KR20210012727A - Mask, method of manufacturing thereof and skin care device comprising thereof - Google Patents

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KR20210012727A
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Abstract

A mask according to an embodiment comprises: a first wire disposed on a first base layer; a plurality of piezoelectric elements disposed on the first wire; a second wire disposed on the piezoelectric elements; a second base layer disposed on the second wire; and a protective layer disposed between the first and second base layers, and wrapping the first wire, the second wire, and the plurality of piezoelectric elements. The first base layer, the second base layer, and the protective layer include the same material. In addition, a method for producing a mask according to an embodiment comprises the steps of: forming a first wire on a first protective film, and forming a second wire on a second protective film; disposing piezoelectric elements on the first wire and the second wire; sealing the piezoelectric elements by forming a first filling layer; forming a first structure by removing the first and second protective films; and forming a second filling layer on the first structure. Moreover, a skincare device according to an embodiment comprises: a body having one side opened, and including a receiving space inside the open area; and the mask disposed in the open area and connected to the body. Enhanced reliability is ensured.

Description

마스크, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 피부 관리 기기{MASK, METHOD OF MANUFACTURING THEREOF AND SKIN CARE DEVICE COMPRISING THEREOF}A mask, a method for manufacturing the same, and a skin care device including the same TECHNICAL FIELD [0002] A mask, a method of manufacturing the same, and a skin care device including the same

실시예는 마스크, 상기 마스크의 제조 방법 및 상기 마스크를 포함하는 피부 관리 기기에 관한 것이다.Embodiments relate to a mask, a method of manufacturing the mask, and a skin care device including the mask.

인간의 피부는 환경오염, 자외선, 스트레스 등의 외적 요인에 따라 손상되거나 오염될 수 있고, 노화 및 호르몬 변화 등의 내적 요인에 의해 주름이 생길 수 있다. 최근 피부에 대한 관심이 높아지면서 피부 치료, 미용 및 안티에이징에 대한 다양한 기기가 개발되고 있다. Human skin may be damaged or contaminated depending on external factors such as environmental pollution, ultraviolet rays, and stress, and wrinkles may occur due to internal factors such as aging and hormonal changes. Recently, as interest in skin increases, various devices for skin treatment, beauty, and anti-aging have been developed.

자세하게, 피부에 열에너지를 인가할 수 있는 기기, 예컨대 적외선 에너지를 인가하여 피부의 탄력을 개선할 수 있는 기기가 개발되고 있다. 또한, 피부에 화장품 또는 약물을 효과적으로 주입하기 위해 음파 또는 광선을 이용한 기기가 개발되고 있다. 예를 들어, 소노포레시스(sonophoresis) 및 레이저폴레션(iaserporation)를 이용하여 피부에 화장품 또는 약물이 주입되는 경로를 형성할 수 있는 기기가 개발되고 있다. 또한, 피부에 화장품 또는 약물을 효과적으로 주입하기 위해 전기적 추진력을 이용한 기기가 개발되고 있다. 예를 들어, 이온토포레시스(iontophoresis), 일렉트로포레이션(electroporation), 일렉트로오스모시스(electroosmosis) 등을 이용하여 화장품 또는 약물에 포함된 이온성 물질을 피부 내부에 효과적으로 주입할 수 있는 기기가 개발되고 있다. 즉, 피부에 광에너지, 미세 전류, 진동 등을 제공하여 사용자의 피부를 케어 또는 치료할 수 있는 다양한 기기가 개발되고 있다. In detail, devices capable of applying thermal energy to the skin, such as devices capable of improving skin elasticity by applying infrared energy, have been developed. In addition, devices using sound waves or light rays have been developed to effectively inject cosmetics or drugs into the skin. For example, a device capable of forming a path through which cosmetics or drugs are injected into the skin by using sonophoresis and laser pollination are being developed. In addition, devices using electric propulsion force have been developed to effectively inject cosmetics or drugs into the skin. For example, a device that can effectively inject ionic substances contained in cosmetics or drugs into the skin using iontophoresis, electroporation, and electroosmosis has been developed. have. That is, various devices are being developed that can care or treat a user's skin by providing light energy, microcurrent, and vibration to the skin.

일반적으로 상술한 기기들은 피부에 탈부착 가능한 패치(patch) 형태로 제공될 수 있고, 특정 피부 영역에 부착되어 부착된 영역의 피부를 케어 또는 치료한다. 또한, 상술한 기기들은 사용자의 얼굴 전체를 덮으며 배치되는 마스크팩 형태로 제공되어 얼굴 피부를 케어 또는 치료한다.In general, the above-described devices may be provided in the form of a patch detachable to the skin, and are attached to a specific skin area to care or treat the skin of the attached area. In addition, the above-described devices are provided in the form of a mask pack disposed to cover the entire user's face to care or treat facial skin.

그러나, 상기 기기들은 소정의 두께로 형성됨에 따라 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하기 어려울 수 있다.However, since the devices are formed to have a predetermined thickness, it may be difficult to effectively contact the user's skin.

또한, 상기 기기들은 양 볼, 코 등과 같이 상대적으로 굴곡진 영역에서 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하기 어려울 수 있다. 자세하게, 상기 기기의 재질, 가변 특성 등에 의해 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하기 어려울 수 있다. 이에 따라, 상기 기기는 사용자의 피부와 밀착하지 않은 상태에서 동작할 수 있고, 동작하는 과정에 사용자의 움직임 및 기기의 진동 등에 의해 사용자의 피부와 이격될 수 있다. 이로 인해, 상기 기기를 이용한 케어 또는 치료 효과가 미미할 수 있다.In addition, the devices may be difficult to effectively contact the user's skin in a relatively curved area such as both cheeks and nose. In detail, it may be difficult to effectively contact the user's skin due to the material and variable characteristics of the device. Accordingly, the device may be operated in a state not in close contact with the user's skin, and may be separated from the user's skin due to the user's movement and vibration of the device during the operation process. For this reason, the care or treatment effect using the device may be insignificant.

또한, 상기 기기가 사용자의 피부와 밀착하는 과정에 발생하는 기기의 변형으로 내부 전선이 파손되는 문제가 있다. 특히, 상기 기기 중 상대적으로 굴곡진 피부와 대응되는 영역의 전선은 상기 기기를 착용 시 발생하는 기기의 변형에 의해 단선되는 문제점이 있다.In addition, there is a problem in that the internal wires are damaged due to deformation of the device that occurs while the device is in close contact with the user's skin. In particular, there is a problem in that the electric wire in the area of the device corresponding to the relatively curved skin is disconnected due to deformation of the device that occurs when the device is worn.

또한, 상기 마스크를 제조하는 과정에 상기 마스크를 구성하는 일부 레이어의 폭이 변화하는 문제점이 있다. 예를 들어, 상기 마스크의 배선은 소정의 보호 필름 상에 배치될 수 있고, 상기 보호 필름 상에는 상기 배선을 감싸며 배치되는 베이스층이 배치될 수 있다. 이후 상기 보호 필름은 제거될 수 있는데 상기 보호 필름 제거 시 상기 베이스층의 폭, 두께가 연성(ductility)에 의해 변화하는 문제점이 있다.In addition, in the process of manufacturing the mask, there is a problem in that the width of some of the layers constituting the mask changes. For example, the wiring of the mask may be disposed on a predetermined protective film, and a base layer disposed to surround the wiring may be disposed on the protective film. Thereafter, the protective film may be removed. When the protective film is removed, there is a problem in that the width and thickness of the base layer are changed due to ductility.

또한, 상기 마스크를 제조하는 과정에 인가되는 외부 압력에 의해 상기 마스크를 구성하는 일부 레이어의 두께가 변화하는 문제점이 있다. 예를 들어, 압전소자와 배선은 소정의 압력이 가해지는 가압 공정(pressure process)을 통해 본딩할 수 있고 이 과정에서 상기 배선을 지지하는 베이스층의 두께가 감소할 수 있다. In addition, there is a problem in that the thickness of some of the layers constituting the mask changes due to external pressure applied during the manufacturing process of the mask. For example, the piezoelectric element and the wiring may be bonded through a pressure process in which a predetermined pressure is applied, and in this process, the thickness of a base layer supporting the wiring may be reduced.

이에 따라, 제조과정 중 발생되는 두께, 폭의 변화 등에 의해 상술한 배선, 압전소자, 베이스층 등의 얼라인(align) 오차가 크거나 어려운 문제점이 있고, 제조되는 마스크의 불량 발생 확률이 높은 문제점이 있다.Accordingly, there is a problem that the alignment error of the wiring, piezoelectric element, base layer, etc. is large or difficult due to changes in thickness and width generated during the manufacturing process, and the probability of occurrence of defects in the manufactured mask is high. There is this.

따라서, 상술한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 마스크가 요구된다.Therefore, a new mask capable of solving the above-described problem is required.

실시예는 가변성을 가지고 향상된 신뢰성을 가지는 마스크, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.The embodiment is to provide a mask having variability and improved reliability, a method of manufacturing the same, and a skin care device including the same.

또한, 실시예는 사용자의 피부와 효과적으로 밀착할 수 있는 마스크, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is to provide a mask capable of effectively contacting the user's skin, a method for manufacturing the same, and a skin care device including the same.

또한, 실시예는 사용자의 피부에 균일한 초음파 에너지를 제공할 수 있는 마스크, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is to provide a mask capable of providing uniform ultrasonic energy to a user's skin, a method of manufacturing the same, and a skin care device including the same.

또한, 실시예는 마스크의 제조 과정 중 상기 마스크에 포함된 레이어의 두께, 폭의 변형을 최소화하여 얼라인 특성을 높일 수 있고, 향상된 공정 효율을 가지는 마스크, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is a mask having improved process efficiency, a mask having improved process efficiency, and a method of manufacturing the same, and a skin care device including the same, by minimizing deformation of the thickness and width of the layer included in the mask during the manufacturing process of the mask Want to provide.

또한, 실시예는 제 1 베이스층, 제 2 베이스층 및 보호층이 다양한 색상을 포함할 수 있는 마스크, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is to provide a mask in which a first base layer, a second base layer, and a protective layer may have various colors, a method of manufacturing the same, and a skin care device including the same.

실시예에 따른 마스크는 제 1 베이스층 상에 배치되는 제 1 배선, 상기 제 1 배선 상에 배치되는 복수의 압전소자, 상기 복수의 압전소자 상에 배치되는 제 2 배선, 상기 제 2 배선 상에 배치되는 제 2 베이스층 및 상기 제 1 및 제 2 베이스층 사이에 배치되며, 상기 제 1 배선, 상기 제 2 배선 및 상기 복수의 압전소자를 감싸는 보호층을 포함하고, 상기 제 1 베이스층, 상기 제 2 베이스층 및 상기 보호층은 동일 재질을 포함한다.The mask according to the embodiment may include a first wiring disposed on a first base layer, a plurality of piezoelectric elements disposed on the first wiring, a second wiring disposed on the plurality of piezoelectric elements, and the second wiring. A second base layer disposed and a protective layer disposed between the first and second base layers and surrounding the first wire, the second wire, and the plurality of piezoelectric elements, the first base layer, and the The second base layer and the protective layer include the same material.

또한, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 제 1 보호필름 상에 제 1 배선을 형성하고, 제 2 보호필름 상에 제 2 배선을 형성하는 단계, 상기 제 1 배선 및 상기 제 2 배선 상에 압전소자를 배치하는 단계, 제 1 충진층을 형성하여 상기 압전소자를 밀봉하는 단계, 상기 제 1 및 제 2 보호필름을 제거하여 제 1 구조물을 형성하는 단계 및 상기 제 1 구조물 상에 제 2 충진층을 형성하는 단계를 포함한다.In addition, the method of manufacturing a mask according to the embodiment includes forming a first wiring on a first protective film, forming a second wiring on a second protective film, and piezoelectric on the first wiring and the second wiring. Arranging an element, sealing the piezoelectric element by forming a first filling layer, forming a first structure by removing the first and second protective films, and a second filling layer on the first structure And forming.

또한, 실시예에 따른 피부 관리 기기는 일측이 오픈되고 상기 오픈된 영역 내부에 수용 공간을 포함하는 본체 및 상기 오픈 영역 내에 배치되며 상기 본체와 연결되는 상기 마스크를 포함한다.In addition, a skin care device according to an embodiment includes a body having one side open and an accommodation space in the open area, and the mask disposed in the open area and connected to the body.

실시예에 따른 마스크는 제 1 베이스층, 제 2 베이스층 등에 의해 사용자의 굴곡진 피부 형태에 따라 탄성 변형할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크는 사용자의 피부와 효과적으로 밀착할 수 있다.The mask according to the embodiment may be elastically deformed according to the shape of the user's curved skin by the first base layer, the second base layer, or the like. Accordingly, the mask can effectively contact the user's skin.

또한, 실시예에 따른 마스크는 복수 개의 압전소자를 포함하며, 상기 압전소자는 상기 마스크의 전체 영역에 초음파 에너지를 발생할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크를 착용한 사용자에게 균일한 세기의 초음파 에너지를 제공할 수 있다.In addition, the mask according to the embodiment includes a plurality of piezoelectric elements, and the piezoelectric elements may generate ultrasonic energy in the entire area of the mask. Accordingly, ultrasonic energy having a uniform intensity may be provided to a user wearing the mask.

또한, 실시예에 따른 압전소자는 사용자의 얼굴 형태에 따라 서로 상이한 간격으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 사용자의 코 및 볼 등과 같이 상대적으로 굴곡진 영역과 이마 등과 같이 평평한 영역에 배치되는 압전소자는 서로 다른 간격으로 배치되어, 사용자의 얼굴 중 굴곡진 영역에도 균일한 세기의 초음파 에너지를 제공할 수 있다.In addition, the piezoelectric elements according to the embodiment may be disposed at different intervals according to the shape of the user's face. For example, piezoelectric elements arranged in relatively curved areas such as the user's nose and cheeks, and flat areas such as forehead are arranged at different intervals, so that the ultrasonic energy of uniform intensity is applied to the curved area of the user's face. Can provide.

또한, 실시예에 따른 마스크는 제조 과정 중 상기 마스크에 포함된 레이어들의 변형을 방지할 수 있다. 자세하게, 실시예에 따른 제조방법은 보호필름 상에 배선을 감싸는 별도의 충진층을 형성하기 이전에 상기 배선과 상기 압전소자를 연결할 수 있다. 더 자세하게, 실시예는 상기 배선과 상기 압전소자 연결 시 상기 보호필름 상에 별도의 충진층을 배치하지 않으므로 상기 충진층의 연성(ductility)에 의해 상기 배선의 위치가 설정된 위치로부터 어긋나거나 상기 충진층의 변형에 의해 단선되는 것을 방지할 수 있다. In addition, the mask according to the embodiment may prevent deformation of the layers included in the mask during the manufacturing process. In detail, the manufacturing method according to the embodiment may connect the wiring and the piezoelectric element before forming a separate filling layer surrounding the wiring on the protective film. In more detail, in the embodiment, since a separate filling layer is not disposed on the protective film when the wiring and the piezoelectric element are connected, the position of the wiring is shifted from the set position due to the ductility of the filling layer or the filling layer Can be prevented from being disconnected by the deformation of.

또한, 상기 충진층의 연성에 의해 상기 압전소자와 배선 사이의 얼라인(align) 불량이 발생하는 것을 방지 또는 최소화할 수 있다.In addition, it is possible to prevent or minimize the occurrence of an alignment defect between the piezoelectric element and the wiring due to the ductility of the filling layer.

또한, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은, 별도의 충진층이 배치되기 이전에 상기 배선과 상기 압전소자를 연결하고, 이후 상기 압전소자 및 상기 배선을 감싸는 충진층을 형성할 수 있다. 이에 따라, 유색의 충진층에 의해 상기 배선과 상기 압전소자 사이의 얼라인 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. In addition, in the manufacturing method of the mask according to the embodiment, the wiring and the piezoelectric element may be connected before a separate filling layer is disposed, and a filling layer surrounding the piezoelectric element and the wiring may be formed thereafter. Accordingly, it is possible to prevent an alignment failure between the wiring and the piezoelectric element from occurring due to the colored filling layer.

또한, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 충진층을 소정의 압력으로 가압하는 단계를 생략할 수 있어, 상기 가압에 의해 상기 충진층의 두께, 폭이 변형되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the manufacturing method of the mask according to the embodiment, the step of pressing the filling layer with a predetermined pressure can be omitted, and thus the thickness and width of the filling layer may be prevented from being deformed by the pressing.

또한, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 몰딩 지그를 이용하여 초음파 반사층 및 정합층을 설정된 두께로 균일하게 형성할 수 있어, 균일한 초음파 반사 특성 및 임피던스 특성을 가질 수 있다.In addition, the manufacturing method of the mask according to the embodiment may uniformly form the ultrasonic reflective layer and the matching layer to a set thickness using a molding jig, and thus may have uniform ultrasonic reflection characteristics and impedance characteristics.

도 1은 실시예에 따른 마스크의 정면도이다.
도 2는 도 1의 A1 영역의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 A1 영역의 상면도이다.
도 4는 도 1의 A1 영역의 다른 상면도이다.
도 5는 도 4의 A-A' 단면을 도시한 단면도이다.
도 6은 도 5의 A2 영역의 확대도이다.
도 7 내지 도 11은 종래의 마스크 제조방법에 대한 도면이다.
도 12 내지 도 16은 실시예에 따른 마스크의 제조방법에 대한 도면이다.
도 17은 도 1의 A1 영역의 다른 분해 사시도이다.
도 18은 도 17의 마스크의 단면을 도시한 단면도이다.
도 19 내지 도 21은 실시예에 따른 마스크에 인디케이터, 돌기가 제공된 예를 도시한 도면이다.
도 22는 실시예에 따른 마스크를 착용한 사용자를 도시한 도면이다.
도 23은 실시예에 따른 마스크가 적용된 피부 관리 기기를 도시한 도면이다.
1 is a front view of a mask according to an embodiment.
FIG. 2 is an exploded perspective view of area A1 of FIG. 1.
3 is a top view of area A1 of FIG. 1.
4 is another top view of area A1 of FIG. 1.
5 is a cross-sectional view showing a cross-section AA′ of FIG. 4.
6 is an enlarged view of area A2 of FIG. 5.
7 to 11 are diagrams for a conventional mask manufacturing method.
12 to 16 are diagrams for a method of manufacturing a mask according to an embodiment.
17 is another exploded perspective view of area A1 of FIG. 1.
18 is a cross-sectional view illustrating a cross section of the mask of FIG. 17.
19 to 21 are diagrams illustrating an example in which an indicator and a protrusion are provided to a mask according to an embodiment.
22 is a diagram illustrating a user wearing a mask according to an embodiment.
23 is a diagram illustrating a skin care device to which a mask is applied according to an embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다.However, the technical idea of the present invention is not limited to some embodiments to be described, but may be implemented in various different forms, and within the scope of the technical idea of the present invention, one or more of the constituent elements may be selectively selected between the embodiments. It can be combined with and substituted for use.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.In addition, terms (including technical and scientific terms) used in the embodiments of the present invention are generally understood by those of ordinary skill in the art, unless explicitly defined and described. It can be interpreted as a meaning, and terms generally used, such as terms defined in a dictionary, may be interpreted in consideration of the meaning in the context of the related technology.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, "A 및(와) B, C중 적어도 하나(또는 한 개 이상)"로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다.In addition, terms used in the embodiments of the present invention are for describing the embodiments and are not intended to limit the present invention. In the present specification, the singular form may include the plural form unless specifically stated in the phrase, and when described as "at least one (or more than one) of A and (and) B and C", it is combined with A, B, and C. It may contain one or more of all possible combinations.

또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다. 그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속'되는 경우도 포함할 수 있다.In addition, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used in describing the constituent elements of the embodiment of the present invention. These terms are only for distinguishing the component from other components, and are not limited to the nature, order, or order of the component by the term. And, when a component is described as being'connected','coupled' or'connected' to another component, the component is not only directly connected, coupled or connected to the other component, but also the component and The case of being'connected','coupled', or'connected' due to another element between the other elements may also be included.

또한, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우뿐만 아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)"으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In addition, when it is described as being formed or disposed on the “top (top) or bottom (bottom)” of each component, the top (top) or bottom (bottom) is one as well as when the two components are in direct contact with each other. It also includes a case in which the above other component is formed or disposed between the two components. In addition, when expressed as "upper (upper) or lower (lower)", the meaning of not only an upward direction but also a downward direction based on one component may be included.

또한, 발명의 실시예에 대한 설명을 하기 앞서 제 1 방향은 도면에 도시된 x축 방향을 의미할 수 있고, 제 2 방향은 상기 제 1 방향과 다른 방향일 수 있다. 일례로, 상기 제 2 방향은 상기 제 1 방향과 수직인 방향으로 도면에 도시된 y축 방향을 의미할 수 있다. 또한, 수평 방향은 제 1 및 제 2 방향을 의미할 수 있고, 수직 방향은 상기 제 1 및 제 2 방향 중 적어도 한 방향과 수직인 방향을 의미할 수 있다. 예를 들어, 상기 수평 방향은 도면의 x축 및 y축 방향을 의미할 수 있고, 수직 방향은 도면의 z축 방향으로 상기 x축 및 y축 방향과 수직인 방향일 수 있다.In addition, before describing the embodiments of the present invention, the first direction may refer to the x-axis direction shown in the drawings, and the second direction may be a different direction from the first direction. For example, the second direction may mean a y-axis direction shown in the drawing in a direction perpendicular to the first direction. In addition, the horizontal direction may mean first and second directions, and the vertical direction may mean a direction perpendicular to at least one of the first and second directions. For example, the horizontal direction may mean the x-axis and y-axis directions of the drawing, and the vertical direction may be a direction perpendicular to the x-axis and y-axis directions in the z-axis direction of the drawing.

