KR20200140707A - Insulated container and manufacture method thereof - Google Patents

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KR20200140707A
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야스히로 고와
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Abstract

The present invention provides an insulation container which has excellent wear resistance and corrosion resistance on the inner surface of an inner container and can apply a coating for preventing attachment of contaminants or foul odors. The insulation container (1) has an outer container (2) and an inner container (3) of a metallic material, of which one end is opened. While the inner container (3) is accommodated in the outer container (2), the opened ends are joined to each other. The insulation container (1) has a vacuum insulation layer (4) between the outer container (2) and the inner container (3). A middle layer and a diamond-like carbon (DLC) layer are sequentially laminated on the inner surface of the inner container (3).

Description

단열 용기 및 그 제조 방법{Insulated container and manufacture method thereof}Insulated container and manufacturing method thereof TECHNICAL FIELD

본 발명은, 단열 용기 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a heat insulating container and a manufacturing method thereof.

예를 들면, 일단이 개구된 금속제의 외부 용기 및 내부 용기를 가지며, 외부 용기의 내측에 내부 용기를 수용한 상태에서 서로의 개구단끼리가 접합됨과 아울러, 외부 용기와 내부 용기와의 사이에 진공 단열층이 마련된 단열 용기가 있다. 이러한 진공 단열 구조를 가지는 단열 용기에서는, 뛰어난 보온·보냉 기능을 갖게 하는 것이 가능하다. For example, it has a metal outer container and an inner container with an open end, and the open ends of the outer container are bonded to each other while the inner container is accommodated inside the outer container, and vacuum between the outer container and the inner container There is an insulating container with an insulating layer. In a heat-insulating container having such a vacuum heat insulating structure, it is possible to provide an excellent thermal insulation/cooling function.

그런데, 종래의 단열 용기에서는, 내부 용기의 내면에 불소 수지 코팅을 실시하는 것이 행해져 있다(예를 들면, 하기 특허 문헌 1, 2를 참조). 불소 수지 코팅을 실시하는 것에 의해서, 내부 용기의 기재인 금속이 덮여지기 때문에, 기재의 흠이나 녹의 발생 등을 방지하는 것이 가능하다. 또, 내부 용기의 내측에 발수성을 갖게 하여, 내부 용기의 내측을 위생적으로 유지하기 쉽게 하거나, 내부 용기의 내측의 청소성을 높이거나 하는 것이 가능하다. By the way, in a conventional heat insulating container, a fluororesin coating is applied to the inner surface of the inner container (see, for example, Patent Documents 1 and 2 below). By applying the fluororesin coating, since the metal, which is the base material of the inner container, is covered, it is possible to prevent the occurrence of flaws or rust on the base material. In addition, it is possible to provide water repellency to the inner side of the inner container so that the inner side of the inner container can be easily maintained hygienically, or to increase the cleanability of the inner side of the inner container.

특허 문헌 1 : 일본특허 제3195209호 공보　　Patent Document 1: Japanese Patent No. 3195209 특허 문헌 2 : 일본특허 제3509472호 공보Patent Document 2: Japanese Patent No. 3509472

그렇지만, 일반적인 불소 수지 피막의 긁기 경도는, 연필 경도에서 HB~6H 정도이다. 이 때문에, 상술한 불소 수지 코팅을 실시한 단열 용기에서는, 계속 사용하는 중에 서서히 불소 수지 피막에 마모나 흠 등이 생겨 버린다. 그 결과, 불소 수지 피막의 일부가 박리되는, 이른바 핀홀(pinhole)의 발생에 의해서, 이 핀홀을 기점으로 불소 수지 피막이 박리되기 쉬워져 버린다. However, the scratch hardness of a general fluororesin film is about HB to 6H in terms of pencil hardness. For this reason, in the heat-insulating container to which the above-described fluororesin coating is applied, abrasion, flaws, and the like gradually occur in the fluororesin film during continued use. As a result, due to the occurrence of so-called pinholes in which a part of the fluororesin film is peeled off, the fluororesin film is liable to be peeled starting from this pinhole.

불소 수지 피막이 박리된 개소는, 방수 기능이 상실되기 때문에, 기재 표면의 금속에 녹 등의 부식이 발생하기 쉬워진다. 한편, 핀홀의 발생을 예방하기 위해, 불소 수지 피막의 막 두께를 너무 두껍게 하면, 불소 수지 피막의 밀착성이 저하되어 버려, 불소 수지 피막이 반대로 벗겨지기 쉬워져 버린다. 이 때문에, 불소 수지 피막을 적절한 막 두께로 설정해 둘 필요가 있다. At the location where the fluororesin film is peeled off, the waterproof function is lost, so that corrosion such as rust is likely to occur in the metal on the surface of the substrate. On the other hand, in order to prevent the occurrence of pinholes, if the film thickness of the fluororesin film is made too thick, the adhesiveness of the fluororesin film is deteriorated, and the fluororesin film is easily peeled off. For this reason, it is necessary to set the fluororesin film to an appropriate film thickness.

또, 불소 수지 피막에는 악취 등이 흡착되기 쉽고, 불소 수지 자체의 악취 도 있다. 이 때문에, 계속 사용하는 중에 내부 용기의 내측에 악취가 남는 경우가 있다. 게다가, 불소 수지에 의한 발수성이 서서히 없어지는 것에 의해서, 내부 용기의 내측에 오염물 등이 남기 쉬워져, 내부 용기의 내측을 위생적으로 유지하는 것이 곤란해져 버린다. In addition, odors and the like are easily adsorbed to the fluororesin film, and there is also the odor of the fluororesin itself. For this reason, there may be a case where an odor remains inside the inner container during continued use. In addition, as the water repellency by the fluororesin gradually disappears, contaminants and the like tend to remain inside the inner container, making it difficult to sanitize the inside of the inner container.

본 발명은, 이러한 종래의 사정을 감안하여 제안된 것이며, 내부 용기의 내면에, 내마모성이나 내부식성이 뛰어나고, 또한, 오염물이나 악취의 부착을 방지한 코팅을 실시하는 것을 가능하게 한 단열 용기 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and is a heat insulating container capable of applying a coating on the inner surface of the inner container, which has excellent abrasion resistance and corrosion resistance, and prevents adhesion of contaminants and odors, and It aims to provide a manufacturing method.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 이하의 수단을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.

〔1〕일단이 개구된 금속제의 외부 용기 및 내부 용기를 가지며, 상기 외부 용기의 내측에 상기 내부 용기를 수용한 상태에서 서로 접합됨과 아울러, 상기 외부 용기와 상기 내부 용기와의 사이에 진공 단열층이 마련된 단열 용기로서,[1] A metal outer container and an inner container with an open end are joined to each other while the inner container is housed inside the outer container, and a vacuum insulating layer is formed between the outer container and the inner container. As an insulated container provided,

상기 내부 용기의 내면에, 중간층과 다이아몬드 라이크 카본(Diamond Like Carbon; DLC)층이, 순차 적층하여 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 단열 용기.An insulated container, wherein an intermediate layer and a diamond like carbon (DLC) layer are sequentially stacked on the inner surface of the inner container.

〔2〕상기 중간층의 두께가 상기 DLC층의 두께 이상인 것을 특징으로 하는 상기〔1〕에 기재된 단열 용기.[2] The heat insulating container according to [1], wherein the thickness of the intermediate layer is equal to or larger than that of the DLC layer.

〔3〕상기 중간층과 상기 DLC층과의 두께의 합계가 4~250nm인 것을 특징으로 하는 상기〔1〕또는〔2〕에 기재된 단열 용기.[3] The heat insulating container according to [1] or [2], wherein the total thickness of the intermediate layer and the DLC layer is 4 to 250 nm.

