KR20200126709A - air valve and monitoring method of air valve - Google Patents

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KR20200126709A
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Abstract

The present invention provides a pneumatic valve device capable of discriminating whether drive air is normally supplied. According to the present invention, the pneumatic valve device may comprise: an air supply unit supplying drive air; a valve body operated by the drive air; an air pipe providing the drive air from the air supply unit to the valve body; and a rotating body installed on the air pipe and rotated when the drive air flows through the air pipe.

Description

공압 밸브 장치 및 공압 밸브 모니터링 방법{air valve and monitoring method of air valve} Pneumatic valve device and pneumatic valve monitoring method {air valve and monitoring method of air valve}

본 발명은 공압 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밸브 구동을 위한 구동 에어의 공급 여부를 외부에서 쉽게 판별할 수 있는 공압 밸브 및 공압 밸브 모니터링 방법에 관한 것이다. 관한 것이다. The present invention relates to a pneumatic valve, and more particularly, to a pneumatic valve and a pneumatic valve monitoring method that can easily determine whether or not to supply driving air for driving the valve from the outside. About.

최근 들어 반도체 제조 기술은 눈부신 발전을 거듭하고 있다. 이에 따라 단위 면적당 집적도가 뛰어남과 동시에 처리 속도 또한 매우 빠른 반도체 제품 개발이 급속히 진행되고 있다.In recent years, semiconductor manufacturing technology has been developing remarkably. Accordingly, semiconductor product development is rapidly progressing with excellent integration per unit area and very fast processing speed.

이러한 반도체 제품들을 제작하기 위해서는 최적의 설계 뿐만 아니라 고도의 기술이 요구되는 공정 기술들이 뒷받침 되어야 한다. 이들 공정 기술은 다양한 화학 약품, 반응 기체를 프로세스 챔버에 적정량 공급시켜야 하는 바, 이를 위해서는 유체 특히 기체의 유량을 제어 및 기체의 공급 차단을 위한 밸브 장치를 필요로 한다.In order to manufacture these semiconductor products, not only the optimal design but also process technologies that require high technology must be supported. These process technologies require a variety of chemicals and reaction gases to be supplied to the process chamber in an appropriate amount, and for this purpose, a valve device for controlling the flow rate of a fluid, particularly gas, and shutting off the supply of gas is required.

도 1은 종래 구동 에어에 의해 구동되는 종래 공압 밸브 장치를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a conventional pneumatic valve device driven by a conventional driving air.

도 1을 참조하면, 종래 공압 밸브 장치(1)는 전체적으로 보아 구동 에어를 공급해주는 에어 공급유닛(2), 구동 에어의 흐름을 제어하는 에어 콘트롤 유닛(Air control unit,3), 구동 에어가 이동되는 에어 배관(4), 그리고 밸브 몸체(5)로 구성된다.Referring to FIG. 1, the conventional pneumatic valve device 1 is an air supply unit 2 that supplies driving air, an air control unit 3 that controls the flow of driving air, and the driving air moves. It consists of an air pipe (4), and a valve body (5).

이러한 공압 밸브 장치(1)는 에어 배관(4)을 통해 구동 에어가 정상적으로 밸브 몸체(5)로 제공되는지의 여부를 외부에서 식별할 수가 없었기 때문에, 에어 공급 유닛(2)이나 에어 콘트롤 유닛(3)의 오작동에 의한 밸브 오류를 확인할 수 없어, 이로 인해 여러가지 안전 사고가 유발될 수 있다.Since such a pneumatic valve device 1 could not externally identify whether or not driving air is normally supplied to the valve body 5 through the air piping 4, the air supply unit 2 or the air control unit 3 It is not possible to check the valve error due to the malfunction of ), which can lead to various safety accidents.

본 발명은 구동 에어가 정상적으로 공급되는지를 식별할 수 있는 공압 밸브 장치 및 모니터링 방법을 제공하는 것이다. The present invention is to provide a pneumatic valve device and a monitoring method capable of identifying whether driving air is normally supplied.

