KR20200121192A - Insert for test handler, test handler and method of ejecting an object of test handler - Google Patents

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KR20200121192A
KR20200121192A KR1020190043948A KR20190043948A KR20200121192A KR 20200121192 A KR20200121192 A KR 20200121192A KR 1020190043948 A KR1020190043948 A KR 1020190043948A KR 20190043948 A KR20190043948 A KR 20190043948A KR 20200121192 A KR20200121192 A KR 20200121192A
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receiving hole
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test
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test tray
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이택선
여동현
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주식회사 아테코
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Abstract

According to the present invention, an insert for a test handler to firmly fix a test object on a test tray and conveniently pick up and discharge a test object which has undergone a test comprises: a main body having an accommodation hole in which a test object is accommodated; an opening link installed around the accommodation hole to ascend and descend, wherein the upper end thereof protrudes from the upper surface of the main body; and a locking link installed to be rotated around a hinge pin connected to the main body by an ascent and a descent of the opening link. The locking link appears from the inner wall of the accommodation hole when pressing the upper end of the opening link to fix the test object accommodated in the accommodation hole in the accommodation hole, and disappears into the inner wall of the accommodation hole when the pressed state of the upper end of the opening link is released to allow the test object accommodated in the accommodation hole to escape from the accommodation hole. Therefore, manufacturing costs and maintenance and repair costs of equipment can be reduced, and the efficiency of a process can be improved to improve productivity.

Description

테스트 핸들러용 인서트, 테스트 핸들러 및 테스트 핸들러의 피검체 배출방법{INSERT FOR TEST HANDLER, TEST HANDLER AND METHOD OF EJECTING AN OBJECT OF TEST HANDLER} Insert for test handler, test handler, and test handler discharging method {INSERT FOR TEST HANDLER, TEST HANDLER AND METHOD OF EJECTING AN OBJECT OF TEST HANDLER}

본 발명은 테스트 핸들러용 인서트, 테스트 핸들러 및 테스트 핸들러의 피검체 배출방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하는 반도체 소자나 모듈 등과 같은 전자부품을 테스트 하는 데 사용하는 테스트 핸들러용 인서트, 테스트 핸들러 및 테스트 핸들러의 피검체 배출방법에 관한 것이다.The present invention relates to a test handler insert, a test handler, and a method of discharging a test handler from the test handler, and more specifically, an insert for a test handler used to test electronic components such as semiconductor devices or modules, test handlers, and tests. It relates to a method of discharging a subject by a handler.

테스트 핸들러는 전자부품, 예를 들어 반도체 소자나 모듈, SSD이 제조된 이후 검사하는 장치이다. 테스트 핸들러는 전자부품을 테스트 장치에 접속시키고 다양한 환경을 인위적으로 조성하여 전자부품의 정상 작동여부를 검사하고 검사 결과에 따라 양품, 재검사, 불량품 등과 같이 구별하여 분류하도록 구성된다.The test handler is a device that inspects electronic components, such as semiconductor devices, modules, and SSDs after being manufactured. The test handler is configured to connect electronic parts to a test device, artificially create various environments to check whether the electronic parts work normally, and classify them as good, retest, and defective products according to the test results.

이러한 테스트 핸들러는 한번의 테스트 공정으로 많은 수량의 피검체를 테스트 하기 위하여, 단일 테스트 트레이에는 복수의 설치공이 형성되고, 각 설치공에 피검체를 견고하게 유지하기 위한 인서트를 설치하여 운용한다. In such a test handler, in order to test a large number of specimens in a single test process, a plurality of installation holes are formed in a single test tray, and an insert for firmly holding the specimen is installed and operated in each installation hole.

이러한 테스트 핸들러의 테스트 트레이 인서트에 대해서는 이미 "대한민국 등록특허 제0486412호;테스트 핸들러의 테스트 트레이 인서트"에 의해 개시된 바 있다.The test tray insert of such a test handler has already been disclosed by "Korean Patent No. 0486412; Test Tray Insert of Test Handler".

상기 등록특허는 테스트 트레이에 설치된 인서트를 위치결정장치가 테스트 트레이를 향해 상승 구동하면서, 인서트의 위치를 결정하고, 인서트를 개폐하도록 구성된다. 상기 등록특허는 단일 플레이트 상에 돌출되는 위치 결정핀, 록커핀, 스토퍼핀을 인서트의 수량에 비례하여 마련되어야 한다. The registered patent is configured to determine the position of the insert and open and close the insert while the positioning device drives the insert installed in the test tray upward toward the test tray. The above registered patent should provide positioning pins, rocker pins, and stopper pins protruding on a single plate in proportion to the number of inserts.

이와 같이 단일 플레이트 상에 수 많은 핀들을 설치하게 되면 위치 결정장치의 제조비용이 상승할 뿐만 아니라, 다량의 인서트와의 위치결정장치와의 긴밀한 정렬이 선행되어야 하므로 공정의 효율이 저하되는 문제점이 있으며, 위치결정장치와의 인서트와의 정렬이 틀어지게 되면 비교적 얇은 두께로 마련되는 수많은 핀들이 손쉽게 손상되어 유지보수관리 비용이 상승되는 문제점이 있다. If a large number of pins are installed on a single plate like this, the manufacturing cost of the positioning device increases, and close alignment with the positioning device with a large number of inserts must be preceded, thereby reducing the efficiency of the process. If the alignment with the insert with the positioning device is misaligned, there is a problem in that a number of pins provided with a relatively thin thickness are easily damaged, thereby increasing the maintenance cost.

대한민국 등록특허 제0486412호 (2005. 05. 03. 공고)Korean Patent Registration No. 0486412 (2005. 05. 03. Announcement)

본 발명의 목적은 테스트 트레이에 피검체를 견고하게 고정시키며, 테스트를 마친 피검체를 간편하게 픽업하여 배출할 수 있도록 한 테스트 핸들러용 인서트, 테스트 핸들러 및 테스트 핸들러의 피검체 배출방법을 제공하기 위한 것이다. It is an object of the present invention to provide an insert for a test handler, a test handler, and a method for discharging a test handler, which firmly fixes a test subject to a test tray and allows the test subject to be easily picked up and discharged. .

본 발명의 다른 목적은 간소한 구성으로도 인서트의 개폐가 용이하도록 한 테스트 핸들러용 인서트, 테스트 핸들러 및 테스트 핸들러의 피검체 배출방법을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide an insert for a test handler, a test handler, and a method for discharging a test handler in which the insert can be easily opened and closed even with a simple configuration.

본 발명에 따른 테스트 핸들러용 인서트는 피검체가 수용되는 수용공이 형성되는 본체, 상단부가 상기 본체의 상부면으로부터 돌출되고 상기 수용공의 주변에 승강 구동 가능하게 설치되는 개방 링크, 상기 개방 링크의 승강 구동에 따라 상기 본체에 연결되는 힌지핀을 중심으로 회전 구동 가능하게 설치되는 잠금 링크를 포함하되, 상기 잠금 링크는 상기 개방 링크 상단부를 가압하면 상기 수용공 내벽으로부터 나타나 상기 수용공에 수용된 상기 피검체를 상기 수용공의 내부에 고정시키며, 상기 개방 링크 상단부의 가압 상태를 해제하면 상기 수용공 내벽으로 사라져 상기 수용공에 수용된 상기 피검체가 상기 수용공으로터 이탈 가능하도록 할 수 있다.The insert for a test handler according to the present invention includes a main body in which a receiving hole for accommodating a subject is formed, an open link in which an upper end protrudes from an upper surface of the main body and is installed to be elevating and driving around the receiving hole, And a locking link installed to be rotatably driven around a hinge pin connected to the main body according to the driving, wherein the locking link appears from the inner wall of the receiving hole when the upper end of the open link is pressed, and the subject accommodated in the receiving hole Is fixed to the inside of the receiving hole, and when the pressing state of the upper end of the open link is released, it disappears into the inner wall of the receiving hole so that the subject accommodated in the receiving hole can be separated from the receiving hole.

