KR20210035193A

KR20210035193A - 분광계 장치 및 분광계 장치의 제조 방법

Info

Publication number: KR20210035193A
Application number: KR1020217002757A
Authority: KR
Inventors: 마르틴 후스닉; 크리스찬 후버; 라인홀트 뢰델; 베네딕트 슈타인; 크리스토프 쉘링
Original assignee: 로베르트 보쉬 게엠베하
Priority date: 2018-07-31
Filing date: 2019-07-09
Publication date: 2021-03-31
Also published as: EP3830534B1; CN112534222A; US11604093B2; EP3830534A1; WO2020025263A1; US20210164836A1; DE102018212755A1

Abstract

본 발명은 제 1 캐리어 기판(TS1)을 갖는 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)으로서, 상기 제 1 캐리어 기판(TS1)은 Fabry-Perot 간섭계 유닛(EP)의 하부면(U)에 배치되며 광학 어퍼처(NA)를 갖는, 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP); 상기 하부면(U)의 반대편에 있는, 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 상부면(O)에 배치된 제 1 기판(K) 및/또는 제 2 기판(S)으로서, 상기 제 1 캐리어 기판(TS1)의 하부면(U)이 상기 제 2 기판(S) 상에 배치되는, 상기 제 1 기판(K) 및/또는 상기 제 2 기판(S); 및 상기 제 2 기판(S) 상에 또는 내에 및/또는 상기 제 1 기판(K) 상에 또는 내에 배치된 광 검출기 장치(PD)로서, 상기 광 검출기 장치(PD)의 제 1 전기 연결 영역(A1) 및 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 제 2 전기 연결 영역(A2)은 동일한 방향으로부터 전기적으로 접촉될 수 있는, 상기 광 검출기 장치(PD)를 포함하는 분광계 장치(10)에 관한 것이다.

Description

분광계 장치 및 분광계 장치의 제조 방법

본 발명은 분광계 장치 및 분광계 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

가능한 한 비용 효율적이고 소규모이지만 그럼에도 고성능의 분광계를 제조하려면, 일반적으로 가능한 한 적은 수의 구성 요소와 가능한 한 적은 수의 간단하고 저렴한 제조 단계가 사용되고 가능한 한 작은 크기가 달성되어야 한다. 그러나 일반적으로 분광계 장치의 제조에는 많은 제조 단계 또는 구성 요소가 필요하며, 이로 인해 큰 체적이 발생하고 구성 요소 및 제조의 비용이 증가할 수 있다.

US 7,286,244에는 소형 분광계의 일부로서 Fabry-Perot 간섭계를 구비한 검출기 구성이 제시된다. 분광계의 이러한 디자인은 간행물 US 2016/245696 및 US 2016/245697에도 알려져 있다.

본 발명은 청구항 제 1 항에 따른 분광계 장치 및 청구항 제 15 항에 따른 분광계 장치의 제조 방법을 제공한다.

바람직한 개선들은 종속 청구항들의 대상이다.

본 발명의 장점

본 발명에 기반이 되는 아이디어는 작은 구조 크기와, Fabry-Perot 간섭계를 구비한 검출기 장치 및/또는 어셈블리(패키지)의 저렴한 제조 방법을 특징으로 하는 분광계 장치를 제공하는 것이다. 이 경우, 가능한 한 작은 구조 크기를 가지며 가능한 한 비용 효율적이지만 고성능인 분광계 장치가 바람직하게 제공되며, 사용되는 구성 요소의 수는 바람직하게는 가능한 한 낮게 유지되고, 제조의 경우 바람직하게는 가능한 최소 수의 간단하고 저렴한 제조 단계가 적용될 수 있다.

본 발명에 따르면, 분광계 장치는 제 1 캐리어 기판을 포함하는 Fabry-Perot 간섭계 유닛으로서, 상기 제 1 캐리어 기판은 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 하부면에 배치되며 광학 어퍼처를 갖는, 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛; 상기 하부면의 반대편에 있는 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 상부면에 배치된 제 1 기판 및/또는 상기 제 1 캐리어 기판의 하부면이 배치되는 제 2 기판; 상기 제 2 기판 상에 또는 내에 및/또는 상기 제 1 기판 상에 또는 내에 배치된 광 검출기 장치로서, 상기 광 검출기 장치의 제 1 전기 연결 영역 및 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 제 2 전기 연결 영역은 동일한 방향으로부터 전기적으로 접촉될 수 있는, 상기 광 검출기 장치를 포함한다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 제 1 기판은 Fabry-Perot 간섭계 유닛을 커버할 수 있는 캡 기판을 포함하고, 제 2 기판은 Fabry-Perot 간섭계 유닛이 부착될 수 있는 베이스 기판을 포함한다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 광학 어퍼처는 제 1 캐리어 기판 내의 개구 또는 제 1 캐리어 기판 상의 불투명한 코팅에 의해 형성된다.

불투명한 코팅은 어퍼처의 영역에서 제 1 및/또는 제 2 기판 상에 배치될 수 있다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 분광계 장치는 광 입사 방향으로 볼 때 광 검출기 장치의 후방에 배치된 반사기 장치를 포함하므로, 광 검출기 장치는 반사기 장치와 Fabry-Perot 간섭계 유닛 사이에 배치된다.

광 검출기 장치는 바람직하게는 광 검출을 위한 하나 이상의 검출기를 포함할 수 있으며, 상기 검출기들은 분광계 장치에서 한 지점에 또는 공간적으로 분리되어 다수의 지점에 배치될 수 있다.

캡 기판은 바람직하게는 본드 연결에 의해 Fabry-Perot 간섭계 유닛에 배치될 수 있고, 예를 들어 Fabry-Perot 간섭계 유닛에 배치되거나 형성될 수 있는 본드 프레임이 사용될 수 있으며, 상기 본드 프레임 상에 캡 기판이 배치될 수 있다. 유사한 방식으로, Fabry-Perot 간섭계 유닛은 추가 본드 프레임을 통해 베이스 기판에 배치될 수 있다.

