KR20210000006A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR20210000006A
KR20210000006A KR1020190074699A KR20190074699A KR20210000006A KR 20210000006 A KR20210000006 A KR 20210000006A KR 1020190074699 A KR1020190074699 A KR 1020190074699A KR 20190074699 A KR20190074699 A KR 20190074699A KR 20210000006 A KR20210000006 A KR 20210000006A
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Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 지지부와, 일측으로 길게 형성되고, 길이 방향으로 서로 다른 극성의 자력을 번갈아 가면서 제공하는 자력 트랙과, 변화하는 자력을 제공하고, 각각 독립되어 결정된 속도로 상기 자력 트랙의 길이 방향으로 이동 가능한 제1 및 제2 주행부, 및 일측이 상기 지지부에 회전 가능하도록 결합되고, 타측이 상기 제1 및 제2 주행부에 회전 가능하도록 각각 결합된 제1 및 제2 링크를 포함한다.

Description

기판 이송 장치{Substrate transferring apparatus}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치를 제조할 때에는, 사진, 식각, 애싱, 이온주입, 박막증착, 세정 등 다양한 공정이 실시된다. 여기서, 사진공정은 도포, 노광, 그리고 현상 공정을 포함한다. 기판 상에 감광액을 도포하고(즉, 도포 공정), 감광막이 형성된 기판 상에 회로 패턴을 노광하며(즉, 노광 공정), 기판의 노광처리된 영역을 선택적으로 현상한다(즉, 현상 공정).
하나의 기판에 대한 다양한 공정을 적용하기 위하여 기판의 이송이 수행될 수 있다. 기판은 단독으로 이송되거나 복수의 기판이 카세트에 적재되어 이송될 수도 있다. 기판은 지면에 평행한 수평 방향뿐만 아니라 지면에 수직한 수직 방향으로 이송될 수도 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 이송 장치의 일 면(aspect)은, 지지부와, 일측으로 길게 형성되고, 길이 방향으로 서로 다른 극성의 자력을 번갈아 가면서 제공하는 자력 트랙과, 변화하는 자력을 제공하고, 각각 독립되어 결정된 속도로 상기 자력 트랙의 길이 방향으로 이동 가능한 제1 및 제2 주행부, 및 일측이 상기 지지부에 회전 가능하도록 결합되고, 타측이 상기 제1 및 제2 주행부에 회전 가능하도록 각각 결합된 제1 및 제2 링크를 포함한다.
상기 제1 및 제2 주행부는 상기 자력 트랙에 변화하는 자력을 제공하여 상기 제1 및 제2 주행부를 이동시키기 위한 힘을 발생시키는 자력 모터를 각각 포함한다.
상기 자력 모터는 리니어 모터(Linear Motor)를 포함한다.
상기 지지부에 대한 상기 제1 및 제2 링크의 회전축은 상기 제1 및 제2 주행부에 대한 상기 제1 및 제2 링크의 회전축에 비하여 지면에서 높게 형성된다.
상기 기판 이송 장치는 상기 자력 트랙의 길이 방향에 평행하게 배치되어 상기 주행부의 이동 경로를 제공하는 가이드 레일을 더 포함한다.
상기 지지부는 기판 또는 카세트를 지지한다.
상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부가 서로 근접하는 방향으로 이동하는 경우 상기 지지부는 지면에 대하여 상승하고, 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부가 서로 멀어지는 방향으로 이동하는 경우 상기 지지부는 지면에 대하여 하강한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 몸체부가 가이드 레일을 따라 이동하는 것을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 지지부가 지면에 대하여 상승하거나 하강하는 것을 나타낸 도면이다.
