KR20210000656A - Appearance inspection management system, appearance inspection management device, appearance inspection management method, and appearance inspection management program - Google Patents

Appearance inspection management system, appearance inspection management device, appearance inspection management method, and appearance inspection management program Download PDF

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KR20210000656A
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Abstract

Provided is a technology to support a user to select a feature volume used as a defect determination indicator by an appearance inspection device and to set a threshold value for each feature volume. According to the present invention, an appearance inspection management system comprises: an appearance inspection means which inspects a defect of a subject to be inspected based on a feature volume acquired from an image photographed of the subject to be inspected; a display means; a memory means which memorizes the defect image data including at least the information of feature volume acquired from the image of the part judged as a defect of the subject to be inspected by the appearance inspection means; a feature volume distribution drawing preparing means which prepares a plurality of feature volume distribution drawings made by mapping the information of feature volume on a certain coordinate system; and a feature volume selection assistant means which displays a feature volume air view which is made by placing a plurality of feature volume distribution drawings prepared by the feature volume distribution drawing preparing means in accordance with a certain rule on the display means.

Description

외관 검사 관리 시스템, 외관 검사 관리 장치, 외관 검사 관리 방법 및 프로그램{Appearance inspection management system, appearance inspection management device, appearance inspection management method, and appearance inspection management program}Appearance inspection management system, appearance inspection management device, appearance inspection management method, and appearance inspection management program}

본 발명은, 피검사물에 조명광을 조사하여 촬영된 피검사물의 화상에 기초하여 상기 피검사물의 검사를 행하는 외관 검사에 관한 것으로, 구체적으로는 외관 검사 관리 시스템, 외관 검사 관리 장치, 외관 검사 관리 방법 및 프로그램에 관한 것이다.The present invention relates to a visual inspection in which the inspection object is inspected based on an image of the inspected object photographed by irradiating illumination light to the inspection object, and specifically, an appearance inspection management system, an appearance inspection management device, and an appearance inspection management method And a program.

종래부터, 피검사물에 조명광을 조사하여 촬영된 피검사물의 화상에 기초하여 피검사물의 검사를 행하는 외관 검사 장치가 알려져 있다.BACKGROUND ART [0002] BACKGROUND ART [0002] A visual inspection apparatus has conventionally been known which performs an inspection of an inspection object based on an image of the inspection object photographed by irradiating illumination light to the inspection object.

예를 들어, 특허문헌 1에는, 가시광이나 자외광을 시트에 조사하여 그 투과광 또는 반사광을 카메라로 촬영함으로써 얻어지는 화상을 분석함으로써, 시트에서의 이상(이물 혼입, 오물, 주름 등. 이하, 결함이라고도 함)을 검출하는 검사 장치가 개시되어 있다.For example, in Patent Document 1, an image obtained by irradiating a sheet with visible light or ultraviolet light and photographing the transmitted light or reflected light with a camera is analyzed, so that abnormalities in the sheet (foreign matter mixing, dirt, wrinkles, etc.. Hereinafter, also referred to as a defect) A test device is disclosed for detecting).

이러한 외관 검사 장치에서는, 검사의 지표가 되는 특징량을 보다 많이 곱하여 검사를 실행할수록 검사 결과에서의 잡음은 적어진다고 생각되지만, 그만큼 검사에 관한 처리량이 많아져, 검사 속도가 저하되어 버린다는 문제가 있다.In such a visual inspection apparatus, it is considered that the noise in the inspection result decreases as the inspection is performed by multiplying a feature amount that is an index of inspection more, but there is a problem that the throughput for inspection increases and the inspection speed decreases. have.

이에 대해, 결함의 판정, 분류를 위한 지표를 기계 학습에 의해 생성하여 검사의 정밀도를 높이는 것이 최근 많이 제안되어 있고, 예를 들어 특허문헌 2에는, 사용하는 특징량의 종류를 좁혀 처리 속도를 빠르게 하는 것을 목적으로 한, 복수 종류의 특징량에 기초하여 화상을 분류하는 화상 분류기를 기계 학습에 의해 생성하는 분류기 생성 장치가 기재되어 있다.On the other hand, many recent proposals have been made to increase the accuracy of inspection by generating indicators for determination and classification of defects by machine learning. For example, in Patent Document 2, the type of feature quantity to be used is narrowed to speed up the processing. There is disclosed a classifier generating device for generating an image classifier for classifying images based on a plurality of types of feature quantities by machine learning for the purpose of doing so.

특허문헌 1: 일본공개특허 2015-172519호 공보Patent Document 1: Japanese Laid-Open Patent No. 2015-172519 특허문헌 2: 일본공개특허 2016-109495호 공보Patent Document 2: Japanese Laid-Open Patent No. 2016-109495

그런데, 상기와 같은 기계 학습에 의해 생성된 분류기(이른바 AI)는, 정밀도가 높은 결과를 낼 수 있게 되었다고 해도, 어떠한 지표에 의해 판정 처리를 행하였는지가 불명해진다(이른바 판단의 블랙박스화). 이 때문에, 이대로는 AI의 판단 결과를 외관 검사 장치의 검사 기준의 설정에 활용할 수 없다는 문제가 있었다. 또한, 원래 판단 결과의 근거가 불명한 것 자체에도, 문제가 발생한 경우의 분석이 곤란해지는 등의 문제가 존재한다.By the way, even if the classifier (so-called AI) generated by machine learning as described above is capable of producing high-precision results, it is unknown what index the judgment processing was performed (so-called black boxing of judgment). For this reason, there is a problem that the AI judgment result cannot be utilized for setting the inspection standard of the visual inspection device as it is. Further, even when the basis of the original judgment result is unknown, there are problems such as difficulty in analysis when a problem occurs.

본 발명은, 상기와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 외관 검사 장치에서 결함 판정 지표로서 이용하는 특징량의 선정, 그리고 특징량마다의 문턱값의 설정을 사용자가 행하는 것을 지원하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a technology that assists a user in selecting a feature quantity to be used as a defect determination index in an appearance inspection apparatus and setting a threshold value for each feature quantity. To do.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 이하의 구성을 채용한다.In order to achieve the above object, the present invention adopts the following configuration.

본 발명에 관한 제1 외관 검사 관리 시스템은,The first appearance inspection management system according to the present invention,

피검사물을 촬영한 화상으로부터 취득하는 특징량에 기초하여, 상기 피검사물의 결함을 검사하는 외관 검사 수단;Visual inspection means for inspecting a defect of the inspected object on the basis of a feature amount acquired from a photographed image of the inspected object;

표시 수단;Display means;

적어도, 상기 외관 검사 수단에 의해 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 정보를 포함하는 결함 화상 데이터를 기억하는 기억 수단;Storage means for storing at least defect image data including information of a feature amount obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspected object by the visual inspection means;

소정의 좌표계에 상기 특징량의 정보를 매핑한 특징량 분포도를 복수 작성하는 특징량 분포도 작성 수단; 및Feature-quantity distribution map creation means for creating a plurality of feature-quantity distribution maps in which the feature-quantity information is mapped to a predetermined coordinate system; And

상기 특징량 분포도 작성 수단이 작성하는 복수의 특징량 분포도를 소정의 규칙에 따라 배치한 특징량 조감도를 상기 표시 수단에 표시시키는 특징량 선택 보조 수단;을 구비하는 것을 특징으로 한다.And a feature-quantity selection assisting means for displaying on the display means a bird's eye view of a feature quantity in which a plurality of feature-quantity distribution maps generated by the feature-quantity distribution map creation means are arranged according to a predetermined rule.

또, 특징량으로서 이용되는 지표에는 다양한 것을 생각할 수 있고, 예를 들어 화상의 휘도(농담(濃淡)) 분포, 휘도의 피크 레벨, 면적, 폭, 길이, 최장 최단 페렛 직경비, 원형도 등 많은 종류의 것을 적용할 수 있다.In addition, various indexes used as feature quantities can be considered, for example, the luminance (darkness) distribution of the image, the peak level of the luminance, the area, the width, the length, the shortest and shortest ferret diameter ratio, the circularity, etc. Kinds of things can be applied.

또한, 이하에서는 상기 외관 검사 수단에서 촬영된 피검사물의 화상을 피검사물 화상이라고도 한다.In the following, an image of an object to be inspected taken by the visual inspection means is also referred to as an image of an object to be inspected.

상기와 같은 구성의 검사 관리 시스템에 의하면, 사용자는 상기 특징량 조감도를 참조하면서 검사 장치의 판정 지표로서 이용하는 특징량의 선정을 행할 수 있고, 검사 노하우가 없는 신인 등도 검사 정밀도 향상을 위해 유효한 특징량을 선택할 수 있게 된다.According to the inspection management system configured as described above, the user can select a feature quantity to be used as a judgment index of the inspection device while referring to the feature quantity bird's eye view, and even a new person without inspection know-how can also improve the inspection accuracy. You can choose.

또한, 상기 결함 화상 데이터는, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류, 값 및 적어도 그 결함으로 판정된 결과의 진위를 나타내는 부기 정보를 포함하는 것이어도 된다. 또한, 상기 기억 수단은, 상기 외관 검사 수단의 검사에서 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 결함 화상 데이터를 기억하는 것이어도 된다. 또한, 상기 특징량 분포도는, 상기 복수 종류의 특징량의 항목으로부터 2종류의 항목을 추출하고, 이들을 가로축, 세로축으로 한 좌표계에, 상기 결함 화상 데이터의 특징량을, 상기 부기 정보를 시각적으로 식별 가능하게 반영시켜 매핑한 것이어도 된다. 또한, 상기 특징량 조감도는, 상기 복수 종류의 특징량의 항목을 가로축과 세로축에 각각 나란히 배열하고, 나아가 가로축에 배열된 특징량의 항목과, 세로축에 배열된 특징량의 항목이 교차하는 부분에, 그 가로축의 항목의 특징량의 값을 가로축으로 하고, 그 세로축의 항목의 특징량의 값을 세로축으로 하는 상기 특징량 분포도를 배치한다는 규칙에 따라, 상기 복수의 특징량 분포도를 배치한 것이어도 된다. 또한, 상기 특징량 분포도 작성 수단은, 전체 종류의 특징량의 모든 조합이 성립되도록, 상기 특징량 분포도를 복수 작성하는 것이어도 된다. 또, 여기서 말하는 전체 종류의 특징량의 모든 조합이 성립이란, 가로축과 세로축의 항목의 교차 패턴도 포함하는 취지이다.Further, the defect image data may include a type and value of a characteristic quantity obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object, and at least bookkeeping information indicating the authenticity of a result determined as the defect. Further, the storage means may store a plurality of types of items of feature quantities that can be set as a determination index of a defect in the inspection of the appearance inspection means and the defect image data. In addition, in the feature quantity distribution map, two kinds of items are extracted from the items of the plurality of kinds of feature quantities, and the feature quantity of the defective image data is visually identified in a coordinate system using these as a horizontal axis and a vertical axis. It may be reflected and mapped as possible. In addition, the feature quantity bird's eye view is at a portion where the items of the plurality of types of feature quantities are arranged side by side on a horizontal axis and a vertical axis, and further, the items of the feature quantities arranged on the horizontal axis and the items of the feature quantity arranged on the vertical axis cross , Even if the plurality of feature-quantity distribution maps are arranged in accordance with the rule of arranging the feature-quantity distribution map in which the value of the feature quantity of the item on the horizontal axis is the horizontal axis and the feature quantity value of the item on the vertical axis is the vertical axis. do. In addition, the feature-quantity distribution map creation means may create a plurality of feature-quantity distribution maps so that all combinations of all types of feature quantities are established. In addition, the fact that all combinations of all kinds of feature quantities are established here includes also the intersection pattern of the items of the horizontal axis and the vertical axis.

상기와 같은 특징을 가짐으로써, 사용자는 복수의 특징량의 조합에 따라, 어떻게 결함 판정의 진위의 불균일이 발생하는지를 시각적으로 파악할 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 진짜 결함 화상 데이터의 분포의 불균일이 적은 특징량의 조합을 용이하게 선택할 수 있다.By having the above characteristics, the user can visually grasp how non-uniformity in the authenticity of the defect determination occurs according to a combination of a plurality of characteristic quantities. Thereby, for example, it is possible to easily select a combination of feature quantities with a small distribution of real defect image data.

또한, 상기 검사 관리 시스템은, 사용자의 입력을 접수하여 상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 하나 이상 작성하는 판정 지표 설정 수단을 더 구비하고 있어도 된다. 또, 여기서 말하는 문턱값의 「설정」에는 변경하는 것도 포함하는 의미인데, 이하 본 명세서에서는 똑같이 해석한다. 이러한 구성이면, 사용자는 상기 특징량 조감도를 참조하면서 판정 지표를 설정할 수 있기 때문에, 정밀도가 높은 판정 지표를 설정할 수 있다.In addition, the inspection management system may further include determination index setting means for generating one or more determination indexes of defects in the visual inspection means by receiving user input and setting types and threshold values of feature quantities. . In addition, although the meaning also includes changing in "setting" of the threshold value mentioned here, it interprets in the same way in this specification below. With this configuration, the user can set the determination index while referring to the feature quantity bird's eye view, so that the determination index with high precision can be set.