베이스 기판 및/또는 캡 기판은 바람직하게는 광 검출기 장치가 배치될 수 있는 측면에, 본드 패드(와이어 연결 영역)와 같은 연결 영역 및 전기 도체 트랙을 포함할 수 있다. 베이스 기판 및 캡 기판은 광 검출기 장치의 범위 밖의 분석될 파장 범위에서 입사 및 분석될 광에 대해 투과성이다. 베이스 기판 및/또는 캡 기판은 바람직하게는 실리콘, 유리 또는 사파이어로 이루어질 수 있다.

광 검출기 장치는 바람직하게는 본드 연결(예를 들어 직접 본드 연결) 및/또는 접착 연결에 의해 Fabry-Perot 간섭계 유닛에 연결되거나 이것에 배치될 수 있다.

본드 연결부는 바람직하게는 광에 대해 투과성이도록 설계될 수 있다. 이러한 의미에서, 베이스 기판과 Fabry-Perot 간섭계 유닛 사이의 및/또는 캡 기판과 Fabry-Perot 간섭계 유닛 사이의 접착 연결이 바람직하게 생략될 수 있으며, 분광계 장치에 내장된 광 검출기 장치에서의 광 감쇠가 바람직하게 방지될 수 있다.

분광계 장치는 바람직하게는 측정 구성을 나타낸다. 분광계 장치에서, Fabry-Perot 간섭계 유닛 및 광 검출기 장치는 바람직하게는 제 1 연결 영역 및 제 2 연결 영역이 바람직하게는 동일한 방향, 예를 들어, 광 입사 방향과 반대이거나 동일한 방향, 즉 광 입사 방향을 향하거나 반대쪽을 향한 방향을 가리키도록 서로 연결되거나 분광계 장치에 배치되거나 형성된다. 두 연결 영역의 동일한 정렬로 인해, Fabry-Perot 간섭계 유닛과 광 검출기 장치는 바람직하게는 동일한 전기 접촉 단계에서 전기적으로 연결될 수 있으며, 예를 들어 와이어 본드 연결로 각각 와이어 본딩될 수 있다. 이로 인해, 전기적 연결과 관련된 공정 단계의 수가 바람직하게 줄어들 수 있는 반면, 알려진 부품과 그 제조 공정에서는 검출기가 먼저 와이어 본딩된 다음 Fabry-Perot 간섭계 유닛이 장착되고, 그 다음에 Fabry-Perot 간섭계 유닛이 와이어 본딩되고, 이를 위해 일반적으로 스페이서와 같은 추가 구성 요소가 필요하다. 반면에, 본 발명에 따른 구성은 바람직하게는 비용 감소 및 작업 단계의 감소를 달성할 수 있다. 분광계 장치의 작은 크기로 인해, 와이어 연결부, 특히 연결 와이어의 길이가 특히 짧을 수 있다.

분광계 장치가 다수의 Fabry-Perot 간섭계 유닛을 포함하는 것도 가능하다.

본 발명에 따른 분광계 장치는 적은 수의 구성 요소를 사용하여 구현된다. 또한, 제조 과정에서 값비싼 제조 단계의 수가 최소화될 수 있다. 예를 들어, 인쇄 회로 기판(Printed Circuit Board)에 장착된 검출기에 대한 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 정렬이 필요 없다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, Fabry-Perot 간섭계 유닛은 캡슐화되고 MEMS 부품으로서 형성된다.

Fabry-Perot 간섭계 유닛은 바람직하게는 적어도 한면이 캡슐화되고, 상기 캡슐화는 바람직하게는 베이스 기판 및/또는 캡 기판 사이에서 Fabry-Perot 간섭계 유닛을 둘러싸는 것에 의해 달성될 수 있다. Fabry-Perot 간섭계 유닛은 바람직하게는 베이스 기판 및 캡 기판에 의해 환경으로부터 차폐된다. MEMS 부품은 바람직하게는 미세 기계 부품(micromechanical component)이다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 제 1 전기 연결 영역 및 제 2 전기 연결 영역은 광 입사 방향을 향하거나 반대쪽을 향하고 있다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 분광계 장치는 제 2 기판 내에 및/또는 제 1 기판 및/또는 Fabry-Perot 간섭계 유닛 내에 통합되며 광학 어퍼처 외부에 배치되는 온도 센서 장치를 포함한다.

온도 센서 장치는 바람직하게는 기판 또는 웨이퍼에 통합될 수 있거나 그 위에 장착될 수 있는 임의의 유형의 온도 감지 요소, 예를 들어 pn 다이오드 또는 서미스터를 포함할 수 있다. 온도 센서 장치는 바람직하게는 캡 기판에 통합되는 광 검출기 장치의 제 1 센서와 조합하여 설계될 수 있다. 여기서, 온도 센서 장치는 금속 커버가 캡 기판 또는 베이스 기판 내에 또는 상에 배치될 수 있는 광학 어퍼처 외부 영역에 배치되며, 상기 금속 커버는 온도 센서 장치의 영역에서, 예를 들어, 캡 기판에서 또는 직접 온도 센서 장치에서 광 흡수를, 그에 따라 분광계 장치 내로 입사되는 광에 의한 온도 측정의 변경을 바람직하게 감소시키거나 심지어 방지한다. 금속 커버는 바람직하게는 온도 센서 장치로부터 광 입사 방향과 반대로 캡 기판 내에 또는 상에 배치된다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 광 검출기 장치는 제 1 기판에 통합된 제 1 센서를 포함한다.

