KR20200114889A

KR20200114889A - evaporation source

Info

Publication number: KR20200114889A
Application number: KR1020190037404A
Authority: KR
Inventors: 서태원; 김영임; 백현정
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2019-03-29
Filing date: 2019-03-29
Publication date: 2020-10-07

Abstract

The present invention relates to an evaporation source in which the position of a nozzle can be easily changed. The evaporation source includes: a crucible that has one side of the evaporation source open and holds an evaporation material; a cover member coupled to the opened portion of the crucible; and a nozzle member coupled to the cover member and changing a position of a portion to which the deposition material is sprayed.

Description

Evaporation source

본 발명은 증발원에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 박막을 증착하는데 사용되는 박막 증착 장치에 설치된 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to an evaporation source, and more particularly, to an evaporation source installed in a thin film deposition apparatus used to deposit a thin film on a substrate.

유기 전계 발광 소자(OLED: Organic Light Emitting Diodes)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 것으로, 일반적인 액정 표시 장치와 다르게 스스로 빛을 발광한다. 이러한 유기 전계 발광 소자는 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic light emitting diodes (OLEDs) use an electroluminescence phenomenon that emits light when an electric current flows through a fluorescent organic compound. Unlike general liquid crystal displays, they emit light by themselves. Since such an organic electroluminescent device does not need a backlight for applying light to a non-light emitting device, a light-weight and thin flat panel display device can be manufactured.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.Flat panel display devices using such organic electroluminescent devices are emerging as next-generation display devices due to their fast response speed and wide viewing angle. In particular, since the manufacturing process is simple, there is an advantage that the production cost can be reduced more than that of the existing liquid crystal display device.

유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착 방법으로 기판 상에 증착될 수 있다.In the organic electroluminescent device, the remaining constituent layers, excluding anode and cathode electrodes, such as a hole injection layer, a hole transport layer, a light-emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer, are made of an organic thin film. Can be deposited on.

진공열 증착 방법은 증착 장치의 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal evaporation method, a substrate is placed in a vacuum chamber of an evaporation apparatus, a shadow mask having a certain pattern is aligned on the substrate, and then heat is applied to an evaporation source containing the evaporation material to remove the evaporation material sublimated from the evaporation source. It is made by depositing on the substrate.

한편, 증착 장치를 이용하여 기판에 유기 박막을 증착하는 과정에서, 증착 물질이 분사되는 노즐의 위치 또는 형상에 따라 기판에 증착 물질이 균일하게 증착되지 않을 수 있다. 이를 해결하고자, 노즐의 설계를 변경하여 노즐 전체를 다시 제작하는데 있어서 상당한 비용이 소요될 수 있다.Meanwhile, in a process of depositing an organic thin film on a substrate using a deposition apparatus, the deposition material may not be uniformly deposited on the substrate depending on the position or shape of the nozzle through which the deposition material is sprayed. In order to solve this problem, considerable cost may be required in re-manufacturing the entire nozzle by changing the design of the nozzle.

한국등록특허 제10-1410882호Korean Patent Registration No. 10-1410882

본 발명의 목적은 노즐의 위치가 용이하게 변경될 수 있는 증발원을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an evaporation source in which the position of the nozzle can be easily changed.

본 발명의 일 측면에 따른 증발원은 일측이 개구되고, 증착 물질을 수용하는 도가니; 상기 도가니의 개구된 부분에 결합되는 커버 부재; 및 상기 커버 부재에 결합되고, 증착 물질이 분사되는 부분의 위치가 변경되는 노즐 부재;를 포함한다.An evaporation source according to an aspect of the present invention includes a crucible having an open side and receiving a deposition material; A cover member coupled to the open portion of the crucible; And a nozzle member coupled to the cover member and changing a position of a portion to which the deposition material is sprayed.

한편, 상기 커버 부재는 상하방향으로 관통된 하나 이상의 결합부를 포함하고, 상기 노즐 부재는 상기 커버 부재의 결합부에 회전 가능하게 결합될 수 있다.Meanwhile, the cover member may include one or more coupling portions penetrating in the vertical direction, and the nozzle member may be rotatably coupled to the coupling portion of the cover member.

한편, 상기 커버 부재의 결합부의 형상은 원 형상이고, 상기 노즐 부재는, 판형상이고, 상기 결합부에 대응되는 크기로 이루어지며, 상기 결합부에 회전 가능하게 결합되는 회전부; 및 상기 회전부의 중심으로부터 편심되게 위치되고, 상기 도가니에서 가열된 증착물질이 분사되는 노즐부;를 포함할 수 있다.On the other hand, the shape of the coupling portion of the cover member is a circular shape, the nozzle member is a plate shape, made of a size corresponding to the coupling portion, the rotating portion rotatably coupled to the coupling portion; And a nozzle part positioned eccentrically from the center of the rotating part and spraying the vapor deposition material heated in the crucible.

한편, 상기 커버 부재는 상기 결합부의 내측으로부터 상기 회전부를 향하여 돌출된 지지부를 포함하고, 상기 노즐 부재는 회전부의 둘레면으로부터 상기 결합부를 향하여 돌출되어 상기 지지부에 안착되는 걸림부를 포함할 수 있다.Meanwhile, the cover member may include a support portion protruding from an inner side of the coupling portion toward the rotation portion, and the nozzle member may include a locking portion protruding from a circumferential surface of the rotation portion toward the coupling portion and seated on the support portion.

