KR20200134913A - 액체 렌즈 제조 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20200134913A
KR20200134913A KR1020190061100A KR20190061100A KR20200134913A KR 20200134913 A KR20200134913 A KR 20200134913A KR 1020190061100 A KR1020190061100 A KR 1020190061100A KR 20190061100 A KR20190061100 A KR 20190061100A KR 20200134913 A KR20200134913 A KR 20200134913A
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엘지이노텍 주식회사
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실시 예의 액체 렌즈 제조 장치는 복수의 액체 렌즈를 포함하는 웨이퍼로 광을 조사하는 광원과, 광원과 웨이퍼 사이에 배치되며, 복수의 액체 렌즈의 일부인 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 광을 콜리메이팅하는 콜리메이터와, 복수의 액체 렌즈로 구동 전압을 인가하는 전압 공급부와, 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로부터 출사되는 광을 이미지 데이터로 변환하는 이미지 센서 및 이미지 데이터로부터 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석하는 성능 분석부를 포함한다.

Description

액체 렌즈 제조 장치 및 방법{Apparatus and method for manufacturing liquid lens}
실시 예는 액체 렌즈 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
휴대용 장치의 사용자는 고해상도를 가지며 크기가 작고 다양한 촬영 기능을 갖는 광학 장치를 원하고 있다. 예를 들어, 다양한 촬영 기능이란, 광학 줌 기능(zoom-in/zoom-out), 오토 포커싱(AF:Auto-Focusing) 기능 또는 손떨림 보정 내지 영상 흔들림 방지(OIS:Optical Image Stabilizer) 기능 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
기존의 경우, 전술한 다양한 촬영 기능을 구현하기 위해, 여러 개의 렌즈를 조합하고, 조합된 렌즈를 직접 움직이는 방법을 이용하였다. 그러나, 이와 같이 렌즈의 수를 증가시킬 경우 광학 장치의 크기가 커질 수 있다. 오토 포커스와 손떨림 보정 기능은, 광축으로 정렬된 여러 개의 렌즈가, 광축 또는 광축의 수직 방향으로 이동하거나 틸팅(Tilting)하여 수행된다.
따라서, AF와 OIS 기능을 수행하기 위해, 서로 다른 액체를 포함하는 액체 렌즈가 이용되고 있다. 그러나, 이러한 액체 렌즈의 제조 시에 성능 검사를 위해 많은 시간이 소요되는 문제가 있다.
실시 예는 액체 렌즈의 성능 검사에 소요되는 시간을 단축시켜 제조 기간을 절감할 수 있는 액체 렌즈 제조 장치 및 방법을 제공한다.
일 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치는, 복수의 액체 렌즈를 포함하는 웨이퍼로 광을 조사하는 광원; 상기 광원과 상기 웨이퍼 사이에 배치되며, 상기 복수의 액체 렌즈의 일부인 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 상기 광을 콜리메이팅하는 콜리메이터; 상기 복수의 액체 렌즈로 구동 전압을 인가하는 전압 공급부; 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로부터 출사되는 광을 이미지 데이터로 변환하는 이미지 센서; 및 상기 이미지 데이터로부터 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석하는 성능 분석부를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 광의 광축과 수직인 평면상에서 상기 콜리메이터의 면적과 상기 이미지 센서의 면적은 서로 동일할 수 있다.
예를 들어, 상기 액체 렌즈 제조 장치는, 상기 광의 광축과 수직인 수평 방향으로 상기 웨이퍼를 이동시키는 이동부를 포함할 수 있다.
다른 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 방법은, 이미지 센서를 준비하는 (a)단계; 복수의 액체 렌즈를 포함하는 웨이퍼를 상기 이미지 센서 위에 배치하는 (b)단계; 상기 복수의 액체 렌즈의 일부인 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 광을 조사하고, 상기 복수의 액체 렌즈로 구동 전압을 인가하는 (c)단계; 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로부터 출사되는 광을 상기 이미지 센서에서 이미지 데이터로 변환하는 (d)단계; 및 상기 이미지 데이터로부터 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석하는 (e)단계를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈는 복수의 행 및 복수의 열로 이루어진 매트릭스 배열을 갖고, 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각은 광이 통과하는 개구를 갖고, 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈에 포함된 모든 개구는 상기 이미지 센서와 수직으로 중첩될 수 있다.
예를 들어, 상기 광의 광축과 수직인 평면상에서 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 면적은 상기 이미지 센서의 면적보다 크거나 작을 수 있다.
예를 들어, 상기 성능을 분석하는 단계는 상기 이미지 데이터를 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각에 대한 서브 데이터로 분할하는 단계; 및 상기 분할된 서브 데이터로부터 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각의 성능을 분석하는 단계를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 액체 렌즈 제조 방법은, 상기 복수의 액체 렌즈의 타부인 다른 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 이동하여 단계를 포함하고, 상기 다른 단위 그룹에 대해 상기 (d) 및 (e) 단계가 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 웨이퍼 또는 상기 이미지 센서를 이동할 수 있다.
예를 들어, 상기 구동 전압을 인가하는 단계에서, 제1 방향으로 마주하는 개별 전극에 동일한 개별 전압을 인가하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 마주하는 개별 전극에 서로 다른 개별 전압을 인가하고, 상기 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석하는 단계에서 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 상기 제2 방향으로의 틸팅을 검사할 수 있다.