또한, 상기 특징량 선택 보조 수단은, 상기 판정 지표 설정 수단에 의해 설정된 특징량의 종류 및 문턱값을, 상기 특징량 조감도에 대한 시각적인 표현으로서 표시해도 된다. 시각적인 표현의 예로서는, 예를 들어, 복수의 특징량 분포도에 대해 횡단(종단)적으로 문턱값의 라인을 그어 표시하거나, 동일하게 복수의 특징량 분포도에 대해, 필터가 걸리는 범위를 하이라이트 표시하는 등으로 할 수도 있다.Further, the feature quantity selection assist means may display the type and threshold value of the feature quantity set by the determination index setting means as a visual representation of the feature quantity bird's eye view. As an example of a visual representation, for example, a line of a threshold value is drawn and displayed transversely (terminal) for a plurality of feature-quantity distribution maps, or highlighting a filter range for a plurality of feature-quantity distribution maps. You can also do it.

또한, 상기 특징량 선택 보조 수단은, 상기 결함 화상 데이터의 수량을 나타내는 원래 결함수 그래프와, 상기 판정 지표 설정 수단에 의한 설정이 행해진 경우에서의, 상기 외관 검사 수단의 검사 결과의 변화를 상기 원래 결함수 그래프에 대해 반영시킨 신규 필터 적용 결함수 그래프를, 상기 특징량 조감도와 동시 또는 전환 가능하게 상기 표시 수단에 표시시켜도 된다. 또한, 상기 원래 결함수 그래프는, 상기 부기 정보가 시각적으로 인식 가능하도록 상기 결함 화상 데이터의 수량을 나타내는 것이어도 된다.In addition, the feature quantity selection auxiliary means is an original defect number graph indicating the quantity of the defective image data, and a change in the inspection result of the appearance inspection means when the setting is made by the determination index setting means. The new filter applied defect number graph reflected in the defect number graph may be displayed on the display means at the same time as or switchable with the feature quantity bird's eye view. Further, the original defect number graph may indicate the quantity of the defect image data so that the bookkeeping information can be visually recognized.

또, 여기서 말하는 검사 결과의 「변화」에는, 변화가 발생하지 않는 것도 포함하는 의미로 이용한다. 이러한 구성이면, 판정 지표 설정 수단을 통해 설정한 판정 지표가 검사 결과에 어떠한 영향을 미치는지를 용이하게 인식할 수 있고, 특징량의 종류 및 문턱값의 설정을 보다 효율적으로 행할 수 있다.In addition, the "change" of the test result referred to herein is used in a sense including the one in which no change occurs. With such a configuration, it is possible to easily recognize how the determination index set through the determination index setting means affects the inspection result, and it is possible to more efficiently set the type of the feature quantity and the threshold value.

또한, 상기 판정 지표 설정 수단에서, 이용하는 특징량의 종류 또는 문턱값이 다른 복수의 판정 지표를 작성할 때에는, 상기 특징량 선택 보조 수단은, 각각의 판정 지표에 관한 특징량의 종류 및 문턱값의 설정이 행해질 때마다, 그 설정이 반영된 상기 신규 필터 적용 결함수 그래프를 단계적으로 표시해도 된다.In addition, when the determination index setting means creates a plurality of determination indices having different types or threshold values of the feature quantities to be used, the feature quantity selection auxiliary means sets the type and threshold values of the feature quantities for each determination index. Each time this is performed, the graph of the number of defects applied with the new filter reflecting the setting may be displayed in stages.

이러한 구성임으로써, 복수의 판정 지표를 이용하는 경우, 판정 지표의 적용 순서까지 포함한 최적의 특징량 선정을 대화적으로 행할 수 있다.With such a configuration, when a plurality of determination indices are used, optimal feature quantities can be interactively selected including the order of application of the determination indices.

또한, 상기 부기 정보에는, 결함의 종류를 포함하도록 해도 된다. 이러한 구성에 의하면, 결함의 종류마다 상기 특징량 조감도를 작성하여, 결함의 종류에 따라 유효한 특징량의 선정을 행하는 것도 가능해진다.In addition, the bookkeeping information may include the type of defect. According to this configuration, it is possible to create a bird's eye view of the feature quantity for each type of defect, and to select an effective feature quantity according to the type of defect.

또한, 본 발명에 관한 제1 외관 검사 장치는, 적어도 상기 특징량 분포도 작성 수단과, 상기 특징량 선택 보조 수단을 구비하는 외관 검사 관리 장치이다.Further, the first appearance inspection apparatus according to the present invention is an appearance inspection management apparatus including at least the characteristic quantity distribution diagram creation means and the characteristic quantity selection auxiliary means.

또한, 상기 외관 검사 시스템은, 시트형상의 피검사물을 연속적으로 반송하는 반송 수단; 반송 중인 상기 피검사물을 연속하여 촬영하는 촬영 수단; 상기 촬영 수단에 의해 촬영되는 피검사물 화상으로부터 얻어지는 특징량을 소정의 문턱값과 대비함으로써 판정하여, 상기 피검사물의 결함 부분을 검출하는 외관 검사 수단; 표시 수단; 적어도, 상기 외관 검사 수단에 의해 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 정보를 포함하는 결함 화상 데이터를 기억하는 기억 수단; 소정의 좌표계에 상기 특징량의 정보를 매핑한 특징량 분포도를 복수 작성하는 특징량 분포도 작성 수단; 및 상기 특징량 분포도 작성 수단이 작성하는 복수의 특징량 분포도를 소정의 규칙에 따라 배치한 특징량 조감도를 상기 표시 수단에 표시시키는 특징량 선택 보조 수단;을 구비하는 것이어도 된다.In addition, the visual inspection system includes: a conveying means for continuously conveying a sheet-shaped object to be inspected; Photographing means for continuously photographing the object being conveyed; Visual inspection means for determining a feature amount obtained from an inspection object image photographed by the photographing means by comparing it with a predetermined threshold value, and detecting a defective portion of the inspection object; Display means; Storage means for storing at least defect image data including information of a feature amount obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspected object by the visual inspection means; Feature-quantity distribution map creation means for creating a plurality of feature-quantity distribution maps in which the feature-quantity information is mapped to a predetermined coordinate system; And a feature-quantity selection assisting means for displaying on the display means a bird's eye view of a feature quantity in which a plurality of feature-quantity distribution maps generated by the feature-quantity distribution map creation means are arranged according to a predetermined rule.

또한, 본 발명에 관한 제2 외관 검사 관리 시스템은,In addition, the second visual inspection management system according to the present invention,

피검사물을 촬영한 화상으로부터 취득하는 특징량에 기초하여, 적어도 상기 피검사물의 결함을 검사하는 외관 검사 수단;Visual inspection means for inspecting at least a defect of the inspected object based on a feature amount acquired from a photographed image of the inspected object;

표시 수단;Display means;

상기 외관 검사에서, 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류 및 값을 포함하는 결함 화상 데이터를 적어도 기억하는 기억 수단;In the visual inspection, at least storing defect image data including items of a plurality of types of characteristic quantities that can be set as a determination index of defects, and types and values of characteristic quantities obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object Means of memory;

상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 하나 이상 작성하는 판정 지표 설정 수단; 및Determination index setting means for creating at least one determination index of the defect in the visual inspection means by setting a type and a threshold value of the characteristic quantity; And

상기 판정 지표 설정 수단에서, 이용하는 특징량의 종류가 다른 복수의 판정 지표가 작성되는 경우에는, 각각의 판정 지표가 중첩되어 이용된 경우의, 상기 외관 검사 수단에서의 검사 결과의 변화를 단계적으로 나타내는 결함 분리도를 상기 표시 수단에 표시시키는 지표 설정 보조 수단;을 구비한다. 또한, 상기 지표 설정 보조 수단이 나타내는 결함 분리도는, 히스토그램이어도 된다.In the case where a plurality of determination indices having different types of feature quantities to be used are created in the determination index setting means, the change in the inspection result in the appearance inspection means is stepwise indicated when each determination index is overlapped and used. And an index setting auxiliary means for displaying the degree of defect separation on the display means. Further, the degree of defect separation indicated by the index setting auxiliary means may be a histogram.

이러한 구성의 검사 관리 시스템에 의하면, 사용자는 복수의 판정 지표를 설정할 때에, 어떠한 특징량을 갖는 판정 지표를 어떠한 순서로 곱하면, 어떠한 좁힘(narrowing)을 행할 수 있는지를 단계를 따라 대화적으로 확인할 수 있다. 이 때문에, 판정 지표의 적용 순서를 포함한 최적의 특징량 및 그 문턱값의 선정이 가능해진다.According to the inspection management system with such a configuration, when setting a plurality of judgment indices, the user interactively checks step by step how narrowing can be performed by multiplying the judgment indices having a certain characteristic quantity in what order. I can. For this reason, it becomes possible to select the optimal feature quantity including the application order of the determination index and its threshold value.

또한, 상기 지표 설정 보조 수단은, 상기 부기 정보가 시각적으로 인식 가능하도록 상기 결함 화상 데이터의 수량을 나타내는 원래 결함수 그래프와, 상기 판정 지표 설정 수단에 의한 설정이 행해진 경우에서의, 상기 외관 검사 수단의 검사 결과의 변화를 상기 원래 결함수 그래프에 대해 반영시킨 신규 필터 적용 결함수 그래프를, 상기 결함 분리도와 동시 또는 전환 가능하게 상기 표시 수단에 표시해도 된다.In addition, the indicator setting auxiliary means comprises an original defect number graph indicating the quantity of the defective image data so that the bookkeeping information can be visually recognized, and the appearance inspection means when setting by the determination indicator setting means is made. A new filter applied defect number graph in which the change in the inspection result of is reflected on the original defect number graph may be displayed on the display means at the same time as the defect separation degree or in a switchable manner.

이러한 구성이면, 판정 지표 설정 수단을 통해 설정한 판정 지표가 검사 결과에 어떠한 영향을 미치는지를 용이하게 인식할 수 있고, 특징량의 종류 및 문턱값의 설정을 보다 효율적으로 행할 수 있다.With such a configuration, it is possible to easily recognize how the determination index set through the determination index setting means affects the inspection result, and it is possible to more efficiently set the type of the feature quantity and the threshold value.

또한, 상기 결함 화상 데이터에는, 결함의 종류의 정보를 포함하고 있어도 된다. 이러한 구성이면, 결함의 종류의 구별을 반영시켜 상기 결함 분리도를 작성할 수 있다. 이 때문에, 결함의 종류에 따라 유효한 판정 지표를 선택하는 것이 가능해진다.Further, the defect image data may contain information on the type of defect. With such a configuration, the defect separation degree can be created by reflecting the classification of the types of defects. For this reason, it becomes possible to select an effective determination index according to the type of defect.

또한, 본 발명에 관한 제2 외관 검사 관리 장치는, 적어도 상기 판정 지표 설정 수단과, 상기 지표 설정 보조 수단을 구비한다.Further, the second visual inspection management apparatus according to the present invention includes at least the determination index setting means and the index setting auxiliary means.

또한, 상기 외관 검사 관리 시스템은, 시트형상의 피검사물을 연속적으로 반송하는 반송 수단; 반송 중인 상기 피검사물을 연속하여 촬영하는 촬영 수단; 상기 촬영 수단에 의해 촬영되는 피검사물 화상으로부터 얻어지는 특징량을 소정의 문턱값과 대비함으로써 판정하여, 상기 피검사물의 결함 부분을 검출하는 외관 검사 수단; 표시 수단; 상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류 및 값을 포함하는 결함 화상 데이터를 적어도 기억하는 기억 수단; 상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 하나 이상 작성하는 판정 지표 설정 수단; 및 상기 판정 지표 설정 수단에서, 이용하는 특징량의 종류가 다른 복수의 판정 지표가 작성되는 경우에는, 각각의 판정 지표가 중첩되어 이용된 경우의, 상기 외관 검사 수단에서의 검사 결과의 변화를 단계적으로 나타내는 결함 분리도를 상기 표시 수단에 표시시키는 지표 설정 보조 수단;을 구비하는 것이어도 된다.In addition, the visual inspection management system includes: a conveying means for continuously conveying a sheet-shaped object to be inspected; Photographing means for continuously photographing the object being conveyed; Visual inspection means for determining by comparing a feature amount obtained from an inspection object image photographed by the photographing means with a predetermined threshold value, and detecting a defective portion of the inspection object; Display means; At least defective image data including a plurality of types of feature quantity items that can be set as a defect judgment index in the visual inspection means, and a type and value of the feature quantity obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object are stored at least. Means of memory; Determination index setting means for creating at least one determination index of the defect in the visual inspection means by setting a type and a threshold value of the characteristic quantity; And in the case where a plurality of determination indices having different types of feature quantities to be used are created in the determination index setting means, changes in the inspection result in the appearance inspection means when each of the determination indices are overlapped and used are stepwise. An index setting auxiliary means for displaying the indicated defect separation degree on the display means may be provided.

