KR20210065304A - System for measuring heating wire of heater - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a heating wire temperature measuring system of a heater capable of accurately measuring temperature. The heating wire temperature measuring system of the heater according to the present invention comprises: a primary circuit of a heater including a heating wire, a heater output unit for controlling the temperature of the heating wire, and an AC power supply unit for supplying AC power to the heater output unit; and a secondary circuit of a temperature measuring device including a sensor for generating a sensor signal by measuring the temperature of the heating wire, a noise frequency analyzer for outputting a trigger signal by determining the timing at which the amplitude of the noise of an AC component included in the sensor signal is minimized, and a sensor measuring unit for sampling a sensor signal according to the trigger signal.

Description

히터의 열선온도 측정 시스템{SYSTEM FOR MEASURING HEATING WIRE OF HEATER}Heater temperature measurement system {SYSTEM FOR MEASURING HEATING WIRE OF HEATER}

본 발명은 히터의 열선온도 측정 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 노이즈의 영향을 받지 않고 히터의 온도를 정확하게 측정할 수 있는 히터의 열선온도 측정 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a heating wire temperature measurement system for a heater, and more particularly, to a heating wire temperature measurement system for a heater capable of accurately measuring the temperature of a heater without being affected by noise.

일반적으로 히터의 열선 온도를 측정하기 위한 센서신호에는 노이즈가 섞이게 되어 정확한 히터의 열선 온도를 정확하게 측정하기 어렵다. In general, since noise is mixed with a sensor signal for measuring the temperature of the heating wire of the heater, it is difficult to accurately measure the temperature of the heating wire of the heater.

도 1은 종래의 히터의 열선온도 측정 시스템의 회로를 간략하게 도시한 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating a circuit of a conventional heating wire temperature measuring system of a heater.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 히터의 열선온도 측정 시스템은 히터의 1차측 회로(LC1)와, 히터의 열선 온도를 측정하기 위한 센서측정장치의 2차측 회로(LC2)로 구성된다. As shown in FIG. 1, the conventional heating wire temperature measuring system of the heater is composed of a primary side circuit LC1 of the heater, and a secondary side circuit LC2 of a sensor measuring device for measuring the heating wire temperature of the heater.

교류전원이 가해지는 열선(3)을 포함하는 히터의 1차측 회로(LC1)와 센서(1) 및 센서측정부(2)를 포함하는 2차측 회로(LC2)는 물리적으로 서로 분리되어 있으나, 열전도성 금속 재질의 히터에 의하여 전자기 유도 현상이 발생하고 1차측 회로(CL1)에서 발생한 전원 노이즈가 2차측 회로(LC2)로 유입된다.The primary circuit LC1 of the heater including the heating wire 3 to which AC power is applied and the secondary circuit LC2 including the sensor 1 and the sensor measuring unit 2 are physically separated from each other, but the thermoelectric An electromagnetic induction phenomenon occurs by the heater made of a conductive metal material, and power noise generated in the primary circuit CL1 flows into the secondary circuit LC2.

1차측 회로(LC1)에는 교류전원(5)이 인가되므로, 2차측 회로(LC2)는 1차측 회로의 교류전원에 의한 영향을 받게 된다. 이에 따라 2차측 회로의 센서신호에는 1차측 회로의 교류전원에 의한 영향, 즉 유도성 노이즈가 포함된다. Since the AC power 5 is applied to the primary circuit LC1, the secondary circuit LC2 is affected by the AC power of the primary circuit. Accordingly, the sensor signal of the secondary circuit includes the influence of the AC power of the primary circuit, that is, inductive noise.

2차측 회로에 구비되는 센서측정부(2)가 정해진 샘플링주파수로 센서신호를 샘플링을 하는 경우, 샘플링된 센서신호 파형에는 노이즈 주파수와 샘플링 주파수 차이에 의해 발생하는 엘리어싱 현상으로 인하여 왜곡된다. 따라서 히터 내 열선의 정확한 온도 측정이 용이하지 않다. When the sensor measuring unit 2 provided in the secondary circuit samples the sensor signal at a predetermined sampling frequency, the sampled sensor signal waveform is distorted due to an aliasing phenomenon caused by a difference between the noise frequency and the sampling frequency. Therefore, it is not easy to accurately measure the temperature of the heating wire in the heater.

상기와 같은 문제를 해결하기 위해, 본 발명은 히터 내 열선의 정확한 온도 측정이 가능한 히터의 열선 온도 측정 시스템을 제공함에 그 목적이 있다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a system for measuring the temperature of a hot wire of a heater capable of accurately measuring the temperature of a hot wire in the heater.

본 발명의 실시예에 따른 히터의 열선 온도 측정 시스템은, 열선과, 상기 열선의 온도를 제어하는 히터출력부와, 상기 히터출력부에 교류전원을 공급하는 교류전원부을 구비하는 히터의 1차측 회로; 상기 열선의 온도를 측정하여 센서신호를 생성하는 센서와, 상기 센서신호에 포함된 노이즈 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 결정하여 트리거 신호를 출력하는 노이즈 주파수 분석부와, 상기 트리거 신호에 따라 센서신호를 샘플링하는 센서측정부를 구비하는 온도측정장치의 2차측 회로를 포함한다.A heating wire temperature measuring system of a heater according to an embodiment of the present invention comprises: a primary side circuit of a heater having a heating wire, a heater output unit controlling the temperature of the heating wire, and an AC power supply unit supplying AC power to the heater output unit; a sensor for generating a sensor signal by measuring the temperature of the heating wire; a noise frequency analyzer for outputting a trigger signal by determining a timing at which the amplitude of a noise signal included in the sensor signal is minimized; and a sensor according to the trigger signal. and a secondary side circuit of the temperature measuring device having a sensor measuring section for sampling the signal.

또한 실시예에 있어서, 상기 노이즈 주파수 분석부는, 상기 센서신호를 미리 설정된 샘플링 주파수로 샘플링하는 샘플링부와, 상기 샘플링된 센서신호에서 교류성분의 노이즈를 분리하는 커플링부와, 상기 분리된 노이즈를 분석하여 노이즈의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 연속적으로 검출하는 타이밍 검출부와, 상기 검출된 타이밍마다 상기 센서측정부에 트리거 신호를 전송하는 트리거부를 포함하고, 상기 센서측정부는, 상기 트리거 신호를 수신할 때마다 센서신호를 샘플링한다.In addition, in an embodiment, the noise frequency analysis unit includes a sampling unit for sampling the sensor signal at a preset sampling frequency, a coupling unit for separating noise of an AC component from the sampled sensor signal, and analyzing the separated noise. and a timing detector for continuously detecting the timing at which the amplitude of the noise is minimized, and a trigger for transmitting a trigger signal to the sensor measurement unit at each detected timing, wherein the sensor measurement unit is configured to receive the trigger signal. Each time the sensor signal is sampled.