예를 들어, 상기 구동 전압을 인가하는 단계에서, 상기 개별 전극으로 동일한 전압을 인가하고, 상기 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석하는 단계에서, 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 곡률을 검사할 수 있다.
예를 들어, 상기 액체 렌즈 제조 방법은, 상기 웨이퍼에 포함된 상기 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석한 후, 상기 웨이퍼를 다이싱하는 단계를 포함할 수 있다.
실시 예에 따른 액체 렌즈 제조 장치 및 방법은 웨이퍼에 포함된 복수의 액체 렌즈의 성능 검사에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 실시 예에 따른 액체 렌즈 제조 장치 및 방법은 액체 렌즈를 검사할 때마다 행한 얼라인 작업을 수행할 필요가 없어, 액체 렌즈의 제조 공정을 단순하게 할 수 있다.
도 1은 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치의 개념도를 나타낸다.
도 2는 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 3 (a) 및 (b)는 도 1에 도시된 웨이퍼의 국부 사시도 및 평면도를 각각 나타낸다.
도 4 는 도 3에 도시된 ‘A’ 부분을 확대한 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 일 실시 예에 의한 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 저면 사시도 및 단면도를 각각 나타낸다.
도 6a 및 도 6b는 다른 실시 예에 의한 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 저면 사시도 및 단면도를 각각 나타낸다.
도 7은 성능 분석부의 동작을 설명하기 위한 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 사시도를 나타낸다.
도 8은 비교 례에 의한 액체 렌즈 제조 장치의 개념도를 나타낸다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.
다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들 간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 실시 예에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “A 및(와) B, C중 적어도 하나(또는 한 개이상)”으로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나이상을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다.
그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 ‘연결’, ‘결합’ 또는 ‘접속’된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우 뿐만아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 ‘연결’, ‘결합’ 또는 ‘접속’되는 경우도 포함할 수 있다.
또한, 각 구성 요소의 “상(위) 또는 하(아래)”에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우 뿐만아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)”로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.
이하, 데카르트 좌표계(x축, y축, z축)를 이용하여 액체 렌즈 제조 장치 및 방법을 설명하지만, 다른 좌표계에 의해서도 이를 설명할 수 있음은 물론이다. 또한, 데카르트 좌표계에 의하면, x축, y축 및 z축은 서로 직교하지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, x축, y축 및 z축은 서로 교차할 수도 있다.
이하, 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치 및 방법을 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.
도 1은 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100)의 개념도를 나타내고, 도 2는 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 방법(200)을 설명하기 위한 플로우차트이다.
이하, 도 1에 도시된 액체 렌즈 제조 장치(100)는 도 2에 도시된 액체 렌즈 제조 방법(200)을 수행하는 것으로 설명하지만, 도 1에 도시된 액체 렌즈 제조 장치(100)는 도 2에 도시된 액체 렌즈 제조 방법(200)과 다른 제조 방법을 수행할 수도 있다. 또한, 도 2에 도시된 액체 렌즈 제조 방법(200)은 도 1에 도시된 액체 렌즈 제조 장치(100)에서 수행되는 것으로 설명하지만, 도 2에 도시된 액체 렌즈 제조 방법(200)은 도 1에 도시된 액체 렌즈 제조 장치(100)와 다른 구성을 갖는 액체 렌즈 제조 장치에서도 수행될 수도 있다.
도 1에 도시된 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100)는 광원(110), 콜리메이터(collimator)(120), 전압 공급부(130), 이미지 센서(140), 성능 분석부(150)를 포함할 수 있다. 또한, 액체 렌즈 제조 장치(100)는 이동부(160)를 더 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 방법(200)은 액체 렌즈의 성능을 테스팅하는 단계(제210 내지 제270 단계) 및 웨이퍼(W)를 다이싱 단계(제280 단계)를 포함할 수 있다. 여기서, 제280 단계는 생략될 수도 있다.
먼저, 이미지 센서(140)를 준비한다(제210 단계). 실시 예에 의하면, 이미지 센서(140)의 개수는 한 개일 수도 있고, 복수 개일 수도 있다. 이하, 이미지 센서(140)의 개수는 한 개인 것으로 설명하지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.
제210 단계 후에, 복수의 액체 렌즈를 포함하는 웨이퍼(W)를 이미지 센서(140) 위에 배치한다(제220 단계). 즉, 도 1을 참조하면, 콜리메이터(120)와 이미지 센서(140) 사이에 웨이퍼(W)를 위치시킨다.
도 3 (a) 및 (b)는 도 1에 도시된 웨이퍼(W)의 국부 사시도 및 평면도를 각각 나타낸다. 도 3 (a) 및 (b)는 도 1 및 도 2에 도시된 액체 렌즈 제조 장치(100) 및 방법(200)의 이해를 돕기 위한 도면으로서, 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100) 및 방법(200)은 도 3 (a) 및 (b)에 도시된 웨이퍼(W)에 국한되지 않는다.
도 3 (a) 및 (b)를 참조하면, 웨이퍼(W)에 포함된 복수의 액체 렌즈 각각(YL)은 복수의 개별 전극과 공통 전극을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도시된 바와 같이 복수의 개별 전극의 개수는 4개(LL1, LL2, LL3, LL4)일 수도 있고, 도시된 바와 달리 4개보다 많거나 적을 수도 있다.