본 발명은 구동 에어가 정상적으로 공급되는지를 모니터링할 수 있는 공압 밸브 장치 및 모니터링 방법을 제공하는 것이다. The present invention provides a pneumatic valve device and a monitoring method capable of monitoring whether driving air is normally supplied.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The problem to be solved by the present invention is not limited thereto, and other problems that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 측면에 따르면, 구동 에어를 공급하는 에어 공급 유닛; 상기 구동 에어에 의해 작동하는 밸브 몸체; 상기 에어 공급 유닛으로부터 상기 밸브 몸체로 구동 에어를 제공하는 에어 배관; 및 상기 에어 배관 상에 설치되어 상기 에어 배관을 통해 구동 에어가 흐를때 회전되는 회전체를 포함하는 공압 밸브 장치를 제공하고자 한다.According to an aspect of the present invention, an air supply unit for supplying driving air; A valve body operated by the drive air; An air pipe providing driving air from the air supply unit to the valve body; And a rotating body installed on the air pipe and rotating when driving air flows through the air pipe.

또한, 상기 회전체의 회전 여부를 감지하는 감지부를 더 포함할 수 있다.In addition, it may further include a sensing unit for detecting whether the rotation of the rotating body.

또한, 상기 에어 공급 유닛과 상기 회전체 사이의 상기 에어 배관 상에 설치되고 구동 에어의 흐름을 제어하는 솔레노이드 밸브; 및 상기 솔레노이드 밸브를 제어하는 밸브 제어부를 더 포함할 수 있다.In addition, a solenoid valve installed on the air pipe between the air supply unit and the rotating body and controlling a flow of driving air; And a valve controller for controlling the solenoid valve.

또한, 상기 감지부의 감지 신호와 상기 밸브 제어부의 제어 신호를 제공받아, 상기 감지 신호와 상기 제어 신호와 비교하여 구동 에어의 공급이 정상인지를 판별하는 판별부를 더 포함할 수 있다.In addition, it may further include a determination unit for receiving the detection signal of the detection unit and the control signal of the valve control unit, comparing the detection signal and the control signal to determine whether the supply of driving air is normal.

또한, 상기 에어 배관상에 설치되고, 내부를 확인할 수 있는 투시창을 갖는 연결 배관을 더 포함하고, 상기 회전체는 상기 연결 배관 상에 설치될 수 있다.In addition, a connection pipe installed on the air pipe and having a viewing window capable of confirming the inside may be further included, and the rotating body may be installed on the connection pipe.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 밸브 제어부가 밸브 몸체에 연결된 에어 배관 상에 설치된 솔레노이드 밸브를 제어하는 신호를 출력하는 단계; 감지부가 상기 에어 배관에 설치된 회전체의 회전 유무를 감지하는 단계; 및 상기 솔레노이드 밸브에 인가된 제어 신호와 상기 회전체의 감지 신호를 비교하여 오동작을 판별하는 단계를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, the valve control unit outputs a signal for controlling a solenoid valve installed on an air pipe connected to the valve body; Detecting the rotation of the rotating body installed in the air pipe by a sensing unit; And comparing a control signal applied to the solenoid valve with a detection signal of the rotating body to determine a malfunction.

또한, 상기 판별 단계는 상기 제어 신호가 밸브 오픈 신호시 상기 감지 신호가 비회전이면 오동작으로 판별하고, 상기 감지 신호가 회전이면 정상 동작으로 판별할 수 있다.In the determining step, when the control signal is a valve open signal, if the detection signal is non-rotating, it may be determined as a malfunction, and if the detection signal is rotation, it may be determined as a normal operation.

또한, 상기 판별 단계는 상기 제어 신호가 밸브 오프 신호시 상기 감지 신호가 비회전이면 정상 동작으로 판별하고, 상기 감지 신호가 회전이면 오동작으로 판별할 수 있다.Further, in the determining step, when the control signal is a valve off signal, if the detection signal is non-rotating, it may be determined as a normal operation, and if the detection signal is rotation, it may be determined as a malfunction.

또한, 상기 회전체의 회전 유무를 감지하는 단계는 상기 제어 신호 출력 시점보다 소정 간격 시차를 두고 감지할 수 있다. In addition, the step of detecting whether the rotating body is rotated may be detected at a predetermined interval from the timing of outputting the control signal.

본 발명의 실시예에 의하면, 구동 에어가 정상적으로 공급되는지를 모니터링함으로써, 공압 밸브의 오동작 및 불량 여부를 즉시 파악하고, 문제 발생시 신속하게 관련 장치의 작동을 중지시킬 수 있는 각별한 효과를 갖는다.According to an embodiment of the present invention, by monitoring whether the driving air is normally supplied, it is possible to immediately determine whether a pneumatic valve is malfunctioning or defective, and to quickly stop the operation of a related device when a problem occurs.

