KR20200054575A - Roll-to-roll etching system - Google Patents

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KR20200054575A
KR20200054575A KR1020180138018A KR20180138018A KR20200054575A KR 20200054575 A KR20200054575 A KR 20200054575A KR 1020180138018 A KR1020180138018 A KR 1020180138018A KR 20180138018 A KR20180138018 A KR 20180138018A KR 20200054575 A KR20200054575 A KR 20200054575A
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etching
roll
cleaning
printing
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KR1020180138018A
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이동열
이영민
천태수
이법진
변달석
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성안기계 (주)
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Abstract

The present invention relates to a roll-to-roll etching system to reduce the amount of waste liquid and minimize contact damage to a pattern formed surface. The roll-to-roll etching system according to one embodiment of the present invention includes: an unwinder which continuously unwinds a film with a conductive film on a first surface; a printing means which prints an etching paste on the first surface of the film supplied from the unwinder; an etching means which directly etches an etching paste printed area on the first surface of the film having passed through the printing means; a cleaning means which cleans the film having passed through the etching means; and a rewinder which receives and continuously winds the film having passed through the cleaning means.

Description

롤투롤 에칭 시스템{ROLL-TO-ROLL ETCHING SYSTEM}Roll-to-roll etching system {ROLL-TO-ROLL ETCHING SYSTEM}

본 발명은 롤투롤 에칭 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정 설계 및 장치 구성을 단순화할 수 있고, 패턴 형성면의 접촉에 의한 훼손을 최소화할 수 있는 롤투롤 에칭 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a roll-to-roll etching system, and more particularly, to a roll-to-roll etching system capable of simplifying process design and device configuration and minimizing damage due to contact of a pattern forming surface.

일반적으로 금속 박막(Metal thin film)은 진공 증착이나 스퍼터링(Sputtering) 등을 이용하여 형성된 약 1㎛ 이하의 얇은 피막을 의미하며, 전자기적, 광학적 및 기계적으로 우수한 특성에 의해 집적 회로, 콘덴서, 초전도 배선, 고감도 자기 센서, 초고속 전자 디바이스 등 일렉트로닉스 분야에 주로 이용되고 있다.In general, a metal thin film (Metal thin film) refers to a thin film of less than about 1㎛ formed by vacuum deposition or sputtering, etc., integrated circuits, capacitors, superconductivity due to excellent electromagnetic, optical and mechanical properties It is mainly used in electronics, such as wiring, high-sensitivity magnetic sensors, and high-speed electronic devices.

예를 들어, 반도체, 평판 표시 장치 등에 구비되는 전자 소자는 기판 상에 다양한 패턴 형상을 가지는 금속 배선이 형성되는데, 이러한 금속 배선은 필요한 저항 등 요구 사항에 따라 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 이들의 합금 등을 사용할 수 있다.For example, in electronic devices provided in semiconductors, flat panel display devices, and the like, metal wirings having various pattern shapes are formed on a substrate, and the metal wirings may include chromium (Cr), molybdenum (Mo), or the like depending on requirements such as required resistance. Aluminum (Al), copper (Cu), or alloys thereof can be used.

전자 소자에 구비된 금속 배선은 포토리소그래피(Photolithography) 기술, 인쇄 전자(Printed electronics) 기술 등에 의해 형성되는데, 포토리소그래피 기술을 사용하여 공정을 구현하는 경우, 진공 증착, 노광, 현상, 도금, 에칭 등 다양하고 복잡한 세부 공정들이 필요하여 공정 설계 및 장치 구성이 복잡해지는 등의 문제점이 있었다. 그리고, 에칭, 세척·세정, 박리 공정 중 대량의 폐액이 발생하는 문제점도 있었다.The metal wiring provided in the electronic device is formed by photolithography technology, printed electronics technology, etc. In the case of implementing the process using photolithography technology, vacuum deposition, exposure, development, plating, etching, etc. There were problems such as complicated process design and device configuration because various and complicated detailed processes were required. In addition, there was a problem in that a large amount of waste liquid was generated during the etching, washing, washing, and peeling processes.

이에, 최근에는 기판에 기능성 잉크 또는 페이스트를 인쇄하여 다양한 패턴을 형성하는 인쇄 전자 기술이 각광 받고 있다. 인쇄 전자 기술은 앞서 설명한 포토리소그래피 기술에 내재되어 있는 공정 복잡성 등에 대한 문제점을 제거해 줄 수 있기 때문에, 다양한 분야로 적용 범위가 확대되는 등 그에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다.Accordingly, in recent years, a printed electronic technology that forms various patterns by printing a functional ink or paste on a substrate has been spotlighted. Since the printed electronic technology can eliminate the problem of process complexity inherent in the above-described photolithography technology, research on it has been actively conducted, such as application range is expanded to various fields.

한편, 최근 단단한 재질의 기판이 아닌 롤(Roll) 형태의 필름(Film) 또는 웹(Web) 기판을 사용하여 다양한 종류의 공정을 수행하는 경우가 증가하고 있다. 이러한 필름 또는 웹 기판을 사용하는 경우, 공정 속도가 증대되어 대량 양산이 가능해지는 장점이 있다.On the other hand, in recent years, the case of performing various types of processes using a roll type film (Film) or a web (Web) substrate rather than a rigid material substrate has increased. When using such a film or web substrate, there is an advantage that the mass production is possible by increasing the process speed.

또한, 이러한 필름 또는 웹 기판을 사용하여 다양한 종류의 공정을 수행하는 방법에 전술한 인쇄 전자 기술이 결합되면 생산 효율이 더욱 증가할 수 있다는 점에서, 롤투롤(Roll-to-Roll) 생산 방식과 전자 인쇄 기술의 결합에 대한 연구가 매우 활발히 이루어지고 있다.In addition, when the above-mentioned printing electronic technology is combined with a method of performing various types of processes using such a film or web substrate, the production efficiency can be further increased, and the roll-to-roll production method and Research on the combination of electronic printing technology has been very active.

그러나, 롤투롤 생산 방식과 전자 인쇄 기술이 결합되는 경우, 인쇄 전자 기술에 의해 패턴이 기판에 형성된 직후에, 기판이 롤 형태로 감겨짐으로써 패턴 형성면이 서로 접촉하여 훼손되는 문제점이 있었다.However, when the roll-to-roll production method and the electronic printing technique are combined, there is a problem in that the pattern forming surfaces are in contact with each other and are damaged by being wound in a roll form immediately after the pattern is formed on the substrate by the printing electronic technique.

따라서, 복잡한 세부 공정들이 필요하지 않아 공정 설계 및 장치 구성을 단순화할 수 있고, 발생되는 폐액의 양을 줄일 수 있으며, 패턴 형성면의 접촉에 의한 훼손을 최소화할 수 있는 롤투롤 에칭 시스템이 요구된다.Accordingly, there is a need for a roll-to-roll etching system that can simplify the process design and device configuration by not requiring complicated detailed processes, reduce the amount of waste liquid generated, and minimize damage caused by contact with the pattern forming surface. .

대한민국 등록특허 제10-1088438호(연성기판에 박막을 프린팅 하는 장치)(2011.12.01 공고)Republic of Korea Patent Registration No. 10-1088438 (device for printing thin film on flexible substrate) (announced on Dec. 1, 2011)

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 에칭 페이스트를 이용하여 인쇄면을 직접 에칭(direct etching)하고, 에칭 공정의 후속 공정에서 패턴 형성면이 후속 공정을 위한 수단에 직접 접촉되지 않도록 하기 위하여 인쇄 수단의 후단에 별도의 비접촉 수단을 구비함으로써, 복잡한 세부 공정들이 필요하지 않아 공정 설계 및 장치 구성을 단순화할 수 있고, 발생되는 폐액의 양을 줄일 수 있으며, 패턴 형성면의 접촉에 의한 훼손을 최소화할 수 있는 롤투롤 에칭 시스템을 제공하는 것이다.The present invention was invented to improve the above-mentioned problems, and the problem to be solved by the present invention is to directly etch a printing surface using an etching paste, followed by a pattern formation surface in a subsequent process of the etching process. By providing a separate non-contact means at the rear end of the printing means to prevent direct contact with the means for the process, complicated detailed processes are not required, simplifying the process design and device configuration, and reducing the amount of waste liquid generated. It is to provide a roll-to-roll etching system capable of minimizing damage caused by contact of a pattern forming surface.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem of the present invention is not limited to those mentioned above, and another technical problem not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템은, 제1 면에 도전성 막이 형성된 필름(Film)을 연속적으로 풀어주는 언와인더(Unwinder), 상기 언와인더에서 공급된 상기 필름의 제1 면에 에칭 페이스트를 인쇄하는 인쇄 수단, 상기 인쇄 수단을 통과한 필름의 제1 면에서 상기 에칭 페이스트가 인쇄된 영역을 직접 에칭하는 에칭 수단, 상기 에칭 수단을 통과한 필름을 세정하는 세정 수단, 및 상기 세정 수단을 통과한 필름을 공급받아 연속적으로 감아주는 리와인더(Rewinder)를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the roll-to-roll etching system according to an embodiment of the present invention is supplied from the unwinder, which unwinds the film on which the conductive film is formed on the first surface continuously. Printing means for printing an etching paste on the first side of the film, etching means for directly etching an area where the etching paste is printed on the first side of the film that has passed through the printing means, a film that has passed through the etching means It characterized in that it comprises a cleaning means for cleaning, and a rewinder (Rewinder) for continuously receiving the film passing through the cleaning means.

이 때, 상기 에칭 수단은 상기 에칭 페이스트를 활성화하여 상기 에칭 페이스트에 의해 상기 에칭 페이스트가 인쇄된 영역의 상기 도전성 막을 부식시킴으로써, 상기 에칭 페이스트가 인쇄된 영역을 직접 에칭할 수 있다.At this time, the etching means activates the etching paste and corrodes the conductive film in the area where the etching paste is printed by the etching paste, thereby directly etching the area where the etching paste is printed.

또한, 상기 롤투롤 에칭 시스템은 연속(continuous) 방식 및 간헐(stop and go) 방식 중 적어도 하나가 적용될 수 있다.Also, at least one of a continuous type and a stop and go type may be applied to the roll-to-roll etching system.

