KR20190104083A - Imprinting apparatus and method of imprinting using the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an imprinting apparatus for preventing peeling between a substrate and a flexible film, and to an imprinting method using the same, wherein the imprinting apparatus comprises: a roll-to-roll unit for winding or rewinding the flexible film; a substrate disposed to face the roll-to-roll unit; a stage including a main stage for supporting the substrate; a step compensation unit disposed on the stage; a stamping pressurizing unit disposed to face the stage and pressurizing the flexible film and the substrate; and a fixed unit disposed to face the step compensation unit with the flexible film therebetween.

Description

임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법{IMPRINTING APPARATUS AND METHOD OF IMPRINTING USING THE SAME}Imprinting apparatus and imprinting method using the same {IMPRINTING APPARATUS AND METHOD OF IMPRINTING USING THE SAME}

본 발명은 임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an imprinting apparatus and an imprinting method using the same.

미세 패터닝 기술로, 포토리소그래피(photolithography), 레이저 간섭 노광(Laser interference lithography), 스캐닝 프로브 리소그래피(Scanning Probe Lithography, SPL), 전자빔 리소그래피(E-beam lithography), 나노 임프린트(Nano imprint) 등의 기술이 있다.Fine patterning techniques include photolithography, laser interference lithography, scanning probe lithography (SPL), electron beam lithography, and nano imprint. have.

빛을 이용하는 포토리소그래피는 빛의 회절 한계가 존재하며, 스캐닝 프로브 리소그래피(Scanning Probe Lithography, SPL)와 전자빔 리소그래피는 포인트 스캐닝(point scanning) 방식으로 넓은 면적에 패턴을 만들기 위해서는 긴 시간이 소요된다. 반면에, 나노 임프린트는 높은 처리율(high-throughput) 및 높은 정밀도(high-resolution)를 구현할 가장 유망한 기술로 촉망받고 있다.Photolithography using light has a diffraction limit of light, and scanning probe lithography (SPL) and electron beam lithography require a long time to create a pattern on a large area by point scanning. Nanoimprints, on the other hand, are promising as the most promising technologies to achieve high-throughput and high-resolution.

다만, 나노 임프린트는 물리적인 접촉기반의 공정이므로 접촉면이 넓어질 경우 기판과 스탬프가 모두 완벽한 평면이 아니므로 표면상의 굴곡이나 결함을 가질 수 있고, 따라서 기판과 스탬프를 완벽하게 평행하도록 유지하기 어렵다. 이는 불균일한 잔류막(residual layer)으로 후속 공정에 영향을 미치게 되고, 일반적으로 스탬프와 기판은 서로 다른 열팽창 계수(thermal expansion coefficient)를 가지기 때문에, 임프린트 공정 중에 발생한 열로 인해 스탬프와 기판의 치수가 각각 변하게 되며 이는 대면적의 경우 기판과 스탬프의 박리를 유발시키게 된다.However, since the nanoimprint is a physical contact-based process, when the contact surface is wide, both the substrate and the stamp are not perfect planes, so they may have curvature or defects on the surface, and thus it is difficult to keep the substrate and the stamp perfectly parallel. This is a non-uniform residual layer that affects subsequent processes. In general, stamps and substrates have different thermal expansion coefficients, so the dimensions of the stamp and substrate are different due to the heat generated during the imprint process. This will cause the large area to peel off the substrate and the stamp.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 임프린트 공정 중에 발생하는 패터닝 불량을 개선할 수 있는 임플린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide an imprinting apparatus and an imprinting method using the same that can improve the patterning defects generated during the imprint process.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 임프린팅 장치는, 플렉서블 필름을 와인딩 또는 리와인딩하는 롤투롤 유닛; 롤투롤 유닛과 대향하여 배치되는 기판; 기판을 지지하는 메인 스테이지를 포함하는 스테이지; 스테이지 상에 배치된 단차 보상 유닛; 스테이지와 대향하여 배치되고 플렉서블 필름 및 기판을 가압하는 스탬핑 가압 유닛; 및 플렉서블 필름을 사이에 두고 단차 보상 유닛과 대향하여 배치된 고정 유닛;을 포함한다.Imprinting apparatus according to the present invention for achieving the above object, a roll-to-roll unit for winding or rewinding the flexible film; A substrate disposed to face the roll-to-roll unit; A stage including a main stage for supporting a substrate; A step compensation unit disposed on the stage; A stamping pressing unit disposed opposite the stage and pressurizing the flexible film and the substrate; And a fixed unit disposed to face the step compensation unit with the flexible film therebetween.

단차 보상 유닛은 기판과 동일한 두께를 가질 수 있다.The step compensation unit may have the same thickness as the substrate.

단차 보상 유닛은 메인 스테이지 상에 배치될 수 있다.The step compensation unit may be disposed on the main stage.

롤투롤 유닛은, 플렉서블 필름이 감긴 기판공급 롤부 및기 플렉서블 필름이 감기고 기판공급 롤부와 대향하여 배치된 기판회수 롤부를 포함하고, 단차 보상 유닛은, 기판과 기판공급 롤부 사이에 배치된 제1 단차 보상 유닛 및 기판과 기판회수 롤부 사이에 배치된 제2 단차 보상 유닛을 포함할 수 있다.The roll-to-roll unit includes a substrate supply roll portion on which the flexible film is wound and a substrate recovery roll portion on which the flexible film is wound and disposed to face the substrate supply roll portion, and the step difference compensation unit includes a first step compensation disposed between the substrate and the substrate supply roll portion It may include a unit and a second step compensation unit disposed between the substrate and the substrate recovery roll portion.

고정 유닛은 제1 단차 보상 유닛 및 제2 단차 보상 유닛과 각각 대향하여 배치될 수 있다.The fixed unit may be disposed to face the first step compensation unit and the second step compensation unit, respectively.

제1 단차 보상 유닛은 기판의 한 측면 또는 기판의 한 측면과 대향하는 다른 한 측면 중 적어도 하나와 접촉할 수 있다.The first step compensation unit may be in contact with at least one of one side of the substrate or the other side opposite to one side of the substrate.

메인 스테이지의 측면에 배치된 구동 스테이지를 더 포함하고, 단차 보상 유닛은 구동 스테이지 상에 배치될 수 있다.The driving stage may further include a driving stage disposed on the side of the main stage, and the step compensation unit may be disposed on the driving stage.

구동 스테이지는 메인 스테이지에 대하여 상대적으로 이동 가능할 수 있다.The drive stage may be movable relative to the main stage.

메인 스테이지는 기판과 동일한 폭을 가질 수 있다.The main stage may have the same width as the substrate.

메인 스테이지는 기판보다 큰 폭을 가질 수 있다.The main stage may have a larger width than the substrate.

단차 보상 유닛은 구동 스테이지보다 큰 폭을 가질 수 있다.The step compensation unit may have a larger width than the driving stage.

단차 보상 유닛은 메인 스테이지 및 구동 스테이지의 적어도 일부와 중첩할 수 있다.The step compensation unit may overlap at least part of the main stage and the driving stage.

단차 보상 유닛은 고분자 화합물(Polymer), 금속(Metal) 및 글래스(Glass) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The step compensation unit may include any one of a polymer, a metal, and a glass.

단차 보상 유닛은 점착 패드(Sticky Pad), 점착 시트(Gecko Sheet), 진공 척(Vaccum Chuck), 다공질 척(Porous Chuck) 및 정전 척(Electro Static Chuck)중 어느 하나일 수 있다. The step compensation unit may be any one of a sticky pad, a sticky sheet, a vacuum chuck, a porous chuck, and an electrostatic chuck.

기판은 요철로 이루어진 패턴을 포함할 수 있다. The substrate may include a pattern made of irregularities.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 임프린팅 장치를 이용한임프린팅 방법은, 스테이지 상에 레진이 코팅된 기판이 배치되는 단계; 고정 유닛이 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계;스탬핑 가압 유닛이 단차 보상 유닛과 인접한 기판의 한 단부에서 한 단부와 대향하는 다른 한 단부를 향해 이동하며 플렉서블 필름을 상기 레진이 코팅된 기판에 접촉시키는 단계; 및 스테이지 상에 배치된 UV 램프가 서로 접촉하고 있는 플렉서블 필름 및 레진이 코팅된 기판에 자외선을 조사하는 단계;를 포함한다.Imprinting method using an imprinting apparatus according to the present invention for achieving the above object, the step of placing a resin-coated substrate on the stage; Contacting the flexible film to a step compensating unit, wherein the fixing unit is disposed adjacent to the substrate; the stamping pressing unit moves from one end of the substrate adjacent the step compensating unit toward the other end opposite to the one end and moving the flexible film to Contacting the resin-coated substrate; And irradiating ultraviolet rays to the flexible film and the resin-coated substrate to which the UV lamp disposed on the stage is in contact with each other.

