KR20210034812A - Deposition material detecting device - Google Patents

Deposition material detecting device Download PDF

Info

Publication number
KR20210034812A
KR20210034812A KR1020190116583A KR20190116583A KR20210034812A KR 20210034812 A KR20210034812 A KR 20210034812A KR 1020190116583 A KR1020190116583 A KR 1020190116583A KR 20190116583 A KR20190116583 A KR 20190116583A KR 20210034812 A KR20210034812 A KR 20210034812A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sensor module
sensor
chopper plate
chopper
rotates
Prior art date
Application number
KR1020190116583A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102292818B1 (en
Inventor
김기수
이시현
이국주
Original Assignee
(주)에스브이엠테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)에스브이엠테크 filed Critical (주)에스브이엠테크
Priority to KR1020190116583A priority Critical patent/KR102292818B1/en
Publication of KR20210034812A publication Critical patent/KR20210034812A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102292818B1 publication Critical patent/KR102292818B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/02—Analysing fluids
    • G01N29/022—Fluid sensors based on microsensors, e.g. quartz crystal-microbalance [QCM], surface acoustic wave [SAW] devices, tuning forks, cantilevers, flexural plate wave [FPW] devices
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
    • C23C14/545—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on deposited material
    • C23C14/546—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on deposited material using crystal oscillators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01G—WEIGHING
    • G01G3/00—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances
    • G01G3/12—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing
    • G01G3/16—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing measuring variations of frequency of oscillations of the body
    • G01G3/165—Constructional details

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Disclosed is a deposition material detecting apparatus. The disclosed deposition material detecting apparatus comprises: a motor housing; a sensor casing engaged with the motor housing to have a sensor module rotatably placed inside to detect a deposition reaction material; and a chopper plate rotatably engaged with the sensor casing to have the same rotary center as that of the sensor module to rotate by being synchronized with the sensor module or to rotate individually. Accordingly, the present invention is able to use a single driving motor to rotate the sensor module and the chopper plate together or rotate only the chopper plate individually, reduce the whole size as well as the size of the motor housing, reduce the number of parts, improve the assembly properties, increase the MTBF of the products, improve reliability, and reduce production costs.

Description

증착 물질 감지장치{Deposition material detecting device}Deposition material detecting device

본 발명은 증착 물질 감지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 하나의 구동모터를 사용하여 센서모듈과 초퍼 플레이트를 함께 회전 또는 초퍼 플레이트만을 개별적으로 회전하도록 함으로써, 모터 하우징은 물론 전체 크기를 줄일 수 있으며, 부품수를 감소시켜 조립성을 개선하고 생산원가를 감소할 수 있도록 하는 증착 물질 감지장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a deposition material detection device, and more particularly, by rotating a sensor module and a chopper plate together or individually rotating only a chopper plate using a single drive motor, it is possible to reduce not only the motor housing but also the overall size. , It relates to a deposition material detection device capable of reducing the number of parts to improve assembly and reduce production cost.

일반적으로, 디스플레이와 반도체 제조공정에서 주로 사용되는 진공증착은, 알루미늄과 같은 금속재료와, 산화물, 황화물, 질화물, 같은 유전체와, 금, 은, 백금, 팔라듐과 같은 귀금속 또는 희토류 등을 유리 기판이나 반도체 기판 위에 도포한다. 또한 안경, 선글라스 , 광학렌즈의 코팅 및 제강공정 중 표면처리를 위하여 증착공정을 적용한다.In general, vacuum deposition, which is mainly used in display and semiconductor manufacturing processes, uses metal materials such as aluminum, oxides, sulfides, nitrides, dielectrics, and precious metals such as gold, silver, platinum, and palladium, or rare earths such as glass substrates or It is applied on the semiconductor substrate. In addition, a deposition process is applied for surface treatment during the coating and steelmaking process of glasses, sunglasses, and optical lenses.

금속재료, 유전체, 귀금속 또는 희토류는 기재(substrate)에 증착할 때 최종적으로 필요로 하는 요구조건을 충족하기 위해 증착되는 두께가 정확히 조절되어야만 한다. 이에 따라 증착공정을 진행하는 동안에 증착되는 재료의 두께를 정확히 측정하여 조절할 필요가 있다.Metallic materials, dielectrics, precious metals, or rare earths must be precisely controlled in their deposited thickness to meet the ultimate requirements when depositing on a substrate. Accordingly, it is necessary to accurately measure and control the thickness of the material to be deposited during the deposition process.

예를 들어 증착 챔버 내에서 증착이 이루어질 때, 증착 대상체 표면에 요구되는 두께의 증착막이 형성되는지를 검출하기 위하여, 증착 챔버의 내부에 증착 물질 감지 장치가 설치된다. 이때 증착 물질 감지 장치는 증착 챔버에 특정 간격으로 복수 개를 설치하여 층착 두께의 균일성을 측정한다.For example, when deposition is performed in the deposition chamber, a deposition material detection device is installed inside the deposition chamber to detect whether a deposition film having a required thickness is formed on the surface of the deposition object. At this time, the deposition material detection device measures the uniformity of the deposition thickness by installing a plurality of devices in the deposition chamber at specific intervals.

이때, 단위 크기의 설치되는 증착 물질 감지 장치의 수가 증가할수록 대형 기판에 증착되는 증착 균일도를 정확히 측정하는데 효과적이다. 또한 증착 물질 감지 장치의 크기가 작을수록 증착되는 물질의 증발 형태의 사각 지역에 설치할 수 있어 증착 물질의 사용 효율을 높일 수 있다.In this case, it is effective to accurately measure the deposition uniformity deposited on a large substrate as the number of deposition material detection devices installed in a unit size increases. In addition, the smaller the size of the deposition material detection device, the more efficient it is to use the deposition material since it can be installed in a blind area in the form of evaporation of the deposited material.

최근 증착 물질 감지 장치로 QCM(Quarts Crystal Microbalance) 센서를 사용하는 QCM 모듈이 많이 사용되고 있다.Recently, a QCM module using a QCM (Quarts Crystal Microbalance) sensor has been widely used as a deposition material detection device.

통상의 QCM 모듈은 증착 대상체와 이격 배치되고, 크리스털(crystal)이 부착된 크리스털 부착 패널과, 크리스털 부착 패널을 덮어 가리고 관통 홀이 형성된 패널 가림 케이스와, 크리스털 수명 연장을 위한 초퍼(chopper)와, 크리스털 부착 패널을 회전시키기 위한 패널 회전부재와, 초퍼를 회전시키기 위한 초퍼 회전 부재로 구성되는 것이 일반적이다.A typical QCM module is arranged spaced apart from an object to be deposited, a crystal mounting panel on which a crystal is attached, a panel covering case covering the crystal mounting panel and forming a through hole, and a chopper for extending the life of the crystal, It is generally composed of a panel rotating member for rotating the crystal mounting panel and a chopper rotating member for rotating the chopper.

그런데, 상기와 같은 종래 기술의 QCM 모듈은, 패널 회전부재와 초퍼 회전 부재를 구동하기 위한 2개의 구동 모터를 설치하여야 하므로, 크기가 커질 뿐만 아니라, 각각의 구동 모터를 설치하기 위한 설치구조가 복잡해짐에 따라 조립성이 저하되고, 생산 원가가 증가하는 문제점이 있다.However, the QCM module of the prior art as described above has to be installed with two driving motors for driving the panel rotating member and the chopper rotating member, so not only the size is increased, but also the installation structure for installing each driving motor is complicated. There is a problem in that assembling property decreases and production cost increases as it becomes more advanced.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need to improve this.

