KR20200121193A - Tray feeder and electronic device test handler - Google Patents

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KR20200121193A
KR20200121193A KR1020190043949A KR20190043949A KR20200121193A KR 20200121193 A KR20200121193 A KR 20200121193A KR 1020190043949 A KR1020190043949 A KR 1020190043949A KR 20190043949 A KR20190043949 A KR 20190043949A KR 20200121193 A KR20200121193 A KR 20200121193A
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, provided is a tray transfer device, which comprises: a lower screw supporting a lower part of a tray in an upright state and forming a spiral groove for receiving the lower part of the tray to transfer the tray by rotation; and a first side screw positioned in parallel with the lower screw so as to be adjacent to one side of the tray, and formed with a helical groove for receiving one side of the tray to transfer the tray by rotation. One end of the first side screw forms an offset with one end of the lower screw so that the tray can move across the first side screw between one end of the first side screw and one end of the lower screw.

Description

트레이 이송 장치 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러{TRAY FEEDER AND ELECTRONIC DEVICE TEST HANDLER}Tray conveying device and electronic component test handler including the same {TRAY FEEDER AND ELECTRONIC DEVICE TEST HANDLER}

본 발명은 트레이 이송 장치 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 전자 부품이 수용된 트레이를 이송하는 장치와 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to a tray conveying apparatus and an electronic component test handler including the same, and more particularly, to an apparatus for conveying a tray containing a plurality of electronic components and an electronic component test handler including the same.

전자부품 테스트 핸들러는 복수의 전자부품, 예를 들어 반도체 소자나 모듈, SSD가 제조된 이후 검사하는 장치이다. 전자부품 테스트 핸들러는 전자부품을 테스트 장치에 접속시키고 다양한 환경을 인위적으로 조성하여 전자부품의 정상작동 여부를 검사하고 검사 결과에 따라 양품, 재검사, 불량품 등과 같이 구별하여 분류하도록 구성된다. The electronic component test handler is a device that inspects a plurality of electronic components, for example, semiconductor devices, modules, and SSDs after being manufactured. The electronic component test handler is configured to connect electronic components to a test device, artificially create various environments to check whether the electronic components are operating normally, and classify them into good, re-inspection, and defective products according to the inspection results.

전자부품 테스트 핸들러는 테스트해야 할 디바이스 또는 테스트가 완료된 디바이스가 적재되어 있는 유저 트레이를 외부와 교환하는 방식으로 물류가 이루어지며, 지속적으로 검사가 이루어질 수 있도록 적절한 주기로 외부와 물류가 수행되어야 한다.In the electronic component test handler, distribution is performed by exchanging the user tray in which the device to be tested or the device that has been tested is loaded with the outside, and distribution with the outside must be performed at an appropriate cycle so that the inspection can be continuously performed.

이와 같은 테스트 핸들러에 대하여 본 출원인에 의해 출원되어 등록된 대한민국 등록특허 제1,734,397호(2017. 05. 02. 등록)가 개시되어 있다.Korean Patent Registration No. 1,734,397 (registered on May 02, 2017), filed and registered by the present applicant, is disclosed for such a test handler.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 테스트 챔버로 반송하거나, 테스트 챔버로부터 반입되는 복수의 테스트 트레이를 승강 높이를 낮출 수 있는 트레이 이송 장치 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a tray transfer device capable of lowering the lifting height of a plurality of test trays conveyed to a test chamber or carried from the test chamber, and an electronic component test handler including the same.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 트레이 이송 장치는, 직립 상태의 트레이의 하부를 지지하고, 상기 트레이의 하부를 수용하는 나선홈이 형성되어 회전에 의해 상기 트레이를 이송하는 하부 스크류; 및 상기 트레이의 일측에 인접하도록 상기 하부 스크류와 나란하게 위치하고, 상기 트레이의 일측을 수용하는 나선홈이 형성되어 회전에 의해 상기 트레이를 이송하는 제1 측부 스크류;를 포함하며 상기 트레이가 상기 제1 측부 스크류의 일단과 상기 하부 스크류의 일단 사이에서 상기 제1 측부 스크류를 가로질러 이동할 수 있도록 상기 제1 측부 스크류의 일단은 상기 하부 스크류의 일단과 오프셋을 형성한다.The tray conveying apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above problem includes a lower screw supporting the lower portion of the tray in an upright state and forming a spiral groove for receiving the lower portion of the tray to transport the tray by rotation ; And a first side screw positioned in parallel with the lower screw so as to be adjacent to one side of the tray and formed with a helical groove to receive one side of the tray to transfer the tray by rotation, wherein the tray is the first side. One end of the first side screw forms an offset with one end of the lower screw so that it can move across the first side screw between one end of the side screw and one end of the lower screw.

상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류의 회전에 의해 상기 트레이는 상기 하부 스크류의 나선홈 및 상기 제1 측부 스크류의 나선홈을 따라 반입 위치로부터 반송 위치까지 이송되고, 상기 반입 위치 또는 상기 반송 위치는 상기 하부 스크류의 일단과 상기 제1 측부 스크류의 일단 사이에 형성될 수 있다.By rotation of the lower screw and the first side screw, the tray is transferred from the carrying position to the carrying position along the spiral groove of the lower screw and the spiral groove of the first side screw, and the carrying position or the carrying position is It may be formed between one end of the lower screw and one end of the first side screw.

상기 제1 측부 스크류는 상기 트레이가 상기 반입 위치로부터 상기 반송 위치로 이동하는 과정에서 편향되는 측에 위치하여 상기 트레이의 측부를 지지할 수 있다.The first side screw may be positioned on a side that is deflected in the process of moving the tray from the carrying position to the conveying position to support the side part of the tray.

상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나는 상기 나선홈에 구비되어 상기 트레이와 점 접촉 또는 선 접촉을 유지하며 상기 트레이를 지지하는 베어링 지지체를 더 포함할 수 있다.At least one of the lower screw and the first side screw may further include a bearing support provided in the spiral groove to maintain point contact or line contact with the tray and support the tray.

상기 하부 스크류의 일측을 회전 가능하게 지지하는 제1 지지부; 상기 하부 스크류의 타측을 회전 가능하게 지지하는 제2 지지부; 및 상기 제1 측부 스크류의 일단을 회전 가능하게 지지하는 제3 지지부;를 더 포함하고, 상기 제3 지지부는 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 위치할 수 있다.A first support portion rotatably supporting one side of the lower screw; A second support portion rotatably supporting the other side of the lower screw; And a third support portion rotatably supporting one end of the first side screw, wherein the third support portion may be located between the first support portion and the second support portion.

상기 반입 위치 또는 상기 반송 위치는 상기 제1 지지부와 상기 제3 지지부 사이에 형성될 수 있다.The carrying position or the conveying position may be formed between the first support part and the third support part.

상기 트레이의 타측에 인접하도록 상기 하부 스크류와 나란하게 위치하고, 상기 트레이의 타측을 수용하는 나선홈이 형성된 제2 측부 스크류를 더 포함하고, 상기 제2 측부 스크류의 일측은 상기 제1 지지부에 회전 가능하게 지지되고, 상기 제2 측부 스크류의 타측은 상기 제2 지지부에 회전 가능하게 지지될 수 있다.Further comprising a second side screw positioned in parallel with the lower screw so as to be adjacent to the other side of the tray and having a helical groove for receiving the other side of the tray, and one side of the second side screw is rotatable to the first support Is supported, and the other side of the second side screw may be rotatably supported on the second support.

상기 트레이의 일측에 인접하며 상기 제1 측부 스크류의 하부에 상기 하부 스크류와 나란하게 위치하고, 상기 트레이의 일측을 수용하는 나선홈이 형성된 제3 측부 스크류를 더 포함하고, 상기 제3 측부 스크류의 일측은 상기 제1 지지부에 회전 가능하게 지지되고, 상기 제3 측부 스크류의 타측은 상기 제2 지지부에 회전 가능하게 지지될 수 있다.Further comprising a third side screw adjacent to one side of the tray and positioned in parallel with the lower screw under the first side screw, and having a helical groove for receiving one side of the tray, and one side of the third side screw May be rotatably supported by the first support, and the other side of the third side screw may be rotatably supported by the second support.

상기 제2 측부 스크류 및 상기 제3 측부 스크류 중 적어도 하나의 직경은 상기 제1 측부 스크류의 직경보다 작게 형성될 수 있다.At least one of the second side screw and the third side screw may have a diameter smaller than the diameter of the first side screw.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러는, 적어도 하나의 전자 부품이 수용된 트레이가 직립 상태로 반입되는 제1 버퍼 챔버; 상기 제1 버퍼 챔버로부터 상기 트레이를 전달받아 상기 전자 부품에 대한테스트를 수행하는 테스트 챔버; 및 상기 테스트 챔버로부터 상기 테스트가 완료된 상기 트레이를 전달받는 제2 버퍼 챔버;를 포함하며, 상기 제1 버퍼 챔버 및 상기 제2 버퍼 챔버는, 직립 상태의 트레이의 하부를 지지하고, 상기 트레이의 하부를 수용하는 나선홈이 형성되어 회전에 의해 상기 트레이를 이송하는 하부 스크류 및 상기 트레이의 일측에 인접하도록 상기 하부 스크류와 나란하게 위치하고, 상기 트레이의 일측을 수용하는 나선홈이 형성되어 회전에 의해 상기 트레이를 이송하는 제1 측부 스크류를 포함하며, 상기 트레이가 상기 제1 측부 스크류의 일단과 상기 하부 스크류의 일단 사이에서 상기 제1 측부 스크류를 가로질러 이동할 수 있도록 상기 제1 측부 스크류의 일단은 상기 하부 스크류의 일단과 오프셋을 형성한다.An electronic component test handler according to an embodiment of the present invention for solving the above problem includes: a first buffer chamber in which a tray containing at least one electronic component is carried in an upright state; A test chamber receiving the tray from the first buffer chamber and performing a test on the electronic component; And a second buffer chamber receiving the tray on which the test is completed from the test chamber, wherein the first buffer chamber and the second buffer chamber support a lower portion of the tray in an upright state, and a lower portion of the tray A helical groove is formed to accommodate the lower screw for transporting the tray by rotation, and positioned in parallel with the lower screw so as to be adjacent to one side of the tray, and a helical groove for receiving one side of the tray is formed to rotate the It includes a first side screw for transferring a tray, and one end of the first side screw is the one end of the first side screw so that the tray can be moved across the first side screw between one end of the first side screw and one end of the lower screw. Make an offset with one end of the lower screw.

상기 제1 버퍼 챔버에서, 상기 트레이는 상기 제1 측부 스크류의 일단과 상기 하부 스크류의 일단 사이를 통해 상기 테스트 챔버로 이동할 수 있다.In the first buffer chamber, the tray may move to the test chamber through one end of the first side screw and one end of the lower screw.

상기 제2 버퍼 챔버에서, 상기 트레이는 상기 제1 측부 스크류의 일단과 상기 하부 스크류의 일단 사이를 통해 상기 테스트 챔버로 이동할 수 있다.In the second buffer chamber, the tray may move to the test chamber through one end of the first side screw and one end of the lower screw.

상기 제1 버퍼 챔버는, 상기 제1 버퍼 챔버의 일측을 관통하여 연장되는 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단에 인접하게 설치되어, 상기 제1 버퍼 챔버의 내부 온도에 따라 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단에 결로가 형성되는 것을 방지하는 결로 방지 부재를 더 포함할 수 있다.The first buffer chamber is installed adjacent to the other end of at least one of the lower screw and the first side screw extending through one side of the first buffer chamber, and according to the internal temperature of the first buffer chamber. It may further include a condensation preventing member for preventing condensation from being formed on the other end of at least one of the lower screw and the first side screw.

상기 제2 버퍼 챔버는, 상기 제2 버퍼 챔버의 일측을 관통하여 연장되는 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단에 인접하게 설치되어, 상기 제2 버퍼 챔버의 내부 온도에 따라 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단에 결로가 형성되는 것을 방지하는 결로 방지 부재를 더 포함할 수 있다.The second buffer chamber is installed adjacent to the other end of at least one of the lower screw and the first side screw extending through one side of the second buffer chamber, and according to the internal temperature of the second buffer chamber. It may further include a condensation preventing member for preventing condensation from being formed on the other end of at least one of the lower screw and the first side screw.

상기 결로 방지 부재는 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단으로 송풍하는 팬을 포함할 수 있다.The condensation preventing member may include a fan that blows air to the other end of at least one of the lower screw and the first side screw.

상기 결로 방지 부재는 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단을 가열하는 히터를 포함할 수 있다.The condensation preventing member may include a heater for heating at least one other end of the lower screw and the first side screw.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the present invention are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.According to the embodiments of the present invention, there are at least the following effects.

테스트 챔버로 반송하거나, 테스트 챔버로부터 반입되는 복수의 테스트 트레이를 승강 높이를 낮출 수 있다.It is possible to lower the lifting height of a plurality of test trays conveyed to the test chamber or carried in from the test chamber.

또한, 복수의 테스트 트레이를 동시에 순차적으로 이송시킬 수 있다.In addition, a plurality of test trays can be transferred sequentially at the same time.

