KR20210050067A - 카세트 식별장치 - Google Patents

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KR20210050067A
KR20210050067A KR1020190134195A KR20190134195A KR20210050067A KR 20210050067 A KR20210050067 A KR 20210050067A KR 1020190134195 A KR1020190134195 A KR 1020190134195A KR 20190134195 A KR20190134195 A KR 20190134195A KR 20210050067 A KR20210050067 A KR 20210050067A
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stage
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KR1020190134195A
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서태원
김영임
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주식회사 선익시스템
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Abstract

본 발명은 카세트 식별장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 카세트 식별장치는, 그 내부에 웨이퍼, 트레이, 마스크 중 적어도 어느 하나를 적재하여 보관 또는 이송하는 카세트의 상단부에 설치되며, 각각 서로 다른 특정 광굴절 경로를 갖는 광굴절 장치와; 카세트를 하부에서 받쳐주는 스테이지와; 스테이지의 홈 위치 정렬 및 스테이지가 일정 높이의 범위 내에서 상승 및 하강 가능하도록 하는 구동력을 제공하는 모터와; 공정 챔버에서 가공될 웨이퍼들을 임시로 보관하는 로드락 챔버의 4개의 측면벽 중 어느 하나의 측면벽에 설치되며, 광을 방출하는 발광 센서와; 로드락 챔버의 4개의 측면벽 중 발광 센서가 설치된 측면벽을 제외한 나머지 3개의 측면벽의 소정 위치에 설치되며, 발광 센서로부터 방출되어 상기 광굴절 장치에 의해 특정 광굴절 경로로 굴절된 광을 수광하는 수광 센서; 및 수광 센서로부터의 광굴절 경로 신호 패턴을 수신하여 미리 설정된 광굴절 경로 신호 패턴과 비교하여 해당 카세트가 어떤 종류의 카세트인지 식별하는 컴퓨터 시스템을 포함한다.

Description

카세트 식별장치{Cassette identification apparatus}
본 발명은 카세트 식별장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 카세트 내부에적재된 웨이퍼(wafer), 트레이(tray), 마스크(mask)의 종류 및 사이즈, 사양에 따라 카세트를 각각 정확히 식별할 수 있는 카세트 식별장치에 관한 것이다.
근래에 정보 통신 분야의 급속한 발달과 컴퓨터와 같은 정보처리 기기가 널리 보급됨에 따라 반도체 디바이스도 비약적으로 발전하고 있다. 이와 같은 반도체 디바이스는 그 기능면에 있어서, 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장 능력을 가질 것이 요구된다. 이에 따라, 반도체 디바이스는 집적도, 신뢰도 및 응답 속도 등을 향상시키는 방향으로 제조 기술이 발전하고 있다.
이상과 같은 반도체 디바이스는 일반적으로 웨이퍼 표면상에 막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등을 위한 일련의 단위 공정들을 순차적으로 수행함으로써 제조된다. 이러한 일련의 과정에서 웨이퍼는 각각의 단위 공정을 위한 장비들 사이에서 이송을 반복하게 된다. 이때, 통상적으로 웨이퍼는 개별 단위로 가공되지 않고, 25개 정도의 로트 단위로 가공된다.
웨이퍼들은 운송 효율 측면을 고려하고, 웨이퍼의 오염을 방지하기 위해 각각의 단위 공정을 위한 장비들 사이에서 다수매의 웨이퍼들이 카세트에 적재되어 이송된다. 또한 각각의 단위 공정들 사이에서 웨이퍼의 검사를 위해 계측 장비로 이송되는 경우에도 웨이퍼들은 카세트에 적재된 상태로 이송된다. 이때, 한 장의 웨이퍼를 이송하는 경우에도 작업자와의 신체적 접촉에 의한 오염을 방지하기 위해 카세트에 적재하여 이송한다. 이와 같은 카세트에는 웨이퍼뿐만이 아니라 트레이, 마스크도 적재되어 이송된다. 그런데, 카세트 내부에 적재되는 웨이퍼, 트레이, 마스크의 종류 및 사이즈, 사양(specification)에 따른 카세트의 구분이 어려운 문제가 있다. 양산 과정에서는 카세트에 음각으로 바코드를 형성하여 카세트를 관리하고 있으나, 연구단계에서는 카세트에 대해 특별히 관리하는 체계가 구축되어 있지 않은 실정이다.