한편, 국내 공개특허 제10-2013-0003674호(공개일:2013.01.09)에는 "수정 크리스탈 센서장치"가 개시되어 있다.
On the other hand, in Korean Patent Application Publication No. 10-2013-0003674 (published date: 2013.01.09), a "crystal crystal sensor device" is disclosed.

본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 하나의 구동모터를 사용하여 센서모듈과 초퍼 플레이트를 함께 회전 또는 초퍼 플레이트만을 개별적으로 회전시켜 모터 하우징 뿐만 아니라, 전체 크기를 현저하게 줄일 수 있는 증착 물질 감지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was created by the above necessity, and by using a single drive motor, the sensor module and the chopper plate are rotated together or only the chopper plate is individually rotated to significantly reduce the overall size as well as the motor housing. Its purpose is to provide a substance sensing device.

또한 본 발명은 하나의 구동모터를 사용하므로, 센서모듈과 초퍼 플레이트의 회전을 위한 부품수를 감소시켜 조립성을 개선하고, 제품의 신뢰성을 향상하고, 생산원가를 줄일 수 있는 증착 물질 감지장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
In addition, since the present invention uses one driving motor, a deposition material detection device capable of reducing the number of parts for rotation of the sensor module and the chopper plate improves assembly, improves product reliability, and reduces production costs. It has a different purpose to provide.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 증착 물질 감지장치는, 모터 하우징과, 상기 모터 하우징에 결합되며, 내부에 증착 반응 물질을 감지하는 센서모듈이 회전가능하게 구비되는 센서 케이싱과, 상기 센서모듈과 동일한 회전 중심을 가지도록 상기 센서 케이싱에 회전 가능하게 결합되며, 상기 센서모듈과 동기화되어 회전 또는 개별적으로 회전하는 초퍼 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the apparatus for detecting a deposition material according to an aspect of the present invention includes a motor housing, a sensor casing coupled to the motor housing, and rotatably provided with a sensor module for detecting a deposition reaction material therein. And a chopper plate rotatably coupled to the sensor casing to have the same rotational center as the sensor module, and rotated or individually rotated in synchronization with the sensor module.

본 발명에서 상기 증착 물질 감지장치는, 상기 모터 하우징에 구비되어 상기 센서모듈과 상기 초퍼 플레이트를 구동하는 구동모터와, 상기 센서모듈 및 상기 초퍼 플레이트가 함께 또는 개별적으로 회전하도록 상기 구동모터와 상기 센서모듈 및 상기 초퍼 플레이트를 연결하는 실링 동력 전달부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the deposition material detection device includes a driving motor provided in the motor housing to drive the sensor module and the chopper plate, and the driving motor and the sensor so that the sensor module and the chopper plate rotate together or individually. It characterized in that it further comprises a sealing power transmission unit connecting the module and the chopper plate.

본 발명에서 상기 구동모터는, 실링 동력 전달부를 선택적으로 정회전 또는 역회전시키는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the drive motor is characterized in that the sealing power transmission unit selectively rotates forward or reverse.

본 발명에서 상기 실링 동력 전달부는, 상기 구동모터가 정회전함에 따라 상기 초퍼 플레이트만을 회전시키는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the sealing power transmission unit is characterized in that it rotates only the chopper plate as the drive motor rotates forward.

본 발명에서 상기 실링 동력 전달부는, 상기 구동모터가 역회전함에 따라 상기 센서모듈과 상기 초퍼 플레이트를 함께 회전시키는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the sealing power transmission unit is characterized in that the sensor module and the chopper plate rotate together as the driving motor rotates in reverse.

본 발명에서 상기 실링 동력 전달부는, 상기 모터 하우징에 회전가능하게 배치되어 상기 구동모터의 모터축에 축결합되며, 상기 구동모터에 의해 정,역회전하는 구동축 부재와, 상기 초퍼 플레이트를 상기 구동축 부재에 고정하며, 상기 구동축 부재와 함께 회전하는 초퍼 고정부재와, 상기 센서모듈을 상기 구동축 부재에 연결하도록 상기 구동축 부재와 상기 센서모듈 사이에 구비되며, 상기 구동모터의 역회전시 상기 센서모듈을 상기 구동축 부재와 함께 회전시키는 캠 클러치를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the sealing power transmission unit is rotatably disposed in the motor housing and axially coupled to the motor shaft of the drive motor, and the drive shaft member rotates forward and backward by the drive motor, and the chopper plate is connected to the drive shaft member. A chopper fixing member fixed to the driving shaft member and rotating together with the driving shaft member, and provided between the driving shaft member and the sensor module to connect the sensor module to the driving shaft member. It characterized in that it comprises a cam clutch that rotates together with the drive shaft member.

본 발명에서 상기 센서 케이싱은, 상기 캠 클러치에 결합되도록 베어링을 통해 회전가능하게 설치되며, 선택적으로 상기 구동축 부재와 함께 회전하는 클러치 연결 플랜지와, 상기 클러치 연결 플랜지와 결합되어 함께 회전하며, 상기 센서모듈이 회전방향을 따라 등간격으로 결합되는 센서 회전부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the sensor casing is rotatably installed through a bearing so as to be coupled to the cam clutch, and a clutch connection flange selectively rotates together with the drive shaft member, and rotates together by being coupled to the clutch connection flange, and the sensor It characterized in that it further comprises a sensor rotation member coupled to the module at equal intervals along the rotation direction.

본 발명에서 상기 초퍼 고정부재는, 볼트를 통해 상기 구동축 부재의 중심축선 상에 결합되며, 상기 초퍼 플레이트가 안착되는 어댑터와, 상기 어댑터에 체결되어 상기 초퍼 플레이트를 고정하는 플레이트를 상기 구동축 부재에 고정하며, 상기 구동축 부재와 함께 회전하는 초퍼 고정볼트를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the chopper fixing member is coupled on the central axis of the drive shaft member through a bolt, and an adapter on which the chopper plate is seated, and a plate fastened to the adapter to fix the chopper plate to the drive shaft member And a chopper fixing bolt rotating together with the drive shaft member.

본 발명에서 증착 물질 감지장치는, 상기 센서모듈의 신호 변화를 감지하도록 상기 센서 케이싱에 구비되며, 탄성을 통해 상기 센서모듈에 접촉되는 신호감지 안전접촉부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the apparatus for detecting a deposition material is provided in the sensor casing to detect a change in a signal of the sensor module, and further comprises a signal sensing safety contact part contacting the sensor module through elasticity.

본 발명에서 상기 센서모듈은, 상기 신호감지 안전접촉부가 접촉되는 프로브를 구비하고, 상기 프로브의 하면에 상기 신호감지 안전접촉부가 안착되는 안착홈부가 형성되는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the sensor module includes a probe to which the signal sensing safety contact unit is in contact, and a seating groove in which the signal sensing safety contact unit is seated is formed on a lower surface of the probe.

본 발명에서 상기 신호감지 안전접촉부는, 상기 안착홈부에 삽입되어 접촉되는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the signal sensing safety contact part is inserted into and contacted with the seating groove.

본 발명에서 상기 안착홈부는 곡률을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the seating groove is characterized in that it is formed to have a curvature.

본 발명에서 상기 신호감지 안전접촉부는, 상기 센서모듈에 접촉되는 접속커넥터와, 상기 센서 케이싱에 이동가능하게 설치되어 상기 접속커넥터와 연결되는 부싱부재와, 상기 부싱부재를 상기 센서모듈측으로 탄성 지지하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the signal sensing safety contact unit includes a connection connector contacting the sensor module, a bushing member movably installed in the sensor casing and connected to the connection connector, and elastically supporting the bushing member toward the sensor module. It characterized in that it comprises an elastic member.

