KR20210006044A - A support unit for supporting the wafer storage container - Google Patents

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KR20210006044A
KR20210006044A KR1020190081814A KR20190081814A KR20210006044A KR 20210006044 A KR20210006044 A KR 20210006044A KR 1020190081814 A KR1020190081814 A KR 1020190081814A KR 20190081814 A KR20190081814 A KR 20190081814A KR 20210006044 A KR20210006044 A KR 20210006044A
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Abstract

The present invention relates to a support unit for supporting a wafer storage container. According to the present invention, the support unit for supporting the wafer storage container includes: a support plate having a pin groove; a support pin mounted in the pin groove to support the wafer storage container; and a side elastic body provided between the side surface of the pin groove and the side surface of the support pin, wherein even if the support pin is inclined by an external force, the support pin is automatically erected by the elastic return force of the side elastic body. Therefore, vibration can be alleviated.

Description

웨이퍼 보관용기 지지 유닛{A SUPPORT UNIT FOR SUPPORTING THE WAFER STORAGE CONTAINER}Wafer storage container support unit {A SUPPORT UNIT FOR SUPPORTING THE WAFER STORAGE CONTAINER}

본 발명은 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼 보관용기를 로딩/언로딩할 때 발생하는 진동을 저감할 수 있는 웨이퍼 보관용기 지지유닛에 관한 것이다. The present invention relates to a wafer storage container support unit, and more particularly, to a wafer storage container support unit capable of reducing vibrations generated when loading/unloading a wafer storage container.

반도체 장치 제조 공정에서 웨이퍼 보관용기에 복수매의 웨이퍼가 수용된 채로 이송유닛에 의해 기판처리장치 또는 물류저장장치에 구비되는 웨이퍼 보관용기를 지지하는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛으로 이송된다. In the semiconductor device manufacturing process, a plurality of wafers are accommodated in the wafer storage container and transferred by the transfer unit to the wafer storage container support unit supporting the wafer storage container provided in the substrate processing device or the distribution storage device.

이송유닛에 의해 웨이퍼 보관용기가 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 언로딩 또는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛으로부터 로딩 시, 웨이퍼 보관용기에 진동이 발생한다. 특히 이송 유닛의 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 대한 티칭이 틀어지는 경우, 웨이퍼 보관용기에 발생되는 진동은 더욱 커지게 된다. When the wafer storage container is unloaded into or loaded from the wafer storage container support unit by the transfer unit, vibration occurs in the wafer storage container. In particular, when the teaching of the transfer unit to the wafer storage container support unit is wrong, the vibration generated in the wafer storage container becomes larger.

웨이퍼 보관용기에 발생되는 진동이 심한 경우, 웨이퍼 보관용기에 수납된 복수의 웨이퍼에 악영향을 준다. If the vibration generated in the wafer storage container is severe, it adversely affects a plurality of wafers stored in the wafer storage container.

따라서 이송 유닛에 의한 웨이퍼 보관용기의 로딩 또는 언로딩 시, 진동을 완화할 수 있는 방안이 마련될 필요가 있다.Therefore, when loading or unloading the wafer storage container by the transfer unit, there is a need to provide a way to mitigate vibration.

대한민국 공개특허공보 제10-2008-0002289호Korean Patent Application Publication No. 10-2008-0002289

본 발명은 진동을 완화시킬 수 있는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛을 제공함에 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a wafer storage container support unit capable of alleviating vibration.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 웨이퍼 보관용기를 지지하는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛은, 핀홈을 구비하는 지지플레이트; 상기 핀홈에 장착되어 웨이퍼 보관용기를 지지하는 지지핀; 및 상기 핀홈의 측면과 지지핀 측면 사이에 구비되는 측면탄성체를 포함하고, 상기 지지핀은 외력에 의해 기울어지더라도 상기 측면탄성체의 탄성복귀력에 의해 자동으로 기립된다.In order to achieve the above object, the wafer storage container support unit for supporting the wafer storage container of the present invention comprises: a support plate having a pin groove; A support pin mounted in the pin groove to support the wafer storage container; And a side elastic body provided between a side surface of the pin groove and a side surface of the support pin, wherein the support pin is automatically erected by an elastic return force of the side elastic body even if it is inclined by an external force.