또한, 상기 롤투롤 에칭 시스템은, 상기 언와인더와 상기 인쇄 수단의 사이에 구비되며, 상기 언와인더로부터 공급된 필름의 이송 경로를 연장하여 상기 필름을 축적하는 제1 축적 수단 및 상기 에칭 수단과 상기 리와인더의 사이에 구비되며, 상기 에칭 수단을 통과한 필름의 이송 경로를 연장하여 상기 필름을 축적하는 제2 축적 수단을 더 포함할 수 있다.In addition, the roll-to-roll etching system is provided between the unwinder and the printing means, and the first accumulation means and the etching means for accumulating the film by extending a transport path of the film supplied from the unwinder. And a second accumulation means provided between the rewinder and extending the transport path of the film passing through the etching means to accumulate the film.

또한, 상기 제1 축적 수단은, 상기 인쇄 수단에서 상기 인쇄 공정이 수행되는지의 여부에 따라 제1 방향을 따라 왕복 이동하면서 상기 언와인더로부터 공급된 필름을 당겨서 늦추거나 풀어주는 하나 이상의 제1 지지 롤러 및 상기 언와인더와 상기 인쇄 수단의 사이에 위치하며, 상기 제1 지지 롤러의 이동에 따라 상기 필름의 이송을 안내하는 복수의 제1 가이드 롤러를 포함하고, 상기 제2 축적 수단은, 상기 인쇄 수단에서 상기 인쇄 공정이 수행되는지의 여부에 따라 제2 방향을 따라 왕복 이동하면서 상기 언와인더로부터 공급된 필름을 당겨서 늦추거나 풀어주는 하나 이상의 제2 지지 롤러 및 상기 인쇄 수단과 상기 리와인더의 사이에 위치하며, 상기 제2 지지 롤러의 이동에 따라 상기 필름의 이송을 안내하는 복수의 제2 가이드 롤러를 포함할 수 있다.In addition, the first accumulation means, at least one first support for pulling and slowing or releasing the film supplied from the unwinder while reciprocating along the first direction depending on whether or not the printing process is performed by the printing means. It is located between the roller and the unwinder and the printing means, and includes a plurality of first guide rollers that guide the transfer of the film according to the movement of the first support roller, and the second accumulation means comprises: Between the printing means and the rewinder, one or more second support rollers for pulling and slowing or releasing the film supplied from the unwinder while reciprocating along the second direction depending on whether or not the printing process is performed by the printing means. Located in the, may include a plurality of second guide rollers for guiding the transfer of the film according to the movement of the second support roller .

또한, 상기 제2 축적 수단은 상기 에칭 수단을 통과한 필름이 상기 제2 축적 수단에 비접촉되도록 상기 세정 수단 내에 구비될 수 있다.Further, the second accumulation means may be provided in the cleaning means so that the film that has passed through the etching means is not in contact with the second accumulation means.

또한, 상기 제2 가이드 롤러는, 상기 에칭 수단을 통과한 필름이 상기 제2 가이드 롤러에 비접촉되도록 상기 제2 가이드 롤러의 표면으로부터 상기 필름을 공기 부양시키는 공기 부양 모듈을 포함하고, 상기 제2 지지 롤러는 상기 세정 수단 내에 구비될 수 있다.In addition, the second guide roller includes an air flotation module that air-lifts the film from the surface of the second guide roller so that the film passing through the etching means is not in contact with the second guide roller, the second support Rollers may be provided in the cleaning means.

또한, 상기 세정 수단은, 상기 에칭 수단을 통과한 필름에 초음파 진동을 인가하여 초음파 세정하는 제1 세정 모듈, 상기 제1 세정부를 통과한 필름에 물을 분사하여 세정하는 제2 세정 모듈, 및 상기 제2 세정부를 통과한 필름을 IPA(Isopropyl alcohol)를 이용하여 세정하는 제3 세정 모듈을 포함할 수 있다.In addition, the cleaning means, a first cleaning module for ultrasonic cleaning by applying ultrasonic vibration to the film passing through the etching means, a second cleaning module for cleaning by spraying water on the film passing through the first cleaning unit, and It may include a third cleaning module for cleaning the film that has passed through the second cleaning unit using IPA (Isopropyl alcohol).

또한, 제2 축적 수단은 상기 제1 세정 모듈 내에 구비될 수 있다.Also, a second accumulation means may be provided in the first cleaning module.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에 따르면, 에칭 페이스트를 이용하여 인쇄면을 직접 에칭(direct etching) 함으로써, 복잡한 세부 공정들이 필요하지 않아 공정 설계 및 장치 구성을 단순화할 수 있고, 발생되는 폐액의 양을 줄일 수 있다.According to the roll-to-roll etching system according to an embodiment of the present invention, by directly etching a printing surface using an etching paste, complicated detailed processes are not required, and thus process design and device configuration can be simplified and generated It can reduce the amount of waste liquid.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에 따르면, 에칭 공정의 후속 공정에서 패턴 형성면이 후속 공정을 위한 수단에 직접 접촉되지 않도록 하기 위하여 인쇄 수단의 후단에 별도의 비접촉 수단을 구비함으로써, 패턴 형성면의 접촉에 의한 훼손을 최소화할 수 있다.In addition, according to the roll-to-roll etching system according to an embodiment of the present invention, a separate non-contact means is provided at the rear end of the printing means to prevent the pattern forming surface from directly contacting the means for the subsequent process in the subsequent process of the etching process. By doing so, it is possible to minimize damage caused by contact of the pattern forming surface.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에서 인쇄 수단을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에서 세정 수단의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에서 인쇄 수단을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에서 세정 수단을 나타낸 도면이다.1 is a perspective view showing a roll-to-roll etching system according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing a roll-to-roll etching system according to a first embodiment of the present invention.
3 is a view showing a printing means in a roll-to-roll etching system according to a first embodiment of the present invention.
4 is a view showing an example of a cleaning means in the roll-to-roll etching system according to the first embodiment of the present invention.
5 is a perspective view showing a roll-to-roll etching system according to a second embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing a roll-to-roll etching system according to a second embodiment of the present invention.
7 is a view showing a printing means in a roll-to-roll etching system according to a second embodiment of the present invention.
8 is a view showing cleaning means in a roll-to-roll etching system according to a second embodiment of the present invention.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains can easily implement the present invention.

실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.In describing the embodiments, descriptions of technical contents well known in the technical field to which the present invention pertains and which are not directly related to the present invention will be omitted. This is to more clearly communicate the subject matter of the present invention by omitting unnecessary description.

마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.For the same reason, some components in the accompanying drawings are exaggerated, omitted, or schematically illustrated. In addition, the size of each component does not entirely reflect the actual size. The same reference numbers are assigned to the same or corresponding elements in each drawing.

또한, 장치 또는 요소 방향(예를 들어, “전(front)”,“후(back)”,“위(up)”,“아래(down)”,“상(top)”,“하(bottom)”,“좌(left)”,“우(right)”,“횡(lateral)”)등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다.Also, the device or element orientation (eg, “front”, “back”, “up”, “down”, “top”, “bottom”) ) ”,“ Left ”,“ right ”,“ lateral ”, etc. The expressions and predicates used herein are only used to simplify the description of the present invention and are related It will be appreciated that the device or element simply does not indicate or mean that it should have a specific orientation.

본 발명은 복잡한 세부 공정들이 필요하지 않아 공정 설계 및 장치 구성을 단순화할 수 있고, 발생되는 폐액의 양을 줄일 수 있으며, 패턴 형성면의 접촉에 의한 훼손을 최소화할 수 있는 롤투롤 에칭 시스템을 제공하기 위해 안출되었다.The present invention provides a roll-to-roll etching system capable of simplifying process design and device configuration because no complicated detailed processes are required, reducing the amount of waste liquid generated, and minimizing damage caused by contact of the pattern forming surface. Was made to do.

이를 위해, 본 발명의 일 실시예는 제1 면에 도전성 막이 형성된 필름(Film)을 연속적으로 풀어주는 언와인더(Unwinder), 상기 언와인더에서 공급된 상기 필름의 제1 면에 에칭 페이스트를 인쇄하는 인쇄 수단, 상기 인쇄 수단을 통과한 필름의 제1 면에서 상기 에칭 페이스트가 인쇄된 영역을 직접 에칭하는 에칭 수단, 상기 에칭 수단을 통과한 필름을 세정하는 세정 수단, 및 상기 세정 수단을 통과한 필름을 공급받아 연속적으로 감아주는 리와인더(Rewinder)를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템을 제공한다.To this end, an embodiment of the present invention is an unwinder (Unwinder) that continuously releases a film on which a conductive film is formed on a first surface, and an etching paste on the first surface of the film supplied from the unwinder. Printing means for printing, etching means for directly etching the area on which the etching paste is printed on the first side of the film that has passed through the printing means, cleaning means for cleaning the film passing through the etching means, and passing through the cleaning means It provides a roll-to-roll etching system characterized in that it comprises a rewinder (Rewinder) that is continuously wound to receive a film.

이하에서는 본 발명의 실시예들에 의하여 롤투롤 에칭 시스템을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to drawings for explaining a roll-to-roll etching system according to embodiments of the present invention.

이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a roll-to-roll etching system according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4 as follows.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 나타낸 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에서 인쇄 수단의 일 예를 나타낸 도면이며, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에서 세정 수단의 일 예를 나타낸 도면이다.1 is a perspective view showing a roll-to-roll etching system according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a roll-to-roll etching system according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a first view of the present invention It is a view showing an example of a printing means in a roll-to-roll etching system according to an embodiment, and FIG. 4 is a view showing an example of a cleaning means in a roll-to-roll etching system according to a first embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(10)은 언와인더(Unwinder)(100), 인쇄 수단(300), 에칭 수단(400), 세정 수단(600), 및 리와인더(Rewinder)(700)를 포함한다.1 and 2, the roll-to-roll etching system 10 according to the first embodiment of the present invention includes an unwinder 100, a printing means 300, an etching means 400, and a cleaning means. 600, and a rewinder 700.

먼저, 본 발명에서 언와인더(100)는 피공정물인 필름(F)을 연속적으로 풀어주며 공급하는 역할을 한다.First, in the present invention, the unwinder 100 serves to continuously release and supply the film F to be processed.

이 때, 필름(F)의 일면에는 은(Al), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 등과 같은 도전성 막이 형성된다. 이하에서는 필름(F)에서 도전성 막이 형성된 방향 측의 면을 제1 면이라고 하고, 그 반대 방향 측의 면을 제2 면이라고 한다.At this time, a conductive film such as silver (Al), aluminum (Al), or copper (Cu) is formed on one surface of the film F. Hereinafter, the surface on the side of the film F in which the conductive film is formed is referred to as a first surface, and the surface on the opposite side is referred to as a second surface.

