KR20200122906A - Acqc 커플러 정렬 장치 및 acqc 정렬 시스템 - Google Patents

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KR20200122906A
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봉은상
윤진웅
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윤진웅
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Abstract

ACQC 커플러 체결 장치 및 시스템을 개시한다. 일 실시 예에 따른 탱크로리의 약액을 공급하는 약액호스의 말단에 연결되는 수커플러를 저장탱크의 설치된 암커플러에 연결되도록 정렬시키는 ACQC 커플러 정렬 장치는, 상기 수커플러에 연결되고, 제1체결부가 형성되는 플랜지; 및 상기 수커플러가 안착되는 안착부와, 상기 수커플러가 상기 안착부에 안착된 상태에서 상기 플랜지의 양측 외주면에 위치하는 지지부와, 상기 지지부에 연결되고 상기 제1체결부와 체결 가능한 제2체결부를 포함하는 거치대를 포함할 수 있다.

Description

ACQC 커플러 정렬 장치 및 ACQC 정렬 시스템{ACQC COUPLER ALIGN DEVICE AND SYSTEM}
아래의 실시예는 기판 세정 장치 및 방법에 관한 것이다.
다양한 종류의 약액이 반도체 장치의 제조 공정에 사용되고 있다. 반도체 장치의 제조 공정에 사용되는 약액은 대부분이 환경 및 인체에 유해하기 때문에, 모든 단계에서 약액이 외부로 유출되는 것을 최소화하고, 그 취급을 주의할 필요가 있다. 반도체 장치의 제조 공정 중 약액 공급 공정은, 탱크 로리(Tank lorry)에서 약액 저장 탱크(chemical storage tank)로 케미컬을 이송하고, 약액 저장 탱크에서 각 단위 공정이 진행되는 챔버로 약액을 이송하는 방식으로 수행된다.
종래에는 탱크로리와 약액 저장 탱크 사이의 약액 이송을 위해 ACQC(automatic clean quick coupler unit, “자동 세정 약품 이송 유닛”)라는 중계 유닛을 사용한다. ACQC는 탱크로리와 약액 저장 탱크를 밀폐된 상태로 연결함으로써, 약액이 외부로 유출되는 것을 방지하게 된다. ACQC를 통해 탱크로리 및 약액 저장 탱크를 연결하는 과정에서는, ACQC의 각 구성의 커플링 과정이 요구된다. 커플링 과정은 ACQC의 각 구성의 정렬과정이 필요한데, 연결과정에서 정렬상태가 해제되는 현상이 발생하여, 약액이 외부로 유출되는 문제가 발생하였다.
따라서, ACQC의 커플링 과정에서 정렬상태를 유지시키기 위한 기술이 요구되는 실정이다.
일 실시 예에 따른 목적은, ACQC의 수커플러를 정위치로 정렬시킬 수 있는 ACQC 커플러 정렬 장치 및 시스템을 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 목적은, ACQC의 체결과정에서 발생하는 체결불량을 해결할 수 있는 ACQC 커플러 정렬 장치 및 시스템을 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 탱크로리의 약액을 공급하는 약액호스의 말단에 연결되는 수커플러를 저장탱크의 설치된 암커플러에 연결되도록 정렬시키는 ACQC 커플러 정렬 장치는, 상기 수커플러에 연결되고, 제1체결부가 형성되는 플랜지; 및 상기 수커플러가 안착되는 안착부와, 상기 수커플러가 상기 안착부에 안착된 상태에서 상기 플랜지의 양측 외주면에 위치하는 지지부와, 상기 지지부에 연결되고 상기 제1체결부와 체결 가능한 제2체결부를 포함하는 거치대를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제1체결부는 상기 플랜지의 외면을 따라 원주 방향으로 함몰 형성되는 연결홈; 및 상기 플랜지의 외면을 따라 전후 방향으로 함몰 형성되고, 상기 연결홈과 이어지는 체결홈을 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제2체결부는 상기 수커플러가 상기 안착부에 안착된 상태를 기준으로, 상기 플랜지 방향을 향해 상기 지지부의 내면에서 돌출 형성되는 체결돌기를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 체결돌기는 상기 수커플러가 상기 안착부에 안착되는 상태에서, 상기 연결홈에 삽입될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 체결돌기는, 상기 수커플러가 정위치에 위치하도록 회전한 상태에서, 전진 이동하는 경우 상기 체결홈에 삽입될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 거치대는 상기 안착부의 하측에 연결되고, 상기 