도 1은 실시예에 따른 마스크의 정면도이고, 도 2는 도 1의 A1 영역의 분해 사시도이다. 또한, 도 3 및 도 4는 도 1의 A1 영역의 상면도이고, 도 5는 도 4의 A-A' 단면을 도시한 단면도이며 도 6은 도 5의 A2 영역의 확대도이다.1 is a front view of a mask according to an embodiment, and FIG. 2 is an exploded perspective view of area A1 of FIG. 1. In addition, FIGS. 3 and 4 are top views of area A1 of FIG. 1, FIG. 5 is a cross-sectional view showing section A-A′ of FIG. 4, and FIG. 6 is an enlarged view of area A2 of FIG. 5.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 실시예에 따른 마스크(1000)는 사람의 얼굴 형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 상기 마스크(1000)는 사용자의 얼굴을 커버할 수 있는 소정의 크기로 제공되며 사용자의 얼굴과 밀착하기 위해 소정의 탄성을 가질 수 있다. 상기 마스크(1000)는 사용자의 피부와 접촉하는 일면 및 상기 일면과 반대되는 타면을 포함하며, 상기 마스크(1000)의 일면은 인체에 무해한 재질로 제공되어 사용자의 피부와 장시간 접촉하여도 무해할 수 있다.1 to 6, the mask 1000 according to the embodiment may have a shape corresponding to a shape of a human face. The mask 1000 is provided in a predetermined size to cover the user's face, and may have a predetermined elasticity in order to be in close contact with the user's face. The mask 1000 includes one surface in contact with the user's skin and the other surface opposite to the one surface, and one surface of the mask 1000 is made of a material that is harmless to the human body, so that it may be harmless even if it is in contact with the user's skin for a long time. have.

상기 마스크(1000)는 개구부(1010) 및 절단부(1020) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 개구부(1010)는 사용자의 눈, 입 등과 대응되는 부위에 형성될 수 있다. 상기 개구부(1010)는 상기 마스크(1000)의 사용자의 피부와 마주하는 일면 및 타면을 관통하는 영역으로 사용자가 상기 마스크(1000)를 착용할 경우 사용자의 눈, 입 등은 상기 개구부(1010)에 삽입될 수 있고, 상기 개구부(1010)를 제외한 영역은 사용자의 얼굴과 밀착할 수 있다. The mask 1000 may include at least one of an opening 1010 and a cutout 1020. In detail, the opening 1010 may be formed in a portion corresponding to the user's eyes or mouth. The opening 1010 is a region penetrating one surface and the other surface of the mask 1000 facing the user's skin. When the user wears the mask 1000, the user's eyes, mouth, etc. are in the opening 1010. It may be inserted, and the area excluding the opening 1010 may be in close contact with the user's face.

또한, 상기 절단부(1020)는 상기 마스크(1000)와 피부와의 밀착력을 향상시키기 위해 상대적으로 굴곡진 양쪽 볼 라인, 턱 등과 대응되는 부위에 형성될 수 있으며 이에 대해 제한하지는 않는다. 상기 절단부(1020)는 상기 마스크(1000)의 일면 및 타면이 부분적으로 절단된 형태를 가질 수 있다.In addition, the cutting portion 1020 may be formed in a portion corresponding to the relatively curved both ball lines, chins, etc. in order to improve adhesion between the mask 1000 and the skin, but is not limited thereto. The cutting part 1020 may have a form in which one surface and the other surface of the mask 1000 are partially cut.

상기 마스크(1000)는 사용자의 피부 상에 접착되며 내부에 포함된 압전 부재를 통해 사용자의 피부에 초음파를 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000) 및 상기 피부 사이의 약물 또는 화장품을 사용자에게 효과적으로 제공할 수 있다. The mask 1000 is adhered to the user's skin and may provide ultrasonic waves to the user's skin through a piezoelectric member included therein. Accordingly, a drug or cosmetics between the mask 1000 and the skin can be effectively provided to the user.

실시예에 따른 마스크(1000)에서 상기 개구부(1010)를 제외한 영역은 제 1 베이스층(110), 제 1 배선(200), 압전소자(400), 제 2 배선(300), 제 2 베이스층(120) 및 보호층(550)을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 마스크(1000)는 상기 제 1 베이스층(110) 상에 순차적으로 배치되는 제 1 배선(200), 압전소자(400), 제 2 배선(300), 제 2 베이스층(120)을 포함할 수 있고, 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120) 사이에 배치되는 보호층(550)을 포함할 수 있다.In the mask 1000 according to the embodiment, the first base layer 110, the first wiring 200, the piezoelectric element 400, the second wiring 300, and the second base layer are regions excluding the opening 1010. 120 and a protective layer 550 may be included. In detail, the mask 1000 includes a first wiring 200, a piezoelectric element 400, a second wiring 300, and a second base layer 120 sequentially disposed on the first base layer 110. It may include, and may include a protective layer 550 disposed between the first base layer 110 and the second base layer 120.

상기 제 1 베이스층(110)은 인체에 무해한 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1 베이스층(110)은 연질이면서 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 베이스층(110)은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 바람직하게, 상기 제 1 베이스층(110)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있고 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함할 수 있다.The first base layer 110 may include a material harmless to the human body. In addition, the first base layer 110 may include a soft and elastic material. For example, the first base layer 110 is polyvinyl chloride to which silicone, thermoplastic resin, thermoplastic silicone resin, thermoplastic elastomer, polyurethane elastomer, ethylene vinyl acetate (EVA), a harmless plasticizer and a stabilizer are added ( PVC) may include at least one material. Preferably, the first base layer 110 is relatively light, can minimize irritation upon contact with the user's skin, and may include a silicone elastomer having a predetermined elasticity.

상기 제 1 베이스층(110)은 후술할 압전소자(400)에서 방출된 파장을 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로 반사시킬 수 있다. 즉, 상기 제 1 베이스층(110)은 반사층일 수 있다. The first base layer 110 may reflect a wavelength emitted from the piezoelectric element 400 to be described later in the direction of one surface of the mask 1000. That is, the first base layer 110 may be a reflective layer.

이를 위해 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 후술할 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)보다 얇거나 같을 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)에서 상기 제 1 베이스층(110) 방향으로 방출된 파장이 상기 제 1 베이스층(110)에 반사되기 위해 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)보다 얇거나 같을 수 있다. 즉, 상기 제 2 베이스층(120)은 사용자의 피부와 마주하는 베이스층일 수 있고, 상기 제 1 베이스층(110)은 상기 제 2 베이스층(120)과 반대되는 영역에 배치되는 베이스층일 수 있다.To this end, the thickness t1 of the first base layer 110 may be smaller than or equal to the thickness t2 of the second base layer 120 to be described later. In detail, the thickness t1 of the first base layer 110 in order to reflect the wavelength emitted from the piezoelectric element 400 toward the first base layer 110 to the first base layer 110 is It may be thinner than or equal to the thickness t2 of the second base layer 120. That is, the second base layer 120 may be a base layer facing the user's skin, and the first base layer 110 may be a base layer disposed in an area opposite to the second base layer 120. .

상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 약 50㎛ 내지 약 10mm 일 수 있다. 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 약 50㎛ 미만인 경우, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 상대적으로 얇아 상기 제 1 베이스층(110) 상에 배치된 구성들을 효과적으로 보호할 수 없다. 자세하게, 상기 마스크(1000)가 탄성 변형하여 상기 제 1 베이스층(110)이 탄성 변형할 경우 상기 제 1 베이스층(110) 상의 배선들(200, 300) 및 압전소자(400)를 효과적으로 보호할 수 없다. The thickness t1 of the first base layer 110 may be about 50 μm to about 10 mm. When the thickness t1 of the first base layer 110 is less than about 50 μm, the thickness t1 of the first base layer 110 is relatively thin, so that the configuration is disposed on the first base layer 110 Cannot effectively protect them. In detail, when the mask 1000 is elastically deformed and the first base layer 110 is elastically deformed, the wirings 200 and 300 and the piezoelectric element 400 on the first base layer 110 can be effectively protected. Can't.

또한, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 약 10mm를 초과할 경우, 전체 마스크(1000)의 두께가 증가할 수 있고, 상기 압전소자(400)에서 상기 제 1 베이스층(110) 방향으로 방출된 파장 대부분이 상기 제 1 베이스층(110)을 통과하여 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로 반사되는 양이 적을 수 있다. In addition, when the thickness t1 of the first base layer 110 exceeds about 10 mm, the thickness of the entire mask 1000 may increase, and the first base layer 110 in the piezoelectric element 400 The amount of most of the wavelengths emitted in the) direction passes through the first base layer 110 and is reflected in the direction of one surface of the mask 1000 may be small.

또한, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 약 10mm를 초과할 경우, 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로의 반사를 위해 상기 제 2 베이스층(120)의 요구 두께가 증가할 수 있고, 반사를 위해 상기 압전소자(400)에서 발생하는 파장의 영역대가 높아 마스크(1000)에 사용하기 적절하지 않을 수 있다. In addition, when the thickness t1 of the first base layer 110 exceeds about 10 mm, the required thickness of the second base layer 120 may increase for reflection in the direction of one surface of the mask 1000. In addition, since the range of wavelengths generated by the piezoelectric element 400 for reflection is high, it may not be suitable for use in the mask 1000.

또한, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 약 10mm를 초과할 경우, 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 특성이 저하될 수 있다. 이에 따라 상기 마스크(1000)가 사용자의 피부와 대응되는 형태로 효과적으로 탄성 변형하지 못할 수 있다.In addition, when the thickness t1 of the first base layer 110 exceeds about 10 mm, the elastic deformation characteristics of the mask 1000 may be deteriorated. Accordingly, the mask 1000 may not be elastically deformed effectively in a shape corresponding to the user's skin.

따라서, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 상기와 같은 문제를 방지하기 위해 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 약 100㎛ 내지 약 1000㎛ 일 수 있다. 즉, 상기 제 1 베이스층(110)은 신뢰성, 반사 특성, 제조되는 마스크(1000)의 가변성, 두께, 무게 및 초음파 임피던스 특징 등을 고려하여 약 100㎛ 내지 약 1000㎛의 두께 범위를 가지는 것이 바람직하다.Therefore, it is preferable that the thickness t1 of the first base layer 110 satisfies the above-described range in order to prevent the above problems. More preferably, the thickness t1 of the first base layer 110 may be about 100 μm to about 1000 μm. That is, it is preferable that the first base layer 110 has a thickness range of about 100 μm to about 1000 μm in consideration of reliability, reflection characteristics, variability of the manufactured mask 1000, thickness, weight, and ultrasonic impedance characteristics. Do.

또한, 상기 제 1 베이스층(110)은 상기 압전소자(400)에서 발생하는 파장을 효과적으로 반사시키기 위해 내부에 홈, 기공 등이 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 홈, 기공은 효과적인 반사를 상기 압전소자(400)와 중첩되는 영역에 배치될 수 있으며 이에 대해 제한하지 않는다.In addition, the first base layer 110 may have grooves and pores formed therein to effectively reflect the wavelength generated by the piezoelectric element 400. For example, the grooves and pores may be disposed in a region overlapping with the piezoelectric element 400 for effective reflection, but is not limited thereto.

상기 제 1 베이스층(110) 상에는 제 1 배선(200)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 압전소자(400)와 마주하는 상기 제 1 베이스층(110)의 일면 상에 배치될 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110) 상에서 제 1 방향(x축 방향)으로 연장할 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110)의 일면과 직접 접촉할 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110)의 일면 상에 증착, 인쇄, 접착 등의 공정으로 형성될 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 압전소자(400)와 전기적으로 연결될 수 있다.A first wiring 200 may be disposed on the first base layer 110. The first wiring 200 may be disposed on one surface of the first base layer 110 facing the piezoelectric element 400. The first wiring 200 may extend on the first base layer 110 in a first direction (x-axis direction). The first wiring 200 may directly contact one surface of the first base layer 110. The first wiring 200 may be formed on one surface of the first base layer 110 by a process such as deposition, printing, or bonding. The first wiring 200 may be electrically connected to the piezoelectric element 400.

상기 제 1 배선(200)은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 배선(200)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1 배선(200)은 카본(carbon) 등과 같은 비금속을 포함할 수 있고, 전도성 탄성체 등을 포함할 수 있다. The first wiring 200 may include a conductive material. For example, the first wiring 200 is aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti) And it may include at least one metal of these alloys. In addition, the first wiring 200 may include a non-metal such as carbon, and may include a conductive elastic body.

상기 제 1 배선(200)은 하나의 층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 일례로, 상기 제 1 배선(200)은 상술한 재질 중 선택되는 하나를 포함하는 단일층 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 1 배선(200)은 상술한 재질 중 선택되는 금속 재질과 전도성 탄성체를 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다.The first wiring 200 may have a single layer or a multilayer structure. As an example, the first wiring 200 may have a single layer structure including one selected from the above-described materials. In addition, the first wiring 200 may have a multilayer structure including a metal material selected from the above-described materials and a conductive elastic body.

상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110) 상에 배치되는 복수의 제 1 서브 배선(201)들을 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 1 서브 배선(201) 각각은 제 1 방향으로 연장하며 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향으로 서로 이격하여 배치될 수 있다. 상기 복수의 제 1 서브 배선(201)들은 서로 전기적으로 연결될 수 있다. 여기서 제 2 방향은 상기 제 1 방향과 다른 방향으로 상기 제 1 방향과 수직인 방향일 수 있으나 이에 대해 제한하지 않는다.The first wiring 200 may include a plurality of first sub-wirings 201 disposed on the first base layer 110. Each of the plurality of first sub-wires 201 may extend in a first direction and may be disposed to be spaced apart from each other in a second direction different from the first direction. The plurality of first sub-wires 201 may be electrically connected to each other. Here, the second direction may be a direction perpendicular to the first direction in a direction different from the first direction, but is not limited thereto.

상기 제 1 서브 배선(201)의 두께는 약 2㎛ 내지 약 50㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께는 약 2㎛ 내지 약 40㎛일 수 있다. 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께가 약 2㎛ 미만인 경우 전기적 특성이 저하될 수 있고, 균일하게 형성하기 어려울 수 있다. 또한, 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께가 약 50㎛를 초과할 경우 상기 마스크(1000)의 전체 두께가 증가할 수 있고, 상기 제 1 배선(200)의 제조 시간이 증가할 수 있다. 또한, 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께가 너무 두꺼워 스트레쳐블 특성이 저하될 수 있다. 바람직하게, 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께는 수평 방향으로의 스트레쳐블 특성, 신뢰성 및 공정 효율을 고려하여 약 5㎛ 내지 약 35㎛ 이하일 수 있다.The thickness of the first sub-wiring 201 may be about 2 μm to about 50 μm. In detail, the thickness of the first sub-wire 201 may be about 2 μm to about 40 μm. When the thickness of the first sub-wiring 201 is less than about 2 μm, electrical characteristics may be deteriorated, and it may be difficult to form uniformly. In addition, when the thickness of the first sub-wire 201 exceeds about 50 μm, the total thickness of the mask 1000 may increase, and the manufacturing time of the first wire 200 may increase. In addition, the first sub-wiring 201 may be too thick to reduce stretchable characteristics. Preferably, the thickness of the first sub-wire 201 may be about 5 μm to about 35 μm or less in consideration of stretchable characteristics, reliability, and process efficiency in the horizontal direction.

또한, 제 1 서브 배선(201)의 선폭은 약 50㎛ 내지 약 500㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭은 약 100㎛ 내지 약 450㎛일 수 있다. 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭은 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께보다 클 수 있다. 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭이 약 50㎛ 미만인 경우 신뢰성에 저하될 수 있고, 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭이 약 500㎛를 초과할 경우 연신율이 저하되어 스트레쳐블 특성이 저하될 수 있다. 바람직하게 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭은 스트레쳐블 특성을 고려하여 약 100㎛ 내지 약 400㎛일 수 있다.In addition, the line width of the first sub-wire 201 may be about 50 μm to about 500 μm. In detail, the line width of the first sub-wire 201 may be about 100 μm to about 450 μm. A line width of the first sub-wire 201 may be greater than a thickness of the first sub-wire 201. If the line width of the first sub-wire 201 is less than about 50 μm, reliability may be degraded, and if the line width of the first sub-wire 201 exceeds about 500 μm, the elongation rate decreases, resulting in a stretchable characteristic. It can be degraded. Preferably, the line width of the first sub-wire 201 may be about 100 μm to about 400 μm in consideration of stretchable characteristics.

상기 제 1 배선(200)은 제 1 연결부(210) 및 제 1 연장부(220)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 하나의 상기 제 1 서브 배선(201)은 제 1 연결부(210) 및 상기 제 1 연결부(210)와 연결되는 제 1 연장부(220)를 포함할 수 있다.The first wiring 200 may include a first connection part 210 and a first extension part 220. For example, one of the first sub-wires 201 may include a first connection part 210 and a first extension part 220 connected to the first connection part 210.

상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 수직 방향으로 중첩되는 영역에 배치될 수 있다. 상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 마주할 수 있다. 상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)와 대응되는 개수로 제공될 수 있다.The first connection part 210 may be disposed in a region corresponding to a lower surface of the piezoelectric element 400. In detail, the first connection part 210 may be disposed in a region overlapping the lower surface of the piezoelectric element 400 in a vertical direction. The first connection part 210 may face a lower surface of the piezoelectric element 400. The first connector 210 may be provided in a number corresponding to the piezoelectric element 400.

상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 대응되는 너비를 가질 수 있다. 일례로, 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400) 하면의 수평 방향 너비보다 작거나 같을 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400) 하면의 수평 방향 너비의 약 50% 내지 약 100%일 수 있다. 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비가 약 50% 미만인 경우, 상기 제 1 배선(200)과 상기 압전소자(400) 사이의 전기적 특성이 저하될 수 있다. 또한, 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비가 상기 압전소자(400)의 하면 너비보다 클 경우 초음파 에너지의 투과율이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비는 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.The first connection part 210 may have a shape corresponding to a lower surface of the piezoelectric element 400. The first connection part 210 may have a width corresponding to a lower surface of the piezoelectric element 400. For example, the width in the horizontal direction of the first connector 210 may be less than or equal to the width in the horizontal direction of the bottom surface of the piezoelectric element 400. In detail, the width of the first connection part 210 in the horizontal direction may be about 50% to about 100% of the width of the lower surface of the piezoelectric element 400 in the horizontal direction. When the width of the first connection part 210 in the horizontal direction is less than about 50%, electrical characteristics between the first wiring 200 and the piezoelectric element 400 may be deteriorated. In addition, when the width in the horizontal direction of the first connector 210 is larger than the width of the lower surface of the piezoelectric element 400, the transmittance of ultrasonic energy may be reduced. Accordingly, it is preferable that the horizontal width of the first connection part 210 satisfies the above-described range.

상기 제 1 연장부(220)는 상기 제 1 연결부(210)로부터 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 상기 제 1 연장부(220)는 복수의 제 1 연결부(210) 사이에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 연장부(220)는 제 1 방향으로 이격된 상기 제 1 연결부(210) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 1 연장부(220)는 인접한 상기 제 1 연결부(210)들 사이를 연결할 수 있다.The first extension part 220 may extend in a first direction from the first connection part 210. The first extension part 220 may be disposed between a plurality of first connection parts 210. In detail, the first extension part 220 may be disposed between the first connection parts 210 spaced apart in a first direction. That is, the first extension part 220 may connect between adjacent first connection parts 210.

상기 제 1 배선(200)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 평면에서 보았을 때 상기 복수의 제 1 서브 배선(201)들 각각은 도 3과 같이 직선의 형태로 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 자세하게, 복수의 제 1 서브 배선(201)은 인접한 제 1 서브 배선(201)과 등간격으로 제 2 방향으로 이격되며, 직선의 형태로 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 즉, 상기 제 1 배선(200)의 제 1 연장부(220)는 제 1 방향으로 연장하는 직선의 형태를 가질 수 있다.The first wiring 200 may have various shapes. For example, when viewed in a plan view, each of the plurality of first sub-wires 201 may extend in a first direction in a linear shape as shown in FIG. 3. In detail, the plurality of first sub-wires 201 are spaced apart from the adjacent first sub-wires 201 in the second direction at equal intervals, and may extend in the first direction in the form of a straight line. That is, the first extension part 220 of the first wiring 200 may have a shape of a straight line extending in the first direction.