단차 보상 유닛은, 메인 스테이지의 한 단부 상에 배치된 제1 단차 보상 유닛, 및 메인 스테이지의 한 단부와 대향하는 다른 한 단부 상에 배치된 제2 단차 보상 유닛을 포함할 수 있다.The step compensation unit may include a first step compensation unit disposed on one end of the main stage, and a second step compensation unit disposed on the other end opposite to one end of the main stage.

고정 유닛이 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계는 고정 유닛이 제1 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계를 포함할 수 있다.The contacting of the flexible film to the step compensation unit with the fixing unit disposed adjacent to the substrate may include contacting the flexible film to the first step compensation unit.

스테이지 상에 배치된 UV 램프가 서로 접촉하고 있는 플렉서블 필름 및 상기 레진이 코팅된 기판에 자외선을 조사하는 단계는, 고정 유닛이 제2 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계를 포함할 수 있다.The irradiating ultraviolet rays to the flexible film and the resin-coated substrate, wherein the UV lamps disposed on the stage are in contact with each other, may include the fixing unit contacting the flexible film to the second step compensation unit.

고정 유닛이 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계 전, 단차 보상 유닛을 이동시켜 기판의 측면에 접촉시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.Before the fixing unit contacts the flexible film to the step compensating unit disposed adjacent to the substrate, moving the step compensating unit to contact the side surface of the substrate.

본 발명의 일 실시에에 따른 임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법은 임프린팅 공정 중에 발생하는 패터닝 불량을 개선할 수 있다.An imprinting apparatus and an imprinting method using the same according to an embodiment of the present invention may improve a patterning defect occurring during an imprinting process.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.1 is a schematic diagram of an imprinting apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged schematic view of an imprinting apparatus according to an embodiment of the present invention.
3A to 3C are views for explaining an imprinting method using an imprinting apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is an enlarged schematic view of the imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention.
5A to 5C are views for explaining an imprinting method using an imprinting apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention.
6A and 6B are enlarged schematic views of an imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention.
7A and 7B are enlarged schematic views of an imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and the general knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims. Thus, in some embodiments, well known process steps, well known device structures and well known techniques are not described in detail in order to avoid obscuring the present invention. Like reference numerals refer to like elements throughout.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 아래에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on" another part, this includes not only the other part being "right over" but also another part in the middle. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle. In addition, when a part of a layer, film, region, plate, etc. is "below" another part, this includes not only the case where another part is "just below" but also another part in the middle. In contrast, when a part is "just below" another part, there is no other part in the middle.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)"등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.The spatially relative terms " below ", " beneath ", " lower ", " above ", " upper " It may be used to easily describe the correlation of a device or components with other devices or components. Spatially relative terms are to be understood as including terms in different directions of the device in use or operation in addition to the directions shown in the figures. For example, when flipping a device shown in the figure, a device described as "below" or "beneath" of another device may be placed "above" of another device. Thus, the exemplary term "below" can encompass both an orientation of above and below. The device can also be oriented in other directions, so that spatially relative terms can be interpreted according to orientation.

본 명세서에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 전기적으로 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 그에 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In the present specification, when a part is connected to another part, this includes not only a case in which the part is directly connected, but also a case in which another part is electrically connected in between. In addition, when a part includes a certain component, this means that it may further include other components, without excluding other components, unless specifically stated otherwise.

본 명세서에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제 1 구성 요소가 제 2 또는 제 3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제 2 또는 제 3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.The terms first, second, third, etc. may be used herein to describe various components, but such components are not limited by the terms. The terms are used to distinguish one component from other components. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second or third component, and similarly, the second or third component may be alternatively named.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in the present specification may be used in a sense that can be commonly understood by those skilled in the art. In addition, the terms defined in the commonly used dictionaries are not ideally or excessively interpreted unless they are specifically defined clearly.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.1 is a schematic diagram of an imprinting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged schematic diagram of an imprinting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 임프린팅 장치(1)는, 롤투롤 유닛(100) 스테이지(200), 단차 보상 유닛(221, 222), 스탬핑 가압유닛(300), 코팅유닛(400), UV 램프(도 3c의 500) 및 고정 유닛(600)을 포함한다. Referring to FIG. 1, the imprinting apparatus 1 according to the present embodiment includes a roll-to-roll unit 100, a stage 200, a step compensation unit 221 and 222, a stamping pressurizing unit 300, and a coating unit 400. ), A UV lamp (500 in FIG. 3C) and a fixing unit 600.

도 1을 참조하면, 롤투롤 유닛(100)은 기판공급 롤부(110), 기판회수 롤부(120), 이격지지부(130), 인피드 롤모듈(140), 아웃피드 롤모듈(150), 복귀 지지모듈(160) 및 보호필름 제거부(170)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the roll-to-roll unit 100 includes a substrate supply roll unit 110, a substrate recovery roll unit 120, a spaced support unit 130, an infeed roll module 140, an outfeed roll module 150, and a return. The support module 160 and the protective film removing unit 170 are included.

플렉서블 필름(f)은 PC(poly carbonate), PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthalene), PI(polyimde) 등의 고분자 필름이거나 얇은 유리(thin glass), 또는 금속 등의 물질일 수 있다. 또한, 플렉서블 필름(f) 상에 SiOx, SiNx의 무기 박막 또는 보호필름(P)이 배치될 수 있다.The flexible film f may be a polymer film such as polycarbonate (PC), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalene (PEN), polyimde (PI), or a material such as thin glass or metal. In addition, an inorganic thin film of SiOx, SiNx or a protective film P may be disposed on the flexible film f.

기판공급 롤부(110)는 와인딩 롤(111) 및 와인딩 롤(111)을 회전시킬 수 있는 와인딩 회전축(112)을 포함한다. 와인딩 회전축(112)에는 회전력이 적용될 수 있다.The substrate supply roll unit 110 includes a winding roll 111 and a winding rotation shaft 112 capable of rotating the winding roll 111. A rotating force may be applied to the winding rotation shaft 112.

기판회수 롤부(120)는 전술한 기판공급 롤부(110)와 대향하여 배치될 수 있다.The substrate recovery roll unit 120 may be disposed to face the substrate supply roll unit 110 described above.

기판회수 롤부(120)는 리와인딩 롤(121)과, 리와인딩 롤(121)을 회전시킬 수 있는 리와인딩 회전축(122)을 포함한다. 리와인딩 회전축(122)에는 회전력이 적용될 수 있다. 이에 따라, 플렉서블 필름(f)은 기판공급 롤부(110)로부터 풀리어 기판회수 롤부(120)에 감기면서 일정 구간씩 이동 가능하며, 플렉서블 필름(f)의 와인딩 경로에는 이격지지부(130), 스테이지(200) 및 스탬핑 가압유닛(300)이 배치된다.The substrate recovery roll unit 120 includes a rewinding roll 121 and a rewinding rotation shaft 122 capable of rotating the rewinding roll 121. Rotation force may be applied to the rewinding rotation shaft 122. Accordingly, the flexible film f is movable from the substrate supply roll 110 to the pulley substrate recovery roll 120 by a predetermined section, and is spaced apart from the support path 130 and the stage in the winding path of the flexible film f. 200 and stamping pressurizing unit 300 is disposed.

이격지지부(130)는 기판공급 롤부(110) 및 기판회수 롤부(120) 사이에 배치된 플렉서블 필름(f)을 기판(i)과 이격하여 배치한다.The spaced support part 130 may arrange the flexible film f disposed between the substrate supply roll 110 and the substrate recovery roll 120 to be spaced apart from the substrate i.

인피드 롤모듈(140)은 기판공급 롤부(110)와 스테이지(200) 사이에 배치된다. 인피드 롤모듈(140)은 플렉서블 필름(f)을 기판(i)으로부터 이격시킬 수 있도록 배치된다.The infeed roll module 140 is disposed between the substrate supply roll unit 110 and the stage 200. The infeed roll module 140 is disposed to separate the flexible film f from the substrate i.

인피드 롤모듈(140)은 회전 가능한 상부롤러(141)와 하부롤러(142)를 포함한다. 상부롤러(141)와 하부롤러(142)의 표면에는 플렉서블 필름(f)의 이동을 방지하기 위해 마찰 패드와 같은 미끄럼 방지 요소가 배치될 수 있다. 인피드 롤모듈(140)은 기판공급 롤부(110)로부터 인피드 롤모듈(140)까지의 장력과 인피드 롤모듈(140) 이후의 장력을 분리한다. 이에 따라, 플렉서블 필름(f)은 상부롤러(141)와 하부롤러(142) 사이에 배치되어 기판공급 롤부(110) 측으로 역방향의 이동이 제한되는 상태에서 스테이지(200) 측 방향으로 이동이 허용되어 스테이지(200) 측으로 이동될 수 있다.The infeed roll module 140 includes a rotatable upper roller 141 and a lower roller 142. On the surfaces of the upper roller 141 and the lower roller 142, a non-slip element such as a friction pad may be disposed to prevent the movement of the flexible film f. The infeed roll module 140 separates the tension from the substrate feed roll unit 110 to the infeed roll module 140 and the tension after the infeed roll module 140. Accordingly, the flexible film f is disposed between the upper roller 141 and the lower roller 142 to allow movement in the direction of the stage 200 in a state in which the movement in the reverse direction to the substrate supply roll part 110 is restricted. It may be moved to the stage 200 side.