〔4〕상기 중간층의 두께를 A로 하고, 상기 DLC층의 두께를 B로 했을 때에, (4) When the thickness of the intermediate layer is A and the thickness of the DLC layer is B,

A:B=(1~9):1A:B=(1~9):1

의 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 상기〔2〕또는〔3〕에 기재된 단열 용기.The heat insulating container according to the above [2] or [3], wherein the relationship of is satisfied.

〔5〕상기 DLC층의 표층이 불소에 의해 개질되어 있는 것을 특징으로 하는 상기〔1〕내지〔4〕중 어느 한 항에 기재된 단열 용기.[5] The heat insulating container according to any one of [1] to [4], wherein the surface layer of the DLC layer is modified with fluorine.

〔6〕상기 DLC층 상에 불소 함유 DLC층이 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 상기〔1〕내지〔4〕중 어느 한 항에 기재된 단열 용기.[6] The heat insulating container according to any one of [1] to [4], wherein a fluorine-containing DLC layer is laminated on the DLC layer.

〔7〕상기 중간층의 두께를 A로 하고, 상기 DLC층의 두께를 B로 하고, 상기 불소 함유 DLC층의 두께를 C로 했을 때에,(7) When the thickness of the intermediate layer is A, the thickness of the DLC layer is B, and the thickness of the fluorine-containing DLC layer is C,

A:B:C=(5~8):(1~2.5):(1~2.5)A:B:C=(5~8):(1~2.5):(1~2.5)

의 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 상기〔6〕에 기재된 단열 용기.The heat insulating container according to the above [6], wherein the relationship of is satisfied.

〔8〕상기 불소 함유 DLC층에서의 물의 접촉각이 80°이상인 것을 특징으로 하는 상기〔5〕또는〔6〕에 기재된 단열 용기.[8] The heat insulating container according to [5] or [6], wherein the contact angle of water in the fluorine-containing DLC layer is 80° or more.

〔9〕상기 중간층은, 탄소 및 규소와 함께, 질소, 수소, 산소 중 어느 1종 이상의 원소를 포함하는 비정질의 탄화 규소막으로 이루어지며,[9] The intermediate layer is made of an amorphous silicon carbide film containing one or more elements of nitrogen, hydrogen, and oxygen together with carbon and silicon,

상기 DLC층은, 탄소 및 수소를 포함하는 비정질의 경질 탄소막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기〔1〕내지〔8〕중 어느 한 항에 기재된 단열 용기.The heat insulating container according to any one of [1] to [8], wherein the DLC layer is made of an amorphous hard carbon film containing carbon and hydrogen.

〔10〕상기 내부 용기의 내측이 착색되어 있는 것을 특징으로 하는 상기〔1〕내지〔9〕중 어느 한 항에 기재된 단열 용기.[10] The heat insulating container according to any one of [1] to [9], wherein the inside of the inner container is colored.

〔11〕일단이 개구된 금속제의 외부 용기 및 내부 용기를 가지며, 상기 외부 용기의 내측에 상기 내부 용기를 수용한 상태에서 서로 접합됨과 아울러, 상기 외부 용기와 상기 내부 용기와의 사이에 진공 단열층이 마련된 단열 용기의 제조 방법으로서,[11] A metal outer container and an inner container with an open end are joined to each other while the inner container is housed inside the outer container, and a vacuum insulating layer is formed between the outer container and the inner container. As a manufacturing method of the provided heat insulating container,

상기 내부 용기의 내면에, 플라즈마 화학 기상 성장(플라즈마 CVD)법을 이용하여, 중간층과, 다이아몬드 라이크 카본(DLC)층을, 순차 적층하여 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 단열 용기의 제조 방법.A method for manufacturing an insulated container, comprising the step of sequentially laminating an intermediate layer and a diamond-like carbon (DLC) layer on the inner surface of the inner container by using a plasma chemical vapor deposition (plasma CVD) method. .

〔12〕상기 중간층의 두께를 상기 DLC층의 두께 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 상기〔11〕에 기재된 단열 용기의 제조 방법.[12] The method for manufacturing a heat insulating container according to [11], wherein the thickness of the intermediate layer is equal to or larger than that of the DLC layer.

〔13〕상기 단열 용기를 성막실(成膜室)의 내부에 설치한 후에, 상기 성막실의 내부를 감압하고, 캐소드 측의 상기 단열 용기와 애노드 측의 보조 전극과의 사이에서 전압을 인가한 상태에서, 상기 내부 용기의 내측에 순차 도입되는 상기 중간층과 상기 DLC층과의 원료 가스를 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 중간층과, 상기 DLC층을, 순차 적층하여 형성하는 것을 특징으로 하는 상기〔11〕또는〔12〕에 기재된 단열 용기의 제조 방법.(13) After installing the heat insulating container inside the film forming chamber, the inside of the film forming chamber is depressurized, and a voltage is applied between the heat insulating container on the cathode side and the auxiliary electrode on the anode side. [11], wherein the intermediate layer and the DLC layer are sequentially stacked and formed by plasmaizing a source gas between the intermediate layer and the DLC layer sequentially introduced into the inner container in a state. ] Or [12].

〔14〕상기 DLC층의 표층을 불소에 의해 개질하는 것을 특징으로 하는 상기〔11〕내지〔13〕중 어느 한 항에 기재된 단열 용기의 제조 방법.[14] The method for producing a heat insulating container according to any one of [11] to [13], wherein the surface layer of the DLC layer is modified with fluorine.

〔15〕상기 단열 용기를 성막실의 내부에 설치한 후에, 상기 성막실의 내부를 감압하고, 캐소드 측의 상기 단열 용기와 애노드 측의 보조 전극과의 사이에서 전압을 인가한 상태에서, 상기 내부 용기의 내측에 순차 도입되는 상기 중간층과 상기 DLC층과의 원료 가스를 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 중간층과, 상기 DLC층을, 순차 적층하여 형성한 후에,(15) After installing the heat insulating container in the film forming chamber, the inside of the film forming chamber is depressurized, and a voltage is applied between the heat insulating container on the cathode side and the auxiliary electrode on the anode side. After the intermediate layer and the DLC layer are sequentially stacked and formed by plasmaizing a raw material gas between the intermediate layer and the DLC layer sequentially introduced into the container,

상기 내부 용기의 내측에, 플루오로카본계 가스를 도입하고, 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 DLC층의 표층을 불소에 의해 개질하는 것을 특징으로 하는 상기〔14〕에 기재된 단열 용기의 제조 방법.The method for manufacturing an insulated container according to [14], wherein the surface layer of the DLC layer is modified with fluorine by introducing a fluorocarbon gas into the inner container and converting it into plasma.

〔16〕상기 DLC층 상에 불소 함유 DLC층을 형성하는 것을 특징으로 하는 상기〔11〕내지〔13〕중 어느 한 항에 기재된 단열 용기의 제조 방법.[16] The method for manufacturing a heat insulating container according to any one of [11] to [13], wherein a fluorine-containing DLC layer is formed on the DLC layer.

〔17〕상기 단열 용기를 성막실의 내부에 설치한 후에, 상기 성막실의 내부를 감압하고, 캐소드 측의 상기 단열 용기와 애노드 측의 보조 전극과의 사이에서 전압을 인가한 상태에서, 상기 내부 용기의 내측에 순차 도입되는 상기 중간층과 상기 DLC층과의 원료 가스를 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 중간층과, 상기 DLC층을, 순차 적층하여 형성한 후에,(17) After installing the heat insulating container inside the film forming chamber, the inside of the film forming chamber is depressurized, and a voltage is applied between the heat insulating container on the cathode side and the auxiliary electrode on the anode side, After the intermediate layer and the DLC layer are sequentially stacked and formed by plasmaizing a raw material gas between the intermediate layer and the DLC layer sequentially introduced into the container,

상기 내부 용기의 내측에, 상기 DLC층의 원료 가스와 함께 플루오로카본계 가스를 도입하고, 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 DLC층 상에 불소 함유 DLC층을 형성하는 것을 특징으로 하는 상기〔16〕에 기재된 단열 용기의 제조 방법.[16], wherein a fluorine-containing DLC layer is formed on the DLC layer by introducing a fluorocarbon-based gas together with the raw material gas of the DLC layer into the inner container and performing plasma formation. The manufacturing method of the heat insulating container described in.