광 검출기 장치는 바람직하게는 독립적인 부품으로서 형성되고 캡 기판 또는베이스 기판 상에, 광학 어퍼처의 내부 또는 외부에 배치될 수 있는 개별 광 검출기 또는 센서를 포함할 수 있다. 이 경우, 개별 센서는 베이스 기판 또는 캡 기판에 본딩될 수 있으며, 이에 따라 광 흡수 또는 광 차단 접착 연결이 생략될 수 있다. 이로 인해, 접착제, 예를 들어 유기 접착제가 자체 흡수 밴드를 가질 수 있고 분석될 입사광 스펙트럼에 영향을 미칠 수 있기 때문에, 센서에 입사되어 분석되거나 검출될 광의 수율이 바람직하게 커질 수 있다. 광학 어퍼처의 영역에는 제 1 센서가 배치될 수 있으며 광 검출기 장치의 추가 개별 검출기도 배치될 수 있다. 즉, 예를 들어 둘다 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 광축에, 또는 제 1 캐리어 기판 내의 어퍼처에 대한 평면도로 볼 때, 상기 어퍼처 내에 배치될 수 있다. 물론, 적어도 제 1 센서 또는 개별 검출기가 광학 어퍼처 외부에 배치되는 것도 가능하다. 제 1 센서는 바람직하게는 어퍼처에 대한 평면도로 볼 때 어퍼처를 넘어 연장될 수 있다. 제 1 센서는 캡 기판 또는 베이스 기판의 에지 영역에 제 1 전기 연결 영역을 포함할 수 있으며, 상기 연결 영역에 이것이 예를 들어 와이어로 연결될 수 있다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 광 검출기 장치는 광학 어퍼처 외부에서 제 1 기판 및/또는 제 2 기판 상에 또는 내에 배치된 제 2 센서를 포함하고, 상기 제 1 기판 및/또는 제 2 기판은 제 2 센서의 영역에 금속 커버를 포함하며, 상기 금속 커버는 광 입사 방향과 반대로 제 2 센서를 커버한다.

제 2 센서는 바람직하게는 캡 기판 및/또는 베이스 기판에 배치되거나 이것에 통합된다. 이 경우, 금속 커버, 및 바람직하게는 다이오드와 같은 광 감지 요소를 포함하는 제 2 센서는 바람직하게는 암전류 측정을 위한 기준 검출기를 형성한다. 즉, 이로 인해, 입사광 없이 측정 시점에 존재하는 암전류가 분광계 장치의 위치에서 측정되어 고려될 수 있다. 제 2 센서는 바람직하게는 캡 기판 또는 베이스 기판에 통합될 수 있는 광 검출기 장치의 제 1 센서와 조합하여 구현될 수 있다. 제 2 센서는 독립적인 개별 센서 부품으로서 캡 기판 또는 베이스 기판에 배치될 수 있거나 이것에 통합될 수 있다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 반사기 장치는 제 1 초점을 갖는 포물선 형상을 갖고, 광 검출기 장치는 적어도 제 1 초점에 배치되며, 상기 제 1 초점은 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 광축에 놓인다.

반사기 장치는 바람직하게는 하나 이상의 미러 요소 또는 렌즈를 포함할 수 있다. Fabry-Perot 간섭계 유닛의 광축은 바람직하게는 제 1 캐리어 기판의 평면 연장 방향에 수직이고 광 입사 방향과 평행하거나 이와 반대로 제 1 캐리어 기판 내의 어퍼처를 통과한다. 반사기 장치는 바람직하게는 Fabry-Perot 간섭계 유닛 위의 절반 공간을 커버하고, 상기 절반 공간은 광 입사 방향으로 볼 때 Fabry-Perot 간섭계 유닛 후방에 배치되며, 입사광이 Fabry-Perot 간섭계 유닛 및 캡 기판 및 베이스 기판을 (다른 순서도 가능) 통과한 후, 상기 입사광을 바람직하게는 광이 통과한 마지막 기판(캡 기판 또는 베이스 기판)으로, 특히 그것 상에 또는 그것 내에 배치된 광 검출기 장치로, 적어도 부분적으로 반사하여 바람직하게는 제 1 초점에 광을 포커싱한다. 이로 인해, 광학 어퍼처 내의 광학 축에 배치된 광 검출기 장치를 통한 제 1 통과 동안 완전히 흡수되지 않았거나 반사 광학 요소로서 형성될 수 있는 반사기 장치에 의해 그것을 통과했던 광이 광 검출기 장치로 바람직하게 되돌아갈 수 있기 때문에, 검출될 광의 신호 강도가 바람직하게 커진다.

광의 측정을 참조하기 위해, 광 검출기 장치는 바람직하게는 추가 구성 요소, 예를 들어 광 검출기를 포함할 수 있으며, 상기 광 검출기는 바람직하게는 광학 어퍼처 외부에, 그에 따라 제 1 초점 외부에 배치되고 금속 커버에 의해 입사광에 대해 커버될 수 있다. 금속 커버는 기판 또는 금속 층 상에 또는 내에 예를 들어 임의의 유형의 실질적으로 편평한 금속화를 포함할 수 있다.

오목 거울을 통한, 바람직하게는 그 초점에 입사광의 이미징은 바람직하게는 검출기 면 및 거울의 초점 거리에 따라 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 허용 각도의 제한을 보장한다. 초점에 광의 포커싱에 의해, 광 검출기 장치의 작은 광 검출기가 사용될 수 있으며, 이는 바람직하게 추가 비용을 절약한다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 반사기 장치는 제 1 초점 및 제 2 초점을 갖는 적어도 부분적으로 타원 형상을 갖고, 광 검출기 장치는 제 2 초점에 배치되며, 상기 제 2 초점은 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 광축 외부에 놓인다.

