KR20210002052A - Waveguide resonator filter made with multiple substrates - Google Patents

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KR20210002052A
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이주섭
남승구
이상구
이보영
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고려대학교 산학협력단
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    • HELECTRICITY
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    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
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    • H01P11/001Manufacturing waveguides or transmission lines of the waveguide type
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Abstract

Disclosed is a resonator filter. The resonator filter includes: a first substrate having a flat square structure; a second substrate placed in a lower part of the first substrate, having first, second, third and fourth holes having a square structure, and including first through vias placed to surround the first to fourth holes entirely and second through vias placed on a partition dividing the first to fourth holes; and a third substrate placed in a lower part of the second substrate and including a first area where the second substrate is placed and a second area for input and output ports. The third substrate includes: an upper conductive thin film having fifth, sixth, seventh and eighth holes formed on positions corresponding to the first to fourth holes of the second substrate, respectively, and including first, second, third and fourth circular patches placed in the fifth to eighth holes respectively, and a conductor strip inducing the coupling of first polarity with the second and third circular patches; an insulator placed in a lower part of the upper conductive thin film and including first to fourth conductor pillars electrically connected with the first to fourth circular patches, first through vias placed along a part of the circumference of the first area, second through vias placed in a part of a position corresponding to the partition, and third through vias forming input and output ports in the second area; and a lower conductive thin film placed in a lower part of the insulator, having a square flat structure and having a part removed to form input and output ports. Therefore, the present invention is capable of facilitating the manufacture of a resonator filter.

Description

다층 기판 구조의 도파관 공진기 필터{WAVEGUIDE RESONATOR FILTER MADE WITH MULTIPLE SUBSTRATES}Waveguide resonator filter with a multilayer board structure {WAVEGUIDE RESONATOR FILTER MADE WITH MULTIPLE SUBSTRATES}

본 발명은 공진기 필터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다층 기판 구조를 갖는 대역통과 캐비티 공진기 필터에 관한 것이다.The present invention relates to a resonator filter, and more particularly, to a bandpass cavity resonator filter having a multilayer substrate structure.

일반적으로 무선통신 시스템 및 레이더에서는 대역통과 필터에 의해서 걸러진 주파수를 사용하여 통신 및 감지 기능을 수행한다. 일반적으로 도파관 형태의 대역통과 필터는 평면형(planar) 구조의 필터보다 삽입손실이 작으며 높은 파워핸들링(power handling) 성능을 가진다. 또한 이중모드 도파관 공진기를 사용하여 필터를 설계하는 경우, 단일모드 공진기를 사용하여 필터를 설계하는 경우보다 필터의 크기를 2배 줄일 수 있다. 필터의 크기를 줄이는 다른 방법으로는 중앙에 포스트가 삽입된 도파관 공진기를 사용하여 필터를 설계하는 방법도 제시되어 있다.In general, wireless communication systems and radars perform communication and detection functions using frequencies filtered by a bandpass filter. In general, a waveguide-type bandpass filter has a lower insertion loss and a high power handling performance than a planar filter. In addition, when a filter is designed using a dual mode waveguide resonator, the size of the filter can be reduced by two times compared to when a filter is designed using a single mode resonator. Another way to reduce the size of the filter is to design a filter using a waveguide resonator with a post inserted in the center.

고성능의 대역통과 도파관 필터는 3차원의 비평면형(non-planar) 구조이기 때문에 일반적으로 알루미늄과 같은 고체를 이용하여 가공한 후 은도금 처리과정을 거친 후 조립을 하는 방식으로 제작한다. 따라서, 여러 단계의 세부 제작 공정이 필수적이며, 제작 기간이 길다는 단점이 있다. 특히, 예를 들어, 필터를 구성하는 공진기 내부에 포스트와 같은 구조물이 있는 경우와 음의 결합을 구현하기 위한 부수적인 구조물이 있는 경우는 제작이 용이하지 않기 때문에 제작 단계 수가 증가하고 제작기간이 길어지는 단점을 가지고 있다. 또 다른 단점으로는 일반적으로 입출력 포트가 동축 컨넥터(coaxial connector)로 형성되기 때문에, 일반 인쇄회로기판(PCB)과 호환이 불가능하다는 특징을 가진다.Since the high-performance bandpass waveguide filter has a three-dimensional, non-planar structure, it is generally fabricated using a solid such as aluminum and then subjected to silver plating and then assembling. Therefore, there is a disadvantage in that a detailed manufacturing process of several steps is essential and the manufacturing period is long. In particular, for example, if there is a structure such as a post inside the resonator constituting the filter, and if there is an auxiliary structure to realize negative coupling, the number of manufacturing steps increases and the manufacturing period is long because manufacturing is not easy. Losing has a disadvantage. Another disadvantage is that since the input/output ports are generally formed of a coaxial connector, it is not compatible with a general printed circuit board (PCB).

S. Nam, B. Lee, B. Koh, C. Kwak, and J. Lee, "K-band fully reconfigurable pseudo-elliptic waveguide resonator filter with tunable positive and negative couplings," IEICE Transactions on Communications, vol. 99, pp. 2136-2145, Oct, 2016.S. Nam, B. Lee, B. Koh, C. Kwak, and J. Lee, "K-band fully reconfigurable pseudo-elliptic waveguide resonator filter with tunable positive and negative couplings," IEICE Transactions on Communications, vol. 99, pp. 2136-2145, Oct, 2016.

본원 발명이 해결하고자 하는 과제는 제작이 용이하고 인쇄회로기판과 호환이 가능한 공진기 필터를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a resonator filter that is easy to manufacture and compatible with a printed circuit board.

