KR20200086139A - 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 밸브체를 미리 가열 또는 냉각하여 고온의 프로세스 챔버에 대응할 수 있게 하는 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체; 상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치; 상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개; 및 상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개에 설치되는 열교환 장치;를 포함할 수 있다.

Description

게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법{Gate valve system for preheating and its control method}

본 발명은 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 밸브체를 미리 가열 또는 냉각하여 고온의 프로세스 챔버에 대응할 수 있게 하는 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.

한편, 이러한 종래 게이트 밸브는 일반적으로 오링을 이용하여 기밀 상태를 유지하는 것으로서, 내부의 공정 환경이나 진공, 고압, 고온 등의 악조건에 의해 탄성 재질로 제조되는 오링이 쉽게 마모되거나 변형되어 주기적으로 교환해야 하는 번거로움이 있었다.

이를 해결하고자 하는 종래의 기술로는, 대한민국 공개특허 제10-2006-0069287호에 개시된 바와 같이, 밸브 하우징의 일부분에 설치된 개폐 덮개를 열고, 밸브체로부터 실링 부재(오링)만을 교체할 수 있는 기술이 개발된 바 있다.

그러나, 이러한 종래의 게이트 밸브는 통상적으로 고온의 가혹한 가공 환경인 프로세스 모듈(공정 챔버)에 적용되는 것으로서, 밸브체가 밸브 하우징의 통로를 폐쇄하는 경우에도, 밸브체 및 실링 부재는 프로세스 챔버의 고온의 환경에 그대로 노출되어 열적인 스트레스와 열적 데미지를 받게 된다.

특히, 이러한 열적인 스트레스와 열적 데미지는 온도 격차가 크면 클수록 더 심하게 발생될 수 있다.

이로 인하여, 밸브체로부터 실링 부재를 교체하는 종래의 게이트 밸브인 경우, 외부로 노출된 밸브체와 새로운 실링 부재의 온도가 크게 낮아지고, 저온 상태의 밸브체와 실링 부재를 고온의 프로세스 모듈에 적용하기 위해서는, 실링 부재의 교체 이후에 장시간 동안, 프로세스 모듈의 온도나 주변 온도에 의해 밸브체와 실링 부재의 온도가 자연적으로 상승하여 열적 평형 상태가 되기까지 대략 수시간에서 수일 동안 기다려야만 했었다.

그러므로, 이러한 종래의 실링 부재 교체형 게이트 밸브는 실링 부재 교체 이후에 밸브체와 실링 부재가 열적 평형 상태까지 도달되는 데에 걸리는 시간이 매우 길어져서 이로 인하여 시간과 비용이 크게 낭비되는 등 많은 문제점들이 있었다.

또한, 종래의 실링 부재 교체형 게이트 밸브는, 교체 영역을 밀폐시키기 위해서 밸브체의 교체형 실링 부재의 주변에 교체 영역 밀폐형 제 2 실링 부재가 설치되는 것으로서, 이러한 교체 영역 밀폐형 제 2 실링 부재가 밸브체에 설치되는 경우, 상기 제 2 실링 부재 역시 고온의 프로세스 모듈과 근접되어 있기 때문에 고온으로 인한 열적 스트레스와 열적 데미지를 입을 수 있다.

그러므로, 종래에는 교체형 실링 부재는 물론이고, 상기 제 2 실링 부재 역시 모두 열적 스트레스와 열적 데미지에 의해 탄력성 등의 성질이 쉽게 변질되거나 파손되는 등의 문제점들이 있었다.

