KR20200135667A - Display Glass alignment device for non-contact type - Google Patents

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KR20200135667A
KR20200135667A KR1020190061305A KR20190061305A KR20200135667A KR 20200135667 A KR20200135667 A KR 20200135667A KR 1020190061305 A KR1020190061305 A KR 1020190061305A KR 20190061305 A KR20190061305 A KR 20190061305A KR 20200135667 A KR20200135667 A KR 20200135667A
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김국렬
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주식회사 에이치에스시스템
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Abstract

The present invention relates to an apparatus for aligning a glass substrate for a display using a non-contact method, which includes: a frame formed to mount or support various members; an alignment unit formed at the center of the frame to support the supplied glass substrate and align a position; and a detection unit formed on an edge of the glass substrate supported by the alignment unit to measure the position of the glass substrate. Therefore, the apparatus for aligning a glass substrate for a display using the non-contact method can identify the position of the glass substrate regardless of the transparency of panels.

Description

비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치{Display Glass alignment device for non-contact type}Display Glass alignment device for non-contact type}

본 발명은 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 높은 수준의 정밀도를 요구하는 디스플레이 셀 공정에서 공급된 유리기판을 비접촉식으로 정렬시켜 공급할 수 있는 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate alignment device for a display using a non-contact method, and more particularly, for a display using a non-contact method capable of supplying a glass substrate supplied in a display cell process requiring a high level of precision in a non-contact manner. It relates to a glass substrate alignment device.

디스플레이 패널 제조공정은 크게 전처리 과정과 후처리 과정의 여려 공정을 거쳐 생산이 되는데, 이런 여러 공정을 수행하기 전에 유리기판을 이송하고 정렬하는 작업은 필수적이며, 차세대 HD OLED, UHD OLED, 커브드 디스플레이로 갈수록 기존 보다 높은 정밀도를 필요로 한다.The display panel manufacturing process is largely produced through various processes such as pre- and post-processing, and it is essential to transfer and align the glass substrate before performing these various processes.Next-generation HD OLED, UHD OLED, curved display As it goes to, higher precision is required than before.

기존의 정렬 시스템은 도 1에서 도시된 바와 같이, 비전처리 방식으로 정렬 오차를 확인하였는데, 이 방법은 정렬에 있어 생산 패널에 마커를 표시하여야 하고, 패널 하단에 특정 마스크 패턴을 두어 패널을 통과한 상을 확인하는 방식이었기에 패널의 투명도가 낮을 경우 비전처리에 어려운 단점이 있다.As shown in FIG. 1, in the conventional alignment system, alignment errors were checked by a non-processing method. In this method, a marker must be displayed on the production panel for alignment, and a specific mask pattern is placed at the bottom of the panel to pass through the panel. Since it was a way to check the image, there is a disadvantage that it is difficult to process vision when the transparency of the panel is low.

또한 유리기판을 정렬하기 위해 상기와 같은 비전처리 방식으로 정렬 오차를 확인한 후 로봇암을 이용하여 지지대 위에 거치된 유리기판의 모서리를 밀어내면서 원하는 위치 및 정밀도에 도달할 때까지 조정하게 된다.In addition, in order to align the glass substrate, after checking the alignment error using the vision processing method described above, the robot arm is used to push the edge of the glass substrate mounted on the support and adjust it until the desired position and precision are reached.

이러한 방식은 정렬시간이 일정하지 않고 유리기판과 로봇암이 접촉되면서 발생하는 충격력에 의해 유리기판의 모서리 부분이 손상되는 문제점이 있었으며, 회전하는 패널과 지지대간의 마찰로 인하여 패널 표면도 흠집이 발생하여 불량률이 상승한다는 문제점이 있었다.This method has a problem in that the alignment time is not constant and the edge of the glass substrate is damaged by the impact force generated when the glass substrate and the robot arm come into contact, and the panel surface is also scratched due to friction between the rotating panel and the support. There is a problem that the defective rate increases.

한국특허 등록번호 제10-0955856호Korean Patent Registration No. 10-0955856

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 마커 없이 유리기판의 위치를 검출할 수 있어 보정 위치를 계산하시는 시간이 비전처리 방식보다 빠르고 패널의 투명도와 관계없이 유리기판의 위치 파악이 가능한 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention to solve the above problems is that it is possible to detect the position of the glass substrate without a marker, so that the time to calculate the corrected position is faster than that of the vision processing method, and the position of the glass substrate can be determined regardless of the transparency of the panel. It is to provide a display glass substrate alignment device using the method.

또한 본 발명의 다른 목적은 유리기판과 접촉하지 않은 상태에서 유리기판의 위치를 정렬할 수 있어 유리기판의 불량을 감소시킬 수 있는 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a glass substrate alignment apparatus for a display using a non-contact method that can reduce defects of the glass substrate by aligning the position of the glass substrate in a state not in contact with the glass substrate.