또한, 본 발명에 관한 제1 외관 검사 관리 방법은,In addition, the first appearance inspection management method according to the present invention,

피검사물의 외관 검사를 관리하는 외관 검사 관리 방법으로서,As a visual inspection management method for managing the visual inspection of an object to be inspected,

상기 외관 검사에서, 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류, 값 및 적어도 그 결함 판정 결과의 진위를 나타내는 부기 정보를 포함하는 결함 화상 데이터를 취득하는 데이터 취득 단계;In the visual inspection, items of a plurality of types of characteristic quantities that can be set as a determination index of defects, the types and values of the characteristic quantities obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object, and at least the authenticity of the defect determination result A data acquisition step of acquiring defective image data including bookkeeping information;

상기 데이터 취득 단계에서 취득한 상기 복수의 특징량의 항목으로부터 2종류의 항목을 추출하고, 이들을 가로축, 세로축으로 하는 좌표계에, 상기 기억 수단에 기억된 결함 화상 데이터의 특징량을, 상기 부기 정보를 시각적으로 반영시켜 매핑한 특징량 분포도를, 전체 종류의 특징량의 모든 조합이 성립되도록 복수 작성하는 특징량 분포도 작성 단계; 및Two types of items are extracted from the items of the plurality of feature quantities acquired in the data acquisition step, and the feature quantities of the defective image data stored in the storage means are visually assigned to a coordinate system using these as horizontal and vertical axes. A feature-quantity distribution map creation step of creating a plurality of feature-quantity distribution maps reflected and mapped to form all combinations of all types of feature quantities; And

상기 복수 종류의 특징량의 모든 항목을 가로축과 세로축에 각각 나란히 배열하고, 나아가 가로축에 배열된 특징량의 항목과, 세로축에 배열된 특징량의 항목이 교차하는 부분에, 그 가로축의 항목의 특징량의 값을 가로축으로 하고, 세로축의 항목의 특징량의 값을 세로축으로 하는 상기 특징량 분포도를 배치한 특징량 조감도를 표시하는 특징량 선택 보조 단계;를 가진다.All items of the plurality of types of characteristic quantities are arranged side by side on the horizontal and vertical axes, respectively, and further, at a portion where the items of the characteristic quantities arranged on the horizontal axis and the items of the characteristic quantities arranged on the vertical axis intersect, the characteristics of the items on the horizontal axis And a feature-quantity selection auxiliary step of displaying a bird's eye view of the feature-quantity distribution map in which the feature-quantity distribution map is arranged in which the value of the quantity is a horizontal axis and the value of the feature quantity of an item on the vertical axis is a vertical axis.

또한, 본 발명에 관한 제2 검사 관리 방법은,In addition, the second inspection management method according to the present invention,

피검사물의 외관 검사를 관리하는 외관 검사 관리 방법으로서,As a visual inspection management method for managing the visual inspection of an object to be inspected,

상기 외관 검사에서, 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류, 값 및 적어도 그 결함 판정 결과의 진위를 나타내는 부기 정보를 포함하는 결함 화상 데이터를 취득하는 데이터 취득 단계;In the visual inspection, items of a plurality of types of characteristic quantities that can be set as a determination index of defects, the types and values of the characteristic quantities obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object, and at least the authenticity of the defect determination result A data acquisition step of acquiring defective image data including bookkeeping information;

상기 외관 검사에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 작성하는 판정 지표 작성 단계; 및A determination index creation step of creating a determination index of a defect in the visual inspection by setting a type and a threshold value of the characteristic quantity; And

상기 판정 지표 작성 단계에서, 판정 지표에 관한 특징량의 종류 및 문턱값의 설정이 행해질 때마다, 그 설정이 반영된 경우의 상기 외관 검사 수단에서의 검사 결과의 변화를 단계적으로 나타내는 결함 분리도를 상기 표시 수단에 표시시키는 지표 설정 보조 단계;를 가진다.In the determination index creation step, each time the type of the characteristic quantity and the threshold value related to the determination index is set, the display of the defect separation degree stepwise indicates the change in the inspection result in the appearance inspection means when the setting is reflected. It has; an index setting auxiliary step to be displayed on the means.

또한, 본 발명은, 상기 각 방법을 정보 처리 장치에 실행시키기 위한 프로그램, 이러한 프로그램을 비일시적으로 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체로서 파악할 수도 있다.In addition, the present invention can also be understood as a program for causing the information processing apparatus to execute each of the above methods, and a computer-readable recording medium in which such programs are non-temporarily recorded.

또한, 상기 구성 및 처리 각각은 기술적인 모순이 발생하지 않는 한 서로 조합하여 본 발명을 구성할 수 있다.In addition, each of the above configurations and treatments can be combined with each other to constitute the present invention unless technical contradictions arise.

본 발명에 의하면, 외관 검사 장치에서 결함 판정 지표로서 이용하는 특징량의 선정, 그리고 특징량마다의 문턱값의 설정을 사용자가 행하는 것을 지원하는 기술을 제공할 수 있다.Advantageous Effects of Invention According to the present invention, it is possible to provide a technology that assists a user in selecting a feature quantity to be used as a defect determination index in the visual inspection apparatus and setting a threshold value for each feature quantity.

도 1은, 본 발명의 적용예에 관한 외관 검사 관리 시스템의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2는, 적용예에 관한 특징량 선택 보조부가 표시부에 표시하는 화면예를 나타내는 도면이다.
도 3은, 실시형태 1에 관한 외관 검사 관리 시스템의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 4는, 실시형태 1에 관한 외관 검사 관리 시스템의 처리의 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도 5는, 실시형태 1에 관한 특징량 선택 보조부가 표시 장치에 표시하는 화면예를 나타내는 도면이다.
도 6은, 실시형태 2에 관한 외관 검사 관리 시스템의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 7a는, 실시형태 2에 관한 지표 설정 보조부가 표시 장치에 표시하는 화면예를 설명하는 제1 도면이다.
도 7b는, 실시형태 2에 관한 지표 설정 보조부가 표시 장치에 표시하는 화면예를 설명하는 제2 도면이다.
도 7c는, 실시형태 2에 관한 지표 설정 보조부가 표시 장치에 표시하는 화면예를 설명하는 제3 도면이다.
도 8a는, 실시형태 2에 관한 지표 설정 보조부가 표시 장치에 표시하는 화면예를 설명하는 제4 도면이다.
도 8b는, 실시형태 2에 관한 지표 설정 보조부가 표시 장치에 표시하는 화면예를 설명하는 제5 도면이다.
도 9는, 실시형태 2에 관한 외관 검사 관리 시스템의 처리의 흐름을 나타내는 흐름도이다.1 is a schematic diagram showing a configuration of a visual inspection management system according to an application example of the present invention.
Fig. 2 is a diagram showing an example of a screen displayed on a display unit by a feature quantity selection assistant according to an application example.
3 is a schematic diagram showing the configuration of the visual inspection management system according to the first embodiment.
4 is a flowchart showing a process flow of the visual inspection management system according to the first embodiment.
5 is a diagram illustrating an example of a screen displayed on a display device by a feature quantity selection assistant according to the first embodiment.
6 is a schematic diagram showing the configuration of the visual inspection management system according to the second embodiment.
7A is a first diagram illustrating an example of a screen displayed on a display device by an index setting assistant according to the second embodiment.
7B is a second diagram illustrating an example of a screen displayed on the display device by the index setting assistant according to the second embodiment.
7C is a third diagram illustrating an example of a screen displayed on the display device by the indicator setting assistant according to the second embodiment.
8A is a fourth diagram illustrating an example of a screen displayed on a display device by an index setting assistant according to the second embodiment.
8B is a fifth diagram illustrating an example of a screen displayed on the display device by the index setting assistant according to the second embodiment.
9 is a flowchart showing the flow of processing of the visual inspection management system according to the second embodiment.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings.

<적용예><Application example>

(적용예의 구성)(Configuration of application example)

본 발명은 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같은 외관 검사 관리 시스템(9)에 적용할 수 있다. 도 1은 본 적용예에 관한 외관 검사 관리 시스템(9)의 개략적인 구성을 나타내는 개략 모식도이다. 외관 검사 관리 시스템(9)은, 외관 검사 장치(91)와 검사 관리 장치(92)를 포함하여 구성된다.The present invention can be applied to, for example, the visual inspection management system 9 as shown in FIG. 1. 1 is a schematic schematic diagram showing a schematic configuration of a visual inspection management system 9 according to the present application example. The exterior inspection management system 9 is configured to include an exterior inspection device 91 and an inspection management device 92.

외관 검사 장치(91)는, 검사 대상물(도시생략)의 화상을 촬영하고, 그 화상에 기초하여 검사 대상물의 결함의 유무를 검사하는 장치로서, 도 1에 도시된 바와 같이 주요 구성으로서 조명 수단으로서의 광원(911), 촬영 수단으로서의 카메라(912), 검사 수단으로서의 제어 단말(913)을 가지고 있다.The visual inspection device 91 is a device that photographs an image of an inspection object (not shown) and inspects the presence or absence of a defect of the inspection object based on the image. As shown in FIG. It has a light source 911, a camera 912 as a photographing means, and a control terminal 913 as an inspection means.

광원(911)은, 검사 대상물 및 교정용 표준판(95)에 대해 조명광을 조사 가능하게 구성되어 있다. 카메라(912)는, 조명광이 조사된 상태의 검사 대상물을 촬영하여, 디지털 화상을 출력하는 촬영 수단이다. 또, 이하에서는, 촬영 수단에 의해 촬영된 검사 대상물의 화상을 피검사물 화상이라고도 표기한다. 카메라(912)는 예를 들어, 광학계와 이미지 센서를 가지고 구성된다.The light source 911 is configured to be capable of irradiating illumination light to the inspection object and the calibration standard plate 95. The camera 912 is a photographing means for photographing an inspection object in a state irradiated with illumination light, and outputting a digital image. In the following, the image of the inspection object photographed by the photographing means is also referred to as the inspection object image. The camera 912 is configured with, for example, an optical system and an image sensor.

제어 단말(913)은, 광원(911) 및 카메라(912)의 제어, 카메라(912)로부터 도입된 화상에 대한 처리 등의 기능을 가지고 있고, 본 발명에서의 검사 수단에 해당한다. 제어 단말(913)은, CPU(Central Processing Unit), RAM(Random Access Memory), 비휘발성의 기억 장치(예를 들어, 하드 디스크 드라이브, 플래시 메모리 등), 입력 장치(예를 들어, 키보드, 마우스, 터치 패널 등)를 구비하는 컴퓨터에 의해 구성할 수 있다.The control terminal 913 has functions such as controlling the light source 911 and the camera 912, processing images introduced from the camera 912, and the like, and corresponds to the inspection means in the present invention. The control terminal 913 includes a CPU (Central Processing Unit), a RAM (Random Access Memory), a nonvolatile memory device (eg, a hard disk drive, a flash memory, etc.), an input device (eg, a keyboard, a mouse, etc.). , A touch panel, etc.).

이상과 같은 구성을 갖는 외관 검사 장치(91)에서 검사 대상물의 외관 검사를 행할 때에는, 광원(911)으로부터 조명광이 조사된 상태의 검사 대상물의 화상을 카메라(912)에 의해 촬영하고, 촬영된 화상을 제어 단말(913)이 화상 처리하여, 얻어진 특징량의 값과 미리 설정되어 있는 검사 문턱값의 대비에 의해, 문턱값에서 벗어나는 특징량을 갖는 부분이 결함으로서 판정된다.When performing the visual inspection of the inspection object in the visual inspection apparatus 91 having the above configuration, an image of the inspection object in a state in which illumination light is irradiated from the light source 911 is photographed by the camera 912, and the captured image The control terminal 913 image-processes and is determined as a defect by the comparison between the value of the obtained feature quantity and the preset inspection threshold value.

(제어 단말)(Control terminal)

이어서, 제어 단말(913)이 갖는 기능에 대해 설명한다. 제어 단말(913)은, 외관 검사에 관한 기능 모듈로서, 화상 취득부(9131), 특징량 산출부(9132), 결함 판정부(9133)를 포함하고 있다.Next, functions of the control terminal 913 will be described. The control terminal 913 includes an image acquisition unit 9131, a feature quantity calculation unit 9132, and a defect determination unit 9133 as a functional module related to visual inspection.

화상 취득부(9131)는 카메라(912)로부터 화상을 도입하는 기능으로, 예를 들어, 조명광이 조사된 상태의 검사 대상물의 피검사물 화상을 취득한다. 특징량 산출부(9132)는, 피검사물 화상에 기초하여, 외관 검사에 이용하는 특징량을 산출하는 기능이다. 또, 특징량은 하나에 한정되지 않고, 예를 들어 화상의 휘도(농담) 분포, 휘도의 피크 레벨, 면적, 폭, 길이, 최장 최단 페렛 직경비, 원형도 등 다양한 종류의 것을 산출하도록 해도 된다.The image acquisition unit 9131 is a function of introducing an image from the camera 912, and acquires, for example, an image of the inspection object of the inspection object irradiated with illumination light. The feature amount calculation unit 9132 is a function that calculates a feature amount used for visual inspection based on the image of the object to be inspected. In addition, the feature quantity is not limited to one, and for example, various kinds of things such as the luminance (darkness) distribution of the image, the luminance peak level, area, width, length, the shortest and shortest ferret diameter ratio, and circularity may be calculated. .