또한 실시예에 있어서, 상기 지지핀은 상기 핀홈에 회전 가능하게 장착될 수 있다.In addition, in an embodiment, the support pin may be rotatably mounted in the pin groove.

또한 실시예에 있어서, 상기 핀홈의 저면은 오목하게 형성되는 제1 곡률반지름을 갖는 반구형의 홈이고, 상기 지지핀의 하단부는 상기 제1 곡률반지름보다 작은 제2 곡률반지름을 갖는 반구형일 수 있다.In addition, in an embodiment, a bottom surface of the pin groove may be a hemispherical groove having a first radius of curvature formed concave, and a lower end of the support pin may be a hemispherical shape having a second radius of curvature smaller than the first radius of curvature.

또한 실시예에 있어서, 상기 지지핀은, 상부몸체와, 상기 상부몸체 하부에 구비되는 하부몸체와, 상기 상부몸체 및 상기 하부몸체 사이에 구비되어 수직방향의 진동을 완화하는 중간탄성체를 포함한다.In addition, in an embodiment, the support pin includes an upper body, a lower body provided at a lower portion of the upper body, and an intermediate elastic body provided between the upper body and the lower body to reduce vibrations in the vertical direction.

또한 실시예에 있어서, 상기 핀홈의 저면과 지지핀 측면 사이에 구비되어, 상기 지지핀의 수직방향으로의 진동을 완화하는 저면탄성체를 더 포함한다.In addition, in an embodiment, it is provided between the bottom surface of the pin groove and the side surface of the support pin, further comprising a bottom elastic body to mitigate the vibration in the vertical direction of the support pin.

또한 실시예에 있어서, 상기 저면탄성체는 상기 측면탄성체와 일체로 형성될 수 있다.In addition, in an embodiment, the bottom elastic body may be integrally formed with the side elastic body.

본 발명에 따르면, 지지핀이 외력에 의해 기울어지더라도 탄성복원력에 의해 다시 기립된다. 따라서 이송유닛의 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 대한 티칭(teaching) 정도가 틀어지더라도, 웨이퍼 보관용기는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 안착할 수 있게 된다. According to the present invention, even if the support pin is inclined by an external force, it stands again by the elastic restoring force. Therefore, even if the degree of teaching for the wafer storage container support unit of the transfer unit is different, the wafer storage container can be seated on the wafer storage container support unit.

본 발명에 따르면, 웨이퍼 보관용기 지지 유닛의 지지플레이트에 구비되는 핀홈의 측면과 지지핀 측면 사이에 구비되는 측면탄성체에 의해, 웨이퍼 보관용기의 로딩/언로딩 시 지지핀으로 전달되는 수평방향의 진동이 완화될 수 있다. According to the present invention, by the side elastic body provided between the side surface of the pin groove and the side of the support pin provided on the support plate of the wafer storage container support unit, the horizontal vibration transmitted to the support pin during loading/unloading of the wafer storage container This can be alleviated.

본 발명에 따르면, 웨이퍼 보관용기 지지 유닛의 지지플레이트에 구비되는 핀홈과 지지핀의 하단부에 구비되는 저면탄성체 또는 지지핀 내에 구비되는 중간탄성체에 의해 웨이퍼 보관용기의 로딩/언로딩 시 지지핀으로 전달되는 수직방향의 진동이 완화될 수 있다. According to the present invention, the wafer storage container is transferred to the support pin when loading/unloading the wafer storage container by means of a pin groove provided in the support plate of the wafer storage container and a bottom elastic body provided at the lower end of the support pin or an intermediate elastic body provided in the support pin Vibration in the vertical direction can be reduced.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛이 구비되는 스토커 장치를 간략하게 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛을 간략하게 도시한 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시된 웨이퍼 보관용기 지지 유닛 내에 구비되는 지지핀과 지지플레이트의 결합구조를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4a 내지 도 4e은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛 내에 구비되는 지지플레이트와 지지핀의 다양한 결합구조를 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a stocker device provided with a wafer storage container support unit according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic perspective view of a wafer storage container support unit according to a first embodiment of the present invention.
3A and 3B are cross-sectional views illustrating a coupling structure between a support pin and a support plate provided in the wafer storage container support unit shown in FIG. 2.
4A to 4E are views showing various coupling structures between a support plate and a support pin provided in a wafer storage container support unit according to a second embodiment of the present invention.