또한, 챔버 내부와 외부의 온도차에 의해 챔버 외부에서 발생하는 결로 현상을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent condensation occurring outside the chamber due to a temperature difference between the inside and the outside of the chamber.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다.
도 2는 도 1의 테스트 핸들러 본체를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이다.
도 3은 테스트 핸들러 본체에서의 디바이스 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.
도 4는 도 3의 AA선에 따른 단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 도 3의 BB선에 따른 단면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 버퍼 챔버를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 버퍼 챔버의 외측면의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 버퍼 챔버 내에서 테스트 트레이가 이송되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 버퍼 챔버를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러의 테스트 사이트에서 테스트 트레이가 이송되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.1 is a conceptual diagram illustrating an electronic component test handler according to an embodiment of the present invention divided into spaces according to functions.
2 is a conceptual diagram of a test handler body of FIG. 1 divided according to functions on a plane.
3 is a conceptual diagram showing movement of a device and a test tray in a test handler body.
4 is a diagram schematically illustrating a cross section taken along line AA of FIG. 3.
5 is a diagram schematically illustrating a cross section taken along line BB of FIG. 3.
6 is a plan view schematically showing a first buffer chamber according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram schematically showing a configuration of an outer surface of a first buffer chamber according to an embodiment of the present invention.
8 and 9 are views for explaining a process of transferring a test tray in a first buffer chamber according to an embodiment of the present invention.
10 is a plan view schematically illustrating a second buffer chamber according to an embodiment of the present invention.
11 is a diagram illustrating a process of transferring a test tray from a test site of an electronic component test handler according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 대하여, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 이하의 실시예의 설명에서 각각의 구성요소의 명칭은 당업계에서 다른 명칭으로 호칭될 수 있다. 그러나 이들의 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 변형된 실시예를 채용하더라도 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한, 각각의 구성 요소에 부가된 부호는 설명의 편의를 위하여 기재된다. 그러나 이들 부호가 기재된 도면 상의 도시 내용이 각각의 구성 요소를 도면 내의 범위로 한정하지 않는다. 마찬가지로 도면 상의 구성을 일부 변형한 실시예가 채용되더라도 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한, 당해 기술 분야의 일반적인 기술자 수준에 비추어 보아, 당연히 포함되어야 할 구성요소로 인정되는 경우, 이에 대하여는 설명을 생략한다.Hereinafter, an electronic component test handler according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, in the description of the following embodiments, the names of each component may be referred to as different names in the art. However, if they have functional similarities and identity, even if a modified embodiment is employed, it can be viewed as an even configuration. In addition, symbols added to each component are described for convenience of description. However, the content illustrated on the drawings in which these symbols are indicated does not limit each component to the range within the drawings. Likewise, even if an embodiment in which the configuration in the drawings is partially modified is employed, it can be regarded as an equivalent configuration if there are functional similarities and identity. In addition, in view of the level of a general technician in the relevant technical field, when it is recognized as a component that should be included of course, a description thereof will be omitted.

이하에서의 디바이스는 반도체 소자, 반도체 모듈, SSD 등 전기적으로 기능을 수행하는 소자를 뜻함을 전제로 설명하도록 한다. 또한, 이하에서 유저 트레이와 테스트 트레이는 반도체 소자가 적재될 수 있도록 구성된 복수의 적재홈이 일정한 배열로 구성되어 있는 트레이이며, 유저 트레이의 적재홈은 별도의 고정기능 없이 중력에 의해 디바이스가 홈 내부에 안착되도록 구성될 수 있고, 테스트 트레이의 적재홈은 디바이스가 중력이나 외부 충격에 의해 쉽게 이탈되지 않도록 별도의 고정 부재(예를 들어, 인서트 등)를 포함할 수 있다.Hereinafter, a device will be described on the premise that it refers to a device that electrically functions, such as a semiconductor device, a semiconductor module, and an SSD. In addition, in the following, the user tray and the test tray are trays in which a plurality of loading grooves configured to load semiconductor elements are arranged in a certain arrangement, and the loading grooves of the user tray are placed inside the grooves by gravity without a separate fixing function. It may be configured to be seated in, and the loading groove of the test tray may include a separate fixing member (eg, an insert, etc.) so that the device is not easily separated by gravity or external impact.

이하에서는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 전체적인 구성에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하도록 한다. Hereinafter, the overall configuration of the test handler according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating an electronic component test handler according to an embodiment of the present invention divided into spaces according to functions.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 테스트 핸들러(1)는 외부로부터 디바이스(20)를 반입하고 테스트를 수행하여 등급별로 선택적으로 외부에 반출할 수 있도록 구성된다.As shown in FIG. 1, the test handler 1 according to the present invention is configured to carry in the device 20 from the outside, perform a test, and selectively carry out the device 20 for each grade.

테스트 핸들러(1)는 공간적으로 기능에 따라 복수의 유저 트레이(10)를 외부로부터 반입하거나 외부로 반출하기 위한 스태커 및 디바이스(20)를 유저 트레이(10)로부터 옮겨 담고 테스트를 수행한 뒤 등급별로 분류하여 유저 트레이(10)로 적재하는 영역인 테스트 핸들러 본체(100)로 구분될 수 있다.The test handler 1 moves the stacker and device 20 for carrying in or carrying out a plurality of user trays 10 from the outside according to spatially functional functions from the user tray 10, performing a test, and then performing a test by grade. It may be classified into a test handler body 100, which is an area that is classified and loaded into the user tray 10.

스태커(2)는 유저 트레이(10)를 대량으로 적재해 놓을 수 있는 영역을 뜻한다. 스태커는 적재되어 있는 디바이스(20)에 따라 로딩 스태커(loading stacker), 언로딩 스태커(unloading stacker), 엠프티 스태커(empty stacker)로 구분될 수 있다.The stacker 2 refers to an area in which the user tray 10 can be loaded in a large amount. The stacker may be classified into a loading stacker, an unloading stacker, and an empty stacker according to the loaded device 20.

로딩 스태커는 테스트 및 분류가 필요한 디바이스(20)들이 적재되어 있는 유저 트레이(10)를 적재할 수 있도록 구성된다. 로딩 스태커는 외부로부터 반입되는 복수의 유저 트레이(10)가 적층된 1 lot의 단위로 적재될 수 있는 크기로 구성된다.The loading stacker is configured to load the user tray 10 in which devices 20 that need to be tested and sorted are loaded. The loading stacker has a size capable of being loaded in units of one lot in which a plurality of user trays 10 carried from the outside are stacked.

언로딩 스태커는 테스트 및 분류가 완료된 디바이스(20) 중 외부로 반출하기 위한 디바이스(20)가 적재된 유저 트레이(10)를 1 lot의 단위로 반출하기 전 복수로 적재해 놓을 수 있도록 구성된다.The unloading stacker is configured to load a plurality of user trays 10 loaded with a device 20 for carrying out to the outside among the devices 20 that have been tested and sorted before being taken out in units of one lot.

엠프티 스태커는 비어있는 유저 트레이(10)가 복수로 적재될 수 있도록 구성되며, 로딩 스태커로부터 디바이스(20)의 이송이 완료된 후 비어있는 유저 트레이(10)를 이송받거나, 언로딩 스태커로 비어있는 유저 트레이(10)를 이송할 수 있도록 구성될 수 있다.The empty stacker is configured so that a plurality of empty user trays 10 can be loaded, and the empty user tray 10 is transferred from the loading stacker after the transfer of the device 20 is completed, or the empty user tray 10 is transferred to the unloading stacker. It may be configured to be able to transport the user tray 10.

한편, 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커는 외부와의 물류, 테스트 핸들러(1) 내부에서의 물류 및 적재 목적에 따라 구분될 수 있으나, 자체의 구성은 서로 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.On the other hand, the loading stacker, the unloading stacker, and the empty stacker may be classified according to logistics to the outside, logistics and loading purposes inside the test handler 1, but their configurations may be the same or similar to each other. .

각각의 스태커 모듈(500)은 공간의 효율적인 활용을 위하여 복수의 유저 트레이(10)를 수직방향으로 쌓아 적재할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 각각의 스태커 모듈(500)은 도 1의 y 방향으로 수평 이동하여 개폐될 수 있도록 구성되며, 외부로 반출된 위치에서 외부와 물류가 이루어지게 된다. 일 예로서 무인 운반차(AGV; Automatic Guided Vehicle)로부터 로딩 스태커에 복수의 유저 트레이(10)를 이송받거나, 무인 운반차가 복수의 유저 트레이(10)를 언로딩 스태커로부터 회수해 갈 수 있다.Each stacker module 500 may be configured to stack and stack a plurality of user trays 10 in a vertical direction for efficient use of space. In addition, each of the stacker modules 500 is configured to be horizontally moved in the y direction of FIG. 1 to be opened and closed, and distribution with the outside is performed at a position carried out to the outside. As an example, a plurality of user trays 10 may be transferred to a loading stacker from an automatic guided vehicle (AGV), or an unmanned transportation vehicle may collect a plurality of user trays 10 from the unloading stacker.

또한, 스태커(2)는 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커 각각이 복수로 설정될 수 있으며, 어느 하나가 외부와 물류하는 동안에도 내부적인 물류가 연속적으로 진행될 수 있도록 구성될 수 있다.In addition, the stacker 2 may be configured such that each of the loading stacker, the unloading stacker, and the empty stacker may be set in plural, and internal logistics can be continuously performed even while any one is logistics with the outside.

이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여 테스트 핸들러 본체(100)의 구성 및 동작에 대하여 개략적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, the configuration and operation of the test handler body 100 will be schematically described with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2는 도 1의 테스트 핸들러 본체를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이고, 도 3은 테스트 핸들러 본체에서의 디바이스 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.FIG. 2 is a conceptual diagram of a test handler body of FIG. 1 divided according to functions on a plane, and FIG. 3 is a conceptual diagram illustrating movement of a device and a test tray in the test handler body.

테스트 핸들러 본체(100)에서는 복수의 디바이스(20)를 테스트하며, 테스트 이후 디바이스(20)를 분류하며, 테스트 전후과정에서 디바이스(20)의 이송 및 적재가 수행될 수 있다. 테스트 핸들러 본체(100)는 로딩 사이트(L), 테스트 사이트(T), 언로딩 사이트(UL)를 포함하여 기능적으로 분류될 수 있다.The test handler body 100 tests a plurality of devices 20, classifies the devices 20 after the test, and transfers and loads the devices 20 before and after the test. The test handler body 100 may be functionally classified, including a loading site (L), a test site (T), and an unloading site (UL).

로딩 사이트(L)는 유저 트레이(10)로부터 복수의 디바이스(20)를 픽업(pick up)하여 테스트 트레이(130)로 플레이스(place)할 수 있도록 구성된다. 로딩 사이트(L)에는 유저 트레이(10)로부터 테스트 트레이(130)로 디바이스(20)를 이송하기 위한 핸드(110), 로딩 셔틀(120) 및 검사를 위한 스캐너(미도시)가 구비될 수 있다.The loading site L is configured to pick up a plurality of devices 20 from the user tray 10 and place them on the test tray 130. The loading site L may be provided with a hand 110 for transferring the device 20 from the user tray 10 to the test tray 130, a loading shuttle 120, and a scanner (not shown) for inspection. .

픽업위치에는 로딩 스태커에 적재되어 있던 유저 트레이(10)가 하나씩 교대로 공급될 수 있으며, 후술할 핸드(110)가 복수의 디바이스(20)만을 유저 트레이(10)로부터 빼내어 이송을 수행한다. 적재되어 있던 모든 디바이스(20)가 이송된 경우 빈 유저 트레이(10)와 디바이스가 적재된 유저 트레이(10)가 교체되어 위치되어 지속적으로 디바이스(20)를 공급할 수 있도록 구성된다. 한편, 픽업위치에는 어느 하나의 스태커 모듈(500)에서 적재되어 있던 유저 트레이(10)를 모두 소비하였거나, 고장이 난 경우에도 지속적으로 디바이스(20)를 공급할 수 있도록 복수의 유저 트레이(10)가 노출될 수 있다. 이 경우 어느 하나의 유저 트레이(10)로부터 디바이스(20)를 이송중인 경우 다른 유저 트레이(10)는 스탠바이 상태로 대기하거나 새로운 유저 트레이(10)로 교체되도록 구성될 수 있다.The user trays 10 loaded in the loading stacker may be alternately supplied to the pickup position one by one, and the hand 110, which will be described later, removes only the plurality of devices 20 from the user tray 10 and transfers them. When all the devices 20 that were loaded are transferred, the empty user tray 10 and the user tray 10 in which the devices are loaded are replaced and positioned so that the device 20 can be continuously supplied. On the other hand, in the pickup position, a plurality of user trays 10 are provided so that the device 20 can be continuously supplied even when all the user trays 10 loaded in any one stacker module 500 have been consumed or a failure occurs. It can be exposed. In this case, when the device 20 is being transferred from one of the user trays 10, the other user tray 10 may be configured to wait in a standby state or be replaced with a new user tray 10.

핸드(110)는 복수의 디바이스(20)를 픽업하고 이송한 뒤 테스트 트레이(130) 또는 로딩 셔틀(120)에 적재할 수 있도록 구성된다. 핸드(110)는 복수로 구성되어 이송구간마다의 물류를 담당할 수 있도록 구성될 수 있다. 핸드(110)는 상측의 수평방향이동이 가능하도록 레일에 설치될 수 있으며, 하측을 향하여 어태치먼트가 바라볼 수 있도록 구성되며, 수직방향으로의 길이조절이 가능할 수 있도록 리니어 액추에이터(미도시)가 구비될 수 있다. 어태치먼트는 일 예로 복수의 진공 포트가 구비되어 복수의 디바이스(20)를 진공 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 어태치먼트는 디바이스(20)의 종류, 크기 및 형상을 고려하여 교체가 가능하도록 구성될 수 있다.The hand 110 is configured to pick up and transfer the plurality of devices 20 and then load them onto the test tray 130 or the loading shuttle 120. The hand 110 may be configured to be in charge of logistics for each transport section. The hand 110 may be installed on the rail to enable horizontal movement of the upper side, and is configured so that the attachment can be viewed toward the lower side, and a linear actuator (not shown) is provided to enable length adjustment in the vertical direction. Can be. As an example, the attachment may be provided with a plurality of vacuum ports and may be configured to vacuum-adsorb the plurality of devices 20. In addition, the attachment may be configured to be replaceable in consideration of the type, size, and shape of the device 20.

한편, 테스트 트레이(130)는 디바이스(20)의 고정 및 테스트 수행시 열변형 등을 고려하여 적재홈마다 인서트가 구비되며, 적재홈 간의 간격이 유저 트레이(10)와 다를 수 있다. 일반적으로 테스트 트레이(130)의 적재홈 간의 간격이 유저 트레이(10)보다 크게 구성된다. 따라서 핸드(110)를 이용하여 픽업위치의 유저 트레이(10)로부터 복수의 디바이스(20)를 픽업한 이후 디바이스(20)간 간격을 넓혀 테스트 트레이(130)에 적재하게 된다. 구체적으로 x-y 의 2방향으로 간격을 넓히기 위해 2번의 간격조절이 수행될 수 있으며, 이를 위해 픽업위치와 테스트 트레이(130) 사이에 로딩 셔틀(120)이 구비되며, 유저 트레이(10)로부터 로딩 셔틀(120)로 이송하면서 일방향으로의 간격을 조절하고, 로딩 셔틀(120)로부터 테스트 트레이(130)로 이송하면서 나머지 방향으로의 간격을 조절할 수 있다.On the other hand, the test tray 130 is provided with an insert for each loading groove in consideration of thermal deformation when fixing the device 20 and performing a test, and the interval between the loading grooves may be different from that of the user tray 10. In general, the spacing between the loading grooves of the test tray 130 is configured to be larger than that of the user tray 10. Therefore, after picking up the plurality of devices 20 from the user tray 10 at the pickup position by using the hand 110, the space between the devices 20 is widened and then loaded onto the test tray 130. Specifically, two interval adjustments may be performed to increase the interval in two directions of xy, and for this purpose, a loading shuttle 120 is provided between the pickup position and the test tray 130, and a loading shuttle from the user tray 10 The distance in one direction can be adjusted while being transferred to 120, and the distance in the other direction can be adjusted while transferring from the loading shuttle 120 to the test tray 130.