본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 덮개의 내측면에 열교환 장치를 설치하여 밸브체 및 교체된 새로운 제 1 실링 부재를 빠르게 가열 또는 냉각할 수 있어서 장비의 준비 시간과 비용을 크게 절감할 수 있고, 제 2 실링 부재를 교체 영역의 개구 부분에 설치하여 고온의 프로세스 모듈로부터 멀어지게 함으로써 열적 스트레스와 열적 데미지를 최소화할 수 있으며, 이를 통해서 부품의 내구성과 교체 주기를 크게 늘릴 수 있게 하는 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템은, 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체; 상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치; 상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개; 및 상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개에 설치되는 열교환 장치;를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 열교환 장치는, 상기 덮개의 밸브체 대향면에 설치되는 히터 또는 쿨링 장치일 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 덮개는, 상기 밸브 하우징의 힌지축을 기준으로 회동되는 회동형 덮개일 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 덮개는, 상기 밸브 하우징의 레일을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩형 덮개일 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브체에 의해 상기 교체 영역이 밀폐될 수 있도록 상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역의 상기 개구의 내측에 제 2 실링 부재가 설치될 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역의 상기 개구를 밀폐할 수 있도록 상기 덮개의 내측 또는 상기 개구의 외측에 제 3 실링 부재가 설치될 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브체는, 상기 통로 및 상기 개구와 대응되는 형상으로 형성되고, 상기 제 1 실링 부재가 착탈 가능하게 삽입될 수 있도록 착탈홈이 형성되는 도어;를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브체는, 상기 개구와 대응되는 형상으로 형성되는 베이스 플레이트; 및 상기 베이스 플레이트와 착탈 가능하게 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되며, 상기 제 1 실링 부재가 일체형으로 고정되는 실링 플레이트;를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 이동 장치는, 상기 밸브체와 연결되는 가동대를 대기 위치에서 상기 통로와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치; 및 상기 가동대와 상기 밸브체 사이에 설치되고, 상기 밸브체를 상기 제 1 위치에서 상기 통로를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치;를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 교체 영역은, 적어도 내부 진공라인, 외부 진공 라인, 진공압 해제 라인, 불활성 가스 공급 라인, 청정 공기 공급 라인 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상이 설치될 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템은, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 제 1 실링 부재 또는 실링 플레이트의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치;를 더 포함할 수 있다.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법은, 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징과, 상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체와, 상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치와, 상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개 및 상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개에 설치되는 열교환 장치를 포함하는 게이트 밸브 시스템의 제어 방법에 있어서, 상기 이동 장치로 상기 밸브체를 상기 교체 영역 방향으로 이동시켜서 상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역을 밀폐시키는 교체 영역 밀폐 단계; 상기 밸브 하우징으로부터 상기 덮개를 분리하여 상기 개구를 개방하는 덮개 개방 단계; 상기 개구를 통해 상기 제 1 실링 부재를 교체하는 교체 단계; 상기 밸브 하우징에 상기 덮개를 체결하여 상기 개구를 폐쇄하는 덮개 체결 단계; 및 상기 열교환 장치를 이용하여 상기 밸브체를 가열 또는 냉각시키는 열교환 단계;를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법은, 상기 덮개 개방 단계 이전에, 상기 교체 영역에 대기압을 형성하는 대기압 형성 단계; 및 상기 덮개 체결 단계 이후에, 상기 교체 영역에 진공압을 형성하는 진공압 형성 단계;를 더 포함할 수 있다.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 밸브체와 대향될 수 있는 덮개의 내측면에 열교환 장치를 설치하여 밸브체 및 교체된 새로운 제 1 실링 부재를 빠르게 가열 또는 냉각할 수 있어서 장비의 준비 시간과 비용을 크게 절감할 수 있고, 제 2 실링 부재를 교체 영역의 개구 부분에 설치하여 고온의 프로세스 모듈로부터 멀어지게 함으로써 열적 스트레스와 열적 데미지를 최소화할 수 있으며, 이를 통해서 부품의 내구성과 교체 주기를 크게 늘릴 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.
도 2는 도 1의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 2의 게이트 밸브 시스템의 통로 폐쇄 상태를 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 3의 게이트 밸브 시스템의 밸브체 후진 상태를 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 4의 게이트 밸브 시스템의 밸브체 하강 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 5의 게이트 밸브 시스템의 교체 영역 밀폐 상태를 나타내는 단면도이다.
도 7은 도 6의 게이트 밸브 시스템의 덮개 개방 및 실링 부재 분리 상태를 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 7의 게이트 밸브 시스템의 실링 부재 교체 상태를 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 8의 게이트 밸브 시스템의 덮개 체결 및 가열 또는 냉각 상태를 나타내는 단면도이다.
도 10은 도 1의 게이트 밸브 시스템의 회동형 덮개의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 1의 게이트 밸브 시스템의 슬라이딩형 덮개의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 12는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 교체 영역 밀폐 상태를 나타내는 단면도이다.
도 13은 도 12의 게이트 밸브 시스템의 덮개 개방 및 실링 플레이트 분리 상태를 나타내는 단면도이다.
도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 열교환 장치를 나타내는 단면도이다.
도 15는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 밸브체를 나타내는 단면도이다.
도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 교체형 블럭을 나타내는 단면도이다.
도 17은 도 12의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트를 나타내는 정면도이다.
도 18은 도 17의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 19는 도 18의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.
도 20은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.
도 21은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.

이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(100)(200)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 외관 사시도이고, 도 2는 도 1의 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 단면도이다.

먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 밸브체(20)와, 이동 장치(30)와, 덮개(40) 및 열교환 장치(50)를 포함할 수 있다.

예컨대, 상기 밸브 하우징(10)은, 전체적으로 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 일측이 각종 반도체 또는 디스플레이 공정이 수행될 수 있는 프로세스 모듈(PM), 즉 공정 챔버와 연결되고, 타측이 트랜스퍼나 이송 로봇 등이 설치되는 트랜스퍼 모듈(TM)과 연결될 수 있도록 적어도 하나의 통로(10a)가 형성될 수 있다.

