KR20200032963A - Automatic Male Connector Coupling Apparatus for ACQC Unit - Google Patents

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KR20200032963A
KR20200032963A KR1020180112250A KR20180112250A KR20200032963A KR 20200032963 A KR20200032963 A KR 20200032963A KR 1020180112250 A KR1020180112250 A KR 1020180112250A KR 20180112250 A KR20180112250 A KR 20180112250A KR 20200032963 A KR20200032963 A KR 20200032963A
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Abstract

The present invention relates to an automatic male connector connecting apparatus for an ACQC unit, and more specifically, to an automatic male connector connecting apparatus for an ACQC unit, which receives the male connector connected to a tank lorry by a hose from an operator to automatically couple the same to a female connector of the ACQC unit, thereby performing an operation of separating liquid chemical after supplying the same. To this end, the automatic male connector connecting apparatus for an ACQC unit has a see-saw structure, which can be effectively operated by being easily installed even in an environment having various distances between a wall surface of a factory in which the ACQC unit is installed and the ACQC unit or thicknesses of the wall surface of the factory.

Description

ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치{Automatic Male Connector Coupling Apparatus for ACQC Unit} Automatic Male Connector Coupling Apparatus for ACQC Unit for ACQC Units

본 발명은 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 탱크 롤리와 호스로 연결된 수커넥터를 작업자로부터 전달 받아 ACQC 유닛의 암커넥터에 자동으로 장착하고 분리하는 작업을 수행하는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic connection device for a male connector for an ACQC unit, and more specifically, an ACQC unit for automatically installing and removing a male connector connected to a tank roll and a hose from an operator to an female connector of the ACQC unit. It is about a male connector automatic connection device.

반도체 및 LCD 제조 공장에서는 많은 종류의 화학 약품이 사용되고 있다. 이와 같은 화학약품은 주로 탱크 롤리에 적재되어 운반되고 공장의 탱크에 저장되어 사용된다. Many types of chemicals are used in semiconductor and LCD manufacturing plants. These chemicals are mainly loaded and transported in tank rolls and stored in tanks in factories for use.

탱크 롤리에서 화학 약품을 전달 받아 공장의 저장 탱크에 저장하거나 이를 다시 탱크 롤리로 배출하는 기능을 수행하는 장치가 자동 청정 접속 장치이다. 통상 이와 같은 장치를 ACQC 유닛(Automatic Clean Quick Coupler Unit)이라고 부른다.An automatic clean connection device is a device that receives chemicals from tank Raleigh and stores them in a storage tank in a factory or discharges them back to Tank Raleigh. Such a device is usually called an ACQC unit (Automatic Clean Quick Coupler Unit).

이와 같이 ACQC 유닛에 의해 공장의 탱크에 저장되거나 배출되는 화약 약품은 인체에 유해하거나 환경 오염을 일으킬 수 있는 것인 경우가 많고 경우에 따라서는 폭발의 위험이 있는 경우도 많다.In this way, the chemicals stored or discharged in the tank of the factory by the ACQC unit are often harmful to the human body or can cause environmental pollution, and in some cases, there is a risk of explosion.

따라서 이와 같은 화약약품을 ACQC 유닛에 안전하게 전달하기 위해서 호스를 통해 탱크 롤리와 연결된 수커넥터를 ACQC 유닛의 암커넥터와 정확하고 정교하게 무인화하여 자동으로 접속시키고 분리할 수 있는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치가 필요하다.Therefore, in order to safely deliver such chemicals to the ACQC unit, the male connector connected to the tank lolly through the hose is automatically and accurately unattended with the female connector of the ACQC unit, automatically connecting and disconnecting the male connector for the ACQC unit. Need a device.

최근에는 ACQC 유닛을 공장의 외벽과 1~2 미터 정도의 간격을 두고 설치하여 화학 물질의 누출시 공장의 외벽 바깥으로 배출되는 것을 지연시키는 경우가 많다. 이 경우 공장의 외벽과 ACQC 유닛 사이의 간격과 공장의 외벽의 두께를 고려하여 작업자가 수커넥터를 전달하기 용이한 위치에서 수커넥터를 전달받아 ACQC 유닛에 장착할 수 있는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치가 필요하다.Recently, ACQC units are often installed at a distance of about 1 to 2 meters from the outer wall of the factory to delay the discharge of chemical substances out of the outer wall of the factory. In this case, considering the distance between the outer wall of the factory and the ACQC unit and the thickness of the outer wall of the factory, the male connector for ACQC units can be automatically connected to the ACQC unit by receiving the male connector at a location where workers can easily deliver the male connector. Need a device.

본 발명은 상술한 바와 같은 필요성을 충족하기 위하여 안출된 것으로서, 탱크 롤리와 호스를 통해 연결된 수커넥터를 작업자로부터 용이하게 전달받아 협소한 공간에서의 기구장치인 ACQC 구동부와 작업자 사이의 벽공간에 이송왕복 기구를 통해 ACQC 유닛의 암커넥터에 정확하게 접속시킬 수 있는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention was devised to meet the need as described above, and the male connector connected through the tank lolly and the hose is easily transferred from the operator and transferred to the wall space between the ACQC driving unit and the operator, which is a mechanism device in a narrow space. An object of the present invention is to provide a male connector automatic connection device for an ACQC unit that can be accurately connected to the female connector of the ACQC unit through a reciprocating mechanism.