〔18〕상기 중간층의 원료 가스로서, 유기 규소 화합물 가스를 이용하고,[18] As the raw material gas of the intermediate layer, an organosilicon compound gas is used,

상기 DLC층의 원료 가스로서, 탄화계 수소 가스를 이용하는 것을 특징으로 하는 상기〔11〕내지〔17〕중 어느 한 항에 기재된 단열 용기의 제조 방법.The method for manufacturing a heat insulating container according to any one of [11] to [17], wherein hydrocarbon gas is used as the source gas of the DLC layer.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 내부 용기의 내면에, 내마모성이나 내부식성이 뛰어나고, 또한, 오염물이나 악취의 부착을 방지한 코팅을 실시하는 것을 가능하게 한 단열 용기 및 그 제조 방법을 제공하는 것이 가능하다. As described above, according to the present invention, it is possible to provide a heat insulating container and a method for manufacturing the same, which makes it possible to coat the inner surface of the inner container with a coating having excellent abrasion resistance and corrosion resistance, and preventing adhesion of contaminants and odors. It is possible.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 단열 용기의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 단열 용기가 구비하는 내부 용기의 내측을 일부 확대한 것이며, (a)는 그 일 예를 나타내는 단면도, (b)는 그 외의 예를 나타내는 단면도이다
도 3은 도 1에 나타내는 단열 용기의 제조 공정을 나타내는 플로우차트이다. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a heat insulating container according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a partially enlarged inner side of the inner container provided in the heat insulating container shown in Fig. 1, (a) is a cross-sectional view showing an example, and (b) is a cross-sectional view showing other examples.
3 is a flowchart showing the manufacturing process of the heat insulating container shown in FIG. 1.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

또, 이하의 설명에서 이용하는 도면은, 특징을 알기 쉽게 하기 위해서, 편의상 특징이 되는 부분을 확대하여 나타내고 있는 경우가 있으며, 각 구성요소의 치수 비율 등이 실제와 동일한 것으로는 한정되지 않는 것으로 한다. 또, 이하의 설명에서 예시되는 재료, 치수 등은 일 예로서, 본 발명은 그들에 반드시 한정되는 것이 아니고, 그 요지를 변경하지 않는 범위에서 적절히 변경하여 실시하는 것이 가능하다. In addition, in the drawings used in the following description, in order to make the characteristic easier to understand, in some cases, a portion that becomes a characteristic is enlarged and shown for convenience, and the dimensional ratio of each component is not limited to the actual one. In addition, materials, dimensions, and the like illustrated in the following description are examples, and the present invention is not necessarily limited thereto, and it is possible to appropriately change and implement the subject matter without changing the scope.

(단열 용기)(Insulation container)

먼저, 본 발명의 일 실시 형태로서, 예를 들면 도 1 및 도 2의 (a), (b)에 나타내는 단열 용기(1)에 대해 설명한다.First, as an embodiment of the present invention, for example, a heat insulating container 1 shown in FIGS. 1 and 2(a) and (b) will be described.

또, 도 1은, 단열 용기(1)의 구성을 나타내는 단면도이다. 도 2는, 단열 용기(1)가 구비하는 내부 용기(3)의 내측을 일부 확대한 것이며, (a)는 그 일 예를 나타내는 단면도, (b)는 그 외의 예를 나타내는 단면도이다. In addition, FIG. 1 is a cross-sectional view showing the configuration of a heat insulating container 1. 2 is a partially enlarged inner side of the inner container 3 provided in the heat insulating container 1, (a) is a cross-sectional view showing an example, and (b) is a cross-sectional view showing other examples.

본 실시 형태의 단열 용기(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 스테인리스 등으로 이루어지는 금속제의 외부 용기(2) 및 내부 용기(3)를 구비하고 있다. 단열 용기(1)는, 일단이 개구된 외부 용기(2)의 내측에 일단이 개구된 내부 용기(3)를 수용한 상태에서, 서로의 개구단끼리가 접합됨과 아울러, 이들 외부 용기(2)와 내부 용기(3)와의 사이에 진공 단열층(4)이 마련된 진공 단열 구조를 가지고 있다. As shown in FIG. 1, the heat insulating container 1 of this embodiment is provided with the metal outer container 2 and the inner container 3 made of, for example, stainless steel. In the heat-insulating container 1, in a state in which the inner container 3 with an open end is housed inside the outer container 2 with an open end, the open ends of the heat insulating container 1 are joined together, and these outer containers 2 It has a vacuum insulation structure in which a vacuum insulation layer 4 is provided between the and the inner container 3.

진공 단열층(4)은, 예를 들면, 고진공으로 감압(진공 퍼지)된 챔버 내에서, 외부 용기(2)의 저면 중앙부에 마련된 탈기공(脫氣孔)을 납재에 의해 씰링하는 것에 의해서 형성할 수 있다. The vacuum insulating layer 4 can be formed, for example, by sealing a degassing hole provided in the center of the bottom of the outer container 2 with a brazing material in a chamber depressurized (vacuum purged) with a high vacuum. have.

단열 용기(1)에서는, 이러한 진공 단열 구조를 가짐으로써, 보온이나 보냉이라고 하는 기능을 갖게 하는 것이 가능하다. In the heat-insulating container 1, by having such a vacuum heat-insulating structure, it is possible to provide a function of heat retention or cold storage.

또, 본 실시 형태의 단열 용기(1)는, 뚜껑 부착 용기로서, 이 단열 용기(1)에 대해서 나사 결합에 의해 탈착되는 덮개체(도시하지 않음)에 의해서, 이 단열 용기(1)의 상부 개구부를 개폐하는 것이 가능하게 되어 있다. In addition, the heat insulating container 1 of the present embodiment is a container with a lid, and the upper portion of the heat insulating container 1 is formed by a lid body (not shown) that is detached from the heat insulating container 1 by screwing. It is possible to open and close the opening.

또, 본 실시 형태의 단열 용기(1)는, 전체로서 대략 원통 모양의 외관 형상을 가지고 있지만, 단열 용기(1)의 외관 형상에 대해서는, 특별히 한정되는 것이 아니고, 사이즈나 디자인 등에 맞추어, 적절히 변경을 가하는 것이 가능하다. 또, 외부 용기(2)의 외면에는, 도장이나 인쇄 등이 실시되어 있어도 괜찮다. In addition, the heat insulating container 1 of the present embodiment has a substantially cylindrical outer shape as a whole, but the outer shape of the heat insulating container 1 is not particularly limited, and is appropriately changed according to the size or design, etc. It is possible to add Moreover, painting, printing, etc. may be applied to the outer surface of the outer container 2.

그런데, 본 실시 형태의 단열 용기(1)에서는, 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 내부 용기(3)의 내면에, 중간층(11)과, 다이아몬드 라이크 카본(DLC)층(12)이, 순차 적층하여 마련되어 있다. 또, DLC층(12)에는, 그 표층을 불소에 의해 개질한 불소 개질부(12a)가 마련되어 있다. By the way, in the heat insulation container 1 of this embodiment, as shown in FIG. 2(a), the intermediate layer 11 and the diamond-like carbon (DLC) layer 12 are formed on the inner surface of the inner container 3 , Are sequentially stacked and provided. Further, the DLC layer 12 is provided with a fluorine-modified portion 12a having its surface layer modified with fluorine.