해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 실시 예들에 따른 공진기 필터는, 사각 판상형 구조의 제1 기판, 상기 제1 기판 하부에 배치되며, 사각형 구조를 갖는 제1 홀, 제2 홀, 제3 홀, 및 제4 홀을 가지며, 상기 제1 내지 제4 홀들을 전체적으로 감싸도록 배치되는 제1 관통 비아들 및 상기 제1 내지 제4 홀들을 구분하는 격벽에 배치되는 제2 관통 비아들을 포함하는 제2 기판, 및 상기 제2 기판 하부에 배치되며 상기 제2 기판이 배치되는 제1 영역 및 입출력 포트들을 위한 제2 영역을 포함하는 제3 기판을 포함하되, 상기 제3 기판은, 상기 제2 기판의 제1 내지 제4 홀들에 각각에 대응하는 위치에 형성된 제5 홀, 제6 홀, 제7 홀, 및 제8 홀을 가지며, 상기 제5 홀 내지 제8 홀들 각각에 배치되는 제1 원형 패치, 제2 원형 패치, 제3 원형 패치, 및 제4 원형 패치와, 상기 제2 및 제3 원형 패치들로 제1 극성의 결합을 유도하는 도체 스트립을 포함하는 상부 도전 박막, 상기 상부 도전 박막 하부에 배치되며 상기 제1 내지 제4 원형 패치들과 전기적으로 연결되는 제1 내지 제4 도체 기둥들, 상기 제1 영역의 가장자리의 일부를 따라 배치되는 제1 관통 비아들, 상기 격벽에 대응되는 위치의 일부에 배치되는 제2 관통 비아들, 상기 제2 영역에서 상기 입출력 포트들을 구성하는 제3 관통 비아들을 포함하는 절연체, 및 상기 절연체 하부에 배치되며 사각 판상형 구조를 가지며 상기 입출력 포트를 구성하도록 일부가 제거된 하부 도전 박막을 포함한다.In order to achieve the problem to be solved, the resonator filter according to embodiments of the present invention includes a first substrate having a rectangular plate-shaped structure, a first hole, a second hole, and a third having a quadrangular structure and disposed under the first substrate. A first through-via having a hole and a fourth hole and disposed to entirely surround the first through fourth holes, and a second through-via disposed in a partition wall separating the first through fourth holes. 2 substrate, and a third substrate disposed below the second substrate and including a first region in which the second substrate is disposed and a second region for input/output ports, wherein the third substrate is the second substrate A first circular patch having a fifth hole, a sixth hole, a seventh hole, and an eighth hole formed at positions corresponding to each of the first to fourth holes of, and disposed in each of the fifth to eighth holes , An upper conductive thin film including a second circular patch, a third circular patch, and a fourth circular patch, and a conductor strip for inducing a first polarity coupling to the second and third circular patches, and a lower portion of the upper conductive thin film First to fourth conductor pillars disposed at and electrically connected to the first to fourth circular patches, first through vias disposed along a portion of the edge of the first region, and a position corresponding to the partition wall The second through-vias disposed in a part of the insulator, the insulator including third through-vias constituting the input/output ports in the second region, and And a lower conductive thin film from which is removed.

본 발명의 실시 예들에 따르면, 상이한 극성의 결합 구조를 형성하기 위한 도체 스트립을 포스트의 원형 패치를 형성할 때 함께 형성함으로써, 공진기 필터의 제작이 보다 용이하다. 또한, 입출력 포트들이 GCPW(grounded co-planar waveguide) 구조를 가짐으로써, 공진기 필터가 인쇄회로기판과 호환이 가능하다.According to embodiments of the present invention, by forming a conductor strip for forming a bonding structure of different polarity together when forming a circular patch of a post, it is easier to manufacture a resonator filter. In addition, since the input/output ports have a GCPW (grounded co-planar waveguide) structure, the resonator filter is compatible with the printed circuit board.

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 상세한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공진기 필터를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 공진기 필터에서 제3 기판의 구조를 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 제3 기판의 상면 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 제3 기판의 하면 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 공진기 필터 결합 다이어그램을 나타내는 그래프이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 공진기 필터의 모의실험 결과를 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 공진기 필터의 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
Detailed description of each drawing is provided in order to more fully understand the drawings cited in the detailed description of the present invention.
1 is an exploded perspective view illustrating a resonator filter according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating a structure of a third substrate in the resonator filter shown in FIG. 1.
3 is a top view of the third substrate shown in FIG. 2.
4 is a bottom view of the third substrate shown in FIG. 2.
5 is a graph showing a resonator filter coupling diagram shown in FIG. 1.
6 is a graph showing simulation results of a resonator filter according to an embodiment of the present invention.
7 is a graph showing a measurement result of a resonator filter according to an embodiment of the present invention.

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments according to the concept of the present invention disclosed in the present specification are exemplified only for the purpose of describing the embodiments according to the concept of the present invention, and the embodiments according to the concept of the present invention are It may be implemented in various forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.Since the embodiments according to the concept of the present invention can apply various changes and have various forms, embodiments are illustrated in the drawings and will be described in detail in the present specification. However, this is not intended to limit the embodiments according to the concept of the present invention to specific disclosed forms, and includes all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2 구성 요소는 제1 구성 요소로도 명명될 수 있다.Terms such as first or second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are only for the purpose of distinguishing one component from other components, for example, without departing from the scope of the rights according to the concept of the present invention, the first component may be named as the second component and similarly the second component. The component may also be referred to as a first component.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.When a component is referred to as being "connected" or "connected" to another component, it is understood that it is directly connected to or may be connected to the other component, but other components may exist in the middle. Should be. On the other hand, when a component is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that there is no other component in the middle. Other expressions describing the relationship between components, such as "between" and "directly between" or "adjacent to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in the present specification are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this specification, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described herein, but one or more other features. It is to be understood that the possibility of addition or presence of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof is not preliminarily excluded.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this specification. Does not.

이하, 본 명세서에 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명한다. 그러나, 특허출원의 범위가 이러한 실시 예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the scope of the patent application is not limited or limited by these embodiments. The same reference numerals in each drawing indicate the same members.