구체적으로, 언와인더(100)는 공정이 수행되는 필름(F)의 이송 방향에 대하여 기점(起點) 측에 배치될 수 있으며, 필름(F)이 감겨져 이루어진 롤이 장착된 롤러의 형태로 형성되어, 후술되는 인쇄 수단(300), 에칭 수단(400), 및 세정 수단(600)에서 공정을 수행하는 동안 일정한 속도로 필름(F)을 연속적으로 풀어서 공급할 수 있다.Specifically, the unwinder 100 may be disposed on the origin (起點) side with respect to the transport direction of the film (F) on which the process is performed, and formed in the form of a roller on which the roll formed of the film (F) is wound Thus, while performing the process in the printing means 300, the etching means 400, and the cleaning means 600 to be described later, the film F can be continuously released and supplied at a constant speed.

이 때, 도면에는 도시되지 아니하였으나 상기 롤러에는 회전 구동력을 제공하는 롤러 구동부가 연결될 수 있다.At this time, although not shown in the drawing, a roller driving unit providing a rotational driving force may be connected to the roller.

본 발명에서 인쇄 수단(300)은 언와인더(100)에서 공급된 필름(F)의 상부, 즉, 제1 면에 형성된 도전성 막의 상면에 에칭 페이스트(etching paste)를 인쇄하는 역할을 한다.In the present invention, the printing means 300 serves to print an etching paste on the upper surface of the film F supplied from the unwinder 100, that is, on the upper surface of the conductive film formed on the first surface.

구체적으로, 인쇄 수단(300)은 피공정물인 필름(F) 상에 인쇄를 수행할 수 있도록 다양한 구조로 구현될 수 있다.Specifically, the printing means 300 may be embodied in various structures so that printing can be performed on the film (F) to be processed.

일 예로서, 인쇄 수단(310)은 도 3에 도시된 바와 같이 로터리형 스크린(311) 및 카운터 롤러(312)를 포함하여 구성될 수 있다.As an example, the printing means 310 may be configured to include a rotary screen 311 and a counter roller 312 as shown in FIG. 3.

여기에서, 로터리형 스크린(311)은 도면에는 도시되지 아니하였으나 그 내부에 에칭 페이스트와, 실질적으로 에칭 페이스트를 필름(F) 상에 도포하여 인쇄하는 스크레이퍼(Scrapper) 및 스퀴지(Squeegee)를 포함할 수 있다.Here, the rotary screen 311 is not shown in the drawing, but includes an etching paste therein and a scraper and a squeegee for substantially printing by applying the etching paste on the film F. Can be.

구체적으로, 로터리형 스크린(311)은 카운터 롤러(312)로부터 이격되어 배치되며, 카운터 롤러(312)에 의해 지지되는 필름(F) 상에 인쇄 공정을 수행하기 위한 패턴이 형성될 수 있으며, 내부에 내장된 스크레이퍼 및 스퀴지를 통해 에칭 페이스트를 도포하여 인쇄 공정을 수행할 수 있다. 그리고, 카운터 롤러(312)는 로터리형 스크린(311)과 함께 회전하며, 언와인더(100)로부터 공급된 필름(F)의 일면을 지지하고, 공정을 마친 후 에칭 수단(400)으로 공급되는 필름(F)의 이송을 안내할 수 있다.Specifically, the rotary screen 311 is disposed spaced apart from the counter roller 312, and a pattern for performing a printing process may be formed on the film F supported by the counter roller 312, and the inside may be formed. The printing process may be performed by applying an etching paste through a scraper and a squeegee built in. Then, the counter roller 312 rotates with the rotary screen 311, supports one surface of the film F supplied from the unwinder 100, and is supplied to the etching means 400 after the process is completed. It can guide the transfer of the film (F).

이와 같이, 인쇄 수단(310)이 로터리형 스크린(311) 및 카운터 롤러(312)를 포함하여 이루어지는 경우 일정한 속도로 연속 인쇄가 가능하며, 이에 따라 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(10)을 연속(continuous) 방식으로 구현할 수 있는 이점이 있다.As described above, when the printing means 310 includes the rotary screen 311 and the counter roller 312, continuous printing is possible at a constant speed, and accordingly, the roll-to-roll etching system according to the first embodiment of the present invention (10) has the advantage that can be implemented in a continuous (continuous) manner.

도 3에서는 카운더 롤러가 수평 방향으로 공급 이송되는 필름(F)의 제2 면을 지지한 상태에서 필름(F)을 이송하고, 로터리형 스크린(311)이 필름(F)의 상부에 배치되어 필름(F) 상을 이동하면서 인쇄 공정을 수행하는 것으로 도시하였으나, 로터리형 스크린(311) 및 카운터 롤러(312)의 개수, 위치, 배치 형태 등은 다양하게 설계 변경 가능하다.In FIG. 3, the film F is transported in a state in which the counter roller supports the second surface of the film F to be fed and transported in a horizontal direction, and the rotary screen 311 is disposed on the top of the film F Although the printing process is performed while moving on the film F, the number, location, and arrangement of the rotary screen 311 and the counter roller 312 can be variously changed in design.

또한, 도면에는 도시되지 아니하였으나, 인쇄 수단(310)의 일 예는 로터리형 스크린(311) 또는/및 카운터 롤러(312)와 연결되어 스크린 또는/및 카운터 롤러(312)를 필름(F)의 이동 방향과 나란한 방향으로 왕복 구동하도록 하는 제1 구동부와, 로터리형 스크린(311)에 내장된 스퀴지 또는/및 스크레이퍼와 연결되어 로터리형 스크린(311)이 회전함에 따라 스퀴지 또는/및 스크레이퍼가 로터리형 스크린(311)의 개구 영역을 향하도록 구동시키는 제2 구동부 등을 더 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, although not shown in the drawing, an example of the printing means 310 is connected to the rotary screen 311 or / and the counter roller 312 to connect the screen or / and the counter roller 312 to the film F. The first driving unit for reciprocating driving in a direction parallel to the moving direction, and the squeegee or / and scraper connected to the squeegee or / and scraper built in the rotary screen 311 rotate as the squeegee or / and scraper rotates as the rotary screen 311 rotates. A second driving unit that drives the screen 311 toward the opening area may be further included. However, it is not limited thereto.

한편, 본 발명에서 에칭 페이스트는 후술되는 에칭 수단(400)을 통해 활성화되어 도전성 막을 부식시킴으로써, 에칭 페이스트가 인쇄된 영역을 직접 에칭(direct etching)되도록 할 수 있는 물질로서, 강산성(强酸性) 물질인 것이 바람직하다.On the other hand, in the present invention, the etching paste is activated by the etching means 400 to be described later, by corrosion of the conductive film, so that the etching paste can be directly etched (direct etching) the printed area, a strongly acidic (强 酸性) material It is preferred.

예컨대, 에칭 페이스트는 산화제로서 질산철(Ⅲ)(Fe(NO3)3), 염화구리(Ⅱ)(CuCl2), 염화철(Ⅲ)(FeCl3) 등, 증점제(thickening agent)로서 폴리에틸렌글리콜(polyethylene glycol, PEG) 계열의 수용성 파우더 등, 소포제(Anti-foam agent)로서 실리콘 오일계 소포제 등이 포함될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니다.For example, the etching paste is polyethylene glycol (thickening agent) as a thickening agent, such as iron (III) nitrate (Fe (NO 3 ) 3 ), copper (II) chloride (CuCl 2 ), iron (III) chloride (FeCl 3 ) as an oxidizing agent ( Water-soluble powders such as polyethylene glycol, PEG), and silicone oil-based antifoaming agents may be included as anti-foam agents. However, it is not limited thereto.

본 발명에서 에칭 수단(400)은 인쇄 수단(300)을 통과한 필름(F)의 제1 면에서 에칭 페이스트가 인쇄된 영역을 직접 에칭하는 역할을 한다.In the present invention, the etching means 400 serves to directly etch the area where the etching paste is printed on the first side of the film F that has passed through the printing means 300.

이 때, 에칭 수단(400)은, 도면에는 도시되지 아니하였으나, 에칭 페이스트의 물성에 따라 열 활성화 또는/및 광 활성화가 가능하도록 복수 개의 활성화 모듈을 포함하여 이루어질 수 있다.At this time, the etching means 400, although not shown in the drawing, may be made of a plurality of activation modules to enable thermal activation and / or light activation according to the physical properties of the etching paste.

구체적으로, 필름(F)에 인쇄된 에칭 페이스트는 광 활성화 물질일 수도 있고, 열 활성화 물질일 수도 있는데, 이와 같은 물성에 따라 활성화 방식이 달라져야 한다.Specifically, the etching paste printed on the film F may be a light-activated material or a heat-activated material, and the activation method should be changed according to the physical properties.

보다 구체적으로, 에칭 페이스트가 광 활성화 물질인 경우에는 IR(적외선), UV(자외선) 등을 조사할 수 있는 광 활성화 모듈이 구비되어야 하고, 에칭 페이스트가 열 활성화 물질인 경우에는 열풍 건조 혹은 핫 플레이트나 열선과 같이 직접 가열을 할 수 있는 열 활성화 모듈이 구비되어야 한다.More specifically, when the etching paste is a light-activating material, a light activation module capable of irradiating IR (infrared), UV (ultraviolet light), etc. must be provided, and when the etching paste is a heat-activating material, hot air drying or hot plate B. A heat activation module capable of direct heating such as a heating wire should be provided.

에칭 수단(400)은 광 활성화 모듈과 열 활성화 모듈이 단독 혹은 복합적으로 모듈화되어 구비될 수 있으며, 이에 따라 에칭 페이스트를 활성화되도록 하여 직하부(直下部)에 위치한 필름(F)의 제1 면 상의 도전성 막을 부식시킴으로써, 에칭 페이스트가 인쇄된 영역을 에칭하여 필름(F)에 직접 패턴을 형성할 수 있다.Etching means 400 may be provided with a light-activating module and a heat-activating module alone or in combination in a modular manner, so that the etching paste is activated to activate the etching paste on the first side of the film F located underneath. By corroding the conductive film, the area on which the etching paste is printed can be etched to form a pattern directly on the film F.