광 검출기 장치는 바람직하게는 제 1 초점에서 광학 어퍼처 내부의 센서 영역 및 제 2 초점에서 광학 어퍼처 외부의 추가 센서 영역을 포함할 수 있다. 이 센서 영역은 기판(베이스 기판 및/또는 캡 기판) 상에 또는 내에 각각 배치된 광 검출기를 포함할 수 있다. 반사기 장치는 바람직하게는 2개의 초점을 포함하는 타원 형상을 가지며, 여기서 광은 제 1 초점에서 모이고 집중되어 제 2 초점에 포커싱될 수 있다. 제 2 초점 내의 광 검출기 장치는 바람직하게는 베이스 기판 또는 캡 기판에 접착될 수 있는데, 그 이유는 제 2 초점의 위치에서 광이 바람직하게는 거울에 의해 광 입사 방향과 반대 방향으로부터 광 검출기 장치로 편향되고 기판 및 경우에 따라 접착제를 통해 비출 필요가 없기 때문이다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 분광계 장치는 제 2 기판이 배치되어 접착제 연결에 의해 적어도 부분적으로 고정되는 제 2 캐리어 기판을 포함한다.

제 2 캐리어 기판은 예를 들어 인쇄 회로 기판을 포함할 수 있다.

제 2 캐리어 기판은 바람직하게는 전자 캐리어 기판, 예를 들어 인쇄 회로 기판을 포함하며, 상기 인쇄 회로 기판 상에 바람직하게는 소형화된 분광계 장치가 배치되어 고정될 수 있다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 제 2 기판은 하부면에 제 1 영역을 포함하고, 상기 영역에서 접착제 연결에 의해 제 2 캐리어 기판에 장착될 수 있다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 제 2 기판은 하부면에 제 2 영역을 포함하고, 상기 영역에서 조립 정지부를 통해 제 2 캐리어 기판에 장착될 수 있다.

접착 연결은 바람직하게는 제 1 영역으로 제한되므로, 조립 정지부가 접착 연결로부터 자유로울 수 있다. 조립 정지부는 예를 들어 스페이서 및/또는 제 2 캐리어 기판 상의 베이스 기판에 대한 베이스 포인트로서, 베이스를 포함할 수 있다. 제 2 영역에, 바람직하게는 다이어프램이 배치될 수 있으며, 이 다이어프램은 바람직하게는 입사광에 대해 비투과성이다. 다이어프램은 제 2 캐리어 기판을 향한 베이스 기판의 전체 하부면에 걸쳐 또는 부분적으로만 상기 하부면에 걸쳐 연장될 수 있으며, 바람직하게는 이것에 배치되거나 제공될 수 있으며, 광 투과를 위한 개구를 포함하고, 상기 개구는 측 방향 연장에 있어서 제 1 캐리어 기판 내의 광학 어퍼처에 상응할 수 있다. 제 1 영역은 접착 연결에 의해 제 2 캐리어 기판에 연결될 수 있는 다이어프램을 포함할 수 있다. 제 1 영역은 바람직하게는 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 제 2 전기 연결 영역, 예를 들어 그 와이어 본드 패드가 제공될 수 있는 베이스 기판의 영역에 배치되며, 이에 의해 와이어 본드 접촉의 품질이 개선될 수 있다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 반사기 장치는 오목 거울을 포함한다.

거울을 사용함으로써, 분광계 장치의 크기는 렌즈를 갖는 실시예에 비해 감소될 수 있다.

분광계 장치의 바람직한 실시예에 따르면, 광 검출기 장치는 본드 연결에 의해 제 2 기판 또는 제 1 기판 상에 배치된다.

그에 대한 대안으로서, 광 검출기 장치는 접착 연결에 의해 베이스 기판 또는 캡 기판 상에 배치되는 것도 가능하다.

본 발명에 따르면, 분광계 장치의 제조 방법은 제 1 기판 및/또는 제 2 기판, 및 제 1 캐리어 기판을 가진 Fabry-Perot 간섭계 유닛을 제공하는 단계로서, 상기 제 1 캐리어 기판은 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 하부면에 배치되며 광학 어퍼처를 포함하는, 상기 제공 단계; 상기 제 2 기판 상에 상기 제 1 캐리어 기판이 있게 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛을 배치하고 및/또는 상기 제 1 기판을 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛 상에 배치하는 단계로서, 상기 제 1 캐리어 기판의 하부면은 상기 제 2 기판 상에 배치되고 상기 제 1 기판은 상기 하부면의 반대편에 있는, 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 상부면에 배치되며, 광 검출기 장치는 상기 제 2 기판 상에 또는 내에 및/또는 상기 제 1 기판 상에 또는 내에 배치되거나 이것에 통합되는, 상기 배치 단계; 및 상기 광 검출기 장치의 제 1 전기 연결 영역과 와이어 연결부를 갖는 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 제 2 전기 연결 영역을 전기적으로 접촉하는 단계로서, 상기 접촉은 동일한 측면으로부터 이루어지는 상기 접촉 단계를 포함한다.

방법의 바람직한 실시예에 따르면, 방법 단계(S3) 후에, 방법 단계(S4)에서 제 2 기판은 제 2 캐리어 기판 상에 배치되고 베이스 기판은 적어도 부분적으로 제 2 캐리어 기판에 접착된다.

추가 방법 단계(S5)에서, 반사기 장치가 광 입사 방향으로 볼 때 광 검출기 장치 후방에 배치되므로, 광 검출기 장치가 반사기 장치와 Fabry-Perot 간섭계 유닛 사이에 배치되는 방식으로, 반사기 장치가 제 2 기판 위에 또는 제 1 기판 위에 배치된다.

방법은 바람직하게는 분광계 장치와 관련해서 설명된 특징들 및 그 장점들을 특징으로 하며, 그 반대의 경우도 마찬가지이다.

본 발명의 실시예들의 추가 특징들 및 장점들은 첨부된 도면을 참조한 다음의 설명에 나타난다.

본 발명은 도면에 개략적으로 도시된 실시예를 참조하여 아래에서 더 상세히 설명된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분광계 장치의 개략적인 단면도이다.
도 2는 도 1의 분광계 장치의 개략적인 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분광계 장치의 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 분광계 장치의 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 방법의 단계들의 개략적인 순서를 도시한다.

도면들에서 동일한 도면 부호는 동일하거나 기능적으로 동일한 요소들을 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분광계 장치의 개략적인 단면도를 도시한다.