따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 상기 프로세스 모듈(PM)과 상기 트랜스퍼 모듈(TM) 사이에 설치되는 것으로서, 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기 등 각종 대상물이 출입할 수 있도록 일측 또는 양측에 상기 통로(10a)가 형성될 수 있다.

그러나, 상기 밸브 하우징(10)은 반드시 상기 프로세스 모듈(PM)과 상기 트랜스퍼 모듈(TM) 사이에 설치되는 것에 국한되지 않고, 예컨대, 로딩 챔버나 언로딩 챔버나 버퍼 챔버 등 각종 모듈 및 챔버들 사이에 설치될 수 있다.

또한, 예컨대, 상기 밸브 하우징(10)은, 상술된 상기 밸브체(20)와, 상기 이동 장치(30)와, 상기 덮개(40) 및 상기 열교환 장치(50)를 지지할 수 있고, 각종 챔버들과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.

또한, 예컨대, 상기 밸브 하우징(10)은 내부에 상기 통로(10a)를 포함하여 대부분의 내부 공간을 차지하는 진공 영역(A)과 실링 부재의 교체를 위한 교체 영역(B)으로 구획될 수 있다.

여기서, 이러한 상기 진공 영역(A)은 상기 밸브체(20)의 이동 공간을 고려하여 상대적으로 부피가 넓게 구획될 수 있고, 상기 교체 영역(B)은 진공압에서 대기압으로 전환되거나 대기압에서 진공압으로 전환될 때, 압력 변환 시간을 줄이기 위해서 최소한의 부피로 상대적으로 좁게 구획될 수 있다.

이러한 상기 진공 영역(A)과 상기 교체 영역(B)의 위치나 형상이나 부피 등은 적용되는 상기 프로세스 모듈(PM)이나 상기 트랜스퍼 모듈(TM)의 규격이나 공정 환경 등에 따라 다양한 형상 및 형태로 형성될 수 있다.

한편, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(20)는, 상기 통로(10a)를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 것으로서, 상기 통로(10a) 및 상기 개구(Ba)와 대응되는 형상으로 형성되고, 상기 제 1 실링 부재(S1)가 착탈 가능하게 삽입될 수 있도록 착탈홈(G)이 형성되는 도어(21)를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 제 1 실링 부재(S1)는 기밀을 위해서 링 형상으로 형성되는 오링이나 가스킷 등 각종 밀봉 부재가 적용될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 제 1 실링 부재(S1)는 이에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형태의 실링 부재가 모두 적용될 수 있다.

또한, 여기서, 상기 도어(21)는 고온의 상기 프로세스 모듈(PM)과 열적인 접촉 면적을 최소화하기 위해서, 상기 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 실링 부재 설치면과 후술될 상기 제 2 실링 부재(S2)와 접촉될 수 있는 접촉면이 단차를 형성하는 것이 바람직하다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 상기 도어(21)는 상기 실링 부재 설치면과 상기 접촉면이 평평한 형태로 이루어지는 등 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.

이외에도, 상기 도어(21)는 도면에 국한되지 않고, 다양한 개수로 설치되거나 각종 실링 부재나 각종 관절 또는 힌지 구조물 등이 추가로 설치되는 등 매우 다양하게 적용될 수 있다.

따라서, 상기 밸브체(20)가 상기 교체 영역(B)에 위치되는 경우, 상기 덮개(40)를 개방한 다음, 이러한 상기 도어(21)의 상기 착탈홈(G)으로부터 오래된 상기 제 1 실링 부재(S1)를 분리할 수 있다.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 이동 장치(30)는, 상기 밸브체(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 이동시킬 수 있는 장치로서, 상기 이동 장치(30)는, 상기 밸브체(20)와 연결되는 가동대(M)를 대기 위치에서 상기 통로(10a)와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향(상하방향)으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치(31) 및 상기 가동대(M)와 상기 밸브체(20) 사이에 설치되고, 상기 밸브체(20)를 상기 제 1 위치에서 상기 통로(10a)를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향(전후방향)으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치(32)를 포함할 수 있다. 여기서, 이러한 상기 이동 장치(30)들은 실린더나 모터나 동력 전달 장치나 기어 박스 등 매우 다양한 형태의 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.

더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 제 1 방향 이동 장치(31)는 리프팅 실린더일 수 있고, 상기 제 2 방향 이동 장치(32)는 실링 실린더인 것을 예시하였으나, 이외에도 다양한 방향의 다양한 형태와 종류를 갖는 이동 장치들이 모두 적용될 수 있다.

따라서, 상기 도어(21)는 상기 밸브 하우징(10)의 내부에서 상기 제 1 방향 이동 장치(31)에 의해서 상기 대기 위치에서 상기 제 1 위치까지 승하강될 수 있고, 이어서, 상기 제 2 방향 이동 장치(32)에 의해서 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치까지 전후진되어 상기 통로(10a)를 선택적으로 개폐시킬 수 있다.

