KR20200145222A - 박막형 압전진동 센서 및 이를 이용한 골전도 마이크 - Google Patents

박막형 압전진동 센서 및 이를 이용한 골전도 마이크 Download PDF

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주식회사 아모센스
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Abstract

박막형 압전진동 센서 및 이를 이용한 골전도 마이크가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 압전진동 센서는 가요성을 가지고 미세기공을 갖는 다공성기재로 형성되고, 미세기공의 적어도 일부에 압전소재를 포함하는 판상의 압전박막, 및 다공성기재의 양면에 형성되는 한 쌍의 전극을 포함한다.

Description

박막형 압전진동 센서 및 이를 이용한 골전도 마이크{Thin type piezoelectric sensor and bone conduction microphone using the same}
본 발명은 압전진동 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 박막화와 가요성을 동시에 만족하는 박막형 압전진동 센서 및 이를 이용한 골전도 마이크에 관한 것이다.
종래의 마이크는 노이즈 상황에서 음향 노이즈를 제거하기 위하여 다수의 마이크로폰을 기반으로 한 신호 처리를 이용하여 빔 성형(Beam-former)이나 노이즈 감소 기술을 사용한다. 최근에는, 보다 나은 음성 품질을 확보하기 위하여 가속도 센서와 다수의 마이크로폰을 기반으로 한 신호처리를 이용하고 있다.
그러나 종래와 같이 다수의 마이크로폰을 사용하는 경우, 가격 경쟁력이 떨어지며, 소비 전류가 상승하여 배터리 사용에 제한적이다. 또한, 가속도 센서를 이용하여 진동을 픽업(pickup)하는 경우는 가속도 센서가 PCB에 실장되기 때문에 진동 픽업에 한계가 있다. 따라서 매우 낮은 수준의 음성 신호만을 생성하기 때문에 독립적인 사용이 불가능하게 된다.
KR 10-0958106 B1 (2010.05.07 등록)
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 귓속에서 발생하는 진동에 의해 주변 노이즈에 상관없이 음성 신호만을 전달할 수 있는 박막형 압전진동 센서 및 이를 이용한 골전도 마이크를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 귀 내부와 접촉되는 부위에 적용하여 노이즈 제거를 위한 부가적인 수단을 생략할 수 있는 박막형 압전진동 센서 및 이를 이용한 골전도 마이크를 제공하는데 다른 목적이 있다.
상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 가요성을 가지고 미세기공을 갖는 다공성기재로 형성되고, 상기 미세기공의 적어도 일부에 압전소재를 포함하는 판상의 압전박막; 및 상기 다공성기재의 양면에 형성되는 한 쌍의 전극을 포함하는 박막형 압전진동 센서를 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 다공성기재는 합성 고분자를 포함하는 나노섬유가 미세기공을 갖도록 구성된 나노 섬유웹일 수 있다.
이때, 상기 다공성기재는 상기 합성 고분자 및 용매가 혼합된 방사용액을 전기방사하여 제조될 수 있다. 여기서, 상기 용매는 물, 알코올, 유기 용매 및 적어도 하나를 포함할 수 있다.
또한, 상기 합성 고분자는 폴리우레탄(polyurethane), 폴리스티렌(polystylene), 폴리비닐알코올(polyvinylalchol), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate), 폴리락트산(polylactic acid), 폴리에틸렌옥사이드(polyethyleneoxide), 폴리비닐아세테이트(polyvinyl acetate), 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리카프로락톤(polycaprolactone), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile), 폴리비닐피롤리돈(polyvinylpyrrolidone), 폴리염화비닐(polyvinylchloride), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리이더이미드(polyetherimide), 폴리이더술폰(polyesthersulphone), 폴리벤지미다졸(polybenzimidazol), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리부틸렌테레프탈레이트(polybutylene terephthalate) 및 불소계화합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 화합물을 포함할 수 있다.
이때, 상기 불소계 화합물은 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)계, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(PFA)계, 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP)계, 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(EPE)계, 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ETFE)계, 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE)계, 클로로트리플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ECTFE)계 및 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF)계로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 화합물을 포함할 수 있다.
또한, 상기 압전소재는 압전 파우더 또는 압전 세라믹을 포함할 수 있다.