분광계 장치(10)는 제 1 기판(K), 바람직하게는 캡 기판(K) 및/또는 제 2 기판(S), 바람직하게는 베이스 기판(S); 및 제 1 캐리어 기판(TS1)을 갖는 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)을 포함하고, 상기 제 1 캐리어 기판(TS1)은 하부면(U) 및 바람직하게는 광학 어퍼처(NA)를 갖는 개구를 포함하며, 상기 제 1 캐리어 기판(TS1)의 하부면(U)은 상기 베이스 기판(S) 상에 배치될 수 있고, 상기 캡 기판(K)은 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 상부면(O) 상에 배치될 수 있다. 또한, 분광계 장치(10)는 베이스 기판(S) 상에 또는 내에 및/또는 캡 기판(K) 상에 또는 내에 배치될 수 있는 광 검출기 장치(PD), 및 광 검출기로서 다수의 구성 요소를 포함하고, 광 검출기 장치(PD)의 제 1 전기 연결 영역(A1) 및 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 제 2 전기 연결 영역(A2)은 동일한 방향으로부터 전기적으로 접촉될 수 있다. 또한, 분광계 장치(10)는 광 입사 방향(L)으로 볼 때 광 검출기 장치(PD) 후방에 배치된 반사기 장치(HS)를 포함하므로, 광 검출기 장치(PD)는 반사기 장치(HS)와 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP) 사이에 배치된다. 바람직하게는, 캡 기판(K) 및 베이스 기판(S)에 의해, 두 기판 사이의 공동부에 정의된 압력이 설정될 수 있다.

광 검출기 장치(PD)는 캡 기판에 통합될 수 있는 제 1 센서(S1)를, 바람직하게는 광 입사 방향(L) 반대편에 놓인 캡 기판(K)의 측면에 포함할 수 있다. 또한, 광 검출기 장치(PD)는 개구(NA)의 내부 및/또는 외부에 배치될 수 있는 제 2 센서(S2)를 포함하고, 상기 제 2 센서(S2)는 암전류 측정을 위해 광 입사 방향(L)과 반대로 금속 커버(도시되지 않음)에 의해 입사광으로부터 차폐될 수 있다. 이에 대한 대안으로서, 제 2 센서는 금속 커버의 외부에 배치될 수 있고 직접 광 입사 또는 반사기 장치에서 그 반사를 측정할 수 있다. 제 1 센서(S1)는 바람직하게는 개별 광 검출기로서 설계될 수 있고 광학 어퍼처를 갖는 개구(NA)를 통한 광축(A)에 배치될 수 있다. 센서(S1)는 선택적으로 (도시에 대한 대안으로서) 캡 기판에 적용된 금속화에 거꾸로 (플립 칩) 연결될 수 있으며, 상기 금속화는 도체 트랙을 통해 제 1 연결 영역(A1)으로 이어진다. 캡 기판(K)에 통합된 센서로서, 제 1 센서(S1)가 광축(A) 또는 그 주위에 배치될 수 있다. 캡 기판(K)은 바람직하게는 본드 프레임을 포함할 수 있는 본드 연결부(BV)를 통해 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 상부면(O) 상에 배치된다. Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 미러 요소들은 제 1 캐리어 기판(TS1)을 향해 영역(B3) 내에 언더컷을 가질 수 있으며, 상기 언더컷은 측 방향으로 개구(NA)를 넘어 연장될 수 있어 개구(NA) 및 제 1 캐리어 기판(TS1)에 걸쳐 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 미러 요소들의 내부 영역의 장력의 기계적 분리가 달성될 수 있고, 이에 의해 내부 영역에서 미러 요소들의 개선된 평면 평행성이 바람직하게 달성될 수 있다. Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 하부면(U)은 또한 추가 본드 연결부, 바람직하게는 추가 본드 프레임을 통해 베이스 기판(S) 상에 배치될 수 있으며, 베이스 기판은 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP) 반대편 하부면(US)에 다이어프램(B)을 포함할 수 있다. 다이어프램(B)은, 제 1 캐리어 기판(TS1) 내의 개구(NA)에 해당하며 광학 어퍼처(NA)를 제외하고 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)을 입사광에 대해 커버할 수 있는 개구를 포함할 수 있다. 다이어프램(B)과 일치할 수 있는, 베이스 기판(S)의 하부면(US) 상의 제 1 영역(B1)에서, 바람직하게는 제 2 캐리어 기판(TS2)과의 접착 연결(KV)이 형성될 수 있고, 베이스 기판(S)은 제 2 캐리어 기판(TS2) 상에 고정될 수 있다. 제 2 캐리어 기판(TS2)은 바람직하게는 인쇄 회로 기판을 포함할 수 있고, 바람직하게는 입사광을 개구(NA) 내로 통과시키기에 적합한 개구를 가지며, 이 개구는 예를 들어 개구(NA)보다 측 방향으로 더 클 수 있다. 베이스 기판(S)의 하부면(US) 상의 제 2 영역(B2)에서, 베이스 기판(S)은 조립 정지부(M)를 통해 제 2 캐리어 기판(TS2) 상에 배치되거나 장착될 수 있다.

광 검출기 장치(PD)가 캡 기판(K) 상에 또는 내에 배치될 때, 바람직하게는 접착이 생략될 수 있으며, 이로 인해 바람직하게는 분광계 장치(10)에서 광 검출기 장치(PD)로 가는 도중에 입사광의 감쇠 또는 변형이 나타나지 않는다. 예를 들어, 광 검출기 장치(PD)는 캡 기판(K)에 직접 본딩될 수 있다.

