KR20210011397A - 기체 분리막의 제조 방법 - Google Patents

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KR20210011397A
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가즈토시 오다카
다다유키 이사지
유지 호리우치
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닛산 가가쿠 가부시키가이샤
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Abstract

수지 중에 미립자가 균일하게 분산되어 있는 기체 분리막의 제조 방법으로서, 하기 (A)와 (B)를 포함하는 기체 분리막의 제조 방법:(A) 상기 미립자의 양을 전체 질량에 대해서 1~50질량%로 하고, 상기 미립자와 매트릭스 수지를 혼합하여 마스터 배치를 제조하는 공정과, (B) 상기 마스터 배치를 용제에 용해시킨 후에 기판에 도포하여, 용제를 증발시키는 공정.

Description

기체 분리막의 제조 방법
본 발명은, 수지 중에 분산되기 어려운 미립자를, 입자 표면에 대한 고분자의 도입, 바니시의 용매 변경, 분산제의 첨가를 하지 않고, 수지 중에서 미립자가 균일하게 분산되어 있는 기체 분리막의 제조 방법에 관한 것이다.
근년, 나노 테크놀로지 연구의 일환으로서. 평균 입자경이 1nm 정도부터 수백nm 정도까지의 나노미터 오더의 미립자(나노 입자)에 관한 연구가 활발히 행해지고 있다. 소재를 나노 사이즈화한 나노 입자로는, 종래의 벌크 재료와는 달리, 다양한 기태(機態)·특성을 발현·부여할 수 있는 것이 알려져 있고, 폭넓은 산업 분야에서의 응용이 기대되고 있다. 나노 입자는 일차 입자로서의 제조는 가능하지만, 그 미세함에 유래하여 응집성이 강하고, 방치해 두면 마이크로 오더의 입자경을 갖는 응집체가 되어 버린다. 예를 들면, 상술한 바와 같은 무기물 나노 입자를 유기 성분 중에 첨가했을 경우, 내열성의 향상이나 기계적 강도의 향상을 기대할 수 있는 한편, 무기물 나노 입자는 그 응집성의 강도로부터, 그대로는 유기용매 중이나 고분자 매트릭스 중에서 마이크로 오더의 응집체를 형성하고, 결과적으로 기대한 것과 같은 유기-무기 복합재료의 특성·성능을 얻을 수 없을 가능성이 있다. 이 때문에, 일차 입자로서의 분산성을 유지하기 위해서, 입자 표면에 대해서 균일한 화학 수식을 행하는 것이 제안되어 있는(예를 들면, 특허 문헌 1 참조)데, 이것만으로는 분산성에 있어서 충분하다고 할 수 있는 결과는 얻지 못하고 있다.
한편, 무기 성분과 유기 성분을 나노 레벨 또는 분자 레벨로 혼합함으로써, 양자의 메리트를 상승적으로 높일 수 있는 유기-무기 복합재료가 주목을 끌고 있다. 이 개념은, 에너지·환경 문제를 해결하는 데에 있어서 그 유용성이 주목되고 있는 고분자 기체 분리막에도 적응이 이루어지고 있고, 고분자 매트릭스 중에 무기물 나노 입자를 첨가한 유기-무기 복합재료의 제작에 의해서, 기존의 방법으로는 달성할 수 없었던 높은 기계적 강도나 열적 안정성, 기체 투과 특성의 달성이 요구되고 있다.
고분자막의 기체 투과 특성을 이용하여 기체를 분리하는 방법은, 기체의 상변화를 수반하지 않고 기체의 분리·회수를 할 수 있고, 다른 기체 분리법에 비해 조작이 간편하고 장치의 소형화가 가능하며, 또 연속적으로 기체 분리를 행할 수 있기 때문에, 환경 부하가 적다는 특성을 갖고 있다. 이러한 에너지 절약형의 고분자 기체 분리막법은, 근년, 특히 온실 효과 가스의 분리·회수나 산소 부화 공기의 제작, 천연가스의 정제 기술로서 주목을 끌고, 실용화가 기대되고 있는데, 또한 기체 분리 성능 및 기체 투과량이라는 점에서의 개선이 필요해진다.
전술한 바와 같이, 고분자막에 무기물 나노 입자를 함유시킴으로써 기체 투과 특성을 개선하는 시도도 이루어지고 있는데, 상기 나노 입자의 응집의 문제는, 유기-무기 복합 기체 분리막의 제작에 있어서도 동일하게 문제가 되고 있고, 기존의 유기-무기 복합 기체 분리막에서는, 고분자 매트릭스 중에서 무기물 나노 입자가 응집함으로써, 막 강도의 저하나, 고입자 함유율을 달성할 수 없기 때문에, 기체 투과성을 수 배 정도까지밖에 향상시킬 수 없는 것이 과제가 되어 있다.
그래서, 예를 들면, 고분자막에 무기물 나노 입자를 함유시켜 기체 분리막 특성을 개선하는 방법으로서, 실리카 나노 입자 표면을 아미노기 함유 실란 커플링제로 처리하여 표면을 실릴화하고, 또한 이 실릴화 입자를 폴리머로 처리함으로써 폴리머 그래프트 실리카 입자를 제작하고, 이렇게 해서 얻어진 폴리머 그래프트 실리카 입자를 폴리머 중에 분산시켜 수지막으로 하고, 이 막의 기체 분리막으로서의 성능을 조사한 보고도 이루어져 있는(비특허 문헌 1 참조)데, 기체의 투과량 등에 있어서 충분하다고 할 수 있는 결과는 얻지 못하고 있다.
또, 실리카 나노 입자 표면에 대해서 부피가 큰 하이퍼브랜치 고분자 또는 덴드리머 고분자를 결합시킴으로써, 유기용매 중이나 고분자 매트릭스 중에서의 응집이 없고, 균일 분산성이 우수하며, 기체의 투과량이 크게 개선된 기체 분리막이 제창되어 있는(예를 들면, 특허 문헌 2 참조)데, 수지에 대한 분산성이나 기체의 투과량의 개선의 면 등에서 충분한 결과는 얻지 못하고 있다.
일본국 특허공개 2007-99607호 공보 일본국 특허공개 2010-222228호 공보
폴리머(Polymer), 47(2006), pp.7535-7547
상술한 바와 같이, 입경이 작은 미분말인 무기 나노 입자는, 통상, 수지에 대한 분산이 곤란하다. 특히, 수지와 나노 입자의 양용매가 상이한 경우에는, 수지 중에 고분산시키는 것이 곤란해진다. 그리고, 수지 중에 있어서, 미립자의 분산성이 불충분하면, 얻어지는 기체 분리막의 특성이 크게 손상된다. 예를 들면, 제조한 기체 분리막에 있어서, 나노 크랙, 막 휨, 막 당김의 발생이 보여, 복합막의 취약화가 발생한다.
