KR20200094123A - Display device and method of manufacturing the same - Google Patents
Display device and method of manufacturing the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR20200094123A KR20200094123A KR1020200093851A KR20200093851A KR20200094123A KR 20200094123 A KR20200094123 A KR 20200094123A KR 1020200093851 A KR1020200093851 A KR 1020200093851A KR 20200093851 A KR20200093851 A KR 20200093851A KR 20200094123 A KR20200094123 A KR 20200094123A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- inorganic
- layer
- substrate
- pattern
- area
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H01L27/3276—
-
- H01L51/0021—
-
- H01L51/56—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/124—Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/179—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/60—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
- H10K77/111—Flexible substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/311—Flexible OLED
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/851—Division of substrate
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24777—Edge feature
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
본 발명의 실시예들은 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로 더 상세하게는 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relates to a display device and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a display device using a flexible substrate and a manufacturing method thereof.
디스플레이 분야에서는 가볍고 얇으며 내충격성이 우수한 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이 장치가 개발되고 있다. 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이 장치는 마더 기판(mother glass)로부터 절단되어 형성된다. 상세히, 마더 기판에는 다수의 디스플레이 장치가 형성될 수 있다. 이러한 디스플레이 장치는 예를 들면, 프레스(press)를 이용하여 절단선(cutting line)을 따라 디스플레이 기판을 절단함으로써, 개별 디스플레이 장치로 분리된다. In the display field, a display device using a flexible substrate that is light, thin, and has excellent impact resistance has been developed. A display device using a flexible substrate is formed by cutting from a mother glass. In detail, a plurality of display devices may be formed on the mother substrate. These display devices are separated into individual display devices by, for example, cutting the display substrate along a cutting line using a press.
그런데, 프레스와 같이 물리적인 가압에 의해 절단되는 경우, 디스플레이 기판의 절단선 주변은 우그러지거나(burr) 일그러지게 된다. 이러한 우그러짐이나 일그러짐에 의해 디스플레이 기판 상의 각 레이어가 들뜨거나 크랙(crack)이 발생되어 라인 단선(斷線)이 발생하는 문제가 있다. 또한, 절단시 절단선 주변의 디스플레이 기판 상의 레이어들이 이탈되어 디스플레이 장치의 신뢰성이 저하되는 문제가 있다. However, when it is cut by a physical pressure such as a press, the periphery of the cutting line of the display substrate is crushed or distorted. Due to such distortion or distortion, each layer on the display substrate is lifted or cracked, resulting in a problem of line disconnection. In addition, there is a problem that the reliability of the display device is lowered because layers on the display substrate around the cutting line are separated during cutting.
이러한 문제를 해결하기 위해 디스플레이 기판 상의 절단선 주변에는 레이어를 제거하여 디스플레이 기판을 노출하는 시도가 이루어지고 있다. 그런데, 절단선 주변의 레이어를 제거함으로써 형성되는 단차에 금속 잔막이 존재하는 경우, 디스플레이 기판에 형성된 패드들과 외부 회로를 탑재한 회로 기판을 접속할 때 회로 기판에 포함된 라인들과 잔막이 전기적으로 연결되어 단락(短絡)(short)가 발생하는 문제가 있다. To solve this problem, attempts have been made to expose the display substrate by removing a layer around the cutting line on the display substrate. However, when a metal residual film exists in a step formed by removing a layer around the cutting line, the lines and the residual film included in the circuit board are electrically connected when the pads formed on the display substrate and the circuit board equipped with the external circuit are connected. There is a problem in that a short occurs due to connection.
본 발명의 실시예들은 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법을 제공한다. Embodiments of the present invention provide a display device using a flexible substrate and a method for manufacturing the same.
본 발명의 일 실시예는 기판상에 적어도 표시 영역을 갖는 중앙 영역 및 상기 중앙 영역의 주변에 배치된 주변 영역을 포함하는 디스플레이 장치에 관한 것으로서, 상기 중앙 영역에는 일 방향으로 배열된 복수 개의 패드가 형성되고, 상기 주변 영역 중 적어도 상기 패드들에 인접한 영역에는 상기 복수 개의 패드들에 대응하는 절연 패턴 및 상기 절연 패턴들 사이에 형성되고 상기 절연 패턴을 형성하는 절연 물질의 적어도 일부가 제거된 형태로 슬릿이 형성된 디스플레이 장치를 개시한다.One embodiment of the present invention relates to a display device including a central area having at least a display area on a substrate and a peripheral area disposed around the central area, wherein the central area includes a plurality of pads arranged in one direction. The insulating pattern corresponding to the plurality of pads and at least a part of the insulating material formed between the insulating patterns and forming the insulating pattern are removed from at least a portion of the peripheral region adjacent to the pads. Disclosed is a display device in which a slit is formed.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴은 적어도 상기 패드들의 연장선과 중첩될 수 있다.In this embodiment, the insulating pattern may overlap at least the extension lines of the pads.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴은 무기물을 포함할 수 있다.In this embodiment, the insulating pattern may include an inorganic material.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴의 최상면과, 상기 절연 패턴의 측면의 적어도 일 영역을 덮도록 형성된 유기막을 더 포함할 수 있다.In the present exemplary embodiment, an organic layer formed to cover at least one region of a top surface of the insulating pattern and a side surface of the insulating pattern may be further included.
본 실시예에 있어서 상기 주변 영역은 적어도 일 영역에 상기 기판의 상면이 노출된 영역을 포함할 수 있다.In this embodiment, the peripheral area may include an area where the upper surface of the substrate is exposed to at least one area.
본 실시예에 있어서 상기 주변 영역은 상기 패드들에 인접하고 상기 복수 개의 절연 패턴 및 슬릿들이 배치되는 패드 주변 영역을 포함하고, 상기 기판의 상면이 노출된 영역은 상기 패드 주변 영역에 인접하도록 형성될 수 있다.In this embodiment, the peripheral area includes a pad peripheral area adjacent to the pads and the plurality of insulating patterns and slits are disposed, and an area where the upper surface of the substrate is exposed is formed to be adjacent to the pad peripheral area. Can.
본 실시예에 있어서 상기 기판의 상면이 노출된 영역은 상기 기판의 가장자리 중 복수의 가장자리에 인접하도록 형성될 수 있다.In this embodiment, an area where the upper surface of the substrate is exposed may be formed to be adjacent to a plurality of edges of the edges of the substrate.
본 실시예에 있어서 상기 기판의 가장자리는 절단선으로 정의될 수 있다.In this embodiment, the edge of the substrate may be defined as a cutting line.
본 실시예에 있어서 상기 기판의 중앙 영역에는 하나 이상의 무기막이 형성될 수 있다.In this embodiment, one or more inorganic films may be formed in the central region of the substrate.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴들은 상기 무기막과 연결된 형태를 가질 수 있다.In this embodiment, the insulating patterns may have a form connected to the inorganic film.
본 실시예에 있어서 상기 복수 개의 패드는 상기 무기막 상에 형성될 수 있다.In this embodiment, the plurality of pads may be formed on the inorganic film.
본 실시예에 있어서 상기 무기막은 복수 개의 층이 적층된 형태를 가질 수 있다.In this embodiment, the inorganic film may have a form in which a plurality of layers are stacked.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴은 복수 개의 무기 패턴이 적층된 형태를 가질 수 있다.In this embodiment, the insulating pattern may have a form in which a plurality of inorganic patterns are stacked.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴은 제1 무기 패턴 및 상기 제1 무기 패턴상에 형성된 제2 무기 패턴을 포함할 수 있다.In this embodiment, the insulating pattern may include a first inorganic pattern and a second inorganic pattern formed on the first inorganic pattern.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴은 상기 제1무기 패턴의 상면이 상기 제2무기 패턴에 의해 완전히 덮히도록 형성될 수 있다.In this embodiment, the insulating pattern may be formed so that the upper surface of the first inorganic pattern is completely covered by the second inorganic pattern.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴은 상기 제1무기 패턴의 상면이 노출된 영역을 갖도록 형성될 수 있다.In this embodiment, the insulating pattern may be formed to have an area where the top surface of the first inorganic pattern is exposed.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴의 적어도 상기 제2무기 패턴의 상면 및 측면을 덮는 유기막을 더 포함할 수 있다.In this embodiment, the insulating layer may further include an organic layer covering at least an upper surface and a side surface of the second inorganic pattern.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴과 상기 기판의 사이에는 제1 무기막이 형성될 수 있다.In this embodiment, a first inorganic film may be formed between the insulating pattern and the substrate.
본 실시예에 있어서 상기 제1 무기막의 영역 중 상기 슬릿에 중첩하는 영역에 그루브가 형성되도록 상기 제1 무기막의 일부가 제거된 형태를 가질 수 있다.In this embodiment, a portion of the first inorganic film may be removed so that a groove is formed in an area of the first inorganic film overlapping the slit.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴의 적어도 상면 및 측면을 덮고, 상기 제1 무기막의 영역 중 슬릿에 대응하는 영역 중 일 영역을 덮지 않는 유기막을 더 포함할 수 있다.In the present embodiment, an organic layer covering at least an upper surface and a side surface of the insulating pattern and not covering one region of a region corresponding to a slit among regions of the first inorganic layer may be further included.
본 실시예에 있어서 상기 중앙 영역에는 상기 기판상에 형성된 버퍼막 및 상기 버퍼막 상에 형성되고, 활성층, 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 복수개의 박막 트랜지스터(TFT)을 더 포함하고, 상기 활성층, 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극과 인접하도록 하나 이상의 절연막이 형성되고, 상기 절연 패턴은 상기 하나 이상의 절연막과 동일한 물질로 형성될 수 있다.In the present embodiment, the central region further includes a plurality of thin film transistors (TFTs) formed on the substrate and formed on the buffer layer and including an active layer, a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode, One or more insulating films are formed to be adjacent to the active layer, the gate electrode, the source electrode, and the drain electrode, and the insulating pattern may be formed of the same material as the one or more insulating films.
본 실시예에 있어서 상기 절연 패턴과 상기 하나 이상의 절연막은 연결되도록 형성될 수 있다.In this embodiment, the insulating pattern and the at least one insulating layer may be formed to be connected.
본 실시예에 있어서 상기 하나 이상의 절연막은 상기 기판상에 형성되는 버퍼막, 상기 게이트 전극과 활성층을 절연하는 게이트 절연막, 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 상기 게이트 전극 사이를 절연하는 층간 절연막 중 적어도 하나일 수 있다.In the present embodiment, the at least one insulating film is at least one of a buffer film formed on the substrate, a gate insulating film insulating the gate electrode and the active layer, and an interlayer insulating film insulating the source electrode and the drain electrode and the gate electrode. Can.
본 실시예에 있어서 상기 하나 이상의 절연막은 상기 기판상에 형성되는 버퍼막, 상기 게이트 전극과 활성층을 절연하는 게이트 절연막, 상기 소스 전극 및 드레인 전극의 상부에 형성되는 보호막 중 적어도 하나일 수 있다.In the present embodiment, the one or more insulating films may be at least one of a buffer film formed on the substrate, a gate insulating film insulating the gate electrode and the active layer, and a protective film formed on the source electrode and the drain electrode.
본 실시예에 있어서 상기 박막 트랜지스터를 덮는 유기막을 더 포함하고, 상기 유기막은 상기 절연 패턴의 최상면과 측면의 적어도 일 영역을 덮도록 형성될 수 있다. In the present exemplary embodiment, an organic layer covering the thin film transistor may be further included, and the organic layer may be formed to cover at least one region of a top surface and a side surface of the insulating pattern.