본 발명에서 상기 접속커넥터는, 구 형태로 형성되어 상기 안착홈부에 접촉되는 접촉면이 돌출 형성되는 것을 특징으로 한다.
In the present invention, the connection connector is formed in a spherical shape, and a contact surface contacting the seating groove is formed to protrude.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따른 증착 물질 감지장치는 종래 기술과는 달리 유기발광다이오드(OLED) 증착 공정에서 증착 물질을 감지하는 센서모듈과 이를 커버하는 초퍼 플레이트가 하나의 구동모터에 의해 함께 회전하거나 또는 초퍼 플레이트가 개별적으로 회전되므로, 모터 하우징의 크기는 물론 전체 크기를 현저하게 줄일 수 있는 효과를 가진다.As described above, the deposition material detection device according to an aspect of the present invention has a sensor module that detects the deposition material in the organic light emitting diode (OLED) deposition process and a chopper plate that covers the same, unlike the prior art. By rotating together or by rotating the chopper plate individually, it has the effect of remarkably reducing the overall size as well as the size of the motor housing.

또한 본 발명에 따른 증착 물질 감지장치에 의하면, 센서모듈과 초퍼 플레이트의 회전을 위하여 하나의 구동모터를 사용하므로, 센서모듈과 초퍼 플레이트의 회전을 위한 부품수를 감소시킬 수 있어 조립성을 개선하고, 제품의 수명이 늘어나 신뢰성이 향상되고, 생산원가를 줄일 수 있는 효과를 가진다.
In addition, according to the deposition material detection device according to the present invention, since one driving motor is used to rotate the sensor module and the chopper plate, it is possible to reduce the number of parts for rotation of the sensor module and the chopper plate, thereby improving assembly performance. , It has the effect of improving reliability and reducing production cost by extending the life of the product.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 측면도이다.
도 4는 도 3의 A-A선 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 실링 동력 전달부를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 실링 동력 전달부를 설명하기 위한 요부 확대 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서모듈과 신호감지 안전접촉부를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서모듈과 신호감지 안전접촉부를 설명하기 위한 요부 확대 단면도이다.1 is a perspective view illustrating an apparatus for detecting a deposition material according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view illustrating an apparatus for detecting a deposition material according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view of FIG. 1.
4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3.
5 is an exploded perspective view illustrating a sealing power transmission unit according to an embodiment of the present invention.
6 is an enlarged cross-sectional view of a main part for explaining a sealing power transmission unit according to an embodiment of the present invention.
7 is an exploded perspective view illustrating a sensor module and a signal sensing safety contact unit according to an embodiment of the present invention.
8 is an enlarged cross-sectional view illustrating a sensor module and a signal sensing safety contact part according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 증착 물질 감지장치의 바람직한 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, a preferred embodiment of the apparatus for detecting a deposition material according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of the lines or the size of components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of users or operators. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout the present specification.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 3은 도 1의 측면도이고, 도 4는 도 3의 A-A선 단면도이다.1 is a perspective view for explaining a deposition material detection device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view for explaining a deposition material detection device according to an embodiment of the present invention, and Figure 3 is FIG. Is a side view, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3.

또한, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 실링 동력 전달부를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 실링 동력 전달부를 설명하기 위한 요부 확대 단면도이다.In addition, FIG. 5 is an exploded perspective view illustrating a sealing power transmission unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main portion for explaining a sealing power transmission unit according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서모듈과 신호감지 안전접촉부를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서모듈과 신호감지 안전접촉부를 설명하기 위한 요부 확대 단면도이다.
In addition, FIG. 7 is an exploded perspective view illustrating a sensor module and a signal sensing safety contact unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is an exploded perspective view illustrating a sensor module and a signal sensing safety contact unit according to an exemplary embodiment of the present invention. It is an enlarged cross-sectional view of the main part.

도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치(100)는 유기발광다이오드(OLED) 제조공정에서 엘이디 소자 또는 기판에 박막 증착하기 위한 진공증착설비에 설치되는 진공챔버(도시생략)에 구비된다. 이때 본 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치(100)는 진공챔버(도시생략)에 복수개 설치된다.The deposition material detection device 100 according to an embodiment of the present invention with reference to FIGS. 1 to 8 is a vacuum chamber installed in a vacuum deposition facility for depositing a thin film on an LED device or a substrate in an organic light emitting diode (OLED) manufacturing process. It is provided in (not shown). At this time, a plurality of deposition material detection devices 100 according to the present embodiment are installed in a vacuum chamber (not shown).

또한, 본 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치(100)는 진공챔버에 설치되어 증착 공정 중 엘이디 소자 또는 기판에 증착되는 박막의 두께를 감지하여 측정하게 된다.In addition, the deposition material detection device 100 according to the present embodiment is installed in a vacuum chamber to detect and measure the thickness of a thin film deposited on an LED device or a substrate during a deposition process.

이를 위하여 본 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치(100)는, 진공챔버의 내부에 설치되는 모터 하우징(110)과, 모터 하우징(110)에 결합되는 센서 케이싱(120)과, 센서 케이싱(120)의 일측에 위치하는 초퍼 플레이트(130)와, 모터 하우징(110)에 구비되는 구동모터(140)와, 구동모터(140)의 동력을 전달하기 위한 실링 동력 전달부(150)를 포함한다.To this end, the deposition material detection device 100 according to the present embodiment includes a motor housing 110 installed inside a vacuum chamber, a sensor casing 120 coupled to the motor housing 110, and a sensor casing 120. It includes a chopper plate 130 positioned on one side of the motor housing 110, a driving motor 140 provided in the motor housing 110, and a sealing power transmission unit 150 for transmitting power of the driving motor 140.

또한 본 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치(100)는 센서 케이싱(120)의 내부에 회전가능하게 구비되어 진공챔버 내부의 증착 물질을 감지하는 센서모듈(160)과, 센서모듈(160)을 감지 및 제어하기 위한 신호감지 안전접촉부(170)를 더 포함한다.In addition, the deposition material detection device 100 according to the present embodiment is rotatably provided inside the sensor casing 120 to detect the deposition material inside the vacuum chamber, the sensor module 160 and the sensor module 160. And a signal sensing safety contact unit 170 for controlling.

이러한 본 실시 예에 따른 증착 물질 감지장치(100)는 센서모듈(160)의 회전과 초퍼 플레이트(130)의 회전 구동이 하나의 구동모터(140)에 의해 이루어지므로, 모터 하우징(110)의 크기는 물론 전체 크기가 현저하게 작아진다. 따라서 한정된 진공챔버에 보다 많은 증착 물질 감지장치(100)를 설치할 수 있으므로, 증착 물질의 감지 효과를 향상시킬 수 있게 된다.In the deposition material detection apparatus 100 according to this embodiment, since the rotation of the sensor module 160 and the rotation of the chopper plate 130 are performed by one driving motor 140, the size of the motor housing 110 Of course, the overall size becomes significantly smaller. Therefore, since more deposition material detection devices 100 can be installed in the limited vacuum chamber, it is possible to improve the detection effect of the deposition material.

모터 하우징(110)은 내부에 구동모터(140)가 결합되며, 상측에 센서 케이싱(120)과 초퍼 플레이트(130)가 차례로 배치된다.In the motor housing 110, a driving motor 140 is coupled therein, and a sensor casing 120 and a chopper plate 130 are sequentially disposed on the upper side.