한편, 상기 노즐부는 상기 회전부에 탈착 가능하게 결합될 수 있다.Meanwhile, the nozzle part may be detachably coupled to the rotating part.

한편, 상기 노즐부는 상기 회전부에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되고, 상기 회전부는, 상기 노즐부의 적어도 일부분이 수용된 상태에서, 상기 노즐부가 이동될 수 있게 하는 제1 수용부; 및 상기 제1 수용부의 바닥면을 상하방향으로 관통하고, 슬릿 형상이며, 상기 노즐부가 상기 제1 수용부 내에서 이동되더라도 상기 노즐부와 연통된 상태를 유지하여 상기 도가니에서 기화된 증착 물질이 상기 노즐부로 이동될 수 있게 하는 제1 연통부;를 포함할 수 있다.On the other hand, the nozzle unit is coupled to the rotation unit so as to be slidably moved, and the rotation unit includes: a first accommodating unit configured to move the nozzle unit while at least a portion of the nozzle unit is received; And it penetrates the bottom surface of the first accommodating portion in the vertical direction, has a slit shape, and maintains a state in communication with the nozzle portion even if the nozzle portion is moved within the first accommodating portion, the vaporized deposition material in the crucible is It may include; a first communication unit that allows the movement to the nozzle unit.

한편, 상기 노즐 부재는 상기 회전부에서 상기 노즐부에 인접한 부분에 새겨진 제1 눈금부를 더 포함하고, 상기 커버 부재는 상기 회전부에 인접한 부분에 새겨진 제2 눈금부를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the nozzle member may further include a first scale portion engraved on a portion adjacent to the nozzle portion in the rotation portion, and the cover member may further include a second scale portion engraved on a portion adjacent to the rotation portion.

한편, 상기 노즐 부재가 상기 커버 부재의 결합부에 결합된 상태에서, 상기 도가니의 내부에 위치되고, 상기 커버 부재의 일부분을 감싸며, 상기 노즐 부재에 결합되어 상기 노즐 부재가 외부로 분리되는 것을 방지하는 이탈 방지 부재를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, while the nozzle member is coupled to the coupling portion of the cover member, it is located inside the crucible, surrounds a part of the cover member, and is coupled to the nozzle member to prevent the nozzle member from being separated to the outside. It may further include a separation preventing member.

한편, 상기 결합부는 복수개이고, 상기 복수의 결합부는 상기 커버 부재의 길이 방향을 따라 일정한 간격마다 형성될 수 있다.Meanwhile, a plurality of coupling portions may be provided, and the plurality of coupling portions may be formed at regular intervals along the length direction of the cover member.

한편, 일면이 접착면으로 이루어지고, 상기 커버 부재의 외면에서 상기 노즐 부재와의 경계 부분에 상기 접착면이 부착되는 보호 부재를 더 포함할 수 있다.On the other hand, it may further include a protective member made of one surface of the adhesive surface, the adhesive surface is attached to the boundary portion with the nozzle member on the outer surface of the cover member.

한편, 상기 보호 부재는 링 형상의 플라스틱 필름일 수 있다.Meanwhile, the protective member may be a ring-shaped plastic film.

한편, 상기 노즐 부재는 상기 커버 부재에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되고, 상기 커버 부재는, 라인 형상이고, 상기 노즐 부재의 적어도 일부분이 수용된 상태에서 상기 노즐 부재가 이동될 수 있게 하는 하나 이상의 제2 수용부; 및 상기 제2 수용부의 바닥면을 상하방향으로 관통하고, 슬릿 형상이며, 상기 노즐 부재가 상기 제2 수용부 내에서 이동되더라도 상기 노즐 부재와 연통된 상태를 유지하여 상기 도가니에서 기화된 증착 물질이 상기 노즐 부재로 이동될 수 있게 하는 제2 연통부;를 포함할 수 있다.On the other hand, the nozzle member is coupled to the cover member so as to be slidably movable, the cover member has a line shape, and at least one second accommodation allowing the nozzle member to move while at least a portion of the nozzle member is accommodated. part; And it penetrates the bottom surface of the second accommodating portion in the vertical direction, has a slit shape, and maintains a state in communication with the nozzle member even if the nozzle member is moved within the second accommodating portion, the vaporized deposition material in the crucible is It may include; a second communication part that enables the movement to the nozzle member.

한편, 상기 제2 수용부는 복수개이고, 상기 복수의 제2 수용부는 상기 커버 부재의 길이 방향을 향하도록 위치될 수 있다.Meanwhile, a plurality of the second accommodating portions may be provided, and the plurality of second accommodating portions may be positioned to face the length direction of the cover member.

한편, 상기 제2 수용부는 복수개이고, 상기 복수의 제2 수용부는 상기 커버 부재의 폭 방향을 향하도록 위치될 수 있다.Meanwhile, a plurality of the second accommodating portions may be provided, and the plurality of second accommodating portions may be positioned to face the width direction of the cover member.

본 발명의 일 실시예에 따른 증발원은 커버 부재와 노즐 부재를 포함하고, 노즐 부재는 커버 부재에 대해 상대적으로 회전될 수 있다. 노즐부의 위치 변경이 필요한 경우, 사용자가 노즐 부재에 힘을 가하여 노즐 부재를 회전시켜서 노즐부를 원하는 위치에 위치시킬 수 있다.The evaporation source according to an embodiment of the present invention includes a cover member and a nozzle member, and the nozzle member may be rotated relative to the cover member. When it is necessary to change the position of the nozzle unit, the user may apply a force to the nozzle member to rotate the nozzle member to position the nozzle unit at a desired position.

