KR20200095164A - Jig apparatus for welding for rib of vaccum chamber - Google Patents

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    • B23K37/0443—Jigs

Abstract

The present invention relates to a welding jig apparatus for welding a rib of a vacuum chamber, and more specifically, to a welding jig apparatus for welding a rib of a vacuum chamber, which is configured to vertically weld a rib to a panel, a wall surface of a vacuum chamber, so as to manufacture the vacuum chamber. According to the present invention, the welding jig apparatus for welding a rib of a vacuum chamber comprises: a work table on which a panel prepared to manufacture a vacuum chamber is fixed; a rotating support on which the work table is mounted to be movable; fixing supports positioned on both sides of the rotating support and rotatably supporting the rotating support; a first support part moving forward and backward towards the rotating support from any one direction; and a second support part moving forward and backward towards the rotating support from the direction opposite the first support part with respect to the rotating support, wherein any one of the first support part and the second support part moves towards the rotating support to incline the rotating support at a predetermined angle, and the other one moves towards the rotating support and supports the rib welded to the panel.

Description

진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치 {Jig apparatus for welding for rib of vaccum chamber}Welding jig apparatus for welding the rib of the vacuum chamber {Jig apparatus for welding for rib of vaccum chamber}

본 발명은 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버를 제작하기 위하여 진공챔버의 벽면이 되는 패널에 리브를 수직으로 용접하기 위한 용접지그장치에 관한 것이다.The present invention relates to a welding jig apparatus for welding a rib of a vacuum chamber, and more particularly, to a welding jig apparatus for vertically welding a rib to a panel serving as a wall surface of a vacuum chamber in order to manufacture a vacuum chamber.

반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 등을 제조하는 과정에서 반도체 기판이나 글라스 기판 등을 대상으로 증착과 같은 박막공정, 에칭 등의 식각공정, 포토리소그래피와 같은 패터닝 공정, 공정 후에 잔류하는 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등이 수행될 수 있다. 이러한 공정들은 진공상태, 비활성 가스 또는 특정 가스의 분위기 내에서 수행될 수 있으며, 반도체 기판이나 글라스 기판과 같은 가공 대상물을 수용하는 내부공간을 제공하고, 진공상태나 특정 가스의 분위기를 유지하고 외부환경으로부터 오염되지 않고 외부와의 격리된 환경을 제공하기 위하여 진공 챔버가 이용된다.In the process of manufacturing semiconductors, flat panel displays, solar cells, etc., thin film processes such as deposition, etching processes such as etching, patterning processes such as photolithography, and residues remaining after the process are removed for semiconductor substrates or glass substrates. A cleaning process or the like may be performed. These processes can be performed in a vacuum state, in an atmosphere of an inert gas, or a specific gas, provide an internal space for accommodating an object to be processed such as a semiconductor substrate or a glass substrate, maintain a vacuum state or an atmosphere of a specific gas, and A vacuum chamber is used to provide an environment that is not contaminated and isolated from the outside.

한편, 최근에는 디스플레이가 대화면화 됨에 따라 이를 처리하기 위한 챔버도 대형화되고 있다. 이때, 대형 기판을 진공 상태로 처리하기 위한 진공챔버는 알루미늄 등의 금속제 처리 챔버의 내부를 진공으로 한 상태에서 대기압에 견딜 수 있을 만큼 충분한 강성을 확보할 필요가 있다.Meanwhile, in recent years, as the display becomes larger, the chamber for processing the display is also increasing in size. At this time, a vacuum chamber for processing a large substrate in a vacuum state needs to secure sufficient rigidity to withstand atmospheric pressure while the interior of a metal processing chamber such as aluminum is vacuumed.

이에 따라 종래에는 챔버에 다양한 보강구조를 적용하여 챔버의 강성을 보강하고 있다. 이러한 챔버의 보강구조의 하나로 챔버의 내외부에 리브를 용접함으로써 챔버의 강성을 보강하고 있다.Accordingly, in the related art, various reinforcing structures are applied to the chamber to reinforce the rigidity of the chamber. As one of the reinforcing structures of the chamber, the rigidity of the chamber is reinforced by welding ribs inside and outside the chamber.