이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛을 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, a wafer storage container support unit according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 동일한 명칭의 구성 요소에 대하여 도면에 따라 다른 참조부호를 부여할 수도 있으며, 서로 다른 도면임에도 불구하고 동일한 참조부호를 부여할 수도 있다. 그러나, 이와 같은 경우라 하더라도 해당 구성 요소가 실시예에 따라 서로 다른 기능을 갖는다는 것을 의미하거나, 서로 다른 실시예에서 동일한 기능을 갖는다는 것을 의미하는 것은 아니며, 각각의 구성 요소의 기능은 해당 실시예에서의 각각의 구성 요소에 대한 설명에 기초하여 판단하여야 할 것이다.In addition, in describing the constituent elements of the present invention, different reference numerals may be assigned to the constituent elements of the same name according to the drawings, and the same reference numerals may be assigned even though the drawings are different. However, even in such a case, it does not mean that the corresponding component has different functions according to the embodiment, or that it has the same function in different embodiments, and the function of each component is the corresponding implementation. It should be determined based on the description of each component in the example.

이하에서는 스토커 장치를 예로 들어 설명하지만, 본 발명의 웨이퍼 보관용기 지지 유닛은 스토커 장치에 제한되지 않고 기판처리장치, 물류저장장치, 물류이송장치에 모두 구비될 수 있다.Hereinafter, a stocker device will be described as an example, but the wafer storage container support unit of the present invention is not limited to the stocker device and may be provided in all of the substrate processing device, the distribution storage device, and the distribution transfer device.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛이 구비되는 스토커 장치를 간략하게 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a stocker device provided with a wafer storage container support unit according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 스토커 장치(10)는 웨이퍼 보관용기 지지유닛(100)과 이송 유닛(200)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the stocker device 10 includes a wafer storage container support unit 100 and a transfer unit 200.

웨이퍼 보관용기 지지유닛(100)은 이송유닛(200)에 의해 로딩된 웨이퍼 보관용기(20)를 수용한다. 웨이퍼 보관 용기는 복수의 기판들을 적재할 수 있는 용기이다. 예를 들어 웨이퍼 보관 용기는 풉(FOUP), 포스비(FOUB) 중 어느 하나일 수 있다. The wafer storage container support unit 100 accommodates the wafer storage container 20 loaded by the transfer unit 200. The wafer storage container is a container capable of loading a plurality of substrates. For example, the wafer storage container may be any one of FOUP and FOUB.

웨이퍼 보관용기 지지유닛(100)은 복수개가 적재된 형태로 구비될 수 있다. 복수개의 웨이퍼 보관용기 지지유닛(100)은 X축 및 Z축 방향으로 배열될 수 있다. 이 경우 이송유닛(200)은 복수개의 웨이퍼 보관용기 지지유닛(100)과 인접하여 구비될 수 있다. The wafer storage container support unit 100 may be provided in a stacked form. The plurality of wafer storage container support units 100 may be arranged in the X-axis and Z-axis directions. In this case, the transfer unit 200 may be provided adjacent to the plurality of wafer storage container support units 100.

이송유닛(200)은 스토커 선반(100)에 카세트를 로딩 또는 언로딩하며 수직방향으로 이동 가능한 이송로봇(210)과, 이송로봇(210)이 수평방향으로 이동하기 위한 레일(220)을 포함한다. The transfer unit 200 includes a transfer robot 210 capable of vertically movable while loading or unloading a cassette on the stocker shelf 100, and a rail 220 for the transfer robot 210 to move in the horizontal direction. .