상기 수용공의 상단부는 상기 피검체의 면적보다 큰 면적으로 개방되고 상기 수용공의 상단부는 상기 피검체의 면적보다 작은 면적으로 개방되어 상기 수용공의 내벽에 경사면이 형성될 수 있다.The upper end of the receiving hole is opened to an area larger than the area of the subject, and the upper end of the receiving hole is opened to a smaller area than the area of the subject, so that an inclined surface may be formed on the inner wall of the receiving hole.

상기 인서트는 상기 수용공 내벽 하단부로부터 상기 수용공의 내측을 향해 돌출되어 상기 피검체가 상기 본체의 하방으로 이탈되는 것을 방지하는 걸림턱을 더 포함할 수 있다.The insert may further include a locking jaw protruding from a lower end portion of an inner wall of the receiving hole toward the inside of the receiving hole to prevent the subject from being dislodged downward of the body.

상기 인서트는 상기 개방 링크의 가압력 해제시 상기 잠금 링크가 상기 본체의 상단면으로 돌출되도록 상기 본체로부터 상기 개방 링크를 탄성지지하는 탄성체를 더 포함할 수 있다.The insert may further include an elastic body for elastically supporting the open link from the main body so that the locking link protrudes toward the upper end of the main body when the pressing force of the open link is released.

상기 본체에는 상기 인서트의 정렬 상태를 유지하기 위한 정렬공이 형성될 수 있다. An alignment hole for maintaining the alignment of the insert may be formed in the main body.

한편, 본 발명에 따른 테스트 핸들러는 테스트 트레이, 피검체가 상기 테스트 트레이에 유지되도록 상기 테스트 트레이에 설치되는 인서트, 상기 인서트의 상측에 배치되고 상기 인서트에 가압력을 형성하여 상기 피검체가 상기 인서트로부터 출입 가능하도록 하는 마스크를 포함하되, 인서트는 피검체가 수용되는 수용공이 형성되는 본체, 상단부가 상기 본체의 상부면으로부터 돌출되고 상기 수용공의 주변에 승강 구동 가능하게 설치되는 개방 링크, 상기 개방 링크의 승강 구동에 따라 상기 본체에 연결되는 힌지핀을 중심으로 회전 구동 가능하게 설치되는 잠금 링크를 포함하되, 상기 잠금 링크는 상기 개방 링크 상단부를 가압하면 상기 수용공 내벽으로부터 나타나 상기 수용공에 수용된 상기 피검체를 상기 수용공의 내부에 고정시키며, 상기 개방 링크 상단부의 가압 상태를 해제하면 상기 수용공 내벽으로 사라져 상기 수용공에 수용된 상기 피검체가 상기 수용공으로터 이탈 가능하도록 할 수 있다.On the other hand, the test handler according to the present invention includes a test tray, an insert installed in the test tray so that the test object is held in the test tray, and is disposed above the insert and forms a pressing force on the insert so that the test object is removed from the insert. Including a mask to allow access, wherein the insert is a main body in which a receiving hole for accommodating a subject is formed, an open link having an upper end protruding from the upper surface of the main body and installed to be elevating and driving around the receiving hole, the open link And a locking link installed to be rotatably driven about a hinge pin connected to the main body according to the lifting drive of, wherein the locking link appears from the inner wall of the receiving hole when the upper end of the open link is pressed, and is accommodated in the receiving hole. The subject is fixed to the interior of the receiving hole, and when the pressurized state of the upper end of the open link is released, it disappears to the inner wall of the receiving hole so that the subject accommodated in the receiving hole can be separated from the receiving hole.

상기 수용공의 상단부는 상기 피검체의 면적보다 큰 면적으로 개방되고 상기 수용공의 상단부는 상기 피검체의 면적보다 작은 면적으로 개방되어 상기 수용공의 내벽에 경사면이 형성될 수 있다.The upper end of the receiving hole is opened to an area larger than the area of the subject, and the upper end of the receiving hole is opened to a smaller area than the area of the subject, so that an inclined surface may be formed on the inner wall of the receiving hole.

상기 인서트는 상기 수용공 내벽 하단부로부터 상기 수용공의 내측을 향해 돌출되어 상기 피검체가 상기 본체의 하방으로 이탈되는 것을 방지하는 걸림턱을 더 포함할 수 있다.The insert may further include a locking jaw protruding from a lower end portion of an inner wall of the receiving hole toward the inside of the receiving hole to prevent the subject from being dislodged downward of the body.

상기 인서트는 상기 개방 링크의 가압력 해제시 상기 잠금 링크가 상기 본체의 상단면으로 돌출되도록 상기 본체로부터 상기 개방 링크를 탄성지지하는 탄성체를 더 포함할 수 있다.The insert may further include an elastic body for elastically supporting the open link from the main body so that the locking link protrudes toward the upper end of the main body when the pressing force of the open link is released.

상기 본체에는 상기 인서트의 정렬 상태를 유지하기 위한 정렬공이 형성될 수 있다. An alignment hole for maintaining the alignment of the insert may be formed in the main body.

상기 테스트 핸들러는 상기 테스트 트레이에 대하여 상기 마스크를 승강시키는 마스크 승강부를 더 포함할 수 있다. The test handler may further include a mask lifting part for lifting the mask with respect to the test tray.

상기 마스크는 상기 테스트 트레이보다 작은 면적을 가지며, 상기 테스트 핸들러는 상기 테스트 트레이를 평면 방향으로 이송하여 상기 마스크에 대한 상기 테스트 트레이의 위치를 정렬하는 정렬부를 더 포함할 수 있다.The mask has an area smaller than that of the test tray, and the test handler may further include an alignment unit for aligning a position of the test tray with respect to the mask by transferring the test tray in a plane direction.

상기 테스트 핸들러는 상기 정렬공에 대응하는 정렬핀이 돌출되고 상기 테스트 트레이를 향해 상승 구동하여 상기 테스트 트레이에 설치된 상기 인서트의 위치를 유지하는 프리사이저(preciser)를 더 포함할 수 있다.The test handler may further include a preciser for protruding an alignment pin corresponding to the alignment hole and driving upward toward the test tray to maintain the position of the insert installed in the test tray.

한편, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 피검체 배출방법은 테스트 트레이의 상측에 마스크에 정렬하는 정렬 단계, 상기 마스크로 상기 테스트 트레이에 설치된 인서트를 가압하여 상기 인서트를 개방하는 개방 단계 및 핸드가 상기 인서트로부터 피검체를 픽업하는 배출 단계를 포함할 수 있다.On the other hand, the test handler discharging method according to the present invention includes an alignment step of aligning a mask on an upper side of a test tray, an opening step of pressing the insert installed in the test tray with the mask to open the insert, and the hand opening the insert. It may include a discharge step of picking up the subject from the.

상기 정렬 단계는 상기 테스트 트레이의 하방에 배치된 프리사이저가 상기 인서트에 형성된 정렬공으로 정렬핀을 삽입하여 상기 인서트의 위치를 기 설정된 위치로 정렬할 수 있다.In the alignment step, the presizer disposed below the test tray inserts an alignment pin into an alignment hole formed in the insert to align the position of the insert to a preset position.

상기 마스크는 상기 테스트 트레이보다 작은 면적을 가지며, 상기 정렬 단계는 정렬부가 상기 테스트 트레이를 평면 방향으로 이송하여 상기 마스크에 대한 상기 테스트 트레이의 위치를 정렬할 수 있다.The mask has a smaller area than the test tray, and in the alignment step, an alignment unit may transfer the test tray in a plane direction to align the position of the test tray with respect to the mask.