이러한 모터 하우징(110)은 상면이 개방된 형태로 제공되고, 개방된 상면이 밀폐블록(111)이 결합되어 밀폐되며, 일측에 진공챔버의 외부와 연결되어 내부를 대기압으로 유지시기기 위한 연결배관(113)이 구비된다.The motor housing 110 is provided in an open upper surface, and the open upper surface is sealed with a sealing block 111, and a connection pipe for maintaining the inside at atmospheric pressure by being connected to the outside of the vacuum chamber on one side. 113 is provided.

밀폐블록(111)은 중앙부에 실링 동력 전달부(150)가 회전 가능하게 관통하고, 모터고정플레이트(115)가 고정핀(117)을 통해 결합된다. 그리고 모터고정플레이트(115)에 구동모터(140)가 결합되고, 모터축이 실링 동력 전달부(150)에 연결된다.The sealing block 111 is rotatably penetrated through the sealing power transmission unit 150 in the central portion, and the motor fixing plate 115 is coupled through the fixing pin 117. In addition, the driving motor 140 is coupled to the motor fixing plate 115, and the motor shaft is connected to the sealing power transmission unit 150.

구동모터(140)는 실링 동력 전달부(150)를 정회전 또는 역회전시키게 된다. 예를 들어 구동모터(140)는 초퍼 플레이트(130)를 구동시킬 때 실링 동력 전달부(150)를 정회전시키고, 초퍼 플레이트(130)와 센서모듈(160)을 함께 회전시킬 때 실링 동력 전달부(150)를 역회전시키게 된다.The driving motor 140 rotates the sealing power transmission unit 150 forward or reverse. For example, the driving motor 140 rotates the sealing power transmission unit 150 forward when driving the chopper plate 130, and the sealing power transmission unit when rotating the chopper plate 130 and the sensor module 160 together. (150) is rotated in reverse.

본 실시 예에 따른 구동모터(140)는 스텝핑 모터를 사용할 수도 있다.The drive motor 140 according to the present embodiment may use a stepping motor.

밀폐블록(111)의 상면에는 센서 케이싱(120)이 결합되고, 센서 케이싱(120)의 내부에 센서모듈(160)이 회전 가능하게 결합된다.The sensor casing 120 is coupled to the upper surface of the sealing block 111, and the sensor module 160 is rotatably coupled to the inside of the sensor casing 120.

이를 위하여 센서 케이싱(120)은 실링 동력 전달부(150)에 선택적으로 회전가능하게 결합되는 클러치 연결 플랜지(121)와, 클러치 연결 플랜지(121)에 결합되어 함께 회전되며 센서모듈(160)이 설치되는 센서 회전부재(123)를 포함한다. 이때 클러치 연결 플랜지(121) 및 센서 회전부재(123)는 센서 케이싱(120)의 내부에 배치되며, 실링 동력 전달부(150)에 구동모터(140)의 역회전시 초퍼 플레이트(130)와 함께 회전하게 된다.To this end, the sensor casing 120 is coupled to the clutch connection flange 121 selectively rotatably coupled to the sealing power transmission unit 150 and the clutch connection flange 121 to rotate together, and the sensor module 160 is installed. It includes a sensor rotating member 123. At this time, the clutch connection flange 121 and the sensor rotation member 123 are disposed inside the sensor casing 120, together with the chopper plate 130 when the driving motor 140 rotates in reverse to the sealing power transmission unit 150. It will rotate.

클러치 연결 플랜지(121)는 캠 클러치부재(121a)를 통해 센서 케이싱(120)에 회전가능하게 설치되며, 구동모터(140)가 구동함에 따라 실링 동력 전달부(150)와 선택적으로 함께 회전하게 된다.The clutch connection flange 121 is rotatably installed on the sensor casing 120 through the cam clutch member 121a, and selectively rotates together with the sealing power transmission unit 150 as the driving motor 140 is driven. .

센서 회전부재(123)는 실링 동력 전달부(150)가 중앙부를 관통하도록 클러치 연결 플랜지(121)에 고정되어 함께 회전되며, 센서모듈(160)이 원주방향을 따라 등 간격으로 복수개 배치된다. 또한 센서 회전부재(123)는 센서모듈(160)이 외부로 노출되도록 센서 모듈과 대응되게 센서 개구부(123a)가 형성된다.The sensor rotation member 123 is fixed to the clutch connection flange 121 so that the sealing power transmission unit 150 passes through the central portion and rotates together, and a plurality of sensor modules 160 are disposed at equal intervals along the circumferential direction. In addition, the sensor rotation member 123 has a sensor opening 123a formed to correspond to the sensor module so that the sensor module 160 is exposed to the outside.

한편, 센서 케이싱(120)은 복수의 센서모듈(160) 중 선택된 어느 하나의 센서모듈(160)만이 외부의 증착 물질을 감지하도록 물질유입 개구부(125)가 형성된다.Meanwhile, in the sensor casing 120, a material inlet opening 125 is formed so that only one sensor module 160 selected from among the plurality of sensor modules 160 senses an external deposition material.

센서모듈(160)은 증착 물질을 감지하는 큐씨엠(QCM) 소자(161)와, 큐씨엠 소자(161)에 접촉되는 접속단자(163)와, 신호감지 안전접촉부(170)가 접촉되는 프로브(165)를 구비한다. 이때 센서모듈(160)은 큐씨엠 소자(161)가 센서 개구부(123a)를 통해 외부로 노출하도록 센서 회전부재(123)에 고정된다.The sensor module 160 includes a QCM element 161 for sensing a deposition material, a connection terminal 163 in contact with the QCM element 161, and a probe to which the signal sensing safety contact unit 170 is in contact. 165). At this time, the sensor module 160 is fixed to the sensor rotating member 123 so that the QCM element 161 is exposed to the outside through the sensor opening 123a.

프로브(165)는 접속단자(163)와 신호감지 안전접촉부(170)를 안정되게 접속시키도록 센서 회전부재(123)에 결합되며, 하면이 신호감지 안전접촉부(170)에 접촉된다. 이때 프로브(165)는 신호감지 안전접촉부(170)와 안정되고 긴밀하게 접촉이 가능하며, 신호감지 안전접촉부(170)와 원활하고 안정되게 접촉이 이루어지도록 하면에 신호감지 안전접촉부(170)가 안착되는 안착홈부(165a)가 형성된다.The probe 165 is coupled to the sensor rotating member 123 to stably connect the connection terminal 163 and the signal sensing safety contact unit 170, and the lower surface of the probe 165 is in contact with the signal sensing safety contact unit 170. At this time, the probe 165 can stably and closely contact the signal sensing safety contact unit 170, and the signal sensing safety contact unit 170 is seated on the lower surface so that the contact is made smoothly and stably with the signal sensing safety contact unit 170 The seating groove (165a) is formed.

안착홈부(165a)는 센서 회전부재(123)가 회전함에 따라 신호감지 안전접촉부(170)에서 원활하게 이탈한 후 다시 접촉 되도록 완만한 곡률을 가지도록 형성된다.The seating groove 165a is formed to have a gentle curvature so as to be smoothly separated from the signal sensing safety contact unit 170 as the sensor rotating member 123 rotates and then contacted again.