도 1은 종래의 챔버(100)에 용접된 리브(150)를 나타낸 도면이다. 일반적으로 챔버(100)의 표면 상부에 리브(150)를 수직으로 배치한 후 양 접합부를 용접한다. 그러나 도 1에 도시된 형상과 달리 실제로는 용융된 용접 비드(165)가 중력에 의해 하부로 치우져 형성되는 문제점이 있다. 즉 용접 비드(165)는 하부에 위치한 챔버(100)의 표면에 더 많은 부분이 형성된다. 이러한 용접 비드(165)의 불균형적인 형성은 리브(150)의 결합력을 약화시키게 된다. 또한, 용접 기술자의 숙련도에 따라 형성되는 용접 비드의 형태 및 치우침 정도가 달라지게 된다.1 is a view showing a rib 150 welded to a conventional chamber 100. In general, the rib 150 is vertically disposed on the upper surface of the chamber 100 and then both joints are welded. However, unlike the shape shown in FIG. 1, there is a problem in that the molten weld bead 165 is actually moved to the bottom by gravity. That is, the welding bead 165 has more parts formed on the surface of the chamber 100 located below. The unbalanced formation of the welding bead 165 weakens the bonding force of the rib 150. In addition, the shape and degree of bias of the weld bead formed are changed according to the skill level of the welding technician.

대한민국 등록특허공보 제10-1424127호(2014.08.01.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1424127 (2014.08.01.) 대한민국 등록특허공보 제10-0856145호(2008.09.03.)Korean Registered Patent Publication No. 10-0856145 (2008.09.03.)

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 진공챔버를 제작하기 위하여 진공챔버의 벽면이되는 패널에 리브를 용접할 때 패널과 리브가 수직이 되도록 위치시키면서 패널과 리브 사이에 형성되는 용접비드가 어느 한쪽으로 치우치지 않고 균형있게 형성되도록 할 수 있는 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above-described problem, in order to manufacture a vacuum chamber, when welding a rib to a panel that is a wall surface of a vacuum chamber, the welding bead formed between the panel and the rib is positioned so that the panel and the rib are vertical. An object thereof is to provide a welding jig device for welding a rib of a vacuum chamber that can be formed in a balanced manner without being biased to one side.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치는, 진공챔버를 제작하기 위한 패널이 고정되는 작업대; 상기 작업대가 이동가능하게 장착되는 회전지지대; 상기 회전지지대의 양측에 위치하여 상기 회전지지대를 회전가능하게 지지하는 고정지지대; 어느 일 방향에서 상기 회전지지대를 향해 전후방향으로 이동하는 제1 지지부; 및 상기 회전지지대를 중심으로 상기 제1 지지부와 반대방향에서 상기 회전지지대를 향해 전후방향으로 이동하는 제2 지지부를 포함하며, 상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 어느 하나가 상기 회전지지대를 향해 이동하여 상기 회전지지대를 소정 각도로 기울이고, 다른 하나가 상기 회전지지대를 향해 이동하여 상기 패널에 용접되는 리브를 지지한다.In order to achieve the above object, a welding jig apparatus for welding a rib of a vacuum chamber of the present invention includes: a work table on which a panel for manufacturing a vacuum chamber is fixed; A rotating support on which the worktable is movably mounted; Fixed supports located on both sides of the rotation support and rotatably supporting the rotation support; A first support portion moving forward and backward toward the rotation support in any one direction; And a second support part moving forward and backward toward the rotation support in a direction opposite to the first support part around the rotation support part, and any one of the first support part and the second support part moves toward the rotation support part. Thus, the rotation support is inclined at a predetermined angle, and the other moves toward the rotation support to support a rib welded to the panel.

그리고 상기 제1 지지부와 제2 지지부는 상기 회전지지대를 향하는 모서리의 각도가 90°인 삼각기둥형상이다.In addition, the first support portion and the second support portion have a triangular column shape in which an angle of a corner facing the rotation support is 90°.

그리고 상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 어느 하나는 상기 회전지지대의 하부로 이동하여 상기 회전지지대를 기울이고, 다른 하나는 상기 회전지지대가 기울어진 상태에서 상기 회전지지대의 상부로 이동하여 상기 리브를 지지한다.And any one of the first support part and the second support part moves to the lower part of the rotation support to incline the rotation support, and the other moves to the upper part of the rotation support while the rotation support is inclined to support the rib. do.

그리고 상기 회전지지대의 양측에는 각각 경사면이 형성되고, 상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 먼저 상기 회전지지대를 향해 이동하는 어느 하나가 상기 경사면과 접촉하여 상기 회전지지대의 하부로 이동한다.Further, inclined surfaces are formed on both sides of the rotation support, and one of the first support and the second support, which first moves toward the rotation support, contacts the inclined surface and moves to the lower portion of the rotation support.

그리고 본 발명의 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치는, 상기 고정지지대에 설치되어 상기 제1 지지부를 이동시키는 제1 구동부와, 상기 고정지지대에 설치되어 상기 제2 지지부를 이동시키는 제2 구동부를 더 포함한다.In addition, the welding jig device for welding the ribs of the vacuum chamber of the present invention includes a first driving unit installed on the fixed support to move the first support, and a second driving unit installed on the fixed support to move the second support. It further includes a driving unit.