또한 실시예에 있어서, 상기 트리거부는, 신호전송에 따른 지연을 보상하기 위해 트리거 신호를 미리 전송한다.In addition, in an embodiment, the trigger unit transmits a trigger signal in advance to compensate for a delay caused by signal transmission.

본 발명에 다른 실시예에 따른 히터의 열선 온도 측정 시스템은, 열선과, 상기 열선의 온도를 제어하는 히터출력부와, 상기 히터출력부에 교류전원을 공급하는 교류전원부을 구비하는 히터의 1차측 회로; 선로 내의 교류신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 결정하고 상기 타이밍에 트리거 신호를 출력하는 노이즈 주파수 분석부를 구비하는 노이즈 주파수 분석장치의 2차측 회로; 상기 열선의 온도를 측정하여 센서신호를 생성하는 센서, 상기 노이즈 주파수 분석부로부터의 트리거 신호에 따라 센서신호를 샘플링하는 센서측정부를 구비하는 온도측정장치의 3차측 회로를 포함한다.A heating wire temperature measuring system of a heater according to another embodiment of the present invention is a primary circuit of a heater including a heating wire, a heater output unit for controlling the temperature of the heating wire, and an AC power supply unit for supplying AC power to the heater output unit ; a secondary circuit of the noise frequency analyzer including a noise frequency analyzer that determines a timing at which the amplitude of the AC signal in the line becomes the minimum and outputs a trigger signal at the timing; and a tertiary circuit of the temperature measuring device having a sensor measuring the temperature of the heating wire to generate a sensor signal, and a sensor measuring unit sampling the sensor signal according to a trigger signal from the noise frequency analysis unit.

또한 실시예에 있어서, 상기 노이즈 주파수 분석부는, 도선 상의 교류성분의 노이즈를 미리 설정된 샘플링 주파수로 샘플링하는 샘플링부와, 상기 샘플링된 노이즈를 분석하여 상기 샘플링된 노이즈의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 검출하는 타이밍 검출부와, 상기 검출된 타이밍에 트리거 신호를 상기 센서측정부에 전송하는 트리거부를 포함하고, 상기 센서측정부는 상기 트리거 신호에 기반하여 센서신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 히터의 열선 온도 측정 시스템.In addition, in an embodiment, the noise frequency analyzer includes a sampling unit that samples the noise of the AC component on the conducting wire at a preset sampling frequency, and analyzes the sampled noise to detect a timing at which the amplitude of the sampled noise is minimized. and a trigger unit for transmitting a trigger signal to the sensor measurement unit at the detected timing, wherein the sensor measurement unit samples the sensor signal based on the trigger signal. system.

또한 실시예에 있어서, 상기 트리거부는, 신호전송에 따른 지연을 보상하기 위해 트리거 신호를 미리 전송한다.In addition, in an embodiment, the trigger unit transmits a trigger signal in advance to compensate for a delay caused by signal transmission.

본 발명에 또 다른 실시예에 따른 히터의 열선 온도 측정 시스템은, 열선과, 상기 열선의 온도를 제어하는 히터출력부와, 상기 히터출력부에 교류전원을 공급하는 교류전원부와, 교류전원 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 결정하여 트리거 신호를 출력하는 노이즈 주파수 분석부을 구비하는 히터의 1차측 회로; 상기 열선의 온도를 측정하여 센서신호를 생성하는 센서와, 상기 트리거 신호에 따라 센서신호를 샘플링하는 센서측정부를 구비하는 온도측정장치의 2차측 회로를 포함한다. A heating wire temperature measuring system of a heater according to another embodiment of the present invention includes a heating wire, a heater output unit controlling the temperature of the heating wire, an AC power supply supplying AC power to the heater output unit, and an AC power signal a primary-side circuit of the heater including a noise frequency analyzer for outputting a trigger signal by determining the timing at which the amplitude is minimized; and a secondary-side circuit of the temperature measuring device having a sensor measuring the temperature of the heating wire to generate a sensor signal, and a sensor measuring unit sampling the sensor signal according to the trigger signal.

또한 실시예에 있어서, 상기 노이즈 주파수 분석부는, 교류전원 신호를 미리 설정된 샘플링 주파수로 샘플링하는 샘플링부와, 상기 샘플링된 교류전원 신호를 분석하여 상기 샘플링된 교류전원 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 검출하는 타이밍 검출부와, 상기 검출된 타이밍에 트리거 신호를 상기 센서측정부에 전송하는 트리거부를 포함하고, 상기 센서측정부는, 상기 트리거 신호를 수신할 때마다 센서신호를 샘플링한다.In addition, in an embodiment, the noise frequency analyzer includes a sampling unit that samples the AC power signal at a preset sampling frequency, and analyzes the sampled AC power signal to determine a timing at which the amplitude of the sampled AC power signal is minimized. A timing detector for detecting and a trigger for transmitting a trigger signal to the sensor measurement unit at the detected timing, wherein the sensor measurement unit samples the sensor signal whenever the trigger signal is received.

또한 실시예에 있어서, 상기 트리거부는, 신호전송에 따른 지연을 보상하기 위해 트리거 신호를 미리 전송한다.In addition, in an embodiment, the trigger unit transmits a trigger signal in advance to compensate for a delay caused by signal transmission.

본 발명에 따르면, 노이즈 주파수 분석부는 교류성분의 노이즈를 분석하여 노이즈의 진폭이 최소인 타이밍에 트리거 신호를 센서측정부에 제공하고, 센서측정부가 트리거 신호를 수신할 때마다 센서신호를 샘플링한다. 따라서 노이즈의 진폭이 가장 작은 시점에 센서신호가 샘플링되므로, 히터의 열선온도의 정확한 계측이 가능하다.According to the present invention, the noise frequency analyzer analyzes the noise of the AC component to provide a trigger signal to the sensor measurement unit at a timing when the amplitude of the noise is minimum, and samples the sensor signal whenever the sensor measurement unit receives the trigger signal. Therefore, since the sensor signal is sampled at the point in time when the amplitude of the noise is the smallest, it is possible to accurately measure the temperature of the heating wire of the heater.

도 1은 종래의 히터의 열선온도 측정 시스템의 회로를 간략하게 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템의 회로를 간략하게 도시한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 노이즈 주파수 분석부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 도시된 트리거부에서 생성되는 트리거 신호를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 종래의 히터의 열선온도 측정 시스템과 본 발명의 제1 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템에서 샘플링된 센서신호 파형을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템의 회로를 간략하게 도시한 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 노이즈 주파수 분석부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템의 회로를 간략하게 도시한 도면이다.
도 9는 도 8에 도시된 노이즈 주파수 분석부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating a circuit of a conventional heating wire temperature measuring system of a heater.
2 is a diagram schematically illustrating a circuit of a heating wire temperature measuring system of a heater according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram for explaining the configuration of the noise frequency analyzer shown in FIG. 2 .
4A and 4B are diagrams for explaining a trigger signal generated by the trigger unit shown in FIG. 3 .
5 is a diagram illustrating sensor signal waveforms sampled in the conventional heater heating wire temperature measurement system and the heater heating wire temperature measurement system according to the first embodiment of the present invention.
6 is a diagram schematically illustrating a circuit of a heating wire temperature measuring system of a heater according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a diagram for explaining the configuration of the noise frequency analyzer shown in FIG. 6 .
8 is a diagram schematically illustrating a circuit of a heating wire temperature measuring system of a heater according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a diagram for explaining the configuration of the noise frequency analyzer shown in FIG. 8 .