복수의 액체 렌즈의 개별 전극은 웨이퍼(W)의 일면(예를 들어, 상부면) 상에 배치되고, 공통 전극은 웨이퍼(W)의 타면(예를 들어, 하부면) 상에 배치될 수 있다. 복수의 개별 전극은 격자 형태로 배열될 수 있다.
복수의 개별 전극은 웨이퍼(W)의 원주 또는 원주에 근접하여 배치된 개별 전극(이하, ‘외곽 개별 전극’이라 함)과 외곽 개별 전극에 의해 둘러싸인 개별 전극(이하, ‘내곽 개별 전극’이라 함)로 구분될 수 있다. 예를 들어, 내곽 개별 전극은 도시된 바와 같이, 4개의 인접하는 액체 렌즈에 의해 공유될 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 ‘A’ 부분을 확대한 단면도로서, y축 방향으로 배열된 3개의 액체 렌즈의 단면도이다. 도 4에서, 3개의 액체 렌즈는 서로 동일한 단면 형상을 갖는다.
도 4는 도 3 (a) 및 (b)에 도시된 액체 렌즈(YL)의 이해를 돕기 위한 일 례에 불과하며, 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100) 및 방법(200)은 도 4에 도시된 액체 렌즈(YL)의 구조에 국한되지 않는다.
도 4에 도시된 액체 렌즈(YL)는 서로 다른 종류의 복수의 액체(LQ1, LQ2), 제1 내지 제3 플레이트(P1, P2, P3), 제1 및 제2 전극(E1, E2) 및 절연층(148)을 포함할 수 있다.
복수의 액체(LQ1, LQ2)는 캐비티(CA)에 수용되며, 전도성을 갖는 제1 액체(LQ1)와 비전도성을 갖는 제2 액체(또는, 절연 액체)(LQ2)를 포함할 수 있다. 제1 액체(LQ1)와 제2 액체(LQ2)는 서로 섞이지 않으며, 제1 및 제2 액체(LQ1, LQ2) 사이의 접하는 부분에 계면(BO)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 액체(LQ1) 위에 제2 액체(LQ2)가 배치될 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.
또한, 액체 렌즈(YL)의 단면 형상에서 제1 및 제2 액체(LQ2, LQ1)의 가장 자리는 중심부보다 두께가 얇을 수 있다.
제1 플레이트(P1)의 내측면은 캐비티(CA)의 측벽(i)을 이룰 수 있다. 제1 플레이트(P1)는 기 설정된 경사면을 갖는 상하의 개구부를 포함할 수 있다. 즉, 캐비티(CA)는 제1 플레이트(P1)의 경사면, 제2 플레이트(P2)와 접촉하는 제1 개구 및 제3 플레이트(P3)와 접촉하는 제2 개구로 둘러싸인 영역으로 정의될 수 있다.
제1 개구 및 제2 개구 중에서 보다 넓은 개구의 직경은 액체 렌즈(YL)에서 요구하는 화각(FOV) 또는 액체 렌즈(YL)가 카메라 모듈에서 수행해야 할 역할에 따라 달라질 수 있다. 실시 예에 의하면, 제1 개구의 크기(또는, 면적, 또는 폭)(O1)보다 제2 개구의 크기(또는, 면적, 또는 폭)(O2)가 더 클 수 있다. 여기서, 제1 개구 및 제2 개구 각각의 크기는 수평 방향(예를 들어, x축과 y축 “‡항)의 단면적일 수 있다. 예를 들어, 제1 개구 및 제2 개구 각각의 크기란, 개구의 단면이 원형이면 반지름을 의미하고, 개구의 단면이 정사각형이면 대각선의 길이를 의미할 수 있다.
두 액체가 형성한 계면(BO)은 구동 전압에 의해 캐비티(CA)의 경사면을 따라 움직일 수 있다.
제1 플레이트(P1)의 캐비티(CA)에 제1 액체(LQ1) 및 제2 액체(LQ2)가 충진, 수용 또는 배치된다. 또한, 제1 플레이트(P1)는 투명한 재료로 이루어질 수도 있고, 광의 투과가 용이하지 않도록 불순물을 포함할 수도 있다. 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(P1)는 복수의 액체 렌즈에 의해 공유될 수 있다.
제1 플레이트(P1)의 일면과 타면에 전극이 각각 배치될 수 있다. 복수의 제1 전극(E1)은 제1 플레이트(P1)의 일면(예를 들어, 상부면과 측면 및 하부면)에 배치될 수 있다. 제2 전극(E2)은 제1 플레이트(P1)의 타면(예를 들어, 하부면)의 적어도 일부 영역에 배치되고, 제1 액체(LQ1)와 직접 접촉할 수 있다. 도시된 바와 같이 제1 플레이트(P1)의 타면에서 제1 전극(E1)은 제2 전극(E2)과 이격되어 배치된다.
또한, 제1 전극(E1)은 복수의 전극일 수 있고, 제2 전극(E2)은 한 개의 전극일 수 있다.
제1 플레이트(P1)의 타면에 배치된 제2 전극(E2)의 일부가 전도성을 갖는 제1 액체(LQ1)에 노출될 수 있다.
제1 및 제2 전극(E1, E2) 각각은 도전성 재료로 이루어질 수 있고, 예를 들면 금속으로 이루어질 수 있다.