본 실시예에 있어서 상기 박막 트랜지스터(TFT) 중 적어도 하나와 전기적으로 연결되는 화소 전극 및 상기 화소 전극의 일부를 덮고 발광 영역을 정의하는 화소 정의막을 더 포함하며, 상기 화소 정의막은 상기 절연 패턴의 최상면과 측면의 적어도 일 영역을 덮도록 형성될 수 있다.In the present embodiment, a pixel electrode that is electrically connected to at least one of the thin film transistors (TFT) and a pixel defining layer that covers a portion of the pixel electrode and defines a light emitting area, wherein the pixel defining layer is an uppermost surface of the insulating pattern. It may be formed to cover at least one area of the side.
본 실시예에 있어서 상기 화소 전극과 대향하는 대향 전극을 더 구비하고, 상기 화소 전극과 상기 대향 전극 사이에 유기 발광층이 개재될 수 있다.In the present exemplary embodiment, an opposite electrode facing the pixel electrode may be further provided, and an organic emission layer may be interposed between the pixel electrode and the opposite electrode.
본 실시예에 있어서 상기 기판은 플렉서블 소재를 적용할 수 있다.In this embodiment, the substrate may be a flexible material.
본 실시예에 있어서 상기 주변 영역에는 상기 절연 패턴과 이격되고 상기 패드들에 대응되지 않는 더미 절연 패턴 및 상기 더미 절연 패턴들 사이에 형성되고 상기 더미 절연 패턴을 형성하는 절연 물질의 적어도 일부가 제거된 형태의 더미 슬릿이 더 형성될 수 있다.In the present embodiment, at least a part of the dummy insulating pattern that is spaced apart from the insulating pattern and does not correspond to the pads and the dummy insulating patterns formed between the dummy insulating patterns and which forms the dummy insulating pattern is removed from the peripheral region. A dummy slit in the form may be further formed.
본 실시예에 있어서 상기 복수 개의 패드는 경사진 형태를 갖도록 상기 복수 개의 패드의 연장선이 상기 기판의 가장자리과 이루는 각이 90도보다 작거나 90도보다 크고, 상기 슬릿은 경사진 형태를 갖도록 상기 슬릿의 연장선이 상기 기판의 가장자리과 이루는 각이 90도보다 작거나 90도보다 클 수 있다.In this embodiment, the plurality of pads have an angle formed by an extension line of the plurality of pads with an edge of the substrate is less than 90 degrees or greater than 90 degrees so that the plurality of pads have an inclined shape, and the slits of the slits have an inclined shape. The angle formed by the extension line with the edge of the substrate may be less than 90 degrees or greater than 90 degrees.
본 실시예에 있어서 상기 복수 개의 패드의 연장선이 상기 기판의 가장자리와 이루는 각은 상기 슬릿의 연장선이 상기 기판의 가장자리와 이루는 각과 동일할 수 있다.In this embodiment, the angle of the extension lines of the plurality of pads with the edge of the substrate may be the same as the angle of the extension lines of the slit with the edge of the substrate.
본 실시예에 있어서 상기 표시 영역에 전기적 신호를 전달할 수 있도록 외부 회로가 탑재된 회로 기판을 더 포함하고, 상기 회로 기판의 복수의 배선은 상기 패드와 연결될 수 있다.In this embodiment, the circuit board further includes an external circuit to transmit an electrical signal to the display area, and a plurality of wirings of the circuit board can be connected to the pad.
본 실시예에 있어서 상기 회로 기판의 복수의 배선은 상기 절연 패턴상에 배치되고, 상기 슬릿과 이격될 수 있다. In this embodiment, a plurality of wirings of the circuit board are disposed on the insulating pattern and may be spaced apart from the slit.
본 발명의 다른 실시예는 기판상에 적어도 표시 영역을 갖는 중앙 영역 및 상기 중앙 영역의 주변에 배치된 주변 영역을 포함하는 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 상기 중앙 영역에는 일 방향으로 배열된 복수 개의 패드를 형성하고, 상기 주변 영역 중 적어도 상기 패드들에 인접한 영역에는 상기 복수 개의 패드들에 대응하는 절연 패턴 및 상기 절연 패턴들 사이에 상기 절연 패턴의 재료가 되는 절연 물질의 적어도 일부가 제거된 형태로 슬릿을 형성하는 것을 포함하는 디스플레이 장치 제조 방법을 개시한다.Another embodiment of the present invention relates to a method of manufacturing a display device including a central area having at least a display area on a substrate and a peripheral area disposed around the central area, wherein the central area is arranged in one direction. A plurality of pads are formed, and at least a portion of the peripheral area adjacent to the pads removes at least a portion of an insulating pattern corresponding to the plurality of pads and an insulating material that becomes a material of the insulating pattern between the insulating patterns. Disclosed is a method of manufacturing a display device comprising forming a slit in a shape.
본 실시예에 있어서 상기 기판의 중앙 영역에는 하나 이상의 무기막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 절연 패턴은 상기 무기막을 이용하여 형성할 수 있다. In this embodiment, the step of forming at least one inorganic film in the central region of the substrate, and the insulating pattern may be formed using the inorganic film.
본 실시예에 있어서 상기 무기막은 복수의 층을 적층하여 형성할수 있다.In this embodiment, the inorganic film may be formed by stacking a plurality of layers.
본 실시예에 있어서 상기 무기막의 복수의 층 중 적어도 최상부의 층을 포함한 층을 패터닝하여 상기 슬릿을 사이에 두고 이격 배치된 절연 패턴을 형성하는 단계를 진행한 후에, 상기 복수 개의 패드를 상기 무기막의 복수의 층 중 어느 한 층에 형성하는 단계를 포함할 수 있다. In this embodiment, after performing a step of patterning a layer including at least the uppermost layer among a plurality of layers of the inorganic film to form an insulating pattern spaced apart between the slits, the plurality of pads are applied to the inorganic film. It may include forming on any one of the plurality of layers.
본 실시예에 있어서 상기 복수 개의 패드를 형성하는 단계를 진행한 후에, 상기 슬릿에 대응하는 영역에서 상기 무기막의 층 중 적어도 최하층을 포함한 층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.In the present embodiment, after the step of forming the plurality of pads may be performed, a step of removing a layer including at least the lowest layer of the layer of the inorganic layer in a region corresponding to the slit.
본 실시예에 있어서 상기 주변 영역은 적어도 일 영역에 상기 기판의 상면이 노출된 영역을 포함하도록 형성할 수 있다.In this embodiment, the peripheral area may be formed to include an area in which an upper surface of the substrate is exposed in at least one area.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features, and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치는 외부 회로를 탑재한 회로 기판의 본딩시 쇼트 불량을 해소하는 특징이 있다. The display device according to the embodiments of the present invention has a feature of eliminating short circuit defects when bonding a circuit board equipped with an external circuit.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ를 확대한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 2의 a-a'를 따라 절단한 일 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 관한 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 5 내지 도 14는 도 2의 a-a'를 따라 절단한 다른 실시예들을 나타낸 단면도이다.
도 15 및 도 16은 도 2의 다른 변형예들을 도시한 도면이다.도 17 내지 도 25는 도 1의 디스플레이 장치를 제조하는 방법의 일 실시예를 b-b'의 절단선을 기준으로 순차적으로 나타낸 단면도이다.
도 26 및 도 27은 도 1의 디스플레이 장치를 제조하는 방법의 다른 실시예를 b-b'의 절단선을 기준으로 순차적으로 나타낸 단면도이다.
도 28 내지 도 31은 도 1의 디스플레이 장치를 제조하는 방법의 또 다른 실시예를 b-b'의 절단선을 기준으로 순차적으로 나타낸 단면도이다.
도 32는 본 발명의 비교예에 의한 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 33은 도 32의 Ⅶ 를 확대한 개략적인 평면도이다.
도 34는 본 발명의 일 실시예에 의한 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 35는 도 34의 Ⅸ를 확대한 개략적인 평면도이다.
도 36은 도 35의 Q-Q'선을 따라 절취한 단면도이다.1 is a plan view schematically showing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view enlarging II of FIG. 1.
3 is a cross-sectional view showing an embodiment cut along a-a' in FIG. 2.
4 is a plan view schematically showing a display device according to another embodiment of the present invention.
5 to 14 are cross-sectional views showing other embodiments of FIG. 2 taken along line a-a'.
15 and 16 are views showing other modified examples of FIG. 2. FIGS. 17 to 25 sequentially illustrate an embodiment of a method of manufacturing the display device of FIG. 1 based on a cutting line of b-b'. It is a cross-sectional view.
26 and 27 are cross-sectional views sequentially showing another embodiment of a method of manufacturing the display device of FIG. 1 based on a cutting line of b-b'.
28 to 31 are cross-sectional views sequentially showing another embodiment of a method of manufacturing the display device of FIG. 1 based on a cutting line of b-b'.
32 is a plan view schematically showing a display device according to a comparative example of the present invention.
FIG. 33 is a schematic plan view of FIG. 32 in an enlarged scale.
34 is a plan view schematically illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
35 is a schematic plan view of FIG. 34 in an enlarged scale.
36 is a cross-sectional view taken along line Q-Q' of FIG. 35.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. The present invention can be applied to various transformations and can have various embodiments, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention and methods for achieving them will be clarified with reference to embodiments described below in detail together with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following examples, terms such as first and second are not used in a limiting sense, but for the purpose of distinguishing one component from other components.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. In the following embodiments, the singular expression includes a plural expression unless the context clearly indicates otherwise.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the examples below, terms such as include or have are meant to mean that features or components described in the specification exist, and do not preclude the possibility of adding one or more other features or components.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when a part such as a film, a region, or a component is said to be on or on another part, other films, regions, components, and the like are interposed therebetween, as well as directly above the other part. Also included.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. In the drawings, the size of components may be exaggerated or reduced for convenience of description. For example, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to what is shown.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다. In the following embodiments, the x-axis, y-axis, and z-axis are not limited to three axes on the Cartesian coordinate system, and can be interpreted in a broad sense including them. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다. When an embodiment can be implemented differently, a specific process order may be performed differently from the described order. For example, two processes described in succession may be performed substantially simultaneously, or may be performed in an order opposite to that described.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and the same or corresponding components will be given the same reference numerals when describing with reference to the drawings, and redundant description thereof will be omitted. .