이에 따라, 본 발명의 일실시예에 따른 증발원은 노즐 부재 전체를 교체하지 않음으로써, 종래에서와 같이 노즐이 설치된 부분 전체의 설계를 변경하여 다시 제작하지 않게 되어 비용을 절감할 수 있다. 또한, 사용자가 노즐 부재를 회전시키기만 하면, 노즐부의 위치가 바로 변경될 수 있다. 그러므로, 사용자는 기판에 박막이 균일하게 증착될 수 있도록 노즐부의 위치를 다양하게 변경하면서 신속하게 세팅할 수 있다.Accordingly, since the evaporation source according to an embodiment of the present invention does not replace the entire nozzle member, the design of the entire portion in which the nozzle is installed is not changed and remanufactured as in the prior art, thereby reducing cost. Further, if the user simply rotates the nozzle member, the position of the nozzle unit can be changed immediately. Therefore, the user can quickly set the nozzle while changing the position of the nozzle in various ways so that the thin film can be uniformly deposited on the substrate.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 증발원을 도시한 사시도이다.
도 2는, 도 1의 증발원에서 Ⅱ-Ⅱ'라인을 따라 취한 단면도이다.
도 3은, 도 1의 증발원에서 노즐 부재를 발췌하여 도시한 분해사시도이다.
도 4는 노즐 부재의 변형예를 도시한 분해사시도이다.
도 5는 노즐 부재의 다른 변형예를 도시한 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 증발원을 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 증발원을 도시한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 증발원을 도시한 사시도이다.
도 9는 커버 부재에 포함된 제2 수용부의 변형예를 도시한 도면이다.1 is a perspective view showing an evaporation source according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II' from the evaporation source of FIG. 1.
3 is an exploded perspective view showing a nozzle member extracted from the evaporation source of FIG. 1.
4 is an exploded perspective view showing a modified example of the nozzle member.
5 is an exploded perspective view showing another modified example of the nozzle member.
6 is a perspective view showing an evaporation source according to a second embodiment of the present invention.
7 is a perspective view showing an evaporation source according to a third embodiment of the present invention.
8 is a perspective view showing an evaporation source according to a fourth embodiment of the present invention.
9 is a view showing a modified example of the second accommodating portion included in the cover member.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. The present invention may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description have been omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described only in a representative embodiment by using the same reference numerals, and in other embodiments, only configurations different from the representative embodiment will be described.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected" with another part, this includes not only the case of being "directly connected", but also being "indirectly connected" with another member therebetween. In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 증발원(100)은 도가니(110), 커버 부재(120) 및 노즐 부재(130)를 포함한다.1 and 2, the evaporation source 100 according to the first embodiment of the present invention includes a crucible 110, a cover member 120, and a nozzle member 130.

도가니(110)는 일측이 개구된다. 도가니(110)는 증착 물질을 수용한다. 도가니(110)의 형상은 일례로 사각 기둥 형상 또는 원통 형상일 수 있으나, 도가니(110)의 형상이 반드시 이와 같은 형상인 것으로 한정하지는 않는다.One side of the crucible 110 is open. The crucible 110 accommodates the deposition material. The shape of the crucible 110 may be, for example, a square pillar shape or a cylindrical shape, but the shape of the crucible 110 is not necessarily limited to such a shape.

상기 도가니(110)는 증착 물질(미도시)을 기화시켜서 증발 입자를 생성한다. 기화된 증발 입자는 기판(미도시)을 향하여 이동할 수 있다. 이에 따라, 기판에 소정의 두께로 박막이 생성될 수 있다.The crucible 110 vaporizes a deposition material (not shown) to generate evaporation particles. The vaporized evaporated particles may move toward the substrate (not shown). Accordingly, a thin film may be formed on the substrate with a predetermined thickness.

이를 위하여 상기 도가니(110)의 외부에는 미도시된 히터가 설치될 수 있다. 도가니(110)는 미도시된 케이스에 수용되고, 상기 히터는 도가니(110)와 케이스 사이에 위치되며, 히터에서 발생된 복사열이 전달되어 가열될 수 있다. 도가니(110)는 기판에 박막을 증착하는데 사용되는 박막 증착 장치에 포함된 일반적인 도가니일 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.To this end, a heater, not shown, may be installed outside the crucible 110. The crucible 110 is accommodated in a case not shown, and the heater is positioned between the crucible 110 and the case, and radiant heat generated from the heater may be transferred and heated. Since the crucible 110 may be a general crucible included in a thin film deposition apparatus used to deposit a thin film on a substrate, a detailed description thereof will be omitted.

커버 부재(120)는 상기 도가니(110)의 개구된 부분에 결합될 수 있다. 커버 부재(120)는 하나 이상의 결합부(121)를 포함할 수 있다. 결합부(120)는 커버 부재(120)의 일부분을 상하방향으로 관통된 것일 수 있다.The cover member 120 may be coupled to the open portion of the crucible 110. The cover member 120 may include one or more coupling portions 121. The coupling portion 120 may penetrate a portion of the cover member 120 in the vertical direction.

도가니(110)는 상측이 개구될 수 있다. 커버 부재(120)는 도가니(110)의 개구된 상측을 커버할 수 있다. 이를 위하여 커버 부재(120)는 도가니(110)의 개구된 상측에 대응되는 형상일 수 있고, 도가니(110)의 상측 및 측면의 상단의 일부분을 감쌀 수 있다.The crucible 110 may have an upper side open. The cover member 120 may cover the opened upper side of the crucible 110. To this end, the cover member 120 may have a shape corresponding to the opened upper side of the crucible 110, and may wrap a portion of the upper side and the upper side of the crucible 110.