도 10은 도 1의 게이트 밸브 시스템(100)의 회동형 덮개(41)의 일례를 나타내는 사시도이다.

도 1, 도 2 및 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 덮개(40)는, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 영역(A)의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재(S1)를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)의 교체 영역(B)의 개구(Ba)에 설치될 수 있다.

더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 덮개(40)는, 상기 밸브 하우징(10)의 힌지축(H)을 기준으로 회동되는 회동형 덮개(41)일 수 있다. 여기서, 도시하지 않았지만, 상기 회동형 덮개(41)에는 각종 걸고리나, 나사나, 볼트나, 너트 등 각종 고정구에 의해 상기 밸브 하우징(10)에 결착 상태가 유지되거나 해제될 수 있다.

따라서, 도 1, 도 2 및 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 회동형 덮개(41)는 상기 밸브 하우징(10)의 상기 개구(Ba)를 덮어서 밀폐시키거나, 또는, 상기 제 1 실링 부재(S1)를 외부로 노출시켜서 교체할 수 있도록 상기 힌지축(H)을 기준으로 회동되어 상기 개구(Ba)를 개방시킬 수 있다.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 열교환 장치(50)는, 상기 밸브체(20) 또는 상기 제 1 실링 부재(S1)를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개(40)에 설치되는 것으로서, 더욱 구체적으로는, 예컨대, 발열층을 갖는 면상 발열체나, 발열선으로 이루어지는 열선 코일 등 다양한 형태로 형성될 수 있고, 발열 원리를 따라 저항 가열식, 전열식, 광 가열식, 유도 가열식, 자기 가열식 등의 각종 원리를 이용한 열교환 장치가 모두 적용될 수 있다.

이러한, 상기 열교환 장치(50)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 덮개(40)의 밸브체 대향면, 즉 내측에 설치되어 상기 덮개(40)가 밀폐된 상태에서 근방에 위치한 상기 밸브체(20)를 가열할 수 있도록 상기 밸브체(20)와 대응되는 형상으로 형성되고, 온도 제어부(90)에 의해 제어될 수 있는 히터 또는 쿨링 장치일 수 있다.

따라서, 상기 온도 제어부(90)에 의해서 저온의 상기 밸브체(20)가 고온의 상기 프로세스 모듈(PM)에 적용될 수 있도록 미리 예열하거나 또는 고온의 상기 밸브체(20)를 교체가 용이한 온도로 냉각시킬 수 있다.

그러므로, 상기 밸브체(20)와 대향될 수 있는 상기 덮개(40)의 내측면에 상기 열교환 장치(50)를 설치하여 상기 밸브체(20) 및 교체된 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1)를 수분 내지 수시간 이내에 빠르게 가열 또는 냉각할 수 있어서 수시간 내지 수일까지 기다려야 했었던 종래의 장비들에 비해서 장비의 준비 시간과 비용을 크게 절감할 수 있다.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(100)은, 상기 밸브체(20)에 의해 상기 교체 영역(B)이 밀폐될 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)의 상기 교체 영역(B)의 상기 개구(Ba)의 내측에 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다.

그러므로, 상기 제 2 실링 부재(S1)를 상기 교체 영역(B)의 상기 개구(Ba) 부분에 설치하여 고온의 상기 프로세스 모듈(PM)로부터 멀어지게 함으로써 열적 스트레스와 열적 데미지를 최소화할 수 있으며, 이를 통해서 부품의 내구성과 교체 주기를 크게 늘릴 수 있다.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)의 상기 교체 영역(B)의 상기 개구(Ba)를 밀폐할 수 있도록 상기 덮개(40)의 내측 또는 상기 개구(Ba)의 외측에 제 3 실링 부재(S3)가 설치될 수 있다.

따라서, 상기 제 2 실링 부재(S2)와 상기 제 3 실링 부재(S3)를 이용하여 상기 교체 영역(B)의 일측과 타측을 각각 별도로 밀폐시킬 수 있다.

여기서, 상기 교체 영역(B)은, 각각 밸브가 설치된 내부 진공 라인(71) 및 진공압 해제 라인(72)이 설치될 수 있다. 여기서, 상기 내부 진공 라인(71)을 대신하여 상기 밸브체(20)를 분리시킬 수 있기 때문에 상기 진공압 해체 라인(72) 만으로도 상기 교체 영역(B)을 진공압 상태에서 대기압 상태로 형성할 수 있다.