이와 같이, 에칭 페이스트를 이용하여 필름(F) 상에 직접 패턴을 형성하는 경우, 복잡한 세부 공정들이 필요하지 않아 공정 설계 및 장치 구성을 단순화할 수 있으며, 이에 따라 후술되는 세정 수단(600)을 통한 세정 공정에서 발생되는 폐액의 양을 줄일 수 있는 이점이 있다.As described above, when a pattern is directly formed on the film F by using an etching paste, complicated detailed processes are not required, thereby simplifying process design and device configuration, and accordingly, through the cleaning means 600 described below. There is an advantage that can reduce the amount of waste liquid generated in the cleaning process.

한편, 본 발명에서 인쇄 수단(300) 및 에칭 수단(400)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 각각 구성될 수도 있고, 도면에는 도시되지 아니하였으나 하나의 공정 장치 내에 인쇄 공정과 에칭 공정을 수행할 수 있는 인쇄 모듈과 에칭 모듈로 구성될 수도 있다.Meanwhile, in the present invention, the printing means 300 and the etching means 400 may be configured as shown in FIGS. 1 and 2, respectively, and although not shown in the drawings, the printing process and the etching process are performed in one process apparatus. It may be composed of a print module and an etching module that can be performed.

본 발명에서 세정 수단(600)은 에칭 수단(400)을 통과한 필름(F)을 세정하는 역할을 한다.In the present invention, the cleaning means 600 serves to clean the film F that has passed through the etching means 400.

구체적으로, 본 발명에서는 에칭 수단(400)을 통과하여 패턴이 형성된 필름(F)의 제1 면이 후속 공정을 위한 수단이나 기타 기기 등과 접촉하기 이전에 바로 세정 수단(600)으로 진입하여 세정 공정을 거치도록 함으로써, 패턴 형성면이 후속 공정을 위한 수단이나 기타 기기 등과 접촉함에 따른 훼손을 최소화할 수 있다.Specifically, in the present invention, the first surface of the patterned film (F) passing through the etching means 400 enters the cleaning means 600 immediately before contacting the means or other devices for the subsequent process, and the cleaning process By passing through, it is possible to minimize damage caused by the pattern forming surface contacting means or other devices for a subsequent process.

도 4를 참조하면, 세정 수단(610)은 에칭 수단(400)을 통과한 필름(F)에 초음파 진동을 인가하여 초음파 세정하는 제1 세정 모듈(611)과, 상기 제1 세정부를 통과한 필름(F)에 물을 분사하여 세정하는 제2 세정 모듈(612), 그리고 상기 제2 세정부를 통과한 필름(F)을 IPA(Isopropyl alcohol)를 이용하여 세정하는 제3 세정 모듈(613)을 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니다.Referring to FIG. 4, the cleaning means 610 passes through the first cleaning module 611 and ultrasonic cleaning by applying ultrasonic vibration to the film F passing through the etching means 400 and the first cleaning part. A second cleaning module 612 for cleaning by spraying water onto the film F, and a third cleaning module 613 for cleaning the film F passing through the second cleaning part using isopropyl alcohol (IPA) It may be configured to include. However, it is not limited thereto.

도 4에서는, 패턴이 형성된 필름(F)의 제1 면이 이송 롤러에 접촉(즉, 제2 세정 모듈(612) 내에서 접촉)하기 이전에, 제1 세정 모듈(611)에서 필름(F)에 대한 세정 공정을 수행하는 예를 도시하고 있다.In FIG. 4, the film F in the first cleaning module 611 before the first surface of the patterned film F contacts the transfer roller (ie, in the second cleaning module 612). It shows an example of performing a cleaning process for.

본 발명에서 리와인더(700)는 세정 수단(600)을 통과한 필름(F)을 공급받아 연속적으로 감아주는 역할을 한다.In the present invention, the rewinder 700 serves to continuously wind the film F passing through the cleaning means 600.

구체적으로, 리와인더(700)는 공정이 수행되는 필름(F)의 이송 방향에 대하여 종점(終點) 측에 배치될 수 있으며, 전술한 인쇄 수단(300), 에칭 수단(400), 및 세정 수단(600)을 거쳐 이송된 필름(F)이 권취(捲取, rewind)되는 롤이 장착된 롤러의 형태로 형성될 수 있다.Specifically, the rewinder 700 may be disposed on the end point side with respect to the transfer direction of the film F on which the process is performed, and the printing means 300, etching means 400, and cleaning means described above ( The film (F) transferred through the 600) may be formed in the form of a roller on which a roll is wound.

이 때, 도면에는 도시되지 아니하였으나 상기 롤러에는 회전 구동력을 제공하는 롤러 구동부가 연결될 수 있다.At this time, although not shown in the drawing, a roller driving unit providing a rotational driving force may be connected to the roller.

한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(10)은 전술한 언와인더(100), 인쇄 수단(300), 에칭 수단(400), 세정 수단(600), 및 리와인더(700) 외에 언와인더(100)에서 공급된 필름(F)을 지지하는 하나 이상의 이송 롤러(800)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the roll-to-roll etching system 10 according to the first embodiment of the present invention includes the above-described unwinder 100, printing means 300, etching means 400, cleaning means 600, and rewinder 700. ) May further include one or more transfer rollers 800 supporting the film F supplied from the unwinder 100.

여기에서, 이송 롤러(800)는 언와인더(100)와 인쇄 수단(300)의 사이에 구비될 수 있고, 인쇄 수단(300)과 에칭 수단(400)의 사이에 구비될 수도 있으며, 세정 수단(600)과 리와인더(700)의 사이에 구비될 수도 있다. 다만, 에칭 수단(400)을 통과하여 패턴이 형성된 필름(F)의 패턴 형성면이 후속 공정을 위한 수단이나 기타 기기 등과 접촉함에 따른 훼손을 최소화하기 위하여 에칭 수단(400)과 세정 수단(600)의 사이에는 구비되지 않도록 한다.Here, the transfer roller 800 may be provided between the unwinder 100 and the printing means 300, may be provided between the printing means 300 and the etching means 400, and the cleaning means It may be provided between the 600 and the rewinder 700. However, the etching means 400 and the cleaning means 600 in order to minimize damage caused by the pattern forming surface of the film F formed by passing through the etching means 400 in contact with means or other devices for subsequent processes. Do not be provided between.

본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(10)은 여러 공정들이 수행되기 위한 수단들이 통합적으로 형성된 것으로서, 필름(F)이 각각의 공정을 거치는 과정에서 밑으로 쳐지거나 일정 장력이 유지되지 못하는 것을 방지하기 위하여 하나 이상의 이송 롤러(800)가 구비될 수 있다.In the roll-to-roll etching system 10 according to the first embodiment of the present invention, the means for performing various processes are integrally formed, and the film F is struck downward in the course of each process or maintains a constant tension. One or more transfer rollers 800 may be provided to prevent failure.

이 때, 이송 롤러(800)는 필름(F)의 하부 측, 즉, 제 2면이 위치된 방향 측에서 필름(F)을 지지하도록 구성될 수도 있고, 필름(F)의 하부 측 및 상부 측, 즉, 제 1면이 위치된 방향 측과 제 2면이 위치된 방향 측에 모두 구비되어 맞물려 회전하는 한 쌍의 형태로 구성될 수도 있다.At this time, the transport roller 800 may be configured to support the film F on the lower side of the film F, that is, the direction in which the second surface is located, and the lower and upper sides of the film F That is, it may be provided in both the direction side where the first surface is located and the direction side where the second surface is located, and may be configured in a pair of rotating directions.

본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(10)에서 인쇄 수단(300), 에칭 수단(400), 및 세정 수단(600)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 이송 롤러(800)를 통과한 필름(F)의 수평 진행 경로 상에 배치되는데, 특히, 인쇄 수단(300)과 에칭 수단(400)은 필름(F)의 상부 측에 구비되며, 세정 수단(600)은 필름(F)의 하부 측에 구비될 수 있다.In the roll-to-roll etching system 10 according to the first embodiment of the present invention, the printing means 300, the etching means 400, and the cleaning means 600, as shown in Figure 1, the transfer roller 800 Is disposed on the horizontal path of the film (F) passing through, in particular, the printing means 300 and the etching means 400 is provided on the upper side of the film (F), the cleaning means 600 is a film (F ) May be provided on the lower side.

다만, 인쇄 수단(300)은 필름(F)의 상부 측에서 에칭 페이스트를 토출하는 방식으로 이루어지기 때문에 상부 측에 구비되는 것이 일반적이며, 에칭 수단(400)은 IR(적외선), UV(자외선) 등을 조사할 수 있는 광 활성화 모듈의 경우에는 상부 측에 구비되어 IR(적외선), UV(자외선) 등을 조사하는 것이 일반적이지만, 열풍 건조 혹은 핫 플레이트나 열선과 같이 직접 가열을 할 수 있는 열 활성화 모듈의 경우에는 측부나 하부 측에 구비될 수도 있다.However, since the printing means 300 is made by discharging the etching paste from the upper side of the film F, it is generally provided on the upper side, and the etching means 400 is IR (infrared), UV (ultraviolet) In the case of a light activating module capable of irradiating the back, it is generally provided on the upper side to irradiate IR (infrared), UV (ultraviolet), etc., but heat that can be directly heated such as hot air drying or hot plate or hot wire In the case of the activation module, it may be provided on the side or the bottom side.

또한, 세정 수단(600)은 내부에 세정수 등의 용매가 내부에 수용되는 형태일 수 있어, 필름(F)의 하부 측에 배치되는 경우가 일반적이다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, the cleaning means 600 may be in a form in which a solvent such as washing water is accommodated therein, and is generally disposed on the lower side of the film F. However, it is not limited thereto.

이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(10)에 의하면, 연속(continuous) 방식의 롤투롤 에칭 시스템(10)을 구현하되, 에칭 페이스트를 이용하여 인쇄면을 직접 에칭함으로써, 복잡한 세부 공정들이 필요하지 않아 공정 설계 및 장치 구성을 단순화할 수 있고, 발생되는 폐액의 양을 줄일 수 있다.As described above, according to the roll-to-roll etching system 10 according to the first embodiment of the present invention, a continuous-type roll-to-roll etching system 10 is implemented, by directly etching the printing surface using an etching paste. However, complicated detailed processes are not required, which simplifies the process design and device configuration, and reduces the amount of waste liquid generated.