이하에서는 도파관 형태의 대역통과 공진기 필터를 설명한다. 대역통과 필터가 도파관 형태를 가짐으로써, 평면형(planar) 구조의 필터보다 삽입 손실이 작으며 높은 파워 핸들링(power handling) 성능을 갖는다. 또한, 이중모드 도파관 공진기를 사용하여 필터를 설계하는 경우, 단일모드 도파관 공진기를 사용하여 필터를 설계하는 경우보다 필터의 크기를 1/2 이하로 줄일 수 있다. 또한, 중앙에 포스트(post)가 삽입된 도파관 공진기를 사용하면 필터의 크기를 더욱 감소시킬 수 있다.Hereinafter, a waveguide-type bandpass resonator filter will be described. Since the bandpass filter has a waveguide shape, insertion loss is lower than that of a planar filter and has high power handling performance. In addition, when a filter is designed using a dual mode waveguide resonator, the size of the filter can be reduced to 1/2 or less than when a filter is designed using a single mode waveguide resonator. In addition, when a waveguide resonator with a post inserted in the center is used, the size of the filter can be further reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공진기 필터를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 공진기 필터에서 제3 기판의 구조를 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 제3 기판의 상면 도면이고, 도 4는 도 2에 도시된 제3 기판의 하면 도면이다.1 is an exploded perspective view for explaining a resonator filter according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view for explaining the structure of a third substrate in the resonator filter shown in FIG. 1, and FIG. 3 is It is a top view of the shown third substrate, and FIG. 4 is a bottom view of the third substrate shown in FIG. 2.

도 1 내지 4를 참조하면, 공진기 필터(1000)는 수직 적층된 복수의 기판들로 구성될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 공진기 필터(1000)는 제1 기판(100), 제2 기판(200), 및 제3 기판(300)을 포함할 수 있다.1 to 4, the resonator filter 1000 may be composed of a plurality of vertically stacked substrates. According to an embodiment, the resonator filter 1000 may include a first substrate 100, a second substrate 200, and a third substrate 300.

제1 기판(100)은 공진기 필터(1000)의 최상부에 배치되며, 사각 판상형 구조를 가질 수 있다. 제1 기판(100)으로는 통상적으로 사용되는 도체판이 이용될 수 있다. 실시예에 따라, 제1 기판(100)은 일반적인 기판의 한 면을 도체면으로 이용하여 구현될 수도 있다. 예컨대, 제1 기판(100)은 FR4 에폭시(epoxy)를 포함할 수 있다.The first substrate 100 is disposed on the top of the resonator filter 1000 and may have a square plate-shaped structure. As the first substrate 100, a commonly used conductor plate may be used. Depending on the embodiment, the first substrate 100 may be implemented using one surface of a general substrate as a conductor surface. For example, the first substrate 100 may include FR4 epoxy.

제2 기판(200)은 제1 기판(100) 하부에 배치되며, 제1 기판(100)과 동일한 크기 및 형상을 가질 수 있다. 또한, 제2 기판(200)은 제1 기판(100)과 동일한 FR4 에폭시를 포함할 수 있다. 일 예로, 제2 기판(200)의 두께는 0.2mm일 수 있다.The second substrate 200 is disposed under the first substrate 100 and may have the same size and shape as the first substrate 100. In addition, the second substrate 200 may include the same FR4 epoxy as the first substrate 100. For example, the thickness of the second substrate 200 may be 0.2 mm.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제2 기판(200)은 공기층 형성을 위한 복수의 홀들을 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 대역통과 캐비티(cavity) 공진기 필터(1000)를 설명하되, 4개의 공진기들을 포함하고, 1개의 극성이 다른 결합 구조를 갖는 필터(1000)를 예시적으로 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명의 공진기 필터(1000)에서, 공진기의 개수 및 극성이 다른 결합 구조의 개수를 이로 한정하지 않는다.According to an embodiment of the present invention, the second substrate 200 may include a plurality of holes for forming an air layer. In the present embodiment, a bandpass cavity resonator filter 1000 will be described, but a filter 1000 including four resonators and having a coupling structure having a different polarity will be exemplarily described. However, in the resonator filter 1000 of the present invention, the number of resonators and the number of coupling structures having different polarities are not limited thereto.

일 실시예에 따르면, 제2 기판(200)은 4개의 홀들을 포함하되, 4개의 홀들 각각은 평면적 관점에서 사각형 구조를 가질 수 있다. 또한, 4개의 홀들은 동일한 크기를 가지며 서로 이격되어 배치될 수 있다. 일 예로, 제2 기판(200)이 사각형 구조를 가질 경우, 4개의 홀들은 제2 기판(200)의 내측에 소정의 이격 거리를 갖도록 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 용이함을 위해, 4개의 홀들 각각을 제1 홀(HL1), 제2 홀(HL2), 제3 홀(HL3), 및 제4 홀(HL4)이라 한다.According to an embodiment, the second substrate 200 includes four holes, and each of the four holes may have a rectangular structure in a plan view. In addition, the four holes have the same size and may be spaced apart from each other. For example, when the second substrate 200 has a quadrangular structure, four holes may be disposed inside the second substrate 200 to have a predetermined separation distance. Hereinafter, for ease of description, each of the four holes is referred to as a first hole HL1, a second hole HL2, a third hole HL3, and a fourth hole HL4.

제2 기판(200)의 제1 홀(HL1), 제2 홀(HL2), 제3 홀(HL3), 및 제4 홀(HL4) 사이는 격벽에 의해 구분될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제2 홀(HL2) 및 제3 홀(HL3)을 구분하는 격벽의 일부가 제거되어 제2 홀(HL2) 및 제3 홀(HL3)은 서로 연통된 구조를 가질 수 있다.The first hole HL1, the second hole HL2, the third hole HL3, and the fourth hole HL4 of the second substrate 200 may be separated by a partition wall. According to an embodiment, a part of the partition wall separating the second hole HL2 and the third hole HL3 is removed, so that the second hole HL2 and the third hole HL3 may have a structure in communication with each other. .

