gas cylinder transfer device is mounted on the robot hand and may further include a camera unit for detecting a stage on which the gas cylinder is placed.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치는, 상기 로봇 핸드에 장착되며 상기 가스 실린더가 놓여지는 스테이지와의 거리를 측정하기 위한 거리 센서를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the gas cylinder transfer device is mounted on the robot hand and may further include a distance sensor for measuring the distance from the stage on which the gas cylinder is placed.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 가스 실린더 물류 시스템은, 가스 실린더의 이송을 위한 이송 차량 및 상기 이송 차량의 상부에 배치되는 이송 로봇을 포함하는 가스 실린더 이송 장치와, 상기 가스 실린더 이송 장치에 의해 이송된 상기 가스 실린더를 보관하기 위한 가스 실린더 보관 장치를 포함할 수 있다. 이때, 상기 이송 로봇은, 상기 가스 실린더의 하부면 부위를 지지하기 위한 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드를 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 핸드 구동부를 포함할 수 있다.A gas cylinder logistics system according to another aspect of the present invention for achieving the above object includes a gas cylinder transfer device including a transfer vehicle for transporting gas cylinders and a transfer robot disposed on top of the transfer vehicle, and the gas cylinder It may include a gas cylinder storage device for storing the gas cylinder transferred by the transfer device. At this time, the transfer robot may include a robot hand for supporting the lower surface of the gas cylinder, and a hand drive unit for moving the robot hand in horizontal and vertical directions.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치는 상기 가스 실린더를 지지하기 위한 스테이지를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the gas cylinder storage device may include a stage for supporting the gas cylinder.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 로봇 핸드는, 상기 이송 차량의 전후 방향으로 연장하며 상기 가스 실린더의 하부면 부위를 지지하기 위한 서포트 부재를 포함하고, 상기 스테이지는, 상기 가스 실린더의 하부면 양측 부위들을 지지하기 위한 서포트 블록들을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the robot hand extends in the front and rear directions of the transport vehicle and includes a support member for supporting a lower surface portion of the gas cylinder, and the stage includes a lower surface of the gas cylinder. It may include support blocks to support parts on both sides.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치는, 상기 로봇 핸드에 장착되며 상기 서포트 블록들을 검출하기 위한 카메라 유닛을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the gas cylinder transfer device is mounted on the robot hand and may further include a camera unit for detecting the support blocks.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 서포트 블록들의 전방 부위들에는 상기 로봇 핸드와 상기 서포트 블록들 사이의 정렬을 위한 정렬 마크들이 각각 부착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, alignment marks for alignment between the robot hand and the support blocks may be attached to front portions of the support blocks, respectively.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 스테이지의 전방 부위에는 상기 스테이지의 정보가 저장된 인식 코드가 부착되며, 상기 로봇 핸드에는 상기 인식 코드를 리딩하기 위한 코드 리더기가 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, a recognition code storing information about the stage is attached to the front portion of the stage, and a code reader for reading the recognition code may be mounted on the robot hand.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 서포트 블록들의 전방 부위들에는 상기 스테이지의 정보가 저장된 큐알 코드들이 각각 부착되며, 상기 로봇 핸드에는 상기 큐알 코드들을 리딩하기 위한 카메라 유닛이 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, QR codes storing information about the stage are attached to front portions of the support blocks, respectively, and a camera unit for reading the QR codes may be mounted on the robot hand.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치는, 상기 로봇 핸드에 장착되며 상기 서포트 블록들과의 거리를 각각 측정하기 위한 거리 센서들을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the gas cylinder transfer device is mounted on the robot hand and may further include distance sensors for measuring distances to the support blocks, respectively.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치는, 상기 로봇 핸드에 장착되며 상기 서포트 부재의 기울기를 측정하기 위한 기울기 센서를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the gas cylinder transfer device is mounted on the robot hand and may further include a tilt sensor for measuring the tilt of the support member.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 핸드 구동부는, 상기 로봇 핸드를 상기 이송 차량의 전후 방향으로 이동시키기 위한 제1 수평 구동부와, 상기 제1 수평 구동부에 장착되며 상기 로봇 핸드를 상기 이송 차량의 좌우 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부와, 상기 제2 수평 구동부에 장착되며 상기 로봇 핸드를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 수직 구동부에 장착되며 상기 가스 실린더가 상기 로봇 핸드 상에 지지된 후 상기 가스 실린더의 상부가 후방으로 기울어지도록 상기 로봇 핸드의 기울기를 조절하는 틸트 구동부를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the hand drive unit includes a first horizontal drive unit for moving the robot hand in the front and rear direction of the transfer vehicle, and is mounted on the first horizontal drive unit and moves the robot hand to the transfer vehicle. a second horizontal drive unit for moving the robot hand in the left and right directions, a vertical drive unit mounted on the second horizontal drive unit and for moving the robot hand in the vertical direction, and a gas cylinder mounted on the vertical drive unit and on the robot hand. It may include a tilt driver that adjusts the tilt of the robot hand so that the upper part of the gas cylinder is tilted backward after being supported.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치는, 상기 로봇 핸드 상에 지지된 상기 가스 실린더의 양측 부위들을 파지하기 위한 그리퍼 유닛을 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the gas cylinder transfer device may further include a gripper unit for gripping both sides of the gas cylinder supported on the robot hand.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따른 가스 실린더 물류 시스템은, 가스 실린더의 이송을 위한 이송 차량 및 상기 이송 차량의 상부에 배치되는 이송 로봇을 포함하는 가스 실린더 이송 장치와, 상기 가스 실린더 이송 장치에 의해 이송된 상기 가스 실린더를 보관하기 위한 가스 실린더 보관 장치를 포함할 수 있다. 이때, 상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 가스 실린더를 지지하기 위한 스테이지를 포함하고, 상기 이송 로봇은, 상기 가스 실린더의 하부면 부위를 지지하기 위한 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드를 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 핸드 구동부와, 상기 로봇 핸드에 장착되며 상기 스테이지를 검출하기 위한 카메라 유닛을 포함할 수 있다.A gas cylinder logistics system according to another aspect of the present invention for achieving the above object includes a gas cylinder transfer device including a transfer vehicle for transporting gas cylinders and a transfer robot disposed on top of the transfer vehicle, and the gas cylinder transport system. It may include a gas cylinder storage device for storing the gas cylinder transferred by the cylinder transfer device. At this time, the gas cylinder storage device includes a stage for supporting the gas cylinder, and the transfer robot includes a robot hand for supporting the lower surface of the gas cylinder, and the robot hand in horizontal and vertical directions. It may include a hand drive unit for movement, and a camera unit mounted on the robot hand to detect the stage.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치는 상기 이송 차량과 이송 로봇을 이용하여 상기 가스 실린더를 이송할 수 있으며 상기 가스 실린더 보관 장치는 상기 가스 실린더 이송 장치에 의해 이송된 상기 가스 실린더를 보관할 수 있다. 상기와 같이 상기 가스 실린더의 이송 및 보관이 상기 가스 실린더 이송 장치와 상기 가스 실린더 보관 장치에 의해 자동화될 수 있으므로 상기 가스 실린더의 이송 및 보관 과정에서 발생될 수 있는 사고가 크게 감소될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the gas cylinder transfer device can transfer the gas cylinder using the transfer vehicle and the transfer robot, and the gas cylinder storage device can be transferred by the gas cylinder transfer device. The gas cylinder can be stored. As described above, since the transport and storage of the gas cylinder can be automated by the gas cylinder transport device and the gas cylinder storage device, accidents that may occur during the transport and storage process of the gas cylinder can be greatly reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 이송 장치와 이를 포함하는 가스 실린더 물류 시스템을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 2에 도시된 이송 로봇의 동작을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.
도 7은 도 1에 도시된 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 8은 도 2에 도시된 로봇 핸드의 서포트 부재와 도 7에 도시된 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 확대 평면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 로봇 핸드의 서포트 부재와 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 확대 측면도이다.1 is a schematic side view illustrating a gas cylinder transfer device and a gas cylinder logistics system including the same according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view for explaining the transfer robot shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a schematic plan view for explaining the transfer robot shown in FIG. 1.
Figures 4 to 6 are schematic side views for explaining the operation of the transfer robot shown in Figure 2.
FIG. 7 is a schematic front view for explaining the gas cylinder storage device shown in FIG. 1.
FIG. 8 is a schematic enlarged plan view for explaining the support member of the robot hand shown in FIG. 2 and the stage shown in FIG. 7.
FIG. 9 is a schematic enlarged side view for explaining the support member and stage of the robot hand shown in FIG. 8.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention does not have to be configured as limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are not provided to fully complete the present invention, but rather are provided to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when one element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed between them. It could be. Alternatively, if one element is described as being placed directly on or connected to another element, there cannot be another element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or parts, but the items are not limited by these terms. won't