이와 다르게, 평면에서 보았을 때, 상기 복수의 제 1 서브 배선(201)들 각각은 도 4와 같이 곡선의 형태로 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 제 1 서브 배선(201)들 각각은 구불거리는 패턴이 반복되는 형태로 제공될 수 있다. 즉, 상기 제 1 배선(200)의 제 1 연장부(220)는 제 1 방향으로 연장하는 곡선의 형태를 가질 수 있다.In contrast, when viewed in a plan view, each of the plurality of first sub-wires 201 may extend in the first direction in a curved shape as shown in FIG. 4. For example, each of the plurality of first sub-wires 201 may be provided in a form in which a wavy pattern is repeated. That is, the first extension part 220 of the first wiring 200 may have a curved shape extending in the first direction.

이때, 상기 제 1 연장부(220)는 약 3R 내지 약 20R(mm)의 곡률 패턴을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)가 일 방향으로 연신되거나 수축할 경우, 상기 제 1 배선(200)은 스트레쳐블(stretchable) 특성을 가지며 끊어지지 않을 수 있다. 바람직하게, 상기 제 1 연장부(220)는 약 5R 내지 약 15R(mm)의 곡률 패턴을 가질 수 있다. 또한, 상기 제 1 연장부(220)는 약 10% 내지 약 50%의 연신율을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 배선(200)은 보다 향상된 스트레쳐블 특성을 가질 수 있어 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 사용자의 피부와의 밀착성을 향상시킬 수 있다.In this case, the first extension part 220 may have a curvature pattern of about 3R to about 20R (mm). Accordingly, when the mask 1000 is stretched or contracted in one direction, the first wiring 200 has a stretchable characteristic and may not be cut off. Preferably, the first extension part 220 may have a curvature pattern of about 5R to about 15R (mm). In addition, the first extension part 220 may have an elongation of about 10% to about 50%. Accordingly, since the first wiring 200 may have improved stretchable characteristics, reliability may be improved, and adhesion with the user's skin may be improved.

이와 또 다르게, 도면에는 도시하지 않았으나 상기 제 1 연장부(220)는 제 1 방향으로 연장하는 직선 및 곡선이 혼재된 패턴이 반복되는 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 평면에서 보았을 때 사용자의 얼굴 중 상대적으로 굴곡진 영역(코, 볼 등)과 중첩되는 영역에 위치한 상기 제 1 연장부(220)는 곡선 형태로 제공될 수 있고, 상대적으로 평평한 영역(이마 등)과 중첩되는 영역에 위치한 상기 제 1 연장부(220)는 직선 형태로 제공될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)를 사용자의 얼굴에 부착할 경우, 상기 마스크(1000)의 변형에 의해 상기 제 1 배선(200)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제 1 연장부(220)는 직선 및 곡선이 혼재된 형태로 제공되어 전기적 특성을 유지함과 동시에 상기 제 1 배선(200)이 차지하는 비율을 감소시킬 수 있다. 따라서, 실시예는 상기 제 1 배선(200)의 제조 비용을 감소할 수 있고, 상기 압전소자(400)에서 방출되는 초음파 에너지의 손실을 최소화할 수 있다.Alternatively, although not shown in the drawings, the first extension part 220 may have a shape in which a pattern in which a straight line and a curve extending in a first direction are mixed is repeated. For example, the first extension part 220 located in an area overlapping with a relatively curved area (nose, cheek, etc.) of the user's face when viewed from a plane may be provided in a curved shape, and a relatively flat area The first extension part 220 located in a region overlapping with (forehead, etc.) may be provided in a straight line. Accordingly, when the mask 1000 is attached to the user's face, it is possible to prevent the first wiring 200 from being damaged due to the deformation of the mask 1000. In addition, since the first extension part 220 is provided in a form in which a straight line and a curved line are mixed, an electrical characteristic can be maintained and a ratio occupied by the first wiring 200 can be reduced. Accordingly, the embodiment can reduce the manufacturing cost of the first wiring 200 and minimize the loss of ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400.

상기 제 1 베이스층(110) 상에는 압전소자(400)가 배치될 수 있다. 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 상에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200)의 제 1 연결부(210) 상에 배치되어 상기 제 1 배선(200)과 전기적으로 연결될 수 있다.A piezoelectric element 400 may be disposed on the first base layer 110. The piezoelectric element 400 may be disposed on the first wiring 200. In detail, the piezoelectric element 400 may be disposed on the first connection part 210 of the first wire 200 to be electrically connected to the first wire 200.

상기 압전소자(400)는 세라믹 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 압전소자(400)는 ZnO, AlN, LiNbO4, 납 안티몬 주석산염(lead antimony stannate), 납 마그네슘 탄탈산염(lead magnesium tantalate), 납 니켈 탄탈산염(lead nickel tantalate), 티탄산염(titanates), 텅스텐산염(tungstates), 지르콘산염(zirconates), 또는 납 지르콘산염 티탄산염[Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)], 납 란탄 지르콘산염 티탄산염(PLZT), 납 니오브 지르콘산염 티탄산염(PNZT), BaTiO3, SrTiO3, 납 마그네슘 니오브산염, 납 니켈 니오브산염, 납 망간 니오브산염, 납 아연 니오브산염, 납 티탄산염을 포함하는 납, 바륨, 비스무스, 또는 스트론튬의 니오브산염(niobates) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The piezoelectric element 400 may include a ceramic material. For example, the piezoelectric element 400 includes ZnO, AlN, LiNbO 4 , lead antimony stannate, lead magnesium tantalate, lead nickel tantalate, and titanate ( titanates), tungstates, zirconates, or lead zirconate titanate [Pb(Zr x Ti 1-x )O 3 (PZT)], lead lanthanum zirconate titanate (PLZT), lead niobium Zirconate titanate (PNZT), BaTiO 3 , SrTiO 3 , lead magnesium niobate, lead nickel niobate, lead manganese niobate, lead zinc niobate, lead including lead titanate, barium, bismuth, or niobium of strontium It may contain at least one of niobates.

상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 상에 복수개가 배치될 수 있다. 상기 복수의 압전소자(400)는 상기 제 1 서브 배선(201) 상에서 서로 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 압전소자(400)는 상기 제 1 서브 배선(201) 상의 제 1 연결부(210) 상에 배치될 수 있다. 자세하게, 하나의 상기 압전소자(400)는 하나의 제 1 연결부(210) 상에 배치될 수 있다. 상기 압전소자(400)의 하면 중심은 상기 제 1 서브 배선(201)과 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)의 하면 중심은 상기 제 1 연결부(210)와 중첩될 수 있다. 더 자세하게, 상기 압전소자(400)의 하면 중심은 상기 제 1 연결부(210)의 중심과 중첩될 수 있다.A plurality of piezoelectric elements 400 may be disposed on the first wiring 200. The plurality of piezoelectric elements 400 may be disposed to be spaced apart from each other on the first sub-wire 201. For example, the plurality of piezoelectric elements 400 may be disposed on the first connection part 210 on the first sub-wire 201. In detail, one piezoelectric element 400 may be disposed on one first connection part 210. The center of the lower surface of the piezoelectric element 400 may overlap the first sub-wire 201 in a vertical direction. In detail, the center of the lower surface of the piezoelectric element 400 may overlap the first connection part 210. In more detail, the center of the lower surface of the piezoelectric element 400 may overlap the center of the first connection part 210.

상기 복수의 압전소자(400)는 상기 제 1 서브 배선(201) 상에서 등간격으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 하나의 제 1 서브 배선(201) 상에 배치된 복수의 압전소자(400)는 제 1 방향을 기준으로 등간격으로 배치될 수 있다. 또한, 인접한 제 1 서브 배선(201) 상에 배치된 압전소자(400)는 제 2 방향을 기준으로 등간격으로 배치될 수 있다. 이에 따라, 인접한 상기 복수의 압전소자(400)의 중심을 제 1 방향 및 제 2 방향으로 연결한 가상의 선은 메쉬(mesh) 형태를 가질 수 있다.The plurality of piezoelectric elements 400 may be spaced apart from each other at equal intervals on the first sub-wiring 201. For example, a plurality of piezoelectric elements 400 disposed on one first sub-wire 201 may be disposed at equal intervals based on the first direction. Further, the piezoelectric elements 400 disposed on the adjacent first sub-wires 201 may be disposed at equal intervals based on the second direction. Accordingly, a virtual line connecting the centers of the adjacent piezoelectric elements 400 in the first direction and the second direction may have a mesh shape.

또한, 하나의 제 1 서브 배선(201) 상에 배치된 압전소자(400)는 상기 하나의 제 1 서브 배선(201)과 최인접한 제 1 서브 배선(201) 상에 배치된 압전소자(400)와 제 2 방향으로 중첩되거나 중첩되지 않을 수 있다. 일례로, 평면에서 보았을 때 상기 압전소자(400)는 인접한 제 1 서브 배선(201) 상에 지그재그 형태로 배치될 수 있다.In addition, the piezoelectric element 400 disposed on one first sub-wire 201 is the piezoelectric element 400 disposed on the first sub-wire 201 closest to the one first sub-wire 201 And may or may not overlap in the second direction. For example, when viewed in a plan view, the piezoelectric element 400 may be arranged in a zigzag shape on the adjacent first sub-wire 201.

또한, 일부 압전소자(400) 사이의 간격은 등간격으로 배치될 수 있고, 나머지 압전소자(400)는 등간격으로 배치되지 않을 수 있다. 예를 들어, 사용자의 얼굴 표면 중 상대적으로 평평한 영역과 중첩되는 영역에서는 상기 압전소자(400) 사이의 간격이 등간격으로 배치될 수 있다. 그러나, 상대적으로 굴곡진 피부 영역과 중첩되는 영역에서는 상기 압전소자(400) 사이의 간격이 등간격으로 배치되지 않을 수 있다. 즉, 피부 표면의 굴곡진 정도에 따라 상기 압전소자(400) 사이의 간격이 상대적으로 좁거나 클 수 있다. 일례로, 사용자의 코, 양 볼 등과 같이 굴곡진 영역과 중첩되는 영역의 압전소자(400) 사이의 간격은 상대적으로 좁을 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 마스크(1000)는 굴곡진 피부에도 효과적으로 초음파 에너지를 효과적으로 제공할 수 있다. In addition, some of the piezoelectric elements 400 may be spaced at equal intervals, and the remaining piezoelectric elements 400 may not be disposed at equal intervals. For example, in a region overlapping with a relatively flat region of the user's face surface, spaces between the piezoelectric elements 400 may be arranged at equal intervals. However, in a region overlapping with a relatively curved skin region, the spacing between the piezoelectric elements 400 may not be arranged at equal intervals. That is, the spacing between the piezoelectric elements 400 may be relatively narrow or large depending on the degree of curvature of the skin surface. For example, a gap between the piezoelectric elements 400 in a region overlapping with a curved region, such as a user's nose and both cheeks, may be relatively narrow. Accordingly, the mask 1000 according to the embodiment may effectively provide ultrasonic energy even to curved skin.

상기 압전소자(400)는 상기 마스크(1000) 전체 영역 상에 배치되어 초음파 에너지를 고르게 발생할 수 있다. 예를 들어, 상기 압전소자(400)는 인가되는 전류에 의해 약 1MHz 이하의 초음파 에너지를 발생할 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)는 약 10KHz 내지 약 1MHz의 초음파 에너지를 발생할 수 있다. 더 자세하게, 상기 압전소자(400)는 약 100KHz 내지 약 800KHz의 초음파 에너지를 발생할 수 있다. 상기 압전소자(400)에서 발생한 초음파 에너지는 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로 이동할 수 있고, 사용자의 피부에 전달되며 사용자의 피부를 마사지할 수 있다.The piezoelectric element 400 may be disposed on the entire area of the mask 1000 to evenly generate ultrasonic energy. For example, the piezoelectric element 400 may generate ultrasonic energy of about 1 MHz or less by an applied current. In detail, the piezoelectric element 400 may generate ultrasonic energy of about 10 kHz to about 1 MHz. In more detail, the piezoelectric element 400 may generate ultrasonic energy of about 100 KHz to about 800 KHz. The ultrasonic energy generated by the piezoelectric element 400 may move in a direction of one surface of the mask 1000, and may be transferred to the user's skin and massage the user's skin.

상기 압전소자(400)의 두께는 약 1500㎛ 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)의 두께는 약 1200㎛ 이하일 수 있다. 바람직하게 상기 압전소자(400)의 두께는 약 1000㎛ 이하일 수 있다. 상기 압전소자(400)의 두께는 상기 마스크(1000)의 전체 두께 및 가변 특성을 고려하여 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.The thickness of the piezoelectric element 400 may be about 1500 μm or less. In detail, the thickness of the piezoelectric element 400 may be about 1200 μm or less. Preferably, the thickness of the piezoelectric element 400 may be about 1000 μm or less. It is preferable that the thickness of the piezoelectric element 400 satisfies the above-described range in consideration of the overall thickness and variable characteristics of the mask 1000.

상기 압전소자(400)는 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 압전소자(400)는 하면 및 상면이 다각형인 다각 기둥 형상을 가질 수 있고, 하면 및 상면이 원인 원 기둥 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 압전소자(400)는 하면 및 상면 중 하나의 면이 다각형이고 나머지 면이 원인 기둥 형상을 가질 수 있다. 일례로, 상기 압전소자(400)의 하면 및 상면 중 적어도 하나의 면적은 약 100mm2 이하일 수 있다. The piezoelectric element 400 may have various shapes. For example, the piezoelectric element 400 may have a polygonal column shape in which lower and upper surfaces are polygonal, and the lower and upper surfaces may have a circular column shape. In addition, the piezoelectric element 400 may have one of a lower surface and an upper surface of a polygon and the other surface may have a columnar shape. For example, an area of at least one of a lower surface and an upper surface of the piezoelectric element 400 may be about 100 mm 2 or less.

상술한 바와 같이 상기 압전소자(400)는 다양한 기둥 형상을 가질 수 있고, 상기 기둥 형상에 따라 발생하는 초음파 에너지의 강도, 발진 방향 등을 제어할 수 있다. 또한, 상기 압전소자(400)의 크기, 배치 간격, 배치 밀도 등에 따라 사용자의 피부에 전달하는 초음파 에너지의 세기를 조절할 수 있다. As described above, the piezoelectric element 400 may have various pillar shapes, and the intensity of ultrasonic energy generated according to the pillar shape, the oscillation direction, and the like can be controlled. In addition, the intensity of ultrasonic energy delivered to the user's skin may be adjusted according to the size, arrangement interval, and arrangement density of the piezoelectric element 400.

상기 압전소자(400)는 다양한 파동을 발생할 수 있다. 일례로, 상기 압전소자(400)는 파동이 나아가는 방향과 매질의 진동 방향이 수직인 횡파 및 파동이 나아가는 방향과 매질의 진동 방향이 같은 종파 중 적어도 하나의 파동을 발생할 수 있다. 또한, 상기 압전소자(400)는 다중 공진할 수 있다. 예를 들어, 상기 압전소자(400)는 적어도 하나의 비아홀을 포함할 수 있고, 형성된 상기 비아홀에 의해 다중 공진할 수 있다. 이때, 상기 비아홀의 상부 면적은 다중 공진을 위해 상기 압전소자(400)의 상면 면적의 약 10% 내지 약 45%일 수 있다. 또한, 상기 압전소자(400)가 상기 비아홀에 의해 다중 공진할 경우, 다중 공진 주파수 영역의 수는 상기 비아홀의 개수와 대응될 수 있다. 즉, 상기 압전소자(400)는 설정된 비아홀의 개수 범위에서 상기 비아홀의 개수가 많을수록 다양한 주파수 영역의 파장, 예컨대 초음파 에너지를 방출할 수 있다.The piezoelectric element 400 may generate various waves. For example, the piezoelectric element 400 may generate at least one wave of a horizontal wave in which a direction in which the wave travels and a vibration direction of the medium are perpendicular, and a longitudinal wave in which the direction in which the wave travels and the vibration direction of the medium are the same. In addition, the piezoelectric element 400 may resonate multiple times. For example, the piezoelectric element 400 may include at least one via hole, and may resonate multiple times by the formed via hole. In this case, the upper area of the via hole may be about 10% to about 45% of the upper surface area of the piezoelectric element 400 for multiple resonance. In addition, when the piezoelectric element 400 has multiple resonances by the via holes, the number of multiple resonance frequency domains may correspond to the number of via holes. That is, the piezoelectric element 400 may emit wavelengths of various frequency ranges, for example, ultrasonic energy, as the number of via holes increases within a set number range of via holes.

상기 압전소자(400) 상에는 제 2 베이스층(120)이 배치될 수 있다. 상기 제 2 베이스층(120)은 사용자의 피부와 마주하며 상기 피부와 접할 수 있는 부분으로 인체에 무해한 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 2 베이스층(120)은 연질이면서 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 베이스층(120)은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 바람직하게, 상기 제 2 베이스층(120)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있고 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함할 수 있다. 상기 제 1 베이스층(110)은 상기 제 2 베이스층(120)과 동일한 재질로 제공될 수 있다.A second base layer 120 may be disposed on the piezoelectric element 400. The second base layer 120 is a portion that faces the user's skin and can contact the skin, and may include a material harmless to the human body. In addition, the second base layer 120 may include a soft and elastic material. For example, the second base layer 120 is polyvinyl chloride to which silicone, thermoplastic resin, thermoplastic silicone resin, thermoplastic elastomer, polyurethane elastomer, ethylene vinyl acetate (EVA), harmless plasticizer and stabilizer are added ( PVC) may include at least one material. Preferably, the second base layer 120 may be relatively light and may include a silicone elastomer having a predetermined elasticity and may minimize irritation upon contact with the user's skin. The first base layer 110 may be made of the same material as the second base layer 120.

상기 제 2 베이스층(120)은 상기 압전소자(400)에서 방출된 파장을 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로 통과시켜 사용자의 피부에 전달할 수 있다. 즉, 상기 제 2 베이스층(120)은 투과층으로 정합층(matching layer)일 수 있다. The second base layer 120 may pass the wavelength emitted from the piezoelectric element 400 in the direction of one surface of the mask 1000 to transmit the wavelength to the user's skin. That is, the second base layer 120 may be a transmission layer and may be a matching layer.

이를 위해, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 상기 제 2 베이스층(120)의 임피던스(impedance)와 상기 압전소자(400)의 구동 주파수에 따라 변화할 수 있다. 또한, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)보다 두껍거나 같을 수 있다.To this end, the thickness t2 of the second base layer 120 may vary according to an impedance of the second base layer 120 and a driving frequency of the piezoelectric element 400. In addition, the thickness t2 of the second base layer 120 may be greater than or equal to the thickness t1 of the first base layer 110.

일례로, 상기 압전소자(400)의 구동 주파수가 약 1MHz 이하일 경우, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 약 50㎛ 내지 약 10mm 일 수 있다. 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)가 약 50㎛ 미만인 경우, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)가 상대적으로 얇아 상기 제 2 베이스층(120) 상에 배치된 구성들을 효과적으로 보호할 수 없다. 자세하게, 상기 마스크(1000)가 탄성 변형하여 상기 제 2 베이스층(120)이 탄성 변형할 경우, 상기 제 2 베이스층(120) 상의 상기 배선들(200, 300) 및 상기 압전소자(400)를 효과적으로 보호할 수 없다. For example, when the driving frequency of the piezoelectric element 400 is about 1 MHz or less, the thickness t2 of the second base layer 120 may be about 50 μm to about 10 mm. When the thickness (t2) of the second base layer 120 is less than about 50 μm, the thickness (t2) of the second base layer 120 is relatively thin, so that the configuration is disposed on the second base layer 120 Cannot effectively protect them. In detail, when the mask 1000 is elastically deformed and the second base layer 120 is elastically deformed, the wirings 200 and 300 and the piezoelectric element 400 on the second base layer 120 are It cannot be effectively protected.

또한, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)가 약 10mm를 초과할 경우, 전체 마스크(1000)의 두께가 증가할 수 있다. 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 상기 압전소자(400)에서 방출된 파장을 효과적으로 통과시키기 위해 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다. 바람직하게, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 신뢰성, 투과 특성, 제조되는 마스크(1000)의 가변성, 두께, 무게 및 초음파 임피던스 특성 등을 고려하여 약 100㎛ 내지 약 1000㎛의 두께 범위를 가질 수 있다. In addition, when the thickness t2 of the second base layer 120 exceeds about 10 mm, the thickness of the entire mask 1000 may increase. It is preferable that the thickness t2 of the second base layer 120 satisfies the above-described range in order to effectively pass the wavelength emitted from the piezoelectric element 400. Preferably, the thickness t2 of the second base layer 120 is about 100 μm to about 1000 μm in consideration of reliability, transmission characteristics, variability of the manufactured mask 1000, thickness, weight, and ultrasonic impedance characteristics. It can have a thickness range.

즉, 실시예에 따른 압전소자(400)에서 방출된 초음파 에너지의 일부는, 상기 제 2 베이스층(120) 방향으로 방출되고 상기 제 2 베이스층(120)을 통과하여 사용자의 피부에 전달될 수 있다. 또한, 상기 초음파 에너지의 다른 일부는 상기 제 1 베이스층(110) 방향으로 방출되고 상기 제 1 베이스층(110)에 의해 상기 제 2 베이스층(120) 방향으로 반사될 수 있다. 이후 반사된 상기 초음파 에너지는 상기 제 2 베이스층(120)을 통과하여 사용자의 피부에 전달될 수 있다.That is, some of the ultrasonic energy emitted from the piezoelectric device 400 according to the embodiment may be emitted toward the second base layer 120 and passed through the second base layer 120 to be transmitted to the user's skin. have. In addition, another part of the ultrasonic energy may be emitted toward the first base layer 110 and reflected toward the second base layer 120 by the first base layer 110. Thereafter, the reflected ultrasonic energy may pass through the second base layer 120 and be transferred to the user's skin.