아웃피드 롤모듈(150)은 인피드 롤모듈(140)에서부터 아웃피드 롤모듈(150)까지의 장력을 유지한다. 스테이지(200)가 정지한 상태에서 스탬핑 가압유닛(300)의 가압롤러(311)가 x 방향으로 움직이게 되면, 인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이에서 플렉서블 필름(f)의 장력이 변하게 된다. The outfeed roll module 150 maintains the tension from the infeed roll module 140 to the outfeed roll module 150. When the pressure roller 311 of the stamping pressing unit 300 moves in the x direction while the stage 200 is stopped, the flexible film f is provided between the infeed roll module 140 and the outfeed roll module 150. Will change the tension.

아웃피드 롤모듈(150)은 제1 이격지지롤러(151), 제1 이격지지롤러(151)와 플렉서블 필름(f)을 사이에 두고 배치된 제2 이격지지롤러(152) 및 이동을 위한 동력을 제공할 수 있는 롤러 구동부(153)를 포함한다.The outfeed roll module 150 includes a first spaced support roller 151, a second spaced support roller 151, and a second spaced support roller 152 disposed between the flexible film f and a power for movement. It includes a roller drive unit 153 that can provide.

제1 이격지지롤러(151)는 플렉서블 필름(f)의 상면을 지지한다. 스탬핑 가압유닛(300)의 가압롤러(311)의 움직임에 따라 θ 방향으로 회전 구동하여 공정 구간인 인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이의 장력을 일정하게 유지시킨다. 구체적으로, 제1 이격지지롤러(151)는 플렉서블 필름(f)에 대해 일정한 장력이 유지되도록 θ 방향으로 회전될 수 있다.The first spaced support roller 151 supports the upper surface of the flexible film f. In accordance with the movement of the pressing roller 311 of the stamping pressing unit 300 is rotated in the θ direction to maintain a constant tension between the infeed roll module 140 and the outfeed roll module 150 which is a process section. Specifically, the first spaced apart support roller 151 may be rotated in the θ direction to maintain a constant tension with respect to the flexible film (f).

제2 이격지지롤러(152)는 이동을 위한 동력을 제공할 수 있는 롤러 구동부(153)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 롤러 구동부(153)는 공압 실린더일 수 있다.The second spaced support roller 152 may be connected to the roller driver 153 that can provide power for movement. For example, the roller driver 153 may be a pneumatic cylinder.

제2 이격지지롤러(152)는 제1 이격지지롤러(151)와 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 플렉서블 필름(f)의 스탬핑 패턴이 제2 이격지지롤러(152)에 접촉되지 않은 상태로 플렉서블 필름(f)을 기판회수 롤부(120) 측으로 이동시키고자 하는 경우, 제2 이격지지롤러(152)는 제1 이격지지롤러(151)부터 이격되어 배치될 수 있다.The second spaced support roller 152 may be spaced apart from the first spaced support roller 151. For example, when the flexible film f is to be moved to the substrate recovery roll part 120 without the stamping pattern of the flexible film f being in contact with the second spaced support roller 152, the second spaced support The roller 152 may be spaced apart from the first spaced apart support roller 151.

인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이에는 장력을 측정하는 장치가 배치될 수 있다. 예를 들어, 측정된 장력은 아웃피드 롤모듈(150)의 구동을 위한 피드백 신호로 활용될 수 있다.An apparatus for measuring tension may be disposed between the infeed roll module 140 and the outfeed roll module 150. For example, the measured tension may be used as a feedback signal for driving the outfeed roll module 150.

복귀 지지모듈(160)은 필요한 플렉서블 필름(f)을 저장하고 있다가 플렉서블 필름(f)이 가압롤러(311)에 의해 기판(i)으로 가압되는 동안 플렉서블 필름(f)을 공급해주는 역할을 한다. 복귀 지지모듈(160)은 가압에 의해 상하 이동이 가능한 복귀지지롤러(161)와, 복귀지지롤러(161)에 인접하게 배치된 복수의 지지안내롤러(162)와, 복귀지지롤러(161)에 결합되어 복귀지지롤러(161)를 복귀시킬 수 있는 탄성력을 제공하는 탄성부재(163)를 포함할 수 있다.The return support module 160 stores the necessary flexible film f and supplies the flexible film f while the flexible film f is pressed onto the substrate i by the pressure roller 311. . The return support module 160 includes a return support roller 161 capable of vertical movement by pressing, a plurality of support guide rollers 162 disposed adjacent to the return support roller 161, and a return support roller 161. It may include an elastic member 163 coupled to provide an elastic force capable of returning the return support roller 161.

플렉서블 필름(f)이 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 가압될 때, 플렉서블 필름(f)의 일부 영역이 역 방향으로 즉 스테이지(200) 측으로 이동될 수 있다. 플렉서블 필름(f)의 일부 영역이 스테이지(200) 측으로 이동될 때, 플렉서블 필름(f)의 다른 영역이 복귀지지롤러(161)에 의해 탄성력이 적용된다. 이에 따라, 플렉서블 필름(f)에 대한 스탬핑 가압유닛(300)의 가압이 해제되면, 탄성부재(163)에 의해 플렉서블 필름(f)의 이동된 일부 영역이 원래 상태로 복귀될 수 있다.When the flexible film f is pressed by the stamping pressing unit 300, some regions of the flexible film f may be moved in the reverse direction, that is, toward the stage 200. When a portion of the flexible film f is moved to the stage 200 side, an elastic force is applied to the other region of the flexible film f by the return support roller 161. Accordingly, when the pressing of the stamping pressing unit 300 against the flexible film f is released, the moved partial region of the flexible film f may be returned to its original state by the elastic member 163.

탄성부재(163)는 복귀지지롤러(161)의 하부에 연결되고, 코일 스프링일 수 있다. 다만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며, 탄성부재(163)는 복귀지지롤러(161)의 상부에도 연결될 수 있고, 탄성부재(163)는 코일 스프링 외에 복귀지지롤러(161)에 대한 복귀력을 제공할 수 있는 액츄에이터(미도시)에 연결될 수 있다.The elastic member 163 is connected to the lower portion of the return support roller 161, it may be a coil spring. However, the scope of the present invention is not limited thereto, and the elastic member 163 may be connected to the upper portion of the return support roller 161, and the elastic member 163 may return to the return support roller 161 in addition to the coil spring. It may be connected to an actuator (not shown) capable of providing a force.

복수의 지지안내롤러(162)는 복귀지지롤러(161)의 양측에 동일한 레벨로 한 쌍이 배치될 수 있다. 예를 들어, 플렉서블 필름(f)은 아웃피드 롤모듈(150)을 거쳐 앞쪽에 배치된 지지안내롤러(162)에 감긴 후 복귀지지롤러(161)에 반대로 감기어 다시 뒤쪽에 배치된 지지안내롤러(162)에 감긴 상태로, 기판회수 롤부(120) 측으로 이동될 수 있다.The plurality of support guide rollers 162 may be disposed at the same level on both sides of the return support roller 161. For example, the flexible film f is wound around the support guide roller 162 disposed in the front via the outfeed roll module 150, and then wound around the return support roller 161, and then supported by the support guide roller. In the state wound around 162, the substrate recovery roll unit 120 may be moved toward the substrate recovery roll unit 120.

아웃피드 롤모듈(150)과 복귀 지지모듈(160)은 플렉서블 필름(f)을 스테이지(200)의 기판(i)과 이격되도록 기판회수 롤부(120)와 스테이지(200) 사이에 배치된다. 아웃피드 롤모듈(150)은 인피드 롤모듈(140)보다 높은 위치에 배치되어, 플렉서블 필름(f)이 인피드 롤모듈(140)보다 높은 위치에 배치된다.The outfeed roll module 150 and the return support module 160 are disposed between the substrate recovery roll part 120 and the stage 200 so that the flexible film f is spaced apart from the substrate i of the stage 200. The outfeed roll module 150 is disposed at a higher position than the infeed roll module 140, so that the flexible film f is disposed at a higher position than the infeed roll module 140.

이에 따라, 플렉서블 필름(f)은 인피드 롤모듈(140)로부터 아웃피드 롤모듈(150)까지 스테이지(200) 상에 배치되는 기판(i)에 대해 경사지게 배치되어 플렉서블 필름(f)은 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 기판(i) 측으로 가압될 수 있다. 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 가압될 때, 플렉서블 필름(f)은 기판(i)에 접촉되지 않고 기판(i)에 도포된 레진에 접촉된다.Accordingly, the flexible film f is inclined with respect to the substrate i disposed on the stage 200 from the infeed roll module 140 to the outfeed roll module 150 so that the flexible film f is stamped and pressed. The unit 300 may be pressed toward the substrate i. When the flexible film f is pressed by the stamping pressing unit 300, the flexible film f is not in contact with the substrate i but in contact with the resin applied to the substrate i.

