KR20200117688A - 수차 제어가 가능한 초점 가변 액체 렌즈 - Google Patents

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Abstract

수차 제어가 가능한 초점 가변 액체 렌즈가 개시된다.
이 액체 렌즈에서 챔버는 유압 방식의 액체 렌즈에서 렌즈 역할을 수행하는 액체를 수용한다. 하부 기판은 상기 챔버에 장착되어 상기 액체의 하부를 밀봉하고, 표면막은 상기 액체의 상부를 덮도록 상기 챔버에 장착된다. 제1 탄성막은 상기 액체에 압력을 가할 수 있도록 상기 챔버에 장착되고, 구동부는 상기 제1 탄성막을 구동한다.

Description

수차 제어가 가능한 초점 가변 액체 렌즈 {VARI-FOCAL LIQUID LENS CAPABLE OF CONTROLLING ABERRATION}
본 발명은 수차 제어가 가능한 초점 가변 액체 렌즈에 관한 것이다.
광학 시스템에서 렌즈의 광학 특성은 이미지의 품질을 결정짓는 매우 중요한 요소이다. 이러한 렌즈를 사용할 때 수차가 보정되지 않을 경우 이미지가 촬상면에 제대로 맺히지 않아 이미지의 열화가 일어나고, 원하는 이미지를 선명하게 얻을 수가 없다.
일반적으로, 광학 시스템은 수차를 보정하기 위해 다수의 고체 렌즈가 필요하며, 각각의 렌즈는 렌즈군으로 설계되거나 비구면 렌즈를 이용하여 수차를 최소화한다. 고성능 비구면 렌즈의 경우 레일리 기준을 바탕으로 제작되며, 이는 파장의 0.07배(λ/14) 정도의 RMS(Root Mean Square) 파면 오차값을 가진다.
그러나, 비구면 렌즈의 경우 고성능에 필요한 표면 프로파일을 제작하기가 어렵고 단가가 높다. 또한, 비구면 렌즈를 사용하더라도 초점 거리가 고정되어 있기 때문에 초점 거리 가변 광학 시스템을 제작할 경우 여러 매의 렌즈를 결합하여 렌즈군 사이의 거리를 기계적으로 조정해야 한다. 이로 인해, 고체 렌즈의 경우 렌즈의 특성상 하나의 특정 초점 거리에서만 수차가 낮고, 초점 거리가 바뀌면 수차가 증가하게 된다. 현재는 이러한 수차들을 초점 거리가 고정된 렌즈들을 이용하여 보상하려고 하기 때문에 광학 시스템을 설계함에 있어 부피와 속도 등의 희생이 불가피하다.
한편, 기계적인 움직임 없이 초점 가변을 할 수 있는 대표적인 방법이 액체렌즈를 이용하는 방식이다. 여기서, 액체 렌즈는 액체를 사용하여 렌즈를 제작하고, 렌즈의 표면 곡률을 변화시켜 초점 거리를 변화시킬 수 있는 기술이다.
액체 렌즈는 고속으로 초점이 변한다는 특성으로 기존 고체 렌즈로 구성된 광학 시스템의 한계를 뛰어 넘을 수 있기 때문에 Optotune, Corning Varioptic, Bosch 등 다양한 기업에서 초점 가변 렌즈 시장을 형성하고 있다.
이러한 액체 렌즈의 구동 방식으로는 대표적으로 전기 습윤 방식, 유압 방식 등이 있다. 전기 습윤 방식의 액체 렌즈의 경우 고속으로 초점 조절이 가능하지만 동작 특성상 소형 렌즈로만 제작이 가능하기 때문에, 다양한 크기의 액체 렌즈를 구현하기 위해서는 유압 방식이 유리하다. 유압 방식의 액체 렌즈의 경우 액체를 주입하여 렌즈 표면에 해당하는 표면막의 형상을 변화시켜서 초점을 조절한다.