그리고 상기 고정지지대에는 제1 가이드홈 및 제2 가이드홈이 형성되고,And the fixing support is formed with a first guide groove and a second guide groove,

상기 제1 구동부는, 상기 고정지지대에 설치되는 제1 스크류와, 상기 제1 스크류를 회전시키는 제1 모터와, 상기 제1 지지부에 장착되어 상기 제1 스크류에 의해 상기 제1 가이드홈을 따라 이동하는 제1 이동블록으로 이루어지며,The first driving unit may include a first screw installed on the fixing support, a first motor rotating the first screw, and mounted on the first support unit to move along the first guide groove by the first screw It consists of a first moving block,

상기 제2 구동부는, 상기 고정지지대에 설치되는 제2 스크류와, 상기 제2 스크류를 회전시키는 제2 모터와, 상기 제2 지지부에 장착되어 상기 제2 스크류에 의해 상기 제2 가이드홈을 따라 이동하는 제2 이동블록으로 이루어진다.The second driving part may include a second screw installed on the fixing support, a second motor rotating the second screw, and mounted on the second support part and moving along the second guide groove by the second screw It consists of a second moving block.

그리고 상기 회전지지대는 상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 어느 하나에 의해 지면에 대하여 45° 각도로 경사지게 기울어지고, 상기 리브는 상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 다른 하나에 의해 지지되어 상기 패널과 90 ° 각도를 이루게 된다.And the rotation support is inclined at an angle of 45° to the ground by one of the first support and the second support, and the rib is supported by the other of the first support and the second support, It has a 90° angle.

본 발명의 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치는 진공챔버를 제작하기 위한 패널과 패널에 용접하여 접합할 리브를 지지하여 수직으로 용접하기 용이하고, 패널과 리브의 용접부분이 수직상부를 향하도록 함으로써 용접에 의해 패널과 리브 사이에 형성되는 용접리브가 어느 한쪽으로 치우치지 않고 균형있게 형성되도록 하여 리브의 용접품질을 높이고 구조적 강도를 향상시킬 수 있다.The welding jig device for welding the ribs of the vacuum chamber of the present invention is easy to weld vertically by welding the panel for manufacturing the vacuum chamber and the rib to be joined by welding to the panel, and the welding part of the panel and the rib is vertical By facing it, the welding rib formed between the panel and the rib by welding can be formed in a balanced manner without being biased to either side, thereby improving the welding quality and structural strength of the rib.

도 1은 종래의 챔버에 용접된 리브를 나타낸 도면이.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치의 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 고정지지대와 제1 구동부, 제2 구동부, 제1 지지부 및 제2 지지부를 별도로 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치에 패널이 고정된 상태를 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 패널을 고정할 때 회전지지대와 제1 지지부 및 제2 지지부를 개략적으로 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 회전지지대가 기울어진 상태를 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따라 회전지지대가 기울어질 때 회전지지대와 제1 지지부 및 제2 지지부를 개략적으로 나타낸 도면.
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 제2 지지부가 이동하는 상태를 개략적으로 나타낸 도며.
도 9는 본 발명의 실시예에 따라 회전지지대가 기울어진 상태에서 회전지지대에 대하여 작업대가 이동하여 패널의 위치를 조절하는 것을 개략적으로 나타낸 도면.
도 10은 본 발명의 실시예에 따라 용접을 실시하기 위하여 패널과 리브가 수직으로 배치된 상태를 개략적으로 나타낸 도면.1 is a view showing a rib welded to a conventional chamber.
2 is a perspective view of a welding jig device for welding a rib of a vacuum chamber according to an embodiment of the present invention.
3 is a view separately showing a fixed support, a first driving unit, a second driving unit, a first supporting unit, and a second supporting unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing a state in which a panel is fixed to a welding jig device for welding a rib of a vacuum chamber according to an embodiment of the present invention.
5 is a view schematically showing a rotating support, a first support, and a second support when fixing a panel according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view showing a state in which the rotation support is inclined according to an embodiment of the present invention.
7 is a view schematically showing a rotating support, a first support, and a second support when the rotary support is inclined according to an embodiment of the present invention.
8 is a diagram schematically showing a state in which a second support part moves according to an embodiment of the present invention.
9 is a view schematically showing that the position of the panel is adjusted by moving the worktable with respect to the rotational support while the rotational support is inclined according to an embodiment of the present invention.
10 is a view schematically showing a state in which a panel and a rib are vertically arranged to perform welding according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치는 도 2 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 고정지지대(10), 회전지지대(20), 작업대(30), 제1 구동부, 제2 구동부, 제1 지지부(60) 및 제2 지지부(70)로 이루어진다.The welding jig device for welding the ribs of the vacuum chamber according to the embodiment of the present invention is a fixed support 10, a rotating support 20, a work table 30, a first driving part, as shown in FIGS. 2 to 10 , A second driving part, a first support part 60 and a second support part 70.