로딩 셔틀(120)은 유저 트레이(10)와 테스트 트레이(130) 사이에 구비되며, 복수의 디바이스(20)가 1차적으로 정렬된 상태로 적재될 수 있도록 적재 홈의 간격이 유저 트레이(10)보다 일 방향으로 넓혀진 배열로 구성될 수 있다. 또한, 로딩 셔틀(120)은 물류의 효율을 위해 유저 트레이(10), 테스트 트레이(130) 및 핸드(110)의 위치를 고려하여 위치가 제어될 수 있다.The loading shuttle 120 is provided between the user tray 10 and the test tray 130, and the space between the loading grooves is the user tray 10 so that the plurality of devices 20 can be loaded in a state that is primarily aligned. It may be configured in an array that is widened in one direction. In addition, the loading shuttle 120 may be positioned in consideration of the locations of the user tray 10, the test tray 130, and the hand 110 for efficient logistics.

스캐너(미도시)는 이송되는 디바이스(20)에 바코드가 있는 경우 이를 식별하기 위해 구비된다. 스캐너(미도시)는 핸드(110)가 디바이스(20)를 픽업하여 이송하는 경로 상에서 바코드를 인식할 수 있도록 구성될 수 있다. 스캐너는 디바이스(20)의 형상, 크기 및 종류에 따라 바코드의 인식이 용이할 수 있도록 다양한 위치에 구비될 수 있다.A scanner (not shown) is provided to identify barcodes if they are present on the device 20 to be transferred. The scanner (not shown) may be configured to recognize a barcode on a path through which the hand 110 picks up and transfers the device 20. The scanner may be provided in various positions to facilitate the recognition of barcodes according to the shape, size and type of the device 20.

플레이스 위치에서는 비어있는 테스트 트레이(130)가 공급되며, 디바이스(20)가 이송되어 적재가 이루어진다. 플레이스 위치에서 디바이스(20)의 적재가 완료되면 이후 테스트 사이트(T)로 테스트 트레이(130)를 이송하며, 비어있는 새로운 테스트 트레이(130)를 공급받을 수 있도록 구성된다.In the place position, an empty test tray 130 is supplied, and the device 20 is transferred and stacked. When loading of the device 20 is completed at the place position, the test tray 130 is transferred to the test site T afterwards, and a new empty test tray 130 is supplied.

한편, 도시되지는 않았으나, 플레이스 위치에서는 테스트 트레이(130)에 디바이스(20)가 안착된 이후 디바이스(20)의 이탈을 방지할 수 있도록 구성되는 마스크 및 프리사이저(preciser)가 구비될 수 있다. 전술한 바와 같이, 테스트 트레이(130)에는 각 적재홈마다 인서트가 구비되며, 각각의 인서트에는 디바이스(20)의 이탈을 방지할 수 있는 걸림부가 구비되어 있다. 각각의 걸림부의 기본위치는 디바이스(20)의 이탈을 방지하는 위치로 설정된다.Meanwhile, although not shown, a mask and a preciser configured to prevent separation of the device 20 after the device 20 is seated on the test tray 130 may be provided at the place position. . As described above, the test tray 130 is provided with an insert for each loading groove, and each insert is provided with a locking portion capable of preventing the device 20 from being separated. The basic position of each of the locking portions is set to a position that prevents the device 20 from being separated.

테스트 트레이(130)에서 디바이스(20)의 적재는 프리사이저로 인서트를 가압한 상태에서 마스크로 인서트의 걸림부를 확장하고 핸드(110)가 디바이스(20)를 적재홈으로 이송하여 이루어진다.The loading of the device 20 in the test tray 130 is performed by expanding the engaging portion of the insert with a mask while pressing the insert with a presizer, and the hand 110 transferring the device 20 to the loading groove.

마스크는 테스트 트레이(130)와 대응되는 형상으로 구성되며, 테스트 트레이(130)에 밀착되었을 때 각각의 인서트의 걸림부를 확장시킬 수 있도록 복수의 돌출부가 구비된다.The mask is configured in a shape corresponding to the test tray 130, and a plurality of protrusions are provided so as to expand the locking portions of each insert when in close contact with the test tray 130.

프리사이저는 전술한 바와 같이 테스트 트레이(130)에 구비된 다소 유격이 있는 상태의 인서트를 일시적으로 고정하기 위해 구성된다. 프리사이저에는 각각의 인서트의 위치에 대응하는 복수의 가압핀이 구비되며, 프리사이저가 테스트 트레이(130)에 밀착되면서 인서트를 가압하여 테스트 트레이(130)와 일시적으로 고정시킬 수 있게 된다. 따라서 디바이스(20)를 인서트에 안착시킬 때 위치 오차를 최소화할 수 있게 된다.As described above, the presizer is configured to temporarily fix the insert provided in the test tray 130 in a somewhat spaced state. The presizer is provided with a plurality of pressing pins corresponding to the position of each insert, and the presizer is in close contact with the test tray 130 to press the insert to temporarily fix it with the test tray 130. Therefore, it is possible to minimize the position error when the device 20 is seated on the insert.

다만, 도시되는 않았으나 마스크와 프리사이저를 독립적으로 승강시키기 위한 승강부가 추가로 구비될 수 있다.However, although not shown, an elevating unit for independently elevating the mask and the presizer may be additionally provided.

테스트 사이트(T)는 테스트 트레이(130)에 적재된 복수의 디바이스(20)를 테스트 트레이(130) 단위로 시험을 수행하며, 시험결과를 전송할 수 있도록 구성된다. 테스트 챔버(160)에서는 일 예로 디바이스(20)를 -40℃ 내지 130℃의 온도로 변화시켜 기능을 점검하는 열부하 테스트가 진행될 수 있다.The test site T is configured to perform a test on a plurality of devices 20 loaded on the test tray 130 in units of the test tray 130 and transmit the test results. In the test chamber 160, for example, a thermal load test may be performed in which the device 20 is changed to a temperature of -40°C to 130°C to check the function.

테스트 사이트(T)에는 테스트 챔버(160)와 테스트 챔버(160) 전후에 구비되는 버퍼 챔버(150, 170)가 구비될 수 있다. 각 버퍼 챔버(150, 170)는 복수의 테스트 트레이(130)가 적재될 수 있도록 구성되며, 열부하 테스트의 수행 전후에 예열 또는 후열처리가 이루어질 수 있도록 구성될 수 있다.A test chamber 160 and buffer chambers 150 and 170 provided before and after the test chamber 160 may be provided at the test site T. Each of the buffer chambers 150 and 170 may be configured to be loaded with a plurality of test trays 130, and may be configured to perform preheating or post-heat treatment before and after performing the thermal load test.

테스트 사이트(T)에서는 테스트 트레이(130)를 직립으로 세운 상태에서 테스트의 이송 및 테스트가 수행되도록 구성될 수 있어 전체적인 장비의 크기를 감소시킬 수 있다. 한편, 구성이 상세히 도시되지 않았으나, 버퍼 챔버(150, 170)의 전후에는 테스트 트레이(130)를 직립 상태로 자세를 전환시키는 반전기(140)가 구비될 수 있다In the test site T, the test tray 130 may be configured to be transported and tested while the test tray 130 is upright, so that the overall size of the equipment may be reduced. Meanwhile, although the configuration is not shown in detail, an inverter 140 may be provided before and after the buffer chambers 150 and 170 to change the posture of the test tray 130 to an upright state.

언로딩 사이트(UL)는 테스트 사이트(T)로부터 이송받는 테스트 트레이(130)로부터 디바이스(20)를 테스트 결과에 따라 분류하고 이송하여 적재할 수 있도록 구성된다. 언로딩 사이트(UL)는 로딩 사이트(L)의 구성과 유사한 요소들이 구비될 수 있으며, 로딩 사이트(L)에서의 디바이스(20)의 이송과 반대순서로 이루어질 수 있다.The unloading site UL is configured to sort, transport, and load the device 20 according to the test result from the test tray 130 transferred from the test site T. The unloading site UL may be provided with elements similar to the configuration of the loading site L, and may be performed in the reverse order of the transfer of the device 20 at the loading site L.

다만, 언로딩 사이트(UL)에서는 테스트 트레이(130)로부터 등급에 따라 일시적으로 모아둘 수 있도록 복수의 소팅 셔틀(170)이 구비될 수 있다. 물류의 효율을 향상시키기 위해 소팅 셔틀(미도시)에 동일한 등급의 디바이스(20)가 소정개수로 적재된 경우 복수 개를 동시에 픽업하여 유저 트레이(10)로 이송시킬 수 있도록 제어될 수 있다. 또한, 도시되지는 않았으나, 전술한 구성요소들의 구동을 제어하는 제어부가 별도로 구비될 수 있다.However, in the unloading site (UL), a plurality of sorting shuttles 170 may be provided to temporarily collect from the test tray 130 according to grades. In order to improve the efficiency of distribution, when a predetermined number of devices 20 of the same grade are loaded in a sorting shuttle (not shown), a plurality of devices may be simultaneously picked up and transferred to the user tray 10. Further, although not shown, a control unit for controlling driving of the above-described components may be separately provided.

이하에서는 제1 버퍼 챔버(150)에 대해 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the first buffer chamber 150 will be described in more detail.

도 4는 도 3의 AA선에 따른 단면을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 5는 도 3의 BB선에 따른 단면을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 버퍼 챔버를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 버퍼 챔버의 외측면의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.4 is a view schematically showing a cross section taken along line AA of FIG. 3, FIG. 5 is a view schematically showing a cross section taken along line BB of FIG. 3, and FIG. 6 is a first embodiment according to an embodiment of the present invention. 1 is a plan view schematically showing a buffer chamber, and FIG. 7 is a diagram schematically showing a configuration of an outer surface of a first buffer chamber according to an embodiment of the present invention.

도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 버퍼 챔버(150)는 테스트 챔버(160) 측으로 개방된 제1 버퍼 하우징(1500)을 포함한다. 제1 버퍼 하우징(1500)은 제1 버퍼 공간을 형성하며, 제1 버퍼 공간 내에는 한 쌍의 하부 스크류(1510, 1520)와 3개의 측부 스크류(1530, 1540, 1550)가 구비된다. 제1 버퍼 공간과 테스트 챔버의 테스트 공간이 연통되도록, 제1 버퍼 하우징(1500)은 테스트 챔버의 하우징(미도시)과 연결되어 구성될 수 있다. 제1 버퍼 하우징(1500)은 테스트 챔버의 하우징 및 제2 버퍼 챔버의 하우징(1700, 도 10 참고)은 서로 연결되어, 제1 버퍼 공간, 테스트 챔버의 테스트 공간 및 제2 버퍼 챔버(170)의 제2 버퍼 공간이 서로 연결된 상태로 밀폐되도록 구성될 수 있다(도 11 참고).4 to 7, the first buffer chamber 150 includes a first buffer housing 1500 that is open toward the test chamber 160. The first buffer housing 1500 forms a first buffer space, and a pair of lower screws 1510 and 1520 and three side screws 1530, 1540 and 1550 are provided in the first buffer space. The first buffer housing 1500 may be configured to be connected to a housing (not shown) of the test chamber so that the first buffer space and the test space of the test chamber are in communication. In the first buffer housing 1500, the housing of the test chamber and the housing of the second buffer chamber 1700 (refer to FIG. 10) are connected to each other, so that the first buffer space, the test space of the test chamber, and the second buffer chamber 170 are The second buffer space may be configured to be sealed while being connected to each other (see FIG. 11).

도 6에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 하부 스크류(1510, 1520)는 제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)를 포함하며, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 버퍼 공간의 하부 영역에 구비된다. 제1 하부 스크류(1510) 및 제2 하부 스크류(1520)는 제1 버퍼 챔버(150) 내로 반입된 테스트 트레이(130)의 하부를 지지한다(도 8 참고).As shown in FIG. 6, a pair of lower screws 1510 and 1520 includes a first lower screw 1510 and a second lower screw 1520, and as shown in FIGS. 4 and 5, 1 It is provided in the lower area of the buffer space. The first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 support the lower portion of the test tray 130 carried into the first buffer chamber 150 (see FIG. 8 ).

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 하부 스크류(1510)는 회전 샤프트(1511), 나선부(1513), 나선홈(1514) 및 베어링 지지체(1512)를 포함한다.As shown in FIG. 4, the first lower screw 1510 includes a rotating shaft 1511, a spiral portion 1513, a spiral groove 1514, and a bearing support 1512.

회전 샤프트(1511)는 제1 하부 스크류(1510)의 회전 중심을 형성하며, 일측과 타측은 회전 가능하게 지지된다. 도 4에는 제1 버퍼 하우징(1500)의 한쪽 벽이 제1 하부 스크류(1510)의 일측을 회전 가능하게 지지하는 제1 지지부가 되고, 제1 버퍼 하우징(1500)의 맞은 편 벽이 제1 하부 스크류(1510)의 타측을 회전 가능하게 지지하는 제2 지지부가 되는 구성을 도시하였으나, 실시예에 따라 제1 지지부 및/또는 제2 지지부는 제1 버퍼 챔버(150)의 내부 또는 외부에 구비된 별도의 구조물로 구성될 수도 있다. 회전 샤프트(1511)의 원활한 회전을 위해, 제1 지지부와 회전 샤프트(1511) 사이, 제2 지지부와 회전 샤프트(1511) 사이에는 볼 베어링 등에 개재될 수 있다.The rotation shaft 1511 forms a rotation center of the first lower screw 1510, and one side and the other side are rotatably supported. In FIG. 4, one wall of the first buffer housing 1500 becomes a first support portion rotatably supporting one side of the first lower screw 1510, and the opposite wall of the first buffer housing 1500 is a first lower portion. Although a configuration to be a second support portion rotatably supporting the other side of the screw 1510 is shown, the first support portion and/or the second support portion is provided inside or outside the first buffer chamber 150. It may be configured as a separate structure. For smooth rotation of the rotating shaft 1511, a ball bearing or the like may be interposed between the first support portion and the rotary shaft 1511, and between the second support portion and the rotary shaft 1511.

