KR20200141309A - 밸브 조립체 - Google Patents

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KR20200141309A KR1020190068189A KR20190068189A KR20200141309A KR 20200141309 A KR20200141309 A KR 20200141309A KR 1020190068189 A KR1020190068189 A KR 1020190068189A KR 20190068189 A KR20190068189 A KR 20190068189A KR 20200141309 A KR20200141309 A KR 20200141309A
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Abstract

본 발명은 밸브 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유체의 이동 경로 상에 배치되어 유체의 이동을 제어하기 위한 밸브 조립체에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체는 복수 개의 밸브; 및 내부에 유체가 이동할 수 있는 유로가 형성되어, 상기 복수 개의 밸브와 결합되는 유체 이동 블록;을 포함하고, 상기 복수 개의 밸브는 상호 병렬로 연결되도록 상기 유로에 연통된다.

Description

밸브 조립체{VALVE ASSEMBLY}
본 발명은 밸브 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유체의 이동 경로 상에 배치되어 유체의 이동을 제어하기 위한 밸브 조립체에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서는 다양한 박막을 기판 상에 증착시키기 위하여 화학 기상 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition; CVD) 기술을 이용한 박막 증착 장치가 사용된다.
최근에는, 이와 같은 박막 증착 장치에서 금속 화합물이 박막 증착을 위한 원료로 많이 사용되고 있다. 박막 증착을 위한 금속 화합물은 낮은 증기압을 가져 대부분 상온에서 액체 상태로 존재하게 된다. 그러나, 박막 증착 장치에서 기판 상에 박막을 증착시키기 위하여는 원료 물질을 기체 상태에서 기판 상에 공급하여야 하므로, 액체 상태의 원료 물질을 기화시키기 위한 기화기를 박막 증착 장치의 전단에 구비한다.
여기서, 기화기를 박막 증착 장치의 전단에 구비하는 경우, 기화기와 박막 증착 장치 사이에는 액체 원료가 기화된 원료 가스의 이동을 단속하기 위한 밸브가 설치된다.
일반적으로, 기화기와 박막 증착 장치 사이에 설치되는 밸브는 구조가 간단하고, 원료 가스를 격리시켜 오염 문제가 발생하지 않을 뿐만 아니라, 보수가 용이한 다이아프램(diaphragm) 밸브가 사용된다. 그러나, 다이아프램 밸브의 경우 밸브가 완전히 개방된 상태에서도 다이아프램 자체의 소재 및 구조적인 문제로 인하여 상대적으로 낮은 유량 계수 값을 가진다.
이처럼 낮은 유량 계수 값을 가지는 다이아프램 밸브를 사용하는 경우, 기화기로부터 밸브로 연결되는 배관의 내부 압력은 증가하게 되며, 이와 같은 내부 압력의 상태 변동은 원료 물질의 기화 효율을 저하시킬 뿐만 아니라, 기화기에 의하여 기화된 원료 물질이 배관 내에서 다시 액화되는 문제점을 야기한다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 원료 물질이 이동하는 배관의 온도를 증가시키는 방법도 고려될 수 있지만, 이 경우 열적으로 불안정한 원료 물질이 열분해되어 화학적으로 변질되고, 열분해 생성물 및 중합물이 배관 내에 퇴적되어 유로가 폐색되는 등 보다 심각한 문제점을 발생시키게 된다.
KR 10-2001-0030372 A
본 발명은 배관 내에서의 압력 증가를 방지하여 원료 물질의 기화 효율을 향상시킬 수 있는 밸브 조립체를 제공한다.
본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체는 복수 개의 밸브; 및 내부에 유체가 이동할 수 있는 유로가 형성되어, 상기 복수 개의 밸브와 결합되는 유체 이동 블록;을 포함하고, 상기 복수 개의 밸브는 상호 병렬로 연결되도록 상기 유로에 연통된다.
상기 유로는 상기 유체가 공급되기 위한 유체 공급구로부터 상기 유체가 배출되기 위한 유체 배출구 사이에서 복수 개로 분기되며, 상기 복수 개의 밸브는 상기 복수 개로 분기된 유로에 각각 배치될 수 있다.
상기 복수 개의 밸브는 상기 유체 이동 블록에 각각 탈착 가능하게 결합될 수 있다.
상기 복수 개의 밸브는 제1 방향을 따라 배열되고, 상기 유체 이동 블록은 상기 제1 방향을 따라 연장 형성되며, 상기 제1 방향을 따른 유체 이동 블록의 일면에는 상기 유체 공급구가 형성되고, 상기 제1 방향을 따른 유체 이동 블록의 타면에는 상기 유체 배출구가 형성될 수 있다.
상기 유로는, 상기 유체 공급구와 연결되어 상기 제1 방향을 따라 연장되는 유체 공급로; 상기 유체 공급로와 상기 복수 개의 밸브에 각각 형성되는 유체 유입구를 연결하는 복수 개의 제1 연결로; 상기 유체 배출구와 연결되어 상기 제1 방향을 따라 연장되는 유체 배출로; 및 상기 유체 배출로와 상기 복수 개의 밸브에 각각 형성되는 유체 배출구를 연결하는 복수 개의 제2 연결로;를 포함할 수 있다.
상기 유체 공급구 및 유체 배출구는 상기 제1 방향을 따라 중첩되도록 배치될 수 있다.
상기 유체 공급구 및 유체 배출구는 상기 유체 이동 블록의 일면 및 타면의 중심부에 각각 위치할 수 있다.