또, 미립자의 분산성을 개선하는 방법으로서, 표면 수식기를 최적화하는 수법을 들 수 있는데, 사용하는 수지와의 조합에 따라서는, 충분한 첨가 효과가 발현되지 않을 가능성이 있어, 적응할 수 있는 수지도 한정된다. 한편, 계면활성제 등의 첨가에 의해서 분산성이 개선될 가능성도 있지만, 분산제의 블리드 아웃이나 기체 투과막의 기체 투과성 저하 등에 연결되기 때문에 바람직하지 않다.
본 발명은, 이러한 사정을 감안하여, 고분자막 중에 무기물 나노 입자를 균일하게 분산된 상태로 함유시킴으로써 기체 분리막 특성을 향상시키는 기체 분리막의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명자들은, 이러한 과제를 해결하기 위해서 예의 검토를 행한 결과, 실리카 나노 입자를, 일단, 소정 고분자 화합물의 마스터 배치를 경유시킴으로써, 막 내에서의 실리카 나노 입자의 분산성, 성막성 등이 현저하게 개선된 기체 분리막을 제조할 수 있는 기체 분리막의 제조 방법을 발견하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다. 즉, 소정 고분자 화합물, 특히 PIM-1, 디메틸실리콘, 폴리비닐알코올에, 미립자, 특히 실리카 나노 입자의 분산성이 양호하고, 또한 양호한 분산 상태를 유지할 수 있다, 는 지견에 의거하여, 본 발명의 완성에 이르렀다.
즉 본 발명은,
(1) 수지 중에 미립자가 균일하게 분산되어 있는 기체 분리막의 제조 방법으로서,
하기 (A)와 (B)를 포함하는 기체 분리막의 제조 방법:
(A) 상기 미립자의 양을 전체 질량에 대해서 1질량%~50질량%로 하고, 상기 미립자와 매트릭스 수지를 혼합하여 마스터 배치를 제조하는 공정과,
(B) 상기 마스터 배치를 용제에 용해시킨 후에 기판에 도포하여, 용제를 증발시키는 공정.
(2) 상기 매트릭스 수지가 마이크로포러스 폴리머인 (1)에 기재된 기체 분리막의 제조 방법.
(3) 상기 마이크로포러스 폴리머가, 하기 구조로 표시되는 고분자(PIM-1)인 (2)에 기재된 기체 분리막의 제조 방법.
Figure pct00001
(4) 상기 매트릭스 수지가 디메틸실리콘인 (1)에 기재된 기체 분리막의 제조 방법.
(5) 상기 매트릭스 수지가 폴리비닐알코올인 (1)에 기재된 기체 분리막의 제조 방법.
(6) 상기 미립자가 무기 미립자인 (1) 내지 (5) 중 어느 하나에 기재된 기체 분리막의 제조 방법.
(7) 상기 미립자가 실리카 미립자인 (1) 내지 (6) 중 어느 하나에 기재된 기체 분리막의 제조 방법.
(8) 상기 실리카 미립자가 관능기에 의해서 수식된 실리카 미립자인 (1) 내지 (7) 중 어느 하나에 기재된 기체 분리막의 제조 방법.
본 발명에 의해, 고분자막 중에 미립자를 균일하게 분산된 상태로 함유시킬 수 있게 되어, 고성능이며, 성막성이 우수한 기체 분리막을 제공하는 것이 가능하게 되었다.
도 1은, 실시예 1에 따른 막의 단면 SEM 사진이다.
도 2는, 실시예 2에 따른 막의 단면 SEM 사진이다.
도 3은, 실시예 3에 따른 막의 단면 SEM 사진이다.
도 4는, 실시예 11에 따른 막의 단면 SEM 사진이다.
도 5는, 실시예 15에 따른 막의 단면 SEM 사진이다.
이하, 본 발명을 상세하게 설명한다. 본 발명에 있어서 이용되는 미립자는, 평균 입자경이 나노 오더의 나노 입자이며, 특별히 재질은 상관없지만, 바람직하게는 무기 미립자이다. 또한, 나노 입자는, 평균 1차 입자경이 1nm~1000nm인 것을 말하며, 특히, 2nm~500nm인 것을 말한다. 또한, 평균 1차 입자경은, 질소 흡착법(BET법)에 의한 것으로 한다.
여기서, 무기 미립자로서는, 실리카, 지르코니아, 산화 세륨, 금속 산화물 등을 들 수 있는데, 바람직하게는, 실리카 미립자이며, 보다 바람직하게는, 표면 수식 실리카 미립자이다.
또, 실리카 미립자로서는, 구상 나노 입자 외에, 이형 실리카 나노 입자, 예를 들면, 가늘고 긴 형상, 염주형 또는 별사탕형의 실리카 나노 입자를 이용함으로써, 기체의 투과량이 크게 개선된 기체 분리막으로 할 수 있다. 이형 실리카 나노 입자로서는, 국제 공개 공보 WO2018-038027호에 기재된 것을 이용할 수 있는데, (1) 동적광 산란법에 따른 측정 입자경 D1과 질소 가스 흡착법에 따른 측정 입자경 D2의 비 D1/D2이 4 이상이고, D1은 40~500nm이고, 그리고 투과형 전자현미경 관찰에 의한 5~40nm의 범위 내의 똑같은 굵기를 갖는 가늘고 긴 형상의 실리카 나노 입자, (2) 질소 가스 흡착법에 의한 측정 입자경 D2가 10~80nm의 구상 콜로이달 실리카 입자와 이 구상 콜로이달 실리카 입자를 접합하는 실리카로 이루어지고, 동적광 산란법에 의한 측정 입자경 D1과 구상 콜로이달 실리카 입자의 질소 가스 흡착법에 의한 측정 입자경 D2의 비 D1/D2이 3 이상이고, D1은 40~500nm이며, 상기 구상 콜로이달 실리카 입자가 연결된 염주형의 실리카 나노 입자, 및 (3) 질소 가스 흡착법에 의해 측정되는 비표면적을 S2, 화상 해석법에 의해 측정되는 평균 입자경 D3으로부터 환산한 비표면적을 S3으로서, 표면조도 S2/S3의 값이 1.2~10의 범위에 있고, 평균 입자경 D3이 10~60nm의 범위인, 콜로이달 실리카 입자의 표면에 복수의 사마귀형 돌기를 갖는 별사탕형의 실리카 나노 입자를 들 수 있다.