또한, 상기 한 쌍의 전극 각각은 상기 압전박막에 직접 형성될 수 있다. 이때, 상기 한 쌍의 전극은 상기 미세기공에 도전성물질을 충진하여 형성될 수 있다. 여기서, 상기 압전소재는 상기 미세기공에 충진된 도전성물질에 포함될 수 있다.
또한, 상기 박막형 압전진동 센서는 상기 한 쌍의 전극 상에 각각 구비되는 차폐층을 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명은 박막형 압전진동 센서; 일부가 인체의 귀 내부에 접촉되도록 곡선 형상을 갖는 케이스; 및 귀 내부에 접촉되는 위치에 구비되어 상기 박막형 압전진동 센서를 상기 케이스에 결합하는 도전성 접착층을 포함하는 골전도 마이크를 제공한다.
여기서, 상기 박막형 압전진동 센서는 상술한 바와 같은 구조 및 특성을 갖는 다양한 실시예의 박막형 압전진동 센서가 바람직하게 이용될 수 있다.
본 발명에 의하면, 압전박막에 가요성을 확보하여 귀 내부와 접촉되는 부위에 적용함으로써, 귓속에서 발생하는 진동만으로 음성 신호를 전달할 수 있으므로 주변 노이즈에 무관하여 안정적인 통화 품질을 확보할 수 있다.
또한, 본 발명은 가요성 압전박막을 내부와 접촉되는 부위에 적용함으로써, 노이즈 제거를 위한 부가적인 수단을 생략할 수 있으므로, 제품의 생산 단가를 감소시켜 경제성을 향상시키실 수 있고, 제품의 소형화는 물론 및 디자인 부담의 경감을 보장할 수 있다.
또한, 본 발명은 압전진동 센서를 귀 내부에 밀착시켜 귓속의 진동과 전기신호의 변환을 안정적으로 제공함으로써, 성대의 손상이나 결손이 있는 사용자에 적용 가능하므로 의료용 등의 다양한 애플리케이션으로 확대 적용할 수 있다.
또한, 본 발명은 압전박막이 소모전류가 매우 낮으므로 배터리 소모량을 최소화할 수 있고, 따라서 사용편의성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 압전진동 센서를 구비한 골전도 마이크의 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 압전진동 센서를 구비한 골전도 마이크가 귓속에 착용된 상태를 도시한 단면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 압전진동 센서의 사시도,
도 4는 도 3의 박막형 압전진동 센서의 단면도, 그리고,
도 5는 도 3의 압전박막 및 전극의 확대도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부가한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 압전진동 센서를 구비한 골전도 마이크(10)는 케이스(11) 및 박막형 압전진동 센서(100)를 포함한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 골전도 마이크(10)는 TWS(True Wireless Stereo) 타입으로 인체의 귀 내부에 삽입되지 않고 귀 외부로 노출되는 부분을 최소화한 형태를 갖는다.
케이스(11)는 일부가 인체의 귀(1) 내부에 삽입되어 연골(2)에 접촉되도록 곡선 형상을 갖는다. 일례로, 케이스(11)는 귀(1) 내부에 삽입되는 제1부분(11a) 및 귀(1) 외부로 노출되는 제2부분(11b)을 포함한다.
제1부분(11a)은 귀(1) 내부에 삽입되어 고정되도록 단면상 전체적으로 볼록한 곡선을 갖는다. 제1부분(11a)은 제2부분(11b)과 연결되는 일측은 잘록하게 형성되고, 귀(1)에 삽입되는 타측은 일측보다 큰 곡률로 형성될 수 있다. 제1부분(11a)은 박막형 압전진동 센서(100) 및 회로부가 구비될 수 있다.
제2부분(11b)은 제1부분(11a)으로부터 직선형으로 연장형성된다. 제2부분(11b)은 전원을 공급하는 충전 가능한 배터리 및 무선 데이터 전송을 위한 통신용 안테나가 구비될 수 있다.
박막형 압전진동 센서(100)는 귀(1) 내부에서 연골(2)에 접촉되는 위치에 구비된다. 일례로, 박막형 압전진동 센서(100)는 제1부분(11a)의 상단에 구비될 수 있다. 이때, 박막형 압전진동 센서(100)는 도전성 접착층을 통하여 케이스(11)의 제1부분(11a)의 상단에 결합된다.