제2 기판(200)에는, 제1 홀(HL1), 제2 홀(HL2), 제3 홀(HL3), 및 제4 홀(HL4)을 전체적으로 감싸도록 배치되는 제1 관통 비아들(TV1)과, 격벽에 형성되는 제2 관통 비아들(TV2)이 제공될 수 있다. 제1 관통 비아들(TV1) 및 제2 관통 비아들(TV2) 각각은 제2 기판(200)을 관통하는 구조로써, 제2 기판(200)을 통해 제1 기판(100) 및 제3 기판(300)이 전기적으로 서로 연결될 수 있다. 제1 관통 비아들(TV1)은 제1 이격거리로 서로 이격되되, 그 사이가 좁아 이하에서는 연속적으로 배치되는 것으로 설명한다. 제2 관통 비아들(TV2)은 연속적으로 배치되다, 제2 홀(HL2) 및 제3 홀(HL3)을 구분하는 격벽에서 제1 이격거리보다 큰 제2 이격거리로 이격되어 배치될 수 있다. 제2 홀(HL2) 및 제3 홀(HL3)을 구분하는 격벽에는 서로 이격된 제2 관통 비아들(TV2)에 의해 통로(PT)가 형성될 수 있다.In the second substrate 200, first through vias TV1 disposed to completely surround the first hole HL1, the second hole HL2, the third hole HL3, and the fourth hole HL4. And, second through vias TV2 formed in the partition wall may be provided. Each of the first through vias TV1 and the second through vias TV2 has a structure penetrating the second substrate 200, and the first substrate 100 and the third substrate ( 300) can be electrically connected to each other. The first through vias TV1 are spaced apart from each other by a first separation distance, but since the gap is narrow, it will be described that they are continuously disposed. The second through vias TV2 may be continuously disposed, and may be spaced apart by a second separation distance greater than the first separation distance in the partition wall separating the second hole HL2 and the third hole HL3. A passage PT may be formed in a partition wall separating the second hole HL2 and the third hole HL3 by second through vias TV2 spaced apart from each other.

본 명세서에 기재된 비아 또는 비아 홀은 원통형 구조의 홀로써 홀의 내면을 도전물질로 도금하여 형성할 수 있다. 도전물질은 구리, 황동, 은, 금 등을 포함할 수 있으나, 본 발명의 권리범위가 도전물질의 종류에 제한되는 것이 아님은 자명하다.The vias or via holes described in the present specification are holes having a cylindrical structure and may be formed by plating an inner surface of the hole with a conductive material. The conductive material may include copper, brass, silver, gold, and the like, but it is obvious that the scope of the present invention is not limited to the type of conductive material.

제3 기판(300)은 제2 기판(200)보다 큰 크기를 가질 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제3 기판(300)은 공진기들을 위한 제1 영역(AR1) 및 입출력 포트들(P_In, P_Out)을 위한 제2 영역(AR2)을 포함할 수 있다. 일 예로, 제2 기판(200)은 제3 기판(300)의 제1 영역(AR1)을 덮으며 배치될 수 있다.The third substrate 300 may have a larger size than the second substrate 200. According to an embodiment, the third substrate 300 may include a first area AR1 for resonators and a second area AR2 for input/output ports P_In and P_Out. For example, the second substrate 200 may be disposed to cover the first area AR1 of the third substrate 300.

제3 기판(300)은 상부 도전 박막(310), 절연체(320), 및 하부 도전 박막(330)을 포함할 수 있다.The third substrate 300 may include an upper conductive thin film 310, an insulator 320, and a lower conductive thin film 330.

상부 도전 박막(310)에는 4개의 홀들이 형성되며 4개의 홀들 각각은 제2 기판(200)의 4개의 홀들에 대응되는 위치에 동일한 크기 및 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 제2 기판(200)의 격벽에 대응되는 위치에 동일한 크기 및 형상으로 상부 도전 박막(310)은 격벽을 가질 수 있다. 설명의 용이함을 위하여, 상부 도전 박막(310)의 4개의 홀들 각각을 제5 홀(HL5), 제6 홀(HL6), 제7 홀(HL7), 및 제8 홀(HL8)이라 한다. 제2 기판(200)에서와 마찬가지로, 상부 도전 박막(310)에서도 제6 홀(HL6) 및 제7 홀(HL7) 사이 격벽의 일부가 제거되어 제6 홀(HL6) 및 제7 홀(HL7)이 서로 연통될 수 있다. 따라서, 상부 도전 박막(310)의 격벽 중에서 제6 홀(HL6) 및 제7 홀(HL7)의 격벽 부분에 통로(PT)가 형성될 수 있다.Four holes are formed in the upper conductive thin film 310, and each of the four holes may be formed in the same size and shape at positions corresponding to the four holes of the second substrate 200. In addition, the upper conductive thin film 310 may have a partition wall having the same size and shape at a position corresponding to the partition wall of the second substrate 200. For ease of description, each of the four holes of the upper conductive thin film 310 is referred to as a fifth hole HL5, a sixth hole HL6, a seventh hole HL7, and an eighth hole HL8. As in the second substrate 200, in the upper conductive thin film 310, a part of the partition wall between the sixth hole HL6 and the seventh hole HL7 is removed, so that the sixth hole HL6 and the seventh hole HL7 are formed. Can communicate with each other. Accordingly, the passage PT may be formed in portions of the sixth hole HL6 and the seventh hole HL7 among the partition walls of the upper conductive thin film 310.

상부 도전 박막(310)은 원형 패치들(circular patches) 및 도체 스트립(CS)(conductor strip)을 포함할 수 있다. 원형 패치들은 제5 홀(HL5), 제6 홀(HL6), 제7 홀(HL7), 및 제8 홀(HL8) 각각의 중심에 배치되는 제1 원형 패치(CP1), 제2 원형 패치(CP2), 제3 원형 패치(CP3), 및 제4 원형 패치(CP4)를 포함할 수 있다. 도체 스트립(CS)은 제2 원형 패치(CP2)의 일부를 감싸도록 곡률을 갖는 제1 부분과, 제1 부분으로부터 연장하여 제6 홀(HL6) 및 제7 홀(HL7)을 가로지르는 제2 부분과, 제2 부분으로부터 연장하여 제3 원형 패치(CP3)의 일부를 감싸도록 곡률을 갖는 제3 부분을 포함할 수 있다. 일 예로, 도체 스트립(CS)은 평면적 관점에서 "S"자 구조를 가질 수 있다.The upper conductive thin film 310 may include circular patches and a conductor strip (CS). The circular patches include a first circular patch CP1 and a second circular patch disposed at the centers of each of the fifth hole HL5, the sixth hole HL6, the seventh hole HL7, and the eighth hole HL8. CP2), a third circular patch CP3, and a fourth circular patch CP4. The conductor strip CS includes a first portion having a curvature to surround a part of the second circular patch CP2, and a second portion extending from the first portion and crossing the sixth hole HL6 and the seventh hole HL7. A portion and a third portion extending from the second portion and having a curvature to surround a portion of the third circular patch CP3 may be included. For example, the conductor strip CS may have an "S" shape in plan view.