도 5 내지 도 7은 도 2에 도시된 주행부의 이동에 따른 지지부의 높이 변화를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 이송 장치(10)는 몸체부(100), 베이스 플레이트(200), 자력 트랙(300), 자력 모터(410, 420) 및 가이드 레일(500)을 포함하여 구성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(10)는 반도체 공정 대상인 기판(미도시) 또는 카세트(미도시)를 이송할 수 있다. 예를 들어, 기판 이송 장치(10)는 인덱서 또는 스토커일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
몸체부(100)는 기판 또는 카세트(이하, 기판이라 한다)를 지지하는 역할을 수행한다. 몸체부(100)는 지지부(110), 주행부(121, 122), 링크(131, 132) 및 가이드 블록(141, 142)을 포함하여 구성된다. 지지부(110)는 기판을 지지할 수 있다. 이를 위하여, 지지부(110)는 기판을 지지하기 위한 지지면을 구비할 수 있다.
주행부(121, 122)는 변화하는 자력을 제공하고, 자력 트랙(300)의 길이 방향으로 이동할 수 있다. 주행부(121, 122)는 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)를 포함할 수 있다. 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)는 각각 독립되어 결정된 속도로 자력 트랙(300)의 길이 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)는 동일한 속도로 이동하거나 서로 다른 속도로 자력 트랙(300)을 따라 이동할 수 있다. 또한, 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)는 동일한 방향으로 이동하거나 서로 다른 방향으로 이동할 수도 있다.
제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)는 길이가 상이할 수 있다. 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 길이 차이는 지지부(110)의 폭에 대응할 수 있다. 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 일측 말단은 가이드 레일(500)의 길이 방향을 따라 나란히 정렬되고 타측 말단은 동일한 방향을 향하면서 단차를 두고 배치될 수 있다.
가이드 블록(141, 142)은 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 일측 말단에 인접하여 배치될 수 있다. 제1 링크(131) 및 제2 링크(132)는 각각 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 타측 말단에 연결되고, 지지부(110)는 제1 링크(131) 및 제2 링크(132)의 사이에 배치되어 제1 링크(131) 및 제2 링크(132)에 연결될 수 있다.
지지부(110)는 가이드 레일(500)에서 일정 거리만큼 이격되어 배치될 수 있으며, 지지부(110)와 가이드 레일(500) 간의 간섭이 방지될 수 있다.
주행부(121, 122)의 하부면에는 가이드 블록(141, 142)이 구비될 수 있다. 가이드 블록(141, 142)은 후술하는 가이드 레일(500)에 이동 가능하도록 결합될 수 있다. 가이드 블록(141, 142)과 가이드 레일(500)이 결합됨에 따라 주행부(121, 122)는 가이드 레일(500)을 따라 이동할 수 있게 된다.
링크(131, 132)는 일측이 지지부(110)에 회전 가능하도록 결합되고, 타측이 주행부(121, 122)에 회전 가능하도록 결합될 수 있다. 링크(131, 132)는 제1 링크(131) 및 제2 링크(132)를 포함할 수 있다. 제1 링크(131)는 일측이 지지부(110)에 회전 가능하도록 결합되고, 타측이 제1 주행부(121)에 회전 가능하도록 결합될 수 있다. 제2 링크(132)는 일측이 제1 링크(131)가 결합된 지지부(110)의 반대측에 회전 가능하도록 결합되고, 타측이 제2 주행부(122)에 회전 가능하도록 결합될 수 있다. 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)는 제1 링크(131) 및 제2 링크(132)를 통하여 지지부(110)에 결합될 수 있는 것이다.
제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)가 자력 트랙(300)을 따라 이동함에 따라 지지부(110)도 자력 트랙(300)을 따라 이동하게 된다. 또한, 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122) 간의 거리 조절에 따라 지지부(110)가 지면에 대하여 상승하거나 하강할 수 있다.
베이스 플레이트(200)는 자력 트랙(300) 및 가이드 레일(500)을 일체화시키는 역할을 수행한다. 자력 트랙(300) 및 가이드 레일(500)은 베이스 플레이트(200)에 직접 또는 간접적으로 결합되어 일체형으로 구현될 수 있다.
본 발명에서 베이스 플레이트(200)는 넓은 면이 지면에 평행하게 배치된 것을 가정한다. 따라서, 가이드 레일(500)이 베이스 플레이트(200)의 넓은 면에 배치됨에 따라 가이드 레일(500)을 따라 이동하는 몸체부(100)는 지면에 평행한 이동을 수행할 수 있게 된다.