도 2에 도시된 바와 같이, 고정지지대(10)는 회전지지대(20)의 양측에 위치하여 회전지지대(20)를 회전가능하게 지지한다. 그리고 도 3에 도시된 바와 같이, 고정지지대(10)의 어느 일측에는 제1 가이드홈(11)이 형성되고, 다른 일측에는 제2 가이드홈(12)이 형성된다. 제1 가이드홈(11)을 따라 제1 지지부(60)가 이동하고, 제2 가이드홈(12)을 따라 제2 지지부(70)가 이동하게 된다.As shown in Figure 2, the fixed support 10 is located on both sides of the rotary support 20 to support the rotary support 20 rotatably. And, as shown in FIG. 3, a first guide groove 11 is formed on one side of the fixing support 10, and a second guide groove 12 is formed on the other side. The first support part 60 moves along the first guide groove 11 and the second support part 70 moves along the second guide groove 12.

회전지지대(20)는 고정지지대(10)에 의해 회전가능하게 지지된다. 즉 회전지지대(20)는 회전축(21)에 의해 고정지지대(10)에 회전가능하게 결합된다. 그리고 회전지지대(20)에는 작업대(30)가 직선이동가능하게 장착된다. 회전지지대(20)에는 작업대(30)를 직선이동시키기 위한 리니어모터, 실린더-피스톤 구조 등이 설치될 수 있다. 그리고 도 5에 도시된 바와 같이, 회전지지대(20)의 양측에는 각각 경사면(22)이 형성된다. 즉 제1 지지부(60) 및 제2 지지부(70)가 위치하는 회전지지대(20)의 양단부에는 경사면(22)이 형성된다. 경사면(22)은 제1 지지부(60)와 제2 지지부(70) 중 먼저 회전지지대(20)를 향해 이동하는 어느 하나가 회전지지대(20)의 하부로 이동하기 용이하도록 한다.The rotating support 20 is rotatably supported by the fixed support 10. That is, the rotation support 20 is rotatably coupled to the fixed support 10 by the rotation shaft 21. In addition, the worktable 30 is mounted to the rotation support 20 so as to be linearly movable. A linear motor, a cylinder-piston structure, etc. for linearly moving the work table 30 may be installed on the rotation support 20. And, as shown in FIG. 5, inclined surfaces 22 are formed on both sides of the rotation support 20, respectively. That is, inclined surfaces 22 are formed at both ends of the rotation support 20 on which the first support part 60 and the second support part 70 are located. The inclined surface 22 makes it easy for any one of the first support part 60 and the second support part 70 to move toward the rotation support 20 to move to the lower portion of the rotation support 20.

작업대(30)는 회전지지대(20)의 상부에 직선이동 가능하게 장착된다. 전술한 바와 같이 회전지지대(20)에는 리니어모터나 실린더-피스톤 구조 등이 설치되어 작업대(30)가 직선이동할 수 있다. 작업대(30)는 직선이동함으로써 리브(R)가 용접될 패널(P)의 위치를 조절할 수 있다. 그리고 도 4에 도시된 바와 같이, 작업대(30)는 패널(P)을 고정하기 위한 복수의 클램프(31)를 구비한다. 클램프(31)는 다양한 형상 및 구조로 이루어질 수 있으며, 본 실시예에서는 그 형상 및 구조를 특별히 한정하지 않는다.The worktable 30 is mounted to be linearly movable on the upper part of the rotation support 20. As described above, a linear motor or a cylinder-piston structure is installed on the rotation support 20 so that the work table 30 can move linearly. The worktable 30 can adjust the position of the panel P to which the ribs R are to be welded by moving linearly. And, as shown in Figure 4, the work table 30 is provided with a plurality of clamps 31 for fixing the panel (P). The clamp 31 may have various shapes and structures, and the shape and structure are not particularly limited in this embodiment.