상기 유로는, 상기 제1 방향을 따라 상기 유체 배출로와 유체 배출구에 각각 중첩되어, 상기 유체 배출로와 유체 배출구를 연통시키는 중공부;를 더 포함할 수 있다.
상기 유체 이동 블록은, 상기 유체 공급구와 연통되는 내부 공간을 가지며, 상기 제1 방향을 따라 상기 유체 이동 블록의 일면으로부터 외측으로 연장 형성되는 유체 공급관; 및 상기 유체 배출구와 연통되는 내부 공간을 가지며, 상기 제1 방향을 따라 상기 유체 이동 블록의 타면으로부터 외측으로 연장 형성되는 유체 배출관;을 더 포함할 수 있다.
상기 복수 개의 밸브는 동일한 유량 계수를 가지는 다이아프램 밸브를 포함할 수 있다.
상기 복수 개의 밸브는, 상기 유체 공급구에 연결되는 배관의 내부 압력과 상기 유체 배출구에 연결되는 배관의 내부 압력의 비가 1:1 내지 2:1의 범위 내의 값을 가지는 개수로 마련되어 상기 유체 이동 블록에 결합될 수 있다.
상기 유체 이동 블록에 삽입되어 상기 유체 이동 블록을 가열시키기 위한 히터;를 더 포함할 수 있다.
상기 유체 이동 블록에 삽입되어 상기 히터로부터 가열되는 상기 유체 이동 블록의 온도를 측정하기 위한 온도 측정기;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체에 의하면, 복수 개의 밸브를 병렬로 연결함으로써 유체 이동 경로의 단면적 감소에 따른 밸브 조립체 전단의 압력 증가를 효과적으로 방지할 수 있다.
이에 의하여, 원료 물질로 증기압이 낮고 열적으로 불안정한 금속 화합물을 사용하는 경우에도 기화 효율을 향상시킬 수 있으며, 액체 원료 자체가 열분해되어 화학적으로 변질되는 것을 방지하고, 열분해 생성물 및 중합물이 배관 내에 퇴적되어 유로가 폐색되는 것을 예방할 수 있다.
또한, 복수 개의 밸브와 내부에 유로가 형성되는 유체 이동 블록의 결합에 의하여 복수 개의 밸브를 병렬로 연결함에 따라 조립 및 분리가 용이한 간단한 구조를 가질 수 있게 되고, 설비의 유지 및 보수가 용이한 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 박막 증착 시스템을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 복수 개의 밸브의 연결 구조를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체를 개략적으로 나타내는 도면.
도 4는 도 3에 도시된 밸브 조립체를 A-A' 방향으로 자른 단면의 모습을 나타내는 도면.
도 5는 도 3의 밸브 조립체가 분해된 모습을 개략적으로 나타내는 도면.
도 6은 도 5에 도시된 유체 이동 블록을 B-B' 방향으로 자른 단면의 모습을 나타내는 도면.
도 7은 도 5에 도시된 유체 이동 블록을 C-C' 방향으로 자른 단면의 모습을 나타내는 도면.
도 8은 개방되는 밸브의 개수에 따른 배관 내의 압력 변화를 나타내는 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 발명을 상세하게 설명하기 위해 도면은 과장되어 도시될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 박막 증착 시스템을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 박막 증착 시스템은 액체 상태의 원료 물질을 공급받아 기체 상태로 기화시키기 위한 기화기(20), 상기 기화기(20)에 연결되어 기화된 원료 물질을 제공받아 기판 상에 박막을 증착하기 위한 박막 증착 장치(30), 상기 박막 증착 장치(30)에 연결되어 상기 박막 증착 장치(30) 내부의 처리 공간을 진공 상태로 형성하기 위한 진공 펌프(40) 및 상기 기화기(20)와 박막 증착 장치(30) 사이에 설치되어 기화된 원료 물질의 이동을 제어하기 위한 밸브 조립체(10)를 포함한다.
종래의 경우에도 기화기(20)와 박막 증착 장치(30) 사이에는 밸브가 설치되어 기화된 원료 물질, 즉 유체의 이동을 단속하였다. 일반적인 밸브의 경우 내부 공간의 크기와 구조에 따라 제한된 유량 계수(Cv)를 가진다. 여기서, 유량 계수(Cv)란 유체 흐름을 허용할 때의 효율을 상대적으로 측정한 값으로, 하기의 수학식 1과 같이 표현될 수 있다.
[수학식 1]
Figure pat00001
여기서, Q는 유량 비율로 분(min)당 이동하는 유체의 부피를 갤런(gallon) 단위로 표기한 의미하며, SG는 유체의 비중, ΔP는 밸브를 경유함으로써 발생하는 압력 강하 값(P1-P2)을 의미한다. 보다 실제적인 용어로, 유량 계수(Cv)는 1 psi의 압력 강하가 있는 밸브를 경유하여 분(min)당 흐르는 갤런(gallon) 단위의 60℉의 물의 부피를 말한다.
상기 수학식 1에 나타난 바와 같이, 밸브의 압력 강하 값(P1-P2)과 유량 계수(Cv)는 반비례 관계를 가지며, 이는 밸브의 저항, 즉 밸브 내에서의 유체 이동 경로의 단면적에 따라 크게 달라진다. 부가적으로 유체의 점도나 유체 이동 경로의 거칠기에 따라 변동이 있으나, 같은 유체와 같은 밸브를 사용한다고 가정할 때 이 부분은 무시할 수 있다.