보호필름 제거부(170)는, 기판공급 롤부(110)에 인접하게 배치된다. 스탬핑 가압유닛(300)은 기판공급 롤부(110)로부터 인출되는 플렉서블 필름(f)의 보호필름(P)을 제거하여 플렉서블 필름(f)에 부착되어 있는 보호필름(P)을 회수할 수 있다.The protective film removing unit 170 is disposed adjacent to the substrate supply roll unit 110. The stamping pressurizing unit 300 may recover the protective film P attached to the flexible film f by removing the protective film P of the flexible film f drawn out from the substrate supply roll unit 110.

도시되지 않았으나, 임프린팅 장치는 기판공급 롤부(110)와 인피드 롤모듈(140) 사이 또는 인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이의 구간에 에지 위치 컨트롤러(E.P.C, Edge Position Controller) 등 플렉서블 필름(f)의 폭(CD, Cross Machine Direction) 방향의 위치를 제어하는 장치, 장력을 측정하는 로드셀(load cell), 파티클 제거를 위한 이오나이저(ionizer), 그리고 플렉서블 필름(f) 상의 마크를 통해 롤의 폭 방향 위치를 측정하기 위한 비전장치를 더 포함할 수 있다.Although not shown, the imprinting device may include an edge position controller (EPC, Edge) between the substrate supply roll unit 110 and the infeed roll module 140 or between the infeed roll module 140 and the outfeed roll module 150. A device for controlling the position of the flexible film f in the direction of the cross machine direction (CD), a load cell for measuring tension, an ionizer for removing particles, and a flexible film ( f) may further include a vision device for measuring the width direction position of the roll through the mark on.

스탬핑 가압유닛(300)은 롤투롤 유닛(100)에 의해 연속적으로 이동되는 플렉서블 필름(f)의 와인딩 경로에 배치된다. 구체적으로, 스탬핑 가압 유닛(300)은 인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이에 배치되어, 스테이지(200)에 지지되고 있는 기판(i)으로 플렉서블 필름(f)을 가압할 수 있다. The stamping pressurizing unit 300 is disposed in the winding path of the flexible film f that is continuously moved by the roll-to-roll unit 100. In detail, the stamping pressing unit 300 is disposed between the infeed roll module 140 and the outfeed roll module 150 to press the flexible film f onto the substrate i supported by the stage 200. can do.

스탬핑 가압유닛(300)은 스테이지(200) 상부에 설치되어 플렉서블 필름(f)을 기판(i)에 접촉시키는 플렉서블 필름(f) 가압부(310)와, 플렉서블 필름(f)이 기판(i)에 순차적으로 접촉되도록 플렉서블 필름(f) 가압부(310)를 이동시키는 순차접촉 이동부(320)를 포함한다.The stamping pressurizing unit 300 is installed on the stage 200 and the flexible film f presses 310 to contact the flexible film f to the substrate i, and the flexible film f is the substrate i. It includes a sequential contact moving unit 320 for moving the flexible film (f) pressing unit 310 so as to sequentially contact.

플렉서블 필름(f) 가압부(310)는, 플렉서블 필름(f)을 기판(i)에 접촉 가압시키는 가압롤러(311)를 포함한다. The flexible film f pressurizing part 310 includes a pressure roller 311 which presses and presses the flexible film f to the substrate i.

가압롤러(311)는 플렉서블 필름(f)의 너비 방향으로 배치된 상태에서 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)의 와인딩 방향을 따라 이동됨으로써 플렉서블 필름(f)을 기판(i)에 연속적으로 선 접촉시켜 기판(i)에 도포되어 있는 레진에 패턴을 형성할 수 있다. 즉, 플렉서블 필름(f) 가압부(310)는, 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)을 이동하면서 순차적으로 기판(i)에 플렉서블 필름(f)을 접촉시킬 수 있도록 플렉서블 필름(f)을 따라 이동된 후 다시 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)이 기판(i)으로부터 분리될 수 있도록 원 위치로 복귀될 수 있다.The pressure roller 311 is moved along the winding direction of the flexible film f by the sequential contact moving part 320 in a state of being disposed in the width direction of the flexible film f, thereby moving the flexible film f to the substrate i. The pattern can be formed on the resin coated on the substrate i by continuous line contact with the substrate. That is, the flexible film f pressurizing part 310 moves the flexible film f by the sequential contact moving part 320 in order to sequentially contact the flexible film f with the substrate i. After moving along (f), the flexible film f may be returned to its original position so that the flexible film f may be separated from the substrate i by the sequential contact moving part 320 again.

플렉서블 필름(f) 가압부(310)는 가압롤러(311)를 포함한다. 다만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며, 예를 들어, 플렉서블 필름(f) 가압부(310)는 에어로 플렉서블 필름(f)을 기판(i)에 순차적으로 접촉 가압시킬 수도 있다. The flexible film f pressing part 310 includes a pressure roller 311. However, the scope of the present invention is not limited thereto, and for example, the flexible film f pressing unit 310 may sequentially press and press the aero flexible film f onto the substrate i.

순차접촉 이동부(320)는, 가압롤러(311)를 플렉서블 필름(f)을 따라 이동시키는 롤러 이동모듈(321)과, 가압롤러(311)가 상대 이동가능하게 결합되는 가이드 레일(322)을 포함한다. 이에 따라, 가압롤러(311)는 롤러 이동모듈(321)에 의해 가이드 레일(322)을 따라 이동되어 플렉서블 필름(f)을 대상물 측으로 순차적으로 가압할 수 있으며, 레진의 패턴이 경화된 후에는 롤러 이동모듈(321)에 의해 복귀될 수 있다.The sequential contact moving part 320 includes a roller moving module 321 for moving the pressure roller 311 along the flexible film f, and a guide rail 322 to which the pressure roller 311 is relatively movable. Include. Accordingly, the pressure roller 311 is moved along the guide rail 322 by the roller moving module 321 to sequentially press the flexible film (f) to the object side, the roller after the pattern of the resin is cured It may be returned by the moving module 321.

롤러 이동모듈(321)은, 가압롤러(311)에 연결되어 가압롤러(311)를 선형으로 이동시킬 수 있는 선형 구동 장치일 수 있다. 예를 들어, 선형 구동 장치는 리드 스크류 및 모터와 같은 구동요소들을 포함할 수 있다. 또한, 선형 구동 장치는, 선형 이동을 제공할 수 있는 구동요소로서 리니어 모터를 포함할 수도 있다.The roller moving module 321 may be a linear driving device connected to the pressure roller 311 and capable of linearly moving the pressure roller 311. For example, the linear drive device may include drive elements such as lead screws and motors. The linear drive device may also include a linear motor as a drive element capable of providing linear movement.

스테이지(200)는 각 공정에 따라 이동이 가능하다. 구체적으로, 레진 코팅 공정시 레진이 기판(i) 표면에 도포될 수 있는 코팅위치에 위치할 수 있고, 임프린팅 공정시 스탬핑 가압유닛(300)과 대향하는 위치로 이동이 가능하다. 예를 들어, 스테이지(200)는 스테이지 레일(미도시) 상에 위치하고, 스테이지 레일(미도시) 상에 장착될 수 있는 리니어 모터 등에 의해 이동할 수 있다. The stage 200 can move according to each process. Specifically, in the resin coating process, the resin may be positioned at a coating position that may be applied to the surface of the substrate i, and may be moved to a position opposite to the stamping pressurizing unit 300 during the imprinting process. For example, the stage 200 may be located on a stage rail (not shown) and move by a linear motor or the like that may be mounted on the stage rail (not shown).

도시되지 않았으나, 스테이지(200)는 기판(i)을 고정 및 정렬하는 스테이지 척을 포함할 수 있다.Although not shown, the stage 200 may include a stage chuck for fixing and aligning the substrate i.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 스테이지(200)는 메인 스테이지(210)를 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the stage 200 includes a main stage 210.

메인 스테이지(210)는 기판(i)보다 큰 면적을 가질 수 있다. 메인 스테이지(210)는 공정에 따라 이동될 수 있으며, 다만, 공정 중에는 고정될 수 있다.The main stage 210 may have a larger area than the substrate i. The main stage 210 may be moved according to a process, but may be fixed during the process.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치(1)는 단차 보상 유닛(221, 222)을 더 포함한다. 단차 보상 유닛(221, 222)은 메인 스테이지(210) 상에 배치될 수 있다. 단차 보상 유닛(221, 222)은 기판(i)과 인접하게 배치되고, 기판(i)과 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있다. The imprinting apparatus 1 according to the embodiment of the present invention further includes step compensation units 221 and 222. The step compensation units 221 and 222 may be disposed on the main stage 210. The step compensation units 221 and 222 may be disposed adjacent to the substrate i and have a thickness substantially the same as that of the substrate i.