제2 플레이트(P2)는 제1 플레이트(P1)의 위에서 제1 전극(E1)의 상면과 캐비티(CA) 위에 배치될 수 있다. 제3 플레이트(P3)는 제1 플레이트(P1)의 아래에서 제2 전극(E2)의 하면과 캐비티(CA) 아래에 배치될 수 있다. 제3 플레이트(P3)는 제1 액체(LQ1)와 직접 접촉할 수 있다.
도 4에 도시된 액체 렌즈는 본딩 부재(149)를 더 포함할 수 있다. 본딩 부재(또는, 접착제)(149)는 제1 플레이트(P1)와 제3 플레이트(P3) 사이에 배치되어, 제1 플레이트(P1)와 제3 플레이트(P3)를 서로 결합시키는 역할을 한다.
또는, 도 4에 도시된 액체 렌즈는 본딩 부재(149)를 포함하는 대신에 플레이트 레그(LEG)(149)를 더 포함할 수 있다. 플레이트 레그(149)는 제1 플레이트(P1)와 제3 플레이트(P3) 사이에 배치되어, 제3 플레이트(P3)를 지지하는 역할을 한다. 여기서, 플레이트 레그(149)는 제3 플레이트(P3)와 동일한 재질로 일체로 구현될 수도 있다.
제2 플레이트(P2)와 제3 플레이트(P3)는 제1 플레이트(P1)를 사이에 두고 서로 대향하여 배치될 수 있다. 또한, 제2 플레이트(P2) 또는 제3 플레이트(P3) 중 적어도 하나는 생략될 수도 있다.
제2 및 제3 플레이트(P2, P2) 각각은 광이 통과하는 영역으로서, 투광성 재료로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제2 및 제3 플레이트(P2, P3) 각각은 유리(glass)로 이루어질 수 있으며, 공정의 편의상 동일한 재료로 형성될 수 있다. 또한, 제2 및 제3 플레이트(P2, P3) 각각의 가장 자리는 사각형 형상일 수 있으나, 반드시 이에 한정하지는 않는다.
제2 플레이트(P2)는 외부로부터 입사되는 광이 제1 플레이트(P1)의 캐비티(CA) 내부로 진행하도록 허용하는 구성을 가질 수 있다. 제3 플레이트(P3)는 제1 플레이트(P1)의 캐비티(CA)를 통과한 광이 출사되도록 허용하는 구성을 가질 수 있다.
또는, 제3 플레이트(P3)는 외부로부터 입사되는 광이 제1 플레이트(P1)의 캐비티(CA) 내부로 진행하도록 허용하는 구성을 가질 수 있다. 제2 플레이트(P2)는 제1 플레이트(P1)의 캐비티(CA)를 통과한 광이 출사되도록 허용하는 구성을 가질 수 있다.
만일, 광이 제1 개구를 통해 입사된 후 제2 개구를 통해 출사될 경우, 도 3에 도시된 ‘OP’는 제1 개구에 해당한다. 그러나, 광이 제2 개구를 통해 입사된 후 제1 개구를 통해 출사될 경우, 도 3에 도시된 ‘OP’는 제2 개구에 해당한다.
또한, 액체 렌즈(YL)의 실제 유효 렌즈영역은 제1 플레이트(P1)의 제1 및 제2 개구 중에서 좁은 제1 개구의 직경보다 좁을 수 있다.
절연층(148)은 캐비티(CA)의 상부 영역에서 제2 플레이트(P2)의 하부면의 일부를 덮으면서 배치될 수 있다. 즉, 절연층(148)은 제2 액체(LQ2)와 제2 플레이트(P2)의 사이에 배치될 수 있다.
또한, 절연층(148)은 캐비티(CA)의 측벽을 이루는 제1 전극(E1)의 일부를 덮으면서 배치될 수 있다. 또한, 절연층(148)은 제1 플레이트(P1)의 하부면에서, 제1 전극(E1)의 전체와 제1 플레이트(P1) 및 제2 전극(E2)의 일부를 덮으며 배치될 수 있다. 이로 인해, 제1 전극(E1)과 제1 액체(LQ1) 간의 접촉 및 제1 전극(E1)과 제2 액체(LQ2) 간의 접촉이 절연층(148)에 의해 차단될 수 있다.
절연층(148)은 제1 및 제2 전극(E1, E2) 중 하나의 전극(예를 들어, 제1 전극(E1))을 덮고, 다른 하나의 전극(예를 들어, 제2 전극(E2))의 일부를 노출시켜 전도성을 갖는 제1 액체(LQ1)에 전기 에너지가 인가되도록 할 수 있다.
제1 연결 기판(예를 들어, 141a, 141b)은 서로 다른 복수의 전압(이하, '개별 전압'이라 함)을 액체 렌즈로 전달할 수 있고, 제2 연결 기판(144)은 하나의 전압(이하, '공통 전압'이라 함)을 액체 렌즈로 전달할 수 있다. 공통 전압은 DC 전압 또는 AC 전압을 포함할 수 있으며, 공통 전압이 펄스 형태로 인가되는 경우 펄스의 폭 또는 듀티 사이클(duty cycle)은 일정할 수 있다. 제1 연결 기판(예를 들어, 141a, 141b)을 통해 공급되는 개별 전압은 액체 렌즈의 각 모서리에 노출되는 복수의 제1 전극(E1)에 인가될 수 있다.