이러한 장점에도 불구하고 초점 가변 액체 렌즈는 대중적으로 사용되지 못하고 있는데, 가장 큰 이유는 수차로 인한 신뢰도 문제이다. 현재 상용화되고 있는 액체 렌즈의 경우 기본적으로 액체의 표면 형상을 그대로 이용하기 때문에 구면을 띄고 있고, 그로 인해 수차가 고체 렌즈에 비해서 상당히 높은 편이다. 또한, 액체의 경우 형상이 변할 수 있기 때문에 중력의 영향을 받으면 모양이 변하여 액체렌즈를 세워서 사용할 경우 y축 코마 수차가 크게 발생하게 된다. 따라서, 이러한 수차로 인한 성능 저하로 이미지 열화가 일어나고 고품질 이미지를 요구하는 분야에서는 널리 사용되지 못한다는 단점이 있다.
따라서, 기존의 액체 렌즈가 가지고 있는 고속 초점 가변 특성을 유지하면서도 수차가 적은 렌즈가 요구되고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 고속 초점 가변 특성을 유지하면서도 수차가 적은 수차 제어가 가능한 초점 가변 액체 렌즈를 제공한다.
본 발명의 하나의 특징에 따른 초점 가변 액체 렌즈는,
유압 방식의 액체 렌즈에서 렌즈 역할을 수행하는 액체를 수용하는 챔버; 상기 챔버에 장착되어 상기 액체의 하부를 밀봉하는 하부 기판; 상기 액체의 상부를 덮도록 상기 챔버에 장착된 표면막; 상기 액체에 압력을 가할 수 있도록 상기 챔버에 장착된 제1 탄성막; 및 상기 제1 탄성막을 구동하기 위한 구동부를 포함한다.
여기서, 상기 구동부는, 상기 챔버에 장착되어 구동 전류 공급에 의해 상기 제1 탄성막을 구동하는 초점 조절용 보이스 코일 및 보이스 코일용 마그넷을 포함한다.
또한, 상기 초점 가변 액체 렌즈는, 상기 표면막에 장력을 가하도록 상기 챔버에 장착된 제2 탄성막; 및 상기 챔버에 장착되어 구동 전류 공급에 의해 상기 제2 탄성막을 구동하는 수차 조절용 보이스 코일을 더 포함한다.
또한, 상기 제2 탄성막은 두 개의 탄성막으로 구성되고, 상기 두 개의 탄성막과 상기 챔버에 의해 형성된 공간 내에 수차 보정용 액체가 수용되어 있으며, 상기 두 개의 탄성막 중 하나의 탄성막이 상기 수차 조절용 보이스 코일과 상기 보이스 코일용 마그넷에 의해 구동되어 상기 수차 보정용 액체를 가압하고, 상기 두 개의 탄성막 중 상기 하나의 탄성막을 제외한 나머지 탄성막이 상기 수차 보정용 액체에 의해 가압되어 상기 표면막에 장력을 가한다.
또한, 상기 표면막은 원형으로 형성되며, 상기 표면막의 중심부에서 가장자리로 갈수록 두께가 얇아지도록 형성된다.
또한, 상기 표면막은 상기 액체와 굴절률이 동일하다.
또한, 상기 표면막, 상기 제1 탄성막 및 상기 제2 탄성막은 폴리머 계열의 PDMS(Polydimethylsiloxane) 물질로 이루어진다.
또한, 상기 초점 조절용 보이스 코일에 공급되는 구동 전류의 세기에 따라 상기 표면막의 두께 및 형상을 조절한다.
또한, 상기 초점 조절용 보이스 코일에 공급되는 구동 전류의 세기가 클수록 상기 표면막이 더 볼록해져 상기 액체 렌즈의 초점 거리가 더 짧아진다.
또한, 상기 수차 조절용 보이스 코일에 공급되는 구동 전류의 세기에 따라 상기 표면막에 가해지는 장력의 세기가 제어된다.
또한, 상기 표면막이 원형으로 형성되는 경우, 원형의 표면막의 가장자리에 가해지는 장력의 세기가 위치마다 다르도록 제어 가능하다.