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛을 간략하게 도시한 사시도이다.2 is a schematic perspective view of a wafer storage container support unit according to a first embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 웨이퍼 보관용기 지지 유닛(100)은 지지 플레이트(110)와, 지지 플레이트 상에 구비되는 지지핀(120)을 포함한다.Referring to FIG. 2, the wafer storage container support unit 100 includes a support plate 110 and a support pin 120 provided on the support plate.

지지 플레이트(110) 상에는 지지핀(120)이 삽입되는 복수의 핀홈(111)이 구비된다. 핀홈(111)은 로딩되는 카세트의 하부에 형성된 하부홈에 대응되는 위치에 각각 형성된다.A plurality of pin grooves 111 into which the support pins 120 are inserted are provided on the support plate 110. The pin grooves 111 are respectively formed at positions corresponding to the lower grooves formed under the cassette to be loaded.

지지핀(120)은 복수개의 핀홈(111)에 대응되도록 복수로 구비된어 웨이퍼 보관용기을 지지한다. The support pins 120 are provided in plurality to correspond to the plurality of pin grooves 111 to support the wafer storage container.

지지핀(120)은 지지 플레이트(110)에 구비되는 핀홈(111)에 삽입되고, 핀홈(111)에 삽입된 지지핀(120)의 상단부는 핀홈(111)의 외부로 돌출된다. The support pin 120 is inserted into the pin groove 111 provided in the support plate 110, and the upper end of the support pin 120 inserted into the pin groove 111 protrudes out of the pin groove 111.

도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시된 웨이퍼 보관용기 지지 유닛 내에 구비되는 지지핀과 지지플레이트의 결합구조를 설명하기 위한 단면도이다.3A and 3B are cross-sectional views illustrating a coupling structure between a support pin and a support plate provided in the wafer storage container support unit shown in FIG. 2.

도 3a을 참조하면, 핀홈(111)은, 핀홈이 형성될 위치에 지지 플레이트(110)에 관통 형성되는 핀홀(112)과, 핀홀(112) 하부에서 나사 결합되는 핀홀 결합부재(113)의 체결에 의해 형성될 수 있다. 핀홈(111)의 저면은 오목하게 형성되는 반구형의 홈 형상을 갖는다. Referring to Figure 3a, the pin groove 111, the pin hole 112 formed through the support plate 110 at a position where the pin groove is to be formed, and the pinhole coupling member 113 screwed from the bottom of the pinhole 112 is fastened. Can be formed by The bottom surface of the pin groove 111 has a hemispherical groove shape formed to be concave.

지지핀(120)은 핀홈(111) 내에 삽입된다. 이때 지지핀(120)의 단면지름은 핀홈(111) 내부의 단면지름보다 작게 구성된다. 이에 따라 핀홈(111) 내에서 지지핀(120)이 기울어질 수 있는 공간이 마련된다. The support pin 120 is inserted into the pin groove 111. At this time, the cross-sectional diameter of the support pin 120 is configured to be smaller than the cross-sectional diameter inside the pin groove 111. Accordingly, a space in which the support pin 120 can be tilted is provided in the pin groove 111.

지지핀(120)의 하단부는 핀홈(111)의 저면과 접촉되는 부분으로써 반구형의 형상을 갖는다. 이때 지지핀(120)의 반구형의 하단부는, 핀홈(111)의 저면에 형성된 반구형의 홈의 곡률반지름보다 작은 곡률반지름을 갖는 것이 바람직하다. The lower end of the support pin 120 is a portion in contact with the bottom surface of the pin groove 111 and has a hemispherical shape. At this time, it is preferable that the lower end of the hemispherical shape of the support pin 120 has a radius of curvature smaller than the radius of curvature of the hemispherical groove formed on the bottom surface of the pin groove 111.

지지핀(120)의 하단부가 반구형으로 형성됨으로써, 반구형의 홈을 갖는 핀홈(111) 내에서 지지핀(120)이 기울어지더라도 측면탄성체(122)에 의해 용이하게 기립될 수 있게 된다. Since the lower end of the support pin 120 is formed in a hemispherical shape, even if the support pin 120 is inclined in the pin groove 111 having a hemispherical groove, it can be easily erected by the side elastic body 122.