자력 트랙(300)은 일측으로 길게 형성되고, 길이 방향으로 서로 다른 극성의 자력을 번갈아 가면서 제공할 수 있다. N극과 S극의 자력이 자력 트랙(300)의 길이 방향으로 번갈아 가면서 제공될 수 있는 것이다. 자력은 자력 모터(410, 420)를 향하는 방향으로 제공될 수 있다. 도 1 및 도 2는 자력 트랙(300)의 상측에 자력 모터(410, 420)가 구비된 것을 도시하고 있는데, 이러한 경우 자력 트랙(300)의 하측면 또는 측면에는 자력의 투과를 방지하는 재료가 구비될 수 있으나 상측면은 완전히 외부에 노출될 수 있다.
자력 모터(410, 420)는 주행부(121, 122)에 구비되고, 자력 트랙(300)에 대하여 변화하는 자력을 제공하여 주행부(121, 122)를 자력 트랙(300)의 길이 방향으로 이동시키기 위한 힘을 발생시키는 역할을 수행한다. 자력 모터(410, 420)는 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)에 각각 구비될 수 있다. 이하, 제1 주행부(121)에 구비된 자력 모터를 제1 자력 모터(410)라 하고, 제2 주행부(122)에 구비된 자력 모터를 제2 자력 모터(420)라 한다.
제1 자력 모터(410) 및 제2 자력 모터(420)는 독립적으로 동작할 수 있다. 즉, 제1 자력 모터(410)에 의한 자력 변화와 제2 자력 모터(420)에 의한 자력 변화가 독립적으로 수행될 수 있는 것이다. 이로 인해, 제1 자력 모터(410)와 제2 자력 모터(420)에 의한 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 이동 속도는 독립적으로 결정될 수 있다. 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 이동 속도가 동일하거나 서로 상이할 수 있는 것이다. 또한, 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 이동 방향이 동일하거나 서로 상이할 수도 있다.
자력 모터(410, 420)는 리니어 모터(Linear Motor)일 수 있다. 자력 모터(410, 420)는 영구 자석인 자력 트랙(300)에 대하여 변화하는 자력을 제공함으로써 자력 트랙(300)의 길이 방향에 평행한 힘을 발생시킬 수 있다. 리니어 모터에 대한 세부적인 사항은 본 발명은 범위를 벗어나므로 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
가이드 레일(500)은 자력 트랙(300)의 길이 방향에 평행하게 배치되어 주행부(121, 122)의 이동 경로를 제공하는 역할을 수행한다. 전술한 바와 같이, 주행부(121, 122)에는 가이드 블록(141, 142)이 구비될 수 있는데, 가이드 블록(141, 142)은 가이드 레일(500)에 이동 가능하도록 결합될 수 있다. 주행부(121, 122)에는 자력 트랙(300)과 자력 모터(410, 420)에 의하여 발생된 힘이 작용할 수 있는데, 해당 힘에 의하여 주행부(121, 122)는 가이드 레일(500)을 따라 이동하게 된다.
도 3은 도 2에 도시된 몸체부가 가이드 레일을 따라 이동하는 것을 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 몸체부(100)는 가이드 레일(500)을 따라 이동할 수 있다.
자력 트랙(300)을 향하여 변화하는 자력을 제공하는 자력 모터(410, 420)에 의하여 이동하는 힘이 자력 모터(410, 420)에 작용할 수 있다. 자력 모터(410, 420)에 작용한 힘의 방향은 자력 트랙(300)의 길이 방향에 평행할 수 있다. 가이드 레일(500)은 자력 트랙(300)의 길이 방향에 평행하게 배치될 수 있고, 자력 모터(410, 420)에 작용한 힘이 주행부(121, 122)에 전달되어 몸체부(100) 전체가 가이드 레일(500)을 따라 이동하게 된다.
몸체부(100)의 이동을 위하여 각 자력 모터(410, 420)는 동일한 방향의 힘을 발생시킬 수 있다. 각 자력 모터(410, 420)에 의하여 발생된 힘의 방향이 상이한 경우 지면에 대한 지지부(110)의 상승 또는 하강이 구현될 수 있다.