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 디스플레이 장치(1000)를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ를 확대한 개략적인 평면도이고, 도 3은 도 2의 a-a'를 따라 절단한 일 실시예를 나타낸 단면도이다. 1 is a plan view schematically showing a
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 관한 디스플레이 장치(1000)는 기판(100)을 포함한다. 기판(100)은 다양한 소재를 포함할 수 있다. 구체적으로 기판(100)은 유리, 금속 또는 유기물 기타 재질로 형성할 수 있다. Referring to FIG. 1, a
선택적 실시예로서 기판(100)은 플렉서블 소재의 기판(100)을 포함한다. 여기서, 플렉서블 소재의 기판(100)이란 가요성을 갖는 기판으로 잘 휘어지고 구부러지며 접거나 돌돌 말 수 있는 기판을 지칭한다. 이러한 플렉서블 소재의 기판(100)은 초박형 유리, 금속 또는 플라스틱으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 플라스틱을 사용하는 경우 기판(100)은 폴리이미드(PI)로 이루어질 수 있으나 이는 예시적인 것이며 다양한 소재를 적용할 수 있다. As an optional embodiment, the
디스플레이 장치(1000)는 마더 기판 상에 복수개 형성될 수 있으며, 기판(100)의 절단선(CL)을 따라 절단함으로써 개별 디스플레이 장치(1000)로 분리될 수 있다. 도 1에서는 절단선(CL)을 따라 절단되어 분리된 개별 디스플레이 장치(1000)를 도시한 것이다. 따라서, 기판(100)의 가장자리는 절단선(CL)에 의해 정의된다. A plurality of
기판(100)은 주변 영역(PA) 및 중앙 영역(CA)으로 구획된다. 구체적으로 주변 영역(PA)은 절단선(CL) 주변의 영역이고, 중앙 영역(CA)은 주변 영역(PA)의 안쪽의 영역이다. The
그러나, 본 실시예는 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 절단선(CL)이 존재하지 않을 수 있다. 구체적으로 하나의 마더 기판에 하나의 디스플레이 장치(1000)를 형성할 수 있고, 이 경우 기판(100)이 하나의 마더 기판이 될 수 있어 절단선(CL)이 없을 수도 있다. 그 경우 주변 영역(PA)은 기판(100)의 가장자리와 인접한 영역이고, 중앙 영역(CA)은 주변 영역(PA)의 안쪽의 영역이 될 수 있다. 설명의 편의를 위하여 후술하는 실시예들에서는 절단선(CL)이 있는 경우만을 설명하기로 한다.However, the present embodiment is not limited to this. That is, the cut line CL may not exist. Specifically, one
중앙 영역(CA)은 표시 영역(DA) 및 비표시 영역(NDA)을 포함한다. The central area CA includes a display area DA and a non-display area NDA.
표시 영역(DA)에는 화상이 표시되도록 하나 이상의 표시 소자(미도시), 예를들면 유기 발광 소자(OLED)가 구비될 수 있다. 또한, 표시 영역(DA)에는 복수개의 화소들이 배치될 수 있다.The display area DA may be provided with one or more display elements (not shown), for example, an organic light emitting diode (OLED), to display an image. Also, a plurality of pixels may be disposed in the display area DA.
비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA) 주변에 형성된다. 구체적으로 도 1에 도시한 것과 같이 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)을 둘러싸도록 형성될 수 있다. 도시하지 않았으나, 선택적 실시예로서 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)의 복수 개의 측면에 인접하도록 형성될 수 있다. 또한 다른 선택적 실시예로서 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)의 일측면에 인접하도록 형성될 수 있다. The non-display area NDA is formed around the display area DA. Specifically, as shown in FIG. 1, the non-display area NDA may be formed to surround the display area DA. Although not illustrated, as an optional embodiment, the non-display area NDA may be formed to be adjacent to a plurality of side surfaces of the display area DA. Also, as another exemplary embodiment, the non-display area NDA may be formed to be adjacent to one side of the display area DA.
비표시 영역(NDA)은 적어도 패드 영역(PDA)을 구비한다.The non-display area NDA includes at least a pad area PDA.
패드 영역(PDA)에는 드라이버(driver)나 복수개의 패드(106a)들이 배치된다. In the pad area PDA, a driver or a plurality of
선택적 실시예로서 중앙 영역(CA)에는 기판(100)을 통해 디스플레이 장치(1000)의 내부로 투습이나 불순물 침투를 방지하기 위해 하나 이상의 무기막이 형성될 수 있다.In an exemplary embodiment, one or more inorganic films may be formed in the central area CA to prevent moisture permeation or impurity penetration into the
주변 영역(PA)은 절단선(CL) 주변의 영역으로서 절단선(CL)을 따라 기판(100)의 둘레에 구비된다. The peripheral area PA is an area around the cutting line CL and is provided around the
주변 영역(PA)은 적어도 일 영역에 기판(100)의 상면이 그대로 노출된 영역및 패드 주변 영역(PPA)을 포함한다. The peripheral area PA includes an area where the top surface of the
먼저 주변 영역(PA)의 기판(100)의 상면이 그대로 노출된 영역 관련하여 설명하기로 한다. First, the upper surface of the
구체적으로 도 1에 도시한 것과 같이 주변 영역(PA)은 기판(100)의 상측 가장자리, 좌측 가장자리 및 우측 가장자리에 인접한 영역에 기판(100)의 상면이 노출된 영역을 포함할 수 있다.Specifically, as illustrated in FIG. 1, the peripheral area PA may include an area where the upper surface of the
주변 영역(PA)에 구비된 이러한 기판(100)의 상면이 노출된 영역은 마더 기판으로부터 개별 디스플레이 장치(1000)를 절단하여 분리할 때 기판(100)상의 절연막, 특히 무기막들에 의한 크랙(crack)의 전파를 방지한다. The area where the top surface of the
주변 영역(PA)에 구비된 기판(100)의 상면이 노출된 영역의 폭은 절단선(CL)으로부터 중앙 영역(CA)까지 약 수 마이크로 미터내지 수백 마이크로 미터일 수 있다. 예를들면 상기 폭은 40 내지 500마이크로 미터일 수 있고, 또 다른 예로서 50 내지 350 마이크로 미터일 수 있다.The width of the area where the upper surface of the
도시하지 않았으나, 본 발명은 선택적 실시예로서 주변 영역(PA)에 기판(100)의 상면이 노출된 영역을 구비하지 않을 수 있다. 즉, 주변 영역(PA)은 후술할 패드 주변 영역(PPA)만을 구비하고 기판(100)의 가장자리에 인접한 영역에 상면이 노출되지 않도록 형성할 수도 있다.Although not shown, the present invention may not include an area in which the upper surface of the
주변 영역(PA)의 패드 주변 영역(PPA)에 대하여 설명하기로 한다.The pad peripheral area PPA of the peripheral area PA will be described.
패드 주변 영역(PPA)은 주변 영역(PA) 중 패드 영역(PDA)과 인접한 영역이다. The pad peripheral area PPA is an area adjacent to the pad area PDA among the peripheral areas PA.
선택적 실시예로서, 패드 주변 영역(PPA)은 패드(106a)에 외부 회로가 탑재된 회로 기판(후술할 도 32의 200), 예를 들면 칩온필름(COF),이 본딩(bonding)된 경우를 가정할 때, 그 회로 기판(200)이 중첩되는 영역일 수 있다. As an optional embodiment, the pad peripheral area PPA is a circuit board (200 of FIG. 32 to be described later) having an external circuit mounted on the
패드 주변 영역(PPA)은 적어도 복수개의 패드(106a)들에 대응되는 위치에 구비된다. The pad peripheral area PPA is provided at a position corresponding to at least a plurality of
패드 주변 영역(PPA)은 절연 패턴(IP)을 구비한다. 절연 패턴(IP)은 패드(106a)들과 대응하여 구비되며, 절연 패턴(IP)은 슬릿(S: slit)을 사이에 두고 이격되어 배치된다. The pad peripheral area PPA has an insulating pattern IP. The insulating pattern IP is provided in correspondence with the
구체적으로 패드(106a)의 연장선 상에 절연 패턴(IP)가 중첩되도록 배치된다. 이를 통하여 패드(106a)에 회로 기판(미도시)의 배선(미도시)이 연결될 때 배선(미도시)이 절연 패턴(IP)의 상면에 놓이도록 하여 배선(미도시)가 기판(100)상의 이물, 특히 금속 잔막 또는 금속 파티클 등과 접하는 것을 방지하여 쇼트 불량을 원천적으로 차단한다.Specifically, the insulating pattern IP is disposed to overlap the extension line of the
선택적 실시예로서 패드(106a)의 연장선이 슬릿(S)과 이격되도록 하여 상기의 쇼트 불량 방지 효과를 증대할 수 있다.As an optional embodiment, the extension defect of the
이러한 효과에 대해서는 추후 도면을 통해 상세히 설명하기로 한다. This effect will be described in detail through later drawings.
패드 주변 영역(PPA)에 구비된 절연 패턴(IP)에 대하여 보다 상세히 알아보기로 한다. The insulation pattern IP provided in the pad peripheral area PPA will be described in more detail.
도 2에는 패드(106a)가 배치된 패드 영역(PDA)의 일부, 및 패드 영역(PDA)과 인접한 패드 주변 영역(PPA)의 일부가 도시되어 있다. 복수개의 패드(106a)들은 기판(100)상에 형성되어 있다. 2 illustrates a part of the pad area PDA where the
이때 전술한 대로 선택적 실시예로서 기판(100)상의 중앙 영역(CA)에 하나 이상의 무기막이 형성될 수 있는데, 이 경우 무기막이 패드 영역(PDA)에도 형성될 수 있고, 패드(106a)는 패드 영역(PDA)의 무기막 상에 형성될 수 있다. At this time, as described above, as an optional embodiment, one or more inorganic films may be formed in the central area CA on the
복수개의 패드(106a)들은 소정의 간격을 갖고 이격된 채 일 방향으로 배치되어 있다. 선택적 실시예로서 복수 개의 패드(106a)들은 개별 패드(106a)의 너비 방향(도 2의 x축 방향)으로 배치되어 있을 수 있다.The plurality of