또는, 본 실시 형태의 단열 용기(1)에서는, 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 내부 용기(3)의 내면에, 중간층(11)과, 다이아몬드 라이크 카본(DLC)층(12)과, 불소 함유 DLC층(13)이, 순차 적층하여 마련되어 있다. Or, in the heat insulating container 1 of this embodiment, as shown in FIG. 2(b), the intermediate layer 11, the diamond-like carbon (DLC) layer 12 and the inner surface of the inner container 3 , Fluorine-containing DLC layers 13 are sequentially stacked and provided.

중간층(11)은, 탄소(C) 및 규소(Si)와 함께, 질소(N), 수소(H), 산소(O) 중 어느 1종 이상의 원소를 포함하는 비정질(아모르퍼스)의 탄화 규소막으로 이루어진다. 중간층(11)은, DLC층(12)의 밀착성을 향상시키기 위해, 내부 용기(3)의 내면과 DLC층(12)과의 사이에 마련되어 있다. The intermediate layer 11 is an amorphous (amorphous) silicon carbide film containing at least one element of nitrogen (N), hydrogen (H), and oxygen (O) together with carbon (C) and silicon (Si). Consists of The intermediate layer 11 is provided between the inner surface of the inner container 3 and the DLC layer 12 in order to improve the adhesion of the DLC layer 12.

중간층(11)의 두께는, DLC층(12)의 두께 이상으로 되어 있다. 중간층(11)의 두께가 DLC층(12)의 두께 미만이 되면, 내부 용기(3)의 내면과 DLC층(12)과의 사이에서의 밀착성이 나빠져, DLC층(12)이 박리되기 쉬워진다. The thickness of the intermediate layer 11 is equal to or greater than the thickness of the DLC layer 12. When the thickness of the intermediate layer 11 is less than the thickness of the DLC layer 12, the adhesion between the inner surface of the inner container 3 and the DLC layer 12 deteriorates, and the DLC layer 12 is liable to be peeled off. .

DLC층(12)은, 예를 들면, 수소화 테트라헤드랄 아모르퍼스 카본(tetrahedral amorphous carbon)(ta-C:H)이나 수소화 아모르퍼스 카본(a-C:H) 등의 탄소(C) 및 수소(H)를 포함하는 비정질의 경질 탄소막으로 이루어진다. DLC층(12)의 수소 함유량은, 10~40원자%인 것이 바람직하고, 20~30원자%인 것이 특히 바람직하다. 또, DLC층(12)으로서는, 예를 들면, 테트라헤드랄 아모르퍼스 카본(ta-C)이나 아모르퍼스 카본(a-C) 등의 수소(H)를 포함하지 않는 비정질의 경질 탄소막을 이용해도 괜찮다. DLC층(12)은, 누프(Knoop) 경도(HK)에서 1500~3000인 것이 바람직하다. The DLC layer 12 is, for example, carbon (C) and hydrogen (H) such as hydrogenated tetrahedral amorphous carbon (ta-C:H) or hydrogenated amorphous carbon (aC:H). ) Containing an amorphous hard carbon film. The hydrogen content of the DLC layer 12 is preferably 10 to 40 atomic%, particularly preferably 20 to 30 atomic%. Further, as the DLC layer 12, an amorphous hard carbon film that does not contain hydrogen (H) such as tetrahedral amorphous carbon (ta-C) or amorphous carbon (a-C) may be used. The DLC layer 12 is preferably 1500 to 3000 in terms of Knoop hardness (HK).

DLC층(12)은, 고경도, 저마찰, 화학적으로 불활성, 높은 이형성(離型性), 비흡착성이라고 하는 뛰어난 특성을 가지고 있다. 이것에 의해, 내부 용기(2)의 내측에서의 내마모성, 내부식성, 청소성 등을 향상시키는 것이 가능하다. 또, 오염물이나 악취의 부착을 방지하는 것이 가능하다. The DLC layer 12 has excellent properties such as high hardness, low friction, chemically inert, high releasability, and non-adsorption. Thereby, it is possible to improve abrasion resistance, corrosion resistance, cleaning property, and the like inside the inner container 2. In addition, it is possible to prevent adhesion of contaminants and odors.

중간층(11)과 DLC층(12)을 합친 두께 합계, 또는, 중간층(11)과 DLC층(12)과 불소 함유 DLC층(13)을 합친 두께의 합계는, 4~250nm인 것이 바람직하다. 이 두께의 합계가 4nm 미만이 되면, 내부 용기(3)의 내측에서, 균등하게 성막되는 것이 곤란해진다. 한편, 이 두께의 합계가 250nm를 넘으면, 내부 용기(3)의 내측에서, 내부 용기(3)의 변형이나, 외력에 의한 변형 압력에 견디지 못하고, 파괴나 박리가 생기기 쉬워진다. 또, 이 두께의 합계가 증가하면, 성막의 원료 코스트가 커지기 때문에 비경제적이다. It is preferable that the total thickness of the intermediate layer 11 and the DLC layer 12 combined, or the total thickness of the intermediate layer 11 and the DLC layer 12 and the fluorine-containing DLC layer 13 are 4 to 250 nm. When the total of these thicknesses is less than 4 nm, it becomes difficult to form a film evenly inside the inner container 3. On the other hand, when the total of these thicknesses exceeds 250 nm, the inner container 3 cannot withstand the deformation of the inner container 3 or the deformation pressure caused by an external force, and breakage or peeling is likely to occur. Moreover, if the total of these thicknesses increases, the cost of raw materials for film formation increases, which is uneconomical.

본 실시 형태의 단열 용기(1)에서는, 중간층(11)과 DLC층(12)을 합친 두께 합계, 또는, 중간층(11)과 DLC층(12)과 불소 함유 DLC층(13)을 합친 전체의 두께를 균일하게 하는 것에 의해서, 내부 용기(3)의 내측을 전면에 걸쳐 균등하게 착색하는 것이 가능하다. 또, 이들 전체의 두께를 제어하는 것에 의해서, 색감을 변화시키는 것도 가능하다. In the heat insulation container 1 of this embodiment, the total thickness of the intermediate layer 11 and the DLC layer 12 combined, or the total thickness of the intermediate layer 11 and the DLC layer 12 and the fluorine-containing DLC layer 13 By making the thickness uniform, it is possible to uniformly color the inside of the inner container 3 over the entire surface. Moreover, it is also possible to change the color sense by controlling the thickness of the whole.

또, 본 실시 형태의 단열 용기(1)에서는, 중간층(11)의 두께를 A로 하고, DLC층(12)의 두께 B로 했을 때에, 하기 식 (1)의 관계를 만족하는 것이 바람직하다. In addition, in the heat insulating container 1 of the present embodiment, when the thickness of the intermediate layer 11 is set to A and the thickness of the DLC layer 12 is set to B, it is preferable to satisfy the relationship of the following formula (1).

A:B=1~9:1 … (1)　A:B=1~9:1 … (One)

상기 식 (1)의 관계를 만족함으로써, 내부 용기(3)의 내면과 DLC층(12)과의 사이에서의 밀착성을 중간층(11)에 의해 안정적으로 유지하는 것이 가능하다. By satisfying the relationship of the above formula (1), it is possible to stably maintain the adhesion between the inner surface of the inner container 3 and the DLC layer 12 by the intermediate layer 11.

불소 개질부(12a)는, DLC층(12)의 표층을 불소에 의해 개질한 것으로 이루어지고, DLC층(12)의 표면으로부터 깊이 방향을 향함에 따라서 불소 농도가 낮아지고 있다. 한편, 불소 함유 DLC층(13)은, 불소(F)를 함유한 비정질의 경질 탄소막으로이루어지고, DLC층(12) 상에 적층하여 마련되어 있다. The fluorine-modified portion 12a is formed by modifying the surface layer of the DLC layer 12 with fluorine, and the fluorine concentration decreases as it goes from the surface of the DLC layer 12 to the depth direction. On the other hand, the fluorine-containing DLC layer 13 is formed of an amorphous hard carbon film containing fluorine (F), and is laminated on the DLC layer 12 and provided.