결함 판정부(9133)는, 특징량 산출부(9132)가 산출한 특징량을 미리 설정되어 있는 문턱값과 대비시켜, 문턱값에서 벗어나는 특징량을 갖는 부분을 결함으로서 판정한다.The defect determining unit 9133 compares the feature amount calculated by the feature amount calculating unit 9132 with a preset threshold value, and determines a portion having a feature amount deviating from the threshold value as a defect.

검사 관리 장치(92)는, CPU, RAM, 기억 장치(923), 입력 장치, 표시부(93)를 구비하는 컴퓨터에 의해 구성할 수 있다. 기억 장치(923)에는, 적어도 외관 검사 장치(91)로부터 송신되는 결함 화상 데이터가 기억된다. 여기서, 결함 화상 데이터에는, 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류, 값 및 육안 검사에 의해 판정된 1차 검사의 진위를 나타내는 부기 정보가 포함된다.The inspection management device 92 can be configured by a computer including a CPU, a RAM, a storage device 923, an input device, and a display unit 93. At least the defect image data transmitted from the visual inspection device 91 is stored in the memory device 923. Here, the defect image data includes the type and value of the feature quantity obtained from the image of the portion determined as the defect of the inspection object, and bookkeeping information indicating the authenticity of the primary inspection determined by visual inspection.

검사 관리 장치(92)는, 기능 모듈로서, 특징량 분포도 작성부(921), 특징량 선택 보조부(922)를 가지고 있다. 특징량 분포도 작성부(921)는, 기억 장치(923)에 기억된 결함 화상 데이터를 소정의 특징량에 따라 매핑한 특징량 분포도를 작성하는 기능이다. 특징량 분포도란, 미리 복수 설정되어 있는 특징량의 항목 중에서 2종류의 항목을 추출하고, 그 중 한쪽을 가로축, 다른 한쪽을 세로축으로 하는 좌표계에 화상 데이터를 매핑한 것이다. 더욱 상세하게 설명하면, 기억부(923)에 기억된 각 결함 화상 데이터가 갖는 특징량의 값에 따라, 각각의 화상을 상기 좌표계에 매핑한다. 나아가 결함 화상 데이터 중 진짜 결함을 나타내는 화상 데이터에 대해서는, 그것이 시각적으로 구별할 수 있도록, 예를 들어 색분류하여 표시된다. 특징량 분포도 작성부(921)는, 이러한 특징량 분포도를, 전체 종류의 특징량의 모든 조합이 성립되도록 복수 작성한다.The inspection management apparatus 92 includes a feature quantity distribution diagram creation unit 921 and a feature quantity selection assistant 922 as functional modules. The feature-quantity distribution map creation unit 921 is a function for creating a feature-quantity distribution map obtained by mapping defect image data stored in the storage device 923 according to a predetermined feature amount. The feature-quantity distribution map is obtained by extracting two types of items from among a plurality of items of feature-quantities set in advance, and mapping image data to a coordinate system in which one of them is a horizontal axis and the other is a vertical axis. In more detail, each image is mapped to the coordinate system according to the value of the feature amount of each defective image data stored in the storage unit 923. Further, among the defect image data, image data representing a real defect is displayed by color classification, for example, so that it can be visually distinguished. The feature-quantity distribution map creation unit 921 creates a plurality of such feature-quantity distribution maps so that all combinations of all kinds of feature quantities are established.

특징량 선택 보조부(922)는, 상기 복수의 특징량 분포도를 소정의 규칙에 따라 격자형상으로 배치한 특징량 조감도를 상기 표시부(93)에 표시시키는 기능이다. 특징량 조감도는, 상기 복수 설정되어 있는 특징량의 항목이 가로축과 세로축에 각각 나란히 배열되고, 그 배열된 특징량의 항목마다 그 항목의 특징량을 대응하는 축에 취한 상기 특징량 분포도가 배치된 것이다. 더욱 상세하게 설명하면, 가로축에 배열된 하나의 특징량의 항목과, 세로축에 배열된 하나의 특징량의 항목이 교차하는 위치에, 그 가로축의 항목의 특징량의 값을 가로축에 취하고, 세로축의 항목의 특징량의 값을 세로축에 취한 상기 특징량 분포도가 배치된다.The feature-quantity selection assistant 922 is a function of displaying a bird's-eye view of the feature-quantities in which the plurality of feature-quantity distribution diagrams are arranged in a grid shape according to a predetermined rule on the display unit 93. In the feature quantity bird's eye view, the plurality of items of the set feature quantities are arranged side by side on a horizontal axis and a vertical axis, respectively, and the feature quantity distribution diagram in which the feature quantity of the item is taken on a corresponding axis for each item of the arranged feature quantity is arranged. will be. In more detail, at a position where the item of one feature quantity arranged on the horizontal axis and the item of one feature quantity arranged on the vertical axis intersect, the value of the feature quantity of the item on the horizontal axis is taken as the horizontal axis, and The feature quantity distribution diagram in which the value of the feature quantity of the item is taken on the vertical axis is arranged.

도 2에, 특징량 선택 보조부(922)가 표시부(93)에 표시시키는 특징량 조감도의 일례를 나타낸다. 도 2에는, 휘도 피크 레벨, 원형도, 최장 최단 페렛 직경비의 3종류의 특징량을 가로축과 세로축에 취한 특징량 분포도가, 동종의 특징량끼리의 조합도 포함하여 모든 조합이 성립되도록 격자형상으로(이른바 리그 대전표 형식으로) 배치되어 있다.In FIG. 2, an example of a bird's eye view of the feature quantity displayed by the feature quantity selection assistant 922 on the display section 93 is shown. In Fig. 2, a grid shape so that all combinations are established, including a combination of characteristic quantities of the same type, as a distribution diagram of characteristic quantities in which three types of characteristic quantities of luminance peak level, circularity, and longest and shortest ferret diameter ratio are taken on the horizontal and vertical axes. They are arranged in a so-called league matchup format.

각 특징량 분포도에 있어서, 진한 색으로 나타나 있는 도트가, 육안 검사의 결과 진짜로 결함이라고 판정된 결함 화상 데이터의 특징량의 값을 나타내고 있다. 그 밖의 연한 색의 도트는, 오판정된 결함 화상 데이터의 특징량의 값이다.In each feature-quantity distribution diagram, a dot indicated by a dark color represents the value of the feature-quantity of the defective image data determined to be truly defective as a result of visual inspection. The other light colored dots are values of feature quantities of defective image data that have been erroneously determined.

이러한 본 적용예에 관한 외관 검사 관리 시스템(9)에 의하면, 특징량 조감도를 참조하여, 진한 색의 도트(즉 진짜 결함)의 불균일이 적은 특징량의 조합을 이용함으로써, 오판정, 즉 잡음이 섞이는 것을 최대한 억제한 문턱값을 설정하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 경험이 적은 자이어도, 외관 검사의 판정을 위해 유효한 특징량의 선정 및 문턱값의 설정을 용이하게 행할 수 있다.According to the visual inspection management system 9 according to this application example, by referring to a bird's eye view of the feature quantity and using a combination of feature quantities with low non-uniformity of dark colored dots (that is, real defects), erroneous determination, that is, noise is reduced. It becomes possible to set a threshold that suppresses mixing as much as possible. Accordingly, even a person with little experience can easily select an effective feature quantity and set a threshold value for the judgment of the visual inspection.

<실시형태 1><Embodiment 1>

다음에, 본 발명을 실시하기 위한 형태의 다른 예인 외관 검사 관리 시스템(1)에 대해 설명한다. 단, 이 실시형태에 기재되어 있는 구성 부품의 치수, 재질, 형상, 그 상대 배치 등은, 특별히 기재가 없는 한은 본 발명의 범위를 이들에만 한정하는 취지의 것은 아니다.Next, the visual inspection management system 1 which is another example of the form for implementing this invention is demonstrated. However, dimensions, materials, shapes, relative arrangements, etc. of the constituent parts described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention only to these unless otherwise specified.

(시스템 구성)(System configuration)

도 3을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 관한 외관 검사 관리 시스템의 전체 구성에 대해 설명한다. 도 3은 외관 검사 관리 시스템(1)의 시스템 구성을 나타내는 모식도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 관한 외관 검사 관리 시스템(1)은, 주요 구성으로서 외관 검사 장치(2) 및 검사 관리 장치(3)를 가지고 있다.Referring to Fig. 3, an overall configuration of the visual inspection management system according to the embodiment of the present invention will be described. 3 is a schematic diagram showing the system configuration of the visual inspection management system 1. As shown in FIG. 3, the visual inspection management system 1 according to the present embodiment includes an external appearance inspection device 2 and an inspection management device 3 as main configurations.

(외관 검사 장치)(Appearance inspection device)

외관 검사 장치(2)는, 시트형상의 물품의 외관 화상을 취득하고, 이 화상에 기초하여 결함의 검출을 행하기 위한 장치로서, 주요 구성으로서 조명계, 측정계, 반송 기구(도시생략), 제어 단말(23)을 구비하고 있다.Appearance inspection apparatus 2 is a device for acquiring an external image of a sheet-like article and detecting defects based on this image. As main components, an illumination system, a measurement system, a conveyance mechanism (not shown), and a control terminal (23) is provided.

피검사물(T)은, 도시하지 않은 반송 기구에 의해, 수평 방향(화살표 방향)으로 반송되고, 그 반송 중에 측정계에 의해 피검사물(T)의 외관 화상이 연속적으로 취득되며, 이에 기초하여 검사가 실시된다. 피검사물(T)은, 시트형상으로 형성되어 있고, 예를 들어 종이, 천, 필름 등을 예시할 수 있다. 또한, 단일 소재에 한정되지 않고, 필름과 부직포를 맞추어붙인 포장지 등과 같이 복수의 층을 갖는 시트체이어도 된다. 또한, 건조 김 등의 식품이어도 된다.The inspected object T is conveyed in the horizontal direction (arrow direction) by a conveying mechanism (not shown), and the external image of the inspected object T is continuously acquired by the measuring system during the conveyance, and the inspection is performed based on this. Implemented. The object to be inspected T is formed in a sheet shape, and, for example, paper, cloth, film, and the like can be illustrated. Further, it is not limited to a single material, and may be a sheet body having a plurality of layers, such as a wrapping paper in which a film and a nonwoven fabric are put together. Moreover, foods, such as dried laver, may be sufficient.

조명계는, 피검사물(T)의 표면에 가시광(예를 들어 백색광)을 조사하는 광원(211)을 구비하고 있다. 이들 광원에는, 예를 들어 LED 조명 등을 이용해도 된다.The illumination system is provided with a light source 211 that irradiates visible light (for example, white light) on the surface of the inspection object T. For these light sources, for example, you may use LED lighting or the like.

측정계는, 광원(211)으로부터 조사되어 피검사물(T)의 표면에서 반사된 광(이하, 표면 반사광이라고 함)을 촬영하는 카메라(221)를 구비하고 있다. 이 카메라가, 본 발명에서의 촬영 수단에 해당한다. 또, 카메라는, 각각이 촬영하는 광을 검지 가능한 수광 센서와, 렌즈와, 신호 출력부를 구비하고 있고, 렌즈를 통해 수광 센서에서 검지한 광을 전기 신호로서 출력한다. 센서로서는, 예를 들어 CCD 또는 CMOS 센서를 이용할 수 있다.The measurement system includes a camera 221 that photographs light (hereinafter referred to as surface reflected light) that is irradiated from the light source 211 and reflected from the surface of the inspection object T. This camera corresponds to the photographing means in the present invention. Further, the camera includes a light-receiving sensor capable of detecting light photographed by each, a lens, and a signal output unit, and outputs the light detected by the light-receiving sensor through the lens as an electric signal. As a sensor, a CCD or CMOS sensor can be used, for example.

광원(211)으로부터 조명광이 조사된 상태의 검사 대상물의 화상을 카메라(221)에 의해 촬영하고, 촬영된 화상을 제어 단말(23)이 화상 처리하여, 얻어진 특징량의 값과 미리 설정되어 있는 검사 문턱값의 대비에 의해, 문턱값에서 벗어나는 특징량을 갖는 부분이 결함으로서 판정된다.An image of an object to be inspected in a state in which illumination light is irradiated from the light source 211 is photographed by the camera 221, and the captured image is image-processed by the control terminal 23, and the value of the obtained feature quantity and the preset inspection By contrast of the threshold value, a portion having a feature amount deviating from the threshold value is determined as a defect.