제1 구동부는 고정지지대(10)에 설치되어 제1 지지부(60)를 이동시킨다. 구체적으로 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 구동부는 제1 스크류(41), 제1 모터(미도시) 및 제1 이동블록(42)으로 이루어진다. 제1 스크류(41)는 고정지지대(10)에 설치된다. 즉 제1 스크류(41)는 제1 가이드홈(11)에 설치된다. 제1 모터는 고정지지대(10)에 장착되어 제1 스크류(41)를 회전시킨다. 제1 이동블록(42)은 제1 스크류(41)에 의해 제1 가이드홈(11)을 따라 이동한다. 이러한 제1 구동부는 회전지지대(20)의 양측에 위치하는 고정지지대(10)에 각각 설치되고, 제1 이동블록(42)은 제1 지지부(60)의 양측에 결합되어 제1 지지부(60)와 함께 이동한다. 제1 이동블록(42)과 제1 지지부(60)는 탈착가능하게 결합할 수 있다.The first driving unit is installed on the fixing support 10 to move the first support unit 60. Specifically, as shown in FIG. 3, the first driving unit includes a first screw 41, a first motor (not shown), and a first moving block 42. The first screw 41 is installed on the fixing support 10. That is, the first screw 41 is installed in the first guide groove 11. The first motor is mounted on the fixing support 10 to rotate the first screw 41. The first moving block 42 moves along the first guide groove 11 by the first screw 41. These first driving units are installed on each of the fixed supports 10 located on both sides of the rotating support 20, and the first moving blocks 42 are coupled to both sides of the first support unit 60 to provide the first support unit 60 Move with. The first moving block 42 and the first support 60 may be detachably coupled.

제2 구동부는 고정지지대(10)에 설치되어 제2 지지부(70)를 이동시킨다. 구체적으로 제2 구동부는 제2 스크류(51), 제2 모터(미도시) 및 제2 이동블록(52)으로 이루어진다. 제2 스크류(51)는 고정지지대(10)에 설치된다. 즉 제2 스크류(51)는 제2 가이드홈(12)에 설치된다. 제2 모터는 고정지지대(10)에 장착되어 제2 스크류(51)를 회전시킨다. 제2 이동블록(52)은 제2 스크류(51)에 의해 제2 가이드홈(12)을 따라 이동한다. 이러한 제2 구동부는 회전지지대(20)의 양측에 위치하는 고정지지대(10)에 각각 설치되고, 제2 이동블록(52)은 제2 지지부(70)의 양측에 결합되어 제2 지지부(70)와 함께 이동한다. 제2 이동블록(52)과 제2 지지부(70)는 탈착가능하게 결합할 수 있다.The second driving unit is installed on the fixing support 10 to move the second support unit 70. Specifically, the second driving unit includes a second screw 51, a second motor (not shown), and a second moving block 52. The second screw 51 is installed on the fixing support 10. That is, the second screw 51 is installed in the second guide groove 12. The second motor is mounted on the fixing support 10 to rotate the second screw 51. The second moving block 52 moves along the second guide groove 12 by the second screw 51. These second driving units are respectively installed on the fixed support 10 located on both sides of the rotation support 20, the second movable block 52 is coupled to both sides of the second support 70 to the second support 70 Move with. The second moving block 52 and the second support 70 may be detachably coupled.

제1 지지부(60)는 어느 일 방향에서 회전지지대(20)를 향해 전후방향으로 이동한다. 제2 지지부(70)는 회전지지대(20)를 중심으로 제1 지지부(60)와 반대방에서 회전지지대(20)를 향해 전후방향으로 이동한다. 이러한 제1 지지부(60)와 제2 지지부(70)는 도 5에 도시된 바와 같이 회전지지대(20)를 향하는 모서리의 각도(A)가 90°인 삼각기둥형상이다.The first support part 60 moves forward and backward toward the rotation support 20 in any one direction. The second support part 70 moves in the front-rear direction toward the rotation support 20 from the opposite side of the first support part 60 about the rotation support 20. As shown in FIG. 5, the first support part 60 and the second support part 70 have a triangular column shape in which the angle A of the corner facing the rotation support 20 is 90°.

도 5에 도시된 바와 같이, 용접을 실시하기 전 작업대(30)에 패널(P)을 고정하기 위하여 제1 지지부(60)와 제2 지지부(70)는 회전지지대(20)의 양단을 받쳐 수평으로 지지한다. 이후, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 지지부(60)와 제2 지지부(70) 중 어느 하나는 후퇴하고, 다른 하나는 회전지지대(20)를 향해 이동하여 회전지지대(20)를 소정 각도로 기울인다. 본 발명의 실시예에서는 회전지지대(20)를 지면에 대하여 45° 각도로 기울여 용접을 실시할 패널(P)과 리브(R)의 접합부분이 상부를 향하도록 한다. 구체적으로 도 10에 도시된 바와 같이, 지면에 대한 수직선(N)과 패널(P) 사이의 각도와 수직선(N)과 리브(R) 사이의 각도가 45°로 동일하다.5, in order to fix the panel P to the work table 30 before welding, the first support 60 and the second support 70 support both ends of the rotation support 20 I support it. Thereafter, as shown in FIGS. 6 and 7, any one of the first support part 60 and the second support part 70 retreats, and the other moves toward the rotation support 20 and the rotation support 20 Tilt at a predetermined angle. In an embodiment of the present invention, the rotating support 20 is tilted at an angle of 45° with respect to the ground so that the joint portion between the panel P and the rib R to be welded faces upward. Specifically, as shown in FIG. 10, the angle between the vertical line N and the panel P with respect to the ground and the angle between the vertical line N and the rib R are equal to 45°.