수커플러의 이동 경로를 따라 배치되는 가이드 레일에 연결되는 가이드부를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 ACQC 정렬 시스템은, 탱크로리의 약액 공급을 위한 약액호스의 말단에 연결되는 수커플러와, 저장탱크에 설치되고 상기 수커플러와 커플링 되는 암커플러를 포함하는 ACQC 장치; 상기 수커플러에 연결되고, 외면에 형성되는 제1체결부를 포함하는 플랜지; 및 상기 수커플러가 안착되는 안착부와, 상기 제1체결부가 체결되어 상기 수커플러를 정위치로 정렬시키기 위한 제2체결부가 형성된 지지부를 포함하는 거치대를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제1체결부는, 상기 플랜지의 원주 방향을 따라 형성되는 연결홈과, 상기 연결홈과 연결되고 상기 플랜지의 전후 방향을 따라 형성되는 체결홈을 포함하고, 상기 제2체결부는, 상기 연결홈 또는 체결홈에 삽입 가능한 체결돌기를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 체결돌기는 상기 수커플러가 상기 안착부에 안착되는 과정에서 상기 연결홈에 삽입되고, 상기 지지된 수커플러가 정렬된 상태에서 전방으로 이동하면 상기 연결홈으로부터 상기 체결홈으로 이동할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제1체결부는, 상기 플랜지의 외면에 돌출 형성되는 체결돌기를 포함하고, 상기 제2체결부는, 상기 체결돌기가 삽입되도록 상기 지지부에 수직 방향으로 형성되는 연결홈과, 상기 연결홈에 연결되고 상기 지지부에 수평 방향으로 형성되는 체결홈을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치 및 시스템은, ACQC의 수커플러를 정위치로 정렬시킬 수 있다.
일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치 및 시스템은, ACQC의 체결과정에서 발생하는 체결불량을 해결할 수 있다.
일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치 및 시스템의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 거치대의 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 거치대의 평면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 플랜지의 사시도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치의 작동도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치의 작동도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치(1)는 ACQC의 케미컬 탱크로리와 ACQC(Automatic clean quick coupler unit)의 자동 체결을 위해 사용될 수 있다. ACQC는 탱크로리의 약액을 저장탱크로 유동시키기 위한 중계 수단으로써, 저장탱크로의 약액 공급과정에서 약액이 누출되는 것을 방지하는데 사용된다. ACQC는 탱크로리의 호스(h) 말단에 연결되는 수커플러(m)와, 저장탱크의 약액 유입구에 설치되는 암커플러(f)를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해, 수커플러(m)가 암커플러(f)를 향해 이동하는 방향을 '전방'이라 표현하고, 반대 방향을 '후방'이라 표현하도록 한다.
수커플러(m) 및 암커플러(f)는 서로 커플링 됨으로써 탱크로리와 약액 저장탱크를 연결시킬 수 있다. 이 경우, 탱크로리의 약액은 ACQC를 통해 저장 탱크로 이송될 수 있다. ACQC는 밀폐된 상태에서 탱크로리 및 저장 탱크 사이에서 약액을 이송시킴으로써, 작업자가 약액에 노출되거나 약액이 외부로 유출되어 화재를 야기하는 것을 방지하는데 사용된다.
수커플러(m) 및 암커플러(f)의 커플링을 위해서는, 수커플러(m)의 위치를 정렬하는 과정이 요구된다. 수커플러(m)의 말단부는 암커플러(f)에 형성된 약액 주입구에 긴밀하게 삽입될 수 있는 구조와 크기를 가질 수 있다. 저장탱크에 설치된 암커플러(f)는 고정된 상태이기 때문에, ACQC의 커플링을 위해서는 수커플러(m)가 정위치로 정렬된 상태에서 암커플러(f)의 약액 주입구에 삽입될 필요가 있다.
ACQC 커플러 정렬 장치(1)는 수커플러(m) 및 암커플러(f)의 커플링을 위해 수커플러(m)를 정위치로 정렬하는데 사용될 수 있다. ACQC 커플러 정렬 장치(1)는 수커플러(m)를 거치시켜 설정된 위치에 포지셔닝 하는 동시에, 수커플러(m)가 암커플러(f)와 커플링 가능한 상태로 회전시키는 기능을 수행할 수 있다.