광 검출기 장치(PD)의 제 1 전기 연결 영역(A1)은 바람직하게는 광 검출기 장치(PD)의 각각의 요소, 예를 들어 제 1 센서(S1) 및 제 2 센서(S2) 및 가능한 추가 검출기에 존재한다. 와이어 연결부(DB)는 상기 연결 영역(A1)으로부터 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 추가 제 1 연결 영역(A1) 또는 제 2 연결 영역(A2) 또는 제 2 캐리어 기판(TS2) 상의 접점(K1)으로 이어질 수 있다. 바람직하게는, 모든 접점(K1) 및 제 1 연결 영역(A1) 및 제 2 연결 영역(A2)은 광 입사 방향(L)에 대해 동일한 방향으로 정렬되고, 예를 들어 캡 기판(K) 및/또는 베이스 기판(S) 및/또는 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 동일한 측면에 배치되고, 동일한 방법 단계에서 그리고 동일한 측면으로부터 바람직하게는 와이어 본딩 방법으로 전기적으로 접촉될 수 있고, 이는 연결, 연결 수단 및 방법 단계에서 비용을 절감할 수 있다.

반사기 장치(HS)는 바람직하게는 하나 이상의 포물선형 오목 거울을 포함하고, 제 1 통과 동안 광 검출기 장치(PD)에 의해 완전히 흡수되지 않았던 광을 다시 이것으로 반사할 수 있는 다른 반사 요소들도 가능하다. 반사기 장치(HS)는 바람직하게는 캡 기판(K) 위의 절반 공간을 커버하고 광축에 놓일 수 있으며, 반사기 장치(HS)의 초점은 광축(A)에 놓일 수 있다.

반사기 장치(HS)는 최적화된 자유 형태를 포함할 수 있다.

분광계 장치(10)는 바람직하게는 가능한 한 적은 수의 구성 요소를 특징으로 하고 가능한 한 적은 비용 집약적인 방법 단계로 제조될 수 있으며 바람직하게는 마이크로 분광계에 사용될 수 있다.

도 2는 도 1의 분광계 장치의 개략적인 평면도를 도시한다.

베이스 기판, Fabry-Perot 간섭계 유닛 및 캡 기판로 이루어진 장치는 바람직하게는 제 2 캐리어 기판(TS2) 상에 배치될 수 있고, 제 2 캐리어 기판(TS)은 캡 기판 및 베이스 기판 및 Fabry-Perot 간섭계 유닛을 모든 방향으로 넘어 연장될 수 있다. 광학 어퍼처(NA)를 갖는 개구는 바람직하게는 제 1 캐리어 기판(TS1)에서 원형이고, 미러 요소들과 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 제 1 캐리어 기판(TS1) 사이의 언더컷 영역(B3)은 원형으로 개구(NA)를 넘어 연장될 수 있다. 접점들(K1)은 다수가 제 2 캐리어 기판(TS2) 상에 형성될 수 있다. Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)은 제 1 영역(B1)에 걸쳐서 측 방향으로 캡 기판(K)을 넘어 연장될 수 있어서, 평면도에서 제 2 전기 연결 영역(A2)의 접점들이 노출된다. 개구(NA) 외부 영역에서, 온도 센서 장치(TempS)는 바람직하게는 캡 기판(K) 또는 Fabry-Perot 간섭계 유닛에 배치되며, 상기 온도 센서 장치 자체는 예를 들어 와이어 본드에 의한 접촉을 위해 제 3 연결 영역(A3)을 포함할 수 있다. 조립 정지부(M)를 갖는 제 2 영역(B2)은 바람직하게는 베이스 기판의 전체 면에 걸쳐 연장될 수 있는 제 1 영역(B1)을 제외하고, 베이스 기판의 모든 에지 영역상에 형성될 수 있다. 제 2 센서(S2)의 금속 커버(MA (B))는 캡 기판 또는 베이스 기판(예를 들어, 그 아래 조립 정지부에)의 에지 영역에 형성될 수 있다. 제 1 연결 영역(A1), 제 2 연결 영역(A2) 및 제 3 연결 영역(A3)의 접점은 바람직하게는 분광계 장치의 동일한 측면 에지를 향해 형성될 수 있으며, 바람직하게는 제 2 캐리어 기판(TS2)에서 접점(K1)에 대한 가능한 한 짧은 와이어 본드 연결을 위해 형성될 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분광계 장치의 개략적인 단면도를 도시한다.

도 3의 분광계 장치의 설계는 도 1의 것에 실질적으로 해당하며, 반사기 장치(HS)가 제 1 초점(Fok1) 및 제 2 초점(Fok2)을 갖는 타원형 오목 거울을 포함하고 광 검출기 장치(PD)가 적어도 제 2 초점(Fok2)에 배치될 수 있다는 차이점을 가지며, 상기 제 1 초점(Fok1)은 바람직하게는 광축(A)에 놓이고 상기 제 2 초점(Fok2)은 바람직하게는 광축(A) 외부에 놓인다. 이 경우, 입사광이 제 1 초점에 모인 다음 오목 거울에 의해 광 검출기 장치로 반사되어 제 2 초점(Fok2)에 포커싱되기 때문에, 광 검출기 장치(PD)는 제 2 초점(Fok2)의 영역에서 접착 연결에 의해 캡 기판(K) 상에 배치될 수 있다. 광 검출기 장치(PD)는 제 2 초점에 개별 검출기, 예를 들어 입사광을 측정하기 위한 단순한 검출기로서 설계될 수 있는 제 2 센서(S2)를 포함할 수 있다.

제 2 초점(Fok2)에서 광 검출기 장치(PD)는 적어도 부분적으로 제 1 영역(B1) 위에 및/또는 제 2 영역(B2) 위에 배치될 수 있다.

대안으로서, 오목 거울(HS)은 그 제 2 초점(Fok2)이 광축(A) 외부에 있는 광 검출기 장치(PD)의 위치와 일치하도록 기울어질 수 있다. 오목 거울은 최적화된 자유 형태를 가질 수 있다.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 분광계 장치의 개략적인 단면도를 도시한다.