일 실시예에 따르면, 상부 도전 박막(310)에서, 도체 스트립(CS)은 원형 패치들을 형성하는 동안 함께 형성됨으로써, 공진기 필터(1000)의 제작이 용이하다.According to an embodiment, in the upper conductive thin film 310, the conductor strip CS is formed together while forming circular patches, so that the resonator filter 1000 can be easily manufactured.

절연체(320)는 TMM(thermoset microwave material)을 포함할 수 있다.The insulator 320 may include a thermoset microwave material (TMM).

절연체(320)는, 제1 내지 제4 원형 패치들(CP1, CP2, CP3, CP4)과 전기적으로 연결되는 도체 기둥들(conducting posts), 제1 영역(AR1)의 가장자리를 따라 배치되는 제3 관통 비아들(TV3), 제1 영역(AR1)에서 상부 도전 박막(310)의 격벽에 대응되는 위치에 배치되는 제4 관통 비아들(TV4), 및 제2 영역(AR2)에서 입출력 포트(P_Out)를 구성하는 제5 관통 비아들(TV5)을 포함할 수 있다. 이때, 도체 기둥들, 제3 관통 비아들(TV3), 제4 관통 비아들(TV4), 및 제5 관통 비아들(TV5) 각각은 절연체(320)를 관통하여 상부 도전 박막(310) 및 하부 도전 박막(330) 사이를 전기적으로 연결할 수 있다.The insulator 320 includes conductive posts electrically connected to the first to fourth circular patches CP1, CP2, CP3, and CP4, and a third disposed along the edge of the first area AR1. The through vias TV3, the fourth through vias TV4 disposed at positions corresponding to the partition wall of the upper conductive thin film 310 in the first region AR1, and the input/output port P_Out in the second region AR2 It may include fifth through vias TV5 constituting ). At this time, the conductor pillars, the third through vias TV3, the fourth through vias TV4, and the fifth through vias TV5 each pass through the insulator 320 to form the upper conductive thin film 310 and the lower part. The conductive thin films 330 may be electrically connected.

도체 기둥들은 제1 원형 패치(CP1)에 대응되는 위치에서 제1 원형 패치(CP1)의 가장자리를 따라 배치되어 평면적 관점에서 링(ring) 구조를 갖는 복수의 제1 도체 기둥들(P1), 제2 원형 패치(CP2)에 대응되는 위치에서 제2 원형 패치(CP2)의 가장자리를 따라 배치되어 평면적 관점에서 링 구조를 갖는 복수의 제2 도체 기둥들(P2), 제3 원형 패치(CP3)에 대응되는 위치에서 제3 원형 패치(CP3)의 가장자리를 따라 배치되어 평면적 관점에서 링 구조를 갖는 복수의 제3 도체 기둥들(P3), 및 제4 원형 패치(CP4)에 대응되는 위치에서 제4 원형 패치(CP4)의 가장자리를 따라 배치되어 평면적 관점에서 링 구조를 갖는 복수의 제4 도체 기둥들(P4)을 포함할 수 있다. The conductor pillars are arranged along the edge of the first circular patch CP1 at a position corresponding to the first circular patch CP1, so that the plurality of first conductor pillars P1 and the first conductor pillars P1 having a ring structure in a plan view 2 In a position corresponding to the circular patch CP2, the plurality of second conductor pillars P2 and the third circular patch CP3 are arranged along the edge of the second circular patch CP2 and have a ring structure in a plan view. A plurality of third conductor pillars P3 having a ring structure in a plan view by being disposed along the edge of the third circular patch CP3 at a corresponding position, and a fourth at a position corresponding to the fourth circular patch CP4. It may include a plurality of fourth conductor pillars P4 arranged along the edge of the circular patch CP4 and having a ring structure in a plan view.

이로써, 제1 원형 패치(CP1) 및 제1 도체 기둥들(P1)을 포함하는 제1 포스트와, 제2 원형 패치(CP2) 및 제2 도체 기둥들(P2)을 포함하는 제2 포스트와, 제3 원형 패치(CP3) 및 제3 도체 기둥들(P3)을 포함하는 제3 포스트와, 제4 원형 패치(CP4) 및 제4 도체 기둥들(P4)을 포함하는 제4 포스트를 구성할 수 있다. 본 실시예에서는 캐비티 공진기 각각에 포스트가 있는 필터(1000)에 대하여 서술하지만 본 발명은 포스트가 없는 필터(1000)에도 적용 가능하다.Accordingly, a first post including a first circular patch CP1 and first conductor pillars P1, a second post including a second circular patch CP2 and second conductor pillars P2, A third post including a third circular patch CP3 and third conductor pillars P3, and a fourth post including a fourth circular patch CP4 and fourth conductor pillars P4 may be formed. have. In this embodiment, a filter 1000 having posts in each of the cavity resonators is described, but the present invention is also applicable to a filter 1000 without posts.

절연체(320)의 제1 영역(AR1)은 상부 도전 박막(310)에서 제5 홀(HL5)에 대응되는 제1 부분(PAT1), 제6 홀(HL6)에 대응되는 제2 부분(PAT2), 제7 홀(HL7)에 대응되는 제3 부분(PAT3), 및 제8 홀(HL8)에 대응되는 제4 부분(PAT4)으로 나눌 수 있다.The first area AR1 of the insulator 320 is a first portion PAT1 corresponding to the fifth hole HL5 and a second portion PAT2 corresponding to the sixth hole HL6 in the upper conductive thin film 310. , A third portion PAT3 corresponding to the seventh hole HL7 and a fourth portion PAT4 corresponding to the eighth hole HL8.