도 2에 도시된 바와 같이, 단차 보상 유닛(221, 222)은 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)을 포함할 수 있다. 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)을 사이에 두고 이격되어 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 단차 보상 유닛(221)은 기판공급 롤부(110)에 인접하게 배치되고, 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판회수 롤부(120)와 인접하게 배치될 수 있다. 즉, 제1 단차 보상 유닛(221)은 기판공급 롤부(110)와 기판(i) 사이에 배치될 수 있고, 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판회수 롤부(120)와 기판(i) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)의 측면과 이격되어 배치될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)의 측면과 각각 접촉할 수도 있다.As shown in FIG. 2, the step compensation units 221 and 222 may include a first step compensation unit 221 and a second step compensation unit 222. The first step compensation unit 221 and the second step compensation unit 222 may be spaced apart from each other with the substrate i therebetween. In detail, the first step compensation unit 221 may be disposed adjacent to the substrate supply roll unit 110, and the second step compensation unit 222 may be disposed adjacent to the substrate recovery roll unit 120. That is, the first step compensation unit 221 may be disposed between the substrate supply roll unit 110 and the substrate i, and the second step compensation unit 222 may be disposed between the substrate recovery roll unit 120 and the substrate i. Can be placed in. In this case, the first step compensation unit 221 and the second step compensation unit 222 may be spaced apart from the side surface of the substrate (i). However, the present invention is not limited thereto, and the first step compensation unit 221 and the second step compensation unit 222 may contact the side surfaces of the substrate i, respectively.

단차 보상 유닛(221, 222)은 고분자 화합물(Polymer), 금속(Metal) 및 글래스(Glass) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The step compensation units 221 and 222 may include any one of a polymer, a metal, and a glass.

단차 보상 유닛(221, 222)은 점착 패드(Sticky Pad), 점착 시트(Gecko Sheet), 진공 척(Vaccum Chuck), 다공질 척(Porous Chuck) 및 정전 척(Electro Static Chuck)중 어느 하나일 수 있다.The step compensation units 221 and 222 may be any one of a sticky pad, a sticky sheet, a vacuum chuck, a porous chuck, and an electrostatic chuck. .

코팅 유닛(400)은 레진을 도포할 수 있는 위치에 배치될 수 잇다. 코팅 유닛(400)은 기판(i)에 대해 임프린트용 레진 등을 잉크 젯팅, 슬롯다이 코팅 등 여러 가지 코팅이나 디스펜싱 방법에 의해서 기판(i)을 코팅할 수 있다.The coating unit 400 may be disposed at a position where the resin can be applied. The coating unit 400 may coat the substrate i by various coating or dispensing methods, such as ink jetting an imprint resin, a slot die coating, or the like with respect to the substrate i.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 고정 유닛(600)을 포함한다. The imprinting apparatus according to the embodiment of the present invention includes a fixing unit 600.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 고정 유닛(600)은 기판공급 롤부(110)와 인접하게 배치된 제1 단차 보상 유닛(221)에 대향하여 배치될 수 있다. As shown in FIGS. 1 and 2, the fixing unit 600 may be disposed to face the first step compensating unit 221 disposed adjacent to the substrate supply roll 110.

도면에는 고정 유닛(600)이 사다리꼴 형상을 갖는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 플렉서블 필름(f)을 가압할 수 있는 다양한 형태를 가질 수 있다.Although the fixing unit 600 is illustrated as having a trapezoidal shape in the drawing, the present invention is not limited thereto and may have various forms capable of pressing the flexible film f.

다만, 스테이지(200)는 기판(i)을 지지하고, 스탬핑 가압유닛(300)은 플렉서블 필름(f)을 기판(i) 측으로 가압하여 스탬핑 패턴이 형성되어 있는 플렉서블 필름(f)이 기판(i)에 접촉되어 기판(i)의 표면에 패턴을 형성하는 임프린트 공정을 전제로 설명하였으나, 본 발명에 따른 임플린팅 장치는 요철로 이루어진 패턴을 포함하는 기판 상에 레진이 도포되고 플렉서블 필름(f)에 스탬핑 패턴을 형성하는 공정에 이용될 수도 있다.However, the stage 200 supports the substrate i, and the stamping pressing unit 300 presses the flexible film f toward the substrate i to form the flexible film f having the stamping pattern formed thereon. Although a preliminary description has been made on the assumption of an imprint process of forming a pattern on the surface of the substrate i by contacting the substrate, the imprinting apparatus according to the present invention is coated with a resin on a substrate including a pattern of irregularities and is provided with a flexible film f. ) May be used in the process of forming a stamping pattern.

이하, 도 3a 내지 도 3c를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법에 대해 상세히 설명한다.3A to 3C, an imprinting method using an imprinting apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법을 설명하기 위한 도면으로, 기판(i)에 패턴을 형성하는 임프린팅 공정을 도시하고 있다.3A to 3C are diagrams for describing an imprinting method using an imprinting apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, and illustrate an imprinting process of forming a pattern on the substrate i.

스테이지(200) 상에 코팅 유닛(400)에 의해 레진이 코팅된 기판(i)이 배치되고, 레진이 코팅된 기판(i)이 배치된 스테이지(200)는 스탬핑 가압유닛(300)과 대향하여 배치된다.The substrate i coated with the resin is disposed on the stage 200 by the coating unit 400, and the stage 200 on which the resin coated substrate i is disposed faces the stamping pressing unit 300. Is placed.

레진이 코팅된 기판(i)이 스테이지(200) 상에 배치된 후, 롤투롤 유닛(100)의 기판공급 롤부(110)와 기판회수 롤부(120)에 의해 플렉서블 필름(f)의 미리 정해진 영역이 스테이지(200) 상으로 이동된다. 이때 플렉서블 필름(f)의 미리 정해진 영역에는 스탬핑 패턴이 형성되어 있다.After the resin-coated substrate i is disposed on the stage 200, the predetermined region of the flexible film f is formed by the substrate supply roll 110 and the substrate recovery roll 120 of the roll-to-roll unit 100. This is moved onto the stage 200. At this time, a stamping pattern is formed in a predetermined region of the flexible film f.

그 후, 도 3a에 도시된 바와 같이, 고정 유닛(600)은 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)을 가압하여 제1 단차 보상 유닛(221)에 접촉시킨다.Thereafter, as shown in FIG. 3A, the fixing unit 600 presses the flexible film f having the stamping pattern to contact the first step compensating unit 221.

다음으로, 도 3b에 도시된 바와 같이, 스탬핑 가압유닛(300)은 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)의 일부 영역을 제1 단차 보상 유닛(221), 기판(i) 및 제2 단차 보상 유닛(222)에 가압한다. 구체적으로, 스탬핑 가압유닛(300)의 가압 롤러(311)는 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)의 일부 영역을 제1 단차 보상 유닛(221)에 가압하고, 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)을 제1 단차 보상 유닛(221)으로부터 기판(i) 및 제2 단차 보상 유닛(222)을 향해 연속적으로 선 접촉시켜 기판(i)에 도포되어 있는 레진에 패턴을 형성할 수 있다. 이때, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)과 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있다.Next, as illustrated in FIG. 3B, the stamping pressing unit 300 may move a portion of the flexible film f having the stamping pattern formed thereon into the first step compensation unit 221, the substrate i, and the second step compensation unit. To 222. Specifically, the pressing roller 311 of the stamping pressing unit 300 presses a portion of the flexible film f having the stamping pattern formed on the first step compensating unit 221 and is sequentially moved by the moving unit 320. The flexible film f is continuously linearly contacted from the first step compensation unit 221 toward the substrate i and the second step compensation unit 222 to form a pattern on the resin applied to the substrate i. have. In this case, the first step compensation unit 221 and the second step compensation unit 222 may have substantially the same thickness as the substrate (i).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 기판(i)에 가압되기 전 고정 유닛(600)은 플렉서블 필름(f)을 가압하여 기판(i)과 동일한 두께를 갖는 제1 단차 보상 유닛(221)에 접촉시킨다. 또한, 스탬핑 가압유닛(300)은 제1 단차 보상 유닛(221)에서 기판(i)까지 연속적으로 선 접촉시킨 후, 스탬핑 가압유닛(300)은 기판(i)에서 제2 단차 보상 유닛(222)까지 연속적으로 선 접촉시킨다. 즉, 스탬핑 가압유닛(300)은 플렉서블 필름(f)을 가압하여 기판(i)과 동일한 두께를 갖는 제2 단차 보상 유닛(222)에 접촉시킨다. According to an embodiment of the present invention, before the flexible film f is pressed onto the substrate i by the stamping pressing unit 300, the fixing unit 600 presses the flexible film f to the substrate i. The first step compensation unit 221 having the same thickness is contacted. In addition, after the stamping pressing unit 300 is in continuous line contact from the first step compensation unit 221 to the substrate (i), the stamping pressing unit 300 is the second step compensation unit 222 on the substrate (i) Line contact continuously until That is, the stamping pressing unit 300 presses the flexible film f to contact the second step compensating unit 222 having the same thickness as the substrate i.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치(1)는 기판(i)의 단부까지 압력을 적용하여, 기판(i)의 단부에서 발생하는 주름을 방지하고, 주름에 의해 발생하는 플렉서블 필름(f)과 기판(i)의 박리 현상을 방지할 수 있다. Accordingly, the imprinting apparatus 1 according to the embodiment of the present invention applies pressure to the end of the substrate i to prevent wrinkles occurring at the end of the substrate i, and is flexible due to the wrinkles. The peeling phenomenon of the film f and the board | substrate i can be prevented.