전술한 바와 같이, 박막 증착 시스템은 박막 증착 장치(30) 내부의 처리 공간을 진공 상태로 만들기 위하여 박막 증착 장치(30)에 진공 펌프(40)를 배치하여 진공 펌프(40)와 박막 증착 장치(30) 사이에 압력차를 형성하여, 박막 증착 장치(30)의 반응로를 진공 상태로 만든다. 이와 같은 진공 상태는 박막 증착 장치(30)로부터 기화기(20)까지 같은 영향을 미친다. 여기서, 진공 효율(q)는 하기의 수학식 2에 의하여 판단될 수 있다.
[수학식 2]
Figure pat00002
여기서, C는 차압을 발생시키는 부재, 예를 들어 밸브가 유체를 통과시키는 정도에 따라 달라지는 값으로 이를 컨덕턴스라고 부른다. 컨덕턴스(C)에는 유체의 분자량과 온도 및 기하학적인 모양에 관한 정보가 포함된다. 차압을 발생시키는 부재에서 유체가 느끼는 저항은 분자간 충돌보다는 정지해 있는 벽과의 충돌시 운동량이 감소되기 때문에 발생한다. 따라서, 차압을 발생시키는 부재 내에서 유체 이동 경로의 단면적을 증가시키는 경우 컨덕턴스(C)는 증가하게 된다. 따라서, 컨덕턴스(C)를 증가시키기 위하여는 유체의 이동이 원활한 구조, 벽과의 충돌이 적은 구조를 형성하여야 하며, 이는 차압을 발생시키는 부재 내에서 유체 이동 경로의 단면적 크기에 지배적인 영향을 받게 된다. 따라서, 컨덕턴스(C)는 전술한 밸브의 유량 계수(Cv)와 밀접한 관계가 있으며, 밸브의 유량 계수(Cv)는 진공 상태에서의 컨덕턴스(C)와 비례 관계를 가지게 된다.
이와 같이, 밸브에 의한 압력 상태의 변동(P1→P2)은 증기압이 높은 원료 물질을 사용하는 경우 일반적으로 공정상의 별다른 문제를 야기하지 않는다. 그러나, 최근에는 박막 증착 장치(30)에서 증기압이 낮고 열적으로 불안정한 금속 화합물을 원료 물질로 사용하여 기판 상에 박막을 증착하는 경우가 많아지고 있으며, 박막 증착 장치(30)에서 박막의 형성 속도를 증가시키기 위하여 많은 양의 액체 원료를 기화시킬 필요성이 증대하고 있다. 기화 효율을 높이기 위하여 기화기와 이에 연결된 배관 등의 온도를 높게 하는 방법도 고려되고 있으나, 기화기와 배관의 온도를 높이게 되면 액체 원료 자체가 열분해되어 화학적으로 변질되고, 열분해 생성물 및 중합물이 배관 내에 퇴적되어 유로가 폐색되는 등의 문제가 발생한다.
따라서, 기화 효율을 높이기 위하여는 배관의 내부 압력을 감소시킬 필요가 있다. 그러나, 전술한 바와 같이 밸브의 유량 계수(Cv) 값은 한정적이기 때문에 배관의 내부 압력을 감소시키는 것은 매우 어려운 문제이다. 또한, 기화기(20)와 박막 증착 장치(30) 사이에 설치되는 밸브는 일반적으로 구조가 간단하고, 오염 문제를 발생시키지 않을 뿐만 아니라, 보수가 용이한 다이아프램(diaphragm) 밸브가 사용된다. 그러나, 이와 같은 다이아프램 밸브의 경우 밸브가 완전히 개방된 상태에서도 다이아프램 자체의 소재 및 구조적인 문제로 인하여 상대적으로 더욱 낮은 유량 계수(Cv)를 가지게 되어 배관의 내부 압력을 감소시키기가 더욱 어려운 문제점이 있었다.
이에, 본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체(10)는 기화기(20)와 박막 증착 장치(30) 사이에 설치되어, 기화기(20)와 박막 증착 장치(30)를 연결하는 배관의 내부 압력을 효과적으로 저하시킬 수 있는 기술적 특징을 제공한다.
이하에서, 본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체(10)의 세부적인 내용과 관련하여 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 복수 개의 밸브의 연결 구조를 나타내는 도면이다. 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체(10)를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 밸브 조립체(10)를 A-A' 방향으로 자른 단면의 모습을 나타내는 도면이다. 또한, 도 5는 도 3의 밸브 조립체(10)가 분해된 모습을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 6은 도 5에 도시된 유체 이동 블록(100)을 B-B' 방향으로 자른 단면의 모습을 나타내는 도면이며, 도 7은 도 5에 도시된 유체 이동 블록(100)을 C-C' 방향으로 자른 단면의 모습을 나타내는 도면이다.
도 2 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체(10)는 복수 개의 밸브(200) 및 내부에 유체가 이동할 수 있는 유로가 형성되어, 상기 복수 개의 밸브(200)와 결합되는 유체 이동 블록(100)을 포함하고, 상기 복수 개의 밸브(200)는 상호 병렬로 연결되도록 상기 유로에 연통된다.
여기서, 밸브(200)와 유체 이동 블록(110)은 분리 가능한 구조로써 구별될 수도 있으나, 기능적인 면으로 구별될 수도 있음은 물론이다. 즉, 밸브(200)와 유체 이동 블록(110)은 일체로 형성될 수도 있으며, 이 경우 유입되는 유체를 내부에서 제어하여 유출시키는 기능을 하는 부분을 밸브(200)로 구분하고, 유체를 공급받아 상기 밸브(200)에 전달하거나, 상기 밸브(200)로부터 전달받은 유체를 배출하는 기능을 하는 부분을 유체 이동 블록(100)으로 구분하여 양자를 구별할 수도 있음은 물론이다.
