KR20200142933A - Mask and skin care device including the same - Google Patents

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KR20200142933A
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Abstract

The present invention provides a mask and a skin care device having variability and improved reliability. The mask according to an embodiment of the present invention comprises: a first wiring disposed on a first base layer; a piezoelectric element disposed on the first wiring; a second wiring disposed on the piezoelectric element; a second base layer disposed on the second wiring; a protective layer disposed between the first and second base layers and covering the first wiring, the second wiring and the piezoelectric element; and a barrier layer disposed on at least one of the first and second wirings. The barrier layer includes a material having a lower elastic modulus than that of at least one of the first base layer, the second base layer, and the protective layer. In addition, the skin care device according to an embodiment of the present invention comprises: a main body having one side opened and including an accommodation space inside the open area; and the mask disposed inside the open area and connected to the main body.

Description

마스크 및 이를 포함하는 피부 관리 기기{MASK AND SKIN CARE DEVICE INCLUDING THE SAME}A mask and a skin care device including the same TECHNICAL FIELD [MASK AND SKIN CARE DEVICE INCLUDING THE SAME}

실시예는 마스크 및 이를 포함하는 피부 관리 기기에 관한 것이다.The embodiment relates to a mask and a skin care device including the same.

인간의 피부는 환경오염, 자외선, 스트레스 등의 외적 요인에 따라 손상되거나 오염될 수 있고, 노화 및 호르몬 변화 등의 내적 요인에 의해 주름이 생길 수 있다. 최근 피부에 대한 관심이 높아지면서 피부 치료, 미용 및 안티에이징에 대한 다양한 기기가 개발되고 있다. Human skin may be damaged or contaminated depending on external factors such as environmental pollution, ultraviolet rays, and stress, and wrinkles may occur due to internal factors such as aging and hormonal changes. Recently, as interest in skin increases, various devices for skin treatment, beauty, and anti-aging have been developed.

자세하게, 피부에 열에너지를 인가할 수 있는 기기, 예컨대 적외선 에너지를 인가하여 피부의 탄력을 개선할 수 있는 기기가 개발되고 있다. 또한, 피부에 화장품 또는 약물을 효과적으로 주입하기 위해 음파 또는 광선을 이용한 기기가 개발되고 있다. 예를 들어, 소노포레시스(sonophoresis) 및 레이저폴레션(iaserporation)를 이용하여 피부에 화장품 또는 약물이 주입되는 경로를 형성할 수 있는 기기가 개발되고 있다. 또한, 피부에 화장품 또는 약물을 효과적으로 주입하기 위해 전기적 추진력을 이용한 기기가 개발되고 있다. 예를 들어, 이온토포레시스(iontophoresis), 일렉트로포레이션(electroporation), 일렉트로오스모시스(electroosmosis) 등을 이용하여 화장품 또는 약물에 포함된 이온성 물질을 피부 내부에 효과적으로 주입할 수 있는 기기가 개발되고 있다. 즉, 피부에 광에너지, 미세 전류, 진동 등을 제공하여 사용자의 피부를 케어 또는 치료할 수 있는 다양한 기기가 개발되고 있다. In detail, devices capable of applying thermal energy to the skin, such as devices capable of improving skin elasticity by applying infrared energy, have been developed. In addition, devices using sound waves or light rays have been developed to effectively inject cosmetics or drugs into the skin. For example, a device capable of forming a path through which cosmetics or drugs are injected into the skin by using sonophoresis and laser pollination are being developed. In addition, devices using electric propulsion force have been developed to effectively inject cosmetics or drugs into the skin. For example, a device that can effectively inject ionic substances contained in cosmetics or drugs into the skin using iontophoresis, electroporation, and electroosmosis has been developed. have. That is, various devices are being developed that can care or treat a user's skin by providing light energy, microcurrent, and vibration to the skin.

일반적으로 상술한 기기들은 피부에 탈부착 가능한 패치(patch) 형태로 제공될 수 있고, 특정 피부 영역에 부착되어 부착된 영역의 피부를 케어 또는 치료한다. 또한, 상술한 기기들은 사용자의 얼굴 전체를 덮으며 배치되는 마스크팩 형태로 제공되어 얼굴 피부를 케어 또는 치료한다.In general, the above-described devices may be provided in the form of a patch detachable to the skin, and are attached to a specific skin area to care or treat the skin of the attached area. In addition, the above-described devices are provided in the form of a mask pack disposed to cover the entire user's face to care or treat facial skin.

그러나, 상기 기기들은 소정의 두께로 형성됨에 따라 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하기 어려울 수 있다.However, since the devices are formed to have a predetermined thickness, it may be difficult to effectively contact the user's skin.

또한, 상기 기기들은 양 볼, 코 등과 같이 상대적으로 굴곡진 영역에서 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하기 어려울 수 있다. 자세하게, 상기 기기의 재질, 가변 특성 등에 의해 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하기 어려울 수 있다. 이에 따라, 상기 기기는 사용자의 피부와 밀착하지 않은 상태에서 동작할 수 있고, 동작하는 과정에 사용자의 움직임 및 기기의 진동 등에 의해 사용자의 피부와 이격될 수 있다. 이로 인해, 상기 기기를 이용한 케어 또는 치료 효과가 미미할 수 있다.In addition, the devices may be difficult to effectively contact the user's skin in a relatively curved area such as both cheeks and nose. In detail, it may be difficult to effectively contact the user's skin due to the material and variable characteristics of the device. Accordingly, the device may be operated in a state not in close contact with the user's skin, and may be separated from the user's skin due to the user's movement and vibration of the device during the operation process. For this reason, the care or treatment effect using the device may be insignificant.

또한, 사용자의 피부에 상기 기기를 밀착하는 과정에 상기 기기가 변형되는 문제가 있다. 이로 인해, 상기 기기의 압전소자에서 발생한 초음파의 투과율 특성이 저하되는 문제가 있다.In addition, there is a problem in that the device is deformed while the device is in close contact with the user's skin. As a result, there is a problem that the transmittance characteristics of ultrasonic waves generated from the piezoelectric element of the device are deteriorated.

또한, 상기 기기가 사용자의 피부와 밀착하는 과정에 발생하는 기기의 변형으로 내부 전선이 파손되는 문제가 있다. 특히, 상기 기기 중 상대적으로 굴곡진 피부와 대응되는 영역의 전선은 상기 기기를 착용 시 발생하는 기기의 변형에 의해 단선되는 문제점이 있다.In addition, there is a problem in that the internal wires are damaged due to deformation of the device that occurs while the device is in close contact with the user's skin. In particular, there is a problem in that the electric wire in the area of the device corresponding to the relatively curved skin is disconnected due to deformation of the device that occurs when the device is worn.

이에 따라, 상기 기기는 사용자의 피부에 초음파 에너지를 효과적으로 전달하기 어려운 문제점이 있고, 피부 전체 영역에 초음파 에너지를 고르게 전달하기 어려운 문제점이 있다.Accordingly, the device has a problem in that it is difficult to effectively transmit ultrasonic energy to the user's skin, and it is difficult to evenly transmit ultrasonic energy to the entire skin area.

따라서, 상술한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 마스크가 요구된다.Therefore, a new mask capable of solving the above-described problem is required.

실시예는 가변성을 가지고 향상된 신뢰성을 가지는 마스크 및 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.The embodiment is to provide a mask and skin care device having variability and improved reliability.

또한, 실시예는 사용자의 피부와 효과적으로 밀착할 수 있는 마스크 및 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is to provide a mask and a skin care device capable of effectively contacting the user's skin.

또한, 실시예는 사용자의 피부에 균일한 초음파 에너지를 제공할 수 있는 마스크 및 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is to provide a mask and a skin care device capable of providing uniform ultrasonic energy to a user's skin.

또한, 실시예는 전체적인 두께 및 무게를 감소시킬 수 있는 마스크 및 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is to provide a mask and skin care device capable of reducing the overall thickness and weight.

또한, 실시예는 동작 중 발생하는 초음파 에너지의 손실을 최소화할 수 있는 마스크 및 피부 관리 기기를 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is to provide a mask and a skin care device capable of minimizing the loss of ultrasonic energy generated during operation.

실시예에 따른 마스크는 제 1 베이스층 상에 배치되는 제 1 배선, 상기 제 1 배선 상에 배치되는 압전소자, 상기 압전소자 상에 배치되는 제 2 배선, 상기 제 2 배선 상에 배치되는 제 2 베이스층, 상기 제 1 및 제 2 베이스층 사이에 배치되며 상기 제 1 배선, 상기 제 2 배선 및 상기 압전소자를 감싸는 보호층 및 상기 제 1 및 제 2 배선 중 적어도 하나의 배선 상에 배치되는 배리어층을 포함하고, 상기 배리어층은 상기 제 1 베이스층, 상기 제 2 베이스층 및 상기 보호층 중 적어도 하나보다 탄성률이 낮은 재질을 포함한다.The mask according to the embodiment includes a first wiring disposed on a first base layer, a piezoelectric element disposed on the first wiring, a second wiring disposed on the piezoelectric element, and a second wiring disposed on the second wiring. A base layer, a protective layer disposed between the first and second base layers and surrounding the first wire, the second wire, and the piezoelectric element, and a barrier disposed on at least one of the first and second wires A layer, and the barrier layer includes a material having a lower elastic modulus than at least one of the first base layer, the second base layer, and the protective layer.

또한, 실시예에 따른 피부 관리 기기는 일측이 오픈되고 상기 오픈된 영역 내부에 수용 공간을 포함하는 본체 및 상기 오픈 영역 내에 배치되며 상기 본체와 연결되는 상기 마스크를 포함한다.In addition, a skin care device according to an embodiment includes a body having one side open and an accommodation space in the open area, and the mask disposed in the open area and connected to the body.

실시예에 따른 마스크는 제 1 베이스층, 제 2 베이스층 등에 의해 사용자의 굴곡진 피부 형태에 따라 탄성 변형할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크는 사용자의 피부와 효과적으로 밀착할 수 있다.The mask according to the embodiment may be elastically deformed according to the shape of the user's curved skin by the first base layer, the second base layer, or the like. Accordingly, the mask can effectively contact the user's skin.

또한, 실시예에 따른 마스크는 사용자의 피부에 균일한 초음파 에너지를 제공할 수 있다. 자세하게, 상기 마스크는 압전소자와 대응되는 영역에 배치되는 배리어층을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크가 탄성 변형하여도 상기 압전소자와 대응되는 영역에 배치된 제 1 및 제 2 베이스층의 두께 변화를 최소화할 수 있다. 따라서, 실시예는 상기 마스크가 탄성 변형된 상태에서도 사용자에게 균일한 초음파 에너지를 제공할 수 있다.Also, the mask according to the embodiment may provide uniform ultrasonic energy to the user's skin. In detail, the mask may include a barrier layer disposed in a region corresponding to the piezoelectric element. Accordingly, even when the mask is elastically deformed, changes in the thickness of the first and second base layers disposed in a region corresponding to the piezoelectric element can be minimized. Accordingly, in the embodiment, even when the mask is elastically deformed, uniform ultrasonic energy can be provided to the user.

또한, 실시예에 따른 마스크의 배선은 향상된 신뢰성을 가질 수 있다. 자세하게, 상기 배리어층은 상기 배선과 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 배리어층은 상기 배선 중 상대적으로 신뢰성이 낮은 영역에 배치될 수 있고, 상기 배선에 가해지는 응력을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크의 탄성 변형 시 상기 배선에 가해지는 응력을 최소화할 수 있고, 상기 배선은 상기 마스크의 반복된 탄성 변형에 대한 우수한 신뢰성을 가질 수 있다.In addition, the wiring of the mask according to the embodiment may have improved reliability. In detail, the barrier layer may be disposed in a region corresponding to the wiring. For example, the barrier layer may be disposed in a region of the interconnection with relatively low reliability, and stress applied to the interconnection may be minimized. Accordingly, when the mask is elastically deformed, stress applied to the wiring can be minimized, and the wiring can have excellent reliability against repeated elastic deformation of the mask.

또한, 실시예에 따른 마스크의 배리어층은 상기 압전소자에서 방출된 초음파 에너지를 반사 또는 투과할 수 있는 재질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 베이스층 및 상기 제 2 베이스층의 두께를 감소시킬 수 있어, 보다 슬림한 마스크를 제공할 수 있다. In addition, the barrier layer of the mask according to the embodiment may include a material capable of reflecting or transmitting ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element. Accordingly, the thickness of the first base layer and the second base layer can be reduced, thereby providing a slimmer mask.

또한, 실시예에 따른 마스크는 복수 개의 압전소자를 포함하며, 상기 압전소자는 상기 마스크의 전체 영역에 초음파 에너지를 발생할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크를 착용한 사용자에게 균일한 세기의 초음파 에너지를 제공할 수 있다.In addition, the mask according to the embodiment includes a plurality of piezoelectric elements, and the piezoelectric elements may generate ultrasonic energy in the entire area of the mask. Accordingly, ultrasonic energy having a uniform intensity may be provided to a user wearing the mask.

또한, 실시예에 따른 압전소자는 사용자의 얼굴 형태에 따라 서로 상이한 간격으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 사용자의 코 및 볼 등과 같이 상대적으로 굴곡진 영역과 이마 등과 같이 평평한 영역에 배치되는 압전소자는 서로 다른 간격으로 배치되어, 사용자의 얼굴 중 굴곡진 영역에도 균일한 세기의 초음파 에너지를 제공할 수 있다.In addition, the piezoelectric elements according to the embodiment may be disposed at different intervals according to the shape of the user's face. For example, piezoelectric elements arranged in relatively curved areas such as the user's nose and cheeks, and flat areas such as forehead are arranged at different intervals, so that the ultrasonic energy of uniform intensity is applied to the curved area of the user's face. Can provide.

도 1은 실시예에 따른 마스크의 정면도이다.
도 2는 도 1의 A1 영역의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 A1 영역의 상면도이다.
도 4는 도 1의 A1 영역의 다른 상면도이다.
도 5는 도 4의 A-A' 단면을 도시한 단면도이다.
도 6은 도 5의 A2 영역의 확대도이다.
도 7은 도 4의 A-A' 단면을 도시한 다른 단면도이다.
도 8은 도 4의 A-A' 단면을 도시한 또 다른 단면도이다.
도 9는 도 1의 A1 영역의 또 다른 상면도이다.
도 10은 도 9의 B-B' 단면을 도시한 단면도이다.
도 11은 도 1의 A1 영역의 다른 분해 사시도이다.
도 12는 도 11의 C-C' 단면을 도시한 단면도이다.
도 13 내지 도 15는 실시예에 따른 마스크에 인디케이터, 돌기가 제공된 예를 도시한 도면이다.
도 16은 실시예에 따른 마스크를 착용한 사용자를 도시한 도면이다.
도 17은 실시예에 따른 마스크가 적용된 피부 관리 기기를 도시한 도면이다.
1 is a front view of a mask according to an embodiment.
FIG. 2 is an exploded perspective view of area A1 of FIG. 1.
3 is a top view of area A1 of FIG. 1.
4 is another top view of area A1 of FIG. 1.
5 is a cross-sectional view showing a cross-section AA′ of FIG. 4.
6 is an enlarged view of area A2 of FIG. 5.
7 is another cross-sectional view showing a cross-section AA′ of FIG. 4.
FIG. 8 is another cross-sectional view showing a cross-section AA′ of FIG. 4.
9 is another top view of area A1 of FIG. 1.
10 is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional view taken along BB′ of FIG. 9.
11 is another exploded perspective view of area A1 of FIG. 1.
12 is a cross-sectional view illustrating a cross-section CC' of FIG. 11.
13 to 15 are diagrams illustrating examples in which indicators and protrusions are provided to a mask according to an embodiment.
16 is a diagram illustrating a user wearing a mask according to an embodiment.
17 is a diagram illustrating a skin care device to which a mask is applied according to an embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다.However, the technical idea of the present invention is not limited to some embodiments to be described, but may be implemented in various different forms, and within the scope of the technical idea of the present invention, one or more of the constituent elements may be selectively selected between the embodiments. It can be combined with and substituted with.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.In addition, terms (including technical and scientific terms) used in the embodiments of the present invention are generally understood by those of ordinary skill in the art, unless explicitly defined and described. It can be interpreted as a meaning, and terms generally used, such as terms defined in a dictionary, may be interpreted in consideration of the meaning in the context of the related technology.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, "A 및(와) B, C중 적어도 하나(또는 한 개 이상)"로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다.In addition, terms used in the embodiments of the present invention are for describing the embodiments and are not intended to limit the present invention. In the present specification, the singular form may include the plural form unless specifically stated in the phrase, and when described as "at least one (or more than one) of A and (and) B and C", it is combined with A, B, C It may contain one or more of all possible combinations.

또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다. 그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속'되는 경우도 포함할 수 있다.In addition, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used in describing the constituent elements of the embodiment of the present invention. These terms are only for distinguishing the component from other components, and are not limited to the nature, order, or order of the component by the term. And, when a component is described as being'connected','coupled' or'connected' to another component, the component is not only directly connected, coupled or connected to the other component, but also the component and The case of being'connected','coupled', or'connected' due to another element between the other elements may also be included.

또한, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우뿐만 아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)"으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In addition, when it is described as being formed or disposed on the “top (top) or bottom (bottom)” of each component, the top (top) or bottom (bottom) is one as well as when the two components are in direct contact It also includes a case in which the above other component is formed or disposed between the two components. In addition, when expressed as "upper (upper) or lower (lower)", the meaning of not only an upward direction but also a downward direction based on one component may be included.

또한, 발명의 실시예에 대한 설명을 하기 앞서 제 1 방향은 도면에 도시된 x축 방향을 의미할 수 있고, 제 2 방향은 상기 제 1 방향과 다른 방향일 수 있다. 일례로, 상기 제 2 방향은 상기 제 1 방향과 수직인 방향으로 도면에 도시된 y축 방향을 의미할 수 있다. 또한, 수평 방향은 제 1 및 제 2 방향을 의미할 수 있고, 수직 방향은 상기 제 1 및 제 2 방향 중 적어도 한 방향과 수직인 방향을 의미할 수 있다. 예를 들어, 상기 수평 방향은 도면의 x축 및 y축 방향을 의미할 수 있고, 수직 방향은 도면의 z축 방향으로 상기 x축 및 y축 방향과 수직인 방향일 수 있다.In addition, before describing the embodiments of the present invention, the first direction may refer to the x-axis direction shown in the drawings, and the second direction may be a different direction from the first direction. For example, the second direction may mean a y-axis direction shown in the drawing in a direction perpendicular to the first direction. In addition, the horizontal direction may mean first and second directions, and the vertical direction may mean a direction perpendicular to at least one of the first and second directions. For example, the horizontal direction may mean the x-axis and y-axis directions of the drawing, and the vertical direction may be a direction perpendicular to the x-axis and y-axis directions in the z-axis direction of the drawing.

도 1은 실시예에 따른 마스크의 정면도이고, 도 2는 도 1의 A1 영역의 분해 사시도이다. 또한, 도 3 및 도 4는 도 1의 A1 영역의 상면도이고, 도 5는 도 4의 A-A' 단면을 도시한 단면도이며 도 6은 도 5의 A2 영역의 확대도이다.1 is a front view of a mask according to an embodiment, and FIG. 2 is an exploded perspective view of area A1 of FIG. 1. In addition, FIGS. 3 and 4 are top views of area A1 of FIG. 1, FIG. 5 is a cross-sectional view showing section A-A′ of FIG. 4, and FIG. 6 is an enlarged view of area A2 of FIG. 5.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 실시예에 따른 마스크(1000)는 사람의 얼굴 형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 상기 마스크(1000)는 사용자의 얼굴을 커버할 수 있는 소정의 크기로 제공되며 사용자의 얼굴과 밀착하기 위해 소정의 탄성을 가질 수 있다. 상기 마스크(1000)는 사용자의 피부와 접촉하는 일면 및 상기 일면과 반대되는 타면을 포함하며, 상기 마스크(1000)의 일면은 인체에 무해한 재질로 제공되어 사용자의 피부와 장시간 접촉하여도 무해할 수 있다.1 to 6, the mask 1000 according to the embodiment may have a shape corresponding to a shape of a human face. The mask 1000 is provided in a predetermined size to cover the user's face, and may have a predetermined elasticity in order to closely contact the user's face. The mask 1000 includes one surface in contact with the user's skin and the other surface opposite to the one surface, and one surface of the mask 1000 is made of a material that is harmless to the human body, so that it may be harmless even if it is in contact with the user's skin for a long time. have.

상기 마스크(1000)는 개구부(1010) 및 절단부(1020) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 개구부(1010)는 사용자의 눈, 입 등과 대응되는 부위에 형성될 수 있다. 상기 개구부(1010)는 상기 마스크(1000)의 사용자의 피부와 마주하는 일면 및 타면을 관통하는 영역으로 사용자가 상기 마스크(1000)를 착용할 경우 사용자의 눈, 입 등은 상기 개구부(1010)에 삽입될 수 있고, 상기 개구부(1010)를 제외한 영역은 사용자의 얼굴과 밀착할 수 있다. The mask 1000 may include at least one of an opening 1010 and a cutout 1020. In detail, the opening 1010 may be formed in a portion corresponding to the user's eyes or mouth. The opening 1010 is a region penetrating one surface and the other surface of the mask 1000 facing the user's skin. When the user wears the mask 1000, the user's eyes, mouth, etc. are in the opening 1010. It may be inserted, and the area excluding the opening 1010 may be in close contact with the user's face.