스탬핑 가압유닛(300)이 플렉서블 필름(f)의 가압을 해제하는 경우, 플렉서블 필름(f)은 기판(i)으로부터 분리될 수 있다.When the stamping pressing unit 300 releases the pressurization of the flexible film f, the flexible film f may be separated from the substrate i.

다음으로, 도 3c에 도시된 바와 같이, UV 램프(500)는 기판(i) 상에 도포된 레진을 경화시킨다. 이에 따라, 경화된 레진이 배치된 기판(i)에 패턴이 형성된다.Next, as shown in FIG. 3C, the UV lamp 500 cures the resin applied on the substrate i. As a result, a pattern is formed on the substrate i on which the cured resin is disposed.

본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 기판(i)에 패턴을 전사하는 임프린트 공정을 전제로 설명하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 플렉서블 필름(f)에 스탬핑 패턴을 형성하는 필름 스탬프 공정에 이용될 수도 있다.An imprint process for transferring a pattern onto a substrate i using an imprinting apparatus according to an embodiment of the present invention has been described on the premise. However, the imprinting apparatus according to an embodiment of the present invention has a stamping pattern on the flexible film f. It may be used in a film stamping process for forming a film.

이하, 도 4를 참조하여, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, an imprinting apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 4.

도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.Figure 4 is an enlarged schematic view of the imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 스테이지(200)는 단차 보상 유닛(221, 222)을 포함한다. 단차 보상 유닛(221, 222)은 기판(i)과 인접하게 배치되고, 기판(i)과 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있다. According to another embodiment of the present invention, the stage 200 includes step compensation units 221 and 222. The step compensation units 221 and 222 may be disposed adjacent to the substrate i and have a thickness substantially the same as that of the substrate i.

도 4에 도시된 바와 같이, 단차 보상 유닛(221, 222)은 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)을 포함할 수 있다. 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)을 사이에 두고 이격되어 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 단차 보상 유닛(221)은 기판공급 롤부(110)에 인접하게 배치되고, 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판회수 롤부(120)와 인접하게 배치될 수 있다. 즉, 제1 단차 보상 유닛(221)은 기판공급 롤부(110)와 대향하는 기판(i)의 한 측면에 인접하게 배치될 수 있고, 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판회수 롤부(120)와 대향하는 기판(i)의 다른 한 측면에 인접하게 배치될 수 있다. 이때, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)의 측면과 이격되어 배치될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)의 측면과 각각 접촉할 수도 있다.As shown in FIG. 4, the step compensation units 221 and 222 may include a first step compensation unit 221 and a second step compensation unit 222. The first step compensation unit 221 and the second step compensation unit 222 may be spaced apart from each other with the substrate i therebetween. In detail, the first step compensation unit 221 may be disposed adjacent to the substrate supply roll unit 110, and the second step compensation unit 222 may be disposed adjacent to the substrate recovery roll unit 120. That is, the first step compensation unit 221 may be disposed adjacent to one side of the substrate i facing the substrate supply roll unit 110, and the second step compensation unit 222 may be the substrate recovery roll unit 120. It may be disposed adjacent to the other side of the substrate (i) opposite to. In this case, the first step compensation unit 221 and the second step compensation unit 222 may be spaced apart from the side surface of the substrate (i). However, the present invention is not limited thereto, and the first step compensation unit 221 and the second step compensation unit 222 may contact the side surfaces of the substrate i, respectively.

단차 보상 유닛(221, 222)은 고분자 화합물(Polymer), 금속(Metal) 및 글래스(Glass) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The step compensation units 221 and 222 may include any one of a polymer, a metal, and a glass.

단차 보상 유닛(221, 222)은 점착 패드(Sticky Pad), 점착 시트(Gecko Sheet), 진공 척(Vaccum Chuck), 다공질 척(Porous Chuck) 및 정전 척(Electro Static Chuck)으로 이루어질 수 있다.The step compensation units 221 and 222 may be formed of a sticky pad, a sticky sheet, a vacuum chuck, a porous chuck, and an electrostatic chuck.

본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 복수의 고정 유닛(600)을 포함한다. The imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention includes a plurality of fixing units 600.

도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 고정 유닛(600)은 기판공급 롤부(110)와 기판(i) 사이에 배치된 제1 단차 보상 유닛(221) 및 기판회수 롤부(120)와 기판(i) 사이에 배치된 제2 단차 보상 유닛(222)에 대향하여 각각 배치될 수 있다.As shown in FIG. 4, the plurality of fixing units 600 may include a first step compensating unit 221 disposed between the substrate supply roll 110 and the substrate i, the substrate recovery roll unit 120, and the substrate i. The second step compensation unit 222 disposed between the () may be disposed respectively.

이하, 도 5a 내지 도 5c를 참조하여, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, referring to FIGS. 5A to 5C, an imprinting method using an imprinting apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention will be described in detail.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법을 설명하기 위한 도면으로, 기판(i)에 패턴을 형성하는 임프린팅 공정을 도시하고 있다.5A to 5C are diagrams for describing an imprinting method using an imprinting apparatus according to another exemplary embodiment, and illustrates an imprinting process of forming a pattern on the substrate i.

스테이지(200) 상에 코팅 유닛(400)에 의해 레진이 코팅된 기판(i)이 배치되고, 레진이 코팅된 기판(i)이 배치된 스테이지(200)는 스탬핑 가압유닛(300)과 대향하여 배치된다.The substrate i coated with the resin is disposed on the stage 200 by the coating unit 400, and the stage 200 on which the resin coated substrate i is disposed faces the stamping pressing unit 300. Is placed.

레진이 코팅된 기판(i)이 스테이지(200) 상에 배치된 후, 롤투롤 유닛(100)의 기판공급 롤부(110)와 기판회수 롤부(120)에 의해 플렉서블 필름(f)의 미리 정해진 영역이 스테이지(200) 상으로 이동된다. 이때 플렉서블 필름(f)의 미리 정해진 영역에는 스탬핑 패턴이 형성되어 있다.After the resin-coated substrate i is disposed on the stage 200, the predetermined region of the flexible film f is formed by the substrate supply roll 110 and the substrate recovery roll 120 of the roll-to-roll unit 100. This is moved onto the stage 200. At this time, a stamping pattern is formed in a predetermined region of the flexible film f.

그 후, 도 5a에 도시된 바와 같이, 고정 유닛(600)은 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)을 가압하여 제1 단차 보상 유닛(221)에 접촉시킨다.Thereafter, as shown in FIG. 5A, the fixing unit 600 presses the flexible film f having the stamping pattern to contact the first step compensating unit 221.

다음으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 스탬핑 가압유닛(300)은 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)의 일부 영역을 제1 단차 보상 유닛(221), 기판(i) 및 제2 단차 보상 유닛(222)에 가압한다. 구체적으로, 스탬핑 가압유닛(300)의 가압 롤러(311)는 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)의 일부 영역을 제1 단차 보상 유닛(221)에 가압하고, 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)을 제1 단차 보상 유닛(221)에서 기판(i) 및 제2 단차 보상 유닛(222)을 향해 연속적으로 선 접촉시켜 기판(i)에 도포되어 있는 레진에 패턴을 형성할 수 있다. Next, as illustrated in FIG. 5B, the stamping pressing unit 300 may move a portion of the flexible film f having the stamping pattern formed thereon into the first step compensation unit 221, the substrate i, and the second step compensation unit. To 222. Specifically, the pressing roller 311 of the stamping pressing unit 300 presses a portion of the flexible film f having the stamping pattern formed on the first step compensating unit 221 and is sequentially moved by the moving unit 320. The flexible film f may be continuously contacted with the first step compensation unit 221 toward the substrate i and the second step compensation unit 222 to form a pattern on the resin applied to the substrate i. have.