그러므로, 상기 밸브체(20)가 상기 교체 영역(B)을 밀폐시키면, 상기 덮개(40)를 개방하여 노후된 상기 제 1 실링 부재(S1)를 외부로 분리하기 위해서, 상기 진공압 해제 라인(72)을 이용하여 상기 교체 영역(B)을 대기압으로 변환시킬 수 있고, 이어서, 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1)가 교체되면, 상기 덮개(40)를 체결시킨 후, 상기 내부 진공 라인(71)을 이용하여 상기 교체 영역(B)을 다시 진공압으로 변환시켜서 상기 밸브체(20)가 상기 교체 영역(B)을 개방하여 통로 개폐 작업을 수행할 수 있다.

이외에도, 도시하지 않았지만, 상기 교체 영역(B)는 진공 펌프와 연결된 외부 진공 라인, 불활성 가스 공급원과 연결된 불활성 가스 공급 라인, 청정 공기 공급 라인 등 각종 라인과 밸브 및 추가적인 장치들이 부수적으로 설치될 수 있다.

아울러, 이러한 각각의 라인들은 밸브들을 제어하는 제어부(70)에 의해 제어될 수 있고, 이러한 제어부(70)는 상술된 상기 이동 장치(30)들을 제어하여 일련의 밸브 개폐 작업 및 실링 부재 교체 작업을 수행할 수 있다.

한편, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(100)은 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 제 1 실링 부재(S1) 또는 실링 플레이트(23)의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치(80)를 더 포함할 수 있다.

따라서, 상기 식별 장치(80)를 이용하여 상기 제 1 실링 부재(S1) 또는 상기 실링 플레이트(23)에 포함된 RF ID 등 각종 식별 정보를 확인하여 정품만 정상 작동하게 할 수 있다.

도 3은 도 2의 게이트 밸브 시스템(100)의 통로 폐쇄 상태를 나타내는 단면도이고, 도 4는 도 3의 게이트 밸브 시스템(100)의 밸브체 후진 상태를 나타내는 단면도이고, 도 5는 도 4의 게이트 밸브 시스템(100)의 밸브체 하강 상태를 나타내는 단면도이고, 도 6은 도 5의 게이트 밸브 시스템(100)의 교체 영역 밀폐 상태를 나타내는 단면도이고, 도 7은 도 6의 게이트 밸브 시스템(100)의 덮개 개방 및 실링 부재 분리 상태를 나타내는 단면도이고, 도 8은 도 7의 게이트 밸브 시스템(100)의 실링 부재 교체 상태를 나타내는 단면도이고, 도 9는 도 8의 게이트 밸브 시스템(100)의 덮개 체결 및 가열 또는 냉각 상태를 나타내는 단면도이다.

도 3 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(20)가 상승된 위치에서 전진하게 되면 상기 제 1 실링 부재(S1)가 상기 통로(10a)와 접촉되면서 상기 통로(10a)를 폐쇄할 수 있다.

이 때, 상기 제 1 실링 부재(S1)는 상기 프로세스 모듈(PM)의 고온의 환경에 노출되는 것으로서, 장시간 사용하는 경우, 성질이 변질되거나 손상을 입을 수 있다.

이어서, 상기 통로(10a)를 통해서 기판의 유출입이 필요한 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(20)는 후진되어 상기 통로(10a)를 개방할 수 있고, 이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 통로(10a)를 통해서 상기 기판이 유출입될 수 있도록 상기 밸브체(20)는 하강하여 대기 장소에서 대기할 수 있다.

이러한, 상기 통로(10a)의 개폐 과정은 정해진 주기 또는 상기 제 1 실링 부재(S1)의 변질이나 손상이 발생되기 이전까지 반복적으로 이루어질 수 있다.

만약, 정해진 주기가 도래하거나, 각종 센서들에 의해 상기 제 1 실링 부재(S1)의 변질이나 손상이 감지되는 경우, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(20)가 하강된 상태에서 전진하여 상기 교체 영역(B)을 밀폐시킬 수 있다.

이어서, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 진공 영역(A)은 진공압을 그대로 유지한 상태에서 상기 교체 영역(B)에 대기압을 형성하고, 상기 밸브 하우징(10)으로부터 상기 덮개(40)를 분리하여 상기 개구(Ba)를 개방할 수 있다.

이 때, 상기 개구(Ba)를 통해 외부로 노출된 노후된 상기 제 1 실링 부재(S1)를 상기 도어(21)로부터 분리할 수 있다.

이어서, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 도어(21)의 상기 착탈홈(G)에 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1)를 교체할 수 있다.

이어서, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)에 상기 덮개(40)를 체결하여 상기 개구(Ba)를 폐쇄하고, 상기 교체 영역(B)에 진공압을 형성하는 동시에 상기 열교환 장치(50)를 이용하여 상기 밸브체(20) 또는 상기 제 1 실링 부재(S1)를 가열 또는 냉각시킬 수 있다.

이어서, 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 정삭적인 통로 개폐 과정을 반복적으로 수행할 수 있다.