또한, 상기 절단부(1020)는 상기 마스크(1000)와 피부와의 밀착력을 향상시키기 위해 상대적으로 굴곡진 양쪽 볼 라인, 턱 등과 대응되는 부위에 형성될 수 있으며 이에 대해 제한하지는 않는다. 상기 절단부(1020)는 상기 마스크(1000)의 일면 및 타면이 부분적으로 절단된 형태를 가질 수 있다.In addition, the cutting portion 1020 may be formed in a portion corresponding to the relatively curved both ball lines, chins, etc. in order to improve adhesion between the mask 1000 and the skin, but is not limited thereto. The cutting part 1020 may have a form in which one surface and the other surface of the mask 1000 are partially cut.

상기 마스크(1000)는 사용자의 피부 상에 접착되며 내부에 포함된 압전 부재를 통해 사용자의 피부에 초음파를 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000) 및 상기 피부 사이의 약물 또는 화장품을 사용자에게 효과적으로 제공할 수 있다. The mask 1000 is adhered to the user's skin and may provide ultrasound to the user's skin through a piezoelectric member included therein. Accordingly, a drug or cosmetics between the mask 1000 and the skin can be effectively provided to the user.

실시예에 따른 마스크(1000)에서 상기 개구부(1010)를 제외한 영역은 제 1 베이스층(110), 제 1 배선(200), 압전소자(400), 제 2 배선(300), 제 2 베이스층(120), 보호층(550) 및 배리어층(600)을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 마스크(1000)는 상기 제 1 베이스층(110) 상에 순차적으로 배치되는 제 1 배선(200), 압전소자(400), 제 2 배선(300), 제 2 베이스층(120)을 포함할 수 있고, 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120) 사이에 배치되는 보호층(550)을 포함할 수 있다.In the mask 1000 according to the embodiment, the first base layer 110, the first wiring 200, the piezoelectric element 400, the second wiring 300, and the second base layer are regions excluding the opening 1010. 120, a protective layer 550, and a barrier layer 600 may be included. In detail, the mask 1000 includes a first wiring 200, a piezoelectric element 400, a second wiring 300, and a second base layer 120 sequentially disposed on the first base layer 110. It may include, and may include a protective layer 550 disposed between the first base layer 110 and the second base layer 120.

상기 제 1 베이스층(110)은 인체에 무해한 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1 베이스층(110)은 연질이면서 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 베이스층(110)은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 바람직하게, 상기 제 1 베이스층(110)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있고 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함할 수 있다.The first base layer 110 may include a material harmless to the human body. In addition, the first base layer 110 may include a soft and elastic material. For example, the first base layer 110 is polyvinyl chloride to which silicone, thermoplastic resin, thermoplastic silicone resin, thermoplastic elastomer, polyurethane elastomer, ethylene vinyl acetate (EVA), a harmless plasticizer and a stabilizer are added ( PVC) may include at least one material. Preferably, the first base layer 110 is relatively light, can minimize irritation upon contact with the user's skin, and may include a silicone elastomer having a predetermined elasticity.

상기 제 1 베이스층(110)은 후술할 압전소자(400)에서 방출된 파장을 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로 반사시킬 수 있다. 즉, 상기 제 1 베이스층(110)은 반사층일 수 있다. The first base layer 110 may reflect a wavelength emitted from the piezoelectric element 400 to be described later in the direction of one surface of the mask 1000. That is, the first base layer 110 may be a reflective layer.

이를 위해 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 후술할 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)보다 얇거나 같을 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)에서 상기 제 1 베이스층(110) 방향으로 방출된 파장이 상기 제 1 베이스층(110)에 반사되기 위해 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)보다 얇거나 같을 수 있다. 즉, 상기 제 2 베이스층(120)은 사용자의 피부와 마주하는 베이스층일 수 있고, 상기 제 1 베이스층(110)은 상기 제 2 베이스층(120)과 반대되는 영역에 배치되는 베이스층일 수 있다.To this end, the thickness t1 of the first base layer 110 may be smaller than or equal to the thickness t2 of the second base layer 120 to be described later. In detail, the thickness t1 of the first base layer 110 in order to reflect the wavelength emitted from the piezoelectric element 400 toward the first base layer 110 to the first base layer 110 is It may be thinner than or equal to the thickness t2 of the second base layer 120. That is, the second base layer 120 may be a base layer facing the user's skin, and the first base layer 110 may be a base layer disposed in an area opposite to the second base layer 120. .

상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 약 50㎛ 내지 약 10mm 일 수 있다. 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 약 50㎛ 미만인 경우, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 상대적으로 얇아 상기 제 1 베이스층(110) 상에 배치된 구성들을 효과적으로 보호할 수 없다. 자세하게, 상기 마스크(1000)가 탄성 변형하여 상기 제 1 베이스층(110)이 탄성 변형할 경우 상기 제 1 베이스층(110) 상의 배선들(200, 300) 및 압전소자(400)를 효과적으로 보호할 수 없다. The thickness t1 of the first base layer 110 may be about 50 μm to about 10 mm. When the thickness t1 of the first base layer 110 is less than about 50 μm, the thickness t1 of the first base layer 110 is relatively thin, so that the configuration is disposed on the first base layer 110 Cannot effectively protect them. In detail, when the mask 1000 is elastically deformed and the first base layer 110 is elastically deformed, the wirings 200 and 300 and the piezoelectric element 400 on the first base layer 110 can be effectively protected. Can't.

또한, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 약 10mm를 초과할 경우, 전체 마스크(1000)의 두께가 증가할 수 있고, 상기 압전소자(400)에서 상기 제 1 베이스층(110) 방향으로 방출된 파장 대부분이 상기 제 1 베이스층(110)을 통과하여 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로 반사되는 양이 적을 수 있다. In addition, when the thickness t1 of the first base layer 110 exceeds about 10 mm, the thickness of the entire mask 1000 may increase, and the first base layer 110 in the piezoelectric element 400 The amount of most of the wavelengths emitted in the) direction passes through the first base layer 110 and is reflected in the direction of one surface of the mask 1000 may be small.

또한, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 약 10mm를 초과할 경우, 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로의 반사를 위해 상기 제 2 베이스층(120)의 요구 두께가 증가할 수 있고, 반사를 위해 상기 압전소자(400)에서 발생하는 파장의 영역대가 높아 마스크(1000)에 사용하기 적절하지 않을 수 있다. In addition, when the thickness t1 of the first base layer 110 exceeds about 10 mm, the required thickness of the second base layer 120 may increase for reflection in the direction of one surface of the mask 1000. In addition, since the range of wavelengths generated by the piezoelectric element 400 for reflection is high, it may not be suitable for use in the mask 1000.

또한, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)가 약 10mm를 초과할 경우, 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 특성이 저하될 수 있다. 이에 따라 상기 마스크(1000)가 사용자의 피부와 대응되는 형태로 효과적으로 탄성 변형하지 못할 수 있다.In addition, when the thickness t1 of the first base layer 110 exceeds about 10 mm, the elastic deformation characteristics of the mask 1000 may be deteriorated. Accordingly, the mask 1000 may not be elastically deformed effectively in a shape corresponding to the user's skin.

따라서, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 상기와 같은 문제를 방지하기 위해 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)는 약 100㎛ 내지 약 1000㎛ 일 수 있다. 즉, 상기 제 1 베이스층(110)은 신뢰성, 반사 특성, 제조되는 마스크(1000)의 가변성, 두께, 무게 및 초음파 임피던스 특징 등을 고려하여 약 100㎛ 내지 약 1000㎛의 두께 범위를 가지는 것이 바람직하다.Therefore, it is preferable that the thickness t1 of the first base layer 110 satisfies the above-described range in order to prevent the above problems. More preferably, the thickness t1 of the first base layer 110 may be about 100 μm to about 1000 μm. That is, it is preferable that the first base layer 110 has a thickness range of about 100 μm to about 1000 μm in consideration of reliability, reflection characteristics, variability of the manufactured mask 1000, thickness, weight, and ultrasonic impedance characteristics. Do.

또한, 상기 제 1 베이스층(110)은 상기 압전소자(400)에서 발생하는 파장을 효과적으로 반사시키기 위해 내부에 홈, 기공 등이 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 홈, 기공은 효과적인 반사를 상기 압전소자(400)와 중첩되는 영역에 배치될 수 있으며 이에 대해 제한하지 않는다.In addition, the first base layer 110 may have grooves and pores formed therein to effectively reflect the wavelength generated by the piezoelectric element 400. For example, the grooves and pores may be disposed in a region overlapping with the piezoelectric element 400 for effective reflection, but is not limited thereto.

상기 제 1 베이스층(110) 상에는 제 1 배선(200)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 압전소자(400)와 마주하는 상기 제 1 베이스층(110)의 일면 상에 배치될 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110) 상에서 제 1 방향(x축 방향)으로 연장할 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110)의 일면과 직접 접촉할 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110)의 일면 상에 증착, 인쇄, 접착 등의 공정으로 형성될 수 있다. 상기 제 1 배선(200)은 상기 압전소자(400)와 전기적으로 연결될 수 있다.A first wiring 200 may be disposed on the first base layer 110. The first wiring 200 may be disposed on one surface of the first base layer 110 facing the piezoelectric element 400. The first wiring 200 may extend on the first base layer 110 in a first direction (x-axis direction). The first wiring 200 may directly contact one surface of the first base layer 110. The first wiring 200 may be formed on one surface of the first base layer 110 by a process such as deposition, printing, or bonding. The first wiring 200 may be electrically connected to the piezoelectric element 400.

상기 제 1 배선(200)은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 배선(200)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1 배선(200)은 카본(carbon) 등과 같은 비금속을 포함할 수 있고, 전도성 탄성체 등을 포함할 수 있다. The first wiring 200 may include a conductive material. For example, the first wiring 200 is aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti) And it may include at least one metal of these alloys. In addition, the first wiring 200 may include a non-metal such as carbon, and may include a conductive elastic body.

상기 제 1 배선(200)은 하나의 층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 일례로, 상기 제 1 배선(200)은 상술한 재질 중 선택되는 하나를 포함하는 단일층 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 1 배선(200)은 상술한 재질 중 선택되는 금속 재질과 전도성 탄성체를 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다.The first wiring 200 may have a single layer or a multilayer structure. As an example, the first wiring 200 may have a single layer structure including one selected from the above-described materials. In addition, the first wiring 200 may have a multilayer structure including a metal material selected from the above-described materials and a conductive elastic body.

상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110) 상에 배치되는 복수의 제 1 서브 배선(201)들을 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 1 서브 배선(201) 각각은 제 1 방향으로 연장하며 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향으로 서로 이격하여 배치될 수 있다. 상기 복수의 제 1 서브 배선(201)들은 서로 전기적으로 연결될 수 있다. 여기서 제 2 방향은 상기 제 1 방향과 다른 방향으로 상기 제 1 방향과 수직인 방향일 수 있으나 이에 대해 제한하지 않는다.The first wiring 200 may include a plurality of first sub-wirings 201 disposed on the first base layer 110. Each of the plurality of first sub-wires 201 may extend in a first direction and may be disposed to be spaced apart from each other in a second direction different from the first direction. The plurality of first sub-wires 201 may be electrically connected to each other. Here, the second direction may be a direction perpendicular to the first direction in a direction different from the first direction, but is not limited thereto.

상기 제 1 서브 배선(201)의 두께는 약 2㎛ 내지 약 50㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께는 약 2㎛ 내지 약 40㎛일 수 있다. 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께가 약 2㎛ 미만인 경우 전기적 특성이 저하될 수 있고, 균일하게 형성하기 어려울 수 있다. 또한, 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께가 약 50㎛를 초과할 경우 상기 마스크(1000)의 전체 두께가 증가할 수 있고, 상기 제 1 배선(200)의 제조 시간이 증가할 수 있다. 또한, 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께가 너무 두꺼워 스트레쳐블 특성이 저하될 수 있다. 바람직하게, 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께는 수평 방향으로의 스트레쳐블 특성, 신뢰성 및 공정 효율을 고려하여 약 5㎛ 내지 약 35㎛ 이하일 수 있다.The thickness of the first sub-wiring 201 may be about 2 μm to about 50 μm. In detail, the thickness of the first sub-wire 201 may be about 2 μm to about 40 μm. When the thickness of the first sub-wiring 201 is less than about 2 μm, electrical characteristics may be deteriorated, and it may be difficult to form uniformly. In addition, when the thickness of the first sub-wire 201 exceeds about 50 μm, the total thickness of the mask 1000 may increase, and the manufacturing time of the first wire 200 may increase. In addition, the first sub-wiring 201 may be too thick to reduce stretchable characteristics. Preferably, the thickness of the first sub-wire 201 may be about 5 μm to about 35 μm or less in consideration of stretchable characteristics, reliability, and process efficiency in the horizontal direction.

또한, 제 1 서브 배선(201)의 선폭은 약 50㎛ 내지 약 500㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭은 약 100㎛ 내지 약 450㎛일 수 있다. 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭은 상기 제 1 서브 배선(201)의 두께보다 클 수 있다. 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭이 약 50㎛ 미만인 경우 신뢰성에 저하될 수 있고, 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭이 약 500㎛를 초과할 경우 연신율이 저하되어 스트레쳐블 특성이 저하될 수 있다. 바람직하게 상기 제 1 서브 배선(201)의 선폭은 스트레쳐블 특성을 고려하여 약 100㎛ 내지 약 400㎛일 수 있다.In addition, the line width of the first sub-wire 201 may be about 50 μm to about 500 μm. In detail, the line width of the first sub-wire 201 may be about 100 μm to about 450 μm. A line width of the first sub-wire 201 may be greater than a thickness of the first sub-wire 201. If the line width of the first sub-wire 201 is less than about 50 μm, reliability may be degraded, and if the line width of the first sub-wire 201 exceeds about 500 μm, the elongation rate decreases, resulting in a stretchable characteristic. It can be degraded. Preferably, the line width of the first sub-wire 201 may be about 100 μm to about 400 μm in consideration of stretchable characteristics.

상기 제 1 배선(200)은 제 1 연결부(210) 및 제 1 연장부(220)를 포함할 수 있다.The first wiring 200 may include a first connection part 210 and a first extension part 220.

상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 수직 방향으로 중첩되는 영역에 배치될 수 있다. 상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 마주할 수 있다. 상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)와 대응되는 개수로 제공될 수 있다.The first connection part 210 may be disposed in a region corresponding to a lower surface of the piezoelectric element 400. In detail, the first connection part 210 may be disposed in a region overlapping the lower surface of the piezoelectric element 400 in a vertical direction. The first connection part 210 may face a lower surface of the piezoelectric element 400. The first connector 210 may be provided in a number corresponding to the piezoelectric element 400.

상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 상기 제 1 연결부(210)는 상기 압전소자(400)의 하면과 대응되는 너비를 가질 수 있다. 일례로, 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400) 하면의 수평 방향 너비보다 작거나 같을 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400) 하면의 수평 방향 너비의 약 50% 내지 약 100%일 수 있다. 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비가 약 50% 미만인 경우, 상기 제 1 배선(200)과 상기 압전소자(400) 사이의 전기적 특성이 저하될 수 있다. 또한, 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비가 상기 압전소자(400)의 하면 너비보다 클 경우 초음파 에너지의 투과율이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 연결부(210)의 수평 방향 너비는 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.The first connection part 210 may have a shape corresponding to a lower surface of the piezoelectric element 400. The first connection part 210 may have a width corresponding to a lower surface of the piezoelectric element 400. For example, the width in the horizontal direction of the first connector 210 may be less than or equal to the width in the horizontal direction of the bottom surface of the piezoelectric element 400. In detail, the width of the first connection part 210 in the horizontal direction may be about 50% to about 100% of the width of the lower surface of the piezoelectric element 400 in the horizontal direction. When the width of the first connection part 210 in the horizontal direction is less than about 50%, electrical characteristics between the first wiring 200 and the piezoelectric element 400 may be deteriorated. In addition, when the width in the horizontal direction of the first connector 210 is larger than the width of the lower surface of the piezoelectric element 400, the transmittance of ultrasonic energy may be reduced. Accordingly, it is preferable that the horizontal width of the first connection part 210 satisfies the above-described range.

상기 제 1 연장부(220)는 상기 제 1 연결부(210)로부터 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 상기 제 1 연장부(220)는 복수의 제 1 연결부(210) 사이에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 연장부(220)는 제 1 방향으로 이격된 상기 제 1 연결부(210) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 1 연장부(220)는 인접한 상기 제 1 연결부(210)들 사이를 연결할 수 있다.The first extension part 220 may extend in a first direction from the first connection part 210. The first extension part 220 may be disposed between a plurality of first connection parts 210. In detail, the first extension part 220 may be disposed between the first connection parts 210 spaced apart in a first direction. That is, the first extension part 220 may connect between adjacent first connection parts 210.

상기 제 1 배선(200)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 평면에서 보았을 때 상기 복수의 제 1 서브 배선(201)들 각각은 도 3과 같이 직선의 형태로 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 자세하게, 복수의 제 1 서브 배선(201)은 인접한 제 1 서브 배선(201)과 등간격으로 제 2 방향으로 이격되며, 직선의 형태로 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 즉, 상기 제 1 배선(200)의 제 1 연장부(220)는 제 1 방향으로 연장하는 직선의 형태를 가질 수 있다.The first wiring 200 may have various shapes. For example, when viewed in a plan view, each of the plurality of first sub-wires 201 may extend in a first direction in a linear shape as shown in FIG. 3. In detail, the plurality of first sub-wires 201 are spaced apart from the adjacent first sub-wires 201 in the second direction at equal intervals, and may extend in the first direction in the form of a straight line. That is, the first extension part 220 of the first wiring 200 may have a shape of a straight line extending in the first direction.

이와 다르게, 평면에서 보았을 때, 상기 복수의 제 1 서브 배선(201)들 각각은 도 4와 같이 곡선의 형태로 제 1 방향으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 제 1 서브 배선(201)들 각각은 구불거리는 패턴이 반복되는 형태로 제공될 수 있다. 즉, 상기 제 1 배선(200)의 제 1 연장부(220)는 제 1 방향으로 연장하는 곡선의 형태를 가질 수 있다.In contrast, when viewed in a plan view, each of the plurality of first sub-wires 201 may extend in the first direction in a curved shape as shown in FIG. 4. For example, each of the plurality of first sub-wires 201 may be provided in a form in which a wavy pattern is repeated. That is, the first extension part 220 of the first wiring 200 may have a curved shape extending in the first direction.

이때, 상기 제 1 연장부(220)는 약 3R 내지 약 20R(mm)의 곡률 패턴을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)가 일 방향으로 연신되거나 수축할 경우, 상기 제 1 배선(200)은 스트레쳐블(stretchable) 특성을 가지며 끊어지지 않을 수 있다. 바람직하게, 상기 제 1 연장부(220)는 약 5R 내지 약 15R(mm)의 곡률 패턴을 가질 수 있다. 또한, 상기 제 1 연장부(220)는 약 10% 내지 약 50%의 연신율을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 배선(200)은 보다 향상된 스트레쳐블 특성을 가질 수 있어 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 사용자의 피부와의 밀착성을 향상시킬 수 있다.In this case, the first extension part 220 may have a curvature pattern of about 3R to about 20R (mm). Accordingly, when the mask 1000 is stretched or contracted in one direction, the first wiring 200 has a stretchable characteristic and may not be cut off. Preferably, the first extension part 220 may have a curvature pattern of about 5R to about 15R (mm). In addition, the first extension part 220 may have an elongation of about 10% to about 50%. Accordingly, since the first wiring 200 may have improved stretchable characteristics, reliability may be improved, and adhesion with the user's skin may be improved.

이와 또 다르게, 도면에는 도시하지 않았으나 상기 제 1 연장부(220)는 제 1 방향으로 연장하는 직선 및 곡선이 혼재된 패턴이 반복되는 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 평면에서 보았을 때 사용자의 얼굴 중 상대적으로 굴곡진 영역(코, 볼 등)과 중첩되는 영역에 위치한 상기 제 1 연장부(220)는 곡선 형태로 제공될 수 있고, 상대적으로 평평한 영역(이마 등)과 중첩되는 영역에 위치한 상기 제 1 연장부(220)는 직선 형태로 제공될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)를 사용자의 얼굴에 부착할 경우, 상기 마스크(1000)의 변형에 의해 상기 제 1 배선(200)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제 1 연장부(220)는 직선 및 곡선이 혼재된 형태로 제공되어 전기적 특성을 유지함과 동시에 상기 제 1 배선(200)이 차지하는 비율을 감소시킬 수 있다. Alternatively, although not shown in the drawings, the first extension part 220 may have a shape in which a pattern in which a straight line and a curve extending in a first direction are mixed is repeated. For example, the first extension part 220 located in an area overlapping with a relatively curved area (nose, cheek, etc.) of the user's face when viewed from a plane may be provided in a curved shape, and a relatively flat area The first extension part 220 located in a region overlapping with (forehead, etc.) may be provided in a straight line. Accordingly, when the mask 1000 is attached to the user's face, it is possible to prevent the first wiring 200 from being damaged due to the deformation of the mask 1000. In addition, since the first extension part 220 is provided in a form in which a straight line and a curved line are mixed, an electrical characteristic can be maintained and a ratio occupied by the first wiring 200 can be reduced.

이에 따라, 상기 제 1 배선(200)의 제조 비용은 감소할 수 있고, 상기 압전소자(400)에서 방출되는 초음파 에너지의 손실을 최소화할 수 있다.Accordingly, the manufacturing cost of the first wiring 200 may be reduced, and loss of ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400 may be minimized.