측면탄성체(122)는 핀홈(111)의 측면과 지지핀(120) 측면 사이에 구비된다. The side elastic body 122 is provided between the side surface of the pin groove 111 and the side surface of the support pin 120.

지지핀(120)이 외력에 의해 기울어지더라도, 측면탄성체(122)는 탄성복귀력을 이용하여 지지핀을 자동으로 기립시킨다. 따라서 이송유닛의 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 대한 티칭(teaching) 정도가 틀어지더라도, 웨이퍼 보관용기는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 안착될 수 있다. 또한 측면탄성체(122)에 의해 지지핀(120)의 수평방향으로의 진동을 완화한다. Even if the support pin 120 is inclined by an external force, the side elastic body 122 automatically erects the support pin using an elastic return force. Therefore, even if the degree of teaching for the wafer storage container support unit of the transfer unit is different, the wafer storage container can be seated on the wafer storage container support unit. In addition, vibration in the horizontal direction of the support pin 120 is alleviated by the side elastic body 122.

측면탄성체(122)는 지지핀(120)의 측면 및 핀홈(111)의 측면 중 어느 하나에 접착 고정될 수 있다. 따라서 핀홈(111) 내에서 지지핀(120)의 외력에 의한 회전이 가능하게 된다.The side elastic body 122 may be adhesively fixed to one of the side surfaces of the support pin 120 and the side surfaces of the pin groove 111. Therefore, rotation by the external force of the support pin 120 is possible within the pin groove 111.

지지핀(120)이 핀홈(111)으로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해, 지지핀(120)에는 이탈방지홈(127)이 구비되고, 지지플레이트(110)에는 이탈방지홈(127)내로 일부 돌출된 이탈방지돌기(117)가 구비될 수 있다.In order to prevent the support pin 120 from being separated from the pin groove 111, the support pin 120 is provided with a separation prevention groove 127, and the support plate 110 partially protrudes into the separation prevention groove 127. Departure prevention protrusion 117 may be provided.

측면탄성체(122)는 스프링 또는 고무와 같은 고분자 물질 등과 같이 탄성복원력을 갖고 진동을 완화하는 물질을 포함할 수 있다.The side elastic body 122 may include a material that has elastic restoring force and mitigates vibration, such as a polymer material such as a spring or rubber.

도 3b는 도 3a에 도시된 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 구비되는 지지플레이트와 지지핀의 결합구조에서 지지핀이 변형된 구조를 나타낸다.3B shows a structure in which the support pin is deformed in the coupling structure between the support plate and the support pin provided in the wafer storage container support unit according to FIG. 3A.

도 3b를 참조하면, 지지핀(120)은 상부몸체(124)와, 하부몸체(125)와, 상부몸체(124) 및 하부몸체(125) 사이에 구비되는 중간탄성체(121)를 포함한다.Referring to FIG. 3B, the support pin 120 includes an upper body 124, a lower body 125, and an intermediate elastic body 121 provided between the upper body 124 and the lower body 125.

중간탄성체(121)는 상부몸체(124) 및 하부몸체(125)에 각각 접착 고정된다. 중간탄성체(121)는 상부몸체(124) 및 하부몸체(125) 사이에 구비됨으로써 지지핀(120)의 수직방향으로의 진동을 완화한다. 특히, 중간탄성체(121)는 핀홈(111)의 저면과 직접 접촉되지 않으므로, 마찰에 의한 탄성체의 열화를 방지할 수 있다. The intermediate elastic body 121 is adhesively fixed to the upper body 124 and the lower body 125, respectively. The intermediate elastic body 121 is provided between the upper body 124 and the lower body 125 to mitigate the vibration of the support pin 120 in the vertical direction. In particular, since the intermediate elastic body 121 does not directly contact the bottom surface of the pin groove 111, deterioration of the elastic body due to friction can be prevented.