도 4의 분광계 장치의 설계는 도 1의 것에 실질적으로 해당하며, 입사광이 먼저 캡 기판(K)을 통해 분광계 장치(10) 내로 들어가고 반사기 장치(HS)가 베이스 기판(S) 및 제 2 캐리어 기판(TS) 후방에, 바람직하게는 이 순서로 배치되도록 광 입사 방향(L)이 연장된다는 차이점을 갖는다. 이 경우, 제 1 연결 영역(A1), 제 2 연결 영역(A2) 및 제 2 캐리어 기판(TS2) 상의 접점(K1)은 바람직하게는 광 입사 방향(L)을 향하고 있으며, 이 광 입사 방향은 도 1의 실시예에서와 반대일 수 있다. 광 검출기 장치(PD)는 적어도 하나의 구성 요소, 예를 들어, 개별 부품으로서 형성될 수 있는 제 1 센서(S1)와 함께 베이스 기판(S) 상에 배치되거나 바람직하게는 광축에서 이것에 통합된다. 이를 위해, 베이스 기판은 광 검출기 장치(PD)의 제 1 연결 영역(A1)과의 와이어 접촉을 위해 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)을 향하는 표면에 도체 트랙을 포함할 수 있다. 광 검출기 장치(PD)는 베이스 기판(S)에, 예를 들어 베이스 기판(S)의 도체 트랙에 플립 칩 방법에 의해, 형성, 본딩 또는 접착될 수 있다. 제 1 연결 영역(A1)은 전기 도체 트랙(LB)을 통해 베이스 기판(S)의 에지에 배치될 수 있다.

모든 실시예에서, 개구 대신에 단 하나의 광학 어퍼처가 제공될 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 방법의 단계들의 개략적인 순서를 도시한다.

분광계 장치의 제조 방법은 제 1 기판 및/또는 제 2 기판과 제 1 캐리어 기판을 가진 Fabry-Perot 간섭계 유닛을 제공하는 단계(S1)로서, 상기 제 1 캐리어 기판은 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 하부면에 배치되며 광 어퍼처를 갖는, 상기 제공 단계(S1); 상기 제 2 기판 상에 상기 제 1 캐리어 기판이 있게 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛을 배치하고 및/또는 상기 제 1 기판을 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛에 배치하는 단계(S2)로서, 상기 제 1 캐리어 기판의 하부면이 상기 제 2 기판에 배치되고, 상기 제 1 기판이 상기 하부면의 반대편에 있는, 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 상부면에 배치되며, 상기 제 1 기판 상에 또는 내에 및/또는 상기 제 1 기판 상에 또는 내에 광 검출기 장치가 배치되거나 이것에 통합되는, 상기 배치 단계(S2); 및 광 검출기 장치의 제 1 전기 연결 영역 및 와이어 연결부를 갖는 Fabry-Perot 간섭계 유닛의 제 2 전기 연결 영역을 전기적으로 접촉하는 단계(S3)로서, 상기 접촉은 동일한 측면으로부터 수행되는, 상기 접촉 단계(S3)를 포함한다.

방법 단계(S3) 후에, 추가 방법 단계(S4)에서 베이스 기판 또는 Fabry-Perot 간섭계 유닛이 제 2 캐리어 기판에 배치되고, 베이스 기판 또는 Fabry-Perot 간섭계 유닛이 제 2 캐리어 기판에 적어도 부분적으로 접착된다. 추가의, 바람직하게는 후속하는 방법 단계(S5)에서, 반사기 장치가 광 입사 방향으로 볼 때 광 검출기 장치 후방에 배치되므로 광 검출기 장치가 반사기 장치와 Fabry-Perot 간섭계 유닛 사이에 배치되도록, 반사기 장치는 베이스 기판 위에 또는 캡 기판 위에 배치된다.

본 발명은 바람직한 실시예를 기초로 설명되었지만, 이에 제한되지 않고 다양한 방식으로 변형될 수 있다.

A: 광축
A1: 제 1 전기 연결 영역
A2: 제 2 전기 연결 영역
B1: 제 1 영역
B2: 제 2 영역
Fok1: 제 1 초점
Fok2: 제 2 초점
FP: Fabry-Perot 간섭계 유닛
HS: 반사기 장치
K: 제 1 기판
L: 광 입사 방향
M: 조립 정지부
PD: 광 검출기 장치
S: 제 2 기판
S1: 제 1 센서
S2: 제 2 센서
TS2: 제 2 캐리어 기판
US: 하부면
10: 분광계 장치