도 4는 도 2에 도시된 지지부가 지면에 대하여 상승하거나 하강하는 것을 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 지지부(110)는 지면(GR)에 대하여 상승하거나 하강할 수 있다.
제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)가 서로 근접하는 방향으로 이동하는 경우 지지부(110)는 지면(GR)에 대하여 상승하고, 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)가 서로 멀어지는 방향으로 이동하는 경우 지지부(110)는 지면(GR)에 대하여 하강할 수 있다. 지면(GR)에 대한 지지부(110)의 높이는 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 간격이 감소할수록 증가할 수 있다.
제1 링크(131) 및 제2 링크(132)는 지지부(110)에 대하여 회전 가능하도록 결합될 수 있다. 여기서, 지지부(110)에 대한 제1 링크(131)의 회전축(Ax1) 및 제2 링크(132)의 회전축(Ax2)은 동일 축상에 포함될 수 있다. 이하, 지지부(110)에 대한 제1 링크(131)의 회전축(Ax1) 및 제2 링크(132)의 회전축(Ax2)을 지지 회전축(Ax1, Ax2)이라 한다.
제1 링크(131) 및 제2 링크(132)는 각각 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)에 대하여 회전 가능하도록 결합될 수 있다. 이하, 제1 주행부(121)에 대한 제1 링크(131)의 회전축을 제1 주행 회전축(Bx1)이라 하고, 제2 주행부(122)에 대한 제2 링크(132)의 회전축을 제2 주행 회전축(Bx2)이라 한다.
지지 회전축(Ax1, Ax2), 제1 주행 회전축(Bx1) 및 제2 주행 회전축(Bx2)이 동일 평면상에 존재하는 경우 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122) 간의 거리 조절에 따른 지지부(110)의 높이 제어가 구현되지 못할 수 있다. 이에, 제1 주행 회전축(Bx1) 및 제2 주행 회전축(Bx2)을 포함하는 평면에서 지지 회전축(Ax1, Ax2)은 일정 거리만큼 이격될 수 있다. 예를 들어, 제1 주행부(121)와 제2 주행부(122)가 최대로 전개된 상태에서 지면(GR)에 대한 지지 회전축(Ax1, Ax2)의 높이(HA1, HA2)는 지면(GR)에 대한 제1 주행 회전축(Bx1) 및 제2 주행 회전축(Bx2)의 높이(HB1, HB2)에 비하여 높게 형성될 수 있다.
이로 인하여, 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)가 서로 근접하는 방향으로 이동하는 경우 지지부(110)가 지면(GR)에 대하여 상승할 수 있게 된다.
한편, 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)가 동일한 방향으로 이동하는 경우에도 지면(GR)에 대한 지지부(110)의 높이가 달라질 수 있는데, 도 5 내지 도 7을 통하여 이를 설명하기로 한다.
도 5 내지 도 7은 도 2에 도시된 주행부의 이동에 따른 지지부의 높이 변화를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 지지부(110)는 지면(GR)에 평행한 방향으로 이동할 수 있다.
제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)가 동일한 방향 및 동일한 속도로 이동하는 경우 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122) 간의 간격이 일정하게 유지되면서 지지부(110)는 지면(GR)에 대한 높이의 변화 없이 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 이동 방향으로 이동할 수 있다.
도 6을 참조하면, 지지부(110)는 지면(GR)에 평행한 방향으로 이동하면서 상승할 수 있다.
제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)가 동일한 방향으로 이동하면서 각 속도가 상이한 경우 지지부(110)는 지면(GR)에 평행한 방향으로 이동하면서 상승할 수 있다. 도 6은 제2 주행부(122)가 제1 주행부(121)에 비하여 앞서 이동하는 것을 도시하고 있다. 제2 주행부(122)의 속도가 제1 주행부(121)의 속도가 작은 경우 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 간격이 줄어들면서 지지부(110)는 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 이동 방향으로 이동하면서 지면(GR)에 대하여 상승할 수 있다.