상기 제 2 베이스층(120) 상에는 제 2 배선(300)이 배치될 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 압전소자(400)와 마주하는 상기 제 2 베이스층(120)의 일면 상에 배치될 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120) 상에서 상기 제 1 배선(200)과 다른 방향으로 연장할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향(y축 방향)으로 연장할 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120)의 일면과 직접 접촉할 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120)의 일면 상에 증착, 인쇄, 접착 등의 공정으로 형성될 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 압전소자(400)와 전기적으로 연결될 수 있다.A second wiring 300 may be disposed on the second base layer 120. The second wiring 300 may be disposed on one surface of the second base layer 120 facing the piezoelectric element 400. The second wiring 300 may extend on the second base layer 120 in a different direction from the first wiring 200. For example, the second wiring 300 may extend in a second direction (y-axis direction) perpendicular to the first direction. The second wiring 300 may directly contact one surface of the second base layer 120. The second wiring 300 may be formed on one surface of the second base layer 120 by a process such as deposition, printing, or bonding. The second wiring 300 may be electrically connected to the piezoelectric element 400.

상기 제 2 배선(300)은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 배선(300)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 2 배선(300)은 카본(carbon) 등과 같은 비금속을 포함할 수 있고, 전도성 탄성체 등을 포함할 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 1 배선(200)과 동일한 재질을 포함할 수 있다.The second wiring 300 may include a conductive material. For example, the second wiring 300 is aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti) And it may include at least one metal of these alloys. In addition, the second wiring 300 may include a non-metal such as carbon, and may include a conductive elastic body. The second wiring 300 may include the same material as the first wiring 200.

상기 제 2 배선(300)은 하나의 층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 일례로, 상기 제 2 배선(300)은 상술한 재질 중 선택되는 하나를 포함하는 단일층 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 2 배선(300)은 상술한 재질 중 선택되는 금속과 전도성 탄성체를 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 1 배선(200)과 동일한 구조를 가질 수 있다.The second wiring 300 may have a single layer or a multilayer structure. As an example, the second wiring 300 may have a single layer structure including one selected from the above-described materials. In addition, the second wiring 300 may have a multilayer structure including a metal selected from the above-described materials and a conductive elastic body. The second wiring 300 may have the same structure as the first wiring 200.

상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120) 상에 배치되는 복수의 제 2 서브 배선(301)들을 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 2 서브 배선(301) 각각은 상기 제 2 방향으로 연장하며 상기 제 1 방향으로 서로 이격하여 배치될 수 있다. 상기 복수의 제 2 서브 배선(301)들은 서로 전기적으로 연결될 수 있다.The second wiring 300 may include a plurality of second sub-wirings 301 disposed on the second base layer 120. Each of the plurality of second sub-wires 301 may extend in the second direction and may be disposed to be spaced apart from each other in the first direction. The plurality of second sub-wires 301 may be electrically connected to each other.

상기 제 2 서브 배선(301)의 두께는 약 2㎛ 내지 약 50㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께는 약 2㎛ 내지 약 40㎛일 수 있다. 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께가 약 2㎛ 미만인 경우 전기적 특성이 저하될 수 있고, 균일하게 형성하기 어려울 수 있다. 또한, 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께가 약 50㎛를 초과할 경우 상기 마스크(1000)의 전체 두께가 증가할 수 있고, 상기 제 2 배선(300)의 제조 시간이 증가할 수 있다. 또한, 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께가 너무 두꺼워 스트레쳐블 특성이 저하될 수 있다. 바람직하게, 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께는 수평 방향으로의 스트레쳐블 특성, 신뢰성 및 공정 효율을 고려하여 약 5㎛ 내지 약 35㎛ 이하일 수 있다.The thickness of the second sub-wire 301 may be about 2 μm to about 50 μm. In detail, the thickness of the second sub-wire 301 may be about 2 μm to about 40 μm. When the thickness of the second sub-wiring 301 is less than about 2 μm, electrical characteristics may be deteriorated, and it may be difficult to form uniformly. In addition, when the thickness of the second sub-wire 301 exceeds about 50 μm, the total thickness of the mask 1000 may increase, and the manufacturing time of the second wire 300 may increase. In addition, the thickness of the second sub-wire 301 is too thick, so that the stretchable characteristic may be deteriorated. Preferably, the thickness of the second sub-wire 301 may be about 5 μm to about 35 μm or less in consideration of stretchable characteristics, reliability, and process efficiency in the horizontal direction.

또한, 제 2 서브 배선(301)의 선폭은 약 50㎛ 내지 약 500㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭은 약 100㎛ 내지 약 450㎛일 수 있다. 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭은 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께보다 클 수 있다. 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭이 약 50㎛ 미만인 경우 신뢰성에 저하될 수 있고, 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭이 약 500㎛를 초과할 경우 연신율이 저하되어 스트레쳐블 특성이 저하될 수 있다. 바람직하게 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭은 스트레쳐블 특성을 고려하여 약 100㎛ 내지 약 400㎛일 수 있다.Also, the line width of the second sub-wiring 301 may be about 50 μm to about 500 μm. In detail, the line width of the second sub-wire 301 may be about 100 μm to about 450 μm. A line width of the second sub-wire 301 may be greater than a thickness of the second sub-wire 301. When the line width of the second sub-wire 301 is less than about 50 μm, reliability may be degraded, and when the line width of the second sub-wire 301 exceeds about 500 μm, the elongation decreases, resulting in a stretchable characteristic. It can be degraded. Preferably, the line width of the second sub-wire 301 may be about 100 μm to about 400 μm in consideration of stretchable characteristics.

상기 제 2 배선(300)은 제 2 연결부(310) 및 제 2 연장부(320)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 하나의 상기 제 2 서브 배선(301)은 제 2 연결부(310) 및 상기 제 2 연결부(310)와 연결되는 제 2 연장부(320)를 포함할 수 있다.The second wiring 300 may include a second connection part 310 and a second extension part 320. For example, one of the second sub-wires 301 may include a second connection part 310 and a second extension part 320 connected to the second connection part 310.

상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 수직 방향으로 중첩되는 영역에 배치될 수 있다. 상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 마주할 수 있다. 상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)와 대응되는 개수로 제공될 수 있다.The second connection part 310 may be disposed in a region corresponding to the upper surface of the piezoelectric element 400. In detail, the second connection part 310 may be disposed in a region overlapping the upper surface of the piezoelectric element 400 in a vertical direction. The second connection part 310 may face an upper surface of the piezoelectric element 400. The second connector 310 may be provided in a number corresponding to the piezoelectric element 400.

상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 너비를 가질 수 있다. 일례로, 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400) 상면의 수평 방향 너비보다 작거나 같을 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400) 상면의 수평 방향 너비의 약 50% 내지 약 100%일 수 있다. 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비가 약 50% 미만인 경우, 상기 제 2 배선(300)과 상기 압전소자(400) 사이의 전기적 특성이 저하될 수 있다. 또한, 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비가 상기 압전소자(400)의 하면 너비보다 클 경우 초음파 에너지의 투과율이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비는 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.The second connection part 310 may have a shape corresponding to an upper surface of the piezoelectric element 400. The second connection part 310 may have a width corresponding to the upper surface of the piezoelectric element 400. For example, the width of the second connection part 310 in the horizontal direction may be less than or equal to the width of the upper surface of the piezoelectric element 400 in the horizontal direction. In detail, the width of the second connection part 310 in the horizontal direction may be about 50% to about 100% of the width of the upper surface of the piezoelectric element 400 in the horizontal direction. When the width of the second connection part 310 in the horizontal direction is less than about 50%, electrical characteristics between the second wiring 300 and the piezoelectric element 400 may be deteriorated. In addition, when the width of the second connection part 310 in the horizontal direction is greater than the width of the lower surface of the piezoelectric element 400, the transmittance of ultrasonic energy may decrease. Therefore, it is preferable that the width of the second connection part 310 in the horizontal direction satisfies the above-described range.

상기 제 2 연장부(320)는 상기 제 2 연결부(310)로부터 제 2 방향으로 연장할 수 있다. 상기 제 2 연장부(320)는 복수의 제 2 연결부(310) 사이에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 연장부(320)는 제 2 방향으로 이격된 상기 제 2 연결부(310) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 2 연장부(320)는 인접한 상기 제 2 연결부(310)들 사이를 연결할 수 있다.The second extension part 320 may extend in a second direction from the second connection part 310. The second extension part 320 may be disposed between the plurality of second connection parts 310. In detail, the second extension part 320 may be disposed between the second connection parts 310 spaced apart in a second direction. That is, the second extension part 320 may connect between the adjacent second connection parts 310.

상기 제 2 배선(300)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 평면에서 보았을 때 상기 복수의 제 2 서브 배선(301)들 각각은 도 3과 같이 직선의 형태로 제 2 방향으로 연장할 수 있다. 자세하게, 복수의 제 2 서브 배선(301)은 인접한 제 2 서브 배선(301)과 등간격으로 제 1 방향으로 이격되며, 직선의 형태로 제 2 방향으로 연장할 수 있다. 즉, 상기 제 2 배선(300)의 제 2 연장부(320)는 제 2 방향으로 연장하는 직선의 형태를 가질 수 있다.The second wiring 300 may have various shapes. For example, when viewed in a plan view, each of the plurality of second sub-wires 301 may extend in the second direction in the form of a straight line as shown in FIG. 3. In detail, the plurality of second sub-wires 301 are spaced apart from the adjacent second sub-wires 301 in the first direction at equal intervals, and may extend in the second direction in the form of a straight line. That is, the second extension part 320 of the second wiring 300 may have a straight line extending in the second direction.

이와 다르게, 평면에서 보았을 때, 상기 복수의 제 2 서브 배선(301)들 각각은 도 4와 같이 곡선의 형태로 제 2 방향으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 제 2 서브 배선(301)들 각각은 구불거리는 패턴이 반복되는 형태로 제공될 수 있다. 즉, 상기 제 2 배선(300)의 제 2 연장부(320)는 제 2 방향으로 연장하는 곡선의 형태를 가질 수 있다.In contrast, when viewed in a plan view, each of the plurality of second sub-wires 301 may extend in the second direction in a curved shape as shown in FIG. 4. For example, each of the plurality of second sub-wires 301 may be provided in a form in which a wavy pattern is repeated. That is, the second extension part 320 of the second wiring 300 may have a curved shape extending in the second direction.

이때, 상기 제 2 연장부(320)는 약 3R 내지 약 20R(mm)의 곡률 패턴을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)가 일 방향으로 연신되거나 수축할 경우, 상기 제 2 배선(300)은 스트레쳐블(stretchable) 특성을 가지며 끊어지지 않을 수 있다. 바람직하게, 상기 제 2 연장부(320)는 약 5R 내지 약 15R(mm)의 곡률 패턴을 가질 수 있다. 또한, 상기 제 2 연장부(320)는 약 10% 내지 약 50%의 연신율을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제 2 배선(300)은 보다 향상된 스트레쳐블 특성을 가질 수 있어 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 사용자의 피부와의 밀착성을 향상시킬 수 있다.In this case, the second extension part 320 may have a curvature pattern of about 3R to about 20R (mm). Accordingly, when the mask 1000 is stretched or contracted in one direction, the second wiring 300 has a stretchable characteristic and may not be cut off. Preferably, the second extension part 320 may have a curvature pattern of about 5R to about 15R (mm). In addition, the second extension part 320 may have an elongation of about 10% to about 50%. Accordingly, since the second wiring 300 may have improved stretchable characteristics, reliability may be improved, and adhesion with the user's skin may be improved.

이와 또 다르게, 도면에는 도시하지 않았으나 상기 제 2 연장부(320)는 제 2 방향으로 연장하는 직선 및 곡선이 혼재된 패턴이 반복되는 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 평면에서 보았을 때 사용자의 얼굴 중 상대적으로 굴곡진 영역(코, 볼 등)과 중첩되는 영역에 위치한 상기 제 2 연장부(320)는 곡선 형태로 제공될 수 있고, 상대적으로 평평한 영역(이마 등)과 중첩되는 영역에 위치한 상기 제 2 연장부(320)는 직선 형태로 제공될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)를 사용자의 얼굴에 부착할 경우, 상기 마스크(1000)의 변형에 의해 상기 제 2 배선(300)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제 2 연장부(320)는 직선 및 곡선이 혼재된 형태로 제공되어 전기적 특성을 유지함과 동시에 상기 제 2 배선(300)이 차지하는 비율을 감소시킬 수 있다. 따라서, 실시예는 상기 제 2 배선(300)의 제조 비용을 감소할 수 있고, 상기 압전소자(400)에서 방출되는 초음파 에너지의 손실을 최소화할 수 있다.Alternatively, although not shown in the drawings, the second extension part 320 may have a repeating pattern in which a straight line and a curved line extending in the second direction are mixed. For example, the second extension part 320 located in a region overlapping with a relatively curved region (nose, cheek, etc.) of the user's face when viewed from a plane may be provided in a curved shape, and a relatively flat region The second extension part 320 located in a region overlapping with (forehead, etc.) may be provided in a straight line. Accordingly, when the mask 1000 is attached to the user's face, damage to the second wiring 300 due to the deformation of the mask 1000 may be prevented. In addition, since the second extension part 320 is provided in a form in which straight lines and curves are mixed, it is possible to maintain electrical characteristics and reduce a ratio occupied by the second wires 300. Accordingly, according to the embodiment, the manufacturing cost of the second wiring 300 may be reduced, and loss of ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400 may be minimized.

상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)은 서로 교차하며 배치될 수 있다. 자세하게, 도 3과 같이 평면에서 보았을 때, 제 1 서브 배선(201) 및 상기 제 2 서브 배선(301)은 메쉬(mesh) 형상으로 서로 교차하며 배치될 수 있고, 상기 서브 배선들(201, 301) 사이에는 상기 배선들(200, 300)이 배치되지 않은 오픈 영역이 형성될 수 있다. The first wiring 200 and the second wiring 300 may be disposed to cross each other. In detail, when viewed in a plan view as shown in FIG. 3, the first sub-wire 201 and the second sub-wire 301 may be disposed to cross each other in a mesh shape, and the sub-wires 201 and 301 ), an open area in which the wirings 200 and 300 are not disposed may be formed.

상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)이 교차하는 영역 상에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)의 중심은 상기 제 1 서브 배선(201) 및 상기 제 2 서브 배선(301)의 교차점과 중첩될 수 있다. 더 자세하게, 상기 압전소자(400)의 하면 및 상면 각각의 중심은 상기 제 1 배선(200)의 제 1 연결부(210)의 중심 및 상기 제 2 배선(300)의 제 2 연결부(310)의 중심과 중첩될 수 있다.The piezoelectric element 400 may be disposed on an area where the first wiring 200 and the second wiring 300 cross each other. In detail, the center of the piezoelectric element 400 may overlap with an intersection point of the first sub-wire 201 and the second sub-wire 301. In more detail, the center of each of the lower and upper surfaces of the piezoelectric element 400 is the center of the first connection part 210 of the first wire 200 and the center of the second connection part 310 of the second wire 300 Can overlap with

또한, 도면에는 도시하지 않았으나 상기 압전소자 상에는 진동 부재(미도시)가 더 배치될 수 있다. 상기 압전소자(400)의 진동 특성을 개선하기 위해 상기 압전소자(400)의 상면 상에는 진동 부재가 더 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 진동 부재는 진동판일 수 있다. 상기 진동 부재는 상기 압전소자(400) 및 상기 제 2 배선(300) 사이에 배치될 수 있다.Further, although not shown in the drawings, a vibration member (not shown) may be further disposed on the piezoelectric element. In order to improve the vibration characteristics of the piezoelectric element 400, a vibration member may be further disposed on the upper surface of the piezoelectric element 400. For example, the vibration member may be a vibration plate. The vibration member may be disposed between the piezoelectric element 400 and the second wiring 300.

상기 진동 부재는 상기 압전소자(400)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 진동 부재는 금속 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 진동 부재는 알루미늄(Al), 구리(Cu), 아연(Zn), 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 은(Ag), 금(Pt), 스테인리스 스틸(SUS) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다.The vibration member may be electrically connected to the piezoelectric element 400. The vibration member may include a metal material. As an example, the vibration member is aluminum (Al), copper (Cu), zinc (Zn), iron (Fe), nickel (Ni), chromium (Cr), silver (Ag), gold (Pt), stainless steel ( SUS) and at least one of the alloys thereof may be included.

상기 진동 부재는 상기 압전소자(400)와 대응되는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 진동 부재는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 평면 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 진동 부재는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 수평 방향 너비를 가질 수 있다.The vibration member may have a shape corresponding to the piezoelectric element 400. For example, the vibration member may have a planar shape corresponding to an upper surface of the piezoelectric element 400. In addition, the vibration member may have a horizontal width corresponding to the upper surface of the piezoelectric element 400.

상기 진동 부재의 두께는 약 1500㎛ 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 진동 부재의 두께는 약 1200㎛ 이하일 수 있다. 바람직하게 상기 진동 부재의 두께는 약 1000㎛ 이하일 수 있다. 상기 진동 부재의 두께는 상기 마스크(1000)의 가변 특성, 상기 압전소자(400)의 진동 특성을 고려하여 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.The thickness of the vibration member may be about 1500 μm or less. In detail, the thickness of the vibration member may be about 1200 μm or less. Preferably, the thickness of the vibration member may be about 1000 μm or less. The thickness of the vibration member preferably satisfies the above-described range in consideration of the variable characteristics of the mask 1000 and the vibration characteristics of the piezoelectric element 400.

실시예에 따른 마스크(1000)는 보호층(550)을 포함할 수 있다. 상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120) 사이에 배치될 수 있다. 상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110)의 일면 및 상기 제 2 베이스층(120)의 일면과 직접 접촉하며 배치될 수 있다.The mask 1000 according to the embodiment may include a protective layer 550. The protective layer 550 may be disposed between the first base layer 110 and the second base layer 120. The protective layer 550 may be disposed in direct contact with one surface of the first base layer 110 and one surface of the second base layer 120.

상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120) 사이에 배치되어 상기 압전소자(400)를 보호할 수 있다. 자세하게, 상기 보호층(550)은 상기 베이스층(110, 120) 사이에서 상기 압전소자(400) 및 상기 배선들(200, 300)을 감싸며 배치되어 상기 구성들을 보호할 수 있다.The protective layer 550 may be disposed between the first base layer 110 and the second base layer 120 to protect the piezoelectric element 400. In detail, the protective layer 550 may be disposed between the base layers 110 and 120 to surround the piezoelectric element 400 and the wires 200 and 300 to protect the components.

상기 보호층(550)은 연질이며 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 보호층(550)은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 이 중에서 상기 보호층(550)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있으며, 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함하는 것이 바람직할 수 있다.The protective layer 550 may include a soft and elastic material. For example, the protective layer 550 is a polyvinyl chloride (PVC) containing silicone, a thermoplastic resin, a thermoplastic silicone resin, a thermoplastic elastomer, a polyurethane elastomer, an ethylene vinyl acetate (EVA), a harmless plasticizer and a stabilizer At least one of the materials may be included. Among them, the protective layer 550 may be relatively light and may minimize irritation upon contact with the user's skin, and may preferably include a silicone elastomer having a predetermined elasticity.

상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)과 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)과 일체로 형성될 수 있다. 상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)과 물리적으로 연결되어 내부에 배치된 구성들을 보호할 수 있다.The protective layer 550 may be connected to the first base layer 110 and the second base layer 120. For example, the protective layer 550 may be integrally formed with the first base layer 110 and the second base layer 120. The protective layer 550 may be physically connected to the first base layer 110 and the second base layer 120 to protect components disposed therein.

상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 즉, 상기 제 1 베이스층(110), 상기 제 2 베이스층(120) 및 상기 보호층(550)은 동종의 재질을 포함함에 따라 향상된 결합력을 가질 수 있다.The protective layer 550 may include the same material as the first base layer 110 and the second base layer 120. That is, the first base layer 110, the second base layer 120, and the protective layer 550 may have improved bonding strength as they include the same material.

도 6을 참조하여, 상기 압전소자(400), 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)의 연결 관계에 대해 보다 상세히 설명한다.Referring to FIG. 6, a connection relationship between the piezoelectric element 400, the first wiring 200, and the second wiring 300 will be described in more detail.