제어 단말(23)은, 화상 취득부(231), 특징량 산출부(232), 결함 판정부(233), 결함 종별 분류부(234)의 각 기능 모듈을 가지고 있는데, 제어 단말(23)의 화상 취득부(231), 특징량 산출부(232), 결함 판정부(233)에 대해서는, 적용예에서 설명한 것과 거의 동일하기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.The control terminal 23 has each functional module of an image acquisition unit 231, a feature quantity calculation unit 232, a defect determination unit 233, and a defect type classification unit 234. Since the image acquisition unit 231, the feature amount calculation unit 232, and the defect determination unit 233 are substantially the same as those described in the application examples, detailed descriptions are omitted.

결함 종별 분류부(234)는, 결함 판정부(233)의 판정에 의해 피검사물로부터 결함이 검출되었을 때에, 이 결함의 종류를, 미리 정해진 문턱값과 이 결함을 나타내는 화상의 특징량에 기초하여 분류한다. 분류되는 결함의 종별은 사용자에 있어서 임의로 설정할 수 있고, 예를 들어 이물 혼입, 오물, 주름, 구멍이라는 종별을 마련해도 되고, 더욱 미세한 종별(예를 들어 벌레, 나뭇조각, 금속 이물, 기름때, 물때, 큰 구멍, 작은 구멍 등)로 분류하는 것이어도 된다.When a defect is detected from an object to be inspected by the defect determination unit 233, the defect type classification unit 234 determines the type of the defect based on a predetermined threshold value and a feature amount of an image representing the defect. Classify. The types of defects to be classified can be arbitrarily set by the user, and for example, foreign matter mixing, dirt, wrinkles, and holes may be provided, and finer types (e.g., insects, wood chips, metal foreign matter, grease, scale , Large holes, small holes, etc.).

(검사 관리 장치)(Inspection management device)

상술한 외관 검사 장치(2)는, 네트워크(LAN)를 통해 검사 관리 장치(3)에 접속되어 있고, 외관 검사 장치(2)와 검사 관리 장치(3)는 정보의 쌍방향 통신을 행한다. 검사 관리 장치(3)는, 외관 검사 장치(2)로부터 수신한 정보의 처리를 행함과 아울러, 검사에 관한 정보를 외관 검사 장치(2)에 송신한다. 검사 관리 장치(3)는 CPU(도시생략), 기억 장치(36), 입력 장치(34), 표시 장치(35) 등을 구비하는 범용적인 컴퓨터 시스템에 의해 구성된다. 또한, 기억 장치(36)에는, 적어도 외관 검사 장치(2)로부터 송신되는 결함 화상 데이터가 기억된다. 여기서, 결함 화상 데이터에는, 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류, 값 및 육안 검사에 의해 판정된 1차 검사의 진위, 결함의 종별 등을 나타내는 부기 정보가 포함된다.The above-described visual inspection apparatus 2 is connected to the inspection management apparatus 3 via a network (LAN), and the visual inspection apparatus 2 and the inspection management apparatus 3 perform two-way communication of information. The inspection management device 3 processes the information received from the exterior inspection device 2 and transmits the information related to the inspection to the exterior inspection device 2. The inspection management device 3 is configured by a general-purpose computer system including a CPU (not shown), a storage device 36, an input device 34, a display device 35, and the like. Further, at least the defective image data transmitted from the visual inspection device 2 is stored in the storage device 36. Here, the defect image data includes the type and value of the feature quantity obtained from the image of the portion determined to be a defect of the inspection object, and bookkeeping information indicating the authenticity of the primary inspection determined by visual inspection, the type of defect, and the like.

또, 검사 관리 장치(3)는, 1대의 컴퓨터에 의해 구성해도 되고, 복수의 컴퓨터에 의해 구성해도 된다. 혹은, 외관 검사 장치(2)의 제어 단말(23)에, 검사 관리 장치(3)의 기능의 전부 또는 일부를 구현하는 것도 가능하다. 혹은, 검사 관리 장치(3)의 기능의 일부를 네트워크 상의 서버(클라우드 서버 등)에 의해 실현해도 된다.In addition, the inspection management device 3 may be configured by one computer, or may be configured by a plurality of computers. Alternatively, it is also possible to implement all or part of the functions of the inspection management apparatus 3 in the control terminal 23 of the visual inspection apparatus 2. Alternatively, some of the functions of the inspection management device 3 may be realized by a server on the network (such as a cloud server).

본 실시형태의 검사 관리 장치(3)는, 기능 모듈로서, 특징량 분포도 작성부(31)와, 특징량 선택 보조부(32)와, 판정 지표 설정부(33)를 구비하고 있다.The inspection management apparatus 3 according to the present embodiment includes a feature quantity distribution diagram creation unit 31, a feature quantity selection auxiliary unit 32, and a determination index setting unit 33 as a function module.

특징량 분포도 작성부(31)는, 기억 장치(36)에 기억된 결함 화상 데이터를 소정의 특징량에 따라 매핑한 특징량 분포도를 작성하는 기능이다. 특징량 분포도란, 미리 복수 설정되어 있는 특징량의 항목 중에서 2종류의 항목을 추출하고, 그 중 한쪽을 가로축, 다른 한쪽을 세로축으로 하는 좌표계에 화상 데이터를 매핑한 것이다. 더욱 상세하게 설명하면, 기억 장치(36)에 기억된 각 결함 화상 데이터가 갖는 특징량의 값에 따라, 각각의 화상을 상기 좌표계에 매핑한다. 나아가 결함 화상 데이터 중 진짜 결함을 나타내는 화상 데이터에 대해서는, 그것이 시각적으로 구별할 수 있도록, 예를 들어 색분류하여 표시된다. 특징량 분포도 작성부(31)는, 이러한 특징량 분포도를, 전체 종류의 특징량의 모든 조합이 성립되도록 복수 작성한다.The feature-quantity distribution map creation unit 31 is a function of creating a feature-quantity distribution map in which the defective image data stored in the storage device 36 is mapped according to a predetermined feature amount. The feature-quantity distribution map is obtained by extracting two types of items from among a plurality of items of feature-quantities set in advance, and mapping image data to a coordinate system in which one of them is a horizontal axis and the other is a vertical axis. In more detail, each image is mapped to the coordinate system according to the value of the feature amount of each defective image data stored in the memory device 36. Further, among the defect image data, image data representing a real defect is displayed by color classification, for example, so that it can be visually distinguished. The feature-quantity distribution map creation unit 31 creates a plurality of such feature-quantity distribution maps so that all combinations of all types of feature quantities are established.

특징량 선택 보조부(32)는, 상기 복수의 특징량 분포도를 소정의 규칙에 따라 격자형상으로 배치한 특징량 조감도를 상기 표시 장치(35)에 표시시키는 기능이다. 특징량 조감도는, 상기 복수 설정되어 있는 특징량의 항목이 가로축과 세로축에 각각 나란히 배열되고, 그 배열된 특징량의 항목마다 그 항목의 특징량을 대응하는 축에 취한 상기 특징량 분포도가 배치된 것이다. 더욱 상세하게 설명하면, 가로축에 배열된 하나의 특징량의 항목과, 세로축에 배열된 하나의 특징량의 항목이 교차하는 위치에, 그 가로축의 항목의 특징량의 값을 가로축에 취하고, 세로축의 항목의 특징량의 값을 세로축에 취한 상기 특징량 분포도가 배치된다. 또한, 특징량 선택 보조부(32)는, 후술하는 판정 지표 설정부(33)에 의한 판정 지표의 설정을 특징량 조감도에 대해 시각적으로 표시하는 기능도 가진다. 나아가 특징량 선택 보조부(32)는, 결함 화상 데이터의 수량을 나타내는 원래 결함수 그래프와, 판정 지표 설정 수단에 의한 판정 지표의 설정이 행해진 경우에서의, 외관 검사 장치(2)의 검사 결과의 변화를 원래 결함수 그래프에 대해 반영시킨 신규 필터 적용 결함수 그래프를, 상기 특징량 조감도와 동시 또는 전환 가능하게 표시 장치(35)에 표시시키는 기능도 가진다.The feature-quantity selection assistant 32 is a function of displaying on the display device 35 a bird's eye view of the feature-quantities in which the plurality of feature-quantity distribution diagrams are arranged in a grid shape according to a predetermined rule. In the feature quantity bird's eye view, the plurality of items of the set feature quantities are arranged side by side on a horizontal axis and a vertical axis, respectively, and the feature quantity distribution diagram in which the feature quantity of the item is taken on a corresponding axis for each item of the arranged feature quantity is arranged. will be. In more detail, at a position where the item of one feature quantity arranged on the horizontal axis and the item of one feature quantity arranged on the vertical axis intersect, the value of the feature quantity of the item on the horizontal axis is taken as the horizontal axis, and The feature quantity distribution diagram in which the value of the feature quantity of the item is taken on the vertical axis is arranged. In addition, the feature-quantity selection assistance unit 32 also has a function of visually displaying the setting of the determination index by the determination index setting unit 33 to be described later on a bird's eye view of the feature amount. Furthermore, the feature quantity selection assistant 32 is a change in the inspection result of the visual inspection apparatus 2 when the original defect number graph indicating the quantity of defect image data and the determination index setting by the determination index setting means are set. It also has a function of displaying on the display device 35 a new filter applied defect number graph, which is reflected in the original defect number graph, on the display device 35 at the same time as the feature quantity bird's eye view or in a switchable manner.

판정 지표 설정부(33)는, 입력 장치(34)를 통해 사용자로부터의 입력을 접수하고, 외관 검사 장치(2)에서의 외관 검사에 이용되는 특징량의 종류 및 그 문턱값인 판정 지표를 설정하는 기능이다.The determination index setting unit 33 receives an input from the user through the input device 34, and sets the type of the characteristic quantity used for visual inspection in the visual inspection device 2 and a determination index that is a threshold value thereof. It is a function to do.

(검사 관리 시스템에서의 처리의 흐름)(Flow of processing in the inspection management system)

다음에, 도 4를 참조하여, 본 실시형태에 있어서 외관 검사 관리 시스템(1)이 행하는 처리의 일례의 흐름을 설명한다. 도 4는, 외관 검사 관리 시스템(1)이 행하는 일부 처리의 흐름을 나타내는 흐름도이다. 우선, 외관 검사 장치(2)에서 피검사물(T)이 촬영되고, 제어 단말(23)이 화상 취득부(231)를 통해 피검사물 화상을 취득한다(단계 S101). 다음에, 특징량 산출부(232)에 의해 피검사물 화상으로부터 소정의 특징량의 값이 산출되고(단계 S102), 결함 판정부(233) 및 결함 종별 분류부(234)에 의해, 산출된 특징량의 값과 미리 설정되어 있는 검사 문턱값의 대비에 의한 1차 검사가 실행된다(단계 S103). 이 단계에서, 결함의 유무 및 결함의 종류에 대한 1차적인 판정이 내려지고, 이 판정의 정보는, 피검사물 화상 데이터와 함께 검사 관리 장치(3)에 송신된다.Next, with reference to FIG. 4, the flow of an example of the process performed by the visual inspection management system 1 in this embodiment is demonstrated. 4 is a flowchart showing a flow of some processing performed by the visual inspection management system 1. First, the inspection subject T is photographed by the visual inspection apparatus 2, and the control terminal 23 acquires an inspection subject image through the image acquisition unit 231 (step S101). Next, a value of a predetermined characteristic quantity is calculated from the inspected object image by the characteristic quantity calculation unit 232 (step S102), and the calculated characteristic value by the defect determination unit 233 and the defect type classification unit 234 The primary inspection is performed by contrasting the value of the quantity and the predetermined inspection threshold (step S103). In this step, a primary determination is made as to the presence or absence of a defect and the type of the defect, and the information of this determination is transmitted to the inspection management apparatus 3 together with the inspection object image data.

다음에, 검사 관리 장치(3)에서, 피검사물 화상 데이터 중 결함으로 판정된 결함 화상 데이터가 기억 장치(36)에 기억된다(단계 S104). 그리고, 이 결함 화상 데이터에 기초하여, 특징량 분포도 작성부(31)가 특징량 분포도를 작성하고(단계 S105), 특징량 선택 보조부(32)가 특징량 조감도를 표시 장치(35)에 표시시킨다(단계 S106).Next, in the inspection management device 3, the defective image data determined as a defect among the image data to be inspected is stored in the storage device 36 (step S104). Then, based on the defective image data, the feature-quantity distribution diagram creation unit 31 creates a feature-quantity distribution map (step S105), and the feature-quantity selection assistant 32 displays a bird's-eye view of the feature on the display device 35. (Step S106).

그리고, 사용자가 표시 장치(35)에 표시된 특징량 조감도를 참조하여, 입력 장치(34)를 통해 외관 검사 장치(2)에서의 판정 지표를 입력하면, 판정 지표 설정부(33)가 이러한 입력을 접수하여, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정한다(S107). 다음에, 특징량 선택 보조부(32)는 표시 장치(35)에 표시되어 있는 특징량 조감도에 대해, 단계 S107에서 설정된 판정 지표를 시각적으로 표시하고(단계 S108), 일련의 처리가 종료된다.Then, when the user inputs the determination index in the visual inspection device 2 through the input device 34 with reference to the bird's eye view of the feature quantity displayed on the display device 35, the determination index setting unit 33 makes such an input. Upon receipt, the type and threshold value of the feature quantity are set (S107). Next, the feature-quantity selection assistant 32 visually displays the determination index set in step S107 with respect to the feature-quantity bird's-eye view displayed on the display device 35 (step S108), and a series of processing ends.