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.Technical terms used in the embodiments of the present invention are merely used for the purpose of describing specific embodiments and are not intended to limit the present invention. Additionally, unless otherwise limited, all terms, including technical and scientific terms, have the same meaning that can be understood by a person skilled in the art. The above terms, as defined in common dictionaries, will be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the invention, and unless explicitly defined, ideally or excessively by superficial intuition. It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the invention. Accordingly, changes from the shapes of the illustrations, for example changes in manufacturing methods and/or tolerances, are fully to be expected. Accordingly, the embodiments of the present invention are not intended to be described as limited to the specific shapes of the regions illustrated but are intended to include deviations in the shapes, and the elements depicted in the drawings are entirely schematic and represent their shapes. is not intended to describe the exact shape of the elements nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 이송 장치와 이를 포함하는 가스 실린더 물류 시스템을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.1 is a schematic side view illustrating a gas cylinder transfer device and a gas cylinder logistics system including the same according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 이송 장치(100)는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 공정 가스의 공급을 위해 사용되는 가스 실린더(20)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 실린더 물류 시스템(10)은 상기 가스 실린더 이송 장치(100)와 상기 가스 실린더(20)의 보관을 위한 가스 실린더 보관 장치(200)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a gas cylinder transfer device 100 according to an embodiment of the present invention can be used to transfer a gas cylinder 20 used to supply process gas in the manufacturing process of a semiconductor device or display device. there is. Additionally, the gas cylinder logistics system 10 according to an embodiment of the present invention may include the gas cylinder transfer device 100 and a gas cylinder storage device 200 for storing the gas cylinder 20.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치(100)는, 상기 가스 실린더(10)의 이송을 위한 이송 차량(102)과 상기 이송 차량(102)의 상부에 배치되는 이송 로봇(110)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 이송 로봇(110)은, 상기 가스 실린더(20)의 하부면 부위를 지지하기 위한 로봇 핸드(112)와 상기 로봇 핸드(112)를 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 핸드 구동부(120)를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the gas cylinder transfer device 100 includes a transfer vehicle 102 for transferring the gas cylinder 10 and a transfer robot 110 disposed on the upper part of the transfer vehicle 102. ) may include. In particular, the transfer robot 110 includes a robot hand 112 for supporting the lower surface of the gas cylinder 20 and a hand drive unit 120 for moving the robot hand 112 in the horizontal and vertical directions. may include.

도 2는 도 1에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.FIG. 2 is a schematic side view for explaining the transfer robot shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic plan view for explaining the transfer robot shown in FIG. 1.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 로봇 핸드(112)는, 상기 이송 차량(102)의 전후 방향, 예를 들면, X축 방향으로 연장하며 상기 가스 실린더(20)의 하부면 부위를 지지하기 위한 서포트 부재(114)와, 상기 서포트 부재(114)의 후방 부위로부터 상기 서포트 부재(114)에 대하여 수직 방향으로 연장하는 핸드 브래킷(116)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 서포트 부재(114)의 전방 및 후방 부위들 상에는 상기 가스 실린더(20)를 지지하기 위한 서포트 패드들(118)이 각각 배치될 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3, the robot hand 112 extends in the front-back direction of the transfer vehicle 102, for example, in the X-axis direction, and supports the lower surface of the gas cylinder 20. It may include a support member 114 for support, and a hand bracket 116 extending in a vertical direction with respect to the support member 114 from the rear portion of the support member 114. In particular, support pads 118 for supporting the gas cylinder 20 may be disposed on the front and rear portions of the support member 114, respectively.