또한, 상기 표면막이 수직인 상태가 되도록 상기 액체 렌즈가 세워져 있는 경우, 상기 표면막의 상부 가장자리에 가해지는 장력보다 상기 표면막의 하부 가장자리에 가해지는 장력이 더 크도록 상기 수차 조절용 보이스 코일에 공급되는 구동 전류가 제어된다.
또한, 상기 챔버는 원형으로 형성되고, 상기 하부 기판은 원형의 상기 챔버의 하부를 밀봉하도록 원형으로 형성되며, 상기 표면막은 상기 액체의 상부를 밀봉하도록 원형으로 형성되고, 상기 제1 탄성막은 상기 액체를 하부에서 가압하도록 링 형태로 형성된다.
본 발명에 따르면, 초점 거리 가변 시스템을 제작할 때 적은 수의 렌즈로 효율적인 수차를 제어할 수 있으며, 기계적인 움직임이 필요없기 때문에 전체 광학 시스템을 획기적으로 소형화할 수 있다.
또한, 표면막의 제어만으로 수차를 제거할 수 있기 때문에 제작 단가를 획기적으로 낮출 수 있다.
또한, 기존 액체 렌즈가 가지는 광학 특성을 개선하여 기존 광학 시스템의 고체 렌즈를 대체하여 광학 설계를 유연화할 뿐만 아니라 기존 고체 렌즈로는 불가능한 시분할 촬영, 실시간 초점 추적 등의 기능을 탑재한 어플리케이션에도 적용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 초점 가변 액체 렌즈의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 초점 가변 액체 렌즈의 AA' 기준 정단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 액체 렌즈의 초점 조절 원리를 나타낸 도면으로, 저압력에 의해 초점 거리가 긴 경우를 나타낸다.
도 4는 도 2에 도시된 액체 렌즈의 초점 조절 원리를 나타낸 다른 도면으로, 고압력에 의해 초점 거리가 짧은 경우를 나타낸다.
도 5는 일반적인 렌즈의 수차 유무에 따른 평행 광선의 광경로를 도시한 도면이다.
도 6은 도 2에 도시된 액체 렌즈의 수차 조절 원리를 나타낸 도면으로, (a)는 수차 조절 전의 상태를 나타낸 것이고, (b)는 수차 조절 후의 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 초점 가변 액체 렌즈가 세워져 있는 경우 수차 조절 전의 형태를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 초점 가변 액체 렌즈가 세워져 있는 경우 수차 조절 후의 형태를 도시한 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "…부", "…기", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 초점 가변 액체 렌즈에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 초점 가변 액체 렌즈의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 초점 가변 액체 렌즈의 AA' 기준 정단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액체 렌즈(100)는 유압 방식의 액체 렌즈로서, 링 형태의 챔버(105) 내에 수용되어 렌즈 역할을 하는 액체(101), 액체(101)의 상부를 덮는 원형의 표면막(102), 액체(101)의 하부를 밀봉하는 원형의 하부 기판(106), 수차 조절에 사용되는 링 형태의 탄성막(103) 및 보이스 코일(104), 초점 조절에 사용되는 링 형태의 탄성막(110) 및 보이스 코일(111) 및 보이스 코일용 마그넷(112)을 포함한다.
렌즈 역할을 하는 액체(101)는 챔버(105), 표면막(102), 탄성막(103, 110), 하부 기판(106)에 의해 둘러쌓여 챔버(105) 내에 수용된다.
링 형태의 탄성막(103)은 챔버(105)에 의해 지지되고, 표면막(102)은 탄성막(103) 사이에 삽입되어 지지된다.
탄성막(103)은 표면막(102)이 접촉되지 않는 면이 챔버(105)와의 사이에 수차 보정용 액체(107)를 수용하도록 형성된다.
액체(101)와 표면막(102)의 경우 난반사나 추가적인 광학 수차를 최소화하기 위해 서로 동일하거나 비슷한 굴절률을 가진다.
표면막(102)의 경우 낮은 탄성계수를 가지는 폴리머 계열의 PDMS(Polydimethylsiloxane)와 같은 물질이 사용된다. 이때, 렌즈(100)의 가운데 부분은 두껍고 가장자리로 갈수록 얇아지는 형태가 되도록 표면막(102)이 형성된다. 이와 같이, 표면막(102)의 두께가 다를 경우, 구체적으로 중심 부분의 두께가 가장자리에 비해 두꺼울 경우, 동일한 유압을 가했을 때, 렌즈(100)의 표면막(102)이 비구면 렌즈의 형상으로 부풀어 오르는 것이 가능해진다.
초점 조절용 탄성막(110) 및 수차 조절용 탄성막(103) 또한 유압에 따라 휘는 성질을 이용해야 되기 때문에 PDMS와 같은 폴리머 계열의 물질이 사용될 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 액체 렌즈의 초점 조절 원리를 나타낸 도면으로, 저압력에 의해 초점 거리가 긴 경우를 나타내고, 도 4는 도 2에 도시된 액체 렌즈의 초점 조절 원리를 나타낸 다른 도면으로, 고압력에 의해 초점 거리가 짧은 경우를 나타낸다.
도 3을 참조하면, 초점 조절의 경우 보이스 코일용 마그넷(112)과 초점 조절용 보이스 코일(111)을 이용하여 탄성막(110)이 액체(101)에 압력을 가하는 방향으로 휘도록 하면, 액체(101)에 압력이 가해져서 결과적으로 액체(101)의 상부를 덮는 표면막(102)이 부풀어 오른다. 이때, 표면막(102)이 부풀어 오르는 정도에 따라 초점 거리가 변하게 되고 이는 자유롭게 변형이 가능하다. 즉, 도 3의 경우에는 액체(101)에 저압력이 가해지도록 보이스 코일(111)에 공급하는 구동 전류가 낮으면 탄성막(110)에 의해 가해지는 압력이 약해서 표면막(102)이 부풀어 오르는 정도가 작아 초점 거리가 길어진다.
반면에, 도 4를 참조하면, 액체(101)에 고압력이 가해지도록 보이스 코일(111)에 공급하는 구동 전류가 높으면 탄성막(110)에 의해 가해지는 압력이 강해져서 표면막(102)이 많이 부풀어 올라 초점 거리가 짧아진다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에서는 보이스 코일용 마그넷(112)과 초점 조절용 보이스 코일(111)을 사용하여 탄성막(110)의 휘는 정도를 조절하여 이에 따라 액체(101)에 가해지는 압력이 조절되어 렌즈(100)의 초점 거리를 조절할 수 있다. 즉, 초점 가변이 가능한 액체 렌즈(100)를 제공할 수 있다.
한편, 렌즈의 수차에 의한 성능을 나타낼 때는 도 5에 도시되어 있는 것과 같이 파면 오차율을 위치 별로 측정하여 wavefront error를 RMS(Root M0ean Square) 값으로 구하고, 파장에 대한 비율을 계산하여 λ/14 이하가 되면 ‘무수차 수준’ 이라고 말한다.
일반적인 유압 방식의 액체 렌즈의 경우 두께가 일정한 렌즈 표면막을 사용하기 때문에 특정 초점에서만 수차가 최소화되고 초점 거리를 가변함에 따라 수차가 매우 증가하게 된다. 또한, 중력으로 인해 렌즈를 세웠을 경우, 렌즈 아랫 부분으로 액체가 쏠리게 되고, 이로 인해 파면이 틀어지게 되고 렌즈를 통과한 광선들이 한 점에 모이지 않아 수차가 발생하게 된다.
도 6은 도 2에 도시된 액체 렌즈의 수차 조절 원리를 나타낸 도면으로, (a)는 수차 조절 전의 상태를 나타낸 것이고, (b)는 수차 조절 후의 상태를 나타낸 도면이다.
도 6의 (a)를 참조하면, 도 4를 참조하여 설명한 바와 같이, 보이스 코일용 마그넷(112)과 초점 조절용 보이스 코일(111)을 사용하여 액체(101)에 고압력을 가하여 표면막(102)이 부풀어 오르도록 하여 초점 거리가 짧아지도록 초점 조절이 수행된 후에 표면막(102)의 두께와 형태를 변형시켜서 수차를 제어할 수 있다.