또, 도 5는, 단계 S108에서 특징량 선택 보조부(32)가 표시시키는 문턱값의 라인을 나타내는 도면이다. 도면 중의 O, P, Q, R의 선이, 각각 특징량의 항목마다의 문턱값의 라인을 나타내고 있고, O가 피크 레벨의 하한 문턱값, P가 원형도의 상한 문턱값, Q가 원형도의 하한 문턱값, R이 최장 최단 페렛 직경비의 하한 문턱값을 나타내고 있다.5 is a diagram showing a line of threshold values displayed by the feature quantity selection assistant 32 in step S108. Lines of O, P, Q, and R in the figure each represent a line of threshold values for each item of feature quantity, where O is the lower limit threshold of the peak level, P is the upper limit threshold of circularity, and Q is the circularity. The lower limit threshold value of, R represents the lower limit threshold value of the longest and shortest ferret diameter ratio.

이상과 같은 외관 검사 관리 시스템(1)에 의하면, 특징량 조감도를 참조하여, 진한 색의 도트(즉 진짜 결함)의 불균일이 적은 특징량의 조합을 이용함으로써, 오판정, 즉 잡음이 섞이는 것을 최대한 억제한 문턱값을 설정하는 것이 가능해진다. 또한, 문턱값의 설정을, 특징량 조감도에 시각적으로 표시되는 라인을 보면서 실행할 수 있기 때문에, 용이하게 효과적인 문턱값을 설정할 수 있다.According to the visual inspection management system 1 as described above, by using a combination of feature quantities with low non-uniformity of dark colored dots (i.e., real defects) with reference to the feature quantity bird's eye view, erroneous judgment, that is, noise mixing is minimized. It becomes possible to set the suppressed threshold. Further, since the threshold value can be set while viewing the line visually displayed in the feature quantity bird's eye view, it is possible to easily set an effective threshold value.

<실시형태 2><Embodiment 2>

이어서, 본 발명의 다른 실시형태에 대해 설명한다. 도 6은 본 실시형태에 관한 외관 검사 관리 시스템(10)의 시스템 구성을 나타내는 모식도이다. 또, 외관 검사 관리 시스템(10)은, 실시형태 1의 외관 검사 관리 시스템(1)과 거의 동일한 하드웨어 구성을 가지고 있기 때문에, 외관 검사 관리 시스템(1)과 동일한 구조, 기능을 갖는 부분은 동일한 부호를 이용하여 설명을 생략한다.Next, another embodiment of the present invention will be described. 6 is a schematic diagram showing the system configuration of the visual inspection management system 10 according to the present embodiment. In addition, since the visual inspection management system 10 has almost the same hardware configuration as the visual inspection management system 1 of the first embodiment, parts having the same structure and function as the visual inspection management system 1 are represented by the same reference numerals. The description is omitted by using.

외관 검사 관리 시스템(10)이 외관 검사 관리 시스템(1)과 비교하여 다른 점은, 검사 관리 장치(5)가 갖는 기능이다. 검사 관리 장치(5)는, 하드웨어 구성으로서, CPU(도시생략), 입력 장치(54), 표시 장치(55), 기억 장치(56) 등을 갖는 것 외에, 지표 설정 보조부(51)와, 판정 지표 설정부(53)의 기능 모듈을 가지고 있다. 하드웨어 구성 및 판정 지표 설정부(53)의 기능은 외관 검사 관리 시스템(1)의 것과 동일하기 때문에 설명은 생략한다.The difference between the visual inspection management system 10 and the visual inspection management system 1 is the function of the inspection management device 5. The inspection management device 5 has, as a hardware configuration, a CPU (not shown), an input device 54, a display device 55, a storage device 56, etc., as well as an indicator setting assistant 51 and a determination It has a function module of the indicator setting unit 53. Since the hardware configuration and the function of the determination index setting unit 53 are the same as those of the visual inspection management system 1, the description is omitted.

지표 설정 보조부(51)는, 판정 지표 설정부(53)에서, 이용하는 특징량의 종류가 다른 복수의 판정 지표가 작성되는 경우에는, 각각의 판정 지표가 중첩되어 이용된 경우의, 외관 검사 장치(2)에서의 검사 결과의 변화를 단계적으로 나타내는 결함 분리도를 표시 장치(55)에 표시시키는 기능을 가진다. 또한, 결함 화상 데이터의 수량을 나타내는 원래 결함수 그래프와, 판정 지표 설정부(53)에 의한 설정이 행해진 경우에서의, 외관 검사 장치(2)의 검사 결과의 변화를 상기 원래 결함수 그래프에 대해 반영시킨 신규 필터 적용 결함수 그래프를, 상기 결함 분리도와 동시 또는 전환 가능하게 상기 표시부에 표시시킨다.In the case where a plurality of determination indices having different types of feature quantities to be used are created in the determination indices setting unit 53, the indicator setting assistance unit 51 is a visual inspection device ( It has a function of displaying on the display device 55 a degree of defect separation that shows the change of the inspection result in step 2). In addition, the original defect number graph indicating the quantity of defect image data and the change in the inspection result of the visual inspection apparatus 2 when the setting by the determination index setting unit 53 is made are compared to the original defect number graph. The reflected new filter applied defect number graph is displayed on the display unit at the same time as or switchable with the defect separation degree.

도 7은 결함 분리도를 나타내는 도면으로, 도 7a는 판정 지표가 아무것도 설정되지 않은 상태를 나타내는 도면이다. 도 7b는 어떤 특징량 및 문턱값에 의한 판정 지표가 설정되었을 때에, 결함의 판정이 어떻게 바뀌는지를 나타내는 도면이다. 나아가 도 7c는 다른 특징량 및 문턱값에 의한 판정 지표가 설정되었을 때에, 결함의 판정이 더욱 어떻게 바뀌는지를 나타내는 도면이다.Fig. 7 is a diagram showing a degree of separation of defects, and Fig. 7A is a diagram showing a state in which no determination index is set. Fig. 7B is a diagram showing how the determination of a defect changes when a determination index based on a certain feature quantity and a threshold value is set. Further, Fig. 7C is a diagram showing how the determination of a defect further changes when determination indexes based on different feature quantities and threshold values are set.

도 8은, 원래 결함수 그래프와 신규 필터 적용 결함수 그래프를 나타내는 도면이다. 도 8a가 판정 지표의 적용 전의 원래 결함수 그래프를 나타내고 있고, 도 8b가 판정 지표를 적용한 경우에서의 결함수의 변화를 나타내는 신규 필터 적용 결함수 그래프를 나타내고 있다. 도면 중의 검게 칠한 막대가 진짜 결함을 나타내고 있고, 해칭 막대는 잘못 검출되는 결함을 나타내고 있다. 유효한 판정 지표를 설정할 수 있으면, 도 8a 및 도 8b와 같이 잘못 검출되는 결함의 수를 대폭으로 줄일 수 있다.8 is a diagram showing an original defect number graph and a new filter applied defect number graph. Fig. 8A shows a graph of the original number of defects before the application of the judgment index, and Fig. 8B shows a graph of the number of defects applied with a new filter showing a change in the number of defects when the judgment index is applied. Black bars in the drawing represent real defects, and hatching bars represent erroneously detected defects. If a valid determination index can be set, the number of erroneously detected defects as shown in Figs. 8A and 8B can be significantly reduced.

또한, 도 7의 결함 분리도와, 도 8의 결함수 그래프는, 전환하여 혹은 동시에 표시하여 참조할 수도 있다. 즉, 결함 분리도를 이용하여 판정 지표를 설정하는 경우에는, 설정 후의 결함수의 변화를 참조하면서 판정 지표를 검토할 수 있다. 본 실시형태에서는, 예를 들어, 도 7a의 상태와 도 8a의 상태가 대응하고, 도 7c의 상태와 도 8b의 상태가 대응하는 것으로 한다.In addition, the defect separation diagram of FIG. 7 and the defect number graph of FIG. 8 may be switched or displayed simultaneously for reference. That is, in the case of setting the determination index using the defect separation degree, the determination index can be reviewed while referring to the change in the number of defects after the setting. In the present embodiment, for example, the state of Fig. 7A and the state of Fig. 8A correspond to each other, and the state of Fig. 7C and the state of Fig. 8B correspond to each other.

다음에, 도 9를 참조하여, 본 실시형태에 있어서 외관 검사 관리 시스템(10)이 행하는 처리의 일례를 설명한다. 도 9는, 외관 검사 관리 시스템(10)이 행하는 처리의 흐름의 일례를 나타내는 흐름도이다. 외관 검사 장치(2)에서, 외관 검사가 실시되고, 결함 판정이 행해진다(S201). 그리고, 결함 화상 데이터는 검사 관리 장치(5)로 보내지고, 기억 장치(56)에 저장된다(단계 S202). 다음에, 지표 설정 보조부(51)에 의해, 표시 장치(55)에 결함 분리도가 표시된다(단계 S203). 이어서, 사용자의 입력에 의해, 판정 지표 설정부(53)가 판정 지표의 설정을 행하였는지 여부의 판정이 행해진다(단계 S204).Next, with reference to FIG. 9, an example of the processing performed by the visual inspection management system 10 in this embodiment is demonstrated. 9 is a flowchart showing an example of a flow of processing performed by the visual inspection management system 10. In the visual inspection apparatus 2, the visual inspection is performed, and a defect determination is performed (S201). Then, the defective image data is sent to the inspection management device 5 and stored in the storage device 56 (step S202). Next, the index setting assistant 51 displays the degree of defect separation on the display device 55 (step S203). Next, a determination is made as to whether or not the determination index setting unit 53 has set the determination index according to the user's input (step S204).

여기서, 판정 지표의 설정이 행해졌다고 판단된 경우에는, 지표 설정 보조부(51)가 결함 분리도의 표시를, 그 설정을 반영시킨 것으로 변경하여 표시 장치(55)에 표시시킨다(단계 S205). 그 후는 단계 S204로 되돌아가 이후의 처리를 반복한다. 한편, 단계 S204에서 판정 지표를 새로 설정하지 않았다고 판정된 경우에는, 지표 설정 보조부(51)는, 현재의 판정 지표의 설정(설정되지 않은 경우도 포함함)을 반영시킨 결함수 그래프를 표시 장치(55)에 표시시켜 일련의 처리를 종료한다.Here, when it is determined that the determination index has been set, the index setting auxiliary unit 51 changes the display of the defect separation degree to the one reflecting the setting and displays it on the display device 55 (step S205). After that, the process returns to step S204 and the subsequent processing is repeated. On the other hand, when it is determined in step S204 that the determination index has not been newly set, the index setting assistant 51 displays a defect number graph reflecting the current determination index setting (including the case where the determination index is not set). 55) to end a series of processing.

이상과 같은 외관 검사 관리 시스템(10)에 의하면, 판정 지표로서 이용하는 특징량의 종류에 대해서는 어느 정도 목표가 서있지만, 유효한 문턱값을 모른다고 한 경우에는, 결함 분리도와 결함수 그래프를 참조하면서 문턱값을 좁힐 수 있다. 이에 의해, 어느 정도 검사의 조작에 익숙한 자에 대해서도, 외관 검사 장치(2)의 결함 판정에 이용하는 판정 지표의 설정에 있어서, 효율적인 작업을 제공하는 것이 가능해진다.According to the visual inspection management system 10 as described above, a target is set for the type of characteristic quantity used as a judgment index to some extent, but when it is said that the effective threshold is not known, the threshold is determined while referring to the defect separation degree and defect number graph. You can narrow it down. Thereby, it becomes possible to provide an efficient operation even for a person familiar with the operation of the inspection to some extent in setting the judgment index used for the defect judgment of the visual inspection apparatus 2.

<기타><Other>

상기 각 실시형태는, 본 발명을 예시적으로 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 상기 구체적인 형태에는 한정되지 않는다. 본 발명은 그 기술적 사상의 범위 내에서 여러 가지 변형이 가능하다. 예를 들어, 실시형태 1과 실시형태 2를 조합하여, 실시형태 1의 검사 관리 장치에 지표 설정 보조부를 설치한 검사 관리 시스템을 구축해도 된다. 또한, 실시형태 1의 검사 관리 장치에 있어서, 도 8에 도시된 바와 같은 결함수 그래프를 표시하는 것과 같은 구성으로 되어 있어도 된다.Each of the above embodiments is merely illustrative of the present invention, and the present invention is not limited to the above specific form. The present invention can be variously modified within the scope of the technical idea. For example, by combining the first embodiment and the second embodiment, an inspection management system in which an index setting assistant is provided in the inspection management device of the first embodiment may be constructed. Further, in the inspection management apparatus according to the first embodiment, it may be configured such that a defect number graph as shown in FIG. 8 is displayed.