상기 제 1 베이스층(110) 상에는 압전소자(400)가 배치될 수 있다. 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 상에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200)의 제 1 연결부(210) 상에 배치되어 상기 제 1 배선(200)과 전기적으로 연결될 수 있다.A piezoelectric element 400 may be disposed on the first base layer 110. The piezoelectric element 400 may be disposed on the first wiring 200. In detail, the piezoelectric element 400 may be disposed on the first connection part 210 of the first wire 200 to be electrically connected to the first wire 200.

상기 압전소자(400)는 세라믹 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 압전소자(400)는 ZnO, AlN, LiNbO4, 납 안티몬 주석산염(lead antimony stannate), 납 마그네슘 탄탈산염(lead magnesium tantalate), 납 니켈 탄탈산염(lead nickel tantalate), 티탄산염(titanates), 텅스텐산염(tungstates), 지르콘산염(zirconates), 또는 납 지르콘산염 티탄산염[Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)], 납 란탄 지르콘산염 티탄산염(PLZT), 납 니오브 지르콘산염 티탄산염(PNZT), BaTiO3, SrTiO3, 납 마그네슘 니오브산염, 납 니켈 니오브산염, 납 망간 니오브산염, 납 아연 니오브산염, 납 티탄산염을 포함하는 납, 바륨, 비스무스, 또는 스트론튬의 니오브산염(niobates) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The piezoelectric element 400 may include a ceramic material. For example, the piezoelectric element 400 includes ZnO, AlN, LiNbO 4 , lead antimony stannate, lead magnesium tantalate, lead nickel tantalate, and titanate ( titanates), tungstates, zirconates, or lead zirconate titanate [Pb(Zr x Ti 1-x )O 3 (PZT)], lead lanthanum zirconate titanate (PLZT), lead niobium Zirconate titanate (PNZT), BaTiO 3 , SrTiO 3 , lead magnesium niobate, lead nickel niobate, lead manganese niobate, lead zinc niobate, lead including lead titanate, barium, bismuth, or niobium of strontium It may contain at least one of niobates.

상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 상에 복수개가 배치될 수 있다. 상기 복수의 압전소자(400)는 상기 제 1 서브 배선(201) 상에서 서로 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 압전소자(400)는 상기 제 1 서브 배선(201) 상의 제 1 연결부(210) 상에 배치될 수 있다. 자세하게, 하나의 상기 압전소자(400)는 하나의 제 1 연결부(210) 상에 배치될 수 있다. 상기 압전소자(400)의 하면 중심은 상기 제 1 서브 배선(201)과 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)의 하면 중심은 상기 제 1 연결부(210)와 중첩될 수 있다. 더 자세하게, 상기 압전소자(400)의 하면 중심은 상기 제 1 연결부(210)의 중심과 중첩될 수 있다.A plurality of piezoelectric elements 400 may be disposed on the first wiring 200. The plurality of piezoelectric elements 400 may be disposed to be spaced apart from each other on the first sub-wire 201. For example, the plurality of piezoelectric elements 400 may be disposed on the first connection part 210 on the first sub-wire 201. In detail, one piezoelectric element 400 may be disposed on one first connection part 210. The center of the lower surface of the piezoelectric element 400 may overlap the first sub-wire 201 in a vertical direction. In detail, the center of the lower surface of the piezoelectric element 400 may overlap the first connection part 210. In more detail, the center of the lower surface of the piezoelectric element 400 may overlap the center of the first connection part 210.

상기 복수의 압전소자(400)는 상기 제 1 서브 배선(201) 상에서 등간격으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 하나의 제 1 서브 배선(201) 상에 배치된 복수의 압전소자(400)는 제 1 방향을 기준으로 등간격으로 배치될 수 있다. 또한, 인접한 제 1 서브 배선(201) 상에 배치된 압전소자(400)는 제 2 방향을 기준으로 등간격으로 배치될 수 있다. 이에 따라, 인접한 상기 복수의 압전소자(400)의 중심을 제 1 방향 및 제 2 방향으로 연결한 가상의 선은 메쉬(mesh) 형태를 가질 수 있다.The plurality of piezoelectric elements 400 may be spaced apart from each other at equal intervals on the first sub-wiring 201. For example, a plurality of piezoelectric elements 400 disposed on one first sub-wire 201 may be disposed at equal intervals based on the first direction. Further, the piezoelectric elements 400 disposed on the adjacent first sub-wires 201 may be disposed at equal intervals based on the second direction. Accordingly, a virtual line connecting the centers of the adjacent piezoelectric elements 400 in the first direction and the second direction may have a mesh shape.

또한, 하나의 제 1 서브 배선(201) 상에 배치된 압전소자(400)는 상기 하나의 제 1 서브 배선(201)과 최인접한 제 1 서브 배선(201) 상에 배치된 압전소자(400)와 제 2 방향으로 중첩되거나 중첩되지 않을 수 있다. 일례로, 평면에서 보았을 때 상기 압전소자(400)는 인접한 제 1 서브 배선(201) 상에 지그재그 형태로 배치될 수 있다.In addition, the piezoelectric element 400 disposed on one first sub-wire 201 is the piezoelectric element 400 disposed on the first sub-wire 201 closest to the one first sub-wire 201 And may or may not overlap in the second direction. For example, when viewed in a plan view, the piezoelectric element 400 may be arranged in a zigzag shape on the adjacent first sub-wire 201.

또한, 일부 압전소자(400) 사이의 간격은 등간격으로 배치될 수 있고, 나머지 압전소자(400)는 등간격으로 배치되지 않을 수 있다. 예를 들어, 사용자의 얼굴 표면 중 상대적으로 평평한 영역과 중첩되는 영역에서는 상기 압전소자(400) 사이의 간격이 등간격으로 배치될 수 있다. 그러나, 상대적으로 굴곡진 피부 영역과 중첩되는 영역에서는 상기 압전소자(400) 사이의 간격이 등간격으로 배치되지 않을 수 있다. 즉, 피부 표면의 굴곡진 정도에 따라 상기 압전소자(400) 사이의 간격이 상대적으로 좁거나 클 수 있다. 일례로, 사용자의 코, 양 볼 등과 같이 굴곡진 영역과 중첩되는 영역의 압전소자(400) 사이의 간격은 상대적으로 좁을 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 마스크(1000)는 굴곡진 피부에도 효과적으로 초음파 에너지를 효과적으로 제공할 수 있다. In addition, some of the piezoelectric elements 400 may be spaced at equal intervals, and the remaining piezoelectric elements 400 may not be disposed at equal intervals. For example, in a region overlapping with a relatively flat region of the user's face surface, spaces between the piezoelectric elements 400 may be arranged at equal intervals. However, in a region overlapping with a relatively curved skin region, the spacing between the piezoelectric elements 400 may not be arranged at equal intervals. That is, the spacing between the piezoelectric elements 400 may be relatively narrow or large depending on the degree of curvature of the skin surface. For example, a gap between the piezoelectric elements 400 in a region overlapping with a curved region, such as a user's nose and both cheeks, may be relatively narrow. Accordingly, the mask 1000 according to the embodiment may effectively provide ultrasonic energy even to curved skin.

상기 압전소자(400)는 상기 마스크(1000) 전체 영역 상에 배치되어 초음파 에너지를 고르게 발생할 수 있다. 예를 들어, 상기 압전소자(400)는 인가되는 전류에 의해 약 1MHz 이하의 초음파 에너지를 발생할 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)는 약 10KHz 내지 약 1MHz의 초음파 에너지를 발생할 수 있다. 더 자세하게, 상기 압전소자(400)는 약 100KHz 내지 약 800KHz의 초음파 에너지를 발생할 수 있다. 상기 압전소자(400)에서 발생한 초음파 에너지는 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로 이동할 수 있고, 사용자의 피부에 전달되며 사용자의 피부를 마사지할 수 있다.The piezoelectric element 400 may be disposed on the entire area of the mask 1000 to evenly generate ultrasonic energy. For example, the piezoelectric element 400 may generate ultrasonic energy of about 1 MHz or less by an applied current. In detail, the piezoelectric element 400 may generate ultrasonic energy of about 10 kHz to about 1 MHz. In more detail, the piezoelectric element 400 may generate ultrasonic energy of about 100 KHz to about 800 KHz. The ultrasonic energy generated by the piezoelectric element 400 may move in a direction of one surface of the mask 1000, and may be transferred to the user's skin and massage the user's skin.

상기 압전소자(400)의 두께는 약 1500㎛ 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)의 두께는 약 1200㎛ 이하일 수 있다. 바람직하게 상기 압전소자(400)의 두께는 약 1000㎛ 이하일 수 있다. 상기 압전소자(400)의 두께는 상기 마스크(1000)의 전체 두께 및 가변 특성을 고려하여 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.The thickness of the piezoelectric element 400 may be about 1500 μm or less. In detail, the thickness of the piezoelectric element 400 may be about 1200 μm or less. Preferably, the thickness of the piezoelectric element 400 may be about 1000 μm or less. It is preferable that the thickness of the piezoelectric element 400 satisfies the above-described range in consideration of the overall thickness and variable characteristics of the mask 1000.

상기 압전소자(400)는 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 압전소자(400)는 하면 및 상면이 다각형인 다각 기둥 형상을 가질 수 있고, 하면 및 상면이 원인 원 기둥 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 압전소자(400)는 하면 및 상면 중 하나의 면이 다각형이고 나머지 면이 원인 기둥 형상을 가질 수 있다. 일례로, 상기 압전소자(400)의 하면 및 상면 중 적어도 하나의 면적은 약 100mm2 이하일 수 있다. The piezoelectric element 400 may have various shapes. For example, the piezoelectric element 400 may have a polygonal column shape with a lower surface and an upper surface thereof, and the lower surface and an upper surface may have a circular column shape. In addition, the piezoelectric element 400 may have one of a lower surface and an upper surface of a polygonal surface, and the other surface may have a pillar shape. For example, an area of at least one of a lower surface and an upper surface of the piezoelectric element 400 may be about 100 mm 2 or less.

상술한 바와 같이 상기 압전소자(400)는 다양한 기둥 형상을 가질 수 있고, 상기 기둥 형상에 따라 발생하는 초음파 에너지의 강도, 발진 방향 등을 제어할 수 있다. 또한, 상기 압전소자(400)의 크기, 배치 간격, 배치 밀도 등에 따라 사용자의 피부에 전달하는 초음파 에너지의 세기를 조절할 수 있다. As described above, the piezoelectric element 400 may have various pillar shapes, and the intensity of ultrasonic energy generated according to the pillar shape, the oscillation direction, and the like can be controlled. In addition, the intensity of ultrasonic energy delivered to the user's skin may be adjusted according to the size, arrangement interval, and arrangement density of the piezoelectric element 400.

상기 압전소자(400)는 다양한 파동을 발생할 수 있다. 일례로, 상기 압전소자(400)는 파동이 나아가는 방향과 매질의 진동 방향이 수직인 횡파 및 파동이 나아가는 방향과 매질의 진동 방향이 같은 종파 중 적어도 하나의 파동을 발생할 수 있다. 또한, 상기 압전소자(400)는 다중 공진할 수 있다. 예를 들어, 상기 압전소자(400)는 적어도 하나의 비아홀을 포함할 수 있고, 형성된 상기 비아홀에 의해 다중 공진할 수 있다. 이때, 상기 비아홀의 상부 면적은 다중 공진을 위해 상기 압전소자(400)의 상면 면적의 약 10% 내지 약 45%일 수 있다. 또한, 상기 압전소자(400)가 상기 비아홀에 의해 다중 공진할 경우, 다중 공진 주파수 영역의 수는 상기 비아홀의 개수와 대응될 수 있다. 즉, 상기 압전소자(400)는 설정된 비아홀의 개수 범위에서 상기 비아홀의 개수가 많을수록 다양한 주파수 영역의 파장, 예컨대 초음파 에너지를 방출할 수 있다.The piezoelectric element 400 may generate various waves. For example, the piezoelectric element 400 may generate at least one wave of a horizontal wave in which a direction in which the wave travels and a vibration direction of the medium are perpendicular, and a longitudinal wave in which the direction in which the wave travels and the vibration direction of the medium are the same. In addition, the piezoelectric element 400 may resonate multiple times. For example, the piezoelectric element 400 may include at least one via hole, and may resonate multiple times by the formed via hole. In this case, the upper area of the via hole may be about 10% to about 45% of the upper surface area of the piezoelectric element 400 for multiple resonance. In addition, when the piezoelectric element 400 has multiple resonances by the via holes, the number of multiple resonance frequency domains may correspond to the number of via holes. That is, the piezoelectric element 400 may emit wavelengths of various frequency ranges, for example, ultrasonic energy, as the number of via holes increases within a set number range of via holes.

상기 압전소자(400) 상에는 제 2 베이스층(120)이 배치될 수 있다. 상기 제 2 베이스층(120)은 사용자의 피부와 마주하며 상기 피부와 접할 수 있는 부분으로 인체에 무해한 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 2 베이스층(120)은 연질이면서 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 베이스층(120)은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 바람직하게, 상기 제 2 베이스층(120)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있고 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함할 수 있다. 상기 제 1 베이스층(110)은 상기 제 2 베이스층(120)과 동일한 재질로 제공될 수 있다.A second base layer 120 may be disposed on the piezoelectric element 400. The second base layer 120 is a portion that faces the user's skin and can contact the skin, and may include a material harmless to the human body. In addition, the second base layer 120 may include a soft and elastic material. For example, the second base layer 120 is polyvinyl chloride to which silicone, thermoplastic resin, thermoplastic silicone resin, thermoplastic elastomer, polyurethane elastomer, ethylene vinyl acetate (EVA), harmless plasticizer and stabilizer are added ( PVC) may include at least one material. Preferably, the second base layer 120 is relatively light, can minimize irritation upon contact with the user's skin, and may include a silicone elastomer having a predetermined elasticity. The first base layer 110 may be made of the same material as the second base layer 120.

상기 제 2 베이스층(120)은 상기 압전소자(400)에서 방출된 파장을 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로 통과시켜 사용자의 피부에 전달할 수 있다. 즉, 상기 제 2 베이스층(120)은 투과층으로 정합층(matching layer)일 수 있다. The second base layer 120 may pass the wavelength emitted from the piezoelectric element 400 in the direction of one surface of the mask 1000 to transmit the wavelength to the user's skin. That is, the second base layer 120 may be a transmission layer and may be a matching layer.

이를 위해, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 상기 제 2 베이스층(120)의 임피던스(impedance)와 상기 압전소자(400)의 구동 주파수에 따라 변화할 수 있다. 또한, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 상기 제 1 베이스층(110)의 두께(t1)보다 두껍거나 같을 수 있다.To this end, the thickness t2 of the second base layer 120 may vary according to an impedance of the second base layer 120 and a driving frequency of the piezoelectric element 400. In addition, the thickness t2 of the second base layer 120 may be greater than or equal to the thickness t1 of the first base layer 110.

일례로, 상기 압전소자(400)의 구동 주파수가 약 1MHz 이하일 경우, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 약 50㎛ 내지 약 10mm 일 수 있다. 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)가 약 50㎛ 미만인 경우, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)가 상대적으로 얇아 상기 제 2 베이스층(120) 상에 배치된 구성들을 효과적으로 보호할 수 없다. 자세하게, 상기 마스크(1000)가 탄성 변형하여 상기 제 2 베이스층(120)이 탄성 변형할 경우, 상기 제 2 베이스층(120) 상의 상기 배선들(200, 300) 및 상기 압전소자(400)를 효과적으로 보호할 수 없다. For example, when the driving frequency of the piezoelectric element 400 is about 1 MHz or less, the thickness t2 of the second base layer 120 may be about 50 μm to about 10 mm. When the thickness (t2) of the second base layer 120 is less than about 50 μm, the thickness (t2) of the second base layer 120 is relatively thin, so that the configuration is disposed on the second base layer 120 Cannot effectively protect them. In detail, when the mask 1000 is elastically deformed and the second base layer 120 is elastically deformed, the wirings 200 and 300 and the piezoelectric element 400 on the second base layer 120 are It cannot be effectively protected.

또한, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)가 약 10mm를 초과할 경우, 전체 마스크(1000)의 두께가 증가할 수 있다. 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 상기 압전소자(400)에서 방출된 파장을 효과적으로 통과시키기 위해 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다. 바람직하게, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t2)는 신뢰성, 투과 특성, 제조되는 마스크(1000)의 가변성, 두께, 무게 및 초음파 임피던스 특성 등을 고려하여 약 100㎛ 내지 약 1000㎛의 두께 범위를 가질 수 있다. In addition, when the thickness t2 of the second base layer 120 exceeds about 10 mm, the thickness of the entire mask 1000 may increase. It is preferable that the thickness t2 of the second base layer 120 satisfies the above-described range in order to effectively pass the wavelength emitted from the piezoelectric element 400. Preferably, the thickness t2 of the second base layer 120 is about 100 μm to about 1000 μm in consideration of reliability, transmission characteristics, variability of the manufactured mask 1000, thickness, weight, and ultrasonic impedance characteristics. It can have a thickness range.

즉, 실시예에 따른 압전소자(400)에서 방출된 초음파 에너지의 일부는, 상기 제 2 베이스층(120) 방향으로 방출되고 상기 제 2 베이스층(120)을 통과하여 사용자의 피부에 전달될 수 있다. 또한, 상기 초음파 에너지의 다른 일부는 상기 제 1 베이스층(110) 방향으로 방출되고 상기 제 1 베이스층(110)에 의해 상기 제 2 베이스층(120) 방향으로 반사될 수 있다. 이후 반사된 상기 초음파 에너지는 상기 제 2 베이스층(120)을 통과하여 사용자의 피부에 전달될 수 있다.That is, some of the ultrasonic energy emitted from the piezoelectric device 400 according to the embodiment may be emitted toward the second base layer 120 and passed through the second base layer 120 to be transmitted to the user's skin. have. In addition, another part of the ultrasonic energy may be emitted toward the first base layer 110 and reflected toward the second base layer 120 by the first base layer 110. Thereafter, the reflected ultrasonic energy may pass through the second base layer 120 and be transferred to the user's skin.

상기 제 2 베이스층(120) 상에는 제 2 배선(300)이 배치될 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 압전소자(400)와 마주하는 상기 제 2 베이스층(120)의 일면 상에 배치될 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120) 상에서 상기 제 1 배선(200)과 다른 방향으로 연장할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향(y축 방향)으로 연장할 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120)의 일면과 직접 접촉할 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120)의 일면 상에 증착, 인쇄, 접착 등의 공정으로 형성될 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 압전소자(400)와 전기적으로 연결될 수 있다.A second wiring 300 may be disposed on the second base layer 120. The second wiring 300 may be disposed on one surface of the second base layer 120 facing the piezoelectric element 400. The second wiring 300 may extend on the second base layer 120 in a different direction from the first wiring 200. For example, the second wiring 300 may extend in a second direction (y-axis direction) perpendicular to the first direction. The second wiring 300 may directly contact one surface of the second base layer 120. The second wiring 300 may be formed on one surface of the second base layer 120 by a process such as deposition, printing, or bonding. The second wiring 300 may be electrically connected to the piezoelectric element 400.

상기 제 2 배선(300)은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 배선(300)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 2 배선(300)은 카본(carbon) 등과 같은 비금속을 포함할 수 있고, 전도성 탄성체 등을 포함할 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 1 배선(200)과 동일한 재질을 포함할 수 있다.The second wiring 300 may include a conductive material. For example, the second wiring 300 is aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti) And it may include at least one metal of these alloys. In addition, the second wiring 300 may include a non-metal such as carbon, and may include a conductive elastic body. The second wiring 300 may include the same material as the first wiring 200.

상기 제 2 배선(300)은 하나의 층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 일례로, 상기 제 2 배선(300)은 상술한 재질 중 선택되는 하나를 포함하는 단일층 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 2 배선(300)은 상술한 재질 중 선택되는 금속과 전도성 탄성체를 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다. 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 1 배선(200)과 동일한 구조를 가질 수 있다.The second wiring 300 may have a single layer or a multilayer structure. As an example, the second wiring 300 may have a single layer structure including one selected from the above-described materials. In addition, the second wiring 300 may have a multilayer structure including a metal selected from the above-described materials and a conductive elastic body. The second wiring 300 may have the same structure as the first wiring 200.

상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120) 상에 배치되는 복수의 제 2 서브 배선(301)들을 포함할 수 있다. 상기 복수의 제 2 서브 배선(301) 각각은 상기 제 2 방향으로 연장하며 상기 제 1 방향으로 서로 이격하여 배치될 수 있다. 상기 복수의 제 2 서브 배선(301)들은 서로 전기적으로 연결될 수 있다.The second wiring 300 may include a plurality of second sub-wirings 301 disposed on the second base layer 120. Each of the plurality of second sub-wires 301 may extend in the second direction and may be disposed to be spaced apart from each other in the first direction. The plurality of second sub-wires 301 may be electrically connected to each other.

상기 제 2 서브 배선(301)의 두께는 약 2㎛ 내지 약 50㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께는 약 2㎛ 내지 약 40㎛일 수 있다. 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께가 약 2㎛ 미만인 경우 전기적 특성이 저하될 수 있고, 균일하게 형성하기 어려울 수 있다. 또한, 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께가 약 50㎛를 초과할 경우 상기 마스크(1000)의 전체 두께가 증가할 수 있고, 상기 제 2 배선(300)의 제조 시간이 증가할 수 있다. 또한, 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께가 너무 두꺼워 스트레쳐블 특성이 저하될 수 있다. 바람직하게, 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께는 수평 방향으로의 스트레쳐블 특성, 신뢰성 및 공정 효율을 고려하여 약 5㎛ 내지 약 35㎛ 이하일 수 있다.The thickness of the second sub-wire 301 may be about 2 μm to about 50 μm. In detail, the thickness of the second sub-wire 301 may be about 2 μm to about 40 μm. When the thickness of the second sub-wire 301 is less than about 2 μm, electrical characteristics may be deteriorated, and it may be difficult to form uniformly. In addition, when the thickness of the second sub-wire 301 exceeds about 50 μm, the overall thickness of the mask 1000 may increase, and the manufacturing time of the second wire 300 may increase. In addition, the thickness of the second sub-wiring 301 is too thick, so that stretchable characteristics may be deteriorated. Preferably, the thickness of the second sub-wire 301 may be about 5 μm to about 35 μm or less in consideration of stretchable characteristics, reliability, and process efficiency in the horizontal direction.