밸브(200)는 복수 개로 마련된다. 도면에서는 밸브(200)가 4개로 마련되어 유체 이동 블록(100) 상에 결합되는 모습이 예로써 도시되었다. 그러나, 밸브(200)의 개수는 유량 계수(Cv) 또는 밸브(200)에 의한 압력 상태의 변동 정도에 따라 다양하게 변경될 수 있음은 물론이며, 밸브(200)의 개수를 결정하는 구체적인 내용에 대하여는 도 8과 관련하여 후술하기로 한다.
복수 개의 밸브(200)는 각각 동일한 밸브를 사용할 수 있으며, 이 경우 밸브(200)는 동일한 유량 계수(Cv)를 가지는 다이아프램 밸브를 포함할 수 있다. 이와 같이, 다이아프램 밸브를 사용하게 되면 구조가 간단하고, 오염 문제를 발생시키지 않을 뿐만 아니라, 보수가 용이한 장점이 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 밸브(200)는 내부 공간을 가지는 하우징(210), 상기 하우징(210)의 바닥면을 관통하여 각각 형성되는 유체 유입구(240) 및 유체 유출구(250), 상기 하우징(210) 내에 외주면이 고정되는 다이아프램(220) 및 외주면이 고정된 다이아프램(220)에 부착되어 상하로 이동함으로써 상기 다이아프램(220)을 변형시켜 상기 유체 유입구(240)와 유체 유출구(250)를 연통시키거나, 격리시키기 위한 액추에이터(230)을 포함한다. 여기서, 유체 유입구(240)는 하우징(210)의 바닥면 중앙에 형성될 수 있으며, 유체 유출구(250)는 상기 유체 유입구(240)로부터 일측으로 이격되어 형성될 수 있다. 뿐만 아니라, 하우징(210)의 바닥면 상에는 상기 유체 유입구(240)의 외주를 따라 상부로 연장 형성되어 상기 다이아프램(220)과의 접촉력을 향상시키기 위한 접촉 부재(260)가 설치될 수 있다. 이와 같은 밸브(200)는 유체 이동 블록(100)과의 용이한 결합을 위하여 IGS(Integrated Gas System) 타입의 밸브를 사용할 수 있다.
여기서, 복수 개의 밸브(200)는 상호 병렬로 연결되도록 상기 유체 이동 블록(100)의 내부에 형성되는 유로에 연통된다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이 유체 이동 블록(100)의 내부에 형성되는 유로는 유체가 공급되기 위한 유체 공급구로부터 상기 유체가 배출되기 위한 유체 배출구 사이에서 복수 개로 분기되며, 상기 복수 개의 밸브는 상기 복수 개로 분기된 유로에 각각 배치될 수 있다.
전술한 바와 같이, 다이아프램 밸브의 경우 밸브(200)가 완전히 개방된 상태에서도 다이아프램(220) 자체의 소재 및 구조적인 문제로 인하여 상대적으로 낮은 유량 계수(Cv)를 가진다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 다이아프램(220)은 소재 및 구조적인 문제로 인하여 밸브(200)가 완전히 개방된 상태에서 유입구(240)와 다이아프램(220) 사이의 간격, 보다 상세하게는 접촉 부재(260)와 다이아프램(220) 사이의 간격(D)이 매우 좁게 형성될 수 밖에 없다. 따라서, 밸브(200) 내에서의 유체 이동 경로의 단면적은 접촉 부재(260)와 다이아프램(220) 사이의 간격(D)에 의하여 크게 제한되는 바, 다이아프램 밸브는 상대적으로 매우 낮은 유량 계수(Cv)를 가지게 되며, 이에 의하여 밸브(200)의 전단과 후단에서의 압력 차이가 증가할 수 밖에 없는 구조를 가진다.
그러나, 본 발명의 실시 예에서와 같이 복수 개의 밸브(200)를 상호 병렬로 연결하는 경우 각각의 밸브(200)를 경유하는 유체의 양을 감소시킬 수 있게 되어 각각의 밸브(200)의 전단과 후단에서의 압력 차이를 최소화시킬 수 있게 되고, 이에 의하여 밸브 조립체(10) 전체의 전단과 후단에서의 압력 차이도 최소화될 수 있다. 여기서, 전단은 유체의 유동 경로의 상류측을 의미하며, 후단은 유체의 유동 경로의 하류측을 의미한다.
여기서, 상호 병렬로 연결되는 복수 개의 밸브(200)는 도 2(a)에 도시된 바와 같이 유체가 공급되기 위한 유체 공급구로부터 상기 유체가 배출되기 위한 유체 배출구 사이에서 횡 방향으로 배열되어 배치될 수 있다. 또한, 도 2(b)에 도시된 바와 같이 유체가 공급되기 위한 유체 공급구로부터 상기 유체가 배출되기 위한 유체 배출구 사이에서 종 방향으로 배열되어 배치될 수도 있다. 여기서, 도 2(a) 및 도 2(b)는 복수 개의 밸브(200)가 병렬로 연결되는 구조를 예시적으로 도시한 것이며, 이외에도 복수 개의 밸브(200)는 상하로 적층되거나, 행과 열 방향을 따라 배열되는 등 다양한 구조로 배치될 수 있음은 물론이다.