상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치는, 탱크 롤리와 호스로 연결된 수커넥터를 전달 받아 ACQC 유닛의 암커넥터에 자동으로 장착하는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치에 있어서, 상기 수커넥터가 장착되어 고정되는 지그 블록; 상기 지그 블록이 고정되는 마운트 테이블; 상기 마운트 테이블에 수평 방향으로 배열되어 설치되는 복수의 가이드 롤러; 및 상기 복수의 가이드 롤러의 움직임을 수평 방향으로 가이드하는 한 쌍의 지지 가이드와, 상기 한 쌍의 지지 가이드가 고정되는 지지 테이블과, 링크 결합구조에 의해 길이가 늘어나거나 줄어들도록 구성되어 상기 마운트 테이블에 일측이 연결되는 시소 링크와, 상기 마운트 테이블이 상기 한 쌍의 지지 가이드를 따라 움직일 수 있도록 상기 시소 링크의 타측에 연결되어 상기 시소 링크(Scissor Link)를 작동시키는 작동 부재를 구비하는 지그 블록 이송 유닛;을 포함하는 점에 특징이 있다.The male connector automatic connection device for the ACQC unit of the present invention for solving the above-described object is automatically connected to the male connector for the ACQC unit that receives the male connector connected to the tank lolly and the hose and automatically mounts it to the female connector of the ACQC unit. A device comprising: a jig block to which the male connector is mounted and fixed; A mount table to which the jig block is fixed; A plurality of guide rollers arranged and installed in the horizontal direction on the mount table; And a pair of support guides for guiding the movement of the plurality of guide rollers in a horizontal direction, a support table to which the pair of support guides are fixed, and a length of the mount table being configured to increase or decrease by a link coupling structure. A jig block transfer having a seesaw link having one side connected to it, and an operating member connected to the other side of the seesaw link so as to move the mount table along the pair of support guides to operate the seesaw link. It is characterized in that it comprises a unit;

상술한 바와 목적을 달성하기 위한 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치는 ACQC 유닛이 설치된 공장의 벽면과 ACQC 유닛 사이의 거리 또는 공장 벽면의 두께가 다양한 환경에도 기구 구성의 큰 변화 없이 용이하게 설치하여 효과적으로 작동할 수 있는 구조를 가진 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치를 제공하는 효과가 있다.The ACQC unit male connector automatic connection device for achieving the above-mentioned object can be easily installed and installed without any significant change in the mechanism configuration even in environments where the wall between the factory and the ACQC unit where the ACQC unit is installed or the factory wall thickness varies. It is effective to provide a male connector automatic connection device for an ACQC unit having a structure that can operate.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 일부분에 대한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 일부분에 대한 측면도이다.
도 5은 도 1에 도시되 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 일부분에 대한 정면도이다.
1 is a front view of an ACQC unit male connector automatic connection device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the male connector automatic connection device for the ACQC unit shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a plan view of a portion of the male connector automatic connection device for the ACQC unit shown in FIG. 1.
FIG. 4 is a side view of a portion of the male connector automatic connection device for the ACQC unit shown in FIG. 1.
5 is a front view of a portion of the male connector automatic connection device for the ACQC unit shown in FIG.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치에 대해 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described with respect to the ACQC unit male connector automatic connection device according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 측면도이다.1 is a front view of an ACQC unit male connector automatic connection device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of the ACQC unit male connector automatic connection device shown in FIG. 1.

본 실시예의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치는 탱크 롤리와 호스로 연결된 수커넥터를 ACQC 유닛의 암커넥터에 장착하고 분리하는 작업을 자동으로 수행하기 위한 장치이다.The ACQC unit male connector automatic connection device of this embodiment is a device for automatically performing the operation of attaching and detaching the male connector connected by the tank lolly and the hose to the female connector of the ACQC unit.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치는 마운트 테이블(200)과 복수의 가이드 롤러(210)와 지그 블록(110, 120)과 그리퍼 유닛(610, 620)과 지그 블록 이송 유닛(300)과 그리퍼 이송 유닛(700)을 포함하여 이루어진다.1 and 2, the ACQC unit male connector automatic connection device of the present embodiment includes a mount table 200, a plurality of guide rollers 210, jig blocks 110, 120, and a gripper unit 610, 620. And a jig block transfer unit 300 and a gripper transfer unit 700.

본 실시예의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치는 도 1에 도시한 바와 같이 육면체 형상의 구조물의 내부에 설치된다. 본 실시예의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치가 설치되는 구조물은 ACQC 유닛이 설치된 건물의 외벽(909)과 ACQC 유닛의 사이 공간에 배치되어 ACQC 유닛에 밀착되도록 설치된다.The ACQC unit male connector automatic connection device of the present embodiment is installed inside the hexahedral structure as shown in FIG. 1. The structure in which the male connector automatic connection device for the ACQC unit of the present embodiment is installed is disposed in a space between the outer wall 909 of the building where the ACQC unit is installed and the ACQC unit and is in close contact with the ACQC unit.