도 6의 (b)를 참조하면, 수차 조절의 경우 보이스 코일용 마그넷(112)과 수차 조절용 보이스 코일(104)을 이용하여 탄성막(103), 구체적으로는 탄성막(103-1)이 수차 보정용 액체(107)에 압력을 가하는 방향으로 휘도록 하면, 수차 보정용 액체(107)에 압력이 가해지고 이로 인해 탄성막(103-2)이 표면막(102)에 장력을 가하는 형태로 휘어져서 표면막(102)의 두께와 형태가 변형될 수 있다.
이때, 수차 조절용 보이스 코일(104)에 가해지는 전압의 크기를 조절함으로써 표면막(102)에 가해지는 장력이 조절되어 결과적으로 수차가 자유롭게 조절될 수 있다. 즉, 수차 조절이 가능한 액체 렌즈(100)를 제공할 수 있다.
이상의 경우, 액체 렌즈(100)의 표면막(102)이 수평 방향으로 ?뗄㈐? 있어 링 형태의 탄성막(103)을 동일하게 제어하여 표면막(102)의 중심 부분을 중심으로 외측이 동일하게 수차 제어되는 경우에 대해 설명하였다. 즉, 표면막(102)에 의해 형성되는 액체 렌즈(100)의 파면이 틀어지지 않는 경우를 의미한다.
그러나, 도 7에 도시된 바와 같이, 액체 렌즈(100)가 세워져 있는 경우, 즉, 표면막(102)이 수직 방향으로 놓여지는 경우에는 중력에 의해 액체(101)가 아래로 쏠리게 되어 표면막(102)의 아랫 부분이 더 부풀어져서 윗 부분보다 두께가 얇아지는 등 모양이 변하여 y축 코마 수차가 크게 발생하게 된다.
따라서, 이러한 경우에는 도 8에 도시된 바와 같이, 액체 렌즈(100)의 윗 부분에 위치하게 되는 수차 조절용 보이스 코일(104-1)과 아랫 부분에 위치하게 되는 수차 조절용 보이스 코일(104-2)에 각각 전류를 다르게 공급하면, 아랫 부분과 윗 부분에 위치하게 되는 수차 보정용 액체(107-1, 107-2)에 각각 다른 유압이 가해지게 되고, 이로 인해 표면막(102)의 윗 부분과 아랫 부분에 각각 다른 장력이 가해질 수 있다.
이를 이용하여, 액체 렌즈(100)가 세워져 있는 경우, 윗 부분에 위치하는 수차 보정용 보이스 코일(104-1)에 전류를 많이 공급해서 탄성막(103-11)이 많이 변형을 일으키게 만들고, 아랫 부분에 위치하는 수차 보정용 보이스 코일(104-2)에 전류를 적게 공급해서 탄성막(103-21)의 변형이 조금만 일어나게 만들면, 결과적으로 윗 부분에 위치한 수차 보정용 액체(107-1)와 아랫 부분에 위치한 수차 보정용 액체(107-2)의 압력 차이에 의해 표면막(102)의 윗 부분에 높은 장력이 가해지고 아랫 부분에는 낮은 장력이 가해져서 표면막(102)이 세워져 있음에도 불구하고 중력에 의한 수차가 제어될 수 있다. 즉, 액체 렌즈(100)가 세워져 있는 경우에도, 표면막(102)에 가해지는 윗 부분과 아랫 부분의 장력을 다르게 조절함으로써, 표면막(102)에 의해 형성되는 액체 렌즈(100)의 파면이 틀어지는 것을 방지함으로써 렌즈를 통과한 광선들이 한 점에 모이지 않아 발생되는 수차를 방지할 수 있다.