상기 핸드 구동부(120)는, 상기 로봇 핸드(112)를 상기 이송 차량(102)의 전후 방향으로 이동시키기 위한 제1 수평 구동부(122)와, 상기 로봇 핸드(112)를 상기 이송 차량(102)의 좌우 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부(126)와, 상기 로봇 핸드(112)를 수직 방향 즉 Z축 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(130)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 수평 구동부(122)는 상기 전후 방향으로 이동 가능하게 상기 이송 차량(102)에 장착되는 제1 가동부(124)를 포함하고, 상기 제2 수평 구동부(126)는 상기 제1 가동부(124)에 상기 좌우 방향으로 이동 가능하도록 장착된 제2 가동부(128)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 수직 구동부(130)는 상기 제2 가동부(128)에 수직 방향으로 이동 가능하도록 장착되는 수직 가동부(132)를 포함할 수 있다.The hand drive unit 120 includes a first horizontal drive unit 122 for moving the robot hand 112 in the front and rear directions of the transfer vehicle 102, and a first horizontal drive unit 122 for moving the robot hand 112 in the front and rear direction of the transfer vehicle 102. It may include a second horizontal drive unit 126 for moving the robot hand 112 in the left and right direction, for example, the Y-axis direction, and a vertical drive unit 130 for moving the robot hand 112 in the vertical direction, that is, the Z-axis direction. there is. For example, the first horizontal driving part 122 includes a first movable part 124 mounted on the transport vehicle 102 to be movable in the forward and backward directions, and the second horizontal driving part 126 includes the first movable part 124. 1 It may include a second movable part 128 mounted on the movable part 124 so as to be movable in the left and right directions. Additionally, the vertical driving unit 130 may include a vertical movable unit 132 mounted on the second movable unit 128 to be movable in the vertical direction.

도 4 내지 도 6은 도 2에 도시된 이송 로봇의 동작을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.Figures 4 to 6 are schematic side views for explaining the operation of the transfer robot shown in Figure 2.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 상기 핸드 구동부(120)는 상기 가스 실린더(20)를 픽업하기 위하여 상기 로봇 핸드(112)를 수평 및 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 로봇(110)은 상기 로봇 핸드(20) 상에 지지된 상기 가스 실린더(20)의 양측 부위들을 파지하기 위한 그리퍼 유닛(140)을 포함할 수 있으며, 상기 그리퍼 유닛(140)은 상기 핸드 브래킷(116)에 장착될 수 있다.Referring to FIGS. 4 to 6 , the hand drive unit 120 can move the robot hand 112 in horizontal and vertical directions to pick up the gas cylinder 20. In particular, according to one embodiment of the present invention, the transfer robot 110 may include a gripper unit 140 for gripping both sides of the gas cylinder 20 supported on the robot hand 20. And the gripper unit 140 may be mounted on the hand bracket 116.

상기 그리퍼 유닛(140)은 상기 가스 실린더(20)의 양측 부위를 파지하기 위한 한 쌍의 그리퍼 부재들(142)과 상기 그리퍼 부재들(142)을 동작시키기 위한 그리퍼 구동부(144)를 포함할 수 있다. 상기 그리퍼 부재들(142)은 서로 마주하도록 배치될 수 있으며, 상기 그리퍼 구동부(144)에 의해 서로 가까워지는 방향 및 서로 멀어지는 방향으로 이동될 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 그리퍼 구동부(144)는 상기 그리퍼 부재들(142)과 연결되는 랙 기어들(미도시)과 상기 랙 기어들 사이에 결합되는 피니언 기어(미도시)를 포함할 수 있다.The gripper unit 140 may include a pair of gripper members 142 for gripping both sides of the gas cylinder 20 and a gripper drive unit 144 for operating the gripper members 142. there is. The gripper members 142 may be arranged to face each other, and may be moved by the gripper driving unit 144 in a direction toward and away from each other. Although not shown, the gripper driving unit 144 may include rack gears (not shown) connected to the gripper members 142 and a pinion gear (not shown) coupled between the rack gears.

상기 그리퍼 유닛(140)은 상기 가스 실린더(20)를 이송하는 동안 상기 가스 실린더(20)의 낙하를 방지하기 위하여 상기 가스 실린더(20)의 양측 부위들을 파지할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 핸드 구동부(120)는, 상기 가스 실린더(20)가 상기 로봇 핸드(112) 상에 지지된 후 상기 가스 실린더(20)의 상부가 후방으로 기울어지도록 상기 로봇 핸드(112)의 기울기를 조절하는 틸트 구동부(134)를 포함할 수 있다.The gripper unit 140 may grip parts on both sides of the gas cylinder 20 to prevent the gas cylinder 20 from falling while transporting the gas cylinder 20. In addition, according to one embodiment of the present invention, the hand drive unit 120 is configured to tilt the upper portion of the gas cylinder 20 backward after the gas cylinder 20 is supported on the robot hand 112. It may include a tilt driver 134 that adjusts the tilt of the robot hand 112.