실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100) 및 방법(200)의 개념의 이해를 돕기 위해 편의상, 도 4에 도시된 제1 연결 기판(예를 들어, 141a, 141b)이 도 3 (a) 및 (b)에서 개별 전극(LL1 내지 LL4)으로 표시되고, 제2 연결 기판(144)이 도 3 (a) 및 (b)에서 공통 전극(COM)으로 표시되었다. 그러나, 도 3 (a) 및 (b)에 도시된 개별 전극(LL1 내지 LL4)은 도 4에 도시된 제1 연결 기판(예를 들어, 141a, 141b)에 해당하고, 도 3 (a) 및 (b)에 도시된 공통 전극(COM)은 도 4에 도시된 제2 연결 기판(144)에 해당한다. 즉, 도 4에 도시된 제1 전극(E1)이 도 3 (a) 및 (b)의 설명에서 언급되는 개별 전극에 해당하고, 도 4에 도시된 제2 전극(E2)이 도 3 (a) 및 (b)의 설명에서 언급되는 공통 전극에 해당한다.
비록 도시되지는 않았지만, 제1 연결 기판(예를 들어, 141a, 141b)과 복수의 제1 전극(E1) 사이에 전도성 에폭시가 배치됨으로써, 제1 연결 기판(예를 들어, 141a, 141b)과 복수의 제1 전극(E1)이 접촉, 결합 및 통전될 수 있다. 또한, 제2 연결 기판(144)과 제2 전극(E2) 사이에 전도성 에폭시가 배치됨으로써, 제2 연결 기판(144)과 제2 전극(E2)이 접촉, 결합 및 통전될 수 있다.
다시, 도 2를 참조하면, 제220 단계 후에 웨이퍼(W)에 포함된 복수의 액체 렌즈의 일부인 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 광을 조사하고, 복수의 액체 렌즈로 구동 전압을 인가한다(제230 단계).
이하, 단위 그룹에 대해 다음과 같이 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 5a 및 도 5b는 일 실시 예에 의한 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 저면 사시도 및 단면도를 각각 나타낸다.
도 6a 및 도 6b는 다른 실시 예에 의한 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 저면 사시도 및 단면도를 각각 나타낸다.
실시 예에 의하면, 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈는 M개의 행 및 N개의 열로 이루어진 매트릭스 배열을 가질 수 있다. 여기서, M 및 N 중 적어도 하나는 2이상의 양의 정수일 수 있다. 따라서, 예를 들어, M이 1일 경우 N은 2이상의 양의 정수이고, N이 1일 경우 M은 2이상의 양의 정수일 수 있다. 또한, M과 N은 동일할 수도 있고 서로 다른 값일 수도 있다.
단위 그룹의 복수의 액체 렌즈에 포함된 모든 개구(OP)는 이미지 센서(140)와 수직으로 오버랩될 수 있다. 이를 고려하여, 단위 그룹에 포함되는 액체 렌즈(YL)의 개수는 광의 광축과 수직인 평면(예를 들어, x축과 y축이 이루는 평면) 상에서 이미지 센서(140)의 면적(이하, ‘제1 평면적’이라 한다)과 단위 액체 렌즈(YL)의 면적(이하, ‘제2 평면적’이라 한다)에 의해 결정될 수 있다.
모든 액체 렌즈(YL)의 제2 평면적이 동일하고, 모든 액체 렌즈(YL)와 이미지 센서(140) 각각은 정사각형 평면 형상을 가질 수 있다.
만일, 이미지 센서(140)의 제1 방향(예를 들어, x축 방향)으로의 길이(X1)가 14.6㎜이고, 제1 방향과 교차하는 제2 방향(예를 들어, y축 방향)으로의 길이(Y1)도 14.6㎜일 때, 모든 액체 렌즈(YL)의 제2 평면적이 동일하고, 단위 액체 렌즈(YL)의 제1 방향(예를 들어, x축 방향)으로의 길이(X2)가 6㎜이고, 제2 방향(예를 들어, y축 방향)으로의 길이(Y2)가 6㎜일 경우, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 단위 그룹은 3 x 3 매트릭스 형태로 9개의 액체 렌즈를 포함할 수 있다. 이와 같이, 광의 광축과 수직인 평면상에서 단위 그룹의 면적(이하, ‘제3 평면적’이라 함)은 제1 평면적보다 클 수 있다.
또는, 이미지 센서(140)의 제1 방향(예를 들어, x축 방향)으로의 길이(X1)가 14.6㎜이고, 제1 방향과 교차하는 제2 방향(예를 들어, y축 방향)으로의 길이(Y1)도 14.6㎜일 때, 모든 액체 렌즈(YL)의 제2 평면적이 동일하고, 액체 렌즈(YL)의 제1 방향(예를 들어, x축 방향)으로의 길이(X3)가 3.5㎜이고, 제2 방향(예를 들어, y축 방향)으로의 길이(Y3)가 3.5㎜일 경우, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 단위 그룹은 4 x 4 매트릭스 형태로 16개의 액체 렌즈를 포함할 수 있다. 이와 같이, 제3 평면적은 제1 평면적보다 작을 수 있다.
전술한 바와 같이, 단위 그룹에서 매트릭스 형태로 배열된 복수의 액체 렌즈에 포함된 모든 개구(OP)가 이미지 센서(140)와 수직으로 오버랩될 수 있다면, 단위 그룹에 포함하는 액체 렌즈의 개수는 다양하게 결정될 수 있다.