또한, 제 2 서브 배선(301)의 선폭은 약 50㎛ 내지 약 500㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭은 약 100㎛ 내지 약 450㎛일 수 있다. 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭은 상기 제 2 서브 배선(301)의 두께보다 클 수 있다. 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭이 약 50㎛ 미만인 경우 신뢰성에 저하될 수 있고, 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭이 약 500㎛를 초과할 경우 연신율이 저하되어 스트레쳐블 특성이 저하될 수 있다. 바람직하게 상기 제 2 서브 배선(301)의 선폭은 스트레쳐블 특성을 고려하여 약 100㎛ 내지 약 400㎛일 수 있다.Also, the line width of the second sub-wiring 301 may be about 50 μm to about 500 μm. In detail, the line width of the second sub-wire 301 may be about 100 μm to about 450 μm. A line width of the second sub-wire 301 may be greater than a thickness of the second sub-wire 301. When the line width of the second sub-wire 301 is less than about 50 μm, reliability may be degraded, and when the line width of the second sub-wire 301 exceeds about 500 μm, the elongation decreases, resulting in a stretchable characteristic. It can be degraded. Preferably, the line width of the second sub-wire 301 may be about 100 μm to about 400 μm in consideration of stretchable characteristics.

상기 제 2 배선(300)은 제 2 연결부(310) 및 제 2 연장부(320)를 포함할 수 있다.The second wiring 300 may include a second connection part 310 and a second extension part 320.

상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 수직 방향으로 중첩되는 영역에 배치될 수 있다. 상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 마주할 수 있다. 상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)와 대응되는 개수로 제공될 수 있다.The second connection part 310 may be disposed in a region corresponding to the upper surface of the piezoelectric element 400. In detail, the second connection part 310 may be disposed in a region overlapping the upper surface of the piezoelectric element 400 in a vertical direction. The second connection part 310 may face an upper surface of the piezoelectric element 400. The second connector 310 may be provided in a number corresponding to the piezoelectric element 400.

상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 상기 제 2 연결부(310)는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 너비를 가질 수 있다. 일례로, 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400) 상면의 수평 방향 너비보다 작거나 같을 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400) 상면의 수평 방향 너비의 약 50% 내지 약 100%일 수 있다. 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비가 약 50% 미만인 경우, 상기 제 2 배선(300)과 상기 압전소자(400) 사이의 전기적 특성이 저하될 수 있다. 또한, 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비가 상기 압전소자(400)의 하면 너비보다 클 경우 초음파 에너지의 투과율이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 2 연결부(310)의 수평 방향 너비는 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.The second connection part 310 may have a shape corresponding to an upper surface of the piezoelectric element 400. The second connection part 310 may have a width corresponding to the upper surface of the piezoelectric element 400. For example, the width of the second connection part 310 in the horizontal direction may be less than or equal to the width of the upper surface of the piezoelectric element 400 in the horizontal direction. In detail, the width of the second connection part 310 in the horizontal direction may be about 50% to about 100% of the width of the upper surface of the piezoelectric element 400 in the horizontal direction. When the width of the second connection part 310 in the horizontal direction is less than about 50%, electrical characteristics between the second wiring 300 and the piezoelectric element 400 may be deteriorated. In addition, when the width of the second connection part 310 in the horizontal direction is greater than the width of the lower surface of the piezoelectric element 400, the transmittance of ultrasonic energy may decrease. Therefore, it is preferable that the width of the second connection part 310 in the horizontal direction satisfies the above-described range.

상기 제 2 연장부(320)는 상기 제 2 연결부(310)로부터 제 2 방향으로 연장할 수 있다. 상기 제 2 연장부(320)는 복수의 제 2 연결부(310) 사이에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 연장부(320)는 제 2 방향으로 이격된 상기 제 2 연결부(310) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 2 연장부(320)는 인접한 상기 제 2 연결부(310)들 사이를 연결할 수 있다.The second extension part 320 may extend in a second direction from the second connection part 310. The second extension part 320 may be disposed between the plurality of second connection parts 310. In detail, the second extension part 320 may be disposed between the second connection parts 310 spaced apart in a second direction. That is, the second extension part 320 may connect between the adjacent second connection parts 310.

상기 제 2 배선(300)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 평면에서 보았을 때 상기 복수의 제 2 서브 배선(301)들 각각은 도 3과 같이 직선의 형태로 제 2 방향으로 연장할 수 있다. 자세하게, 복수의 제 2 서브 배선(301)은 인접한 제 2 서브 배선(301)과 등간격으로 제 1 방향으로 이격되며, 직선의 형태로 제 2 방향으로 연장할 수 있다. 즉, 상기 제 2 배선(300)의 제 2 연장부(320)는 제 2 방향으로 연장하는 직선의 형태를 가질 수 있다.The second wiring 300 may have various shapes. For example, when viewed in a plan view, each of the plurality of second sub-wires 301 may extend in the second direction in the form of a straight line as shown in FIG. 3. In detail, the plurality of second sub-wires 301 are spaced apart from the adjacent second sub-wires 301 in the first direction at equal intervals, and may extend in the second direction in the form of a straight line. That is, the second extension part 320 of the second wiring 300 may have a straight line extending in the second direction.

이와 다르게, 평면에서 보았을 때, 상기 복수의 제 2 서브 배선(301)들 각각은 도 4와 같이 곡선의 형태로 제 2 방향으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 제 2 서브 배선(301)들 각각은 구불거리는 패턴이 반복되는 형태로 제공될 수 있다. 즉, 상기 제 2 배선(300)의 제 2 연장부(320)는 제 2 방향으로 연장하는 곡선의 형태를 가질 수 있다.In contrast, when viewed in a plan view, each of the plurality of second sub-wires 301 may extend in the second direction in a curved shape as shown in FIG. 4. For example, each of the plurality of second sub-wires 301 may be provided in a form in which a wavy pattern is repeated. That is, the second extension part 320 of the second wiring 300 may have a curved shape extending in the second direction.

이때, 상기 제 2 연장부(320)는 약 3R 내지 약 20R(mm)의 곡률 패턴을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)가 일 방향으로 연신되거나 수축할 경우, 상기 제 2 배선(300)은 스트레쳐블(stretchable) 특성을 가지며 끊어지지 않을 수 있다. 바람직하게, 상기 제 2 연장부(320)는 약 5R 내지 약 15R(mm)의 곡률 패턴을 가질 수 있다. 또한, 상기 제 2 연장부(320)는 약 10% 내지 약 50%의 연신율을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제 2 배선(300)은 보다 향상된 스트레쳐블 특성을 가질 수 있어 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 사용자의 피부와의 밀착성을 향상시킬 수 있다.In this case, the second extension part 320 may have a curvature pattern of about 3R to about 20R (mm). Accordingly, when the mask 1000 is stretched or contracted in one direction, the second wiring 300 has a stretchable characteristic and may not be cut off. Preferably, the second extension part 320 may have a curvature pattern of about 5R to about 15R (mm). In addition, the second extension part 320 may have an elongation of about 10% to about 50%. Accordingly, since the second wiring 300 may have improved stretchable characteristics, reliability may be improved, and adhesion with the user's skin may be improved.

이와 또 다르게, 도면에는 도시하지 않았으나 상기 제 2 연장부(320)는 제 2 방향으로 연장하는 직선 및 곡선이 혼재된 패턴이 반복되는 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 평면에서 보았을 때 사용자의 얼굴 중 상대적으로 굴곡진 영역(코, 볼 등)과 중첩되는 영역에 위치한 상기 제 2 연장부(320)는 곡선 형태로 제공될 수 있고, 상대적으로 평평한 영역(이마 등)과 중첩되는 영역에 위치한 상기 제 2 연장부(320)는 직선 형태로 제공될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)를 사용자의 얼굴에 부착할 경우, 상기 마스크(1000)의 변형에 의해 상기 제 2 배선(300)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제 2 연장부(320)는 직선 및 곡선이 혼재된 형태로 제공되어 전기적 특성을 유지함과 동시에 상기 제 2 배선(300)이 차지하는 비율을 감소시킬 수 있다. Alternatively, although not shown in the drawings, the second extension part 320 may have a repeating pattern in which a straight line and a curved line extending in the second direction are mixed. For example, the second extension part 320 located in a region overlapping with a relatively curved region (nose, cheek, etc.) of the user's face when viewed from a plane may be provided in a curved shape, and a relatively flat region The second extension part 320 located in a region overlapping with (forehead, etc.) may be provided in a straight line. Accordingly, when the mask 1000 is attached to the user's face, damage to the second wiring 300 due to the deformation of the mask 1000 may be prevented. In addition, since the second extension part 320 is provided in a form in which straight lines and curves are mixed, it is possible to maintain electrical characteristics and reduce a ratio occupied by the second wires 300.

이에 따라, 상기 제 2 배선(300)의 제조 비용은 감소할 수 있고, 상기 압전소자(400)에서 방출되는 초음파 에너지의 손실을 최소화할 수 있다.Accordingly, the manufacturing cost of the second wiring 300 may be reduced, and loss of ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400 may be minimized.

상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)은 서로 교차하며 배치될 수 있다. 자세하게, 도 3과 같이 평면에서 보았을 때, 제 1 서브 배선(201) 및 상기 제 2 서브 배선(301)은 메쉬(mesh) 형상으로 서로 교차하며 배치될 수 있고, 상기 서브 배선들(201, 301) 사이에는 상기 배선들(200, 300)이 배치되지 않은 오픈 영역이 형성될 수 있다. The first wiring 200 and the second wiring 300 may be disposed to cross each other. In detail, when viewed in a plan view as shown in FIG. 3, the first sub-wire 201 and the second sub-wire 301 may be disposed to cross each other in a mesh shape, and the sub-wires 201 and 301 ), an open area in which the wirings 200 and 300 are not disposed may be formed.

상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)이 교차하는 영역 상에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)의 중심은 상기 제 1 서브 배선(201) 및 상기 제 2 서브 배선(301)의 교차점과 중첩될 수 있다. 더 자세하게, 상기 압전소자(400)의 하면 및 상면 각각의 중심은 상기 제 1 배선(200)의 제 1 연결부(210)의 중심 및 상기 제 2 배선(300)의 제 2 연결부(310)의 중심과 중첩될 수 있다.The piezoelectric element 400 may be disposed on an area where the first wiring 200 and the second wiring 300 cross each other. In detail, the center of the piezoelectric element 400 may overlap with an intersection point of the first sub-wire 201 and the second sub-wire 301. In more detail, the center of each of the lower and upper surfaces of the piezoelectric element 400 is the center of the first connection part 210 of the first wire 200 and the center of the second connection part 310 of the second wire 300 Can overlap with

또한, 도면에는 도시하지 않았으나 상기 압전소자 상에는 진동 부재(미도시)가 더 배치될 수 있다. 상기 압전소자(400)의 진동 특성을 개선하기 위해 상기 압전소자(400)의 상면 상에는 진동 부재가 더 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 진동 부재는 진동판일 수 있다. 상기 진동 부재는 상기 압전소자(400) 및 상기 제 2 배선(300) 사이에 배치될 수 있다.Further, although not shown in the drawings, a vibration member (not shown) may be further disposed on the piezoelectric element. In order to improve the vibration characteristics of the piezoelectric element 400, a vibration member may be further disposed on the upper surface of the piezoelectric element 400. For example, the vibration member may be a vibration plate. The vibration member may be disposed between the piezoelectric element 400 and the second wiring 300.

상기 진동 부재는 상기 압전소자(400)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 진동 부재는 금속 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 진동 부재는 알루미늄(Al), 구리(Cu), 아연(Zn), 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 은(Ag), 금(Pt), 스테인리스 스틸(SUS) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다.The vibration member may be electrically connected to the piezoelectric element 400. The vibration member may include a metal material. As an example, the vibration member is aluminum (Al), copper (Cu), zinc (Zn), iron (Fe), nickel (Ni), chromium (Cr), silver (Ag), gold (Pt), stainless steel ( SUS) and at least one of the alloys thereof may be included.

상기 진동 부재는 상기 압전소자(400)와 대응되는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 진동 부재는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 평면 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 진동 부재는 상기 압전소자(400)의 상면과 대응되는 수평 방향 너비를 가질 수 있다.The vibration member may have a shape corresponding to the piezoelectric element 400. For example, the vibration member may have a planar shape corresponding to an upper surface of the piezoelectric element 400. In addition, the vibration member may have a horizontal width corresponding to the upper surface of the piezoelectric element 400.

상기 진동 부재의 두께는 약 1500㎛ 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 진동 부재의 두께는 약 1200㎛ 이하일 수 있다. 바람직하게 상기 진동 부재의 두께는 약 1000㎛ 이하일 수 있다. 상기 진동 부재의 두께는 상기 마스크(1000)의 가변 특성, 상기 압전소자(400)의 진동 특성을 고려하여 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.The thickness of the vibration member may be about 1500 μm or less. In detail, the thickness of the vibration member may be about 1200 μm or less. Preferably, the thickness of the vibration member may be about 1000 μm or less. The thickness of the vibration member preferably satisfies the above-described range in consideration of the variable characteristics of the mask 1000 and the vibration characteristics of the piezoelectric element 400.

실시예에 따른 마스크(1000)는 보호층(550)을 포함할 수 있다. 상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120) 사이에 배치될 수 있다. 상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110)의 일면 및 상기 제 2 베이스층(120)의 일면과 직접 접촉하며 배치될 수 있다.The mask 1000 according to the embodiment may include a protective layer 550. The protective layer 550 may be disposed between the first base layer 110 and the second base layer 120. The protective layer 550 may be disposed in direct contact with one surface of the first base layer 110 and one surface of the second base layer 120.

상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120) 사이에 배치되어 상기 압전소자(400)를 보호할 수 있다. 자세하게, 상기 보호층(550)은 상기 베이스층(110, 120) 사이에서 상기 압전소자(400) 및 상기 배선들(200, 300)을 감싸며 배치되어 상기 구성들을 보호할 수 있다.The protective layer 550 may be disposed between the first base layer 110 and the second base layer 120 to protect the piezoelectric element 400. In detail, the protective layer 550 may be disposed between the base layers 110 and 120 to surround the piezoelectric element 400 and the wires 200 and 300 to protect the components.

상기 보호층(550)은 연질이며 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 보호층(550)은 실리콘, 열가소성 수지, 열가소성 실리콘 수지, 열가소성 탄성중합체, 폴리우레탄 탄성중합체, 에틸렌 비닐아세테이트(EVA), 무해성 가소제 및 안정제가 첨가된 폴리염화비닐(PVC) 재질 중 적어도 하나의 재질을 포함할 수 있다. 이 중에서 상기 보호층(550)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있으며, 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함하는 것이 바람직할 수 있다.The protective layer 550 may include a soft and elastic material. For example, the protective layer 550 is a polyvinyl chloride (PVC) containing silicone, a thermoplastic resin, a thermoplastic silicone resin, a thermoplastic elastomer, a polyurethane elastomer, an ethylene vinyl acetate (EVA), a harmless plasticizer and a stabilizer At least one of the materials may be included. Among them, the protective layer 550 may be relatively light and may minimize irritation upon contact with the user's skin, and may preferably include a silicone elastomer having a predetermined elasticity.

상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)과 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)과 일체로 형성될 수 있다. 상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)과 물리적으로 연결되어 내부에 배치된 구성들을 보호할 수 있다.The protective layer 550 may be connected to the first base layer 110 and the second base layer 120. For example, the protective layer 550 may be integrally formed with the first base layer 110 and the second base layer 120. The protective layer 550 may be physically connected to the first base layer 110 and the second base layer 120 to protect components disposed therein.

상기 보호층(550)은 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 즉, 상기 제 1 베이스층(110), 상기 제 2 베이스층(120) 및 상기 보호층(550)은 동종의 재질을 포함함에 따라 향상된 결합력을 가질 수 있다.The protective layer 550 may include the same material as the first base layer 110 and the second base layer 120. That is, the first base layer 110, the second base layer 120, and the protective layer 550 may have improved bonding strength as they include the same material.

도 6을 참조하여, 상기 압전소자(400), 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)의 연결 관계에 대해 보다 상세히 설명한다.Referring to FIG. 6, a connection relationship between the piezoelectric element 400, the first wiring 200, and the second wiring 300 will be described in more detail.

도 6을 참조하면 상기 압전소자(400)는 제 1 배선(200) 및 제 2 배선(300)과 전기적으로 연결될 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)는 하면 상에 배치되는 제 1 전극(410)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 전극(410)은 전기적 특성을 고려하여 상기 압전소자(400)의 하면 전체 면적의 약 80% 이상의 면적으로 배치될 수 있다. 상기 제 1 전극(410)은 상기 압전소자(400)의 하면 전체 면적의 약 90%의 면적으로 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 1 전극(410)은 상기 압전소자(400)의 하면 전체 영역 상에 배치될 수 있다. Referring to FIG. 6, the piezoelectric element 400 may be electrically connected to the first wiring 200 and the second wiring 300. In detail, the piezoelectric element 400 may include a first electrode 410 disposed on a lower surface. The first electrode 410 may be disposed in an area of about 80% or more of the total area of the lower surface of the piezoelectric element 400 in consideration of electrical characteristics. The first electrode 410 may be disposed in an area of about 90% of the total area of the lower surface of the piezoelectric element 400. In addition, the first electrode 410 may be disposed on the entire lower surface of the piezoelectric element 400.

상기 제 1 전극(410)은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 전극(410)은 금속 재질을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 전극(410)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다.The first electrode 410 may include a conductive material. For example, the first electrode 410 may include a metal material. In detail, the first electrode 410 includes aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and It may include at least one metal among these alloys.

상기 제 1 전극(410)은 상기 제 1 배선(200)과 마주하며 배치되고, 상기 제 1 배선(200)과 전기적으로 연결될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 전극(410) 및 상기 제 1 배선(200) 사이에는 제 1 본딩층(451)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 본딩층(451)은 상기 제 1 전극(410) 및 상기 제 1 배선(200)을 물리적, 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 제 1 본딩층(451)과 상기 제 1 배선(200)의 오버래핑 비율은 물리적, 전기적 특성을 고려하여 약 20% 이상일 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)와 마주하는 상기 제 1 배선(200)의 일면과 상기 제 1 본딩층(451)의 오버래핑 비율은 약 20% 이상일 수 있다.The first electrode 410 may be disposed facing the first wire 200 and may be electrically connected to the first wire 200. In detail, a first bonding layer 451 may be disposed between the first electrode 410 and the first wiring 200. The first bonding layer 451 may physically and electrically connect the first electrode 410 and the first wiring 200. The overlapping ratio between the first bonding layer 451 and the first wiring 200 may be about 20% or more in consideration of physical and electrical characteristics. In detail, an overlapping ratio of one surface of the first wiring 200 facing the piezoelectric element 400 and the first bonding layer 451 may be about 20% or more.

상기 제 1 본딩층(451)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. The first bonding layer 451 is aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and these It may include at least one metal of the alloy.

상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 약 100㎛ 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 약 20㎛ 내지 약 80㎛일 수 있다. 바람직하게 상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 약 30㎛ 내지 약 60㎛일 수 있다.The thickness of the first bonding layer 451 may be about 100 μm or less. In detail, the thickness of the first bonding layer 451 may be about 20 μm to about 80 μm. Preferably, the thickness of the first bonding layer 451 may be about 30 μm to about 60 μm.

상기 제 1 본딩층(451)은 상기 제 1 전극(410) 및 상기 제 1 배선(200) 사이에 배치되어 전도성 접착제 역할을 수행할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 본딩층(451)은 상기 제 1 배선(200) 상에 페이스트 형태로 도포될 수 있고, 상기 제 1 본딩층(451) 상에 상기 제 1 전극(410)을 포함하는 압전소자(400)가 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 압전소자(400)는 상기 제 1 배선(200)과 물리적 및 전기적으로 연결될 수 있다.The first bonding layer 451 may be disposed between the first electrode 410 and the first wiring 200 to serve as a conductive adhesive. As an example, the first bonding layer 451 may be applied in the form of a paste on the first wiring 200, and a piezoelectric structure including the first electrode 410 on the first bonding layer 451 The device 400 may be disposed. Accordingly, the piezoelectric element 400 may be physically and electrically connected to the first wiring 200.

상기 압전소자(400)는 상면 상에 배치되는 제 2 전극(420)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 전극(420)은 전기적 특성을 고려하여 상기 압전소자(400)의 상면 전체 면적의 약 80% 이상의 면적으로 배치될 수 있다. 상기 자세하게, 제 2 전극(420)은 상기 압전소자(400)의 상면 전체 면적의 약 90%의 면적으로 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 2 전극(420)은 상기 압전소자(400)의 하면 전체 영역 상에 배치될 수 있다. The piezoelectric element 400 may include a second electrode 420 disposed on an upper surface. The second electrode 420 may be disposed in an area of about 80% or more of the total area of the top surface of the piezoelectric element 400 in consideration of electrical characteristics. In detail, the second electrode 420 may be disposed in an area of about 90% of the total area of the upper surface of the piezoelectric element 400. In addition, the second electrode 420 may be disposed on the entire lower surface of the piezoelectric element 400.

