KR20200139508A - Apparatus for laminating film and method for laminating film - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 필름 부착장치 및 필름 부착방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가요성의 정전척 시트를 이용하는 필름 부착장치 및 필름 부착방법에 관한 것이다.The present invention relates to a film attaching apparatus and a film attaching method, and more particularly, to a film attaching apparatus and a film attaching method using a flexible electrostatic chuck sheet.
일반적으로, 디스플레이(display)가 포함된 전자기기(예를 들어, 휴대폰, 태블릿 PC, PDA, 디지털카메라, TV, 모니터 등)의 디스플레이 패널(display panel) 전면에는 외부의 충격이나 스크래치, 오염물질에 의한 훼손 등으로부터 안전하도록 하는 보호 필름(예를 들어, POL, FRP 등) 및/또는 편광필름(polaroid film), OCA(Optical Clear Adhesive)필름 등의 광학 필름을 부착하고 있는데, 이러한 보호 필름 및/또는 광학 필름은 한쪽 면에 점착물질이 구비되어 있어 디스플레이 패널의 전면에 부착이 가능하다.In general, the front of a display panel of an electronic device (for example, a mobile phone, a tablet PC, a PDA, a digital camera, a TV, a monitor, etc.) including a display is exposed to external shocks, scratches, and pollutants. A protective film (e.g., POL, FRP, etc.) and/or optical films such as a polaroid film and an OCA (Optical Clear Adhesive) film are attached to make it safe from damage caused by damage, etc. Alternatively, the optical film is provided with an adhesive material on one side, so it can be attached to the front of the display panel.
종래의 디스플레이 패널에 보호 필름 또는 광학 필름을 부착하는 필름 부착공정은 작업자가 보호 필름 또는 광학 필름의 점착물질이 구비된 면에 부착되어 있는 보호외피를 떼어낸 다음 보호 필름 또는 광학 필름을 디스플레이 패널에 단순히 밀착시켜 부착하는 과정으로 이루어졌으므로, 보호 필름 또는 광학 필름을 정확한 위치에 반듯하게 부착하기가 힘들었음은 물론 부착하는 속도도 신속하지 못하여 품질에 대한 신뢰도와 생산성이 낮을 수밖에 없었다.In the conventional film attaching process of attaching a protective film or an optical film to a display panel, an operator removes the protective sheath attached to the surface of the protective film or optical film with adhesive material, and then attaches the protective film or optical film to the display panel. Since it was made by simply attaching it in close contact, it was difficult to attach the protective film or optical film to the correct position, and the speed of attaching was not fast, so the reliability and productivity of the quality were inevitably low.
이러한 문제를 해결하고자 디스플레이 패널에 대한 보호 필름 또는 광학 필름의 일률적인 부착이 자동으로 이루어질 수 있도록 한 필름 부착장치가 몇몇 제안된 바 있으나, 종래의 필름 부착장치들은 보호외피를 떼어낸 보호 필름 또는 광학 필름을 디스플레이 패널에 단순히 밀착 대응시켜서 부착하는 정도의 단순한 구조로 이루어져 있어, 보호 필름 또는 광학 필름이 부착되는 디스플레이 패널의 부착면에 기포가 발생되는 현상이 나타나거나 일정한 위치에 부착되지 못하고 위치가 이탈되는 등의 원인으로 인하여 불량률이 높고 품질에 대한 신뢰도가 낮은 문제점이 발생하여 효율적인 필름 부착공정이 이루어지지 못하고 있는 실정이다.In order to solve this problem, several film attaching devices have been proposed that allow uniform attachment of a protective film or optical film to the display panel, but conventional film attaching devices are used to remove protective films or optical films. It is composed of a simple structure such that the film is simply attached to the display panel in close contact with each other, so bubbles are generated on the attachment surface of the display panel to which the protective film or optical film is attached, or it cannot be attached to a certain position and the position is deviated. There is a problem in that the defect rate is high and the reliability of the quality is low due to such causes, and an efficient film attaching process is not achieved.
본 발명은 가요성의 정전척 시트를 이용하여 기포 발생없이 부착 대상물에 필름을 부착하는 필름 부착장치 및 필름 부착방법을 제공한다.The present invention provides a film attaching apparatus and a film attaching method for attaching a film to an object to be attached without generating bubbles using a flexible electrostatic chuck sheet.
본 발명의 일실시예에 따른 필름 부착장치는 정전기력으로 필름을 고정하는 가요성의 정전척 시트; 상기 필름이 부착되는 부착 대상물을 지지하여 고정하는 스테이지부; 및 상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트에 가압력을 제공하여, 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 가압 롤러부;를 포함할 수 있다.A film attaching apparatus according to an embodiment of the present invention includes a flexible electrostatic chuck sheet for fixing a film by electrostatic force; A stage part supporting and fixing an object to which the film is attached; And a pressing roller unit for attaching the film to the attachment object by providing a pressing force to the electrostatic chuck sheet toward the stage unit.
상기 정전척 시트는, 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 가지며, 상기 정전기력이 생성되는 필름 형태의 정전층; 상기 정전층의 제1 면 상에 제공되어, 상기 필름의 지지면을 이루는 연성층; 및 상기 정전층의 제2 면 상에 제공되며, 상기 정전층 및 상기 연성층의 연신을 억제하는 연신억제층;을 포함할 수 있다.The electrostatic chuck sheet includes: an electrostatic layer in the form of a film having first and second surfaces facing each other, and generating the electrostatic force; A flexible layer provided on the first surface of the electrostatic layer and forming a support surface of the film; And a stretching inhibiting layer provided on the second surface of the electrostatic layer and suppressing the stretching of the electrostatic layer and the flexible layer.
상기 연신억제층은 상기 연성층보다 큰 강성을 갖는 금속으로 이루어질 수 있다.The stretch inhibiting layer may be made of a metal having greater rigidity than the flexible layer.
상기 연신억제층은 상기 가압 롤러부의 가압력보다 큰 항복 응력을 가질 수 있다.The stretch inhibiting layer may have a yield stress greater than a pressing force of the pressing roller part.
상기 가압 롤러부는, 상기 정전척 시트에 접촉되는 롤러; 상기 정전척 시트를 향해 상기 롤러를 이동시켜 상기 정전척 시트를 가압하는 가압부; 및 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 상기 롤러를 주행시키는 주행부;를 포함할 수 있다.The pressure roller unit may include a roller contacting the electrostatic chuck sheet; A pressing unit for pressing the electrostatic chuck sheet by moving the roller toward the electrostatic chuck sheet; And a running unit for running the roller along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet.
상기 정전층은, 상기 정전척 시트의 폭방향으로 연장되며, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 배열되는 복수의 분할전극을 포함하고, 상기 복수의 분할전극에 각각 독립적으로 전원 공급이 가능한 전원부;를 더 포함할 수 있다.The electrostatic layer may include a power supply unit extending in a width direction of the electrostatic chuck sheet, including a plurality of divided electrodes arranged along a length direction of the electrostatic chuck sheet, and independently supplying power to the plurality of divided electrodes; It may further include.
상기 롤러의 위치를 검출하는 위치 검출부;를 더 포함하고, 상기 전원부는 상기 롤러의 위치 검출에 따라 상기 롤러가 통과한 위치의 분할전극에 전원 공급을 차단할 수 있다.A position detection unit configured to detect a position of the roller, wherein the power supply unit may cut off supply of power to the divided electrode at a position through which the roller passes according to the position detection of the roller.
상기 정전척 시트의 길이방향 양측을 고정하는 한 쌍의 시트 고정부; 및 상기 한 쌍의 시트 고정부 중 적어도 어느 하나에 연결되어, 상기 정전척 시트에 작용하는 인장력을 조절하는 인장력 제어부;를 더 포함할 수 있다.A pair of sheet fixing portions fixing both sides of the electrostatic chuck sheet in the longitudinal direction; And a tensile force control unit connected to at least one of the pair of sheet fixing units to adjust a tensile force acting on the electrostatic chuck sheet.
상기 인장력 제어부는, 일측이 상기 시트 고정부에 연결되는 탄성부재 또는 에어실린더; 및 상기 탄성부재 또는 상기 에어실린더의 타측이 고정되는 고정부재;를 포함할 수 있다.The tensile force control unit may include an elastic member or an air cylinder having one side connected to the seat fixing unit; And a fixing member to which the elastic member or the other side of the air cylinder is fixed.
본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 부착방법은 가요성의 정전척 시트에 필름을 정전기력으로 고정하는 과정; 스테이지부 상에 상기 필름이 부착되는 부착 대상물을 지지하는 과정; 및 가압 롤러부로 상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트를 가압하여 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정;을 포함할 수 있다.A method of attaching a film according to another embodiment of the present invention includes a process of fixing a film to a flexible electrostatic chuck sheet by electrostatic force; Supporting an object to which the film is attached on the stage part; And a process of attaching the film to the attachment object by pressing the electrostatic chuck sheet toward the stage unit with a pressing roller unit.
상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정은, 상기 정전척 시트를 가압하는 과정; 상기 필름과 상기 부착 대상물을 적어도 부분적으로 접촉시키는 과정; 및 상기 가압 롤러부의 롤러를 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 주행시키는 과정;을 포함할 수 있다.The process of attaching the film to the attachment object may include pressing the electrostatic chuck sheet; At least partially contacting the film and the attachment object; And a process of running the roller of the pressure roller part along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet.
상기 정전척 시트는, 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 가지며, 정전기력이 생성되는 필름 형태의 정전층; 상기 정전층의 제1 면 상에 제공되어, 상기 필름의 지지면을 이루는 연성층; 및 상기 정전층의 제2 면 상에 제공되며, 상기 정전층 및 상기 연성층의 연신을 억제하는 연신억제층을 포함하고, 상기 정전척 시트를 가압하는 과정에서는 상기 연신억제층의 항복 응력보다 작은 상기 가압 롤러부의 가압력으로 상기 정전척 시트를 가압할 수 있다.The electrostatic chuck sheet includes: an electrostatic layer in the form of a film having first and second surfaces facing each other, and generating electrostatic force; A flexible layer provided on the first surface of the electrostatic layer and forming a support surface of the film; And a stretch inhibiting layer provided on the second surface of the electrostatic layer and inhibiting the stretching of the electrostatic layer and the flexible layer. In a process of pressing the electrostatic chuck sheet, a yield stress of the stretch inhibiting layer The electrostatic chuck sheet may be pressed with the pressing force of the pressing roller part.
상기 정전층은, 상기 정전척 시트의 폭방향으로 연장되며, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 배열되는 복수의 분할전극을 포함하고, 상기 롤러가 가압하고 지나간 분할전극을 개별적으로 오프(off)하여, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 순차적으로 상기 필름에 대한 고정력을 제거하는 과정;을 더 포함할 수 있다.The electrostatic layer extends in the width direction of the electrostatic chuck sheet and includes a plurality of dividing electrodes arranged along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet, and individually turns off the dividing electrodes passed by pressing the roller. Thus, the process of sequentially removing the fixing force to the film along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet; may further include.
한 쌍의 시트 고정부에 상기 정전척 시트의 양측을 각각 고정하는 과정;을 더 포함하고, 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정은 상기 한 쌍의 시트 고정부의 간격이 조정되는 과정을 포함할 수 있다.The process of fixing both sides of the electrostatic chuck sheet to a pair of sheet fixing units, respectively; further includes, and the process of attaching the film to the attachment object includes a process of adjusting the spacing of the pair of sheet fixing units can do.
본 발명의 실시 형태에 따른 필름 부착장치는 가요성의 정전척 시트로 필름을 고정하여 패널 등의 부착 대상물에 부착시킴으로써, 정전척 시트가 패널의 형상에 따라 다양한 형태로 변형될 수 있어 곡면 패널 등의 다양한 형태의 패널에 효과적으로 필름을 부착할 수 있다. 또한, 정전척 시트가 가압 롤러부의 가압에 의해 부착 대상물을 향해 연신될 수 있어 가압 롤러부에 의한 가압력이 필름과 부착 대상물을 접촉시키는 롤러의 위치에 보다 효과적으로 집중될 수 있다.The film attaching device according to the embodiment of the present invention fixes the film with a flexible electrostatic chuck sheet and attaches it to an object to be attached such as a panel, so that the electrostatic chuck sheet can be deformed in various forms according to the shape of the panel. Film can be effectively attached to various types of panels. In addition, the electrostatic chuck sheet may be stretched toward the attachment object by pressing the pressure roller portion, so that the pressing force by the pressure roller portion can be more effectively concentrated on the position of the roller contacting the film and the attachment object.