반도체공정은 다양한 공정으로 구성되며, 그 중 일부의 공정에 사용되는 기판처리장치는 기판을 가열 처리하기 위한 베이크 챔버를 포함한다. 베이크 챔버 내에는 기판을 가열하기 위한 열선을 포함하는 히터와 히터의 온도를 측정하기 위한 온도측정장치를 포함하는 히터의 열선온도 측정 시스템이 구비된다. 이외에도 측정된 히터의 온도를 기반으로 히터를 제어하기 위한 히터 제어장치가 더 포함될 수 있다. The semiconductor process consists of various processes, and a substrate processing apparatus used in some of the processes includes a bake chamber for heat-processing a substrate. A heating wire temperature measuring system of a heater including a heater including a heating wire for heating a substrate and a temperature measuring device for measuring a temperature of the heater is provided in the bake chamber. In addition, a heater controller for controlling the heater based on the measured temperature of the heater may be further included.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 히터의 열선온도 측정 시스템에 대해서 상세하게 설명한다. Hereinafter, a system for measuring a heating wire temperature of a heater according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템의 회로를 간략하게 도시한 도면이고, 도 3은 도 2에 도시된 노이즈 주파수 분석부의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 그리고 도 4a 및 도 4b는 도 2에 도시된 노이즈 주파수 분석부의 트리거 신호를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a circuit of a system for measuring a heating wire temperature of a heater according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram for explaining the configuration of the noise frequency analyzer shown in FIG. 2 . 4A and 4B are diagrams for explaining a trigger signal of the noise frequency analyzer shown in FIG. 2 .

도 2를 참조하면, 본 발명의 히터의 열선온도 측정 시스템은, 히터의 1차측 회로(LC11)와, 온도측정장치의 2차측 회로(LC12)를 포함한다. Referring to FIG. 2 , the heating wire temperature measuring system of the heater according to the present invention includes a primary side circuit LC11 of the heater and a secondary side circuit LC12 of the temperature measuring device.

히터의 1차측 회로(LC11)는 열선(110)과, 히터출력부(120)와, 교류전원부(130)를 포함한다.The primary side circuit LC11 of the heater includes a heating wire 110 , a heater output unit 120 , and an AC power supply unit 130 .

히터 내에 구비되는 열선(110)은 히터를 가열하는 발열체로 구비된다. 열선(110)의 온도는 히터출력부(120)에 의해 제어된다.The heating wire 110 provided in the heater is provided as a heating element for heating the heater. The temperature of the heating wire 110 is controlled by the heater output unit 120 .

교류전원부(130)는 히터출력부(120)에 특정 주파수의 교류전원을 공급한다. 이때 교류전원의 주파수는 50 내지 60Hz로 제공될 수 있다. 또는 교류전원의 주파수는 다른 주파수로도 제공될 수도 있다. 1차측 회로의 교류전원은 열전도성 재질의 히터를 통해 2차측 회로(LC12)에 유도성 노이즈를 발생시킨다.The AC power supply unit 130 supplies AC power of a specific frequency to the heater output unit 120 . In this case, the frequency of the AC power may be provided in a range of 50 to 60 Hz. Alternatively, the frequency of the AC power may be provided with another frequency. The AC power of the primary circuit generates inductive noise in the secondary circuit LC12 through a heater made of a thermally conductive material.

히터출력부(120)는 교류전원부(130)으로부터 교류전원을 공급받고, 교류전원의 출력을 조절하여 열선(110)에 공급하여 열선(110)의 온도를 제어한다.The heater output unit 120 receives AC power from the AC power supply unit 130 , adjusts the output of the AC power and supplies it to the heating wire 110 to control the temperature of the heating wire 110 .

온도측정장치의 2차측 회로(LC12)는 센서(210)와, 노이즈 주파수 분석부(220)와, 센서 측정부(230)를 포함한다.The secondary circuit LC12 of the temperature measuring device includes a sensor 210 , a noise frequency analyzer 220 , and a sensor measurer 230 .

센서(210)는 1차측 회로(LC11)의 열선(110)의 온도를 측정한다. 센서(210)는 1차측 회로(LC11)의 열선(110) 부근에 배치된다. The sensor 210 measures the temperature of the heating wire 110 of the primary circuit LC11. The sensor 210 is disposed in the vicinity of the heating wire 110 of the primary circuit LC11.

2차측 회로(LC12)를 흐르는 센서(210)에 의한 직류성분의 센서신호에는 1차측 회로(LC11)의 교류전원에 의한 교류성분의 유도성 노이즈가 포함된다.The sensor signal of the DC component by the sensor 210 flowing through the secondary circuit LC12 includes inductive noise of the AC component by the AC power of the primary circuit LC11.

노이즈 주파수 분석부(220)는 센서신호에 포함된 노이즈 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 결정하여 트리거 신호를 출력한다.The noise frequency analyzer 220 outputs a trigger signal by determining the timing at which the amplitude of the noise signal included in the sensor signal is minimized.

도 3을 참조하면, 노이즈 주파수 분석부(220)는 샘플링부(221), 커플링부(224), 타이밍 검출부(222), 트리거부(223)를 포함한다.Referring to FIG. 3 , the noise frequency analysis unit 220 includes a sampling unit 221 , a coupling unit 224 , a timing detection unit 222 , and a trigger unit 223 .

샘플링부(221)는 센서신호를 미리 설정된 샘플링 주파수로 샘플링한다.The sampling unit 221 samples the sensor signal at a preset sampling frequency.

이때 샘플링 주파수는, 센서신호에 포함된 교류성분의 유도성 노이즈를 분석하기 위한 것으로서, 센서측정부(230)에서 측정하는 샘플링 주파수보다 훨씬 높은 주파수가 사용된다. 예를 들어, 전원의 주파수가 50 내지 60Hz인 경우, 센서측정부(230)의 샘플링 주파수는 500 내지 6000Hz의 주파수가 사용될 수 있다. In this case, the sampling frequency is for analyzing the inductive noise of the AC component included in the sensor signal, and a frequency much higher than the sampling frequency measured by the sensor measuring unit 230 is used. For example, when the frequency of the power is 50 to 60 Hz, the sampling frequency of the sensor measuring unit 230 may be a frequency of 500 to 6000 Hz.