제3 관통 비아들(TV3)은 절연체(320)의 제1 영역(AR1)의 제1 부분(PAT1), 제2 부분(PAT2), 제3 부분(PAT3), 및 제4 부분(PAT4)을 감싸도록 제1 영역(AR1)의 가장자리를 따라 배치되되, 제3 관통 비아들(TV3)은 제1 부분(PAT1)에서 이격되어 제1 통로를 형성하며, 제4 부분(PAT4)에서 다시 이격되어 제2 통로를 형성할 수 있다. 제1 통로 및 제2 통로는 입출력 포트들(P_In, P_Out)을 위한 것으로, 설명의 용이함을 위하여 제1 통로가 입력 포트(P_In)로 제2 통로가 출력 포트(P_Out)로 구성되는 것으로 설명한다. 반대의 경우도 가능하다.The third through vias TV3 cover the first portion PAT1, the second portion PAT2, the third portion PAT3, and the fourth portion PAT4 of the first area AR1 of the insulator 320. It is disposed along the edge of the first region AR1 so as to surround it, and the third through vias TV3 are spaced apart from the first part PAT1 to form a first passage, and are spaced apart from the fourth part PAT4 again. A second passage can be formed. The first passage and the second passage are for input/output ports P_In and P_Out, and for ease of explanation, it will be described that the first passage is composed of an input port P_In and the second passage is composed of an output port P_Out. . The opposite is also possible.

제4 관통 비아들(TV4)은 제1 부분(PAT1) 및 제2 부분(PAT2)을 구분하는 격벽에 제3 통로를 정의하도록 이격되어 배치되고, 제2 부분(PAT2) 및 제3 부분(PAT3)을 구분하는 격벽에 제4 통로를 정의하도록 이격되어 배치되고, 제3 부분(PAT3) 및 제4 부분(PAT4)을 구분하는 격벽에 제5 통로를 정의하도록 이격되어 배치되고, 제4 부분(PAT4) 및 제1 부분(PAT1)을 구분하는 격벽에 제6 통로를 정의하도록 이격되어 배치될 수 있다. 이때, 제5 통로에 전술한 도체 스트립(CS)이 배치될 수 있다.The fourth through vias TV4 are disposed to be spaced apart from each other to define a third passage in a partition wall separating the first portion PAT1 and the second portion PAT2, and the second portion PAT2 and the third portion PAT3 ) Are spaced apart from each other to define a fourth passage, and are spaced apart to define a fifth passage in the partition wall separating the third portion (PAT3) and the fourth portion (PAT4), and the fourth portion ( PAT4) and the first portion PAT1 may be spaced apart from each other to define a sixth passage in the partition wall. In this case, the above-described conductor strip CS may be disposed in the fifth passage.

제5 관통 비아들(TV5)은 제2 영역(AR2)에 배치되되, 제3 관통 비아들(TV3)로부터 연장되어 배치될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제3 관통 비아들(TV3)에 의해 정의되는 제1 통로의 양단부로부터 절연체(320)의 단부로 연장하는 제3 관통 비아들(TV3)에 의해 입력 포트(P_In)가 형성될 수 있다. 또한, 제3 관통 비아들(TV3)에 의해 정의되는 제2 통로의 양단부로부터 절연체(320)의 단부로 연장하는 제3 관통 비아들(TV3)에 의해 출력 포트(P_Out)가 형성될 수 있다.The fifth through-vias TV5 are disposed in the second area AR2 and may be disposed to extend from the third through-vias TV3. According to an embodiment, the input port P_In is formed by the third through-vias TV3 extending from both ends of the first passage defined by the third through-vias TV3 to the end of the insulator 320 Can be. In addition, the output port P_Out may be formed by third through vias TV3 extending from both ends of the second passage defined by the third through vias TV3 to the end of the insulator 320.

하부 도전 박막(330)은 사각 판상형 구조를 가지되, 제1 영역(AR1)의 단부로부터 절연체(320)의 입력 포트(P_In) 및 출력 포트(P_Out)에 대응하도록 일부가 제거될 수 있다. 하부 도전 박막(330)은, 입력 포트(P_In)를 구성하는 제3 관통 비아들(TV3)과 바로 인접하게 배치되어 서로 평행하며 제1 영역(AR1)에서 제2 영역(AR2)으로 가로질러 제1 도체 기둥들(P1)의 일부를 감싸는 제1 제거 부분(RMP1)과, 출력 포트(P_Out)를 구성하는 제3 관통 비아들(TV3)과 바로 인접하게 배치되어 서로 평행하며 제1 영역(AR1)에서 제2 영역(AR2)으로 가로질러 제2 도체 기둥들(P2)의 일부를 감싸는 제2 제거 부분(RMP2)을 가질 수 있다. 이러한 구조를 GCPW(grounded co-planar waveguide)라 한다.The lower conductive thin film 330 has a rectangular plate-like structure, and a portion of the lower conductive thin film 330 may be removed from an end portion of the first region AR1 to correspond to the input port P_In and the output port P_Out of the insulator 320. The lower conductive thin film 330 is disposed immediately adjacent to the third through vias TV3 constituting the input port P_In, is parallel to each other, and crosses from the first region AR1 to the second region AR2. 1 The first removal portion RMP1 surrounding a part of the conductor pillars P1 and the third through-vias TV3 constituting the output port P_Out are disposed immediately adjacent to each other and are parallel to each other, and the first area AR1 ) May have a second removal portion RMP2 that crosses the second region AR2 and surrounds a portion of the second conductor pillars P2. This structure is called GCPW (grounded co-planar waveguide).