또한, 이형 실리카 나노 입자는, 표면 수식 이형 실리카 나노 입자인 것이 보다 바람직하다.
표면 수식 실리카로서는, 친수성기가 표면에 도입된 것이 바람직하다. 친수성기가 표면에 도입된 표면 수식 실리카는, 친수성기를 갖는 실란 화합물과 실리카를 가열 조건 하에서 처리함으로써 얻을 수 있다. 친수성기를 갖는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 아미노프로필트리에톡시실란(APTES)을 들 수 있다.
또, 표면 수식 실리카로서는, 실리카 표면에 덴드리머 고분자 또는 하이퍼브랜치 고분자가 부가된 실리카 나노 입자를 들 수 있다. 이하에 덴드리머 고분자 또는 하이퍼브랜치 고분자 부가형의 표면 수식 실리카 나노 입자에 대해 제조 방법을 예시하면서 설명한다.
실리카 표면에 덴드리머 고분자 또는 하이퍼브랜치 고분자가 부가된 표면 수식 실리카를 제조하려면, 먼저, 제1 용매에 분산된 상태인 그대로, 하이퍼브랜치 형성용 모노머 또는 덴드리머 형성용 모노머와 반응하는 관능기를 갖는 반응성 관능기 함유 화합물로 처리되어, 실리카의 표면에 반응성 관능기가 부가된 반응성 관능기 수식 나노 실리카 입자로 한다. 바람직한 반응성 관능기 함유 화합물로서는, 실란 커플링제이며, 예를 들면, 일반식 (1)로 표시되는, 말단에 아미노기를 함유하는 화합물이다.
Figure pct00002
(식 중, R1은 메틸기 또는 에틸기를 나타내고, R2는 탄소수 1~5의 알킬렌기, 아미드기, 아미노알킬렌기를 나타낸다.)
일반식 (1)로 표시되는 실란 커플링제에 있어서, 아미노기는 말단에 있는 것이 바람직한데, 말단에 없어도 된다.
상기 일반식 (1)로 표시되는 화합물로서는, 예를 들면, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있다. 그 외의, 아미노기를 갖는 실란 커플링제로서는, 예를 들면, 3-우레이도프로필트리메톡시실란, 3-우레이도프로필트리에톡시실란, 3-(2-아미노에틸아미노)프로필트리에톡시실란, 3-(2-아미노에틸아미노)프로필트리메톡시실란 등이 대표적인 것으로서 들 수 있다.
또, 반응성 관능기 함유 화합물로서는, 아미노기 이외에도, 예를 들면 이소시아네이트기, 메르캅토기, 글리시딜기, 우레이도기, 할로겐기 등의 다른 기를 갖는 것이어도 된다.
아미노기 이외의 관능기를 갖는 실란 커플링제로서는, 3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란, 3-메르캅토프로필메틸디메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-우레이도프로필트리에톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있다.
또, 이용되는 반응성 관능기 함유 화합물은, 상기 일반식 (1)과 같은 트리알콕시실란 화합물이 아니어도 되고, 예를 들면, 디알콕시실란 화합물, 모노알콕시실란 화합물이어도 된다.
실리카 나노 입자의 실라놀기와 반응하는 반응성 관능기 함유 화합물의 관능기는, 알콕시기 이외의 기, 예를 들면, 이소시아네이트기, 메르캅토기, 글리시딜기, 우레이도기, 할로겐 원자 등이어도 된다.
실리카 나노 입자의 반응성 관능기 함유 화합물에 의한 처리에 있어서는, 실리카 나노 입자는 물 또는 탄소 원자수 1~4의 알코올에 분산된 액 중에 반응성 관능기 함유 화합물을 투입하여, 교반함으로써 행해진다.
실리카 나노 입자 표면에 대한 반응성 관능기의 부가는, 상기와 같이 1단계 반응에 의해도 되고, 필요에 따라 2단계 이상의 반응으로 행해져도 된다. 2단계 반응의 구체예를 카르복실기 수식 실리카 나노 입자의 조제로 설명하면, 예를 들면, 상기와 같이, 먼저, 실리카 나노 입자를 아미노알킬트리알콕시실란으로 처리하여, 아미노기 수식 실리카 나노 입자를 조제하고, 이어서 일반식 (2)로 표시되는 디카르복시산 화합물 또는 그 산무수물로 처리함으로써, 실리카 나노 입자에 부가된 반응성 관능기의 말단이 카르복실기인 실리카 나노 입자를 조제할 수 있다.
Figure pct00003
(식 중, R3은 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기 또는 방향족기를 나타낸다.)
상기 일반식 (2)로 표시되는 화합물로서는, 예를 들면, 말론산, 아디핀산, 테레프탈산 등을 들 수 있다. 디카르복시산 화합물은, 상기 식으로 든 것에 한정되는 것은 아니다.
2단을 초과하는 반응으로 실리카 나노 입자 표면에 대한 반응성 관능기를 부가하는 경우는, 하기 일반식 (3)으로 표시되는 말단에 아미노기를 2개 갖는 모노머를, 상기 식 (1), 이어서 상기 식 (2)로 표시되는 화합물로 처리된 실리카 나노 입자에 부가함으로써, 표면 수식기의 말단이 아미노기인 실리카 나노 입자를 조제하고, 상기의 반응을 반복함으로써 행할 수 있다.
Figure pct00004
(식 중, R4는 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기, 또는 (C2H5-O-)p 및/또는 (C3H7-O-)q를 나타내고, p, q는 각각 독립적으로 1 이상의 정수이다.)
상기 일반식 (3)으로 표시되는 모노머의 예로서는, 에틸렌디아민, 폴리옥시에틸렌비스아민(분자량 2,000), o, o＇-비스(2-아미노프로필)폴리프로필렌글리콜-블록-폴리에틸렌글리콜(분자량 500) 등을 들 수 있다.
이와 같이 하여 조제한 반응성 관능기 수식 실리카 나노 입자의 제1 용매 분산액은, 제2 용매로 치환하여 다음의 반응을 행할 수 있다.
제2 용매는, 제1 용매보다 소수성의 용매이며, 테트라히드로푸란(THF), N-메틸피롤리돈(NMP), 디메틸아세트아미드(DMAc), 디메틸포름아미드(DMF) 및 γ-부티로락톤(GBL) 중 1종 이상으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 바람직하고, 혼합 용매여도 된다.