일 예로서, 상기 로봇 핸드(112)의 핸드 브래킷(116)은 상기 수직 가동부(132)에 회전축을 통해 회전 가능하도록 장착될 수 있으며, 상기 틸트 구동부(134)는 상기 핸드 브래킷(116)에 연결된 링크 부재(136)를 포함하고 도시된 바와 같이 상기 수직 가동부(132)에 장착되어 상기 링크 부재(136)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 그러나, 상기 틸트 구동부(134)의 구성은 다양하게 변경 가능하며 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다. 다른 예로서, 상기 틸트 구동부(134)는 공압 실린더를 이용하여 상기 로봇 핸드(112)의 기울기를 조절할 수도 있다.As an example, the hand bracket 116 of the robot hand 112 may be mounted on the vertical movable part 132 to be rotatable through a rotation axis, and the tilt drive part 134 may be connected to the hand bracket 116. It includes a link member 136 and is mounted on the vertical movable part 132 as shown, so that the link member 136 can be moved in the vertical direction. However, the configuration of the tilt driver 134 can be changed in various ways and the scope of the present invention will not be limited thereby. As another example, the tilt driver 134 may adjust the tilt of the robot hand 112 using a pneumatic cylinder.

상기 틸트 구동부(134)는 상기 가스 실린더(20)를 이송하는 동안 상기 가스 실린더(20)의 상부가 후방으로 소정 각도 기울어지도록 상기 로봇 핸드(112)의 기울기를 조절함으로써 상기 가스 실린더(20)가 상기 로봇 핸드(112)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The tilt driver 134 adjusts the tilt of the robot hand 112 so that the upper part of the gas cylinder 20 is tilted backward at a predetermined angle while transporting the gas cylinder 20. It is possible to prevent separation from the robot hand 112.

도 7은 도 1에 도시된 가스 실린더 보관 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.FIG. 7 is a schematic front view for explaining the gas cylinder storage device shown in FIG. 1.

도 1 및 도 7을 참조하면, 상기 가스 실린더 보관 장치(200)는, 가스 실린더들(20)의 보관을 위한 내부 공간을 구비하는 보관 챔버(202)와, 상기 보관 챔버(202) 내에 배치되며 상기 가스 실린더들(20)을 지지하기 위한 스테이지들(210)과, 상기 보관 챔버(202) 내에 배치되며 상기 가스 실린더들(20)을 고정하기 위한 제2 그리퍼 유닛들(220)을 포함할 수 있다. 상기 제2 그리퍼 유닛들(220)은 각각 상기 가스 실린더(20)의 측면 부위를 파지하기 위한 제2 그리퍼 부재들(222)과 상기 제2 그리퍼 부재들(222)을 동작시키기 위한 제2 그리퍼 구동부(224)를 포함할 수 있다.1 and 7, the gas cylinder storage device 200 includes a storage chamber 202 having an internal space for storing gas cylinders 20, and is disposed within the storage chamber 202. It may include stages 210 for supporting the gas cylinders 20, and second gripper units 220 disposed in the storage chamber 202 and fixing the gas cylinders 20. there is. The second gripper units 220 include second gripper members 222 for gripping the side portion of the gas cylinder 20 and a second gripper driving unit for operating the second gripper members 222. It may include (224).

상기 보관 챔버(202)의 전면 부위에는 상기 내부 공간을 개폐하기 위한 도어들(230)이 구비될 수 있으며, 상기 가스 실린더 이송 장치(100)가 상기 가스 실린더(20)의 수납 또는 반출을 위해 상기 도어들(230)에 근접하는 경우 상기 도어(230)들 중 하나가 도어 구동부(미도시)에 의해 개방될 수 있다.Doors 230 may be provided at the front of the storage chamber 202 to open and close the internal space, and the gas cylinder transfer device 100 may be used to store or export the gas cylinder 20. When approaching the doors 230, one of the doors 230 may be opened by a door driver (not shown).

한편, 상기 가스 실린더들(20)에는 상기 가스 실린더들(20)의 이력 정보가 저장되는 정보 태그(22)가 각각 부착될 수 있다. 예를 들면, 상기 정보 태그(22)에는 각각의 가스 실린더(20)에 저장되는 가스 재료를 나타내는 자재 코드, 제조 번호, 충전 가스의 순도, 제조 일자, 만기 일자 등 일련의 정보들이 저장될 수 있으며, 상기 보관 챔버(202) 내에는 상기 가스 실린더들(20)의 정보 태그들(22)로부터 상기 이력 정보를 획득하기 위한 정보 획득 유닛(240)이 구비될 수 있다.Meanwhile, an information tag 22 in which history information of the gas cylinders 20 is stored may be attached to each of the gas cylinders 20. For example, the information tag 22 may store a series of information such as a material code indicating the gas material stored in each gas cylinder 20, manufacturing number, purity of charging gas, manufacturing date, expiration date, etc. , an information acquisition unit 240 may be provided in the storage chamber 202 to obtain the history information from the information tags 22 of the gas cylinders 20.

일 예로서, 상기 가스 실린더(20)에 바코드가 부착될 수 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(202) 내에는 상기 바코드의 정보를 읽기 위한 바코드 리더기가 구비될 수 있다. 다른 예로서, 상기 가스 실린더(20)에는 QR(Quick Response) 코드가 부착될 수도 있으며, 이 경우 상기 보관 챔버(202) 내에는 QR 코드 리더기가 구비될 수 있다.As an example, a barcode may be attached to the gas cylinder 20, and in this case, a barcode reader for reading information of the barcode may be provided in the storage chamber 202. As another example, a QR (Quick Response) code may be attached to the gas cylinder 20, and in this case, a QR code reader may be provided within the storage chamber 202.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(200)는 상기 정보 획득 유닛(240)이 상기 정보 태그들(22)에 인접하도록 상기 정보 획득 유닛(240)을 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부(242)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 정보 태그들(22)은 상기 가스 실린더들(20)의 상부에 부착될 수 있으며, 상기 정보 획득 유닛(240)은 상기 수평 구동부(242)에 의해 상기 가스 실린더들(20)의 상부에서 수평 방향으로 이동될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device 200 moves the information acquisition unit 240 in the horizontal direction so that the information acquisition unit 240 is adjacent to the information tags 22. It may include a driving unit 242. For example, the information tags 22 may be attached to the top of the gas cylinders 20, and the information acquisition unit 240 may be connected to the gas cylinders 20 by the horizontal driving unit 242. It can be moved horizontally at the top of .