일반적으로 ACQC 유닛은 두 개의 암커넥터(903, 904)를 구비한다. 본 실시예의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치도 두 개의 수커넥터(901, 902)를 각각 ACQC 유닛의 두 개의 암커넥터(903, 904)의 위치에 정렬하여 삽입하고 작업이 완료되면 분리하여 후퇴시키는 작업을 수행하도록 구성된다. Generally, the ACQC unit has two female connectors 903 and 904. The male connector automatic connection device for the ACQC unit of this embodiment also inserts the two male connectors 901 and 902 into the positions of the two female connectors 903 and 904 of the ACQC unit, respectively, and separates and retracts when the operation is completed. It is configured to perform tasks.

이를 위해 본실시예의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치는 두 개의 수커넥터(901, 902)를 파지하고 이동하도록 각각 두 개의 지그 블록(110, 120)과 그리퍼 유닛(610, 620)을 구비한다.To this end, the ACQC unit male connector automatic connection device of the present embodiment includes two jig blocks 110 and 120 and gripper units 610 and 620, respectively, to grip and move the two male connectors 901 and 902.

지그 블록(110, 120)은 작업자가 수커넥터(901, 902)를 장착할 수 있도록 구성된다. 작업자가 수커넥터(901, 902)를 지그 블록(110, 120)에 장착하면, 지그 블록(110, 120)은 수커넥터(901, 902)가 흔들리지 않도록 파지하여 고정하도록 구성된다. 본 실시예의 경우 지그 블록(110, 120)은 U자형 안착부에 안착된 수커넥터(901, 902)를 스윙 클램프 구조에 의해 압착하여 고정하는 방식으로 수커넥터(901, 902)를 파지한다.The jig blocks 110 and 120 are configured to allow the operator to mount the male connectors 901 and 902. When the worker attaches the male connectors 901 and 902 to the jig blocks 110 and 120, the jig blocks 110 and 120 are configured to grip and secure the male connectors 901 and 902 so as not to be shaken. In the case of this embodiment, the jig blocks 110 and 120 grip the male connectors 901 and 902 in such a way that the male connectors 901 and 902 seated on the U-shaped seating portion are compressed and fixed by a swing clamp structure.

지그 블록(110, 120)은 마운트 테이블(200)에 설치되어 고정된다. The jig blocks 110 and 120 are installed and fixed to the mount table 200.

지그 블록 이송 유닛(300)은 마운트 테이블(200)을 이송함으로써, 마운트 테이블(200)에 설치된 지그 블록(110, 120)을 이송한다. 즉, 지그 블록 이송 유닛(300)은 작업자가 용이하게 수커넥터(901, 902)를 지그 블록(110, 120)에 장착할 수 있는 위치로(도 2에서 왼쪽으로) 마운트 테이블(200)을 이송한다. 지그 블록(110, 120)에 수커넥터(901, 902)가 장착되면, 지그 블록 이송 유닛(300)은 그리퍼 유닛(610, 620)에 수커넥터(901, 902)를 전달할 수 있는 위치로(도 2에서 오른쪽으로) 마운트 테이블(200)을 이송한다.The jig block transfer unit 300 transfers the jig blocks 110 and 120 installed on the mount table 200 by transferring the mount table 200. That is, the jig block transfer unit 300 transfers the mount table 200 to a position where the operator can easily attach the male connectors 901 and 902 to the jig blocks 110 and 120 (to the left in FIG. 2). do. When the male connectors 901 and 902 are mounted on the jig blocks 110 and 120, the jig block transfer unit 300 is moved to a position capable of transferring the male connectors 901 and 902 to the gripper units 610 and 620 (FIG. 2 to the right) transfers the mount table 200.

본 실시예의 경우 지그 블록 이송 유닛(300)은, 한 쌍의 지지 가이드(310)와 지지 테이블(320)과 시소 링크(330)와 작동 부재(340)와 제1승강 부재(350)를 구비한다. In the case of the present embodiment, the jig block transfer unit 300 includes a pair of support guides 310, a support table 320, a seesaw link 330, an operation member 340, and a first lifting member 350. .

지지 테이블(320)은 마운트 테이블(200)의 하측에 배치되어 마운트 테이블(200)을 지지한다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 마운트 테이블(200)에는 수평 방향으로 연장되도록 배치된 한 쌍의 지지 가이드(310)가 설치된다. 지지 가이드(310)는 수커넥터(901, 902)를 암커넥터(903, 904)에 삽입하기 위해 수평 이송하는 방향과 나란한 방향으로 연장되도록 배치된다. The support table 320 is disposed under the mount table 200 to support the mount table 200. 2 and 3, the mount table 200 is provided with a pair of support guides 310 arranged to extend in a horizontal direction. The support guide 310 is arranged to extend in a direction parallel to the horizontal feeding direction for inserting the male connectors 901 and 902 into the female connectors 903 and 904.

마운트 테이블(200)의 하측에는 복수의 가이드 롤러(210)가 수평방향으로 배열되어 지그 블록 이송 유닛(300)의 지지 가이드(310)에 끼워지도록 설치된다. 지지 가이드(310)는 가이드 롤러(210)의 구름 방향을 지지 가이드(310)의 연장 방향으로 제한함으로써, 마운트 테이블(200)의 수평 이동 방향을 가이드 한다.On the lower side of the mount table 200, a plurality of guide rollers 210 are arranged in a horizontal direction to be fitted to the support guides 310 of the jig block transfer unit 300. The support guide 310 guides the horizontal movement direction of the mount table 200 by limiting the rolling direction of the guide roller 210 to the extending direction of the support guide 310.