이처럼, 공진기 필터(1000)가 GCPW 구조의 입출력 포트들을 구성함으로써, 인쇄회로기판에 공진기 필터(1000)를 장착하여 사용할 수 있어, 인쇄회로기판과 호환성을 가질 수 있다. 또한, 동축 커넥터(coaxial connector)와 같은 커넥터를 사용하는 경우, 계측기를 이용한 측정이나 커넥터가 부착되어 있는 다른 회로와 연결하여 사용이 가능하므로, 활용성이 더욱 높아질 수 있다. 즉, 본 발명에 의할 경우, 인쇄회로기판(PCB)과 호환이 가능한 동시에 커넥터 연결도 가능한 도파관 공진기 필터 구조를 제공할 수 있다.As described above, since the resonator filter 1000 constitutes input/output ports of the GCPW structure, the resonator filter 1000 can be mounted on a printed circuit board and used, thereby having compatibility with the printed circuit board. In addition, in the case of using a connector such as a coaxial connector, it is possible to measure using a measuring instrument or connect it to another circuit to which the connector is attached, so that the usability may be further improved. That is, according to the present invention, it is possible to provide a waveguide resonator filter structure compatible with a printed circuit board (PCB) and capable of connecting a connector.

본 발명의 일 실시예에 따른 공진기 필터(1000)는 제1 도체 기둥들(P1), 제1 원형 패치(CP1), 및 제2 기판(200)의 제1 홀(HL1)을 포함하는 제1 공진기와, 제2 도체 기둥들(P2), 제2 원형 패치(CP2), 및 제2 기판(200)의 제2 홀(HL2)을 포함하는 제2 공진기와, 제3 도체 기둥들(P3), 제3 원형 패치(CP3), 및 제2 기판(200)의 제3 홀(HL3)을 포함하는 제3 공진기와, 제4 도체 기둥들(P4), 제4 원형 패치(CP4), 및 제2 기판(200)의 제4 홀(HL4)을 포함하는 제4 공진기를 포함할 수 있다.The resonator filter 1000 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a first conductor pillar P1, a first circular patch CP1, and a first hole HL1 of the second substrate 200. A second resonator including a resonator, second conductor pillars P2, a second circular patch CP2, and a second hole HL2 of the second substrate 200, and third conductor pillars P3 , A third circular patch CP3, and a third resonator including a third hole HL3 of the second substrate 200, fourth conductor pillars P4, a fourth circular patch CP4, and 2 It may include a fourth resonator including a fourth hole HL4 of the substrate 200.

도 5는 도 1에 도시된 공진기 필터 결합 다이어그램을 나타내는 그래프이다.5 is a graph showing a resonator filter coupling diagram shown in FIG. 1.

도 5에서, 입력 포트 및 출력 포트 각각은 "S" 및 "L"로 표기하며, 숫자는 공진기들을 나타낸다. 즉, "1"은 제1 공진기, "2"는 제2 공진기, "3"은 제3 공진기, 및 "4"는 제4 공진기를 각각 나타낸다. In FIG. 5, each of the input port and the output port is denoted by "S" and "L", and numbers represent resonators. That is, "1" represents a first resonator, "2" represents a second resonator, "3" represents a third resonator, and "4" represents a fourth resonator, respectively.

도 1 및 도 5를 참조하면, 도체 스트립(CS)은 제2 공진기 및 제3 공진기 사이에 배치되어 나머지 공진기들과 상이한 극성의 결합 구조를 형성할 수 있다. 예컨대, 도체 스트립(CS)에 음의 결합 구조가 형성되면, 제2 공진기 및 제3 공진기 사이에 음의 결합이 형성되고, 나머지 공진기들, 즉, 제1 및 제2 공진기들, 제3 및 제4 공진기들, 및 제1 및 제4 공진기들 사이에는 양의 결합 구조가 각각 형성될 수 있다. 즉, 실선은 양의 결합을 점선은 음의 결합을 나타낸다. 반대의 경우도 가능하다.Referring to FIGS. 1 and 5, the conductor strip CS may be disposed between the second resonator and the third resonator to form a coupling structure having a polarity different from that of the other resonators. For example, when a negative coupling structure is formed in the conductor strip CS, a negative coupling is formed between the second resonator and the third resonator, and the remaining resonators, that is, the first and second resonators, and the third and third resonators. A positive coupling structure may be formed between the 4 resonators and the first and fourth resonators, respectively. That is, a solid line represents a positive bond and a dotted line represents a negative bond. The opposite is also possible.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 공진기 필터의 모의실험 결과를 나타내는 그래프이다.6 is a graph showing simulation results of a resonator filter according to an embodiment of the present invention.

도 6에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 공진기 필터에서 중심주파수가 5 GHz이고 대역폭이 300 MHz인 경우를 나타낸다. 제2 및 제3 공진기들 사이에 형성된 음의 결합 구조로 인하여 한 쌍의 전달영점이 형성되는 것을 확인할 수 있다.6 shows a case where the center frequency is 5 GHz and the bandwidth is 300 MHz in the resonator filter according to an embodiment of the present invention. It can be seen that a pair of transmission zeros are formed due to the negative coupling structure formed between the second and third resonators.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 공진기 필터의 측정 결과를 나타내는 그래프이다.7 is a graph showing a measurement result of a resonator filter according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 도 6의 모의 실험 결과와 유사하다는 것을 확인할 수 있다. 즉, 제2 및 제3 공진기들 사이에 형성된 음의 결합 구조에 의해 실제 측정 결과에서도 한 쌍의 전달 영점이 형성된 것을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 7, it can be seen that the simulation results of FIG. 6 are similar. That is, it can be seen that a pair of transmission zero points are formed in the actual measurement result by the negative coupling structure formed between the second and third resonators.

이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.In the above, embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, but those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features. You can understand that there is. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and are not limiting.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성 요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성 요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are only exemplary, and those of ordinary skill in the art will appreciate that various modifications and other equivalent embodiments are possible therefrom. For example, the described techniques are performed in a different order from the described method, and/or components such as systems, structures, devices, and circuits described are combined or combined in a form different from the described method, or other components Alternatively, even if substituted or substituted by an equivalent, an appropriate result can be achieved. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical idea of the attached registration claims.