제2 용매로의 치환 방법은 특별히 한정되지 않으며, 반응성 관능기 수식 실리카 나노 입자의 제1 용매 분산액을 건조 후에 제2 용매에 분산시켜도 되고, 반응성 관능기 수식 실리카 나노 입자의 제1 용매 분산액을 건조시키지 않고 용매 치환하여 제2 용매의 분산액으로 해도 된다.
이와 같이 용매 치환한 후, 반응성 관능기 수식 실리카 나노 입자의 제2 용매 분산액을 이용하여, 제2 용매 존재 하에서, 반응성 관능기 수식 실리카 나노 입자에, 다분기 구조의 덴드리머 고분자 또는 하이퍼브랜치 고분자가 부가된다. 즉, 반응성 관능기 수식 실리카 나노 입자에 덴드리머 형성용 모노머 또는 하이퍼브랜치 형성용 모노머를 반응시켜, 상기 반응성 관능기에 덴드리머 고분자 또는 하이퍼브랜치 고분자가 부가된 실리카 나노 입자를 조제하여 덴드리머 고분자 또는 하이퍼브랜치 고분자 부가 실리카 나노 입자의 제2 용매 분산액을 얻는다.
본 발명에서 이용되는 하이퍼브랜치 형성용 모노머로서, 하기의 일반식 (4)로 표시되는 카르복실기를 1개, 아미노기를 2개 갖는 화합물을 이용하는 것이 바람직하고, 아미노기를 3개 이상 갖는 화합물이어도 되고, R5는 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기, 방향족기 이외의 기여도 된다. 하기 일반식 (4)로 표시되는 하이퍼브랜치 형성용 모노머의 예로서는, 3,5-디아미노안식향산, 3,5-디아미노-4-메틸안식향산 등을 들 수 있다.
Figure pct00005
(식 중, R5는 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기 또는 방향족기를 나타낸다.)
또한, 하이퍼브랜치 형성용 모노머로서, 하기의 일반식 (5)로 표시되는 카르복실기를 1개, 할로겐 원자를 2개 갖는 화합물을 이용하는 것도 가능하다.
Figure pct00006
(식 중, R6은 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기 또는 방향족기를 나타내고, X1 및 X2는 할로겐 원자를 나타낸다.)
상기 일반식 (5)로 표시되는 화합물로서는, 예를 들면, 3,5-디브로모-4-메틸안식향산, 3,5-디브로모살리실산, 3,5-디브로모-4-히드록시-안식향산 등을 들 수 있다.
또, 하이퍼브랜치 형성용 모노머는, 상기 1개의 카르복실기와 2개 이상의 아미노기, 또는 1개의 카르복실기와 2개 이상의 할로겐 원자를 함유하는 화합물에 한정되는 것은 아니며, 실리카 나노 입자에 수식된 반응성 관능기에 따라, 하이퍼브랜치 고분자가 형성 가능한 모노머가 적절히 이용되면 된다.
또한, 2단계 반응으로 카르복실기에 의한 표면 수식이 행해진 실리카 나노 입자의 경우에는, 하기의 일반식 (6)으로 표시되는 1개의 아미노기와 2개의 카르복실기를 갖는 화합물을 이용하여, 하이퍼브랜치 고분자를 부가할 수 있다.
Figure pct00007
(식 중, R7은 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기 또는 방향족기를 나타낸다.)
상기 일반식 (6)으로 표시되는 화합물로서는, 예를 들면, 2-아미노테레프탈산, 4-아미노테레프탈산, DL-2-아미노수베르산 등을 들 수 있다.
또, 하기의 일반식 (7)로 표시하는 바와 같이, 다른 모노머종으로서, 아미노기를 1개, 할로겐을 2개 이상 갖는 모노머도 하이퍼브랜치 고분자 형성용 모노머로서 사용할 수 있다.
Figure pct00008
(식 중, R8은 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기 또는 방향족기를 나타내고, X1 및 X2는 할로겐 원자를 나타낸다.)
상기 일반식 (7)로 표시되는 화합물로서는, 예를 들면, 3,5-디브로모-4-메틸아닐린, 2,4-디브로모-6-니트로아닐린 등을 들 수 있다.
상기 2단계 반응으로 카르복실기에 의해 표면 수식이 행해진 실리카 나노 입자를 이용하는 경우에 있어서도, 상기 1단계로 표면 아미노기 수식이 이루어진 실리카 나노 입자를 이용하는 경우와 동일하게, 상기 일반식 (6) 및 (7)에 있어서의 카르복실기, 할로겐 원자는 2개 이상이어도 되고, 또한 카르복실기와 반응하는 아미노기 이외의 관능기를 갖는 다른 모노머가 이용되어도 된다.
이들 반응에 의해 형성되는 하이퍼브랜치 고분자 단일 가닥의 중량 평균 분자량은, 예를 들면, 200~2,000,000 정도가 바람직하고, 또 분기도로서는, 0.5~1 정도가 바람직하다.
반응은, 하이퍼브랜치 모노머를, 제2 용매인 테트라히드로푸란(THF), N-메틸피롤리돈(NMP), 디메틸아세트아미드(DMAc), 디메틸포름아미드(DMF) 및 γ-부티로락톤(GBL) 중 1종 이상의 용매에 용해시키고, 계속해서 카르복실산 활성화 시약의 Benzotriazol-1-yloxytris(dimethylamino)phosphonium hexafluorophosphate(BOP)와 구핵시약의 트리에틸아민을 첨가하여 교반하고, 이 용액에 아미노기 수식 실리카 나노 입자를 투입하여, 교반함으로써 행할 수 있다. 상기 BOP와 트리에틸아민의 조합 이외에, 카르복실산 활성화 시약이 트리페닐포스핀이어도 되며, 구핵시약은 피리딘을 이용해도 된다.
다음으로 덴드리머 고분자가 부가된 실리카 나노 입자에 대해 설명한다. 이하에서는, 먼저, 아미노기 수식 실리카 나노 입자에 대한 덴드리머 부가를 설명한다.
본 발명에 있어서, 아미노기 수식 실리카 나노 입자에 대해서 덴드리머 부가를 행함에 있어서, 먼저, 아미노기 수식 실리카 나노 입자에 대해, 예를 들면, 하기의 일반식 (8)로 표시되는 카르복실기를 3개 갖는 모노머, 또는 카르복실기를 4개 이상 갖는 모노머를 부가하는 것이 필요하게 된다. 사용되는 모노머의 예로서는, 트라이메스산이나 피로멜리트산 등을 들 수 있다.
Figure pct00009
(식 중, R9는 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기 또는 방향족기를 나타낸다.)