상기 커버 부재(120)의 결합부(121)의 형상은 일례로 원 형상일 수 있다. 즉, 결합부(121)는 원형으로 관통된 홀일 수 있다. 이러한 결합부(121)는 복수개이고, 상기 복수의 결합부(121)는 상기 커버 부재(120)의 길이 방향을 따라 일정한 간격마다 형성될 수 있다.The shape of the coupling portion 121 of the cover member 120 may be, for example, a circular shape. That is, the coupling portion 121 may be a hole penetrated in a circular shape. There are a plurality of coupling portions 121, and the plurality of coupling portions 121 may be formed at regular intervals along the length direction of the cover member 120.

노즐 부재(130)는 커버 부재(120)에 결합되고, 증착 물질이 분사되는 부분의 위치가 변경될 수 있다. 이러한 노즐 부재(130)는 일례로 상기 커버 부재(120)의 결합부(121)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.The nozzle member 130 is coupled to the cover member 120 and the position of a portion to which the deposition material is sprayed may be changed. The nozzle member 130 may be rotatably coupled to the coupling portion 121 of the cover member 120, for example.

노즐 부재(130)의 개수는 하나 이상일 수 있다. 예를 들어, 커버 부재(120)의 결합부(121)의 개수가 4개인 경우, 노즐 부재(130)의 개수는 4개일 수 있다. 즉, 노즐 부재(130)의 개수는 결합부(121)의 개수와 동일한 개수일 수 있다.The number of nozzle members 130 may be one or more. For example, when the number of coupling portions 121 of the cover member 120 is four, the number of nozzle members 130 may be four. That is, the number of nozzle members 130 may be the same as the number of coupling portions 121.

이러한 노즐 부재(130)는 커버 부재(120)의 결합부(121)에 결합되어 외력에 의해 회전될 수 있다. 그리고, 노즐 부재(130)가 커버 부재(120)에 결합되는 경우, 노즐 부재(130)는 도가니(110)의 하방으로 낙하하지 않도록 커버 부재(120)에 결합되는 것이 바람직할 수 있다.The nozzle member 130 may be coupled to the coupling portion 121 of the cover member 120 and rotated by an external force. In addition, when the nozzle member 130 is coupled to the cover member 120, it may be preferable that the nozzle member 130 is coupled to the cover member 120 so as not to fall downward of the crucible 110.

이를 위하여 상기 커버 부재(120)는 지지부(122)를 포함할 수 있다. 지지부(122)는 상기 결합부(121)의 내측으로부터 상기 회전부(131)를 향하여 돌출될 수 있다. 그리고, 상기 노즐 부재(130)는 걸림부(133)를 포함할 수 있다. 걸림부(133)는 회전부(131)의 둘레면으로부터 상기 결합부(121)를 향하여 돌출되어 상기 지지부(122)에 안착될 수 있다.To this end, the cover member 120 may include a support part 122. The support part 122 may protrude toward the rotation part 131 from the inside of the coupling part 121. In addition, the nozzle member 130 may include a locking portion 133. The locking part 133 may protrude from the circumferential surface of the rotating part 131 toward the coupling part 121 and be seated on the support part 122.

이에 따라 상기 커버 부재(120)가 결합부(121)에 안착되면, 지지부(122)가 걸림부(133)를 지지함으로써, 노즐 부재(130)가 커버 부재(120)에 결합된 상태에서 도가니(110)의 하방으로 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 뿐만 아니라, 노즐 부재(130)가 회전하는 과정에서 지지부(122)가 걸림부(133)를 지지하여 노즐 부재(130)가 커버 부재(120)에 대해 안정적으로 회전될 수 있다. Accordingly, when the cover member 120 is seated on the coupling part 121, the support part 122 supports the locking part 133, so that the nozzle member 130 is coupled to the cover member 120 and the crucible ( 110) can be prevented from falling down. In addition, while the nozzle member 130 rotates, the support part 122 supports the locking part 133 so that the nozzle member 130 can be stably rotated with respect to the cover member 120.

한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 증발원(100)은 이탈 방지 부재(140)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the evaporation source 100 according to the first embodiment of the present invention may further include a separation preventing member 140.

이탈 방지 부재(140)는 상기 노즐 부재(130)가 상기 커버 부재(120)의 결합부(121)에 결합된 상태에서, 상기 도가니(110)의 내부에 위치될 수 있고, 상기 노즐 부재(130)에 결합될 수 있다. 이탈 방지 부재(140)는 노즐 부재(130)의 회전부(131)에 결합될 수 있다. 이탈 방지 부재(140)와 노즐 부재(130)의 결합 방법은 일례로 나사 결합일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.The separation preventing member 140 may be located inside the crucible 110 in a state in which the nozzle member 130 is coupled to the coupling portion 121 of the cover member 120, and the nozzle member 130 ) Can be combined. The separation preventing member 140 may be coupled to the rotating part 131 of the nozzle member 130. A method of coupling the separation preventing member 140 and the nozzle member 130 may be screwed as an example, but is not limited thereto.