그러므로, 상기 밸브체(20) 및 교체된 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1)를 수분 내지 수시간 이내에 빠르게 가열 또는 냉각할 수 있어서 수시간 내지 수일까지 기다려야 했었던 종래의 장비들에 비해서 장비의 준비 시간과 비용을 크게 절감할 수 있다.

도 11은 도 1의 게이트 밸브 시스템(100)의 슬라이딩형 덮개의 일례를 나타내는 사시도이다.

도 11에 도시된 바와 같이, 도 1의 게이트 밸브 시스템(100)의 덮개(40)는, 상기 밸브 하우징(10)의 레일(R)을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩형 덮개(42)일 수 있다.

따라서, 도 10의 상기 회동형 덮개(41)의 회동 공간이 장비 스팩이나 정비 공간 등에 의해 충분하지 않을 경우, 상기 레일(G)을 따라 상기 개구(Ba)에 승하강 및 밀착될 수 있는 상기 슬라이딩형 덮개(42)를 이용하여 좁은 공간에서도 효율적으로 장비를 운용할 수 있다.

도 12는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(200)의 교체 영역 밀폐 상태를 나타내는 단면도이고, 도 13은 도 12의 게이트 밸브 시스템(200)의 덮개 개방 및 실링 플레이트 분리 상태를 나타내는 단면도이다.

도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(200)의 밸브체(20)는, 상기 개구(Ba)와 대응되는 형상으로 형성되는 베이스 플레이트(22) 및 상기 베이스 플레이트(22)와 착탈 가능하게 설치되고, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되며, 상기 제 1 실링 부재(S1)가 일체형으로 고정되는 실링 플레이트(23)를 포함할 수 있다.

따라서, 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 베이스 플레이트(22)가 상기 교체 영역(B)을 밀폐시키면, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 덮개(40)가 개방되면서 상기 베이스 플레이트(22)로부터 노후된 상기 제 1 실링 부재(S1) 및 상기 실링 플레이트(23)를 분리할 수 있고, 상기 베이스 플레이트(22)에 새로운 상기 제 1 실링 부재(S1) 및 상기 실링 플레이트(23)를 삽입하여 부품을 교체할 수 있다.

도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 열교환 장치를 나타내는 단면도이다.

도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템은, 상기 제 1 실링 부재(S1)에 대한 온도의 영향을 최소화하기 위해서 상기 열교환 장치(50)의 폭(L1)은 상기 제 1 실링 부재(S1)의 폭 보다 좁게 형성될 수 있다.

따라서, 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 실링 부재(S1)에 대한 열교환은 최소화하면서 상기 밸브체(20)에 대한 열교환이 이루어져서 상기 제 1 실링 부재(S1)를 열적으로 보호할 수 있다.

도 15는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 밸브체(20)를 나타내는 단면도이다.

도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 밸브체(25)는, 상기 개구(Ba)에 제 2 실링 부재(S2)가 설치된 경사면(Bb)과 대응되는 경사면이 형성될 수 있다.

따라서, 도 15에 도시된 바와 같이, 이러한 상기 개구(Ba)의 상기 경사면(Bb)을 통해서 작업자가 상기 밸브 하우징(10)의 외부에서도 육안으로 쉽게 상기 제 2 실링 부재(S2)를 확인하면서 상기 밸브 하우징(10) 전체를 개방할 필요 없이 상기 제 2 실링 부재(S2)만 교체하는 것이 가능하다.

도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 교체형 블록(11)을 나타내는 단면도이다.

도 16에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템은, 일측에 상기 밸브체(20)와 접촉되는 제 2 실링 부재(S2)가 형성되고, 상기 개구(Ba)에 상기 밸브 하우징(10)과 착탈 가능하게 설치된 교체형 블록(11)을 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 밸브 하우징(10)과 상기 교체형 블록(11) 사이에는 제 4 실링 부재가 설치되어 기밀을 유지할 수 있다.

따라서, 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)으로부터 상기 교체형 블록(11)을 분리하여 상기 제 2 실링 부재(S2)를 손쉽게 교체할 수 있다.

도 17은 도 12의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트(23)를 나타내는 정면도이고, 도 18은 도 17의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트(23)의 일례를 나타내는 단면도이다.

도 17 및 도 18에 도시된 바와 같이, 도 12의 게이트 밸브 시스템의 상기 밸브체(20)는, 상기 실링 플레이트(23)의 상기 제 1 실링 부재(S1) 외측 영역에 설치되는 고정구(F)를 더 포함할 수 있다.

따라서, 상기 통로(10a) 폐쇄시, 상기 프로세스 모듈(PM)의 가공 환경에 노출되지 않는 상기 고정구(F)를 이용하여 상기 실링 플레이트(23)를 상기 베이스 플레이트(22)에 견고하게 고정시킬 수 있다.