그리고 정전척 시트가 연신억제층을 포함하여 정전척 시트가 곡면으로 연신되는 것이 아니라 롤러의 가압 부분을 중심으로 연신억제층의 양측이 각을 이룰 수 있으므로, 롤러의 가압 부분에 선 접촉과 유사한 접촉이 일어날 수 있고, 금속으로 이루어진 연신억제층이 필름을 부착 대상물을 향해 충분히 눌러줄 수 있다. 이에 따라 기포 발생없이 필름을 부착 대상물에 부착할 수 있다.In addition, since the electrostatic chuck sheet is not stretched to a curved surface including the stretch inhibiting layer, but the both sides of the stretch inhibiting layer can form an angle around the pressing portion of the roller, a contact similar to line contact with the pressing portion of the roller. This can occur, and the stretch inhibiting layer made of metal can sufficiently press the film toward the attachment object. Accordingly, the film can be attached to the object to be attached without generating air bubbles.
또한, 정전척 시트의 폭방향으로 연장되고 길이방향을 따라 배열되는 복수의 분할전극으로 정전층을 구성하여 복수의 분할전극에 각각 독립적으로 전원을 공급함으로써, 롤러가 통과하여 필름과 부착 대상물의 부착이 이루어진 부분에 위치한 분할전극의 전원 공급을 차단하여 고정력을 제거할 수 있으며, 이에 따라 필름을 고정하는 정전척 시트의 고정력에 의해 부착 대상물에 부착되었던 필름이 들뜨게 되는 것을 방지할 수 있고, 필름을 부착 대상물의 전체면에 균일하면서 안정적으로 부착할 수 있다.In addition, by forming an electrostatic layer with a plurality of divided electrodes extending in the width direction of the electrostatic chuck sheet and arranged along the length direction, power is independently supplied to the plurality of divided electrodes, so that the roller passes through and attaches the film and the attachment object. It is possible to remove the fixing force by cutting off the power supply of the divided electrode located in the formed part. Accordingly, the film attached to the attachment object can be prevented from being lifted by the fixing force of the electrostatic chuck sheet fixing the film. It can be uniformly and stably attached to the entire surface of the attachment object.
그리고 인장력 제어부를 통해 가압 롤러부의 가압에 의한 정전척 시트의 연신(또는 변형)에 따라 정전척 시트의 길이방향 양측의 간격을 조정함으로써, 정전척 시트에 작용하는 장력(tension)을 유지할 수 있고, 이에 따라 정전척 시트 및/또는 이에 고정된 필름의 손상을 방지할 수도 있다.And by adjusting the distance on both sides of the electrostatic chuck sheet in the longitudinal direction according to the stretching (or deformation) of the electrostatic chuck sheet by pressing the pressing roller unit through the tensile force control unit, it is possible to maintain a tension acting on the electrostatic chuck sheet, Accordingly, damage to the electrostatic chuck sheet and/or the film fixed thereto may be prevented.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 필름 부착장치를 나타낸 개략 단면도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 가요성의 정전척 시트를 나타내는 개략 단면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 정전척 시트의 연신억제층의 기능을 설명하기 위한 개념도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 부착방법을 나타낸 순서도.1 is a schematic cross-sectional view showing a film attaching apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view showing a flexible electrostatic chuck sheet according to an embodiment of the present invention.
3 is a conceptual diagram for explaining the function of the stretch inhibiting layer of the electrostatic chuck sheet according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a flow chart showing a film attachment method according to another embodiment of the present invention.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하고, 도면은 본 발명의 실시예를 정확히 설명하기 위하여 크기가 부분적으로 과장될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, only the present embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the scope of the invention to those of ordinary skill in the art It is provided to inform you. In the description, the same reference numerals are assigned to the same components, and the drawings may be partially exaggerated in size to accurately describe the embodiments of the present invention, and the same numerals refer to the same elements in the drawings.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 필름 부착장치를 나타낸 개략 단면도로, 도 1(a)는 정전척 시트에 가압력을 제공하기 전 상태이고, 도 1(b)는 정전척 시트에 가압력을 제공하고 있는 상태이다.1 is a schematic cross-sectional view showing a film attaching device according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 (a) is a state before applying a pressing force to an electrostatic chuck sheet, and FIG. 1 (b) is a pressing force applied to the electrostatic chuck sheet. It is being provided.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 필름 부착장치(100)는 정전기력으로 필름(11)을 고정하는 가요성의 정전척 시트(110); 상기 필름(11)이 부착되는 부착 대상물(12)을 지지하여 고정하는 스테이지부(120); 및 상기 스테이지부(120)를 향해 상기 정전척 시트(110)에 가압력을 제공하여, 상기 필름(11)을 상기 부착 대상물(12)에 부착시키는 가압 롤러부(130);를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a
정전척 시트(110)는 정전기력으로 필름(11)을 고정(chucking)할 수 있으며, 가요성(flexibility)을 가질 수 있다. 여기서, 상기 정전기력은 전원 공급에 의해 발생될 수 있으며, 전압을 인가하여 발생될 수도 있고, 전류 공급을 통해 발생될 수도 있다. 예를 들어, 정전척 시트(110)는 적어도 부분적으로 연성의 재료를 포함하거나, 얇은 두께에 의해 가요성을 가질 수 있다. 또한, 정전척 시트(110)는 일정한 강성을 갖는 동시에 적절한 탄성 및 가요성(또는 휨성)을 갖는 비교적 얇은 판 형태인 금속 또는 합성수지를 포함할 수 있고, 박판 형태일 수 있으나, 이에 특별히 한정되지 않는다.The electrostatic chuck sheet 110 may chuck the
본 발명에서는 정전척 시트(110)가 가요성을 가져 다양한 형태로 변형될 수 있으므로, 곡면 패널 등 다양한 형태의 부착 대상물(12)에 효과적으로 필름(11)을 부착할 수 있다. 또한, 정전척 방식을 통해 필름(11)을 고정함으로써, 필름(11)을 전체적으로 균일하게 안정적으로 고정할 수 있고, 필름(11)의 위치 틀어짐을 억제 또는 방지(즉, 최소화)하여 부착 대상물(12)에 효과적으로 필름(11)을 부착할 수 있다.In the present invention, since the electrostatic chuck sheet 110 has flexibility and can be deformed into various shapes, the
스테이지부(120)는 필름(11)이 부착되는 부착 대상물(12)을 지지하여 고정할 수 있으며, 이동 및/또는 승강 가능할 수 있다. 예를 들어, 스테이지부(120)는 부착 대상물(12)을 지지 고정하는 지지테이블(121) 및 지지테이블(121)을 이동시키는 스테이지 이동부(122)를 포함할 수 있다. 지지테이블(121)은 부착 대상물(12)을 지지하여 고정할 수 있으며, 공기 흡입방식으로 고정시킬 수 있으나, 필요에 따라서는 적절한 부착력을 갖는 점착제 또는 접착제를 이용한 부착 고정방식 등 다양한 고정방식을 사용할 수도 있다.The
스테이지 이동부(122)는 지지테이블(121)을 이동시킬 수 있으며, 지지테이블(121)의 지지면과 평행한 좌우방향 및/또는 전후방향으로 지지테이블(121)을 이동시킬 수도 있고, 지지테이블(121)의 지지면에 수직한 상하방향으로 지지테이블(121)을 승강시킬 수도 있다. 예를 들어, 스테이지 이동부(122)는 지지테이블(121)을 이동시키는 테이블이동부 및 지지테이블(121)을 승강시키는 테이블승강부를 포함할 수 있다.The
한편, 정전척 시트(110)는 전원 공급을 위한 전원부(160) 등 다른 구성들과의 연결로 인해 이동이 어려우므로, 지지테이블(121)을 이동시켜 정전척 시트(110)에 고정된 필름(11)과 마주보도록 부착 대상물(12)을 제공할 수 있고, 지지테이블(121)을 승강시켜 정전척 시트(110)의 가압을 통해 필름(11)과 부착 대상물(12)을 부착하기 좋은 간격으로 조정할 수 있다. 이때, 정전척 시트(110)와 대향하는 위치(예를 들어, 상기 정전척 시트의 하부)에서 부착 대상물(12)을 로딩하여 지지시키는 경우에는 정전척 시트(110)가 간섭될 수도 있으므로, 정전척 시트(110)로부터 벗어난 위치에서 지지테이블(121) 상에 부착 대상물(12)을 고정한 후에 정전척 시트(110)와 대향하는 위치로 지지테이블(121)을 이동시킬 수 있다.On the other hand, since the electrostatic chuck sheet 110 is difficult to move due to connection with other components such as the
여기서, 부착 대상물(12)은 패널(panel)일 수 있으며, 패널에 윈도우 글래스가 부착된 디스플레이(display) 패널일 수 있다. 이때, 부착 대상물(12)은 플렉서블(flexible)한 디스플레이 패널일 수 있고, 상기 윈도우 글래스는 디스플레이의 전면 유리일 수 있다.Here, the
가압 롤러부(130)는 스테이지부(120)를 향해 정전척 시트(110)에 가압력을 제공할 수 있으며, 필름(11)을 부착 대상물(12)에 부착시킬 수 있다. 예를 들어, 가압 롤러부(130)는 스테이지부(120)를 향해 정전척 시트(110)를 가압하여 필름(11)과 부착 대상물(12)을 적어도 부분적으로 접촉시킬 수 있고, 가압 롤러부(130)의 롤러(131)를 정전척 시트(110) 상에서 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 주행시켜 필름(11)과 부착 대상물(12)을 전체적으로 부착시킬 수 있다. 여기서, 롤러(131)가 지나간 부분에 필름(11)과 부착 대상물(12)의 부착이 이루어질 수 있다.The
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 가요성의 정전척 시트를 나타내는 개략 단면도로, 도 2(a)는 정전척 시트의 측단면도이며, 도 2(b)는 정전층의 평단면도이고, 도 2(c)는 정전층의 측단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view showing a flexible electrostatic chuck sheet according to an embodiment of the present invention, FIG. 2(a) is a side cross-sectional view of the electrostatic chuck sheet, and FIG. 2(b) is a plan cross-sectional view of the electrostatic layer, and FIG. 2(c) is a side cross-sectional view of the electrostatic layer.