도 4a 내지 도 4e은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛 내에 구비되는 지지플레이트와 지지핀의 다양한 결합구조를 도시한 도면이다.4A to 4E are views showing various coupling structures between a support plate and a support pin provided in a wafer storage container support unit according to a second embodiment of the present invention.

제1 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛과 중복되는 제1 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛의 설명은 생략한다.A description of the wafer storage container support unit according to the first embodiment overlapping with the wafer storage container support unit according to the first embodiment will be omitted.

도 4a를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛 내에 구비되는 지지 플레이트(1110)에는 오목하게 형성된 핀홈(1111)이 구비된다. 지지핀(1120)은 핀홈(1111)에 삽입되고 탄성체(1121, 1122)에 의해 고정된다.Referring to FIG. 4A, a support plate 1110 provided in a wafer storage container support unit according to a second embodiment of the present invention is provided with a concave pin groove 1111. The support pin 1120 is inserted into the pin groove 1111 and fixed by the elastic bodies 1121 and 1122.

핀홈(1111)은, 핀홈이 형성될 위치에 지지플레이트(110)에 관통 형성되는 핀홀(1112)과, 핀홀(1112) 하부에서 나사 결합되는 핀홀 결합부재(1113)의 체결에 의해 형성될 수 있다.The pin groove 1111 may be formed by fastening a pinhole 1112 formed through the support plate 110 at a position where the pin groove is to be formed, and a pinhole coupling member 1113 screwed under the pinhole 1112 .

핀홈(1111)의 저면과 지지핀(1120)의 하단부 사이에는 저면탄성체(1121)가 구비된다. 저면탄성체(1121)의 아랫면은 핀홈(1111)의 저면에 접착 고정되고, 저면탄성체(1121)의 윗면은 지지핀(1120)의 하단부에 접착 고정된다. 저면탄성체(1121)는 지지핀(1120)의 수직방향의 진동을 완화한다.A bottom elastic body 1121 is provided between the bottom of the pin groove 1111 and the lower end of the support pin 1120. The lower surface of the bottom elastic body 1121 is adhesively fixed to the bottom surface of the pin groove 1111, and the upper surface of the bottom elastic body 1121 is adhesively fixed to the lower end of the support pin 1120. The bottom elastic body 1121 mitigates vibration in the vertical direction of the support pin 1120.

지지핀(1120)의 측면과 핀홈(1111)의 측면 사이에는 측면탄성체(1122)가 구비된다. 측면탄성체(1122)는 지지핀(1120)의 측면 및 핀홈(1111)의 측면 중 적어도 하나 이상에 접착 고정될 수 있다. A side elastic body 1122 is provided between the side surface of the support pin 1120 and the side surface of the pin groove 1111. The side elastic body 1122 may be adhesively fixed to at least one of a side surface of the support pin 1120 and a side surface of the pin groove 1111.

외력에 의한 지지핀(1120)의 기울어짐이 가능하도록, 핀홈(1111) 내부의 단면지름은 핀홈(1111)에 삽입되는 지지핀(1120)의 단면지름보다 크게 형성된다. 외력에 의해 지지핀(1120)이 기울어지는 경우, 측면탄성체(1122)는 탄성복귀력을 이용하여 지지핀(1120)을 기립시킨다.In order to allow the support pin 1120 to be tilted by an external force, the cross-sectional diameter of the inside of the pin groove 1111 is larger than the cross-sectional diameter of the support pin 1120 inserted into the pin groove 1111. When the support pin 1120 is inclined by an external force, the side elastic body 1122 makes the support pin 1120 stand up using an elastic return force.

제2 실시예에 따른 웨이퍼 보관용기 지지 유닛은 수평방향으로의 전달되는 지지핀의 진동을 측면탄성체(1122)을 이용하여 완화한다. 또한 수직방향으로 전달되는 지지핀의 진동을 저면탄성체(1121)을 이용하여 완화할 수 있다.The wafer storage container support unit according to the second embodiment mitigates the vibration of the support pin transmitted in the horizontal direction by using the side elastic body 1122. In addition, vibration of the support pin transmitted in the vertical direction can be alleviated by using the bottom elastic body 1121.