도 19는 도 18의 게이트 밸브 시스템의 실링 플레이트(23)의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.

도 19에 도시된 바와 같이, 상기 실링 플레이트(23)는, 일측, 즉 하측에 걸림부(T)가 형성되고, 타측, 상측에 상기 고정구(F)가 체결될 수 있다.

따라서, 먼저, 작업자는 상기 베이스 플레이트(22)의 하방에 상기 걸림부(T)를 먼저 걸림 결합시키고, 상기 베이스 플레이트(22)의 상방에 상기 고정구(F)를 체결함으로써, 상기 고정구(F)의 설치 개수를 줄이고, 체결 과정을 간략하게 하면서 상기 제 1 실링 부재(S1)의 설치 영역을 최대한 넓게 확보할 수 있다.

한편, 도시하지 않았지만, 이러한 상기 베이스 플레이트(22)와 상기 실링 플레이트(23)의 체결 장치로서, 억지 물림식 각종 돌기나 홈 등 다양한 체결 방식을 이용할 수 있다.

도 20은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.

도 1 내지 도 20에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법은, 적어도 하나의 통로(10a)가 형성되는 밸브 하우징(10)과, 상기 통로(10a)를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 밸브체(20)와, 상기 밸브체(20)를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치(30)와, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 영역(A)의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재(S1)를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)의 교체 영역(B)의 개구(Ba)에 설치되는 덮개(40) 및 상기 밸브체(20) 또는 상기 제 1 실링 부재(S1)를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개(40)에 설치되는 열교환 장치(50)를 포함하는 게이트 밸브 시스템(100)의 제어 방법에 있어서, 상기 이동 장치(30)로 상기 밸브체(20)를 상기 교체 영역(B) 방향으로 이동시켜서 상기 밸브 하우징(10)의 상기 교체 영역(B)을 밀폐시키는 교체 영역 밀폐 단계(S10); 상기 교체 영역(B)에 대기압을 형성하는 대기압 형성 단계(S20); 상기 밸브 하우징(10)으로부터 상기 덮개(40)를 분리하여 상기 개구(Ba)를 개방하는 덮개 개방 단계(S30); 상기 개구(Ba)를 통해 상기 제 1 실링 부재(S1)를 교체하는 교체 단계(S40); 상기 밸브 하우징(10)에 상기 덮개(40)를 체결하여 상기 개구(Ba)를 폐쇄하는 덮개 체결 단계(S50); 상기 덮개 체결 단계(S50) 이후에, 상기 열교환 장치(50)를 이용하여 상기 밸브체(20)를 가열 또는 냉각시키는 열교환 단계(S60) 및 상기 교체 영역(B)에 진공압을 형성하는 진공압 형성 단계(S70)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 열교환 단계(60)시 공기를 통해 열전달이 원활하게 이루어지도록 상기 열교환 단계(60)는 상기 진공압 형성 단계(70) 이전에 수행될 수 있다.

그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 시간을 절약하기 위해서, 상기 열교환 단계(60)와 상기 진공압 형성 단계(70)를 동시에 수행하는 것도 가능하다.

도 21은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.

도 21에 도시된 바와 같이, 이외에도, 상기 덮개 체결 단계(S50) 이후에, 상기 교체 영역(B)에 진공압을 형성하는 진공압 형성 단계(S70) 및 상기 열교환 장치(50)를 이용하여 상기 밸브체(20)를 가열 또는 냉각시키는 열교환 단계(S60)를 수행하는 것도 가능하다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

10: 밸브 하우징
10a: 통로
A: 진공 영역
B: 교체 영역
Ba: 개구
20: 밸브체
21: 도어
G: 착탈홈
22: 베이스 플레이트
23: 실링 플레이트
30: 이동 장치
M: 가동대
31: 제 1 방향 이동 장치
32: 제 2 방향 이동 장치
40: 덮개
41: 회동형 덮개
42: 슬라이딩형 덮개
50: 열교환 장치
H: 힌지축
S1: 제 1 실링 부재
S2: 제 2 실링 부재
S3: 제 3 실링 부재
70: 제어부
71: 내부 진공라인
72: 진공압 해제 라인
80: 식별 장치
100, 200: 게이트 밸브 시스템

Claims (20)