시소 링크(330; Scissor Link)는 복수의 링크 부재가 엇갈려서 서로 회전 가능하도록 결합된 공지의 구성이 사용된다. 시소 링크(330)는 링크 결합구조에 의해 각각의 링크들이 서로 접히거나 펼쳐짐으로써, 전체적인 길이가 줄어들거나 늘어나도록 구성된다. 시소 링크(330)의 한쪽 끝은 마운트 테이블(200)의 하부에 연결되고 다른 한쪽 끝은 작동 부재(340)를 통해 지지 테이블(320)에 연결된다. The seesaw link 330 uses a known configuration in which a plurality of link members are staggered and rotatable with each other. The seesaw link 330 is configured such that each link is folded or unfolded by the link coupling structure, so that the overall length is reduced or increased. One end of the seesaw link 330 is connected to the lower portion of the mount table 200 and the other end is connected to the support table 320 through the operation member 340.

작동 부재(340)는 지지 테이블(320)에 설치되고 시소 링크(330)에 연결되어 시소 링크(330)를 작동시킨다. 작동 부재(340)는 시소 링크(330)의 접힘과 펼침을 작동시키는 구성이다. 본 실시예의 경우 작동 부재(340)는 공압 실린더와 같은 공압 액츄에이터를 사용하여 시소 링크(330)의 링크 중 하나를 당기거나 밀도록 작동한다. 작동 부재(340)의 작동에 의해 시소 링크(330)가 펼쳐지거나 접히게 된다. 시소 링크(330)의 작동에 의해 마운트 테이블(200)은 지지 가이드(310)를 따라서 수평 방향으로 전후진하게 된다.The operation member 340 is installed on the support table 320 and is connected to the seesaw link 330 to operate the seesaw link 330. The operation member 340 is configured to operate folding and unfolding of the seesaw link 330. In the present embodiment, the operation member 340 is operated to pull or push one of the links of the seesaw link 330 using a pneumatic actuator such as a pneumatic cylinder. The seesaw link 330 is unfolded or folded by the operation of the operation member 340. By the operation of the seesaw link 330, the mount table 200 is moved back and forth in the horizontal direction along the support guide 310.

제1승강 부재(350)는 지지 테이블(320)의 하부에 설치되어 지지 테이블(320)을 승강시킨다. 지그 블록(110, 120)이 후술하는 그리퍼 유닛(610, 620)에 수커넥터(901, 902)를 전달하면, 제1승강 부재(350)는 지지 테이블(320)을 하강시킴으로써, 그리퍼 유닛(610, 620)이 암커넥터(903, 904) 쪽으로 수평 이동하더라도 지그 블록(110, 120)과 그리퍼 유닛(610, 620) 사이의 간섭을 방지한다.The first lifting member 350 is installed under the support table 320 to elevate the support table 320. When the jig blocks 110 and 120 transmit the male connectors 901 and 902 to the gripper units 610 and 620, which will be described later, the first lifting member 350 lowers the support table 320, thereby reducing the gripper unit 610. , 620 prevents interference between the jig blocks 110 and 120 and the gripper units 610 and 620 even though the 620 moves horizontally toward the female connectors 903 and 904.

연장 유닛(400)은 연장 테이블(420)과 한 쌍의 연장 가이드(410)를 구비한다. 연장 테이블(420)은 지지 테이블(320)과 이어질 수 있는 위치에 수평하게 배치된다. 한 쌍의 연장 가이드(410)는 연장 테이블(420)에 결합된다. 제1승강 부재(350)가 지지 테이블(320)을 상승시켜 지지 테이블(320)이 연장 테이블(420)과 동일 높이에 위치할 때, 한 쌍의 연장 가이드(410)는 한 쌍의 지지 가이드(310)와 이어져서 동일 방향으로 연장되도록 배치된다. 이에 따라 시소 링크(330)가 펼쳐져서 마운트 테이블(200)이 암커넥터(903, 904)에서 멀어지는 방향으로 수평 이동하는 경우, 마운트 테이블(200)에 설치된 가이드 롤러들(210)이 지지 가이드(310)를 거쳐서 연장 가이드(410)까지 굴러 가는 것이 가능하게 된다.The extension unit 400 includes an extension table 420 and a pair of extension guides 410. The extension table 420 is disposed horizontally in a position that can be connected to the support table 320. The pair of extension guides 410 are coupled to the extension table 420. When the first lifting member 350 raises the support table 320 so that the support table 320 is positioned at the same height as the extension table 420, the pair of extension guides 410 may include a pair of support guides ( 310) and arranged to extend in the same direction. Accordingly, when the seesaw link 330 is unfolded and the mount table 200 horizontally moves in a direction away from the female connectors 903 and 904, guide rollers 210 installed on the mount table 200 support guide 310 ), It is possible to roll to the extension guide 410.

연장 유닛(400)은 본 실시예의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치가 설치되는 건물의 내부로부터 건물의 내벽면을 거쳐서 건물의 내벽면 바깥쪽까지 연장되도록 구성된다. 지그 블록 이송 유닛(300)의 시소 링크(330)는 작동 부재(340)의 행정을 확대하여 마운트 테이블(200)이 연장 유닛(400)의 위치까지 움직이는 것을 가능하게 한다.The extension unit 400 is configured to extend from the inside of the building where the ACQC unit male connector for this embodiment is installed to the outside of the building's inner wall surface through the inner wall surface of the building. The seesaw link 330 of the jig block transfer unit 300 enlarges the stroke of the operation member 340 to allow the mount table 200 to move to the position of the extension unit 400.