나선부(1513)는 일정한 피치를 형성하는 나선형 구조를 형성하도록 대략 반경 방향으로 회전 샤프트(1511)로부터 돌출 형성된다. 나선부(1513)들 사이의 공간인 나선홈(1514)은 각각 테스트 트레이(130)의 하부를 수용하는 공간이 된다(도 8 참고).The spiral portion 1513 is formed to protrude from the rotation shaft 1511 in an approximately radial direction to form a spiral structure forming a constant pitch. The spiral grooves 1514, which are spaces between the spiral portions 1513, become spaces for accommodating the lower portions of the test tray 130, respectively (see FIG. 8).

베어링 지지체(1512)들은 나선홈(1514)을 따라 회전 샤프트(1511) 상에 노출되도록 형성된다. 베어링 지지체(1512)들은 회전 샤프트(1511)에 회전 가능하게 설치된 베어링 및/또는 롤러일 수 있다. 베어링 지지체(1512)들은 나선홈(1514) 내로 수용된 테스트 트레이(130)를 지지하여, 테스트 트레이(130)의 하단과 회전 샤프트(1511)의 직접적인 접촉을 방지한다. 동시에, 테스트 트레이(130)의 하단과 베어링 지지체(1512)는 점 접촉 및/또는 면 접촉을 하게 되므로, 제1 하부 스크류(1510)가 회전함에 따라 테스트 트레이(130)가 나선홈(1514)을 타고 회전 샤프트(1511)의 길이 방향을 따라 이송되는 과정에서, 테스트 트레이(130)는 나선홈(1514)을 따라 잘 미끄러지며 이송될 수 있다.The bearing supports 1512 are formed to be exposed on the rotating shaft 1511 along the spiral groove 1514. The bearing supports 1512 may be bearings and/or rollers rotatably installed on the rotating shaft 1511. The bearing supports 1512 support the test tray 130 accommodated in the spiral groove 1514 to prevent direct contact between the lower end of the test tray 130 and the rotating shaft 1511. At the same time, since the lower end of the test tray 130 and the bearing support 1512 are in point contact and/or surface contact, the test tray 130 makes the spiral groove 1514 as the first lower screw 1510 rotates. In the process of being transported along the longitudinal direction of the ride rotation shaft 1511, the test tray 130 may slide well along the spiral groove 1514 and may be transported.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 회전 샤프트(1511)의 타측은 제1 버퍼 하우징(1500)을 관통하여 적어도 일부가 제1 버퍼 챔버(150)의 외부로 노출될 수 있다. 그리고 제1 회전 샤프트(1511)의 타단은 구동 모터(1501)의 출력축과 결합될 수 있다. 또는, 실시예에 따라, 제1 회전 샤프트(1511)의 타단이 구동 모터(1501)와 직접 연결되지 않고, 구동 모터(1501)의 회전력을 전달하는 구동 전달 기구를 통해 구동 모터(1501)와 제1 회전 샤프트(1511)의 타단이 연결되도록 구성될 수도 있다.As shown in FIG. 4, the other side of the first rotation shaft 1511 may pass through the first buffer housing 1500 so that at least a portion of the first rotation shaft 1511 may be exposed to the outside of the first buffer chamber 150. In addition, the other end of the first rotation shaft 1511 may be coupled to the output shaft of the drive motor 1501. Alternatively, according to the embodiment, the other end of the first rotation shaft 1511 is not directly connected to the drive motor 1501, but the drive motor 1501 and the second end through a drive transmission mechanism that transmits the rotational force of the drive motor 1501. One may be configured to connect the other end of the shaft 1511.

제1 버퍼 챔버(150)의 외부로 노출된 제1 회전 샤프트(1511)의 타측에는 구동 폴리(1515)가 구비된다. 구동 폴리(1515)는 제1 회전 샤프트(1511)와 일체로 회전하도록 설치된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 구동 폴리(1515)는 벨트(1504)에 의해 후술하는 종동 폴리(1525, 1535, 1544, 1554)와 연결되어, 구동 모터(1501)에 의해 회전하는 제1 회전 샤프트(1511)의 회전력을 종동 폴리(1525, 1535, 1544, 1554)로 전달한다.A driving pulley 1515 is provided on the other side of the first rotating shaft 1511 exposed to the outside of the first buffer chamber 150. The driving pulley 1515 is installed to rotate integrally with the first rotation shaft 1511. As shown in FIG. 7, the driving pulley 1515 is connected to the driven pulleys 1525, 1535, 1544, 1554 to be described later by a belt 1504, and a first rotation shaft rotated by the drive motor 1501. The rotational force of (1511) is transmitted to the driven pulleys (1525, 1535, 1544, 1554).

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 하부 스크류(1520)는 제1 하부 스크류(1510)와 나란하게 구비된다. 테스트 트레이(130)의 안정적인 이송을 위해, 제2 하부 스크류(1520)는 제1 하부 스크류(1510)와 동일한 수평면 상에 위치하는 것이 바람직하다.5 and 6, the second lower screw 1520 is provided in parallel with the first lower screw 1510. For stable transfer of the test tray 130, the second lower screw 1520 is preferably positioned on the same horizontal surface as the first lower screw 1510.

제2 하부 스크류(1520) 역시 제1 하부 스크류(1510)와 유사하게 회전 샤프트(1521), 나선부(1523), 나선홈(1524) 및 베어링 지지체(1522)를 포함한다. 제2 하부 스크류(1520)의 회전 샤프트(1521), 나선부(1523), 나선홈(1524) 및 베어링 지지체(1522)의 실질적 구성 및 기능은 전술한 제1 하부 스크류(1510)의 회전 샤프트(1511), 나선부(1513), 나선홈(1514) 및 베어링 지지체(1512)와 동일하므로 이에 대한 구체적은 설명은 생략한다.Similar to the first lower screw 1510, the second lower screw 1520 also includes a rotating shaft 1521, a helical portion 1523, a helical groove 1524, and a bearing support 1522. The actual configuration and function of the rotation shaft 1521, the spiral portion 1523, the spiral groove 1524, and the bearing support 1522 of the second lower screw 1520 are described in detail by the rotation shaft of the first lower screw 1510 ( 1511), the spiral portion 1513, the spiral groove 1514, and the bearing support 1512 are the same, so a detailed description thereof will be omitted.

다만, 제2 하부 스크류(1520)는 제1 버퍼 챔버(150)의 외부로 노출된 회전 샤프트(1521)의 타단에 회전 샤프트(1521)와 일체로 회전하는 종동 폴리(1525)가 구비된다. 종동 폴리(1525)는 벨트(1504)를 통해 구동 폴리(1515)로부터 전달되는 힘을 전달받아 회전하고, 종동 폴리(1525)가 회전함에 따라 회전 샤프트(1512)가 회전하게 된다.However, the second lower screw 1520 is provided with a driven pulley 1525 integrally rotating with the rotating shaft 1521 at the other end of the rotating shaft 1521 exposed to the outside of the first buffer chamber 150. The driven pulley 1525 rotates by receiving a force transmitted from the driving pulley 1515 through the belt 1504, and the rotation shaft 1512 rotates as the driven pulley 1525 rotates.

제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)는 서로 회전 방향이 동일하게 구성될 수도 있고, 서로 회전 방향이 반대가 되도록 구성될 수도 있다. 제2 하부 스크류(1520) 회전 방향은 구동 폴리(1515), 종동 폴리(1525) 및 벨트(1504)의 상대적인 배치에 의해 결정될 수 있다.The first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 may be configured to have the same rotation direction, or may be configured to have opposite rotation directions. The rotation direction of the second lower screw 1520 may be determined by a relative arrangement of the driving pulley 1515, the driven pulley 1525, and the belt 1504.

제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)가 서로 회전 방향이 동일하게 구성되는 경우에는 제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)의 나선부(1513, 1523)는 동일한 방향의 나선을 갖도록 형성되고, 제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)가 서로 회전 방향이 반대되도록 구성되는 경우에는 제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)의 나선부(1513, 1523)는 서로 다른 방향의 나선을 갖도록 형성된다.When the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 are configured in the same rotation direction, the spiral portions 1513 and 1523 of the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 are When the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 are formed to have a helix in the same direction, and the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 are configured to have opposite rotation directions, the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 The spiral portions 1513 and 1523 of are formed to have spirals in different directions.

제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)가 서로 회전 방향이 동일하게 구성되는 경우에는, 테스트 트레이(130)가 전진하는 과정에서, 제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)의 회전 방향을 따라 한쪽으로 편향된다. 즉, 구동 모터(1501)가 제1 하부 스크류(1510)를 시계 방향으로 회전시키는 경우, 테스트 트레이(130)는 오른쪽으로 치우치며 전진하게 된다.When the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 are configured to have the same rotational direction, the first lower screw 1510 and the second lower screw are It is deflected to one side along the direction of rotation of (1520). That is, when the driving motor 1501 rotates the first lower screw 1510 in a clockwise direction, the test tray 130 is shifted to the right and moves forward.

제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)가 서로 회전 방향이 반대되도록 구성되는 경우에는, 테스트 트레이(130)가 전진하는 과정에서, 테스트 트레이(130)가 어느 한쪽(오른쪽 또는 왼쪽)으로 편향되는 경향성을 보이지 않는다.In the case where the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 are configured to have opposite rotation directions, the test tray 130 may be placed on either side (right or left) in the process of advancing the test tray 130. ) Does not show a tendency to be biased.

도 5에 도시된 바와 같이, 제1 버퍼 챔버(150)는 제2 하부 스크류(1520)의 타단에 인접하게 설치되는 결로 방지 부재(1502)를 더 포함한다. 제1 버퍼 챔버(150)의 내부가 영하의 온도 분위기로 형성되는 경우, 제1 버퍼 챔버(150)의 외부로 노출된 제2 하부 스크류(1520)의 타측에 결로가 형성될 수 있는데, 결로 방지 부재(1502)는 제2 하부 스크류(1520)의 타측에 결로가 형성되는 것을 방지한다.As shown in FIG. 5, the first buffer chamber 150 further includes a condensation preventing member 1502 installed adjacent to the other end of the second lower screw 1520. When the inside of the first buffer chamber 150 is formed in a sub-zero temperature atmosphere, condensation may be formed on the other side of the second lower screw 1520 exposed to the outside of the first buffer chamber 150, which prevents condensation. The member 1502 prevents condensation from forming on the other side of the second lower screw 1520.

이를 위해 결로 방지 부재(1502)는 제2 하부 스크류(1520)의 타단 또는 타측을 향해 송풍하는 팬을 포함하거나 제2 하부 스크류(1520)의 타단 또는 타측을 가열하는 히터를 포함할 수 있다.To this end, the condensation preventing member 1502 may include a fan that blows air toward the other end or the other side of the second lower screw 1520 or may include a heater that heats the other end or the other side of the second lower screw 1520.

도 5에 도시된 바와 같이, 결로 방지 부재(1502)는 지지 부재(1503)를 이용해 제1 버퍼 챔버(150)의 외측 일면 상에 고정 설치될 수 있다.As shown in FIG. 5, the condensation preventing member 1502 may be fixedly installed on the outer side of the first buffer chamber 150 using the support member 1503.

한편, 측부 스크류(1530, 1540, 1550)는 제1 측부 스크류(1530), 제2 측부 스크류(1540) 및 제3 측부 스크류(1550)를 포함할 수 있다. 측부 스크류(1530, 1540, 1550)는 제1 및 제2 하부 스크류(1510, 1520)를 따라 이송되는 테스트 트레이(130)가 좌측 또는 우측으로 이탈되지 않고 반입 위치에서 반송 위치로 똑바로 이송되도록 안내하는 기능을 수행한다. 이를 위해 제1 측부 스크류(1530), 제2 측부 스크류(1540) 및 제3 측부 스크류(1550)는 제1 하부 스크류(1510) 및 제2 하부 스크류(1520)와 나란하게 형성된다.Meanwhile, the side screws 1530, 1540, and 1550 may include a first side screw 1530, a second side screw 1540, and a third side screw 1550. The side screws (1530, 1540, 1550) guide the test tray 130 conveyed along the first and second lower screws (1510, 1520) to be conveyed straight from the carrying position to the conveying position without deviating to the left or right. Functions. To this end, the first side screw 1530, the second side screw 1540, and the third side screw 1550 are formed in parallel with the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520.

도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 측부 스크류(1530) 역시 제1 하부 스크류(1510)와 유사하게 회전 샤프트(1531), 나선부(1533), 나선홈(1534) 및 베어링 지지체(1532)를 포함할 수 있다. 제1 측부 스크류(1530)의 회전 샤프트(1531), 나선부(1533), 나선홈(1534) 및 베어링 지지체(1532)의 실질적 구성 및 기능은 전술한 제1 하부 스크류(1510)의 회전 샤프트(1511), 나선부(1513), 나선홈(1514) 및 베어링 지지체(1512)과 동일하므로 이에 대한 구체적은 설명은 생략한다.4 and 6, the first side screw 1530 is also similar to the first lower screw 1510, the rotating shaft 1531, the helix 1533, the helix 1534, and the bearing support ( 1532) may be included. The actual configuration and function of the rotation shaft 1531, the spiral portion 1533, the spiral groove 1534, and the bearing support 1532 of the first side screw 1530 are the rotation shaft of the first lower screw 1510 ( 1511), the spiral portion 1513, the spiral groove 1514, and the bearing support 1512 are the same, so a detailed description thereof will be omitted.

그리고 제1 버퍼 챔버(150)의 외부로 노출된 제1 측부 스크류(1530)의 회전 샤프트(1531)의 타단에는 회전 샤프트(1531)와 일체로 회전하는 종동 폴리(1535)가 구비된다. 종동 폴리(1535)는 벨트(1504)를 통해 구동 폴리(1515)로부터 전달되는 힘을 전달받아 회전하고, 종동 폴리(1535)가 회전함에 따라 회전 샤프트(1531)가 회전하게 된다.In addition, a driven pulley 1535 that rotates integrally with the rotation shaft 1531 is provided at the other end of the rotation shaft 1531 of the first side screw 1530 exposed to the outside of the first buffer chamber 150. The driven pulley 1535 rotates by receiving a force transmitted from the driving pulley 1515 through the belt 1504, and the rotation shaft 1531 rotates as the driven pulley 1535 rotates.