본 발명의 실시예에 의하면, 솔레노이드 밸브 또는 에어 배관에서의 고장에 의한 불량 및 공정 사고를 방지할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.According to an embodiment of the present invention, it has a special effect of preventing a defect and a process accident due to a failure in a solenoid valve or an air pipe.

발명의 효과가 상술한 효과들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the invention are not limited to the above-described effects, and effects that are not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the present specification and the accompanying drawings.

도 1은 종래 구동 에어에 의해 구동되는 종래 공압 밸브 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 밸브 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 에어 식별 부재를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 에어 식별 부재의 정단면도이다.
도 5는 에어 식별 부재의 측단면도이다.
도 6 내지 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 공압 밸브 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
도 8은 공압 밸브의 모니터링 방법을 설명하기 위한 플로우 챠트이다.1 is a view for explaining a conventional pneumatic valve device driven by a conventional driving air.
2 is a view for explaining a pneumatic valve device according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view for explaining the air identification member.
4 is a front cross-sectional view of the air identification member.
5 is a side cross-sectional view of the air identification member.
6 to 7 are views for explaining a pneumatic valve device according to a second embodiment of the present invention.
8 is a flow chart for explaining a method of monitoring a pneumatic valve.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. In the present invention, various transformations may be applied and various embodiments may be provided, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to a specific embodiment, it is to be understood to include all conversions, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, identical or corresponding components are assigned the same reference numerals and overlapped with them. Description will be omitted.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 밸브 장치를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining a pneumatic valve device according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 공압 밸브 장치(100)는 전체적으로 보아 구동 에어를 공급해주는 에어 공급유닛(110), 구동 에어의 흐름을 제어하는 에어 콘트롤 유닛(Air control unit,120), 구동 에어가 이동되는 에어 배관(130), 에어 식별 부재(200) 그리고 밸브 몸체(140)를 포함할 수 있다. Referring to Figure 2, the pneumatic valve device 100 as a whole, an air supply unit 110 that supplies driving air, an air control unit 120 that controls the flow of driving air, and the driving air is moved. An air pipe 130, an air identification member 200, and a valve body 140 may be included.

밸브 몸체(140)는 유체가 흐르는 유체 공급 라인(20) 상에 설치된다. 밸브 몸체(140)는 에어 배관(130)을 통해 공급되는 구동 에어에 의해 구동되어 개폐 작동을 함으로써 밸브 몸체(140) 내부를 통해 유체를 흐르게 하거나 유체의 흐름을 차단하는 구조를 갖는 것으로, 이에 대한 구체적인 설명은 공지 기술에 해당됨으로 생략하기로 한다. The valve body 140 is installed on the fluid supply line 20 through which the fluid flows. The valve body 140 is driven by the driving air supplied through the air piping 130 to open and close the valve body 140 to allow a fluid to flow through the inside of the valve body 140 or to block the flow of the fluid. A detailed description will be omitted because it corresponds to a known technology.

에어 공급유닛(110)은 밸브 몸체(140)를 작동시키기 위한 구동 에어(압축공기)를 공급하는 엑츄에이터(actuator) 또는 고압의 압축 공기가 저장되는 압축 저장탱크일 수 있다. 에어 공급 유닛(110)과 밸브 몸체(140)는 에어 배관(130)에 의해 상호 연결되며, 구동 에어는 에어 공급 유닛(110)으로부터 에어 콘트롤 유닛(120)을 통해 밸브 몸체(140)로 공급될 수 있다. 에어 콘트롤 유닛(120)은 전류가 흐르면 가동 철심이 강한 자석이 되는 전자석을 이용한 솔레노이드 밸브와 같은 전기적 밸브일 수 있다. 이하에서는 에어 콘트롤 유닛을 솔레노이드 밸브로 정의한다. The air supply unit 110 may be an actuator supplying driving air (compressed air) for operating the valve body 140 or a compression storage tank in which high-pressure compressed air is stored. The air supply unit 110 and the valve body 140 are interconnected by an air pipe 130, and the driving air is supplied from the air supply unit 110 to the valve body 140 through the air control unit 120. I can. The air control unit 120 may be an electric valve such as a solenoid valve using an electromagnet in which a movable iron core becomes a strong magnet when a current flows. Hereinafter, the air control unit is defined as a solenoid valve.