패드 주변 영역(PPA)에는 복수개의 절연 패턴(IP)이 구비되어 있다. 전술한 것과 같이, 선택적 실시예로서 기판(100)상의 중앙 영역(CA)에 하나 이상의 무기막이 형성될 수 있는데, 이 경우 복수개의 절연 패턴(IP)은 패드 영역(PDA)의 무기막과 연결될 수 있다. 그러나 본 실시예는 이에 한정되지 않고 중앙 영역(CA)에 형성된 무기막과 별도로 절연 패턴(IP)이 형성될 수 있음은 물론이다.A plurality of insulating patterns IP are provided in the pad peripheral area PPA. As described above, as an optional embodiment, one or more inorganic films may be formed in the central area CA on the
절연 패턴(IP)들은 복수개의 패드(106a)들과 대응되는 방향으로 줄지어 배치되어 있다. 절연 패턴(IP)은 무기 물질로 이루어질 수 있다. 전술한 선택적 실시예의 중앙 영역(CA)에 형성된 하나 이상의 무기막과 절연 패턴(IP)이 연결된 경우, 절연 패턴(IP)은 패드 영역(PDA)으로부터 패드 주변 영역(PPA)으로 돌출된 형상을 하고 있으며, 복수개의 절연 패턴(IP) 각각은 복수개의 패드(106a) 각각에 대응하는 위치에 구비된다. 즉, 개별 패드(106a)가 길이 방향(도 2의 y 축 방향)으로 연장되는 위치에 개별 절연 패턴(IP)이 각각 구비되는 것이다. 인접한 절연 패턴(IP)들의 사이에는 슬릿(S)이 구비되고, 절연 패턴(IP)은 슬릿(S)을 사이에 두고 서로 이격되어 배치된다. 여기서 슬릿(S)은 좁고 긴 트임을 의미하는 것으로써, 이후 설명될 다양한 실시예에 따라 슬릿(S)은 기판(100)의 상면을 노출하는 개구의 일종이거나, 절연 패턴(IP)의 상면보다 낮은 상면을 가진 무기막을 노출하는 개구의 일종일 수 있다. The insulating patterns IP are arranged in a line in a direction corresponding to the plurality of
도 3의 실시예을 참조하면, 슬릿(S)은 기판(100)의 상면을 노출하는 개구의 일종이다. 도 3의 실시예에서 절연 패턴(IP)은 기판(100)의 상면을 노출하는 슬릿(S)을 사이에 두고 서로 이격되어 배치된다. Referring to the embodiment of FIG. 3, the slit S is a type of opening exposing the top surface of the
한편, 절연 패턴(IP)은 기판(100)으로부터 순차적으로 제1무기 패턴(101P) 및 제2무기 패턴(102P)을 포함한다. 제2 무기 패턴(102P)은 복수 개의 무기 패턴층(103P, 105P)이 적층된 형태를 포함한다. 도 3에 도시된 절연 패턴(IP)은 하나의 예시로서, 본 실시예는 이에 한정되지 않고 다양한 형태의 절연 패턴(IP)을 가질 수 있다. 예를들면, 절연 패턴(IP)은 한 개의 층만으로 이루어질 수 있고, 2개의 층으로 이루어질 수 있고, 4개 이상의 층으로 이루어질 수도 있다.Meanwhile, the insulating pattern IP sequentially includes a first
또한, 전술한 것과 같이, 선택적 실시예로서 기판(100)상의 중앙 영역(CA)에 하나 이상의 무기막이 형성될 수 있는데, 이 경우 복수개의 절연 패턴(IP)은 패드 영역(PDA)의 무기막과 연결될 수 있다. 즉 절연 패턴(IP)의 순차적으로 적층된 제1무기 패턴(101P) 및 제2무기 패턴(102P)은 각각 패드 영역(PDA)의 순차적으로 형성된 무기막들과 연결될 수 있다.In addition, as described above, as an optional embodiment, one or more inorganic films may be formed in the central area CA on the
또한, 선택적 실시예로서 중앙 영역(CA)의 표시 영역(DA)에는 다양한 무기막이 형성될 수 있다. 즉, 기판(100)상에 인접하도록 형성될 수 있는 버퍼막(미도시), 화소를 구동하기 위한 박막 트랜지스터(thin film transistor:TFT)에 구비될 수 있는 게이트 절연막(미도시), 층간 절연막(미도시), 패시베이션막(미도시) 기타 다양한 절연막 중 적어도 하나와 연결되도록 복수 개의 절연 패턴(IP)을 형성할 수 있다.In addition, as an optional embodiment, various inorganic films may be formed in the display area DA of the central area CA. That is, a buffer film (not shown) that may be formed adjacent to the
구체적인 예를들면 제1무기 패턴(101P)은 중앙 영역(CA)에 구비되어 기판(100)의 상면을 평탄화 하고, 기판(100)을 통해 투습이나 이물질의 투과를 방지하는 배리어 역할을 하는 버퍼막의 패턴을 포함할 수 있다. 또한, 제2무기 패턴(102P)은 중앙 영역(CA)에 구비되어 박막 트랜지스터의 활성층과 게이트 전극을 서로 절연하는 게이트 절연막의 패턴(103P) 및 게이트 전극과 소스, 드레인 전극을 서로 절연하는 층간 절연막의 패턴(105P)을 포함할 수 있다(구체적인 내용은 후술한다). For a specific example, the first
도 3의 실시예에서는 제1무기 패턴(101P)의 상면이 제2무기 패턴(102P)에 의해 완전히 덮는 측단면을 절연 패턴(IP)이 갖고 있다. 다시 말하면, 제1무기 패턴(101P)의 측단면과 제2무기 패턴(102P)의 측단면이 동일한 선 상에 위치할 수 있다. In the embodiment of FIG. 3, the insulating pattern IP has a side cross-section that the upper surface of the first
그러나, 이는 하나의 예시적인 도면으로서, 본 실시예는 다양한 변형예를 구비할 수 있는데, 예를들면 제1무기 패턴(101P)의 측단면과 제2무기 패턴(102P)의 측단면이 동일한 경사진 선상에 위치할 수 있다. 또 다른 예로서 제1무기 패턴(101P)의 측단면과 제2무기 패턴(102P)의 측단면이 동일한 선상에 놓이지 않을 수 있다. 경우에 따라서는 제1 무기 패턴(101P)의 폭이 제2 무기 패턴(102P)의 폭보다 작을수도 있다. 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 관한 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다. However, this is an exemplary drawing, and this embodiment may include various modifications, for example, when the side cross-section of the first
본 실시예의 디스플레이 장치(2000)는 기판(200)상에 주변 영역(PA) 및 중앙 영역(CA)이 구비되고, 중앙 영역(CA)은 표시 영역(DA) 및 비표시 영역(NDA)을 포함하고, 주변 영역(PA)은 적어도 패드 주변 영역(PPA)을 포함한다. The
설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 상이한 점을 중심으로 설명하기로 한다. For convenience of description, description will be made focusing on differences from the above-described embodiments.
패드 주변 영역(PPA)은 절연 패턴(IP) 및 더미 절연 패턴(DIP)을 구비한다.The pad peripheral area PPA includes an insulating pattern IP and a dummy insulating pattern DIP.
절연 패턴(IP)은 패드(206a)들과 대응하여 구비되며, 절연 패턴(IP)은 슬릿(S: slit)을 사이에 두고 이격되어 배치된다. The insulating pattern IP is provided corresponding to the
더미 절연 패턴(DIP)은 패드(206a)들과 대응되지 않고, 더미 절연 패턴(DIP)은 더미 슬릿(DS)을 사이에 두고 이격되어 배치된다.The dummy insulating pattern DIP does not correspond to the
구체적으로 패드(206a)의 연장선 상에 절연 패턴(IP)이 중첩되도록 배치된다. 이를 통하여 패드(206a)에 배선(미도시)이 연결될 때 배선(미도시)이 기판(200)상의 이물, 특히 금속 잔막 또는 금속 파티클 등과 접하는 것을 방지하여 쇼트 불량을 원천적으로 차단한다.Specifically, the insulating pattern IP is disposed to overlap the extension line of the
더미 절연 패턴(DIP)은 기판(200)상에 다양한 부재를 형성 시 잔존하는 이물 또는 파티클등을 덮을 수 있어 이물로 인한 불량을 방지한다. 또한, 더미 절연 패턴(DIP) 및 더미 슬릿(DS)은 기판(200)을 포함한 디스플레이 장치(2000)의 휨, 굽힘 등 변형시의 응력 완화 기능을 수행할 수 있다.The dummy insulating pattern DIP may cover residual foreign matter or particles when forming various members on the
디스플레이 장치(2000)의 다른 구성상의 내용은 전술한 디스플레이 장치(1000) 및 이에 대한 선택적 실시예들과 동일하므로 그대로 적용이 가능한 바, 디스플레이 장치(2000)의 더 구체적인 설명은 생략하기로 한다.Since the contents of other components of the
도 5 내지 도 14는 도 2의 a-a'를 따라 절단한 다른 실시예들을 나타낸 단면도이다.5 to 14 are cross-sectional views showing other embodiments of FIG. 2 taken along line a-a'.
도 5의 실시예를 참조하면, 슬릿(S)은 적어도 일부 기판(100)의 상면을 노출하는 개구의 일종이다. 도 5의 실시예에서 절연 패턴(IP)은 적어도 일부 기판(100)의 상면을 노출하는 슬릿(S)을 사이에 두고 서로 이격되어 배치된다.Referring to the embodiment of FIG. 5, the slit S is a type of opening exposing the top surface of at least some of the
한편, 절연 패턴(IP)은 도 3의 실시예와 동일하게 기판(100)으로부터 순차적으로 제1무기 패턴(101P) 및 제2무기 패턴(102P)을 포함한다. 전술한 것과 같이, 선택적 실시예로서 기판(100)상의 중앙 영역(CA)에 하나 이상의 무기막이 형성될 수 있는데, 이 경우 복수개의 절연 패턴(IP)은 패드 영역(PDA)의 무기막과 연결될 수 있다. 그러나 본 실시예는 이에 한정되지 않고 중앙 영역(CA)에 형성된 무기막과 별도로 절연 패턴(IP)이 형성될 수 있음은 물론이다.Meanwhile, the insulating pattern IP includes a first
제1무기 패턴(101P) 및 제2무기 패턴(102P)이 형성되는 구체적인 예는 전술한 실시예에서 설명한 것과 같다. 즉 중앙 영역(CA)에 형성되는 무기막들과의 연결 관계의 예시적 내용은 전술한 실시예에서 설명한 것을 모두 적용할 수 있다.Specific examples in which the first
또한, 제2 무기 패턴(102P)은 복수 개의 무기 패턴층(103P, 105P)이 적층된 형태를 포함할 수 있다.Further, the second
도 3의 실시예와 상이하게 도 5의 실시예에서는 절연 패턴(IP)의 제1무기 패턴(101P)의 상면이 일부 노출된다. 다시 말하면, 제1무기 패턴(101P)의 측단면과 제2무기 패턴(102P)의 측단면이 동일한 선 상에 위치하지 않으며, 제2무기 패턴(102P)이 제1무기 패턴(101P)의 상면 중 일부만 덮고 있다.Different from the embodiment of FIG. 3, in the embodiment of FIG. 5, the upper surface of the first
도 5의 실시예의 경우, 노출되는 제1무기 패턴(101P)의 상면의 노출된 영역에 금속 잔막이 남을 수 있으나, 패드부(106a)의 쇼트 불량을 방지할 수 있다. 도 6의 실시예을 참조하면, 슬릿(S)은 제1무기막(101)의 상면을 노출하는 개구의 일종이다. 도 6의 실시예에서 절연 패턴(IP)은 제1무기막(101)의 상면을 노출하는 슬릿(S)을 사이에 두고 서로 이격되어 배치된다. In the embodiment of FIG. 5, a metal residual film may remain on the exposed area of the upper surface of the exposed first
한편, 절연 패턴(IP)은 제1무기막(101) 상의 제2무기 패턴(102P)을 포함한다. 전술한 것과 같이, 선택적 실시예로서 기판(100)상의 중앙 영역(CA)에 하나 이상의 무기막이 형성될 수 있는데, 이 경우 복수개의 절연 패턴(IP)은 패드 영역(PDA)의 무기막과 연결될 수 있다. 그러나 본 실시예는 이에 한정되지 않고 중앙 영역(CA)에 형성된 무기막과 별도로 절연 패턴(IP)이 형성될 수 있음은 물론이다.Meanwhile, the insulating pattern IP includes a second