제2 하부 스크류(1520)에 대한 설명에서 설명한 바와 같이, 제1 측부 스크류(1530) 역시 제1 하부 스크류(1510) 및/또는 제2 하부 스크류(1520)와 회전 방향이 동일하거나 반대가 되도록 구성될 수 있으며, 제1 측부 스크류(1530)의 회전 방향은 구동 폴리(1515), 종동 폴리(1535) 및 벨트(1504)의 상대적인 배치에 의해 결정될 수 있다. 그리고 의도된 제1 측부 스크류(1530)의 회전 방향에 따라 테스트 트레이(130)가 반입 위치에서 반송 위치로 이송될 수 있도록 나선부(1533)의 나선 방향이 결정될 수 있다.As described in the description of the second lower screw 1520, the first side screw 1530 is also configured such that the first lower screw 1510 and/or the second lower screw 1520 has the same or opposite rotational direction. The rotation direction of the first side screw 1530 may be determined by the relative arrangement of the driving pulley 1515, the driven pulley 1535, and the belt 1504. In addition, the spiral direction of the spiral portion 1533 may be determined so that the test tray 130 may be transferred from the carrying position to the carrying position according to the intended rotation direction of the first side screw 1530.

본 실시예에서는, 구동 모터(1501)가 제1 하부 스크류(1510)를 시계 방향으로 회전시키고, 제2 하부 스크류(1520)가 제1 하부 스크류(1510)와 동일한 방향으로 회전하는 예를 기준으로 한다. 따라서, 테스트 트레이(130)는 반입 위치에서 반송 위치로 이동하며 우측 방향으로 편향되게 된다. 제1 측부 스크류(1530)는 테스트 트레이(130)의 측면 중 테스트 트레이(130)가 편향되는 측을 지지하도록 구비된다.In this embodiment, based on an example in which the drive motor 1501 rotates the first lower screw 1510 clockwise and the second lower screw 1520 rotates in the same direction as the first lower screw 1510 do. Accordingly, the test tray 130 moves from the carrying position to the carrying position and is deflected in the right direction. The first side screw 1530 is provided to support the side of the test tray 130 to which the test tray 130 is deflected.

테스트 트레이(130)는 반입 위치에서 반송 위치로 이동하는 과정에서 제1 측부 스크류(1530) 측으로 편향되므로(쏠리게 되므로), 테스트 트레이(130)의 측부는 제1 측부 스크류(1530) 측으로 가압된다. 그러나 제1 측부 스크류(1530)에는 베어링 지지체(1532)들을 구비되므로, 나선홈(1534) 내로 수용된 테스트 트레이(130)의 측부와 회전 샤프트(1531)의 직접적인 접촉을 방지하고, 테스트 트레이(130)가 나선홈(1534) 내에서 잘 미끄러지며 이송되도록 한다.Since the test tray 130 is biased toward the first side screw 1530 (because it is pulled) in the process of moving from the carrying position to the conveying position, the side of the test tray 130 is pressed toward the first side screw 1530. However, since the first side screw 1530 is provided with bearing supports 1532, direct contact between the side of the test tray 130 and the rotating shaft 1531 accommodated in the spiral groove 1534 is prevented, and the test tray 130 Slides well within the spiral groove (1534) and is transported.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 측부 스크류(1530)의 타단 측에도 결로 방지 부재(1502)가 설치될 수 있다. 결로 방지 부재(1502)에 대한 구체적인 내용은 전술하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.In addition, as illustrated in FIG. 4, a condensation preventing member 1502 may be installed on the other end of the first side screw 1530. Since detailed information on the condensation preventing member 1502 has been described above, a description thereof will be omitted.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 측부 스크류(1530)의 일단은 제1 버퍼 하우징(1500)에 회전 가능하게 지지되지 않고, 별도의 제3 지지부(1536, 1537)에 의해 지지된다. 제3 지지부(1536, 1537)는 제1 버퍼 하우징(1500)으로부터 제1 버퍼 공간으로 연장되는 연장 지지부(1537)와 연장 지지부(1537)의 단부에 구비되어 제1 측부 스크류(1530)의 일단과 회전 가능하게 결합되는 단부 지지부(1536)를 포함한다.As shown in FIG. 4, one end of the first side screw 1530 is not rotatably supported by the first buffer housing 1500, but is supported by separate third support parts 1536 and 1537. The third support portions 1536 and 1537 are provided at ends of the extension support portion 1537 and the extension support portion 1537 extending from the first buffer housing 1500 to the first buffer space, and are provided at one end of the first side screw 1530 and It includes an end support (1536) that is rotatably coupled.

단부 지지부(1536)는 제1 하부 스크류(1510)의 일측을 회전 가능하게 지지하는 제1 지지부(도 4에서는 제1 버퍼 하우징(1500)의 한쪽 벽)와 제1 하부 스크류(1510)의 타측을 회전 가능하게 지지하는 제2 지지부(도 4에서는 제1 버퍼 하우징(1500)의 맞은편 벽) 사이에 위치한다.The end support 1536 includes a first support (one wall of the first buffer housing 1500 in FIG. 4) and the other side of the first lower screw 1510 rotatably supporting one side of the first lower screw 1510. It is located between the second support portion rotatably supported (in FIG. 4, the opposite wall of the first buffer housing 1500).

따라서, 제1 및 제2 하부 스크류(1510, 1520)의 일단과 제1 측부 스크류(1530)의 일단은 오프셋을 형성하게 된다. 즉, 제1 및 제2 하부 스크류(1510, 1520)의 일단과 제1 측부 스크류(1530)의 일단은 수평면 상에서 간극(1560)을 형성하게 된다.Accordingly, one end of the first and second lower screws 1510 and 1520 and one end of the first side screw 1530 form an offset. That is, one end of the first and second lower screws 1510 and 1520 and one end of the first side screw 1530 form a gap 1560 on a horizontal plane.

제1 및 제2 하부 스크류(1510, 1520)의 일단과 제1 측부 스크류(1530)의 일단 사이에 형성된 간극(1560)은 테스트 트레이(130)의 반송 위치와 대응하며, 테스트 트레이(130)는 간극(1560)을 통해 제1 측부 스크류(1530)를 가로질러 테스트 챔버(160)로 이동하게 된다. 따라서, 제1 측부 스크류(1530)는 테스트 챔버(160)에 인접하는 쪽에 설치된다.The gap 1560 formed between one end of the first and second lower screws 1510 and 1520 and one end of the first side screw 1530 corresponds to the transport position of the test tray 130, and the test tray 130 is It is moved to the test chamber 160 across the first side screw 1530 through the gap 1560. Accordingly, the first side screw 1530 is installed adjacent to the test chamber 160.

한편, 제2 측부 스크류(1540)는 제1 측부 스크류(1530)의 맞은편에 구비된다.Meanwhile, the second side screw 1540 is provided on the opposite side of the first side screw 1530.

제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)는 대략 직사각형의 외형을 갖는 테스트 트레이(130)의 하부를 지지하고, 제1 측부 스크류(1530)와 제2 측부 스크류(1540)는 테스트 트레이(130)의 측부를 지지하여야 하므로, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 측부 스크류(1530)와 제2 측부 스크류(1540) 사이의 간격은 제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)의 간격 보다 넓게 형성될 수 있다.The first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 support the lower part of the test tray 130 having a substantially rectangular shape, and the first side screw 1530 and the second side screw 1540 are tested. Since the side portion of the tray 130 must be supported, as shown in FIG. 6, the distance between the first side screw 1530 and the second side screw 1540 is the first lower screw 1510 and the second lower screw. It may be formed wider than the spacing of (1520).

제2 측부 스크류(1540) 역시 제1 하부 스크류(1510)와 유사하게 회전 샤프트(1541), 나선부(1542) 및 나선홈(1543)을 포함할 수 있다. 이들의 실질적 구성 및 기능은 전술한 제1 하부 스크류(1510)의 회전 샤프트(1511), 나선부(1513), 나선홈(1514) 및 베어링 지지체(1512)와 동일하므로 이에 대한 구체적은 설명은 생략한다.Similar to the first lower screw 1510, the second side screw 1540 may also include a rotation shaft 1541, a spiral portion 1542, and a spiral groove 1543. The actual configuration and function thereof are the same as the rotation shaft 1511, the spiral portion 1513, the spiral groove 1514 and the bearing support 1512 of the first lower screw 1510 described above, so a detailed description thereof will be omitted. do.

다만, 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 측부 스크류(1540)는 베어링 지지체를 포함하지 않을 수 있다.However, as shown in FIG. 5, the second side screw 1540 may not include a bearing support.

전술한 바와 같이, 제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)가 동일한 방향으로 회전하는 실시예에서는, 테스트 트레이(130)가 제1 측부 스크류(1530) 측으로 편향되므로, 제2 측부 스크류(1540)의 회전 샤프트(1541)에 테스트 트레이(130)의 측부가 가압되지 않는다.As described above, in the embodiment in which the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 rotate in the same direction, the test tray 130 is deflected toward the first side screw 1530, so that the second side The side of the test tray 130 is not pressed against the rotating shaft 1541 of the screw 1540.

따라서, 제2 측부 스크류(1540)에는 베어링 지지체가 구비되지 않을 수도 있다.Therefore, the bearing support may not be provided in the second side screw 1540.

제1 측부 스크류(1530)와 제2 측부 스크류(1540) 사이의 간격은, 테스트 트레이(130)가 제1 측부 스크류(1530) 측으로 편향된 상태에서 테스트 트레이(130)의 측부의 일부가 제2 측부 스크류(1540)의 나선홈(1543)에 수용된 상태에서 제2 측부 스크류(1540)의 회전 샤프트(1541)와 테스트 트레이(130)의 측면이 맞닿지 않게 하는 거리로 설정되는 것이 바람직하다.The distance between the first side screw 1530 and the second side screw 1540 is, when the test tray 130 is deflected toward the first side screw 1530, a part of the side of the test tray 130 is the second side. It is preferable that it is set to a distance such that the rotation shaft 1541 of the second side screw 1540 and the side surface of the test tray 130 do not come into contact with each other in a state accommodated in the spiral groove 1543 of the screw 1540.

이를 위해, 제2 측부 스크류(1540)는 제1 측부 스크류(1530)에 비해 작은 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 여기서 제2 측부 스크류(1540)와 제1 측부 스크류(1530)의 직경은 회전 샤프트(1531, 1541)의 직경 및/또는 나선부(1533, 1542)의 직경(나선 스크류의 골직경)을 의미할 수 있다.To this end, the second side screw 1540 may be formed to have a smaller diameter than the first side screw 1530. Here, the diameter of the second side screw 1540 and the first side screw 1530 means the diameter of the rotating shafts 1531 and 1541 and/or the diameter of the spiral portions 1533 and 1542 (bone diameter of the spiral screw). I can.

제1 하부 스크류(1510)와 제2 하부 스크류(1520)가 서로 다른 방향으로 회전하는 실시예에서는, 제2 측부 스크류(1540) 역시 복수의 베어링 지지체가 나선홈(1543)을 따라 구비될 수 있다.In an embodiment in which the first lower screw 1510 and the second lower screw 1520 rotate in different directions, the second side screw 1540 may also have a plurality of bearing supports along the spiral groove 1543. .

도 5에 도시된 바와 같이, 제1 버퍼 챔버(150)의 외부로 노출된 제2 측부 스크류(1540)의 회전 샤프트(1541)의 타단에는 회전 샤프트(1541)와 일체로 회전하는 종동 폴리(1544)가 구비된다. 종동 폴리(1544)는 벨트(1504)를 통해 구동 폴리(1515)로부터 전달되는 힘을 전달받아 회전하고, 종동 폴리(1544)가 회전함에 따라 회전 샤프트(1541)가 회전하게 된다.As shown in FIG. 5, the other end of the rotation shaft 1541 of the second side screw 1540 exposed to the outside of the first buffer chamber 150 is a driven pulley 1544 that rotates integrally with the rotation shaft 1541. ) Is provided. The driven pulley 1544 rotates by receiving a force transmitted from the driving pulley 1515 through the belt 1504, and the rotation shaft 1541 rotates as the driven pulley 1544 rotates.

제2 측부 스크류(1540) 역시 제1 하부 스크류(1510) 및/또는 제2 하부 스크류(1520)와 회전 방향이 동일하거나 반대가 되도록 구성될 수 있으며, 제2 측부 스크류(1540)의 회전 방향은 구동 폴리(1515), 종동 폴리(1544) 및 벨트(1504)의 상대적인 배치에 의해 결정될 수 있다. 그리고 의도된 제1 측부 스크류(1530)의 회전 방향에 따라 테스트 트레이(130)가 반입 위치에서 반송 위치로 이송될 수 있도록 나선부(1542)의 나선 방향이 결정될 수 있다.The second side screw 1540 may also be configured such that the rotation direction of the first lower screw 1510 and/or the second lower screw 1520 is the same or opposite, and the rotation direction of the second side screw 1540 is It may be determined by the relative placement of the drive pulley 1515, the driven pulley 1544 and the belt 1504. In addition, the spiral direction of the spiral portion 1542 may be determined so that the test tray 130 may be transferred from the carrying position to the carrying position according to the intended rotation direction of the first side screw 1530.

제2 측부 스크류(1540)의 타단 측에도 결로 방지 부재(1502)가 설치될 수 있다. 결로 방지 부재(1502)에 대한 구체적인 내용은 전술하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.The condensation preventing member 1502 may also be installed at the other end of the second side screw 1540. Since detailed information on the condensation preventing member 1502 has been described above, a description thereof will be omitted.

도 4에 도시된 바와 같이, 제3 측부 스크류(1550)는 제1 측부 스크류(1530)의 하부에 구비될 수 있다. 제3 측부 스크류(1550)는 제2 측부 스크류(1540)와 유사하게 회전 샤프트(1551), 나선부(1552) 및 나선홈(1553)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 4, the third side screw 1550 may be provided under the first side screw 1530. Similar to the second side screw 1540, the third side screw 1550 may include a rotation shaft 1551, a spiral portion 1552, and a spiral groove 1553.