한편, 한국 공개특허공보 제2003-0006825호(특허문헌 1)에는 "웨이퍼 카세트에 부착되는 바코드를 판별할 수 있는 로드락 챔버"가 개시되어 있는 바, 이에 따른 반도체 제조 설비는 제조 공정에 따라 웨이퍼를 가공하기 위한 공정 챔버와, 공정 챔버에서 가공될, 그리고 가공되는 웨이퍼들을 임시로 보관하기 위한 로드락 챔버를 포함하고, 상기 로드락 챔버는 웨이퍼 카세트에 표시되는 바코드를 인식할 수 있는 감지 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이상과 같은 특허문헌 1의 경우, 원하지 않는 웨이퍼 카세트가 작업자의 실수로 인해 로드락 챔버로 이송될 때, 웨이퍼 카세트에 표시되어 있는 바코드를 감지 장치(센서)에 의해 판독하여 판독된 바코드가 현재 진행하고자 하는 공정과 다른 공정에 해당하는 웨이퍼 카세트를 의미할 때, 공정이 진행되지 않도록 함으로써, 공정 사고(웨이퍼 카세트에 보관되어 있는 웨이퍼들이 처리되는 것)를 방지할 수 있는 장점이 있기는 하나, 웨이퍼 카세트를 판별하는 방식이 웨이퍼 카세트에 부착된 바코드를 읽어 판별하도록 되어 있어, 웨이퍼 카세트에 부착된 바코드가 떨어져 나가거나 바코드의 일부가 훼손 또는 바코드에 이물질이 묻어 바코드가 오염되거나 할 경우 센서에 의해 바코드를 제대로 인식할 수 없게 되는 문제점을 내포하고 있다.
한국 공개특허공보 제2003-0006825호(2003.01.23. 공개)
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 개선하기 위하여 창출된 것으로서, 카세트 내부에 적재되는 웨이퍼(wafer), 트레이(tray), 마스크(mask)의 종류 및 사이즈, 사양에 따라 각 카세트의 상단부에 각각 서로 다른 특정 광굴절 경로를 갖는 광굴절 장치를 설치하고, 이 광굴절 장치에 의해 굴절된 광을 센서에 의해 감지하여 인식함으로써, 카세트 내부에 적재된 웨이퍼, 트레이, 마스크의 종류 및 사이즈, 사양에 따른 카세트를 각각 구분하여 식별할 수 있는 카세트 식별장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 카세트 식별장치는,
그 내부에 웨이퍼(wafer), 트레이(tray), 마스크(mask) 중 적어도 어느 하나를 적재하여 보관 또는 이송하는 카세트의 상단부에 설치되며, 각각 서로 다른 특정 광굴절 경로를 갖는 광굴절 장치와;
상기 카세트를 하부에서 받쳐주는 스테이지(stage)와;
상기 스테이지와 기계적으로 연결되며, 상기 스테이지의 홈 위치 정렬 및 스테이지가 일정 높이의 범위 내에서 상승 및 하강 가능하도록 하는 구동력을 제공하는 모터와;
공정 챔버에서 가공될 웨이퍼들을 임시로 보관하는 로드락 챔버의 4개의 측면벽 중 어느 하나의 측면벽에 설치되며, 광을 방출하는 발광 센서와;
상기 로드락 챔버의 4개의 측면벽 중 상기 발광 센서가 설치된 측면벽을 제외한 나머지 3개의 측면벽의 소정 위치에 설치되며, 상기 발광 센서로부터 방출되어 상기 카세트의 상단부에 설치되어 있는 광굴절 장치에 의해 특정 광굴절 경로로 굴절된 광을 수광하는 수광 센서; 및
상기 수광 센서와 전기적으로 연결되며, 수광 센서로부터의 광굴절 경로 신호 패턴을 수신하여 미리 설정된 광굴절 경로 신호 패턴과 비교하여 해당 카세트가 어떤 종류의 카세트인지 식별하는 컴퓨터 시스템을 포함하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 상기 광굴절 장치는 상기 발광 센서로부터의 방출광을 입사받아 미리 설정된 특정 경로로 광의 진행 경로를 굴절시키도록 구성될 수 있다.