에어 식별 부재(200)는 솔레노이드 밸브(120)와 밸브 몸체(140) 사이의 에어 배관(130) 상에 설치될 수 있다. 에어 실별 부재(200)는 통상 장치 배관에 사용되는 피팅(fitting) 구조를 갖는 것이 바람직하다. The air identification member 200 may be installed on the air pipe 130 between the solenoid valve 120 and the valve body 140. It is preferable that the air chamber member 200 has a fitting structure that is usually used for device piping.

도 3은 에어 식별 부재를 설명하기 위한 사시도이고, 도 4는 에어 식별 부재의 정단면도이며, 도 5는 에어 식별 부재의 측단면도이다.3 is a perspective view for explaining the air identification member, FIG. 4 is a front cross-sectional view of the air identification member, and FIG. 5 is a side cross-sectional view of the air identification member.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 에어 식별 부재(200)는 에어 배관과 직렬로 연결되는 관체(210)와 관체(210) 내에 설치되는 회전체(220)를 포함할 수 있다. 3 to 5, the air identification member 200 may include a tube body 210 connected in series with the air pipe and a rotating body 220 installed in the tube body 210.

관체(210)는 에어 배관(1300과 연결되는 플랜지부(212)와 파이프 형상의 몸체(214)를 포함하며, 몸체(214)는 관측자가 내부를 육안으로 확인할 수 있도록 투명한 투시창(216)을 포함할 수 있다. 또 다른 예로, 몸체(214)는 전체가 투명한 소재로 제공될 수도 있다. 몸체(214)는 에어 배관(130)보다 큰 직격을 갖는 배관 형태로 제공될 수 있다.The pipe body 210 includes a flange portion 212 connected to the air pipe 1300 and a pipe-shaped body 214, and the body 214 includes a transparent viewing window 216 so that the observer can visually check the inside. As another example, the body 214 may be made of a transparent material as a whole, the body 214 may be provided in the form of a pipe having a greater direct hit than the air pipe 130.

회전체(220)는 몸체(214) 내부에 회전 가능하게 설치될 수 있다. 회전체(220)는 다수의 고정바(230)에 의해 몸체(214)의 중앙에 지지될 수 있다. 회전체(220)는 에어 배관(130)으로 구동 에어가 흐를 때 그 흐름에 의해 몸체(214)와 수평을 이루는 축을 중심으로 회전될 수 있다. The rotating body 220 may be rotatably installed inside the body 214. The rotating body 220 may be supported in the center of the body 214 by a plurality of fixing bars 230. When the driving air flows through the air pipe 130, the rotating body 220 may be rotated about an axis horizontally with the body 214 by the flow.

이와 같이 본 발명의 에어 식별 부재(200)는 직선유로에 관체(210)와 회전체(220) 등의 소수의 간단한 부품들로 이루어지므로 그 구조가 복잡하지 않고 제작 또한 용이한 것이다. As described above, the air identification member 200 of the present invention is composed of a small number of simple parts such as the tube body 210 and the rotating body 220 in a straight flow path, so that the structure is not complicated and it is easy to manufacture.

또한, 본 발명은 직선유로를 형성하는 원통형의 관체(210)에 구동 에어의 흐름으로 회전하는 회전체(220)가 투시창(216)을 통하여 육안으로 확인되어 구동 에어의 흐름상태를 간편하고 정확하게 인식할 수 있다.In addition, in the present invention, the rotating body 220 rotating by the flow of driving air in the cylindrical tube 210 forming a straight flow path is visually confirmed through the viewing window 216, so that the flow state of the driving air is recognized simply and accurately. can do.

도 6 내지 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 공압 밸브 장치를 설명하기 위한 도면들이다.6 to 7 are views for explaining a pneumatic valve device according to a second embodiment of the present invention.