또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(10)에 의하면, 연속(continuous) 방식의 롤투롤 에칭 시스템(10)을 구현하되, 에칭 수단(400)을 통과하여 패턴이 형성된 필름(F)이 후속 공정을 위한 수단이나 기타 기기 등과 접촉하기 이전에 바로 세정 수단(600)으로 진입하여 세정 공정을 거치도록 함으로써, 패턴 형성면이 후속 공정을 위한 수단이나 기타 기기 등과 접촉함에 따른 훼손을 최소화할 수 있다.In addition, according to the roll-to-roll etching system 10 according to the first embodiment of the present invention, a continuous-type roll-to-roll etching system 10 is implemented, but a film is formed by passing through the etching means 400 to form a pattern. (F) The pattern forming surface is damaged by contact with a means for a subsequent process or other devices by entering the cleaning means 600 immediately before contacting the means for a subsequent process or other devices, etc. Can be minimized.

이하, 도 5 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a roll-to-roll etching system according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 8.

본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템은 간헐(stop and go) 방식의 롤투롤 에칭 시스템을 구현할 때 사용될 수 있다.The roll-to-roll etching system according to the second embodiment of the present invention can be used when implementing a roll-to-roll etching system of a stop and go method.

설명의 편의상, 도 1 내지 도 4에 도시된 롤투롤 에칭 시스템과 동일한 구조에 대한 설명은 생략하며, 이하 차이점 만을 위주로 설명하기로 한다.For convenience of description, description of the same structure as the roll-to-roll etching system shown in FIGS. 1 to 4 will be omitted, and only the differences will be mainly described below.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템을 나타낸 단면도이고, 도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에서 인쇄 수단을 나타낸 도면이며, 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템에서 세정 수단을 나타낸 도면이다.5 is a perspective view showing a roll-to-roll etching system according to a second embodiment of the present invention, FIG. 6 is a cross-sectional view showing a roll-to-roll etching system according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a second embodiment of the present invention 8 is a view showing printing means in a roll-to-roll etching system according to an embodiment, and FIG. 8 is a view showing cleaning means in a roll-to-roll etching system according to a second embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(20)은 언와인더(Unwinder)(100), 제1 축적 수단(200), 인쇄 수단(300), 에칭 수단(400), 제2 축적 수단(500), 세정 수단(600), 및 리와인더(Rewinder)(700)를 포함한다.5 and 6, the roll-to-roll etching system 20 according to the second embodiment of the present invention includes an unwinder 100, a first accumulation means 200, a printing means 300, It includes an etching means 400, a second accumulation means 500, a cleaning means 600, and a rewinder 700.

본 발명에서 언와인더(100), 에칭 수단(400), 세정 수단(600), 및 리와인더(700)는 도 1 내지 도 4에 도시된 언와인더(100), 에칭 수단(400), 세정 수단(600), 및 리와인더(700)와 동일하므로 중복 설명은 생략하도록 한다.In the present invention, the unwinder 100, the etching means 400, the cleaning means 600, and the rewinder 700, the unwinder 100 shown in FIGS. 1 to 4, the etching means 400, cleaning Since it is the same as the means 600 and the rewinder 700, redundant description will be omitted.

본 발명에서 인쇄 수단(300)은 도 1 내지 도 4에 도시된 인쇄 수단(300)과 수행하는 역할 측면에서는 동일하나, 도 1 내지 도 4에 도시된 인쇄 수단(300)이 일정한 속도로 연속 인쇄가 가능한 로터리형 스크린 방식을 사용하여 롤투롤 에칭 시스템(10)을 연속(continuous) 방식으로 구현할 수 있는 것과 달리, 일정한 속도로 연속 인쇄가 다소 어려운 평판형 스크린 방식을 사용함으로써 롤투롤 에칭 시스템(20)을 간헐(stop and go) 방식으로 구현하는 차이점이 있다.In the present invention, the printing means 300 is the same in terms of its role as the printing means 300 shown in FIGS. 1 to 4, but the printing means 300 shown in FIGS. 1 to 4 continuously prints at a constant speed. Unlike the roll-to-roll etching system 10 that can be implemented in a continuous manner using a possible rotary screen method, the roll-to-roll etching system 20 can be achieved by using a flat screen method that is somewhat difficult to continuously print at a constant speed. ) Is implemented in a stop and go way.

구체적으로, 인쇄 수단(320)은 도 7에 도시된 바와 같이 평판형 스크린(321), 스크레이퍼(322), 스퀴지(323), 및 백업 롤러(324)를 포함할 수 있다.Specifically, the printing means 320 may include a flat screen 321, a scraper 322, a squeegee 323, and a backup roller 324 as shown in FIG.

보다 구체적으로, 평판형 스크린(321)은 백업 롤러(324)로부터 이격되어 배치되며, 백업 롤러(324)에 의해 지지되는 필름(F) 상에 인쇄 공정을 수행하기 위한 패턴이 형성될 수 있다. 그리고, 스크레이퍼(322)(Scrapper)는 평판형 스크린(321)에 맞닿거나 이격된 상태에서 이동 가능하도록 스퀴지(323)와 인접하여 위치되며, 평판형 스크린(321)에 잉크를 도포할 수 있다. 그리고, 스퀴지(323)(Squeegee)는 평판형 스크린(321)에 맞닿거나 이격된 상태에서 이동 가능하게 배치되며, 평판형 스크린(321)에 도포된 에칭 페이스트를 필름(F)에 전사시켜 인쇄 공정을 수행할 수 있다. 그리고, 백업 롤러(324)는 언와인더(100)로부터 공급된 필름(F)의 일면을 지지하고, 공정을 마친 후 에칭 수단(400)으로 공급되는 필름(F)의 이송을 안내할 수 있다.More specifically, the flat screen 321 is disposed spaced apart from the backup roller 324, and a pattern for performing a printing process may be formed on the film F supported by the backup roller 324. Further, the scraper 322 (Scrapper) is positioned adjacent to the squeegee 323 so as to be movable in contact with or spaced apart from the flat screen 321, and ink may be applied to the flat screen 321. Then, the squeegee 323 (Squeegee) is movably disposed in contact with or spaced apart from the flat screen 321, and transfers the etching paste applied to the flat screen 321 to the film F to print. You can do Then, the backup roller 324 supports one surface of the film F supplied from the unwinder 100, and can guide the transfer of the film F supplied to the etching means 400 after the process is completed. .

도 7에서는 백업 롤러(324)가 수평 방향으로 공급 이송되는 필름(F)의 제2 면을 지지한 상태에서 필름(F)을 이송하고, 평판형 스크린(321)이 필름(F)의 상부에 배치되며, 스크레이퍼(322)와 스퀴지(323)가 평판형 스크린(321)의 상부를 이동하면서 인쇄 공정을 수행하는 것으로 도시하였으나, 평판형 스크린(321), 스크레이퍼(322), 스퀴지(323), 및 백업 롤러(324)의 개수, 위치, 배치 형태 등은 다양하게 설계 변경 가능하다.In FIG. 7, the backup roller 324 transfers the film F in a state in which the second surface of the film F is supplied and transported in the horizontal direction, and the flat screen 321 is attached to the top of the film F. It is arranged, and the scraper 322 and the squeegee 323 are shown as performing the printing process while moving the upper portion of the flat screen 321, the flat screen 321, the scraper 322, the squeegee 323, And the number, position, arrangement type, etc. of the backup roller 324 can be variously changed in design.

또한, 도면에는 도시되지 아니하였으나, 본 발명에서 인쇄 수단(320)의 일 예는 평판형 스크린(321)에 연결되며, 평판형 스크린(321)을 필름(F) 상에서 왕복 구동하도록 하는 평판형 스크린 구동부, 스크레이퍼(322) 및 스퀴지(323)에 각각 연결되며, 스크레이퍼(322) 또는 스퀴지(323)를 평판형 스크린(321)에 맞닿거나 이격된 상태에서 필름(F) 상을 왕복 구동하도록 하는 인쇄 구동부 등을 더 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, although not shown in the drawing, an example of the printing means 320 in the present invention is connected to the flat screen 321, and the flat screen to allow the flat screen 321 to reciprocate on the film F Printing connected to the driving unit, the scraper 322, and the squeegee 323, respectively, so that the scraper 322 or the squeegee 323 abuts on the flat screen 321 or reciprocates the film F while being spaced apart. It may further include a driving unit. However, it is not limited thereto.

다시 도 5 및 도 6을 참조하면, 언와인더(100)는 인쇄 수단(300) 및 에칭 수단(400)에서 인쇄 공정 및 에칭 공정을 수행하는 동안 동안 일정한 공급 속도 V1으로 필름(F)을 연속적으로 풀어주며 공급할 수 있다. 그리고, 인쇄 수단(300) 및 에칭 수단(400)은 언와인더(100)로부터 필름(F)을 공정 속도 V2로 공급받아 이송시키고, 인쇄 공정 및 에칭 공정을 마친 후에는 필름(F)을 이송 속도 V3로 리와인더(700)로 이송시킬 수 있다. 또한, 리와인더(700)는 인쇄 공정 및 에칭 공정을 수행하는 동안 일정한 권취 속도 V4로 필름(F)을 연속적으로 감아줄 수 있다.Referring back to FIGS. 5 and 6, the unwinder 100 applies the film F at a constant feed rate V 1 during the printing process and the etching process in the printing means 300 and the etching means 400. It can be continuously released and supplied. Then, the printing means 300 and the etching means 400 receives and transfers the film F from the unwinder 100 at a process speed V 2 , and then transfers the film F after the printing process and the etching process are completed. It can be transferred to the rewinder 700 at a feed rate V 3 . In addition, the rewinder 700 may continuously wind the film F at a constant winding speed V 4 during the printing process and the etching process.

이 때, 인쇄 수단(320)이 도 7에 도시된 바와 같이 평판형 스크린 방식으로 구성되는 경우, 필름(F)의 공정 속도 V2는 필름(F)의 공급 속도 V1, 필름(F)의 이송 속도 V3보다는 느리고, 필요에 따라 인쇄 공정 및 에칭 공정을 수행할 때에는 필름(F)의 이송을 정지, 즉, 필름(F)의 공정 속도 V2를 0으로 설정할 수도 있다.At this time, when the printing means 320 is configured as a flat screen method as shown in FIG. 7, the process speed V 2 of the film F is the supply speed V 1 of the film F and the film F It is slower than the transfer speed V 3 , and when the printing process and the etching process are performed as necessary, the transfer of the film F may be stopped, that is, the process speed V 2 of the film F may be set to 0.