도 2를 참조하면, 정전척 시트(110)는 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 가지며, 상기 정전기력이 생성되는 필름 형태의 정전층(111); 상기 정전층(111)의 제1 면 상에 제공되어, 상기 필름(11)의 지지면을 이루는 연성층(112); 및 상기 정전층(111)의 제2 면 상에 제공되며, 상기 정전층(111) 및 상기 연성층(112)의 연신을 억제하는 연신억제층(113);을 포함할 수 있다. 정전층(111)은 필름(film) 형상일 수 있으며, 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 가질 수 있고, 정전기력을 생성(또는 발생)시킬 수 있다. 이렇게 생성된 정전기력으로 필름(11)을 고정하기 위한 고정력을 제공할 수 있다. 또한, 정전층(111)은 얇은 필름 형태로 제공되어 가요성을 가질 수 있고, 이를 통해 가요성의 정전척 시트(110)가 제조(또는 제공)될 수 있다.Referring to FIG. 2, the electrostatic chuck sheet 110 includes an
연성층(112)은 정전층(111)의 제1 면 상에 제공될 수 있으며, 필름(11)이 지지되는 지지면을 이룰 수 있고, 필름(11)이 접촉되어 지지될 수 있다. 연성층(112)은 가해지는 힘에 따라 연신될 수 있으며, 정전층(111)을 따라 연신되면서 정전척 시트(110)의 가요성이 유지되도록 할 수 있다. 또한, 연성층(112)은 정전층(111)에 발생되는 충격을 흡수하거나, 필름(11) 및/또는 부착 대상물(12)에 가해지는 힘을 완충(cushion)해주는 완충(buffer) 역할을 할 수 있다. 예를 들어, 연성층(112)은 정전층(111)을 보호하여 정전층(111)에 발생되는 충격을 흡수함으로써, 정전층(111) 내부의 단선(short circuit) 등을 방지할 수 있다. 또한, 연성층(112)은 필름(11) 및/또는 부착 대상물(12)에 가해지는 힘을 완충해 줌으로써, 스테이지부(120)를 향해 정전척 시트(110)를 가압하여 필름(11)과 부착 대상물(12)을 부착하면서 필름(11) 및/또는 부착 대상물(12)에 가해지는 압력 및 이에 따른 내부 응력(Internal stress)으로 인해 디스플레이 패널 등의 부착 대상물(12) 및/또는 필름(11)이 휘어지거나 틀어지는 것을 방지할 수 있고, 필름(11) 및/또는 부착 대상물(12)의 손상을 억제 또는 방지할 수 있다.The
그리고 연성층(112)은 절연 소재로 이루어질 수 있으며, 대전방지 기능을 수행할 수 있다. 정전층(111)은 전원을 공급하는 전원부(160)와 연결되고, 부착 대상물(12)은 반도체 장치 또는 전자 장치일 수 있으므로, 부착 대상물(12)에 부착되는 필름(11)이 정전층(111)에 바로 고정(또는 접촉)되거나, 접촉(또는 마찰)에 의한 정전기에 의해 전기적 손상이 발생할 수 있다. 이에 따라 정전층(111)과 필름(11) 사이에 연성층(112)을 제공하여 필름(11)이 정전층(111)에 직접 접촉되지 않게 하면서 절연 특성을 통해 연성층(112)과 필름(11) 사이 및/또는 필름(11)과 부착 대상물(12) 사이에 정전기가 발생하지 않도록 할 수 있다.In addition, the
여기서, 연성층(112)은 수지(resin)로 이루어질 수 있으며, 대전방지 특성을 위해 우레탄(Urethane) 수지로 이루어질 수 있고, 폴리스티렌(PolyStyrene; PS), 폴리에티렌(PolyEthylene; PE), 폴리우레탄(PolyUrethane) 및 실리콘(Silicone) 중 어느 하나를 포함하는 연성 재질로 형성될 수 있다.Here, the
한편, 연성층(112)은 0.02 내지 0.2 ㎜의 두께를 가질 수 있다. 연성층(112)의 두께가 0.02 ㎜보다 얇은 경우에는 두께가 너무 얇아 압력 및/또는 충격을 완화시켜주는 완충 기능을 수행할 수 없고, 정전층(111)과 필름(11)의 사이, 정전층(111)과 부착 대상물(12)의 사이 및 필름(11)과 부착 대상물(12)의 사이에서 발생되는 대전(또는 정전기)를 방지할 수 없게 된다. 반면에, 연성층(112)의 두께가 0.2 ㎜보다 두껍게 되면, 연신억제층(113)이 누르는 힘이 필름(11)에 제대로 전달되지 않게 되어 필름(11)이 부착 대상물(12)에 효과적으로 부착될 수 없게 되고, 연성 특성이 강해져 가압 후 가압력을 제거하더라도 평면 상태로 정전척 시트(110)의 복원(즉, 상기 연신억제층의 복원)이 어려워질 수 있다.Meanwhile, the
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 정전척 시트의 연신억제층의 기능을 설명하기 위한 개념도로, 도 3(a)는 연신억제층을 포함하지 않은 정전척 시트이고, 도 3(b)는 연신억제층을 포함한 정전척 시트이다.3 is a conceptual diagram for explaining the function of a stretch inhibiting layer of an electrostatic chuck sheet according to an embodiment of the present invention, FIG. 3(a) is an electrostatic chuck sheet without a stretch inhibiting layer, and FIG. 3(b) Is an electrostatic chuck sheet including a stretch inhibiting layer.
도 3을 참조하면, 연신억제층(113)은 정전층(111)의 제2 면 상에 제공될 수 있고, 정전층(111) 및 연성층(112)의 연신을 억제할 수 있다. 도 3(a)와 같이, 정전척 시트(110)에 연신억제층(113)이 없는 경우에는 가압 롤러부(130)에 의해 정전척 시트(110)가 가압되면, 정전척 시트(110)가 롤러(131)의 둘레를 따라 가압 롤러부(130)의 롤러(131)와 면(面) 접촉을 하게 되고, 가압력 및/또는 중력에 의해 가압되는 방향(또는 하부 방향)으로 축 늘어져 정전척 시트(110)가 곡률을 형성하며 연신되게 된다. 여기서, 연신억제층(113)이 없는 정전척 시트(110)는 충분한 강성을 갖지 못하여 그 표면이 눌려지면서 가압 롤러부(130)의 롤러(131)와 면 접촉하게 된다. 이렇게 연신억제층(113)이 없는 정전척 시트(110)에 고정된 필름(11)은 부착 대상물(12)에 접촉될 때에 부착 대상물(12)이 면 접촉하게 되지만, 필름(11) 중 가압력이 집중되는 부분은 가압 롤러부(130)의 롤러(131)와 접촉되는 정전척 시트(110)에 접촉된 부분으로 한정되어 필름(10)이 부착 대상물(12) 상에 고르게 부착되지 못하게 되고, 필름(10)과 부착 대상물(12) 사이에 기포가 발생할 수 있다.Referring to FIG. 3, the
하지만, 도 3(b)와 같이, 연신억제층(113)을 포함하여 정전층(111) 및 연성층(112)의 연신을 억제하게 되면, 정전척 시트(110)가 곡면으로 연신되는 것이 아니라 평면 상태를 유지하는 정전척 시트(110)의 양측이 가압 롤러부(130)의 롤러(131)의 가압 부분을 중심으로 각을 이룰 수 있으므로, 정전척 시트(110)에 고정된 필름(11)이 부착 대상물(12)에 접촉되면서 선(line) 접촉과 유사한 접촉이 일어날 수 있다. 이에 따라 기포 발생없이 필름(11)을 부착 대상물(12)에 부착할 수 있고, 필름(10)을 부착 대상물(12) 상에 고르게 부착할 수 있다. 여기서, 상기 선 접촉과 유사한 접촉은 두꺼운(또는 넓은) 선 접촉 및 좁은(또는 얇은) 면 접촉을 포함할 수 있다.However, as shown in FIG. 3(b), when the stretching of the
그리고 연신억제층(113)은 연성층(112)보다 큰 강성을 갖는 금속으로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 금속은 단일 금속 및 둘 이상의 합금을 포함할 수 있다. 연신억제층(113)은 연성층(112)보다 큰 강성을 가질 수 있으며, 중력 등에 의해 축 늘어지는 연신을 억제 또는 방지할 수 있다. 이에 따라 연신억제층(113)의 충분한 강성에 의해 정전척 시트(110) 중 가압 롤러부(130)에 의해 가압력이 작용하지 않는 롤러(131)의 양측은 평면을 유지할 수 있으며, 양측의 두 평면이 만나는 부위에 곡률이 크면서(또는 곡률반경이 작으면서) 최대한 길이가 짧은 호(arc)가 만들어져 최대한 선 접촉과 유사하게 필름(11)을 눌러줄 수 있고, 필름(11)을 기포 발생없이 부착 대상물(12)에 부착할 수 있다. 즉, 연신억제층(113)은 강성을 가져 표면이 눌리지 않고 롤러(131)와 선 접촉을 하게 되며, 롤러(131)가 연신억제층(113)을 가압할수록 롤러(131)의 직경으로 인해 롤러(131)가 양측의 두 평면에 각각 선 접촉할 수 있고, 선 접촉되는 두 부분 사이는 롤러(131)로부터 이격되어 롤러(131)와 동일한 곡률을 가지면서 길이가 짧은 호를 형성할 수 있다. 이때, 롤러(131)가 무리한 가압력을 가하게 되면, 상기 선 접촉되는 두 부분 사이 부분이 롤러(131)의 둘레를 따라 롤러(131)와 면 접촉하게 되고, 양측의 두 평면은 나란하게 되며, 이렇게 연신억제층(113)이 변형되게 되는 경우에는 연신억제층(113)이 소성 변형되거나, 재료 파괴가 일어나 정전척 시트(110)가 다시 평면 상태로 복원되지 않을 수 있다. 이를 통해 우뚝 솟은 마루(ridge)를 갖는 강성체를 이용하여 마루 부분으로 필름(11)을 눌러주는 효과를 얻을 수 있고, 호의 중심에서 정전척 시트(110)와 필름(11)이 선 접촉할 수 있다. 이때, 상기 마루는 뾰족한 모서리(edge) 형태(예를 들어, ‘∧’ 형태)이거나, 큰 곡률을 갖는 둥근 형태(예를 들어, ‘∩’ 형태)일 수 있다.In addition, the
또한, 연신억제층(113)은 금속으로 이루어져 충분한 강성을 제공할 수 있으며, 이에 따라 부착 대상물(12) 상에 필름(11)이 효과적으로 부착될 수 있도록 필름(11)을 충분히 눌러줄 수 있고, 부착 대상물(12) 상에 필름(11)이 안정적으로 부착될 수 있다. 연신억제층(113)이 금속으로 이루어지지 않아 충분한 강성을 제공하지 못하는 경우에는 가압 롤러부(130)에 의한 가압력에 의해 호의 형상이 변화되어 곡률이 작아지거나(또는 곡률반경이 커지거나) 완만한 굴곡면 또는 평면을 이루게 됨으로써, 가압력이 필름(11)과 부착 대상물(12)을 접촉시키는 부분에 선 접촉과 같이 집중되지 못하고, 면 접촉이 이루어져 가압력이 넓은 부분에 분산되게 된다. 이에, 금속의 연신억제층(113)을 통해 충분한 강성을 제공하여 기포 발생없이 필름(11)을 부착 대상물(12)에 부착할 수 있고, 필름(11)을 부착 대상물(12) 상에 안정적으로 부착할 수 있다.In addition, the
이때, 연신억제층(113)은 탄성을 갖는 금속으로 이루어질 수 있으며, 4,000 ㎏f/㎟ 이상의 탄성계수를 갖는 금속을 포함할 수 있다. 정전척 시트(110)가 가요성을 갖기 위해서는 가압 롤러부(130)에 의한 가압력에 의해 연신억제층(113)이 변형되었다가 가압력이 제거되는 경우에 연신억제층(113)이 다시 평탄하게 복원(또는 탄성 변형)되어야 하므로, 연신억제층(113)은 탄성을 가질 수 있고, 충분한 강성을 가지면서 탄성을 가질 수 있도록 탄성을 갖는 금속으로 이루어질 수 있다. 4,000 ㎏f/㎟ 미만의 탄성계수를 갖는 금속은 항복 응력(또는 항복 강도)이 크지 않아 필름(11)과 부착 대상물(12)을 접촉시키는 가압력만으로도 항복 응력을 넘게 되어 다시 복원되지 않는 소성 변형이 이루어지거나, 재료 파괴(또는 파단)가 이루어지게 되며, 이로 인해 가요성의 정전척 시트(110)를 제공할 수 없게 된다.In this case, the
여기서, 연신억제층(113)은 가압 롤러부(130)의 가압력보다 큰 항복 응력을 가질 수 있다. 즉, 필름(11)과 부착 대상물(12)을 접촉시키기 위한 가압 롤러부(130)의 가압력에 의해 발생되는 연신억제층(113)의 응력(stress)이 항복점(yield point)을 넘지 않을 수 있다. 여기서, 상기 항복점은 물체의 탄성 한도를 넘는 경계값일 수 있다. 가압 롤러부(130)의 가압력에 의해 발생되는 연신억제층(113)의 응력이 항복점을 넘게 되면, 소성 변형 또는 재료 파괴가 이루어져 가압력이 제거되더라도 연신억제층(113)이 다시 복원되지 못하게 되어 가요성의 정전척 시트(110)이 제공될 수 없다. 이에, 연신억제층(113)은 가압 롤러부(130)의 가압력이 제공되어도 가압력의 제거 시에 다시 복원될 수 있도록 가압 롤러부(130)의 가압력보다 큰 항복 응력을 가질 수 있다.Here, the