도 1을 참조하여 도 2에 도시되 제230 단계에 대해 다음과 같이 상세히 살펴본다.
광원(110)은 복수의 액체 렌즈를 포함하는 웨이퍼(W)로 광을 조사한다. 콜리메이터(120)는 광원(110)과 웨이퍼(W) 사이에 배치되며, 복수의 액체 렌즈의 일부인 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 광을 콜리메이팅한다. 이와 같이, 광원(110)으로부터 방출된 광은 콜리메이터(120)에 의해 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로만 향할 수 있다.
또한, 광의 광축과 수직인 평면상에서 콜리메이터(130)의 면적(이하, ‘제4 평면적’이라 함)과 제1 평면적은 서로 동일할 수 있다.
이때, 전압 공급부(130)는 복수의 액체 렌즈로 구동 전압을 인가할 수 있다. 즉, 전압 공급부(130)는 웨이퍼(W)에 포함된 모든 액체 렌즈로 구동 전압을 인가할 수 있다. 예를 들어, 도 3 (a)에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)가 단자부(TE)를 포함할 경우, 전압 공급부(130)는 단자부(TE)를 통해 웨이퍼(W)에 포함된 모든 액체 렌즈로 공통 전압(VCOM)과 개별 전압(VLL1 내지 VLL4)을 인가할 수 있다.
공통 전압(VCOM)은 웨이퍼(W)에 포함된 모든 액체 렌즈 각각의 공통 전극(COM)으로 공급되고, 복수의 개별 전압(VLL1 내지 VLL4)은 웨이퍼(W)에 포함된 모든 액체 렌즈 각각의 개별 전극(LL1 내지 LL4)으로 공급될 수 있다. 이때, 구동 전압이란, 개별 전압(VLL1 내지 VLL4)과 공통 전압(VCOM) 간의 전압 차를 의미할 수 있다.
제230 단계 후에, 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로부터 출사되는 광을 이미지 센서(140)에서 이미지 데이터로 변환하고, 변환된 이미지 데이터를 성능 분석부(150)로 출력한다(제240 단계). 이와 같이, 이미지 센서(140)는 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈를 통과한 광학적 신호를 전기적 신호인 이미지 데이터로 변환하는 역할을 한다.
제240 단계 후에, 성능 분석부(150)는 이미지 센서(140)로부터 제공되는 이미지 데이터로부터 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석한다(제250 단계).
도 7은 성능 분석부(150)의 동작을 설명하기 위한 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 사시도를 나타낸다. 도 7의 경우, 단위 그룹에 포함되는 액체 렌즈의 개수는 9개인 것으로 가정한다.
실시 예에 의하면, 성능 분석부(150)는 이미지 데이터를 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각에 대한 서브 데이터로 분할한다. 예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이 단위 그룹의 9개의 액체 렌즈에 대한 이미지 데이터를 이미지 센서(140)로부터 제공받고, 이러한 이미지 데이터를 분할하여, 단위 그룹의 각 액체 렌즈에 대한 서브 데이터(IMAGE_SUB)를 획득할 수 있다.
이후, 성능 분석부(150)는 분할된 서브 데이터로부터 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각의 성능을 분석할 수 있다.
성능 분석부(150)는 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각이 손떨림 보정 내지 영상 흔들림 방지(OIS:Optical Image Stabilizer) 기능을 정상적으로 수행하는가를 분석할 수 있다.
만일, 제1 방향(예를 들어, x축 방향)으로 액체 렌즈가 틸팅을 이상없이 수행하는가를 검사하기 위해, 전압 공급부(130)는 제2 방향(예를 들어, y축 방향)으로 마주하는 개별 전극으로 동일한 개별 전압을 인가하고, 제1 방향으로 마주하는 개별 전극으로 서로 다른 개별 전압을 인가할 수 있다.
도 3 (a) 및 (b)를 참조하면, 제2 방향으로 마주하는 제1 및 제4 개별 전극(LL1, LL4)에 동일한 제1 전압을 인가하고, 제2 방향으로 마주하는 제2 및 제3 개별 전극(LL2, LL3)에 동일한 제2 전압을 인가한다. 이때, 제1 및 제2 개별 전극(LL1, LL2)은 제1 방향으로 마주하고, 제3 및 제4 개별 전극(LL3, LL4)은 제1 방향으로 마주하므로, 제1 전압과 제2 전압을 달리할 경우, 성능 분석부(150)는 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각의 제1 방향으로의 틸팅을 검사할 수 있다.
또는, 제2 방향(예를 들어, y축 방향)으로 액체 렌즈가 틸팅을 이상없이 수행하는가를 검사하기 위해, 전압 공급부(130)는 제1 방향(예를 들어, x축 방향)으로 마주하는 개별 전극으로 동일한 개별 전압을 인가하고, 제2 방향으로 마주하는 개별 전극으로 서로 다른 개별 전압을 인가할 수 있다.
도 3 (a) 및 (b)를 참조하면, 제1 방향으로 마주하는 제1 및 제2 개별 전극(LL1, LL2)에 동일한 제1 전압을 인가하고, 제1 방향으로 마주하는 제3 및 제4 개별 전극(LL3, LL4)에 동일한 제2 전압을 인가한다. 이때, 제1 및 제4 개별 전극(LL1, LL4)은 제2 방향으로 마주하고, 제2 및 제3 개별 전극(LL2, LL3)은 제2 방향으로 마주하므로, 제1 전압과 제2 전압을 달리할 경우, 성능 분석부(150)는 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각의 제2 방향으로의 틸팅을 검사할 수 있다.