본 발명에 따른 테스트 핸들러용 인서트, 테스트 핸들러 및 테스트 핸들러의 피검체 배출방법은 간소한 구성으로도 테스트 트레이에 피검체를 견고하게 고정시키고 테스트를 마친 피검체를 간쳔하게 픽업하여 배출할 수 있으므로, 장비의 제조 비용 및 유지보수관리 비용을 절감할 수 있으며, 공정의 효율을 향상시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 도출할 수 있다. The test handler insert, the test handler, and the test handler discharging method according to the present invention can securely fix the test subject to the test tray even with a simple configuration, and simply pick up and discharge the test subject. It is possible to reduce the manufacturing cost and maintenance management cost of the equipment, and can derive the effect of improving the productivity by improving the efficiency of the process.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 스테이지를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지에서의 피검체 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 인서트를 나타낸 사시도이다.
도 5은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트를 나타낸 단면도이다.
도 7 및 도 8는 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트의 개방 동작을 나타낸 작동도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이, 마스크 및 프리사이저를 나타낸 사시도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a test handler according to an embodiment of the present invention divided into spaces according to functions.
2 is a conceptual diagram showing a stage of a test handler according to an embodiment of the present invention divided according to functions on a plane.
3 is a conceptual diagram showing movement of a test object and a test tray on a stage according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing an insert of a test handler according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view showing an insert according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing an insert according to an embodiment of the present invention.
7 and 8 are operational diagrams showing an opening operation of an insert according to an embodiment of the present invention.
9 is a perspective view showing a test tray, a mask, and a presizer according to an embodiment of the present invention.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.The terms or words used in this specification and claims should not be construed as being limited to their usual or dictionary meanings, and the inventor may appropriately define the concept of terms in order to describe his own invention in the best way. It should be interpreted as a meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that there is. Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only one embodiment of the present invention, and do not represent all the technical spirit of the present invention, so there may be various equivalents and modifications that can replace them. It should be understood that there is.

이하, 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 인서트, 테스트 핸들러 및 테스트 핸들러의 피검체 배출방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.Hereinafter, an insert for a test handler, a test handler, and a method of discharging a subject in the test handler according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 피검체는 반도체 소자, 반도체 모듈, SSD 등 전기적으로 기능을 수행하는 소자를 뜻함을 전제로 설명하도록 한다. 또한 이하에서 유저 트레이(User Tray)란 피검체가 수용될 수 있도록 구성된 적재홈이 일정한 배열로 복수개 형성된 트레이를 뜻하며, 유저 트레이의 적재홈에는 별도의 고정 기능 없이 중력에 의해 피검체가 홈 내부에 정착되도록 구성될 수 있음을 전제로 설명하도록 한다.First, a description will be made on the premise that the subject refers to a device that electrically functions, such as a semiconductor device, a semiconductor module, and an SSD. In addition, hereinafter, the user tray refers to a tray in which a plurality of loading grooves configured to accommodate the subject are formed in a certain arrangement, and the loading groove of the user tray is placed inside the groove by gravity without a separate fixing function. It will be described on the premise that it can be configured to be settled.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다. 1 is a conceptual diagram illustrating a test handler according to an embodiment of the present invention divided into spaces according to functions.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러(1)는 스태커(2) 및 스테이지(100)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1, a test handler 1 according to an embodiment of the present invention may include a stacker 2 and a stage 100.

스태커(2)는 테스트 핸들러(1)의 외부로부터 유저 트레이(10)를 반입하거나, 테스트 핸들러(1)의 외부로 유저 트레이(10)를 반출한다. 스태커(2)는 로딩 스태커(loading stacker), 언로딩 스태커(unloading stacker), 엠프티 스태커(empty stacker)로 구분할 수 있다.The stacker 2 carries in the user tray 10 from the outside of the test handler 1 or carries the user tray 10 out of the test handler 1. The stacker 2 can be classified into a loading stacker, an unloading stacker, and an empty stacker.

로딩 스태커는 테스트 및 분류가 필요한 피검체(20)들이 수용된 유저 트레이(10)를 적재할 수 있다. 로딩 스태커는 테스트 핸들러(1)의 외부로부터 반입되는 유저 트레이(10)가 복수개 적층된 1롯트(lot)의 단위로 적재될 수 있는 크기로 마련된다.The loading stacker may load the user tray 10 in which the subjects 20 that need to be tested and sorted are accommodated. The loading stacker is provided in a size capable of being loaded in units of one lot in which a plurality of user trays 10 carried in from the outside of the test handler 1 are stacked.

언로딩 스태커는 테스트 및 분류가 완료된 피검체(20) 중 테스트 핸들러(1)의 외부로 반출하기 위한 피검체(20)가 수용된 유저 트레이(10)를 적재할 수 있다. 언로딩 스태커는 1롯트의 단위로 반출하기 전 복수로 적재해 놓을 수 있는 크기로 마련된다. The unloading stacker may load the user tray 10 in which the test object 20 for carrying out the test handler 1 out of the test object 20 that has been tested and classified is accommodated. The unloading stacker is provided in a size that can be stacked in plural before being taken out in units of one lot.

엠프티 스태커는 비어있는 유저 트레이(10)가 복수로 적재될 수 있도록 마련된다. 엠프티 스태커는 로딩 스태커로부터 피검체(20)의 이송이 완료된 후 비어있는 유저 트레이(10)를 이송받을 수 있다. 엠프티 스태커는 비어있는 유저 트레이(10)를 언로딩 스태커로 이송할 수 있다. The empty stacker is provided so that a plurality of empty user trays 10 can be loaded. The empty stacker may receive the empty user tray 10 after transfer of the subject 20 from the loading stacker is completed. The empty stacker may transfer the empty user tray 10 to the unloading stacker.

한편 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커는 테스트 핸들러(1) 외부와의 물류, 테스트 핸들러(1) 내부에서의 물류 및 적재 목적에 따라 구분될 수 있으나, 자체의 구성은 서로 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.On the other hand, the loading stacker, unloading stacker, and empty stacker may be classified according to the test handler (1) logistics with the outside, the logistics inside the test handler (1), and the purpose of loading, but their configurations are the same or similar to each other. Can be configured.

각 스태커 모듈(500)은 공간의 효율적인 활용을 위하여 복수의 유저 트레이(10)를 수직방향으로 쌓아 적재할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한 각 스태커 모듈(500)은 도 1에 표기된 y축 방향으로 수평이동하여 개폐될 수 있도록 구성되며, 외부로 노출된 위치에서 외부와 물류가 이루어지게 된다. 일 예로서 무인운반차(AGV; Automatic Guided Vehicle)는 복수의 유저 트레이(10)를 로딩 스태커에 전달하거, 복수의 유저 트레이(10)를 언로딩 스태커로부터 회수해 갈 수 있다. Each stacker module 500 may be configured to stack and stack a plurality of user trays 10 in a vertical direction for efficient use of space. In addition, each stacker module 500 is configured to be opened and closed by moving horizontally in the y-axis direction shown in FIG. 1, and distribution with the outside is performed at a location exposed to the outside. As an example, an automatic guided vehicle (AGV) may deliver a plurality of user trays 10 to a loading stacker, or collect a plurality of user trays 10 from the unloading stacker.

또한, 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커는 각각 복수로 마련될 수 있으며, 어느 하나가 외부와 물류하는 동안에도 내부적인 물류가 연속적으로 진행될 수 있도록 구성될 수 있다. In addition, a loading stacker, an unloading stacker, and an empty stacker may be provided in plural, respectively, and may be configured so that internal logistics can be continuously performed while any one is logistics with the outside.

이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여 스테이지(100)의 구성 및 동작에 대하여 개략적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, the configuration and operation of the stage 100 will be schematically described with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 스테이지를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지에서의 피검체 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.2 is a conceptual diagram showing a stage of a test handler according to an embodiment of the present invention divided according to functions on a plane, and FIG. 3 is a conceptual diagram showing movement of a test object and a test tray in a stage according to an embodiment of the present invention to be.