도 6 내지 도 7을 참조하면, 제2실시예에 따른 공압 밸브 장치(100a)는 에어 공급 유닛(110a), 솔레노이드 밸브(120a), 에어 배관(130a), 유체 식별 부재(200a) 그리고 밸브 몸체(140a)를 포함하며, 이들은 도 2에 도시된 에어 공급유닛(110), 솔레노이드 밸브(120), 에어 배관(130), 유체 식별 부재(200) 그리고 밸브 몸체(140)와 대체로 유사한 구성과 기능으로 제공되므로, 이하에서는 제1 실시예와의 차이점을 위주로 제2실시예를 설명하기로 한다. 6 to 7, the pneumatic valve device 100a according to the second embodiment includes an air supply unit 110a, a solenoid valve 120a, an air pipe 130a, a fluid identification member 200a, and a valve body. Including (140a), these are the air supply unit 110, the solenoid valve 120, the air pipe 130, the fluid identification member 200 and the valve body 140 shown in FIG. Therefore, in the following, a second embodiment will be described focusing on differences from the first embodiment.

본 실시예에서, 공압 밸브 장치(100a)는 감지부(310)와 밸브 제어부(400) 그리고 판별부(300)를 더 포함할 수 있다.In this embodiment, the pneumatic valve device 100a may further include a sensing unit 310, a valve control unit 400, and a determination unit 300.

감지부(310)는 회전체(220)의 회전 여부를 감지하는 센서일 수 있다. 감지부(310)에서 감지된 신호를 판별부(300)로 제공될 수 있다. The sensing unit 310 may be a sensor that detects whether the rotating body 220 is rotated. The signal sensed by the sensing unit 310 may be provided to the determination unit 300.

밸브 제어부(400)는 솔레노이드 밸브(120a)를 제어하는 제어 신호를 출력한다.The valve control unit 400 outputs a control signal for controlling the solenoid valve 120a.

판별부(300)는 감지부(310)의 감지 신호와 밸브 제어부(400)의 제어 신호를 제공받아, 감지 신호와 제어 신호를 비교하여 구동 에어의 공급이 정상인지를 판별한다.The determination unit 300 receives the sensing signal from the sensing unit 310 and the control signal from the valve controller 400 and compares the sensing signal and the control signal to determine whether the supply of driving air is normal.

예컨대, 밸브 제어부(400)에서 솔레노이드 밸브(120a)로 온 신호를 보내면, 솔레노이드 밸브(120a)가 오픈되면서 에어 배관(130a)을 통해 밸브 몸체(140)로 구동 에어가 공급된다. 그러면, 구동 에어의 공급 흐름에 의해 유체 식별 부재(200)의 회전체(220)가 회전되고, 감지부(310)는 이를 감지하여 판별부(300)로 제공한다. 만약, 솔레노이드 밸브(120a)에 결함이 있을 경우, 밸브 몸체(140a)에 구동 에어를 공급하지 말아야 하는데도 불구하고 구동 에어가 공급될 수가 있다. 이에 따라, 밸브 몸체(140a)가 개방되고 유체 공급라인(20)에 유체가 계속적으로 흐르게 됨으로써 공정 사고가 발생할 수 있으나, 본 발명에서는 이러한 문제를 사전에 차단할 수 있다.For example, when an ON signal is sent from the valve control unit 400 to the solenoid valve 120a, the solenoid valve 120a is opened and driving air is supplied to the valve body 140 through the air pipe 130a. Then, the rotating body 220 of the fluid identification member 200 is rotated by the supply flow of the driving air, and the detection unit 310 detects this and provides it to the determination unit 300. If there is a defect in the solenoid valve 120a, the driving air may be supplied even though the driving air should not be supplied to the valve body 140a. Accordingly, since the valve body 140a is opened and the fluid continues to flow through the fluid supply line 20, a process accident may occur, but in the present invention, such a problem can be prevented in advance.

도 8은 공압 밸브의 모니터링 방법을 설명하기 위한 플로우 챠트이다.8 is a flow chart for explaining a method of monitoring a pneumatic valve.

본 발명에 따른 공압 밸브의 모니터링 방법은 솔레노이드 밸브(120a)를 제어하는 신호를 출력하는 단계(S100)와, 감지부(310)가 에어 배관에 설치된 회전체(220)의 회전 유무를 감지하는 단계(S200), 솔레노이드 밸브(120a)에 인가된 제어 신호와 회전체(220)의 감지 신호를 비교하여 오동작을 판별하는 단계(S300,S400)를 포함할 수 있다.The method for monitoring a pneumatic valve according to the present invention includes the steps of outputting a signal for controlling the solenoid valve 120a (S100), and the sensing unit 310 detecting the rotation of the rotating body 220 installed in the air pipe. (S200), comparing a control signal applied to the solenoid valve 120a with a detection signal of the rotating body 220 to determine a malfunction (S300, S400).