이와 같이, 복수 개의 밸브(200)는 다양한 구조로 배치될 수 있으나, 밸브 조립체(10)는 일 방향으로 연장되는 배관 사이에 형성되는 특성상 도 2(b)와 같이 일 방향으로 배열되어 배치되는 경우 밸브 조립체(10)가 차지하는 공간을 최소화시킬 수 있다.
복수 개의 밸브(200)는 제1 방향을 따라 배열되어 유체 이동 블록(100)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 밸브(200)는 X축 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있으며, 이 경우 복수 개의 밸브(200)를 병렬로 연결하기 위하여 유체 이동 블록(100)에 형성되는 유로의 구조를 단순화할 수 있다.
유체 이동 블록(100)은 내부에 유체, 예를 들어 기화된 원료 물질이 이동할 수 있는 유로가 형성되어, 복수 개의 밸브(200)와 결합된다. 여기서, 복수 개의 밸브(200)는 상기 유체 이동 블록(100)에 각각 탈착 가능하게 결합되어 유지 및 보수를 용이하게 할 수 있다.
유체 이동 블록(100)은 본체(110) 내부에 상기 복수 개의 밸브(200)와 연통되기 위한 내부 공간을 형성하는 유로가 형성된다. 여기서, 유체 이동 블록은 예를 들어, Z축 방향으로 복수 개의 밸브(200)와 전부 중첩될 수 있는 크기를 가지며, X축 방향을 따라 연장되는 다각 기둥의 형상으로 형성될 수 있다. 여기서, X축 방향을 따른 유체 이동 블록(100)의 일면에는 유체가 상기 유체 이동 블록(100)의 내부로 공급되기 위한 유체 공급구(112)가 형성되며, X축 방향을 따른 반대측인 유체 이동 블록(100)의 타면에는 상기 유체 이동 블록(100)의 내부로부터 유체가 배출되기 위한 유체 배출구(116)가 형성된다.
여기서, 유체 이동 블록(100)의 일면과 타면에 각각 형성되는 유체 공급구(112) 및 유체 배출구(116)는 X축 방향을 따라 중첩되도록 배치될 수 있다. 일반적으로, 박막 증착 시스템에서 밸브 조립체(10)가 설치되기 위한 배관은 일 방향으로 연장되어 형성된다. 따라서, 유체 공급구(112) 및 유체 배출구(116)를 X축 방향을 따라 중첩되도록 배치함으로써, 별도의 배관을 형성할 필요 없이 배관 사이에 밸브 조립체(10)를 설치할 수 있게 된다.
또한, 유체 이동 블록(100)의 일면과 타면에 각각 형성되는 유체 공급구(112) 및 유체 배출구(116)는 유체 이동 블록(100)의 일면 및 타면의 중심부에 각각 위치할 수 있다. 전술한 바와 같이, 밸브(200)의 유체 유입구(240)는 하우징(210)의 바닥면 중앙에 형성될 수 있으며, 유체 유출구(250)는 상기 유체 유입구(240)로부터 일측으로 이격되어 형성될 수 있다. 여기서, 밸브(200)의 유체 유입구(240)는 하우징(210)의 바닥면 일측에 형성될 수 있고, 유체 유출구(250)는 하우징(210)의 바닥면 타측에 형성될 수도 있음은 물론이다. 그러나, 밸브(200)의 유체 유입구(240)를 하우징(210)의 바닥면 중앙에 위치시키는 경우, 유입구(240)와 다이아프램(220) 사이의 간격, 보다 상세하게는 접촉 부재(260)와 다이아프램(220) 사이의 간격(D)을 최대로 확보할 수 있다. 이에, 유체 이동 블록(100)에 형성되는 유체 공급구(112)와 유체 배출구(116)를 각각 유체 이동 블록(100)의 일면 및 타면의 중심부에 위치시킴으로써, 유체 공급구(112)와 유체 유입구(240)의 연결 구조 및 유체 배출구(116)와 유체 유출구(250)의 연결 구조를 간소화할 수 있다.
보다 상세하게는, 유체 이동 블록(100)에 형성되는 유로는, 유체 공급구(112)와 연결되어 X축 방향을 따라 연장 형성되는 유체 공급로(140), 상기 유체 공급로(140)와 각 유체 유입구(240)를 연결하는 복수 개의 제1 연결로(145), 유체 배출구(116)와 연결되어 X축 방향을 따라 연장 형성되는 유체 배출로(150) 및 상기 유체 배출로(150)와 각 유체 배출구(250)를 연결하는 복수 개의 제2 연결로(155)를 포함할 수 있다. 여기서, 유체 공급로(140), 복수 개의 제1 연결로(145), 유체 배출로(150) 및 복수 개의 제2 연결로(155)는 모두 유체 이동 블록(100) 내부에 형성되는 홀(hole)로 이루어질 수 있다.
유체 공급로(140)는 유체 공급구(112)와 연결되어 X축 방향을 따라 연장 형성된다. 이때, 유체 공급로(140)는 상기 유체 공급구(112)로부터 X축 방향을 따라 직선으로 연장되어 형성될 수 있다. 이와 같이, 유체 공급로(140)를 상기 유체 공급구(112)로부터 X축 방향을 따라 직선으로 연장되어 형성하는 경우 복수 개의 제1 연결로(145)를 각각 Z축 방향을 따라 직선으로 연장 형성하여 각각의 밸브(100)에 형성되는 유체 유입구(240)에 모두 연결할 수 있게 되어 유로의 구조를 단순화할 수 있다.