이때, 연신억제층(113)은 스프링용 금속을 포함할 수 있으며, 스프링강, 고탄소강 등의 강철, 스테인리스(또는 SUS), 인청동, 니켈합금 등에서 선택된 어느 하나 또는 둘 이상의 합금을 포함할 수 있다. 예를 들어, 연신억제층(113)은 스프링 강재, 경강(hard steel), 오일 템퍼강(oil tempered steel), 스프링용 스테인리스강(예를 들어, SUS 302, SUS 304, SUS 304N1, SUS 316, SUS 631J1 등), 황동, 백동(또는 양은), 인청동, 베릴륨동 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상의 합금으로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 오일 템퍼강은 스프링용 탄소강, 밸브 스프링용 탄소강, 오일 스프링용 실리콘 크롬강, 스프링용 실리콘 크롬강, 크롬 바나듐강, 실리콘 망간강 등을 오일 템퍼(oil temper)한 강(steel)일 수 있고, 상기 오일 템퍼는 담금질에 의하여 생긴 조직을 변태 또는 석출을 진행시켜서 안정한 조직으로 접근시켜 목적하는 성질 및 상태를 얻기 위해서 하는 열처리로, 냉간(冷間)에서 강을 뽑은 후 기름 담금질과 뜨임 처리를 하는 것이다. 이러한 스프링용 금속은 4,000 ㎏f/㎟ 이상의 탄성계수를 가질 수 있다.At this time, the
한편, 연신억제층(113)은 0.1 내지 1 ㎜의 두께를 가질 수 있다. 연신억제층(113)의 두께가 0.1 ㎜보다 얇은 경우에는 두께가 너무 얇아 정전척 시트(110)에 충분한 강성을 제공하지 못하고 정전층(111) 및/또는 연성층(112)으로 인해 정전척 시트(110)가 가압력 및/또는 중력 등에 의해 연신되어 축 늘어질 수 있으며, 정전척 시트(110)가 롤러(131)의 둘레를 따라 곡률을 형성하고 정전척 시트(110)가 선 접촉이 아니라 면 접촉으로 부착 대상물(12)을 향해 필름(11)을 눌러주게 된다. 이로 인해 필름(11)과 부착 대상물(12) 사이에 기포가 발생될 수 있고, 필름(11)과 부착 대상물(12)가 안정적으로 부착되지 않아 부착 불량이 발생하게 된다. 반면에, 연신억제층(113)의 두께가 1 ㎜보다 두껍게 되면, 연신억제층(113)을 롤러(131)로 가압하면서 ‘∨’자와 유사하게 양측의 두 평면이 만나는 부위에 곡률이 큰 호를 형성할 수 없고, 선 접촉과 유사하게 부착 대상물(12)을 향해 필름(11)을 눌러줄 수 없게 되며, 필름(11)과 부착 대상물(12) 사이에 기포가 발생될 수 있고, 필름(11)과 부착 대상물(12)가 안정적으로 부착되지 않아 부착 불량이 발생하게 된다.On the other hand, the
가압 롤러부(130)는 정전척 시트(110)에 접촉되는 롤러(131); 정전척 시트(110)를 향해 롤러(131)를 이동시켜 정전척 시트(110)를 가압하는 가압부(132); 및 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 롤러(131)를 주행시키는 주행부(133);를 포함할 수 있다. 롤러(131)는 가압부(132)에 의해 정전척 시트(110)를 향해 이동(또는 승강)하여 정전척 시트(110)에 접촉될 수 있으며, 주행부(133)에 의해 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 정전척 시트(110) 상을 주행할 수 있다. 이때, 롤러(131)는 정전척 시트(110) 및/또는 필름(11)에 가해지는 충격을 완화시키기 위해 표면이 탄성 및 연성 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 롤러(131)의 표면은 우레탄으로 이루어질 수 있다. 한편, 최대한 선 접촉과 유사하게 부착 대상물(12)을 향해 필름(11)을 눌러줄 수 있도록 롤러(131)의 직경을 최소화하여 연신억제층(113) 양측의 두 평면이 만나는 부위에 곡률을 최대한 크게 할 수 있다. 이때, 롤러(131)의 직경은 연신억제층(113)의 두께 이상일 수 있고, 50 ㎜ 이하일 수 있으며, 약 30 ㎜일 수 있다. 롤러(131)의 직경이 연신억제층(113)의 두께보다 작게 되면, 롤러(131)가 칼과 같은 역할을 하여 큰 가압력이 연신억제층(113)에 가해질 때에 가압 부위가 파손 또는 절단될 수 있다. 반면에, 롤러(131)의 직경이 50 ㎜보다 크게 되면, 연신억제층(113) 양측의 두 평면이 만나는 부위에 곡률이 너무 작아져서 선 접촉과 유사하게 부착 대상물(12)을 향해 필름(11)을 눌러줄 수 없게 된다.The
가압부(132)는 정전척 시트(110)를 향해 롤러(131)를 이동시켜 정전척 시트(110)를 가압할 수 있다. 가압부(132)는 롤러(131)를 필름(11)의 지지면과 수직한 상하방향으로 승강시킬 수 있으며, 롤러(131)를 승강시키는 힘으로 정전척 시트(110)에 가해지는 가압력을 조정할 수 있다. 예를 들어, 가압부(132)는 길이가 조절되어 롤러(131)를 승강시킬 수 있고, 실린더(cylinder)의 압력 또는 모터(motor)의 회전력으로 가압부(132)의 길이를 조절하여 정전척 시트(110)를 변형(또는 연신)시킬 수 있다.The
주행부(133)는 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 롤러(131)를 주행시킬 수 있다. 예를 들어, 주행부(133)는 가압부(132)와 연결되어, 가압부(132)를 필름(11)의 지지면과 평행하게 이동시킬 수 있고, 가압부(132)의 이동에 따라 롤러(131)가 정전척 시트(110) 상에서 회전하면서 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 주행할 수 있다. 이에 따라 부착 대상물(12)의 전체면에 균일하게 필름(11)을 부착할 수 있다. 그리고 주행부(133)는 롤러(131)의 이동속도를 조절하여 부착 속도를 조정할 수 있고, 필름(10) 및 부착 대상물(12)의 크기에 따라 롤러(131)의 이동거리(또는 부착 거리)를 조절할 수 있다.The driving
정전층(111)은 정전척 시트(110)의 폭방향으로 연장되며, 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 배열되는 복수의 분할전극(111a,111b)을 포함할 수 있다. 복수의 분할전극(111a,111b)은 정전척 시트(110)의 폭방향으로 연장될 수 있고, 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 배열될 수 있다. 예를 들어, 복수의 분할전극(111a,111b)은 양(+)의 분할전극(111a)과 음(-)의 분할전극(111b)이 한 쌍을 이룰 수 있으며, 양(+)의 분할전극(111a)과 음(-)의 분할전극(111b)의 쌍(들)이 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 배열될 수 있고, 한 쌍씩 개별적으로 전원이 공급되어 양측의 양(+)의 분할전극(111a)과 음(-)의 분할전극(111b)이 이루는 공간(또는 면적)에 대응하는 정전층(111)의 표면 상에 정전기력을 생성할 수 있다. 이렇게 정전기력이 생성된 부분의 정전층(111) 표면 상에 필름(11)을 고정시킬 수 있다.The
본 발명에 따른 필름 부착장치(100)는 복수의 분할전극(111a,111b)에 각각 독립적으로 전원 공급이 가능한 전원부(160);를 더 포함할 수 있다.The
전원부(160)는 복수의 분할전극(111a,111b)에 각각 독립적으로 전원을 공급할 수 있으며, 전원부(160)의 선택적인 전원 공급에 따라 정전층(111)이 전체적으로 정전기력을 생성할 수도 있고, 부분적으로 정전기력을 생성할 수도 있다. 이때, 전원부(160)는 양(+)의 분할전극(111a)과 음(-)의 분할전극(111b)의 한 쌍씩 독립적으로 전원을 공급할 수 있다. 이에 따라 부착 대상물(12)에 부착되지 않은 필름(11)의 부분을 정전기력을 생성하여 고정하고 있다가 부착 대상물(12)에 부착시킨 후에 전원 공급을 차단(또는 중단)하고 정전기력(또는 고정력)을 제거하여 부착 대상물(12)에 부착된 필름(11)의 부분이 정전척 시트(110)로부터 떨어져 나가도록 할 수 있다. 이때, 필름(11)을 부착 대상물(12)의 길이방향 일측부터 타측까지 연속적(또는 순차적)으로 부착할 수 있으며, 필름(11)과 부착 대상물(12)의 연속적인 부착에 따라 정전기력으로 필름(11)을 고정하고 있는 정전척 시트(110)의 길이방향 일측의 분할전극(111a,111b)부터 타측의 분할전극(111a,111b)까지 순차적으로 전원 공급을 차단하여 필름(11)에 대한 고정력을 제거하고 필름(11)이 정전척 시트(110)로부터 떨어져 나가도록 할 수 있다.The
이에, 필름(11)을 고정하는 정전척 시트(110)의 고정력에 의해 부착 대상물(12)에 부착되었던 필름(11)이 떨어지면서 들뜨게 되는 것을 방지할 수 있고, 필름(11)을 부착 대상물(12)의 전체면에 균일하면서 안정적으로 부착할 수 있다.Accordingly, it is possible to prevent the
본 발명에 따른 필름 부착장치(100)는 롤러(131)의 위치를 검출하는 위치 검출부(미도시);를 더 포함할 수 있다.The
위치 검출부(미도시)는 롤러(131)의 위치를 검출할 수 있으며, 검출되는 롤러(131)의 위치에 따라 필름(11)의 길이방향 위치별 부착 대상물(12)과의 부착 여부를 파악할 수 있다. 즉, 롤러(131)가 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 주행하면서 필름(11)과 부착 대상물(12)의 연속되는 각 부분을 연속적으로 부착시키므로, 롤러(131)가 지나갔느냐(또는 통과했느냐) 아니냐에 따라 필름(11)의 길이방향 위치별 부착 대상물(12)과의 부착 여부가 결정될 수 있다. 이를 통해 검출되는 롤러(131)의 위치를 이용하여 정전척 시트(110)의 길이방향 위치에 따른 각 분할전극(111a,111b)의 전원 공급을 제어할 수 있다. 예를 들어, 주행부(133)가 모터 구동방식으로 구성되어 모터에 의해 정전척 시트(110)의 길이방향을 따라 롤러(131)가 주행하는 경우, 위치 검출부(미도시)는 모터의 위치값(또는 회전수)을 측정하여 롤러(131)의 위치를 검출할 수 있다.The position detection unit (not shown) may detect the position of the
그리고 전원부(160)는 롤러(131)의 위치 검출에 따라 롤러(131)가 통과한 위치의 분할전극(111a,111b)에 전원 공급을 차단할 수 있다. 롤러(131)가 통과한 위치의 필름(11) 부분은 부착 대상물(12)에 부착된 상태이므로, 정전기력을 생성하여 그 부분을 고정하고 있던 분할전극(111a,111b)에 대한 전원 공급을 차단함으로써, 부착 대상물(12)에 부착된 필름(11) 부분이 정전척 시트(110)로부터 떨어지도록 할 수 있다. 롤러(131)의 위치 검출에 따라 롤러(131)가 통과한 위치의 분할전극(111a,111b)에 전원 공급을 차단하는 경우에는 자연스럽게 정전척 시트(110)로부터 부착 대상물(12)에 부착된 부분의 필름(11)이 떨어질 수 있어 필름(11)을 정전척 시트(110)에서 강제적으로 떨어뜨리면서 발생하는 필름(11)의 들뜸 현상이나 필름(11) 및/또는 부착 대상물(12)의 손상을 방지할 수 있다.In addition, the
본 발명에 따른 필름 부착장치(100)는 정전척 시트(110)의 길이방향 양측을 고정하는 한 쌍의 시트 고정부(141, 142); 및 한 쌍의 시트 고정부(141, 142) 중 적어도 어느 하나(141 or 142)에 연결되어, 정전척 시트(110)에 작용하는 인장력을 조절하는 인장력 제어부(150);를 더 포함할 수 있다.The
한 쌍의 시트 고정부(141, 142)는 정전척 시트(110)의 길이방향 양측에 각각 구비되어, 정전척 시트(110)의 길이방향 양측을 각각 고정할 수 있다. 여기서, 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)는 정전척 시트(110)의 길이방향 양측에서 정전척 시트(110)를 판판하게(또는 팽팽하게) 평면 상태로 고정할 수 있으며, 정전척 시트(110)에 일정 수준의(또는 미리 결정된 작은) 장력(tension)이 걸리도록 고정할 수도 있다.A pair of
인장력 제어부(150)는 한 쌍의 시트 고정부(141, 142) 중 적어도 어느 하나(141 or 142)에 연결되어, 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)의 간격이 조절되도록 함으로써, 정전척 시트(110)에 작용하는 인장력을 조절할 수 있다. 여기서, 상기 인장력은 물체(즉, 상기 정전척 시트)를 외측으로 늘어 뜨리거나 잡아 당기는 힘을 의미하고, 이러한 힘에 의해 물체가 인장될 수 있으며, 가압 롤러부(130)가 가압하는 힘으로 인해 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)가 고정하는 정전척 시트(110)의 길이방향 양측에 잡아 당기는 힘이 발생될 수 있고, 정전척 시트(110)에 인장력이 작용할 수 있다. 인장력 제어부(150)를 통해 정전척 시트(110)에 작용하는 인장력을 조절할 수 있고, 인장력으로 인해 정전척 시트(110) 및 이에 고정되는 필름(11)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)의 간격 변화(즉, 상기 정전척 시트의 길이방향 양측의 간격 변화)없이 정전척 시트(110)에 스테이지부(120)를 향하는 압력만을 가하게 되면, 정전척 시트(110)가 연신(또는 인장)되어 늘어나게 되고, 정전척 시트(110)에 작용하는 장력으로 인해 정전척 시트(110)의 내부 응력이 항복점을 넘게 되어 정전척 시트(110)가 늘어난 상태로 소성 변형되거나, 적어도 부분적으로 파단될 수도 있다. 이에, 정전척 시트(110)에 가해지는 압력에 의한 정전척 시트(110)의 변형(예를 들어, 연신 또는 인장)에 따라 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)의 간격을 변화시켜 정전척 시트(110)에 작용하는 인장력을 조절하는 경우에는 정전척 시트(110)에 작용하는 장력 또는 인장력을 일정 수준(또는 오차범위 내)으로 유지할 수 있다.The tensile