또한, 상기 실시형태에서는, 시트형상의 피검사물을 검사하는 장치가 대상이었지만, 본 발명은 이에 한정하지 않고, 화상 처리를 행하는 외관 검사 장치에 널리 적용할 수 있다.In addition, in the above embodiment, an apparatus for inspecting a sheet-shaped object to be inspected was the object, but the present invention is not limited to this, and can be widely applied to an external appearance inspection apparatus for performing image processing.

본 발명의 하나의 태양은,One aspect of the present invention,

피검사물을 촬영한 화상으로부터 취득하는 특징량에 기초하여, 상기 피검사물의 결함을 검사하는 외관 검사 수단(2);Visual inspection means (2) for inspecting a defect of the inspected object based on a feature amount acquired from an image taken of the inspected object;

표시 수단(35);Display means 35;

상기 외관 검사 수단에 의해 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 정보를 포함하는 결함 화상 데이터를 적어도 기억하는 기억 수단(36);Storage means (36) for storing at least defect image data including information of a characteristic quantity obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object by the visual inspection means;

소정의 좌표계에 상기 특징량의 정보를 매핑한 특징량 분포도를 복수 작성하는 특징량 분포도 작성 수단(31); 및Feature-quantity distribution map creation means (31) for creating a plurality of feature-quantity distribution maps in which information on the feature-quantities is mapped to a predetermined coordinate system; And

상기 특징량 분포도 작성 수단이 작성하는 복수의 특징량 분포도를 소정의 규칙에 따라 배치한 특징량 조감도를 상기 표시 수단에 표시시키는 특징량 선택 보조 수단(32);을 구비하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템(1)이다.And a feature-quantity selection auxiliary means (32) for displaying on the display means a bird's eye view of a feature quantity in which a plurality of feature-quantity distribution maps generated by the feature-quantity distribution map creation means are arranged according to a predetermined rule; It is a management system (1).

또한, 본 발명의 다른 하나의 태양은,In addition, another aspect of the present invention,

피검사물을 촬영한 화상으로부터 취득하는 특징량에 기초하여, 적어도 상기 피검사물의 결함을 검사하는 외관 검사 수단(2);Visual inspection means (2) for inspecting at least a defect of the inspected object based on a feature amount acquired from a photographed image of the inspected object;

표시 수단(55);Display means 55;

상기 외관 검사에서, 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류 및 값을 포함하는 결함 화상 데이터를 기억하는 기억 수단(56);In the visual inspection, a memory for storing defect image data including items of a plurality of types of characteristic quantities that can be set as a determination index of defects, and types and values of characteristic quantities obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object. Means 56;

상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 하나 이상 작성하는 판정 지표 설정 수단(53); 및Determination index setting means (53) for creating one or more determination indexes of defects in the visual inspection means by setting types and threshold values of the characteristic quantities; And

상기 판정 지표 설정 수단에서, 이용하는 특징량의 종류가 다른 복수의 판정 지표가 작성되는 경우에는, 각각의 판정 지표가 중첩되어 이용된 경우의, 상기 외관 검사 수단에서의 검사 결과의 변화를 단계적으로 나타내는 결함 분리도를 상기 표시부에 표시시키는 지표 설정 보조 수단(51);을 구비하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템(10)이다.In the case where a plurality of determination indices having different types of feature quantities to be used are created in the determination index setting means, the change in the inspection result in the appearance inspection means is stepwise indicated when each determination index is overlapped and used. An appearance inspection management system (10) comprising: an index setting auxiliary means (51) for displaying the degree of defect separation on the display unit.

또한, 본 발명의 다른 하나의 태양은,In addition, another aspect of the present invention,

피검사물의 외관 검사를 관리하는 외관 검사 관리 방법으로서,As a visual inspection management method for managing the visual inspection of an object to be inspected,

상기 외관 검사에서, 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류, 값 및 적어도 그 결함 판정 결과의 진위를 나타내는 부기 정보를 포함하는 결함 화상 데이터를 취득하는 데이터 취득 단계(S104);In the visual inspection, items of a plurality of types of characteristic quantities that can be set as a determination index of defects, the types and values of the characteristic quantities obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object, and at least the authenticity of the defect determination result A data acquisition step (S104) of acquiring defective image data including bookkeeping information;

상기 데이터 취득 단계에서 취득한 상기 복수의 특징량의 항목으로부터 2종류의 항목을 추출하고, 이들을 가로축, 세로축으로 하는 좌표계에, 상기 기억 수단에 기억된 각 결함 화상 데이터의 특징량을, 상기 부기 정보를 시각적으로 반영시켜 매핑한 특징량 분포도를, 전체 종류의 특징량의 모든 조합이 성립되도록 복수 작성하는 특징량 분포도 작성 단계(S105); 및Two types of items are extracted from the items of the plurality of feature quantities acquired in the data acquisition step, and the feature quantities of each defective image data stored in the storage means are stored in a coordinate system using these as horizontal and vertical axes, and the additional information is stored. A feature-quantity distribution map creation step (S105) of creating a plurality of feature-quantity distribution maps visually reflected and mapped so that all combinations of all types of feature-quantities are established; And

상기 복수 종류의 특징량의 항목을 가로축과 세로축에 각각 나란히 배열하고, 나아가 가로축에 배열된 특징량의 항목과, 세로축에 배열된 특징량의 항목이 교차하는 부분에, 그 가로축의 항목의 특징량의 값을 가로축으로 하고, 세로축의 항목의 특징량의 값을 세로축으로 하는 상기 특징량 분포도를 배치한 특징량 조감도를 표시하는 특징량 선택 보조 단계(S106);를 갖는 외관 검사 관리 방법이다.The items of the plurality of types of feature values are arranged side by side on the horizontal axis and the vertical axis, respectively, and further, at a portion where the items of the feature quantity arranged on the horizontal axis and the items of the feature quantity arranged on the vertical axis intersect, the feature quantity of the item on the horizontal axis It is a visual inspection management method having a feature quantity selection auxiliary step (S106) of displaying a bird's eye view of the feature quantity distribution map in which the feature quantity distribution map is arranged, in which the value of is the horizontal axis and the value of the feature quantity of the item on the vertical axis is the vertical axis.

또한, 본 발명의 다른 하나의 태양은,In addition, another aspect of the present invention,

피검사물의 외관 검사를 관리하는 외관 검사 관리 방법으로서,As a visual inspection management method for managing the visual inspection of an object to be inspected,

상기 외관 검사에서, 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류 및 값을 포함하는 결함 화상 데이터를 취득하는 데이터 취득 단계(S202);In the visual inspection, data for acquiring defect image data including items of a plurality of types of characteristic quantities that can be set as a determination index of defects, and types and values of characteristic quantities obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object Acquisition step (S202);

상기 외관 검사에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 작성하는 판정 지표 작성 단계(S204); 및A determination index creation step (S204) of creating a determination index of the defect in the visual inspection by setting a type and a threshold value of the characteristic quantity; And

상기 판정 지표 작성 단계에서, 판정 지표에 관한 특징량의 종류 및 문턱값의 설정이 행해질 때마다, 그 설정이 반영된 경우의 상기 외관 검사 수단에서의 검사 결과의 변화를 단계적으로 나타내는 결함 분리도를 상기 표시부에 표시시키는 지표 설정 보조 단계(S205);를 갖는 외관 검사 관리 방법이다.In the determination index creation step, each time a type of a characteristic quantity and a threshold value relating to the determination index is set, the display unit displays a defect separation degree stepwise indicating a change in the inspection result in the appearance inspection means when the setting is reflected. It is a visual inspection management method having an index setting auxiliary step (S205) to be displayed in

1, 9, 10…외관 검사 관리 시스템
2, 91…외관 검사 장치
211, 912…광원
221, 911…카메라
23, 913…제어 단말
3, 5, 92…검사 관리 장치
34, 54…입력 장치
35, 55…표시 장치
T…피검사물1, 9, 10... Visual inspection management system
2, 91... Visual inspection device
211, 912... Light source
221, 911... camera
23, 913... Control terminal
3, 5, 92... Inspection management device
34, 54... Input device
35, 55... Display device
T... Object to be inspected

Claims (22)