상기 카르복실기를 3개 갖는 모노머, 또는 카르복실기를 4개 이상 갖는 모노머의 부가에 이어서, 하기의 일반식 (3)으로 표시되는 말단에 아미노기를 2개 갖는 모노머를 부가한다. 이들 부가를 반복함으로써, 덴드리머 수식 실리카 나노 입자가 조제된다.
Figure pct00010
(식 중, R4는 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기, 또는 (C2H5-O-)p 및/또는 (C3H7-O-)q를 나타내고, p, q는 각각 독립적으로 1 이상의 정수이다.)
상기의 2단계 반응에 의해 관능기로서 카르복실기에 의해 수식된 실리카 나노 입자를 이용했을 경우에는, 카르복실기 수식 실리카 나노 입자를 하기의 일반식 (9)로 표시되는 아미노기를 3개 갖는 모노머, 또는 아미노기를 4개 이상 갖는 모노머를 이용하여 처리한다. 하기 일반식 (9)로 표시되는 모노머로서는, 1,2,5-펜탄트리아민이나 1,2,4,5-벤젠테트라아민 등을 들 수 있다.
Figure pct00011
(식 중, R10은 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기 또는 방향족기를 나타낸다.)
이어서, 이 입자에 대해서 하기의 일반식 (10)으로 표시되는 말단에 카르복실기를 2개 갖는 모노머를 부가한다. 상기 모노머의 예로서는, 숙신산, 레불린산, o, o＇-비스[2-(숙시닐아미노)에틸]폴리에틸렌글리콜(분자량 2,000) 등을 들 수 있다.
Figure pct00012
(식 중, R11은 탄소 원자수 1~20의 알킬렌기, 또는 (C2H5-O-)p 및/또는 (C3H7-O-)q를 나타내고, p, q는 각각 독립적으로 1 이상의 정수이다.)
이하, 이들 부가를 반복함으로써 표면 덴드리머 수식 실리카 나노 입자가 조제된다. 또한, 덴드리머 형성 모노머로서는, 아미노기, 카르복실기 이외의 기를 이용해도 된다.
이렇게 해서 조제된 하이퍼브랜치 고분자 또는 덴드리머 고분자가 부가된 표면 수식 실리카 나노 입자는, 매트릭스 수지와 혼합되어, 최종적으로 제막된다. 또한, 하이퍼브랜치 고분자 또는 덴드리머 고분자가 부가된 실리카 나노 입자는, 매트릭스 수지와 혼합되기 전에 건조되어도 되고, 다른 제2 용매 또는 제2 용매 이외의 용매와 적어도 부분적으로 용매 치환해도 된다.
본 발명에 있어서, 마스터 배치를 작성할 때에 사용하는 매트릭스 수지로서는, 예를 들면, 종래, 기체 분리막을 형성하기 위해서 이용되고 있는 공지의 수지를 적절히 이용하면 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 폴리이미드, 폴리설폰, 디메틸실리콘, 폴리비닐알코올, 폴리 치환 아세틸렌, 폴리-4-메틸펜텐, 천연 고무, 마이크로포러스 폴리머 등 여러 가지의 것을 들 수 있는데, 이들에 한정되는 것은 아니다. 본 발명에 있어서는, 마이크로포러스 폴리머, 디메틸실리콘, 폴리비닐알코올이 바람직하고, 특히, 마이크로포러스 폴리머가 바람직하다.
여기서, 마이크로포러스 폴리머는, 마이크로포러스 유기 재료의 하나인 고유 미다공성 폴리머이고, 마이크로포러스 유기 재료의 하나의 클래스이며, 하기 문헌을 참조할 수 있다.
(문헌 1) Budd, P. M. et al., Solution-Processed, Organophilic Membrane Derived from a Polymer of Intrinsic Microporosity. Adv. Mater. 16, 456-459 (2004).
(문헌 2) McKeown, N. B. et al., Polymers of intrinsic microporosity (PIMs): Bridging the void between microporous and polymeric materials. Chemistry - A European Journal 11, 2610-2620 (2005).
(문헌 3) Budd, P. M. et al., Gas separation membranes from polymers of intrinsic microporosity. J. Membr. Sci. 251, 263-269 (2005).
(문헌 4) McKeown, N. B. & Budd, P. M., Polymers of intrinsic microporosity (PIMs): Organic materials for membrane separations, heterogeneous catalysis and hydrogen storage. Chem. Soc. Rev.35, 675-683 (2006).
(문헌 5) Du, N. et al., Polymer nanosieve membranes for CO2-capture applications. Nat. Mater. 10, 372-375 (2011).
(문헌 6) Carta, M. et al., An Efficient Polymer Molecular Sieve for Membrane Gas Separations. Science 339, 303-307 (2013).
(문헌 7) 일본국 특허공표 2017-509744호 공보
고유 미다공성 폴리머의 개념은, 2002년에 Budd 및 McKeown에 의해 최초로 고안되었다. 국제 출원 WO2003000774 A1은, 평탄한 포르피린 매크로 사이클이 단단한 3-차원 네트워크를 포함하는 유기 마이크로포러스 네트워크 재료를 기재하고, 그 중에서 인접하는 매크로 사이클의 피롤 잔기가 이들 인접하는 매크로 사이클을 움직이지 않도록 하는 단단한 링커로 접속되어, 그 결과 포르피린 평면은 비공평면(非共平面) 배향이 된다. 당해 발명의 바람직한 재료는 프탈로사이아닌 네트워크이다. 이들 유기 마이크로포러스 재료는, 네트워크 PIMs로서 알려져 있다.
Budd 및 McKeown에 의한 다른 발명은, 국제 출원 WO2005012397A2 및 US Patent No.7,690,514 B2이며, 변형 포인트에서 단단한 링커에 의해 연결된 제1의 일반적인 평면종을 포함하고, 링커에 의해 연결되는 2개의 인접하는 제1 평면은 비공평면 배향이며, 단, 제1 평면종은 포르피린 매크로 사이클 이외 것인 마이크로포러스 유기 매크로 분자를 기재한다.
이러한 마이크로포러스 폴리머 중에서도, 하기 구조로 표시되는 PIM-1이 특히 바람직하다.
Figure pct00013
매트릭스 수지로서 PIM-1을 사용할 때의 수지와 미립자의 질량비는, 예를 들면 99/1~20/80이고, 바람직하게는, 95/5~40/60이며, 보다 바람직하게는, 90/10~50/50이다.