본 실시 형태의 단열 용기(1)에서는, 불소 개질부(12a)를 포함하는 DLC층(12)의 표면 또는 불소 함유 DLC층(13)의 표면에서의 물의 접촉각이 80°이상이고, 또한, 누프 경도(HK)가 1000 이상인 것이 바람직하다. 이것에 의해, 발수성이 뛰어난 고경도의 불소 함유 DLC층(13)으로 하는 것이 가능하다. In the heat insulation container 1 of the present embodiment, the contact angle of water on the surface of the DLC layer 12 including the fluorine-modified portion 12a or the surface of the fluorine-containing DLC layer 13 is 80° or more, and It is preferable that the hardness (HK) is 1000 or more. Thereby, it is possible to obtain the high hardness fluorine-containing DLC layer 13 excellent in water repellency.

또, 본 실시 형태의 단열 용기(1)에서는, 중간층(11)의 두께를 A로 하고, DLC층(12)의 두께를 B로 하고, 불소 함유 DLC층(13)의 두께를 C로 했을 때에, 하기 식 (2)의 관계를 만족하는 것이 바람직하다. In addition, in the heat insulating container 1 of this embodiment, when the thickness of the intermediate layer 11 is set to A, the thickness of the DLC layer 12 is set to B, and the thickness of the fluorine-containing DLC layer 13 is set to C. And it is preferable to satisfy the relationship of the following formula (2).

A:B:C=(5~8):(1~2.5):(1~2.5) … (2)　A:B:C=(5~8):(1~2.5):(1~2.5) … (2)

상기 식 (2)의 관계를 만족함으로써, 내부 용기(3)의 내면과 DLC층(12)과의 사이에서의 밀착성을 중간층(11)에 의해 안정적으로 유지하면서, DLC층(12) 상에 양호한 불소 함유 DLC층(13)을 마련하는 것이 가능하다. By satisfying the relationship of the above formula (2), the adhesion between the inner surface of the inner container 3 and the DLC layer 12 is stably maintained by the intermediate layer 11, and is excellent on the DLC layer 12. It is possible to provide the fluorine-containing DLC layer 13.

이상과 같이, 본 실시 형태의 내열 용기(1)에서는, 상술한 종래의 불소 수지 코팅보다도 내구성이나 내마모성이 뛰어나고, 또한, 오염물이나 악취의 부착을 방지한 코팅(이하, 「DLC 코팅」이라고 함)을 내부 용기(3)의 내면에 실시하는 것이 가능하다. As described above, in the heat-resistant container 1 of the present embodiment, the coating has superior durability and abrasion resistance compared to the conventional fluororesin coating described above, and also prevents adhesion of contaminants and odors (hereinafter referred to as ``DLC coating''). It is possible to implement on the inner surface of the inner container (3).

(단열 용기의 제조 방법)(Method of manufacturing an insulating container)

다음으로, 상기 단열 용기(1)의 제조 방법에 대해서, 도 3을 참조하면서 설명한다.Next, the manufacturing method of the said heat insulating container 1 is demonstrated, referring FIG.

또, 도 3은, 단열 용기(1)의 제조 공정을 나타내는 플로우차트이다.In addition, FIG. 3 is a flowchart showing the manufacturing process of the heat insulating container 1.

본 실시 형태의 단열 용기(1)의 제조 방법에서는, 내부 용기(3)의 내면에, 플라즈마 화학 기상 성장(플라즈마 CVD)법을 이용하여, 중간층(11)과, DLC층(12)을, 순차 적층하여 형성한다. 또, DLC층(12)의 표층을 불소에 의해 개질한 불소 개질부(12a)를 형성한다. 또는, DLC층(12) 상에 불소 함유 DLC층(13)을 형성한다.In the manufacturing method of the heat insulating container 1 of the present embodiment, the intermediate layer 11 and the DLC layer 12 are sequentially formed on the inner surface of the inner container 3 by using a plasma chemical vapor deposition (plasma CVD) method. It is formed by laminating. Further, a fluorine-modified portion 12a in which the surface layer of the DLC layer 12 is modified with fluorine is formed. Alternatively, a fluorine-containing DLC layer 13 is formed on the DLC layer 12.

구체적으로는, 먼저, 도 3에 나타내는 스텝 S1에서, DLC 코팅을 실시하기 전(성막 전)의 단열 용기(1)를 준비한다.Specifically, first, in step S1 shown in FIG. 3, the heat insulating container 1 before DLC coating is performed (before film formation) is prepared.

다음으로, 도 3에 나타내는 스텝 S2에서, 단열 용기(1)를 플라즈마 CVD 성막 장치의 성막실(챔버)의 내측에 마련된 홀더에 설치한 후, 성막실의 내부를 진공 퍼지에 의해 감압 상태로 하고, 캐소드 측의 단열 용기(1)와 애노드 측의 보조 전극과의 사이에서 전압을 인가한 상태로 한다. 단열 용기(1)는, 도전성 재료(금속)로 이루어지기 때문에, 캐소드로서 기능한다.Next, in step S2 shown in FIG. 3, after installing the heat insulation container 1 in a holder provided inside the film formation chamber (chamber) of the plasma CVD film formation apparatus, the inside of the film formation chamber is brought into a reduced pressure state by vacuum purge. , A voltage is applied between the heat insulating container 1 on the cathode side and the auxiliary electrode on the anode side. Since the heat insulating container 1 is made of a conductive material (metal), it functions as a cathode.

이 때, 고주파 전원의 주파수는, 50kHz 이상, 13.56MHz 이하인 것이 바람직하고, 500kHz 이상, 800kHz 이하인 것이 보다 바람직하다. 또, 성막실 내의 압력은, 0.5Pa 이상, 100Pa 이하인 것이 바람직하다.At this time, the frequency of the high frequency power supply is preferably 50 kHz or more and 13.56 MHz or less, and more preferably 500 kHz or more and 800 kHz or less. Moreover, it is preferable that the pressure in the film formation chamber is 0.5 Pa or more and 100 Pa or less.

이 상태에서, 내부 용기(3)의 내측에, 도입관을 통해 아르곤(Ar) 가스를 도입하고, 플라즈마를 발생시키는 것에 의해서, 내부 용기(3)의 내면을 플라즈마 에칭한다. 이것에 의해, 내부 용기(3)의 기재 표면을 청정하게 처리(클리닝)한다. 또, Ar가스를 대신하여, 다른 불활성 가스(예를 들면, Xe, He, N2 등)를 이용할 수 있다. In this state, argon (Ar) gas is introduced into the inner container 3 through an introduction tube, and plasma is generated, whereby the inner surface of the inner container 3 is plasma etched. Thereby, the surface of the base material of the inner container 3 is cleaned (cleaned). Further, instead of Ar gas, other inert gases (eg, Xe, He, N 2, etc.) can be used.

또, 이 플라즈마 에칭에 의해서, 내부 용기(3)의 기재 표면을 가열할 수 있다. 이 때, 기재의 표면 온도는, 80~250°로 하는 것이 바람직하고, 120~200°로 하는 것이 보다 바람직하다. 기재의 표면 온도가 80°미만이면, 후술하는 내부 용기(3)의 내면에 중간층(11) 및 DLC층(12)을 형성할 때의 온도가 부족하고, DLC층(12)이 박리되기 쉬워진다. 한편, 기재의 표면 온도가 250°를 넘으면, 플라즈마 에칭에 걸리는 시간이 길어져, 제조 코스트가 커지게 된다.Moreover, by this plasma etching, the surface of the base material of the internal container 3 can be heated. At this time, the surface temperature of the substrate is preferably 80 to 250°, and more preferably 120 to 200°. If the surface temperature of the substrate is less than 80°, the temperature when forming the intermediate layer 11 and the DLC layer 12 on the inner surface of the inner container 3 described later is insufficient, and the DLC layer 12 is liable to peel off. . On the other hand, when the surface temperature of the substrate exceeds 250°, the time required for plasma etching becomes longer, and the manufacturing cost increases.