수커플러(m)의 외면에는 약액 혼용 방지를 위한 키코드(key code) 돌기(미도시)가 형성될 수 있다. ACQC의 암커플러(f) 및 수커플러(m)는 약액 별로 종류가 상이하므로, 대상 약액에 적합한 키코드에 부합된 수커플러(m)만이 대상 약액을 위한 암커플러(f)에 커플링될 수 있다. 다시 말하면, 키코드를 통해 약액의 혼용을 방지할 수 있다.
ACQC 커플러 정렬 장치(1)는 수커플러(m)에 연결되는 플랜지(100) 및, 수커플러(m) 및 플랜지(100)와 체결 가능한 거치대(110)를 포함할 수 있다.
도 2는 일 실시 예에 따른 플랜지(100)의 사시도이다.
도 2를 참조하면, 플랜지(100)는 수커플러(m)의 외주면에 연결될 수 있다. 플랜지(100)는 후술하는 거치대(110)의 제2체결부(113)와 체결 가능한 제1체결부(101)를 포함할 수 있다. 제1체결부(101)는 연결홈(1011) 및 체결홈(1012)을 포함할 수 있다.
연결홈(1011)은 플랜지(100)의 외면을 따라 원주 방향으로 함몰 형성될 수 있다. 연결홈(1011)은 플랜지(100)가 거치대(110)에 안착되는 과정에서, 수커플러(m)의 위치를 정위치로 포지셔닝 하는데 사용될 수 있다.
체결홈(1012)은 플랜지(100)의 외면을 따라 전후 방향으로 함몰 형성될 수 있다. 체결홈(1012)은 플랜지(100) 외면에 형성된 연결홈(1011)과 이어지도록 형성될 수 있다. 체결홈(1012)은 플랜지(100)의 양 측에 한 쌍으로 형성될 수 있다. 체결홈(1012)은 플랜지(100)가 거치대(110)에 안착된 과정에서, 플랜지(100)가 정위치로 정렬되도록 회전시키는 동시에, 수커플러(m)의 이동 과정에서 수커플러(m)가 거치대(110)로부터 이탈하는 것을 방지하는데 사용될 수 있다.
연결홈(1011) 및 체결홉은 'V'자 형태의 단면을 가지도록 함몰 형성될 수 있다. 제1체결부(101)가 제2체결부(113)와 체결되는 작동과정에 대해서는 후술하도록 한다.
도 3은 일 실시 예에 따른 거치대의 사시도이고, 도 4는 일 실시 예에 따른 거치대의 평면도이다.
일 실시 예에 따른 거치대(110)는 수커플러(m)를 정렬시킬 수 있다. 거치대(110)에는 수커플러(m) 및 플랜지(100)가 안착되고, 안착된 플랜지(100)는 거치대(110)에 고정될 수 있다. 거치대(110)는 안착된 수커플러(m)를 암커플러(f)를 향해 이동시킬 수 있다. 거치대(110)는 안착부(111), 지지부(112), 제2체결부(113), 가이드부(114) 및 지지롤러(116)를 포함할 수 있다.
안착부(111)에는 플랜지(100)가 안착될 수 있다. 안착부(111)는 상면을 통해 플랜지(100)를 지지할 수 있다. 안착부(111)의 상면은 플랜지(100)가 안정적으로 안착될 수 있도록 일정한 곡률을 가질 수 있다. 이 경우, 안착부(111)의 상면 곡률은 플랜지(100)의 단면 곡률과 동일한 곡률을 가질 수 있다.
지지부(112)는 플랜지(100)의 양측을 지지할 수 있다. 지지부(112)는 플랜지(100)가 안착부(111)에 안착된 상태에서 플랜지(100)의 양측 외주면을 감싸도록 한 쌍으로 구비될 수 있다. 한 쌍의 지지부(112) 사이의 간격은, 플랜지(100)의 지름과 동일할 수 있다. 지지부(112)의 전방은 내측으로 돌출됨으로써, 수커플러(m)의 양 외측을 지지할 수 있다.