상술한 제1 지지부(60)와 제2 지지부(70)는 패널(P)과 리브(R)를 90° 각도로 용접하기 위한 것으로, 패널(P)과 리브(R)의 각도를 90°가 아닌 다른 각도로 용접하기 위해서 회전지지대(20)를 향하는 모서리의 각도가 90° 외에 다른 각도로 형성된 제1 지지부(60)와 제2 지지부(70)로 교체할 수도 있다. 즉 모서리가 다른 각도로 형성된 제1 지지부(60)를 제1 이동블록(42)에 결합시키고, 모서리가 다른 각도로 형성된 제2 지지부(70)를 제2 이동블록(52)에 결합시킴으로써, 패널(P)과 리브(R)를 90°가 아닌 다른 각도로 접합하여 용접할 수도 있다.The first support portion 60 and the second support portion 70 described above are for welding the panel P and the rib R at an angle of 90°, and the angle between the panel P and the rib R is 90°. In order to weld at an angle other than that, the angle of the corner facing the rotation support 20 may be replaced with the first support part 60 and the second support part 70 formed at an angle other than 90°. That is, by coupling the first support portion 60 formed at different angles to the first moving block 42 and the second support portion 70 formed at different angles to the second moving block 52, the panel It is also possible to weld by joining (P) and rib (R) at an angle other than 90°.

다음은 본 발명의 실시예에 따른 패널(P)과 리브(R)를 용접하기 위하여 용접지그장치를 이용한 패널(P)과 리브(R)의 포지셔닝 방법을 설명한다.Next, a method of positioning the panel P and the rib R using a welding jig device to weld the panel P and the rib R according to an exemplary embodiment of the present invention will be described.

전술한 바와 같이 회전지지대(20)는 양측에 위치한 고정지지대(10)의 사이에서 회전가능하게 지지된다. 이때, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 지지부(60)와 제2 지지부(70)는 회전지지대(20)의 양단을 받쳐주어 회전지지대(20)가 회전하지 않고 수평으로 유지되도록 한다.As described above, the rotation support 20 is rotatably supported between the fixed support 10 located on both sides. At this time, as shown in Figs. 4 and 5, the first support unit 60 and the second support unit 70 support both ends of the rotary support 20 so that the rotary support 20 does not rotate and remains horizontal. do.

이와 같이 회전지지대(20)가 제1 지지부(60)와 제2 지지부(70) 모두에 의해 지지되어 수평으로 유지된 상태에서 작업대(30)에 패널(P)을 고정시킨다. 패널(P)은 클램프(31)를 이용하여 작업대(30)에 고정될 수 있다.As described above, the panel P is fixed to the worktable 30 while the rotation support 20 is supported by both the first support 60 and the second support 70 and is maintained horizontally. The panel P may be fixed to the work table 30 using a clamp 31.

패널(P)이 클램프(31)에 의해 작업대(30)에 고정되면, 제2 지지부(70)는 후퇴하고 제1 지지부(60)는 회전지지대(20) 방향으로 이동한다. 제1 지지부(60)는 제1 상부빗면(61)이 경사면(22)과 접촉하여 회전지지대(20)의 하부로 이동한다. 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 지지부(60)가 회전지지대(20)의 하부로 이동함에 따라 회전지지대(20)가 기울어지게 된다. 제1 지지부(60)는 회전지지대(20)의 저면과 제1 지지부(60)의 제1 상부빗면(61)이 평행하게 접촉할 때까지 이동하여, 회전지지대(20)는 지면에 대하여 45° 각도로 기울어지게 된다.When the panel P is fixed to the worktable 30 by the clamp 31, the second support 70 retreats and the first support 60 moves in the direction of the rotation support 20. The first support part 60 moves to the lower part of the rotation support 20 by contacting the first upper comb surface 61 with the inclined surface 22. As shown in FIGS. 6 and 7, as the first support part 60 moves below the rotation support 20, the rotation support 20 is inclined. The first support part 60 moves until the bottom surface of the rotation support part 20 and the first upper bevel surface 61 of the first support part 60 contact in parallel, and the rotation support part 20 is 45° with respect to the ground. It is tilted at an angle.