상기 보관 챔버(202) 내부의 온도는 상기 가스 실린더들(20)로부터의 가스 누설을 방지하기 위하여 기 설정된 온도로 일정하게 유지되는 것이 바람직하다. 이를 위해 상기 가스 실린더 보관 장치(200)는 상기 보관 챔버(202) 내부의 온도를 기 설정된 온도로 유지하기 위한 온도 조절 유닛(250)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 온도 조절 유닛(250)은 상기 보관 챔버(202)의 내부 온도를 측정하기 위한 온도 센서와 상기 보관 챔버(202)의 내부 온도를 조절하기 위한 히터와 냉각기 등을 구비할 수 있다.The temperature inside the storage chamber 202 is preferably maintained at a preset temperature to prevent gas leakage from the gas cylinders 20. To this end, the gas cylinder storage device 200 may include a temperature control unit 250 for maintaining the temperature inside the storage chamber 202 at a preset temperature. Although not shown in detail, the temperature control unit 250 may include a temperature sensor for measuring the internal temperature of the storage chamber 202 and a heater and cooler for controlling the internal temperature of the storage chamber 202. You can.

아울러, 상기 보관 챔버(202)의 내부는 외부로부터 밀폐되는 것이 바람직하며, 이를 위해 도시되지는 않았으나 상기 도어들(230) 사이 그리고 상기 보관 챔버(202)와 상기 도어들(230) 사이에는 가스 누설을 방지하기 위한 밀봉 부재(미도시)가 구비될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보관 챔버(202)의 내부는 상기 가스 실린더들(20)로부터 가스가 누설되는 경우 상기 누설된 가스가 외부로 확산되지 않도록 항시 대기압보다 낮은 음압 상태로 유지되는 것이 바람직하다.In addition, the inside of the storage chamber 202 is preferably sealed from the outside, and although not shown, gas leakage occurs between the doors 230 and between the storage chamber 202 and the doors 230. A sealing member (not shown) may be provided to prevent. In addition, according to one embodiment of the present invention, when gas leaks from the gas cylinders 20, the interior of the storage chamber 202 is always maintained at a negative pressure lower than atmospheric pressure to prevent the leaked gas from spreading to the outside. It is desirable to maintain it.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 보관 장치(200)는 상기 보관 챔버(202) 내부의 압력을 기 설정된 압력으로 유지하기 위한 압력 조절 유닛(260)을 포함할 수 있다. 상기 압력 조절 유닛(260)은 가스 누설을 방지하기 위하여 상기 보관 챔버(202)의 내부 압력을 대기압보다 낮은 음압, 특히 상기 보관 챔버(202)의 내부 압력을 외부 압력보다 낮게 유지할 수 있다. 일 예로서, 상기 보관 챔버(202)의 상부에는 팬 필터 유닛이 배치될 수 있으며, 상기 가스 실린더들(20)로부터 가스가 누설되는 경우 상기 누설된 가스는 상기 팬 필터 유닛에 의해 제거될 수 있다. 이 경우, 상기 팬 필터 유닛은 가스 정제를 위한 가스 스크러버 등의 장치와 연결될 수 있다. 상기와 다른 예로서, 상기 보관 챔버(202)는 상기 진공 펌프, 진공 이젝터 등의 진공 제공부와 연결될 수도 있으며, 상기 진공 제공부에 의해 배출되는 공기와 가스 등은 상기 가스 스크러버를 통해 정제된 후 외부로 배출될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the gas cylinder storage device 200 may include a pressure adjustment unit 260 for maintaining the pressure inside the storage chamber 202 at a preset pressure. The pressure control unit 260 may maintain the internal pressure of the storage chamber 202 at a negative pressure lower than atmospheric pressure to prevent gas leakage, and in particular, maintain the internal pressure of the storage chamber 202 lower than the external pressure. As an example, a fan filter unit may be placed on the upper part of the storage chamber 202, and when gas leaks from the gas cylinders 20, the leaked gas may be removed by the fan filter unit. . In this case, the fan filter unit may be connected to a device such as a gas scrubber for gas purification. As a different example from the above, the storage chamber 202 may be connected to a vacuum providing part such as the vacuum pump or vacuum ejector, and the air and gas discharged by the vacuum providing part are purified through the gas scrubber and then It may be discharged to the outside.

또한, 상기 보관 챔버(202) 내부에는 가스 누설을 감지하기 위한 가스 센서(270)가 배치될 수 있으며, 도시되지는 않았으나, 상기 가스 실린더 보관 장치(200)는 상기 가스 센서(270)의 출력 신호에 따라 가스 누설 여부를 판단하고 상기 가스 실린더(20)로부터 가스가 누설되는 경우 사용자에게 이를 알리는 경보 신호를 발생시키는 제어 유닛(204)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제어 유닛(204)은 상기 압력 조절 유닛(260)을 통해 상기 누설된 가스를 배출할 수 있으며, 상기 보관 챔버(202) 내부에 누설된 가스가 모두 제거되기 전까지 상기 도어(230)가 개방되지 않도록 상기 도어 구동부의 동작을 제어할 수 있다.In addition, a gas sensor 270 for detecting gas leakage may be disposed inside the storage chamber 202. Although not shown, the gas cylinder storage device 200 may detect an output signal of the gas sensor 270. It may include a control unit 204 that determines whether there is a gas leak and generates an alarm signal to notify the user if gas leaks from the gas cylinder 20. Additionally, the control unit 204 may discharge the leaked gas through the pressure adjustment unit 260, and the door 230 may be closed until all the gas leaked inside the storage chamber 202 is removed. The operation of the door driver can be controlled so that it does not open.