제2체결부(113)는 플랜지(100)에 형성된 제1체결부(101)와 체결되어, 거치대(110)에 대한 플랜지(100)의 안착 상태를 고정시킬 수 있다. 제2체결부(113)는 지지부(112)에 형성될 수 있다. 제2체결부(113)는 수커플러(m)가 안착부(111)에 안착된 상태를 기준으로, 플랜지(100) 방향을 향하도록 지지부(112)의 내면에 형성될 수 있다. 제2체결부(113)는 지지부(112)의 내면에서 돌출되는 체결돌기를 포함할 수 있다.
체결돌기는 제1체결부(101)의 연결홈(1011) 또는 체결홈(1012)에 삽입될 수 있다. 체결돌기는 플랜지(100)가 안착부(111)에 안착되는 과정에서 연결홈(1011)에 삽입됨으로써, 플랜지(100)의 좌우 위치를 정렬시키는 가이드의 역할을 수행할 수 있다. 체결돌기는 안착부(111)에 플랜지(100)가 안착된 상태에서, 플랜지(100)가 정위치, 다시 말해, 수커플러(m)가 올바른 위치로 회전되는 경우 체결홈(1012)에 삽입됨으로써 플랜지(100) 및 수커플러(m)를 정렬시킬 수 있다. 이에 대해서는 후술하도록 한다.
가이드부(114)는 안착부(111)의 하측에 연결될 수 있다. 가이드부(114)는 수커플러(m)의 이동 경로를 따라 배치되는 가이드 레일(115)에 연결됨으로써, 안착부(111)에 안착된 수커플러(m)의 이동을 가이드할 수 있다.
지지롤러(116)는 수커플러(m)에 연결된 호스(h)를 지지할 수 있다. 수커플러(m)가 거치대(110)에 거치된 상태에서 암커플러(f)를 향해 이동하는 경우, 지지롤러(116)는 호스(h)의 하측을 지지함으로써 호스(h)가 처지거나 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 지지롤러(116)는 수커플러(m)의 이동 과정에서 회전함으로써, 호스(h)의 이동을 보조할 수 있다.
도 5는 일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치의 작동도이고, 도 6은 일 실시 예에 따른 ACQC 커플러 정렬 장치의 작동도이다.
도 5 및 도 6을 참조하여, ACQC 커플러 정렬 장치(1)의 작동 과정을 설명하도록 한다.
ACQC의 수커플러(m) 및 암커플러(f)의 커플링을 위해서, 수커플러(m)는 설정된 정위치로 정렬될 필요가 있다. 수커플러(m)가 거치대(110)에 안착되는 과정에서, 지지부(112)에 형성된 제2체결부(113)는 플랜지(100)에 형성된 제1체결부(101)와 체결될 수 있다. 수커플러(m)의 좌우 위치가 올바르게 정렬되는 경우, 도 5와 같이 체결돌기는 연결홈(1011)에 삽입됨으로써 플랜지(100)가 안착부(111)에 안착되는 것을 가이드 할 수 있다. 한 쌍의 체결돌기가 연결홈(1011)에 삽입됨으로써, 거치대(110)에 대한 플랜지(100)의 좌우 위치가 고정될 수 있다.
체결돌기가 연결홈(1011)에 삽입된 상태에서, 플랜지(100)는 축을 중심으로 회전할 수 있다. 수커플러(m)가 정위치에 위치하도록 플랜지(100)가 회전한 상태에서, 플랜지(100)가 전진 이동하게 되면, 도 6과 같이, 연결홈(1011)에 삽입된 체결돌기는 체결홈(1012)으로 삽입될 수 있다. 체결돌기가 체결홈(1012)에 삽입된 상태에서, 플랜지(100)의 회전은 방지될 수 있다. 따라서, 수커플러(m)를 암커플러(f) 방향으로 이동하는 경우, 플랜지(100)가 회전하거나 틀어짐으로써 정위치에서 이탈하는 것이 방지될 수 있다.
한편, 도면에는 도시되지 않았으나, 제1체결부는 플랜지의 외면에 돌출 형성되는 체결돌기를 포함하고, 제2체결부는 체결돌기가 삽입 가능하도록 지지부에 수직 방향으로 형성되는 연결홈과, 연결홈에 연결되고 지지부에 수평 방향으로 형성되는 체결홈을 포함할 수도 있다.