도 6을 참조하면 상기 압전소자(400)는 제 1 배선(200) 및 제 2 배선(300)과 전기적으로 연결될 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)는 하면 상에 배치되는 제 1 전극(410)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 전극(410)은 전기적 특성을 고려하여 상기 압전소자(400)의 하면 전체 면적의 약 80% 이상의 면적으로 배치될 수 있다. 상기 제 1 전극(410)은 상기 압전소자(400)의 하면 전체 면적의 약 90%의 면적으로 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 1 전극(410)은 상기 압전소자(400)의 하면 전체 영역 상에 배치될 수 있다. Referring to FIG. 6, the piezoelectric element 400 may be electrically connected to the first wiring 200 and the second wiring 300. In detail, the piezoelectric element 400 may include a first electrode 410 disposed on a lower surface. The first electrode 410 may be disposed in an area of about 80% or more of the total area of the lower surface of the piezoelectric element 400 in consideration of electrical characteristics. The first electrode 410 may be disposed in an area of about 90% of the total area of the lower surface of the piezoelectric element 400. In addition, the first electrode 410 may be disposed on the entire lower surface of the piezoelectric element 400.

상기 제 1 전극(410)은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 전극(410)은 금속 재질을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 전극(410)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다.The first electrode 410 may include a conductive material. For example, the first electrode 410 may include a metal material. In detail, the first electrode 410 includes aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and It may include at least one metal among these alloys.

상기 제 1 전극(410)은 상기 제 1 배선(200)과 마주하며 배치되고, 상기 제 1 배선(200)과 전기적으로 연결될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 전극(410) 및 상기 제 1 배선(200) 사이에는 제 1 본딩층(451)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 본딩층(451)은 상기 제 1 전극(410) 및 상기 제 1 배선(200)을 물리적, 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 제 1 본딩층(451)과 상기 제 1 배선(200)의 오버래핑 비율은 물리적, 전기적 특성을 고려하여 약 20% 이상일 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)와 마주하는 상기 제 1 배선(200)의 일면과 상기 제 1 본딩층(451)의 오버래핑 비율은 약 20% 이상일 수 있다.The first electrode 410 may be disposed facing the first wire 200 and may be electrically connected to the first wire 200. In detail, a first bonding layer 451 may be disposed between the first electrode 410 and the first wiring 200. The first bonding layer 451 may physically and electrically connect the first electrode 410 and the first wiring 200. The overlapping ratio between the first bonding layer 451 and the first wiring 200 may be about 20% or more in consideration of physical and electrical characteristics. In detail, an overlapping ratio of one surface of the first wiring 200 facing the piezoelectric element 400 and the first bonding layer 451 may be about 20% or more.

상기 제 1 본딩층(451)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. The first bonding layer 451 is aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and these It may include at least one metal of the alloy.

상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 약 100㎛ 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 약 20㎛ 내지 약 80㎛일 수 있다. 바람직하게 상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 약 30㎛ 내지 약 60㎛일 수 있다.The thickness of the first bonding layer 451 may be about 100 μm or less. In detail, the thickness of the first bonding layer 451 may be about 20 μm to about 80 μm. Preferably, the thickness of the first bonding layer 451 may be about 30 μm to about 60 μm.

상기 제 1 본딩층(451)은 상기 제 1 전극(410) 및 상기 제 1 배선(200) 사이에 배치되어 전도성 접착제 역할을 수행할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 본딩층(451)은 상기 제 1 배선(200) 상에 페이스트 형태로 도포될 수 있고, 상기 제 1 본딩층(451) 상에 상기 제 1 전극(410)을 포함하는 압전소자(400)가 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200)과 물리적 및 전기적으로 연결될 수 있다.The first bonding layer 451 may be disposed between the first electrode 410 and the first wiring 200 to serve as a conductive adhesive. As an example, the first bonding layer 451 may be applied in the form of a paste on the first wiring 200, and a piezoelectric structure including the first electrode 410 on the first bonding layer 451 The device 400 may be disposed. Accordingly, the piezoelectric element 400 may be physically and electrically connected to the first wiring 200.

상기 압전소자(400)는 상면 상에 배치되는 제 2 전극(420)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 전극(420)은 전기적 특성을 고려하여 상기 압전소자(400)의 상면 전체 면적의 약 80% 이상의 면적으로 배치될 수 있다. 상기 자세하게, 제 2 전극(420)은 상기 압전소자(400)의 상면 전체 면적의 약 90%의 면적으로 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 2 전극(420)은 상기 압전소자(400)의 하면 전체 영역 상에 배치될 수 있다. The piezoelectric element 400 may include a second electrode 420 disposed on an upper surface. The second electrode 420 may be disposed in an area of about 80% or more of the total area of the top surface of the piezoelectric element 400 in consideration of electrical characteristics. In detail, the second electrode 420 may be disposed in an area of about 90% of the total area of the upper surface of the piezoelectric element 400. In addition, the second electrode 420 may be disposed on the entire lower surface of the piezoelectric element 400.

상기 제 2 전극(420)은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 전극(420)은 금속 재질을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 전극(420)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다.The second electrode 420 may include a conductive material. For example, the second electrode 420 may include a metal material. In detail, the second electrode 420 includes aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and It may include at least one metal among these alloys.

상기 제 2 전극(420)은 상기 제 2 배선(300)과 마주하며 배치되고, 상기 제 2 배선(300)과 전기적으로 연결될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 전극(420) 및 상기 제 2 배선(300) 사이에는 제 2 본딩층(452)이 배치될 수 있다. 상기 제 2 본딩층(452)은 상기 제 2 전극(420) 및 상기 제 2 배선(300)을 물리적, 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 제 2 본딩층(452)과 상기 제 2 배선(300)의 오버래핑 비율은 물리적, 전기적 특성을 고려하여 약 20% 이상일 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)와 마주하는 상기 제 2 배선(300)의 일면과 상기 제 2 본딩층(452)의 오버래핑 비율은 약 20% 이상일 수 있다.The second electrode 420 may be disposed facing the second wiring 300 and may be electrically connected to the second wiring 300. In detail, a second bonding layer 452 may be disposed between the second electrode 420 and the second wiring 300. The second bonding layer 452 may physically and electrically connect the second electrode 420 and the second wiring 300. The overlapping ratio between the second bonding layer 452 and the second wiring 300 may be about 20% or more in consideration of physical and electrical characteristics. In detail, an overlapping ratio between one surface of the second wiring 300 facing the piezoelectric element 400 and the second bonding layer 452 may be about 20% or more.

상기 제 2 본딩층(452)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. The second bonding layer 452 includes aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and these It may include at least one metal of the alloy.

상기 제 2 본딩층(452)의 두께는 약 100㎛ 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 본딩층(452)의 두께는 약 20㎛ 내지 약 80㎛일 수 있다. 바람직하게 상기 제 2 본딩층(452)의 두께는 약 30㎛ 내지 약 60㎛일 수 있다.The thickness of the second bonding layer 452 may be about 100 μm or less. In detail, the thickness of the second bonding layer 452 may be about 20 μm to about 80 μm. Preferably, the thickness of the second bonding layer 452 may be about 30 μm to about 60 μm.

상기 제 2 본딩층(452)은 상기 제 2 전극(420) 및 상기 제 2 배선(300) 사이에 배치되어 전도성 접착제 역할을 수행할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 본딩층(452)은 상기 제 2 배선(300) 상에 페이스트 형태로 도포될 수 있고, 상기 제 2 본딩층(452) 상에 상기 제 2 전극(420)을 포함하는 압전소자(400)가 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 압전소자(400)는 상기 제 2 배선(300)과 물리적 및 전기적으로 연결될 수 있다. The second bonding layer 452 may be disposed between the second electrode 420 and the second wiring 300 to serve as a conductive adhesive. For example, the second bonding layer 452 may be applied in the form of a paste on the second wiring 300, and a piezoelectric structure including the second electrode 420 on the second bonding layer 452 The device 400 may be disposed. Accordingly, the piezoelectric element 400 may be physically and electrically connected to the second wiring 300.

상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 상기 제 2 본딩층(452)의 두께와 같거나 상이할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 상기 제 2 본딩층(452)의 두께와 동일하게 제공되어 상기 마스크(1000)의 가변성을 향상시킬 수 있다. 다른 예로, 상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 상기 제 2 본딩층(452)의 두께보다 두꺼울 수 있다. 이에 따라, 상기 압전소자(400)에서 상기 제 1 베이스층(110) 방향으로 방출된 파장은 상기 제 1 본딩층(451)에 반사되어 상기 제 2 베이스층(120) 방향으로 이동할 수 있다. The thickness of the first bonding layer 451 may be the same as or different from the thickness of the second bonding layer 452. For example, since the first bonding layer 451 has the same thickness as the second bonding layer 452, the variability of the mask 1000 may be improved. As another example, the thickness of the first bonding layer 451 may be thicker than the thickness of the second bonding layer 452. Accordingly, a wavelength emitted from the piezoelectric element 400 toward the first base layer 110 may be reflected by the first bonding layer 451 and may move toward the second base layer 120.

상기 보호층(550)은 상기 압전소자(400), 상기 제 1 배선(200), 상기 제 2 배선(300), 상기 제 1 전극(410), 상기 제 2 전극(420), 상기 제 1 본딩층(451) 및 상기 제 2 본딩층(452)을 감싸며 배치될 수 있고, 상기 구성들이 외부에 노출되는 것을 방지할 수 있다.The protective layer 550 includes the piezoelectric element 400, the first wiring 200, the second wiring 300, the first electrode 410, the second electrode 420, and the first bonding It may be disposed to surround the layer 451 and the second bonding layer 452, and it is possible to prevent the components from being exposed to the outside.

도 7 내지 도 11은 종래의 마스크의 제조방법에 대한 도면이고, 도 12 내지 도 16은 실시예에 따른 마스크의 제조방법에 대한 도면이다. 도 7 내지 도 16을 이용한 설명에서는 앞서 설명한 마스크와 동일 유사한 구성에 대해서는 설명을 생략하며 동일 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다.7 to 11 are diagrams for a method of manufacturing a conventional mask, and FIGS. 12 to 16 are diagrams for a method of manufacturing a mask according to an embodiment. In the description using FIGS. 7 to 16, descriptions of the same and similar configurations as the above-described mask are omitted, and the same reference numerals denote the same and similar configurations.

실시예에 따른 마스크의 제조방법에 대한 설명에 앞서 종래의 마스크의 제조방법을 먼저 설명한다.Prior to the description of the method of manufacturing a mask according to the embodiment, a method of manufacturing a conventional mask is first described.

도 7을 참조하면, 종래의 마스크의 제조방법은 보호필름 상에 배선을 형성하는 단계(S101)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7, a method of manufacturing a conventional mask may include forming a wire on the protective film (S101).

상기 보호필름은 수지 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 보호필름은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 및 폴리이미드(PI) 등의 수지 재질을 포함할 수 있고, 소정의 두께를 가지는 필름(film) 형태로 제공될 수 있다. 또한, 상기 배선은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 배선은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. 또한, 상기 배선은 카본(carbon) 등과 같은 비금속을 포함할 수 있고, 전도성 탄성체 등을 포함할 수 있다.The protective film may include a resin material. For example, the protective film may include resin materials such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), and polyimide (PI), and may be provided in the form of a film having a predetermined thickness. I can. In addition, the wiring may include a conductive material. For example, the wiring is aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and alloys thereof It may contain at least one metal. In addition, the wiring may include a non-metal such as carbon, and may include a conductive elastic body.

상기 배선을 형성하는 단계(S101)는 상기 보호필름 상에 제 1 배선(200)을 형성하는 단계 및 상기 보호필름 상에 제 2 배선(300)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 단계(S101)에서 상기 제 1 배선(200)은 제 1 보호필름(811) 상에 배치될 수 있고, 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 1 보호필름(811)과 다른 제 2 보호필름(812) 상에 배치될 수 있다.The step of forming the wiring (S101) may include forming a first wiring 200 on the protective film and forming a second wiring 300 on the protective film. In detail, in the step (S101), the first wiring 200 may be disposed on the first protective film 811, and the second wiring 300 is a second wiring different from the first protective film 811 It may be disposed on the protective film 812.

도 8을 참조하면, 종래의 마스크의 제조방법은 보호필름 상에 충진층을 형성하는 단계(S102)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 8, a method of manufacturing a conventional mask may include forming a filling layer on the protective film (S102).

상기 충진층은 연질이며 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 충진층은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 상기 충진층은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있으며, 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함하는 것이 바람직할 수 있다.The filling layer may include a soft and elastic material. For example, the filling layer is at least one of a polyvinyl chloride (PVC) material to which a silicone, a thermoplastic resin, a thermoplastic silicone resin, a thermoplastic elastomer, a polyurethane elastomer, an ethylene vinyl acetate (EVA), a harmless plasticizer and a stabilizer are added. It may contain one material. The filling layer may be relatively light and may minimize irritation upon contact with the user's skin, and may preferably include a silicone elastomer having a predetermined elasticity.

상기 보호필름 상에 충진층을 형성하는 단계(S102)는 상기 제 1 보호필름(811) 상에 제 1 충진층(821)을 형성하는 단계 및 상기 제 2 보호필름(812) 상에 제 2 충진층(822)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.Forming a filling layer on the protective film (S102) includes forming a first filling layer 821 on the first protective film 811 and a second filling on the second protective film 812 Forming layer 822 may be included.

상기 제 1 충진층(821)을 형성하는 단계에서, 상기 제 1 충진층(821)은 상기 제 1 보호필름(811)의 일면 상에 배치될 수 있다. 상기 제 1 충진층(821)은 상기 제 1 보호필름(811)의 일면과 직접 접촉하며 상기 제 1 보호필름(811)의 일면 전체를 덮으며 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 1 충진층(821)은 상기 제 1 보호필름(811)의 일면 상에 배치된 제 1 배선(200)을 감싸며 배치될 수 있다. 상기 제 1 충진층(821)은 상기 제 1 배선(200)의 두께보다 두껍게 형성되어 상기 제 1 배선(200)의 측면 및 상면 전체를 커버할 수 있다.In the step of forming the first filling layer 821, the first filling layer 821 may be disposed on one surface of the first protective film 811. The first filling layer 821 may be disposed to directly contact one surface of the first protective film 811 and cover the entire surface of the first protective film 811. In addition, the first filling layer 821 may be disposed to surround the first wiring 200 disposed on one surface of the first protective film 811. The first filling layer 821 may be formed to be thicker than the thickness of the first wiring 200 to cover the entire side surface and the upper surface of the first wiring 200.

또한, 상기 제 2 충진층(822)을 형성하는 단계에서, 상기 제 2 충진층(822)은 상기 제 2 보호필름(812)의 일면 상에 배치될 수 있다. 상기 제 2 충진층(822)은 상기 제 2 보호필름(812)의 일면과 직접 접촉하며 상기 제 2 보호필름(812)의 일면 전체를 덮으며 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 2 충진층(822)은 상기 제 2 보호필름(812)의 일면 상에 배치된 제 2 배선(300)을 감싸며 배치될 수 있다. 상기 제 2 충진층(822)은 상기 제 2 배선(300)의 두께보다 두껍게 형성되어 상기 제 2 배선(300)의 측면 및 상면 전체를 커버할 수 있다.In addition, in the step of forming the second filling layer 822, the second filling layer 822 may be disposed on one surface of the second protective film 812. The second filling layer 822 may be disposed to directly contact one surface of the second protective film 812 and cover the entire surface of the second protective film 812. In addition, the second filling layer 822 may be disposed to surround the second wiring 300 disposed on one surface of the second protective film 812. The second filling layer 822 may be formed to be thicker than the thickness of the second wiring 300 to cover the entire side surface and the upper surface of the second wiring 300.

상기 보호필름 상에 충진층을 형성하는 단계(S102)에서 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)은 서로 동일한 재질을 포함할 수 있다. In the step of forming a filling layer on the protective film (S102), the first filling layer 821 and the second filling layer 822 may include the same material.

도 9를 참조하면, 종래의 마스크의 제조방법은 보호필름을 제거하는 단계(S103)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 9, the conventional method of manufacturing a mask may include removing the protective film (S103).

상기 보호필름을 제거하는 단계(S103)는 상기 제 1 보호필름(811)을 제거하는 단계 및 상기 제 2 보호필름(812)을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.The step of removing the protective film (S103) may include removing the first protective film 811 and removing the second protective film 812.

상기 제 1 보호필름(811)을 제거하는 단계에서, 상기 제 1 보호필름(811)은 제거될 수 있고 상기 제 1 보호필름(811)과 마주하며 직접 접촉하는 상기 제 1 배선(200)의 하면 및 상기 제 1 충진층(821)의 하면은 노출될 수 있다.In the step of removing the first protective film 811, the first protective film 811 may be removed and the lower surface of the first wiring 200 facing and directly contacting the first protective film 811 And a lower surface of the first filling layer 821 may be exposed.

또한, 상기 제 2 보호필름(812)을 제거하는 단계에서, 상기 제 2 보호필름(812)은 제거도리 수 있고, 상기 제 2 보호필름(812)과 마주하며 직접 접촉하는 상기 제 2 배선(300)의 하면 및 상기 제 2 충진층(822)의 하면은 노출될 수 있다.In addition, in the step of removing the second protective film 812, the second protective film 812 may be removed, and the second wiring 300 facing and in direct contact with the second protective film 812 ) And the lower surface of the second filling layer 822 may be exposed.

도 10를 참조하면, 종래의 마스크의 제조방법은 압전소자를 배치하는 단계(S104)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 10, a method of manufacturing a conventional mask may include arranging a piezoelectric element (S104).

상기 압전소자(400)는 세라믹 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 압전소자(400)는 ZnO, AlN, LiNbO4, 납 안티몬 주석산염(lead antimony stannate), 납 마그네슘 탄탈산염(lead magnesium tantalate), 납 니켈 탄탈산염(lead nickel tantalate), 티탄산염(titanates), 텅스텐산염(tungstates), 지르콘산염(zirconates), 또는 납 지르콘산염 티탄산염[Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)], 납 란탄 지르콘산염 티탄산염(PLZT), 납 니오브 지르콘산염 티탄산염(PNZT), BaTiO3, SrTiO3, 납 마그네슘 니오브산염, 납 니켈 니오브산염, 납 망간 니오브산염, 납 아연 니오브산염, 납 티탄산염을 포함하는 납, 바륨, 비스무스, 또는 스트론튬의 니오브산염(niobates) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The piezoelectric element 400 may include a ceramic material. For example, the piezoelectric element 400 includes ZnO, AlN, LiNbO 4 , lead antimony stannate, lead magnesium tantalate, lead nickel tantalate, and titanate ( titanates), tungstates, zirconates, or lead zirconate titanate [Pb(Zr x Ti 1-x )O 3 (PZT)], lead lanthanum zirconate titanate (PLZT), lead niobium Zirconate titanate (PNZT), BaTiO 3 , SrTiO 3 , lead magnesium niobate, lead nickel niobate, lead manganese niobate, lead zinc niobate, lead including lead titanate, barium, bismuth, or niobium of strontium It may contain at least one of niobates.

상기 압전소자를 배치하는 단계(S104)에서 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 보호필름(811) 및 상기 제 2 보호필름(812) 사이에 얼라인(align)되어 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)과 연결될 수 있다.In the step of arranging the piezoelectric element (S104), the piezoelectric element 400 is aligned between the first protective film 811 and the second protective film 812 so that the first wiring 200 And the second wiring 300 may be connected.

자세하게, 상기 압전소자를 배치하는 단계(S104)에서 상기 제 1 배선(200)은 상기 압전소자(400)의 하면과 마주하게 배치될 수 있고, 상기 제 2 배선(300)은 상기 압전소자(400)의 상면과 각각 마주하도록 배치될 수 있다. In detail, in the step of arranging the piezoelectric element (S104), the first wiring 200 may be disposed to face the lower surface of the piezoelectric element 400, and the second wiring 300 may be formed of the piezoelectric element 400 ) May be disposed to face each of the upper surfaces.

이때, 상기 제 1 배선(200) 및 상기 압전소자(400)의 하면 사이, 상기 제 2 배선(300) 및 상기 압전소자(400)의 상면 사이에는 본딩 부재가 배치될 수 있고, 상기 본딩 부재에 의해 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)과 본딩될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 배선(200) 및 상기 압전소자(400)의 하면 사이에는 상술한 제 1 본딩층(451)이 배치될 수 있고, 상기 제 2 배선(300) 및 상기 압전소자(400)의 상면 사이에는 상술한 제 2 본딩층(452)이 배치될 수 있다. 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 및 제 2 본딩층(451, 452)에 의해 상기 배선들(200, 300)과 물리적 및 전기적으로 연결될 수 있다.In this case, a bonding member may be disposed between the first wiring 200 and the lower surface of the piezoelectric element 400, and between the second wiring 300 and the upper surface of the piezoelectric element 400, and the bonding member Accordingly, the piezoelectric element 400 may be bonded to the first wiring 200 and the second wiring 300. For example, the above-described first bonding layer 451 may be disposed between the first wiring 200 and the lower surface of the piezoelectric element 400, and the second wiring 300 and the piezoelectric element 400 The second bonding layer 452 described above may be disposed between the upper surfaces of ). The piezoelectric element 400 may be physically and electrically connected to the wirings 200 and 300 by the first and second bonding layers 451 and 452.

또한, 상기 압전소자를 배치하는 단계(S104)는 가압하는 단계를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 가압하는 단계는 상기 압전소자(400)의 외측에서 상기 압전소자의 중심 방향으로 가압(P)하는 단계일 수 있다. In addition, the step of arranging the piezoelectric element (S104) may include pressing. For example, the pressing may be a step of pressing (P) from the outside of the piezoelectric element 400 toward the center of the piezoelectric element.