도 8은 도 2에 도시된 로봇 핸드의 서포트 부재와 도 7에 도시된 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 확대 평면도이고, 도 9는 도 8에 도시된 로봇 핸드의 서포트 부재와 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 확대 측면도이다.FIG. 8 is a schematic enlarged plan view for explaining the support member of the robot hand shown in FIG. 2 and the stage shown in FIG. 7, and FIG. 9 is a schematic diagram for explaining the support member and stage of the robot hand shown in FIG. 8. This is an enlarged side view.

도 8 및 도 9를 참조하면, 상기 서포트 부재(114)는 상기 이송 차량(102)의 전후 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 스테이지(210)는 상기 가스 실린더(20)의 하부면 양측 부위들을 각각 지지하기 위한 서포트 블록들(212)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 가스 실린더(20)를 상기 스테이지(210) 상에 로드하는 경우, 상기 서포트 부재(114)는 상기 제1 수평 구동부(122)에 의해 상기 서포트 블록들(212) 사이로 전진할 수 있으며, 이어서 가스 실린더(20)를 상기 서포트 블록들(212) 상에 내려놓기 위해 상기 수직 구동부(130)에 의해 하강될 수 있다. 상기와 반대로, 상기 스테이지(210) 상의 가스 실린더(20)를 상기 스테이지(210)로부터 언로드하는 경우, 상기 서포트 부재(114)는 상기 제1 수평 구동부(122)에 의해 상기 서포트 블록들(212) 사이로 전진할 수 있으며, 이어서 가스 실린더(20)를 상기 서포트 블록들(212)로부터 픽업하기 위해 상기 수직 구동부(130)에 의해 상승될 수 있다.Referring to FIGS. 8 and 9, the support member 114 may extend in the front and rear directions of the transport vehicle 102, and the stage 210 is positioned on both sides of the lower surface of the gas cylinder 20, respectively. It may include support blocks 212 for support. As an example, when loading the gas cylinder 20 on the stage 210, the support member 114 may advance between the support blocks 212 by the first horizontal driving unit 122. The gas cylinder 20 can then be lowered by the vertical drive unit 130 to place it on the support blocks 212. Contrary to the above, when unloading the gas cylinder 20 on the stage 210 from the stage 210, the support member 114 is moved to the support blocks 212 by the first horizontal driving unit 122. The gas cylinder 20 can then be raised by the vertical drive 130 to pick it up from the support blocks 212 .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치(100)는, 상기 로봇 핸드(112)에 장착되며 상기 스테이지(210)의 상기 서포트 블록들(212)을 검출하기 위한 카메라 유닛(150)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 카메라 유닛(150)은 상기 서포트 부재(114)의 전방 부위에 장착될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the gas cylinder transfer device 100 is mounted on the robot hand 112 and includes a camera unit 150 for detecting the support blocks 212 of the stage 210. may include. As an example, the camera unit 150 may be mounted on the front portion of the support member 114.

특히, 상기 로봇 핸드(112)의 서포트 부재(114)와 마주하는 상기 서포트 블록들(212)의 전방 부위들에는 상기 로봇 핸드(112)의 서포트 부재(114)와 상기 스테이지(210)의 서포트 블록들(212) 사이의 정렬을 위한 정렬 마크들이 각각 부착될 수 있다. 일 예로서, 상기 서포트 블록들(212)의 전방 부위들에는 상기 스테이지(210)의 정보가 저장된 QR 코드들(214)이 각각 부착될 수 있다. 이때, 상기 QR 코드들(214)은 상기 서포트 부재(114)와 상기 서포트 블록들(212) 사이의 정렬을 위한 정렬 마크들로서 사용될 수 있으며, 상기 카메라 유닛(150)은 상기 QR 코드들(214)을 리딩하기 위한 QR 코드 리더기로서 사용될 수 있다.In particular, the front portions of the support blocks 212 facing the support member 114 of the robot hand 112 include the support member 114 of the robot hand 112 and the support block of the stage 210. Alignment marks for alignment between the elements 212 may be attached to each other. As an example, QR codes 214 storing information on the stage 210 may be attached to front portions of the support blocks 212, respectively. At this time, the QR codes 214 can be used as alignment marks for alignment between the support member 114 and the support blocks 212, and the camera unit 150 displays the QR codes 214. It can be used as a QR code reader to read.

또한, 상기 로봇 핸드(112)에는 상기 서포트 블록들(212)과의 거리를 각각 측정하기 위한 거리 센서들(152)이 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 서포트 부재(114)의 양측에는 각각 레이저 거리 센서들(152)이 장착될 수 있으며, 상기 로봇 핸드(112)와 상기 서포트 블록들(212) 사이의 거리가 상기 레이저 거리 센서들(152)에 의해 측정될 수 있다.Additionally, the robot hand 112 may be equipped with distance sensors 152 to measure the distance to the support blocks 212, respectively. For example, laser distance sensors 152 may be mounted on both sides of the support member 114, and the distance between the robot hand 112 and the support blocks 212 is determined by the laser distance sensors. It can be measured by (152).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치(100)는 상기 이송 차량(102)과 상기 이송 로봇(110)의 동작을 제어하기 위한 제어 유닛(104)을 포함할 수 있으며, 상기 제어 유닛(104)은 상기 거리 센서들(152)에 의해 측정된 거리값들이 서로 동일해지도록 즉 상기 로봇 핸드(112)의 서포트 부재(114)가 상기 스테이지(210)의 서포트 블록들(212)과 정면으로 마주하도록 상기 이송 차량(102)의 위치와 각도를 조절할 수 있다. 또한, 상기 카메라 유닛(150)은 상기 QR 코드들(214)을 포함하는 이미지를 획득할 수 있으며, 상기 제어 유닛(104)은 상기 이미지로부터 상기 QR 코드들(214)의 위치 좌표들을 검출하고 상기 로봇 핸드(112)의 서포트 부재(114)가 상기 서포트 블록들(212) 사이에 위치되도록 상기 제2 수평 구동부(126)의 동작을 제어할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the gas cylinder transfer device 100 may include a control unit 104 for controlling the operation of the transfer vehicle 102 and the transfer robot 110, and the control The unit 104 is configured so that the distance values measured by the distance sensors 152 are equal to each other, that is, the support member 114 of the robot hand 112 is connected to the support blocks 212 of the stage 210. The position and angle of the transport vehicle 102 can be adjusted to face each other head on. Additionally, the camera unit 150 may acquire an image including the QR codes 214, and the control unit 104 may detect the location coordinates of the QR codes 214 from the image and The operation of the second horizontal driving unit 126 may be controlled so that the support member 114 of the robot hand 112 is positioned between the support blocks 212.