이때, 상기 미리 설정된 특정 경로는 입사광을 +90°방향으로, -90°방향으로, +90°방향 및 -90°방향으로 동시에 굴절시키는 경로와, 입사광의 경로와 동일한 경로로 진행시키는 경로를 포함할 수 있다.
이때, 또한 상기 미리 설정된 특정 경로는 입사광을 +45°방향으로, -45°방향으로, +45°방향 및 -45°방향으로 동시에 굴절시키는 경로를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 발광 센서로는 레이저 센서, 적외선 센서, 발광 다이오드(LED), 반도체 레이저(LD), 고체 레이저(SL) 등이 사용될 수 있다.
또한, 상기 수광 센서로는 포토다이오드(PD), 어발란체(abalanche) 포토다이오드 등이 사용될 수 있다.
또한, 상기 컴퓨터 시스템은 일반적인 데스크 탑 PC, 노트북 PC, 태블릿 PC를 포함할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 카세트 내부에 적재되는 웨이퍼(wafer), 트레이(tray), 마스크(mask)의 종류 및 사이즈, 사양에 따라 각 카세트의 상단부에 각각 서로 다른 특정 광굴절 경로를 갖는 광굴절 장치를 설치하고, 이 광굴절 장치에 의해 굴절된 광을 센서에 의해 감지하여 인식함으로써, 카세트 내부에 적재된 웨이퍼, 트레이, 마스크의 종류 및 사이즈, 사양에 따른 카세트를 각각 구분하여 정확하게 식별할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 반도체 제조 공정에서 사용되는 일반적인 카세트의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 카세트 식별장치에 있어서, 스테이지가 홈 위치에 정렬되어 있는 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 카세트 식별장치에 있어서, 스테이지가 일정 높이까지 상승하여 카세트의 상단부의 광굴절 장치에 의해 광의 진행 경로가 굴절되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 식별장치에 있어서, 스테이지가 일정 높이까지 상승하여 카세트의 상단부의 광굴절 장치에 의해 광의 진행 경로가 굴절되는 상태를 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 카세트 식별장치에 있어서, 발광 센서로부터의 방출광을 다방향으로 굴절 또는 직진시켜 각각의 경로에 따라 카세트를 식별하는 개념을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 카세트 식별장치에 있어서, 입사광을 광굴절 장치에 의해 +45°방향, -45°방향, +45°방향 및 -45°방향으로 동시에 굴절시키는 경로를 나타낸 도면이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정되어 해석되지 말아야 하며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "…부", "…기", "모듈", "장치" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
여기서, 본 발명의 실시예에 대하여 본격적으로 설명하기에 앞서, 본 발명의 이해를 돕기 위해 카세트에 대하여 먼저 설명해 보기로 한다.
도 1은 반도체 제조 공정에서 사용되는 일반적인 카세트의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 카세트(104)는 대략 육면체의 박스 형태로 구성되고, 측면벽의 내면부에는 다수의 웨이퍼(101), 트레이(102) 등을 적재할 수 있도록 다수의 슬롯(104s)이 형성되어 있다. 이와 같은 카세트(104)의 내부에는 웨이퍼(101), 트레이(102), 마스크(미도시) 등이 가이드 부재(103)에 안치된 상태에서 가이드 부재(103)가 상기 슬롯(104s)에 적재됨으로써 웨이퍼(101), 트레이(102), 마스크(미도시) 등이 카세트(104)의 내부에 적재되어 보관 및 이송된다. 도 1에서 (A)는 카세트의 전체적인 외관을 나타낸 사시도이고, (B)는 카세트의 정면도이며, (C)는 카세트의 평면도이고, (D)는 카세트의 저면도이다.