샘플링부(221)에서 샘플링된 센서신호는 커플링부(224)로 제공된다.The sensor signal sampled by the sampling unit 221 is provided to the coupling unit 224 .

커플링부(224)는 직류성분의 센서신호에 포함된 교류성분의 유도성 노이즈를 분리하고, 교류성분의 노이즈를 타이밍 검출부(222)에 제공한다. 본 발명에서 커플링부(224)는 소프트웨어적으로 구현된다. 하지만 이에 한정되지 않으며, 하드웨어적으로도 구현될 수 있다. The coupling unit 224 separates the inductive noise of the AC component included in the sensor signal of the DC component, and provides the noise of the AC component to the timing detection unit 222 . In the present invention, the coupling unit 224 is implemented in software. However, the present invention is not limited thereto, and may be implemented in hardware.

타이밍 검출부(222)는 타이밍 검출부(222)에서 분리된 교류성분의 유도성 노이즈를 분석하여 분석하여 유도성 노이즈의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 검출한다.The timing detector 222 analyzes and analyzes the inductive noise of the AC component separated by the timing detector 222 to detect a timing at which the amplitude of the inductive noise is minimized.

도 4a 및 도 4b는 도 3에 도시된 트리거부에서 생성되는 트리거 신호를 설명하기 위한 도면이다.4A and 4B are diagrams for explaining a trigger signal generated by the trigger unit shown in FIG. 3 .

도 4a를 참조하면, 타이밍 검출부(222)는 노이즈 신호의 진폭이 최소가 되는 시점 또는 노이즈 신호의 진폭이 미리 설정된 범위 내인 시점을 검출타이밍으로 판단하고, 해당 검출타이밍에 트리거부(222)에 트리거 요청신호를 생성하여 트리거부(223)에 전송한다. 즉, 타이밍 검출부(222)는 유도성 노이즈의 진폭을 분석하여 노이즈 신호의 진폭이 최소가 되는 시점 또는 노이즈 신호의 진폭이 미리 설정된 범위 내인 시점을 연속적으로 검출하여 해당 시점에 트리거 요청신호를 연속적으로 트리거부(223)에 전송한다. Referring to FIG. 4A , the timing detection unit 222 determines a time when the amplitude of the noise signal is the minimum or a time when the amplitude of the noise signal is within a preset range as the detection timing, and triggers the trigger unit 222 at the detection timing. A request signal is generated and transmitted to the trigger unit 223 . That is, the timing detector 222 analyzes the amplitude of the inductive noise to continuously detect a time point at which the amplitude of the noise signal is minimized or a time point when the amplitude of the noise signal is within a preset range to continuously generate a trigger request signal at the corresponding time It is transmitted to the trigger unit 223 .

트리거부(223)는 타이밍 검출부(222)로부터 트리거 요청신호를 수신하면, 트리거 신호를 생성하여 센서측정부(230)에 전송한다. 즉, 트리거부(223)는 연속적인 트리거 요청신호에 대해 각각의 트리거 신호를 생성하여 센서측정부(230)에 전송한다. 타이밍 검출부(222)는 트리거부(223)와 일체로 구비될 수 있다.When the trigger unit 223 receives the trigger request signal from the timing detector 222 , the trigger signal is generated and transmitted to the sensor measurement unit 230 . That is, the trigger unit 223 generates each trigger signal in response to the continuous trigger request signal and transmits it to the sensor measurement unit 230 . The timing detection unit 222 may be provided integrally with the trigger unit 223 .

센서측정부(230)는 트리거부(223)로부터 전송되는 트리거 신호를 수신하면, 센서신호를 샘플링한다. 즉, 센서측정부(230)는 노이즈 주파수 분석부(220)로부터 트리거 신호를 수신할 때마다, 센서신호를 샘플링한다. 이때 샘플링되는 시각(t1, t2, ..., t8,..)에는 노이즈 신호의 진폭이 최소화되는 시점이다.When receiving the trigger signal transmitted from the trigger unit 223, the sensor measurement unit 230 samples the sensor signal. That is, the sensor measurement unit 230 samples the sensor signal whenever it receives a trigger signal from the noise frequency analysis unit 220 . At this time, the sampling time (t1, t2, ..., t8, ...) is a time point at which the amplitude of the noise signal is minimized.

이와는 다르게 도 4b와 같이, 신호전송에 따른 딜레이를 보상하기 위해 트리거 신호를 미리 전송할 수 있다. Alternatively, as shown in FIG. 4B , a trigger signal may be transmitted in advance in order to compensate for a delay caused by signal transmission.

즉, 타이밍 검출부(222)는 유도성 노이즈의 진폭을 분석하여 노이즈 신호의 진폭이 최소가 되는 시점(t1, t2, ...,t8, ..) 을 연속적으로 검출하되, 해당 시점보다 앞선 시점(t1', t2', ..., t8',..)에 트리거 요청신호를 연속적으로 트리거부(223)에 전송할 수도 있다. That is, the timing detector 222 analyzes the amplitude of the inductive noise to continuously detect the time points (t1, t2, ..., t8, ..) at which the amplitude of the noise signal becomes the minimum, but a time point preceding the corresponding time point. The trigger request signal may be continuously transmitted to the trigger unit 223 at (t1', t2', ..., t8',...).

이때 t1'과 t1 사이의 시간은 타이밍 검출부(222)는 t1'에 트리거 요청신호를 트리거부(223)에 전송하는 동작과, 트리거부(223)가 센서측정부(230)에 트리거 신호를 전송하는 동작이 이루어지는데 필요한 시간일 수 있다. 따라서 실질적으로 센서측정부(230)가 측정할 때의 시각이 t1, t2, ..., tn이 되도록 할 수 있다. At this time, the time between t1' and t1 is an operation in which the timing detector 222 transmits a trigger request signal to the trigger unit 223 at t1', and the trigger unit 223 transmits a trigger signal to the sensor measurement unit 230. It may be the time required for the action to be performed. Therefore, the time when the sensor measurement unit 230 is actually measured may be t1, t2, ..., tn.

도 5는 종래의 히터의 열선온도 측정 시스템과 본 발명의 제1 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템에서 샘플링된 센서신호 파형을 도시한 도면이다.5 is a diagram illustrating sensor signal waveforms sampled in the conventional heater heating wire temperature measurement system and the heater heating wire temperature measurement system according to the first embodiment of the present invention.

A구간 내의 파형은 종래의 히터의 열선온도 측정 시스템에서 샘플링된 센서신호 파형이고, B구간 내의 파형은 본 발명의 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템에서 샘플링된 센서신호 파형이다. A waveform in section A is a sensor signal waveform sampled in a conventional heater heating wire temperature measuring system, and a waveform in section B is a sensor signal waveform sampled in a heating wire temperature measuring system of a heater according to an embodiment of the present invention.