또한 본 발명의 다른 목적은 유리기판의 크기 또는 모델에 맞게 센서의 위치를 가변시켜 하나의 장치로 다양한 유리기판을 정렬시킬 수 있는 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a display glass substrate alignment device using a non-contact method capable of aligning various glass substrates with one device by varying the position of the sensor according to the size or model of the glass substrate.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치는 각종 부재를 장착하거나 지지할 수 있도록 형성되는 프레임과, 상기 프레임의 중앙에 형성되어 공급되는 유리기판을 지지하고 위치를 정렬시키는 정렬유닛과, 상기 정렬유닛에 의해 지지된 유리기판의 가장자리에 형성되어 상기 유리기판의 위치를 측정하는 감지유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.The display glass substrate alignment device using the non-contact method of the present invention to solve the above problems includes a frame formed to mount or support various members, and a glass substrate formed in the center of the frame to support and position the supplied glass substrate. It characterized in that it comprises an alignment unit to align, and a sensing unit formed on the edge of the glass substrate supported by the alignment unit to measure the position of the glass substrate.

본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 상기 정렬유닛은 상기 유리기판을 지지할 수 있도록 형성되며 상부면에는 다수 개의 접촉단이 돌출되어 있는 지지대와, 상기 지지대의 하부에 형성되며 구동모터에 의해 회전되어 상기 유리기판의 위치를 조정하는 턴테이블과, 상기 턴테이블 하부에 형성되며 상기 내부에 형성된 동력원을 이용하여 상기 턴테이블을 수평방면으로 이동시키는 위치보정대로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The alignment unit of the glass substrate alignment device for a display using the non-contact method of the present invention is formed to support the glass substrate, a support having a plurality of contact ends protruding on the upper surface thereof, and a support formed under the support and driven It is characterized in that it consists of a turntable that is rotated by a motor to adjust the position of the glass substrate, and a position correction zone formed under the turntable and moving the turntable in a horizontal direction using a power source formed therein.

본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 상기 정렬유닛은 상기 유리기판을 회전 또는 수평방면으로 이동시켜 상기 유리기판이 정렬된 위치정보를 실시간으로 저장하며 정렬이 완료된 위치정보를 이용하여 다음에 공급되는 유리기판의 위치를 보정한 후 정렬하는 것을 특징으로 한다.The alignment unit of the glass substrate alignment device for display using the non-contact method of the present invention stores the position information in which the glass substrate is aligned in real time by rotating the glass substrate or moving the glass substrate in a horizontal direction. It is characterized by aligning after correcting the position of the next supplied glass substrate.

본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 상기 감지유닛은 상기 유리기판의 상부에 형성되며 상기 유리기판의 모서리를 향해 레이저를 조사하는 발광센서와, 상기 유리기판의 하부에 형성되어 상기 발광센서로부터 조사된 레이저를 수광하고 상기 유리기판의 모서리에서 굴절된 그림자를 통해 상기 유리기판의 모서리 위치를 측정하는 수광센서로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The sensing unit of the glass substrate alignment device for a display using the non-contact method of the present invention is formed on the glass substrate, a light-emitting sensor that irradiates a laser toward the edge of the glass substrate, and is formed under the glass substrate to the It characterized in that it comprises a light-receiving sensor that receives the laser irradiated from the light-emitting sensor and measures the position of the edge of the glass substrate through a shadow refracted from the edge of the glass substrate.

본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 상기 감지유닛은 상기 유리기판의 모서리를 중심으로 가로로 레이저를 조사하여 모서리에 굴절이 발생되어 감지되지 않은 부위, 유리기판을 통과하여 감지된 부위, 유리가 없는 부위를 통과하여 감지된 부위를 각각 검출하여 상기 유리기판의 끝단 위치를 검출하는 것을 특징으로 한다.The sensing unit of the glass substrate alignment device for a display using the non-contact method of the present invention irradiates a laser horizontally around the edge of the glass substrate, so that the refraction is generated at the edge and is detected through the glass substrate. It is characterized in that the position of the end of the glass substrate is detected by detecting a portion detected through a portion and a portion without glass, respectively.

본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 상기 감지유닛은 상기 유리기판의 크기에 따라 상기 유리기판의 모서리에 맞게 위치가 가변될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The sensing unit of the glass substrate alignment apparatus for a display using the non-contact method of the present invention is characterized in that it is formed so that the position can be changed to fit the edge of the glass substrate according to the size of the glass substrate.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 의하면, 마커 없이 유리기판의 위치를 검출할 수 있어 보정 위치를 계산하시는 시간이 비전처리 방식보다 빠르고 패널의 투명도와 관계없이 유리기판의 위치 파악이 가능한 효과가 있다.As described above, according to the glass substrate alignment device for display using the non-contact method according to the present invention, since the position of the glass substrate can be detected without a marker, the time to calculate the corrected position is faster than that of the vision processing method and is related to the transparency of the panel. There is an effect that it is possible to locate the glass substrate without it.

또한 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 의하면, 유리기판과 접촉하지 않은 상태에서 유리기판의 위치를 정렬할 수 있어 유리기판의 불량을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the glass substrate alignment apparatus for a display using a non-contact method according to the present invention, the position of the glass substrate can be aligned without contacting the glass substrate, thereby reducing defects of the glass substrate.

또한 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 의하면, 유리기판의 크기 또는 모델에 맞게 센서의 위치를 가변시켜 하나의 장치로 다양한 유리기판을 정렬시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the glass substrate alignment device for a display using the non-contact method according to the present invention, there is an effect of aligning various glass substrates with one device by varying the position of the sensor according to the size or model of the glass substrate.