피검사물을 촬영한 화상으로부터 취득하는 특징량에 기초하여, 상기 피검사물의 결함을 검사하는 외관 검사 수단;
표시 수단;
상기 외관 검사 수단에 의해 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 정보를 포함하는 결함 화상 데이터를 적어도 기억하는 기억 수단;
소정의 좌표계에 상기 특징량의 정보를 매핑한 특징량 분포도를 복수 작성하는 특징량 분포도 작성 수단; 및
상기 특징량 분포도 작성 수단이 작성하는 복수의 특징량 분포도를 소정의 규칙에 따라 배치한 특징량 조감도를 상기 표시 수단에 표시시키는 특징량 선택 보조 수단;을 구비하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.Visual inspection means for inspecting a defect of the inspected object on the basis of a feature amount acquired from a photographed image of the inspected object;
Display means;
Storage means for storing at least defect image data including information of a characteristic quantity obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object by the appearance inspection means;
Feature-quantity distribution map creation means for creating a plurality of feature-quantity distribution maps in which the feature-quantity information is mapped to a predetermined coordinate system; And
And a feature-quantity selection assisting means for displaying on the display means a bird's-eye view of feature quantities in which a plurality of feature-quantity distribution maps generated by the feature-quantity distribution map creation means are arranged according to a predetermined rule. 청구항 1에 있어서,
상기 결함 화상 데이터는, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류, 값 및 적어도 그 결함으로 판정된 결과의 진위를 나타내는 부기 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the defect image data includes a type and value of a characteristic quantity obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspected object, and bookkeeping information indicating at least the authenticity of a result determined as the defect. . 청구항 2에 있어서,
상기 부기 정보에는, 결함의 종류를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method according to claim 2,
The visual inspection management system, characterized in that the bookkeeping information includes a type of defect. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
상기 기억 수단은, 상기 외관 검사 수단의 검사에서 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 결함 화상 데이터를 기억하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method according to claim 2 or 3,
And the storage means stores a plurality of types of items of feature quantities that can be set as a determination index of a defect in inspection by the appearance inspection means and the defect image data. 청구항 4에 있어서,
상기 특징량 분포도는, 상기 복수 종류의 특징량의 항목으로부터 2종류의 항목을 추출하고, 이들을 가로축, 세로축으로 한 좌표계에, 상기 결함 화상 데이터의 특징량을, 상기 부기 정보를 시각적으로 식별 가능하게 반영시켜 매핑한 것임을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method of claim 4,
The feature quantity distribution diagram extracts two kinds of items from the items of the plurality of kinds of feature quantities, and makes it possible to visually identify the feature quantity of the defective image data and the bookkeeping information in a coordinate system using these as horizontal and vertical axes. Appearance inspection management system characterized in that it is reflected and mapped. 청구항 5에 있어서,
상기 특징량 조감도는, 상기 복수 종류의 특징량의 항목을 가로축과 세로축에 각각 나란히 배열하고, 나아가 가로축에 배열된 특징량의 항목과, 세로축에 배열된 특징량의 항목이 교차하는 부분에, 그 가로축의 항목의 특징량의 값을 가로축으로 하고, 그 세로축의 항목의 특징량의 값을 세로축으로 하는 상기 특징량 분포도를 배치한다는 규칙에 따라, 상기 복수의 특징량 분포도를 배치한 것임을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method of claim 5,
The feature quantity bird's eye view is at a portion where the items of the plurality of types of feature quantities are arranged side by side on a horizontal axis and a vertical axis, respectively, and further, an item of a feature quantity arranged on a horizontal axis and an item of a feature quantity arranged on a vertical axis intersect. Characterized in that the plurality of feature-quantity distribution maps are arranged according to the rule of arranging the feature-quantity distribution map in which the value of the feature quantity of the item on the horizontal axis is the horizontal axis and the feature quantity value of the item on the vertical axis is the vertical axis Appearance inspection management system. 청구항 6에 있어서,
상기 특징량 분포도 작성 수단은, 전체 종류의 특징량의 모든 조합이 성립되도록, 상기 특징량 분포도를 복수 작성하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method of claim 6,
The feature-quantity distribution map creating means creates a plurality of the feature-quantity distribution maps so that all combinations of all types of feature quantities are established. 청구항 1에 있어서,
사용자의 입력을 접수하여, 상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 하나 이상 작성하는 판정 지표 설정 수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method according to claim 1,
A visual inspection management system, further comprising: a determination index setting means for receiving an input from a user and generating at least one determination index of a defect in the visual inspection means by setting a type and a threshold value of a characteristic quantity. . 청구항 8에 있어서,
상기 특징량 선택 보조 수단은, 상기 판정 지표 설정 수단에 의해 설정된 특징량의 종류 및 문턱값을, 상기 특징량 조감도에 대한 시각적인 표현으로서 표시하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method of claim 8,
And the feature quantity selection assist means displays a type and a threshold value of the feature quantity set by the determination index setting means as a visual representation of the feature quantity bird's eye view. 청구항 8에 있어서,
상기 특징량 선택 보조 수단은,
상기 결함 화상 데이터의 수량을 나타내는 원래 결함수 그래프와,
상기 판정 지표 설정 수단에 의한 설정이 행해진 경우에서의, 상기 외관 검사 수단의 검사 결과의 변화를 상기 원래 결함수 그래프에 대해 반영시킨 신규 필터 적용 결함수 그래프를, 상기 특징량 조감도와 동시 또는 전환 가능하게 상기 표시 수단에 표시시키는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method of claim 8,
The feature quantity selection auxiliary means,
An original defect number graph indicating the quantity of the defect image data;
When setting by the determination index setting means is performed, a new filter applied defect number graph in which the change in the inspection result of the appearance inspection means is reflected on the original defect number graph can be simultaneously or switched with the feature quantity bird's eye view. Appearance inspection management system, characterized in that the display on the display means. 청구항 10에 있어서,
상기 판정 지표 설정 수단에서, 이용하는 특징량의 종류 또는 문턱값이 다른 복수의 판정 지표를 작성할 때에는,
상기 특징량 선택 보조 수단은, 각각의 판정 지표에 관한 특징량의 종류 또는 문턱값의 설정이 행해질 때마다, 그 설정이 반영된 상기 신규 필터 적용 결함수 그래프를 단계적으로 표시하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method of claim 10,
When the determination index setting means creates a plurality of determination indexes having different types or threshold values of the feature quantities to be used,
The feature quantity selection auxiliary means, each time setting of the type or threshold value of the feature quantity for each determination index is performed, the new filter applied defect number graph reflecting the setting is displayed in stages. Management system. 적어도 상기 특징량 분포도 작성 수단과, 상기 특징량 선택 보조 수단을 구비하고,
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 외관 검사 관리 시스템의 적어도 일부를 구성하는 외관 검사 관리 장치.At least the feature-quantity distribution diagram creation means and the feature-quantity selection assisting means,
A visual inspection management device constituting at least a part of the visual inspection management system according to any one of claims 1 to 3. 시트형상의 피검사물을 연속적으로 반송하는 반송 수단;
반송 중인 상기 피검사물을 연속하여 촬영하는 촬영 수단;
상기 촬영 수단에 의해 촬영되는 피검사물 화상으로부터 얻어지는 특징량을 소정의 문턱값과 대비함으로써 판정하여, 상기 피검사물의 결함 부분을 검출하는 외관 검사 수단;
표시 수단;
적어도, 상기 외관 검사 수단에 의해 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 정보를 포함하는 결함 화상 데이터를 기억하는 기억 수단;
소정의 좌표계에 상기 특징량의 정보를 매핑한 특징량 분포도를 복수 작성하는 특징량 분포도 작성 수단; 및
상기 특징량 분포도 작성 수단이 작성하는 복수의 특징량 분포도를 소정의 규칙에 따라 배치한 특징량 조감도를 상기 표시 수단에 표시시키는 특징량 선택 보조 수단;을 구비하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.Conveying means for continuously conveying the sheet-shaped inspection subject;
Photographing means for continuously photographing the object being conveyed;
Visual inspection means for determining by comparing a feature amount obtained from an inspection object image photographed by the photographing means with a predetermined threshold value, and detecting a defective portion of the inspection object;
Display means;
Storage means for storing defect image data including information of a feature amount obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspected object by the visual inspection means;
Feature-quantity distribution map creation means for creating a plurality of feature-quantity distribution maps in which the feature-quantity information is mapped to a predetermined coordinate system; And
And a feature-quantity selection assisting means for displaying on the display means a bird's-eye view of feature quantities in which a plurality of feature-quantity distribution maps generated by the feature-quantity distribution map creation means are arranged according to a predetermined rule. 피검사물을 촬영한 화상으로부터 취득하는 특징량에 기초하여, 적어도 상기 피검사물의 결함을 검사하는 외관 검사 수단;
표시 수단;
상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류 및 값을 포함하는 결함 화상 데이터를 적어도 기억하는 기억 수단;
상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 하나 이상 작성하는 판정 지표 설정 수단; 및
상기 판정 지표 설정 수단에서, 이용하는 특징량의 종류가 다른 복수의 판정 지표가 작성되는 경우에는, 각각의 판정 지표가 중첩되어 이용된 경우의, 상기 외관 검사 수단에서의 검사 결과의 변화를 단계적으로 나타내는 결함 분리도를 상기 표시 수단에 표시시키는 지표 설정 보조 수단;을 구비하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.Visual inspection means for inspecting at least a defect of the inspected object based on a feature amount acquired from a photographed image of the inspected object;
Display means;
At least defective image data including a plurality of types of feature quantity items that can be set as a defect judgment index in the visual inspection means, and a type and value of the feature quantity obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object are stored at least. Means of memory;
Determination index setting means for creating one or more determination indexes of defects in the visual inspection means by setting a type and a threshold value of a characteristic quantity; And
In the case where a plurality of determination indices having different types of feature quantities to be used are created in the determination index setting means, the change in the inspection result in the appearance inspection means is stepwise indicated when each determination index is overlapped and used. And an index setting auxiliary means for displaying the degree of defect separation on the display means. 청구항 14에 있어서,
상기 지표 설정 보조 수단이 나타내는 결함 분리도는 히스토그램인 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method of claim 14,
The visual inspection management system, characterized in that the degree of defect separation indicated by the index setting auxiliary means is a histogram. 청구항 14 또는 청구항 15에 있어서,
상기 지표 설정 보조 수단은,
상기 결함 화상 데이터의 수량을 나타내는 원래 결함수 그래프와,
상기 판정 지표 설정 수단에 의한 설정이 행해진 경우에서의, 상기 외관 검사 수단의 검사 결과의 변화를 상기 원래 결함수 그래프에 대해 반영시킨 신규 필터 적용 결함수 그래프를, 상기 결함 분리도와 동시 또는 전환 가능하게 상기 표시 수단에 표시시키는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method according to claim 14 or 15,
The indicator setting auxiliary means,
An original defect number graph indicating the quantity of the defect image data;
When setting by the determination index setting means is performed, a new filter applied defect number graph in which the change in the inspection result of the appearance inspection means is reflected on the original defect number graph is simultaneously or switchable with the defect separation degree. And display on the display means. 청구항 14 또는 청구항 15에 있어서,
상기 결함 화상 데이터에는 결함 종류의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.The method according to claim 14 or 15,
The visual inspection management system, characterized in that the defect image data includes information on a defect type. 적어도 상기 판정 지표 설정 수단과, 상기 지표 설정 보조 수단을 구비하고,
청구항 14 또는 청구항 15에 기재된 외관 검사 관리 시스템의 적어도 일부를 구성하는 외관 검사 관리 장치.At least the determination index setting means and the index setting auxiliary means,
A visual inspection management device constituting at least a part of the visual inspection management system according to claim 14 or 15. 시트형상의 피검사물을 연속적으로 반송하는 반송 수단;
반송 중인 상기 피검사물을 연속하여 촬영하는 촬영 수단;
상기 촬영 수단에 의해 촬영되는 피검사물 화상으로부터 얻어지는 특징량을 소정의 문턱값과 대비함으로써 판정하여, 상기 피검사물의 결함 부분을 검출하는 외관 검사 수단;
표시 수단;
상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류 및 값을 포함하는 결함 화상 데이터를 적어도 기억하는 기억 수단;
상기 외관 검사 수단에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 하나 이상 작성하는 판정 지표 설정 수단; 및
상기 판정 지표 설정 수단에서, 이용하는 특징량의 종류가 다른 복수의 판정 지표가 작성되는 경우에는, 각각의 판정 지표가 중첩되어 이용된 경우의, 상기 외관 검사 수단에서의 검사 결과의 변화를 단계적으로 나타내는 결함 분리도를 상기 표시 수단에 표시시키는 지표 설정 보조 수단;을 구비하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 관리 시스템.Conveying means for continuously conveying the sheet-shaped inspection subject;
Photographing means for continuously photographing the object being conveyed;
Visual inspection means for determining by comparing a feature amount obtained from an inspection object image photographed by the photographing means with a predetermined threshold value, and detecting a defective portion of the inspection object;
Display means;
At least defective image data including a plurality of types of feature quantity items that can be set as a defect judgment index in the visual inspection means, and a type and value of the feature quantity obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object are stored at least. Means of memory;
Determination index setting means for creating one or more determination indexes of defects in the visual inspection means by setting a type and a threshold value of a characteristic quantity; And
In the case where a plurality of determination indices having different types of feature quantities to be used are created in the determination index setting means, the change in the inspection result in the appearance inspection means is stepwise indicated when each determination index is overlapped and used. And an index setting auxiliary means for displaying the degree of defect separation on the display means. 피검사물의 외관 검사를 관리하는 외관 검사 관리 방법으로서,
상기 외관 검사에서, 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류, 값 및 적어도 결함 판정 결과의 진위를 나타내는 부기 정보를 포함하는 결함 화상 데이터를 취득하는 데이터 취득 단계;
상기 데이터 취득 단계에서 취득한 상기 복수 종류의 특징량의 항목으로부터 2종류의 항목을 추출하고, 이들을 가로축, 세로축으로 하는 좌표계에, 상기 취득한 결함 화상 데이터의 특징량을, 상기 부기 정보를 시각적으로 반영시켜 매핑한 특징량 분포도를, 전체 종류의 특징량의 모든 조합이 성립되도록 복수 작성하는 특징량 분포도 작성 단계; 및
상기 복수 종류의 특징량의 항목을 가로축과 세로축에 각각 나란히 배열하고, 나아가 가로축에 배열된 특징량의 항목과, 세로축에 배열된 특징량의 항목이 교차하는 부분에, 그 가로축의 항목의 특징량의 값을 가로축으로 하고, 세로축의 항목의 특징량의 값을 세로축으로 하는 상기 특징량 분포도를 배치한 특징량 조감도를 표시하는 특징량 선택 보조 단계;를 갖는 외관 검사 관리 방법.As a visual inspection management method for managing the visual inspection of an object to be inspected,
In the visual inspection, an item of a plurality of types of feature quantities that can be set as a determination index of a defect, and a note indicating the type and value of the feature quantity obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object, and at least the authenticity of the defect determination result A data acquisition step of acquiring defective image data including information;
Two types of items are extracted from the items of the plurality of types of feature values acquired in the data acquisition step, and the feature amounts of the acquired defect image data are visually reflected in a coordinate system using these as horizontal and vertical axes. A feature-quantity distribution map creation step of creating a plurality of mapped feature-quantity distribution maps so that all combinations of all types of feature quantities are established; And
The items of the plurality of types of feature values are arranged side by side on the horizontal axis and the vertical axis, respectively, and further, at a portion where the items of the feature quantity arranged on the horizontal axis and the items of the feature quantity arranged on the vertical axis intersect, the feature quantity of the item on the horizontal axis A visual inspection management method comprising: a feature quantity selection auxiliary step of displaying a bird's eye view of the feature quantity distribution map in which the feature quantity distribution map is arranged in which the value of is the horizontal axis and the value of the feature quantity of the item on the vertical axis is the vertical axis. 피검사물의 외관 검사를 관리하는 외관 검사 관리 방법으로서,
상기 외관 검사에서, 결함의 판정 지표로서 설정 가능한 복수 종류의 특징량의 항목과, 상기 피검사물의 결함으로 판정된 부분의 화상으로부터 얻어지는 특징량의 종류 및 값을 포함하는 결함 화상 데이터를 취득하는 데이터 취득 단계;
상기 외관 검사에서의 결함의 판정 지표를, 특징량의 종류 및 문턱값을 설정함으로써 작성하는 판정 지표 작성 단계; 및
상기 판정 지표 작성 단계에서, 판정 지표에 관한 특징량의 종류 및 문턱값의 설정이 행해질 때마다, 그 설정이 반영된 경우의 상기 외관 검사의 결과의 변화를 단계적으로 나타내는 결함 분리도를 표시하는 지표 설정 보조 단계;를 갖는 외관 검사 관리 방법.As a visual inspection management method for managing the visual inspection of an object to be inspected,
In the visual inspection, data for acquiring defect image data including items of a plurality of types of characteristic quantities that can be set as a determination index of defects, and types and values of characteristic quantities obtained from an image of a portion determined as a defect of the inspection object Acquisition phase;
A determination index creation step of creating a determination index of a defect in the visual inspection by setting a type and a threshold value of the characteristic quantity; And
In the determination index creation step, whenever the type of the characteristic quantity and the threshold value related to the determination index are set, an index setting aid that displays a degree of defect separation stepwise indicating a change in the result of the visual inspection when the setting is reflected Step; having a visual inspection management method. 청구항 20 또는 청구항 21에 기재된 각 단계를 정보 처리 장치에 실행시키기 위한 프로그램.A program for causing an information processing device to execute each step according to claim 20 or 21.
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