자세하게, 상기 가압하는 단계는 상기 압전소자(400), 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)을 보다 효과적으로 본딩하기 위해 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)의 외측에서 상기 압전소자(400)의 중심 방향으로 가압(P)하는 단계일 수 있다. 즉, 상기 가압하는 단계는 도 10을 기준으로 수직 방향(z축, -z축)으로 가압(P)하는 단계일 수 있다.In detail, the pressing may include the first filling layer 821 and the second filling layer in order to more effectively bond the piezoelectric element 400, the first wiring 200, and the second wiring 300. It may be a step of pressing (P) from the outside of 822 in the direction of the center of the piezoelectric element 400. That is, the pressing step may be a step of pressing (P) in a vertical direction (z axis, -z axis) with reference to FIG. 10.

도 11을 참조하면, 종래의 마스크의 제조방법은 압전소자를 밀봉하는 단계를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 11, a method of manufacturing a conventional mask may include sealing a piezoelectric element.

상기 압전소자를 밀봉하는 단계(S105)는 충진재를 이용하여 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822) 사이에 제 3 충진층(823)을 형성하는 단계일 수 있다.Sealing the piezoelectric element (S105) may be a step of forming a third filling layer 823 between the first filling layer 821 and the second filling layer 822 using a filling material.

상기 제 3 충진층(823)은 연질이며 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 충진층(823)은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 3 충진층(823)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있으며, 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함하는 것이 바람직할 수 있다.The third filling layer 823 may include a soft and elastic material. For example, the third filling layer 823 is a polyvinyl chloride containing silicone, a thermoplastic resin, a thermoplastic silicone resin, a thermoplastic elastomer, a polyurethane elastomer, an ethylene vinyl acetate (EVA), a harmless plasticizer and a stabilizer ( PVC) may include at least one material. The third filling layer 823 may be relatively light and may minimize irritation upon contact with the user's skin, and may preferably include a silicone elastomer having a predetermined elasticity.

상기 압전소자를 밀봉하는 단계(S105)에서 상기 충진재는 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822) 사이에 공급될 수 있다. 이후 상기 충진재는 경화되어 상기 제 3 충진층(823)을 형성할 수 있다. In the sealing of the piezoelectric element (S105), the filler may be supplied between the first filling layer 821 and the second filling layer 822. Thereafter, the filler may be cured to form the third filler layer 823.

상기 제 3 충진층(823)은 상기 압전소자(400)를 감싸며 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 3 충진층(823)은 상기 제 1 충진층(821)의 하면 및 상기 제 2 충진층(822)의 하면과 직접 접촉하며 배치될 수 있다.The third filling layer 823 may be disposed to surround the piezoelectric element 400. In addition, the third filling layer 823 may be disposed in direct contact with the lower surface of the first filling layer 821 and the lower surface of the second filling layer 822.

상기 제 3 충진층(823)은 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 3 충진층(823)은 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)과 동일한 재질을 포함함에 따라 향상된 결합력을 가질 수 있다.The third filling layer 823 may include the same material as the first filling layer 821 and the second filling layer 822. Since the third filling layer 823 includes the same material as the first filling layer 821 and the second filling layer 822, it may have improved bonding strength.

상기 압전소자를 밀봉하는 단계(S105)를 통해 상기 제 1 베이스층(110), 제 2 베이스층(120), 압전소자(400), 제 1 배선(200), 제 2 배선(300) 및 보호층(550)을 포함하는 마스크가 제조될 수 있다.The first base layer 110, the second base layer 120, the piezoelectric element 400, the first wiring 200, the second wiring 300 and protection through the sealing of the piezoelectric element (S105) A mask including layer 550 may be manufactured.

그러나, 종래의 마스크의 제조방법은 제조 과정 중 재료의 연성(ductility)에 의해 길이, 형태가 변화하는 문제점이 있다. 또한, 종래의 제조방법은 가압 공정 시 가해지는 압력에 의해 일부 레이어의 두께가 변화하는 문제점이 있고 심할 경우 물성이 일부 변화하는 문제점이 있다.However, the conventional method of manufacturing a mask has a problem in that the length and shape are changed due to the ductility of the material during the manufacturing process. In addition, the conventional manufacturing method has a problem in that the thickness of some layers changes due to pressure applied during the pressing process, and in severe cases, there is a problem in that the physical properties are partially changed.

자세하게, 도 9를 참조하면 상기 보호필름을 제거하는 단계(S103)에서 상기 보호필름을 제거할 경우, 상기 충진층의 연성(ductility)으로 인해 폭, 두께 등이 변화할 수 있다. 예를 들어, 상기 단계(S103)에서 상기 제 1 보호필름(811)을 제거할 경우, 상기 제 1 충진층(821)은 연성에 의해 수평 방향(x축, y축이 형성한 평면 방향)으로 늘어날 수 있다. 또한 상기 제 2 보호필름(812)을 제거할 경우, 상기 제 2 충진층(822) 역시 연성에 의해 수평 방향으로 늘어날 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 보호필름(811) 및 상기 제 2 보호필름(812)을 제거할 경우, 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)의 늘어난 정도는 랜덤(random)할 수 있다. 따라서, 상기 충진층(821, 822) 상에 배치된 제 1 배선(200) 및 제 2 배선(300)의 얼라인(align)이 틀어지는 문제점이 있다. 예를 들어, 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)은 상술한 틀어짐에 의해 설정된 위치에서 수평 방향으로 최대 150㎛ 이상 벗어난 위치에 배치될 수 있다. 그리고, 상술한 충진층(821, 822)의 늘어남의 정도가 클 경우, 상기 충진층(821, 822)의 연성에 의해 상기 배선(200, 00)이 단선되는 문제점이 있다.In detail, referring to FIG. 9, when the protective film is removed in the step of removing the protective film (S103 ), the width, thickness, etc. may change due to the ductility of the filling layer. For example, when removing the first protective film 811 in the step (S103), the first filling layer 821 is in a horizontal direction (a plane direction formed by the x-axis and y-axis) by ductility. It can be stretched. In addition, when the second protective film 812 is removed, the second filling layer 822 may also be stretched in a horizontal direction due to ductility. In detail, when the first protective film 811 and the second protective film 812 are removed, the degree of increase of the first filling layer 821 and the second filling layer 822 may be random. I can. Accordingly, there is a problem in that the alignment of the first wiring 200 and the second wiring 300 disposed on the filling layers 821 and 822 is misaligned. For example, the first wiring 200 and the second wiring 300 may be disposed at a position deviated by a maximum of 150 μm or more in a horizontal direction from a position set by the above-described twisting. In addition, when the degree of stretching of the filling layers 821 and 822 described above is large, there is a problem that the wirings 200 and 00 are disconnected due to the ductility of the filling layers 821 and 822.

또한, 도 10을 참조하면, 상기 압전소자(400)를 배치하는 단계(S104)에서 상기 압전소자(400)와 배선(200, 300) 사이의 얼라인 문제가 발생할 수 있다. 자세하게, 상술한 바와 같이 상기 제 1 보호필름(811) 및 상기 제 2 보호필름(812)이 제거될 경우, 상기 제 1 및 제 2 배선(200, 300)의 얼라인이 틀어지는 문제가 있다. 예를 들어, 상기 배선(200, 300)의 얼라인 불량에 의해 상기 배선(200, 300)과 상기 압전소자(400)는 수평 방향으로 최대 1.7mm 이상 벗어난 위치에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 압전소자(400)를 배치하는 단계(S104)에서 상기 압전소자(400)와 상기 배선(200, 300) 사이의 연결이 불안정하거나 연결되지 않은 불량이 발생할 수 있다. In addition, referring to FIG. 10, in the step of arranging the piezoelectric element 400 (S104 ), an alignment problem may occur between the piezoelectric element 400 and the wirings 200 and 300. In detail, as described above, when the first protective film 811 and the second protective film 812 are removed, there is a problem that the alignment of the first and second wirings 200 and 300 is misaligned. For example, due to a misalignment of the wires 200 and 300, the wires 200 and 300 and the piezoelectric element 400 may be disposed at a position deviating by a maximum of 1.7 mm or more in a horizontal direction. Accordingly, in the step of arranging the piezoelectric element 400 (S104), a connection between the piezoelectric element 400 and the wirings 200 and 300 may be unstable or a failure may occur.

또한, 상기 보호필름이 제거된 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)은 그 두께가 상대적으로 매우 얇을 수 있다. 이에 따라, 상기 압전소자(400)의 상하부에 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)을 배치할 경우, 얇은 두께에 의해 상기 압전소자(400), 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)의 얼라인(align)이 어려울 수 있다. In addition, the first filling layer 821 and the second filling layer 822 from which the protective film has been removed may have relatively very thin thicknesses. Accordingly, when the first filling layer 821 and the second filling layer 822 are disposed above and below the piezoelectric element 400, the piezoelectric element 400 and the first wiring ( It may be difficult to align the 200) and the second wiring 300.

그리고, 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)이 투명하지 않고 유색일 경우, 상기 압전소자(400) 상하부에 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)을 각각 배치하여 얼라인(align)하기 매우 어려울 수 있다. In addition, when the first filling layer 821 and the second filling layer 822 are not transparent and colored, the first wiring 200 and the second wiring 300 are located above and below the piezoelectric element 400. It can be very difficult to align by placing each.

이에 따라, 종래의 제조방법으로 제조한 마스크의 경우 일부 압전소자(400)가 전기적으로 연결되지 않은 문제가 있으며, 상기 배선(200, 300)과 상기 압전소자(400) 사이의 오버래핑 비율이 낮아 전기적 연결이 불안정한 문제가 있다.Accordingly, in the case of a mask manufactured by the conventional manufacturing method, there is a problem that some piezoelectric elements 400 are not electrically connected, and the overlapping ratio between the wirings 200 and 300 and the piezoelectric elements 400 is low There is a problem with an unstable connection.

또한, 상기 압전소자(400)를 배치하는 단계(S104)에서 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)의 폭, 두께가 변화할 수 있다. 자세하게, 상기 단계(S104)에서 상기 압전소자(400), 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)의 본딩을 위해 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)을 가압할 수 있다. 이 과정에 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)의 두께가 감소할 수 있고, 수평 방향으로 늘어나 폭이 증가할 수 있다. 예를 들어, 상기 단계(S104)에서 상기 제 1 충진층(821) 및 상기 제 2 충진층(822)의 두께는 약 5% 내지 30% 감소할 수 있다.In addition, the width and thickness of the first filling layer 821 and the second filling layer 822 may be changed in the step S104 of disposing the piezoelectric element 400. In detail, in step S104, the first filling layer 821 and the second filling layer 822 are used for bonding the piezoelectric element 400, the first wiring 200, and the second wiring 300. ) Can be pressurized. In this process, the thickness of the first filling layer 821 and the second filling layer 822 may be reduced, and the width may be increased by extending in a horizontal direction. For example, in step S104, the thicknesses of the first filling layer 821 and the second filling layer 822 may be reduced by about 5% to 30%.

이에 따라, 제조되는 마스크의 제 1 베이스층(110) 및 제 2 베이스층(120)의 두께 예컨대 반사층 및 정합층(matching layer)의 두께가 변화하여 상기 압전소자(400)에서 방출된 초음파의 반사 특성 및 초음파의 임피던스 특성이 변화하는 문제가 발생할 수 있다.Accordingly, the thickness of the first base layer 110 and the second base layer 120 of the manufactured mask, such as the thickness of the reflective layer and the matching layer, is changed to reflect the ultrasonic waves emitted from the piezoelectric element 400 There may be a problem in that the characteristics and impedance characteristics of ultrasonic waves change.

상술한 문제를 해결하기 위해 실시예에 따른 마스크는 상술한 제조방법과 상이한 제조방법으로 형성할 수 있다.In order to solve the above-described problem, the mask according to the embodiment may be formed by a different manufacturing method than the above-described manufacturing method.

이하 도 12 내지 도 16을 참조하여 실시예에 따른 마스크의 제조방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a mask according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIGS. 12 to 16.

도 12를 참조하면, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 보호필름 상에 배선을 형성하는 단계(S301)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 12, a method of manufacturing a mask according to an embodiment may include forming a wire on the protective film (S301).

상기 보호필름은 수지 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 보호필름은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 및 폴리이미드(PI) 등의 수지 재질을 포함할 수 있고, 소정의 두께를 가지는 필름(film) 형태로 제공될 수 있다. 또한, 상기 배선은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 배선은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. 또한, 상기 배선은 카본(carbon) 등과 같은 비금속을 포함할 수 있고, 전도성 탄성체 등을 포함할 수 있다.The protective film may include a resin material. For example, the protective film may include resin materials such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), and polyimide (PI), and may be provided in the form of a film having a predetermined thickness. I can. In addition, the wiring may include a conductive material. For example, the wiring is aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and alloys thereof It may contain at least one metal. In addition, the wiring may include a non-metal such as carbon, and may include a conductive elastic body.

상기 배선을 형성하는 단계(S301)는 상기 보호필름 상에 제 1 배선(200)을 형성하는 단계 및 상기 보호필름 상에 제 2 배선(300)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 단계(S301)에서 상기 제 1 배선(200)은 제 1 보호필름(811) 상에 배치될 수 있고, 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 1 보호필름(811)과 다른 제 2 보호필름(812) 상에 배치될 수 있다.The step of forming the wiring (S301) may include forming a first wiring 200 on the protective film and forming a second wiring 300 on the protective film. In detail, in the step (S301), the first wiring 200 may be disposed on the first protective film 811, and the second wiring 300 is a second wiring different from the first protective film 811 It may be disposed on the protective film 812.

도 13을 참조하면, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 압전소자를 배치하는 단계(S302)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 13, a method of manufacturing a mask according to an embodiment may include arranging a piezoelectric element (S302).

상기 압전소자(400)는 세라믹 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 압전소자(400)는 ZnO, AlN, LiNbO4, 납 안티몬 주석산염(lead antimony stannate), 납 마그네슘 탄탈산염(lead magnesium tantalate), 납 니켈 탄탈산염(lead nickel tantalate), 티탄산염(titanates), 텅스텐산염(tungstates), 지르콘산염(zirconates), 또는 납 지르콘산염 티탄산염[Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)], 납 란탄 지르콘산염 티탄산염(PLZT), 납 니오브 지르콘산염 티탄산염(PNZT), BaTiO3, SrTiO3, 납 마그네슘 니오브산염, 납 니켈 니오브산염, 납 망간 니오브산염, 납 아연 니오브산염, 납 티탄산염을 포함하는 납, 바륨, 비스무스, 또는 스트론튬의 니오브산염(niobates) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The piezoelectric element 400 may include a ceramic material. For example, the piezoelectric element 400 includes ZnO, AlN, LiNbO 4 , lead antimony stannate, lead magnesium tantalate, lead nickel tantalate, and titanate ( titanates), tungstates, zirconates, or lead zirconate titanate [Pb(Zr x Ti 1-x )O 3 (PZT)], lead lanthanum zirconate titanate (PLZT), lead niobium Zirconate titanate (PNZT), BaTiO 3 , SrTiO 3 , lead magnesium niobate, lead nickel niobate, lead manganese niobate, lead zinc niobate, lead including lead titanate, barium, bismuth, or niobium of strontium It may contain at least one of niobates.

상기 압전소자를 배치하는 단계(S302)는 상기 제 1 보호필름(811) 및 상기 제 2 보호필름(812) 사이에 상기 압전소자(400)를 배치하는 단계일 수 있다. 상기 단계(S302)는 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300) 사이에 상기 압전소자(400)를 배치하는 단계일 수 있다. 상기 단계(S302)에서 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)과 Arranging the piezoelectric element (S302) may be a step of disposing the piezoelectric element 400 between the first protective film 811 and the second protective film 812. The step S302 may be a step of disposing the piezoelectric element 400 between the first wiring 200 and the second wiring 300. In the step (S302), the piezoelectric element 400 is connected to the first wiring 200 and the second wiring 300

상기 압전소자를 배치하는 단계(S302)는 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300) 상에 압전소자(400)를 배치하는 단계일 수 있다. 상기 단계(S302)에서 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)과 전기적으로 연결될 수 있다. The step of arranging the piezoelectric element (S302) may be a step of disposing the piezoelectric element 400 on the first wiring 200 and the second wiring 300. In the step S302, the piezoelectric element 400 may be electrically connected to the first wiring 200 and the second wiring 300.

일례로, 상기 제 1 배선(200) 및 상기 압전소자(400)의 하면 사이, 상기 제 2 배선(300) 및 상기 압전소자(400)의 상면 사이에는 본딩 부재가 배치될 수 있고, 상기 본딩 부재에 의해 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)과 본딩될 수 있다. 자세하게, 상기 단계(S302)에서 상기 제 1 배선(200) 및 상기 압전소자(400)의 하면 사이에는 제 1 본딩층(451)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 본딩층(451)에 의해 상기 제 1 배선(200) 및 상기 압전소자(400)의 하면은 본딩될 수 있다. 또한, 상기 제 2 배선(300) 및 상기 압전소자(400)의 상면 사이에는 제 2 본딩층(452)이 배치될 수 있다. 상기 제 2 본딩층(452)에 의해 상기 제 2 배선(300) 및 상기 압전소자(400)의 상면은 본딩될 수 있다. 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 및 제 2 본딩층(451, 452)에 의해 상기 배선들(200, 300)과 물리적 및 전기적으로 연결될 수 있다.For example, a bonding member may be disposed between the first wiring 200 and the lower surface of the piezoelectric element 400, and between the second wiring 300 and the upper surface of the piezoelectric element 400, and the bonding member As a result, the piezoelectric element 400 may be bonded to the first wiring 200 and the second wiring 300. In detail, in step S302, a first bonding layer 451 may be disposed between the first wiring 200 and the lower surface of the piezoelectric element 400. The first wiring 200 and the bottom surface of the piezoelectric element 400 may be bonded by the first bonding layer 451. In addition, a second bonding layer 452 may be disposed between the second wiring 300 and the upper surface of the piezoelectric element 400. The second wiring 300 and the upper surface of the piezoelectric element 400 may be bonded by the second bonding layer 452. The piezoelectric element 400 may be physically and electrically connected to the wirings 200 and 300 by the first and second bonding layers 451 and 452.

도 14을 참조하면, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 압전소자를 밀봉하는 단계(S303)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 14, a method of manufacturing a mask according to an embodiment may include sealing a piezoelectric element (S303).

상기 압전소자를 밀봉하는 단계(S303)는 충진재를 이용하여 상기 제 1 보호필름(811) 및 상기 제 2 보호필름(812) 사이에 제 4 충진층(851)을 형성하는 단계일 수 있다.Sealing the piezoelectric element (S303) may be a step of forming a fourth filling layer 851 between the first protective film 811 and the second protective film 812 using a filler.

상기 제 4 충진층(851)은 연질이며 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 4 충진층(851)은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 4 충진층(851)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있으며, 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함하는 것이 바람직할 수 있다.The fourth filling layer 851 may include a soft and elastic material. For example, the fourth filling layer 851 is polyvinyl chloride to which silicone, thermoplastic resin, thermoplastic silicone resin, thermoplastic elastomer, polyurethane elastomer, ethylene vinyl acetate (EVA), a harmless plasticizer and a stabilizer are added ( PVC) may include at least one material. The fourth filling layer 851 may be relatively light and may minimize irritation upon contact with the user's skin, and may preferably include a silicone elastomer having a predetermined elasticity.

압전소자를 밀봉하는 단계(S303)에서 상기 충진재는 상기 제 1 보호필름(811) 및 상기 제 2 보호필름(812) 사이에 공급될 수 있다. 이후 상기 충진재는 경화되어 상기 제 4 충진층(851)을 형성할 수 있다.In the step of sealing the piezoelectric element (S303), the filler may be supplied between the first protective film 811 and the second protective film 812. Thereafter, the filler may be cured to form the fourth filler layer 851.

상기 제 4 충진층(851)은 상기 압전소자(400)를 감싸며 배치될 수 있다. 상기 제 4 충진층(851)은 상기 압전소자(400)와 직접 접촉할 수 있다. 상기 제 4 충진층(851)은 상기 압전소자(400)보다 두껍게 형성되어 상기 압전소자(400)의 전체를 감싸며 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 4 충진층(851)은 상기 제 1 및 제 2 보호필름(811, 812) 상에 배치된 상기 제 1 및 제 2 배선(200, 300)을 감싸며 배치될 수 있다. 상기 제 4 충진층(851)은 상기 제 1 및 제 2 배선(200, 300)과 직접 접촉할 수 있다. 또한, 상기 제 4 충진층(851)은 상기 제 1 본딩층(451) 및 상기 제 2 본딩층(452)과 직접 접촉할 수 있다.The fourth filling layer 851 may be disposed surrounding the piezoelectric element 400. The fourth filling layer 851 may directly contact the piezoelectric element 400. The fourth filling layer 851 may be formed to be thicker than the piezoelectric element 400 and may be disposed to surround the entire piezoelectric element 400. In addition, the fourth filling layer 851 may be disposed to surround the first and second wirings 200 and 300 disposed on the first and second protective films 811 and 812. The fourth filling layer 851 may directly contact the first and second wirings 200 and 300. In addition, the fourth filling layer 851 may directly contact the first bonding layer 451 and the second bonding layer 452.