다음으로, 도 3에 나타내는 스텝 S3에서, 내부 용기(3)의 내측에, 도입관을 통해 중간층(11)의 원료 가스를 도입하고, 플라즈마화하는 것에 의해서, 내부 용기(3)의 내면에 중간층(11)을 형성한다.Next, in step S3 shown in FIG. 3, the raw material gas of the intermediate layer 11 is introduced into the inside of the internal container 3 through an introduction tube, and the intermediate layer is formed into a plasma. Form (11).

구체적으로, 중간층(11)의 원료 가스로서는, 예를 들면, 테트라메틸실란(Si(CH3)4)이나, 트리메톡시실란(SiH(OCH3)3) 테트라에톡시실란(Si(OC2H5)4), 헥사메틸다이실라잔(C6H19NSi2), 헥사메틸다이사이록산(C6H18OSi2), 트리스디메틸아미노실란(SiH［N(CH3)2]3) 등의 유기 규소 화합물 가스를 이용할 수 있다.Specifically, as the raw material gas of the intermediate layer 11, for example, tetramethylsilane (Si(CH 3 ) 4 ), trimethoxysilane (SiH(OCH 3 ) 3 ) tetraethoxysilane (Si(OC 2 H 5 ) 4 ), hexamethyldisilazane (C 6 H 19 NSi 2 ), hexamethyldithyroxane (C 6 H 18 OSi 2 ), trisdimethylaminosilane (SiH [N(CH 3 ) 2 ] 3 ) Organosilicon compound gases such as can be used.

중간층(11)의 원료 가스는, 내부 용기(3)의 내측에 도입된다. 이 때, 중간층(11)의 원료 가스를 플라즈마 상태로 하고, 생성되는 라디칼을 내부 용기(3)의 내면(기재 표면)에 퇴적시키면서, 중간층(11)을 성막한다.The raw material gas of the intermediate layer 11 is introduced into the inner container 3. At this time, the intermediate layer 11 is formed while the raw material gas of the intermediate layer 11 is in a plasma state and the generated radicals are deposited on the inner surface (substrate surface) of the inner container 3.

다음으로, 도 3에 나타내는 스텝 S4에서, 내부 용기(3)의 내측에, 도입관을 통해 DLC층(12)의 원료 가스를 도입하고, 플라즈마화하는 것에 의해서, 내부 용기(3)의 내면에 중간층(11)을 통해서 DLC층(12)을 형성한다.Next, in step S4 shown in FIG. 3, the raw material gas of the DLC layer 12 is introduced into the inner container 3 through an introduction tube, and plasma is formed to the inner surface of the inner container 3. The DLC layer 12 is formed through the intermediate layer 11.

구체적으로, DLC층(12)의 원료 가스로서는, 예를 들면, 메탄(CH4)이나, 에탄(C2H6), 에틸렌(C2H4), 아세틸렌(C2H2), 톨루엔(C6H5CH3) 등의 탄화수소계 가스를 이용할 수 있다. DLC층(12)의 원료 가스는, 내부 용기(3)의 내측에 도입된다. 이 때, DLC층(12)의 원료 가스를 플라즈마 상태로 하고, 생성되는 라디칼을 중간층(11) 상에 퇴적시키면서, DLC층(12)을 성막한다.Specifically, as the raw material gas of the DLC layer 12, for example, methane (CH 4 ), ethane (C 2 H 6 ), ethylene (C 2 H 4 ), acetylene (C 2 H 2 ), toluene ( Hydrocarbon-based gases such as C 6 H 5 CH 3 ) can be used. The raw material gas of the DLC layer 12 is introduced into the inner container 3. At this time, the DLC layer 12 is formed while the raw material gas of the DLC layer 12 is in a plasma state and the generated radicals are deposited on the intermediate layer 11.

상술한 바와 같이, 중간층(11)의 두께를 DLC층(12)의 두께 이상으로 함으로써, 중간층(11)을 통해서 내부 용기(3)의 내면과 DLC층(12)과의 사이에서의 밀착성을 좋게 하는 것이 가능하다. 또, 상기 식 (1)의 관계를 만족하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 내부 용기(3)의 내면과 DLC층(12)과의 사이에서의 밀착성을 중간층(11)에 의해 안정적으로 유지하는 것이 가능하다.As described above, by making the thickness of the intermediate layer 11 equal to or larger than the thickness of the DLC layer 12, the adhesion between the inner surface of the inner container 3 and the DLC layer 12 through the intermediate layer 11 is improved. It is possible to do. Moreover, it is preferable to satisfy the relationship of the above formula (1). Thereby, it is possible to stably maintain the adhesiveness between the inner surface of the inner container 3 and the DLC layer 12 by the intermediate layer 11.

또, 중간층(11)을 형성하기 전에, 상술한 플라즈마 에칭을 포함하는 가열 공정에 의해서, 내부 용기(3)의 내면을 가열하는 것이 바람직하다. 이 경우, 열팽창한 내부 용기(3)의 표면에 중간층(11)이 형성되기 때문에, 성막 후에 상온이 된 중간층(11) 및 DLC층(12)에는, 냉각에 따른 내부 용기(3)의 수축에 의해서 압축 응력이 가해지게 된다. 이것에 의해, 사용시에 단열 용기(1)에 따뜻한 음료 등을 넣는 경우에, 내부 용기(3)의 열팽창에 대해서 중간층(11) 및 DLC층(12)에 인장 응력이 가해지는 것을 회피할 수 있다. 그 결과, 이들 중간층(11) 및 DLC층(12)에 금이나 균열 등이 발생하는 것을 막음과 아울러, DLC층(12)의 밀착성을 향상시키는 것이 가능하다.In addition, before forming the intermediate layer 11, it is preferable to heat the inner surface of the inner container 3 by a heating process including the plasma etching described above. In this case, since the intermediate layer 11 is formed on the surface of the thermally expanded inner container 3, the intermediate layer 11 and the DLC layer 12, which have reached room temperature after film formation, are prevented from contraction of the inner container 3 due to cooling. As a result, compressive stress is applied. In this way, when hot beverages, etc. are put into the heat insulating container 1 during use, it is possible to avoid the application of tensile stress to the intermediate layer 11 and the DLC layer 12 against the thermal expansion of the inner container 3. . As a result, it is possible to prevent the occurrence of cracks or cracks in the intermediate layer 11 and the DLC layer 12 and to improve the adhesion of the DLC layer 12.

다음으로, 도 3에 나타내는 스텝 S5에서, DLC층(12)의 표층을 불소에 의해 개질한 불소 개질부(12a)를 형성한다. 또는, DLC층(12) 상에 불소 함유 DLC층(13)을 형성한다.Next, in step S5 shown in Fig. 3, a fluorine modified portion 12a obtained by modifying the surface layer of the DLC layer 12 with fluorine is formed. Alternatively, a fluorine-containing DLC layer 13 is formed on the DLC layer 12.