도 1은 종래의 유리기판을 정렬 위치를 측정하는 방법을 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 전체적인 형상을 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 유리가 거치된 모습을 나타낸 정면도.
도 4는 본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 정렬유닛과 감지유닛을 상세하게 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 감지유닛의 위치를 나타낸 평면도.
도 6은 본 발명의 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 감지유닛이 유리기판의 모서리를 검출하는 모습을 나타낸 예시도.1 is a view showing a method of measuring the alignment position of a conventional glass substrate.
Figure 2 is a perspective view showing the overall shape of the display glass substrate alignment device using the non-contact method of the present invention.
Figure 3 is a front view showing a state in which glass is mounted on the glass substrate alignment device for a display using the non-contact method of the present invention.
Figure 4 is a perspective view showing in detail the alignment unit and the sensing unit of the glass substrate alignment device for a display using the non-contact method of the present invention.
Figure 5 is a plan view showing the position of the sensing unit of the display glass substrate alignment device using the non-contact method of the present invention.
6 is an exemplary view showing a state in which the detection unit of the glass substrate alignment device for a display using the non-contact method of the present invention detects the edge of the glass substrate.

본 발명의 구체적 특징 및 이점들은 이하에서 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이에 앞서 본 발명에 관련된 기능 및 그 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 구체적인 설명을 생략하기로 한다.Specific features and advantages of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. Prior to this, when it is determined that a detailed description of functions and configurations related to the present invention may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description will be omitted.

본 발명은 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 높은 수준의 정밀도를 요구하는 디스플레이 셀 공정에서 공급된 유리기판을 비접촉식으로 정렬시켜 공급할 수 있는 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate alignment device for a display using a non-contact method, and more particularly, for a display using a non-contact method capable of supplying a glass substrate supplied in a display cell process requiring a high level of precision in a non-contact manner. It relates to a glass substrate alignment device.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참고로 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 전체적인 형상을 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing the overall shape of a display glass substrate alignment device using a non-contact method according to the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치는 각종 부재를 장착하거나 지지할 수 있도록 형성되는 프레임(100)과, 프레임(100)의 중앙에 형성되어 공급되는 유리기판(G)을 지지하고 위치를 정렬시키는 정렬유닛(200)과, 정렬유닛(200)에 의해 지지된 유리기판(G)의 가장자리에 형성되어 유리기판(G)의 위치를 측정하는 감지유닛(300)을 포함하는 것을 특징으로 한다.As shown in Figure 2, the display glass substrate alignment device using a non-contact method according to the present invention is provided with a frame 100 formed to mount or support various members, and formed in the center of the frame 100 The alignment unit 200 that supports and aligns the position of the glass substrate (G) and is formed on the edge of the glass substrate (G) supported by the alignment unit 200 to measure the position of the glass substrate (G) It characterized in that it comprises a unit (300).

프레임(100)은 내부에 각종 부재를 고정시킬 수 있도록 알루미늄 프로파일로 형성되어 있으며, 다수 개의 프로파일은 사각형 형상으로 연결되어 있어 프레임(100) 내부에 정렬유닛(200) 및 감지유닛(300)을 장착하여 고정시킬 수 있게 된다.The frame 100 is formed of an aluminum profile to fix various members therein, and a plurality of profiles are connected in a rectangular shape, so that the alignment unit 200 and the detection unit 300 are mounted inside the frame 100 So it can be fixed.

정렬유닛(200)은 외부 장치에 의해 공급되는 유리기판(G)이 거치될 수 있도록 형성되어 있으며, 유리기판(G)을 회전시키거나 수평방면으로 이동시켜 유리기판(G)의 위치를 정렬시키기 위한 것이다.The alignment unit 200 is formed so that the glass substrate G supplied by an external device can be mounted, and aligns the position of the glass substrate G by rotating the glass substrate G or moving it in a horizontal direction. For.

감지유닛(300)은 정렬유닛(200)에 거치된 유리기판(G)의 상부와 하부에 각각 형성되어 있으며, 유리기판(G)의 모서리를 감지하여 유리기판(G)의 위치를 정렬시키기 위한 데이터를 산출하고 정렬 상태를 판단하기 위한 것이다.The detection unit 300 is formed on the upper and lower portions of the glass substrate G mounted on the alignment unit 200, respectively, to detect the edge of the glass substrate G to align the position of the glass substrate (G). It is to calculate the data and determine the alignment status.

도 3은 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 유리가 거치된 모습을 나타낸 정면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 정렬유닛(200)과 감지유닛(300)을 상세하게 나타낸 사시도이다.3 is a front view showing a glass mounted on a glass substrate alignment device for a display using a non-contact method according to the present invention, and FIG. 4 is an alignment unit 200 of the glass substrate alignment device for a display using a non-contact method according to the present invention. ) And the sensing unit 300 is a perspective view showing in detail.