상기 제 2 전극(420)은 전도성 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 전극(420)은 금속 재질을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 전극(420)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다.The second electrode 420 may include a conductive material. For example, the second electrode 420 may include a metal material. In detail, the second electrode 420 includes aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and It may include at least one metal among these alloys.

상기 제 2 전극(420)은 상기 제 2 배선(300)과 마주하며 배치되고, 상기 제 2 배선(300)과 전기적으로 연결될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 전극(420) 및 상기 제 2 배선(300) 사이에는 제 2 본딩층(452)이 배치될 수 있다. 상기 제 2 본딩층(452)은 상기 제 2 전극(420) 및 상기 제 2 배선(300)을 물리적, 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 제 2 본딩층(452)과 상기 제 2 배선(300)의 오버래핑 비율은 물리적, 전기적 특성을 고려하여 약 20% 이상일 수 있다. 자세하게, 상기 압전소자(400)와 마주하는 상기 제 2 배선(300)의 일면과 상기 제 2 본딩층(452)의 오버래핑 비율은 약 20% 이상일 수 있다.The second electrode 420 may be disposed facing the second wiring 300 and may be electrically connected to the second wiring 300. In detail, a second bonding layer 452 may be disposed between the second electrode 420 and the second wiring 300. The second bonding layer 452 may physically and electrically connect the second electrode 420 and the second wiring 300. The overlapping ratio between the second bonding layer 452 and the second wiring 300 may be about 20% or more in consideration of physical and electrical characteristics. In detail, an overlapping ratio between one surface of the second wiring 300 facing the piezoelectric element 400 and the second bonding layer 452 may be about 20% or more.

상기 제 2 본딩층(452)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti) 및 이들의 합금 중 적어도 하나의 금속을 포함할 수 있다. The second bonding layer 452 includes aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), chromium (Cr), nickel (Ni), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and these It may include at least one metal of the alloy.

상기 제 2 본딩층(452)의 두께는 약 100㎛ 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 본딩층(452)의 두께는 약 20㎛ 내지 약 80㎛일 수 있다. 바람직하게 상기 제 2 본딩층(452)의 두께는 약 30㎛ 내지 약 60㎛일 수 있다.The thickness of the second bonding layer 452 may be about 100 μm or less. In detail, the thickness of the second bonding layer 452 may be about 20 μm to about 80 μm. Preferably, the thickness of the second bonding layer 452 may be about 30 μm to about 60 μm.

상기 제 2 본딩층(452)은 상기 제 2 전극(420) 및 상기 제 2 배선(300) 사이에 배치되어 전도성 접착제 역할을 수행할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 본딩층(452)은 상기 제 2 배선(300) 상에 페이스트 형태로 도포될 수 있고, 상기 제 2 본딩층(452) 상에 상기 제 2 전극(420)을 포함하는 압전소자(400)가 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 압전소자(400)는 상기 제 2 배선(300)과 물리적 및 전기적으로 연결될 수 있다. The second bonding layer 452 may be disposed between the second electrode 420 and the second wiring 300 to serve as a conductive adhesive. For example, the second bonding layer 452 may be applied in the form of a paste on the second wiring 300, and a piezoelectric structure including the second electrode 420 on the second bonding layer 452 The device 400 may be disposed. Accordingly, the piezoelectric element 400 may be physically and electrically connected to the second wiring 300.

상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 상기 제 2 본딩층(452)의 두께와 같거나 상이할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 상기 제 2 본딩층(452)의 두께와 동일하게 제공되어 상기 마스크(1000)의 가변성을 향상시킬 수 있다. 다른 예로, 상기 제 1 본딩층(451)의 두께는 상기 제 2 본딩층(452)의 두께보다 두꺼울 수 있다. 이에 따라, 상기 압전소자(400)에서 상기 제 1 베이스층(110) 방향으로 방출된 파장은 상기 제 1 본딩층(451)에 반사되어 상기 제 2 베이스층(120) 방향으로 이동할 수 있다. The thickness of the first bonding layer 451 may be the same as or different from the thickness of the second bonding layer 452. For example, since the first bonding layer 451 has the same thickness as the second bonding layer 452, the variability of the mask 1000 may be improved. As another example, the thickness of the first bonding layer 451 may be thicker than the thickness of the second bonding layer 452. Accordingly, a wavelength emitted from the piezoelectric element 400 toward the first base layer 110 may be reflected by the first bonding layer 451 and may move toward the second base layer 120.

이후, 상술한 바와 같이 상기 제 1 기재(510) 및 상기 제 2 기재(520) 사이 공간에는 상기 보호층(550)이 충진될 수 있다. 상기 보호층(550)은 상기 압전소자(400), 상기 제 1 배선(200), 상기 제 2 배선(300), 상기 제 1 전극(410), 상기 제 2 전극(420), 상기 제 1 본딩층(451) 및 상기 제 2 본딩층(452)을 감싸며 배치될 수 있고, 상기 구성들이 외부에 노출되는 것을 방지할 수 있다.Thereafter, as described above, the protective layer 550 may be filled in the space between the first substrate 510 and the second substrate 520. The protective layer 550 includes the piezoelectric element 400, the first wiring 200, the second wiring 300, the first electrode 410, the second electrode 420, and the first bonding It may be disposed to surround the layer 451 and the second bonding layer 452, and it is possible to prevent the components from being exposed to the outside.

도 5 및 도 6을 참조하면, 실시예에 따른 마스크(1000)는 배리어층(600)을 포함할 수 있다. 상기 배리어층(600)은 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 시 상기 마스크(1000)의 두께를 유지시킬 수 있고, 상기 마스크(1000) 내부 구성을 보호할 수 있다. 5 and 6, the mask 1000 according to the embodiment may include a barrier layer 600. The barrier layer 600 may maintain the thickness of the mask 1000 when the mask 1000 is elastically deformed, and may protect the internal structure of the mask 1000.

상기 배리어층(600)은 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300) 중 적어도 하나의 배선 상에 배치될 수 있다. 상기 배리어층(600)은 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 대응되는 영역에 배치될 수 있다.The barrier layer 600 may be disposed on at least one of the first wiring 200 and the second wiring 300. The barrier layer 600 may be disposed in a region corresponding to the piezoelectric element 400 in a vertical direction.

상기 배리어층(600)은 금속 및 폴리머 재질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 배리어층(600)은 폴리프로필렌(polypropylene; PP), 폴리에틸렌(polyethylene; PE), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC), 폴리이미드(polyimide), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate; PET), 폴리에텔에텔케톤(polyetherether ketone; PEEK) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The barrier layer 600 may include at least one of a metal and a polymer material. For example, the barrier layer 600 is polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), polyimide, polyethylene terephthalate (PET), poly It may contain at least one of polyetherether ketone (PEEK).

상기 배리어층(600)은 상기 제 1 베이스층(110), 상기 제 2 베이스층(120) 및 상기 보호층(550) 중 선택되는 적어도 하나보다 탄성률이 낮은 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 배리어층(600)은 상기 제 1 베이스층(110), 상기 제 2 베이스층(120) 및 상기 보호층(550)의 탄성률의 약 80% 이하일 수 있다. 자세하게, 상기 배리어층(600)의 탄성률은 상기 구성들(110, 120, 550)의 탄성률의 약 70% 이하일 수 있다.The barrier layer 600 may include a material having a lower elastic modulus than at least one selected from among the first base layer 110, the second base layer 120, and the protective layer 550. For example, the barrier layer 600 may be about 80% or less of the elastic modulus of the first base layer 110, the second base layer 120, and the protective layer 550. In detail, the elastic modulus of the barrier layer 600 may be about 70% or less of the elastic modulus of the components 110, 120, and 550.

상기 배리어층(600)의 두께는 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120) 각각의 두께보다 얇을 수 있다. 예를 들어, 상기 배리어층(600)의 두께는 약 1㎛ 내지 약 100㎛일 수 있다. 상기 배리어층(600)의 두께가 약 1㎛ 미만인 경우 상기 배리어층(600)에 의한 상기 구성들(110, 120, 550)의 변형 특성의 저하가 미미할 수 있다. 또한, 상기 배리어층(600)의 두께가 약 100㎛를 초과할 경우 상기 마스크(1000)의 전체 두께가 증가할 수 있고, 탄성 변형 특성이 저하되어 사용자의 피부와의 밀착성이 저하될 수 있다.The thickness of the barrier layer 600 may be thinner than the thickness of each of the first and second base layers 110 and 120. For example, the thickness of the barrier layer 600 may be about 1 μm to about 100 μm. When the thickness of the barrier layer 600 is less than about 1 μm, deterioration of the deformation characteristics of the components 110, 120, and 550 by the barrier layer 600 may be insignificant. In addition, when the thickness of the barrier layer 600 exceeds about 100 μm, the total thickness of the mask 1000 may increase, and elastic deformation characteristics may be deteriorated, so that adhesion to the user's skin may decrease.

상기 배리어층(600)은 상기 제 1 베이스층(110) 상에 배치되는 제 1 배리어층(610)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 배리어층(610)은 상기 제 1 베이스층(110)의 일면과 반대되는 타면 상에 배치될 수 있다. 상기 제 1 배리어층(610)은 상기 제 1 베이스층(110)보다 수직 방향을 기준으로 하부에 배치될 수 있다.The barrier layer 600 may include a first barrier layer 610 disposed on the first base layer 110. The first barrier layer 610 may be disposed on the other surface opposite to one surface of the first base layer 110. The first barrier layer 610 may be disposed below the first base layer 110 in a vertical direction.

상기 제 1 배리어층(610)은 제 3 베이스층(130) 내에 배치될 수 있다. 일례로, 상기 제 1 배리어층(610)은 상기 제 1 베이스층(110)의 타면 상에 배치된 제 3 베이스층(130) 내에 배치될 수 있다.The first barrier layer 610 may be disposed in the third base layer 130. For example, the first barrier layer 610 may be disposed in the third base layer 130 disposed on the other surface of the first base layer 110.

상기 제 3 베이스층(130)은 인체에 무해한 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 3 베이스층(130)은 연질이면서 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 3 베이스층(130)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있고 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함할 수 있다.The third base layer 130 may include a material harmless to the human body. The third base layer 130 may include a soft and elastic material. For example, the third base layer 130 may be relatively light and may include a silicone elastomer having a predetermined elasticity and may minimize irritation upon contact with the user's skin.

상기 제 3 베이스층(130)은 상기 제 1 배리어층(610)을 감싸며 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 3 베이스층(130)은 상기 제 1 배리어층(610)이 외부에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제 3 베이스층(130)은 상기 제 1 베이스층(110)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 3 베이스층(130)은 상기 제 1 베이스층(110)과 일체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 3 베이스층(130)은 상기 제 1 베이스층(110)과 향상된 결합력을 가질 수 있다.The third base layer 130 may be disposed surrounding the first barrier layer 610. Accordingly, the third base layer 130 may prevent the first barrier layer 610 from being exposed to the outside. In addition, the third base layer 130 may include the same material as the first base layer 110. The third base layer 130 may be integrally formed with the first base layer 110. Accordingly, the third base layer 130 may have an improved bonding force with the first base layer 110.

상기 제 1 배리어층(610)은 상기 압전소자(400)와 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 배리어층(610)은 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 더 자세하게, 상기 제 1 배리어층(610)의 중심은 상기 압전소자(400)의 하면 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 또한, 상기 제 1 배리어층(610)은 상기 제 1 연결부(210)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 배리어층(610)의 중심은 상기 제 1 연결부(210)의 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다.The first barrier layer 610 may be disposed in a region corresponding to the piezoelectric element 400. In detail, the first barrier layer 610 may overlap the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In more detail, the center of the first barrier layer 610 may overlap the center of the lower surface of the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In addition, the first barrier layer 610 may overlap the first connection part 210 in a vertical direction. In detail, the center of the first barrier layer 610 may overlap the center of the first connection part 210 in a vertical direction.

상기 제 1 배리어층(610)의 너비는 상기 압전소자(400)의 너비와 같거나 상이할 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 배리어층(610)의 수평 방향 너비(w1)는 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 0.8배 내지 약 2배일 수 있다. The width of the first barrier layer 610 may be the same as or different from the width of the piezoelectric element 400. In detail, the horizontal direction width w1 of the first barrier layer 610 may be about 0.8 times to about 2 times the width of the lower surface of the piezoelectric element 400.

예를 들어, 상기 제 1 배리어층(610)의 수평 방향 너비(w1)가 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 0.8배 미만인 경우, 상기 제 1 배선(200)의 신뢰성이 저하될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 배리어층(610)은 상기 제 1 연결부(210) 및 상기 제 1 연장부(220)의 경계와 대응되는 보호층(550)의 탄성 변형 특성을 저하시키지 못할 수 있다. 이로 인해, 반복된 탄성 변형 시 상기 제 1 연결부(210) 및 상기 제 1 연장부(220) 사이가 단선될 수 있다. 또한, 상기 제 1 배리어층(610)의 수평 방향 너비(w1)가 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 2배를 초과할 경우, 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 특성이 저하될 수 있다. 이에 따라 사용자와 상기 마스크(1000)의 밀착 특성이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 1 배리어층(610)의 수평 방향 너비(w1)는 상기 제 1 배선(200)의 신뢰성, 제 1 베이스층(110)의 반사 특성을 고려하여 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.For example, when the width w1 of the first barrier layer 610 in the horizontal direction is less than about 0.8 times the width of the lower surface of the piezoelectric element 400, the reliability of the first wiring 200 may be deteriorated. . In detail, the first barrier layer 610 may not deteriorate the elastic deformation characteristic of the protective layer 550 corresponding to the boundary between the first connection part 210 and the first extension part 220. For this reason, during repeated elastic deformation, a disconnection may occur between the first connection part 210 and the first extension part 220. In addition, when the width w1 in the horizontal direction of the first barrier layer 610 exceeds about twice the width of the lower surface of the piezoelectric element 400, the elastic deformation characteristic of the mask 1000 may be deteriorated. . Accordingly, the adhesion property between the user and the mask 1000 may be deteriorated. Therefore, it is preferable that the width w1 of the first barrier layer 610 in the horizontal direction satisfies the above-described range in consideration of the reliability of the first wiring 200 and the reflective characteristics of the first base layer 110. .

보다 바람직하게, 상기 제 1 배리어층(610)의 수평 방향 너비(w1)는 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 1배 내지 약 1.5배일 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 배선(200)은 향상된 신뢰성을 가질 수 있고, 상기 제 1 베이스층(110)은 초음파 에너지를 효과적으로 반사시킬 수 있다. More preferably, the width w1 in the horizontal direction of the first barrier layer 610 may be about 1 to about 1.5 times the width of the lower surface of the piezoelectric element 400. Accordingly, the first wiring 200 may have improved reliability, and the first base layer 110 may effectively reflect ultrasonic energy.

상기 배리어층(600)은 상기 제 2 베이스층(120) 상에 배치되는 제 2 배리어층(620)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 제 2 베이스층(120)의 일면과 반대되는 타면 상에 배치될 수 있다. 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 제 2 베이스층(120)보다 수직 방향으로 기준으로 상부에 배치될 수 있다.The barrier layer 600 may include a second barrier layer 620 disposed on the second base layer 120. The second barrier layer 620 may be disposed on the other surface opposite to the one surface of the second base layer 120. The second barrier layer 620 may be disposed above the second base layer 120 in a vertical direction.

상기 제 2 배리어층(620)은 제 4 베이스층(140) 내에 배치될 수 있다. 일례로, 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 상에 배치된 제 4 베이스층(140) 내에 배치될 수 있다.The second barrier layer 620 may be disposed in the fourth base layer 140. For example, the second barrier layer 620 may be disposed in the fourth base layer 140 disposed on the other surface of the second base layer 120.

상기 제 4 베이스층(140)은 인체에 무해한 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 4 베이스층(140)은 연질이면서 탄성을 가지는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 4 베이스층(140)은 비교적 가볍고 사용자의 피부와 접촉 시 자극을 최소화할 수 있고 소정의 탄성을 가지는 실리콘 탄성중합체를 포함할 수 있다.The fourth base layer 140 may include a material harmless to the human body. The fourth base layer 140 may include a soft and elastic material. For example, the fourth base layer 140 may be relatively light and may include a silicone elastomer having a predetermined elasticity and may minimize irritation upon contact with the user's skin.

상기 제 4 베이스층(140)은 상기 제 2 배리어층(620)을 감싸며 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 4 베이스층(140)은 상기 제 2 배리어층(620)이 외부에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 제 4 베이스층(140)은 상기 제 2 베이스층(120)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 4 베이스층(140)은 상기 제 2 베이스층(120)과 일체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 4 베이스층(140)은 상기 제 2 베이스층(120)과 향상된 결합력을 가질 수 있다.The fourth base layer 140 may be disposed surrounding the second barrier layer 620. Accordingly, the fourth base layer 140 may prevent the second barrier layer 620 from being exposed to the outside. In addition, the fourth base layer 140 may include the same material as the second base layer 120. The fourth base layer 140 may be integrally formed with the second base layer 120. Accordingly, the fourth base layer 140 may have an improved bonding force with the second base layer 120.

상기 제 2 배리어층(620)은 상기 압전소자(400)와 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 더 자세하게, 상기 제 2 배리어층(620)의 중심은 상기 압전소자(400)의 상면 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 또한, 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 제 2 연결부(310)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 배리어층(620)의 중심은 상기 제 2 연결부(310)의 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다.The second barrier layer 620 may be disposed in a region corresponding to the piezoelectric element 400. In detail, the second barrier layer 620 may overlap the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In more detail, the center of the second barrier layer 620 may overlap the center of the upper surface of the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In addition, the second barrier layer 620 may overlap the second connection part 310 in a vertical direction. In detail, the center of the second barrier layer 620 may overlap the center of the second connection part 310 in a vertical direction.

상기 제 2 배리어층(620)의 너비는 상기 압전소자(400)의 너비와 같거나 상이할 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 배리어층(620)의 수평 방향 너비(w1)는 상기 압전소자(400)의 상면 너비의 약 0.8배 내지 약 2배일 수 있다. The width of the second barrier layer 620 may be the same as or different from the width of the piezoelectric element 400. In detail, the width w1 in the horizontal direction of the second barrier layer 620 may be about 0.8 times to about 2 times the width of the top surface of the piezoelectric element 400.

예를 들어, 상기 제 2 배리어층(620)의 수평 방향 너비(w2)가 상기 압전소자(400)의 상면 너비의 약 0.8배 미만인 경우, 상기 제 2 배선(300)의 신뢰성이 저하될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 제 2 연결부(310) 및 상기 제 2 연장부(320)의 경계와 대응되는 보호층(550)의 탄성 변형 특성을 저하시키지 못할 수 있다. 이로 인해, 반복된 탄성 변형 시 상기 제 2 연결부(310) 및 상기 제 2 연장부(320) 사이가 단선될 수 있다. 또한, 상기 제 2 배리어층(620)의 수평 방향 너비(w2)가 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 2배를 초과할 경우, 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 특성이 저하될 수 있다. 이에 따라 사용자와 상기 마스크(1000)의 밀착 특성이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 2 배리어층(620)의 수평 방향 너비(w2)는 상기 제 2 배선(300)의 신뢰성, 제 2 베이스층(120)의 투과 특성을 고려하여 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.For example, when the width w2 in the horizontal direction of the second barrier layer 620 is less than about 0.8 times the width of the top surface of the piezoelectric element 400, the reliability of the second wiring 300 may be degraded. . In detail, the second barrier layer 620 may not deteriorate the elastic deformation characteristic of the protective layer 550 corresponding to the boundary between the second connection part 310 and the second extension part 320. For this reason, a disconnection between the second connection part 310 and the second extension part 320 may be caused during repeated elastic deformation. In addition, when the width w2 in the horizontal direction of the second barrier layer 620 exceeds about twice the width of the lower surface of the piezoelectric element 400, the elastic deformation characteristic of the mask 1000 may be deteriorated. . Accordingly, the adhesion property between the user and the mask 1000 may be deteriorated. Therefore, it is preferable that the width w2 of the second barrier layer 620 in the horizontal direction satisfies the above-described range in consideration of the reliability of the second wiring 300 and the transmission characteristics of the second base layer 120. .

보다 바람직하게, 상기 제 2 배리어층(620)의 수평 방향 너비(w2)는 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 1배 내지 1.5배일 수 있다. 또한, 상기 제 2 배리어층(620)의 수평 방향 너비(w2)는 상기 제 1 배리어층(610)의 수평 방향 너비(w1)와 동일할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 2 배선(300)은 향상된 신뢰성을 가질 수 있고, 상기 제 2 베이스층(120)은 초음파 에너지를 효과적으로 투과시킬 수 있다.More preferably, the width w2 in the horizontal direction of the second barrier layer 620 may be about 1 to 1.5 times the width of the lower surface of the piezoelectric element 400. Also, the width w2 in the horizontal direction of the second barrier layer 620 may be the same as the width w1 in the horizontal direction of the first barrier layer 610. Accordingly, the second wiring 300 may have improved reliability, and the second base layer 120 may effectively transmit ultrasonic energy.

또한, 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 제 1 배리어층(610)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 제 1 배리어층(610)과 상이한 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 배리어층(610)은 상기 압전소자(400)에서 방출된 초음파 에너지를 반사할 수 있는 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 압전소자(400)에서 방출된 초음파 에너지를 투과할 수 있는 재질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)의 두께는 감소될 수 있으며, 보다 슬림(slim)한 마스크를 제공할 수 있다.In addition, the second barrier layer 620 may include the same material as the first barrier layer 610. Alternatively, the second barrier layer 620 may include a material different from the first barrier layer 610. For example, the first barrier layer 610 may include a material capable of reflecting ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400. In addition, the second barrier layer 620 may include a material capable of transmitting ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400. Accordingly, the thickness of the first base layer 110 and the second base layer 120 may be reduced, and a slimmer mask may be provided.