판별 단계(S300)는 제어 신호가 밸브 오픈 신호시 감지 신호가 비회전이면 오동작으로 판별하고, 감지 신호가 회전이면 정상 동작으로 판별한다.In the determination step S300, when the control signal is a valve open signal, if the detection signal is non-rotating, it is determined as a malfunction, and if the detection signal is rotation, it is determined as a normal operation.

또한, 판별 단계(S300)는 제어 신호가 밸브 오프 신호시 감지 신호가 비회전이면 정상 동작으로 판별하고, 감지 신호가 회전이면 오동작으로 판별하게 된다.In addition, in the determination step S300, when the control signal is a valve off signal, if the detection signal is non-rotating, it is determined as a normal operation, and if the detection signal is rotation, it is determined as a malfunction.

한편, 회전체의 회전 유무를 감지하는 단계(S200)는 회전체의 회전이 제어 신호 출력 시점보다 소정 간격 시차를 두고 회전됨으로써 이러한 시간차는 판별단계에서 반영될 수 있다.On the other hand, in the step of detecting the rotation of the rotating body (S200), the rotation of the rotating body is rotated at a predetermined interval from the time when the control signal is output, so that this time difference may be reflected in the determination step.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain the technical idea, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

110 : 에어 공급 유닛 120 : 솔레노이드 밸브
130 : 에어 배관 140 : 밸브 몸체
200 : 유체 식별 부재 110: air supply unit 120: solenoid valve
130: air piping 140: valve body
200: fluid identification member

Claims (10)