이후, 제2 지지부(70)가 회전지지대(20)를 향해 이동한다. 이때, 도 8에 도시된 바와 같이 회전지지대(20)가 기울어져 있기 때문에 제2 지지부(70)는 회전지지대(20)의 상부로 이동한다. 그리고 제2 지지부(70)는 작업대(30)에 고정되어 있는 패널(P)에 근접하여 정지한다.Thereafter, the second support 70 moves toward the rotation support 20. At this time, as shown in FIG. 8, since the rotation support 20 is inclined, the second support 70 moves to the upper portion of the rotation support 20. In addition, the second support part 70 stops close to the panel P fixed to the work table 30.

도 8에 도시된 바와 같이 제2 지지부(70)가 패널(P)과 소정의 간격으로 떨어져 위치한 상태에서, 도 9에 도시된 바와 같이 작업대(30)를 이동시켜 리브(R)를 용접할 패널(P)의 위치를 세밀하게 조절할 수 있다. 리브(R)를 용접할 패널(P)의 위치가 확정되면 도 10에 도시된 바와 같이 제2 지지부(70)가 패널(P)을 향해 더 이동하여 제2 지지부(70)의 제2 하부빗면(72)이 패널(P)과 접촉하게 된다. 그리고 제2 지지부(70)의 제2 상부빗면(71)에 리브(R)를 배치하여 패널(P)과 리브(R)가 90° 각도로 접합되도록 위치시킨다.As shown in FIG. 8, in a state in which the second support 70 is located apart from the panel P at a predetermined interval, the panel to be welded to the rib R by moving the work table 30 as shown in FIG. 9 The position of (P) can be finely adjusted. When the position of the panel P to which the ribs R are to be welded is determined, as shown in FIG. 10, the second support part 70 moves further toward the panel P to form the second lower bevel of the second support part 70. 72 comes into contact with the panel P. In addition, ribs R are disposed on the second upper beveled surface 71 of the second support part 70 so that the panel P and the ribs R are joined at a 90° angle.

이와 같이 패널(P)과 리브(R)의 사이의 각도가 수직이되도록 하여 용접이 용이하고, 용접할 패널(P)과 리브(R)의 접합부분이 수직상부를 향하도록 함으로써 용접에 의해 패널(P)과 리브(R) 사이에 형성되는 용접비드가 어느 한쪽으로 치우치지 않고 균형있게 형성되도록 할 수 있다.In this way, the angle between the panel (P) and the rib (R) is made vertical so that welding is easy, and the joint portion between the panel (P) and the rib (R) to be welded faces the vertical upper part. It is possible to ensure that the weld bead formed between P) and the rib (R) is formed in a balanced manner without being biased to either side.

한편, 제2 지지부(70)가 먼저 회전지지대(20)를 향해 이동하여 회전지지대(20)의 하부에서 회전지지대(20)를 기울이고, 제1 지지부(60)가 회전지지대(20)의 상부로 이동하여 리브(R)를 지지할 수도 있다.On the other hand, the second support 70 first moves toward the rotation support 20 and tilts the rotation support 20 from the lower portion of the rotation support 20, and the first support 60 moves to the upper portion of the rotation support 20. It can also move and support the rib (R).

본 발명에 따른 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치는 전술한 실시예에 국한되지 않고 본 발명의 기술사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.The welding jig apparatus for welding the ribs of the vacuum chamber according to the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be implemented with various modifications within the scope of the technical idea of the present invention.

10 : 고정지지대,
11 : 제1 가이드홈,
12 : 제2 가이드홈,
20 : 회전지지대,
21 : 회전축
22 : 경사면,
30 : 작업대,
31 : 클램프,
40 : 제1 구동부,
41 : 제1 스크류,
42 : 제1 이동블록,
50 : 제2 구동부,
51 : 제2 스크류,
52 : 제2 이동블록,
60 : 제1 지지부,
61 : 제1 상부빗면,
62 : 제1 하부빗면,
70 : 제2 지지부,
71 : 제2 상부빗면,
72 : 제2 하부빗면10: fixed support,
11: 1st guide groove,
12: second guide groove,
20: rotating support,
21: rotating shaft
22: slope,
30: worktable,
31: clamp,
40: first drive unit,
41: first screw,
42: first moving block,
50: second drive unit,
51: second screw,
52: second moving block,
60: first support,
61: first upper bevel,
62: first lower bevel,
70: second support,
71: second upper bevel,
72: second lower bevel

Claims (7)