도 15을 참조하면, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 보호필름을 제거하는 단계(S304)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 15, a method of manufacturing a mask according to an embodiment may include removing the protective film (S304).

상기 보호필름을 제거하는 단계(S304)는 상기 제 1 보호필름(811) 및 상기 제 2 보호필름(812)을 제거하고 제 1 구조물(S1)로 정의되는 구조물을 형성하는 단계일 수 있다.The step of removing the protective film (S304) may be a step of removing the first protective film 811 and the second protective film 812 and forming a structure defined as the first structure S1.

상기 단계(S304)에서 상기 제 4 충진층(851)의 하면 상에 배치된 상기 제 1 보호필름(811)은 제거될 수 있다. 또한, 상기 단계(S304)에서 상기 제 4 충진층(851)의 상면 상에 배치된 상기 제 2 보호필름(812)은 제거될 수 있다. 상기 단계(S304)에서 상기 제 1 및 제 2 보호필름(811, 812) 기계적 또는 화학적 방법으로 제거될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.In the step S304, the first protective film 811 disposed on the lower surface of the fourth filling layer 851 may be removed. In addition, in the step S304, the second protective film 812 disposed on the upper surface of the fourth filling layer 851 may be removed. In the step S304, the first and second protective films 811 and 812 may be removed by a mechanical or chemical method, but the embodiment is not limited thereto.

상기 보호필름을 제거하는 단계(S304) 이후 상기 제 4 충진층(851)의 하면 및 상면은 노출될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 보호필름(811)의 상면과 마주하는 상기 제 1 배선(200)의 하면은 노출될 수 있다. 이때, 상기 제 4 충진층(851)의 하면은 상기 제 1 배선(200)의 하면과 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 2 보호필름(812)의 상면과 마주하는 상기 제 2 배선(300)의 하면은 노출될 수 있다. 이‹š, 상기 제 4 충진층(851)의 상면은 상기 제 2 배선(300)의 하면과 동일 평면 상에 배치될 수 있다.After removing the protective film (S304), the lower and upper surfaces of the fourth filling layer 851 may be exposed. In detail, the lower surface of the first wiring 200 facing the upper surface of the first protective film 811 may be exposed. In this case, the lower surface of the fourth filling layer 851 may be disposed on the same plane as the lower surface of the first wiring 200. In addition, a lower surface of the second wiring 300 facing the upper surface of the second protective film 812 may be exposed. In this case, the upper surface of the fourth filling layer 851 may be disposed on the same plane as the lower surface of the second wiring 300.

상기 단계(S304)를 통해 압전소자(400), 제 1 배선(200), 제 2 배선(300) 및 제 4 충진층(851)을 포함하는 제 1 구조물(S1)을 형성할 수 있다.The first structure S1 including the piezoelectric element 400, the first wiring 200, the second wiring 300, and the fourth filling layer 851 may be formed through the step S304.

도 16을 참조하면, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 상기 제 1 구조물 상에 충진층을 형성하는 단계(S305)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 16, a method of manufacturing a mask according to an embodiment may include forming a filling layer on the first structure (S305).

상기 충진층을 형성하는 단계(S305)는 상기 제 1 구조물(S1) 상에 충진재를 배치하여 상기 제 1 구조물(S1) 상에 제 5 충진층(852)을 형성하는 단계일 수 있다.The step of forming the filling layer (S305) may be a step of forming a fifth filling layer 852 on the first structure S1 by disposing a filler on the first structure S1.

상기 제 5 충진층(852)은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 5 충진층(852)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있으며, 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함하는 것이 바람직할 수 있다.The fifth filling layer 852 is made of polyvinyl chloride (PVC) to which silicone, thermoplastic resin, thermoplastic silicone resin, thermoplastic elastomer, polyurethane elastomer, ethylene vinyl acetate (EVA), harmless plasticizer and stabilizer are added. It may include at least one material. The fifth filling layer 852 is relatively light and can minimize irritation upon contact with the user's skin, and may preferably include a silicone elastomer having a predetermined elasticity.

상기 단계(S305)에서 상기 제 1 구조물(S1)의 둘레에는 상기 충진재가 공급될 수 있다. 일례로, 상기 단계(S305)에서 상기 제 1 구조물(S1)은 설정된 형태 및 크기의 수용부를 가지는 몰딩 지그(jig) 내에 배치될 수 있다. 이후, 상기 몰딩 지그 내에 상기 충진재가 공급될 수 있고, 상기 충진재는 상기 제 1 구조물(S1)을 감싸며 배치될 수 있다. 이후 상기 충진재는 경화되어 상기 제 5 충진층(852)이 될 수 있다. 이때, 상기 제 5 충진층(852)는 상기 제 4 충진층(851)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 5 충진층(852)은 상기 제 4 충진층(851)과 동종의 재질을 포함함에 따라 향상된 결합력을 가질 수 있다.In the step S305, the filler may be supplied around the first structure S1. For example, in step S305, the first structure S1 may be disposed in a molding jig having a receiving portion of a set shape and size. Thereafter, the filler may be supplied into the molding jig, and the filler may be disposed to surround the first structure S1. Thereafter, the filler may be cured to become the fifth filler layer 852. In this case, the fifth filling layer 852 may include the same material as the fourth filling layer 851. Since the fifth filling layer 852 includes the same material as the fourth filling layer 851, it may have an improved bonding force.

상기 제 5 충진층(852)은 상기 제 1 구조물(S1)의 상면 및 하면을 감싸며 배치될 수 있다. 또한, 도면에는 도시하지 않았으나, 상기 제 5 충진층(852)은 상기 제 1 구조물(S1)의 적어도 하나의 측면을 감싸며 배치될 수 있다. 일례로, 상기 제 5 충진층(852)은 상기 제 1 구조물(S1)의 측면 전체를 감싸며 배치될 수 있다.The fifth filling layer 852 may be disposed surrounding the upper and lower surfaces of the first structure S1. Further, although not shown in the drawings, the fifth filling layer 852 may be disposed to surround at least one side surface of the first structure S1. For example, the fifth filling layer 852 may be disposed to surround the entire side surface of the first structure S1.

즉, 상기 제 5 충진층(852)은 상기 제 4 충진층(851)의 상면 및 하면과 직접 접촉할 수 있다. 또한, 상기 제 5 충진층(852)은 상기 제 4 충진층(851)의 측면과 직접 접촉할 수 있다. 또한, 상기 제 5 충진층(852)은 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)과 직접 접촉할 수 있다. 상기 제 5 충진층(852)은 상기 몰딩 지그의 형태 및/또는 크기에 따라 상기 제 1 구조물(S1)의 외측면을 선택적으로 감싸며 배치될 수 있고, 이에 대해 한정하지는 않는다.That is, the fifth filling layer 852 may directly contact the upper and lower surfaces of the fourth filling layer 851. In addition, the fifth filling layer 852 may directly contact a side surface of the fourth filling layer 851. In addition, the fifth filling layer 852 may directly contact the first wiring 200 and the second wiring 300. The fifth filling layer 852 may be disposed to selectively surround the outer surface of the first structure S1 according to the shape and/or size of the molding jig, but is not limited thereto.

상기 제 1 구조물 상에 충진층을 형성하는 단계(S305)를 통해 제 1 베이스층(110), 제 2 베이스층(120), 압전소자(400), 제 1 배선(200), 제 2 배선(300) 및 보호층(550)을 포함하는 실시예에 따른 마스크(1000)가 제조될 수 있다.The first base layer 110, the second base layer 120, the piezoelectric element 400, the first wiring 200, and the second wiring are formed through the step of forming a filling layer on the first structure (S305). The mask 1000 according to the embodiment including 300) and the protective layer 550 may be manufactured.

따라서, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 제조 과정 중 발생하는 레이어의 변형을 방지 또는 최소화할 수 있고, 상기 압전소자(400)와 상기 배선(200, 300) 사이의 얼라인(align) 특성을 향상시킬 수 있다.Therefore, the method of manufacturing a mask according to the embodiment can prevent or minimize the deformation of the layer that occurs during the manufacturing process, and the alignment characteristic between the piezoelectric element 400 and the wirings 200 and 300 is improved. Can be improved.

자세하게, 종래의 마스크 제조방법(도 9 및 도 10 참조)은 상기 보호필름(811, 812) 상에 배선(200, 300)을 감싸는 충진층(821, 822)을 형성하고, 상기 보호필름(811, 812)을 제거한 이후 상기 압전소자와 상기 배선(200, 300)을 연결하였다.In detail, in the conventional mask manufacturing method (see FIGS. 9 and 10), filling layers 821 and 822 surrounding the wirings 200 and 300 are formed on the protective films 811 and 812, and the protective film 811 After removing the, 812 ), the piezoelectric element and the wirings 200 and 300 were connected.

그러나, 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 상기 보호필름(811, 812) 상에 배선(200, 300)을 감싸는 별도의 충진층을 형성하기 이전에, 상기 배선(200, 300)과 상기 압전소자(400)를 연결할 수 있다.However, in the method of manufacturing a mask according to the embodiment, prior to forming a separate filling layer surrounding the wirings 200 and 300 on the protective films 811 and 812, the wirings 200 and 300 and the piezoelectric element 400 can be connected.

즉, 실시예는 상기 배선(200, 300)과 상기 압전소자(400) 연결 시 상기 보호필름(811, 812) 상에 별도의 충진층이 배치되지 않으므로, 상기 충진층의 연성(ductility)에 의해 상기 압전소자(400)와 상기 배선(200, 300) 사이의 얼라인(align) 불량이 발생하는 것을 방지 또는 감소시킬 수 있다. 일례로, 상기 마스크(1000)를 제조하는 과정에 수평 방향을 기준으로 상기 배선(200, 300)과 상기 압전소자(400)가 어긋난 최대 정도는 약 1mm 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 어긋난 정도는 약 500㎛ 이하일 수 있다. 바람직하게 상기 어긋난 정도는 약 300㎛ 이하일 수 있다. 즉, 실시예는 최대 1.7mm 이상 어긋나게 배치되는 종래의 제조방법과 비교하여 보다 향상된 얼라인 특성을 가질 수 있고, 상기 압전소자(400)는 상기 배선(200, 300)과 향상된 신뢰성을 가질 수 있다.That is, in the embodiment, when the wirings 200 and 300 and the piezoelectric element 400 are connected, a separate filling layer is not disposed on the protective films 811 and 812, and thus, due to the ductility of the filling layer. It is possible to prevent or reduce the occurrence of an alignment failure between the piezoelectric element 400 and the wirings 200 and 300. For example, in the process of manufacturing the mask 1000, a maximum degree of shift between the wirings 200 and 300 and the piezoelectric element 400 based on a horizontal direction may be about 1 mm or less. In detail, the degree of deviation may be about 500 μm or less. Preferably, the degree of deviation may be about 300 μm or less. That is, the embodiment may have improved alignment characteristics compared to a conventional manufacturing method that is displaced by a maximum of 1.7 mm or more, and the piezoelectric element 400 may have improved reliability with the wirings 200 and 300. .

또한, 종래에는 상기 배선(200, 300)을 감싸는 충진층(821, 822)이 유색일 경우(도 8 내지 도 10 참조), 상기 배선(200, 300)과 상기 압전소자(400)의 얼라인(align)이 매우 어려운 문제점이 있다.In addition, conventionally, when the filling layers 821 and 822 surrounding the wires 200 and 300 are colored (refer to FIGS. 8 to 10), alignment of the wires 200 and 300 and the piezoelectric element 400 There is a problem that (align) is very difficult.

그러나, 실시예는 별도의 충진층이 배치되기 이전에 상기 배선(200, 300)과 상기 압전소자(400)를 먼저 연결할 수 있고, 이후 상기 압전소자(400)의 둘레를 감싸는 제 4 충진층(851)을 배치할 수 있다. 이에 따라, 상기 압전소자(400)의 둘레를 감싸는 제 4 충진층(851)은 색상에 구분없이 다양한 색상으로 제공될 수 있다.However, in the embodiment, the wirings 200 and 300 and the piezoelectric element 400 may be first connected before a separate filling layer is disposed, and thereafter, a fourth filling layer surrounding the piezoelectric element 400 ( 851) can be placed. Accordingly, the fourth filling layer 851 surrounding the piezoelectric element 400 may be provided in various colors regardless of color.

또한, 종래에는 상기 압전소자를 배치하는 단계(S104, 도 10 참조)에서 상기 압전소자(400)와 배선(200, 300) 사이의 결합을 위해 소정의 압력을 인가하는 가압 공정을 진행하였다.In addition, conventionally, in the step of arranging the piezoelectric element (see S104 (refer to FIG. 10)), a pressurization process of applying a predetermined pressure for coupling between the piezoelectric element 400 and the wirings 200 and 300 was performed.

그러나, 실시예는 별도의 가압 공정을 생략할 수 있고, 몰딩 지그 내에 상기 제 1 구조물을 배치하고 제 5 충진층(852)을 형성하여 마스크(1000)를 제조할 수 있다. 이에 따라, 제조되는 마스크(1000)의 제 1 베이스층(110) 및 제 2 베이스층(120)의 두께, 예컨대 반사층 및 정합층의 두께를 설정된 두께로 제조할 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 마스크(1000)는 균일한 초음파 반사 특성 및 임피던스 특성을 가질 수 있다.However, in the embodiment, a separate pressing process may be omitted, and the mask 1000 may be manufactured by arranging the first structure in the molding jig and forming the fifth filling layer 852. Accordingly, the thickness of the first base layer 110 and the second base layer 120 of the manufactured mask 1000, for example, the thickness of the reflective layer and the matching layer may be manufactured to a set thickness. Accordingly, the mask 1000 according to the embodiment may have uniform ultrasonic reflection characteristics and impedance characteristics.

도 17은 도 1의 A1 영역의 다른 분해 사시도이고, 도 18은 도 17의 마스크의 단면을 도시한 단면도이다. 도 17 및 도 18을 이용한 설명에서는 앞서 설명한 마스크와 동일 유사한 구성에 대해서는 설명을 생략하며 동일 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다.FIG. 17 is another exploded perspective view of area A1 of FIG. 1, and FIG. 18 is a cross-sectional view of the mask of FIG. 17. In the description using FIGS. 17 and 18, descriptions of the same and similar configurations as the above-described mask are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same and similar configurations.

도 17 및 도 18을 참조하면, 실시예에 따른 마스크(1000)는 제 1 기재(510) 및 제 2 기재(520)를 더 포함할 수 있다.17 and 18, the mask 1000 according to the embodiment may further include a first substrate 510 and a second substrate 520.

상기 제 1 기재(510)는 상기 제 1 베이스층(110) 상에 배치될 수 있다. 상기 제 1 기재(510)는 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 1 배선(200) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제 1 기재(510)는 상기 제 1 베이스층(110)의 일면과 직접 접촉할 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110)과 이격될 수 있고 상기 제 1 기재(510)와 직접 접촉할 수 있다. The first substrate 510 may be disposed on the first base layer 110. The first substrate 510 may be disposed between the first base layer 110 and the first wiring 200. The first substrate 510 may directly contact one surface of the first base layer 110. In this case, the first wiring 200 may be spaced apart from the first base layer 110 and may directly contact the first substrate 510.

상기 제 1 기재(510)는 투명하며 수분 차단성, 열적 안정성 등을 고려한 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1 기재(510)는 유연성을 가지며 굴곡진 사용자의 피부 형상에 따라 탄성 변형되는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 기재(510)는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 및 폴리이미드(PI) 등의 수지 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 1 기재(510)는 필름 형태로 제공될 수 있다.The first substrate 510 is transparent and may include a material in consideration of moisture barrier properties and thermal stability. In addition, the first substrate 510 may include a material that has flexibility and is elastically deformed according to the curved shape of the user's skin. For example, the first substrate 510 may include a resin material such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), and polyimide (PI). The first substrate 510 may be provided in the form of a film.

상기 제 1 기재(510)는 약 0.5㎛ 내지 약 5㎛ 이하의 두께를 가질 수 있다. 상기 제 1 기재(510)의 두께가 약 0.5㎛ 미만인 경우, 상기 제 1 기재(510) 상에 배치되는 구성들, 예컨대, 압전소자(400) 등의 무게에 의해 상기 구성들과 중첩되는 상기 제 1 기재(510)의 영역이 쳐지는 문제점이 발생할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 기재(510)의 신뢰성이 저하될 수 있고, 상기 제 1 기재(510) 상에 배치되는 구성들의 얼라인(align) 문제가 발생할 수 있다. 또한, 상기 제 1 기재(510)의 두께가 약 5㎛를 초과하는 경우, 상기 마스크(1000)의 전체 두께가 증가될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)가 사용자의 피부 형상에 따라 효율적으로 탄성 변형하지 못하여 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하지 못하는 문제점이 있다. 바람직하게, 상기 제 1 기재(510)는 약 0.5㎛ 내지 약 3㎛의 두께를 가질 수 있다. 상기 제 1 기재(510)의 두께가 상술한 범위를 만족할 경우, 신뢰성 및 얼라인 특성을 유지하며 사용자의 피부와 대응되는 형태로 효율적으로 탄성 변형할 수 있고, 상기 마스크(1000)의 전체 두께 및 무게가 감소할 수 있다.The first substrate 510 may have a thickness of about 0.5 μm to about 5 μm or less. When the thickness of the first substrate 510 is less than about 0.5 μm, the components disposed on the first substrate 510, for example, the first substrate 510 overlapped with the components by the weight of the piezoelectric element 400 1 There may be a problem that the area of the substrate 510 is struck. Accordingly, reliability of the first substrate 510 may be deteriorated, and a problem of alignment of components disposed on the first substrate 510 may occur. In addition, when the thickness of the first substrate 510 exceeds about 5 μm, the total thickness of the mask 1000 may be increased. Accordingly, there is a problem in that the mask 1000 cannot be elastically deformed efficiently according to the shape of the user's skin, and thus cannot be effectively in close contact with the user's skin. Preferably, the first substrate 510 may have a thickness of about 0.5 μm to about 3 μm. When the thickness of the first substrate 510 satisfies the above-described range, reliability and alignment characteristics can be maintained and elastically deformed efficiently into a shape corresponding to the user's skin, and the total thickness of the mask 1000 and Weight can be reduced.

상기 제 2 기재(520)는 상기 제 2 베이스층(120) 상에 배치될 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 상기 제 2 베이스층(120) 및 상기 제 2 배선(300) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 상기 제 2 베이스층(120)의 일면과 직접 접촉할 수 있다. 이 경우, 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120)과 이격될 수 있고 상기 제 2 기재(520)와 직접 접촉할 수 있다.The second substrate 520 may be disposed on the second base layer 120. The second substrate 520 may be disposed between the second base layer 120 and the second wiring 300. The second substrate 520 may directly contact one surface of the second base layer 120. In this case, the second wiring 300 may be spaced apart from the second base layer 120 and may directly contact the second substrate 520.

상기 제 2 기재(520)는 투명하며 수분 차단성, 열적 안정성 등을 고려한 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 2 기재(520)는 유연성을 가지며 굴곡진 사용자의 피부 형상에 따라 탄성 변형되는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 기재(520)는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나트탈레이트(PEN), 및 폴리이미드(PI) 등의 수지 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 필름 형태로 제공될 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 상기 제 1 기재(510)와 동일한 재질 및 동일한 형태를 가질 수 있으며, 이에 대해 제한하지는 않는다.The second substrate 520 is transparent and may include a material in consideration of moisture barrier properties and thermal stability. In addition, the second substrate 520 may include a material that has flexibility and is elastically deformed according to the curved shape of the user's skin. For example, the second substrate 520 may include a resin material such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene nattalate (PEN), and polyimide (PI). The second substrate 520 may be provided in the form of a film. The second substrate 520 may have the same material and shape as the first substrate 510, but is not limited thereto.