이와 같은 구조에 의하면, ACQC 커플러 정렬 장치는, 수커플러의 위치를 정렬한 상태에서 고정시키기 때문에, 암커플러 및 수커플러의 체결 과정에서 발생하는 체결 불량이나, O-RING 눌림에 따른 커플러 손상을 방지할 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
F: 암커플러
M: 수커플러
100: 플랜지
110: 거치대

Claims (10)

  1. 탱크로리의 약액을 공급하는 약액호스의 말단에 연결되는 수커플러를 저장탱크의 설치된 암커플러에 연결되도록 정렬시키는 ACQC 커플러 정렬 장치에 있어서,
    상기 수커플러에 연결되고, 제1체결부가 형성되는 플랜지; 및
    상기 수커플러가 안착되는 안착부와, 상기 수커플러가 상기 안착부에 안착된 상태에서 상기 플랜지의 양측 외주면에 위치하는 지지부와, 상기 지지부에 연결되고 상기 제1체결부와 체결 가능한 제2체결부를 포함하는 거치대;
    를 포함하는 ACQC 커플러 정렬 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1체결부는,
    상기 플랜지의 외면을 따라 원주 방향으로 함몰 형성되는 연결홈; 및
    상기 플랜지의 외면을 따라 전후 방향으로 함몰 형성되고, 상기 연결홈과 이어지는 체결홈을 포함하는, ACQC 커플러 정렬 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2체결부는,
    상기 수커플러가 상기 안착부에 안착된 상태를 기준으로, 상기 플랜지 방향을 향해 상기 지지부의 내면에서 돌출 형성되는 체결돌기를 포함하는, ACQC 커플러 정렬 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 체결돌기는 상기 수커플러가 상기 안착부에 안착되는 상태에서, 상기 연결홈에 삽입되는, ACQC 커플러 정렬 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 체결돌기는, 상기 수커플러가 정위치에 위치하도록 회전한 상태에서, 전진 이동하는 경우 상기 체결홈에 삽입되는, ACQC 커플러 정렬 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 거치대는,
    상기 안착부의 하측에 연결되고, 상기 수커플러의 이동 경로를 따라 배치되는 가이드 레일에 연결되는 가이드부를 더 포함하는, ACQC 커플러 정렬 장치.
  7. 탱크로리의 약액 공급을 위한 약액호스의 말단에 연결되는 수커플러와, 저장탱크에 설치되고 상기 수커플러와 커플링 되는 암커플러를 포함하는 ACQC 장치;
    상기 수커플러에 연결되고, 외면에 형성되는 제1체결부를 포함하는 플랜지; 및
    상기 수커플러가 안착되는 안착부와, 상기 제1체결부가 체결되어 상기 수커플러를 정위치로 정렬시키기 위한 제2체결부가 형성된 지지부를 포함하는 거치대;
    를 포함하는 ACQC 정렬 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1체결부는, 상기 플랜지의 원주 방향을 따라 형성되는 연결홈과, 상기 연결홈과 연결되고 상기 플랜지의 전후 방향을 따라 형성되는 체결홈을 포함하고,
    상기 제2체결부는, 상기 연결홈 또는 체결홈에 삽입 가능한 체결돌기를 포함하는, ACQC 정렬 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 체결돌기는,
    상기 수커플러가 상기 안착부에 안착되는 과정에서 상기 연결홈에 삽입되고, 상기 지지된 수커플러가 정렬된 상태에서 전방으로 이동하면 상기 연결홈으로부터 상기 체결홈으로 이동하는, ACQC 정렬 시스템.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제1체결부는, 상기 플랜지의 외면에 돌출 형성되는 체결돌기를 포함하고,
    상기 제2체결부는, 상기 체결돌기가 삽입되도록 상기 지지부에 수직 방향으로 형성되는 연결홈과, 상기 연결홈에 연결되고 상기 지지부에 수평 방향으로 형성되는 체결홈을 포함하는, ACQC 정렬 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20230041262A (ko) * 2021-09-17 2023-03-24 주식회사 케이씨 커플러 정렬 시스템
KR20230041254A (ko) * 2021-09-17 2023-03-24 주식회사 케이씨 커플러 체결 시스템

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230041262A (ko) * 2021-09-17 2023-03-24 주식회사 케이씨 커플러 정렬 시스템
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