제2무기 패턴(102P)이 형성되는 구체적인 예는 전술한 실시예에서 설명한 것과 같다. 즉 중앙 영역(CA)에 형성되는 무기막들과의 연결 관계의 예시적 내용은 전술한 실시예에서 설명한 것을 모두 적용할 수 있다. 또한 제2 무기 패턴(102P)은 복수 개의 무기 패턴층(103P, 105P)이 적층된 형태를 포함한다.A specific example in which the second
도 6의 실시예에서는 패드 주변 영역(PPA)에 제1무기막(101)이 형성되어 있고, 절연 패턴(IP)은 제2무기 패턴(102P)만 포함하도록 함으로써, 제1무기막(101)을 패터닝하는 단계를 생략할 수 있어 공정이 간소화 되는 특징이 있다.In the embodiment of FIG. 6, the first
도 7의 실시예을 참조하면, 슬릿(S)은 제1무기막(101)의 상면을 노출하는 개구의 일종이다. 도 7의 실시예에서 절연 패턴(IP)은 제1무기막(101)의 상면을 노출하는 슬릿(S)을 사이에 두고 서로 이격되어 배치된다. Referring to the embodiment of FIG. 7, the slit S is a type of opening exposing the top surface of the first
한편, 절연 패턴(IP)은 제1무기막(101) 상의 제2무기 패턴(102P)을 포함한다. 전술한 것과 같이, 선택적 실시예로서 기판(100)상의 중앙 영역(CA)에 하나 이상의 무기막이 형성될 수 있는데, 이 경우 복수개의 절연 패턴(IP)은 패드 영역(PDA)의 무기막과 연결될 수 있다. 그러나 본 실시예는 이에 한정되지 않고 중앙 영역(CA)에 형성된 무기막과 별도로 절연 패턴(IP)이 형성될 수 있음은 물론이다.Meanwhile, the insulating pattern IP includes a second
제2무기 패턴(102P)이 형성되는 구체적인 예는 전술한 실시예에서 설명한 것과 같다. 즉 중앙 영역(CA)에 형성되는 무기막들과의 연결 관계의 예시적 내용은 전술한 실시예에서 설명한 것을 모두 적용할 수 있다. 또한 제2 무기 패턴(102P)은 복수 개의 무기 패턴층(103P, 105P)이 적층된 형태를 포함한다.A specific example in which the second
도 7의 실시예에서 제1 무기막(101)은 제2 무기 패턴(102P)들 사이에 소정의 그루브를 갖는다. 이러한 그루브는 다양한 형태를 가질 수 있는데, 도 7에서와 같이 그루브의 경계선이 제2 무기 패턴(102P)과 이격될 수 있다.In the embodiment of FIG. 7, the first
그러나, 본 실시예는 이에 한정되지 않는다. 즉 도 8에 도시한 것과 같이 제1 무기막(101)의 그루브의 경계선이 제2 무기 패턴(102P)의 측면과 연결될 수도 있다. However, this embodiment is not limited to this. That is, as illustrated in FIG. 8, the boundary line of the groove of the first
또한, 그 외에도 다양한 형태로 제1 무기막(101)에 그루브가 형성될 수 있고, 예를들면 제1 무기막(101)의 그루브의 경계선이 제2 무기 패턴(102P)의 측면을 지나치도록 형성될 수도 있다. In addition, grooves may be formed on the first
도 7 및 도 8의 실시예에서는 슬릿(S)에 위치하는 제1무기막(101)의 상면을 일부 제거하는 것을 특징으로 한다. 이로써, 슬릿(S)에 대응하는 소정의 영역에서 제1무기막(101)의 두께는 절연 패턴(IP)에 대응하는 제1무기막의 두께보다 얇다. 도 9 내지 도 14의 실시예에 의하면, 도 3, 5 내지 도 8의 실시예에 대하여 절연 패턴(IP)을 덮는 유기막(107P)이 더 구비된다. 7 and 8, the upper surface of the first
상세히, 도 9을 참조하면 도 3의 실시예에서 절연 패턴(IP)의 상면 및 측면을 덮는 유기막(107P)이 더 구비되며, 도 10을 참조하면 도 5의 실시예에서 절연 패턴(IP)에 포함된 제2무기 패턴(102P)의 상면 및 측면을 덮는 유기막(107P)이 더 구비된다. 도 11을 참조하면 도 5의 실시예에서 절연 패턴(IP)에 포함된 제1 무기 패턴(101P) 및 제2무기 패턴(102P)의 상면 및 측면을 덮는 유기막(107P)이 더 구비된다In detail, referring to FIG. 9, an
도 12를 참조하면 도 6의 실시예에서 절연 패턴(IP)에 포함된 제2무기 패턴(102P)의 상면 및 측면을 덮는 유기막(107P)이 더 구비된다. 도 13을 참조하면 도 7의 실시예에서 절연 패턴(IP)에 포함된 제2무기 패턴(102P)의 상면 및 측면을 덮는 유기막(107P)이 더 구비된다.Referring to FIG. 12, in the embodiment of FIG. 6, an
도 14를 참조하면 도 8의 실시예에서 절연 패턴(IP)에 포함된 제2무기 패턴(102P)의 상면 및 측면을 덮는 유기막(107P)이 더 구비된다.Referring to FIG. 14, in the embodiment of FIG. 8, an
선택적 실시예로서 상기의 유기막(107P)은 중앙 영역(CA)에 구비된 하나 이상의 유기막과 연결되도록 형성될 수 있다. 구체적인 예를들면, 유기막(107P)은 중앙 영역(CA)에 구비되어 박막 트랜지스터를 덮고 박막 트랜지스터에 의한 요철을 평탄화 하는 패시베이션막과 연결될 수 있다. 다른 실시예로 유기막(107P)은 패시베이션막 상에 구비된 화소 전극의 일부를 덮어 발광 영역을 정의하는 화소 정의막과 연결될 수 있다. 즉, 중앙 영역(CA)에 패시베이션막 또는 화소 정의막을 형성할 때, 유기막(107P)을 함께 형성함으로써 공정이 추가되는 것을 방지할 수 있다. As an optional embodiment, the
도 9 내지 도 14의 실시예에 의하면, 제2무기 패턴(102P)의 측면에 금속 잔막이 남아 있더라도 유기막(107P)이 금속 잔막을 덮음으로써 금속 잔막으로 인해 쇼트 불량을 발생할 수 있는 가능성을 차단하는 특징이 있다. According to the embodiment of FIGS. 9 to 14, even if the metal residual film remains on the side surface of the second
도 15 및 도 16은 도 2의 다른 변형예들을 도시한 도면이다. 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 상이한 점을 중심으로 설명하기로 한다.15 and 16 are views showing other modified examples of FIG. 2. For convenience of description, description will be made focusing on differences from the above-described embodiments.
도 15를 참조하면 복수 개의 패드(106a')는 경사진 형태를 갖는다. 구체적으로 패드(106a')의 연장선, 예를들면 패드(106')의 중심선과 기판의 가장자리와 이루는 각(θ1)은 90도 보다 작을 수 있다. 또한, 슬릿(S')의 경계선, 또는 슬릿(S')의 중심선과 기판의 가장자리가 이루는 각(θ2)은 90도 보다 작을 수 있다.15, the plurality of
선택적 실시예로서 각(θ1)은 각(θ2)과 동일할 수 있다. 즉, 이를 통하여 패드(106a')와 절연 패턴(IP)이 나란하게 형성된다.As an optional embodiment, the angle θ 1 may be the same as the angle θ 2 . That is, through this, the
도시하지 않았으나, 복수 개의 패드(106a')가 경사진 형태는 다양할 수 있다. 즉, 각(θ1)는 90도 보다 클 수 있다. 이 경우 각(θ2)도 90도 보다 클 수 있다. Although not illustrated, the shape in which the plurality of
또한, 기판상의 일 영역에 형성된 복수 개의 패드(106a')가 경사진 형태와 기판상의 다른 일 영역에 형성된 복수 개의 패드(106a')가 경사진 형태가 다를 수 있다. 즉, 하나의 기판 상에 각(θ1)가 하나가 아닌 복수 개 존재할 수 있다.Further, a plurality of
또한, 도 16에 도시한 것과 같이 복수 개의 패드(106a") 및 복수 개의 슬릿(S")과 함께 더미 절연 패턴(DIP") 및 더미 슬릿(DS")을 더 형성될 수 있다. 더미 절연 패턴(DIP")은 패드(106"a)들과 대응되지 않고, 더미 절연 패턴(DIP")은 더미 슬릿(DS")을 사이에 두고 이격되어 배치된다.Also, as illustrated in FIG. 16, a dummy insulating pattern DIP” and a dummy slit DS” may be further formed along with a plurality of
복수 개의 패드(106a") 및 복수 개의 슬릿(S")의 경사진 형태는 도 15의 실시예와 동일한 바 구체적인 설명은 생략한다. The inclined shapes of the plurality of
이 때 더미 슬릿(DS")도 슬릿(S")과 마찬가지로 경사진 형태로 형성된다.도 17 내지 도 25는 도 1의 디스플레이 장치를 제조하는 방법의 일 실시예를 b-b'의 절단선을 기준으로 순차적으로 나타낸 단면도이다. 구체적으로 도 17 내지 도 25는 도 3의 실시예에 의한 절연 패턴(IP)을 제조 하는 과정이 포함되어 있다. At this time, the dummy slit DS" is also formed in an inclined shape like the slit S". FIGS. 17 to 25 are b-b' cut lines of an embodiment of a method of manufacturing the display device of FIG. 1. It is a cross-sectional view sequentially shown on the basis of. Specifically, FIGS. 17 to 25 include a process of manufacturing an insulating pattern IP according to the embodiment of FIG. 3.
도 17을 참조하면, 먼저 기판(100)을 준비한다. 기판(100)은 다양한 소재로 형성될 수 있고, 선택적 실시예로서 상술한 바대로 플렉서블 소재로 이루어질 수 있다. 기판(100) 상에는 제1무기막(101)을 형성한다. 제1무기막(101)은 기능적으로 예를 들면 버퍼막일 수 있으며, 버퍼막은 표시 영역(DA), 비표시 영역(NDA) 및 패드 영역(PDA)을 포함하는 기판(100)의 중앙 영역(CA)과 패드 주변 영역(PPA)을 포함하는 절단선(CL) 주변의 주변 영역(PA) 상에 모두 형성될 수 있다. 즉, 버퍼막은 기판(100)의 상면(上面)에 모두 형성될 수 있다. 여기서 기판(100)은 디스플레이 장치(1000) 하나가 형성될 기판(100)일 수도 있고, 복수개의 디스플레이 장치(1000)가 형성되는 마더 기판일 수도 있다. Referring to FIG. 17, first, the
버퍼막은 SiO2 및/또는 SiNx 등을 사용하여 PECVD(plasma enhanced chemical vapor deosition)법, APCVD(atmospheric pressure CVD)법, LPCVD(low pressure CVD)법 등 다양한 증착 방법에 의해 형성될 수 있다. The buffer film may be formed by various deposition methods such as plasma enhanced chemical vapor deosition (PECVD) method, atmospheric pressure CVD (APCVD) method, and low pressure CVD (LPCVD) method using SiO 2 and/or SiNx.
도 18을 참조하면, 버퍼막 상의 표시 영역(DA)에 박막 트랜지스터를 형성한다. 표시 영역(DA) 상에 형성된 박막 트랜지스터(TFT)는 화소 회로의 일부로써 기능한다. 그런데 박막 트랜지스터(TFT)는 비표시 영역(NDA) 상에도 형성될 수 있다. 비표시 영역(NDA) 상에 형성된 박막 트랜지스터(TFT)는 드라이버에 포함된 회로의 일부로써 기능한다. Referring to FIG. 18, a thin film transistor is formed in the display area DA on the buffer film. The thin film transistor TFT formed on the display area DA functions as a part of the pixel circuit. However, the thin film transistor TFT may also be formed on the non-display area NDA. The thin film transistor TFT formed on the non-display area NDA functions as a part of the circuit included in the driver.