A구간 내의 센서신호 파형은, 전원차단시를 제외한, 온도제어시 및 대기시에 센서 신호에 유도성 노이즈가 포함된다. 즉, 노이즈 신호는 대부분 교류전원에 의해 발생되며, 이외에도 비주기적 노이즈가 포함될 수도 있다.The sensor signal waveform in section A includes inductive noise in the sensor signal during temperature control and standby, except when power is cut off. That is, most of the noise signal is generated by the AC power source, and non-periodic noise may be included in addition to the noise signal.

B구간 내의 센서신호 파형은 전원차단시, 온도제어시, 대기시 모두 노이즈의 진폭이 최소화되어 있다. 즉, 센서신호는 주기적 또는 비주기적 노이즈의 진폭이 최소일 때 샘플링된 센서신호이다. 따라서 본 발명은 노이즈의 영향이 최소화된 센서신호를 이용하여 히터 열선의 정확한 온도계측이 가능하게 된다. In the sensor signal waveform in section B, the amplitude of noise is minimized when power is turned off, when temperature is controlled, and when waiting. That is, the sensor signal is a sensor signal sampled when the amplitude of periodic or aperiodic noise is minimum. Therefore, according to the present invention, accurate temperature measurement of the heater heating wire is possible using a sensor signal with minimal influence of noise.

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템의 회로를 간략하게 도시한 도면이고, 도 7은 도 6에 도시된 노이즈 주파수 분석부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.6 is a diagram schematically illustrating a circuit of a system for measuring a heating wire temperature of a heater according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a diagram for explaining the configuration of the noise frequency analyzer shown in FIG. 6 .

이하 제1 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템에 대한 설명과 중복되는 설명은 생략한다.Hereinafter, a description overlapping with the description of the heating wire temperature measuring system of the heater according to the first embodiment will be omitted.

도 6을 참조하면, 히터의 열선온도 측정 시스템(20)은, 히터의 1차측 회로(LC21)와, 노이즈 분석 장치의 2차측 회로(LC22)와, 온도측정장치의 3차측 회로(LC23)를 포함한다. 1차측 회로(LC21), 2차측 회로(LC22), 3차측 회로(LC23)는 서로 분리되어 구성되며, 2차측회로(LC22) 및 3차측회로(LC23)에는 1차측 회로(LC21) 상의 교류전원에 의해 교류성분의 유도성 노이즈가 발생한다. Referring to FIG. 6 , the heating wire temperature measuring system 20 of the heater includes a primary side circuit LC21 of the heater, a secondary side circuit LC22 of the noise analysis device, and a tertiary side circuit LC23 of the temperature measuring device. include The primary circuit LC21, the secondary circuit LC22, and the tertiary circuit LC23 are configured separately from each other, and the secondary circuit LC22 and the tertiary circuit LC23 have AC power on the primary circuit LC21. Inductive noise of AC component is generated.

1차측 회로(LC21)는 열선(310)과, 열선의 온도를 제어하는 히터출력부(320)와, 히터출력부(320)에 교류전원을 공급하는 교류전원부(330)을 포함한다.The primary circuit LC21 includes a heating wire 310 , a heater output unit 320 for controlling the temperature of the heating wire, and an AC power supply unit 330 for supplying AC power to the heater output unit 320 .

2차측 회로(LC22)는 1차측 회로(LC21)에 의해 선로 내에 발생되는 노이즈 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 결정하고 상기 타이밍에 트리거 신호를 출력하는 노이즈 주파수 분석부(410)를 포함한다. The secondary circuit LC22 includes a noise frequency analyzer 410 that determines a timing at which the amplitude of the noise signal generated in the line by the primary circuit LC21 becomes the minimum and outputs a trigger signal at the timing.

도 7을 참조하면, 노이즈 주파수 분석부(410)는 샘플링부(411), 타이밍 검출부(412), 트리거부(413)를 포함한다.Referring to FIG. 7 , the noise frequency analysis unit 410 includes a sampling unit 411 , a timing detection unit 412 , and a trigger unit 413 .

샘플링부(411)는 도선 상의 노이즈 신호를 미리 설정된 샘플링 주파수로 샘플링한다.The sampling unit 411 samples the noise signal on the conducting wire at a preset sampling frequency.

이때 샘플링 주파수는, 교류성분의 노이즈를 분석하기 위한 것으로서, 센서측정부에서 측정하는 샘플링 주파수보다 훨씬 높은 주파수가 사용된다. 예를 들어, 전원의 주파수가 50 내지 60Hz인 경우, 샘플링 주파수는 500 내지 6000Hz의 주파수가 사용될 수 있다. 샘플링부(411)에서 샘플링된 교류성분의 노이즈는 타이밍 검출부(412)에 제공된다.At this time, the sampling frequency is for analyzing the noise of the AC component, and a frequency much higher than the sampling frequency measured by the sensor measurement unit is used. For example, when the frequency of the power source is 50 to 60 Hz, the sampling frequency may be a frequency of 500 to 6000 Hz. The noise of the AC component sampled by the sampling unit 411 is provided to the timing detection unit 412 .

한편 본 실시예에서는, 노이즈 주파수 분석부(410)에 커플링부가 생략되어 있다. 즉, 2차측 회로(LC22)에는 센서(510)가 포함되어 있지 않으므로, 센서(510)에서 생성되는 직류성분의 센서신호가 존재하지 않기 때문이다. 따라서 본 실시예의 경우, 제1 실시예에 비해 노이즈 주파수 분석부(410)의 구성을 간단히 할 수 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the coupling unit is omitted from the noise frequency analysis unit 410 . That is, since the sensor 510 is not included in the secondary circuit LC22 , the sensor signal of the DC component generated by the sensor 510 does not exist. Accordingly, in the present embodiment, the configuration of the noise frequency analyzer 410 can be simplified compared to that of the first embodiment.

타이밍 검출부(412)는 샘플링부(411)에서 제공되는 샘플링된 교류성분의 노이즈를 분석하여 교류성분의 노이즈의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 검출한다.The timing detector 412 analyzes the noise of the AC component sampled from the sampling unit 411 and detects a timing at which the amplitude of the noise of the AC component is minimized.

타이밍 검출부(412)는 교류성분의 유도성 노이즈의 진폭이 최소가 되는 시점 또는 노이즈의 진폭이 미리 설정된 범위 내인 시점을 검출타이밍으로 판단하고, 해당 검출타이밍에 트리거부(413)에 트리거 요청신호를 전송한다. 타이밍 검출부(412)는 샘플링부(411)에서 제공되는 노이즈 신호를 연속적으로 분석하여 노이즈 신호의 진폭이 최소가 되는 시점 또는 노이즈 신호의 진폭이 미리 설정된 범위 내인 시점을 연속적으로 검출하고, 해당 시점마다 트리거 요청신호를 트리거부(413)에 전송한다. The timing detection unit 412 determines a time when the amplitude of the inductive noise of the AC component is the minimum or a time when the amplitude of the noise is within a preset range as the detection timing, and sends a trigger request signal to the trigger unit 413 at the detection timing. send. The timing detector 412 continuously analyzes the noise signal provided from the sampling unit 411 to continuously detect a time point at which the amplitude of the noise signal is minimized or a time point at which the amplitude of the noise signal is within a preset range, and at each corresponding time point A trigger request signal is transmitted to the trigger unit 413 .