마스터 배치를 제조할 때의 용제로서는, 고분자를 용해시킴과 더불어, 미립자를 분산시킬 때의 용제와의 상용성이 있으면, 종류는 상관없는데, 예를 들면, 테트라히드로푸란(THF), 클로로폼, 디메틸아세트아미드(DMAc), 톨루엔, 탄소수가 1 내지 6인 직쇄상 알코올, 탄소수가 1 내지 6인 분기되어 있는 알코올, 헥산, 헵탄, 옥탄, 데칸, N-메틸-2-피롤리돈(NMP), N,N-디메틸포름아미드(DMF)로 이루어지는 단독 또는 2종류 이상의 혼합 용매를 들 수 있다.
매트릭스 수지로서, PIM-1을 사용하며, 용제로서 THF를 사용하는 경우의 수지와 용제의 질량비는, 예를 들면 1/99~30/70이고, 바람직하게는, 3/97~30/70이며, 보다 바람직하게는, 5/95~20/80이다.
매트릭스 수지로서 다른 수지를 이용하는 경우에 있어서도, 어느 것으로 해도, 마스터 배치의 전체 질량에 대해서, 상기 미립자의 양이 1질량%~70질량%, 바람직하게는, 1질량%~50질량%의 범위가 되도록 설정한다.
기체 분리막의 제조 방법으로서는, 마스터 배치를 적당한 용제, 예를 들면, THF, 클로로폼, 톨루엔, 탄소수가 1 내지 6인 직쇄상 알코올, 탄소수가 1 내지 6인 분기되어 있는 알코올, 헥산, 헵탄, 옥탄, 데칸, DMAc, NMP, DMF로 이루어지는 단독 또는 2종류 이상의 혼합 용매에 균일하게 분산시켜, 기판 상에 도포한 후에, 용제를 증발시킨다. 도포하는 기판으로서는, 용제에 의해서 열화가 발생하지 않으면, 재질이나 표면의 상태는 상관없는데, 예를 들면 표면에 요철이 없는 Si 웨이퍼를 들 수 있다.
도포 방법으로서는, 기판 상에 균일하게 편차 없이 도포할 수 있는 것이 바람직하고, 예를 들면, 디핑 도포(침지법), 스핀 도포법, 블레이드 도포법, 분무 도포법 등을 들 수 있는데, 블레이드 도포법이 바람직하고, 특히, 닥터 블레이드를 이용하는 것이 바람직하다.
이하, 실시예를 들어 본 발명을 구체적으로 설명하는데, 본 발명은 이에 의해서 조금도 한정되는 것은 아니다.
실시예
＜표면 수식 실리카 ST-G1의 합성＞
냉각관, 온도계 및 교반기를 장착한 1000mL의 4구 둥근바닥 플라스크에, 실리카의 이소프로판올(IPA) 분산액(IPA-ST, 닛산 가가쿠 고교(주) 제조, 실리카 농도:30.5질량%, 평균 1차 입자경 12nm) 133.44g, 초순수 0.19g, IPA 533.9g을 재어 넣고, 교반하면서 환류가 될 때까지 승온시켰다. 그 후, APTES(도쿄 가세이 고교(주) 제조) 2.35g을 첨가하고, 환류 하에서 1시간 교반했다. 얻어진 분산액을 1-메틸-2-피롤리돈(NMP)으로 용매 치환했다.
냉각관, 온도계 및 교반기를 장착한 1000mL의 4구 둥근바닥 플라스크에 얻어진 NMP졸 440g(고형분 37.4g)과 1,3-디아미노안식향산(DABA)(Aldrich 제조) 4.85g, 트리에틸아민(TEA)(간토 가가쿠(주) 제조) 3.30g, Benzotriazol-1-yloxytris(dimethylamino)phosphonium hexafluorophosphate(BOP)(도쿄 가세이 고교(주) 제조) 14.1g 재어 넣고, 실온 하에서 5분간 교반하여, 80℃로 승온 후, 1시간 반응시켰다. 이 반응액을 10배량의 메탄올에 투입하여, 침전물의 여과·메탄올 세정을 행했다. 얻어진 여과물을 건조시키지 않고 NMP에 투입하고, 교반시켰다. 그 후, 증발기에 의해서 잔존하는 메탄올 및 물을 증류 제거하여, 표면 수식 실리카 ST-G1_NMP졸을 얻었다. 얻어진 NMP졸 중의 입자의 고형분 농도는 11.04질량%였다.
＜마스터 배치 제작 1＞
표면 수식 실리카 ST-G1_NMP졸 9.058g(고형분 농도 11.04질량%)에 THF 19.00g 및 NMP 10.942g을 더하여, 교반 후, PIM-1(분자량 분포:16, Mw:22.5만) 1g 첨가하고, 실온에서 수지가 용해될 때까지 강교반했다. 그 후, 초음파 조사를 약 5분 행했다. 얻어진 분산액을 세공 사이즈 5μm의 필터 여과 후, 메탄올 용매에서 침전시켰다. 그 후, 여과·메탄올 세정하고, 110℃ 감압 건조시킴으로써, 50질량% 마스터 배치(MB) 1을 제작했다.
＜실시예 1＞
총 고형분 농도가 10질량%, ST-G1 농도가 PIM-1에 대해서 50질량%가 되도록 50질량% MB1을 0.200g, THF 1.8g에 첨가하여, 강교반했다. 수지가 용해된 후, 초음파 조사를 약 5분 행하여, 바니시를 제작했다. Si 웨이퍼에 GAP 100μm의 닥터 블레이드를 이용하여 도포 후, THF 분위기 하에서 건조시켜, 복합막을 제작했다. 막의 단면 SEM에 의해, 입자의 분산성을 관찰했다. 단면 SEM의 결과를 도 1에 나타냈다. 바니시의 분산 안정성, 성막성과 분산성의 평가는 이하의 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 1에 나타냈다.
○바니시의 분산 안정성의 평가
·조제한 바니시를 약 5분간 정치(靜置) 후, 입자의 침강의 유무를 눈으로 평가
침강물이 거의 없음:○
침강물이 있음:×
○성막성의 평가
·막의 휨, 막 당김이 없고, 성막이 가능:○
·막의 휨, 막 당김이 있고, 성막이 불가능:×
○분산성의 평가
·막 내에 침강물이 없고, 입자의 응집 사이즈가 1μ 미만:○
·막 중에 침강물이 있고, 입자의 응집 사이즈가 1μ 이상:×
＜실시예 2＞
PIM-1에 대한 ST-G1 농도가 30질량%가 되도록, 50질량% MB1과 PIM-1의 첨가량을 조정한 것 이외에는, 동일한 절차를 행했다. 단면 SEM의 결과를 도 2에 나타냈다. 바니시의 분산 안정성, 성막성과 분산성의 평가는 이하의 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 1에 나타냈다.