이와 같이, 언와인더(100)는 일정한 공급 속도 V1으로 필름(F)을 인쇄 수단(300) 및 에칭 수단(400)으로 공급하고, 인쇄 수단(300) 및 에칭 수단(400)은 공정 속도 V2로 필름(F)의 인쇄 공정 및 에칭 공정을 수행하고 이송 속도 V3로 필름(F)을 이송시키므로, 공급 속도 V1, 공정 속도 V2, 이송 속도 V3 간의 속도 차이에 따라 언와인더(100)로부터 공급되는 필름(F)의 이송 및 필름(F)의 장력을 일정하게 유지할 필요가 있다.As such, the unwinder 100 supplies the film F to the printing means 300 and the etching means 400 at a constant supply speed V 1 , and the printing means 300 and the etching means 400 process speed to V 2 to perform the printing process and an etching process of the film (F), and because the transfer film (F) at the feed speed V 3, the feed rate V 1, line speed V 2, unwinder according to the speed difference between the feed speed V 3 It is necessary to keep the transport of the film F supplied from the more 100 and the tension of the film F constant.

또한, 인쇄 수단(300) 및 에칭 수단(400)은 공정 속도 V2로 필름(F)의 인쇄 공정 및 에칭 공정을 수행하고 이송 속도 V3로 필름(F)을 이송시키며, 리와인더(700)는 필름(F)을 일정한 권취 속도 V4로 감아주므로, 공정 속도 V2, 이송 속도 V3, 권취 속도 V4 간의 속도 차이에 따라 리와인더(700)로 공급되는 필름(F)의 이송 및 필름(F)의 장력을 일정하게 유지할 필요가 있다.In addition, the printing means 300 and the etching means 400 performs the printing process and the etching process of the film (F) at a process speed V 2 and transfers the film (F) at a feed rate V 3 , the rewinder 700 is Since the film (F) is wound at a constant winding speed V 4 , the film (F) is transported and the film (F) supplied to the rewinder 700 according to the difference in speed between the process speed V 2 , the transport speed V 3 , and the winding speed V 4 It is necessary to keep the tension of) constant.

이에, 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(20)에서는 제1 축적 수단(200)과 제2 축적 수단(500)을 구비하여, 각각 언와인더(100)와 인쇄 수단(300)의 사이와 에칭 수단(400)과 리와인더(700)의 사이에서 필름(F)의 이송 및 필름(F)의 장력을 일정하게 유지하도록 한다.Accordingly, in the roll-to-roll etching system 20 according to the second embodiment of the present invention, the first accumulating means 200 and the second accumulating means 500 are provided, and the unwinder 100 and the printing means 300, respectively. ) And between the etching means 400 and the rewinder 700 to keep the transport of the film F and the tension of the film F constant.

구체적으로, 본 발명에서 제1 축적 수단(200)은 언와인더(100)와 인쇄 수단(300)의 사이에 구비되고, 언와인더(100)로부터 공급된 필름(F)의 이송을 일정하게 유지하는 역할을 한다.Specifically, in the present invention, the first accumulation means 200 is provided between the unwinder 100 and the printing means 300, and the transport of the film F supplied from the unwinder 100 is constant. It serves to maintain.

도 5 및 도 6을 참조하면, 제1 축적 수단(200)은 언와인더(100)와 인쇄 수단(300)의 사이에서 필름(F)의 이송 및 필름(F)의 장력을 일정하게 유지하기 위한 제1 지지 롤러(210)와 제1 가이드 롤러(220, 230)를 포함하여 구성될 수 있다. 그리고, 도면에는 도시되지 아니하였으나 제1 지지 롤러(210)를 구동시키는 제1 지지 롤러 구동부를 더 포함하여 구성될 수 있다.5 and 6, the first accumulation means 200 maintains the transport of the film F and the tension of the film F constant between the unwinder 100 and the printing means 300 It may be configured to include a first support roller 210 and the first guide roller (220, 230) for. In addition, although not shown in the drawing, the first support roller driving unit for driving the first support roller 210 may be further included.

여기에서, 제1 지지 롤러(210)는 하나 이상이 구비될 수 있고, 제1 방향, 예컨대 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 필름(F)의 이송 방향과 수직한 방향으로 왕복 이동하면서 언와인더(100)로부터 공급된 필름(F)을 당겨서 늦추거나 풀어줄 수 있다.Here, the first support roller 210 may be provided with one or more, the first direction, for example, as shown in FIGS. 5 and 6, while moving reciprocally in a direction perpendicular to the transport direction of the film (F) The film (F) supplied from the winder 100 can be pulled to slow or loosen.

제1 가이드 롤러(220, 230)는 복수 개가 구비될 수 있고, 언와인더(100)와 인쇄 수단(300)의 사이에 위치하여 제1 지지 롤러(210)의 이동에 따른 필름(F)의 이송을 안내할 수 있다.A plurality of first guide rollers 220 and 230 may be provided, and positioned between the unwinder 100 and the printing means 300, so that the film F of the first support roller 210 is moved. You can guide the transfer.

또한, 제1 지지 롤러 구동부는 제1 지지 롤러(210)에 연결되어 제1 지지 롤러(210)를 왕복 구동시키기 위한 공압 실린더나 스테핑 모터(Stepping Motor) 등 다양한 종류의 액츄에이터와, 제1 지지 롤러(210)의 직선 왕복 운동을 안내하기 위한 리니어 모션 가이드(Linear motion guide)로 구성될 수 있다.In addition, the first support roller driving unit is connected to the first support roller 210 and various types of actuators such as a pneumatic cylinder or stepping motor for reciprocating driving of the first support roller 210, and the first support roller It may be configured as a linear motion guide (Linear motion guide) for guiding the linear reciprocating motion of (210).

다만, 도 5 및 도 6에서는 제1 축적 수단(200)이 제1 방향, 예컨대 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 필름(F)의 이송 방향과 수직한 방향으로 왕복 이동하는 제1 지지 롤러(210)와, 상기 제1 지지 롤러(210)를 기준으로 필름(F)의 이송 방향을 따라 양 측에 각각 하나의 제1 가이드 롤러(220, 230)를 포함하는 것으로 도시되었으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 지지 롤러(210)와 제1 가이드 롤러(220, 230)의 개수 및 배치 형태 등은 다양하게 설계 변경 가능하다.However, in FIGS. 5 and 6, the first support roller 200 reciprocates in the first direction, for example, as shown in FIGS. 5 and 6, in a direction perpendicular to the transport direction of the film F. 210 and, based on the first support roller 210, are shown as including one first guide roller 220 and 230 on both sides along the transport direction of the film F, but are not limited thereto. The number and arrangement of the first support rollers 210 and the first guide rollers 220 and 230 can be variously changed in design.

본 발명에서 제2 축적 수단(500)은 에칭 수단(400)과 리와인더(700)의 사이에 구비되며, 에칭 수단(400)을 통과한 필름(F)의 이송을 일정하게 유지하는 역할을 한다.In the present invention, the second accumulation means 500 is provided between the etching means 400 and the rewinder 700, and serves to keep the transport of the film F passing through the etching means 400 constant.

도 5 및 도 6을 참조하면, 제2 축적 수단(500)은 에칭 수단(400)과 리와인더(700)의 사이에서 필름(F)의 이송 및 필름(F)의 장력을 일정하게 유지하기 위한 제2 지지 롤러(510)와 제2 가이드 롤러(520, 530)를 포함하여 구성될 수 있다. 그리고, 도면에는 도시되지 아니하였으나 제2 지지 롤러(510)를 구동시키는 제2 지지 롤러 구동부를 더 포함하여 구성될 수 있다.5 and 6, the second accumulating means 500 is an agent for maintaining the transport of the film F and the tension of the film F constant between the etching means 400 and the rewinder 700. It may be configured to include two support rollers 510 and second guide rollers (520, 530). In addition, although not shown in the drawing, the second support roller driving unit for driving the second support roller 510 may be further included.

여기에서, 제2 지지 롤러(510)는 하나 이상이 구비될 수 있고, 제2 방향, 예컨대 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 필름(F)의 이송 방향과 수직한 방향으로 왕복 이동하면서 언와인더(100)로부터 공급된 필름(F)을 당겨서 늦추거나 풀어줄 수 있다.Here, the second support roller 510 may be provided with one or more, the second direction, for example, as shown in FIGS. 5 and 6, while moving reciprocally in a direction perpendicular to the transport direction of the film (F) The film (F) supplied from the winder 100 can be pulled to slow or loosen.

제2 가이드 롤러(520, 530)는 복수 개가 구비될 수 있고, 에칭 수단(400)과 리와인더(700)의 사이에 위치하여 제1 지지 롤러(210)의 이동에 따른 필름(F)의 이송을 안내할 수 있다.A plurality of second guide rollers 520 and 530 may be provided, and positioned between the etching means 400 and the rewinder 700 to transfer the film F according to the movement of the first support roller 210. I can guide you.

또한, 제2 지지 롤러 구동부는 제2 지지 롤러(510)에 연결되어 제2 지지 롤러(510)를 왕복 구동시키기 위한 공압 실린더나 스테핑 모터(Stepping Motor) 등 다양한 종류의 액츄에이터와, 제1 지지 롤러(210)의 직선 왕복 운동을 안내하기 위한 리니어 모션 가이드(Linear motion guide)로 구성될 수 있다.In addition, the second support roller driving unit is connected to the second support roller 510 and various types of actuators such as a pneumatic cylinder or stepping motor for reciprocating driving of the second support roller 510, and the first support roller It may be configured as a linear motion guide (Linear motion guide) for guiding the linear reciprocating motion of (210).

다만, 도 5 및 도 6에서는 제2 축적 수단(500)이 제2 방향, 예컨대 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 필름(F)의 이송 방향과 수직한 방향으로 왕복 이동하는 제2 지지 롤러(510)와, 상기 제2 지지 롤러(510)를 기준으로 필름(F)의 이송 방향을 따라 양 측에 각각 하나의 제2 가이드 롤러(520, 530)를 포함하는 것으로 도시되었으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 지지 롤러(510)와 제2 가이드 롤러(520, 530)의 개수 및 배치 형태 등은 다양하게 설계 변경 가능하다.However, in FIGS. 5 and 6, the second support roller 500 reciprocates in the second direction, for example, as shown in FIGS. 5 and 6, in the direction perpendicular to the transport direction of the film F. It is shown that the 510 and one second guide roller 520 and 530 are respectively provided on both sides along the transport direction of the film F based on the second support roller 510, but is not limited thereto. The number and arrangement of the second support rollers 510 and the second guide rollers 520 and 530 may be variously changed in design.