여기서, 상기 웨이퍼(101), 트레이(102) 및 마스크(미도시)는 다음의 표 1과 같이 다양한 크기와 사양(spec.)을 갖는다.
Figure pat00001
그런데, 카세트(104)의 내부에 적재되는 웨이퍼(101), 트레이(102) 및 마스크의 종류 및 사이즈, 사양(spec)은 위의 표 1에서와 같이 다양하여, 웨이퍼(101), 트레이(102) 및 마스크의 종류 및 사이즈, 사양(spec)에 따라 카세트를 식별(구분)하기가 어렵다.
본 발명은 이러한 사항을 고려하여 창출된 것으로서, 웨이퍼(101), 트레이(102) 및 마스크의 종류 및 사이즈, 사양(spec)에 따라 카세트를 정확하게 식별할 수 있는 카세트 식별장치를 제공하고자 하는 것으로, 이하에서는 그 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 식별장치를 나타낸 것으로서, 도 2는 스테이지가 홈 위치에 정렬되어 있는 상태를 나타낸 도면이고, 도 3은 스테이지가 일정 높이까지 상승하여 카세트의 상단부의 광굴절 장치에 의해 광의 진행 경로가 굴절되는 상태를 나타낸 측면도이고, 도 4는 평면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 식별장치는 광굴절 장치(205), 스테이지(203), 모터(204), 발광 센서(210), 수광 센서(220) 및 컴퓨터 시스템(230)을 포함하여 구성된다.
광굴절 장치(205)는 그 내부에 웨이퍼(wafer), 트레이(tray), 마스크(mask) 중 적어도 어느 하나를 적재하여 보관 또는 이송하는 카세트(202)의 상단부에 설치되며, 설치되는 카세트마다 각각 서로 다른 특정 광굴절 경로를 갖는다. 이와 같은 광굴절 장치(205)는 프리즘과 유사한 구조로 구성될 수 있다.
여기서, 이상과 같은 광굴절 장치(205)는 후술하는 발광 센서(210)로부터의 방출광을 입사받아 미리 설정된 특정 경로로 광의 진행 경로를 굴절시키도록 구성될 수 있다. 이때, 상기 미리 설정된 특정 경로는 도 5의 (A)에서와 같이 입사광을 +90°방향으로, (B)와 같이 -90°방향으로, (C)와 같이 +90°방향 및 -90°방향으로 동시에 굴절시키는 경로와, (D)와 같이 입사광의 경로와 동일한 경로로 진행시키는 경로를 포함할 수 있다.
이때, 또한 상기 미리 설정된 특정 경로는 도 6에 도시된 바와 같이, 입사광을 +45°방향으로, -45°방향으로, +45°방향 및 -45°방향으로 동시에 굴절시키는 경로를 더 포함할 수 있다.
스테이지(203)는 상기 카세트(202)를 하부에서 받쳐주는 역할을 한다. 이와 같은 스테이지(203)는 카세트(202)의 저면이 사각형임에 따라 사각형 플레이트 형태로 구성되나, 경우에 따라서는 원판형으로 구성될 수도 있다.
모터(204)는 상기 스테이지(203)와 기계적으로 연결되며, 상기 스테이지(203)의 홈 위치 정렬 및 스테이지(203)가 일정 높이(H)의 범위 내에서 상승 및 하강 가능하도록 하는 구동력을 제공한다. 이와 같은 모터(204)의 축에는 모터의 회전운동력을 직선운동력으로 바꾸어주는 트랜스듀서(미도시)가 설치된다.
발광 센서(210)는 공정 챔버에서 가공될 웨이퍼들을 임시로 보관하는 로드락 챔버(201)의 한 쪽 측면벽에 설치되며, 광을 방출하는 역할을 한다. 이와 같은 발광 센서(210)로는 레이저 센서, 적외선 센서, 발광 다이오드(LED), 반도체 레이저(LD), 고체 레이저(SL) 등이 사용될 수 있다.