＜실시예 3＞
PIM-1에 대한 ST-G1 농도가 10질량%가 되도록, 50질량% MB1과 PIM-1의 첨가량을 조정한 것 이외에는, 동일한 절차를 행했다. 단면 SEM의 결과를 도 3에 나타냈다. 바니시의 분산 안정성, 성막성과 분산성의 평가는 이하의 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 1에 나타냈다.
＜비교예 1＞
ST-G1_NMP졸을 110℃ 감압 건조 후, 건조 분말을 유발로 분쇄했다. 얻어진 분말과 PIM-1의 총 고형분 농도를 10질량%, PIM-1에 대한 ST-G1 농도를 10질량%가 되도록 THF에 첨가하고, 실온에서 교반했다. 수지가 용해된 후, 초음파 조사를 약 5분간 행했다. 얻어진 바니시를 이용하여 실시예 1과 동일한 절차·평가를 행했다.
[표 1]
Figure pct00014
도 1~도 3, 표 1의 결과로부터, 실리카 미립자를, PIM-1을 매트릭스 수지로 한 MB1로 함으로써 바니시의 안정성 및 수지 중에서의 ST-G1의 분산성이 양호하고, 막 휨, 막 당김 등이 발생하지 않으며, 성막성도 양호했다.
한편, MB로 하지 않고 건조 분말을 사용한 비교예 1에 관해서는, 바니시의 안정성이 나쁘고, 막 당김이 발생하며, 닥터 블레이드에 의한 성막이 곤란했다.
＜마스터 배치 제작 2＞
표면 수식 실리카 ST-G1_메탄올졸 18.37g(고형분 농도 4.45질량%)에 신에쓰 가가쿠사 제조의 디메틸실리콘(제품명:KS-707) 9.14g 첨가하고, 로터리 회전 증발 농축기로 감압 건조를 행했다. 그 후, 추가로 60℃에서 진공 건조시킴으로써, 15질량% 마스터 배치(MB) 2를 제작했다.
＜실시예 11＞
총 고형분 농도가 10질량%, ST-G1 농도가 디메틸실리콘에 대해서 15질량%가 되도록 15질량% MB2를 0.291g, 헥산 2.9g에 첨가하여, 강교반했다. 수지가 용해된 후, 초음파 조사를 약 5분 행하여, 바니시를 제작했다. 스핀 코터(회전수 500RPМ／25초)에서 유리 기판 상에 바니시를 도포 후, 150℃에서 건조시킨 복합막을 제작했다. 막의 단면 SEM에 의해, 입자의 분산성을 관찰했다. 단면 SEM의 결과를 도 4에 나타냈다. 바니시의 분산 안정성, 성막성의 평가는 이하의 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 2에 나타냈다.
○바니시의 분산 안정성의 평가
·조정한 바니시를 약 40분간 정치 후, 입자의 침강의 유무를 눈으로 평가
침강물이 거의 없음:○
침강물이 있음:×
○성막성의 평가
·막이 평면 상에 균일하게 분산되고, 성막이 가능:○
·막이 평면 상에 균일하게 분산되지 않고, 성막이 불가능:×
○분산성의 평가
·막 내에 침강물이 없고, 입자의 응집 사이즈가 1μ 미만:○
·막 중에 침강물이 있고, 입자의 응집 사이즈가 1μ 이상:×
＜실시예 12＞
디메틸실리콘에 대한 ST-G1 농도가 15질량%가 되도록, 15질량% MB2를 0.121g, 헵탄 0.995g에 용해하고, 동일한 절차를 행했다. 바니시의 분산 안정성, 성막성과 분산성의 평가는 상기 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 2에 나타냈다.
＜실시예 13＞
디메틸실리콘에 대한 ST-G1 농도가 15질량%가 되도록, 15질량% MB2를 0.116g, 옥탄 0.984g에 용해하고, 동일한 절차를 행했다. 바니시의 분산 안정성, 성막성과 분산성의 평가는 상기 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 2에 나타냈다.
＜실시예 14＞
디메틸실리콘에 대한 ST-G1 농도가 15질량%가 되도록, 15질량% MB2를 0.126g, 데칸 1.050g에 용해하고, 동일한 절차를 행했다. 바니시의 분산 안정성, 성막성과 분산성의 평가는 상기 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 2에 나타냈다.
＜비교예 11＞
ST-G1_메탄올졸을 60℃ 감압 건조 후, 건조 분말을 유발로 분쇄했다. 얻어진 분말과 디메틸실리콘의 총 고형분 농도를 10질량%, 디메틸실리콘에 대한 ST-G1 농도를 15질량%가 되도록 헥산에 첨가하고, 실온에서 교반했다. 수지가 용해된 후, 초음파 조사를 약 5분간 행했다. 얻어진 바니시를 이용하여 실시예 1과 동일한 절차·평가를 행했다.
[표 2]
Figure pct00015
도 4, 표 2의 결과로부터, 실리카 미립자를, 디메틸실리콘을 매트릭스 수지로 한 MB2로 함으로써 바니시의 안정성 및 수지 중에서의 ST-G1의 분산성이 양호하고, 막 휨, 막 당김 등이 발생하지 않고, 성막성도 양호했다.
한편, MB2로 하지 않고 건조 분말을 사용한 비교예 11에 관해서는, 바니시의 안정성이 나쁘고, 막 당김이 발생하여, 닥터 블레이드에 의한 성막이 곤란했다.
＜마스터 배치 제작 3＞
표면 수식 실리카 ST-G1_메탄올졸 28.4g(고형분 농도 4.45질량%)에 모멘티브사 제조의 디메틸실리콘(제품명:YSR3022) 29.3g 첨가하여, 회전 증발 농축기로 감압 건조를 행하고, 그 후, 옥탄을 더해 추가로 감압 건조시킴으로써, 15질량% 마스터 배치(MB) 3을 제작했다.
＜실시예 15＞
총 고형분 농도가 10질량%, ST-G1 농도가 디메틸실리콘에 대해서 15질량%가 되도록 15질량% MB3을 4.63g, 옥탄 2.9g에 첨가하고, 교반하여, 바니시를 제작했다. 스핀 코터(회전수 500RPМ／25초)에서 유리 기판 상에 바니시를 도포 후, 150℃에서 건조시킨 복합막을 제작했다. 막의 단면 SEM에 의해, 입자의 분산성을 관찰했다. 단면 SEM의 결과를 도 5에 나타냈다. 바니시의 분산 안정성, 성막성의 평가는 이하의 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 3에 나타냈다.