또한, 박막형 압전진동 센서(100)는 가요성을 가지며, 귀(1)에서 발생하는 진동(3)을 픽업(pickup)하여 전기 신호로 변환할 수 있다. 여기서, 전기 신호는 음성에 대응하는 신호일 수 있다.
이와 같이 구성된 골전도 마이크(10)는 박막형 압전진동 센서(100)를 이용하여 귓속 진동 에너지를 음성 신호로 변환할 수 있다.
보다 구체적으로, 사람이 말을 할 때 귀(1) 내부의 고막과 뼈 또는 연골(2)에서 진동(3)이 발생한다. 이때, 골전도 마이크(10)에 부착된 박막형 압전진동 센서(100)를 통하여 각 기관에서 발생한 진동(3)을 픽업(pickup)한다.
다음으로, 박막형 압전진동 센서(100)에 의해 귀(1) 내부에 발생한 진동에너지가 전기에너지로 변환한다. 여기서, 제1부분(11a)에 구비되는 회로부는 필터, 앰프 및 임피던스 매칭부를 포함할 수 있다. 상기 필터를 통하여 음성 명료도가 조정되고, 상기 앰프를 통하여 출력 레벨이 제어되며, 상기 임피던스 매칭부를 통하여 연결되는 휴대용 전자기기와 정합될 수 있다.
다음으로, 골전도 마이크(10)는 무선으로 변환된 전기 신호를 전달한다. 이때, 골전도 마이크(10)는 휴대용 전자기기와 페어링될 수 있다. 일례로, 골전도 마이크(10)는 블루투스 방식으로 휴대용 전자기기로 전기 신호를 전달할 수 있다. 여기서, 휴대용 전자기기는 스마트폰일 수 있지만 이에 한정되지 않고 마이크 입력이 요구되는 전지기기일 수 있다.
이와 같이, 골전도 마이크(10)는 박막형 압전진동 센서(100)에 의해 귀(1) 내부에서 발생하는 진동(3)을 이용하여 음성에 대응하는 전기 신호로 변환하기 때문에, 공기의 진동으로 전달되는 외부의 음향 노이즈 성분에 영향을 받지 않고 신호를 전달할 수 있다.
즉, 골전도 마이크(10)는 소리에 반응하지 않고 진동에만 반응하기 때문에, 시끄러운 노이즈 환경에서도 음향 노이즈에 영향을 받지 않으므로 안정적인 통화 품질을 확보할 수 있다.
또한, 골전도 마이크(10)는 종래와 같이 잡음 제거를 위한 신호처리를 사용하지 않기 때문에, 신호처리에 필요한 MCU나 전용 칩셋이 필요하지 않으며, 신호처리를 위한 다수개의 마이크로폰도 필요하지 않아 부품의 개수를 대폭 줄일 수 있다. 따라서 제품의 생산 단가를 감소시켜 가격 경쟁력을 높일 수 있는 동시에, 제품의 소형화를 보장할 수 있다. 또한, 생략된 부품 수만큼 케이스(11) 내부의 공간을 확보할 수 있기 때문에 디자인 부담을 경감할 수 있다.
또한, 골전도 마이크(10)는 상술한 바와 같이 많은 부품을 생략할 수 있을 뿐만 아니라 소모전류가 낮은 박막형 압전진동 센서(100)를 이용하기 때문에 전체적인 소비전력을 감소시킬 수 있다. 따라서 소비전력의 최소화를 통해 배터리의 사용시간을 증가시킬 수 있으므로 TWS 타입과 같은 소형 제품에 대한 사용편의성을 향상시킬 수 있다.
또한, 골전도 마이크(10)는 가요성을 갖는 박막형 압전진동 센서(100)를 이용하여 귀(1) 내부의 진동(3)을 픽업하기 때문에, 종래의 가속도 센서를 이용하여 진동을 픽업하는 경우에 비하여 진동 픽업의 성능을 보장할 수 있다. 즉, 종래의 가속도 센서는 회로기판에 실장되는 형태이기 때문에 진동 픽업의 한계가 있는 반면, 본 발명의 골전도 마이크(10)는 박막형 압전진동 센서(100)가 귀(1)의 내부의 구조, 특히 연골(2)의 형태에 맞게 밀착될 수 있으므로 진동 픽업의 성능이 향상될 수 있다.