여기서, 인장력 제어부(150)는 한 쌍의 시트 고정부(141, 142) 중 어느 하나(141 or 142)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 한 쌍의 시트 고정부(141, 142) 중 어느 하나(141)는 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)의 간격이 변화될 수 있도록 슬라이딩(sliding) 등에 의해 이동될 수 있고, 다른 하나(142)는 고정될 수 있다.Here, the tensile
그리고 인장력 제어부(150)는 정전척 시트(110)가 평면 상태로 펴지려는 성질을 갖도록 이동 가능한 어느 하나의 시트 고정부(141)를 외측으로 팽팽하게 당겨주는 실린더 구조 또는 탄성체(예를 들어, 스프링) 구조를 가질 수 있다.And the tensile
여기서, 인장력 제어부(150)는 일측이 시트 고정부(141 or 142)에 연결되는 탄성부재(미도시) 또는 에어실린더(151); 및 상기 탄성부재(미도시) 또는 에어실린더(151)의 타측이 고정되는 고정부재(미도시);를 포함할 수 있다. 탄성부재(미도시)는 일측이 시트 고정부(즉, 한 쌍의 시트 고정부 중 적어도 어느 하나, 141 or 142)에 연결될 수 있으며, 가압 롤러부(130)의 가압력에 의해 인장되면서 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)의 간격이 줄어들도록 연결된 시트 고정부(141 or 142)를 이동시킬 수 있고, 가압 롤러부(130)의 가압력이 제거되면 탄성력(또는 복원력)에 의해 다시 원래 상태로 복원(또는 수축)되면서 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)의 간격이 정전척 시트(110)가 평면 상태가 되는 기본(또는 원래) 상태로 넓어지도록(또는 돌아오도록) 상기 연결된 시트 고정부(141 or 142)를 원위치(또는 기본 위치)로 복귀(또는 이동)시킬 수 있다. 예를 들어, 탄성부재(미도시)의 일측이 한 쌍의 시트 고정부(141, 142) 중 이동 가능한 어느 하나의 시트 고정부(141)에 연결되고 탄성부재(미도시)의 타측이 고정부재(미도시)에 고정 결합되어, 상기 연결된 시트 고정부(141 or 142)를(즉, 상기 이동 가능한 어느 하나의 시트 고정부를) 외측으로 팽팽하게 당겨주는 역할을 할 수 있으며, 이러한 구성에 따라 정전척 시트(110)가 항상 평면 상태로 펴지려는 성질을 갖게 될 수 있다. 또한, 정전척 시트(110)에 제공되는 가압력에 의해 발생되는 어느 하나의 시트 고정부(141)를 외측으로 팽팽하게 당겨주는 힘에 대한 대향력이 팽팽하게 당겨주는 힘보다 큰 경우에 어느 하나의 시트 고정부(141)가 이동하게 되어 자동적으로 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)의 간격이 변화될 수 있고, 정전척 시트(110)에 작용하는 장력(즉, 상기 정전척 시트의 길이방향 양측의 사이에 작용하는 장력)을 일정 수준으로 유지할 수 있다. 그리고 탄성부재(미도시)는 정전척 시트(110)가 상기 연결된 시트 고정부(141 or 142)를 이동시키면서 다시 평면 상태로 잘 복원될 수 있도록 정전척 시트(110)를 다시 평면 상태로 복원시키는 복원력(예를 들어, 상기 연결된 시트 고정부를 복귀시키는 힘)을 보완해줄 수 있다.Here, the tensile
에어실린더(151)는 일측이 시트 고정부(141 or 142)에 연결될 수 있으며, 가압 롤러부(130)의 가압력에 의해 인장되면서 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)의 간격이 줄어들도록 에어실린더(151)의 피스톤(piston) 또는 플런저(plunger)(151b)가 외측으로 당겨지면서 상기 연결된 시트 고정부(141 or 142)를 이동시킬 수 있고, 가압 롤러부(130)의 가압력이 제거되면 실린더 몸체(151a) 내부(상대적 저기압)와 외부(대기압)의 공기압 차이에 의해 상기 피스톤이 다시 내측으로 복귀하면서 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)의 간격이 정전척 시트(110)가 평면 상태가 되는 기본 상태로 넓어지도록 상기 연결된 시트 고정부(141 or 142)를 원위치로 복귀시킬 수 있다. 에어실린더(151)도 탄성부재(미도시)와 마찬가지로 정전척 시트(110)를 다시 평면 상태로 복원시키는 복원력을 보완해주는 역할을 할 수 있으며, 실린더 몸체(151a)의 내부 압력을 대기압보다 낮게 하기 위해서는 에어실린더(151)의 피스톤 또는 플런저(151b)를 외측으로 당겨 공기의 양에는 변화없이 실린더 몸체(151a)와 피스톤 또는 플런저(151b)가 이루는 내부 공간의 부피만 변화시켜야 하는데, 대기압에서 에어실린더(151)의 피스톤 또는 플런저(151b)를 외측으로 당기기 위해서는 큰 힘이 필요할 수 있고, 가압 롤러부(130)는 에어실린더(151)의 피스톤 또는 플런저(151b)가 외측으로 당겨질 수 있을 만큼 큰 가압력을 정전척 시트(110)에 제공할 수 있다. 한편, 실린더 몸체(151a) 내부에 스프링 등의 탄성체(미도시)를 제공하여 탄성력에 의해 피스톤 또는 플런저(151b)를 외측으로 미는 힘을 보완하거나, 외측으로 당겨진 피스톤 또는 플런저(151b)를 내측으로 복귀시키는 복원력을 보완해 줄 수도 있으며, 실린더 몸체(151a)는 피스톤 또는 플런저(151b)가 직선 운동할 수 있도록 가이드(guide)하는 역할을 할 수 있다.One side of the
고정부재(미도시)는 상기 탄성부재(미도시) 또는 상기 에어실린더의 타측이 고정될 수 있으며, 이에 따라 일측방향으로 길이가 늘어난(또는 인장된) 상기 탄성부재(미도시) 또는 상기 에어실린더가 가압 롤러부(130)의 가압력의 제거 시에 타측방향으로 복귀될 수 있다.The fixing member (not shown) may be the elastic member (not shown) or the other side of the air cylinder fixed, and accordingly, the elastic member (not shown) or the air cylinder whose length is increased (or tensioned) in one direction. When the pressing force of the
여기서, 이동 가능한 어느 하나의 시트 고정부(141 or 142)는 롤러(131)의 주행 방향에 따라 결정할 수 있으며, 이렇게 결정된 이동 가능한 어느 하나의 시트 고정부(141 or 142)에 인장력 제어부(150)를 연결할 수 있다. 인장력 제어부(150)를 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)에 모두 연결하여 한 쌍의 시트 고정부(141, 142)가 모두 이동되도록 하게 되면, 롤러(131)의 가압 및/또는 주행(또는 움직임)이 한 쌍의 시트 고정부(141, 142) 모두를 움직이게 하므로, 정전척 시트(110)의 길이방향 양측의 간격이 변화되면서 롤러(131)의 위치에 따라 간격 변화의 기준이 변화하게 되며, 이에 따라 필름(11)에 작용하는 가압력의 방향 및/또는 세기가 롤러(131)의 위치에 따라 달라지게 되고, 전체적으로 균일한 필름(11)과 부착 대상물(12)의 부착이 이루어지지 않을 수 있다. 또한, 롤러(131)의 주행으로 인해 부착 대상물(12) 상에서 필름(11)의 위치가 틀어질 수도 있다. 여기서, 상기 간격 변화의 기준은 양측 중 고정된 어느 한 측에 대해 간격을 변화시키는 경우의 상기 고정된 어느 한 측 또는 양측의 중심을 기준으로 양측에서 동일한 거리씩 간격이 변화시키는 경우의 상기 양측의 중심일 수 있고, 상기 두 경우에는 상기 간격 변화의 기준이 변화하지 않는다.Here, any one movable
하지만, 어느 하나의 시트 고정부(141 or 142)만을 이동되도록 하는 경우에는 상기 간격 변화의 기준이 고정된 다른 하나의 시트 고정부(142 or 141)로 고정될 수 있으며, 이에 따라 필름(11)에 작용하는 가압력의 방향 및/또는 세기가 롤러(131)의 위치에 따라 동일할 수 있고, 필름(11)을 부착 대상물(12) 상에 전체적으로 균일하게 부착할 수 있다. 또한, 롤러(131)의 주행으로 인한 부착 대상물(12) 상에서의 필름(11)의 위치 틀어짐도 최소화할 수 있다.However, in the case where only one of the
그리고 롤러(131)의 주행 방향(즉, 상기 롤러의 주행에 따라 가까워지는 방향)에 이동 가능한 어느 하나의 시트 고정부(141 or 142)와 인장력 제어부(150)가 위치하는 경우에는 정전척 시트(110)의 길이방향 양측 중 어느 한 측을 고정하는 이동 가능한 어느 하나의 시트 고정부(141 or 142)에 의해 롤러(131)의 가압 부위(또는 가압점)와 정전척 시트(110)의 상기 어느 한 측이 팽팽하게 당겨진 상태에서 롤러(131)가 필름(11)을 가압할 수 있어 기포의 발생없이 효과적으로 필름(11)을 부착 대상물(12)에 부착할 수 있다. 이에, 롤러(131)의 주행 방향에 따라 이동 가능한 어느 하나의 시트 고정부(141 or 142)를 결정하여, 한 쌍의 시트 고정부(141, 142) 중 어느 하나의 시트 고정부(141 or 142)에 인장력 제어부(150)를 연결할 수 있다.And when any one of the
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 부착방법을 나타낸 순서도이다.4 is a flow chart showing a film attaching method according to another embodiment of the present invention.
도 4를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 부착방법을 보다 상세히 살펴보는데, 본 발명의 일실시예에 따른 필름 부착장치와 관련하여 앞서 설명된 부분과 중복되는 사항들은 생략하도록 한다.A method of attaching a film according to another embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIG. 4, and details overlapping with those described above in relation to the film attaching apparatus according to an embodiment of the present invention will be omitted.
본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 부착방법은 가요성의 정전척 시트에 필름을 정전기력으로 고정하는 과정(S100); 스테이지부 상에 상기 필름이 부착되는 부착 대상물을 지지하는 과정(S200); 및 가압 롤러부로 상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트를 가압하여 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정(S300);을 포함할 수 있다.A method of attaching a film according to another embodiment of the present invention includes a process of fixing a film to a flexible electrostatic chuck sheet by electrostatic force (S100); A process of supporting an attachment object to which the film is attached on the stage part (S200); And a process of attaching the film to the attachment object by pressing the electrostatic chuck sheet toward the stage unit with a pressing roller unit (S300).