1000: 공진기 필터
100: 제1 기판
200: 제2 기판
300: 제3 기판
310: 하부 도전 박막
320: 절연체
330: 상부 도전 박막
RMP1, RMP2: 제거 부분
CS: 도체 스트립
1000: resonator filter
100: first substrate
200: second substrate
300: third substrate
310: lower conductive thin film
320: insulator
330: upper conductive thin film
RMP1, RMP2: removed part
CS: Conductor strip

Claims (6)

사각 판상형 구조의 제1 기판;
상기 제1 기판 하부에 배치되며, 사각형 구조를 갖는 제1 홀, 제2 홀, 제3 홀, 및 제4 홀을 가지며, 상기 제1 내지 제4 홀들을 전체적으로 감싸도록 배치되는 제1 관통 비아들 및 상기 제1 내지 제4 홀들을 구분하는 격벽에 배치되는 제2 관통 비아들을 포함하는 제2 기판; 및
상기 제2 기판 하부에 배치되며 상기 제2 기판이 배치되는 제1 영역 및 입출력 포트들을 위한 제2 영역을 포함하는 제3 기판을 포함하되,
상기 제3 기판은,
상기 제2 기판의 제1 내지 제4 홀들에 각각에 대응하는 위치에 형성된 제5 홀, 제6 홀, 제7 홀, 및 제8 홀을 가지며, 상기 제5 홀 내지 제8 홀들 각각에 배치되는 제1 원형 패치, 제2 원형 패치, 제3 원형 패치, 및 제4 원형 패치와, 상기 제2 및 제3 원형 패치들로 제1 극성의 결합을 유도하는 도체 스트립을 포함하는 상부 도전 박막;
상기 상부 도전 박막 하부에 배치되며 상기 제1 내지 제4 원형 패치들과 전기적으로 연결되는 제1 내지 제4 도체 기둥들, 상기 제1 영역의 가장자리의 일부를 따라 배치되는 제1 관통 비아들, 상기 격벽에 대응되는 위치의 일부에 배치되는 제2 관통 비아들, 상기 제2 영역에서 상기 입출력 포트들을 구성하는 제3 관통 비아들을 포함하는 절연체; 및
상기 절연체 하부에 배치되며 사각 판상형 구조를 가지며 상기 입출력 포트를 구성하도록 일부가 제거된 하부 도전 박막을 포함하는 공진기 필터.
A first substrate having a rectangular plate-shaped structure;
First through vias disposed under the first substrate, having a first hole, a second hole, a third hole, and a fourth hole having a rectangular structure, and disposed to completely surround the first to fourth holes And a second substrate including second through vias disposed in a partition wall separating the first to fourth holes. And
A third substrate disposed under the second substrate and including a first region in which the second substrate is disposed and a second region for input/output ports,
The third substrate,
The second substrate has a fifth hole, a sixth hole, a seventh hole, and an eighth hole formed at positions corresponding to each of the first to fourth holes, and is disposed in each of the fifth to eighth holes. An upper conductive thin film including a first circular patch, a second circular patch, a third circular patch, a fourth circular patch, and a conductor strip for inducing coupling of a first polarity to the second and third circular patches;
First to fourth conductor pillars disposed under the upper conductive thin film and electrically connected to the first to fourth circular patches, first through vias disposed along a portion of the edge of the first region, the An insulator including second through vias disposed at a portion of a position corresponding to the partition wall, and third through vias constituting the input/output ports in the second region; And
A resonator filter comprising a lower conductive thin film disposed under the insulator and having a rectangular plate-shaped structure and partially removed to constitute the input/output port.
제1항에 있어서,
상기 도체 스트립에 상기 제2 및 제3 원형 패치들 사이에 제1 극성의 결합 구조가 정의되고,
상기 제1 및 제2 원형 패치들, 상기 제3 및 제4 원형 패치들, 및 상기 제1 및 제4 원형 패치들 사이에는 상기 제1 극성과 반대인 제2 극성의 결합 구조가 정의되는 공진기 필터.
The method of claim 1,
A bonding structure of a first polarity is defined between the second and third circular patches in the conductor strip,
A resonator filter in which a coupling structure having a second polarity opposite to the first polarity is defined between the first and second circular patches, the third and fourth circular patches, and the first and fourth circular patches .
제1항에 있어서,
상기 제1 홀, 상기 제1 원형 패치, 및 상기 제1 도전 기둥들을 포함하는 제1 공진기와, 상기 제2 홀, 상기 제2 원형 패치, 및 상기 제2 도전 기둥들을 포함하는 제2 공진기와, 상기 제3 홀, 상기 제3 원형 패치, 및 상기 제3 도전 기둥들을 포함하는 제3 공진기와, 및 상기 제4 홀, 상기 제4 원형 패치, 및 상기 제4 도전 기둥들을 포함하는 제4 공진기를 구성하는 공진기 필터.
The method of claim 1,
A first resonator including the first hole, the first circular patch, and the first conductive pillars, a second resonator including the second hole, the second circular patch, and the second conductive pillars, A third resonator including the third hole, the third circular patch, and the third conductive pillars, and a fourth resonator including the fourth hole, the fourth circular patch, and the fourth conductive pillars Constructing resonator filter.
제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 기판들 각각은 FR4 에폭시(epoxy)를 포함하며,
상기 절연체는 TMM(thermoset microwave material)을 포함하는 공진기 필터.
The method of claim 1,
Each of the first and second substrates includes FR4 epoxy,
The insulator is a resonator filter including a thermoset microwave material (TMM).
제1항에 있어서,
상기 도체 스트립은 상기 제1 내지 제4 원형 패치들을 형성할 때 함께 형성되는 공진기 필터.
The method of claim 1,
The conductor strip is a resonator filter formed together when forming the first to fourth circular patches.
제1항에 있어서,
상기 하부 도전 박막은 GCPW(grounded co-planar waveguide) 구조를 갖는 공진기 필터.
The method of claim 1,
The lower conductive thin film is a resonator filter having a GCPW (grounded co-planar waveguide) structure.
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