상기 제 2 기재(520)는 약 0.5㎛ 내지 약 5㎛의 두께를 가질 수 있다. 상기 제 2 기재(520)의 두께가 약 0.5㎛ 미만인 경우, 상기 제 2 기재(520) 상에 배치되는 구성들, 예컨대, 압전소자(400) 등의 무게에 의해 상기 구성들과 중첩되는 상기 제 2 기재(520)의 영역이 쳐지는 문제점이 발생할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 2 기재(520)의 신뢰성이 저하될 수 있고, 상기 제 2 기재(520) 상에 배치되는 구성들의 얼라인(align) 문제가 발생할 수 있다. 또한, 상기 제 2 기재(520)의 두께가 약 5㎛를 초과하는 경우, 상기 마스크(1000)의 전체 두께가 증가될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)가 사용자의 피부 형상에 따라 효율적으로 탄성 변형하지 못하여 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하지 못하는 문제점이 있다. 바람직하게, 상기 제 2 기재(520)는 약 0.5㎛ 내지 약 3㎛의 두께를 가질 수 있다. 상기 제 2 기재(520)의 두께가 상술한 범위를 만족할 경우, 신뢰성 및 얼라인 특성을 유지하며 사용자의 피부와 대응되는 형태로 효율적으로 탄성 변형할 수 있고, 상기 마스크(1000)의 전체 두께 및 무게가 감소할 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 상기 제 1 기재(510)와 동일한 두께를 가질 수 있으며, 이에 대해 제한하지는 않는다.The second substrate 520 may have a thickness of about 0.5 μm to about 5 μm. When the thickness of the second substrate 520 is less than about 0.5 μm, components disposed on the second substrate 520, for example, the second substrate 520 overlapping the components by the weight of the piezoelectric element 400 2 There may be a problem that the area of the substrate 520 is hit. Accordingly, reliability of the second substrate 520 may be deteriorated, and an alignment problem may occur between components disposed on the second substrate 520. In addition, when the thickness of the second substrate 520 exceeds about 5 μm, the total thickness of the mask 1000 may be increased. Accordingly, there is a problem in that the mask 1000 cannot be elastically deformed efficiently according to the shape of the user's skin, and thus cannot be effectively in close contact with the user's skin. Preferably, the second substrate 520 may have a thickness of about 0.5 μm to about 3 μm. When the thickness of the second substrate 520 satisfies the above-described range, reliability and alignment characteristics can be maintained and elastically deformed efficiently into a shape corresponding to the user's skin, and the total thickness of the mask 1000 and Weight can be reduced. The second substrate 520 may have the same thickness as the first substrate 510, but is not limited thereto.

실시예는 상기 제 1 기재(510) 및 상기 제 2 기재(520)가 추가됨에 따라 상기 압전소자(400)의 얼라인(align) 특성을 개선할 수 있다. 또한, 상기 제 1 기재(510) 및 상기 제 2 기재(520)가 추가됨에 외부로부터 내부로 유입된 수분, 이물질의 유입 경로를 증가시킬 수 있어 상기 마스크(1000)는 향상된 신뢰성을 가질 수 있다. In the embodiment, as the first substrate 510 and the second substrate 520 are added, alignment characteristics of the piezoelectric element 400 may be improved. In addition, since the first substrate 510 and the second substrate 520 are added, an inflow path of moisture and foreign substances introduced from the outside may be increased, so that the mask 1000 may have improved reliability.

도 19 내지 도 21은 실시예에 따른 마스크에 인디케이터, 돌기가 제공된 예를 도시한 도면이다.19 to 21 are diagrams illustrating an example in which an indicator and a protrusion are provided to a mask according to an embodiment.

도 19을 참조하면, 상기 마스크(1000)는 인디케이터(610)를 포함할 수 있다. 상기 인디케이터(610)는 LED, 디스플레이, 버저(buzzer) 등과 같이 시각적, 청각적 등 사용자에게 정보를 전달할 수 있는 부재 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 19, the mask 1000 may include an indicator 610. The indicator 610 may include at least one of members such as an LED, a display, and a buzzer that can transmit information to a user, such as visually or aurally.

상기 인디케이터(610)는 상기 마스크(1000)의 외측에 배치되어 상기 마스크(1000)의 동작 상태를 표시할 수 있다. 일례로, 상기 인디케이터(610)는 버저(buzzer)로부터 발생한 청각적 정보를 통해 상기 마스크(1000)의 동작 시작에 대한 정보, 동작 중임을 알리는 정보, 동작 완료에 대한 정보를 제공할 수 있다. 또한, 상기 인디케이터(610)는 LED의 발광 색상에 따라 동작 상태를 표시할 수 있다. 또한, 상기 인디케이터는 상기 디스플레이를 통해 동작중인 주파수 영역대에 대한 정보를 표시할 수 있다. The indicator 610 may be disposed outside the mask 1000 to display an operation state of the mask 1000. For example, the indicator 610 may provide information on the start of the operation of the mask 1000, information indicating that the operation is in progress, and information on the completion of the operation through auditory information generated from a buzzer. In addition, the indicator 610 may display an operation state according to the emission color of the LED. In addition, the indicator may display information on an operating frequency domain through the display.

또한, 도 20 및 도 21을 참조하면, 상기 마스크(1000)는 외측면 상에 배치되는 돌기(620)를 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 돌기(620)는 사용자의 피부와 마주하는 상기 제 2 베이스층(120)의 면 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 돌기(620)는 상기 제 2 배선(300)이 배치되는 상기 제 2 베이스층(120)의 일면과 반대되는 타면 상에 배치될 수 있다.Further, referring to FIGS. 20 and 21, the mask 1000 may include a protrusion 620 disposed on an outer surface. In detail, the protrusion 620 may be disposed on a surface of the second base layer 120 facing the user's skin. For example, the protrusion 620 may be disposed on the other surface opposite to one surface of the second base layer 120 on which the second wiring 300 is disposed.

상기 돌기(620)는 인체에 무해한 재질을 포함하며 상기 제 2 베이스층(120)의 타면으로부터 사용자의 피부 방향으로 돌출된 형태로 배치될 수 있다. 상기 돌기(620)는 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 상에 서로 이격되는 복수의 점 형태로 배치될 수 있다. 또한, 상기 돌기(620)는 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 상에 서로 이격된 복수의 직선 또는 곡선 형태로 배치될 수 있다. 또한, 상기 돌기(620)는 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 상에 적어도 하나의 선(line) 형태로 배치될 수 있다. 일례로, 상기 돌기(620)는 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 상에 적어도 하나의 나선 형태로 배치될 수 있다.The protrusion 620 may include a material harmless to the human body and may be disposed to protrude from the other surface of the second base layer 120 toward the user's skin. The protrusions 620 may be disposed in the form of a plurality of points spaced apart from each other on the other surface of the second base layer 120. In addition, the protrusions 620 may be disposed on the other surface of the second base layer 120 in the form of a plurality of straight lines or curved lines spaced apart from each other. In addition, the protrusion 620 may be disposed in the form of at least one line on the other surface of the second base layer 120. For example, the protrusion 620 may be disposed on the other surface of the second base layer 120 in at least one spiral shape.

상기 돌기(620)는 사용자가 상기 마스크(1000)를 착용할 때, 상기 마스크(1000)와 사용자의 피부 사이에 소정의 공간을 형성할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)를 착용 시 발생하는 압력 및/또는 상기 압전소자(400)에서 발생하는 초음파 에너지에 의해 상기 마스크(1000)와 피부 사이의 화장품 또는 약물이 상기 마스크(1000)의 가장자리 영역으로 밀려나가는 것을 방지할 수 있다. 즉, 상기 돌기(620)는 화장품 또는 약물이 상기 마스크(1000)로부터 벗어나는 것을 방지하는 격벽 역할을 수행할 수 있다. 따라서, 사용자는 상기 마스크(1000)를 이용하여 피부에 화장품 또는 약물을 효과적으로 주입할 수 있다.When the user wears the mask 1000, the protrusion 620 may form a predetermined space between the mask 1000 and the user's skin. Accordingly, by the pressure generated when the mask 1000 is worn and/or the ultrasonic energy generated from the piezoelectric element 400, cosmetics or drugs between the mask 1000 and the skin are at the edge of the mask 1000 It can prevent being pushed into the area. That is, the protrusion 620 may serve as a partition wall preventing cosmetics or drugs from escaping from the mask 1000. Therefore, the user can effectively inject cosmetics or drugs into the skin using the mask 1000.

도 22는 실시예에 따른 마스크를 착용한 사용자를 도시한 도면이고, 도 23은 실시예에 따른 마스크가 적용된 피부 관리 기기를 도시한 도면이다.22 is a diagram illustrating a user wearing a mask according to an embodiment, and FIG. 23 is a diagram illustrating a skin care device to which the mask according to the embodiment is applied.

도 22를 참조하면, 사용자(50)는 상기 마스크(1000)를 착용할 수 있다. 상기 마스크(1000)는 상술한 개구부(1010)를 포함할 수 있고 사용자(50)는 상기 개구부(1010)를 통해 시야를 확보할 수 있다. 또한, 상기 마스크(1000)는 상술한 절단부(1020)를 포함할 수 있고, 상기 절단부(1020)에 의해 상기 마스크(1000)는 굴곡진 피부와 효과적으로 밀착할 수 있다. 이때, 상기 제 2 베이스층(120)의 일면은 사용자(50)의 피부와 직접 접촉할 수 있다. 또한, 상기 제 2 베스층(520)과 사용자(50)의 피부 사이에는 약물 또는 화장품이 배치되어 상기 베이스층(520)은 사용자(50)의 피부와 직간접적으로 접촉할 수 있다.Referring to FIG. 22, the user 50 may wear the mask 1000. The mask 1000 may include the above-described opening 1010, and the user 50 may secure a view through the opening 1010. In addition, the mask 1000 may include the above-described cutting portion 1020, and the mask 1000 may be effectively in close contact with the curved skin by the cutting portion 1020. In this case, one surface of the second base layer 120 may directly contact the skin of the user 50. In addition, drugs or cosmetics are disposed between the second bath layer 520 and the skin of the user 50 so that the base layer 520 may directly or indirectly contact the skin of the user 50.

상기 마스크(1000)는 상기 마스크(1000)와 연결된 외부 전원을 통해 전원을 공급받아 동작할 수 있다. 또한, 상기 마스크(1000)는 상기 마스크(1000)의 외측, 예컨대 상기 제 1 베이스층(110)의 타면 상에 배치된 전원부(미도시)를 통해 전원을 공급받아 동작할 수 있다. The mask 1000 may be operated by receiving power through an external power connected to the mask 1000. In addition, the mask 1000 may be operated by receiving power through a power supply unit (not shown) disposed outside the mask 1000, for example, on the other surface of the first base layer 110.

또한, 도 23을 참조하면, 상기 마스크(1000)는 피부 관리 기기(1)에 적용되어 동작할 수 있다. Also, referring to FIG. 23, the mask 1000 may be applied to and operated on the skin care device 1.

자세하게, 도 23을 참조하면 상기 피부 관리 기기(1)는 일측이 오픈되며 내부에 수용 공간(11)을 포함하는 본체(10)를 포함할 수 있다.In detail, referring to FIG. 23, the skin care device 1 may include a body 10 that is open on one side and includes an accommodation space 11 therein.

상기 본체(10)는 가벼우며 외부의 충격이나 접촉 등으로부터 파손되는 것을 방지할 수 있는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 본체(10)는 플라스틱, 세라믹 재질을 포함하여 외부 환경으로부터 향상된 신뢰성을 가질 수 있고, 상기 수용 공간(11) 내부에 배치되는 상기 마스크(1000)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 본체(10)는 사용자의 눈과 대응되는 위치에 형성되는 시야부(13)를 포함할 수 있다. 상기 시야부(13)는 상기 마스크(1000)의 개구부(1010)와 대응되는 영역에 형성되며 사용자는 상기 시야부(13)를 통해 외부 시야를 확보할 수 있다.The body 10 is light and may include a material capable of preventing damage from external impact or contact. For example, the body 10 may include a plastic or ceramic material, and may have improved reliability from an external environment, and may protect the mask 1000 disposed inside the accommodation space 11. In addition, the main body 10 may include a viewing part 13 formed at a position corresponding to the user's eyes. The viewing part 13 is formed in an area corresponding to the opening 1010 of the mask 1000, and a user can secure an external view through the viewing part 13.

상기 마스크(1000)는 상기 본체(10)의 수용 공간(11) 내에 배치될 수 있다. 상기 마스크(1000)는 상기 본체(10)와 사용자(50)의 피부 사이에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 마스크(1000)의 제 1 베이스층(110)은 상기 본체(10)의 수용 공간(11)과 마주하게 배치될 수 있고, 상기 마스크(1000)의 제 2 베이스층(120)은 사용자(50)의 피부와 마주하도록 배치될 수 있다.The mask 1000 may be disposed in the receiving space 11 of the body 10. The mask 1000 may be disposed between the body 10 and the skin of the user 50. In detail, the first base layer 110 of the mask 1000 may be disposed to face the receiving space 11 of the body 10, and the second base layer 120 of the mask 1000 is 50 can be arranged to face the skin.

상기 마스크(1000)는 상기 본체(10)와 결합할 수 있다. 일례로, 상기 마스크(1000)는 체결 부재(미도시)에 의해 상기 수용 공간(11)의 설정된 위치에 고정될 수 있고, 상기 본체(10)로부터 착탈착 가능한 구조를 가질 수 있다.The mask 1000 may be coupled to the body 10. For example, the mask 1000 may be fixed to a set position of the receiving space 11 by a fastening member (not shown), and may have a structure that is detachable from the main body 10.

상기 마스크(1000)는 상기 마스크(1000)의 외측, 예컨대 상기 제 1 베이스층(110)의 타면 상에 배치된 전원부(미도시)를 통해 전원을 공급받을 수 있다. 이와 다르게, 상기 마스크(1000)는 상기 본체(10)와 연결되어 상기 본체(10)에 배치된 전원부(미도시)를 통해 전원을 공급받을 수 있다.The mask 1000 may receive power through a power supply (not shown) disposed outside the mask 1000, for example, on the other surface of the first base layer 110. Alternatively, the mask 1000 may be connected to the body 10 to receive power through a power supply unit (not shown) disposed on the body 10.

상기 마스크(1000)는 상기 제 1 베이스층(110) 하면에 배치되는 변형 부재(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 변형 부재는 상기 제 1 베이스층(110)과 직접 접촉할 수 있고, 상기 본체(10)의 수용 공간(11)과 마주하며 배치될 수 있다. 즉, 상기 본체(10)와 상기 마스크(1000)의 제 1 베이스층(110) 사이에는 상기 변형 부재가 배치될 수 있다.The mask 1000 may include a deformable member (not shown) disposed on the lower surface of the first base layer 110. The deformable member may directly contact the first base layer 110 and may be disposed facing the receiving space 11 of the main body 10. That is, the deformable member may be disposed between the body 10 and the first base layer 110 of the mask 1000.

상기 변형 부재는 외부 압력에 의해 형태가 변화하는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 변형 부재는 에어갭(air gap) 또는 스펀지 등의 재질을 포함할 수 있으나 이에 제한되지 않으며 외부 압력에 의해 형태가 변하는 다양한 재질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 사용자(50)가 상기 피부 관리 기기(1)를 착용할 경우, 상기 변형 부재는 사용자(50)의 얼굴 형태와 대응되는 형태로 변형할 수 있다. 따라서, 상기 마스크(1000)와 사용자(50)의 피부가 효과적으로 밀착할 수 있다. 또한, 복수의 사용자가 상기 피부 관리 기기(1)를 착용할 경우, 각각의 얼굴 형태와 대응되도록 변형하여 사용자(50)의 피부와 상기 마스크(1000)가 효과적으로 밀착할 수 있다.The deformable member may include a material whose shape is changed by external pressure. For example, the deformable member may include a material such as an air gap or a sponge, but is not limited thereto, and may include various materials whose shape is changed by external pressure. Accordingly, when the user 50 wears the skin care device 1, the deformable member may be transformed into a form corresponding to the face form of the user 50. Accordingly, the mask 1000 and the skin of the user 50 can be effectively brought into close contact. In addition, when a plurality of users wear the skin care device 1, the skin of the user 50 and the mask 1000 may be effectively brought into close contact with each other by deforming to correspond to each face shape.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, and the like described in the above embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Further, the features, structures, effects, and the like illustrated in each embodiment may be combined or modified for other embodiments by a person having ordinary knowledge in the field to which the embodiments belong. Accordingly, contents related to such combinations and modifications should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In addition, although the embodiments have been described above, these are only examples and do not limit the present invention, and those of ordinary skill in the field to which the present invention belongs are illustrated above within the scope not departing from the essential characteristics of the present embodiment. It will be seen that various modifications and applications that are not available are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified and implemented. And differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

Claims (10)

제 1 베이스층 상에 배치되는 제 1 배선;
상기 제 1 배선 상에 배치되는 복수의 압전소자;
상기 복수의 압전소자 상에 배치되는 제 2 배선;
상기 제 2 배선 상에 배치되는 제 2 베이스층; 및
상기 제 1 및 제 2 베이스층 사이에 배치되며, 상기 제 1 배선, 상기 제 2 배선 및 상기 복수의 압전소자를 감싸는 보호층;을 포함하고,
상기 제 1 베이스층, 상기 제 2 베이스층 및 상기 보호층은 동일 재질을 포함하는 마스크.
A first wiring disposed on the first base layer;
A plurality of piezoelectric elements disposed on the first wiring;
Second wirings disposed on the plurality of piezoelectric elements;
A second base layer disposed on the second wiring; And
A protective layer disposed between the first and second base layers and surrounding the first wiring, the second wiring, and the plurality of piezoelectric elements; and
The first base layer, the second base layer, and the protective layer are made of the same material.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 베이스층의 두께는 상기 제 2 베이스층의 두께보다 얇거나 같은 마스크.
The method of claim 1,
The thickness of the first base layer is less than or equal to the thickness of the second base layer.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 배선은 상기 압전소자의 하면과 대응되는 영역에 배치되는 제 1 연결부; 및 상기 제 1 연결부에서 제 1 방향으로 연장하는 제 1 연장부;를 포함하고,
상기 제 2 배선은 상기 압전소자의 상면과 대응되는 영역에 배치되는 제 2 연결부; 및 상기 제 2 연결부에서 제 2 방향으로 연장하는 제 2 연장부를 포함하고,
상기 제 1 연결부의 수평 방향 너비는 상기 압전소자의 하면 너비의 50% 내지 100%이고,
상기 제 2 연결부의 수평 방향 너비는 상기 압전소자의 상면 너비의 50% 내지 100%인 마스크.
The method of claim 1,
The first wiring includes a first connection part disposed in a region corresponding to a lower surface of the piezoelectric element; And a first extension part extending in a first direction from the first connection part,
The second wiring includes a second connector disposed in a region corresponding to an upper surface of the piezoelectric element; And a second extension part extending in a second direction from the second connection part,
The width of the first connection portion in the horizontal direction is 50% to 100% of the width of the lower surface of the piezoelectric element,
A mask having a width of the second connection part in a horizontal direction of 50% to 100% of a width of an upper surface of the piezoelectric element.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 연장부 각각은, 설정된 곡률로 구불거리며 연장하는 곡선의 형태를 가지고,
상기 제 1 및 제 2 연장부 각각의 설정된 곡률은 3R(mm) 내지 20R(mm)인 마스크.
The method of claim 3,
Each of the first and second extension portions has a shape of a curve extending while serpentinely at a set curvature,
The set curvature of each of the first and second extension portions is 3R(mm) to 20R(mm).
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 베이스층 및 상기 제 1 배선 사이에 배치되는 제 1 기재; 및
상기 제 2 베이스층 및 상기 제 2 배선 사이에 배치되는 제 2 기재를 더 포함하는 마스크.
The method of claim 1,
A first substrate disposed between the first base layer and the first wiring; And
A mask further comprising a second substrate disposed between the second base layer and the second wiring.
제 1 보호필름 상에 제 1 배선을 형성하고, 제 2 보호필름 상에 제 2 배선을 형성하는 단계;
상기 제 1 배선 및 상기 제 2 배선 상에 압전소자를 배치하는 단계;
제 1 충진층을 형성하여 상기 압전소자를 밀봉하는 단계;
상기 제 1 및 제 2 보호필름을 제거하여 제 1 구조물을 형성하는 단계; 및
상기 제 1 구조물 상에 제 2 충진층을 형성하는 단계를 포함하는 마스크의 제조방법.
Forming a first wiring on the first protective film and forming a second wiring on the second protective film;
Disposing a piezoelectric element on the first wiring and the second wiring;
Sealing the piezoelectric element by forming a first filling layer;
Forming a first structure by removing the first and second protective films; And
A method of manufacturing a mask including forming a second filling layer on the first structure.
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 충진층을 형성하는 단계는, 상기 제 1 구조물을 몰딩 지그(jig) 내에 배치하여 충진재를 몰딩하여 형성하는 단계인 마스크의 제조방법.
The method of claim 6,
The forming of the second filling layer includes forming the first structure by molding a filler by placing the first structure in a molding jig.
제 6 항에 있어서,
상기 제 1 충진층 및 상기 제 2 충진층은 서로 동일한 재질을 포함하는 마스크의 제조방법.
The method of claim 6,
The method of manufacturing a mask wherein the first filling layer and the second filling layer include the same material.
제 7 항에 있어서,
상기 제 1 충진층 및 상기 제 2 충진층은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함하는 마스크의 제조방법.
The method of claim 7,
The first filling layer and the second filling layer are polyvinyl chloride (PVC) containing silicone, thermoplastic resin, thermoplastic silicone resin, thermoplastic elastomer, polyurethane elastomer, ethylene vinyl acetate (EVA), a harmless plasticizer and a stabilizer. ) A method of manufacturing a mask including at least one of the materials.
일측이 오픈되고 상기 오픈된 영역 내부에 수용 공간을 포함하는 본체; 및
상기 오픈 영역 내에 배치되며 상기 본체와 연결되는 마스크를 포함하고,
상기 마스크는 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 따른 마스크인 피부 관리 기기.
A main body having one side open and an accommodation space in the open area; And
A mask disposed in the open area and connected to the main body,
The skin care device, wherein the mask is a mask according to any one of claims 1 to 5.
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