수광 센서(220)는 상기 로드락 챔버(201)의 4개의 측면벽 중 상기 발광 센서 (210)가 설치된 측면벽을 제외한 나머지 3개의 측면벽의 소정 위치에 설치되며, 상기 발광 센서(210)로부터 방출되어 상기 카세트(202)의 상단부에 설치되어 있는 광굴절 장치(205)에 의해 특정 광굴절 경로로 굴절된 광을 수광하는 역할을 한다. 이와 같은 수광 센서(220)로는 포토다이오드(PD), 어발란체(abalanche) 포토다이오드 등이 사용될 수 있다.
컴퓨터 시스템(230)은 상기 수광 센서(220)와 전기적으로 연결되며, 수광 센서(220)로부터의 광굴절 경로 신호 패턴을 수신하여 미리 설정된 광굴절 경로 신호 패턴과 비교하여 해당 카세트가 어떤 종류의 카세트인지 식별한다. 여기서, 이와 같은 컴퓨터 시스템(230)은 일반적인 데스크 탑 PC, 노트북 PC, 태블릿 PC를 포함할 수 있다.
이상과 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 카세트 식별장치에 있어서, 처음에 도 2에서와 같이 스테이지(203)가 홈 위치에 정렬되어 있는 상태에서 모터(204)가 구동하면, 모터(204)의 회전에 따라 모터(204)의 축에 연결된 스테이지(203)가 도 3에서와 같이, 상부로 수직 이동하게 되며, 이에 따라 스테이지(203)에 탑재된 카세트(202)도 동시에 수직 상승하게 된다. 그러면, 카세트(202)의 상단부에 설치되어 있는 광굴절 장치(205)가 발광 센서(210)로부터 방출된 광을 입사받아 굴절시킬 수 있는 높이에 카세트(202)가 위치하게 되고, 이에 따라 발광 센서(210)로부터 방출된 광이 광굴절 장치(205)에 의해 특정 경로로 굴절된 광을 수광 센서(220)가 수광하게 된다. 수광 센서(220)에 의해 수광된 광굴절 경로 신호 패턴은 컴퓨터 시스템(230)으로 전송되고, 컴퓨터 시스템(230)은 수광 센서(220)로부터의 광굴절 경로 신호 패턴을 수신하여 미리 설정된 광굴절 경로 신호 패턴과 비교하여 해당 카세트가 어떤 종류의 카세트인지 식별한다.
즉, 컴퓨터 시스템(230)은 수광 센서(220)로부터 수신한 광굴절 경로 신호 패턴을 미리 설정된 광굴절 경로 신호 패턴과 비교한 결과가 도 5의 (A)와 같을 경우, 해당 카세트를 카세트 #1(예컨대, 200mm 트레이 및 200mm 트레이 마스크용 카세트)으로 식별하고, 비교 결과가 (B)와 같을 경우, 해당 카세트를 카세트 #2(예컨대, 200mm 웨이퍼 및 200mm 웨이퍼 마스크용 카세트)으로 식별한다. 또한, 비교 결과가 (C)와 같을 경우, 해당 카세트를 카세트 #3(예컨대, 300mm 트레이 및 300mm 트레이 마스크용 카세트)으로 식별하고, 비교 결과가 (D)와 같을 경우, 해당 카세트를 카세트 #4(예컨대, 300mm 웨이퍼 및 300mm 웨이퍼 마스크용 카세트)로 식별한다. 도 5의 (A)∼(D)에서 적색의 점 표시는 광굴절 장치(205)에 의해 특정 경로로굴절된 광을 수광 센서(220)가 수광하여 감지한 상태를 나타내고, 흑색의 점 표시는 발광 센서(210)로부터 방출된 광이 광굴절 장치(205)에 의해 해당 수광 센서 (220) 쪽으로 굴절되지 않아 수광 센서(220)가 굴절광을 수광하지 못한 상태를 나타낸다.