또한, 상기 제어 유닛(104)은 상기 틸트 구동부(134)의 동작을 제어할 수 있다. 특히, 상기 가스 실린더(20)를 상기 스테이지(210) 상에 로드하거나 상기 가스 실린더(20)를 상기 스테이지(210)로부터 언로드하는 경우 상기 제어 유닛(104)은 상기 서포트 부재(114)가 수평 상태가 되도록 상기 틸트 구동부(134)의 동작을 제어할 수 있다. 이때, 상기 로봇 핸드(112)에는 상기 서포트 부재(114)의 기울기를 측정하기 위한 기울기 센서(154)가 장착될 수 있으며, 상기 제어 유닛(104)은 상기 기울기 센서(154)의 측정 신호에 기초하여 상기 서포트 부재(114)의 기울기를 조절할 수 있다.Additionally, the control unit 104 may control the operation of the tilt driver 134. In particular, when loading the gas cylinder 20 on the stage 210 or unloading the gas cylinder 20 from the stage 210, the control unit 104 ensures that the support member 114 is in a horizontal state. The operation of the tilt driver 134 can be controlled so that . At this time, the robot hand 112 may be equipped with a tilt sensor 154 for measuring the tilt of the support member 114, and the control unit 104 may operate based on the measurement signal of the tilt sensor 154. Thus, the tilt of the support member 114 can be adjusted.

추가적으로, 상기 가스 실린더 이송 장치(100)의 제어 유닛(104)은 상기 가스 실린더 보관 장치(200)의 제어 유닛(204)과 무선 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 가스 실린더 이송 장치(100)가 상기 가스 실린더 보관 장치(200)의 전방에 도착된 후 상기 가스 실린더 보관 장치(200)의 제어 유닛(204)은 상기 가스 실린더 이송 장치(100)의 제어 유닛(104)으로부터 전송되는 도어 오픈 신호에 따라 상기 도어들(230) 중 하나를 개방할 수 있다.Additionally, the control unit 104 of the gas cylinder transfer device 100 may be configured to enable wireless communication with the control unit 204 of the gas cylinder storage device 200, and the gas cylinder transfer device 100 After arriving at the front of the gas cylinder storage device 200, the control unit 204 of the gas cylinder storage device 200 responds to a door open signal transmitted from the control unit 104 of the gas cylinder transfer device 100. Accordingly, one of the doors 230 can be opened.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가스 실린더 이송 장치(100)는 상기 이송 차량(102)과 이송 로봇(110)을 이용하여 상기 가스 실린더(20)를 이송할 수 있으며 상기 가스 실린더 보관 장치(200)는 상기 가스 실린더 이송 장치(100)에 의해 이송된 상기 가스 실린더(20)를 보관할 수 있다. 상기와 같이 상기 가스 실린더(20)의 이송 및 보관이 상기 가스 실린더 이송 장치(100)와 상기 가스 실린더 보관 장치(200)에 의해 자동화될 수 있으므로 상기 가스 실린더(20)의 이송 및 보관 과정에서 발생될 수 있는 사고가 크게 감소될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the gas cylinder transfer device 100 can transfer the gas cylinder 20 using the transfer vehicle 102 and the transfer robot 110, and the gas cylinder 20 can be transferred using the transfer vehicle 102 and the transfer robot 110. The cylinder storage device 200 can store the gas cylinder 20 transferred by the gas cylinder transfer device 100. As described above, since the transfer and storage of the gas cylinder 20 can be automated by the gas cylinder transfer device 100 and the gas cylinder storage device 200, occurrences during the transfer and storage of the gas cylinder 20 Potential accidents can be greatly reduced.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, those skilled in the art may make various modifications and changes to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will be able to understand that it exists.

10 : 가스 실린더 물류 시스템 20 : 가스 실린더
100 : 가스 실린더 이송 장치 102 : 이송 차량
104 : 제어 유닛 110 : 이송 로봇
112 : 로봇 핸드 114 : 서포트 부재
116 : 핸드 브래킷 120 : 핸드 구동부
122 : 제1 수평 구동부 126 : 제2 수평 구동부
130 : 수직 구동부 134 : 틸트 구동부
140 : 그리퍼 유닛 142 : 그리퍼 부재
144 : 그리퍼 구동부 150 : 카메라 유닛
152 : 거리 센서 154 : 기울기 센서
200 : 가스 실린더 보관 장치 202 : 보관 챔버
204 : 제어 유닛 210 : 스테이지
212 : 서포트 블록 214 : QR 코드
220 : 제2 그리퍼 유닛 230 : 도어
240 : 정보 획득 유닛 250 : 온도 조절 유닛
260 : 압력 조절 유닛 270 : 가스 센서10: Gas cylinder logistics system 20: Gas cylinder
100: gas cylinder transfer device 102: transfer vehicle
104: control unit 110: transfer robot
112: Robot hand 114: Support member
116: hand bracket 120: hand driving unit
122: first horizontal driving unit 126: second horizontal driving unit
130: vertical driving unit 134: tilt driving unit
140: Gripper unit 142: Gripper member
144: Gripper driving unit 150: Camera unit
152: distance sensor 154: tilt sensor
200: gas cylinder storage device 202: storage chamber
204: control unit 210: stage
212: Support block 214: QR code
220: second gripper unit 230: door
240: information acquisition unit 250: temperature control unit
260: pressure control unit 270: gas sensor