또한, 골전도 마이크(10)는 귀(1) 내부의 진동(3)만을 이용하여 음성 신호로 변환하기 때문에, 성대의 손상이나 결손이 있는 사용자에게도 적용이 가능하므로 의료 분야로의 확대도 가능하다.
또한, 골전도 마이크(10)는 박막형 압전진동 센서(100)의 기능을 역으로 이용하여 스피커 기능을 구비할 수 있다. 이때, 회로부는 진동을 음성의 전기 신호로 변환하는 마이크 기능과 음성의 전기신호를 진동으로 변환하는 스피커 기능을 소프트웨어에 의해 구분할 수 있다. 이에 의해 박막형 압전진동 센서(100)는 보청기 등의 다양한 애플리케이션에 적용될 수 있다.
도 3을 참조하면, 박막형 압전진동 센서(100)는 귀(1) 내부의 조직 또는 기관에 의한 미세 진동(3)을 검출하기 위한 것으로, 압전박막(110) 및 한 쌍의 전극(120)을 포함한다.
압전박막(110)은 가요성을 갖는다. 이를 통해 골전도 마이크(10)와 같이 박막형 압전진동 센서(100)를 적용하는 기구의 형태에 맞추어 도전성 접착층을 통해 결합하여 사용할 수 있다. 또한, 박막형 압전진동 센서(100)가 귀(1) 내부에 삽입되는 경우, 연골(2)에 밀착되어 접촉 면적을 넓게 할 수 있으므로 연골(2)로부터 발생하는 미세 진동의 픽업량을 증가시킬 수 있다.
이를 위해 압전박막(110)은 미세기공을 갖는 다공성기재로 형성되고 판상을 갖는다.
일례로, 상기 다공성기재는 천, 직물, 부직포, 다공성필름, 멤브레인 등일 수 있다. 그러나 상기 다공성기재를 상술한 재질로 한정하는 것은 아니며, 가요성을 가지면서도 소정 크기의 기공이 형성된 것이라면 제한 없이 사용될 수 있다.
구체적인 일례로서, 압전박막(110)은 도 5에 도시된 바와 같이 합성 고분자를 포함하는 나노섬유(111)가 미세기공(112)을 갖도록 3차원 네트워크 구조로 축적된 나노 섬유웹일 수 있다.
비제한적인 일례로서, 압전박막(110)은 합성 고분자 및 용매가 혼합된 방사용액을 전기방사하여 미세기공(112)을 갖도록 축적된 단층 또는 다층의 나노 섬유웹일 수 있다. 여기서, 상기 용매는 물이나 알코올일 수도 있고, 물이나 알코올 이외에 디메틸아세트아미드(Dimethylacetamide)나 아세톤(Acetone)과 같은 유기 용매가 단독으로 사용되거나 서로 혼합된 형태일 수도 있다.
이때, 상기 합성 고분자는 가요성을 가지면서도 전기방사를 통하여 나노 섬유웹을 구현할 수 있는 섬유성형성 고분자일 수 있다.
구체적인 일예로서, 상기 합성 고분자는 폴리우레탄(polyurethane), 폴리스티렌(polystylene), 폴리비닐알코올(polyvinylalchol), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate), 폴리락트산(polylactic acid), 폴리에틸렌옥사이드(polyethyleneoxide), 폴리비닐아세테이트(polyvinyl acetate), 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리카프로락톤(polycaprolactone), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile), 폴리비닐피롤리돈(polyvinylpyrrolidone), 폴리염화비닐(polyvinylchloride), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리이더이미드(polyetherimide), 폴리이더술폰(polyesthersulphone), 폴리벤지미다졸(polybenzimidazol), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리부틸렌테레프탈레이트(polybutylene terephthalate) 및 불소계화합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 화합물을 포함할 수 있다.
또한, 상기 불소계화합물은 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)계, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(PFA)계, 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP)계, 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(EPE)계, 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ETFE)계, 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE)계, 클로로트리플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ECTFE)계 및 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF)계로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 화합물을 포함할 수 있다.
바람직하게는 상기 합성 고분자는 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF)일 수 있다.