먼저, 가요성의 정전척 시트에 필름을 정전기력으로 고정한다(S100). 정전척 방식을 통해 정전기력으로 필름을 고정할 수 있으며, 상기 필름을 전체적으로 균일하게 안정적으로 고정할 수 있고, 상기 필름의 위치 틀어짐을 억제 또는 방지하여 부착 대상물에 효과적으로 상기 필름을 부착할 수 있다. 또한, 상기 정전척 시트가 가요성을 가져 다양한 형태로 변형될 수 있으므로, 곡면 패널 등 다양한 형태의 상기 부착 대상물에 효과적으로 상기 필름(11)을 부착할 수 있다.First, the film is fixed to the flexible electrostatic chuck sheet by electrostatic force (S100). Through the electrostatic chuck method, the film can be fixed by electrostatic force, the film can be uniformly and stably fixed as a whole, and the film can be effectively attached to the attachment object by suppressing or preventing the positional shift of the film. In addition, since the electrostatic chuck sheet is flexible and can be deformed into various shapes, the
다음으로, 스테이지부 상에 상기 필름이 부착되는 부착 대상물을 지지한다(S200). 스테이지부 상에 상기 필름이 부착되는 부착 대상물을 지지하여 공기 흡입방식으로 고정시킬 수 있으나, 필요에 따라서는 적절한 부착력을 갖는 점착제 또는 접착제를 이용한 부착 고정방식 등 다양한 고정방식을 사용하여 스테이지부 상에 상기 부착 대상물을 고정할 수도 있다. 이때, 다른 곳에서 상기 부착 대상물을 로딩하여 지지 고정하고 상기 스테이지부(예를 들어, 지지테이블)를 이동시켜 상기 정전척 시트에 고정된 상기 필름과 마주보도록 상기 부착 대상물을 제공할 수 있다. 이때, 조명부재 등의 얼라인부(미도시)를 이용하여 상기 필름과 정렬(align)시켜 상기 부착 대상물을 제공할 수 있다.Next, the attachment object to which the film is attached is supported on the stage part (S200). The object to which the film is attached can be supported on the stage and fixed by an air suction method. However, if necessary, various fixing methods such as an adhesive or adhesive having an appropriate adhesive force can be used to fix the film on the stage. It is also possible to fix the attachment object. In this case, the attachment object may be provided so as to face the film fixed to the electrostatic chuck sheet by loading and fixing the attachment object from another place and moving the stage part (eg, a support table). In this case, the attachment object may be provided by aligning with the film using an alignment unit (not shown) such as a lighting member.
그 다음 가압 롤러부로 상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트를 가압하여 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시킨다(S300). 가압 롤러부를 이용하여 상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트를 가압함으로써, 상기 필름과 상기 부착 대상물을 적어도 부분적으로 접촉시킬 수 있고, 상기 가압 롤러부의 롤러를 상기 정전척 시트 상에서 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 주행시켜 상기 필름과 상기 부착 대상물을 전체적으로 부착시킬 수 있다. 여기서, 상기 롤러가 지나간 부분에 상기 필름과 상기 부착 대상물의 부착이 이루어질 수 있다.Then, the electrostatic chuck sheet is pressed toward the stage with a pressing roller unit to attach the film to the attachment object (S300). By pressing the electrostatic chuck sheet toward the stage part using a pressure roller part, the film and the attachment object can be at least partially contacted, and the roller of the pressure roller part is placed on the electrostatic chuck sheet in the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet. By running along the film and the attachment object can be attached as a whole. Here, the film and the attachment object may be attached to the portion where the roller has passed.
상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정(S300)은 상기 정전척 시트를 가압하는 과정(S310); 상기 필름과 상기 부착 대상물을 적어도 부분적으로 접촉시키는 과정(S320); 및 상기 가압 롤러부의 롤러를 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 주행시키는 과정(S330);을 포함할 수 있다.The process of attaching the film to the attachment object (S300) may include pressing the electrostatic chuck sheet (S310); At least partially contacting the film and the attachment object (S320); And a process (S330) of running the roller of the pressure roller part along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet.
상기 정전척 시트를 가압할 수 있다(S310). 상기 정전척 시트를 가압하여 상기 필름과 상기 부착 대상물을 부착시킬 수 있으며, 상기 정전척 시트를 가압하는 과정(S310)은 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정(S300) 전체적으로 이루어질 수 있다. 상기 정전척 시트를 가압하여 연신, 인장 등 상기 정전척 시트를 변형시킬 수도 있고, 상기 필름과 상기 부착 대상물이 적어도 부분적으로 접촉된 후에 상기 정전척 시트를 가압하는 가압력으로 상기 필름을 눌러주어 상기 필름과 상기 부착 대상물이 잘 부착되도록 할 수도 있다.The electrostatic chuck sheet may be pressed (S310). The film and the attachment object may be attached by pressing the electrostatic chuck sheet, and the process of pressing the electrostatic chuck sheet (S310) may be performed as a whole in the process of attaching the film to the attachment object (S300). The electrostatic chuck sheet may be deformed by pressing the electrostatic chuck sheet, such as stretching or stretching, and after the film and the attachment object are at least partially contacted, the film is pressed with a pressing force that presses the electrostatic chuck sheet. And the attachment object may be well attached.
상기 필름과 상기 부착 대상물을 적어도 부분적으로 접촉시킬 수 있다(S320). 상기 가압 롤러부의 롤러로 상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트를 가압하여 상기 필름의 일부를 상기 부착 대상물(의 일부)에 접촉시킬 수 있으며, 상기 필름과 상기 부착 대상물을 적어도 부분적으로 접촉시켜 부착의 시작 위치를 제공할 수 있다. 여기서, 상기 부착의 시작 위치는 상기 부착 대상물의 길이방향 양측 중 어느 한 측일 수 있으며, 상기 부착 대상물의 길이방향 양측 중 어느 한 측과 이에 대응되는 상기 필름의 어느 한 측을 정렬시킨 후에 상기 부착 대상물의 어느 한 측과 상기 필름의 어느 한 측을 접촉시켜 부착시킬 수 있다.The film and the attachment object may be at least partially contacted (S320). By pressing the electrostatic chuck sheet toward the stage with a roller of the pressing roller part, a part of the film may be brought into contact with the attachment object (part of), and the film and the attachment object are at least partially contacted to start the attachment. You can provide a location. Here, the starting position of the attachment may be any one of both sides in the longitudinal direction of the attachment object, and after aligning one of both sides in the longitudinal direction of the attachment object and any side of the film corresponding thereto, the attachment object It can be attached by making any one side of and either side of the said film contact.
그리고 상기 가압 롤러부의 롤러를 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 주행시킬 수 있다(S330). 상기 가압 롤러부의 롤러가 상기 부착 대상물의 부착면과 평행한 방향으로 이동하면서 상기 정전척 시트 상에서 회전하도록 함으로써, 상기 롤러가 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 주행할 수 있다. 이에 따라 상기 필름과 상기 부착 대상물을 전체적으로 부착시킬 수 있으며, 상기 롤러가 지나간 부분에 상기 필름과 상기 부착 대상물의 부착이 이루어질 수 있고, 상기 정전척 시트 중 상기 필름이 고정되는 부분 전체적으로 상기 롤러를 주행시켜 상기 필름과 상기 부착 대상물 전체에 부착이 이루어지도록 할 수 있다.In addition, the roller of the pressure roller part may be driven along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet (S330). The roller of the pressure roller unit rotates on the electrostatic chuck sheet while moving in a direction parallel to the attachment surface of the attachment object, so that the roller can travel along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet. Accordingly, the film and the attachment object can be attached as a whole, the film and the attachment object can be attached to the portion where the roller has passed, and the roller is driven throughout the portion of the electrostatic chuck sheet to which the film is fixed. Thus, the film and the entire attachment object may be attached.
상기 정전척 시트는 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 가지며, 정전기력이 생성되는 필름 형태의 정전층; 상기 정전층의 제1 면 상에 제공되어, 상기 필름의 지지면을 이루는 연성층; 및 상기 정전층의 제2 면 상에 제공되며, 상기 정전층 및 상기 연성층의 연신을 억제하는 연신억제층을 포함할 수 있다. 정전층은 필름(film) 형상일 수 있고, 서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 가질 수 있으며, 정전기력을 생성시킬 수 있고, 이렇게 생성된 정전기력으로 상기 필름을 고정하기 위한 고정력을 제공할 수 있다.The electrostatic chuck sheet may have a first surface and a second surface opposite to each other, and the electrostatic layer in the form of a film generating electrostatic force; A flexible layer provided on the first surface of the electrostatic layer and forming a support surface of the film; And a stretching inhibiting layer provided on the second surface of the electrostatic layer and suppressing stretching of the electrostatic layer and the flexible layer. The electrostatic layer may be in the shape of a film, may have a first side and a second side facing each other, may generate an electrostatic force, and provide a fixing force for fixing the film with the electrostatic force thus generated. have.
연성층은 상기 정전층의 제1 면 상에 제공될 수 있으며, 상기 필름이 지지되는 지지면을 이룰 수 있고, 상기 필름이 접촉되어 지지될 수 있다. 상기 연성층은 가해지는 힘에 따라 연신될 수 있으며, 상기 정전층을 따라 연신되면서 상기 정전척 시트의 가요성이 유지되도록 할 수 있다. 그리고 상기 연성층은 완충(buffer) 기능과 대전방지 기능을 수행할 수 있다.The flexible layer may be provided on the first surface of the electrostatic layer, may form a support surface on which the film is supported, and may be supported by contacting the film. The flexible layer may be stretched according to an applied force, and may be stretched along the electrostatic layer to maintain the flexibility of the electrostatic chuck sheet. In addition, the flexible layer may perform a buffer function and an antistatic function.
연신억제층은 상기 정전층의 제2 면 상에 제공될 수 있고, 상기 정전층 및 상기 연성층의 연신을 억제할 수 있다. 즉, 상기 연신억제층은 상기 정전층 및 상기 연성층의 연신을 억제하여 상기 정전척 시트가 곡면으로 연신되는 것이 아니라 상기 롤러의 가압 부분을 중심으로 상기 정전척 시트의 양측이 각을 이루도록 할 수 있고, 이에 따라 상기 정전척 시트에 고정된 상기 필름이 상기 부착 대상물에 접촉되면서 선(line) 접촉과 유사한 접촉이 일어나도록 할 수 있다. 이로 인해 상기 필름을 기포 발생없이 상기 부착 대상물에 부착할 수 있고, 상기 필름을 상기 부착 대상물 상에 고르게 부착할 수 있다.The stretch inhibiting layer may be provided on the second surface of the electrostatic layer, and may suppress the stretching of the electrostatic layer and the flexible layer. That is, the stretch inhibiting layer suppresses the stretching of the electrostatic layer and the flexible layer so that the electrostatic chuck sheet is not stretched to a curved surface, but is formed so that both sides of the electrostatic chuck sheet form an angle around the pressing portion of the roller. Accordingly, as the film fixed to the electrostatic chuck sheet comes into contact with the object to be attached, a contact similar to a line contact may occur. Accordingly, the film can be attached to the attachment object without generating bubbles, and the film can be evenly attached to the attachment object.
상기 정전척 시트를 가압하는 과정(S310)에서는 상기 연신억제층의 항복 응력보다 작은 상기 가압 롤러부의 가압력으로 상기 정전척 시트를 가압할 수 있다. 즉, 상기 정전척 시트를 가압하는 과정(S310)에서 상기 필름과 상기 부착 대상물을 접촉 및 부착시키기 위한 상기 가압 롤러부의 가압력에 의해 발생되는 상기 연신억제층의 응력(stress)이 항복점(yield point)을 넘지 않을 수 있다. 여기서, 상기 항복점은 물체의 탄성 한도를 넘는 경계값일 수 있다. 상기 가압 롤러부의 가압력에 의해 발생되는 상기 연신억제층의 응력이 항복점을 넘게 되면, 소성 변형 또는 재료 파괴가 이루어져 가압력이 제거되더라도 상기 연신억제층이 다시 복원되지 못하게 되어 상기 정전척 시트를 다시 사용할 수 없게 된다.In the process of pressing the electrostatic chuck sheet (S310), the electrostatic chuck sheet may be pressed with a pressing force of the pressing roller unit less than the yield stress of the stretch inhibiting layer. That is, in the process of pressing the electrostatic chuck sheet (S310), the stress of the stretch inhibiting layer generated by the pressing force of the pressing roller for contacting and attaching the film and the attachment object is a yield point. May not exceed. Here, the yield point may be a boundary value exceeding the elastic limit of the object. When the stress of the stretch inhibiting layer generated by the pressing force of the pressing roller exceeds the yield point, plastic deformation or material destruction occurs, and even if the pressing force is removed, the stretch inhibiting layer cannot be restored again, and the electrostatic chuck sheet can be used again. There will be no.