실시예에 따른 마스크(1000)는 사용자의 착용 등에 의해 탄성 변형할 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 베이스층(110), 상기 제 2 베이스층(120) 및 상기 보호층(550)은 탄성 변형할 수 있다. 특히, 상기 마스크(1000)가 탄성 변형할 경우 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t1, t2)는 변화할 수 있다. 예를 들어, 사용자가 상기 마스크(1000)를 피부에 밀착시키기 위해 상기 마스크(1000)에는 소정의 응력이 가해질 수 있고, 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)의 두께(t1, t2)는 응력이 가해지기 전과 비교하여 얇아질 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 베이스층(110)의 초음파 에너지 반사 특성, 상기 제 2 베이스층(120)의 초음파 에너지 투과 특성은 변화할 수 있다. The mask 1000 according to the embodiment may be elastically deformed by the user's wearing or the like. In this case, the first base layer 110, the second base layer 120, and the protective layer 550 may be elastically deformed. In particular, when the mask 1000 is elastically deformed, the thicknesses t1 and t2 of the first base layer 110 and the second base layer 120 may be changed. For example, a predetermined stress may be applied to the mask 1000 in order for the user to adhere the mask 1000 to the skin, and the thickness of the first base layer 110 and the second base layer 120 (t1, t2) can be thinner compared to before the stress is applied. Accordingly, the ultrasonic energy reflection characteristic of the first base layer 110 and the ultrasonic energy transmission characteristic of the second base layer 120 may be changed.

그러나, 실시예에 따른 마스크(1000)는 상기 제 1 베이스층(110), 상기 제 2 베이스층(120) 및 상기 보호층(550)의 일부 영역의 탄성 변형 특성을 저하시킬 수 있다. 자세하게, 실시예는 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 대응되는 영역에 배치된 제 1 배리어층(610) 및 제 2 배리어층(620)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 배리어층들(610, 620)이 배치된 제 1 베이스층(110), 제 2 베이스층(120) 및 보호층(550)의 탄성 변형 특성은 저하될 수 있다. 자세하게, 상기 배리어층들(610, 620)이 배치된 영역의 제 1 베이스층(110) 및 제 2 베이스층(120) 각각의 두께(t1, t2)가 변화하는 것을 최소화할 수 있다.However, the mask 1000 according to the embodiment may reduce elastic deformation characteristics of some regions of the first base layer 110, the second base layer 120, and the protective layer 550. In detail, the embodiment may include a first barrier layer 610 and a second barrier layer 620 disposed in a region corresponding to the piezoelectric element 400 in a vertical direction. Accordingly, elastic deformation characteristics of the first base layer 110, the second base layer 120, and the protective layer 550 on which the barrier layers 610 and 620 are disposed may be deteriorated. In detail, it is possible to minimize changes in the thicknesses t1 and t2 of each of the first and second base layers 110 and 120 in the region in which the barrier layers 610 and 620 are disposed.

따라서, 실시예에 따른 마스크(1000)는 사람의 피부 형태에 따라 효과적으로 탄성 변형하여 피부와 밀착할 수 있다. 또한, 사용자의 착용 등에 의해 상기 마스크(1000)가 탄성 변형한 경우에도 초음파 에너지를 효과적으로 반사 및 투과하여 사용자에게 제공할 수 있다. 또한, 사용자가 상기 마스크(1000)를 반복적으로 사용 및 착용하여도 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300)은 향상된 신뢰성을 가질 수 있다.Accordingly, the mask 1000 according to the embodiment may be effectively elastically deformed according to the shape of a person's skin, thereby making it close to the skin. In addition, even when the mask 1000 is elastically deformed due to the user's wearing or the like, ultrasonic energy can be effectively reflected and transmitted to provide the user with the same. In addition, even if the user repeatedly uses and wears the mask 1000, the first wiring 200 and the second wiring 300 may have improved reliability.

또한, 도면에는 도시하지 않았으나, 상기 제 1 및 제 2 배리어층(610, 620)은 홀이 형성된 구조를 가질 수 있다. 일례로, 평면에서 보았을 때 상기 제 1 및 제 2 배리어층(610, 620)은 중심 영역에 홀이 형성된 링(ring) 형태를 가질 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 배리어층(610)의 평면 면적은 상기 압전소자(400)의 하면 면적의 약 10% 이상일 수 있다. 또한, 상기 제 2 배리어층(620)의 평면 면적은 상기 압전소자(400)의 상면 면적의 약 10% 이상일 수 있다.Further, although not shown in the drawings, the first and second barrier layers 610 and 620 may have a structure in which a hole is formed. For example, when viewed in a plan view, the first and second barrier layers 610 and 620 may have a ring shape in which a hole is formed in a central region. In this case, the planar area of the first barrier layer 610 may be about 10% or more of the bottom surface area of the piezoelectric element 400. In addition, a plan area of the second barrier layer 620 may be about 10% or more of a top area of the piezoelectric element 400.

도 7 및 도 8은 도 4의 A-A'단면을 도시한 다른 단면도이다. 도 7 및 도 8을 이용한 설명에서는 앞서 설명한 마스크와 동일 유사한 구성에 대해서는 설명을 생략하며 동일 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다.7 and 8 are other cross-sectional views illustrating a cross-section A-A' of FIG. 4. In the description using FIGS. 7 and 8, descriptions of the same and similar configurations as those of the above-described mask are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same and similar configurations.

도 7을 참조하면, 상기 배리어층(600)은 제 3 배리어층(630) 및 제 4 배리어층(640)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7, the barrier layer 600 may include a third barrier layer 630 and a fourth barrier layer 640.

상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 배선(200) 상에 배치될 수 있다. 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 배선(200)과 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 배선(200)과 수직 방향으로 이격되며 상기 제 1 배선(200)보다 하부에 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 배선(200)보다 상기 마스크(1000)의 타면과 인접할 수 있다.The third barrier layer 630 may be disposed on the first wiring 200. The third barrier layer 630 may be spaced apart from the first wiring 200. For example, the third barrier layer 630 may be spaced apart from the first interconnection 200 in a vertical direction and may be disposed below the first interconnection 200. That is, the third barrier layer 630 may be closer to the other surface of the mask 1000 than the first wiring 200.

상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 베이스층(110) 내에 배치될 수 있다. 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 베이스층(110) 내에 삽입되어 배치될 수 있다. 상기 제 1 베이스층(110)은 상기 제 3 배리어층(630)의 둘레를 감싸며 배치될 수 있다.The third barrier layer 630 may be disposed in the first base layer 110. The third barrier layer 630 may be inserted and disposed in the first base layer 110. The first base layer 110 may be disposed surrounding the third barrier layer 630.

상기 제 3 배리어층(630)은 상기 압전소자(400)와 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 더 자세하게, 상기 제 3 배리어층(630)의 중심은 상기 압전소자(400)의 하면 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 또한, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 연결부(210)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 배리어층(630)의 중심은 상기 제 1 연결부(210)의 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다.The third barrier layer 630 may be disposed in a region corresponding to the piezoelectric element 400. In detail, the third barrier layer 630 may overlap the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In more detail, the center of the third barrier layer 630 may overlap the center of the lower surface of the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In addition, the third barrier layer 630 may vertically overlap the first connection part 210. In detail, the center of the third barrier layer 630 may overlap the center of the first connection part 210 in a vertical direction.

상기 제 3 배리어층(630)의 너비는 상기 압전소자(400)의 너비와 같거나 상이할 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 배리어층(630)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 0.8배 내지 약 2배일 수 있다. The width of the third barrier layer 630 may be the same as or different from the width of the piezoelectric element 400. In detail, the width of the third barrier layer 630 in the horizontal direction may be about 0.8 times to about 2 times the width of the lower surface of the piezoelectric element 400.

예를 들어, 상기 제 3 배리어층(630)의 수평 방향 너비가 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 0.8배 미만인 경우, 상기 제 1 배선(200)의 신뢰성이 저하될 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 연결부(210) 및 상기 제 1 연장부(220)의 경계와 대응되는 보호층(550)의 탄성 변형 특성을 저하시키지 못할 수 있다. 이로 인해, 반복된 탄성 변형 시 상기 제 1 연결부(210) 및 상기 제 1 연장부(220) 사이가 단선될 수 있다. 또한, 상기 제 3 배리어층(630)의 수평 방향 너비가 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 2배를 초과할 경우, 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 특성이 저하될 수 있다. 이에 따라 사용자와 상기 마스크(1000)의 밀착 특성이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 3 배리어층(630)의 수평 방향 너비는 상기 제 1 배선(200)의 신뢰성, 제 1 베이스층(110)의 반사 특성을 고려하여 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.For example, when the width of the third barrier layer 630 in the horizontal direction is less than about 0.8 times the width of the lower surface of the piezoelectric element 400, the reliability of the first wiring 200 may be deteriorated. In detail, the third barrier layer 630 may not deteriorate the elastic deformation characteristics of the protective layer 550 corresponding to the boundary between the first connection part 210 and the first extension part 220. For this reason, during repeated elastic deformation, a disconnection may occur between the first connection part 210 and the first extension part 220. In addition, when the width of the third barrier layer 630 in the horizontal direction exceeds about twice the width of the lower surface of the piezoelectric element 400, the elastic deformation characteristics of the mask 1000 may be deteriorated. Accordingly, the adhesion property between the user and the mask 1000 may be deteriorated. Accordingly, it is preferable that the width of the third barrier layer 630 in the horizontal direction satisfies the above-described range in consideration of the reliability of the first wiring 200 and reflection characteristics of the first base layer 110.

보다 바람직하게, 상기 제 3 배리어층(630)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400)의 하면 너비의 약 1배 내지 약 1.5배일 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 배선(200)은 향상된 신뢰성을 가질 수 있고, 상기 제 1 베이스층(110)은 초음파 에너지를 효과적으로 반사시킬 수 있다.More preferably, the width in the horizontal direction of the third barrier layer 630 may be about 1 to about 1.5 times the width of the lower surface of the piezoelectric element 400. Accordingly, the first wiring 200 may have improved reliability, and the first base layer 110 may effectively reflect ultrasonic energy.

상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 배선(300) 상에 배치될 수 있다. 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 배선(300)과 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 배선(300)과 수직 방향으로 이격되며 상기 제 2 배선(300)보다 하부에 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 배선(300)보다 상기 마스크(1000)의 일면과 인접할 수 있다.The fourth barrier layer 640 may be disposed on the second wiring 300. The fourth barrier layer 640 may be spaced apart from the second wiring 300. For example, the fourth barrier layer 640 may be spaced apart from the second wiring 300 in a vertical direction and disposed below the second wiring 300. That is, the fourth barrier layer 640 may be closer to one surface of the mask 1000 than the second wiring 300.

상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 베이스층(120) 내에 배치될 수 있다. 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 베이스층(120) 내에 삽입되어 배치될 수 있다. 상기 제 2 베이스층(120)은 상기 제 4 배리어층(640)의 둘레를 감싸며 배치될 수 있다.The fourth barrier layer 640 may be disposed in the second base layer 120. The fourth barrier layer 640 may be inserted and disposed in the second base layer 120. The second base layer 120 may be disposed surrounding the fourth barrier layer 640.

상기 제 4 배리어층(640)은 상기 압전소자(400)와 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 더 자세하게, 상기 제 4 배리어층(640)의 중심은 상기 압전소자(400)의 상면 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 또한, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 연결부(310)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 제 4 배리어층(640)의 중심은 상기 제 2 연결부(310)의 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다.The fourth barrier layer 640 may be disposed in a region corresponding to the piezoelectric element 400. In detail, the fourth barrier layer 640 may overlap the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In more detail, the center of the fourth barrier layer 640 may overlap the center of the upper surface of the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In addition, the fourth barrier layer 640 may overlap the second connection part 310 in a vertical direction. In detail, the center of the fourth barrier layer 640 may overlap the center of the second connection part 310 in a vertical direction.

상기 제 4 배리어층(640)의 너비는 상기 압전소자(400)의 너비와 같거나 상이할 수 있다. 자세하게, 상기 제 4 배리어층(640)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400)의 상면 너비의 약 0.8배 내지 약 2배일 수 있다. The width of the fourth barrier layer 640 may be the same as or different from the width of the piezoelectric element 400. In detail, the width of the fourth barrier layer 640 in the horizontal direction may be about 0.8 times to about 2 times the width of the top surface of the piezoelectric element 400.

예를 들어, 상기 제 4 배리어층(640)의 수평 방향 너비가 상기 압전소자(400)의 상면 너비의 약 0.8배 미만인 경우, 상기 제 2 배선(300)의 신뢰성이 저하될 수 있다. 자세하게, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 연결부(310) 및 상기 제 2 연장부(320)의 경계와 대응되는 보호층(550)의 탄성 변형 특성을 저하시키지 못할 수 있다. 이로 인해, 반복된 탄성 변형 시 상기 제 2 연결부(310) 및 상기 제 2 연장부(320) 사이가 단선될 수 있다. 또한, 상기 제 4 배리어층(640)의 수평 방향 너비가 상기 압전소자(400)의 상면 너비의 약 2배를 초과할 경우, 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 특성이 저하될 수 있다. 이에 따라 사용자와 상기 마스크(1000)의 밀착 특성이 저하될 수 있다. 따라서, 상기 제 4 배리어층(640)의 수평 방향 너비는 상기 제 2 배선(300)의 신뢰성, 제 2 베이스층(120)의 반사 특성을 고려하여 상술한 범위를 만족하는 것이 바람직하다.For example, when the width of the fourth barrier layer 640 in the horizontal direction is less than about 0.8 times the width of the upper surface of the piezoelectric element 400, the reliability of the second wiring 300 may be deteriorated. In detail, the fourth barrier layer 640 may not deteriorate the elastic deformation characteristics of the protective layer 550 corresponding to the boundary between the second connection part 310 and the second extension part 320. For this reason, a disconnection between the second connection part 310 and the second extension part 320 may be caused during repeated elastic deformation. In addition, when the width of the fourth barrier layer 640 in the horizontal direction exceeds about twice the width of the upper surface of the piezoelectric element 400, the elastic deformation characteristic of the mask 1000 may be deteriorated. Accordingly, the adhesion property between the user and the mask 1000 may be deteriorated. Therefore, it is preferable that the width of the fourth barrier layer 640 in the horizontal direction satisfies the above-described range in consideration of the reliability of the second wiring 300 and the reflection characteristics of the second base layer 120.

보다 바람직하게, 상기 제 4 배리어층(640)의 수평 방향 너비는 상기 압전소자(400)의 상면 너비의 약 1배 내지 약 1.5배일 수 있다. 이에 따라, 상기 제 2 배선(300)은 향상된 신뢰성을 가질 수 있고, 상기 제 2 베이스층(120)은 초음파 에너지를 효과적으로 투과시킬 수 있다.More preferably, the width of the fourth barrier layer 640 in the horizontal direction may be about 1 to about 1.5 times the width of the upper surface of the piezoelectric element 400. Accordingly, the second wiring 300 may have improved reliability, and the second base layer 120 may effectively transmit ultrasonic energy.

또한, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 3 배리어층(630)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 3 배리어층(630)과 상이한 재질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 압전소자(400)에서 방출된 초음파 에너지를 반사할 수 있는 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 압전소자(400)에서 방출된 초음파 에너지를 투과할 수 있는 재질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)의 두께는 감소될 수 있으며, 보다 슬림(slim)한 마스크를 제공할 수 있다.In addition, the fourth barrier layer 640 may include the same material as the third barrier layer 630. Alternatively, the fourth barrier layer 640 may include a material different from that of the third barrier layer 630. For example, the third barrier layer 630 may include a material capable of reflecting ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400. In addition, the fourth barrier layer 640 may include a material capable of transmitting ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400. Accordingly, the thickness of the first base layer 110 and the second base layer 120 may be reduced, and a slimmer mask may be provided.

도 8을 참조하면, 상기 배리어층(600)은 복수의 배리어층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 배리어층(600)은 제 1 베이스층(110) 상에 배치되는 제 1 배리어층(610), 제 2 베이스층(120) 상에 배치되는 제 2 배리어층(620), 제 1 베이스층(110) 내에 배치되는 제 3 배리어층(630) 및 제 2 베이스층(120) 내에 배치되는 제 4 배리어층(640)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, the barrier layer 600 may include a plurality of barrier layers. For example, the barrier layer 600 includes a first barrier layer 610 disposed on the first base layer 110, a second barrier layer 620 disposed on the second base layer 120, and A third barrier layer 630 disposed in the first base layer 110 and a fourth barrier layer 640 disposed in the second base layer 120 may be included.

상기 제 1 배리어층(610) 및 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 배리어층(610) 및 상기 제 3 배리어층(630) 각각의 중심은 상기 압전소자(400)의 하면 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다. The first barrier layer 610 and the third barrier layer 630 may overlap the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In detail, the centers of each of the first barrier layer 610 and the third barrier layer 630 may overlap in a vertical direction with the center of the lower surface of the piezoelectric element 400.

상기 제 1 배리어층(610) 및 상기 제 3 배리어층(630)은 수직 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 배리어층(610) 및 상기 제 3 배리어층(630)은 제 1 간격(d1)으로 정의되는 거리만큼 이격될 수 있다. 상기 제 1 간격(d1)은 약 5㎛ 내지 약 1000㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 1 간격(d1)은 약 10㎛ 내지 약 1000㎛일 수 있다. 상기 제 1 간격(d1)이 약 5㎛ 미만인 경우, 상기 배리어층(610, 630)과 대응되는 상기 제 1 베이스층(110)의 및 상기 보호층(550)의 탄성 변형 특성이 급격히 저하될 수 있다. 이에 따라 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 특성이 저하될 수 있어 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하기 어려울 수 있다. 또한, 상기 제 1 간격(d1)이 약 1000㎛를 초과하는 경우, 상기 제 1 베이스층(110)의 두께가 증가할 수 있어 마스크(1000)의 전체 두께가 증가할 수 있다.The first barrier layer 610 and the third barrier layer 630 may be spaced apart in a vertical direction. For example, the first barrier layer 610 and the third barrier layer 630 may be spaced apart by a distance defined by a first interval d1. The first interval d1 may be about 5 μm to about 1000 μm. In detail, the first interval d1 may be about 10 μm to about 1000 μm. When the first gap d1 is less than about 5 μm, the elastic deformation characteristics of the first base layer 110 and the protective layer 550 corresponding to the barrier layers 610 and 630 may be rapidly deteriorated. have. Accordingly, since the elastic deformation characteristics of the mask 1000 may be deteriorated, it may be difficult to effectively contact the user's skin. In addition, when the first gap d1 exceeds about 1000 μm, the thickness of the first base layer 110 may increase, so that the total thickness of the mask 1000 may increase.

상기 제 1 배리어층(610) 및 상기 제 3 배리어층(630)은 동일한 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 배리어층(610) 및 상기 제 3 배리어층(630)은 금속 및 폴리머 재질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제 1 배리어층(610) 및 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 압전소자(400)에서 방출된 초음파 에너지를 반사시킬 수 있는 재질을 포함할 수 있다.The first barrier layer 610 and the third barrier layer 630 may include the same material. For example, the first barrier layer 610 and the third barrier layer 630 may include at least one of a metal and a polymer material. The first barrier layer 610 and the third barrier layer 630 may include a material capable of reflecting ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400.

상기 제 2 배리어층(620) 및 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 배리어층(620) 및 상기 제 4 배리어층(640) 각각의 중심은 상기 압전소자(400)의 상면 중심과 수직 방향으로 중첩될 수 있다. The second barrier layer 620 and the fourth barrier layer 640 may overlap the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In detail, the centers of each of the second barrier layer 620 and the fourth barrier layer 640 may overlap the center of the upper surface of the piezoelectric element 400 in a vertical direction.

상기 제 2 배리어층(620) 및 상기 제 4 배리어층(640)은 수직 방향으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 배리어층(620) 및 상기 제 4 배리어층(640)은 제 2 간격(d2)으로 정의되는 거리만큼 이격될 수 있다. 상기 제 2 간격(d2)은 약 5㎛ 내지 약 1000㎛일 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 간격(d2)은 약 5㎛ 내지 약 1000㎛일 수 있다. 상기 제 2 간격(d2)이 약 5㎛ 미만인 경우, 상기 배리어층(620, 640)과 대응되는 상기 제 2 베이스층(120) 및 상기 보호층(550)의 탄성 변형 특성이 급격히 저하될 수 있다. 이에 따라 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 특성이 저하될 수 있어 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하기 어려울 수 있다. 또한, 상기 제 2 간격(d2)이 약 1000㎛를 초과하는 경우, 상기 제 2 베이스층(120)의 두께가 증가할 수 있어 마스크(1000)의 전체 두께가 증가할 수 있다.The second barrier layer 620 and the fourth barrier layer 640 may be spaced apart in a vertical direction. For example, the second barrier layer 620 and the fourth barrier layer 640 may be spaced apart by a distance defined by a second interval d2. The second interval d2 may be about 5 μm to about 1000 μm. In detail, the second interval d2 may be about 5 μm to about 1000 μm. When the second gap d2 is less than about 5 μm, the elastic deformation characteristics of the second base layer 120 and the protective layer 550 corresponding to the barrier layers 620 and 640 may be rapidly deteriorated. . Accordingly, since the elastic deformation characteristics of the mask 1000 may be deteriorated, it may be difficult to effectively contact the user's skin. In addition, when the second gap d2 exceeds about 1000 μm, the thickness of the second base layer 120 may increase, so that the total thickness of the mask 1000 may increase.