이하에서는 박막 트랜지스터(TFT)가 활성층(102), 게이트 전극(104) 및 소스,드레인 전극(106s,d)을 버퍼막으로부터 순차적으로 포함하는 탑 게이트 타입(top gate type)인 경우를 도시하였다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고 바텀 게이트 타입(bottom gate type) 등 다양한 타입의 박막 트랜지스터(TFT)가 채용될 수 있다. Hereinafter, a case in which the thin film transistor TFT is a top gate type that sequentially includes the
활성층(102)(active layer)은 패턴 형태로 버퍼막 상에 형성된다. 활성층(102)은 반도체 물질을 포함하며, 예컨대 비정질 실리콘(amorphous silicon) 또는 다결정 실리콘(poly crystalline silicon)을 포함할 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고 활층(102)은 다양한 물질을 함유할 수 있다. 선택적 실시예로서 활성층(102)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. The active layer 102 (active layer) is formed on the buffer film in the form of a pattern. The
또 다른 선택적 실시예로서, 활성층(102)은 산화물 반도체 물질을 함유할 수 있다. 예컨대, 활성층(102)은 G-I-Z-O[(In2O3)a(Ga2O3)b(ZnO)c](a, b, c는 각각 a≥0, b≥0, c>0의 조건을 만족시키는 실수)를 포함할 수 있다. 활성층(102)은 GIZO 외에도 예를 들어, 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 또는 하프늄(Hf) 과 같은 12, 13, 14족 금속 원소 및 이들의 조합에서 선택된 물질의 산화물을 포함할 수 있다. As another alternative embodiment, the
전술한 것과 같이 본 실시예는 다양한 형태의 박막 트랜지스터를 구비할 수 있고, 예를들면 바텀 게이트 구조의 박막 트랜지스터를 구비할 수 있다. 특히, 활성층(102)이 산화물을 함유하는 경우 또는 비정질 실리콘을 함유하는 경우 바텀 게이트 구조의 박막 트랜지스터를 구비할 수 있다. As described above, this embodiment may include various types of thin film transistors, for example, a bottom gate structured thin film transistor. In particular, when the
이러한 바텀 게이트 구조의 박막 트랜지스터는 다양한 형태를 가질 수 있는데, 일 예로서, 기판(100)상에 게이트 전극이 형성되고, 게이트 전극의 상부에 활성층이 형성되고, 활성층의 상부에 소스 전극 및 드레인 전극이 배치될 수 있다. 또한, 다른 예로서 기판상에 게이트 전극이 형성되고, 소스 전극 및 드레인 전극이 게이트 전극의 상부에 형성되고, 활성층이 소스 전극 및 드레인 전극의 상부에 형성될 수도 있다. 이 경우 게이트 전극, 활성층, 소스 전극 및 드레인 전극 중 적어도 하나와 인접하도록 절연막, 예를들면 무기막이 형성될 수 있다.The thin film transistor having the bottom gate structure may have various forms, for example, a gate electrode is formed on the
활성층(102)은 소스 전극(106s) 및 드레인 전극(106d)이 각각 접촉하는 소스 영역 및 드레인 영역과, 그 사이에 위치하는 채널 영역을 포함한다. 활성층(102)이 비정질 실리콘 또는 다결정 실리콘을 포함하는 경우, 필요에 따라 소스 영역 및 드레인 영역에는 불순물이 도핑될 수 있다.The
게이트 절연막(103)(gate insulating layer)은 활성층(102) 상에 형성된다. 게이트 절연막(103)은 실리콘산화물 및/또는 실리콘질화물 등의 무기 물질로 이루어진 막이 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 게이트 절연막(103)은 활성층(102) 및 게이트 전극(104)을 절연하는 역할을 한다. A
게이트 절연막(103)은 제2 무기 패턴(102P)을 이루는 한 층 층일 수 있으며, 게이트 절연막(103)은 표시 영역(DA), 비표시 영역(NDA) 및 패드 영역(PDA)을 포함하는 기판(100)의 중앙 영역(CA)과 패드 주변 영역(PPA)을 포함하는 절단선(CL) 주변의 주변 영역(PA) 상에 모두 형성될 수 있다. 즉, 게이트 절연막(103)은 기판(100)의 전면(全面)에 모두 형성될 수 있다. 여기서 기판(100)은 디스플레이 장치(1000) 하나가 형성될 기판(100)일 수도 있고, 복수개의 디스플레이 장치(1000)가 형성되는 마더 기판일 수도 있다.The
게이트 전극(104)은 패턴 형태로 게이트 절연막(103)의 상부에 형성된다. 게이트 전극(104)은 박막 트랜지스터(TFT)에 온/오프 신호를 인가하는 게이트 라인(미도시)와 연결되어 있다. 게이트 전극(104)은 저저항 금속 물질로 이루어질 수 있으며, 예컨대 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질로 이루어진 막이 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다.The
게이트 전극(104) 상에는 층간 절연막(105)(inter layer dielectric)이 형성된다. 층간 절연막(105)은 소스 전극(106s) 및 드레인 전극(106d)과 게이트 전극(104)을 절연하는 역할을 한다. 층간 절연막(105)은 무기 물질로 이루어진 막이 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 예컨대 무기 물질은 금속 산화물 또는 금속 질화물일 수 있으며, 구체적으로 무기 물질은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZrO2) 등을 포함할 수 있다.An inter-layer dielectric (105) is formed on the
층간 절연막(105)은 제2 무기 패턴(102P)을 이루는 한 층일 수 있으며, 층간 절연막(105)은 표시 영역(DA), 비표시 영역(NDA) 및 패드 영역(PDA)을 포함하는 기판(100)의 중앙 영역(CA)과 패드 주변 영역(PPA)을 포함하는 절단선(CL) 주변의 주변 영역(PA) 상에 모두 형성될 수 있다. 즉, 층간 절연막(105)은 기판(100)의 전면(全面)에 모두 형성될 수 있다. 여기서 기판(100)은 디스플레이 장치(1000) 하나가 형성될 기판(100)일 수도 있고, 복수개의 디스플레이 장치(1000)가 형성되는 마더 기판일 수도 있다.The interlayer insulating
다음으로 도 19를 참조하면, 게이트 절연막(103), 층간 절연막(105)에 컨택홀(CNT)을 형성하고, 동시에 주변 영역(PA)에 대하여 패터닝을 한다. Next, referring to FIG. 19, contact holes CNTs are formed in the
컨택홀(CNT)은 활성층(102)의 소정의 표면이 노출되도록 형성한다. 이 컨택홀(CNT)은 추후 소스 전극(106s) 및 드레인 전극(106d)과 활성층(102)을 전기적으로 연결할 수 있게 한다. 한편, 컨택홀(CNT)을 형성할 때, 주변 영역(PA)의 게이트 절연막(103) 및 층간 절연막(105) 의 제거 및 패드 주변 영역(PPA)의 절연 패턴(IP) 형성이 동시에 이루어진다. 즉 절단선(CL) 주변의 주변 영역(PA)에 구비된 게이트 절연막(103) 및 층간 절연막(105) 이 함께 제거되며, 패드 주변 영역(PPA)에는 절연 패턴(IP)을 형성하기 위한 슬릿(S)이 형성된다. 이와 같이 본 발명의 일 실시예에 의하면, 주변 영역(PA)에 구비된 게이트 절연막(103) 및 층간 절연막(105)을 패터닝하기 위한 별도의 공정이 요구되지 않는바 공정 단순화를 꾀할 수 있다. The contact hole CNT is formed to expose a predetermined surface of the
다음으로 도 20을 참조하면, 층간 절연막(105) 상에 소스, 드레인 전극(106s,d) 및 패드(106a)를 형성하기 위한 금속층(106f)을 형성한다. 금속층(106f)은 전기 저항이 낮은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질로 이루어진 막이 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. Next, referring to FIG. 20, a
다음으로 도 21을 참조하면, 금속층(106f)을 패터닝하여 소스, 드레인 전극(106s,d) 및 패드(106a)를 형성한다. 소스 전극(106s) 및 드레인 전극(106d)은 층간 절연막(105)과 게이트 절연막(103)에 형성된 컨택홀(CNT)을 통해 활성층(102)의 소스 영역 및 드레인 영역과 각각 접촉한다. 그리고 패드 영역(PDA)에는 패드(106a)가 형성된다. Next, referring to FIG. 21, the
한편, 패드 주변 영역(PPA)의 무기막들의측면, 예를들면 게이트 절연막(103) 및 층간 절연막(105)의 측면에는 금속층이 완전히 제거되지 않고 금속 잔여물(106p)이 남아 있을 수 있다. 이러한 금속 잔여물(106p)은 이후 패드(106a)에 외부 회로가 탑재된 회로 기판(200)을 본딩할 때, 쇼트 불량을 일으킬 수 있는 원인이 될 수 있다. Meanwhile, a metal layer may not be completely removed and
도 22를 참조하면, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(107)을 형성한다. Referring to FIG. 22, a
패시베이션막(107)은 박막 트랜지스터(TFT)로부터 비롯된 단차를 해소하고 상면을 평탄하게 하여, 하부 요철에 의해 유기 발광 소자(OLED)에 불량이 발생하는 것을 방지한다. 이러한 패시베이션막(107)은 유기 물질로 이루어진 막이 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 유기 물질은 Polymethylmethacrylate(PMMA)나, Polystylene(PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등을 포함할 수 있다. 또한, 패시베이션막(107)은 무기 절연막과 유기 절연막의 복합 적층체로 형성될 수도 있다.The
다음으로 도 23 내지 도 26을 참조하면 패시베이션막(107)상에 유기 발광 소자(OLED)를 형성한다.Next, referring to FIGS. 23 to 26, an organic light emitting diode (OLED) is formed on the
구체적으로, 패시베이션막(107)에 소스, 드레인 전극(106s,d) 중 하나를 노출하는 홀(107a) 및 패드(106a)의 상면을 노출하는 개구부(107b)를 형성한다. 홀(107a) 은 이후 형성될 유기 발광 소자와 박막 트랜지스터(TFT)를 전기적으로 연결하기 위한 통로가 된다. 한편, 개구부(107b)는 패드(106a)를 노출하여 이후 외부 회로가 탑재된 회로 기판(200)과 패드(106a)를 전기적으로 연결하기 위한 통로가 된다. Specifically, a
다음으로 패시베이션막(107) 상에 유기 발광 소자(OLED)를 형성한다. 상세히, 유기 발광 소자(OLED)는 화소 전극(111), 이에 대향되는 대향 전극(112) 및 양 전극 사이에 개재되는 중간층(113)을 포함한다. 유기 발광 소자(OLED)의 발광 방향에 따라, 표시 장치는 배면 발광 타입(bottom emission type), 전면 발광 타입(top emission type) 및 양면 발광 타입(dual emission type) 등으로 구별되는데, 배면 발광 타입에서는 화소 전극(111)이 광투과 전극으로 구비되고 대향 전극(112)은 반사 전극으로 구비된다. 전면 발광 타입에서는 화소 전극(111)이 반사 전극으로 구비되고 대향 전극(112)이 반투과 전극으로 구비된다. 양면 발광 타입에서는 화소 전극(111) 및 대향 전극(112)이 모두 광을 투과하는 전극으로 구비된다. 본 실시예에서는 유기 발광 표시 장치가 전면 발광 타입인 것을 도시하였다.Next, an organic light emitting diode (OLED) is formed on the
먼저, 도 23을 참조하면, 화소 전극(111)은 아일랜드 형태로 패터닝되어 형성될 수 있다. 또한 화소 전극(111)은 화소 회로에 포함된 박막 트랜지스터(TFT)와 패시베이션막(107)의 홀을 통해 컨택하도록 형성한다. 한편, 화소 전극(111)은 하부의 화소 회로를 가리도록 박막 트랜지스터(TFT)와 중첩되도록 배치될 수 있다.First, referring to FIG. 23, the
화소 전극(111)은 대향 전극(112)의 방향으로 광의 반사가 가능하도록 투명 전극층 외에도 반사 전극층을 포함한다. 화소 전극(111)이 애노드로 기능하는 경우, 투명 전극층은 일함수가 높은 인듐틴옥사이드(indium tin oxide: ITO), 인듐징크옥사이드(indium zinc oxide: IZO), 징크옥사이드(zinc oxide: ZnO), 인듐옥사이드(indium oxide: In2O3), 인듐갈륨옥사이드(indium galium oxide: IGO), 및 알루미늄징크옥사이드(aluminium zinc oxide: AZO)과 같은 투명도전성산화물을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다. 반사 전극층은 은(Ag)과 같이 반사율이 높은 금속을 포함할 수 있다.The
그리고, 패시베이션막(107) 상에 화소 정의막(109)이 형성된다. 화소 정의막(109)은 폴리이미드, 폴리아마이드, 아크릴 수지, 벤조사이클로부텐 및 페놀 수지로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 유기 절연 물질로 스핀 코팅 등의 방법으로 형성될 수 있다. 화소 정의막(109)은 화소 전극(111)의 가장자리를 덮고 적어도 중앙부를 개방하는 개구(109a)를 포함한다. 이 개구(109a)로 한정된 영역은 발광 영역에 해당하며 중간층(113)이 형성된다.Then, a
다음으로 도 24를 참조하면, 주변 영역(PA)의 제1무기막(101)을 패터닝한다. Next, referring to FIG. 24, the first
도시되지 않았으나 절단선(CL) 주변에 노출된 제1무기막(101)을 제거하고, 패드 주변 영역(PPA)의 경우 기판(100)의 상면이 노출되는 슬릿(S)을 형성하기 위해 제1무기막(101)을 제거한다. 이로써, 패드 주변 영역(PPA)에는 기판(100)이 노출되는 슬릿(S)을 사이에 두고 제1무기 패턴(101P) 및 제2무기 패턴(102P)을 포함하는 절연 패턴(IP)이 형성될 수 있다. Although not shown, the first
제1무기막(101)을 패터닝할 때는 게이트 절연막(103) 및 층간 절연막(105)의 측단과 패터닝된 제1무기막(101)의 측단이 일치하도록 할 수 있다. 이 경우, 제2무기 패턴(102P)의 측면에 형성된 금속 잔막은 제1무기막(101)을 패터닝하는 과정에서 함께 제거될 수 있다. 이와 같이 패드 주변 영역(PPA)의 금속 잔막이 제거됨으로써, 쇼트 불량을 방지하고 신뢰성 높은 디스플레이 장치(1000)를 제조할 수 있는 장점이 있다. When patterning the first
본 실시예에서는 버퍼막의 기능을 하는 제1 무기막(101), 게이트 절연막(103) 및 층간 절연막(105)을 이용하여 절연 패턴(IP)을 형성할 수 있다. 도시하지 않았으나, 전술한 것과 같이 본 실시예의 박막 트랜지스터가 바텀 게이트 구조일 경우, 예를들면 산화물 반도체 물질을 함유하는 활성층을 형성하게 되면, 버퍼막의 기능을 하는 제1 무기막(101), 그리고 활성층과 게이트 전극의 사이에 배치될 게이트 절연막, 그리고 소스 전극 및 드레인 전극상에 형성될 수 있는 보호막을 이용하여 절연 패턴(IP)을 형성할 수 있다.In this embodiment, an insulating pattern IP may be formed using the first
또한, 그 외에도 본 실시예가 다양한 형태의 박막 트랜지스터를 포함할 수 있고, 그 경우, 활성층, 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극과 인접하여, 또는 직접 접하는 다양한 종류의 절연막을 연장된 형태로 형성하여 절연 패턴(IP)을 형성할 수 있다.In addition, in addition to this, the present embodiment may include various types of thin film transistors, in which case, various types of insulating films adjacent to or directly in contact with the active layer, gate electrode, source electrode, and drain electrode are formed in an extended form to insulate. A pattern IP can be formed.