지그 블록(110, 120)의 상측에는 그리퍼 유닛(610, 620)이 설치된다. 그리퍼 유닛(610, 620)은 지그 블록(110, 120)으로부터 수커넥터(901, 902)를 전달 받아 고정한다.The gripper units 610 and 620 are installed above the jig blocks 110 and 120. The gripper units 610 and 620 receive and fix the male connectors 901 and 902 from the jig blocks 110 and 120.

그리퍼 이송 유닛(700)은 그리퍼 유닛(610, 620)을 수평 방향과 수직 방향으로 이송한다. 그리퍼 이송 유닛(700)은 수커넥터(901, 902)를 파지하고 있는 그리퍼 유닛(610, 620)을 암커넥터(903, 904)에 근접하는 방향으로 수평 이송하여 수커넥터(901, 902)를 암커넥터(903, 904)에 삽입한다. 그리퍼 이송 유닛(700)이 그리퍼 유닛(610, 620)을 반대 방향으로 수평 이송하면, 암커넥터(903, 904)에 삽입되어 있던 수커넥터(901, 902)가 암커넥터(903, 904)로부터 분리된다. The gripper transfer unit 700 transfers the gripper units 610 and 620 in the horizontal direction and the vertical direction. The gripper transfer unit 700 horizontally transfers the gripper units 610 and 620 holding the male connectors 901 and 902 in a direction close to the female connectors 903 and 904 to arm the male connectors 901 and 902. Insert into connectors 903 and 904. When the gripper transfer unit 700 horizontally transfers the gripper units 610 and 620 in the opposite direction, the male connectors 901 and 902 inserted in the female connectors 903 and 904 are separated from the female connectors 903 and 904. do.

ACQC 유닛의 암커넥터(903, 904)와 인접하는 위치에는 개폐 유닛(510, 520)이 설치된다. 개폐 유닛(510, 520)은 ACQC 유닛의 암커넥터(903, 904)의 오염을 방지하도록 ACQC 유닛의 암커넥터(903, 904)의 입구를 개폐하는 역할을 한다. 수커넥터(901, 902)가 암커넥터(903, 904)에 삽입될 때에는 개폐 유닛(510, 520)은 암커넥터(903, 904)의 입구를 개방하고 반대의 경우 개폐 유닛(510, 520)은 암커넥터(903, 904)의 입구를 폐쇄한다.Opening and closing units 510 and 520 are installed at positions adjacent to the female connectors 903 and 904 of the ACQC unit. The opening and closing units 510 and 520 serve to open and close the inlets of the female connectors 903 and 904 of the ACQC unit to prevent contamination of the female connectors 903 and 904 of the ACQC unit. When the male connectors 901 and 902 are inserted into the female connectors 903 and 904, the opening and closing units 510 and 520 open the entrances of the female connectors 903 and 904, and vice versa, the opening and closing units 510 and 520 The entrances of the female connectors 903 and 904 are closed.

개폐 유닛(510, 520)은 고정 링크와 제1회전 링크(511, 521)와 제2회전 링크(512, 522)와 캡 부재(513, 523)와 링크 회전 부재(514, 524)를 구비한다. The opening and closing units 510 and 520 include a fixed link, first rotating links 511 and 521, second rotating links 512 and 522, cap members 513 and 523 and link rotating members 514 and 524. .

고정 링크와 제1회전 링크(511, 521)와 제2회전 링크(512, 522)와 캡 부재(513, 523)는 4절 링크의 형태로 서로 연결된다. 고정 링크는 ACQC 유닛에 고정된다. 제1회전 링크(511, 521)와 제2회전 링크(512, 522)는 각각 고정 링크의 양단에 회전 가능하게 결합된다. 캡 부재(513, 523)는 제1회전 링크(511, 521)와 제2회전 링크(512, 522)에 각각 회전 가능하게 결합된다. 캡 부재(513, 523)는 암커넥터(903, 904)의 입구를 막을 수 있는 형태로 형성된다. 링크 회전 부재(514, 524)는 제1회전 링크(511, 521)와 제2회전 링크(512, 522) 중 어느 하나를 회전시키도록 연결된다. 링크 회전 부재(514, 524)가 제1회전 링크(511, 521)와 제2회전 링크(512, 522) 중 어느 하나를 회전시키면 이에 연동하여 캡 부재(513, 523)가 암커넥터(903, 904)에 접근하여 암커넥터(903, 904)를 폐쇄시킨다. 링크 회전 부재(514, 524)가 제1회전 링크(511, 521)와 제2회전 링크(512, 522) 중 어느 하나를 반대 방향으로 회전시키면 이에 연동하여 캡 부재(513, 523)가 암커넥터(903, 904)에 후퇴하면서 암커넥터(903, 904)를 개방하게 된다.The fixed link, the first rotating links 511, 521, the second rotating links 512, 522, and the cap members 513, 523 are connected to each other in the form of a four-section link. The fixed link is fixed to the ACQC unit. The first rotating links 511 and 521 and the second rotating links 512 and 522 are rotatably coupled to both ends of the fixed link, respectively. The cap members 513 and 523 are rotatably coupled to the first rotating links 511 and 521 and the second rotating links 512 and 522, respectively. The cap members 513 and 523 are formed in a form capable of blocking the inlets of the female connectors 903 and 904. The link rotation members 514 and 524 are connected to rotate any one of the first rotation links 511 and 521 and the second rotation links 512 and 522. When the link rotating members 514 and 524 rotate any one of the first rotating links 511 and 521 and the second rotating links 512 and 522, the cap members 513 and 523 interlock with the female connector 903, 904) to close the female connectors (903, 904). When the link rotating members 514 and 524 rotate any one of the first rotating links 511 and 521 and the second rotating links 512 and 522 in opposite directions, the cap members 513 and 523 are interlocked with the female connectors. While retreating to (903, 904), the female connectors (903, 904) are opened.