유체 배출로(150)는 유체 배출구(116)와 연결되어 X축 방향을 따라 연장 형성된다. 이때, 유체 배출로(150)는 X축 방향에 교차하는 방향으로 유체 공급로(140)에 이격되어 유체 배출구(116)와 연결될 수 있다. 즉, 유체 배출로(150)는 X축 방향에 교차하는 Y축 방향으로 유체 공급로(140)에 이격되어 유체 배출구(116)와 연결될 수 있다. 이와 같이, 유체 배출로(150)를 Y축 방향으로 유체 공급로(140)에 이격시키는 경우 복수 개의 제2 연결로(155)를 각각 Z축 방향을 따라 직선으로 연장 형성하여 각각의 밸브(100)에 형성되는 유체 유출구(250)에 모두 연결할 수 있게 되어 유로의 구조를 단순화할 수 있다.
여기서, 전술한 바와 같이 유체 배출구(116)는 유체 이동 블록(100)의 타면의 중심부에 배치된다. 그러나, 유체 배출로(150)는 유로의 구조를 단순화하기 위하여 유체 이동 블록(100)의 일면의 중심부로부터 X축 방향으로 따라 직선으로 연장되는 유체 공급로(140)에 이격 배치되는 바, 유체 배출로(150)를 직선으로 연장하는 경우에도 유체 배출구(116)에 연결될 수 없다. 따라서, 이와 같이 Y축 방향으로 유체 공급로(140)에 이격 배치되는 유체 배출로(150)를 유체 이동 블록(100)의 타면의 중심부에 배치되는 유체 배출구(116)에 연통시키기 위하여, 유로는 X축 방향을 따라 유체 배출로(150)와 유체 배출구(116)에 각각 중첩되어, 상기 유체 배출로(150)와 유체 배출구(116)를 연통시키기 위한 중공부(160)를 더 포함할 수 있다. 이와 같이, 유체 이동 블록(100) 내에서 공간을 가지는 중공부(160)만을 형성함으로써, 단순화된 유로 구조 상에서 유체 이동 블록(100)의 타면의 중심부에 배치되는 유체 배출구(116)와 중심부로부터 Y축 방향으로 이격 배치되는 유체 배출로(150)를 용이하게 연통시킬 수 있다.
또한, 유체 이동 블록(100)은 상기 유체 공급구(112)와 연통되는 내부 공간을 가지며, X축 방향을 따라 상기 유체 이동 블록(100)의 일면으로부터 외측으로 연장 형성되는 유체 공급관(114) 및 상기 유체 배출구(116)와 연통되는 내부 공간을 가지며, X축 방향을 따라 상기 유체 이동 블록(100)의 타면으로부터 연장 형성되는 유체 배출관(118)을 더 포함할 수 있다. 이와 같이, 유체 공급관(114) 및 유체 배출관(118)을 각각 유체 이동 블록(100)의 일면 및 타면으로부터 외측으로 연장 형성함으로써 밸브 조립체(10)의 전단에 위치하는 배관 및 밸브 조립체(10)의 전단에 위치하는 배관을 용이하게 연결할 수 있게 된다. 여기서, 유체 공급관(114)과 밸브 조립체(10)의 전단에 위치하는 배관은 제1 조인트(120)에 의하여 결합될 수 있으며, 유체 배출관(118)과 밸브 조립체(10)의 전단에 위치하는 배관은 제2 조인트(130)에 의하여 결합될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체(10)는 상기 유체 이동 블록(100)에 삽입되어 상기 유체 이동 블록(100)을 가열시키기 위한 히터(300)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 히터(300)는 X축 방향을 따라 유체 이동 블록(100)을 관통하여 형성되는 제1 삽입공(170) 내에 삽입되기 위한 카트리지(cartridge) 타입의 히터(300)를 사용할 수 있으며, 이 경우 히터(300)는 적어도 상기 유체 이동 블록(100)의 일면으로부터 상기 유체 이동 블록(100)의 타면까지 연장되어 상기 유체 이동 블록(100)에 삽입될 수 있게 된다. 이와 같이, 히터(300)를 상기 유체 이동 블록(100)의 일면으로부터 상기 유체 이동 블록(100)의 타면까지 연장시켜 삽입함으로써 유체 이동 블록(100)은 균일하게 가열될 수 있게 된다. 또한, 히터(300)는 Y축 방향을 따라 이격되어 상기 유체 이동 블록(100) 내에 복수 개로 삽입될 수 있으며, 이 경우 복수 개의 히터(300)는 유체 이동 블록(100)의 중심부를 기준으로 Y축 방향을 따라 상호 대칭되는 위치에 각각 삽입될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체(10)는 상기 유체 이동 블록(100)에 삽입되어 상기 히터(300)로부터 가열되는 상기 유체 이동 블록(100)의 온도를 측정하기 위한 온도 측정기(400)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 온도 측정기(400)는 넓은 범위의 온도를 측정하기 위하여 제베크(Seebeck) 효과를 이용한 열전대를 포함할 수 있으며, 온도 측정기(400)는 X축 방향을 따라 유체 이동 블록(100)의 일면으로부터 연장 형성되는 제2 삽입공(180)에 삽입되어 상기 히터(300)로부터 가열되는 상기 유체 이동 블록(100)의 온도를 측정할 수 있다.
도 8은 개방되는 밸브(200)의 개수에 따른 배관 내의 압력 변화를 나타내는 도면이다.