본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 도 5c에 도시된 바와 같이, 순차접촉 이동부(320)에 의해 가압 롤러(311)가 제2 단차 보상 유닛(222) 상으로 이동하여 플렉서블 필름(f)이 제2 단차 보상 유닛(222)과 접촉한 후, 제2 단차 보상 유닛(222)과 대향하여 배치된 고정 유닛(600)이 플렉서블 필름(f)을 제2 단차 보상 유닛(222)에 접촉된 상태를 유지시킨다. 이때, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)과 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, as shown in FIG. 5C, the pressure roller 311 is moved onto the second step compensation unit 222 by the sequential contact moving part 320 to allow the flexible film f. After contacting the second step compensation unit 222, the fixed unit 600 disposed to face the second step compensation unit 222 contacts the flexible film f to the second step compensation unit 222. Maintain state. In this case, the first step compensation unit 221 and the second step compensation unit 222 may have substantially the same thickness as the substrate (i).

본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 기판(i)에 가압되기 전 고정 유닛(600)은 플렉서블 필름(f)을 가압하여 기판(i)과 동일한 두께를 갖는 제1 단차 보상 유닛(221)에 접촉시킨다. 그 후, 스탬핑 가압유닛(300)은 제1 단차 보상 유닛(221)에서 기판(i)까지 연속적으로 선 접촉시킨 후, 스탬핑 가압유닛(300)은 기판(i)에서 제2 단차 보상 유닛(222)까지 연속적으로 선 접촉시킨다. 마지막으로, 제2 단차 보상 유닛(222)과 대향하여 배치된 고정 유닛(600)이 플렉서블 필름(f)을 제2 단차 보상 유닛(222)에 접촉된 상태를 유지시킨다. According to another embodiment of the present invention, before the flexible film f is pressed onto the substrate i by the stamping pressing unit 300, the fixing unit 600 presses the flexible film f to the substrate i. The first step compensation unit 221 having the same thickness as the contact. Thereafter, the stamping pressing unit 300 continuously makes line contact from the first step compensating unit 221 to the substrate i, and then the stamping pressing unit 300 moves the second step compensating unit 222 on the substrate i. Line contact continuously). Finally, the fixing unit 600 disposed to face the second step compensation unit 222 maintains the flexible film f in contact with the second step compensation unit 222.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치(1)는 기판(i)의 단부까지 압력을 적용하여, 기판(i)의 단부에서 발생하는 주름을 방지하고, 주름에 의해 발생하는 플렉서블 필름(f)과 기판(i)의 박리 현상을 방지할 수 있다. Accordingly, the imprinting apparatus 1 according to the embodiment of the present invention applies pressure to the end of the substrate i to prevent wrinkles occurring at the end of the substrate i, and is flexible due to the wrinkles. The peeling phenomenon of the film f and the board | substrate i can be prevented.

스탬핑 가압유닛(300)이 플렉서블 필름(f)의 가압을 해제하는 경우, 플렉서블 필름(f)은 기판(i)으로부터 분리될 수 있다.When the stamping pressing unit 300 releases the pressurization of the flexible film f, the flexible film f may be separated from the substrate i.

다음으로, 도 5c에 도시된 바와 같이, UV 램프(500)는 기판(i) 상에 도포된 레진을 경화시킨다. 이에 따라, 경화된 레진이 배치된 기판(i)에 패턴이 형성된다.Next, as shown in FIG. 5C, the UV lamp 500 cures the resin applied on the substrate i. As a result, a pattern is formed on the substrate i on which the cured resin is disposed.

이하, 도 6a 및 도 6b를 참조하여, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치에 대해 상세히 설명한다.6A and 6B, an imprinting apparatus according to still another embodiment of the present invention will be described in detail.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대 개략도이다.6A and 6B are enlarged schematic views of an imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 또 다른 일 실시예에 따르면, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 스테이지(200)는 구동 스테이지(230)를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 6A and 6B, the stage 200 may further include a driving stage 230.

메인 스테이지(210)는 기판(i)과 동일한 폭을 가질 수 있다. The main stage 210 may have the same width as the substrate i.

구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)의 대향하는 두 측면에 배치될 수 있다. The driving stage 230 may be disposed at two opposite sides of the main stage 210.

구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)에 대하여 상대적으로 이동이 가능하다. 도 6a에 도시된 바와 같이, 구동 스테이지(230)의 측면은 메인 스테이지(210)의 측면과 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 도 6b에 도시된 바와 같이, 구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)의 측면과 구동 스테이지(230)의 측면이 접촉하도록 이동할 수 있다. 즉, 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 가압되어 기판(i)에 접촉되기 전에, 구동 스테이지(230)는 단차 보상 유닛(221, 222)이 기판(i)과 접촉하도록 이동할 수 있다.The driving stage 230 is movable relative to the main stage 210. As shown in FIG. 6A, the side surface of the driving stage 230 may be spaced apart from the side surface of the main stage 210. In addition, as shown in FIG. 6B, the driving stage 230 may move such that the side of the main stage 210 and the side of the driving stage 230 come into contact with each other. That is, before the flexible film f is pressed by the stamping pressing unit 300 to be in contact with the substrate i, the driving stage 230 is moved so that the step compensation units 221 and 222 are in contact with the substrate i. Can be.

단차 보상 유닛(221, 222)은 메인 스테이지(210)의 양 측면에 배치된 구동 스테이지(230) 상에 각각 배치될 수 있다. The step compensation units 221 and 222 may be disposed on the driving stage 230 disposed at both sides of the main stage 210, respectively.

본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 기판(i)의 단부까지 균일한 압력을 적용하여, 기판(i)의 단부에서 발생하는 주름을 방지하고, 주름에 의해 발생하는 플렉서블 필름(f)과 기판(i)의 박리 현상을 방지할 수 있다.Imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention by applying a uniform pressure to the end of the substrate (i), to prevent the wrinkles occurring at the end of the substrate (i), the flexible film generated by the wrinkles ( The peeling phenomenon of f) and the board | substrate i can be prevented.

이하, 도 7a 내지 도 7b를 참조하여, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, referring to FIGS. 7A to 7B, an imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention will be described in detail.

도 7a 내지 도 7b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.7A to 7B are enlarged schematic views of an imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 또 다른 일 실시예에 따르면, 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 스테이지(200)는 구동 스테이지(230)를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 7A and 7B, the stage 200 may further include a driving stage 230.

메인 스테이지(210)는 기판(i)보다 큰 폭을 가질 수 있다. The main stage 210 may have a width larger than that of the substrate i.

구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)의 대향하는 두 측면에 배치될 수 있다. The driving stage 230 may be disposed at two opposite sides of the main stage 210.

구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)에 대하여 상대적으로 이동이 가능하다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 구동 스테이지(230)의 측면은 메인 스테이지(210)의 측면과 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 도 7b에 도시된 바와 같이, 구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)의 측면에 보다 인접하도록 이동할 수 있다. 즉, 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 가압되어 기판(i)에 접촉되기 전에, 구동 스테이지(230)는 단차 보상 유닛(221, 222)이 기판(i)과 접촉하도록 이동할 수 있다.The driving stage 230 is movable relative to the main stage 210. As shown in FIG. 7A, the side surface of the driving stage 230 may be spaced apart from the side surface of the main stage 210. In addition, as shown in FIG. 7B, the driving stage 230 may move closer to the side of the main stage 210. That is, before the flexible film f is pressed by the stamping pressing unit 300 to be in contact with the substrate i, the driving stage 230 is moved so that the step compensation units 221 and 222 are in contact with the substrate i. Can be.

단차 보상 유닛(221, 222)은 메인 스테이지(210)의 양 측면에 배치된 구동 스테이지(230) 상에 각각 배치될 수 있다. 이때, 단차 보상 유닛(221, 222)은 구동 스테이지(230)보다 더 큰 폭을 가질 수 있다. 이에 따라, 단차 보상 유닛(221, 222)은 메인 스테이지(210) 및 구동 스테이지(230)의 적어도 일부와 중첩하도록 배치될 수 있다.The step compensation units 221 and 222 may be disposed on the driving stage 230 disposed at both sides of the main stage 210, respectively. In this case, the step compensation units 221 and 222 may have a larger width than the driving stage 230. Accordingly, the step compensation units 221 and 222 may be disposed to overlap at least part of the main stage 210 and the driving stage 230.