상기 제 2 배리어층(620) 및 상기 제 4 배리어층(640)은 동일한 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 배리어층(620) 및 상기 제 4 배리어층(640)은 금속 및 폴리머 재질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제 2 배리어층(620) 및 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 압전소자(400)에서 방출된 초음파 에너지를 투과시킬 수 있는 재질을 포함할 수 있다.The second barrier layer 620 and the fourth barrier layer 640 may include the same material. For example, the second barrier layer 620 and the fourth barrier layer 640 may include at least one of a metal and a polymer material. The second barrier layer 620 and the fourth barrier layer 640 may include a material capable of transmitting ultrasonic energy emitted from the piezoelectric element 400.

또한, 상기 제 1 및 제 3 배리어층(610, 630)은 상기 제 2 및 제 3 배리어층(620, 640)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 제 1 및 제 3 배리어층(610, 630)은 상기 제 2 및 제 3 배리어층(620, 640)과 상이한 물질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 및 제 3 배리어층(610, 630)은 초음파 에너지를 반사시킬 수 있는 재질을 포함할 수 있고, 상기 제 2 및 제 4 배리어층(620, 640)은 초음파 에너지를 투과시킬 수 있는 재질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 2 베이스층(120)의 두께는 감소될 수 있으며, 보다 슬림(slim)한 마스크를 제공할 수 있다.In addition, the first and third barrier layers 610 and 630 may include the same material as the second and third barrier layers 620 and 640. Alternatively, the first and third barrier layers 610 and 630 may include a material different from the second and third barrier layers 620 and 640. For example, the first and third barrier layers 610 and 630 may include a material capable of reflecting ultrasonic energy, and the second and fourth barrier layers 620 and 640 may transmit ultrasonic energy. It may contain a material that can be. Accordingly, the thickness of the first base layer 110 and the second base layer 120 may be reduced, and a slimmer mask may be provided.

또한, 실시예에 따른 마스크(1000)는 복수의 배리어층(610, 620, 630, 640)을 포함함에 따라 보다 향상된 신뢰성을 가질 수 있으며, 상기 마스크(1000)의 일면 방향으로 제공되는 초음파 에너지의 효율을 극대화할 수 있다.In addition, since the mask 1000 according to the embodiment includes a plurality of barrier layers 610, 620, 630, and 640, it may have improved reliability, and the ultrasonic energy provided in the direction of one surface of the mask 1000 Efficiency can be maximized.

도 9는 도 1의 A1 영역의 또 다른 상면도이고, 도 10은 도 9의 B-B' 단면을 도시한 단면도이다. 도 9 및 도 10을 이용한 설명에서는 앞서 설명한 마스크와 동일 유사한 구성에 대해서는 설명을 생략하며 동일 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다.FIG. 9 is another top view of the area A1 of FIG. 1, and FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 9. In the description using FIGS. 9 and 10, descriptions of the same and similar configurations as the above-described mask are omitted, and the same reference numerals denote the same and similar configurations.

도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 배리어층(600)은 상기 제 1 배선(200) 및 상기 제 2 배선(300) 중 적어도 하나의 배선 상에 배치될 수 있다. 상기 배리어층(600)은 상기 압전소자(400) 및 상기 배선(200, 300)과 대응되는 영역에 배치될 수 있다.9 and 10, the barrier layer 600 may be disposed on at least one of the first wiring 200 and the second wiring 300. The barrier layer 600 may be disposed in a region corresponding to the piezoelectric element 400 and the wirings 200 and 300.

상기 배리어층(600)은 도 7과 같이 상기 제 1 배선(200) 상에 배치되는 제 3 배리어층(630)을 포함할 수 있다. 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 압전소자(400)와 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 배리어층(630)의 일부는 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 또한, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 압전소자(400)의 하면 중심과 수직 방향으로 중첩되지 않고 이격되는 영역에 배치될 수 있다.The barrier layer 600 may include a third barrier layer 630 disposed on the first wiring 200 as shown in FIG. 7. The third barrier layer 630 may be disposed in a region corresponding to the piezoelectric element 400. In detail, a part of the third barrier layer 630 may overlap the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In addition, the third barrier layer 630 may be disposed in a region spaced apart from the bottom surface of the piezoelectric element 400 without overlapping in a vertical direction.

또한, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 배선(200)과 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 배리어층(630)의 일부는 상기 제 1 연결부(210)와 중첩될 수 있고, 또 다른 일부는 상기 제 1 연장부(220)와 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 연결부(210) 및 상기 제 1 연장부(220)의 경계와 수직 방향으로 중첩되는 영역에 배치될 수 있다.In addition, the third barrier layer 630 may be disposed in a region corresponding to the first wiring 200. For example, a part of the third barrier layer 630 may overlap the first connection part 210, and another part may overlap the first extension part 220. In detail, the third barrier layer 630 may be disposed in a region overlapping the boundary of the first connection part 210 and the first extension part 220 in a vertical direction.

또한, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 제 1 연장부(220)의 밴딩(bending) 영역과 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 연장부(220)가 도 9와 같이 구불거리는 패턴이 반복되는 곡선의 형태로 제공될 경우, 상기 제 3 배리어층(630)은 상기 연장 방향이 바뀌는 밴딩 영역과 수직 방향으로 중첩되는 영역에 배치될 수 있다.In addition, the third barrier layer 630 may be disposed in a region corresponding to a bending region of the first extension part 220. For example, when the first extension part 220 is provided in a curved shape in which a wavy pattern is repeated as shown in FIG. 9, the third barrier layer 630 is formed in a vertical direction to a bending area in which the extension direction is changed. It can be placed in an overlapping area.

또한, 상기 배리어층(600)은 도 7과 같이 상기 제 2 배선(300) 상에 배치되는 제 4 배리어층(640)을 포함할 수 있다. 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 압전소자(400)와 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 제 4 배리어층(640)의 일부는 상기 압전소자(400)와 수직 방향으로 중첩될 수 있다. 또한, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 압전소자(400)의 하면 중심과 수직 방향으로 중첩되지 않고 이격되는 영역에 배치될 수 있다.In addition, the barrier layer 600 may include a fourth barrier layer 640 disposed on the second wiring 300 as shown in FIG. 7. The fourth barrier layer 640 may be disposed in a region corresponding to the piezoelectric element 400. In detail, a part of the fourth barrier layer 640 may overlap the piezoelectric element 400 in a vertical direction. In addition, the fourth barrier layer 640 may be disposed in a region spaced apart from the bottom surface of the piezoelectric element 400 without overlapping in a vertical direction.

또한, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 배선(300)과 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 4 배리어층(640)의 일부는 상기 제 2 연결부(310)와 중첩될 수 있고, 또 다른 일부는 상기 제 2 연장부(320)와 중첩될 수 있다. 자세하게, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 연결부(310) 및 상기 제 2 연장부(320)의 경계와 수직 방향으로 중첩되는 영역에 배치될 수 있다.In addition, the fourth barrier layer 640 may be disposed in a region corresponding to the second wiring 300. For example, a part of the fourth barrier layer 640 may overlap the second connection part 310, and another part of the fourth barrier layer 640 may overlap the second extension part 320. In detail, the fourth barrier layer 640 may be disposed in a region perpendicular to the boundary of the second connection part 310 and the second extension part 320.

또한, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 제 2 연장부(320)의 밴딩(bending) 영역과 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 연장부(320)가 도 9와 같이 구불거리는 패턴이 반복되는 곡선의 형태로 제공될 경우, 상기 제 4 배리어층(640)은 상기 연장 방향이 바뀌는 밴딩 영역과 수직 방향으로 중첩되는 영역에 배치될 수 있다.In addition, the fourth barrier layer 640 may be disposed in a region corresponding to a bending region of the second extension part 320. For example, when the second extension part 320 is provided in a curved shape in which a wavy pattern is repeated as shown in FIG. 9, the fourth barrier layer 640 is formed in a vertical direction to a bending area in which the extension direction is changed. It can be placed in an overlapping area.

상기 제 3 및 제 4 배리어층(630, 640) 각각은 상기 압전소자(400)보다 작은 수평 방향 너비를 가질 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 및 제 4 배리어층(630, 640) 각각은 상기 압전소자(400)의 수평 방향 너비의 약 80% 이하일 수 있다.Each of the third and fourth barrier layers 630 and 640 may have a width smaller than that of the piezoelectric element 400 in the horizontal direction. In detail, each of the third and fourth barrier layers 630 and 640 may be about 80% or less of the width of the piezoelectric element 400 in the horizontal direction.

이에 따라, 상기 마스크(1000)의 배선(200, 300)은 향상된 신뢰성을 가질 수 있다. 자세하게, 상기 마스크(1000)의 탄성 변형 시 상기 배선(200, 300) 역시 변형될 수 있다. 이때, 상기 배선(200, 300) 중 상대적으로 신뢰성이 낮은 연결부(210, 310)와 연장부(220, 320)의 경계, 연장부(220, 320)의 밴딩 영역 상에는 제 3 및 제 4 배리어층(630, 640)이 배치될 수 있다. 따라서, 상기 배리어층(630, 640)은 상기 배리어층(630, 640)이 배치된 영역의 탄성 변형성을 저하시킬 수 있어 상기 배선(200, 300)에 가해진 응력을 최소화할 수 있다.Accordingly, the wirings 200 and 300 of the mask 1000 may have improved reliability. In detail, when the mask 1000 is elastically deformed, the wirings 200 and 300 may also be deformed. At this time, the boundary between the connection portions 210 and 310 and the extension portions 220 and 320 having relatively low reliability among the wirings 200 and 300, and the third and fourth barrier layers on the bending area of the extension portions 220 and 320 (630, 640) may be placed. Accordingly, the barrier layers 630 and 640 may reduce elastic deformability of a region in which the barrier layers 630 and 640 are disposed, thereby minimizing stress applied to the wirings 200 and 300.

또한, 도면에는 도시하지 않았으나, 상기 제 1 및 제 2 배리어층(610, 620) 각각은 상기 제 3 및 제 4 배리어층(630, 640)과 같이 상기 제 1 및 제 2 배선(110, 120)의 경계 영역 및 밴딩 영역 상에 배치될 수 있으며 이에 대해 제한하지 않는다.In addition, although not shown in the drawing, each of the first and second barrier layers 610 and 620 is similar to the third and fourth barrier layers 630 and 640, and the first and second wirings 110 and 120 It may be disposed on the border area and the banding area of, but is not limited thereto.

도 11은 도 1의 A1 영역의 다른 분해 사시도이고, 도 12는 도 11의 C-C' 단면을 도시한 단면도이다. 도 11 및 도 12를 이용한 설명에서는 앞서 설명한 마스크와 동일 유사한 구성에 대해서는 설명을 생략하며 동일 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다.FIG. 11 is another exploded perspective view of the area A1 of FIG. 1, and FIG. 12 is a cross-sectional view showing a cross-section C-C' of FIG. 11. In the description using FIGS. 11 and 12, descriptions of the same and similar configurations as the above-described mask are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same and similar configurations.

도 11 및 도 12를 참조하면, 실시예에 따른 마스크(1000)는 제 1 기재(510) 및 제 2 기재(520)를 더 포함할 수 있다.11 and 12, the mask 1000 according to the embodiment may further include a first substrate 510 and a second substrate 520.

상기 제 1 기재(510)는 상기 제 1 베이스층(110) 상에 배치될 수 있다. 상기 제 1 기재(510)는 상기 제 1 베이스층(110) 및 상기 제 1 배선(200) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제 1 기재(510)는 상기 제 1 베이스층(110)의 일면과 직접 접촉할 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 배선(200)은 상기 제 1 베이스층(110)과 이격될 수 있고 상기 제 1 기재(510)와 직접 접촉할 수 있다. 또한, 상기 제 1 배리어층(610)은 상기 제 1 기재(510)보다 하부에 배치될 수 있다. 상기 제 1 배리어층(610)은 상기 제 1 기재(510)와 이격되거나 직접 접촉하며 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The first substrate 510 may be disposed on the first base layer 110. The first substrate 510 may be disposed between the first base layer 110 and the first wiring 200. The first substrate 510 may directly contact one surface of the first base layer 110. In this case, the first wiring 200 may be spaced apart from the first base layer 110 and may directly contact the first substrate 510. In addition, the first barrier layer 610 may be disposed below the first substrate 510. The first barrier layer 610 may be disposed to be spaced apart from or in direct contact with the first substrate 510, but is not limited thereto.

상기 제 1 기재(510)는 투명하며 수분 차단성, 열적 안정성 등을 고려한 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 1 기재(510)는 유연성을 가지며 굴곡진 사용자의 피부 형상에 따라 탄성 변형되는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 1 기재(510)는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 및 폴리이미드(PI) 등의 수지 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 1 기재(510)는 필름 형태로 제공될 수 있다.The first substrate 510 is transparent and may include a material in consideration of moisture barrier properties and thermal stability. In addition, the first substrate 510 may include a material that has flexibility and elastically deforms according to the shape of the user's skin. For example, the first substrate 510 may include a resin material such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), and polyimide (PI). The first substrate 510 may be provided in the form of a film.

상기 제 1 기재(510)는 약 0.5㎛ 내지 약 5㎛ 이하의 두께를 가질 수 있다. 상기 제 1 기재(510)의 두께가 약 0.5㎛ 미만인 경우, 상기 제 1 기재(510) 상에 배치되는 구성들, 예컨대, 압전소자(400) 등의 무게에 의해 상기 구성들과 중첩되는 상기 제 1 기재(510)의 영역이 쳐지는 문제점이 발생할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 기재(510)의 신뢰성이 저하될 수 있고, 상기 제 1 기재(510) 상에 배치되는 구성들의 얼라인(align) 문제가 발생할 수 있다. 또한, 상기 제 1 기재(510)의 두께가 약 5㎛를 초과하는 경우, 상기 마스크(1000)의 전체 두께가 증가될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)가 사용자의 피부 형상에 따라 효율적으로 탄성 변형하지 못하여 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하지 못하는 문제점이 있다. 바람직하게, 상기 제 1 기재(510)는 약 0.5㎛ 내지 약 3㎛의 두께를 가질 수 있다. 상기 제 1 기재(510)의 두께가 상술한 범위를 만족할 경우, 신뢰성 및 얼라인 특성을 유지하며 사용자의 피부와 대응되는 형태로 효율적으로 탄성 변형할 수 있고, 상기 마스크(1000)의 전체 두께 및 무게가 감소할 수 있다.The first substrate 510 may have a thickness of about 0.5 μm to about 5 μm or less. When the thickness of the first substrate 510 is less than about 0.5 μm, the components disposed on the first substrate 510, for example, the first substrate 510 overlapped with the components by the weight of the piezoelectric element 400 1 There may be a problem that the area of the substrate 510 is struck. Accordingly, reliability of the first substrate 510 may be deteriorated, and a problem of alignment of components disposed on the first substrate 510 may occur. In addition, when the thickness of the first substrate 510 exceeds about 5 μm, the total thickness of the mask 1000 may be increased. Accordingly, there is a problem in that the mask 1000 cannot be elastically deformed efficiently according to the shape of the user's skin, and thus cannot be effectively in close contact with the user's skin. Preferably, the first substrate 510 may have a thickness of about 0.5 μm to about 3 μm. When the thickness of the first substrate 510 satisfies the above-described range, reliability and alignment characteristics can be maintained and elastically deformed efficiently into a shape corresponding to the user's skin, and the total thickness of the mask 1000 and Weight can be reduced.

상기 제 2 기재(520)는 상기 제 2 베이스층(120) 상에 배치될 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 상기 제 2 베이스층(120) 및 상기 제 2 배선(300) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 상기 제 2 베이스층(120)의 일면과 직접 접촉할 수 있다. 이 경우, 상기 제 2 배선(300)은 상기 제 2 베이스층(120)과 이격될 수 있고 상기 제 2 기재(520)와 직접 접촉할 수 있다. 또한, 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 제 2 기재(520)보다 상부에 배치될 수 있다. 상기 제 2 배리어층(620)은 상기 제 2 기재(520)와 이격되거나 직접 접촉하며 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The second substrate 520 may be disposed on the second base layer 120. The second substrate 520 may be disposed between the second base layer 120 and the second wiring 300. The second substrate 520 may directly contact one surface of the second base layer 120. In this case, the second wiring 300 may be spaced apart from the second base layer 120 and may directly contact the second substrate 520. In addition, the second barrier layer 620 may be disposed above the second substrate 520. The second barrier layer 620 may be disposed to be spaced apart from or in direct contact with the second substrate 520, but is not limited thereto.

상기 제 2 기재(520)는 투명하며 수분 차단성, 열적 안정성 등을 고려한 재질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 제 2 기재(520)는 유연성을 가지며 굴곡진 사용자의 피부 형상에 따라 탄성 변형되는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 제 2 기재(520)는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나트탈레이트(PEN), 및 폴리이미드(PI) 등의 수지 재질을 포함할 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 필름 형태로 제공될 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 상기 제 1 기재(510)와 동일한 재질 및 동일한 형태를 가질 수 있으며, 이에 대해 제한하지는 않는다.The second substrate 520 is transparent and may include a material in consideration of moisture barrier properties and thermal stability. In addition, the second substrate 520 may include a material that has flexibility and is elastically deformed according to the shape of the user's skin. For example, the second substrate 520 may include a resin material such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene nattalate (PEN), and polyimide (PI). The second substrate 520 may be provided in the form of a film. The second substrate 520 may have the same material and shape as the first substrate 510, but is not limited thereto.

상기 제 2 기재(520)는 약 0.5㎛ 내지 약 5㎛의 두께를 가질 수 있다. 상기 제 2 기재(520)의 두께가 약 0.5㎛ 미만인 경우, 상기 제 2 기재(520) 상에 배치되는 구성들, 예컨대, 압전소자(400) 등의 무게에 의해 상기 구성들과 중첩되는 상기 제 2 기재(520)의 영역이 쳐지는 문제점이 발생할 수 있다. 이에 따라, 상기 제 2 기재(520)의 신뢰성이 저하될 수 있고, 상기 제 2 기재(520) 상에 배치되는 구성들의 얼라인(align) 문제가 발생할 수 있다. 또한, 상기 제 2 기재(520)의 두께가 약 5㎛를 초과하는 경우, 상기 마스크(1000)의 전체 두께가 증가될 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)가 사용자의 피부 형상에 따라 효율적으로 탄성 변형하지 못하여 사용자의 피부와 효과적으로 밀착하지 못하는 문제점이 있다. 바람직하게, 상기 제 2 기재(520)는 약 0.5㎛ 내지 약 3㎛의 두께를 가질 수 있다. 상기 제 2 기재(520)의 두께가 상술한 범위를 만족할 경우, 신뢰성 및 얼라인 특성을 유지하며 사용자의 피부와 대응되는 형태로 효율적으로 탄성 변형할 수 있고, 상기 마스크(1000)의 전체 두께 및 무게가 감소할 수 있다. 상기 제 2 기재(520)는 상기 제 1 기재(510)와 동일한 두께를 가질 수 있으며, 이에 대해 제한하지는 않는다.The second substrate 520 may have a thickness of about 0.5 μm to about 5 μm. When the thickness of the second substrate 520 is less than about 0.5 μm, components disposed on the second substrate 520, for example, the second substrate 520 overlapping the components by the weight of the piezoelectric element 400 2 There may be a problem that the area of the substrate 520 is hit. Accordingly, reliability of the second substrate 520 may be deteriorated, and an alignment problem may occur between components disposed on the second substrate 520. In addition, when the thickness of the second substrate 520 exceeds about 5 μm, the total thickness of the mask 1000 may be increased. Accordingly, there is a problem in that the mask 1000 cannot be elastically deformed efficiently according to the shape of the user's skin, and thus cannot be effectively in close contact with the user's skin. Preferably, the second substrate 520 may have a thickness of about 0.5 μm to about 3 μm. When the thickness of the second substrate 520 satisfies the above-described range, reliability and alignment characteristics can be maintained and elastically deformed efficiently into a shape corresponding to the user's skin, and the total thickness of the mask 1000 and Weight can be reduced. The second substrate 520 may have the same thickness as the first substrate 510, but is not limited thereto.

실시예는 상기 제 1 기재(510) 및 상기 제 2 기재(520)가 추가됨에 따라 제조 과정 중 압전소자(400)의 얼라인(align) 특성을 개선할 수 있다. 또한, 상기 제 1 기재(510) 및 상기 제 2 기재(520)가 추가됨에 외부로부터 유입된 수분, 이물질의 유입 경로를 증가시킬 수 있고 이로 인해 상기 마스크(1000)는 향상된 신뢰성을 가질 수 있다. According to the embodiment, as the first substrate 510 and the second substrate 520 are added, alignment characteristics of the piezoelectric element 400 during a manufacturing process may be improved. In addition, since the first substrate 510 and the second substrate 520 are added, an inflow path of moisture and foreign substances introduced from the outside may be increased, and thus the mask 1000 may have improved reliability.

도 13 내지 도 15는 실시예에 따른 마스크에 인디케이터, 돌기가 제공된 예를 도시한 도면이다.13 to 15 are diagrams illustrating examples in which indicators and protrusions are provided to a mask according to an embodiment.

도 13을 참조하면, 상기 마스크(1000)는 인디케이터(710)를 포함할 수 있다. 상기 인디케이터(710)는 LED, 디스플레이, 버저(buzzer) 등과 같이 시각적, 청각적 등 사용자에게 정보를 전달할 수 있는 부재 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 13, the mask 1000 may include an indicator 710. The indicator 710 may include at least one of members such as an LED, a display, a buzzer, and the like, which can transmit information to a user, such as visually or aurally.