진공챔버를 제작하기 위한 패널이 고정되는 작업대;
상기 작업대가 이동가능하게 장착되는 회전지지대;
상기 회전지지대의 양측에 위치하여 상기 회전지지대를 회전가능하게 지지하는 고정지지대;
어느 일 방향에서 상기 회전지지대를 향해 전후방향으로 이동하는 제1 지지부; 및
상기 회전지지대를 중심으로 상기 제1 지지부와 반대방향에서 상기 회전지지대를 향해 전후방향으로 이동하는 제2 지지부를 포함하며,
상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 어느 하나가 상기 회전지지대를 향해 이동하여 상기 회전지지대를 소정 각도로 기울이고, 다른 하나가 상기 회전지지대를 향해 이동하여 상기 패널에 용접되는 리브를 지지하는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치.A working table on which a panel for manufacturing a vacuum chamber is fixed;
A rotating support on which the worktable is movably mounted;
Fixed supports located on both sides of the rotation support and rotatably supporting the rotation support;
A first support portion moving forward and backward toward the rotation support in any one direction; And
And a second support part moving forward and backward toward the rotation support in a direction opposite to the first support part around the rotation support,
One of the first support and the second support moves toward the rotary support to incline the rotary support at a predetermined angle, and the other moves toward the rotary support to support a rib welded to the panel. A welding jig device for welding the ribs of the vacuum chamber. 제 1항에 있어서,
상기 제1 지지부와 제2 지지부는 상기 회전지지대를 향하는 모서리의 각도가 90°인 삼각기둥형상인 것을 특징으로 하는 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치.According to claim 1,
A welding jig device for welding the ribs of a vacuum chamber, wherein the first support part and the second support part have a triangular column shape in which an angle of a corner facing the rotation support is 90°. 제 1항에 있어서,
상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 어느 하나는 상기 회전지지대의 하부로 이동하여 상기 회전지지대를 기울이고, 다른 하나는 상기 회전지지대가 기울어진 상태에서 상기 회전지지대의 상부로 이동하여 상기 리브를 지지하는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치.According to claim 1,
One of the first support part and the second support part moves to a lower portion of the rotation support to incline the rotation support, and the other moves to an upper part of the rotation support while the rotation support is inclined to support the rib. A welding jig device for welding a rib of a vacuum chamber, characterized in that. 제 3항에 있어서,
상기 회전지지대의 양측에는 각각 경사면이 형성되고,
상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 먼저 상기 회전지지대를 향해 이동하는 어느 하나가 상기 경사면과 접촉하여 상기 회전지지대의 하부로 이동하는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치.According to claim 3,
Inclined surfaces are formed on both sides of the rotation support,
A welding jig apparatus for welding a rib of a vacuum chamber, wherein any one of the first support part and the second support part first moving toward the rotation support contacts the inclined surface and moves to a lower portion of the rotation support. 제 1항에 있어서,
상기 고정지지대에 설치되어 상기 제1 지지부를 이동시키는 제1 구동부와,
상기 고정지지대에 설치되어 상기 제2 지지부를 이동시키는 제2 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치.According to claim 1,
A first driving part installed on the fixed support to move the first support part,
A welding jig device for welding the ribs of the vacuum chamber, further comprising a second driving unit installed on the fixing support and moving the second support unit. 제 5항에 있어서,
상기 고정지지대에는 제1 가이드홈 및 제2 가이드홈이 형성되고,
상기 제1 구동부는,
상기 고정지지대에 설치되는 제1 스크류와,
상기 제1 스크류를 회전시키는 제1 모터와,
상기 제1 지지부에 장착되어 상기 제1 스크류에 의해 상기 제1 가이드홈을 따라 이동하는 제1 이동블록으로 이루어지며,
상기 제2 구동부는,
상기 고정지지대에 설치되는 제2 스크류와,
상기 제2 스크류를 회전시키는 제2 모터와,
상기 제2 지지부에 장착되어 상기 제2 스크류에 의해 상기 제2 가이드홈을 따라 이동하는 제2 이동블록으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치.The method of claim 5,
A first guide groove and a second guide groove are formed in the fixing support,
The first driving unit,
A first screw installed on the fixing support,
A first motor that rotates the first screw,
It consists of a first moving block mounted on the first support and moving along the first guide groove by the first screw,
The second driving unit,
A second screw installed on the fixing support,
A second motor that rotates the second screw,
A welding jig device for welding a rib of a vacuum chamber, characterized in that comprising a second moving block mounted on the second support and moving along the second guide groove by the second screw. 제 2항에 있어서,
상기 회전지지대는 상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 어느 하나에 의해 지면에 대하여 45° 각도로 경사지게 기울어지고,
상기 리브는 상기 제1 지지부와 제2 지지부 중 다른 하나에 의해 지지되어 상기 패널과 90 ° 각도를 이루는 것을 특징으로 하는 진공챔버의 리브를 용접하기 위한 용접지그장치.According to claim 2,
The rotation support is inclined at an angle of 45° to the ground by any one of the first support and the second support,
A welding jig apparatus for welding a rib of a vacuum chamber, wherein the rib is supported by the other of the first support part and the second support part to form a 90° angle to the panel.
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