이러한 이탈 방지 부재(140)의 형상은 일례로 링(ring) 형상일 수 있다. 링 형상의 이탈 방지 부재(140)는 도면상에서 도시된 방향을 기준으로 노즐 부재(130)의 하측에 결합되면서, 일부분이 커버 부재(120)의 하측면을 감쌀 수 있다.The shape of the departure preventing member 140 may be, for example, a ring shape. The ring-shaped separation preventing member 140 may be coupled to the lower side of the nozzle member 130 based on the direction shown in the drawing, and a part of the cover member 120 may be wrapped around the lower side of the cover member 120.

이에 따라, 이탈 방지 부재(140)는 상기 노즐 부재(130)가 외부로 분리되는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 사용자가 노즐 부재(130)를 회전시키기 위하여 노즐 부재(130)에 강한 힘을 가하더라도, 노즐 부재(130)가 외력에 의하여 결합부(121)로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이탈 방지 부재(140)는 노즐 부재(130)의 하측과 커버 부재(120)의 하측 사이의 간격을 최소화할 수 있으므로, 도가니(110)에서 증발된 입자들이 노즐 부재(130)와 커버 부재(120) 사이로 유입되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, the separation preventing member 140 may prevent the nozzle member 130 from being separated to the outside. For example, even if the user applies a strong force to the nozzle member 130 to rotate the nozzle member 130, the nozzle member 130 can be prevented from being separated upward from the coupling part 121 by an external force. have. In addition, since the separation preventing member 140 can minimize the gap between the lower side of the nozzle member 130 and the lower side of the cover member 120, the particles evaporated from the crucible 110 are removed from the nozzle member 130 and the cover member. (120) It is possible to prevent inflow between.

도 3을 참조하여 전술한 노즐 부재(130)를 더욱 상세하게 설명하면, 상기 노즐 부재(130)는 일례로 회전부(131)와 노즐부(132A)를 포함할 수 있다.When the above-described nozzle member 130 is described in more detail with reference to FIG. 3, the nozzle member 130 may include, for example, a rotating part 131 and a nozzle part 132A.

회전부(131)는 판형상이고, 상기 결합부(121)에 대응되는 크기로 이루어질 수 있다. 회전부(131)는 상기 결합부(121)에 회전 가능하게 결합된다.The rotating part 131 has a plate shape and may have a size corresponding to the coupling part 121. The rotating part 131 is rotatably coupled to the coupling part 121.

노즐부(132A)는 상기 회전부(131)의 중심으로부터 편심되게 위치될 수 있다. 상기 도가니(110)에서 가열된 증착물질이 노즐부(132A)를 통하여 분사될 수 있다. 노즐부(132A)의 형상은 일례로 원기둥 형상일 수 있으며, 증착물질이 분사될 수 있는 중공이 형성될 수 있다.The nozzle part 132A may be positioned eccentrically from the center of the rotating part 131. The deposition material heated in the crucible 110 may be sprayed through the nozzle unit 132A. The shape of the nozzle unit 132A may be, for example, a cylindrical shape, and a hollow through which a deposition material can be sprayed may be formed.

노즐부(132A)의 위치 변동이 필요한 경우, 사용자가 노즐부(132A)에 힘을 가하면, 회전부(131)가 가상의 중심점을 기준으로 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 회전되고, 노즐부(132A)는 회전부(131)의 중심을 기준으로 원 형상을 그리면서 회전될 수 있다. 이에 따라 노즐부(132A)는 회전 궤적 내에서 그 위치가 자유롭게 변경될 수 있다.When a position change of the nozzle part 132A is required, when a user applies a force to the nozzle part 132A, the rotation part 131 is rotated in a clockwise or counterclockwise direction based on the virtual center point, and the nozzle part 132A May be rotated while drawing a circle shape based on the center of the rotating part 131. Accordingly, the position of the nozzle unit 132A can be freely changed within the rotation trajectory.

도 4를 참조하면, 상기 노즐부(132B)는 변형예로 상기 회전부(131)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. 이를 위해 회전부(131)은 체결홀(135)을 포함할 수 있다. 체결홀(135)은 회전부(131)의 상측의 일부분을 상하방향으로 관통된 것일 수 있다. 노즐부(132B)는 체결홀(135)에 체결될 수 있다.Referring to FIG. 4, the nozzle part 132B may be detachably coupled to the rotating part 131 as a modified example. To this end, the rotating part 131 may include a fastening hole 135. The fastening hole 135 may penetrate a portion of the upper side of the rotating part 131 in the vertical direction. The nozzle part 132B may be fastened to the fastening hole 135.

이에 따라, 노즐부(132B)에 막힘이 발생되어 교체가 필요한 경우, 사용자는 교체가 필요한 노즐부(132B)를 회전부(131)로부터 분리하여 신속하게 교체할 수 있다. 또한, 노즐부(132B)의 형상 변경이 필요한 경우, 다양한 형상의 노즐부(132B)들이 마련된 상태에서 사용자는 필요한 노즐부(132B)를 교체하여 사용할 수 있다.Accordingly, when the nozzle unit 132B is clogged and needs to be replaced, the user can quickly replace the nozzle unit 132B, which needs to be replaced, by separating it from the rotating unit 131. In addition, when it is necessary to change the shape of the nozzle unit 132B, the user may replace and use the required nozzle unit 132B while the nozzle units 132B of various shapes are provided.