1. 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징;
   상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체;
   상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치;
   상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개; 및
   상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개에 설치되는 열교환 장치;
   를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 열교환 장치는, 상기 덮개의 밸브체 대향면에 설치되는 히터 또는 쿨링 장치인, 게이트 밸브 시스템.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 덮개는, 상기 밸브 하우징의 힌지축을 기준으로 회동되는 회동형 덮개인, 게이트 밸브 시스템.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 덮개는, 상기 밸브 하우징의 레일을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩형 덮개인, 게이트 밸브 시스템.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 밸브체에 의해 상기 교체 영역이 밀폐될 수 있도록 상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역의 상기 개구의 내측에 제 2 실링 부재가 설치되는, 게이트 밸브 시스템.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역의 상기 개구를 밀폐할 수 있도록 상기 덮개의 내측 또는 상기 개구의 외측에 제 3 실링 부재가 설치되는, 게이트 밸브 시스템.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 밸브체는,
   상기 통로 및 상기 개구와 대응되는 형상으로 형성되고, 상기 제 1 실링 부재가 착탈 가능하게 삽입될 수 있도록 착탈홈이 형성되는 도어;
   를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 밸브체는,
   상기 개구와 대응되는 형상으로 형성되는 베이스 플레이트; 및
   상기 베이스 플레이트와 착탈 가능하게 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되며, 상기 제 1 실링 부재가 일체형으로 고정되는 실링 플레이트;
   를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 밸브체는,
   상기 실링 플레이트의 상기 제 1 실링 부재 외측 영역에 설치되는 고정구;
   를 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 실링 플레이트는, 일측에 걸림부가 형성되고, 타측에 상기 고정구가 체결되는, 게이트 밸브 시스템.
11. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동 장치는,
    상기 밸브체와 연결되는 가동대를 대기 위치에서 상기 통로와 대향되는 제 1 위치까지 제 1 방향으로 이동시킬 수 있는 제 1 방향 이동 장치; 및
    상기 가동대와 상기 밸브체 사이에 설치되고, 상기 밸브체를 상기 제 1 위치에서 상기 통로를 차단할 수 있는 제 2 위치까지 제 2 방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 방향 이동 장치;
    를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
12. 제 1 항에 있어서,
    상기 교체 영역은, 적어도 내부 진공라인, 외부 진공 라인, 진공압 해제 라인, 불활성 가스 공급 라인, 청정 공기 공급 라인 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상이 설치되는, 게이트 밸브 시스템.
13. 제 1 항에 있어서,
    식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 제 1 실링 부재 또는 실링 플레이트의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치;
    를 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
14. 제 1 항에 있어서,
    상기 열교환 장치의 폭은 상기 제 1 실링 부재의 폭 보다 좁은, 게이트 밸브 시스템.
15. 제 1 항에 있어서,
    상기 개구에 제 2 실링 부재가 설치된 경사면이 형성되는, 게이트 밸브 시스템.
16. 제 1 항에 있어서,
    일측에 상기 밸브체와 접촉되는 제 2 실링 부재가 형성되고, 상기 개구에 착탈 가능하게 설치된 교체형 블록;
    을 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
17. 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징;
    상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체;
    상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치; 및
    상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개;를 포함하고,
    상기 덮개는, 상기 밸브 하우징의 힌지축을 기준으로 회동되는 회동형 덮개 또는 상기 밸브 하우징의 레일을 따라 슬라이딩되는 슬라이딩형 덮개인, 게이트 밸브 시스템.
18. 제 17 항에 있어서,
    상기 밸브체에 의해 상기 교체 영역이 밀폐될 수 있도록 상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역의 상기 개구의 내측에 제 2 실링 부재가 설치되는, 게이트 밸브 시스템.
19. 적어도 하나의 통로가 형성되는 밸브 하우징과, 상기 통로를 차단할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되는 밸브체와, 상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 장치와, 상기 밸브 하우징의 진공 영역의 진공 상태를 유지하면서 상기 제 1 실링 부재를 교체할 수 있도록 상기 밸브 하우징의 교체 영역의 개구에 설치되는 덮개 및 상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각할 수 있도록 상기 덮개에 설치되는 열교환 장치를 포함하는 게이트 밸브 시스템의 제어 방법에 있어서,
    상기 이동 장치로 상기 밸브체를 상기 교체 영역 방향으로 이동시켜서 상기 밸브 하우징의 상기 교체 영역을 밀폐시키는 교체 영역 밀폐 단계;
    상기 밸브 하우징으로부터 상기 덮개를 분리하여 상기 개구를 개방하는 덮개 개방 단계;
    상기 개구를 통해 상기 제 1 실링 부재를 교체하는 교체 단계;
    상기 밸브 하우징에 상기 덮개를 체결하여 상기 개구를 폐쇄하는 덮개 체결 단계; 및
    상기 열교환 장치를 이용하여 상기 밸브체 또는 상기 제 1 실링 부재를 가열 또는 냉각시키는 열교환 단계;
    를 포함하는, 게이트 밸브 시스템의 제어 방법.
20. 제 19 항에 있어서,
    상기 덮개 개방 단계 이전에, 상기 교체 영역에 대기압을 형성하는 대기압 형성 단계; 및
    상기 덮개 체결 단계 이후에 또는 상기 열교환 단계 이후에, 상기 교체 영역에 진공압을 형성하는 진공압 형성 단계;
    를 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템의 제어 방법.

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