제3 측부 스크류(1550)는, 테스트 트레이(130)가 제1 측부 스크류(1530)의 일단을 지나치면서 더 이상 제1 측부 스크류(1530)에 의해 일측이 지지되지 않는 순간에 테스트 트레이(130)의 일측을 지지하여, 테스트 트레이(130)가 반송 위치까지 안정적으로 이송되도록 한다.The third side screw 1550 is the test tray 130 at the moment when the test tray 130 is no longer supported by the first side screw 1530 while passing one end of the first side screw 1530 By supporting one side of, the test tray 130 is stably transferred to the transfer position.

이를 위해, 제3 측부 스크류(1550)는, 제1 측부 스크류(1530)와 달리, 일단이 제1 지지부(본 실시예에서는 제1 버퍼 챔버(150)의 한쪽 벽)에 회전 가능하게 지지된다. To this end, the third side screw 1550, unlike the first side screw 1530, has one end rotatably supported on a first support (one wall of the first buffer chamber 150 in this embodiment).

제3 측부 스크류(1550)는 테스트 트레이(130)가 제1 측부 스크류(1530) 측으로 편향된 상태에서 테스트 트레이(130)의 측부의 일부가 제3 측부 스크류(1550)의 나선홈(1553)에 수용된 상태에서 제3 측부 스크류(1550)의 회전 샤프트(1551)와 테스트 트레이(130)의 측면이 맞닿지 않도록 설치되는 것이 바람직하다. In the third side screw 1550, a part of the side of the test tray 130 is accommodated in the spiral groove 153 of the third side screw 1550 in a state in which the test tray 130 is deflected toward the first side screw 1530. In the state, it is preferable that the rotation shaft 1551 of the third side screw 1550 and the side surface of the test tray 130 do not contact each other.

이를 위해, 제3 측부 스크류(1550)는 제1 측부 스크류(1530)에 비해 작은 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 여기서 제3 측부 스크류(1550)와 제1 측부 스크류(1530)의 직경은 회전 샤프트(1531, 1551)의 직경 및/또는 나선부(1533, 1552)의 직경(나선 스크류의 골직경)을 의미할 수 있다.To this end, the third side screw 1550 may be formed to have a smaller diameter than the first side screw 1530. Here, the diameter of the third side screw 1550 and the first side screw 1530 means the diameter of the rotating shafts 1531 and 1551 and/or the diameter of the spiral portions 1533 and 1552 (bone diameter of the spiral screw). I can.

다만, 실시예에 따라, 제3 측부 스크류(1550) 역시 복수의 베어링 지지체가 나선홈(1553)을 따라 구비될 수 있다.However, according to the embodiment, the third side screw 1550 may also be provided with a plurality of bearing supports along the spiral groove 1553.

테스트 트레이(130)가 반송 위치에서 제1 측부 스크류(1530)의 일단과 제1 하부 스크류(1510)의 일단 사이의 간격(1560)을 통해 테스트 챔버(160)로 이송되도록, 도시되지는 않았지만, 제1 버퍼 챔버(150)의 내부에는 반송 위치에 위치한 테스트 트레이(130)를 상승시킬 수 있는 승강 기구가 구비될 수 있다. 이 때 승강 기구는 테스트 트레이(130)를 그 하단이 제3 측부 스크류(1550) 보다 높도록 상승시켜 테스트 챔버(160)로 이송되도록 할 수 있다.Although not shown so that the test tray 130 is transferred to the test chamber 160 through a gap 1560 between one end of the first side screw 1530 and one end of the first lower screw 1510 in the conveying position, An elevating mechanism capable of raising the test tray 130 located at the transfer position may be provided inside the first buffer chamber 150. In this case, the lifting mechanism may raise the test tray 130 so that its lower end is higher than the third side screw 1550 so that it is transferred to the test chamber 160.

제1 측부 스크류(1530)의 일단이 제1 하부 스크류(1510)의 일단과 수평 방향으로 오프셋을 형성하지 않는 경우에 비해, 본 실시예에 따른 테스트 핸들러(1)는 테스트 트레이(130)가 제1 버퍼 챔버(150)에서 테스트 챔버(160)로 이송될 때에, 테스트 트레이(130)를 상승시켜야 할 높이가 줄어들고, 그 결과 제1 버퍼 챔버(150) 및 테스트 챔버(160) 등의 높이를 보다 낮게 설계할 수 있으며, 동시에 테스트 트레이(130)의 승강 과정에서 테스트 트레이(130)가 낙하하는 등의 사고를 방지할 수 있다.Compared to the case where one end of the first side screw 1530 does not form an offset in the horizontal direction with the one end of the first lower screw 1510, the test handler 1 according to the present embodiment is provided with the test tray 130 1 When transferring from the buffer chamber 150 to the test chamber 160, the height to which the test tray 130 should be raised is reduced, and as a result, the height of the first buffer chamber 150 and the test chamber 160 is increased. It can be designed to be low, and at the same time, accidents such as the test tray 130 falling during the elevating process of the test tray 130 can be prevented.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 버퍼 챔버(150)의 외부로 노출된 제3 측부 스크류(1550)의 회전 샤프트(1551)의 타단에는 회전 샤프트(1551)와 일체로 회전하는 종동 폴리(1554)가 구비된다. 종동 폴리(1554)는 벨트(1504)를 통해 구동 폴리(1515)로부터 전달되는 힘을 전달받아 회전하고, 종동 폴리(1554)가 회전함에 따라 회전 샤프트(1551)가 회전하게 된다.As shown in FIG. 4, the other end of the rotation shaft 1551 of the third side screw 1550 exposed to the outside of the first buffer chamber 150 is a driven pulley 1554 that rotates integrally with the rotation shaft 1551. ) Is provided. The driven pulley 1554 rotates by receiving a force transmitted from the driving pulley 1515 through the belt 1504, and the rotation shaft 1551 rotates as the driven pulley 1554 rotates.

제3 측부 스크류(1550) 역시 제1 하부 스크류(1510) 및/또는 제2 하부 스크류(1520)와 회전 방향이 동일하거나 반대가 되도록 구성될 수 있으며, 제3 측부 스크류(1550)의 회전 방향은 구동 폴리(1515), 종동 폴리(1554) 및 벨트(1504)의 상대적인 배치에 의해 결정될 수 있다. 그리고 의도된 제1 측부 스크류(1530)의 회전 방향에 따라 테스트 트레이(130)가 반입 위치에서 반송 위치로 이송될 수 있도록 나선부(1552)의 나선 방향이 결정될 수 있다.The third side screw 1550 may also be configured such that the rotation direction of the first lower screw 1510 and/or the second lower screw 1520 is the same or opposite, and the rotation direction of the third side screw 1550 is It may be determined by the relative placement of the drive pulley 1515, the driven pulley 1554, and the belt 1504. And according to the intended rotation direction of the first side screw 1530, the spiral direction of the spiral portion 1552 may be determined so that the test tray 130 can be transferred from the carrying position to the carrying position.

제3 측부 스크류(1550)의 타단 측에도 결로 방지 부재(1502)가 설치될 수 있다. 결로 방지 부재(1502)에 대한 구체적인 내용은 전술하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.The condensation preventing member 1502 may be installed also at the other end of the third side screw 1550. Since detailed information on the condensation preventing member 1502 has been described above, a description thereof will be omitted.

도 7에 도시된 바와 같이, 구동 폴리(1515)와 종동 폴리(1525, 1535, 1544, 1554)는 제1 버퍼 챔버(150)의 외측으로 노출되고, 벨트(1504)는 폐루프를 형성하며 구동 폴리(1515)와 종동 폴리(1525, 1535, 1544, 1554)를 연결한다. 벨트(1504)의 장력이 일정하게 유지되도록, 구동 폴리(1515)와 종동 폴리(1525, 1535, 1544, 1554)의 사이에는 장력 유지 폴리(1505)가 구비될 수도 있다. 장력 유지 폴리(1505)는 일정한 범위 내에서 위치가 조정될 수 있도록 구성되어, 벨트(1504)의 길이가 변화하더라도 장력 유지 폴리(1505)의 위치를 조정하여 벨트(1504)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다.7, the driving pulley 1515 and the driven pulleys 1525, 1535, 1544, 1554 are exposed to the outside of the first buffer chamber 150, and the belt 1504 is driven while forming a closed loop. The poly (1515) and the driven poly (1525, 1535, 1544, 1554) are connected. A tension holding pulley 1505 may be provided between the driving pulley 1515 and the driven pulleys 1525, 1535, 1544, 1554 so that the tension of the belt 1504 is kept constant. The tension maintaining pulley 1505 is configured so that the position can be adjusted within a certain range, so that even if the length of the belt 1504 changes, the position of the tension maintaining pulley 1505 is adjusted to keep the tension of the belt 1504 constant. I can.

본 실시예에서는 구동 모터(1501) 및 구동 폴리(1515)가 제1 하부 스크류(1510)의 회전 샤프트(1511)와 직결되는 구성을 제안하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 구동 모터(1501) 및 구동 폴리(1515)는 제2 하부 스크류(1520) 또는 측부 스크류(1530, 1540, 1550) 중 어느 하나의 회전 샤프트와 직결되도록 구성될 수 있으며, 또는 구동 모터(1501) 및 구동 폴리(1515)는 어떠한 스크류(1510, 1520, 1530, 1540, 1550)와도 직결되지 않도록 구성될 수도 있다.In this embodiment, a configuration in which the drive motor 1501 and the drive pulley 1515 are directly connected to the rotating shaft 1511 of the first lower screw 1510 is proposed, but the present invention is not limited thereto, and the drive motor 1501 And the drive pulley 1515 may be configured to be directly connected to the rotation shaft of any one of the second lower screw 1520 or the side screws 1530, 1540, 1550, or the drive motor 1501 and the drive pulley 1515 May be configured not to be directly connected with any of the screws 1510, 1520, 1530, 1540, 1550.

이하에서는, 전술한 내용을 바탕으로 제1 버퍼 챔버(150) 내에서 테스트 트레이(130)가 이송되는 과정을 설명한다. 도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 버퍼 챔버 내에서 테스트 트레이가 이송되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.Hereinafter, a process in which the test tray 130 is transferred in the first buffer chamber 150 will be described based on the above description. 8 and 9 are views for explaining a process of transferring a test tray in a first buffer chamber according to an embodiment of the present invention.

도 3과 도 8에 도시된 바와 같이, 반전기(140)에 의해 직립 상태로 전환된 테스트 트레이(130, 130a, 130b, 130c)는 순차적으로 제1 버퍼 챔버(150) 내부로 진입한다.As shown in FIGS. 3 and 8, the test trays 130, 130a, 130b and 130c converted to an upright state by the inverter 140 sequentially enter the inside of the first buffer chamber 150.

도 8에서, 제1 테스트 트레이(130a)는 반입 위치에 위치한 상태를 도시한 것이다. 반입 위치는 테스트 트레이가 제1 버퍼 챔버(150) 내로 반입되어 최초로 위치하는 위치로서, 반전기(140)에 의해 직립 상태로 전환된 테스트 트레이(130a)는 제1 버퍼 챔버(150)의 상부로 진입한 이후 하강하여 하단이 제1 및 제2 하부 스크류(1510, 1520)의 나선홈(1514, 1524)에 수용되고, 동시에 베어링 지지체(1512, 1522)에 의해 지지된다. 그리고 테스트 트레이(130a)의 일측은 제1 측부 스크류(1530)와 제3 측부 스크류(1550)의 나선홈(1534, 1553)에 수용되고, 타측은 제2 측부 스크류(1540)의 나선홈(1543)에 수용된다.In FIG. 8, the first test tray 130a is shown in a state in which it is placed in the carrying position. The loading position is a position where the test tray is carried into the first buffer chamber 150 for the first time, and the test tray 130a converted to an upright state by the inverter 140 is moved to the top of the first buffer chamber 150. After entering, the lower end is accommodated in the spiral grooves 1514 and 1524 of the first and second lower screws 1510 and 1520 and is supported by the bearing supports 1512 and 1522 at the same time. And one side of the test tray (130a) is accommodated in the spiral grooves (1534, 1553) of the first side screw (1530) and the third side screw (1550), the other side is the spiral groove (1543) of the second side screw (1540). ).

제1 버퍼 챔버(150)의 상부로 진입한 제1 테스트 트레이(130a)를 하강시켜 제1 테스트 트레이(130a)의 하단이 제1 및 제2 하부 스크류(1510, 1520)의 나선홈(1514, 1524)에 수용되도록 하기 위해, 제1 버퍼 챔버(150)는 반입 위치에서 제1 버퍼 챔버(150)의 상부로 진입한 테스트 트레이를 받아 하강 및 안착시키는 승강 기구가 구비될 수 있다.The first test tray 130a, which has entered the upper part of the first buffer chamber 150, is lowered so that the lower end of the first test tray 130a is formed with a spiral groove 1514 of the first and second lower screws 1510 and 1520. In order to be accommodated in 1524), the first buffer chamber 150 may be provided with an elevating mechanism for lowering and seating the test tray that has entered the upper portion of the first buffer chamber 150 at the carrying position.

구동 모터(1501)가 제1 하부 스크류(1510)를 회전시키면, 테스트 트레이(130a)는 각 스크류(1510, 1520, 1530, 1540, 1550)의 나선홈을 따라 제1 버퍼 챔버(150) 내에서 이동하게 된다.When the drive motor 1501 rotates the first lower screw 1510, the test tray 130a is in the first buffer chamber 150 along the spiral grooves of each screw 1510, 1520, 1530, 1540, 1550. Will move.

제2 테스트 트레이(130b)는 제1 테스트 트레이(130a)가 제1 버퍼 챔버(150) 내로 진입하기 직전에 제1 버퍼 챔버(150) 내로 진입한 것을 도시한 것이다.The second test tray 130b shows that the first test tray 130a enters the first buffer chamber 150 immediately before entering the first buffer chamber 150.

제1 테스트 트레이(130a) 및 제2 테스트 트레이(130b)는 스크류(1510, 1520, 1530, 1540, 1550)들이 회전함에 따라 나선홈을 따라 제1 버퍼 챔버(150) 내에서 반입 위치에서 반송 위치로 이동한다. 전술한 바와 같이, 제1 테스트 트레이(130a) 및 제2 테스트 트레이(130b)는 이동 중에 제1 측부 스크류(1530)로 편향되고, 제1 측부 스크류(1530)의 베어링 지지체(1512)는 제1 테스트 트레이(130a) 및 제2 테스트 트레이(130b)의 측부를 지지하여, 제1 테스트 트레이(130a) 및 제2 테스트 트레이(130b)가 나선홈을 따라 원활하게 이동하게 한다.The first test tray 130a and the second test tray 130b are transported from the carrying position in the first buffer chamber 150 along the spiral groove as the screws 1510, 1520, 1530, 1540, and 1550 are rotated. Go to. As described above, the first test tray 130a and the second test tray 130b are deflected by the first side screw 1530 while moving, and the bearing support 1512 of the first side screw 1530 is the first By supporting the side portions of the test tray 130a and the second test tray 130b, the first test tray 130a and the second test tray 130b move smoothly along the spiral groove.