마운트 테이블(200)의 후방에는 호스 지지 유닛(800)이 설치된다. 본 실시예의 경우 도 1에 도시한 것과 같이 연장 테이블(420)의 후방 끝단에 호스 지지 유닛(800)이 설치된다. 호스 지지 유닛(800)은 수커넥터(901, 902)에 연결된 호스를 지지하고 가이드한다. 지그 블록(110, 120) 또는 그리퍼 유닛(610, 620)에 의해 수커넥터(901, 902)가 파지되어 움직이는 동안 호스 지지 유닛(800)이 호스를 지지하고 가이드한다. 호스 지지 유닛(800)에 의해 호스가 안정적으로 수커넥터(901, 902)를 따라 움직이게 된다. A hose support unit 800 is installed at the rear of the mount table 200. In the case of this embodiment, as shown in FIG. 1, a hose support unit 800 is installed at the rear end of the extension table 420. The hose support unit 800 supports and guides the hoses connected to the male connectors 901 and 902. The hose support unit 800 supports and guides the hose while the male connectors 901 and 902 are gripped and moved by the jig blocks 110 and 120 or the gripper units 610 and 620. The hose is stably moved by the hose support unit 800 along the male connectors 901 and 902.

도 5을 참조하면, 호스 지지 유닛(800)은 3개의 호스 롤러(810)와 롤러 지지부(820)를 구비한다. 호스 롤러(810)는 롤러 지지부(820)에 각각 회전 가능하게 설치된다. 3개의 호스 롤러(810) 중 2개의 호스 롤러(810)는 경사지게 세워져 설치되고, 나머지 하나는 수평하게 배치되어 롤러 지지부(820)에 설치된다. 호스 롤러들(810)은 각각 호스의 측면과 하면을 지지하게 된다. 호스 롤러들(810)은 호스의 외면 요철에 의한 진동과 충격을 완화시키도록 충분한 탄성 재질로 형성되는 것이 좋다. 또한, 본 실시예의 호스 지지 유닛(800)은 승강 가능하게 설치된다. 즉, 작업자가 지그 블록(110, 120)에 수커텍터를 장착할 때에는 호스 지지 유닛(800)은 하강하여 작업자의 작업을 방해하지 않는다. 마운트 테이블(200)이 연장 테이블(420)에서 지지 테이블(320) 방향으로 이동하면, 호스 지지 유닛(800)은 상승하여 수커넥터(901, 902)에 연결된 호스를 탄성 지지하게 된다.5, the hose support unit 800 includes three hose rollers 810 and a roller support 820. The hose rollers 810 are rotatably installed on the roller supports 820, respectively. Of the three hose rollers 810, two hose rollers 810 are installed upright and the other one is disposed horizontally and installed on the roller support 820. The hose rollers 810 respectively support the side and bottom surfaces of the hose. The hose rollers 810 are preferably formed of a sufficient elastic material to mitigate vibrations and shocks caused by irregularities on the outer surface of the hose. In addition, the hose support unit 800 of this embodiment is installed so as to be elevated. That is, when the operator attaches the male connector to the jig blocks 110 and 120, the hose support unit 800 descends and does not interfere with the worker's work. When the mount table 200 moves in the direction of the support table 320 from the extension table 420, the hose support unit 800 rises to elastically support the hoses connected to the male connectors 901 and 902.

경우에 따라서는 호스 지지 유닛(800)의 롤러 지지부(820)에 상하방향 완충 스프링을 설치하여 롤러 지지부(820) 자체에서 호스 외면의 요철에 의한 진동을 완화시키도록 구성하는 것도 가능하다.In some cases, it is also possible to configure the roller support portion 820 of the hose support unit 800 to cushion the vibrations caused by irregularities on the outer surface of the hose by installing a buffer spring in the vertical direction.

이하, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 작동에 대해 설명한다.Hereinafter, the operation of the male connector automatic connection device for the ACQC unit according to the present embodiment configured as described above will be described.

탱크 롤리에 호스로 연결된 수커넥터(901, 902)를 ACQC 유닛의 암커넥터(903, 904)에 삽입하여 화학 약품을 이송하는 작업을 수행하고, 다시 수커넥터(901, 902)를 암커넥터(903, 904)로부터 분리하여 작업자가 회수할 수 있도록 배출하는 과정의 순서로 설명한다.The male connector (901, 902) connected by a hose to the tank lolly is inserted into the female connector (903, 904) of the ACQC unit to carry out a chemical transport operation, and the male connector (901, 902) is again connected to the female connector (903) , 904) and then discharged for workers to recover.