도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 비접촉식 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 정렬유닛(200)은 유리기판(G)을 지지할 수 있도록 형성되며 상부면에는 다수 개의 접촉단(250)이 돌출되어 있는 지지대(240)와, 지지대(240)의 하부에 형성되며 구동모터(220)에 의해 회전되어 유리기판(G)의 위치를 조정하는 턴테이블(230)과, 턴테이블(230) 하부에 형성되며 내부에 형성된 동력원을 이용하여 턴테이블(230)을 수평방면으로 이동시키는 위치보정대(210)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.3 to 4, the alignment unit 200 of the glass substrate alignment device for a display using a non-contact method according to the present invention is formed to support the glass substrate G, and has a plurality of contacts on the upper surface. The support 240 from which the end 250 protrudes, the turntable 230 formed under the support 240 and rotated by the driving motor 220 to adjust the position of the glass substrate G, and the turntable 230) It is formed in the lower portion and characterized in that it consists of a position correction table 210 for moving the turntable 230 in a horizontal direction using a power source formed therein.

지지대(240)는 유리기판(G)의 하부면을 지지하고 하중을 분산시켜 유리기판(G)이 평형상태로 유지되도록 하기 위한 것으로서, 지지대(240)에는 유리기판(G)의 하부면에 접촉되는 면적을 최소화시키기 위해 상부로 돌출되는 다수 개의 접촉단(250)이 형성되어 있다.The support 240 is to support the lower surface of the glass substrate G and distribute the load so that the glass substrate G is kept in an equilibrium state, and the support 240 contacts the lower surface of the glass substrate G A plurality of contact ends 250 protruding upward are formed in order to minimize the resulting area.

접촉단(250)은 유리기판(G)의 하부면과 직접적으로 접촉되므로 고무 또는 실리콘 재질로 형성되어 거치될 때 충격을 완화시키고 표면에 흠집이 발생하지 않도록 하는 것이 바람직하며, 접촉단(250)의 중앙에는 내부로 공기가 흡입되도록 하는 유로가 형성되어 있어 유리기판(G)을 흡착하여 고정시킬 수 있는 것이 바람직하다.Since the contact end 250 is in direct contact with the lower surface of the glass substrate (G), it is preferable that the contact end 250 is formed of a rubber or silicon material to relieve the impact when mounted and prevent scratches on the surface. It is preferable that the glass substrate (G) can be adsorbed and fixed since a flow path through which air is sucked into the inside is formed in the center of the.

또한 접촉단(250)은 정렬시키는 유리기판(G)의 크기 및 모델에 따라 다수 개가 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a plurality of contact ends 250 are formed according to the size and model of the glass substrate G to be aligned.

지지대(240)의 중앙 하부에는 사각형 형상의 턴테이블(230)이 형성되어 있으며, 턴테이블(230)의 상부면은 지지대(240)의 하부면과 결합되어 있어 턴테이블(230)의 회전 방향을 따라 지지대(240)를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시켜 유리기판(G)의 위치를 정렬시킬 수 있게 된다.A square-shaped turntable 230 is formed in the lower center of the support 240, and the upper surface of the turntable 230 is coupled to the lower surface of the support 240, so that the support ( 240) can be rotated clockwise or counterclockwise to align the position of the glass substrate G.

이때 턴테이블(230)의 하부에는 구동모터(220)가 형성되어 있어 턴테이블(230)이 회전될 수 있게 되며, 구동모터(220)는 수치제어가 가능하여 턴테이블(230)의 회전량을 파악할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 정렬 후 유리기판(G)이 배출되면 원위치로 복귀될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.At this time, a driving motor 220 is formed under the turntable 230 so that the turntable 230 can be rotated, and the driving motor 220 can be numerically controlled so that the amount of rotation of the turntable 230 can be determined. It is preferable to do so, and it is preferable to return to the original position when the glass substrate (G) is discharged after alignment.

위치보정대(210)는 구동모터(220)의 하부에 형성되어 있으며, 프레임(100)에 의해 고정되어 상부에 형성된 구동모터(220), 턴테이블(230), 지지대(240)를 지지함과 동시에 수평방면으로 미소 이동되어 지지대(240)에 거치된 유리기판(G)의 위치를 정밀하게 보정시키게 된다.The position correction table 210 is formed under the driving motor 220, and is fixed by the frame 100 to support the driving motor 220, the turntable 230, and the support 240 formed thereon. The position of the glass substrate G mounted on the support 240 is precisely corrected by microscopic movement in the horizontal direction.

이때 위치보정대(210)는 2단 구조로 된 UVW 스테이지로 형성되어 있으며, 1단은 고정되어 있고 3개의 동력원에 의해 2단은 수평방면으로 이동되거나 회전될 수 있어 위치보정대(210)의 상부에 형성된 구동모터(220), 턴테이블(230), 지지대(240)의 위치를 미소 변위시킬 수 있게 된다.At this time, the position correction table 210 is formed as a UVW stage having a two-stage structure, and the first stage is fixed and the second stage can be moved or rotated in a horizontal direction by three power sources, so that the position correction table 210 The positions of the driving motor 220, the turntable 230, and the support 240 formed on the upper part can be slightly displaced.