또한 도 4b를 참조하면, 도 4a의 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에서의 저면탄성체(1121)는 측면탄성체(1122)와 일체로 구비될 수 있다.Further, referring to FIG. 4B, the bottom elastic body 1121 in the wafer storage container support unit of FIG. 4A may be provided integrally with the side elastic body 1122.

또한 도 4c를 참조하면, 도 4a의 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에서의 저면탄성체(1121) 및 측면탄성체(1122)는 각각 스프링으로 구현될 수도 있다. Further, referring to FIG. 4C, the bottom elastic body 1121 and the side elastic body 1122 in the wafer storage container support unit of FIG. 4A may be implemented as springs, respectively.

또한 도 4d를 참조하면, 도 4a의 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에서 지지핀의 상단부가 회전 가능하게 구성될 수도 있다. In addition, referring to FIG. 4D, in the wafer storage container support unit of FIG. 4A, the upper end of the support pin may be configured to be rotatable.

지지핀(1120)은 일측의 제1 몸체(1127)와, 타측의 제2 몸체(1128), 회전구(1129)를 포함한다. 서로 결합된 제1 몸체(1127) 및 제2 몸체(1128)의 상단부에는 함몰부(1126)가 구비된다. 함몰부(1126)에는 회전가능한 구형의 회전구(1129)가 삽입된다. 회전가능한 회전구(1129)는 웨이퍼 보관용기의 로딩/언로딩 시 마찰로 인한 파티클 발생을 억제할 수 있다.The support pin 1120 includes a first body 1127 on one side, a second body 1128 on the other side, and a rotating hole 1129. A depression 1126 is provided at upper ends of the first and second bodies 1127 and 1128 coupled to each other. In the depression 1126, a rotatable spherical rotating sphere 1129 is inserted. The rotatable rotating sphere 1129 may suppress generation of particles due to friction during loading/unloading of the wafer storage container.

또한 도 4e를 참조하면, 도 4a의 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에서의 지지핀(1120)과 지지 플레이트(1130)는 동일한 극성의 전하로 대전된 상태일 수 있다.Further, referring to FIG. 4E, the support pin 1120 and the support plate 1130 in the wafer storage container support unit of FIG. 4A may be charged with electric charges of the same polarity.

이 경우 동일한 극성의 전하로 대전된 지지핀 및 지지 플레이트는 서로 밀어내는 척력을 이용하여 지지핀으로 전달되는 수평방향으로의 진동을 완화할 수 있다. In this case, the support pin and the support plate charged with electric charges of the same polarity can mitigate the vibration in the horizontal direction transmitted to the support pin by using a repulsive force pushing each other.

본 발명에 따르면, 지지핀이 외력에 의해 기울어지더라도 탄성복원력에 의해 다시 기립된다. 따라서 이송유닛의 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 대한 티칭(teaching) 정도가 틀어지더라도, 웨이퍼 보관용기는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 안착할 수 있게 된다. According to the present invention, even if the support pin is inclined by an external force, it stands again by the elastic restoring force. Therefore, even if the degree of teaching for the wafer storage container support unit of the transfer unit is different, the wafer storage container can be seated on the wafer storage container support unit.

본 발명에 따르면, 웨이퍼 보관용기 지지 유닛의 지지플레이트에 구비되는 핀홈의 측면과 지지핀 측면 사이에 구비되는 측면탄성체에 의해, 웨이퍼 보관용기의 로딩/언로딩 시 지지핀으로 전달되는 수평방향의 진동이 완화될 수 있다. According to the present invention, by the side elastic body provided between the side surface of the pin groove and the side of the support pin provided on the support plate of the wafer storage container support unit, the horizontal vibration transmitted to the support pin during loading/unloading of the wafer storage container This can be alleviated.