먼저, ACQC 유닛의 암커넥터(903, 904)의 입구는 개폐 유닛(510, 520)에 의해 폐쇄된 상태이다. 도 4에 도시한 것과 같이, 링크 회전 부재(514, 524)가 제1회전 링크(511, 521)를 반시계 방향으로 회전시키면, 제1회전 링크(511, 521)와 제2회전 링크(512, 522)가 고정 링크에 대해 회전하면서 캡 부재(513, 523)가 하측으로 이동한다. 캡 부재(513, 523)가 암커넥터(903, 904)의 입구에 밀착하여 암커넥터(903, 904)를 폐쇄하게 되면, 제1회전 링크(511, 521) 및 제2회전 링크(512, 522)의 회전이 중단된다. First, the inlets of the female connectors 903 and 904 of the ACQC unit are closed by the opening and closing units 510 and 520. As illustrated in FIG. 4, when the link rotating members 514 and 524 rotate the first rotating links 511 and 521 counterclockwise, the first rotating links 511 and 521 and the second rotating link 512 , 522 rotates relative to the fixed link, and the cap members 513 and 523 move downward. When the cap members 513 and 523 close to the inlets of the female connectors 903 and 904 and close the female connectors 903 and 904, the first rotating links 511 and 521 and the second rotating links 512 and 522 ) Stops rotating.

이와 같이 개폐 유닛(510, 520)에 의해 암커넥터(903, 904)가 폐쇄된 상태에서 작업자가 수커넥터(901, 902)를 지그 블록(110, 120)에 장착하는 작업을 시작한다.As described above, in the state in which the female connectors 903 and 904 are closed by the opening and closing units 510 and 520, the worker starts the work of mounting the male connectors 901 and 902 to the jig blocks 110 and 120.

지그 블록 이송 유닛(300)의 작동 부재(340)가 시소 링크(330)를 펼치도록 작동하면, 마운트 테이블(200)은 지지 가이드(310)를 따라서 건물의 벽(909) 쪽으로 이동한다. 시소 링크(330)의 구조로 인해, 작동 부재(340)가 시소 링크(330)를 움직이는 작동 변위가 상대적으로 크지 않더라도 시소 링크(330)는 작동 부재(340)의 변위를 확대하여 비교적 먼 거리까지 마운트 테이블(200)을 수평 이송할 수 있는 장점이 있다. 따라서, 작동 부재(340)와 시소 링크(330)는 비교적 간단하고 단순한 구조만을 이용하여 마운트 테이블(200)의 수평 이동 변위를 길게 할 수 있는 장점이 있다. 작동 부재(340)가 시소 링크(330)를 계속 펼치면, 시소 링크(330)는 마운트 테이블(200)을 연장 유닛(400)의 위치까지 이송하게 된다. 연장 가이드(410)는 지지 가이드(310)와 같은 높이에서 서로 이어지도록 구성되어 있다. 따라서, 가이드 롤러(210)는 지지 가이드(310)를 거쳐서 연장 유닛(400)의 연장 가이드(410)까지 굴러가면서 마운트 테이블(200)을 암커넥터(903, 904)로부터 더 먼 위치까지 이송할 수 있다. When the operation member 340 of the jig block transfer unit 300 operates to unfold the seesaw link 330, the mount table 200 moves toward the wall 909 of the building along the support guide 310. Due to the structure of the seesaw link 330, the seesaw link 330 enlarges the displacement of the actuating member 340 to a relatively long distance even if the actuating displacement of the actuating member 340 moving the seesaw link 330 is not relatively large. There is an advantage in that the mount table 200 can be horizontally transported. Therefore, the operation member 340 and the seesaw link 330 have an advantage of lengthening the horizontal movement displacement of the mount table 200 using only a relatively simple and simple structure. When the operation member 340 continues to unfold the seesaw link 330, the seesaw link 330 transfers the mount table 200 to the position of the extension unit 400. The extension guide 410 is configured to connect to each other at the same height as the support guide 310. Therefore, the guide roller 210 can be transported to a position farther from the female connectors 903 and 904 while rolling through the support guide 310 to the extension guide 410 of the extension unit 400. have.

한편, 지그 블록 이송 유닛(300)의 작동 부재(340)를 상술한 바와 같이 공압 액츄에이터로 구성하면 화학 물질의 폭발에 의한 위험을 방지할 수 있는 장점이 있다. ACQC 유닛 주위는 가스 상태의 화학물질을 비롯한 인화성 물질이 존재할 수밖에 없는 환경이다. 경우에 따라서 작동 부재(340)으로 볼 스크류나 리니어 모터를 사용할 수도 있다. 볼 스크류나 리니어 모터를 사용하는 경우, 인화성 물질에 전기적 점화를 발생시킬 가능성도 있다. 그러나, 본 실시예의 경우와 같이 공압 실린더를 사용하면 이와 같은 인화성 물질의 폭발 가능성을 방지할 수 있는 장점이 있다.On the other hand, if the operation member 340 of the jig block transfer unit 300 is configured as a pneumatic actuator as described above, there is an advantage that can prevent the risk of explosion of chemicals. Surrounding the ACQC unit is an environment in which flammable substances, including gaseous chemicals, must exist. In some cases, a ball screw or a linear motor may be used as the operation member 340. If a ball screw or linear motor is used, there is also the possibility of generating electrical ignition in a flammable material. However, the use of a pneumatic cylinder as in the case of this embodiment has the advantage of preventing the possibility of explosion of such a flammable material.