따라서 지지대(240)가 턴테이블(230)에 의해 회전되어 위치가 보정될 때 구동모터(220)의 백래쉬에 의한 정밀 보정이 어려울 때 위치보정대(210)를 이용하여 소수점 단위까지 정렬도를 높일 수 있게 된다.Therefore, when the support 240 is rotated by the turntable 230 and the position is corrected, when precise correction due to the backlash of the driving motor 220 is difficult, the alignment degree to the decimal point can be increased by using the position correction table 210. There will be.

또한 정렬유닛(200)은 유리기판(G)을 회전 또는 수평방면으로 이동시켜 유리기판(G)이 정렬된 위치정보를 실시간으로 저장하며 정렬이 완료된 위치정보를 이용하여 다음에 공급되는 유리기판(G)의 위치를 보정한 후 정렬하는 것을 특징으로 한다.In addition, the alignment unit 200 rotates or moves the glass substrate G in a horizontal direction to store the position information in which the glass substrate G is aligned in real time, and the next supplied glass substrate ( It is characterized by aligning after correcting the position of G).

정렬유닛(200)은 감지유닛(300)에 의해 측정된 위치에 따라 유리기판(G)을 정렬시키게 되는데, 유리기판(G)이 정렬되면 정렬된 위치 정보를 실시간으로 저장한 후 다음 유리기판(G)이 거치되었을 때 이전에 저장된 정보를 이용하여 유리기판(G)을 임시로 정렬시키게 된다.The alignment unit 200 aligns the glass substrate G according to the position measured by the detection unit 300. When the glass substrate G is aligned, the aligned position information is stored in real time, and then the next glass substrate ( When G) is mounted, the glass substrate (G) is temporarily aligned using previously stored information.

이후 감지유닛(300)에 의해 측정된 위치 정보를 재 산출하여 유리기판(G)의 위치를 정렬할 수 있게 되며, 정렬된 정보는 다시 저장되어 다음에 거치되는 유리기판(G)을 정렬할 때 재사용된다.After that, the position information measured by the detection unit 300 can be recalculated to align the position of the glass substrate G, and the aligned information is stored again when aligning the next mounted glass substrate G Is reused.

이때 감지유닛(300)은 위치정보는 감지유닛(300)에 저장되게 되는 것이 바람직하며, 유리기판(G)이 처음 거치되었을 때 측정된 위치정보와 정렬이 완료된 후 위치정보를 서로 연동시켜 저장할 수도 있다.At this time, the sensing unit 300 is preferably stored in the sensing unit 300, and the position information measured when the glass substrate G is first mounted and the position information after alignment is completed may be stored by interlocking with each other. have.

이 경우 유리기판(G)이 거치된 상태의 초기 위치를 토대로 사전에 저장된 정렬위치를 불러와 유리기판(G)에 적용시킬 수 있으므로, 초기에 유리기판(G)을 빠르게 정렬시킬 수 있게 된다.In this case, based on the initial position in which the glass substrate G is mounted, a previously stored alignment position can be retrieved and applied to the glass substrate G, so that the glass substrate G can be quickly aligned at the beginning.

이후 감지유닛(300)의 측정에 따라 정렬유닛(200)이 동작되어 유리기판(G)의 위치를 세밀하게 수정할 수 있게 된다.Thereafter, the alignment unit 200 is operated according to the measurement of the detection unit 300 so that the position of the glass substrate G can be precisely corrected.

또한 감지유닛(300)은 유리기판(G)의 상부에 형성되며 유리기판(G)의 모서리를 향해 레이저를 조사하는 발광센서(310)와, 유리기판(G)의 하부에 형성되어 발광센서(310)로부터 조사된 레이저를 수광하고 유리기판(G)의 모서리에서 굴절된 그림자를 통해 유리기판(G)의 모서리 위치를 측정하는 수광센서(320)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the detection unit 300 is formed on the upper portion of the glass substrate (G), a light-emitting sensor 310 that irradiates a laser toward the edge of the glass substrate (G), and the light-emitting sensor ( It is characterized by comprising a light-receiving sensor 320 that receives the laser irradiated from 310) and measures the position of the edge of the glass substrate G through the shadow refracted from the edge of the glass substrate G.

발광센서(310)는 유리기판(G)의 상부에 형성되어 있어 하부를 향해 레이저를 조사하며 수광센서(320)는 유리기판(G)의 하부에 형성되어 있어 상부에서 조사되는 레이저를 수광할 수 있도록 형성된다.The light-emitting sensor 310 is formed on the top of the glass substrate (G) and irradiates the laser toward the bottom, and the light-receiving sensor 320 is formed on the bottom of the glass substrate (G) to receive the laser irradiated from the top. Is formed so that

발광센서(310)와 수광센서(320)는 각각 프레임(100)에 결합되는 고정대(311)와 거치대(321)에 형성되어 있으며, 측정 오차를 방지하기 위해 유리기판(G)과 인접한 위치에서 레이저를 발광 및 수광하게 된다.The light-emitting sensor 310 and the light-receiving sensor 320 are respectively formed on a fixing stand 311 and a holder 321 coupled to the frame 100, and in a position adjacent to the glass substrate G to prevent measurement errors It emits and receives light.