전술한 바와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따른 증발원(100)은 커버 부재(120)에 대해 상대적으로 회전될 수 있는 노즐 부재(130)를 포함한다. 노즐부(132A)의 위치 변경이 필요한 경우, 사용자가 노즐 부재(130)에 힘을 가하여 노즐 부재(130)를 회전시켜서 노즐부(132A)를 원하는 위치에 위치시킬 수 있다.As described above, the evaporation source 100 according to the first embodiment of the present invention includes a nozzle member 130 that can be rotated relative to the cover member 120. When it is necessary to change the position of the nozzle unit 132A, the user may apply a force to the nozzle member 130 to rotate the nozzle member 130 to position the nozzle unit 132A at a desired position.

이에 따라, 본 발명의 일실시예에 따른 증발원(100)은 노즐 부재(130) 전체를 교체하지 않음으로써, 종래에서와 같이 노즐이 설치된 부분 전체의 설계를 변경하여 다시 제작하지 않게 되어 비용을 절감할 수 있다. 또한, 사용자가 노즐 부재(130)를 회전시키기만 하면, 노즐부(132A)의 위치가 바로 변경될 수 있다. 그러므로, 사용자는 기판에 박막이 균일하게 증착될 수 있도록 노즐부(132A)의 위치를 다양하게 변경하면서 신속하게 세팅할 수 있다.Accordingly, since the evaporation source 100 according to an embodiment of the present invention does not replace the entire nozzle member 130, the design of the entire portion where the nozzle is installed is not changed and remanufactured, thereby reducing cost. can do. In addition, if the user simply rotates the nozzle member 130, the position of the nozzle unit 132A may be changed immediately. Therefore, the user can quickly set the nozzle unit 132A while changing the position of the nozzle unit 132A to be uniformly deposited on the substrate.

도 5를 참조하면, 노즐 부재(230)는 다른 변형예로, 상기 회전부(131)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합될 수 있다. 이때 상기 회전부(131)는 일례로 제1 수용부(131a) 및 제1 연통부(131b)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5, as another modified example, the nozzle member 230 may be coupled to the rotating part 131 in a sliding manner. In this case, the rotating part 131 may include, for example, a first accommodating part 131a and a first communication part 131b.

제1 수용부(131a)는 상기 노즐부(132C)의 적어도 일부분이 수용된 상태에서, 상기 노즐부(132C)가 이동될 수 있게 한다. 한편, 노즐부(132C)의 형상은 일례로 하부(B)는 제1 수용부(131a)에 수용되어 슬라이딩 이동이 가능하도록 블록 형상일 수 있고, 상부(N)는 원기둥 형상일 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The first accommodation part 131a allows the nozzle part 132C to move while at least a portion of the nozzle part 132C is received. On the other hand, the shape of the nozzle part 132C may be, for example, a block shape such that the lower part B is accommodated in the first receiving part 131a to enable sliding movement, and the upper part N may have a cylindrical shape, but is limited thereto. I don't.

제1 연통부(131b)는 상기 제1 수용부(131a)의 바닥면을 상하방향으로 관통하고, 슬릿 형상이다. 상기 노즐부(132C)가 상기 제1 수용부(131a) 내에서 이동되더라도, 제1 연통부(131b)는 상기 노즐부(132C)와 연통된 상태를 유지할 수 있다. 노즐부(132C)에는 증착 물질이 배출되는 중공이 형성될 수 있는데, 제1 연통부(131b)는 노즐부(132C)의 슬라이딩 이동에 따라 발생되는 중공의 궤적과 동일할 수 있다. 이에 따라, 제1 연통부(131b)는 상기 중공에 항상 연통될 수 있다. 이에 따라, 제1 연통부(131b)는 상기 도가니(110)에서 기화된 증착 물질이 상기 노즐부(132C)로 이동될 수 있게 한다.The first communication part 131b penetrates the bottom surface of the first receiving part 131a in the vertical direction and has a slit shape. Even if the nozzle part 132C is moved within the first accommodating part 131a, the first communication part 131b may maintain a state in communication with the nozzle part 132C. A hollow through which the deposition material is discharged may be formed in the nozzle part 132C, and the first communication part 131b may be the same as a trajectory of the hollow generated by the sliding movement of the nozzle part 132C. Accordingly, the first communication part 131b may always communicate with the hollow. Accordingly, the first communication part 131b allows the deposition material vaporized in the crucible 110 to be moved to the nozzle part 132C.

이와 같이 노즐부(132C)가 회전부(131)에 슬라이딩 이동 가능하게 결합됨으로써, 노즐부(132C)의 이동 범위가 더욱 확장될 수 있다. 그러므로, 사용자가 원하는 다양한 위치에 노즐부(132C)를 위치시킬 수 있다.As such, the nozzle unit 132C is coupled to the rotating unit 131 to be slidably moved, so that the moving range of the nozzle unit 132C may be further expanded. Therefore, the nozzle unit 132C can be positioned at various positions desired by the user.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 증발원(200)에서 노즐 부재(130)는 제1 눈금부(134)를 더 포함하고, 커버 부재(120)는 제2 눈금부(123)를 더 포함할 수 있다.6, in the evaporation source 200 according to the second embodiment of the present invention, the nozzle member 130 further includes a first graduation portion 134, and the cover member 120 is a second graduation portion 123 ) May be further included.