신호감지 안전접촉부(170)는 센서모듈(160)의 큐씨엠 소자(161)의 신호 변화를 감지하도록 센서 케이싱(120)에 구비되며, 탄성을 통해 프로브(165)의 안착홈부(165a)에 접촉된다. 이러한 신호감지 안전접촉부(170)는 센서 회전부재(123)가 회전함에 따라 복수의 센서모듈(160)이 차례로 접촉하게 되며, 증착 물질을 감지하는 센서모듈(160)에 접촉되어 큐씨엠 소자(161)의 신호 변화를 감지하게 된다. 그리고 신호감지 안전접촉부(170)가 감지하는 신호는 외부의 제어부로 전송된다.The signal sensing safety contact unit 170 is provided in the sensor casing 120 to detect a change in the signal of the QCM element 161 of the sensor module 160, and contacts the seating groove 165a of the probe 165 through elasticity. do. As the sensor rotating member 123 rotates, the signal sensing safety contact unit 170 makes contact with the plurality of sensor modules 160 in sequence, and is in contact with the sensor module 160 for detecting the deposition material, and the QCM element 161 ) Signal change is detected. In addition, the signal detected by the signal detection safety contact unit 170 is transmitted to an external control unit.

본 실시 예에 따른 신호감지 안전접촉부(170)는 센서모듈(160)의 프로브(165)에 접촉되는 접속커넥터(171)와, 센서 케이싱(120)에 상하로 이동가능하게 설치되어 접속커넥터(171)와 연결되는 부싱부재(173)와, 부싱부재(173)를 센서모듈(160)측으로 탄성 지지하는 탄성부재(175)를 포함한다.The signal sensing safety contact unit 170 according to the present embodiment is a connection connector 171 in contact with the probe 165 of the sensor module 160 and a connection connector 171 installed to be movable up and down on the sensor casing 120. ) And an elastic member 175 for elastically supporting the bushing member 173 toward the sensor module 160.

접속커넥터(171)는 나사 방식으로 부싱부재(173)에 결합되며, 상단부에 프로브(165)에 접촉되는 헤드부(171a)가 확장 형성된다. 헤드부(171a)는 곡선형의 안착홈부(165a)에 긴밀하고 안정되게 접촉되며, 접촉된 상태가 안정되게 유지되도록 구 형태로 형성되며, 상면에 안착홈부(165a)에 안착되어 접촉되는 접촉면이 굴곡지게 형성된다.The connection connector 171 is coupled to the bushing member 173 in a screw manner, and a head portion 171a contacting the probe 165 is formed to be extended at the upper end. The head portion 171a is in close and stable contact with the curved seating groove 165a, is formed in a spherical shape so that the contacted state is stably maintained, and the contact surface that is seated in the seating groove 165a on the upper surface to be in contact It is formed to be curved.

부싱부재(173)는 상면에 접속커넥터(171)가 나사 체결되는 암나사가 형성되며, 하면에 탄성부재(175)가 삽입되는 지지홈부(173a)가 형성된다.The bushing member 173 has a female screw on the upper surface of which the connection connector 171 is screwed, and a support groove 173a into which the elastic member 175 is inserted is formed on the lower surface of the bushing member 173.

탄성부재(175)는 코일 스프링 형태로 제공될 수 있으며, 상단부가 지지홈부(173a)에 삽입되어 부싱부재(173)를 상측으로 탄성 지지하게 된다. 이러한 탄성부재(175)는 접속커넥터(171)와 프로브(165)의 접촉된 상태를 안정되게 유지시키게 되며, 시간이 경과 하여도 접속커넥터(171)와 프로브(165)의 접촉상태를 균일하고 안정되게 유지시킬 수 있게 된다.The elastic member 175 may be provided in the form of a coil spring, and the upper end thereof is inserted into the support groove 173a to elastically support the bushing member 173 upward. Such an elastic member 175 maintains a stable contact state of the connection connector 171 and the probe 165, and maintains a uniform and stable contact state between the connection connector 171 and the probe 165 over time. You can keep it.

초퍼 플레이트(130)는 실링 동력 전달부(150)에 결합되어 회전되면서 센서모듈(160)의 큐씨엠 소자(161)로 부착되는 증착 물질이 과도하게 부착되는 것을 방지하게 된다. 즉 초퍼 플레이트(130)는 센서모듈(160)이 증착 물질을 측정하는 동안 회전되면서 큐씨엠 소자(161)에 과도한 양의 증착 물질이 부착되어 큐씨엠 소자(161)의 측정값에 오차가 발생하거나 큐씨엠 소자(161)의 수명이 단축되는 것을 방지하게 된다.The chopper plate 130 is coupled to the sealing power transmission unit 150 and rotates to prevent excessive deposition of the deposition material attached to the QCM element 161 of the sensor module 160. That is, as the chopper plate 130 rotates while the sensor module 160 measures the deposition material, an excessive amount of the deposition material is attached to the QCM device 161, resulting in an error in the measured value of the QCM device 161 This prevents the lifespan of the QCM device 161 from being shortened.

이러한 초퍼 플레이트(130)는 센서모듈(160)의 회전 중심과 동일한 회전 중심을 가지도록 실링 동력 전달부(150)에 결합되어 센서 회전부재(123)와 동기화되어 회전 또는 개별적으로 회전하게 된다. 이때 초퍼 플레이트(130)는 증착홀부(131)가 원주 방향을 따라 등간격으로 형성되며, 증착홀부(131)가 물질유입 개구부(125)와 대응할 때 증착 물질이 큐씨엠 소자(161)에 부착될 수 있다.This chopper plate 130 is coupled to the sealing power transmission unit 150 so as to have the same rotation center as the rotation center of the sensor module 160 and rotates or individually rotates in synchronization with the sensor rotation member 123. At this time, in the chopper plate 130, the deposition hole portions 131 are formed at equal intervals along the circumferential direction, and when the deposition hole portion 131 corresponds to the material inflow opening 125, the deposition material is attached to the QCM device 161. I can.

본 실시 예에 따른 초퍼 플레이트(130)는 구동모터(140)가 정회전할 때에는 실링 동력 전달부(150)에 의해 개별적으로 회전하게 되고, 구동모터(140)가 역회전할 때에는 실링 동력 전달부(150)에 의해 센서 회전부재(123)와 함께 스텝 회전된다. 이때 스텝 회전은 한 개의 센서모듈(160)가 이동하는 회전 거리를 의미한다.The chopper plate 130 according to the present embodiment is individually rotated by the sealing power transmission unit 150 when the driving motor 140 rotates forward, and the sealing power transmission unit when the driving motor 140 rotates reversely. It is step-rotated together with the sensor rotating member 123 by 150. At this time, the step rotation means a rotation distance that one sensor module 160 moves.

본 발명에 따른 실링 동력 전달부(150)는 센서 회전부재(123) 및 초퍼 플레이트(130)가 함께 또는 개별적으로 회전하도록 하단부가 구동모터(140)에 연결되고, 중앙부에 센서 회전부재(123)와 연결되고, 상단부에 초퍼 플레이트(130)가 결합된다.The sealing power transmission unit 150 according to the present invention has a lower end connected to the drive motor 140 so that the sensor rotation member 123 and the chopper plate 130 rotate together or individually, and the sensor rotation member 123 at the center thereof. And the chopper plate 130 is coupled to the upper end.