다음으로 도 25를 참조하면, 발광 영역에 중간층(113)을 형성한다. 중간층(113)은 적색, 녹색 또는 청색 광을 방출하는 유기 발광층을 포함하며, 유기 발광층은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물을 사용할 수 있다. 유기 발광층이 저분자 유기물로 형성된 저분자 유기층인 경우에는 유기 발광층을 중심으로 화소 전극(111)의 방향으로 홀 수송층(hole transport layer: HTL) 및 홀 주입층(hole injection layer:HIL)등이 위치하고, 대향 전극(112)의 방향으로 전자 수송층(electron transport layer: ETL) 및 전자 주입층(electron injection layer:EIL) 등이 적층된다. 물론, 이들 홀 주입층, 홀 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 외에도 다양한 층들이 필요에 따라 적층되어 형성될 수 있다.Next, referring to FIG. 25, an
한편, 유기 발광층은 유기 발광 소자 별로 별도로 형성될 수 있다. 이 경우에는 유기 발광 소자 별로 적색, 녹색 및 청색의 광을 각각 방출할 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 유기 발광층이 유기 발광 소자 전체에 공통으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 적색, 녹색, 및 청색의 광을 방출하는 복수의 유기 발광층이 수직으로 적층되거나 혼합되어 형성되어 백색광을 방출할 수 있다. 물론, 백색광을 방출하기 위한 색의 조합은 상술한 바에 한정되지 않는다. 한편, 이 경우 방출된 백색광을 소정의 컬러로 변환하는 색변환층이나 컬러필터가 별도로 구비될 수 있다.Meanwhile, the organic light emitting layer may be separately formed for each organic light emitting device. In this case, red, green, and blue light can be emitted for each organic light emitting device. However, the present invention is not limited to this, and the organic light emitting layer may be commonly formed in the entire organic light emitting device. For example, a plurality of organic emission layers that emit red, green, and blue light may be vertically stacked or mixed to emit white light. Of course, the combination of colors for emitting white light is not limited to the above. Meanwhile, in this case, a color conversion layer or a color filter for converting the emitted white light into a predetermined color may be separately provided.
다음으로 기판(100) 전면(全面)을 덮도록 대향 전극(112)이 형성된다. 대향 전극(112)은 도전성 무기 물질로 이루어질 수 있다. 대향 전극(112)이 캐소드로 기능하는 경우, 일함수가 작은 리튬(Li), 칼슘(Ca), 불화리튬/칼슘(LiF/Ca), 불화리튬/알루미늄(LiF/Al), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 은(Ag) 등으로 형성할 수 있으며, 광투과가 가능하도록 상기 금속들을 박막으로 형성할 수 있다. 대향 전극(112)은 화상이 구현되는 표시 영역(DA) 전체에 걸쳐 공통 전극으로 형성될 수 있다. 이 때, 대향 전극(112)은 중간층(113)에 손상을 가하지 않는 증발(evaporation) 공정으로 형성할 수 있다. 한편, 화소 전극(111)과 대향 전극(112)은 그 극성이 서로 반대가 되어도 무방하다. 대향 전극(112)을 형성하여 최종적으로 디스플레이 장치(1000)가 완성된다.Next, the
대향 전극(112) 상에는 도시되지 않았으나, 절연성 캡핑층이 더 형성될 수 있다. 절연성 캡핑층은 스퍼터링(sputtering) 공정이나 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정을 이용하여 봉지 박막을 형성할 때 대향 전극(112)의 일함수(work function)를 유지시켜 주고, 중간층(113)에 포함된 유기물이 손상을 막아줄 수 있다. 절연성 캡핑층은 선택적인 구성이며 구비되지 않을 수도 있다.Although not shown on the
다음으로 도시되지 않았으나, 한편, 유기 발광 소자(OLED)는 밀봉 필름에 의해 밀봉되어 외부의 수분 및 공기 등이 침투하는 것을 방지할 수 있다. 밀봉 필름은 박막(thin film) 형태일 수 있는데, 예를 들어, 실리콘옥사이드(SiOx) 또는 실리콘질화물(SiNx)와 같은 무기물로 이루어진 막과 에폭시, 폴리이미드와 같은 유기물로 이루어진 막이 교대로 성막된 구조를 취할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고 밀봉 필름은 저융점 유리 (low melting galss)로 이루어진 막을 포함할 수 있다. Next, although not shown, on the other hand, the organic light emitting device (OLED) is sealed by a sealing film to prevent the external moisture and air, etc. from penetrating. The sealing film may be in the form of a thin film, for example, a structure formed by alternately forming a film made of an inorganic material such as silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx) and an organic material such as epoxy and polyimide. Can take However, the present invention is not limited to this, and the sealing film may include a film made of low melting galss.
이러한 박막 밀봉 필름으로 유기 발광 소자를 밀봉함으로써, 디스플레이 장치(1000)가 전체적으로 플렉서블한 특징을 갖게 된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 의한 디스플레이 장치(1000)는 구부리고, 접고, 돌돌 말 수 있게 된다. By sealing the organic light emitting element with such a thin film sealing film, the
그러나, 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 기타 다양한 재질의 봉지 부재가 유기 발광 소자(OLED)상에 형성될 수 있다.However, the present embodiment is not limited to this, and a sealing member of various other materials may be formed on the organic light emitting device (OLED).
도 26 및 도 27은 도 1의 디스플레이 장치를 제조하는 방법의 다른 실시예를 b-b'의 절단선을 기준으로 순차적으로 나타낸 단면도이다.26 and 27 are cross-sectional views sequentially showing another embodiment of a method of manufacturing the display device of FIG. 1 based on a cutting line of b-b'.
도 26 및 도 27에서는 도 5의 실시예에 의한 절연 패턴(IP)을 제조 하는 과정이 포함되어 있다.26 and 27 include a process of manufacturing an insulating pattern IP according to the embodiment of FIG. 5.
도 26에 의하면, 주변 영역(PA)의 제1무기막(101)을 패터닝할 때, 제1무기막(101)의 상면을 게이트 절연막(103) 및 층간 절연막(105)이 모두 덮지 않도록, 즉 제1무기막(101)이 게이트 절연막(103) 및 층간 절연막(105)의 끝단에 비하여 돌출되도록 할 수 있다. According to FIG. 26, when patterning the first
한편, 도 6의 실시예에 의한 절연 패턴(IP)을 제조 하는 과정의 경우 도 17 내지 도 25의 과정 중에서 제1무기막(101)을 패터닝하는 과정이 생략된 것이므로, 중복되는 설명은 생략하기로 한다. On the other hand, in the case of the process of manufacturing the insulating pattern (IP) according to the embodiment of FIG. 6, since the process of patterning the first
한편, 도 7 및 도 8의 실시예에 의한 절연 패턴(IP)을 제조 하는 과정의 경우 도 17 내지 도 25의 과정 중에서 제1무기막(101)의 일부만 패터닝하는 과정으로 치환된 것이므로, 중복되는 설명은 생략하기로 한다. On the other hand, in the process of manufacturing the insulating pattern (IP) according to the embodiment of FIGS. 7 and 8 is replaced by a process of patterning only a part of the first
도 28 내지 도 31은 도 1의 디스플레이 장치를 제조하는 방법의 또 다른 실시예를 b-b'의 절단선을 기준으로 순차적으로 나타낸 단면도이다. 도 28 내지 도 31에서는 도 10의 실시예에 의한 절연 패턴(IP)을 제조 하는 과정이 포함되어 있다.28 to 31 are cross-sectional views sequentially showing another embodiment of a method of manufacturing the display device of FIG. 1 based on a cutting line of b-b'. 28 to 31 include a process of manufacturing an insulating pattern IP according to the embodiment of FIG. 10.