도 2 및 도 3을 참조하면, 스테이지(100)에서는 피검체(20)의 테스트 전, 후의 물류가 이루어진다. 스테이지(100)는 로딩 사이트(L), 테스트 사이트(T), 언로딩 사이트(UL)를 포함하여 기능적으로 분류될 수 있다. 2 and 3, in the stage 100, distribution before and after the test of the subject 20 is performed. The stage 100 may be functionally classified, including a loading site (L), a test site (T), and an unloading site (UL).

로딩 사이트(L)는 유저 트레이(10)로부터 복수의 피검체(20)를 픽업(pick up)하여 테스트 트레이(130)로 플레이스(place)할 수 있도록 구성된다. 로딩 사이트(L)에는 유저 트레이(10)로부터 테스트 트레이(130)로 피검체(20)를 이송하기 위한 핸드(110), 로딩 셔틀(120) 및 검사를 위한 스캐너(미도시)가 구비될 수 있다.The loading site L is configured to pick up a plurality of subjects 20 from the user tray 10 and place them on the test tray 130. The loading site (L) may be provided with a hand 110 for transferring the subject 20 from the user tray 10 to the test tray 130, a loading shuttle 120, and a scanner (not shown) for inspection. have.

픽업위치에는 로딩 스태커에 적재되어 있던 유저 트레이(10)가 하나씩 교대로 공급될 수 있으며, 후술할 핸드(110)가 복수의 피검체(20)만을 유저 트레이(10)로부터 빼내어 이송을 수행한다. 적재되어 있던 모든 피검체(20)가 이송된 경우 빈 유저 트레이(10)와 피검체(20)가 수용된 유저 트레이(10)가 교체되어 지속적으로 피검체(20)를 공급할 수 있도록 구성된다. The user trays 10 loaded in the loading stacker may be alternately supplied to the pickup position one by one, and the hand 110, which will be described later, removes only the plurality of subjects 20 from the user tray 10 and transfers them. When all the test objects 20 that have been loaded are transferred, the empty user tray 10 and the user tray 10 in which the test objects 20 are accommodated are replaced, so that the subject 20 can be continuously supplied.

한편, 픽업위치에는 어느 하나의 스태커 모듈(500)에서 적재되어 있던 유저 트레이(10)를 모두 소비하였거나, 고장이 난 경우에도 지속적으로 피검체(20)를 공급할 수 있도록 복수의 유저 트레이(10)가 노출될 수 있다. 이 경우 어느 하나의 유저 트레이(10)로부터 피검체(20)를 이송 중인 경우 다른 유저 트레이(10)는 스탠바이 상태로 대기하거나 새로운 유저 트레이(10)로 교체되도록 구성될 수 있다. On the other hand, in the pickup position, a plurality of user trays 10 so as to continuously supply the subject 20 even when all the user trays 10 loaded in any one stacker module 500 are consumed or a failure occurs. May be exposed. In this case, when the subject 20 is being transferred from one of the user trays 10, the other user tray 10 may be configured to wait in a standby state or be replaced with a new user tray 10.

핸드(110)는 복수의 피검체(20)를 픽업하고 이송한 뒤 테스트 트레이(130) 또는 로딩 셔틀(120)에 적재할 수 있도록 구성된다. 핸드(110)는 복수로 구성되어 이송구간마다의 물류를 담당할 수 있도록 구성될 수 있다. 핸드(110)는 상측의 수평방향이동이 가능한 레일에 설치될 수 있으며, 하측을 향하여 어태치먼트가 바라볼 수 있도록 구성되며, 수직방향으로의 길이조절이 가능할수 있도록 리니어 액추에이터(미도시)가 구비될 수 있다. 어태치먼트는 일 예로 복수의 진공 포트가 구비되어 복수의 피검체(20)를 진공흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한 어태치먼트는 피검체(20)의 종류, 크기 및 형상을 고려하여 교체가 가능하도록 구성될 수 있다. The hand 110 is configured to pick up and transfer the plurality of subjects 20 and then load them on the test tray 130 or the loading shuttle 120. The hand 110 may be configured to be in charge of logistics for each transport section. The hand 110 may be installed on a rail capable of horizontal movement of the upper side, and is configured so that the attachment can be viewed toward the lower side, and a linear actuator (not shown) is provided to enable length adjustment in the vertical direction. I can. As an example, the attachment may be provided with a plurality of vacuum ports and configured to vacuum-adsorb the plurality of subjects 20. In addition, the attachment may be configured to be replaceable in consideration of the type, size, and shape of the subject 20.

한편, 테스트 트레이(130)에는 피검체(20)가 적재되는데, 테스트 트레이(130)에 적재되는 피검체(20)들 간의 간격은 유저 트레이(10)에 형성된 적재홈 간의 견격과 다를 수 있다. 일반적으로 테스트 트레이(130)의 적재된 피검체(20)들 간의 간격이 유저 트레이(10)에 형성된 적재홈 간의 간격보다 크게 구성된다. 따라서 핸드(110)를 이용하여 픽업위치의 유저 트레이(10)로부터 복수의 피검체(20)를 픽업한 이후 피검체(20)간 간격을 넓혀 테스트 트레이(130)에 적재하게 된다. 구체적으로 x축 방향과 y축 방향으로 간격을 넓히기 위해 2번의 간격조절이 수행될 수 있으며, 이를 위해 픽업위치와 테스트 트레이(130) 사이에 로딩 셔틀(120)이 구비되며, 유저 트레이(10)로부터 로딩 셔틀(120)로 이송하면서 일방향으로의 간격을 조절하고, 로딩 셔틀(120)로부터 테스트 트레이(130)로 이송하면서 나머지 방향으로의 간격을 조절할 수 있다.On the other hand, there is a test object 20 is loaded on the test tray 130, the distance between the test objects 20 to be loaded on the test tray 130 may be different from the grip between the loading grooves formed in the user tray 10. In general, the distance between the test objects 20 loaded in the test tray 130 is larger than the distance between the loading grooves formed in the user tray 10. Therefore, after picking up the plurality of subjects 20 from the user tray 10 at the pickup position using the hand 110, the distance between the subjects 20 is widened and then loaded onto the test tray 130. Specifically, two intervals may be adjusted to increase the interval in the x-axis direction and the y-axis direction, and for this purpose, a loading shuttle 120 is provided between the pickup position and the test tray 130, and the user tray 10 It is possible to adjust the distance in one direction while being transferred from the loading shuttle 120 to the loading shuttle 120, and the distance in the other direction while transferring from the loading shuttle 120 to the test tray 130.

로딩 셔틀(120)은 유저 트레이(10)와 테스트 트레이(130) 사이에 구비되며, 복수의 피검체(20)가 1차적으로 정렬된 상태로 적재될 수 있도록 적재홈의 간격이 유저 트레이(10)보다 일 방향으로 넓혀진 배열로 구성될 수 있다. 또한 로딩 셔틀(120)은 물류의 효율을 위해 유저 트레이(10), 테스트 트레이(130) 및 핸드(110)의 위치를 고려하여 위치가 제어될 수 있다.The loading shuttle 120 is provided between the user tray 10 and the test tray 130, and the space between the loading grooves is the user tray 10 so that a plurality of subjects 20 can be loaded in a primary aligned state. ) Can be configured in a wider array in one direction. In addition, the loading shuttle 120 may be positioned in consideration of the positions of the user tray 10, the test tray 130, and the hand 110 for efficiency of distribution.

스캐너(미도시)는 이송되는 피검체(20)에 바코드가 있는 경우 이를 식별하기 위해 구비된다. 스캐너(미도시)는 핸드(110)가 피검체(20)를 픽업하여 이송하는 경로상에서 바코드를 인식할 수 있도록 구성될 수 있다. 스캐너는 피검체(20)의 형상, 크기 및 종류에 따라 바코드의 인식이 용이할 수 있도록 다양한 위치에 구비될 수 있다.A scanner (not shown) is provided to identify a barcode when there is a barcode on the subject 20 to be transferred. The scanner (not shown) may be configured to recognize a barcode on a path through which the hand 110 picks up and transfers the subject 20. The scanner may be provided in various positions to facilitate the recognition of barcodes according to the shape, size, and type of the subject 20.