트리거부(413)는 타이밍 검출부(412)로부터 트리거 요청신호를 수신하면, 트리거 신호를 생성하여 센서측정부(520)에 전송한다. 즉, 트리거부(413)는 연속적인 트리거 요청신호에 대해 각각의 트리거 신호를 생성하여 센서측정부(520)에 전송한다. 이때 트리거 신호의 전송시점은 도 4a 및 도 4b에서 설명한 바와 같은 방법으로 이루어질 수 있다. When receiving a trigger request signal from the timing detector 412 , the trigger unit 413 generates a trigger signal and transmits it to the sensor measurement unit 520 . That is, the trigger unit 413 generates each trigger signal for the continuous trigger request signal and transmits it to the sensor measurement unit 520 . In this case, the transmission time of the trigger signal may be made in the same way as described with reference to FIGS. 4A and 4B .

3차측 회로(LC23)는 열선(310)의 온도를 측정하여 센서신호를 생성하는 센서(510), 노이즈 주파수 분석부(410)로부터의 트리거 신호에 따라 센서신호를 샘플링하는 센서측정부(520)를 포함한다.The tertiary circuit LC23 is a sensor 510 that measures the temperature of the heating wire 310 to generate a sensor signal, and a sensor measurement unit 520 that samples the sensor signal according to a trigger signal from the noise frequency analyzer 410 . includes

제2 실시예에서의 노이즈 주파수 분석부(410)는 2차측 회로(LC22)에 구성되고, 센서측정부(520) 및 센서(510)는 3차측 회로(LC23)에 구성되므로, 2차측 회로(LC22)에 유도성 노이즈 외에 다른 요인에 의한 노이즈가 생성되지 않는다. 따라서 노이즈 분석부(410)는 1차측 회로(LC21)에 의해 유도되는 유도성 노이즈만을 분석할 수 있게 되며, 이에 따라 2차측 회로에서 센서신호를 정확히 측정할 수 있게 된다. Since the noise frequency analyzer 410 in the second embodiment is configured in the secondary circuit LC22, and the sensor measurement unit 520 and the sensor 510 are configured in the tertiary circuit LC23, the secondary circuit ( LC22) does not generate noise due to factors other than inductive noise. Accordingly, the noise analyzer 410 can analyze only the inductive noise induced by the primary circuit LC21, and thus can accurately measure the sensor signal in the secondary circuit.

도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템의 회로를 간략하게 도시한 도면이고, 도 9는 도 8에 도시된 노이즈 주파수 분석부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.8 is a diagram schematically illustrating a circuit of a system for measuring a heating wire temperature of a heater according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a diagram for explaining the configuration of the noise frequency analyzer shown in FIG. 8 .

이하 제1 실시예에 따른 히터의 열선온도 측정 시스템에 대한 설명과 중복되는 설명은 생략한다.Hereinafter, a description overlapping with the description of the heating wire temperature measuring system of the heater according to the first embodiment will be omitted.

도 8을 참조하면, 히터의 열선온도 측정 시스템(30)은, 히터의 1차측회로(LC31)와 온도측정장치의 2차측회로(LC32)를 포함한다. Referring to FIG. 8 , the heating wire temperature measuring system 30 of the heater includes a primary side circuit LC31 of the heater and a secondary side circuit LC32 of the temperature measuring device.

1차측 회로(LC31), 2차측 회로(LC32)는 서로 분리되어 구성되며, 2차측회로(LC32)에는 1차측 회로(LC31)의 교류전원에 의해 교류성분의 유도성 노이즈가 발생한다. The primary side circuit LC31 and the secondary side circuit LC32 are configured to be separated from each other, and in the secondary side circuit LC32, an AC component inductive noise is generated by the AC power of the primary side circuit LC31.

1차측 회로(LC31)은 열선(610)과, 열선(610)의 온도를 제어하는 히터출력부(640)와, 상기 히터출력부(640)에 교류전원을 공급하는 교류전원부(630)와, 선로 상의 노이즈 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 결정하여 트리거 신호를 출력하는 노이즈 주파수 분석부(640)를 포함한다. The primary circuit LC31 includes a heating wire 610, a heater output unit 640 for controlling the temperature of the heating wire 610, and an AC power supply unit 630 for supplying AC power to the heater output unit 640, and a noise frequency analyzer 640 for outputting a trigger signal by determining the timing at which the amplitude of the noise signal on the line becomes the minimum.

도 9를 참조하면, 노이즈 주파수 분석부(620)는 샘플링부(621), 타이밍 검출부(622), 트리거부(623)를 포함한다.Referring to FIG. 9 , the noise frequency analysis unit 620 includes a sampling unit 621 , a timing detection unit 622 , and a trigger unit 623 .

샘플링부(621)는 교류전원부(630)에서 공급되어 도선 상에 흐르는 교류전원, 즉 교류전원 신호를 미리 설정된 샘플링 주파수로 샘플링한다.The sampling unit 621 samples the AC power supplied from the AC power supply unit 630 and flowing on the wire, that is, the AC power signal at a preset sampling frequency.

이때 샘플링 주파수는, 교류전원 신호를 분석하기 위한 것으로서, 센서측정부에서 사용되는 샘플링 주파수보다 훨씬 높은 주파수가 사용된다. 예를 들어, 교류전원의 주파수가 50 내지 60Hz인 경우, 샘플링 주파수는 500 내지 6000Hz의 주파수가 사용될 수 있다. 샘플링부(621)에서 샘플링된 교류전원신호는 타이밍 검출부(622)에 제공된다.In this case, the sampling frequency is for analyzing the AC power signal, and a frequency much higher than the sampling frequency used in the sensor measurement unit is used. For example, when the frequency of the AC power is 50 to 60 Hz, the sampling frequency may be a frequency of 500 to 6000 Hz. The AC power signal sampled by the sampling unit 621 is provided to the timing detection unit 622 .

본 실시예의 경우, 1차측 회로(LC31)에는 직류성분이 존재하지 않기 때문에, 노이즈 주파수 분석부(620)에 커플링부가 존재하지 않는다. 따라서 본 실시예의 경우, 제1 실시예에 비해 노이즈 주파수 분석부(620)의 구성을 간단히 할 수 있다. In the present embodiment, since a DC component does not exist in the primary circuit LC31 , a coupling unit does not exist in the noise frequency analyzer 620 . Therefore, in the present embodiment, the configuration of the noise frequency analyzer 620 can be simplified compared to that of the first embodiment.