또한, 압전박막(110)은 미세기공(112)의 적어도 일부에 압전소재(113)를 포함할 수 있다. 구체적인 일예로서, 압전소재(113)는 압전 파우더 또는 압전 세라믹을 포함할 수 있다.
이때, 압전소재(113), 특히, 압전 파우더는 나노섬유(111)를 제조하기 위해 합성 고분자 및 용매가 혼합된 방사용액의 전기방사와 동시에 투입될 수 있다. 여기서, 압전소재(113)는 압전박막(110) 내에 균일하게 분포될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 압전소재(113)는 미세기공(112)에 함유될 수 있다. 이를 통해 압전박막(110)은 판상의 전체에 걸쳐 그 두께 방향을 따라 압전 기능을 가질 수 있다.
보다 구체적으로, 압전박막(110)이 귀(1) 내부에 접촉된 상태에서 진동이 발생하면, 귀(1)에서 발생한 진동이 나노섬유(111)를 통해 압전소재(113)에 전달된다. 이때, 압전박막(110) 내부의 압전소재(113)는 이 진동에 따라 전압을 발생할 수 있다. 따라서 압전박막(110)은 진동을 전기신호로 변환할 수 있다.
한 쌍의 전극(120) 각각은 다공성기재의 양면에 형성된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 전극(120)은 압전박막(110)의 양면에 형성될 수 있다.
이때, 한 쌍의 전극(120)은 도 5에 도시된 바와 같이, 도전성 물질이 프린팅 방식을 통하여 나노섬유(111)의 미세기공(112)을 충진하도록 압전박막(110)에 직접 형성되는 인쇄패턴일 수 있다.
즉, 한 쌍의 전극(120)은 도전성 페이스트를 이용한 프린팅 방식을 통해 압전박막(110), 보다 구체적으로는 나노섬유(111)로 이루어진 다공성기재에 직접 형성된 인쇄패턴일 수 있다. 이때, 도전성 페이스트는 압전박막(110)의 표면과 더블어 나노섬유(111) 사이에 형성된 미세기공(112)을 완전히 충진하거나 부분적으로 충진될 수 있다. 여기서, 도전성 페이스트는 Ag 페이스트일 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니며 공지의 도전성 페이스트가 모두 적용될 수 있다.
선택적으로, 압전소재(113)는 미세기공(112)에 충진된 도전성물질에 포함될 수 있다. 즉, 압전 파우더는 미세기공(112)에 충진되는 도전성페이스트와 혼합될 수 있다. 이에 의해, 압전소재(113)는 미세기공(112) 내에 안정적으로 형성되는 동시에 한 쌍의 전극(120)과 연결될 수 있다.
이를 통해, 한 쌍의 전극(120)은 압전박막(110)의 표면에 형성되는 동시에 미세기공(112)에 형성되는 압전소재(113)와 전기적으로 연결될 수 있다.
한편, 박막형 압전진동 센서(100)는 전기신호를 진동으로 변환할 수 있다. 즉, 전극(120)을 통해 압전박막(110)에 전기신호가 인가되면, 나노섬유(111)의 미세기공(112)에 포함된 압전소재(113)에 전달된다. 이때, 압전소재(113)는 이 전기신호에 따라 진동을 발생할 수 있다. 따라서 압전박막(110)은 스피커로 기능할 수 있다. 이에 의해, 박막형 압전진동 센서(100)는 마이크와 동시에 이어폰에도 적용할 수 있다.
이와 같은 박막형 압전진동 센서(100)는 상술한 바와 같은 골전도 마이크(10) 이외에도, 적용되는 기구 형태 및 동작 성능 개선, 양선성에 따라 부품의 형태나, 부품의 추가 구성을 변경하여 적용할 수 있다.
이때, 박막형 압전진동 센서(100)는 기구의 적용성에 따라 일자형, 환형, 기타 기구에 맞는 형태로 가공할 수 있다.
또한, 박막형 압전진동 센서(100)는 가요성을 갖기 때문에 귀(1) 내부의 조직에 접촉되는 면적을 높일 수 있으므로 진동의 픽업 및 진동 발생이 가능하여 하나의 부품으로 마이크와 스피커로 구현할 수 있다.