제1 눈금부(134)는 노즐 부재(130)의 상기 회전부(131)에서 상기 노즐부(132A)에 인접한 부분에 새겨질 수 있다. 제2 눈금부(123)는 커버 부재(120)에서 상기 회전부(131)에 인접한 부분에 새겨질 수 있다. 이에 따라, 노즐 부재(130)가 커버 부재(120)에 대해 얼마만큼 회전되었는지를 사용자가 제1 눈금부(134)와 제2 눈금부(123)를 보고 용이하게 파악할 수 있다. 그러므로, 사용자가 노즐부(132A)의 위치를 측정하기 위하여 위치 별도의 각도기를 사용하지 않고도 노즐부(132A)의 위치를 용이하게 확인할 수 있다.The first scale portion 134 may be engraved on a portion adjacent to the nozzle portion 132A in the rotation portion 131 of the nozzle member 130. The second scale part 123 may be engraved on a portion of the cover member 120 adjacent to the rotating part 131. Accordingly, a user can easily grasp how much the nozzle member 130 is rotated with respect to the cover member 120 by looking at the first and second scale portions 134 and 123. Therefore, the user can easily check the position of the nozzle unit 132A without using a separate protractor to measure the position of the nozzle unit 132A.

도 7을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 증발원(300)은 보호 부재(150)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7, the evaporation source 300 according to the third embodiment of the present invention may further include a protection member 150.

보호 부재(150)는 일면이 접착면으로 이루어지고, 상기 커버 부재(120)의 외면에서 상기 노즐 부재(130)와의 경계 부분에 부착될 수 있다. 보호 부재(150)는 일례로 링 형상의 플라스틱 필름일 수 있다. 보호 부재(150)는 노즐부(132A)로부터 분사된 증착 물질이 커버 부재(120)와 노즐 부재(130) 사이의 경계 부분으로 유입되는 것을 방지할 수 있다.The protection member 150 has one surface formed of an adhesive surface, and may be attached to a boundary portion with the nozzle member 130 on the outer surface of the cover member 120. The protective member 150 may be, for example, a ring-shaped plastic film. The protection member 150 may prevent the deposition material sprayed from the nozzle unit 132A from flowing into the boundary portion between the cover member 120 and the nozzle member 130.

또한, 보호 부재(150)는 노즐 부재(130)와 커버 부재(120) 모두에 부착됨으로써, 외력에 의하여 상기 커버 부재(120)에 대한 노즐 부재(130)의 상대 위치가 변경되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 보호 부재(150)에 증착 물질이 잔류하는 경우, 보호 부재(150)를 제거하고 새로운 보호 부재(150)를 부착하여 증착 물질을 용이하게 제거할 수 있다.In addition, the protective member 150 is attached to both the nozzle member 130 and the cover member 120, so that the relative position of the nozzle member 130 with respect to the cover member 120 can be prevented from being changed by an external force. have. In addition, when the deposition material remains on the protection member 150, the protection member 150 may be removed and a new protection member 150 may be attached to easily remove the deposition material.

도 8을 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 증발원(400)는, 상기 노즐 부재(430)가 상기 커버 부재(420)에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합될 수 있다. 이를 위한 상기 커버 부재(420)는 일례로 제2 수용부(424) 및 제2 연통부(425)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, in the evaporation source 400 according to the fourth embodiment of the present invention, the nozzle member 430 may be coupled to the cover member 420 so as to be slidable. For this, the cover member 420 may include, for example, a second accommodating portion 424 and a second communication portion 425.

제2 수용부(424)는 라인(line) 형상이고, 상기 노즐 부재(430)의 적어도 일부분이 수용된 상태에서 상기 노즐 부재(430)가 이동될 수 있게 할 수 있다. 제2 수용부(424)는 하나 이상일 수 있다. 제2 수용부(424)가 복수인 경우, 복수의 제2 수용부(424)는 일정 간격마다 위치될 수 있다. 그리고, 상기 복수의 제2 수용부(424)는 상기 커버 부재(420)의 길이 방향(X축 방향)을 향하도록 위치될 수 있다. 상기 복수의 제2 수용부(424)는 상기 커버 부재(420)의 길이 방향과 나란한 가상선 상에 위치될 수 있다.The second accommodating part 424 has a line shape, and the nozzle member 430 may be moved while at least a portion of the nozzle member 430 is received. There may be one or more second accommodating parts 424. When there are a plurality of second accommodating portions 424, the plurality of second accommodating portions 424 may be positioned at regular intervals. In addition, the plurality of second accommodating portions 424 may be positioned to face the length direction (X-axis direction) of the cover member 420. The plurality of second accommodating portions 424 may be positioned on an imaginary line parallel to the length direction of the cover member 420.

한편, 노즐 부재(430)의 형상은 일례로 하부(B)는 제2 수용부(424)에 수용되어 슬라이딩 이동이 가능하도록 블록 형상일 수 있고, 상부(N)는 원기둥 형상일 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.On the other hand, the shape of the nozzle member 430 may be, for example, a block shape such that the lower part B is accommodated in the second receiving part 424 to enable sliding movement, and the upper part N may have a cylindrical shape, but is limited thereto. I don't.

제2 연통부(425)는 상기 제2 수용부(424)의 바닥면을 상하방향으로 관통하고, 슬릿 형상일 수 있다. 상기 노즐 부재(430)가 상기 제2 수용부(424) 내에서 이동되더라도, 제2 연통부(425)는 상기 노즐 부재(430)와 연통된 상태를 유지할 수 있다. 상기 제2 연통부(425)는 상기 도가니(110)에서 기화된 증착 물질이 상기 노즐 부재로 이동될 수 있게 할 수 있다.The second communication part 425 penetrates the bottom surface of the second accommodating part 424 in the vertical direction and may have a slit shape. Even if the nozzle member 430 is moved within the second receiving part 424, the second communication part 425 may maintain a state in communication with the nozzle member 430. The second communication part 425 may allow the deposition material vaporized in the crucible 110 to be moved to the nozzle member.