도 8에서, 제3 테스트 트레이(130c)는 반송 위치에 위치한 상태를 도시한 것이다.In FIG. 8, the third test tray 130c shows a state located in the conveyance position.

반송 위치는 테스트 트레이가 제1 버퍼 챔버(150)로부터 테스트 챔버(160)로 반송되는 위치로서, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 측부 스크류(1530)의 일단과 제1 하부 스크류(1510)의 일단 사이의 간극(1560)과 대응한다.The conveying position is a position in which the test tray is conveyed from the first buffer chamber 150 to the test chamber 160. As shown in FIG. 8, one end of the first side screw 1530 and the first lower screw 1510 Corresponds to the gap 1560 between one end of the.

제1 버퍼 챔버(150) 내에서 스크류(1510, 1520, 1530, 1540, 1550)들의 회전에 의해 반입 위치로부터 반송 위치까지 이송된 테스트 트레이(130c)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 반송 위치 측에 구비된 승강 기구(미도시)에 의해 상승된다. 이 때 테스트 트레이(130c)의 상승 높이는 테스트 트레이(130c)의 하단이 제3 측부 스크류(1550)를 넘어서도록 설정되며, 바람직하게는, 도 9에 도시된 바와 같이, 테스트 트레이(130c)의 하단이 제1 측부 스크류(1530)와 제3 측부 스크류(1550) 사이에 위치하도록 상승할 수 있다.The test tray 130c transferred from the carrying position to the carrying position by rotation of the screws 1510, 1520, 1530, 1540, 1550 in the first buffer chamber 150 is, as shown in FIG. It is raised by a lifting mechanism (not shown) provided on the side. At this time, the rising height of the test tray 130c is set so that the lower end of the test tray 130c exceeds the third side screw 1550, and preferably, as shown in FIG. 9, the lower end of the test tray 130c It may be raised to be positioned between the first side screw 1530 and the third side screw 1550.

이후, 테스트 트레이(130c)는 반송 위치에서 상승된 상태로 테스트 챔버(160)로 이송된다.Thereafter, the test tray 130c is transferred to the test chamber 160 in an elevated state from the transfer position.

본 실시예에 따른 제1 버퍼 챔버(160)는 나선홈이 형성된 복수의 스크류(1510, 1520, 1530, 1540, 1550)를 이용해 테스트 트레이(130)를 반입 위치에서 반송 위치까지 이송한다. 따라서, 스크류(1510, 1520, 1530, 1540, 1550)들의 나선부 및 나선홈의 회전 수에 상응하는 수의 테스트 트레이(130)를 동시에 이송할 수 있으며, 테스트 트레이(130)들의 이송이 순차적으로 연속적으로 이루어질 수 있다.The first buffer chamber 160 according to the present embodiment uses a plurality of screws 1510, 1520, 1530, 1540, and 1550 in which spiral grooves are formed to transfer the test tray 130 from the carrying position to the carrying position. Accordingly, the number of test trays 130 corresponding to the number of rotations of the spiral portion and the spiral groove of the screws 1510, 1520, 1530, 1540, 1550 can be simultaneously transferred, and the transfer of the test trays 130 is sequentially It can be done continuously.

또한, 본 실시예에 따른 제1 버퍼 챔버(160)는 제1 측부 스크류(1530)의 일단이 다른 스크류들과 수평 방향으로 오프셋을 형성하도록 형성되고, 그에 따라 형성된 간극(1560)을 통해 테스트 트레이(130)가 반송되도록 구성되므로, 는 테스트 트레이(130)가 제1 버퍼 챔버(150)에서 테스트 챔버(160)로 이송될 때에, 테스트 트레이(130)를 상승시켜야 할 높이가 줄어들고, 그 결과 제1 버퍼 챔버(150) 및 테스트 챔버(160) 등의 높이를 보다 낮게 설계할 수 있으며, 동시에 테스트 트레이(130)의 승강 과정에서 테스트 트레이(130)가 낙하하는 등의 사고를 방지할 수 있다.In addition, in the first buffer chamber 160 according to the present embodiment, one end of the first side screw 1530 is formed to form an offset in a horizontal direction from other screws, and the test tray is formed through the gap 1560 formed accordingly. Since 130 is configured to be conveyed, when the test tray 130 is transferred from the first buffer chamber 150 to the test chamber 160, the height to which the test tray 130 should be raised is reduced, and as a result 1 It is possible to design the height of the buffer chamber 150 and the test chamber 160 to be lower, and at the same time, it is possible to prevent accidents such as the drop of the test tray 130 during the elevating process of the test tray 130.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 버퍼 챔버를 개략적으로 도시한 평면도이다.10 is a plan view schematically illustrating a second buffer chamber according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 제2 버퍼 챔버(170)는 제1 버퍼 챔버(150)의 맞은 편에 위치한다. 즉, 제1 버퍼 챔버(150)와 제2 버퍼 챔버(170)는 사이에 테스트 챔버(160)가 위치하도록 구성된다. As shown in FIG. 3, the second buffer chamber 170 is located opposite the first buffer chamber 150. That is, the first buffer chamber 150 and the second buffer chamber 170 are configured such that the test chamber 160 is positioned therebetween.

도 10에 도시된 바와 같이, 제2 버퍼 챔버(170)는 제1 버퍼 챔버(150)와 유사한 구조로 구성될 수 있다. 즉, 제2 버퍼 챔버(170) 역시 제1 하부 스크류(1710), 제2 하부 스크류(1720), 제1 측부 스크류(1730), 제2 측부 스크류(1740), 제3 측부 스크류(1750)를 포함한다.As shown in FIG. 10, the second buffer chamber 170 may have a structure similar to the first buffer chamber 150. That is, the second buffer chamber 170 also includes a first lower screw 1710, a second lower screw 1720, a first side screw 1730, a second side screw 1740, and a third side screw 1750. Include.

제1 하부 스크류(1710), 제2 하부 스크류(1720), 제1 측부 스크류(1730), 제2 측부 스크류(1740) 및 제3 측부 스크류(1750)는 각각 회전 샤프트(1711, 1721, 1731, 1741, 1751), 나선부(1713, 1723, 1733, 1742, 1752) 및 나선홈(1714, 1724, 1734, 1743, 1753)을 포함한다.The first lower screw 1710, the second lower screw 1720, the first side screw 1730, the second side screw 1740, and the third side screw 1750, respectively, are rotating shafts 1711, 1721, 1731, 1741, 1751), spiral portions 1713, 1723, 1733, 1742, 1752, and spiral grooves 1714, 1724, 1734, 1743, 1753.

제1 하부 스크류(1710)와 제2 하부 스크류(1720)는 테스트 트레이(130)의 하단을 지지하기 위한 베어링 지지체(1712, 1722)를 포함하고, 제1 측부 스크류(1730)는 테스트 트레이(130)의 측부를 지지하기 위한 베어링 지지체(1732)를 포함한다.The first lower screw 1710 and the second lower screw 1720 include bearing supports 1712 and 1722 for supporting the lower end of the test tray 130, and the first side screw 1730 is a test tray 130 Includes a bearing support (1732) for supporting the side of ).

제1 하부 스크류(1710)의 회전 샤프트(1711)는 구동 폴리(1715) 및 구동 모터(1701)와 직결되고, 제2 하부 스크류(1520), 제1 측부 스크류(1730), 제2 측부 스크류(1740) 및 제3 측부 스크류(1750)는 각각 벨트(미도시)에 의해 구동 폴리(1715)와 연결되는 종동 폴리(1725, 1735, 1744)와 연결된다.The rotation shaft 1711 of the first lower screw 1710 is directly connected to the drive pulley 1715 and the drive motor 1701, and the second lower screw 1520, the first side screw 1730, and the second side screw ( 1740) and the third side screw 1750 are respectively connected to driven pulleys 1725, 1735, 1744 which are connected to the drive pulley 1715 by a belt (not shown).

도 10에 도시되지는 않았지만, 제1 버퍼 챔버(160)와 유사하게, 제1 하부 스크류(1710), 제2 하부 스크류(1720), 제1 측부 스크류(1730), 제2 측부 스크류(1740) 및 제3 측부 스크류(1750) 중 적어도 일부의 타단 측에도 결로 방지 부재(1502)가 구비될 수 있다.Although not shown in FIG. 10, similar to the first buffer chamber 160, a first lower screw 1710, a second lower screw 1720, a first side screw 1730, and a second side screw 1740 And a condensation preventing member 1502 may be provided on the other end of at least a portion of the third side screw 1750.

제1 버퍼 챔버(160)와 유사하게, 제1 하부 스크류(1710), 제2 하부 스크류(1720), 제2 측부 스크류(1740) 및 제3 측부 스크류(1750)의 양측은 제2 버퍼 하우징(1700)에 회전 가능하게 지지되지만, 제1 측부 스크류(1730)는 일단이 제3 지지부(1736)에 회전 가능하게 결합되고 타측이 제2 버퍼 하우징(1700)에 회전 가능하게 지지된다. 제3 지지부(1736)는 스크류들(1710, 1720, 1740, 1750)의 일측을 회전 가능하게 지지하는 제1 지지부(도 10에서는 제1 버퍼 하우징(1500)의 한쪽 벽)과 스크류들(1710, 1720, 1740, 1750)의 타측을 회전 가능하게 지지하는 제2 지지부(도 10에서는 제2 버퍼 하우징(1700)의 맞은편 벽) 사이에 위치한다.Similar to the first buffer chamber 160, both sides of the first lower screw 1710, the second lower screw 1720, the second side screw 1740, and the third side screw 1750 are provided with a second buffer housing ( 1700 is rotatably supported, but one end of the first side screw 1730 is rotatably coupled to the third support 1736 and the other side is rotatably supported by the second buffer housing 1700. The third support part 1736 includes a first support part (one wall of the first buffer housing 1500 in FIG. 10) and screws 1710 that rotatably support one side of the screws 1710, 1720, 1740, and 1750. It is located between the second support portion rotatably supporting the other side of the 1720, 1740, 1750 (a wall opposite the second buffer housing 1700 in FIG. 10).

제2 버퍼 챔버(170)에서도 제1 측부 스크류(1730)는 테스트 챔버(160)와 인접하는 쪽에 설치된다. 다만, 제1 버퍼 챔버(150)에서는 제1 측부 스크류(1530)와 제1 버퍼 하우징(1500) 사이의 간극(1560)이 테스트 트레이(130)의 반송 위치와 대응한 반면, 제2 버퍼 챔버(170)에서는 제1 측부 스크류(1730)와 제2 버퍼 하우징(1700) 사이의 간극이 테스트 트레이(130)의 반입 위치와 대응한다.In the second buffer chamber 170, the first side screw 1730 is installed adjacent to the test chamber 160. However, in the first buffer chamber 150, the gap 1560 between the first side screw 1530 and the first buffer housing 1500 corresponds to the transport position of the test tray 130, whereas the second buffer chamber ( In 170, a gap between the first side screw 1730 and the second buffer housing 1700 corresponds to a loading position of the test tray 130.

제2 버퍼 챔버(170)는 제1 버퍼 챔버(150)와 그 구조가 유사하므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Since the second buffer chamber 170 has a similar structure to the first buffer chamber 150, a detailed description thereof will be omitted.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러의 테스트 사이트에서 테스트 트레이가 이송되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.11 is a diagram illustrating a process of transferring a test tray from a test site of an electronic component test handler according to an embodiment of the present invention.

도 11에 도시된 바와 같이, 제1 버퍼 챔버(150)의 반송 위치에서 상승된 테스트 트레이(130d)는 이송 수단(미도시)에 의해 테스트 챔버(160) 측으로 이동된 후, 테스트 챔버(160) 내에서 소정의 테스트를 거친다. 제1 버퍼 챔버(150)의 내부는 테스트 챔버(160)의 테스트 환경에 따라 고온 환경 또는 저온 환경으로 조절될 수 있으며, 테스트 트레이들(130a, 130b, 130c)은 제1 버퍼 챔버(150) 내에서 이송되며, 고온 환경 또는 저온 환경에 적응하게 된다.As shown in FIG. 11, the test tray 130d raised from the transfer position of the first buffer chamber 150 is moved to the test chamber 160 side by a transfer means (not shown), and then the test chamber 160 It goes through a predetermined test within. The inside of the first buffer chamber 150 may be adjusted to a high temperature environment or a low temperature environment according to the test environment of the test chamber 160, and the test trays 130a, 130b, 130c are inside the first buffer chamber 150. It is transported in, and is adapted to a high temperature environment or a low temperature environment.

특히, 제1 버퍼 챔버(150)가 저온 환경에 있을 때, 결로 방지 부재(1502)는 제1 버퍼 챔버(150)의 내부와 외부의 온도차로 인해 제1 버퍼 챔버(150)의 외부로 노출된 스크류들(1510, 1520, 1530, 1540, 1550)의 타측에 결로가 형성되는 것을 방지한다.In particular, when the first buffer chamber 150 is in a low temperature environment, the condensation preventing member 1502 is exposed to the outside of the first buffer chamber 150 due to a temperature difference between the inside and the outside of the first buffer chamber 150. Condensation is prevented from forming on the other side of the screws 1510, 1520, 1530, 1540, and 1550.

테스트 챔버(160)에서 테스트를 거친 테스트 트레이(130e)는 제2 버퍼 챔버(170)의 제1 측부 스크류(1530)와 제2 버퍼 하우징(1700) 사이의 간격을 통해 제2 버퍼 챔버(170) 내로 반입된다. 도 11에서 테스트 트레이(130e)는 제2 버퍼 챔버(170)의 반입 위치를 도시한 것이다.The test tray 130e that has been tested in the test chamber 160 is the second buffer chamber 170 through the gap between the first side screw 1530 of the second buffer chamber 170 and the second buffer housing 1700. It is brought in. In FIG. 11, the test tray 130e shows a loading position of the second buffer chamber 170.