이때, 하나의 박막형 압전진동 센서(100)를 이용하여 마이크와 이어폰을 동시에 구현하기 위해, 사용자의 음성 신호와 관련된 진동에 대하여 마이크로서 기능하고, 외부에서 공급되는 신호에 대하여 스피커로서 기능하도록 소프트웨어로 처리될 수 있다. 이에 의해 박막형 압전진동 센서(100)는 다양한 애플리케이션으로 확대하여 적용할 수 있다.
한편, 박막형 압전진동 센서(100)는 차폐층(130)을 더 포함할 수 있다. 또한, 차폐층(130)은 한 쌍의 전극(120) 상에 각각 구비될 수 있다. 여기서, 차폐층(130)은 전자파를 차단하기 위한 재료로 이루어질 수 있다.
이를 통해, 박막형 압전진동 센서(100)는 미세한 진동을 전기신호로 변환하거나, 전기신호를 진동으로 변환하는 과정에서 주변의 전자파 노이즈를 차단할 수 있다. 따라서 박막형 압전진동 센서(100)는 제품의 성능을 안정적으로 보장할 수 있다.
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
10 : 골전도 마이크 11 : 케이스
100 : 박막형 압전진동 센서 110 : 압전박막
111 : 나노섬유 112 : 미세기공
113 : 압전소재 120 : 전극
130 : 차폐층

Claims (12)

  1. 가요성을 가지고 미세기공을 갖는 다공성기재로 형성되고, 상기 미세기공의 적어도 일부에 압전소재를 포함하는 판상의 압전박막; 및
    상기 다공성기재의 양면에 형성되는 한 쌍의 전극을 포함하는 박막형 압전진동 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다공성기재는 합성 고분자를 포함하는 나노섬유가 미세기공을 갖도록 구성된 나노 섬유웹인 박막형 압전진동 센서.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 다공성기재는 상기 합성 고분자 및 용매가 혼합된 방사용액을 전기방사하여 제조되는 박막형 압전진동 센서.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 용매는 물, 알코올, 유기 용매 및 적어도 하나를 포함하는 박막형 압전진동 센서.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 합성 고분자는 폴리우레탄(polyurethane), 폴리스티렌(polystylene), 폴리비닐알코올(polyvinylalchol), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate), 폴리락트산(polylactic acid), 폴리에틸렌옥사이드(polyethyleneoxide), 폴리비닐아세테이트(polyvinyl acetate), 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리카프로락톤(polycaprolactone), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile), 폴리비닐피롤리돈(polyvinylpyrrolidone), 폴리염화비닐(polyvinylchloride), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리이더이미드(polyetherimide), 폴리이더술폰(polyesthersulphone), 폴리벤지미다졸(polybenzimidazol), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리부틸렌테레프탈레이트(polybutylene terephthalate) 및 불소계화합물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 화합물을 포함하는 박막형 압전진동 센서.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 불소계 화합물은 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)계, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(PFA)계, 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP)계, 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌-퍼플루오로알킬 비닐 에테르 공중합체(EPE)계, 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ETFE)계, 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE)계, 클로로트리플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ECTFE)계 및 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF)계로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 화합물을 포함하는 박막형 압전진동 센서.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 압전소재는 압전 파우더 또는 압전 세라믹을 포함하는 박막형 압전진동 센서.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 전극 각각은 상기 압전박막에 직접 형성되는 박막형 압전진동 센서.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 한 쌍의 전극은 상기 미세기공에 도전성물질을 충진하여 형성되는 박막형 압전진동 센서.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 압전소재는 상기 미세기공에 충진된 도전성물질에 포함되는 박막형 압전진동 센서.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 전극 상에 각각 구비되는 차폐층을 더 포함하는 박막형 압전진동 센서.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 박막형 압전진동 센서;
    일부가 인체의 귀 내부에 접촉되도록 곡선 형상을 갖는 케이스; 및
    귀 내부에 접촉되는 위치에 구비되어 상기 박막형 압전진동 센서를 상기 케이스에 결합하는 도전성 접착층을 포함하는 골전도 마이크.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113952505A (zh) * 2021-09-18 2022-01-21 广东省华源康泰生物科技有限责任公司 一种促成血管的纳米介孔的复合柔性膜材料的制备方法

Citations (1)

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KR100958106B1 (ko) 2006-08-02 2010-05-17 정기삼 골전도 스피커 및 넥마이크를 구비한 다기능 헤드셋

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