예를 들어 실링 동력 전달부(150)는 구동모터(140)가 정회전함에 따라 초퍼 플레이트(130)만을 회전되도록 구동모터(140)의 구동력을 초퍼 플레이트(130)로만 전달하고, 구동모터(140)가 역회전함에 따라 센서 회전부재(123)와 초퍼 플레이트(130)가 함께 회전하도록 구동모터(140)의 구동력을 센서 회전부재(123)와 초퍼 플레이트(130)로 동시에 전달하게 된다.For example, the sealing power transmission unit 150 transmits the driving force of the driving motor 140 only to the chopper plate 130 so that only the chopper plate 130 rotates as the driving motor 140 rotates forward, and the driving motor 140 ), the driving force of the driving motor 140 is simultaneously transmitted to the sensor rotating member 123 and the chopper plate 130 so that the sensor rotating member 123 and the chopper plate 130 rotate together.

이를 위하여 실링 동력 전달부(150)는 밀폐블록(111)에 회전가능하게 결합되는 구동축 부재(151)와, 초퍼 플레이트(130)를 구동축 부재(151)에 고정하기 위한 초퍼 고정부재(153)와, 센서 회전부재(123)의 선택적 구동을 위하여 클러치 연결 플랜지(121)와 결합되는 캠 클러치(155)를 포함한다.To this end, the sealing power transmission unit 150 includes a driving shaft member 151 rotatably coupled to the sealing block 111, a chopper fixing member 153 for fixing the chopper plate 130 to the driving shaft member 151, and , It includes a cam clutch 155 coupled to the clutch connection flange 121 for selective driving of the sensor rotation member 123.

구동축 부재(151)는 실링을 위하여 유체씰 방식으로 밀폐블록(111)에 회전가능하게 설치되어 하단부가 구동모터(140)의 모터축에 결합되고, 상단부에 초퍼 고정부재(153)가 결합되며, 구동모터(140)에 의해 정,역회전된다.The drive shaft member 151 is rotatably installed on the sealing block 111 in a fluid seal method for sealing, so that the lower end is coupled to the motor shaft of the drive motor 140, and the chopper fixing member 153 is coupled to the upper end, It is rotated forward and reverse by the driving motor 140.

초퍼 고정부재(153)는 구동축 부재(151)와 초퍼 플레이트(130)가 함께 회전될 수 있도록 초퍼 플레이트(130)를 구동축 부재(151)에 고정하게 되며, 베어링(B)을 통해 클러치 연결 플랜지(121)에 회전가능하게 결합된다.The chopper fixing member 153 fixes the chopper plate 130 to the drive shaft member 151 so that the drive shaft member 151 and the chopper plate 130 can rotate together, and the clutch connection flange ( 121) is rotatably coupled.

이러한 초퍼 고정부재(153)는 볼트를 통해 구동축 부재(151)의 상단 중심축선 상에 결합되며, 초퍼 플레이트(130)가 안착되는 어댑터(153a)와, 어댑터(153a)에 안착된 초퍼 플레이트(130)를 고정하도록 어댑터(153a)에 체결되어 초퍼 플레이트(130)를 고정하는 초퍼 고정볼트(153a)를 구비한다. 이때 어댑터(153a)는 센서 케이싱(120)을 관통하여 구동축 부재(151)에 결합되며, 베어링(B)에 의해 클러치 연결 플랜지(121)에 회전 가능하게 결합된다. 베어링(B)은 초퍼 고정부재(153)의 작동시에 초퍼 플레이트(130)가 유동되거나 좌우로 흔들리는 것을 방지하게 된다. The chopper fixing member 153 is coupled to the upper central axis of the drive shaft member 151 through a bolt, and an adapter 153a on which the chopper plate 130 is seated, and a chopper plate 130 seated on the adapter 153a. ) Is provided with a chopper fixing bolt (153a) fastened to the adapter (153a) to fix the chopper plate (130). At this time, the adapter 153a passes through the sensor casing 120 and is coupled to the drive shaft member 151, and is rotatably coupled to the clutch connection flange 121 by a bearing (B). The bearing (B) prevents the chopper plate 130 from flowing or shaking from side to side when the chopper fixing member 153 is operated.

캠 클러치(155)는 구동축 부재(151)와 클러치 연결 플랜지(121) 사이에 결합되며, 구동모터(140)의 정회전시 구동축 부재(151)만이 회전되도록 하고, 구동모터(140)의 역회전시 센서 회전부재(123)를 구동축 부재(151)와 함께 회전시키게 된다. 예를 들어 캠 클러치(155)의 내륜에 구동축 부재(151)가 결합되고, 캠 클러치(155)의 외륜()에 센서 회전부재(123)가 결합될 수 있다.The cam clutch 155 is coupled between the drive shaft member 151 and the clutch connection flange 121, and allows only the drive shaft member 151 to rotate when the drive motor 140 rotates forward, and when the drive motor 140 rotates in reverse. The sensor rotation member 123 is rotated together with the driving shaft member 151. For example, the drive shaft member 151 may be coupled to the inner ring of the cam clutch 155, and the sensor rotation member 123 may be coupled to the outer ring () of the cam clutch 155.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 증착 물질 감지장치(100)는, 증착 물질을 감지할 때 구동모터(140)가 정회전하면서 초퍼 플레이트(130)만을 회전시켜 큐시엠 소자(161)에 증착 물질이 과도하게 부착되는 것을 방지하게 된다. 이때, 캠 클러치(155)에 의해 구동축 부재(151)에 연결되어 있는 센서 회전부재(123)는 회전하지 않게 된다.The deposition material detection device 100 according to the present invention configured as described above, when detecting the deposition material, rotates only the chopper plate 130 while the driving motor 140 rotates forward, so that the deposition material is transferred to the QCM element 161. It prevents excessive adhesion. At this time, the sensor rotation member 123 connected to the drive shaft member 151 by the cam clutch 155 does not rotate.

그리고 어느 하나의 센서모듈(160)을 이용한 증착 물질의 감지가 완료되면, 초퍼 플레이트(130)의 증착홀부(131)와 센서 케이싱(120)의 물질유입 개구부(125)가 일치하도록 구동모터(140)가 정지한 후, 다른 센서모듈(160)을 이용하여 증착 물질을 감지할 수 있도록 구동모터(140)가 역회전하면서 다른 센서모듈(160)을 물질유입 개구부(125)로 회전시킨다.And when the detection of the deposition material using any one of the sensor modules 160 is completed, the driving motor 140 so that the deposition hole 131 of the chopper plate 130 and the material inflow opening 125 of the sensor casing 120 coincide. ) Is stopped, the driving motor 140 rotates in the reverse direction so that the deposition material can be detected using the other sensor module 160 and the other sensor module 160 is rotated to the material inlet opening 125.

즉, 증착 물질을 감지하는 센서 회전부재(123)와 초퍼 플레이트(130)가 하나의 구동모터(140)에 의해 함께 회전하거나 또는 초퍼 플레이트(130)만이 개별적으로 회전되므로, 구동모터(140)가 설치되는 모터 하우징(110)의 크기를 줄일 수 있음은 물론 하나의 구동축 부재(151) 축선 상에 센서 회전부재(123)와 초퍼 플레이트(130) 결합되므로, 증착 물질 감지장치(100)의 전체 크기를 현저하게 줄일 수 있게 된다.That is, since the sensor rotating member 123 and the chopper plate 130 for detecting the deposition material are rotated together by one driving motor 140 or only the chopper plate 130 is individually rotated, the driving motor 140 is The size of the motor housing 110 to be installed can be reduced, as well as the sensor rotation member 123 and the chopper plate 130 on the axis of one drive shaft member 151 are combined, so the overall size of the deposition material detection device 100 Can be significantly reduced.