이와 같은 본 발명의 제4 실시예에 따른 증발원(400)은 앞선 실시예에 따른 증발원(100, 도 5 참조)과 비교하여 상대적으로 단순한 구조로 이루어질 수 있다. 따라서, 제조 공정이 간소화될 수 있을 뿐만 아니라, 제조 시간이 단축될 수 있다.The evaporation source 400 according to the fourth embodiment of the present invention may have a relatively simple structure compared to the evaporation source 100 (see FIG. 5) according to the previous embodiment. Therefore, not only can the manufacturing process be simplified, but also the manufacturing time can be shortened.

한편, 도 9에 도시된 바와 같이, 커버 부재(420)에 포함된 상기 복수의 제2 수용부(424)는 변형예로 상기 커버 부재(120)의 폭 방향(Y축 방향)을 향하도록 위치된 것도 가능할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 9, the plurality of second accommodating portions 424 included in the cover member 420 are positioned to face the width direction (Y-axis direction) of the cover member 120 as a modified example. It may also be possible.

이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although various embodiments of the present invention have been described above, the drawings referenced so far and the detailed description of the described invention are merely illustrative of the present invention, which are used only for the purpose of describing the present invention, and are limited in meaning or claims. It is not used to limit the scope of the invention described in the range. Therefore, those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100, 200, 300, 400: 증발원
110: 도가니 120, 420: 커버 부재
121: 결합부 122: 지지부
123: 제2 눈금부 130, 230, 430: 노즐 부재
131: 회전부 131a: 제1 수용부
131b: 제1 연통부 132A, 132B, 132C: 노즐부
133: 걸림부 134: 제1 눈금부
140: 이탈 방지 부재 150: 보호 부재
424: 제2 수용부 425: 제2 연통부100, 200, 300, 400: evaporation source
110: crucible 120, 420: cover member
121: coupling portion 122: support portion
123: second graduations 130, 230, 430: nozzle member
131: rotating part 131a: first accommodating part
131b: first communication portion 132A, 132B, 132C: nozzle portion
133: locking portion 134: first scale portion
140: departure prevention member 150: protection member
424: second accommodation unit 425: second communication unit

Claims

A crucible having an open side and accommodating a deposition material;
A cover member coupled to the open portion of the crucible; And
And a nozzle member coupled to the cover member and changing a position of a portion to which the deposition material is sprayed.

The method of claim 1,
The cover member includes at least one coupling portion penetrating in the vertical direction,
The nozzle member is an evaporation source rotatably coupled to the coupling portion of the cover member.

The method of claim 2,
The shape of the coupling portion of the cover member is a circular shape,
The nozzle member,
A rotating portion having a plate shape, having a size corresponding to the coupling portion, and rotatably coupled to the coupling portion; And
Evaporation source including; a nozzle unit positioned eccentrically from the center of the rotation unit and spraying the deposition material heated in the crucible.

The method of claim 3,
The cover member includes a support portion protruding from the inside of the coupling portion toward the rotation portion,
The nozzle member is an evaporation source including a locking portion protruding from the circumferential surface of the rotating portion toward the coupling portion and seated on the support portion.

The method of claim 3,
An evaporation source that is detachably coupled to the nozzle unit to the rotating unit.

The method of claim 3,
The nozzle part is slidably coupled to the rotating part,
The rotating part,
A first accommodating portion allowing the nozzle portion to be moved while at least a portion of the nozzle portion is received; And
It penetrates the bottom surface of the first accommodation part in a vertical direction, has a slit shape, and maintains a state in communication with the nozzle part even if the nozzle part is moved within the first accommodation part, so that the vaporized deposition material in the crucible The evaporation source including; a first communication unit to be moved to the part.

The method of claim 3,
The nozzle member further includes a first scale portion engraved on a portion adjacent to the nozzle portion in the rotation portion,
The evaporation source further comprises a second graduation portion engraved on a portion adjacent to the rotation portion of the cover member.

The method of claim 2,
In a state in which the nozzle member is coupled to the coupling portion of the cover member, it is located inside the crucible, surrounds a part of the cover member, and is coupled to the nozzle member to prevent separation of the nozzle member to the outside. An evaporation source further comprising a prevention member.

The method of claim 2,
The evaporation source includes a plurality of coupling portions, and the plurality of coupling portions are formed at regular intervals along a length direction of the cover member.

The method of claim 2,
The evaporation source further comprises a protection member having one surface of the adhesive surface and the adhesive surface being attached to a boundary portion with the nozzle member on an outer surface of the cover member.

The method of claim 10,
The protective member is a ring-shaped plastic film evaporation source.

The method of claim 1,
The nozzle member is slidably coupled to the cover member,
The cover member,
At least one second receiving portion having a line shape and allowing the nozzle member to move while at least a portion of the nozzle member is received; And
It penetrates the bottom surface of the second accommodation part in a vertical direction, has a slit shape, and maintains communication with the nozzle member even if the nozzle member is moved within the second accommodation part, so that the vaporized deposition material in the crucible is Evaporation source including; a second communication unit that allows the nozzle member to be moved.

The method of claim 12,
A plurality of the second receiving portions,
An evaporation source positioned so as to face the length direction of the cover member.

The method of claim 12,
A plurality of the second receiving portions,
The evaporation source is positioned so as to face the width direction of the cover member.