전술한 바와 같이 밸브(200)는 병렬로 연결되기 위하여 복수 개로 마련된다. 여기서, 병렬로 연결되는 밸브(200)는 그 개수가 증가할수록 각각의 밸브(200)를 경유하는 유체의 양을 더 감소시킬 수 있음은 물론이다. 그러나, 과도하게 많은 밸브(200)를 유체 이동 블록(100)에 결합시키는 경우 밸브 조립체(10)의 전체적인 크기가 불필요하게 증가되어 한정적인 공간을 가지는 박막 증착 시스템에서의 사용은 어렵게 된다.
이에, 복수 개의 밸브(200)는 상기 유체 공급구(112)에 연결되는 배관의 내부 압력과 상기 유체 배출구(116)에 연결되는 배관의 내부 압력의 비가 1:1 내지 2:1의 범위 내의 값을 가지는 개수로 마련되어, 상기 유체 이동 블록에 결합될 수 있다.
즉, 도 8에 도시된 바와 같이 0.7의 유량 계수(Cv)를 가지는 밸브(200)의 경우 병렬로 연결된 복수 개의 밸브(200) 중 1개의 밸브(200)만이 개방되면, 밸브(200) 전단의 압력은 약 92.8 torr로 증가하게 된다. 여기서, 병렬로 연결된 복수 개의 밸브(200) 중 2개의 밸브(200)가 개방되면, 밸브(200) 전단의 압력은 약 56.4 torr로 증가함을 알 수 있다. 이와 같이, 적어도 2개의 밸브(200)를 병렬로 연결하여 개방하하는 경우, 유체 공급구(112)에 연결되는 배관의 내부 압력과 유체 배출구(116)에 연결되는 배관의 내부 압력의 비가 약 1:1.84의 값을 가지게 되어, 약 30.7 torr의 내부 압력을 가지는 유체 배출구(116)에 연결되는 배관과 비교하였을 때 1개의 밸브(200)만이 개방된 경우에 비하여 밸브(200) 전단의 압력이 현저하게 감소하였음을 알 수 있다.
또한, 병렬로 연결된 복수 개의 밸브(200) 중 3개의 밸브(200)가 개방되면, 밸브(200) 전단의 압력은 약 45.7 torr로 증가하며, 밸브(200) 전단의 압력은 개방되는 밸브(200)의 개수가 증가할수록 약 38.2, 34.1, 32.8, 31.6, 30.7 torr로 감소하게 된다.
여기서, 밸브(200)를 사용하지 않고 배관에 의하여 연결했을 때의 배관의 압력은 약 30.7 torr의 값을 가지며, 이는 8개의 밸브(200)가 개방되었을 때의 밸브(200) 전단의 압력과 동일하다. 즉, 밸브(200)가 없는 수준으로 압력을 제어하여 공정을 수행하기 위하여는 8개의 밸브(200)를 병렬로 연결하여 장착할 수 있으나, 밸브(200) 전단의 압력은 개방되는 밸브(200)의 개수가 증가함에 따라 감소되는 정도가 점차로 낮아지는 관계에 있으므로, 밸브 조립체(10)의 전체적인 크기를 불필요하게 증가시키지 않음과 동시에 효과적인 밸브(200) 전단의 압력 제어를 위하여는 유체 공급구(112)에 연결되는 배관의 내부 압력과 유체 배출구(116)에 연결되는 배관의 내부 압력의 비가 1:1 내지 1.3:1의 범위 내의 값을 가지는 개수, 즉 0.7의 유량 계수(Cv)를 가지는 밸브(200)의 경우 4개로 마련하여 상기 유체 이동 블록에 결합하는 것이 보다 바람직할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 밸브 조립체에 의하면, 복수 개의 밸브를 병렬로 연결함으로써 유체 이동 경로의 단면적 감소에 따른 밸브 조립체 전단의 압력 증가를 효과적으로 방지할 수 있다.
이에 의하여, 원료 물질로 증기압이 낮고 열적으로 불안정한 금속 화합물을 사용하는 경우에도 기화 효율을 향상시킬 수 있으며, 액체 원료 자체가 열분해되어 화학적으로 변질되는 것을 방지하고, 열분해 생성물 및 중합물이 배관 내에 퇴적되어 유로가 폐색되는 것을 예방할 수 있다.
또한, 복수 개의 밸브와 내부에 유로가 형성되는 유체 이동 블록의 결합에 의하여 복수 개의 밸브를 병렬로 연결함에 따라 조립 및 분리가 용이한 간단한 구조를 가질 수 있게 되고, 설비의 유지 및 보수가 용이한 장점이 있다.
상기에서, 본 발명의 바람직한 실시 예가 특정 용어들을 사용하여 설명 및 도시되었지만 그러한 용어는 오로지 본 발명을 명확하게 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명의 실시 예 및 기술된 용어는 다음의 청구범위의 기술적 사상 및 범위로부터 이탈되지 않고서 여러 가지 변경 및 변화가 가해질 수 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같이 변형된 실시 예들은 본 발명의 사상 및 범위로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 되며, 본 발명의 청구범위 안에 속한다고 해야 할 것이다.