또는, 성능 분석부(150)는 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각이 오토포커싱(AF:Auto-Focusing) 기능을 정상적으로 수행하는가를 분석할 수 있다. 이를 위해, 전압 공급부(130)는 모든 개별 전극으로 동일한 전압을 인가하고, 성능 분석부(150)는 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 곡률을 검사할 수 있다.
성능 분석부(150)에서 단위 그룹의 복수의 액체의 성능을 검사할 때, 공통 전극(COM)으로 동일한 공통 전압이 인가될 수 있다.
제250 단계 후에, 즉, 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 성능을 검사한 이후, 성능을 테스트할 그룹이 잔존하는가를 검사한다(제260 단계). 만일, 성능을 테스트할 그룹이 잔존한다고 결정되면, 복수의 액체 렌즈의 타부인 다른 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 이동한다(제270 단계). 따라서, 다른 단위 그룹에 대해 제240 및 제250 단계가 수행될 수 있다. 이때, 다른 단위 그룹은 이전에 성능이 검사된 단위 그룹에 인접한 그룹일 수도 있고, 이격된 그룹일 수도 있다.
이때, 제270 단계를 수행하기 위해, 일 실시 예에 의하면 도 1에 도시된 바와 같이 이동부(160)는 웨이퍼(W)를 이동시킬 수 있다. 이를 위해, 예를 들어, 성능 검사부(150)는 하나의 단위 그룹에 대한 이미지 데이터가 수신되면 또는 하나의 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 성능 검사가 완료되면, 성능을 테스트할 그룹이 잔존하는가를 검사하고, 검사된 결과를 이동 제어 신호로서 이동부(160)로 출력한다. 성능 검사부(150)로부터 출력되는 이동 제어 신호에 응답하여, 이동부(160)는 웨이퍼(W)를 광축과 수직인 수평 방향(예를 들어, x축 방향 및 y축 방향 중 적어도 하나의 방향)으로 이동시킬 수 있다.
다른 실시 예에 의하면, 제270 단계를 수행하기 위해, 도 1에 도시된 바와 달리, 웨이퍼(W)를 이동시키는 대신에 광원(110), 콜리메이터(120) 및 이미지 센서(140)를 이동시킬 수도 있다.
전술한 바와 같이, 웨이퍼(W)에 포함된 모든 액체 렌즈에 대해 그룹별로 성능 검사를 완료한 후, 즉, 제260 단계에서 테스트할 그룹이 잔존하지 않는다고 결정될 경우, 웨이퍼(W)를 다이싱하여 성능 검사가 완료된 웨이퍼로부터 낱개의 액체 렌즈를 획득할 수 있다(제280 단계).
이하, 비교 례 및 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치를 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.
도 8은 비교 례에 의한 액체 렌즈 제조 장치(300)의 개념도를 나타낸다.
도 8에 도시된 비교 례에 의한 액체 렌즈 제조 장치(300)는 홀더(310), 집게(picker)(320), 측정기(330) 및 측정 소켓(340)으로 구성된다.
측정의 대상이 되는 복수의 액체 렌즈가 홀더(310)에 담겨있다. 집게(320)는 홀더(310)에 담긴 복수의 액체 렌즈 중에서 측정할 하나의 액체 렌즈를 픽업한 후 측정기(330)의 측정 소켓(340)에 안착시킨다.
이후, 측정 소켓(340)에 안착된 액체 렌즈를 얼라인(align)시킨 후, 측정기(330)의 탐침(probe)이 액체 렌즈의 전극에 접속되어 액체 렌즈의 특성의 측정이 시작된다. 이후, 측정이 종료되면, 집게(320)가 측정 소켓(340)에 있는 액체 렌즈를 홀더(310)로 옮긴다.
이후, 새로운 액체 렌즈 하나를 다시 픽업하여 전술한 동작을 반복한다.
이와 같이, 비교 례에 의한 액체 렌즈 제조 장치(300)는 웨이퍼로부터 다이싱되어 획득된 복수의 액체 렌즈를 하나씩 픽업하여 그의 성능을 테스트한다. 이로 인해, 하나의 액체 렌즈의 성능을 테스트하기 위해 길게는 60초 이상이 소요될 수 있다.
반면에, 전술한 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100) 및 방법(200)에 의할 경우, 그룹 단위로 복수의 액체 렌즈의 성능을 동시에 측정할 수 있다. 왜냐하면, 웨이퍼(W)를 다이싱하지 않은 웨이퍼 레벨의 상태에서, 내측 개별 전극이 주변의 복수의 액체 렌즈(예를 들어, 도 3 (b)의 경우 4개의 액체 렌즈)에 공유되므로, 하나의 개별 전극으로 전압을 인가할 때 4개의 액체 렌즈가 동시에 구동되기 때문이다. 이와 같이, 전술한 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100) 및 방법(200)에 의할 경우, 액체 렌즈의 성능을 검사하기 위해 약 1.5초가 소요된다.
결국, 전술한 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100) 및 방법(200)에 의할 경우, 웨이퍼(W)에 포함된 복수의 액체 렌즈의 성능 검사에 소요되는 시간을 비교 례보다 단축할 수 있어 제조 시간을 단축시킬 수 있다.