또한, 도 5 및 도 6에서는 제1 축적 수단(200)과 제2 축적 수단(500)이 서로 동일한 구조인 것으로 도시되었으나, 제1 축적 수단(200)과 제2 축적 수단(500)은 서로 다른 구조로 구현될 수도 있다.5 and 6, the first accumulation means 200 and the second accumulation means 500 are shown to have the same structure, but the first accumulation means 200 and the second accumulation means 500 are different from each other. It can also be implemented as a structure.

상기와 같이 구성되는 제1 축적 수단(200)과 제2 축적 수단(500)을 이용하여 각각 언와인더(100)와 인쇄 수단(300)의 사이와 에칭 수단(400)과 리와인더(700)의 사이에서 필름(F)의 이송 및 필름(F)의 장력을 일정하게 유지하는 방법은 다음과 같다.By using the first accumulation means 200 and the second accumulation means 500 configured as described above, between the unwinder 100 and the printing means 300 and between the etching means 400 and the rewinder 700, respectively. The method of maintaining the tension of the film F and the conveyance of the film F in between is as follows.

전술한 바와 같이, 인쇄 수단(300)과 에칭 수단(400)을 통해 필름(F)의 인쇄 공정 및 에칭 공정이 수행될 때, 필름(F)의 공정 속도 V2는 필름(F)의 공급 속도 V1과 필름(F)의 권취 속도 V4보다는 느리고, 필요에 따라 필름(F)의 이송을 정지, 즉, 필름(F)의 공정 속도 V2를 0으로 설정할 수도 있다.As described above, when the printing process and the etching process of the film F are performed through the printing means 300 and the etching means 400, the process speed V 2 of the film F is the supply speed of the film F The winding speed of V 1 and the film F is slower than V 4 , and if necessary, the transfer of the film F can be stopped, that is, the process speed V 2 of the film F can be set to 0.

이 경우, 제1 축적 수단(200)의 제1 지지 롤러(210)는 언와인더(100)로부터 공급된 필름(F)의 일부를 인쇄 수단(300)과 에칭 수단(400)으로 보내지 않고 당겨서 늦추기 위해 필름(F)의 이송 방향과 수직한 아래 방향으로 이동할 수 있다.In this case, the first support roller 210 of the first accumulation means 200 pulls a portion of the film F supplied from the unwinder 100 without sending it to the printing means 300 and the etching means 400 In order to slow down, it can be moved in a downward direction perpendicular to the transport direction of the film F.

이와 동시에, 제2 축적 수단(500)의 제2 지지 롤러(510)는 인쇄 수단(300)과 에칭 수단(400)으로부터 공급되지 않는 필름(F)을 보상하기 위하여, 제2 축적 수단(500)의 제2 지지 롤러(510)에 의해 당겨져서 늦춰진 필름(F)을 풀어 리와인더(700)로 공급하기 위해 필름(F)의 이송 방향과 수직한 위 방향으로 이동할 수 있다.At the same time, the second supporting means 500 of the second accumulating means 500, the second accumulating means 500 to compensate for the film F not supplied from the printing means 300 and the etching means 400 To release the slowed film (F) pulled by the second support roller 510 of the film to be supplied to the rewinder 700, the film (F) may be moved upward in a direction perpendicular to the transport direction.

반대로, 인쇄 공정 및 에칭 공정이 완료된 후에는 필름(F)의 이송 속도 V3가 필름(F)의 공급 속도 V1과 필름(F)의 권취 속도 V4보다 빠르거나 동일하도록 하여야 하므로, 제1 축적 수단(200)의 제1 지지 롤러(210)는 필름(F)의 인쇄 공정 및 에칭 공정이 수행될 때 당겨서 늦춰진 필름(F)을 풀어 인쇄 수단(300)과 에칭 수단(400)으로 공급하기 위해 필름(F)의 이송 방향과 수직한 위 방향으로 이동할 수 있다.Conversely, after the printing process and the etching process are completed, the feed rate V 3 of the film F should be equal to or faster than the feed rate V 1 of the film F and the winding speed V 4 of the film F, so the first The first support roller 210 of the accumulation means 200 releases the delayed film F when the printing process and the etching process of the film F are performed, and supplies the delayed film F to the printing means 300 and the etching means 400 In order to be able to move in the upward direction perpendicular to the transport direction of the film (F).

이와 동시에, 제2 축적 수단(500)의 제2 지지 롤러(510)는 인쇄 수단(300)과 에칭 수단(400)으로부터 공급된 필름(F)의 일부를 리와인더(700)로 보내지 않고 당겨서 늦추기 위해 필름(F)의 이송 방향과 수직한 아래 방향으로 이동할 수 있다.At the same time, the second support roller 510 of the second accumulating means 500 pulls a portion of the film F supplied from the printing means 300 and the etching means 400 without sending it to the rewinder 700 to slow it down. It can move in a downward direction perpendicular to the transport direction of the film F.

한편, 제1 축적 수단(200)의 제1 지지 롤러(210)와 제2 축적 수단(500)의 제2 지지 롤러(510)는 각각 언와인더(100)로부터 공급되는 필름(F)과 리와인더(700)로 공급되는 필름(F)에 걸리는 장력을 측정할 수 있다. 예컨대, 제1 지지 롤러(210)와 제2 지지 롤러(510)는 로드 셀(Load cell)을 사용할 수 있다. 로드 셀의 구조와 동작에 대해서는 잘 알려져 있으므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다.On the other hand, the first support roller 210 of the first accumulation means 200 and the second support roller 510 of the second accumulation means 500 are each a film F and a rewinder supplied from the unwinder 100. It is possible to measure the tension applied to the film (F) supplied to (700). For example, a load cell may be used for the first support roller 210 and the second support roller 510. Since the structure and operation of the load cell are well known, detailed description thereof will be omitted.

또한, 언와인더(100)와 리와인더(700)는 각각 제1 지지 롤러(210) 및 제2 지지 롤러(510)의 장력 측정 결과에 따라 인쇄 수단(300)과 에칭 수단(400)으로 공급되는 필름(F)의 풀어주는 속도 또는 인쇄 수단(300)과 에칭 수단(400)으로부터 공급되는 필름(F)의 감아주는 속도를 조절할 수 있다.In addition, the unwinder 100 and the rewinder 700 are supplied to the printing means 300 and the etching means 400 according to the tension measurement results of the first support roller 210 and the second support roller 510, respectively. The unwinding speed of the film F or the winding speed of the film F supplied from the printing means 300 and the etching means 400 may be adjusted.

한편, 본 발명에서는 에칭 수단(400)을 통과하여 패턴이 형성된 필름(F)이 제2 축적 수단(500)과 접촉함에 따른 훼손을 최소화하기 위하여, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 축적 수단(500)을 세정 수단(600)의 내부에 구비함으로써 상기 필름(F)이 제2 축적 수단(500)과 접촉하기 이전에 바로 세정 수단(600)으로 진입하여 세정 공정을 거치도록 함으로써, 패턴 형성면이 제2 축적 수단(500)과 접촉함에 따른 훼손을 최소화할 수 있다.Meanwhile, in the present invention, as shown in FIGS. 5 and 6, in order to minimize damage caused by the pattern F passing through the etching means 400 and the patterned film F contacting the second accumulation means 500, 2 By providing the accumulating means 500 inside the cleaning means 600, the film F enters the cleaning means 600 immediately before contacting the second accumulating means 500 and undergoes a cleaning process. , It is possible to minimize damage caused by the pattern forming surface contacting the second accumulation means 500.

구체적으로, 전술한 바와 같이 세정 수단(620)이 에칭 수단(400)을 통과한 필름(F)에 초음파 진동을 인가하여 초음파 세정하는 제1 세정 모듈(621)과, 상기 제1 세정부를 통과한 필름(F)에 물을 분사하여 세정하는 제2 세정 모듈(622), 그리고 상기 제2 세정부를 통과한 필름(F)을 IPA(Isopropyl alcohol)를 이용하여 세정하는 제3 세정 모듈(623)을 포함하여 구성되는 경우에는, 도 8에 도시된 바와 같이, 에칭 수단(400)을 통과한 필름(F)이 가장 처음으로 진입되는 제1 세정 모듈(621)의 내부에 제2 축적 수단(500)이 구비될 수도 있다.Specifically, as described above, the cleaning means 620 applies ultrasonic vibration to the film F that has passed through the etching means 400 to ultrasonically clean the first cleaning module 621 and passes through the first cleaning part. A second cleaning module 622 for cleaning by spraying water on one film F, and a third cleaning module 623 for cleaning the film F passing through the second cleaning part using isopropyl alcohol (IPA) ), As shown in FIG. 8, the second accumulation means (1) inside the first cleaning module 621 where the film (F) that has passed through the etching means 400 enters first. 500) may be provided.

이 때, 제2 축적 수단(500)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 전체가 세정 수단(600)의 내부에 구비될 수도 있고, 도면에는 도시되지 아니하였으나 그 일부만 세정 수단(600)의 내부에 구비되도록 구성될 수도 있다.At this time, the second accumulation means 500 may be provided entirely inside the cleaning means 600, as shown in FIGS. 5 and 6, although not shown in the drawing, only a part of the cleaning means 600 It may be configured to be provided inside.

구체적으로, 제2 축적 수단(500)은 전술한 바와 같이 하나 이상의 제2 지지 롤러(510)와 복수의 제2 가이드 롤러(520, 530)를 포함하여 구성될 수 있는데, 예컨대 패턴 형성면과 직접적으로 접촉되는 제2 지지 롤러(510)만 세정 수단(600)의 내부에 구성되고, 패턴 형성면의 타면, 즉, 제2 면과 접촉되는 제2 가이드 롤러(520, 530)는 세정 수단(600)의 외부에 구성될 수 있다.Specifically, the second accumulation means 500 may include one or more second support rollers 510 and a plurality of second guide rollers 520 and 530 as described above, for example, directly with a pattern forming surface. Only the second support roller 510 that comes into contact is configured inside the cleaning means 600, and the other surface of the pattern forming surface, that is, the second guide rollers 520 and 530 contacting the second surface are cleaning means 600 ).