본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 기판(i)의 단부까지 균일한 압력을 적용하여, 기판(i)의 단부에서 발생하는 주름을 방지하고, 주름에 의해 발생하는 플렉서블 필름(f)과 기판(i)의 박리 현상을 방지할 수 있다.Imprinting apparatus according to another embodiment of the present invention by applying a uniform pressure to the end of the substrate (i), to prevent the wrinkles occurring at the end of the substrate (i), the flexible film generated by the wrinkles ( The peeling phenomenon of f) and the board | substrate i can be prevented.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

f: 플렉서블 필름 i: 기판
100: 롤투롤 유닛 110: 기판공급 롤부
120: 기판회수 롤부 130: 이격지지부
140: 인피드 롤모듈 150: 아웃피드 롤모듈
160: 복귀 지지 모듈 170: 보호필름 제거부
200: 스테이지 210: 메인 스테이지
221, 222: 단차 보상 유닛 230: 구동 스테이지
300: 스탬핑 가압 유닛 310: 플렉서블 필름 가압부
320: 순차접촉 안내부
400: 코팅 유닛f: flexible film i: substrate
100: roll to roll unit 110: substrate feed roll portion
120: substrate recovery roll portion 130: spaced support portion
140: infeed roll module 150: outfeed roll module
160: return support module 170: protective film removing unit
200: stage 210: main stage
221 and 222: step compensation unit 230: drive stage
300: stamping pressing unit 310: flexible film pressing portion
320: sequential contact guide
400: coating unit

Claims (20)

플렉서블 필름을 와인딩 또는 리와인딩하는 롤투롤 유닛;
롤투롤 유닛과 대향하여 배치되는 기판;
상기 기판을 지지하는 메인 스테이지를 포함하는 스테이지;
상기 스테이지 상에 배치된 단차 보상 유닛;
상기 스테이지와 대향하여 배치되고 상기 플렉서블 필름 및 상기 기판을 가압하는 스탬핑 가압 유닛; 및
상기 플렉서블 필름을 사이에 두고 상기 단차 보상 유닛과 대향하여 배치된 고정 유닛;을 포함하는 임프린팅 장치.
A roll-to-roll unit for winding or rewinding the flexible film;
A substrate disposed to face the roll-to-roll unit;
A stage including a main stage for supporting the substrate;
A step compensation unit disposed on the stage;
A stamping pressing unit disposed to face the stage and pressurizing the flexible film and the substrate; And
And a fixed unit disposed to face the step compensation unit with the flexible film therebetween.
제1항에 있어서,
상기 단차 보상 유닛은 상기 기판과 동일한 두께를 가지는 임프린팅 장치.The method of claim 1,
And the step compensating unit has the same thickness as the substrate. 제1항에 있어서,
상기 단차 보상 유닛은 상기 메인 스테이지 상에 배치된 임프린팅 장치.The method of claim 1,
The step compensating unit is disposed on the main stage. 제1항에 있어서,
상기 롤투롤 유닛은,
상기 플렉서블 필름이 감긴 기판공급 롤부 및
상기 플렉서블 필름이 감기고 상기 기판공급 롤부와 대향하여 배치된 기판회수 롤부를 포함하고,
상기 단차 보상 유닛은,
상기 기판과 상기 기판공급 롤부 사이에 배치된 제1 단차 보상 유닛 및
상기 기판과 상기 기판회수 롤부 사이에 배치된 제2 단차 보상 유닛을 포함하는 임프린팅 장치.The method of claim 1,
The roll to roll unit,
A substrate supply roll unit on which the flexible film is wound;
And a substrate recovery roll unit in which the flexible film is wound and disposed to face the substrate supply roll unit.
The step compensation unit,
A first step compensation unit disposed between the substrate and the substrate supply roll unit;
And a second step compensating unit disposed between the substrate and the substrate recovery roll unit. 제4항에 있어서,
상기 고정 유닛은 상기 제1 단차 보상 유닛 및 상기 제2 단차 보상 유닛과 각각 대향하여 배치된 임프린팅 장치.The method of claim 4, wherein
And the fixed unit is disposed to face the first step compensation unit and the second step compensation unit, respectively. 제4항에 있어서,
상기 제1 단차 보상 유닛은 상기 기판의 한 측면 또는 상기 기판의 한 측면과 대향하는 다른 한 측면 중 적어도 하나와 접촉하는 임프린팅 장치.The method of claim 4, wherein
And the first step compensating unit is in contact with at least one of one side of the substrate or the other side opposite to one side of the substrate. 제1항에 있어서,
상기 메인 스테이지의 측면에 배치된 구동 스테이지를 더 포함하고,
상기 단차 보상 유닛은 구동 스테이지 상에 배치된 임프린팅 장치.The method of claim 1,
Further comprising a drive stage disposed on the side of the main stage,
And the step compensating unit is disposed on a drive stage. 제7항에 있어서,
상기 구동 스테이지는 상기 메인 스테이지에 대하여 상대적으로 이동 가능한 임프린팅 장치.The method of claim 7, wherein
And the driving stage is movable relative to the main stage. 제7항에 있어서,
상기 메인 스테이지는 기판과 동일한 폭을 가지는 임프린팅 장치.The method of claim 7, wherein
The main stage is an imprinting apparatus having the same width as the substrate. 제7항에 있어서,
상기 메인 스테이지는 기판보다 큰 폭을 가지는 임프린팅 장치.The method of claim 7, wherein
The main stage is an imprinting apparatus having a larger width than the substrate. 제7항에 있어서,
상기 단차 보상 유닛은 상기 구동 스테이지보다 큰 폭을 갖는 임프린팅 장치.The method of claim 7, wherein
And the step compensating unit has a width greater than that of the driving stage. 제7항에 있어서,
상기 단차 보상 유닛은 상기 메인 스테이지 및 상기 구동 스테이지의 적어도 일부와 중첩하는 임프린팅 장치.The method of claim 7, wherein
And the step compensating unit overlaps at least a portion of the main stage and the driving stage. 제1항에 있어서,
상기 단차 보상 유닛은 고분자 화합물(Polymer), 금속(Metal) 및 글래스(Glass) 중 어느 하나를 포함하는 임프린팅 장치.The method of claim 1,
The step compensating unit includes an imprinting apparatus including any one of a polymer, a metal, and a glass. 제1항에 있어서,
상기 단차 보상 유닛은 점착 패드(Sticky Pad), 점착 시트(Gecko Sheet), 진공 척(Vaccum Chuck), 다공질 척(Porous Chuck) 및 정전 척(Electro Static Chuck)중 어느 하나인 임프린팅 장치.The method of claim 1,
The step compensating unit may be any one of a sticky pad, a sticky sheet, a vacuum sheet, a vacuum chuck, a porous chuck, and an electrostatic chuck. 제1항에 있어서,
상기 기판은 요철로 이루어진 패턴을 포함하는 임프린팅 장치.The method of claim 1,
The substrate is an imprinting apparatus comprising a pattern made of irregularities. 스테이지 상에 레진이 코팅된 기판이 배치되는 단계;
고정 유닛이 상기 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계;
스탬핑 가압 유닛이 상기 단차 보상 유닛과 인접한 기판의 한 단부에서 상기 한단부와 대향하는 다른 한 단부를 향해 이동하며 플렉서블 필름을 상기 레진이 코팅된 기판에 접촉시키는 단계; 및
상기 스테이지 상에 배치된 UV 램프가 서로 접촉하고 있는 플렉서블 필름 및 상기 레진이 코팅된 기판에 자외선을 조사하는 단계;를 포함하는 임프린팅 방법.Placing a resin-coated substrate on the stage;
Contacting the flexible film by a fixing unit to a step compensating unit disposed adjacent to the substrate;
A stamping pressing unit is moved from one end of the substrate adjacent the step compensating unit toward the other end facing the one end and contacting the flexible film to the resin coated substrate; And
Irradiating ultraviolet rays to the flexible film and the resin-coated substrate, wherein the UV lamps disposed on the stage are in contact with each other. 제16항에 있어서,
상기 단차 보상 유닛은,
상기 메인 스테이지의 한 단부 상에 배치된 제1 단차 보상 유닛, 및
상기 메인 스테이지의 한 단부와 대향하는 다른 한 단부 상에 배치된 제2 단차 보상 유닛을 포함하는 임프린팅 방법.The method of claim 16,
The step compensation unit,
A first step compensation unit disposed on one end of the main stage, and
And a second step compensation unit disposed on the other end opposite the one end of the main stage. 제17항에 있어서,
상기 고정 유닛이 상기 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계는
상기 고정 유닛이 제1 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계를 포함하는 임프린팅 방법.The method of claim 17,
Contacting the flexible film to the step compensating unit in which the fixing unit is disposed adjacent to the substrate
And the fixing unit contacting the flexible film to the first step compensating unit. 제17항에 있어서,
상기 스테이지 상에 배치된 UV 램프가 서로 접촉하고 있는 플렉서블 필름 및 상기 레진이 코팅된 기판에 자외선을 조사하는 단계는,
상기 고정 유닛이 상기 제2 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계를 포함하는 임프린팅 방법.The method of claim 17,
Irradiating UV light to the flexible film and the resin-coated substrate that the UV lamp disposed on the stage is in contact with each other,
And the fixing unit contacting the flexible film to the second step compensation unit. 제16항에 있어서,
상기 고정 유닛이 상기 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계 전,
상기 구동 스테이지가 상기 단차 보상 유닛을 이동시켜 상기 기판의 측면에 접촉시키는 단계;를 더 포함하는 임프린팅 방법.The method of claim 16,
Before the fixing unit contacts the flexible film to the step compensating unit disposed adjacent to the substrate,
And the driving stage moves the step compensating unit to contact the side surface of the substrate.
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