제2 버퍼 챔버(170)의 반입 위치에는, 반입 위치로 이송된 테스트 트레이(130e)를 수취 및 하강시켜 테스트 트레이(130e)의 하단이 제1 및 제2 하부 스크류(1710, 1720)의 나선홈(1714, 1724)에 수용되도록 하는 승강 기구가 구비될 수 있다.At the loading position of the second buffer chamber 170, the lower end of the test tray 130e receives and lowers the test tray 130e transferred to the loading position so that the lower ends of the first and second lower screws 1710 and 1720 are spiral grooves. A lifting mechanism to be accommodated in (1714, 1724) may be provided.

이후, 제2 버퍼 챔버(170)의 구동 모터(1701)의 회전에 의해 스크류들(1710, 1720, 1730, 1740, 1750)이 회전함에 따라 제2 버퍼 챔버(170) 내의 테스트 트레이들(130f, 130g, 130h)은 제2 버퍼 챔버(170)의 반송 위치로 이동하게 된다. 도 11에서 테스트 트레이(130h)는 제2 버퍼 챔버(170)의 반송 위치를 도시한 것이다.Thereafter, as the screws 1710, 1720, 1730, 1740, and 1750 are rotated by the rotation of the driving motor 1701 of the second buffer chamber 170, the test trays 130f in the second buffer chamber 170, 130g and 130h are moved to the transfer position of the second buffer chamber 170. In FIG. 11, the test tray 130h shows a transport position of the second buffer chamber 170.

테스트 트레이들(130f, 130g, 130h)은 반입 위치에서 반송 위치로 이송되면서, 제1 측부 스크류(1730)로 편향되고, 제1 측부 스크류(1730)의 베어링 지지체(1722)는 테스트 트레이들(130f, 130g, 130h)의 측부를 지지하여, 테스트 트레이들(130f, 130g, 130h)이 나선홈을 따라 원활하게 이동하게 한다.As the test trays 130f, 130g, and 130h are transferred from the carrying position to the conveying position, the first side screw 1730 is biased, and the bearing support 1722 of the first side screw 1730 is the test trays 130f , 130g, 130h) by supporting the side, so that the test trays (130f, 130g, 130h) move smoothly along the spiral groove.

제2 버퍼 챔버(170)의 반송 위치에는, 반송 위치에 위치한 테스트 트레이(130h)를 수취하여 상승시키는 승강 기구가 구비될 수 있으며, 제2 버퍼 챔버(170)로부터 반송된 테스트 트레이(130h)는 반전기(140)에 의해 직립 상태를 수평 상태로 자세를 전환될 수 있다.At the transfer position of the second buffer chamber 170, a lifting mechanism for receiving and raising the test tray 130h located at the transfer position may be provided, and the test tray 130h conveyed from the second buffer chamber 170 is The posture may be changed from an upright state to a horizontal state by the inverter 140.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will appreciate that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting. The scope of the present invention is indicated by the claims to be described later rather than the detailed description, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention. do.

1: 테스트 핸들러 2: 스태커
10: 유저 트레이 20: 디바이스
100: 본체 110: 핸드
120: 로딩 셔틀 130: 테스트 트레이
140: 반전기 150: 제1 버퍼 챔버
160: 테스트 챔버 170: 제2 버퍼 챔버
300: 버퍼 스태커 500: 스태커 모듈
L: 로딩 사이트 T: 테스트 사이트
UL: 언로딩 사이트1: test handler 2: stacker
10: user tray 20: device
100: main body 110: hand
120: loading shuttle 130: test tray
140: inverter 150: first buffer chamber
160: test chamber 170: second buffer chamber
300: buffer stacker 500: stacker module
L: loading site T: test site
UL: Unloading site

Claims (16)

직립 상태의 트레이의 하부를 지지하고, 상기 트레이의 하부를 수용하는 나선홈이 형성되어 회전에 의해 상기 트레이를 이송하는 하부 스크류; 및
상기 트레이의 일측에 인접하도록 상기 하부 스크류와 나란하게 위치하고, 상기 트레이의 일측을 수용하는 나선홈이 형성되어 회전에 의해 상기 트레이를 이송하는 제1 측부 스크류;를 포함하며
상기 트레이가 상기 제1 측부 스크류의 일단과 상기 하부 스크류의 일단 사이에서 상기 제1 측부 스크류를 가로질러 이동할 수 있도록 상기 제1 측부 스크류의 일단은 상기 하부 스크류의 일단과 오프셋을 형성하는, 트레이 이송 장치.A lower screw supporting a lower portion of the tray in an upright state and having a spiral groove for receiving the lower portion of the tray to transfer the tray by rotation; And
And a first side screw positioned adjacent to one side of the tray, parallel to the lower screw, and formed with a helical groove for receiving one side of the tray to transfer the tray by rotation; and
Tray transfer, wherein one end of the first side screw forms an offset with one end of the lower screw so that the tray can move across the first side screw between one end of the first side screw and one end of the lower screw Device. 제1항에 있어서,
상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류의 회전에 의해 상기 트레이는 상기 하부 스크류의 나선홈 및 상기 제1 측부 스크류의 나선홈을 따라 반입 위치로부터 반송 위치까지 이송되고,
상기 반입 위치 또는 상기 반송 위치는 상기 하부 스크류의 일단과 상기 제1 측부 스크류의 일단 사이에 형성되는, 트레이 이송 장치.The method of claim 1,
By rotation of the lower screw and the first side screw, the tray is transferred from the carrying position to the conveying position along the spiral groove of the lower screw and the spiral groove of the first side screw,
The carrying position or the conveying position is formed between one end of the lower screw and one end of the first side screw. 제2항에 있어서,
상기 제1 측부 스크류는 상기 트레이가 상기 반입 위치로부터 상기 반송 위치로 이동하는 과정에서 편향되는 측에 위치하여 상기 트레이의 측부를 지지하는, 트레이 이송 장치.The method of claim 2,
The first side screw is positioned on a side that is deflected in a process of moving the tray from the carrying position to the conveying position to support the side of the tray. 제3항에 있어서,
상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나는 상기 나선홈에 구비되어 상기 트레이와 점 접촉 또는 선 접촉을 유지하며 상기 트레이를 지지하는 베어링 지지체를 더 포함하는, 트레이 이송 장치.The method of claim 3,
At least one of the lower screw and the first side screw is provided in the spiral groove to maintain point contact or line contact with the tray and further comprising a bearing support for supporting the tray. 제2항에 있어서,
상기 하부 스크류의 일측을 회전 가능하게 지지하는 제1 지지부;
상기 하부 스크류의 타측을 회전 가능하게 지지하는 제2 지지부; 및
상기 제1 측부 스크류의 일단을 회전 가능하게 지지하는 제3 지지부;를 더 포함하고,
상기 제3 지지부는 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 위치하는, 트레이 이송 장치.The method of claim 2,
A first support portion rotatably supporting one side of the lower screw;
A second support portion rotatably supporting the other side of the lower screw; And
It further includes; a third support portion rotatably supporting one end of the first side screw,
The third support portion is positioned between the first support portion and the second support portion, tray transfer device. 제5항에 있어서,
상기 반입 위치 또는 상기 반송 위치는 상기 제1 지지부와 상기 제3 지지부 사이에 형성되는, 트레이 이송 장치.The method of claim 5,
The carrying position or the conveying position is formed between the first support portion and the third support portion. 제5항에 있어서,
상기 트레이의 타측에 인접하도록 상기 하부 스크류와 나란하게 위치하고, 상기 트레이의 타측을 수용하는 나선홈이 형성된 제2 측부 스크류를 더 포함하고,
상기 제2 측부 스크류의 일측은 상기 제1 지지부에 회전 가능하게 지지되고, 상기 제2 측부 스크류의 타측은 상기 제2 지지부에 회전 가능하게 지지되는, 트레이 이송 장치.The method of claim 5,
It further comprises a second side screw positioned in parallel with the lower screw so as to be adjacent to the other side of the tray, and formed with a helical groove for receiving the other side of the tray,
One side of the second side screw is rotatably supported by the first support, and the other side of the second side screw is rotatably supported by the second support. 제7항에 있어서,
상기 트레이의 일측에 인접하며 상기 제1 측부 스크류의 하부에 상기 하부 스크류와 나란하게 위치하고, 상기 트레이의 일측을 수용하는 나선홈이 형성된 제3 측부 스크류를 더 포함하고,
상기 제3 측부 스크류의 일측은 상기 제1 지지부에 회전 가능하게 지지되고, 상기 제3 측부 스크류의 타측은 상기 제2 지지부에 회전 가능하게 지지되는, 트레이 이송 장치.The method of claim 7,
Further comprising a third side screw adjacent to one side of the tray and positioned in parallel with the lower screw under the first side screw, and formed with a helical groove for receiving one side of the tray,
One side of the third side screw is rotatably supported by the first support, and the other side of the third side screw is rotatably supported by the second support. 제8항에 있어서,
상기 제2 측부 스크류 및 상기 제3 측부 스크류 중 적어도 하나의 직경은 상기 제1 측부 스크류의 직경보다 작게 형성되는, 트레이 이송 장치.The method of claim 8,
At least one diameter of the second side screw and the third side screw is formed to be smaller than the diameter of the first side screw, tray conveying device. 적어도 하나의 전자 부품이 수용된 트레이가 직립 상태로 반입되는 제1 버퍼 챔버;
상기 제1 버퍼 챔버로부터 상기 트레이를 전달받아 상기 전자 부품에 대한테스트를 수행하는 테스트 챔버; 및
상기 테스트 챔버로부터 상기 테스트가 완료된 상기 트레이를 전달받는 제2 버퍼 챔버;를 포함하며,
상기 제1 버퍼 챔버 및 상기 제2 버퍼 챔버는,
직립 상태의 트레이의 하부를 지지하고, 상기 트레이의 하부를 수용하는 나선홈이 형성되어 회전에 의해 상기 트레이를 이송하는 하부 스크류 및
상기 트레이의 일측에 인접하도록 상기 하부 스크류와 나란하게 위치하고, 상기 트레이의 일측을 수용하는 나선홈이 형성되어 회전에 의해 상기 트레이를 이송하는 제1 측부 스크류를 포함하며,
상기 트레이가 상기 제1 측부 스크류의 일단과 상기 하부 스크류의 일단 사이에서 상기 제1 측부 스크류를 가로질러 이동할 수 있도록 상기 제1 측부 스크류의 일단은 상기 하부 스크류의 일단과 오프셋을 형성하는, 전자부품 테스트 핸들러.A first buffer chamber in which a tray containing at least one electronic component is carried in an upright state;
A test chamber receiving the tray from the first buffer chamber and performing a test on the electronic component; And
Includes; a second buffer chamber to receive the tray from the test is completed from the test chamber; and
The first buffer chamber and the second buffer chamber,
A lower screw supporting the lower portion of the tray in an upright state and forming a spiral groove for receiving the lower portion of the tray to transport the tray by rotation, and
It comprises a first side screw positioned in parallel with the lower screw so as to be adjacent to one side of the tray and formed with a helical groove for receiving one side of the tray to transfer the tray by rotation,
An electronic component wherein one end of the first side screw forms an offset from one end of the lower screw so that the tray can move across the first side screw between one end of the first side screw and one end of the lower screw. Test handler. 제10항에 있어서,
상기 제1 버퍼 챔버에서,
상기 트레이는 상기 제1 버퍼 챔버의 상기 제1 측부 스크류의 일단과 상기 제1 버퍼 챔버의 상기 하부 스크류의 일단 사이를 통해 상기 테스트 챔버로 이동하는, 전자부품 테스트 핸들러.The method of claim 10,
In the first buffer chamber,
The tray is moved to the test chamber through one end of the first side screw of the first buffer chamber and one end of the lower screw of the first buffer chamber. 제10항에 있어서,
상기 제2 버퍼 챔버에서,
상기 트레이는 상기 제2 버퍼 챔버의 상기 제1 측부 스크류의 일단과 상기 제2 버퍼 챔버의 상기 하부 스크류의 일단 사이를 통해 상기 테스트 챔버로 이동하는, 전자부품 테스트 핸들러.The method of claim 10,
In the second buffer chamber,
The tray is moved to the test chamber through one end of the first side screw of the second buffer chamber and one end of the lower screw of the second buffer chamber. 제10항에 있어서,
상기 제1 버퍼 챔버는,
상기 제1 버퍼 챔버의 일측을 관통하여 연장되는 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단에 인접하게 설치되어, 상기 제1 버퍼 챔버의 내부 온도에 따라 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단에 결로가 형성되는 것을 방지하는 결로 방지 부재를 더 포함하는, 전자부품 테스트 핸들러.The method of claim 10,
The first buffer chamber,
It is installed adjacent to the other end of at least one of the lower screw and the first side screw extending through one side of the first buffer chamber, the lower screw and the first side according to the internal temperature of the first buffer chamber The electronic component test handler, further comprising a condensation preventing member for preventing condensation from forming on the other end of at least one of the screws. 제10항에 있어서,
상기 제2 버퍼 챔버는,
상기 제2 버퍼 챔버의 일측을 관통하여 연장되는 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단에 인접하게 설치되어, 상기 제2 버퍼 챔버의 내부 온도에 따라 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단에 결로가 형성되는 것을 방지하는 결로 방지 부재를 더 포함하는, 전자부품 테스트 핸들러.The method of claim 10,
The second buffer chamber,
It is installed adjacent to the other end of at least one of the lower screw and the first side screw extending through one side of the second buffer chamber, the lower screw and the first side according to the internal temperature of the second buffer chamber The electronic component test handler, further comprising a condensation preventing member for preventing condensation from forming on the other end of at least one of the screws. 제13항 또는 제14항에 있어서,
상기 결로 방지 부재는 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단으로 송풍하는 팬을 포함하는, 전자부품 테스트 핸들러.The method of claim 13 or 14,
The condensation preventing member includes a fan for blowing air to the other end of at least one of the lower screw and the first side screw. 제13항 또는 제14항에 있어서,
상기 결로 방지 부재는 상기 하부 스크류 및 상기 제1 측부 스크류 중 적어도 하나의 타단을 가열하는 히터를 포함하는, 전자부품 테스트 핸들러.The method of claim 13 or 14,
The condensation prevention member includes a heater that heats the other end of at least one of the lower screw and the first side screw.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101947168B1 (en) * 2017-04-29 2019-02-12 (주)아테코 Tray uprighting transfer apparatus

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