이상의 설명과 같이, 본 발명에 따른 카세트 식별장치는, 카세트 내부에 적재되는 웨이퍼(wafer), 트레이(tray), 마스크(mask)의 종류 및 사이즈, 사양에 따라 각 카세트의 상단부에 각각 서로 다른 특정 광굴절 경로를 갖는 광굴절 장치를 설치하고, 이 광굴절 장치에 의해 굴절된 광을 센서에 의해 감지하여 인식함으로써, 카세트 내부에 적재된 웨이퍼, 트레이, 마스크의 종류 및 사이즈, 사양에 따른 카세트를 각각 구분하여 정확하게 식별할 수 있는 장점이 있다.
이상, 바람직한 실시예를 통하여 본 발명에 관하여 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변경, 응용될 수 있음은 당해 기술분야의 통상의 기술자에게 자명하다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 다음의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
101: 웨이퍼 102: 트레이
103: 가이드 부재 104: 카세트
104s: 슬롯 201: 로드락 챔버
202: 카세트 203: 스테이지
204: 모터 205: 광굴절 장치
210: 발광 센서 220: 수광 센서
230: 컴퓨터 시스템

Claims (7)

  1. 그 내부에 웨이퍼(wafer), 트레이(tray), 마스크(mask) 중 적어도 어느 하나를 적재하여 보관 또는 이송하는 카세트의 상단부에 설치되며, 각각 서로 다른 특정 광굴절 경로를 갖는 광굴절 장치와;
    상기 카세트를 하부에서 받쳐주는 스테이지(stage)와;
    상기 스테이지와 기계적으로 연결되며, 상기 스테이지의 홈 위치 정렬 및 스테이지가 일정 높이의 범위 내에서 상승 및 하강 가능하도록 하는 구동력을 제공하는 모터와;
    공정 챔버에서 가공될 웨이퍼들을 임시로 보관하는 로드락 챔버의 4개의 측면벽 중 어느 하나의 측면벽에 설치되며, 광을 방출하는 발광 센서와;
    상기 로드락 챔버의 4개의 측면벽 중 상기 발광 센서가 설치된 측면벽을 제외한 나머지 3개의 측면벽의 소정 위치에 설치되며, 상기 발광 센서로부터 방출되어 상기 카세트의 상단부에 설치되어 있는 광굴절 장치에 의해 특정 광굴절 경로로 굴절된 광을 수광하는 수광 센서; 및
    상기 수광 센서와 전기적으로 연결되며, 수광 센서로부터의 광굴절 경로 신호 패턴을 수신하여 미리 설정된 광굴절 경로 신호 패턴과 비교하여 해당 카세트가 어떤 종류의 카세트인지 식별하는 컴퓨터 시스템을 포함하는 카세트 식별장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광굴절 장치는 상기 발광 센서로부터의 방출광을 입사받아 미리 설정된 특정 경로로 광의 진행 경로를 굴절시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 카세트 식별장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 미리 설정된 특정 경로는 입사광을 +90°방향으로, -90°방향으로, +90°방향 및 -90°방향으로 동시에 굴절시키는 경로와, 입사광의 경로와 동일한 경로로 진행시키는 경로를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 식별장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 미리 설정된 특정 경로는 입사광을 +45°방향으로, -45°방향으로, +45°방향 및 -45°방향으로 동시에 굴절시키는 경로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 식별장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 발광 센서는 레이저 센서, 적외선 센서, 발광 다이오드(LED), 반도체 레이저(LD), 고체 레이저(SL) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 식별장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 수광 센서는 포토다이오드(PD), 어발란체(abalanche) 포토다이오드 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 식별장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 컴퓨터 시스템은 일반적인 데스크 탑 PC, 노트북 PC, 태블릿 PC중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 식별장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20030006825A (ko) 2001-07-16 2003-01-23 삼성전자 주식회사 웨이퍼 카세트에 부착되는 바코드를 판별할 수 있는로드락 챔버

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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