이때 발광센서(310)와 수광센서(320)는 유리기판(G)의 모서리에 각각 위치되어 있으며, 유리기판(G)의 각 모서리 양측에 감지유닛(300)이 2개가 위치되어 모서리의 위치를 통해 유리기판(G)의 정렬 위치를 판단하게 된다.At this time, the light-emitting sensor 310 and the light-receiving sensor 320 are respectively located at the corners of the glass substrate G, and two detection units 300 are located on both sides of each corner of the glass substrate G, thereby Through this, the alignment position of the glass substrate G is determined.

즉, 감지유닛(300)은 하나의 모서리 양측에 각각 위치되어 유리기판(G)의 정렬상태를 판단하게 되며, 보다 정밀하게 측정하기 위해서는 적어도 두 모서리에 감지유닛(300)이 2개씩 형성되어 있는 것이 바람직하다.That is, the sensing units 300 are positioned on both sides of one corner to determine the alignment of the glass substrate G, and in order to measure more accurately, the sensing units 300 are formed in at least two corners. It is desirable.

또한 감지유닛(300)은 유리기판(G)의 크기에 따라 유리기판(G)의 모서리에 맞게 위치가 가변될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the sensing unit 300 is characterized in that it is formed so that the position can be changed to fit the edge of the glass substrate (G) according to the size of the glass substrate (G).

유리기판(G)은 크기나 모델에 따라 모서리의 위치가 서로 달라지므로 감지유닛(300)은 유리기판(G)의 크기나 모델에 따라 위치를 가변시켜 사용될 수 있어야 한다.Since the position of the edge of the glass substrate G is different according to the size or model, the sensing unit 300 must be able to be used by varying the position according to the size or model of the glass substrate G.

이를 위해 감지유닛(300)의 수광센서(320)는 고정대(311)에 의해 위치를 이동시켜 설치할 수 있게 되며, 보다 바람직하게는 프로파일로 형성된 프레임(100)의 축을 따라 슬라이딩될 수 있도록 형성된다.To this end, the light-receiving sensor 320 of the sensing unit 300 can be installed by moving its position by the fixing table 311, and more preferably, it is formed to be slid along the axis of the frame 100 formed in a profile.

이와 동일하게 발광센서(310)가 결합된 거치대(321)도 프로파일로 된 프레임(100)의 축을 따라 슬라이딩되어 이동될 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.In the same way, the cradle 321 to which the light-emitting sensor 310 is coupled is also preferably formed to be slid and moved along the axis of the profiled frame 100.

또한 발광센서(310)와 수광센서(320)의 위치를 맞추기 위해 고정대(311)와 거치대(321)는 링크로 결합되어 동일한 양만큼 슬라이딩될 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 유리기판(G)의 크기 또는 모델에 따라 감지유닛(300)이 동력원에 의해 자동으로 위치되도록 하는 것이 바람직하다.In addition, in order to match the positions of the light-emitting sensor 310 and the light-receiving sensor 320, it is preferable that the fixing base 311 and the holder 321 are combined with a link so that they can be slid by the same amount, and the size of the glass substrate G Alternatively, it is preferable that the sensing unit 300 is automatically positioned by the power source according to the model.

도 5는 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 감지유닛(300)의 위치를 나타낸 평면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치의 감지유닛(300)이 유리기판(G)의 모서리를 검출하는 모습을 나타낸 예시도이다.5 is a plan view showing the position of the detection unit 300 of the display glass substrate alignment device using the non-contact method according to the present invention, Figure 6 is a detection unit of the display glass substrate alignment device using the non-contact method according to the present invention (300) is an exemplary view showing a state in which the edge of the glass substrate (G) is detected.

도 5 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판(G) 정렬 장치의 상기 감지유닛(300)은 유리기판(G)의 모서리를 중심으로 가로로 레이저를 조사하여 모서리에 굴절이 발생되어 감지되지 않은 부위, 유리기판(G)을 통과하여 감지된 부위, 유리가 없는 부위를 통과하여 감지된 부위를 각각 검출하여 유리기판(G)의 끝단 위치를 검출하는 것을 특징으로 한다.As shown in FIGS. 5 to 6, the sensing unit 300 of the display glass substrate (G) alignment device using a non-contact method according to the present invention applies a laser horizontally around the edge of the glass substrate (G). By irradiating and detecting the undetected area due to the occurrence of refraction at the edge, the area detected through the glass substrate (G), and the area detected through the glass-free area, the end position of the glass substrate (G) is detected. It features.

감지유닛(300)은 유리기판(G)의 한 모서리에 2개씩 형성되어 있으며, 적어도 둘 이상의 모서리에 감지유닛(300)이 형성되어 있는 것이 바람직하며, 유리기판(G)의 가로 모서리와 세로 모서리에 감지유닛(300)을 형성시켜 유리기판(G)의 가로 위치와 세로 위치를 측정할 수 있도록 형성된다.Two sensing units 300 are formed at one corner of the glass substrate G, and it is preferable that the sensing units 300 are formed at at least two or more corners, and the horizontal and vertical corners of the glass substrate G By forming the sensing unit 300 on the glass substrate (G) is formed to measure the horizontal position and vertical position.