구체적으로, 내부 용기(3)의 내측에, 예를 들면, 테트라플루오르메탄(CF4)이나, 헥사플루오르에탄(C2F6), 옥타플루오르프로판(C3F8), 옥타플루오르시클로부판(c-C4F8), 트리플루오르메탄(CHF3), 6플루오르화유황(SF6), 트리플루오르아민(NF3) 등의 불소계 가스를 도입하고, 플라즈마화하는 것에 의해서, DLC층(12)의 표층을 개질한다. 이것에 의해, DLC층(12)의 표층에 불소 개질부(12a)를 형성할 수 있다.Specifically, inside the inner container 3, for example, tetrafluoromethane (CF 4 ), hexafluoroethane (C 2 F 6 ), octafluoropropane (C 3 F 8 ), octafluorocyclobutane ( By introducing a fluorine-based gas such as cC 4 F 8 ), trifluoromethane (CHF 3 ), sulfur hexafluoride (SF 6 ), and trifluoroamine (NF 3 ), and forming plasma, the DLC layer 12 is The surface layer is modified. Thereby, the fluorine modified part 12a can be formed on the surface layer of the DLC layer 12.

한편, 내부 용기(3)의 내측에, 상술한 불소계 가스를 DLC층(12)의 원료 가스와 함께 도입하고, 플라즈마화하는 것에 의해서, DLC층(12) 상에 불소 함유 DLC층(13)을 형성할 수 있다.On the other hand, by introducing the above-described fluorine-based gas into the inner container 3 together with the raw material gas of the DLC layer 12 and forming plasma, the fluorine-containing DLC layer 13 is formed on the DLC layer 12. Can be formed.

상술한 바와 같이, 불소 함유 DLC층(13)을 형성할 때에는, 상기 식 (2)의 관계를 만족하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 내부 용기(3)의 내면과 DLC층(12)과의 사이에서의 밀착성을 중간층(11)에 의해 안정적으로 유지하면서, DLC층(12) 상에 양호한 불소 함유 DLC층(13)을 형성하는 것이 가능하다.As described above, when forming the fluorine-containing DLC layer 13, it is preferable to satisfy the relationship of formula (2). Thereby, a good fluorine-containing DLC layer 13 on the DLC layer 12 while stably maintaining the adhesion between the inner surface of the inner container 3 and the DLC layer 12 by the intermediate layer 11 It is possible to form.

다음으로, 도 3에 나타내는 스텝 S6에서, 성막실(12)의 내부에 질소(N2) 가스를 도입하여, 성막실의 내부 압력을 상압(常壓)으로 한다. 이것에 의해, 성막실을 개방하고, 단열 용기(1)를 취출할 수 있다.Next, in step S6 shown in FIG. 3, nitrogen (N2) gas is introduced into the film forming chamber 12, and the internal pressure of the film forming chamber is taken as normal pressure. Thereby, the film formation chamber can be opened and the heat insulating container 1 can be taken out.

이상과 같은 공정을 거치는 것에 의해서, 내부 용기(3)의 내면에 DLC 코팅이 실시된 단열 용기(1)를 제조하는 것이 가능하다.By passing through the above process, it is possible to manufacture the heat insulating container 1 in which the DLC coating has been applied to the inner surface of the inner container 3.

이상과 같이, 본 실시 형태의 단열 용기(1)의 제조 방법에서는, 상술한 종래의 불소 수지 코팅보다도 내마모성이나 내부식성이 뛰어나고, 또한, 오염물이나 악취의 부착을 방지한 DLC 코팅을 내부 용기(3)의 내면에 실시한 단열 용기(1)를 제조하는 것이 가능하다. As described above, in the manufacturing method of the heat insulating container 1 of the present embodiment, a DLC coating having superior abrasion resistance and corrosion resistance than the conventional fluororesin coating described above, and preventing adhesion of contaminants and odors is applied to the inner container 3 ) It is possible to manufacture the heat-insulating container (1) carried out on the inner surface.

또, 본 발명은, 상기 실시 형태의 것에 반드시 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변경을 가하는 것이 가능하다.In addition, the present invention is not necessarily limited to those of the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

구체적으로, 상기 단열 용기(1)에서는, 내부 용기(3)의 내면의 전면(全面)에 걸쳐 DLC 코팅이 실시된 구성으로 되어 있지만, 예를 들면, 외부 용기(2)의 외면에 마련된 구경부(口頸部)에는, 덮개체를 나사 결합에 의해 탈착하는 수나사부가 마련되어 있다. 이 수나사부에 DLC 코팅을 실시한 구성으로 해도 괜찮다. 게다가, 내부 용기(3)의 내면과 함께, 외부 용기(2)의 외면에 DLC 코팅을 실시한 구성이라도 괜찮다. Specifically, the heat insulating container 1 has a configuration in which DLC coating is applied over the entire inner surface of the inner container 3, but, for example, a diameter portion provided on the outer surface of the outer container 2 The male screw portion for attaching and detaching the lid body by screwing is provided in the mouthpiece. It may be a configuration in which DLC coating is applied to this male thread. Moreover, it may be a configuration in which DLC coating is applied to the outer surface of the outer container 2 together with the inner surface of the inner container 3.

또, 상기 단열 용기(1)에서는, 상술한 불소 개질부(12a) 또는 불소 함유 DLC층(13)을 생략하고, 내부 용기(3)의 내면에, 중간층(11)과, DLC층(12)이, 순차 적층하여 마련된 구성으로 하는 것도 가능하다. In the heat insulating container 1, the above-described fluorine reforming portion 12a or the fluorine-containing DLC layer 13 is omitted, and an intermediate layer 11 and a DLC layer 12 are provided on the inner surface of the inner container 3. It is also possible to have a configuration prepared by sequentially stacking.

1 - 단열 용기 2 - 외부 용기
3 - 내부 용기 4 - 진공 단열층
11 - 중간층 12 - DLC층
12a - 불소 개질부 13 - 불소 함유 DLC층1-insulated container 2-outer container
3-inner container 4-vacuum insulation layer
11-middle layer 12-DLC layer
12a-fluorine reforming part 13-fluorine-containing DLC layer

Claims (18)