이 때, 복수의 제2 가이드 롤러(520, 530) 중 일부 또는 전체에는 필름(F)이 제2 가이드 롤러(520, 530)에 비접촉되도록 제2 가이드 롤러(520, 530)의 표면으로부터 필름(F)을 공기 부양시키는 공기 부양 모듈이 포함될 수 있다. 예컨대, 공기 부양 모듈은 제2 가이드 롤러(520, 530)의 내부 측에서 외부 측에서 기체가 방사되도록 구성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.At this time, some or all of the plurality of second guide rollers 520 and 530 may have a film (F) from the surface of the second guide rollers 520 and 530 such that the film F is not in contact with the second guide rollers 520 and 530. An air flotation module may be included to airlift F). For example, the air flotation module may be configured to radiate gas from the inner side to the outer side of the second guide rollers 520 and 530, but is not limited thereto.

이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(20)에 의하면, 간헐(stop and go) 방식의 롤투롤 에칭 시스템(20)을 구현하되, 에칭 페이스트를 이용하여 인쇄면을 직접 에칭함으로써, 복잡한 세부 공정들이 필요하지 않아 공정 설계 및 장치 구성을 단순화할 수 있고, 발생되는 폐액의 양을 줄일 수 있다.As described above, according to the roll-to-roll etching system 20 according to the second embodiment of the present invention, an intermittent (stop and go) roll-to-roll etching system 20 is implemented, but a printing surface is directly used by using an etching paste. By etching, complicated detailed processes are not required, which simplifies the process design and device configuration, and reduces the amount of waste liquid generated.

또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 롤투롤 에칭 시스템(20)에 의하면, 간헐(stop and go) 방식의 롤투롤 에칭 시스템(20)을 구현하되, 에칭 수단(400)을 통과하여 패턴이 형성된 필름(F)이 후속 공정을 위한 수단이나 기타 기기 등과 접촉하기 이전에 바로 세정 수단(600)으로 진입하여 세정 공정을 거치도록 함으로써, 패턴 형성면이 후속 공정을 위한 수단이나 기타 기기 등과 접촉함에 따른 훼손을 최소화할 수 있다.Further, according to the roll-to-roll etching system 20 according to the second embodiment of the present invention, an intermittent (stop and go) roll-to-roll etching system 20 is implemented, but the pattern passes through the etching means 400. By forming the film (F) directly into the cleaning means 600 and undergoing the cleaning process before contacting the means for subsequent processes or other devices, the pattern forming surface contacts the means or other devices for subsequent processes. Damage can be minimized.

한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.Meanwhile, in the present specification and drawings, preferred embodiments of the present invention have been disclosed, and although specific terms have been used, they are merely used in a general sense to easily describe the technical contents of the present invention and to understand the invention. It is not intended to limit the scope of the invention. It is apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains that other modifications based on the technical spirit of the present invention can be implemented in addition to the embodiments disclosed herein.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10, 20: 롤투롤 에칭 시스템 F: 필름
100: 언와인더 200: 제1 축적 수단
210: 제1 지지 롤러 220, 230: 제1 가이드 롤러
300, 310, 320: 인쇄 수단 311: 로터리형 스크린
312: 카운터 롤러 321: 평판형 스크린
322: 스크레이퍼 323: 스퀴지
324: 백업 롤러 400: 에칭 수단
500: 제2 축적 수단 510: 제2 지지 롤러
520, 530: 제2 가이드 롤러 600, 610, 620: 세정 수단
611, 621: 제1 세정 모듈 612, 622: 제2 세정 모듈
613, 623: 제3 세정 모듈 700: 리와인더
800: 이송 롤러<Explanation of reference numerals for main parts of drawings>
10, 20: roll-to-roll etching system F: film
100: unwinder 200: first accumulation means
210: first support roller 220, 230: first guide roller
300, 310, 320: printing means 311: rotary screen
312: counter roller 321: flat screen
322: scraper 323: squeegee
324: backup roller 400: etching means
500: second storage means 510: second support roller
520, 530: second guide roller 600, 610, 620: cleaning means
611, 621: first cleaning module 612, 622: second cleaning module
613, 623: third cleaning module 700: rewinder
800: transfer roller

Claims (9)

제1 면에 도전성 막이 형성된 필름(Film)을 연속적으로 풀어주는 언와인더(Unwinder);
상기 언와인더에서 공급된 상기 필름의 제1 면에 에칭 페이스트를 인쇄하는 인쇄 수단;
상기 인쇄 수단을 통과한 필름의 제1 면에서 상기 에칭 페이스트가 인쇄된 영역을 직접 에칭하는 에칭 수단;
상기 에칭 수단을 통과한 필름을 세정하는 세정 수단; 및
상기 세정 수단을 통과한 필름을 공급받아 연속적으로 감아주는 리와인더(Rewinder)를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템.An unwinder that continuously releases a film on which a conductive film is formed on the first surface;
Printing means for printing an etching paste on the first side of the film supplied from the unwinder;
Etching means for directly etching an area where the etching paste is printed on a first side of the film that has passed through the printing means;
Cleaning means for cleaning the film that has passed through the etching means; And
A roll-to-roll etching system comprising a rewinder continuously receiving and receiving a film that has passed through the cleaning means. 제 1 항에 있어서,
상기 에칭 수단은 상기 에칭 페이스트를 활성화하여 상기 에칭 페이스트에 의해 상기 에칭 페이스트가 인쇄된 영역의 상기 도전성 막을 부식시킴으로써, 상기 에칭 페이스트가 인쇄된 영역을 직접 에칭하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템.According to claim 1,
The etching means activates the etching paste and corrodes the conductive film in an area where the etching paste is printed by the etching paste, thereby directly etching the area where the etching paste is printed. 제 2 항에 있어서,
상기 롤투롤 에칭 시스템은 연속(continuous) 방식 및 간헐(stop and go) 방식 중 적어도 하나가 적용된 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템.According to claim 2,
The roll-to-roll etching system is a roll-to-roll etching system, characterized in that at least one of a continuous (continuous) and intermittent (stop and go) method is applied. 제 3 항에 있어서,
상기 롤투롤 에칭 시스템은,
상기 언와인더와 상기 인쇄 수단의 사이에 구비되며, 상기 언와인더로부터 공급된 필름의 이송 경로를 연장하여 상기 필름을 축적하는 제1 축적 수단; 및
상기 에칭 수단과 상기 리와인더의 사이에 구비되며, 상기 에칭 수단을 통과한 필름의 이송 경로를 연장하여 상기 필름을 축적하는 제2 축적 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템.The method of claim 3,
The roll-to-roll etching system,
First accumulation means provided between the unwinder and the printing means, and accumulating the film by extending a transport path of the film supplied from the unwinder; And
It is provided between the etching means and the rewinder, the roll-to-roll etching system further comprises a second accumulation means for accumulating the film by extending the transport path of the film passing through the etching means. 제 4 항에 있어서,
상기 제1 축적 수단은,
상기 인쇄 수단에서 상기 인쇄 공정이 수행되는지의 여부에 따라 제1 방향을 따라 왕복 이동하면서 상기 언와인더로부터 공급된 필름을 당겨서 늦추거나 풀어주는 하나 이상의 제1 지지 롤러; 및
상기 언와인더와 상기 인쇄 수단의 사이에 위치하며, 상기 제1 지지 롤러의 이동에 따라 상기 필름의 이송을 안내하는 복수의 제1 가이드 롤러를 포함하고,
상기 제2 축적 수단은,
상기 인쇄 수단에서 상기 인쇄 공정이 수행되는지의 여부에 따라 제2 방향을 따라 왕복 이동하면서 상기 언와인더로부터 공급된 필름을 당겨서 늦추거나 풀어주는 하나 이상의 제2 지지 롤러; 및
상기 인쇄 수단과 상기 리와인더의 사이에 위치하며, 상기 제2 지지 롤러의 이동에 따라 상기 필름의 이송을 안내하는 복수의 제2 가이드 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템.The method of claim 4,
The first storage means,
One or more first support rollers for pulling and slowing or releasing the film supplied from the unwinder while reciprocating along the first direction depending on whether the printing process is performed by the printing means; And
Located between the unwinder and the printing means, and includes a plurality of first guide rollers for guiding the transfer of the film according to the movement of the first support roller,
The second storage means,
At least one second support roller for pulling and slowing or releasing the film supplied from the unwinder while reciprocating along a second direction depending on whether the printing process is performed by the printing means; And
And a plurality of second guide rollers positioned between the printing means and the rewinder and guiding the transfer of the film according to the movement of the second support roller. 제 4 항에 있어서,
상기 제2 축적 수단은 상기 에칭 수단을 통과한 필름이 상기 제2 축적 수단에 비접촉되도록 상기 세정 수단 내에 구비되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템.The method of claim 4,
And the second accumulation means is provided in the cleaning means so that the film passing through the etching means is not in contact with the second accumulation means. 제 5 항에 있어서,
상기 제2 가이드 롤러는,
상기 에칭 수단을 통과한 필름이 상기 제2 가이드 롤러에 비접촉되도록 상기 제2 가이드 롤러의 표면으로부터 상기 필름을 공기 부양시키는 공기 부양 모듈을 포함하고,
상기 제2 지지 롤러는 상기 세정 수단 내에 구비되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템.The method of claim 5,
The second guide roller,
And an air flotation module that air-lifts the film from the surface of the second guide roller so that the film passing through the etching means is not in contact with the second guide roller,
The second support roller is roll-to-roll etching system, characterized in that provided in the cleaning means. 제 6 항에 있어서,
상기 세정 수단은,
상기 에칭 수단을 통과한 필름에 초음파 진동을 인가하여 초음파 세정하는 제1 세정 모듈;
상기 제1 세정부를 통과한 필름에 물을 분사하여 세정하는 제2 세정 모듈; 및
상기 제2 세정부를 통과한 필름을 IPA(Isopropyl alcohol)를 이용하여 세정하는 제3 세정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템.The method of claim 6,
The cleaning means,
A first cleaning module for ultrasonic cleaning by applying ultrasonic vibration to the film that has passed through the etching means;
A second cleaning module that sprays and cleans the film that has passed through the first cleaning part; And
And a third cleaning module for cleaning the film that has passed through the second cleaning unit using IPA (Isopropyl alcohol). 제 8 항에 있어서,
상기 제2 축적 수단은 상기 제1 세정 모듈 내에 구비되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 에칭 시스템.The method of claim 8,
And the second accumulation means is provided in the first cleaning module.
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