이때 어느 하나의 모서리에 형성된 2개의 감지유닛(300)은 서로 측정된 유리기판(G)의 위치가 오차범위 내에 속할 때까지 제어신호를 정렬유닛(200)으로 전송하게 된다.At this time, the two sensing units 300 formed at any one corner transmit a control signal to the alignment unit 200 until the positions of the glass substrates G measured from each other fall within the error range.

또한 감지유닛(300)이 두 모서리에 형성된 후 보조적으로 두 모서리의 반대 위치에 감지유닛(300)이 1개씩 형성되어 있어 유리기판(G)의 평행도를 측정할 수도 있게 된다.In addition, after the sensing unit 300 is formed at two corners, one sensing unit 300 is formed at a position opposite to the two corners, so that the parallelism of the glass substrate G can be measured.

감지유닛(300)의 발광센서(310)에서 조사되는 레이저는 수광센서(320)의 가로 길이에 대응되는 면조사되게 되며, 감지유닛(300)은 유리기판(G)의 모서리를 중심으로 일측은 레이저가 유리기판(G)을 통과되도록 하고, 타측은 유리기판(G)의 접촉없이 통과되도록 위치되게 된다.The laser irradiated from the light-emitting sensor 310 of the sensing unit 300 is irradiated with a surface corresponding to the horizontal length of the light-receiving sensor 320, and the sensing unit 300 is at one side around the edge of the glass substrate G. The laser is positioned to pass through the glass substrate (G), and the other side to pass through without contacting the glass substrate (G).

이때 도 6과 같이 레이저는 전반적으로 유리를 통과하여 수광센서(320)로 인입되게 되는데, 유리기판(G)의 모서리부분은 레이저가 굴절되면서 수직 방향이 아닌 굴절방향으로 휘어져 수광센서(320)로 인입되게 된다.At this time, as shown in FIG. 6, the laser is generally passed through the glass and is introduced into the light-receiving sensor 320. As the laser is refracted, the edge portion of the glass substrate G is bent in a refraction direction rather than a vertical direction, and is transferred to the light-receiving sensor 320. It is brought in.

따라서, 수광센서(320)에 인입되는 레이저 중 일측은 유리기판(G)을 통과하여 수광센서(320)로 인입되고, 타측은 유리기판(G)이 존재하지 않아 수광센서(320)로 레이저가 바로 인입되게 되며, 일측과 타측 사이 중 유리기판(G)의 모서리 부분에 조사되는 레이저는 유리기판(G)의 굴절에 의해 휘어져 인식이 되지 않게 된다.Therefore, one side of the lasers introduced into the light-receiving sensor 320 passes through the glass substrate G and is introduced into the light-receiving sensor 320, and the other side is the laser to the light-receiving sensor 320 because the glass substrate G does not exist. The laser is immediately introduced, and the laser irradiated to the edge of the glass substrate G between one side and the other side is bent due to the refraction of the glass substrate G and is not recognized.

이로 인해 수광센서(320)는 일측과 타측 사이로 조사되는 레이저를 감지하면서 모서리에 의해 굴절되어 인식되지 않은 부위를 검출할 수 있게 되며, 인식되지 않은 부위와 타측에 인식된 경계면을 기준으로 유리기판(G)의 모서리 위치를 판단할 수 있게 된다.As a result, the light-receiving sensor 320 is refracted by an edge while detecting a laser irradiated between one side and the other side to detect an unrecognized portion, and the glass substrate based on the unrecognized portion and the boundary surface recognized on the other side ( The location of the edge of G) can be determined.

이를 통해 감지유닛(300)은 유리기판(G)의 모서리 위치를 보다 정밀하게 측정할 수 있게 되며, 두 감지유닛(300)을 이용하여 유리기판(G)의 모서리 위치를 일치시켜 가로 세로 위치를 보정하는 제어신호를 정렬유닛(200)으로 송부하여 유리기판(G)을 정렬시킬 수 있게 된다.Through this, the sensing unit 300 can more accurately measure the edge position of the glass substrate G, and the horizontal and vertical position is adjusted by matching the edge positions of the glass substrate G using the two sensing units 300. The correction control signal is transmitted to the alignment unit 200 so that the glass substrate G can be aligned.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치에 의하면, 마커 없이 유리기판의 위치를 검출할 수 있어 보정 위치를 계산하시는 시간이 비전처리 방식보다 빠르고 패널의 투명도와 관계없이 유리기판의 위치 파악이 가능하고, 유리기판과 접촉하지 않은 상태에서 유리기판의 위치를 정렬할 수 있어 유리기판의 불량을 감소시킬 수 있으며, 유리기판의 크기 또는 모델에 맞게 센서의 위치를 가변시켜 하나의 장치로 다양한 유리기판을 정렬시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the glass substrate alignment device for display using the non-contact method according to the present invention, since the position of the glass substrate can be detected without a marker, the time to calculate the corrected position is faster than that of the vision processing method and is related to the transparency of the panel. It is possible to grasp the position of the glass substrate without it, and it is possible to reduce the defects of the glass substrate by aligning the position of the glass substrate without contacting the glass substrate, and the position of the sensor can be changed according to the size or model of the glass substrate. There is an effect of being able to align various glass substrates with one device.