도 7을 참조하면, 지지부(110)는 지면(GR)에 평행한 방향으로 이동하면서 하강할 수 있다.
제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)가 동일한 방향으로 이동하면서 각 속도가 상이한 경우 지지부(110)는 지면(GR)에 평행한 방향으로 이동하면서 하강할 수 있다. 도 7은 제2 주행부(122)가 제1 주행부(121)에 비하여 앞서 이동하는 것을 도시하고 있다. 제2 주행부(122)의 속도가 제1 주행부(121)의 속도가 큰 경우 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 간격이 늘어나면서 지지부(110)는 제1 주행부(121) 및 제2 주행부(122)의 이동 방향으로 이동하면서 지면(GR)에 대하여 하강할 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면, 기판 이송 장치(20)는 몸체부(600), 베이스 플레이트(700), 자력 트랙(800), 자력 모터(910, 920) 및 가이드 레일(1000)을 포함하여 구성된다.
몸체부(600)는 지지부(610), 주행부(621, 622), 링크(631, 632) 및 가이드 블록(641, 642)을 포함하여 구성된다. 몸체부(600), 베이스 플레이트(700), 자력 트랙(800), 자력 모터(910, 920) 및 가이드 레일(100)의 형태 및 기능은 전술한 몸체부(100), 베이스 플레이트(200), 자력 트랙(300), 자력 모터(410, 420) 및 가이드 레일(500)의 형태 및 기능과 동일하거나 유사하므로 이하 차이점을 위주로 설명하기로 한다.
제1 주행부(621) 및 제2 주행부(622)는 길이가 동일할 수 있다. 지지부(610)는 제1 주행부(621) 및 제2 주행부(622)의 사이에 배치되고, 제1 링크(631) 및 제2 링크(632)는 지지부(610)와 제1 주행부(621) 및 제2 주행부(622)를 연결할 수 있다.
지지부(610)는 가이드 레일(1000)의 상부에 배치되고, 제1 주행부(621) 및 제2 주행부(622)에 의한 힘이 안정적으로 지지부(610)에 전달될 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10, 20: 기판 이송 장치 100, 600: 몸체부
110, 610: 지지부 121, 621: 제1 주행부
122, 622: 제2 주행부 131, 631: 제1 링크
132, 632: 제2 링크 141, 142, 641, 642: 가이드 블록
200, 700: 베이스 플레이트 300, 800: 자력 트랙
410, 910: 제1 자력 모터 420, 920: 제2 자력 모터
500, 1000: 가이드 레일

Claims (7)

  1. 지지부;
    일측으로 길게 형성되고, 길이 방향으로 서로 다른 극성의 자력을 번갈아 가면서 제공하는 자력 트랙;
    변화하는 자력을 제공하고, 각각 독립되어 결정된 속도로 상기 자력 트랙의 길이 방향으로 이동 가능한 제1 및 제2 주행부; 및
    일측이 상기 지지부에 회전 가능하도록 결합되고, 타측이 상기 제1 및 제2 주행부에 회전 가능하도록 각각 결합된 제1 및 제2 링크를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 주행부는 상기 자력 트랙에 변화하는 자력을 제공하여 상기 제1 및 제2 주행부를 이동시키기 위한 힘을 발생시키는 자력 모터를 각각 포함하는 기판 이송 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 자력 모터는 리니어 모터(Linear Motor)를 포함하는 기판 이송 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 지지부에 대한 상기 제1 및 제2 링크의 회전축은 상기 제1 및 제2 주행부에 대한 상기 제1 및 제2 링크의 회전축에 비하여 지면에서 높게 형성되는 기판 이송 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 자력 트랙의 길이 방향에 평행하게 배치되어 상기 주행부의 이동 경로를 제공하는 가이드 레일을 더 포함하는 기판 이송 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 지지부는 기판 또는 카세트를 지지하는 기판 이송 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부가 서로 근접하는 방향으로 이동하는 경우 상기 지지부는 지면에 대하여 상승하고,
    상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부가 서로 멀어지는 방향으로 이동하는 경우 상기 지지부는 지면에 대하여 하강하는 기판 이송 장치.
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