한편, 상기 적어도 부분적으로 접촉시키는 과정(S320)은 상기 롤러의 가압 부분을 중심으로 상기 연신억제층의 양측이 각을 이루는 과정(S321)을 포함할 수 있다.Meanwhile, the at least partially contacting process (S320) may include a process (S321) in which both sides of the stretch inhibiting layer form an angle around a pressing portion of the roller.
상기 롤러의 가압 부분을 중심으로 상기 연신억제층의 양측이 각을 이룰 수 있다(S321). 상기 가압 롤러부의 롤러를 이용하여 상기 정전척 시트를 가압하는 경우에 상기 롤러의 가압 부분을 중심으로 상기 연신억제층의 양측이 ‘∨’자와 유사하게 각을 이룰 수 있으며, 상기 정전척 시트에 고정된 상기 필름이 상기 부착 대상물에 접촉되면서 선 접촉과 유사한 접촉이 일어나도록 할 수 있다. 상기 연신억제층은 일정한 강성을 갖는 동시에 적절한 탄성을 갖는 금속으로 이루어질 수 있으며, 이에 따라 상기 연신억제층 중 가압력이 작용하지 않는 상기 롤러의 양측은 평면을 유지할 수 있으며, 양측의 두 평면이 만나는 상기 롤러의 가압 부분에 곡률이 큰 호(arc)가 만들어질 수 있고, 양측의 두 평면이 상기 롤러의 가압 부분을 중심으로 각을 이룰 수 있다. 이를 통해 상기 연신억제층으로 최대한 선 접촉과 유사하게 상기 필름을 눌러줄 수 있다.Both sides of the stretching inhibiting layer may form an angle around the pressing portion of the roller (S321). When the electrostatic chuck sheet is pressed using a roller of the pressure roller part, both sides of the stretch inhibiting layer may form an angle similar to a'∨' around the pressing part of the roller, and the electrostatic chuck sheet As the fixed film is in contact with the attachment object, a contact similar to line contact may occur. The stretch inhibiting layer may be made of a metal having a certain stiffness and appropriate elasticity, and accordingly, both sides of the roller in which the pressing force does not act in the stretch inhibiting layer can maintain a flat surface, and the two planes of both sides meet. An arc having a large curvature can be made in the pressing portion of the roller, and two planes on both sides can form an angle around the pressing portion of the roller. Through this, it is possible to press the film as closely as possible to line contact with the stretch inhibiting layer.
이렇게 상기 연성층과 상기 연신억제층을 포함하는 상기 정전척 시트는 일정한 강성을 갖는 동시에 적절한 탄성 및 가요성(또는 휨성)을 갖는 비교적 얇은 판 형태인 금속 또는 합성수지를 포함할 수 있고, 박판 형태일 수 있다.In this way, the electrostatic chuck sheet including the flexible layer and the stretch inhibiting layer may include a metal or synthetic resin in the form of a relatively thin plate having appropriate elasticity and flexibility (or bendability) while having a certain stiffness, and may be in the form of a thin plate. I can.
상기 정전층은 상기 정전척 시트의 폭방향으로 연장되며, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 배열되는 복수의 분할전극을 포함할 수 있다. 복수의 분할전극은 상기 정전척 시트의 폭방향으로 연장될 수 있고, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 배열될 수 있다. 예를 들어, 상기 복수의 분할전극은 양(+)의 분할전극과 음(-)의 분할전극이 한 쌍을 이룰 수 있고, 상기 양(+)의 분할전극과 상기 음(-)의 분할전극의 쌍(들)이 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 배열될 수 있으며, 한 쌍씩 개별적으로 전원이 공급되어 상기 양측의 양(+)의 분할전극과 상기 음(-)의 분할전극이 이루는 영역에 대응하는 상기 정전층의 표면 상에 정전기력을 생성할 수 있고, 이러한 정전기력으로 상기 필름을 고정시킬 수 있다.The electrostatic layer may extend in the width direction of the electrostatic chuck sheet, and may include a plurality of divided electrodes arranged along the length direction of the electrostatic chuck sheet. The plurality of divided electrodes may extend in the width direction of the electrostatic chuck sheet, and may be arranged along the length direction of the electrostatic chuck sheet. For example, in the plurality of divided electrodes, a positive (+) divided electrode and a negative (-) divided electrode may form a pair, and the positive (+) divided electrode and the negative (-) divided electrode The pair(s) of may be arranged along the lengthwise direction of the electrostatic chuck sheet, and power is individually supplied one by one to a region formed by the positive (+) divided electrodes on both sides and the negative (-) divided electrodes An electrostatic force may be generated on the surface of the electrostatic layer corresponding to, and the film may be fixed with such electrostatic force.
본 발명에 따른 필름 부착방법은 상기 롤러가 가압하고 지나간 분할전극을 개별적으로 오프(off)하여, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 순차적으로 상기 필름에 대한 고정력을 제거하는 과정(S350);을 더 포함할 수 있다.In the method of attaching a film according to the present invention, a process of individually turning off the divided electrodes that have been pressed by the roller and passed, and sequentially removing the fixing force to the film along the length direction of the electrostatic chuck sheet (S350); It may contain more.
상기 롤러가 가압하고 지나간 분할전극을 개별적으로 오프(off)하여, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 순차적으로 상기 필름에 대한 고정력을 제거할 수 있다(S350). 상기 복수의 분할전극은 개별적으로 오프할 수 있으며, 상기 롤러의 주행에 따라 위치별로 순차적으로 오프할 수 있다. 상기 롤러가 통과한 위치의 필름 부분은 상기 부착 대상물에 부착된 상태이므로, 정전기력을 생성하여 그 부분을 고정하고 있던 분할전극에 대한 전원 공급을 차단(또는 분할전극을 오프)함으로써, 상기 부착 대상물에 부착된 필름 부분이 상기 정전척 시트로부터 떨어지도록 할 수 있다. 이때, 상기 롤러의 위치 검출에 따라 상기 롤러가 가압하고 지나간(또는 통과한) 위치의 분할전극에 대한 전원 공급을 차단하는 경우에는 자연스럽게 상기 정전척 시트로부터 상기 부착 대상물에 부착된 부분의 상기 필름이 떨어질 수 있어 상기 필름을 상기 정전척 시트에서 강제적으로 떨어뜨리면서 발생하는 상기 필름의 들뜸 현상이나 상기 필름 및/또는 상기 부착 대상물의 손상을 방지할 수 있다. 이에, 상기 순차적으로 상기 필름에 대한 고정력을 제거하는 과정(S350)은 상기 롤러의 위치를 검출하는 과정(S351)을 포함할 수 있다.By individually turning off the divided electrodes that have been pressed by the roller and passed, the fixing force on the film may be sequentially removed along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet (S350). The plurality of divided electrodes may be individually turned off, and may be sequentially turned off for each position according to the running of the roller. Since the film portion at the position where the roller passed is attached to the attachment object, by generating electrostatic force and cutting off the power supply to the division electrode fixing the portion (or turning off the division electrode), the attachment object It is possible to allow the attached film portion to be separated from the electrostatic chuck sheet. At this time, when the roller pressurizes and cuts off the power supply to the divided electrode at the past (or passed) position according to the detection of the position of the roller, the film at the portion attached to the attachment object from the electrostatic chuck sheet It may fall, thereby preventing the film from being lifted off or damage to the film and/or the attachment object caused by forcibly dropping the film from the electrostatic chuck sheet. Accordingly, the process of sequentially removing the fixing force on the film (S350) may include a process of detecting the position of the roller (S351).
본 발명에 따른 필름 부착방법은 한 쌍의 시트 고정부에 상기 정전척 시트의 양측을 각각 고정하는 과정(S50);을 더 포함할 수 있다.The method of attaching a film according to the present invention may further include a process of fixing both sides of the electrostatic chuck sheet to a pair of sheet fixing units (S50).
한 쌍의 시트 고정부에 상기 정전척 시트의 양측을 각각 고정할 수 있다(S50). 한 쌍의 시트 고정부를 이용하여 상기 정전척 시트의 길이방향 양측에서 상기 정전척 시트를 판판하게(또는 팽팽하게) 평면 상태로 고정할 수 있으며, 상기 정전척 시트에 일정 수준의(또는 미리 결정된 작은) 장력(tension)이 걸리도록 고정할 수도 있다. 이때, 상기 한 쌍의 시트 고정부의 적어도 어느 하나는 이동 가능할 수 있다.Both sides of the electrostatic chuck sheet may be fixed to a pair of sheet fixing units (S50). The electrostatic chuck sheet can be fixed in a flat state (or taut) on both sides in the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet using a pair of sheet fixing parts, and a certain level (or predetermined level) to the electrostatic chuck sheet It can also be fixed to apply a small) tension. At this time, at least one of the pair of sheet fixing portions may be movable.
상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정(S300)은 상기 한 쌍의 시트 고정부의 간격이 조정되는 과정(S315)을 포함할 수 있다.The process of attaching the film to the attachment object (S300) may include a process (S315) of adjusting the spacing of the pair of sheet fixing portions.
상기 한 쌍의 시트 고정부의 간격이 조정될 수 있다(S315). 상기 가압 롤러부를 이용하여 상기 정전척 시트를 가압할 때에 상기 정전척 시트에 가해지는 압력에 의한 상기 정전척 시트의 변형(예를 들어, 연신 또는 인장)에 따라 상기 한 쌍의 시트 고정부의 간격(즉, 상기 정전척 시트의 길이방향 양측의 간격)을 조정할 수 있다. 상기 한 쌍의 시트 고정부의 간격 조정없이 상기 정전척 시트에 가압력을 가하는 경우에는 상기 정전척 시트가 연신(또는 인장)되어 늘어나게 되고, 상기 정전척 시트에 작용하는 장력으로 인해 상기 정전척 시트의 내부 응력이 항복점을 넘게 되어 상기 정전척 시트가 늘어난 상태로 소성 변형되거나, 적어도 부분적으로 파단될 수도 있다. 이에, 상기 정전척 시트에 가해지는 압력에 의한 상기 정전척 시트의 변형에 따라 상기 정전척 시트의 길이방향 양측의 간격을 조정할 수 있으며, 상기 정전척 시트에 작용하는 장력을 일정 수준(또는 오차범위 내)으로 유지할 수 있고, 상기 정전척 시트가 소성 변형되거나, 적어도 부분적으로 파단되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.The spacing of the pair of sheet fixing portions may be adjusted (S315). When pressing the electrostatic chuck sheet using the pressing roller part, the gap between the pair of sheet fixing parts according to deformation (eg, stretching or tensioning) of the electrostatic chuck sheet due to pressure applied to the electrostatic chuck sheet (That is, the distance between both sides of the electrostatic chuck sheet in the longitudinal direction) can be adjusted. When a pressing force is applied to the electrostatic chuck sheet without adjusting the gap of the pair of sheet fixing portions, the electrostatic chuck sheet is stretched (or stretched) and stretched, and due to the tension acting on the electrostatic chuck sheet, the electrostatic chuck sheet As the internal stress exceeds the yield point, the electrostatic chuck sheet may be plastically deformed in an elongated state, or may be at least partially broken. Accordingly, according to the deformation of the electrostatic chuck sheet due to the pressure applied to the electrostatic chuck sheet, the distance between both sides of the electrostatic chuck sheet in the longitudinal direction may be adjusted, and the tension acting on the electrostatic chuck sheet may be adjusted to a certain level (or an error range). Inner), the electrostatic chuck sheet may be plastically deformed or at least partially fractured from being suppressed or prevented.