○바니시의 분산 안정성의 평가
·조제한 바니시를 약 40분간 정치 후, 입자의 침강의 유무를 눈으로 평가
침강물이 거의 없음:○
침강물이 있음:×
○성막성의 평가
·막이 평면 상에 균일하게 분산되고, 성막이 가능:○
·막이 평면 상에 균일하게 분산되지 않고, 성막이 불가능:×
○분산성의 평가
·막 내에 침강물이 없고, 입자의 응집 사이즈가 1μ 미만:○
·막 중에 침강물이 있고, 입자의 응집 사이즈가 1μ 이상 :×
＜실시예 16＞
디메틸실리콘에 대한 ST-G1 농도가 15질량%가 되도록, 15질량% MB3을 2.381g, 헵탄 3.900g에 용해하고, 동일한 절차를 행했다. 바니시의 분산 안정성, 성막성과 분산성의 평가는 상기 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 3에 나타냈다.
＜비교예 12＞
ST-G1_메탄올졸을 65℃ 감압 건조 후, 건조 분말을 유발로 분쇄했다. 얻어진 분말과 디메틸실리콘의 총 고형분 농도를 10질량%, 디메틸실리콘에 대한 ST-G1 농도를 15질량%가 되도록 헥산에 첨가하고, 실온에서 교반했다. 수지가 용해된 후, 초음파 조사를 약 5분간 행했다. 얻어진 바니시를 이용하여 실시예 15와 동일한 절차·평가를 행했다.
[표 3]
Figure pct00016
도 5, 표 3의 결과로부터, 실리카 미립자를 디메틸실리콘을 매트릭스 수지로 한 MB3으로 함으로써 바니시의 안정성 및 수지 중에서의 ST-G1의 분산성이 양호하고, 막 휨, 막 당김 등이 발생하지 않고, 성막성도 양호했다.
한편, MB3으로 하지 않고 건조 분말을 사용한 비교예 12에 관해서는, 바니시의 안정성이 나쁘고, 막 당김이 발생하여, 닥터 블레이드에 의한 성막이 곤란했다.
＜마스터 배치 제작 4＞
미쓰비시 가가쿠사 제조의 폴리비닐알코올(제품명:고세넥스 LL-940)을 50질량% 메탄올수로 용해하여, 고형분 농도 9.12%의 용액을 조제했다. 폴리비닐알코올 용액 15.98g에 표면 수식 실리카 ST-G1_메탄올졸 16.47g(고형분 농도 3.78질량%)을 첨가하고, 회전 증발 농축기에서 감압 건조를 행하여, 30질량% 마스터 배치(MB) 4를 제작했다.
＜실시예 21＞
총 고형분 농도가 6.41질량%, ST-G1 농도가 폴리비닐알코올에 대해서 30질량%가 되도록 30질량% MB4를 1.79g, 글리세롤 0.17g에 첨가·교반하여, 바니시를 제작했다. 샬레 상에 바니시를 첨가하고, 80℃에서 건조시킨 복합막을 제작했다. 바니시의 분산 안정성, 성막성의 평가는 이하의 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 4에 나타냈다.
○바니시의 분산 안정성의 평가
·조제한 바니시를 약 30분간 정치 후, 입자의 침강의 유무를 눈으로 평가
침강물이 거의 없음:○
침강물이 있음:×
○성막성의 평가
·막이 평면 상에 균일하게 분산되고, 성막이 가능:○
·막이 평면 상에 균일하게 분산되지 않고, 성막이 불가능:×
＜실시예 22＞
폴리비닐알코올에 대한 ST-G1 농도가 15질량%가 되도록, 30질량% MB4를 7.30g, 50% 메탄올수로 용해된 동(同)폴리비닐알코올 용액으로 희석하여, 15질량% 마스터 배치(MB) 5를 제작했다. 15질량% MB5를 3.21g, 글리세롤 0.24g에 첨가·교반하여, 바니시를 제작했다. 이어서, 동일한 절차를 행했다. 바니시의 분산 안정성, 성막성과 분산성의 평가는 상기 기준에 따라 실시하고, 결과를 표 4에 나타냈다.
＜비교예 21＞
ST-G1_메탄올졸을 65℃ 감압 건조 후, 건조 분말을 유발로 분쇄했다. 얻어진 분말과 폴리비닐알코올의 총 고형분 농도를 10질량%, 폴리비닐알코올에 대한 ST-G1 농도를 15질량%가 되도록 50질량% 메탄올수에 첨가하고, 실온에서 교반했다. 수지가 용해된 후, 초음파 조사를 약 5분간 행했다. 얻어진 바니시를 이용하여 실시예 21과 동일한 절차·평가를 행했다.
[표 4]
Figure pct00017
표 4의 결과로부터, 실리카 미립자를 디메틸실리콘을 매트릭스 수지로 한 MB4, 5로 함으로써 바니시의 안정성 및 수지 중에서의 ST-G1의 분산성이 양호하고, 막 휨, 막 당김 등이 발생하지 않고, 성막성도 양호했다.
한편, MB4, 5로 하지 않고 건조 분말을 사용한 비교예 21에 관해서는, 바니시의 안정성이 나쁘고, 막 당김이 발생하여, 닥터 블레이드에 의한 성막이 곤란했다.

Claims (8)

  1. 수지 중에 미립자가 균일하게 분산되어 있는 기체 분리막의 제조 방법으로서,
    하기 (A)와 (B)를 포함하는 기체 분리막의 제조 방법:
    (A) 미립자의 양을 전체 질량에 대해서 1질량%~50질량%로 하고, 상기 미립자와 매트릭스 수지를 혼합하여 마스터 배치를 제조하는 공정과,
    (B) 상기 마스터 배치를 용제에 용해시킨 후에 기판에 도포하여, 용제를 증발시키는 공정.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 매트릭스 수지가 마이크로포러스 폴리머인, 기체 분리막의 제조 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 마이크로포러스 폴리머가 하기 구조로 표시되는 고분자(PIM-1)인, 기체 분리막의 제조 방법.
    Figure pct00018
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 매트릭스 수지가 디메틸실리콘인, 기체 분리막의 제조 방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 매트릭스 수지가 폴리비닐알코올인, 기체 분리막의 제조 방법.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 미립자가 무기 미립자인, 기체 분리막의 제조 방법.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 미립자가 실리카 미립자인, 기체 분리막의 제조 방법.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 실리카 미립자가 관능기에 의해서 수식된 실리카 미립자인, 기체 분리막의 제조 방법.
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