구동 에어를 공급하는 에어 공급 유닛;
상기 구동 에어에 의해 작동하는 밸브 몸체;
상기 에어 공급 유닛으로부터 상기 밸브 몸체로 구동 에어를 제공하는 에어 배관; 및
상기 에어 배관 상에 설치되어 상기 에어 배관을 통해 구동 에어가 흐를때 회전되는 회전체를 포함하는 공압 밸브 장치.An air supply unit supplying driving air;
A valve body operated by the drive air;
An air pipe providing driving air from the air supply unit to the valve body; And
A pneumatic valve device comprising a rotating body installed on the air pipe and rotated when driving air flows through the air pipe. 제 1 항에 있어서,
상기 회전체의 회전 여부를 감지하는 감지부를 더 포함하는 공압 밸브 장치.The method of claim 1,
Pneumatic valve device further comprising a sensing unit for detecting whether the rotation of the rotating body. 제 2 항에 있어서,
상기 에어 공급 유닛과 상기 회전체 사이의 상기 에어 배관 상에 설치되고 구동 에어의 흐름을 제어하는 솔레노이드 밸브;
상기 솔레노이드 밸브를 제어하는 밸브 제어부를 더 포함하는 공압 밸브 장치.The method of claim 2,
A solenoid valve installed on the air pipe between the air supply unit and the rotating body and controlling a flow of driving air;
Pneumatic valve device further comprising a valve control unit for controlling the solenoid valve. 제 3 항에 있어서,
상기 감지부의 감지 신호와 상기 밸브 제어부의 제어 신호를 제공받아, 상기 감지 신호와 상기 제어 신호와 비교하여 구동 에어의 공급이 정상인지를 판별하는 판별부를 더 포함하는 공압 밸브 장치.The method of claim 3,
A pneumatic valve device further comprising a determination unit configured to determine whether the supply of driving air is normal by receiving the sensing signal from the sensing unit and the control signal from the valve control unit and comparing the sensing signal and the control signal. 제 1 항에 있어서,
상기 에어 배관상에 설치되고, 내부를 확인할 수 있는 투시창을 갖는 연결 배관을 더 포함하고,
상기 회전체는 상기 연결 배관 상에 설치되는 공압 밸브 장치.The method of claim 1,
It is installed on the air pipe, further comprising a connection pipe having a viewing window through which the interior can be confirmed,
The rotating body is a pneumatic valve device installed on the connection pipe. 유체 공급 라인상에 설치되고, 구동 에어에 의해 작동하는 밸브 몸체;
상기 밸브 몸체로 구동 에어를 제공하는 에어 배관;
상기 에어 배관 상에 설치되고 구동 에어의 흐름을 제어하는 솔레노이드 밸브;
상기 솔레노이드 밸브 후단에 위치되도록 상기 에어 배관 상에 설치되어 상기 에어 배관을 통해 구동 에어가 흐를 때 이를 식별하도록 회전체를 갖는 에어 식별 부재;
상기 회전체의 회전 여부를 감지하는 감지부;
상기 솔레노이드 밸브를 제어하는 밸브 제어부; 및
상기 감지부의 감지 신호와 상기 밸브 제어부의 제어 신호를 제공받아, 상기 감지 신호와 상기 제어 신호와 비교하여 구동 에어의 공급이 정상인지를 판별하는 판별부를 포함하는 공압 밸브 장치.A valve body installed on the fluid supply line and operated by driving air;
An air pipe providing driving air to the valve body;
A solenoid valve installed on the air pipe and controlling a flow of driving air;
An air identification member installed on the air pipe to be positioned at a rear end of the solenoid valve and having a rotating body to identify when driving air flows through the air pipe;
A sensing unit that detects whether the rotating body is rotated;
A valve control unit for controlling the solenoid valve; And
A pneumatic valve device comprising a determination unit that receives the sensing signal of the sensing unit and a control signal of the valve control unit and compares the sensing signal with the control signal to determine whether supply of driving air is normal. 에어 배관 상에 설치된 솔레노이드 밸브를 제어하는 신호를 출력하는 단계;
상기 에어 배관에 설치된 회전체의 회전 유무를 감지하는 단계; 및
상기 솔레노이드 밸브에 인가된 제어 신호와 상기 회전체의 감지 신호를 비교하여 오동작을 판별하는 단계를 포함하는 공압 밸브의 모니터링 방법. Outputting a signal for controlling a solenoid valve installed on the air pipe;
Detecting the rotation of the rotating body installed in the air pipe; And
And determining a malfunction by comparing a control signal applied to the solenoid valve with a detection signal of the rotating body. 제 7 항에 있어서,
상기 판별 단계는
상기 제어 신호가 밸브 오픈 신호시 상기 감지 신호가 비회전이면 오동작으로 판별하고, 상기 감지 신호가 회전이면 정상 동작으로 판별하는 공압 밸브의 모니터링 방법. The method of claim 7,
The determining step is
When the control signal is a valve open signal, if the detection signal is non-rotating, it is determined as a malfunction, and if the detection signal is rotation, it is determined as a normal operation. 제 7 항에 있어서,
상기 판별 단계는
상기 제어 신호가 밸브 오프 신호시 상기 감지 신호가 비회전이면 정상 동작으로 판별하고, 상기 감지 신호가 회전이면 오동작으로 판별하는 공압 밸브의 모니터링 방법. The method of claim 7,
The determining step is
When the control signal is a valve off signal, if the detection signal is non-rotating, it is determined as a normal operation, and if the detection signal is rotation, it is determined as a malfunction. 제 7 항에 있어서,
상기 회전체의 회전 유무를 감지하는 단계는 상기 제어 신호 출력 시점보다 소정 간격 시차를 두고 감지하는 공압 밸브의 모니터링 방법.
The method of claim 7,
The step of detecting the rotation of the rotating body is a method of monitoring a pneumatic valve for detecting a time difference at a predetermined interval from a time when the control signal is output.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980065769A (en) * 1997-01-14 1998-10-15 김광호 Air Valve and Valve Control System
JP2000088135A (en) * 1998-09-10 2000-03-31 Kubota Corp Opening display device for valve
KR200390723Y1 (en) * 2005-04-28 2005-07-25 주식회사 뷰밸브테크날리지 Valve
KR20180019797A (en) * 2016-08-16 2018-02-27 피에스케이 주식회사 solenoid valve that can be checked whether the operation

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980065769A (en) * 1997-01-14 1998-10-15 김광호 Air Valve and Valve Control System
JP2000088135A (en) * 1998-09-10 2000-03-31 Kubota Corp Opening display device for valve
KR200390723Y1 (en) * 2005-04-28 2005-07-25 주식회사 뷰밸브테크날리지 Valve
KR20180019797A (en) * 2016-08-16 2018-02-27 피에스케이 주식회사 solenoid valve that can be checked whether the operation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220138256A (en) 2021-04-05 2022-10-12 디엘이앤씨 주식회사 Switch including device for detecting operation status

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