Claims

분광계 장치(10)로서,
- 제 1 캐리어 기판(TS1)을 포함하는 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)으로서, 상기 제 1 캐리어 기판(TS1)은 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 하부면(U)에 배치되며 광학 어퍼처(NA)를 갖는, 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP);
- 상기 하부면(U)의 반대편에 있는, 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 상부면(O)에 배치된 제 1 기판(K) 및/또는 상기 제 1 캐리어 기판(TS1)의 하부면(U)이 배치되는, 상기 제 2 기판(S);
- 상기 제 2 기판(S) 상에 또는 내에 및/또는 상기 제 1 기판(K) 상에 또는 내에 배치된 광 검출기 장치(PD)로서, 상기 광 검출기 장치(PD)의 제 1 전기 연결 영역(A1) 및 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 제 2 전기 연결 영역(A2)은 동일한 방향으로부터 전기적으로 접촉될 수 있는, 상기 광 검출기 장치(PD)를 포함하는, 분광계 장치(10).
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 기판(K)은 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)을 커버할 수 있는 캡 기판을 포함하고, 상기 제 2 기판(S)은 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)이 부착될 수 있는 베이스 기판을 포함하는, 분광계 장치(10).
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광학 어퍼처는 상기 제 1 캐리어 기판(TS1) 내의 개구 또는 상기 제 1 캐리어 기판(TS1) 상의 불투명한 코팅으로 형성되는, 분광계 장치(10).
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 반사기 장치(HS)는 광 입사 방향(L)으로 상기 광 검출기 장치(PD) 후방에 배치되므로, 상기 광 검출기 장치(PD)는 상기 반사기 장치(HS)와 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP) 사이에 배치되는, 분광계 장치(10).
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 전기 연결 영역(A1)과 상기 제 2 전기 연결 영역(A2)은 상기 광 입사 방향(L)을 향하거나 또는 반대로 향하고 있는, 분광계 장치(10).
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분광계 장치(10)는 온도 센서 장치(TempS)를 포함하고, 상기 온도 센서 장치(Temps)는 상기 제 2 기판(S) 내에 및/또는 상기 제 1 기판(K) 및/또는 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP) 내에 통합되며 바람직하게는 상기 광학 어퍼처(NA) 외부에 배치되는, 분광계 장치(10).
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광 검출기 장치(PD)는 상기 제 1 기판(K) 내에 통합되는 제 1 센서(S1)를 포함하는, 분광계 장치(10).
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광 검출기 장치(PD)는 상기 제 1 기판(K) 상에 또는 내에 및/또는 상기 광학 어퍼처(NA) 외부에서 상기 제 2 기판(S) 상에 배치되는 제 2 센서(S2)를 포함하고, 상기 제 1 기판(K) 및/또는 상기 제 2 기판(S)은 상기 제 2 센서(S2)의 영역에 금속 커버(B)를 포함하며, 상기 금속 커버(B)는 상기 제 2 센서(S2)를 상기 광 입사 방향(L)과 반대로 커버하는, 분광계 장치(10).
제 4 항 내지 제 8 항 중 제 4 항에 종속하는 어느 한 항에 있어서, 상기 반사기 장치(HS)는 제 1 초점(Fok1)을 가진 포물선 형상을 갖고, 상기 광 검출기 장치(PD)는 적어도 상기 제 1 초점(Fok1) 내에 배치되며, 상기 제 1 초점(Fok1)은 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 광축(A)에 놓이는, 분광계 장치(10).
제 4 항 내지 제 8 항 중 제 4 항에 종속하는 어느 한 항에 있어서, 상기 반사기 장치(HS)는 제 1 초점(Fok1) 및 제 2 초점(Fok2)를 가진 적어도 부분적인 타원 형상을 갖고, 상기 광 검출기 장치(PD)는 상기 제 2 초점(Fok2) 내에 배치되며, 상기 제 2 초점(Fok2)은 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 광축(A) 외부에 놓이는, 분광계 장치(10).
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분광계 장치(10)는 제 2 캐리어 기판(TS2)을 포함하고, 상기 캐리어 기판(TS2) 상에 제 2 기판(S)이 배치되며 접착 연결에 의해 적어도 부분적으로 고정되는, 분광계 장치(10).
제 11 항에 있어서, 상기 제 2 기판(S)은 하부면(US)에 제 1 영역(B1)을 포함하고, 상기 제 1 영역에서 접착 연결(KV)을 통해 상기 제 2 캐리어 기판(TS2)에 장착될 수 있는, 분광계 장치(10).
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 제 2 기판(S)은 하부면(US)에 제 2 영역(B2)을 포함하고, 상기 제 2 영역(B2)에서 조립 정지부(M)를 통해 상기 제 2 캐리어 기판(TS2) 상에 장착될 수 있는, 분광계 장치(10).
제 4 항 내지 제 13 항 중 제 4 항에 종속하는 어느 한 항에 있어서, 상기 반사기 장치(HS)는 오목 거울을 포함하는, 분광계 장치(10).
제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광 검출기 장치(PD)는 본드 연결부(BV)를 통해 상기 제 2 기판(S) 상에 또는 상기 제 1 기판(K) 상에 배치되는, 분광계 장치(10).
분광계 장치(10)의 제조 방법으로서,
S1) 제 1 기판(K) 및/또는 제 2 기판(S), 및 제 1 캐리어 기판(TS1)을 가진 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)을 제공하는 단계로서, 상기 제 1 캐리어 기판(TS1)은 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 하부면(U)에 배치되며 광학 어퍼처(NA)를 포함하는, 상기 제공 단계;
S2) 상기 제 2 기판(S) 상에 상기 제 1 캐리어 기판(TS1)이 있게 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)을 배치하고 및/또는 상기 제 1 기판(K)을 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP) 상에 배치하는 단계로서, 상기 제 1 캐리어 기판(TS1)의 하부면(U)은 상기 제 2 기판(S)에 배치되고 상기 제 1 기판(K)은 상기 하부면(U)의 반대편에 있는 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 상부면(O)에 배치되고, 광 검출기 장치(PD)는 상기 제 2 기판(S) 상에 또는 내에 및/또는 상기 제 1 기판(K) 상에 또는 내에 배치되거나 이것에 통합되는, 상기 배치 단계; 및
S3) 상기 광 검출기 장치(PD)의 제 1 전기 연결 영역(A1)과 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP)의 제 2 전기 연결 영역(A2)을 와이어 연결부(DB)에 의해 전기적으로 접촉시키는 단계로서, 상기 접촉은 동일한 측면으로부터 이루어지는, 상기 접촉 단계를 포함하는, 제조 방법.
제 16 항에 있어서, 상기 방법 단계(S3) 후에 방법 단계(S4)에서 상기 제 2 기판(S)은 제 2 캐리어 기판(TS2)에 배치되고, 상기 제 2 기판(S)은 상기 캐리어 기판(TS2)과 적어도 부분적으로 접착되는, 제조 방법.
제 16 항 또는 제 17 항에 있어서, 상기 방법 단계(S3) 후에 방법 단계(S5)에서, 반사기 장치(HS)가 광 입사 방향(L)으로 상기 광 검출기 장치(PD) 후방에 배치되므로, 상기 광 검출기 장치(PD)가 상기 반사기 장치(HS)와 상기 Fabry-Perot 간섭계 유닛(FP) 사이에 배치되는 방식으로, 상기 반사기 장치(HS)가 상기 제 2 기판(S) 위에 또는 상기 제 1 기판(K) 위에 배치되는, 제조 방법.