타이밍 검출부(622)는 샘플링부(621)에서 제공되는 샘플링된 교류전원신호를 분석하여 교류전원 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 검출한다.The timing detecting unit 622 analyzes the sampled AC power signal provided from the sampling unit 621 to detect a timing at which the amplitude of the AC power signal is minimized.

즉, 타이밍 검출부(622)는 교류전원 신호의 진폭이 최소가 되는 시점 또는 교류전원 신호의 진폭이 미리 설정된 범위 내인 시점을 검출타이밍으로 판단하고, 해당 검출타이밍에 트리거부(622)에 트리거 요청신호를 전송한다. 타이밍 검출부(622)는 샘플링부(621)에서 제공되는 교류전원 신호를 연속적으로 분석하여 교류전원 신호의 진폭이 최소가 되는 시점 또는 교류전원 신호의 진폭이 미리 설정된 범위 내인 시점을 연속적으로 검출하여 해당 시점에 트리거 요청신호를 연속적으로 트리거부(623)에 전송한다. That is, the timing detection unit 622 determines the time when the amplitude of the AC power signal is the minimum or the time when the amplitude of the AC power signal is within a preset range as the detection timing, and sends a trigger request signal to the trigger unit 622 at the detection timing. to send The timing detection unit 622 continuously analyzes the AC power signal provided from the sampling unit 621 to continuously detect a time point at which the amplitude of the AC power signal is minimized or a time point when the amplitude of the AC power signal is within a preset range, and the corresponding The trigger request signal is continuously transmitted to the trigger unit 623 at the time.

트리거부(623)는 타이밍 검출부(622)로부터 트리거 요청신호를 수신하면, 트리거 신호를 생성하여 센서측정부(720)에 전송한다. 즉, 트리거부(623)는 연속적인 트리거 요청신호에 대해 각각의 트리거 신호를 생성하여 센서측정부(720)에 전송한다. 이때 트리거 신호의 전송시점은 도 4a 및 도 4b에서 설명한 바와 같은 방법으로 이루어질 수 있다.When the trigger unit 623 receives a trigger request signal from the timing detector 622 , it generates a trigger signal and transmits it to the sensor measurement unit 720 . That is, the trigger unit 623 generates each trigger signal for the continuous trigger request signal and transmits it to the sensor measurement unit 720 . In this case, the transmission time of the trigger signal may be made in the same way as described with reference to FIGS. 4A and 4B .

2차측 회로 (LC32)는 열선의 온도를 측정하여 센서신호를 생성하는 센서(710)와, 트리거 신호에 따라 센서신호를 샘플링하는 센서측정부(720)를 구비한다.The secondary circuit LC32 includes a sensor 710 that generates a sensor signal by measuring the temperature of the heating wire, and a sensor measurement unit 720 that samples the sensor signal according to a trigger signal.

도 2에 도시된 제1 실시예에서의 노이즈 주파수 분석부는 2차측 회로에 구비되었으나, 도 8에 도시된 제3 실시예에서의 노이즈 주파수 분석부(620)는 1차측 회로(LC31)에 구비된다. 유도성 노이즈 신호의 대부분은 교류전원부(630)에서 제공되는 교류전원에 의한 것이다. 따라서 노이즈 주파수 분석부(620)를 1차측 회로(LC31)에 구비함으로써, 2차측 회로에서 노이즈 신호로 작용하는 1차측 회로의 노이즈 신호 즉, 전원신호를 직접적으로 분석할 수 있다. The noise frequency analyzer in the first embodiment shown in FIG. 2 is provided in the secondary circuit, but the noise frequency analyzer 620 in the third embodiment shown in FIG. 8 is provided in the primary circuit LC31 . Most of the inductive noise signal is due to the AC power provided from the AC power supply unit 630 . Accordingly, by providing the noise frequency analyzer 620 in the primary circuit LC31, it is possible to directly analyze the noise signal of the primary circuit acting as a noise signal in the secondary circuit, that is, the power signal.

본 발명에 따르면, 노이즈 주파수 분석부는 노이즈 신호를 분석하여 노이즈 신호의 진폭이 최소인 타이밍에 트리거 신호를 센서측정부에 제공하고, 센서측정부가 트리거 신호를 수신할 때마다 센서신호를 샘플링한다. 따라서 노이즈 신호의 진폭이 가장 작은 시점에 센서신호가 샘플링되므로, 히터의 열선온도의 정확한 계측이 가능하다.According to the present invention, the noise frequency analyzer analyzes the noise signal, provides the trigger signal to the sensor measurement unit at a timing when the amplitude of the noise signal is minimum, and samples the sensor signal whenever the sensor measurement unit receives the trigger signal. Therefore, since the sensor signal is sampled at the point in time when the amplitude of the noise signal is the smallest, accurate measurement of the heating wire temperature of the heater is possible.

LC1, LC11, LC21, LC31:1차측 회로
LC2, LC21, LC22, LC32: 2차측 회로
LC23: 3차측 회로
110, 310, 610: 열선
120, 320, 640: 히터출력부
130, 330, 630: 교류전원부
210, 510, 710: 센서
220, 410, 620: 노이즈 주파수 분석부
221: 샘플링부
222: 타이밍검출부
223: 트리거부
230, 520, 720: 센서측정부LC1, LC11, LC21, LC31: Primary circuit
LC2, LC21, LC22, LC32: secondary circuit
LC23: tertiary circuit
110, 310, 610: heated wire
120, 320, 640: heater output unit
130, 330, 630: AC power unit
210, 510, 710: sensor
220, 410, 620: noise frequency analysis unit
221: sampling unit
222: timing detection unit
223: trigger unit
230, 520, 720: sensor measurement unit

Claims (9)