플레이스 위치에서는 비어있는 테스트 트레이(130)가 공급되며, 피검체(20)가 이송되어 적재가 이루어진다. 플레이스 위치에서 피검체(20)의 적재가 완료되면 이후 테스트 사이트(T)로 테스트 트레이(130)를 이송하며, 비어있는 새로운 테스트 트레이(130)를 공급받을 수 있도록 구성된다.In the place position, an empty test tray 130 is supplied, and the subject 20 is transferred and stacked. When loading of the subject 20 is completed at the place position, the test tray 130 is transferred to the test site T afterwards, and a new empty test tray 130 is supplied.

한편, 플레이스 위치에서는 테스트 트레이(130)에 피검체(20)가 안착되는데, 테스트 트레이(130)에는 복수의 설치공이 형성되고, 각 설치공에는 피검체(20)를 테스트 트레이(130)에 견고하게 유지되도록 하는 인서트가 각각 설치될 수 있다. On the other hand, in the place position, the test object 20 is seated on the test tray 130, and a plurality of installation holes are formed in the test tray 130, and the test object 20 is firmly attached to the test tray 130 in each installation hole. Each insert can be installed to keep it properly.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트를 나타낸 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트를 나타낸 단면도이며, 도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트의 개방 동작을 나타낸 작동도이다.Figure 4 is a perspective view showing an insert according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a cross-sectional view showing an insert according to an embodiment of the present invention, Figures 6 and 7 are of the insert according to an embodiment of the present invention It is an operation diagram showing the opening operation.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 인서트(300)는 본체(310), 개방 링크(320), 탄성체(330) 및 잠금 링크(340)를 포함할 수 있다.4 to 7, the insert 300 may include a body 310, an open link 320, an elastic body 330, and a locking link 340.

본체(310)는 장방형으로 마련될 수 있다. 본체(310)는 고온의 피검체(20) 테스트 환경에서도 견딜 수 있는 내열성 소재로 마련되는 것이 바람직하다. 본체(310)의 중앙부에는 수용공(311)이 형성되고, 수용공(311)의 주변에는 정렬공(312)이 형성될 수 있다. 수용공(311)의 상단부는 피검체(20)의 면적보다 큰 면적으로 개방되고, 수용공(311)의 하단부는 피검체(20)의 면적보다 작은 면적으로 개방될 수 있다. 따라서 수용공(311)의 내벽은 상방으로 점차 확대 개방되는 형태의 경사면으로 이루어질 수 있다. 이와 같이 수용공(311)의 내벽이 경사면으로 이루어짐에 따라, 핸드(110)와 인서트(300)간의 개략적인 정렬만으로도 피검체(20)는 인서트(300)의 내측에 간편하게 정렬될 수 있다. 그리고 수용공(311)의 하단부에는 수용공(311)에 수용된 피검체(20)가 본체(310)의 하방으로 이탈되는 것을 방지하고 더욱 안정적으로 지지하기 위하여 걸림턱(313)이 돌출될 수 있다. The body 310 may be provided in a rectangular shape. It is preferable that the main body 310 is made of a heat-resistant material that can withstand a high-temperature test environment of the subject 20. A receiving hole 311 may be formed in a central portion of the body 310, and an alignment hole 312 may be formed around the receiving hole 311. The upper end of the receiving hole 311 may be opened to an area larger than the area of the subject 20, and the lower end of the receiving hole 311 may be opened to an area smaller than the area of the subject 20. Accordingly, the inner wall of the receiving hole 311 may be formed as an inclined surface gradually expanding and opening upward. As the inner wall of the receiving hole 311 is formed in an inclined surface as described above, the subject 20 can be conveniently aligned inside the insert 300 by only a schematic alignment between the hand 110 and the insert 300. In addition, at the lower end of the receiving hole 311, a locking protrusion 313 may protrude to prevent the subject 20 accommodated in the receiving hole 311 from being separated from the lower side of the body 310 and to support it more stably. .

개방 링크(320)는 수용공(311)의 주변에 배치된다. 개방 링크(320)의 상단부는 본체(310)의 상부면으로 돌출될 수 있다. 좀 더 구체적으로, 개방 링크(320)는 본체(310)의 상부면으로 돌출되는 돌출부(321)와 돌출부(321)를 중심으로 양 측방으로 연장되고 하방으로 연장되는 승강 가이드부(322)로 이루어질 수 있다. 승강 가이드부(322)의 내측면에는 잠금 링크(340)의 회전 구동을 가이드하기 위한 가이드홈(323)이 형성될 수 있다. 이러한 개방 링크(320)는 본체(310)의 상부면으로 돌출된 돌출부(321)가 가압되면 하방으로 하강될 수 있다. The open link 320 is disposed around the receiving hole 311. The upper end of the open link 320 may protrude to the upper surface of the main body 310. More specifically, the open link 320 is made of a protrusion 321 protruding to the upper surface of the main body 310 and an elevating guide part 322 extending downwardly and extending in both sides around the protrusion 321 I can. A guide groove 323 for guiding rotational driving of the locking link 340 may be formed on the inner side of the lifting guide unit 322. When the protrusion 321 protruding toward the upper surface of the main body 310 is pressed, the open link 320 may be lowered.

탄성체(330)는 본체(310)로부터 개방 링크(320)를 탄성 지지한다. 탄성체(330)는 개방 링크(320)에 작용하는 가압력이 해제되면 개방 링크(320)가 상승 구동하여 원래의 위치로 복귀할 수 있도록 한다. 탄성체(330)로는 압축코일 스프링을 사용할 수 있다.The elastic body 330 elastically supports the open link 320 from the body 310. When the pressing force acting on the open link 320 is released, the elastic body 330 drives the open link 320 upward to return to its original position. A compression coil spring may be used as the elastic body 330.

이와 같이 개방 링크(320)는 본체(310)의 상부면으로부터 돌출된 돌출부(321)를 가압하면 하강 구동하고, 돌출부(321)의 가압 상태를 해제하면 탄성체(330)의 탄성력에 의해 상승 구동할 수 있다. As such, the open link 320 is driven downward when the protrusion 321 protruding from the upper surface of the main body 310 is pressed, and when the pressing state of the protrusion 321 is released, the open link 320 is driven upward by the elastic force of the elastic body 330. I can.

잠금 링크(340)는 개방 링크(320)에 연결된다. 잠금 링크(340)의 일측에는 가이드홈(323)에 삽입되는 링크핀(343)이 설치되며, 타측에는 본체(310)에 연결되는 힌지핀(342)이 설치될 수 있다. 잠금 링크(340)의 소정 부위에는 수용공(311)을 향해 돌출되는 가압부(341)가 형성된다. 가압부(341)는 잠금 링크(340)의 회전 구동에 따라 수용공(311)의 내벽으로부터 출몰할 수 있다. The locking link 340 is connected to the open link 320. A link pin 343 inserted into the guide groove 323 may be installed on one side of the locking link 340, and a hinge pin 342 connected to the body 310 may be installed on the other side. A pressing portion 341 protruding toward the receiving hole 311 is formed at a predetermined portion of the locking link 340. The pressing part 341 may protrude from the inner wall of the receiving hole 311 according to the rotational driving of the locking link 340.

즉, 개방 링크(320)의 돌출부(321)가 본체(310)의 상부면으로부터 돌출되어 있으면 가압부(341)는 수용공(311)의 내벽으로부터 돌출된 형태로 위치하며, 개방 링크(320)가 하강 구동하면 잠금 링크(340)는 힌지핀(342)을 중심으로 회전 구동하고 가압부(341)는 수용공(311)의 내벽으로부터 사라질 수 있다. That is, when the protrusion 321 of the open link 320 protrudes from the upper surface of the main body 310, the pressing part 341 is located in a form protruding from the inner wall of the receiving hole 311, and the open link 320 When is driven downward, the locking link 340 is driven to rotate around the hinge pin 342 and the pressing part 341 may disappear from the inner wall of the receiving hole 311.

이와 같이 개방 링크(320)의 승강 구동에 따라 잠금 링크(340)는 회전 구동되며, 잠금 링크(340)의 회전 구동에 따라 가압부(341)는 수용공(311) 내벽으로부터 출몰할 수 있다. 따라서 돌출부(321)를 가압하고 가압부(341)가 수용공(311)의 내벽으로부터 사라지면 피검체(20)는 수용공(311)로 자유롭게 출입할 수 있다. 또한 돌출부(321)의 가압 상태를 해제하면 가압부(341)가 수용공(311)의 내벽으로부터 나타나 수용공(311)에 수용된 피검체(20)를 가압하여 피검체(20)가 인서트(300)에 견고하게 고정되도록 한다. In this way, the locking link 340 is driven to rotate according to the lifting drive of the open link 320, and the pressing unit 341 may protrude from the inner wall of the receiving hole 311 according to the rotational driving of the locking link 340. Therefore, when the protruding portion 321 is pressed and the pressing portion 341 disappears from the inner wall of the receiving hole 311, the subject 20 can freely enter and exit the receiving hole 311. In addition, when the pressing state of the protrusion 321 is released, the pressing portion 341 appears from the inner wall of the receiving hole 311 and presses the subject 20 accommodated in the receiving hole 311, so that the subject 20 is inserted into the insert 300. ) To be firmly fixed.

첨부된 도면에서, 개방 링크(320), 잠금 링크(340) 및 탄성체(330)는 각각 한쌍으로 마련되고 수용공(311)을 중심으로 서로 대향되게 배치되어 피검체(20)의 두 변을 함께 가압하는 실시예에 대하여 도시하고 있다. 하지만 개방 링크(320), 잠금 링크(340) 및 탄성체(330)의 수량 및 설치 위치는 얼마든지 변경할 수 있다. 다만, 피검체(20)의 테스트 조건을 고려하여, 개방 링크(320), 잠금 링크(340) 및 탄성체(330)는 잠금 링크(340)가 피검체(20)를 가압하는 동안 피검체(20)가 테스트 트레이(130)에 대하여 평탄한 상태를 유지할 수 있는 위치와 수량으로 설정되는 것이 바람직하다.In the accompanying drawings, the open link 320, the locking link 340, and the elastic body 330 are each provided in a pair and disposed opposite to each other around the receiving hole 311, so that the two sides of the subject 20 are joined together. An example of pressing is shown. However, the number and installation positions of the open link 320, the locking link 340, and the elastic body 330 can be changed as much as possible. However, in consideration of the test conditions of the subject 20, the open link 320, the locking link 340, and the elastic body 330 may be applied to the subject 20 while the locking link 340 presses the subject 20. ) Is preferably set to a position and quantity capable of maintaining a flat state with respect to the test tray 130.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이, 마스크 및 프리사이저를 나타낸 사시도이다. 8 is a perspective view showing a test tray, a mask, and a presizer according to an embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 플레이스 위치에서, 테스트 트레이(130)의 하방에는 프리사이저(preciser;400)가 배치될 수 있다. 프리사이저(400)는 정렬핀(410), 지지판(420) 및 핀 승강 구동부(430)를 포함할 수 있다. 정렬핀(410)은 테스트 트레이(130)에 설치된 인서트(300)의 각 정렬공(312)에 대응되는 위치에 배치된다. 지지판(420)는 정렬핀(410)을 지지하며, 핀 승강 구동부(430)는 지지판(420)을 승강 구동한다. Referring to FIG. 8, in a place position, a preciser 400 may be disposed below the test tray 130. The presizer 400 may include an alignment pin 410, a support plate 420, and a pin elevating driver 430. The alignment pins 410 are disposed at positions corresponding to the alignment holes 312 of the insert 300 installed in the test tray 130. The support plate 420 supports the alignment pins 410, and the pin lift drive unit 430 drives the support plate 420 to lift.

플레이스 위치에서, 핸드(110)가 피검체(20)를 인서트(300)에 내려놓을 때 인서트(300)가 기 설정된 위치에 정렬되지 않았다면 피검체(20)는 수용공(311)에 제대로 수용되지 않을 수 있다. 따라서 프리사이저(400)는 테스트 트레이(130)의 하부로부터 정렬핀(410)을 상승 시켜 각 인서트(300)의 정렬공(312)에 정렬핀(410)이 삽입되도록 한다. In the place position, when the hand 110 puts the subject 20 down on the insert 300, if the insert 300 is not aligned to a preset position, the subject 20 is not properly accommodated in the receiving hole 311. May not. Therefore, the presizer 400 raises the alignment pin 410 from the lower portion of the test tray 130 so that the alignment pin 410 is inserted into the alignment hole 312 of each insert 300.

이때, 플레이스 위치에서, 테스트 트레이(130)의 상방에는 마스크(500)가 배치될 수 있다. 마스크(500)에는 인서트(300)의 수용공(311)에 대응하는 관통공(501)이 형성될 수 있다. 마스크(500)는 마스크 승강 구동부(510)에 의해 승강 구동될 수 있다. 마스크 승강 구동부(510)는 피검체(20)가 수용공(311)에 수용되기 전에 테스트 트레이(130)를 향해 하강한다. 마스크(500)가 하강함에 따라 각 인서트(300)의 개방 링크(320)가 가압되며 잠금 링크(340)가 회전 구동하여 인서트(300)의 수용공(311)이 개방된다. In this case, in the place position, the mask 500 may be disposed above the test tray 130. A through hole 501 corresponding to the receiving hole 311 of the insert 300 may be formed in the mask 500. The mask 500 may be elevated and driven by the mask elevating driver 510. The mask lifting driver 510 descends toward the test tray 130 before the subject 20 is accommodated in the receiving hole 311. As the mask 500 descends, the open link 320 of each insert 300 is pressed and the locking link 340 is driven to rotate to open the receiving hole 311 of the insert 300.

이와 같이 정렬핀(410)이 인서트(300)의 정렬공(312)에 삽입되어 인서트(300)가 기 설정된 위치에 정렬되고, 마스크(500)가 하강하여 수용공(311)이 개방되면, 핸드(110)는 기 설정된 위치에 피검체(20)를 내려놓아 피검체(20)는 수용공(311)에 안착될 수 있다.As such, when the alignment pin 410 is inserted into the alignment hole 312 of the insert 300 so that the insert 300 is aligned at a preset position, the mask 500 is lowered and the receiving hole 311 is opened, the hand The test object 20 may be seated in the receiving hole 311 by lowering the test object 20 at a preset position.

여기서, 마스크(500) 및 프리사이저(400)는 테스트 트레이(130)와 유사한 면적을 가지고 모든 인서트(300)의 정렬 및 모든 인서트(300)를 개폐하도록 실시할 수 있다. 하지만, 전체 장비 구성의 간소화 및 공정의 효율성을 고려하여 마스크(500) 및 프리사이저(400)는 테스트 트레이(130)보다 작은 면적을 가지고 인서트(300)의 정렬 및 인서트(300)의 개폐를 나누워서 수행할 수 있다. Here, the mask 500 and the presizer 400 may have an area similar to that of the test tray 130 and may align all inserts 300 and open and close all inserts 300. However, in consideration of the simplification of the overall equipment configuration and the efficiency of the process, the mask 500 and the presizer 400 have a smaller area than the test tray 130 and allow alignment of the insert 300 and opening and closing of the insert 300. It can be done by sharing.

마스크(500) 및 프리사이저(400)는 테스트 트레이(130)보다 작은 면적을 가질 수 있다. 따라서 마스크(500)는 테스트 트레이(130)에 구비된 복수의 인서트를 선택적으로 개방할 수 있도록 구성된다. 테스트 트레이(130)를 평면상에서 복수의 분할영역(Ad)으로 구분할 때 하나의 분할영역(Ad)에 대응되는 크기로 구성될 수 있다. 본 실시예에서는 분할영역(Ad)이 테스트 트레이(130)의 진행방향을 따라 두 개로 구분되며, 마스크(500) 및 프리사이저(400)는 테스트 트레이(130)의 절반 크기로 구성될 수 있다. 마스크(500)는 테스트 트레이(130)의 전반부 측에서 피검체(20)의 인출이 가능하도록 인서트(300)를 개방하며, 전반부에서 모든 피검체(20)가 인출된 경우 테스트 트레이(130)를 이동시켜 후반부의 인서트(300)를 개방할 수 있다. 물론 마스크(500)에 의한 인서트(300)의 개방 전, 프리사이저(400)의 인서트(300)의 정렬이 선행되어야 한다.The mask 500 and the presizer 400 may have an area smaller than that of the test tray 130. Accordingly, the mask 500 is configured to selectively open a plurality of inserts provided in the test tray 130. When the test tray 130 is divided into a plurality of divided areas Ad on a plane, it may be configured to have a size corresponding to one divided area Ad. In the present embodiment, the divided area Ad is divided into two along the traveling direction of the test tray 130, and the mask 500 and the presizer 400 may be formed in half the size of the test tray 130. . The mask 500 opens the insert 300 so that the subject 20 can be withdrawn from the first half of the test tray 130, and when all the subjects 20 are withdrawn from the first half, the test tray 130 is opened. It can be moved to open the insert 300 in the rear part. Of course, before opening of the insert 300 by the mask 500, alignment of the insert 300 of the presizer 400 must precede.

도시하지 않았지만, 마스크(500)와 프리사이저(400)의 사이로 테스트 트레이(130)를 평면 상으로 이송하기 위하여 테스트 트레이(130)를 트레이 이송부가 배치될 수 있다. 다른 실시예로, 테스트 트레이(130)의 위치는 고정되고 마스크와 프리사이저(400)가 평면 상으로 이송한다 하더라도 작용 효과는 대동소이 할 것이다. Although not shown, in order to transfer the test tray 130 on a plane between the mask 500 and the presizer 400, a tray transfer unit may be disposed for the test tray 130. In another embodiment, even if the position of the test tray 130 is fixed and the mask and the presizer 400 are transported on a plane, the effect will be almost the same.

계속해서, 테스트 사이트(T)는 테스트 트레이(130)에 적재된 복수의 피검체(20)를 테스트 트레이(130) 단위로 시험을 수행하며, 시험결과를 전송할 수 있도록 구성된다. 테스트 챔버(160)에서는 일 예로 피검체(20)를 -40℃ 내지 130℃의 온도로 변화시켜 기능을 점검하는 열부하 테스트가 진행될 수 있다. Subsequently, the test site T is configured to perform a test on a plurality of subjects 20 loaded on the test tray 130 in units of the test tray 130 and transmit the test results. In the test chamber 160, for example, a heat load test may be performed in which the subject 20 is changed to a temperature of -40°C to 130°C to check the function.

테스트 사이트(T)에는 테스트 챔버(160)와 테스트 챔버(160) 전후에 구비되는 버퍼 챔버(150)가 구비될 수 있다. 버퍼 챔버(150)에는 복수의 테스트 트레이(130)가 적재될 수 있도록 구성되며, 열부하 테스트의 수행 전후에 예열 또는 후열처리가 이루어질 수 있도록 구성될 수 있다. A test chamber 160 and a buffer chamber 150 provided before and after the test chamber 160 may be provided at the test site T. The buffer chamber 150 may be configured to be loaded with a plurality of test trays 130, and may be configured to perform preheating or post-heat treatment before and after performing a heat load test.

테스트 사이트(T)에서는 테스트 트레이(130)를 직립으로 세운 상태에서 테스트의 이송 및 테스트가 수행되도록 구성될 수 있어 전체적인 장비의 크기를 감소시킬 수 있다. 한편 구성이 상세히 도시되지 않았으나, 버퍼 챔버(150)의 전후에는 테스트 트레이(130)를 직립상태로 자세전환시키는 반전기(140)가 구비될 수 있다.In the test site T, the test tray 130 may be configured to be transported and tested while the test tray 130 is upright, so that the overall size of the equipment may be reduced. Meanwhile, although the configuration is not shown in detail, an inverter 140 may be provided before and after the buffer chamber 150 to change the posture of the test tray 130 to an upright state.

언로딩 사이트(UL)는 테스트 사이트(T)로부터 이송받는 테스트 트레이(130)로부터 피검체(20)를 테스트 결과에 따라 분류하고 이송하여 적재할 수 있도록 구성된다. 언로딩 사이트(UL)는 로딩 사이트(L)의 구성과 유사한 요소들이 구비될 수 있으며, 로딩 사이트(L)에서의 피검체(20)의 이송과 반대순서로 이루어 질 수 있다. The unloading site (UL) is configured to sort, transfer, and load the subject 20 according to the test result from the test tray 130 transferred from the test site (T). The unloading site UL may be provided with elements similar to the configuration of the loading site L, and may be performed in an order opposite to that of the transfer of the subject 20 at the loading site L.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.The embodiments of the present invention described above and illustrated in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The protection scope of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those of ordinary skill in the technical field of the present invention can improve and change the technical idea of the present invention in various forms. Therefore, such improvements and changes will fall within the scope of protection of the present invention as long as it is apparent to those of ordinary skill in the art.

1 : 테스트 핸들러 2 : 스태커
10 : 유저 트레이 20 : 피검체
100 : 스테이지 110 : 핸드
120 : 로딩 셔틀 130 : 테스트 트레이
140 : 반전기 150 : 버퍼 챔버
160 : 테스트 챔버 300 : 인서트
310 : 본체 320 : 개방 링크
330 : 탄성체 340 : 잠금 링크
400 : 프리사이저 410 : 정렬핀
420 : 지지판 430 : 핀 승강 구동부
500 : 마스크 510 : 마스크 승강 구동부1: test handler 2: stacker
10: user tray 20: subject
100: stage 110: hand
120: loading shuttle 130: test tray
140: inverter 150: buffer chamber
160: test chamber 300: insert
310: main body 320: open link
330: elastic body 340: locking link
400: presizer 410: alignment pin
420: support plate 430: pin elevating driver
500: mask 510: mask lifting driver

Claims (16)

피검체가 수용되는 수용공이 형성되는 본체;
상단부가 상기 본체의 상부면으로부터 돌출되고 상기 수용공의 주변에 승강 구동 가능하게 설치되는 개방 링크:
상기 개방 링크의 승강 구동에 따라 상기 본체에 연결되는 힌지핀을 중심으로 회전 구동 가능하게 설치되는 잠금 링크;를 포함하되,
상기 잠금 링크는
상기 개방 링크 상단부를 가압하면 상기 수용공 내벽으로부터 나타나 상기 수용공에 수용된 상기 피검체를 상기 수용공의 내부에 고정시키며,
상기 개방 링크 상단부의 가압 상태를 해제하면 상기 수용공 내벽으로 사라져 상기 수용공에 수용된 상기 피검체가 상기 수용공으로터 이탈 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 인서트.
A body having a receiving hole in which the subject is accommodated;
An open link with an upper end protruding from the upper surface of the main body and installed to be elevating and driving around the receiving hole:
Including; a locking link installed so as to be rotatably driven about a hinge pin connected to the main body according to the lifting drive of the open link,
The locking link is
When the upper end of the open link is pressed, the object to be examined appears from the inner wall of the receiving hole and accommodated in the receiving hole is fixed inside the receiving hole,
When the pressing state of the upper end of the open link is released, it disappears into the inner wall of the receiving hole so that the subject accommodated in the receiving hole can be separated from the receiving hole.
 제1항에 있어서,
상기 수용공의 상단부는 상기 피검체의 면적보다 큰 면적으로 개방되고 상기 수용공의 상단부는 상기 피검체의 면적보다 작은 면적으로 개방되어 상기 수용공의 내벽에 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 인서트.
The method of claim 1,
A test handler, characterized in that the upper end of the receiving hole is opened to an area larger than the area of the subject, and the upper end of the receiving hole is opened to an area smaller than the area of the subject to be examined, and an inclined surface is formed on the inner wall of the receiving hole. Dragon insert.
 제1항에 있어서,
상기 수용공 내벽 하단부로부터 상기 수용공의 내측을 향해 돌출되어 상기 피검체가 상기 본체의 하방으로 이탈되는 것을 방지하는 걸림턱을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 인서트.
The method of claim 1,
Insert for a test handler, characterized in that it further comprises a locking jaw protruding toward the inside of the receiving hole from the lower end of the inner wall of the receiving hole to prevent the subject from being separated from the lower side of the body.
 제1항에 있어서,
상기 개방 링크의 가압력 해제시 상기 잠금 링크가 상기 본체의 상단면으로 돌출되도록 상기 본체로부터 상기 개방 링크를 탄성지지하는 탄성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 인서트.
The method of claim 1,
Insert for a test handler, characterized in that it further comprises an elastic body for elastically supporting the open link from the main body so that the locking link protrudes to the top surface of the main body when the pressing force of the open link is released.
 제1항에 있어서,
상기 본체에는 상기 인서트의 정렬 상태를 유지하기 위한 정렬공이 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 인서트.
The method of claim 1,
Insert for a test handler, characterized in that the body is formed with an alignment hole for maintaining the alignment state of the insert.
 테스트 트레이;
피검체가 상기 테스트 트레이에 유지되도록 상기 테스트 트레이에 설치되는 인서트;
상기 인서트의 상측에 배치되고 상기 인서트에 가압력을 형성하여 상기 피검체가 상기 인서트로부터 출입 가능하도록 하는 마스크;를 포함하되,
상기 인서트는
피검체가 수용되는 수용공이 형성되는 본체;
상단부가 상기 본체의 상부면으로부터 돌출되고 상기 수용공의 주변에 승강 구동 가능하게 설치되는 개방 링크:
상기 개방 링크의 승강 구동에 따라 상기 본체에 연결되는 힌지핀을 중심으로 회전 구동 가능하게 설치되는 잠금 링크;를 포함하되,
상기 잠금 링크는
상기 마스크가 상기 개방 링크 상단부를 가압하면 상기 수용공 내벽으로부터 나타나 상기 수용공에 수용된 상기 피검체를 상기 수용공의 내부에 고정시키며,
상기 마스크가 상기 개방 링크 상단부의 가압 상태를 해제하면 상기 수용공 내벽으로 사라져 상기 수용공에 수용된 상기 피검체가 상기 수용공으로터 이탈 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
Test tray;
An insert installed in the test tray so that the subject is held in the test tray;
Including; a mask disposed on the upper side of the insert and forming a pressing force on the insert to allow the subject to enter and exit from the insert,
The insert is
A body having a receiving hole in which the subject is accommodated;
An open link with an upper end protruding from the upper surface of the main body and installed to be elevating and driving around the receiving hole:
Including; a locking link installed so as to be rotatably driven about a hinge pin connected to the main body according to the lifting drive of the open link,
The locking link is
When the mask presses the upper end of the open link, it appears from the inner wall of the receiving hole and fixes the subject accommodated in the receiving hole inside the receiving hole,
The test handler, characterized in that when the mask releases the pressurized state of the upper end of the open link, it disappears into the inner wall of the receiving hole so that the subject accommodated in the receiving hole can be separated from the receiving hole.
 제6항에 있어서,
상기 수용공의 상단부는 상기 피검체의 면적보다 큰 면적으로 개방되고 상기 수용공의 상단부는 상기 피검체의 면적보다 작은 면적으로 개방되어 상기 수용공의 내벽에 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
The method of claim 6,
A test handler, characterized in that the upper end of the receiving hole is opened to an area larger than the area of the subject, and the upper end of the receiving hole is opened to an area smaller than the area of the subject to be examined, and an inclined surface is formed on the inner wall of the receiving hole. .
 제6항에 있어서,
상기 수용공 내벽 하단부로부터 상기 수용공의 내측을 향해 돌출되어 상기 피검체가 상기 본체의 하방으로 이탈되는 것을 방지하는 걸림턱을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
The method of claim 6,
The test handler, characterized in that it further comprises a locking jaw protruding toward the inside of the receiving hole from the lower end of the inner wall of the receiving hole to prevent the subject from being separated from the lower side of the body.
 제6항에 있어서,
상기 개방 링크의 해제시 상기 잠금 링크가 상기 본체의 상단면으로 돌출되도록 상기 본체로부터 상기 개방 링크를 탄성지지하는 탄성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
The method of claim 6,
And an elastic body elastically supporting the open link from the main body so that the locking link protrudes to an upper end surface of the main body when the open link is released.
 제6항에 있어서,
상기 본체에는 상기 인서트의 정렬상태를 유지하기 위한 정렬공이 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
The method of claim 6,
The test handler, characterized in that the body is formed with an alignment hole for maintaining the alignment state of the insert.
 제6항에 있어서,
상기 테스트 트레이에 대하여 상기 마스크를 승강시키는 마스크 승강부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
The method of claim 6,
And a mask lifting unit for lifting the mask with respect to the test tray.
 제11항에 있어서,
상기 마스크는 상기 테스트 트레이보다 작은 면적을 가지며,
상기 테스트 트레이를 평면 방향으로 이송하여 상기 마스크에 대한 상기 테스트 트레이의 위치를 정렬하는 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
The method of claim 11,
The mask has a smaller area than the test tray,
And an alignment unit for aligning a position of the test tray with respect to the mask by transferring the test tray in a plane direction.
 제11항에 있어서,
상기 정렬공에 대응하는 정렬핀이 돌출되고 상기 테스트 트레이를 향해 상승 구동하여 상기 테스트 트레이에 설치된 상기 인서트의 위치를 유지하는 프리사이저(preciser)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
The method of claim 11,
An alignment pin corresponding to the alignment hole is protruding and driving upward toward the test tray to maintain a position of the insert installed in the test tray test handler (preciser) further comprising a.
 테스트 트레이의 상측에 마스크를 정렬하는 정렬 단계;
상기 마스크로 상기 테스트 트레이에 설치된 인서트를 가압하여 상기 인서트를 개방하는 개방 단계;및
핸드가 상기 인서트로부터 피검체를 픽업하는 배출 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피검체 배출 방법.
An alignment step of aligning the mask on the upper side of the test tray;
An opening step of pressing the insert installed in the test tray with the mask to open the insert; And
And a discharging step of picking up the subject from the insert by a hand.
 제14항에 있어서,
상기 정렬 단계는
상기 테스트 트레이의 하방에 배치된 프리사이저가 상기 인서트에 형성된 정렬공으로 정렬핀을 삽입하여 상기 인서트의 위치를 기 설정된 위치로 정렬하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피검체 배출 방법.
The method of claim 14,
The alignment step
A test handler discharging method, characterized in that the presizer disposed below the test tray inserts an alignment pin into an alignment hole formed in the insert to align the position of the insert to a preset position.
 제14항에 있어서,
상기 마스크는 상기 테스트 트레이보다 작은 면적을 가지며,
상기 정렬 단계는 정렬부가 상기 테스트 트레이를 평면 방향으로 이송하여 상기 마스크에 대한 상기 테스트 트레이의 위치를 정렬하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 피검체 배출 방법.
The method of claim 14,
The mask has a smaller area than the test tray,
In the alignment step, the alignment unit transfers the test tray in a plane direction to align the position of the test tray with respect to the mask.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100486412B1 (en) 2000-10-18 2005-05-03 (주)테크윙 Insert of test tray for test handler

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