게다가, 비교 례의 경우 액체 렌즈의 성능을 검사할 때마다 액체 렌즈에 구동 전압을 인가한 후 얼라인 작업을 수행햐야 한다. 그러나, 전술한 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100) 및 방법(200)에 의할 경우 웨이퍼(W)에 포함된 모든 액체 렌즈에 구동 전압을 인가한 이후, 그룹별로 복수의 액체 렌즈의 성능을 검사한다. 따라서, 하나의 그룹의 검사를 종료하고 다른 그룹을 검사하고자 할 때, 다른 그룹에 구동 전압을 인가하는 작업이 불필요하다. 즉, 전술한 실시 예에 의한 액체 렌즈 제조 장치(100) 및 방법(200)에 의할 경우, 비교 례에서 액체 렌즈마다 행한 얼라인 작업을 수행할 필요가 없어, 액체 렌즈의 제조 공정을 단순하게 할 수 있다.
전술한 다양한 실시 예들은 본 발명의 목적을 벗어나지 않고, 서로 상반되지 않은 한 서로 조합될 수도 있다. 또한, 전술한 다양한 실시 예들 중에서 어느 실시 예의 구성 요소가 상세히 설명되지 않은 경우 다른 실시 예의 동일한 참조부호를 갖는 구성 요소에 대한 설명이 준용될 수 있다.
이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 액체 렌즈 제조 장치 110: 광원
120: 콜리메이터 130: 전압 공급부
140: 이미지 센서 150: 성능 분석부
160: 이동부

Claims (13)

  1. 복수의 액체 렌즈를 포함하는 웨이퍼로 광을 조사하는 광원;
    상기 광원과 상기 웨이퍼 사이에 배치되며, 상기 복수의 액체 렌즈의 일부인 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 상기 광을 콜리메이팅하는 콜리메이터;
    상기 복수의 액체 렌즈로 구동 전압을 인가하는 전압 공급부;
    상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로부터 출사되는 광을 이미지 데이터로 변환하는 이미지 센서; 및
    상기 이미지 데이터로부터 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석하는 성능 분석부를 포함하는 액체 렌즈 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 광의 광축과 수직인 평면상에서 상기 콜리메이터의 면적과 상기 이미지 센서의 면적은 서로 동일한 액체 렌즈 제조 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 광의 광축과 수직인 수평 방향으로 상기 웨이퍼를 이동시키는 이동부를 포함하는 액체 렌즈 제조 장치.
  4. (a) 이미지 센서를 준비하는 단계;
    (b) 복수의 액체 렌즈를 포함하는 웨이퍼를 상기 이미지 센서 위에 배치하는 단계;
    (c) 상기 복수의 액체 렌즈의 일부인 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 광을 조사하고, 상기 복수의 액체 렌즈로 구동 전압을 인가하는 단계;
    (d) 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로부터 출사되는 광을 상기 이미지 센서에서 이미지 데이터로 변환하는 단계; 및
    (e) 상기 이미지 데이터로부터 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석하는 단계를 포함하는 액체 렌즈 제조 방법.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈는
    복수의 행 및 복수의 열로 이루어진 매트릭스 배열을 갖고,
    상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각은 광이 통과하는 개구를 갖고,
    상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈에 포함된 모든 개구는 상기 이미지 센서와 수직으로 중첩되는 액체 렌즈 제조 방법.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 광의 광축과 수직인 평면상에서 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 면적은 상기 이미지 센서의 면적보다 큰 액체 렌즈 제조 방법.
  7. 제5 항에 있어서, 상기 광의 광축과 수직인 평면상에서 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 면적은 상기 이미지 센서의 면적보다 작은 액체 렌즈 제조 방법.
  8. 제5 항에 있어서, 상기 성능을 분석하는 단계는
    상기 이미지 데이터를 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각에 대한 서브 데이터로 분할하는 단계; 및
    상기 분할된 서브 데이터로부터 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈 각각의 성능을 분석하는 단계를 포함하는 액체 렌즈 제조 방법.
  9. 제4 항에 있어서,
    상기 복수의 액체 렌즈의 타부인 다른 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈로 이동하여 단계를 포함하고,
    상기 다른 단위 그룹에 대해 상기 (d) 및 (e) 단계가 수행되는 액체 렌즈 제조 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 또는 상기 이미지 센서를 이동하는 액체 렌즈 제조 방법.
  11. 제4 항에 있어서,
    상기 구동 전압을 인가하는 단계에서,
    제1 방향으로 마주하는 개별 전극에 동일한 개별 전압을 인가하고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 마주하는 개별 전극에 서로 다른 개별 전압을 인가하고,
    상기 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석하는 단계에서
    상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 상기 제2 방향으로의 틸팅을 검사하는 액체 렌즈 제조 방법.
  12. 제4 항에 있어서,
    상기 구동 전압을 인가하는 단계에서, 상기 개별 전극으로 동일한 전압을 인가하고,
    상기 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석하는 단계에서, 상기 단위 그룹의 복수의 액체 렌즈의 곡률을 검사하는 액체 렌즈 제조 방법.
  13. 제4 항에 있어서,
    상기 웨이퍼에 포함된 상기 복수의 액체 렌즈의 성능을 분석한 후, 상기 웨이퍼를 다이싱하는 단계를 포함하는 액체 렌즈 제조 방법.
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