한편, 원형의 표면막(102)이 세워져 있을 때 원형의 표면막(102)의 360도 가장자리에 각각 가해지는 장력은 서로 다를 수 있다. 따라서, 액체 렌즈(100)의 설계 형태나 특성에 따라 표면막(102)의 360도 가장자리에 각각 장력을 가하기 위해 링 형태의 수차 보정용 보이스 코일(104)에 인가되는 전압이 미리 설정되어야 하는 것에 대해 통상의 기술자라면 쉽게 이해할 것이다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (13)

  1. 유압 방식의 액체 렌즈에서 렌즈 역할을 수행하는 액체를 수용하는 챔버;
    상기 챔버에 장착되어 상기 액체의 하부를 밀봉하는 하부 기판;
    상기 액체의 상부를 덮도록 상기 챔버에 장착된 표면막;
    상기 액체에 압력을 가할 수 있도록 상기 챔버에 장착된 제1 탄성막; 및
    상기 제1 탄성막을 구동하기 위한 구동부
    를 포함하는 초점 가변 액체 렌즈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 챔버에 장착되어 구동 전류 공급에 의해 상기 제1 탄성막을 구동하는 초점 조절용 보이스 코일 및 보이스 코일용 마그넷을 포함하는,
    초점 가변 액체 렌즈.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 표면막에 장력을 가하도록 상기 챔버에 장착된 제2 탄성막; 및
    상기 챔버에 장착되어 구동 전류 공급에 의해 상기 제2 탄성막을 구동하는 수차 조절용 보이스 코일
    을 더 포함하는, 초점 가변 액체 렌즈.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 탄성막은 두 개의 탄성막으로 구성되고,
    상기 두 개의 탄성막과 상기 챔버에 의해 형성된 공간 내에 수차 보정용 액체가 수용되어 있으며,
    상기 두 개의 탄성막 중 하나의 탄성막이 상기 수차 조절용 보이스 코일과 상기 보이스 코일용 마그넷에 의해 구동되어 상기 수차 보정용 액체를 가압하고,
    상기 두 개의 탄성막 중 상기 하나의 탄성막을 제외한 나머지 탄성막이 상기 수차 보정용 액체에 의해 가압되어 상기 표면막에 장력을 가하는,
    초점 가변 액체 렌즈.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 표면막은 원형으로 형성되며, 상기 표면막의 중심부에서 가장자리로 갈수록 두께가 얇아지도록 형성된, 초점 가변 액체 렌즈.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 표면막은 상기 액체와 굴절률이 동일한,
    초점 가변 액체 렌즈.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 표면막, 상기 제1 탄성막 및 상기 제2 탄성막은 폴리머 계열의 PDMS(Polydimethylsiloxane) 물질로 이루어진,
    초점 가변 액체 렌즈.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 초점 조절용 보이스 코일에 공급되는 구동 전류의 세기에 따라 상기 표면막의 두께 및 형상을 조절하는,
    초점 가변 액체 렌즈.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 초점 조절용 보이스 코일에 공급되는 구동 전류의 세기가 클수록 상기 표면막이 더 볼록해져 상기 액체 렌즈의 초점 거리가 더 짧아지는,
    초점 가변 액체 렌즈.
  10. 제3항에 있어서,
    상기 수차 조절용 보이스 코일에 공급되는 구동 전류의 세기에 따라 상기 표면막에 가해지는 장력의 세기가 제어되는,
    초점 가변 액체 렌즈.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 표면막이 원형으로 형성되는 경우, 원형의 표면막의 가장자리에 가해지는 장력의 세기가 위치마다 다르도록 제어 가능한,
    초점 가변 액체 렌즈.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 표면막이 수직인 상태가 되도록 상기 액체 렌즈가 세워져 있는 경우, 상기 표면막의 상부 가장자리에 가해지는 장력보다 상기 표면막의 하부 가장자리에 가해지는 장력이 더 크도록 상기 수차 조절용 보이스 코일에 공급되는 구동 전류가 제어되는,
    초점 가변 액체 렌즈.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는 원형으로 형성되고, 상기 하부 기판은 원형의 상기 챔버의 하부를 밀봉하도록 원형으로 형성되며, 상기 표면막은 상기 액체의 상부를 밀봉하도록 원형으로 형성되고, 상기 제1 탄성막은 상기 액체를 하부에서 가압하도록 링 형태로 형성된,
    초점 가변 액체 렌즈.
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