도 28을 참조하면, 패시베이션막(107)을 형성할 때, 패드 주변 영역(PPA)의 제2무기 패턴(102P)의 상면 및 측면을 함께 덮도록 형성하는 것이 특징이다. 이로부터, 제2무기 패턴(102P)의 측면에 남아있을 수 있는 금속 잔막을 패시베이션막(107)으로 덮음으로써, 쇼트 불량을 방지하는 효과가 있다. Referring to FIG. 28, when forming the
도 29는 도 23과 유사하게 화소 정의막을 형성하는 과정이며, 도 30은 도 24와 유사하게 주변 영역(PA)의 제1무기막(101)을 패터닝하는 과정이다. 도 30에서는 도 24와 상이하게 제1무기막(101)의 상면이 일부 노출되도록, 게이트 절연막(103) 및 층간 절연막(105)의 측단면과 제1무기막(101)의 측단면이 일치하지 않도록 패터닝한다. 도 31은 도 25와 유사하게 중간층 및 대향 전극을 형성하는 과정이다. FIG. 29 is a process of forming a pixel defining layer similar to FIG. 23, and FIG. 30 is a process of patterning the first
한편, 도 9, 도11, 도 12, 도 13 및 도 14의 실시예의 경우도 도 28 내지 도 31과 같이 유기막(107P)이 적어도 제2무기 패턴(102P)을 덮는 과정만 더 추가된 것이므로, 중복되는 설명은 생략하기로 한다. Meanwhile, in the embodiments of FIGS. 9, 11, 12, 13, and 14, only the process in which the
이하에서는 도 32 내지 도 36을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 의한 디스플레이 장치(1000)의 특징을 상세하게 알아본다. Hereinafter, features of the
먼저, 도 32는 본 발명의 비교예에 의한 디스플레이 장치(1000)를 개략적으로 도시한 평면도이다. 도 33은 도 32의 Ⅶ 를 확대한 개략적인 평면도이다. First, FIG. 32 is a plan view schematically showing a
도 32는 패드(106a)에 외부 회로가 탑재된 회로 기판(200)을 본딩한 모습을 도시한 것이다. 회로 기판(200)은 표시 영역(DA)에 각종 전원이나 전기 신호를 전달하는 칩이 탑재된 것으로, 도 32에 칩은 도시되어 있지 않다. 회로 기판(200)은 칩과 기판(100)의 패드(106a)를 연결하기 위한 배선(106l)을 포함하는데, 배선(106l)이 패드(106a)와 본딩함으로써, 칩에서 출력되는 각종 전원이나 전기 신호가 패드(106a)를 통해 표시 영역(DA)으로 전달되게 된다. FIG. 32 illustrates a state in which the
도 33을 참조하면, 패드 주변 영역(PPA)에 절연 패턴(IP) 및 슬릿(S)이 구비되지 않은 경우, 이물, 파티클 또는 금속막 형성 시 잔존하는 금속 잔막이 남아 있을 수 있고, 이러한 금속 잔막으로 인해 배선(106l)들이 전기적으로 단락(短絡)되어 쇼트 불량이 일어나는 문제가 있다. Referring to FIG. 33, when the insulating pattern IP and the slit S are not provided in the pad peripheral area PPA, a residual metal residual film may remain when a foreign material, particle, or metal film is formed, and such a metal residual film Due to this, there is a problem in that short circuits occur because the
도 34는 본 발명의 일 실시예에 의한 디스플레이 장치(1000)를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 35는 도 34의 Ⅸ를 확대한 개략적인 평면도이고, 도 36은 도 35의 Q-Q'선을 따라 절취한 단면도이다.34 is a plan view schematically showing the
도 34 내지 도 36의 경우 배선(106l)이 구비된 회로 기판(200)은 동일하나, 기판(100)의 패드 주변 영역(PPA)에 절연 패턴(IP) 및 슬릿(S)이 구비된 점이 비교예와 상이하다. In the case of FIGS. 34 to 36, the
도 35를 참조하면, 패드 주변 영역(PPA)에 절연 패턴(IP) 및 슬릿(S)이 구비됨으로써, 슬릿(S)을 형성하기 위해 제거된 무기막의 측면에 금속 잔막이 남아 있더라도, 이 금속 잔막으로 인해 배선(106l)들이 전기적으로 단락(短絡)되지 않는다. 즉, 배선(106l)들은 절연 패턴(IP)에 대응하여 구비되거 슬릿(S)은 배선(106l)과 배선(106l)들 사이에 배치되기 때문이다. 구체적으로 도 36에 도시된 것과 같이 배선(106l)들은 절연 패턴(IP)의 상부, 예를들면 절연 패턴(IP)의 제2 무기 패턴(102P)상에서 연장되어 형성될 수 있다.Referring to FIG. 35, an insulating pattern IP and a slit S are provided in the pad peripheral area PPA, so that even if a metal residual film remains on the side surface of the inorganic film removed to form the slit S, this metallic residual film Due to this, the
따라서 비교예와 같은 쇼트 불량이 일어나지 않는 효과가 있다. Therefore, there is an effect that short defects do not occur as in the comparative example.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, but this is only an example, and those skilled in the art will understand that various modifications and modifications of the embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
100: 기판
101P: 제1무기 패턴
101: 제1무기막
102P: 제2무기 패턴
102: 활성층
103P: 게이트 절연막의 패턴
103: 게이트 절연막
104: 게이트 전극
105P: 층간 절연막의 패턴
105: 층간 절연막
106f: 금속층
106d: 드레인 전극
106l: 배선
106s: 소스 전극
106a: 패드
107b: 개구부
107P: 유기막
107: 패시베이션막
107a: 홀
109a: 개구
109: 화소 정의막
111: 화소 전극
112: 대향 전극
113: 중간층
200: 회로 기판100:
101:
102:
103: gate insulating film 104: gate electrode
105P: pattern of the interlayer insulating film 105: interlayer insulating film
106f:
106l:
106a: pad 107b: opening
107P: organic film 107: passivation film
107a:
109: pixel defining layer 111: pixel electrode
112: counter electrode 113: intermediate layer
200: circuit board
Claims (1)
상기 중앙 영역의 패드 영역에 하나 이상의 패드가 배치되고,
상기 주변 영역의 패드 주변 영역에 적어도 상기 패드에 대응하는 절연 패턴 및 상기 절연 패턴에 인접하도록 형성된 슬릿을 포함하는 디스플레이 장치.A display device comprising a central area having at least a display area on a substrate and a peripheral area disposed on at least one side of the central area,
One or more pads are disposed in the pad area of the central area,
A display device including an insulating pattern corresponding to at least the pad and a slit formed adjacent to the insulating pattern in an area around the pad in the peripheral area.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210093131A KR102419177B1 (en) | 2014-03-07 | 2021-07-15 | Display device and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20140027428 | 2014-03-07 | ||
KR1020140027428 | 2014-03-07 | ||
KR1020140063822A KR102141209B1 (en) | 2014-03-07 | 2014-05-27 | Display device and method of manufacturing the same |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140063822A Division KR102141209B1 (en) | 2014-03-07 | 2014-05-27 | Display device and method of manufacturing the same |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020210093131A Division KR102419177B1 (en) | 2014-03-07 | 2021-07-15 | Display device and method of manufacturing the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200094123A true KR20200094123A (en) | 2020-08-06 |
KR102281330B1 KR102281330B1 (en) | 2021-07-27 |
Family
ID=54244758
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140063822A KR102141209B1 (en) | 2014-03-07 | 2014-05-27 | Display device and method of manufacturing the same |
KR1020200093851A KR102281330B1 (en) | 2014-03-07 | 2020-07-28 | Display device and method of manufacturing the same |
KR1020210093131A KR102419177B1 (en) | 2014-03-07 | 2021-07-15 | Display device and method of manufacturing the same |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140063822A KR102141209B1 (en) | 2014-03-07 | 2014-05-27 | Display device and method of manufacturing the same |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020210093131A KR102419177B1 (en) | 2014-03-07 | 2021-07-15 | Display device and method of manufacturing the same |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (3) | KR102141209B1 (en) |
CN (2) | CN111312764B (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101685020B1 (en) | 2014-07-10 | 2016-12-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display apparatus and method of manufacturing the same |
KR20180021292A (en) | 2016-08-18 | 2018-03-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display apparatus |
EP4340579A3 (en) * | 2020-03-23 | 2024-06-12 | BOE Technology Group Co., Ltd. | Display substrate, preparation method thereof, display mother plate and display device |
KR20230012930A (en) | 2021-07-16 | 2023-01-26 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | Battery module, battery pack comprising the battery module and vehicle comprising the battery pack |
CN114121855A (en) * | 2021-11-04 | 2022-03-01 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | Display panel and display device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20080061418A (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-03 | 삼성전자주식회사 | Display substrate and method of manufacturing mother substrate for display apparatus |
KR20110093510A (en) * | 2010-02-12 | 2011-08-18 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006269747A (en) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | Ic chip |
KR20070013132A (en) * | 2005-07-25 | 2007-01-30 | 삼성전자주식회사 | Thin film transistor substrate and manufacturing method thereof |
KR100732816B1 (en) * | 2006-01-24 | 2007-06-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | Organic light-emitting display and the preparing method of the same |
KR101281918B1 (en) * | 2006-05-17 | 2013-07-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | Diode Substrate of Transflective Type And Method for Fabricating The Same |
JP2008078038A (en) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | Organic el display panel and its manufacturing method |
JP4934394B2 (en) * | 2006-10-12 | 2012-05-16 | 株式会社 日立ディスプレイズ | Display device |
JP5383407B2 (en) * | 2009-09-28 | 2014-01-08 | 京セラ株式会社 | Multi-wiring board |
KR101568268B1 (en) * | 2009-10-27 | 2015-11-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | Thin film transistor substrate and method of fabricating the same |
KR101636793B1 (en) * | 2010-02-01 | 2016-07-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display substrate and method of manufacturing the same |
KR101083637B1 (en) * | 2010-05-31 | 2011-11-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | Nonvolatile memory device and method for manufacturing the same |
JP5743779B2 (en) * | 2010-07-27 | 2015-07-01 | 京セラ株式会社 | Multi-circuit board and electronic device |
KR20130007053A (en) * | 2011-06-28 | 2013-01-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organinc light emitting display device and manufacturing method for the same |
KR20130076399A (en) * | 2011-12-28 | 2013-07-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display device |
JP5933271B2 (en) * | 2012-01-16 | 2016-06-08 | 三菱電機株式会社 | Wiring board, electronic unit, and method of manufacturing wiring board |
-
2014
- 2014-05-27 KR KR1020140063822A patent/KR102141209B1/en active IP Right Grant
-
2015
- 2015-02-26 CN CN202010101485.9A patent/CN111312764B/en active Active
- 2015-02-26 CN CN202010101470.2A patent/CN111312763B/en active Active
-
2020
- 2020-07-28 KR KR1020200093851A patent/KR102281330B1/en active IP Right Grant
-
2021
- 2021-07-15 KR KR1020210093131A patent/KR102419177B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20080061418A (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-03 | 삼성전자주식회사 | Display substrate and method of manufacturing mother substrate for display apparatus |
KR20110093510A (en) * | 2010-02-12 | 2011-08-18 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111312763A (en) | 2020-06-19 |
KR20150105596A (en) | 2015-09-17 |
KR20210093808A (en) | 2021-07-28 |
KR102141209B1 (en) | 2020-08-05 |
KR102419177B1 (en) | 2022-07-12 |
CN111312764A (en) | 2020-06-19 |
KR102281330B1 (en) | 2021-07-27 |
CN111312763B (en) | 2023-05-05 |
CN111312764B (en) | 2023-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20210288133A1 (en) | Display device and method of manufacturing the same | |
KR102419177B1 (en) | Display device and method of manufacturing the same | |
KR102525052B1 (en) | Display apparatus and method of manufacturing the same | |
KR102472092B1 (en) | Organic light emitting display apparatus and method of manufacturing thereof | |
US11930661B2 (en) | Display apparatus having encapsulating layers terminating at a peripheral area of a substrate and method of manufacturing the same | |
KR102250048B1 (en) | Organic light emitting display device | |
KR102490891B1 (en) | Display device | |
KR101685020B1 (en) | Display apparatus and method of manufacturing the same | |
KR101473309B1 (en) | Display device and Organic luminescence display device | |
KR20200047941A (en) | Display apparatus and method of manufacturing the same | |
KR102087952B1 (en) | Display apparatus and method of manufacturing the same | |
KR102367990B1 (en) | Flat display apparatus and method of manufacturing the same | |
KR102235606B1 (en) | Display apparatus and method of manufacturing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |