KR20200077396A - 셔터를 구비하는 파장 선택 스위치 시스템 - Google Patents

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KR20200077396A
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optical
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optical signal
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김윤구
김정수
문준
김환선
신현덕
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고려오트론(주)
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Abstract

본 발명은 셔터를 구비하는 파장 선택 스위치(wavelength selective switch, WSS) 시스템에 관한 것으로, 스캐닝 미러 어레이(scanning mirror array, SMA)를 스위칭할 때 원치 않는 광신호가 출력 포트로 입력되는 것을 차단하기 위한 것이다. 본 발명은 셔터를 스캐닝 미러 어레이 앞에 배치하고, 스캐닝 미러 어레이를 스위칭할 때 셔터를 닫아 스캐닝 미러 어레이에서 반사되는 광신호를 차단함으로써, 원치 않는 광신호가 출력 포트로 입력되는 것을 차단할 수 있다. 셔터는 스캐닝 미러 어레이의 미러의 배열과 동일하게 배열된 광 셔터들을 구비하고, 광 셔터들을 개별적으로 구동시킬 수 있기 때문에, 스캐닝 미러 어레이의 특정 미러에 입사된 광신호를 해당 미러에 대응되는 광 셔터를 닫음으로써, 특정 미러에 입사된 광신호를 선택적으로 차단할 수 있다.

Description

셔터를 구비하는 파장 선택 스위치 시스템{Wavelength selective switch system comprising shutter}
본 발명은 파장 선택 스위치(wavelength selective switch, WSS) 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스캐닝 미러 어레이(scanning mirror array, SMA)를 스위칭할 때 원치 않는 광신호가 출력 포트로 입력되는 것을 차단하는 셔터를 구비하는 파장 선택 스위치 시스템에 관한 것이다.
파장 선택 스위치(wavelength selective switch, WSS)란 하나의 입력 포트로 다채널 광원의 입력 시 여러 개의 출력 포트로 자유로이 파장과 경로를 선택하여 출력할 수 있는 장치를 말한다. 이러한 파장 선택 스위치의 도입으로 사용자는 메쉬 네트워크 상에서 필요에 따라 마음대로 파장별 경로 선택이 가능하다.
파장 선택 스위치는 다채널의 입력 신호를 파장별로 분기한 뒤 경로 선택을 위한 스위치를 동작시켜 출력 포트를 정하는 방식으로 동작한다. 파장 선택 스위치는 파장 분기 및 결합은 주로 벌크 광학계를 이용하며, 스위칭 엔진으로는 MEMS(Micro Electro Mechanical System), LC(Liquid Crystal), LCoS (Liquid Crystal on Silicon) 등이 주로 사용되고 있다.
스위칭 엔진 중 MEMS 공정으로 제조된 스캐닝 미러 어레이(scanning mirror array, SMA)는 반도체 산업에서 활용되는 웨이퍼 스케일 리소그래피 프로세스를 사용하여 실리콘으로 제작되고 있다. 스캐닝 미러 어레이는 전극에 전압이 가해지면 정전기적 인력으로 인해 미러가 기울어지게 된다. 스캐닝 미러 어레이는 출력 포트의 광섬유에서 빔을 약간 오프셋 하기 위해 기울어짐으로써 감쇠를 제공한다.
하지만 스캐닝 미러 어레이를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템은 스캐닝 미러 어레이의 미러들의 각도를 변경하여 광신호가 출력되는 출력 포트를 스위칭할 때, 원치 않는 출력 포트로 해당 광신호가 입력되는 문제가 발생할 수 있다.
기존에서는 스캐닝 미러 어레이를 스위칭하기 위해서, 광신호가 입력되는 미러를 큰 각도로 틸트시켜 출력 포트로 반사된 광신호가 입력되는 것을 차단하는 방식을 사용하고 있다. 하지만 미러를 큰 각도로 틸트시키는 과정에서 원치 않는 출력 포트로 해당 광신호가 입력되는 문제가 발생할 수 있다. 예를 들어 제1 내지 제4 출력 포트를 구비하는 광섬유 어레이에 있어서, 제1 출력 포트에서 제4 출력 포트로 광신호를 스위칭하는 과정에서 제2 출력 포트 또는 제3 출력 포트에 해당 광신호가 노이즈로 섞여 들어가는 문제가 발생할 수 있다.
등록특허공보 제10-1646289호 (2016.08.05. 공고)
따라서 본 발명의 목적은 스캐닝 미러 어레이를 스위칭할 때 원치 않는 광신호가 출력 포트로 입력되는 것을 차단하는 셔터를 구비하는 파장 선택 스위치 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 스캐닝 미러 어레이를 스위칭할 때 원치 않는 광신호를 독립적으로 차단하는 셔터를 구비하는 파장 선택 스위치 시스템을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 셔터를 스캐닝 미러 어레이 앞에 배치하고, 스캐닝 미러 어레이를 스위칭할 때 셔터를 닫아 스캐닝 미러 어레이에서 반사되는 광신호를 차단함으로써, 원치 않는 광신호가 출력 포트로 입력되는 것을 차단하는 셔터를 구비하는 파장 선택 스위치 시스템을 제공한다.
본 발명에 따른 셔터는 스캐닝 미러 어레이의 미러의 배열과 동일하게 배열된 광 셔터들을 구비하고, 광 셔터들을 개별적으로 구동시킬 수 있기 때문에, 스캐닝 미러 어레이의 특정 미러에 입사된 광신호를 해당 미러에 대응되는 광 셔터를 닫음으로써, 특정 미러에 입사된 광신호를 선택적으로 차단할 수 있다.
본 발명은, 광신호를 입력받는 입력 광섬유가 연결되는 입력 포트와, 광신호를 출력하는 복수의 출력 광섬유가 연결되는 복수의 출력 포트를 구비하고, 상기 입력 포트와 상기 복수의 출력 포트가 배열된 광섬유 어레이(optical fiber array); 상기 광섬유 어레이의 입력 포트로부터 입력된 광신호를 콜리메이트(collimate)하는 광 렌즈 어레이(optical lens array); 상기 광 렌즈 어레이로부터 출력되는 광신호의 파장에 따라 광신호를 주기적으로 회절 분광하는 회절격자(diffraction grating); 상기 회절격자로부터 회절 분광된 광신호를 포커싱하는 제1 평면볼록렌즈(plano convex lens); 상기 제1 평면볼록렌즈로부터 포커싱된 광신호의 스위칭을 위해 기울기를 변경하는 복수의 미러를 구비하는 스캐닝 미러 어레이(scanning mirror array); 및 상기 제1 평면볼록렌즈와 상기 스캐닝 미러 어레이 사이에 배치되고, 상기 스캐닝 미러 어레이에서의 광신호의 입력과 출력을 온/오프(on/off)하는 셔터(shutter);를 포함하는 셔터를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템을 제공한다.
상기 셔터는 상기 스캐닝 미러 어레이에 있는 각각의 미러에 대응되는 광 셔터를 구비하는 셔터 어레이(shutter array)이다.
상기 셔터는 상기 제1 평면볼록렌즈 보다 상기 스캐닝 미러 어레이에 근접하게 배치된다.
상기 셔터는 상기 스캐닝 미러 어레이의 미러에 일대일 대응되는 위치에 각각 상기 광 셔터가 위치하도록 상기 스캐닝 미러 어레이 위에 배치된다.
상기 셔터는, 상기 스캐닝 미러 어레이의 특정 미러에서 출력되는 광신호의 출력 포트를 스위칭할 때, 상기 특정 미러에 대응되는 광 셔터를 닫아 상기 특정 미러에서 반사되는 광신호의 출력을 차단한다.
상기 스캐닝 미러 어레이는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정으로 제조된 MEMS 스캐너이다.
본 발명에 따른 파장 선택 스위치 시스템은, 상기 광 렌즈 어레이와 상기 회절격자 사이에 개재된 초점 거리가 다른 두 개의 제2 평면볼록렌즈;를 더 포함할 수 있다.
상기 두 개의 제2 평면볼록렌즈는 평평한 면이 서로 마주보게 배열된다.
그리고 상기 두 개의 제2 평면볼록렌즈에 의해 늘어나는 광신호의 폭은 상기 두 개의 제2 평면볼록렌즈의 초점 거리 비에 의해 결정된다.
본 발명에 따르면, 셔터 어레이를 스캐닝 미러 어레이 앞에 배치하고, 스캐닝 미러 어레이를 스위칭할 때 셔터 어레이를 닫아 스캐닝 미러 어레이에서 반사되는 광신호를 차단함으로써, 원치 않는 광신호가 출력 포트로 입력되는 것을 차단할 수 있다.
더욱이 본 발명에 따른 셔터 어레이의 광 셔터들은 스캐닝 미러 어레이의 미러의 배열과 동일하게 배열되고, 광 셔터들을 개별적으로 구동이 가능하기 때문에, 스캐닝 미러 어레이의 특정 미러에 입사된 광신호를 해당 미러에 대응되는 광 셔터를 닫음으로써, 특정 미러에 입사된 광신호를 선택적으로 차단할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 파장 선택 스위치 시스템을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 스캐닝 미러 어레이 위에 배치된 셔터를 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 파장 선택 스위치 시스템을 보여주는 도면이다.
하기의 설명에서는 본 발명의 실시예를 이해하는데 필요한 부분만이 설명되며, 그 이외 부분의 설명은 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 생략될 것이라는 것을 유의하여야 한다.
이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념으로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
[제1 실시예]
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 파장 선택 스위치 시스템을 보여주는 도면이다. 도 2는 도 1의 스캐닝 미러 어레이 위에 배치된 셔터를 보여주는 도면이다.
도 1 및 2를 참조하면, 제1 실시예에 따른 파장 선택 스위치 시스템(100)은 광섬유 어레이(10; optical fiber array), 광 렌즈 어레이(20; optical lens array), 회절격자(30; diffraction grating), 평면볼록렌즈(40; plano convex lens), 스캐닝 미러 어레이(50; scanning mirror array) 및 셔터(60; shutter)를 포함한다. 광섬유 어레이(10)는 광신호를 입력받는 입력 광섬유가 연결되는 입력 포트(11)와, 광신호를 출력하는 복수의 출력 광섬유가 연결되는 복수의 출력 포트(13)를 구비하고, 입력 포트(11)와 복수의 출력 포트(13)가 배열된다. 광 렌즈 어레이(20)는 광섬유 어레이(10)의 입력 포트(11)로부터 입력된 광신호를 콜리메이트(collimate)한다. 회절격자(30)는 광 렌즈 어레이(20)로부터 출력되는 광신호의 파장에 따라 광신호를 회절 분광한다. 평면볼록렌즈(40)는 회절격자(30)로부터 회절 분광된 광신호를 포커싱한다. 스캐닝 미러 어레이(50)는 평면볼록렌즈(40)로부터 포커싱된 광신호의 스위칭을 위해 기울기를 변경하는 복수의 미러(51)를 구비한다. 그리고 셔터(60)는 평면볼록렌즈(40)와 스캐닝 미러 어레이(50) 사이에 배치되고, 스캐닝 미러 어레이(50)에서의 광신호의 입력과 출력을 온/오프(on/off)한다.
제1 실시예에 따른 파장 선택 스위치 시스템(100)은 셔터(60)가 스캐닝 미러 어레이(50) 앞에 배치되고, 스캐닝 미러 어레이(50)를 스위칭할 때 셔터(60)를 닫아 스캐닝 미러 어레이(50)에서 반사되는 광신호를 차단함으로써, 원치 않는 광신호가 출력 포트(13)로 입력되는 것을 차단할 수 있다.
이와 같은 제1 실시예에 따른 파장 선택 스위치 시스템(100)의 각 구분에 대해서 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
광섬유 어레이(10)는 하나의 입력 포트(11)와 복수의 출력 포트(13)를 포함한다. 입력 광섬유를 통하여 입력 포트(11)에 입력되는 광신호는 광 렌즈 어레이(20) 및 회절격자(30)를 거치면서 파장 별로 분리된 후, 파장 별로 분리된 광신호에서 평면볼록렌즈(40) 및 스캐닝 미러 어레이(50)를 거치면서 선택되어 반사되고, 스캐닝 미러 어레이(50)에서 선택되어 반사된 광신호는 반대로 평면볼록렌즈(40), 회절격자(30) 및 광 렌즈 어레이(20)를 통과하여 특정한 출력 포트(13)를 통하여 출력 광섬유로 출력된다.
광 렌즈 어레이(20)는 입력 포트(11) 및 복수의 출력 포트(13)에 대응되게 배열된 복수의 마이크로 렌즈를 포함한다. 입력 포트(11) 및 복수의 출력 포트(13)의 피치는 복수의 마이크로 렌즈의 피치와 동일하다. 광섬유 어레이(10)와 광 렌즈 어레이(20) 간의 거리는 마이크로 렌즈의 초점 거리(focal length)에 의해 결정된다.
회절격자(30)는 광 렌즈 어레이(20)로부터 출력되는 광신호를 파장에 따라 분리하여 평면볼록렌즈(40)로 반사한다. 회절격자(30)로는 광 손실을 줄일 수 있는 블레이즈 격자(blaze grating)가 사용될 수 있다. 회절격자(30)와 입사각 사이의 각도는 브레이즈 각(blaze angle)에서 5도 이하로 약간만 어긋난 정도이다, 그 이유는 회절격자(30)의 낮은 광 손실 장점을 가져가면서, 광신호가 온 경로로 다시 돌아가서 광학계가 과도하게 복잡해지는 것을 피하기 위해서이다.
회절격자(30)에 입사하는 광신호와 회절 분광된 광신호는 평행한 광신호이기 때문에, 이와 이웃한 광학계 사이의 거리는 큰 영향을 주지 않는다. 이때 콜리메이션이 이상적이지 않을 경우, 이웃한 광학계 사이의 거리는 짧을수록 좋다.
평면볼록렌즈(40)는 서로 반대 방향으로 볼록한 면(41)과 평평한 면(43)을 갖는 렌즈이다. 평면볼록렌즈(40)는 볼록한 면(41)이 회절격자(30)를 향하고, 평평한 면(43)이 스캐닝 미러 어레이(50)를 향하게 배치된다.
평면볼록렌즈(40)와 스캐닝 미러 어레이(50) 사이의 거리가 파장 선택 스위치 시스템(100)에서 가장 멀다. 따라서 파장 선택 스위치 시스템(100)의 크기를 줄이기 위해서, 평면볼록렌즈(40)와 스캐닝 미러 어레이(50) 사이의 적어도 하나의 반사용 미러를 개재할 수 있다.
회절격자(30)에 입사한 다색광은 파장에 따라 회절 분광되는데, 회절 분광된 빛의 치프 광신호(chief ray)가 평면볼록렌즈(40)의 초점 평면(focal plane)과 교차하는 점에 해당 파장의 광이 맺히게 된다. 이러한 성질을 이용하여 스캐닝 미러 어레이(50)의 미러(51) 피치를 설계한다.
스캐닝 미러 어레이(50)는 평면볼록렌즈(40)와 마주보는 면에 배치된 복수의 미러(51)를 포함한다. 이러한 스캐닝 미러 어레이(50)로는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정으로 제조된 MEMS 스캐너가 사용될 수 있다. 스캐닝 미러 어레이(50)는 광을 반사시키는 복수의 미러(51)와, 미러(51)를 요동시키기 위한 정전 구동기를 포함한다.
정전 구동기는, 도시하지 않았지만, 운동체인 스테이지 또는 이동구조물의 평면에 대해 나란한 방향으로 구동 전극이 형성되고, 구동 전극에 대응하는 고정 전극이 위치 고정된 상태에서 구동 전극과 교번적으로 배치되고, 구동 전극과 같이 스테이지의 평면방향에 나란하게 형성되는 구조를 갖는다. 그리고 정전 구동기는 구동 전극에 인가되는 구동 전압에 의해 미러(51)를 틸트시켜 입사되는 광을 원하는 출력 포트(13)로 보낼 수 있다.
그리고 셔터(60)는 스캐닝 미러 어레이(50)에 구비된 미러(51)들에 대해서 각각 독립적으로 광신호의 입력과 출력을 온/오프(on/off)할 수 있도록, 각각의 미러(51)에 대응되는 광 셔터(61)를 구비하는 셔터 어레이(shutter array)이다.
셔터(60)는 복수의 광 셔터(61)를 독립적으로 열고 닫음으로써, 특정 미러(51)에 입사된 광신호를 선택적으로 차단할 수 있다.
이러한 셔터(60)는 평면볼록렌즈(40) 보다 스캐닝 미러 어레이(50)에 근접하게 배치된다. 이유는 파장 선택 스위치 시스템(100)에 입사되는 광은 여러 파장 광이 복합되어 있기 때문에, 특정 파장의 광원만 선택적으로 차단하는 것은 쉽지 않다. 물론 파장 선택도(wavelength selectivity)가 1nm 이하로 아주 우수한 광섬유를 사용하면 가능하지만, 이러한 광섬유의 구현이 매우 어려운 실정이다.
하지만 파장 선택 스위치 시스템(100)의 광 경로에서 파장에 따라 물리적 광 경로가 나누어지는 구간이 스캐닝 미러 어레이(50)의 앞 부분이다.
따라서 제1 실시예에 따른 셔터(60)를 스캐닝 미러 어레이(50)의 앞에 배치하면, 스캐닝 미러 어레이(50)로 입사되는 파장별 광신호를 선택적으로 차단할 수 있다.
이로 인해 셔터(60)는 스캐닝 미러 어레이(50)의 특정 미러(51)에서 출력되는 광신호의 출력 포트(13)를 스위칭할 때, 특정 미러(51)에 대응되는 광 셔터(61)를 닫아 특정 미러(51)에서 반사되는 광신호의 출력을 차단할 수 있다. 즉 광 셔터(61)는 평상 시에는 광신호가 자유롭게 입출력될 수 있도록 개방된 상태이며, 광신호의 출력 포트(13)를 스위칭할 때 닫게 된다.
이와 같이 제1 실시예에 따른 셔터(60)의 광 셔터(61)들은 스캐닝 미러 어레이(50)의 미러(51)의 배열과 동일하게 배열되고, 광 셔터(61)들을 개별적으로 구동이 가능하기 때문에, 스캐닝 미러 어레이(50)의 특정 미러(51)에 입사된 광신호를 해당 미러(51)에 대응되는 광 셔터(61)를 닫음으로써, 특정 미러(51)에 입사된 광신호를 선택적으로 차단할 수 있다.
[제2 실시예]
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 파장 선택 스위치 시스템(200)을 보여주는 도면이다.
도 3을 참조하면, 제2 실시예에 따른 파장 선택 스위치 시스템(200)은, 제1 실시예에 따른 파장 선택 스위치 시스템(도 1의 100)과 비교할 때, 광 렌즈 어레이(20)와 회절격자(30) 사이에 개재된 초점 거리가 다른 두 개의 평면볼록렌즈(70,80)를 더 포함한다.
이와 같이 광 렌즈 어레이(20)와 회절격자(30) 사이에 초점 거리가 다른 두 개의 평면볼록렌즈(70,80)를 개재하는 이유는 다음과 같다. 광섬유 어레이(10)를 통해 나온 광신호의 경우 그 폭이 좁기 때문에, 회절격자(30)의 회절 분광 효과를 보다 효과적으로 활용하기 위해서는 광신호의 폭을 늘릴 필요가 있다.
따라서 초점 거리가 다른 두 개의 평면볼록렌즈(70,80)를 광 렌즈 어레이(20)와 회절격자(30) 사이에 개재함으로써, 광섬유 어레이(10)를 통해 나온 광신호의 폭을 늘릴 수 있다. 이때 늘어나는 광신호의 폭은 초점 거리가 다른 두 개의 평면볼록렌즈(70,80)의 초점 거리 비에 의해 결정된다.
여기서 회절격자(30)와 스캐닝 미러 어레이(50) 사이에 개재된 평면볼록렌즈(40)를 제1 평면볼록렌즈라 하고, 광 렌즈 어레이(20)와 회절격자(30) 사이에 개재된 초점 거리가 다른 두 개의 평면볼록렌즈(70,80)를 제2 평면볼록렌즈라 한다.
서로 다른 두 개의 제2 평면볼록렌즈(70,80)는 광 렌즈 어레이(20)와 마주보는 제2-1 평면볼록렌즈(70)와, 회절격자(30)와 마주보는 제2-2 평면볼록렌즈(80)를 포함한다.
제2-1 및 제2-2 평면볼록렌즈(70,80)는 평평한 면(73,83)이 서로 마주보게 배열되고, 볼록한 면(71,81)이 서로 반대 방향을 향한다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.
10 : 광섬유 어레이
11 : 입력 포트
13 : 출력 포트
20 : 광 렌즈 어레이
30 : 회절격자
40 : 평면볼록렌즈
41 : 볼록한 면
43 : 평평한 면
50 : 스캐닝 미러 어레이
51 : 미러
60 : 셔터
61 : 광 셔터
70,80 : 제2 평면볼록렌즈
71,81 : 볼록한 면
73,83 : 평평한 면
100 : 파장 선택 스위치 시스템

Claims (8)

  1. 광신호를 입력받는 입력 광섬유가 연결되는 입력 포트와, 광신호를 출력하는 복수의 출력 광섬유가 연결되는 복수의 출력 포트를 구비하고, 상기 입력 포트와 상기 복수의 출력 포트가 배열된 광섬유 어레이(optical fiber array);
    상기 광섬유 어레이의 입력 포트로부터 입력된 광신호를 콜리메이트(collimate)하는 광 렌즈 어레이(optical lens array);
    상기 광 렌즈 어레이로부터 출력되는 광신호의 파장에 따라 광신호를 회절 분광하는 회절격자(diffraction grating);
    상기 회절격자로부터 회절 분광된 광신호를 포커싱하는 제1 평면볼록렌즈(plano convex lens);
    상기 제1 평면볼록렌즈로부터 포커싱된 광신호의 스위칭을 위해 기울기를 변경하는 복수의 미러를 구비하는 스캐닝 미러 어레이(scanning mirror array); 및
    상기 제1 평면볼록렌즈와 상기 스캐닝 미러 어레이 사이에 배치되고, 상기 스캐닝 미러 어레이에서의 광신호의 입력과 출력을 온/오프(on/off)하는 셔터(shutter);
    를 포함하는 셔터를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 셔터는 상기 스캐닝 미러 어레이에 있는 각각의 미러에 대응되는 광 셔터를 구비하는 셔터 어레이(shutter array)인 것을 특징으로 하는 셔터를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 셔터는 상기 제1 평면볼록렌즈 보다 상기 스캐닝 미러 어레이에 근접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 셔터를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 셔터는 상기 스캐닝 미러 어레이의 미러에 일대일 대응되는 위치에 각각 상기 광 셔터가 위치하도록 상기 스캐닝 미러 어레이 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 셔터를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템.
  5. 제2항에 있어서, 상기 셔터는,
    상기 스캐닝 미러 어레이의 특정 미러에서 출력되는 광신호의 출력 포트를 스위칭할 때, 상기 특정 미러에 대응되는 광 셔터를 닫아 상기 특정 미러에서 반사되는 광신호의 출력을 차단하는 것을 특징으로 하는 셔터를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 스캐닝 미러 어레이는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공정으로 제조된 MEMS 스캐너인 것을 특징으로 하는 셔터를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 광 렌즈 어레이와 상기 회절격자 사이에 개재된 초점 거리가 다른 두 개의 제2 평면볼록렌즈;를 더 포함하고,
    상기 두 개의 제2 평면볼록렌즈는 평평한 면이 서로 마주보게 배열되는 것을 특징으로 하는 셔터를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 두 개의 제2 평면볼록렌즈에 의해 늘어나는 광신호의 폭은 상기 두 개의 제2 평면볼록렌즈의 초점 거리 비에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 셔터를 포함하는 파장 선택 스위치 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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