또한, 센서 회전부재(123)와 초퍼 플레이트(130)가 함께 역회전할 때 캠 클러치(155)를 통해 구동축 부재(151)에 연결된 센서 회전부재(123)와 초퍼 플레이트(130)가 동시에 회전하면서 어느 하나의 센서모듈(160)이 신호감지 안전접촉부(170)에서 이탈하면서 바로 이웃하는 다른 하나의 센서모듈(160)이 신호감지 안전접촉부(170)에 접촉하게 된다. 이때 접속커넥터(171)가 코일형 탄성부재(175)에 의해 센서모듈(160)의 프로브(165)에 탄성 지지되어 접촉되므로, 프로브(165)와 접속커넥터(171)의 접촉을 안정되게 유지시킬 수 있다.In addition, when the sensor rotation member 123 and the chopper plate 130 rotate in reverse, the sensor rotation member 123 and the chopper plate 130 connected to the drive shaft member 151 through the cam clutch 155 rotate at the same time. As any one sensor module 160 separates from the signal sensing safety contact unit 170, the other sensor module 160 immediately adjacent to the signal sensing safety contact unit 170 comes into contact with the signal sensing safety contact unit 170. At this time, since the connection connector 171 is elastically supported and in contact with the probe 165 of the sensor module 160 by the coil-type elastic member 175, the contact between the probe 165 and the connection connector 171 can be stably maintained. I can.

더하여, 본 발명에 따른 증착 물질 감지장치(100)는 센서 회전부재(123)와 초퍼 플레이트(130)의 회전을 위하여 하나의 구동모터(140)를 사용하므로, 센서 회전부재(123)와 초퍼 플레이트(130)의 회전을 위한 부품수를 감소시킬 수 있어 조립성을 개선하고 생산원가를 줄일 수 있게 된다.In addition, since the deposition material detection device 100 according to the present invention uses one driving motor 140 to rotate the sensor rotation member 123 and the chopper plate 130, the sensor rotation member 123 and the chopper plate It is possible to reduce the number of parts for the rotation of 130, thereby improving assembly and reducing production costs.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is only illustrative, and those of ordinary skill in the field to which the technology pertains, various modifications and other equivalent embodiments are possible. I will understand.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the claims.

100 : 증착 물질 감지장치 110 : 모터 하우징
111 : 밀폐블록 113 : 연결배관
115 : 모터고정플레이트 117 : 고정핀
120 : 센서 케이싱 121 : 클러치 연결 플랜지
121a : 캠 클러치부재 123 : 센서 회전부재
123a : 센서 개구부 125 : 물질유입 개구부
130 : 초퍼 플레이트 131 : 증착홀부
140 : 구동모터 150 : 실링 동력 전달부
151 : 구동축 부재 153 : 초퍼 고정부재
153a : 어댑터 153b : 초퍼고정볼트
155 : 캠 클러치 160 : 센서모듈
161 : 큐씨엠 소자 163 : 접속단자
165 : 프로브 163a : 안착홈부
170 : 신호감지 안전접촉부 171 : 접속커넥터
171a : 헤드부 173 : 부싱부재
173a : 지지홈부 175 : 탄성부재100: deposition material detection device 110: motor housing
111: sealing block 113: connection pipe
115: motor fixing plate 117: fixing pin
120: sensor casing 121: clutch connection flange
121a: cam clutch member 123: sensor rotating member
123a: sensor opening 125: material inflow opening
130: chopper plate 131: deposition hole
140: drive motor 150: sealing power transmission unit
151: drive shaft member 153: chopper fixing member
153a: adapter 153b: chopper fixing bolt
155: cam clutch 160: sensor module
161: QCM element 163: connection terminal
165: probe 163a: seating groove
170: signal detection safety contact unit 171: connection connector
171a: head portion 173: bushing member
173a: support groove 175: elastic member

Claims (11)