10: 밸브 조립체 20: 기화기
30: 박막 증착 장치 40: 진공 펌프
100: 유체 이동 블록 110: 본체
112: 유체 공급구 114: 유체 공급관
116: 유체 배출구 118: 유체 배출관
120: 제1 조인트 130: 제2 조인트
140: 유체 공급로 145: 제1 연결관
150: 유체 배출로 155: 제2 연결관
160: 중공부 170: 제1 삽입공
180: 제2 삽입공 200: 밸브
210: 하우징 220: 다이아프램
230: 액추에이터 240: 유체 유입구
250: 유체 배출구 260: 접촉 부재

Claims (13)

  1. 복수 개의 밸브; 및
    내부에 유체가 이동할 수 있는 유로가 형성되어, 상기 복수 개의 밸브와 결합되는 유체 이동 블록;을 포함하고,
    상기 복수 개의 밸브는 상호 병렬로 연결되도록 상기 유로에 연통되는 밸브 조립체.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 유로는 상기 유체가 공급되기 위한 유체 공급구로부터 상기 유체가 배출되기 위한 유체 배출구 사이에서 복수 개로 분기되며,
    상기 복수 개의 밸브는 상기 복수 개로 분기된 유로에 각각 배치되는 밸브 조립체.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수 개의 밸브는 상기 유체 이동 블록에 각각 탈착 가능하게 결합되는 밸브 조립체.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수 개의 밸브는 제1 방향을 따라 배열되고,
    상기 유체 이동 블록은 상기 제1 방향을 따라 연장 형성되며,
    상기 제1 방향을 따른 유체 이동 블록의 일면에는 상기 유체 공급구가 형성되고,
    상기 제1 방향을 따른 유체 이동 블록의 타면에는 상기 유체 배출구가 형성되는 밸브 조립체.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 유로는,
    상기 유체 공급구와 연결되어 상기 제1 방향을 따라 연장되는 유체 공급로;
    상기 유체 공급로와 상기 복수 개의 밸브에 각각 형성되는 유체 유입구를 연결하는 복수 개의 제1 연결로;
    상기 유체 배출구와 연결되어 상기 제1 방향을 따라 연장되는 유체 배출로; 및
    상기 유체 배출로와 상기 복수 개의 밸브에 각각 형성되는 유체 배출구를 연결하는 복수 개의 제2 연결로;를 포함하는 밸브 조립체.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 유체 공급구 및 유체 배출구는 상기 제1 방향을 따라 중첩되도록 배치되는 밸브 조립체.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 유체 공급구 및 유체 배출구는 상기 유체 이동 블록의 일면 및 타면의 중심부에 각각 위치하는 밸브 조립체.
  8. 청구항 5에 있어서,
    상기 유로는,
    상기 제1 방향을 따라 상기 유체 배출로와 유체 배출구에 각각 중첩되어, 상기 유체 배출로와 유체 배출구를 연통시키는 중공부;를 더 포함하는 밸브 조립체.
  9. 청구항 4에 있어서,
    상기 유체 이동 블록은,
    상기 유체 공급구와 연통되는 내부 공간을 가지며, 상기 제1 방향을 따라 상기 유체 이동 블록의 일면으로부터 외측으로 연장 형성되는 유체 공급관; 및
    상기 유체 배출구와 연통되는 내부 공간을 가지며, 상기 제1 방향을 따라 상기 유체 이동 블록의 타면으로부터 외측으로 연장 형성되는 유체 배출관;을 더 포함하는 밸브 조립체.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수 개의 밸브는 동일한 유량 계수를 가지는 다이아프램 밸브를 포함하는 밸브 조립체.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수 개의 밸브는,
    상기 유체 공급구에 연결되는 배관의 내부 압력과 상기 유체 배출구에 연결되는 배관의 내부 압력의 비가 1:1 내지 2:1의 범위 내의 값을 가지는 개수로 마련되어 상기 유체 이동 블록에 결합되는 밸브 조립체.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 유체 이동 블록에 삽입되어 상기 유체 이동 블록을 가열시키기 위한 히터;를 더 포함하는 밸브 조립체.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 유체 이동 블록에 삽입되어 상기 히터로부터 가열되는 상기 유체 이동 블록의 온도를 측정하기 위한 온도 측정기;를 더 포함하는 밸브 조립체.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05172265A (ja) * 1991-05-31 1993-07-09 Motoyama Seisakusho:Kk ガス制御装置
KR20010030372A (ko) 1999-09-14 2001-04-16 호리바 마츠시 액체재료 기화방법 및 장치
JP2001182860A (ja) * 1999-12-22 2001-07-06 Advance Denki Kogyo Kk 流量切替弁の構造及び流量切替方法
KR100773756B1 (ko) * 2006-09-13 2007-11-09 주식회사 아이피에스 가스유동블록
JP2008089085A (ja) * 2006-10-02 2008-04-17 Ckd Corp 流体機器のマニホールド構造体及びそれに用いられるボディブロック
KR100878575B1 (ko) * 2006-06-23 2009-01-15 씨케이디 가부시키 가이샤 기화기를 위한 원료액 공급 유닛

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05172265A (ja) * 1991-05-31 1993-07-09 Motoyama Seisakusho:Kk ガス制御装置
KR20010030372A (ko) 1999-09-14 2001-04-16 호리바 마츠시 액체재료 기화방법 및 장치
JP2001182860A (ja) * 1999-12-22 2001-07-06 Advance Denki Kogyo Kk 流量切替弁の構造及び流量切替方法
KR100878575B1 (ko) * 2006-06-23 2009-01-15 씨케이디 가부시키 가이샤 기화기를 위한 원료액 공급 유닛
KR100773756B1 (ko) * 2006-09-13 2007-11-09 주식회사 아이피에스 가스유동블록
JP2008089085A (ja) * 2006-10-02 2008-04-17 Ckd Corp 流体機器のマニホールド構造体及びそれに用いられるボディブロック

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