Claims (20)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 가스 실린더의 이송을 위한 이송 차량 및 상기 이송 차량의 상부에 배치되는 이송 로봇을 포함하는 가스 실린더 이송 장치; 및
상기 가스 실린더 이송 장치에 의해 이송된 상기 가스 실린더를 보관하기 위한 가스 실린더 보관 장치를 포함하되,
상기 이송 로봇은, 상기 가스 실린더의 하부면 부위를 지지하기 위한 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드를 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 핸드 구동부를 포함하고,
상기 가스 실린더 보관 장치는, 상기 가스 실린더를 지지하기 위한 스테이지를 포함하며,
상기 로봇 핸드는, 상기 이송 차량의 전후 방향으로 연장하며 상기 가스 실린더의 하부면 부위를 지지하기 위한 서포트 부재를 포함하고,
상기 스테이지는, 상기 가스 실린더의 하부면 양측 부위들을 지지하기 위한 서포트 블록들을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 물류 시스템.A gas cylinder transfer device including a transfer vehicle for transferring gas cylinders and a transfer robot disposed on top of the transfer vehicle; and
Including a gas cylinder storage device for storing the gas cylinder transferred by the gas cylinder transfer device,
The transfer robot includes a robot hand for supporting a lower surface of the gas cylinder, and a hand drive unit for moving the robot hand in horizontal and vertical directions,
The gas cylinder storage device includes a stage for supporting the gas cylinder,
The robot hand extends in the front and rear directions of the transport vehicle and includes a support member for supporting the lower surface of the gas cylinder,
The stage is a gas cylinder logistics system, characterized in that it includes support blocks for supporting both sides of the lower surface of the gas cylinder. 삭제delete 삭제delete 제9항에 있어서, 상기 가스 실린더 이송 장치는,
상기 로봇 핸드에 장착되며 상기 서포트 블록들을 검출하기 위한 카메라 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 물류 시스템.The method of claim 9, wherein the gas cylinder transfer device,
A gas cylinder logistics system mounted on the robot hand and further comprising a camera unit for detecting the support blocks. 제9항에 있어서, 상기 서포트 블록들의 전방 부위들에는 상기 로봇 핸드와 상기 서포트 블록들 사이의 정렬을 위한 정렬 마크들이 각각 부착되는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 물류 시스템.The gas cylinder logistics system according to claim 9, wherein alignment marks for alignment between the robot hand and the support blocks are attached to front portions of the support blocks, respectively. 제9항에 있어서, 상기 스테이지의 전방 부위에는 상기 스테이지의 정보가 저장된 인식 코드가 부착되며,
상기 로봇 핸드에는 상기 인식 코드를 리딩하기 위한 코드 리더기가 장착되는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 물류 시스템.The method of claim 9, wherein an identification code storing information about the stage is attached to the front portion of the stage,
A gas cylinder logistics system, characterized in that the robot hand is equipped with a code reader for reading the identification code. 제9항에 있어서, 상기 서포트 블록들의 전방 부위들에는 상기 스테이지의 정보가 저장된 큐알 코드들이 각각 부착되며,
상기 로봇 핸드에는 상기 큐알 코드들을 리딩하기 위한 카메라 유닛이 장착되는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 물류 시스템.The method of claim 9, wherein QR codes storing information about the stage are attached to front portions of the support blocks, respectively,
A gas cylinder logistics system, characterized in that the robot hand is equipped with a camera unit for reading the QR codes. 제9항에 있어서, 상기 가스 실린더 이송 장치는,
상기 로봇 핸드에 장착되며 상기 서포트 블록들과의 거리를 각각 측정하기 위한 거리 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 물류 시스템.The method of claim 9, wherein the gas cylinder transfer device,
A gas cylinder logistics system mounted on the robot hand and further comprising distance sensors for measuring the distance to each of the support blocks. 제9항에 있어서, 상기 가스 실린더 이송 장치는,
상기 로봇 핸드에 장착되며 상기 서포트 부재의 기울기를 측정하기 위한 기울기 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 물류 시스템.The method of claim 9, wherein the gas cylinder transfer device,
A gas cylinder logistics system mounted on the robot hand and further comprising a tilt sensor for measuring the tilt of the support member. 제9항에 있어서, 상기 핸드 구동부는,
상기 로봇 핸드를 상기 이송 차량의 전후 방향으로 이동시키기 위한 제1 수평 구동부와,
상기 제1 수평 구동부에 장착되며 상기 로봇 핸드를 상기 이송 차량의 좌우 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부와,
상기 제2 수평 구동부에 장착되며 상기 로봇 핸드를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와,
상기 수직 구동부에 장착되며 상기 가스 실린더가 상기 로봇 핸드 상에 지지된 후 상기 가스 실린더의 상부가 후방으로 기울어지도록 상기 로봇 핸드의 기울기를 조절하는 틸트 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 물류 시스템.The method of claim 9, wherein the hand drive unit,
a first horizontal driving unit for moving the robot hand in the front and rear directions of the transport vehicle;
a second horizontal drive unit mounted on the first horizontal drive unit and configured to move the robot hand in the left and right directions of the transfer vehicle;
a vertical drive unit mounted on the second horizontal drive unit and configured to move the robot hand in a vertical direction;
A gas cylinder logistics system, characterized in that it includes a tilt drive unit that is mounted on the vertical drive unit and adjusts the tilt of the robot hand so that the upper part of the gas cylinder is tilted backward after the gas cylinder is supported on the robot hand. 제9항에 있어서, 상기 가스 실린더 이송 장치는,
상기 로봇 핸드 상에 지지된 상기 가스 실린더의 양측 부위들을 파지하기 위한 그리퍼 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 실린더 물류 시스템.The method of claim 9, wherein the gas cylinder transfer device,
A gas cylinder logistics system further comprising a gripper unit for gripping both sides of the gas cylinder supported on the robot hand. 삭제delete
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