본 발명에 따르면, 웨이퍼 보관용기 지지 유닛의 지지플레이트에 구비되는 핀홈과 지지핀의 하단부에 구비되는 저면탄성체 또는 지지핀 내에 구비되는 중간탄성체에 의해 웨이퍼 보관용기의 로딩/언로딩 시 지지핀으로 전달되는 수직방향의 진동이 완화될 수 있다. According to the present invention, the wafer storage container is transferred to the support pin when loading/unloading the wafer storage container by means of a pin groove provided in the support plate of the wafer storage container and a bottom elastic body provided at the lower end of the support pin or an intermediate elastic body provided in the support pin Vibration in the vertical direction can be reduced.

이상에서 설명한 실시예들은 그 일 예로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. The embodiments described above are examples, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention.

따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain the technical idea, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments.

본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

10: 스토커 장치 100: 웨이퍼 보관용기 지지유닛
110, 1110: 지지 플레이트 111, 1111: 핀홈
112, 1112: 핀홀 1121: 저면탄성체
113, 1113: 핀홀 결합부재 117: 이탈방지돌기
120: 지지핀 121: 중간탄성체
122, 1122: 측면탄성체 124: 상부몸체
125: 하부몸체 200: 이송유닛10: stocker device 100: wafer storage container support unit
110, 1110: support plate 111, 1111: pin groove
112, 1112: pinhole 1121: bottom elastomer
113, 1113: pinhole coupling member 117: separation preventing protrusion
120: support pin 121: intermediate elastic body
122, 1122: side elastic body 124: upper body
125: lower body 200: transfer unit

Claims (6)

웨이퍼 보관용기를 지지하는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛에 있어서,
핀홈을 구비하는 지지플레이트;
상기 핀홈에 장착되어 웨이퍼 보관용기를 지지하는 지지핀; 및
상기 핀홈의 측면과 지지핀 측면 사이에 구비되는 측면탄성체를 포함하고,
상기 지지핀은 외력에 의해 기울어지더라도 상기 측면탄성체의 탄성복귀력에 의해 자동으로 기립되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛.In the wafer storage container support unit for supporting the wafer storage container,
A support plate having a pin groove;
A support pin mounted in the pin groove to support the wafer storage container; And
It includes a side elastic body provided between the side surface of the pin groove and the side surface of the support pin,
The support pin is a wafer storage container support unit, characterized in that even if inclined by an external force is automatically erected by the elastic return force of the side elastic body. 제1항에 있어서,
상기 지지핀은 상기 핀홈에 회전 가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관용기 지지유닛.The method of claim 1,
The support pin is a wafer storage container support unit, characterized in that rotatably mounted in the pin groove. 제1항에 있어서,
상기 핀홈의 저면은 오목하게 형성되는 제1 곡률반지름을 갖는 반구형의 홈이고,
상기 지지핀의 하단부는 상기 제1 곡률반지름보다 작은 제2 반지름을 갖는 반구형인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛.The method of claim 1,
The bottom surface of the pin groove is a hemispherical groove having a first radius of curvature formed concave,
A wafer storage container support unit, characterized in that the lower end of the support pin has a hemispherical shape having a second radius smaller than the first radius of curvature. 제1항에 있어서,
상기 지지핀은,
상부몸체와, 상기 상부몸체 하부에 구비되는 하부몸체와, 상기 상부몸체 및 상기 하부몸체 사이에 구비되어 수직방향의 진동을 완화하는 중간탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛.The method of claim 1,
The support pin,
A wafer storage container support unit comprising an upper body, a lower body provided under the upper body, and an intermediate elastic body provided between the upper body and the lower body to reduce vibrations in a vertical direction. 제1항에 있어서,
상기 핀홈의 저면과 지지핀 하단부 사이에 구비되어, 상기 지지핀의 수직방향으로의 진동을 완화하는 저면탄성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛.The method of claim 1,
Wafer storage container support unit, characterized in that it is provided between the bottom of the pin groove and the lower end of the support pin, further comprising a bottom elastic body to reduce the vibration in the vertical direction of the support pin. 제5항에 있어서,
상기 저면탄성체는 상기 측면탄성체와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관용기 지지 유닛.The method of claim 5,
The bottom elastic body is a wafer storage container support unit, characterized in that formed integrally with the side elastic body.
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