상기 인디케이터(710)는 상기 마스크(1000)의 외측에 배치되어 상기 마스크(1000)의 동작 상태를 표시할 수 있다. 일례로, 상기 인디케이터(710)는 버저(buzzer)로부터 발생한 청각적 정보를 통해 상기 마스크(1000)의 동작 시작에 대한 정보, 동작 중임을 알리는 정보, 동작 완료에 대한 정보를 제공할 수 있다. 또한, 상기 인디케이터(710)는 LED의 발광 색상에 따라 동작 상태를 표시할 수 있다. 또한, 상기 인디케이터는 상기 디스플레이를 통해 동작중인 주파수 영역대에 대한 정보를 표시할 수 있다. The indicator 710 may be disposed outside the mask 1000 to display an operation state of the mask 1000. For example, the indicator 710 may provide information on the start of the operation of the mask 1000, information indicating that the operation is in progress, and information on the completion of the operation through auditory information generated from a buzzer. In addition, the indicator 710 may display an operation state according to the emission color of the LED. In addition, the indicator may display information on an operating frequency domain through the display.

또한, 도 14 및 도 15를 참조하면, 상기 마스크(1000)는 외측면 상에 배치되는 돌기(720)를 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 돌기(720)는 사용자의 피부와 마주하는 상기 제 2 베이스층(120)의 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 돌기(720)는 상기 제 2 배선(300)이 배치되는 상기 제 2 베이스층(120)의 일면과 반대되는 타면 상에 배치될 수 있다. 또한, 상기 돌기(720)는 사용자의 피부와 마주하는 상기 제 4 베이스층(140)의 일면 상에도 배치될 수 있다. 상기 돌기(720)는 사용자의 피부와 마주하는 마스크(1000)의 일면 상에 배치될 수 있다.Further, referring to FIGS. 14 and 15, the mask 1000 may include a protrusion 720 disposed on an outer surface. In detail, the protrusion 720 may be disposed on the second base layer 120 facing the user's skin. For example, the protrusion 720 may be disposed on the other surface opposite to one surface of the second base layer 120 on which the second wiring 300 is disposed. Also, the protrusion 720 may be disposed on one surface of the fourth base layer 140 facing the user's skin. The protrusion 720 may be disposed on one surface of the mask 1000 facing the user's skin.

상기 돌기(720)는 인체에 무해한 재질을 포함하며 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 및 상기 제 4 베이스층(140)의 일면으로부터 사용자의 피부 방향으로 돌출된 형태로 배치될 수 있다. 상기 돌기(720)는 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 및 상기 제 4 베이스층(140)의 일면 상에 서로 이격되는 복수의 점 형태로 배치될 수 있다. 또한, 상기 돌기(720)는 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 및 상기 제 4 베이스층(140)의 일면 상에 서로 이격된 복수의 직선 또는 곡선 형태로 배치될 수 있다. 또한, 상기 돌기(720)는 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 및 상기 제 4 베이스층(140)의 일면 상에 적어도 하나의 선(line) 형태로 배치될 수 있다. 일례로, 상기 돌기(720)는 상기 제 2 베이스층(120)의 타면 및 상기 제 4 베이스층(140)의 일면 상에 적어도 하나의 나선 형태로 배치될 수 있다.The protrusion 720 includes a material that is harmless to the human body and may be disposed to protrude from the other surface of the second base layer 120 and one surface of the fourth base layer 140 in the direction of the user's skin. The protrusion 720 may be disposed in the form of a plurality of points spaced apart from each other on the other surface of the second base layer 120 and the one surface of the fourth base layer 140. In addition, the protrusions 720 may be disposed on the other surface of the second base layer 120 and the first surface of the fourth base layer 140 in a plurality of straight or curved shapes spaced apart from each other. In addition, the protrusion 720 may be disposed in the form of at least one line on the other surface of the second base layer 120 and the first surface of the fourth base layer 140. As an example, the protrusion 720 may be disposed on the other surface of the second base layer 120 and on one surface of the fourth base layer 140 in at least one spiral shape.

상기 돌기(720)는 사용자가 상기 마스크(1000)를 착용할 때, 상기 마스크(1000)와 사용자의 피부 사이에 소정의 공간을 형성할 수 있다. 이에 따라, 상기 마스크(1000)를 착용 시 발생하는 압력 및/또는 상기 압전소자(400)에서 발생하는 초음파 에너지에 의해 상기 마스크(1000)와 피부 사이의 화장품 또는 약물이 상기 마스크(1000)의 가장자리 영역으로 밀려나가는 것을 방지할 수 있다. 즉, 상기 돌기(720)는 화장품 또는 약물이 상기 마스크(1000)로부터 벗어나는 것을 방지하는 격벽 역할을 수행할 수 있다. 따라서, 사용자는 상기 마스크(1000)를 이용하여 피부에 화장품 또는 약물을 효과적으로 주입할 수 있다.When the user wears the mask 1000, the protrusion 720 may form a predetermined space between the mask 1000 and the user's skin. Accordingly, by the pressure generated when the mask 1000 is worn and/or the ultrasonic energy generated from the piezoelectric element 400, cosmetics or drugs between the mask 1000 and the skin are at the edge of the mask 1000 It can prevent being pushed into the area. That is, the protrusion 720 may serve as a partition wall preventing cosmetics or drugs from escaping from the mask 1000. Accordingly, the user can effectively inject cosmetics or drugs into the skin by using the mask 1000.

도 16은 실시예에 따른 마스크를 착용한 사용자를 도시한 도면이고, 도 17은 실시예에 따른 마스크가 적용된 피부 관리 기기를 도시한 도면이다.16 is a diagram illustrating a user wearing a mask according to an exemplary embodiment, and FIG. 17 is a diagram illustrating a skin care device to which the mask according to the exemplary embodiment is applied.

도 16을 참조하면, 사용자(50)는 상기 마스크(1000)를 착용할 수 있다. 상기 마스크(1000)는 상술한 개구부(1010)를 포함할 수 있고 사용자(50)는 상기 개구부(1010)를 통해 시야를 확보할 수 있다. 또한, 상기 마스크(1000)는 상술한 절단부(1020)를 포함할 수 있고, 상기 절단부(1020)에 의해 상기 마스크(1000)는 굴곡진 피부와 효과적으로 밀착할 수 있다. 이때, 상기 제 2 베이스층(120)의 일면은 사용자(50)의 피부와 직접 접촉할 수 있다. 또한, 상기 제 2 베스층(520)과 사용자(50)의 피부 사이에는 약물 또는 화장품이 배치되어 상기 베이스층(520)은 사용자(50)의 피부와 직간접적으로 접촉할 수 있다.Referring to FIG. 16, the user 50 may wear the mask 1000. The mask 1000 may include the above-described opening 1010, and the user 50 may secure a view through the opening 1010. In addition, the mask 1000 may include the above-described cutting portion 1020, and the mask 1000 may be effectively in close contact with the curved skin by the cutting portion 1020. In this case, one surface of the second base layer 120 may directly contact the skin of the user 50. In addition, drugs or cosmetics are disposed between the second bath layer 520 and the skin of the user 50 so that the base layer 520 may directly or indirectly contact the skin of the user 50.

상기 마스크(1000)는 상기 마스크(1000)와 연결된 외부 전원을 통해 전원을 공급받아 동작할 수 있다. 또한, 상기 마스크(1000)는 상기 마스크(1000)의 외측, 예컨대 상기 제 1 베이스층(110)의 타면 상에 배치된 전원부(미도시)를 통해 전원을 공급받아 동작할 수 있다. The mask 1000 may be operated by receiving power through an external power connected to the mask 1000. In addition, the mask 1000 may be operated by receiving power through a power supply unit (not shown) disposed outside the mask 1000, for example, on the other surface of the first base layer 110.

또한, 도 24를 참조하면, 상기 마스크(1000)는 피부 관리 기기(1)에 적용되어 동작할 수 있다. Also, referring to FIG. 24, the mask 1000 may be applied to and operated on the skin care device 1.

자세하게, 도 24를 참조하면 상기 피부 관리 기기(1)는 일측이 오픈되며 내부에 수용 공간(11)을 포함하는 본체(10)를 포함할 수 있다.In detail, referring to FIG. 24, one side of the skin care device 1 is open and may include a body 10 including an accommodation space 11 therein.

상기 본체(10)는 가벼우며 외부의 충격이나 접촉 등으로부터 파손되는 것을 방지할 수 있는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 본체(10)는 플라스틱, 세라믹 재질을 포함하여 외부 환경으로부터 향상된 신뢰성을 가질 수 있고, 상기 수용 공간(11) 내부에 배치되는 상기 마스크(1000)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 본체(10)는 사용자의 눈과 대응되는 위치에 형성되는 시야부(13)를 포함할 수 있다. 상기 시야부(13)는 상기 마스크(1000)의 개구부(1010)와 대응되는 영역에 형성되며 사용자는 상기 시야부(13)를 통해 외부 시야를 확보할 수 있다.The body 10 is light and may include a material capable of preventing damage from external impact or contact. For example, the body 10 may include a plastic or ceramic material, and may have improved reliability from an external environment, and may protect the mask 1000 disposed inside the accommodation space 11. In addition, the main body 10 may include a viewing part 13 formed at a position corresponding to the user's eyes. The viewing part 13 is formed in an area corresponding to the opening 1010 of the mask 1000, and a user can secure an external view through the viewing part 13.

상기 마스크(1000)는 상기 본체(10)의 수용 공간(11) 내에 배치될 수 있다. 상기 마스크(1000)는 상기 본체(10)와 사용자(50)의 피부 사이에 배치될 수 있다. 자세하게, 상기 마스크(1000)의 제 1 베이스층(110)은 상기 본체(10)의 수용 공간(11)과 마주하게 배치될 수 있고, 상기 마스크(1000)의 제 2 베이스층(120)은 사용자(50)의 피부와 마주하도록 배치될 수 있다.The mask 1000 may be disposed in the receiving space 11 of the body 10. The mask 1000 may be disposed between the body 10 and the skin of the user 50. In detail, the first base layer 110 of the mask 1000 may be disposed to face the receiving space 11 of the body 10, and the second base layer 120 of the mask 1000 is 50 may be arranged to face the skin.

상기 마스크(1000)는 상기 본체(10)와 결합할 수 있다. 일례로, 상기 마스크(1000)는 체결 부재(미도시)에 의해 상기 수용 공간(11)의 설정된 위치에 고정될 수 있고, 상기 본체(10)로부터 착탈착 가능한 구조를 가질 수 있다.The mask 1000 may be coupled to the body 10. For example, the mask 1000 may be fixed to a set position of the receiving space 11 by a fastening member (not shown), and may have a structure that is detachable from the main body 10.

상기 마스크(1000)는 상기 마스크(1000)의 외측, 예컨대 상기 제 1 베이스층(110)의 타면 상에 배치된 전원부(미도시)를 통해 전원을 공급받을 수 있다. 이와 다르게, 상기 마스크(1000)는 상기 본체(10)와 연결되어 상기 본체(10)에 배치된 전원부(미도시)를 통해 전원을 공급받을 수 있다.The mask 1000 may receive power through a power supply (not shown) disposed outside the mask 1000, for example, on the other surface of the first base layer 110. Alternatively, the mask 1000 may be connected to the body 10 to receive power through a power supply unit (not shown) disposed on the body 10.

상기 마스크(1000)는 상기 제 1 베이스층(110) 하면에 배치되는 변형 부재(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 변형 부재는 상기 제 1 베이스층(110)과 직접 접촉할 수 있고, 상기 본체(10)의 수용 공간(11)과 마주하며 배치될 수 있다. 즉, 상기 본체(10)와 상기 마스크(1000)의 제 1 베이스층(110) 사이에는 상기 변형 부재가 배치될 수 있다.The mask 1000 may include a deformable member (not shown) disposed on the lower surface of the first base layer 110. The deformable member may directly contact the first base layer 110 and may be disposed facing the receiving space 11 of the main body 10. That is, the deformable member may be disposed between the body 10 and the first base layer 110 of the mask 1000.

상기 변형 부재는 외부 압력에 의해 형태가 변화하는 재질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 변형 부재는 에어갭(air gap) 또는 스펀지 등의 재질을 포함할 수 있으나 이에 제한되지 않으며 외부 압력에 의해 형태가 변하는 다양한 재질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 사용자(50)가 상기 피부 관리 기기(1)를 착용할 경우, 상기 변형 부재는 사용자(50)의 얼굴 형태와 대응되는 형태로 변형할 수 있다. 따라서, 상기 마스크(1000)와 사용자(50)의 피부가 효과적으로 밀착할 수 있다. 또한, 복수의 사용자가 상기 피부 관리 기기(1)를 착용할 경우, 각각의 얼굴 형태와 대응되도록 변형하여 사용자(50)의 피부와 상기 마스크(1000)가 효과적으로 밀착할 수 있다.The deformable member may include a material whose shape is changed by external pressure. For example, the deformable member may include a material such as an air gap or a sponge, but is not limited thereto, and may include various materials whose shape is changed by external pressure. Accordingly, when the user 50 wears the skin care device 1, the deformable member may be transformed into a form corresponding to the face form of the user 50. Accordingly, the mask 1000 and the skin of the user 50 can be effectively brought into close contact. In addition, when a plurality of users wear the skin care device 1, the skin of the user 50 and the mask 1000 may be effectively brought into close contact with each other by deforming to correspond to each face shape.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, and the like described in the above embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Further, the features, structures, effects, etc. illustrated in each embodiment may be implemented by combining or modifying other embodiments by a person having ordinary knowledge in the field to which the embodiments belong. Accordingly, contents related to such combinations and modifications should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In addition, although the embodiments have been described above, these are only examples and do not limit the present invention, and those of ordinary skill in the field to which the present invention belongs are illustrated above within the scope not departing from the essential characteristics of the present embodiment. It will be seen that various modifications and applications that are not available are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified and implemented. And differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

Claims (14)

제 1 베이스층 상에 배치되는 제 1 배선;
상기 제 1 배선 상에 배치되는 압전소자;
상기 압전소자 상에 배치되는 제 2 배선;
상기 제 2 배선 상에 배치되는 제 2 베이스층;
상기 제 1 및 제 2 베이스층 사이에 배치되며, 상기 제 1 배선, 상기 제 2 배선 및 상기 압전소자를 감싸는 보호층; 및
상기 제 1 및 제 2 배선 중 적어도 하나의 배선 상에 배치되는 배리어층을 포함하고,
상기 배리어층은 상기 제 1 베이스층, 상기 제 2 베이스층 및 상기 보호층 중 적어도 하나보다 탄성률이 낮은 재질을 포함하는 마스크.
A first wiring disposed on the first base layer;
A piezoelectric element disposed on the first wiring;
A second wiring disposed on the piezoelectric element;
A second base layer disposed on the second wiring;
A protective layer disposed between the first and second base layers and surrounding the first wiring, the second wiring, and the piezoelectric element; And
A barrier layer disposed on at least one of the first and second wirings,
The barrier layer is a mask comprising a material having a lower elastic modulus than at least one of the first base layer, the second base layer, and the protective layer.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 배선은, 상기 압전소자와 수직 방향으로 중첩되며 상기 압전소자의 하면과 마주하는 제 1 연결부; 및 상기 제 1 연결부로부터 연장하는 제 1 연장부를 포함하고,
상기 제 2 배선은, 상기 압전소자와 수직 방향으로 중첩되며 상기 압전소자의 상면과 마주하는 제 2 연결부; 및 상기 제 2 연결부로부터 연장하는 제 2 연장부를 포함하는 마스크.
The method of claim 1,
The first wiring may include: a first connection part overlapping the piezoelectric element in a vertical direction and facing a lower surface of the piezoelectric element; And a first extension part extending from the first connection part,
The second wiring may include a second connection part overlapping the piezoelectric element in a vertical direction and facing an upper surface of the piezoelectric element; And a second extension part extending from the second connection part.
제 2 항에 있어서,
상기 배리어층은,
상기 제 1 베이스층 상에 배치되는 제 1 배리어층; 및
상기 제 2 베이스층 상에 배치되는 제 2 배리어층을 포함하고,
수직 방향을 기준으로, 상기 제 1 배리어층은 상기 제 1 베이스층보다 하부에 배치되고, 상기 제 2 배리어층은 상기 제 2 배리어층보다 상부에 배치되는 마스크.
The method of claim 2,
The barrier layer,
A first barrier layer disposed on the first base layer; And
Including a second barrier layer disposed on the second base layer,
In a vertical direction, the first barrier layer is disposed below the first base layer, and the second barrier layer is disposed above the second barrier layer.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 배리어층은 상기 제 1 연결부의 중심과 수직 방향으로 중첩되는 영역 상에 배치되고,
상기 제 2 배리어층은 상기 제 2 연결부의 중심과 수직 방향으로 중첩되는 영역 상에 배치되는 마스크.
The method of claim 3,
The first barrier layer is disposed on a region overlapping the center of the first connection in a vertical direction,
The second barrier layer is a mask disposed on an area perpendicular to the center of the second connection part.
제 4 항에 있어서,
상기 배리어층은,
상기 제 1 베이스층 내에 배치되는 제 3 배리어층; 및
상기 제 2 베이스층 내에 배치되는 제 4 배리어층을 포함하고,
상기 제 3 배리어층은 상기 제 1 배리어층과 수직 방향으로 중첩되는 영역 상에 배치되고,
상기 제 4 배리어층은 상기 제 2 배리어층과 수직 방향으로 중첩되는 영역 상에 배치되는 마스크.
The method of claim 4,
The barrier layer,
A third barrier layer disposed within the first base layer; And
Including a fourth barrier layer disposed in the second base layer,
The third barrier layer is disposed on a region overlapping the first barrier layer in a vertical direction,
The fourth barrier layer is a mask disposed on a region overlapping the second barrier layer in a vertical direction.
제 5 항에 있어서,
상기 제 1 배리어층 및 상기 제 3 배리어층 사이의 간격은 5㎛ 내지 1000㎛이고,
상기 제 2 배리어층 및 상기 제 4 배리어층 사이의 간격은 5㎛ 내지 1000㎛인 마스크.
The method of claim 5,
The distance between the first barrier layer and the third barrier layer is 5 μm to 1000 μm,
A mask having a spacing between the second barrier layer and the fourth barrier layer of 5 μm to 1000 μm.
제 5 항에 있어서,
상기 제 3 배리어층은 상기 제 1 배리어층과 동일한 재질을 포함하고,
상기 제 4 배리어층은 상기 제 2 배리어층과 동일한 재질을 포함하는 마스크.
The method of claim 5,
The third barrier layer includes the same material as the first barrier layer,
The fourth barrier layer is made of the same material as the second barrier layer.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 배리어층의 수평 방향 너비는 상기 압전소자의 하면 수평 방향 너비의 0.8배 내지 2배이고,
상기 제 2 배리어층의 수평 방향 너비는 상기 압전소자의 상면 수평 방향 너비의 0.8배 내지 2배인 마스크.
The method of claim 3,
The width of the first barrier layer in the horizontal direction is 0.8 to 2 times the width of the lower surface of the piezoelectric element in the horizontal direction,
A mask having a width of the second barrier layer in a horizontal direction of 0.8 to 2 times a width of an upper surface of the piezoelectric element in a horizontal direction.
제 2 항에 있어서,
상기 배리어층은,
상기 제 1 베이스층 내에 배치되는 제 3 배리어층; 및
상기 제 2 베이스층 내에 배치되는 제 4 배리어층을 포함하고,
상기 제 3 배리어층은 상기 제 1 연결부 및 상기 제 1 연장부의 경계와 중첩되며 상기 압전소자의 중심과 수직 방향으로 이격되는 영역에 배치되고,
상기 제 4 배리어층은 상기 제 2 연결부 및 상기 제 2 연장부의 경계와 중첩되며 상기 압전소자의 중심과 수직 방향으로 이격되는 영역에 배치되는 마스크.
The method of claim 2,
The barrier layer,
A third barrier layer disposed within the first base layer; And
Including a fourth barrier layer disposed in the second base layer,
The third barrier layer is disposed in a region overlapping a boundary of the first connection part and the first extension part and spaced apart from the center of the piezoelectric element in a vertical direction,
The fourth barrier layer overlaps a boundary of the second connection part and the second extension part and is disposed in a region vertically spaced apart from the center of the piezoelectric element.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 배리어층 및 상기 제 2 배리어층은 서로 다른 재질을 포함하는 마스크.
The method of claim 3,
The first barrier layer and the second barrier layer are made of different materials.
제 1 항에 있어서,
상기 배리어층은 금속 및 폴리머 재질 중 적어도 하나를 포함하는 마스크.
The method of claim 1,
The barrier layer is a mask including at least one of a metal and a polymer material.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 베이스층, 상기 제 2 베이스층 및 상기 보호층은 동일 재질을 포함하는 마스크.
The method of claim 1,
The first base layer, the second base layer, and the protective layer are made of the same material.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 베이스층의 두께는 상기 제 2 베이스층의 두께보다 얇거나 같은 마스크.
The method of claim 1,
The thickness of the first base layer is less than or equal to the thickness of the second base layer.
일측이 오픈되고 상기 오픈된 영역 내부에 수용 공간을 포함하는 본체; 및
상기 오픈 영역 내에 배치되며 상기 본체와 연결되는 마스크를 포함하고,
상기 마스크는 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 마스크인 피부 관리 기기.
A main body having one side open and an accommodation space in the open area; And
A mask disposed in the open area and connected to the main body,
The skin care device, wherein the mask is a mask according to any one of claims 1 to 13.
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