이처럼, 본 발명에서는 가요성의 정전척 시트로 필름을 고정하여 패널 등의 부착 대상물에 부착시킴으로써, 정전척 시트가 패널의 형상에 따라 다양한 형태로 변형될 수 있어 곡면 패널 등의 다양한 형태의 패널에 효과적으로 필름을 부착할 수 있다. 또한, 정전척 시트가 가압 롤러부의 가압에 의해 부착 대상물을 향해 연신될 수 있어 가압 롤러부에 의한 가압력이 필름과 부착 대상물을 접촉시키는 롤러의 위치에 보다 효과적으로 집중될 수 있다. 그리고 정전척 시트가 연신억제층을 포함하여 정전척 시트가 곡면으로 연신되는 것이 아니라 롤러의 가압 부분을 중심으로 연신억제층의 양측이 각을 이룰 수 있으므로, 롤러의 가압 부분에 선 접촉과 유사한 접촉이 일어날 수 있고, 금속으로 이루어진 연신억제층이 필름을 부착 대상물을 향해 충분히 눌러줄 수 있다. 이에 따라 기포 발생없이 필름을 부착 대상물에 부착할 수 있다. 또한, 정전척 시트의 폭방향으로 연장되고 길이방향을 따라 배열되는 복수의 분할전극으로 정전층을 구성하여 복수의 분할전극에 각각 독립적으로 전원을 공급함으로써, 롤러가 통과하여 필름과 부착 대상물의 부착이 이루어진 부분에 위치한 분할전극의 전원 공급을 차단하여 고정력을 제거할 수 있으며, 이에 따라 필름을 고정하는 정전척 시트의 고정력에 의해 부착 대상물에 부착되었던 필름이 들뜨게 되는 것을 방지할 수 있고, 필름을 부착 대상물의 전체면에 균일하면서 안정적으로 부착할 수 있다. 그리고 인장력 제어부를 통해 가압 롤러부의 가압에 의한 정전척 시트의 연신에 따라 정전척 시트의 길이방향 양측의 간격을 조정함으로써, 정전척 시트에 작용하는 장력을 유지할 수 있고, 이에 따라 정전척 시트 및/또는 이에 고정된 필름의 손상을 방지할 수도 있다.As described above, in the present invention, by fixing the film with a flexible electrostatic chuck sheet and attaching it to an attachment object such as a panel, the electrostatic chuck sheet can be deformed in various forms according to the shape of the panel, so it is effectively applied to various types of panels such as curved panels. Film can be attached. In addition, the electrostatic chuck sheet may be stretched toward the attachment object by pressing the pressure roller portion, so that the pressing force by the pressure roller portion can be more effectively concentrated on the position of the roller contacting the film and the attachment object. In addition, since the electrostatic chuck sheet is not stretched to a curved surface including the stretch inhibiting layer, but the both sides of the stretch inhibiting layer can form an angle around the pressing portion of the roller, a contact similar to line contact with the pressing portion of the roller. This may occur, and the stretch inhibiting layer made of metal can sufficiently press the film toward the attachment object. Accordingly, the film can be attached to the object to be attached without generating air bubbles. In addition, by forming an electrostatic layer with a plurality of divided electrodes extending in the width direction of the electrostatic chuck sheet and arranged along the length direction, power is independently supplied to the plurality of divided electrodes, so that the roller passes through and attaches the film and the attachment object. It is possible to remove the fixing force by cutting off the power supply of the divided electrode located in the formed part. Accordingly, the film attached to the attachment object can be prevented from being lifted by the fixing force of the electrostatic chuck sheet fixing the film. It can be uniformly and stably attached to the entire surface of the attachment object. And by adjusting the distance between both sides of the electrostatic chuck sheet in the longitudinal direction according to the stretching of the electrostatic chuck sheet by pressing the pressing roller unit through the tensile force control unit, it is possible to maintain the tension acting on the electrostatic chuck sheet, and accordingly Alternatively, damage to the film fixed thereto may be prevented.
상기 설명에서 사용한 “~ 상에”라는 의미는 직접 접촉하는 경우와 직접 접촉하지는 않지만 상부 또는 하부에 대향하여 위치하는 경우를 포함하고, 상부면 또는 하부면 전체에 대향하여 위치하는 것뿐만 아니라 부분적으로 대향하여 위치하는 것도 가능하며, 위치상 떨어져 대향하거나 상부면 또는 하부면에 직접 접촉한다는 의미로 사용하였다.The meaning of “on” used in the above description includes a case where it is in direct contact and a case where it is not in direct contact, but is located opposite to the upper or lower surface, and is located opposite to the entire upper or lower surface, as well as partially It is also possible to be positioned opposite to each other, and was used to mean that it faces apart from the position or directly contacts the upper or lower surface.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and common knowledge in the field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Those who have a will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible from this. Therefore, the technical protection scope of the present invention should be determined by the following claims.
11 : 필름 12 : 부착 대상물
100 : 필름 부착장치 110 : 정전척 시트
111 : 정전층 111a,111b: 분할전극
112 : 연성층 113 : 연신억제층
120 : 스테이지부 121 : 지지테이블
122 : 스테이지 이동부 130 : 가압 롤러부
131 : 롤러 132 : 가압부
133 : 주행부 141, 142 : 시트 고정부
150 : 인장력 제어부 151 : 에어실린더
151a: 실린더 몸체 151b: 피스톤 또는 플런저
160 : 전원부11: film 12: object to be attached
100: film attachment device 110: electrostatic chuck sheet
111:
112: soft layer 113: stretch inhibiting layer
120: stage part 121: support table
122: stage moving unit 130: pressure roller unit
131: roller 132: pressing part
133: running
150: tensile force control unit 151: air cylinder
151a:
160: power supply
Claims (14)
상기 필름이 부착되는 부착 대상물을 지지하여 고정하는 스테이지부; 및
상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트에 가압력을 제공하여, 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 가압 롤러부;를 포함하는 필름 부착장치.A flexible electrostatic chuck sheet for fixing the film by electrostatic force;
A stage part supporting and fixing an object to which the film is attached; And
And a pressurizing roller unit for attaching the film to the attachment object by applying a pressing force to the electrostatic chuck sheet toward the stage unit.
상기 정전척 시트는,
서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 가지며, 상기 정전기력이 생성되는 필름 형태의 정전층;
상기 정전층의 제1 면 상에 제공되어, 상기 필름의 지지면을 이루는 연성층; 및
상기 정전층의 제2 면 상에 제공되며, 상기 정전층 및 상기 연성층의 연신을 억제하는 연신억제층;을 포함하는 필름 부착장치.The method according to claim 1,
The electrostatic chuck sheet,
An electrostatic layer in the form of a film having a first surface and a second surface facing each other and generating the electrostatic force;
A flexible layer provided on the first surface of the electrostatic layer and forming a support surface of the film; And
A film attaching apparatus comprising: a stretch inhibiting layer provided on the second surface of the electrostatic layer and suppressing the stretching of the electrostatic layer and the flexible layer.
상기 연신억제층은 상기 연성층보다 큰 강성을 갖는 금속으로 이루어진 필름 부착장치.The method according to claim 2,
The stretch inhibiting layer is a film attaching device made of a metal having a greater rigidity than the flexible layer.
상기 연신억제층은 상기 가압 롤러부의 가압력보다 큰 항복 응력을 갖는 필름 부착장치.The method according to claim 2,
The stretch inhibiting layer is a film attaching device having a yield stress greater than the pressing force of the pressing roller part.
상기 가압 롤러부는,
상기 정전척 시트에 접촉되는 롤러;
상기 정전척 시트를 향해 상기 롤러를 이동시켜 상기 정전척 시트를 가압하는 가압부; 및
상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 상기 롤러를 주행시키는 주행부;를 포함하는 필름 부착장치.The method according to claim 2,
The pressure roller part,
A roller contacting the electrostatic chuck sheet;
A pressing unit for pressing the electrostatic chuck sheet by moving the roller toward the electrostatic chuck sheet; And
Film attaching device comprising a; traveling unit for running the roller along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet.
상기 정전층은,
상기 정전척 시트의 폭방향으로 연장되며, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 배열되는 복수의 분할전극을 포함하고,
상기 복수의 분할전극에 각각 독립적으로 전원 공급이 가능한 전원부;를 더 포함하는 필름 부착장치.The method of claim 5,
The electrostatic layer,
A plurality of dividing electrodes extending in the width direction of the electrostatic chuck sheet and arranged along the length direction of the electrostatic chuck sheet,
A film attaching device further comprising a power supply unit capable of independently supplying power to the plurality of divided electrodes.
상기 롤러의 위치를 검출하는 위치 검출부;를 더 포함하고,
상기 전원부는 상기 롤러의 위치 검출에 따라 상기 롤러가 통과한 위치의 분할전극에 전원 공급을 차단하는 필름 부착장치.The method of claim 6,
Further comprising a; position detection unit for detecting the position of the roller,
The power supply unit is a film attaching device for blocking the supply of power to the divided electrode at the position where the roller has passed according to the position of the roller.
상기 정전척 시트의 길이방향 양측을 고정하는 한 쌍의 시트 고정부; 및
상기 한 쌍의 시트 고정부 중 적어도 어느 하나에 연결되어, 상기 정전척 시트에 작용하는 인장력을 조절하는 인장력 제어부;를 더 포함하는 필름 부착장치.The method of claim 5,
A pair of sheet fixing portions fixing both sides of the electrostatic chuck sheet in the longitudinal direction; And
A film attaching apparatus further comprising a tensile force control unit connected to at least one of the pair of sheet fixing units to adjust a tensile force acting on the electrostatic chuck sheet.
상기 인장력 제어부는,
일측이 상기 시트 고정부에 연결되는 탄성부재 또는 에어실린더; 및
상기 탄성부재 또는 상기 에어실린더의 타측이 고정되는 고정부재;를 포함하는 필름 부착장치.The method of claim 8,
The tensile force control unit,
An elastic member or an air cylinder having one side connected to the seat fixing unit; And
Film attachment device comprising a; the elastic member or a fixing member to which the other side of the air cylinder is fixed.
스테이지부 상에 상기 필름이 부착되는 부착 대상물을 지지하는 과정; 및
가압 롤러부로 상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트를 가압하여 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정;을 포함하는 필름 부착방법.Fixing the film to the flexible electrostatic chuck sheet by electrostatic force;
Supporting an object to which the film is attached on the stage part; And
A process of attaching the film to the attachment object by pressing the electrostatic chuck sheet toward the stage with a pressing roller unit.
상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정은,
상기 정전척 시트를 가압하는 과정;
상기 필름과 상기 부착 대상물을 적어도 부분적으로 접촉시키는 과정; 및
상기 가압 롤러부의 롤러를 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 주행시키는 과정;을 포함하는 필름 부착방법.The method of claim 10,
The process of attaching the film to the attachment object,
Pressing the electrostatic chuck sheet;
At least partially contacting the film and the attachment object; And
The method of attaching a film comprising a; the step of running the roller of the pressure roller portion along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet.
상기 정전척 시트는,
서로 대향하는 제1 면과 제2 면을 가지며, 정전기력이 생성되는 필름 형태의 정전층;
상기 정전층의 제1 면 상에 제공되어, 상기 필름의 지지면을 이루는 연성층; 및
상기 정전층의 제2 면 상에 제공되며, 상기 정전층 및 상기 연성층의 연신을 억제하는 연신억제층을 포함하고,
상기 정전척 시트를 가압하는 과정에서는 상기 연신억제층의 항복 응력보다 작은 상기 가압 롤러부의 가압력으로 상기 정전척 시트를 가압하는 필름 부착방법.The method of claim 11,
The electrostatic chuck sheet,
An electrostatic layer in the form of a film having first and second surfaces facing each other and generating electrostatic force;
A flexible layer provided on the first surface of the electrostatic layer and forming a support surface of the film; And
It is provided on the second surface of the electrostatic layer, and includes a stretch inhibiting layer for suppressing the stretching of the electrostatic layer and the flexible layer,
In the process of pressing the electrostatic chuck sheet, a film attaching method in which the electrostatic chuck sheet is pressed with a pressing force of the pressing roller unit less than the yield stress of the stretch inhibiting layer.
상기 정전층은,
상기 정전척 시트의 폭방향으로 연장되며, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 배열되는 복수의 분할전극을 포함하고,
상기 롤러가 가압하고 지나간 분할전극을 개별적으로 오프(off)하여, 상기 정전척 시트의 길이방향을 따라 순차적으로 상기 필름에 대한 고정력을 제거하는 과정;을 더 포함하는 필름 부착방법.The method of claim 12,
The electrostatic layer,
A plurality of dividing electrodes extending in the width direction of the electrostatic chuck sheet and arranged along the length direction of the electrostatic chuck sheet,
The method of attaching a film further comprising: a step of individually turning off the divided electrodes that have been pressed by the roller and passed, and sequentially removing the fixing force to the film along the longitudinal direction of the electrostatic chuck sheet.
한 쌍의 시트 고정부에 상기 정전척 시트의 양측을 각각 고정하는 과정;을 더 포함하고,
상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 과정은 상기 한 쌍의 시트 고정부의 간격이 조정되는 과정을 포함하는 필름 부착방법.The method of claim 10,
The process of fixing each of both sides of the electrostatic chuck sheet to a pair of sheet fixing units; further comprising,
The process of attaching the film to the attachment object includes a process of adjusting an interval of the pair of sheet fixing portions.
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