일단이 개구된 금속제의 외부 용기 및 내부 용기를 가지며, 상기 외부 용기의 내측에 상기 내부 용기를 수용한 상태에서 서로 접합됨과 아울러, 상기 외부 용기와 상기 내부 용기와의 사이에 진공 단열층이 마련된 단열 용기로서,
상기 내부 용기의 내면에, 중간층과, 다이아몬드 라이크 카본(Diamond Like Carbon; DLC)층이, 순차 적층하여 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 단열 용기.A heat insulating container having an outer container and an inner container made of metal with an open end, and bonded to each other while receiving the inner container inside the outer container and provided with a vacuum insulating layer between the outer container and the inner container as,
An insulated container, characterized in that an intermediate layer and a diamond like carbon (DLC) layer are sequentially stacked on the inner surface of the inner container. 청구항 1에 있어서,
상기 중간층의 두께가 상기 DLC층의 두께 이상인 것을 특징으로 하는 단열 용기.The method according to claim 1,
Insulated container, characterized in that the thickness of the intermediate layer is greater than the thickness of the DLC layer. 청구항 1에 있어서,
상기 중간층과 상기 DLC층과의 두께의 합계가 4~250nm인 것을 특징으로 하는 단열 용기.The method according to claim 1,
Insulated container, characterized in that the total thickness of the intermediate layer and the DLC layer is 4 ~ 250nm. 청구항 2에 있어서,
상기 중간층의 두께를 A로 하고, 상기 DLC층의 두께를 B로 했을 때에,
A:B=(1~9):1
의 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 단열 용기.The method according to claim 2,
When the thickness of the intermediate layer is A and the thickness of the DLC layer is B,
A:B=(1~9):1
Insulated container, characterized in that satisfying the relationship of. 청구항 1에 있어서,
상기 DLC층의 표층이 불소에 의해 개질되어 있는 것을 특징으로 하는 단열 용기.The method according to claim 1,
Insulated container, characterized in that the surface layer of the DLC layer is modified with fluorine. 청구항 1에 있어서,
상기 DLC층 상에 불소 함유 DLC층이 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 단열 용기.The method according to claim 1,
A heat insulating container, wherein a fluorine-containing DLC layer is laminated on the DLC layer. 청구항 6에 있어서,
상기 중간층의 두께를 A로 하고, 상기 DLC층의 두께를 B로 하고, 상기 불소 함유 DLC층의 두께를 C로 했을 때에,
A:B:C=(5~8):(1~2.5):(1~2.5)
의 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 단열 용기.The method of claim 6,
When the thickness of the intermediate layer is A, the thickness of the DLC layer is B, and the thickness of the fluorine-containing DLC layer is C,
A:B:C=(5~8):(1~2.5):(1~2.5)
Insulated container, characterized in that satisfying the relationship of. 청구항 6에 있어서,
상기 내부 용기의 내측의 최표(最表)층에서의 물의 접촉각이 80°이상인 것을 특징으로 하는 단열 용기.The method of claim 6,
A heat insulating container, characterized in that the contact angle of water in the outermost layer of the inner container is 80° or more. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
상기 중간층은, 탄소 및 규소와 함께, 질소, 수소, 산소 중 어느 1종 이상의 원소를 포함하는 비정질의 탄화 규소막으로 이루어지며,
상기 DLC층은, 탄소 및 수소를 포함하는 비정질의 경질 탄소막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 단열 용기.The method according to any one of claims 1 to 8,
The intermediate layer is made of an amorphous silicon carbide film containing one or more elements of nitrogen, hydrogen, and oxygen together with carbon and silicon,
Wherein the DLC layer is made of an amorphous hard carbon film containing carbon and hydrogen. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
상기 내부 용기의 내측이 착색되어 있는 것을 특징으로 하는 단열 용기.The method according to any one of claims 1 to 8,
Insulated container, characterized in that the inside of the inner container is colored. 일단이 개구된 금속제의 외부 용기 및 내부 용기를 가지며, 상기 외부 용기의 내측에 상기 내부 용기를 수용한 상태에서 서로 접합됨과 아울러, 상기 외부 용기와 상기 내부 용기와의 사이에 진공 단열층이 마련된 단열 용기의 제조 방법으로서,
상기 내부 용기의 내면에, 플라즈마 화학 기상 성장(플라즈마 CVD)법을 이용하여, 중간층과, 다이아몬드 라이크 카본(DLC)층을, 순차 적층하여 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 단열 용기의 제조 방법.A heat insulating container having an outer container and an inner container made of metal with an open end, and bonded to each other while receiving the inner container inside the outer container and provided with a vacuum insulating layer between the outer container and the inner container As a manufacturing method of,
A method for manufacturing an insulated container, comprising the step of sequentially laminating an intermediate layer and a diamond-like carbon (DLC) layer on the inner surface of the inner container by using a plasma chemical vapor deposition (plasma CVD) method. . 청구항 11에 있어서,
상기 중간층의 두께를 상기 DLC층의 두께 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 단열 용기의 제조 방법.The method of claim 11,
The method of manufacturing a heat insulating container, characterized in that the thickness of the intermediate layer is equal to or greater than the thickness of the DLC layer. 청구항 11에 있어서,
상기 단열 용기를 성막실(成膜室)의 내부에 설치한 후에, 상기 성막실의 내부를 감압하고, 캐소드 측의 상기 단열 용기와 애노드 측의 보조 전극과의 사이에서 전압을 인가한 상태에서, 상기 내부 용기의 내측에 순차 도입되는 상기 중간층과 상기 DLC층과의 원료 가스를 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 중간층과, 상기 DLC층을, 순차 적층하여 형성하는 것을 특징으로 하는 단열 용기의 제조 방법.The method of claim 11,
After installing the heat insulating container inside the film forming chamber, the inside of the film forming chamber is depressurized, and a voltage is applied between the heat insulating container on the cathode side and the auxiliary electrode on the anode side, A method of manufacturing an insulated container, characterized in that the intermediate layer and the DLC layer are sequentially stacked and formed by plasmaizing a raw material gas between the intermediate layer and the DLC layer sequentially introduced into the inner container. 청구항 11 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 있어서,
상기 DLC층의 표층을 불소에 의해 개질하는 것을 특징으로 하는 단열 용기의 제조 방법.The method according to any one of claims 11 to 13,
A method of manufacturing an insulated container, characterized in that the surface layer of the DLC layer is modified with fluorine. 청구항 14에 있어서,
상기 단열 용기를 성막실의 내부에 설치한 후에, 상기 성막실의 내부를 감압하고, 캐소드 측의 상기 단열 용기와 애노드 측의 보조 전극과의 사이에서 전압을 인가한 상태에서, 상기 내부 용기의 내측에 순차 도입되는 상기 중간층과 상기 DLC층과의 원료 가스를 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 중간층과, 상기 DLC층을, 순차 적층하여 형성한 후에,
상기 내부 용기의 내측에, 플루오로카본계 가스를 도입하고, 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 DLC층의 표층을 불소에 의해 개질하는 것을 특징으로 하는 단열 용기의 제조 방법.The method of claim 14,
After installing the heat insulating container inside the film formation chamber, the inside of the inner container is decompressed and a voltage is applied between the heat insulating container on the cathode side and the auxiliary electrode on the anode side. After forming the intermediate layer and the DLC layer by sequentially stacking the intermediate layer and the DLC layer by converting the raw material gas between the intermediate layer and the DLC layer sequentially introduced into a plasma,
A method for manufacturing an insulated container, characterized in that the surface layer of the DLC layer is modified with fluorine by introducing a fluorocarbon gas into the inner container and converting it into plasma. 청구항 11 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 있어서,
상기 DLC층 상에 불소 함유 DLC층을 형성하는 것을 특징으로 하는 단열 용기의 제조 방법.The method according to any one of claims 11 to 13,
A method of manufacturing a heat insulating container, comprising forming a fluorine-containing DLC layer on the DLC layer. 청구항 16에 있어서,
상기 단열 용기를 성막실의 내부에 설치한 후에, 상기 성막실의 내부를 감압하고, 캐소드 측의 상기 단열 용기와 애노드 측의 보조 전극과의 사이에서 전압을 인가한 상태에서, 상기 내부 용기의 내측에 순차 도입되는 상기 중간층과 상기 DLC층과의 원료 가스를 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 중간층과, 상기 DLC층을, 순차 적층하여 형성한 후에,
상기 내부 용기의 내측에, 상기 DLC층의 원료 가스와 함께 플루오로카본계 가스를 도입하고, 플라즈마화하는 것에 의해서, 상기 DLC층 상에 불소 함유 DLC층을 형성하는 것을 특징으로 하는 단열 용기의 제조 방법.The method of claim 16,
After installing the heat insulating container inside the film formation chamber, the inside of the inner container is decompressed and a voltage is applied between the heat insulating container on the cathode side and the auxiliary electrode on the anode side. After forming the intermediate layer and the DLC layer by sequentially stacking the intermediate layer and the DLC layer by converting the raw material gas between the intermediate layer and the DLC layer sequentially introduced into a plasma,
In the inside of the inner container, by introducing a fluorocarbon-based gas together with the raw material gas of the DLC layer and converting it into plasma, a fluorine-containing DLC layer is formed on the DLC layer. Way. 청구항 11 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 있어서,
상기 중간층의 원료 가스로서, 유기 규소 화합물 가스를 이용하고,
상기 DLC층의 원료 가스로서, 탄화계 수소 가스를 이용하는 것을 특징으로 하는 단열 용기의 제조 방법.The method according to any one of claims 11 to 13,
As the raw material gas of the intermediate layer, an organosilicon compound gas is used,
A method for manufacturing an insulated container, characterized in that a hydrocarbon-based hydrogen gas is used as a source gas for the DLC layer.
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