모터 하우징;
상기 모터 하우징에 결합되며, 내부에 증착 반응 물질을 감지하는 센서모듈이 회전가능하게 구비되는 센서 케이싱; 및
상기 센서모듈의 회전중심과 동일한 회전 중심을 가지도록 상기 센서 케이싱에 회전 가능하게 결합되며, 상기 센서모듈과 동기화되어 회전 또는 개별적으로 회전하는 초퍼 플레이트;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
Motor housing;
A sensor casing coupled to the motor housing and rotatably provided with a sensor module for detecting a deposition reaction material therein; And
A chopper plate rotatably coupled to the sensor casing so as to have the same rotation center as the rotation center of the sensor module, and rotated or individually rotated in synchronization with the sensor module;
Deposited material detection device comprising a.
 제 1 항에 있어서,
상기 모터 하우징에 구비되어 상기 센서모듈과 상기 초퍼 플레이트를 구동하는 구동모터; 및
상기 센서모듈 및 상기 초퍼 플레이트를 함께 또는 개별적으로 회전하도록 상기 구동모터와 상기 센서 케이싱 및 상기 초퍼 플레이트를 연결하는 실링 동력 전달부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
The method of claim 1,
A driving motor provided in the motor housing to drive the sensor module and the chopper plate; And
A sealing power transmission unit connecting the driving motor to the sensor casing and the chopper plate to rotate the sensor module and the chopper plate together or separately;
A deposition material detection device, characterized in that it further comprises.
 제 2 항에 있어서,
상기 구동모터는, 실링 동력 전달부를 선택적으로 정회전 또는 역회전시키며,
상기 실링 동력 전달부는, 상기 구동모터가 정회전함에 따라 발생하는 구동력을 상기 초퍼 플레이트에만 전달하여 상기 초퍼 플레이트를 회전시키고, 상기 구동모터가 역회전함에 따라 회전하면서 상기 센서모듈 및 상기 초퍼 플레이트 함께 회전시키는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
The method of claim 2,
The drive motor selectively rotates the sealing power transmission unit forward or reverse,
The sealing power transmission unit rotates the chopper plate by transmitting driving force generated as the driving motor rotates forward only to the chopper plate, and rotates together with the sensor module and the chopper plate while rotating as the driving motor rotates in reverse. A deposition material detection device, characterized in that to let.
 제 2 항에 있어서,
상기 구동모터는, 실링 동력 전달부를 선택적으로 정회전 또는 역회전시키며,
상기 실링 동력 전달부는, 상기 구동모터가 역회전함에 따라 발생하는 구동력을 상기 초퍼 플레이트에만 전달하여 상기 초퍼 플레이트를 회전시키고, 상기 구동모터가 정회전함에 따라 회전하면서 상기 센서모듈 및 상기 초퍼 플레이트 함께 회전시키는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
The method of claim 2,
The drive motor selectively rotates the sealing power transmission unit forward or reverse,
The sealing power transmission unit rotates the chopper plate by transmitting driving force generated when the driving motor reversely rotates only to the chopper plate, and rotates together with the sensor module and the chopper plate while rotating as the driving motor rotates forward. A deposition material detection device, characterized in that to let.
 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 실링 동력 전달부는, 상기 모터 하우징에 회전가능하게 배치되어 상기 구동모터의 모터축에 축결합되며, 상기 구동모터에 의해 정,역회전하는 구동축 부재;
상기 초퍼 플레이트를 상기 구동축 부재에 고정하며, 상기 구동축 부재와 함께 회전하는 초퍼 고정부재; 및
상기 센서모듈을 상기 구동축 부재에 연결하도록 상기 구동축 부재와 상기 센서모듈 사이에 구비되며, 상기 구동모터의 역회전시 상기 센서모듈을 상기 구동축 부재와 함께 회전시키는 캠 클러치;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
The method according to claim 2 or 3,
The sealing power transmission unit may include: a drive shaft member that is rotatably disposed in the motor housing, is axially coupled to a motor shaft of the drive motor, and rotates forward and backward by the drive motor;
A chopper fixing member fixing the chopper plate to the driving shaft member and rotating together with the driving shaft member; And
A cam clutch provided between the driving shaft member and the sensor module to connect the sensor module to the driving shaft member, and rotating the sensor module together with the driving shaft member when the driving motor rotates in reverse;
Deposited material detection device comprising a.
 제 5 항에 있어서,
상기 센서 케이싱은, 상기 캠 클러치에 결합되도록 베어링을 통해 회전가능하게 설치되며, 선택적으로 상기 구동축 부재와 함께 회전하는 클러치 연결 플랜지; 및
상기 클러치 연결 플랜지와 결합되어 함께 회전하며, 상기 센서모듈이 회전방향을 따라 등간격으로 결합되는 센서 회전부재;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
The method of claim 5,
The sensor casing may include a clutch connection flange that is rotatably installed through a bearing so as to be coupled to the cam clutch, and selectively rotates together with the drive shaft member; And
A sensor rotating member coupled to the clutch connection flange and rotating together, the sensor module being coupled at equal intervals along the rotation direction;
A deposition material detection device, characterized in that it further comprises.
 제 5 항에 있어서,
상기 초퍼 고정부재는, 볼트를 통해 상기 구동축 부재의 중심축선 상에 결합되며, 상기 초퍼 플레이트가 안착되는 어댑터; 및
상기 어댑터에 체결되어 상기 초퍼 플레이트를 고정하는 플레이트를 상기 구동축 부재에 고정하는 초퍼 고정볼트;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
The method of claim 5,
The chopper fixing member may include an adapter coupled to a central axis of the driving shaft member through a bolt, and on which the chopper plate is seated; And
A chopper fixing bolt fastened to the adapter to fix the plate fixing the chopper plate to the drive shaft member;
Deposited material detection device comprising a.
 제 1 항에 있어서,
상기 센서모듈의 신호 변화를 감지하도록 상기 센서 케이싱에 구비되며, 탄성을 통해 상기 센서모듈에 접촉되는 신호감지 안전접촉부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
The method of claim 1,
A signal sensing safety contact part provided in the sensor casing to detect a change in a signal of the sensor module and contacting the sensor module through elasticity;
A deposition material detection device, characterized in that it further comprises.
 제 8 항에 있어서,
상기 센서모듈은, 상기 신호감지 안전접촉부가 접촉되는 프로브를 구비하고, 상기 프로브의 하면에 상기 신호감지 안전접촉부가 안착되는 안착홈부가 형성되며,
상기 신호감지 안전접촉부는, 상기 안착홈부에 삽입되어 접촉되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
The method of claim 8,
The sensor module includes a probe to which the signal sensing safety contact part is in contact, and a seating groove in which the signal sensing safety contact part is seated is formed on a lower surface of the probe,
The signal sensing safety contact unit, characterized in that the deposition material detection device, characterized in that the contact is inserted into the seating groove.
 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
상기 안착홈부는 곡률을 가지도록 형성되고,
상기 신호감지 안전접촉부는, 상기 센서모듈에 접촉되는 접속커넥터;
상기 센서 케이싱에 이동가능하게 설치되어 상기 접속커넥터와 연결되는 부싱부재; 및
상기 부싱부재를 상기 센서모듈측으로 탄성 지지하는 탄성부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.
The method according to claim 8 or 9,
The seating groove is formed to have a curvature,
The signal sensing safety contact unit may include a connection connector contacting the sensor module;
A bushing member movably installed on the sensor casing and connected to the connection connector; And
An elastic member elastically supporting the bushing member toward the sensor module;
Deposited material detection device comprising a.
 제 10 항에 있어서,
상기 접속커넥터는, 구 형태의 헤드부가 형성되며, 상기 헤드부에 상기 안착홈부에 접촉되는 접촉면이 굴곡지게 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 물질 감지장치.The method of claim 10,
The connection connector is characterized in that, a spherical head portion is formed, and a contact surface contacting the seating groove portion is formed to be curved in the head portion.
KR1020190116583A 2019-09-23 2019-09-23 Deposition material detecting device KR102292818B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190116583A KR102292818B1 (en) 2019-09-23 2019-09-23 Deposition material detecting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190116583A KR102292818B1 (en) 2019-09-23 2019-09-23 Deposition material detecting device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210034812A true KR20210034812A (en) 2021-03-31
KR102292818B1 KR102292818B1 (en) 2021-08-26

Family

ID=75237766

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190116583A KR102292818B1 (en) 2019-09-23 2019-09-23 Deposition material detecting device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102292818B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230037728A (en) * 2021-09-09 2023-03-17 (주)에스브이엠테크 Deposition material detecting device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101256131B1 (en) * 2012-01-19 2013-04-23 주식회사 아츠 Measurement systemtm having tm sensor
KR20140099412A (en) * 2013-02-01 2014-08-12 주식회사 아츠 Measurement system having tm sensor capable of controlling position
KR20140099411A (en) * 2013-02-01 2014-08-12 주식회사 아츠 Measurement system having tm sensor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101256131B1 (en) * 2012-01-19 2013-04-23 주식회사 아츠 Measurement systemtm having tm sensor
KR20140099412A (en) * 2013-02-01 2014-08-12 주식회사 아츠 Measurement system having tm sensor capable of controlling position
KR20140099411A (en) * 2013-02-01 2014-08-12 주식회사 아츠 Measurement system having tm sensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230037728A (en) * 2021-09-09 2023-03-17 (주)에스브이엠테크 Deposition material detecting device

Also Published As

Publication number Publication date
KR102292818B1 (en) 2021-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20090038544A1 (en) Film coating holder and film coating device using same
JP5357721B2 (en) Cam control valve
KR102292818B1 (en) Deposition material detecting device
CN100590796C (en) CVD apparatus which has rotation type heater and the control method
JP4847136B2 (en) Vacuum processing equipment
CN212275566U (en) Reagent adds mechanism and has pesticide residue detector of this mechanism
KR20190079886A (en) Signal transfer structure of QCM sensor by deposition film thickness measuring module
WO2011137689A1 (en) Vacuum dynamic seal precise transmission mechanism
US5921560A (en) Direct drive rotational motor with axial vacuum
KR102579377B1 (en) Deposition material detecting device
CN116221523A (en) Instrument installing support that petrochemical was used
KR102111710B1 (en) A hall sensor module for locating qcm sensor in a deposited film measuring device
KR102579376B1 (en) Deposition material detecting device
US20220307931A1 (en) Pressure detection device
KR200276160Y1 (en) An electro-pneumatic positioner with a feedback shaft rotation detecting mechanism
KR20140099412A (en) Measurement system having tm sensor capable of controlling position
CN101386372A (en) A conveyor shaft with prevention apparatus of deformation
JP2001124526A (en) Optical film thickness monitoring mechanism
KR101991620B1 (en) Deposition film thickness measuring module with improved power transmission
KR101839999B1 (en) Deposition material detecting device having improved service life
KR102094517B1 (en) A position sensor module for locating qcm sensor in a deposited film measuring device
CN208762568U (en) A kind of bias system of new vacuum coating equipment
CN113846301B (en) Semiconductor process equipment, position detection method and speed detection method of magnetron
CN117589685A (en) Sample detection mechanism
KR20190079889A (en) Screw fastening structure of carousel drive coupler by deposition film thickness measuring module

Legal Events

Date Code Title Description
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right