히터의 열선 온도 측정 시스템에 있어서,
열선과, 상기 열선의 온도를 제어하는 히터출력부와, 상기 히터출력부에 교류전원을 공급하는 교류전원부을 구비하는 히터의 1차측 회로;
상기 열선의 온도를 측정하여 센서신호를 생성하는 센서와, 상기 센서신호에 포함된 노이즈 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 결정하여 트리거 신호를 출력하는 노이즈 주파수 분석부와, 상기 트리거 신호에 따라 센서신호를 샘플링하는 센서측정부를 구비하는 온도측정장치의 2차측 회로를 포함하는 히터의 열선 온도 측정 시스템.In the heating wire temperature measuring system of the heater,
a primary-side circuit of a heater including a heating wire, a heater output unit controlling a temperature of the heating wire, and an AC power supply unit supplying AC power to the heater output unit;
A sensor for generating a sensor signal by measuring the temperature of the heating wire, a noise frequency analyzer for outputting a trigger signal by determining a timing at which the amplitude of a noise signal included in the sensor signal is minimized; and a sensor according to the trigger signal. A heating wire temperature measuring system of a heater comprising a secondary circuit of a temperature measuring device having a sensor measuring unit for sampling a signal. 제1항에 있어서,
상기 노이즈 주파수 분석부는,
상기 센서신호를 미리 설정된 샘플링 주파수로 샘플링하는 샘플링부와,
상기 샘플링된 센서신호에서 교류성분의 노이즈를 분리하는 커플링부와,
상기 분리된 노이즈를 분석하여 노이즈의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 연속적으로 검출하는 타이밍 검출부와,
상기 검출된 타이밍마다 상기 센서측정부에 트리거 신호를 전송하는 트리거부를 포함하고,
상기 센서측정부는, 상기 트리거 신호를 수신할 때마다 센서신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 히터의 열선 온도 측정 시스템.According to claim 1,
The noise frequency analysis unit,
a sampling unit for sampling the sensor signal at a preset sampling frequency;
a coupling unit for separating noise of an AC component from the sampled sensor signal;
a timing detector for continuously detecting a timing at which the amplitude of the noise is minimized by analyzing the separated noise;
A trigger unit for transmitting a trigger signal to the sensor measurement unit for each detected timing,
The sensor measurement unit, the heating wire temperature measuring system of the heater, characterized in that for sampling the sensor signal each time the trigger signal is received. 제2항에 있어서,
상기 트리거부는, 신호전송에 따른 지연을 보상하기 위해 트리거 신호를 미리 전송하는 것을 특징으로 하는 히터의 열선 온도 측정 시스템. 3. The method of claim 2,
The trigger unit, the heating wire temperature measuring system of the heater, characterized in that for transmitting a trigger signal in advance to compensate for the delay caused by the signal transmission. 히터의 열선 온도 측정 시스템에 있어서,
열선과, 상기 열선의 온도를 제어하는 히터출력부와, 상기 히터출력부에 교류전원을 공급하는 교류전원부을 구비하는 히터의 1차측 회로;
선로 내의 교류신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 결정하고 상기 타이밍에 트리거 신호를 출력하는 노이즈 주파수 분석부를 구비하는 노이즈 주파수 분석장치의 2차측 회로;
상기 열선의 온도를 측정하여 센서신호를 생성하는 센서, 상기 노이즈 주파수 분석부로부터의 트리거 신호에 따라 센서신호를 샘플링하는 센서측정부를 구비하는 온도측정장치의 3차측 회로를 포함하는 히터의 열선 온도 측정 시스템.In the heating wire temperature measuring system of the heater,
a primary-side circuit of a heater including a heating wire, a heater output unit controlling a temperature of the heating wire, and an AC power supply unit supplying AC power to the heater output unit;
a secondary circuit of the noise frequency analyzer comprising a noise frequency analyzer that determines a timing at which the amplitude of the AC signal in the line becomes minimum and outputs a trigger signal at the timing;
Heating wire temperature measurement of a heater including a tertiary circuit of a temperature measuring device having a sensor measuring the temperature of the heating wire to generate a sensor signal, and a sensor measuring part sampling a sensor signal according to a trigger signal from the noise frequency analysis part system. 제4항에 있어서,
상기 노이즈 주파수 분석부는,
교류성분의 노이즈를 미리 설정된 샘플링 주파수로 샘플링하는 샘플링부와,
상기 샘플링된 노이즈를 분석하여 상기 샘플링된 노이즈의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 검출하는 타이밍 검출부와,
상기 검출된 타이밍에 트리거 신호를 상기 센서측정부에 전송하는 트리거부를 포함하고,
상기 센서측정부는 상기 트리거 신호에 기반하여 센서신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 히터의 열선 온도 측정 시스템.5. The method of claim 4,
The noise frequency analysis unit,
A sampling unit for sampling the noise of the AC component at a preset sampling frequency;
a timing detector for analyzing the sampled noise and detecting a timing at which the amplitude of the sampled noise is minimized;
A trigger unit for transmitting a trigger signal to the sensor measurement unit at the detected timing,
The sensor measurement unit heating wire temperature measurement system of the heater, characterized in that sampling a sensor signal based on the trigger signal. 제5항에 있어서,
상기 트리거부는, 신호전송에 따른 지연을 보상하기 위해 트리거 신호를 미리 전송하는 것을 특징으로 하는 히터의 열선 온도 측정 시스템. 6. The method of claim 5,
The trigger unit, the heating wire temperature measuring system of the heater, characterized in that for transmitting a trigger signal in advance to compensate for the delay caused by the signal transmission. 히터의 열선 온도 측정 시스템에 있어서,
열선과, 상기 열선의 온도를 제어하는 히터출력부와, 상기 히터출력부에 교류전원을 공급하는 교류전원부와, 교류전원 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 결정하여 트리거 신호를 출력하는 노이즈 주파수 분석부을 구비하는 히터의 1차측 회로;
상기 열선의 온도를 측정하여 센서신호를 생성하는 센서와, 상기 트리거 신호에 따라 센서신호를 샘플링하는 센서측정부를 구비하는 온도측정장치의 2차측 회로를 포함하는 히터의 열선 온도 측정 시스템.In the heating wire temperature measuring system of the heater,
A heating wire, a heater output unit for controlling the temperature of the heating wire, an AC power supply supplying AC power to the heater output unit, and noise frequency analysis for outputting a trigger signal by determining the timing at which the amplitude of the AC power signal is minimized a primary side circuit of the heater having a section;
A heating wire temperature measuring system of a heater comprising a secondary circuit of a temperature measuring device having a sensor measuring the temperature of the heating wire to generate a sensor signal, and a sensor measuring unit for sampling a sensor signal according to the trigger signal. 제7항에 있어서,
상기 노이즈 주파수 분석부는,
교류전원 신호를 미리 설정된 샘플링 주파수로 샘플링하는 샘플링부와,
상기 샘플링된 교류전원 신호를 분석하여 상기 샘플링된 교류전원 신호의 진폭이 최소가 되는 타이밍을 검출하는 타이밍 검출부와,
상기 검출된 타이밍에 트리거 신호를 상기 센서측정부에 전송하는 트리거부를 포함하고,
상기 센서측정부는, 상기 트리거 신호를 수신할 때마다 센서신호를 샘플링하는 것을 특징으로 하는 히터의 열선 온도 측정 시스템.8. The method of claim 7,
The noise frequency analysis unit,
a sampling unit for sampling the AC power signal at a preset sampling frequency;
a timing detector for analyzing the sampled AC power signal and detecting a timing at which the amplitude of the sampled AC power signal is minimized;
A trigger unit for transmitting a trigger signal to the sensor measurement unit at the detected timing,
The sensor measurement unit, the heating wire temperature measuring system of the heater, characterized in that for sampling the sensor signal each time the trigger signal is received. 제8항에 있어서,
상기 트리거부는, 신호전송에 따른 지연을 보상하기 위해 트리거 신호를 미리 전송하는 것을 특징으로 하는 히터의 열선 온도 측정 시스템. 9. The method of claim 8,
The trigger unit, the heating wire temperature measuring system of the heater, characterized in that for transmitting a trigger signal in advance to compensate for the delay caused by the signal transmission.
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