이상과 같이 본 발명은, 바람직한 실시 예를 중심으로 설명하였지만 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어야 한다.As described above, the present invention has been described with a focus on preferred embodiments, but a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention pertains can variously modify the present invention within the scope not departing from the technical spirit and scope described in the claims of the present invention. It can be modified or modified accordingly. Accordingly, the scope of the invention should be construed by the claims set forth to include examples of such many variations.

G : 유리기판 100 : 프레임
200 : 정렬유닛 210 : 위치보정대
220 : 구동모터 230 : 턴테이블
240 : 지지대 250 : 접촉단
300 : 감지유닛 310 : 발광센서
311 : 고정대 320 : 수광센서
321 : 거치대G: glass substrate 100: frame
200: alignment unit 210: position correction
220: drive motor 230: turntable
240: support 250: contact end
300: detection unit 310: light-emitting sensor
311: fixture 320: light-receiving sensor
321: cradle

Claims (6)

각종 부재를 장착하거나 지지할 수 있도록 형성되는 프레임과;
상기 프레임의 중앙에 형성되어 공급되는 유리기판을 지지하고 위치를 정렬시키는 정렬유닛과;
상기 정렬유닛에 의해 지지된 유리기판의 가장자리에 형성되어 상기 유리기판의 위치를 측정하는 감지유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는
비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치.
A frame formed to mount or support various members;
An alignment unit formed in the center of the frame to support the supplied glass substrate and align the position;
And a sensing unit formed on the edge of the glass substrate supported by the alignment unit to measure the position of the glass substrate.
Glass substrate alignment device for display using non-contact method.
 제 1항에 있어서,
상기 정렬유닛은
상기 유리기판을 지지할 수 있도록 형성되며 상부면에는 다수 개의 접촉단이 돌출되어 있는 지지대와;
상기 지지대의 하부에 형성되며 구동모터에 의해 회전되어 상기 유리기판의 위치를 조정하는 턴테이블과;
상기 턴테이블 하부에 형성되며 상기 내부에 형성된 동력원을 이용하여 상기 턴테이블을 수평방면으로 이동시키는 위치보정대;로 이루어지는 것을 특징으로 하는
비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치.
The method of claim 1,
The alignment unit
A support formed to support the glass substrate and having a plurality of contact ends protruding from an upper surface thereof;
A turntable formed under the support and rotated by a driving motor to adjust the position of the glass substrate;
And a position correction table formed under the turntable and moving the turntable in a horizontal direction by using a power source formed therein.
Glass substrate alignment device for display using non-contact method.
 제 1항에 있어서,
상기 정렬유닛은 상기 유리기판을 회전 또는 수평방면으로 이동시켜 상기 유리기판이 정렬된 위치정보를 실시간으로 저장하며
정렬이 완료된 위치정보를 이용하여 다음에 공급되는 유리기판의 위치를 보정한 후 정렬하는 것을 특징으로 하는
비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치.
The method of claim 1,
The alignment unit rotates or moves the glass substrate in a horizontal direction to store the position information in which the glass substrate is aligned in real time, and
Characterized in that the alignment is performed after correcting the position of the next supplied glass substrate by using the aligned position information.
Glass substrate alignment device for display using non-contact method.
 제 1항에 있어서,
상기 감지유닛은
상기 유리기판의 상부에 형성되며 상기 유리기판의 모서리를 향해 레이저를 조사하는 발광센서와;
상기 유리기판의 하부에 형성되어 상기 발광센서로부터 조사된 레이저를 수광하고 상기 유리기판의 모서리에서 굴절된 그림자를 통해 상기 유리기판의 모서리 위치를 측정하는 수광센서;로 이루어지는 것을 특징으로 하는
비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치.
The method of claim 1,
The sensing unit
A light-emitting sensor formed on the glass substrate and irradiating a laser toward the edge of the glass substrate;
And a light-receiving sensor formed under the glass substrate to receive the laser irradiated from the light-emitting sensor and to measure the position of the edge of the glass substrate through a shadow refracted from the edge of the glass substrate.
Glass substrate alignment device for display using non-contact method.
 제 1항에 있어서,
상기 감지유닛은
상기 유리기판의 모서리를 중심으로 가로로 레이저를 조사하여 모서리에 굴절이 발생되어 감지되지 않은 부위, 유리기판을 통과하여 감지된 부위, 유리가 없는 부위를 통과하여 감지된 부위를 각각 검출하여 상기 유리기판의 끝단 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는
비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치.
The method of claim 1,
The sensing unit
By irradiating a laser horizontally around the edge of the glass substrate, refraction occurs at the edge to detect the undetected area, the area detected through the glass substrate, and the area detected through the glass-free area, respectively. Characterized in that detecting the position of the end of the substrate
Glass substrate alignment device for display using non-contact method.
 제 1항에 있어서,
상기 감지유닛은 상기 유리기판의 크기에 따라 상기 유리기판의 모서리에 맞게 위치가 가변될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는
비접촉 방식을 이용한 디스플레이용 유리기판 정렬장치.
The method of claim 1,
The sensing unit is characterized in that the position is formed to be variable to fit the edge of the glass substrate according to the size of the glass substrate
Glass substrate alignment device for display using non-contact method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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