상술한 바와 같이 시소 링크(330)를 이용한 지그 블록 이송 유닛(300)과 연장 유닛(400)에 의해, 마운트 테이블(200)을 건물의 내벽면 바깥쪽까지 이송하는 것이 가능하다. 이와 같이 마운트 테이블(200)을 건물의 내벽면 바깥쪽까지 이송하면, ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치가 설치되는 현장의 벽면 두께, 벽면과 ACQC 유닛 사이의 거리 등의 설치 환경에 관계없이 작업자가 수커넥터(901, 902)를 지그 블록(110, 120)에 장착하기 용이한 위치까지 마운트 테이블(200)의 이동 변위를 연장할 수 있는 장점이 있다. 통상 종래의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치가 설치되는 육면체 구조물의 바깥쪽까지 마운트 테이블(200)을 이송하는 것이 불가능하였으나, 본 실시예에 따른 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 경우 시소 링크(330)와 연장 유닛(400)의 구조에 의해 프레임 구조물의 바깥쪽까지 마운트 테이블(200)을 이송하는 것이 가능한 장점이 있다.As described above, by the jig block transfer unit 300 and the extension unit 400 using the seesaw link 330, it is possible to transfer the mount table 200 to the outside of the inner wall surface of the building. When the mount table 200 is transported to the outside of the inner wall surface of the building as described above, the operator can be operated regardless of the installation environment such as the wall thickness of the site where the male connector for ACQC unit is installed and the distance between the wall and the ACQC unit. The male connector (901, 902) has the advantage of extending the movement displacement of the mount table 200 to a position that is easy to mount on the jig block (110, 120). Normally, the conventional ACQC unit male connector automatic connection device was unable to transfer the mount table 200 to the outside of the hexahedral structure in which the male connector automatic connection device for the ACQC unit is installed. In the case of the connector automatic connection device, it is possible to transfer the mount table 200 to the outside of the frame structure by the structure of the seesaw link 330 and the extension unit 400.

이와 같이, 지그 블록 이송 유닛(300)이 마운트 테이블(200)을 연장 유닛(400)의 위치까지 이송하면, 작업자는 허리를 많이 구부리지 않고도 쉽게 수커넥터(901, 902)를 지그 블록(110, 120)의 U자형 홈에 장착할 수 있다. In this way, when the jig block transfer unit 300 transfers the mount table 200 to the position of the extension unit 400, the operator can easily connect the male connectors 901 and 902 without bending the waist a lot. ) U-shaped groove.

작업자가 수커넥터(901, 902)를 지그 블록(110, 120)의 U자형 안착부에 장착하면, 지그 블록(110, 120)은 스윙 클램프를 작동시켜 수커넥터(901, 902)를 고정한다. When the operator attaches the male connectors 901 and 902 to the U-shaped seating portions of the jig blocks 110 and 120, the jig blocks 110 and 120 operate the swing clamps to fix the male connectors 901 and 902.

또한, 상술한 바와 같이 시소 링크(330) 구조를 구비하는 지그 블록 이송 유닛(300)을 사용하면, 수커넥터(901, 902)의 이송 거리가 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 설치 환경에 따라 다양하게 다르더라도 매번 새로운 구조의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치를 새롭게 설계 및 제작하지 않아도 되는 장점이 있다. 본 실시예의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치는, 지그 블록 이송 유닛(300)의 작동 부재(340)와 시소 링크(330)의 행정을 조절하는 것만으로 다양한 작업 환경에 용이하게 대응하는 것이 가능하다.In addition, when the jig block transfer unit 300 having a seesaw link 330 structure is used as described above, the transfer distance of the male connectors 901 and 902 depends on the installation environment of the male connector automatic connection device for the ACQC unit. Even if it is variously different, there is an advantage that it is not necessary to newly design and manufacture a male connector automatic connection device for a new structure of ACQC unit every time. The ACQC unit male connector automatic connection device of this embodiment can easily cope with various working environments simply by adjusting the stroke of the operation member 340 and the seesaw link 330 of the jig block transfer unit 300. .

이와 같은 상태에서 지그 블록 이송 유닛(300)은 마운트 테이블(200)을 지지 테이블(320)의 상측까지 이송한다. 지그 블록 이송 유닛(300)의 작동 부재(340)가 시소 링크(330)를 접으면, 가이드 롤러(210)가 연장 가이드(410)에서 지지 가이드(310)까지 굴러가면서 마운트 테이블(200)이 지지 테이블(320)의 상측으로 이동한다.In this state, the jig block transfer unit 300 transfers the mount table 200 to the upper side of the support table 320. When the operation member 340 of the jig block transfer unit 300 folds the seesaw link 330, the guide roller 210 rolls from the extension guide 410 to the support guide 310 while the mount table 200 is supported. Move to the upper side of the table 320.

이때, 호스 지지 유닛(800)은 상승한 생태로 수커넥터(901, 902)에 연결된 호스를 지지하게 된다. 롤러 지지부(820)에 설치된 3개의 호스 롤러(810)가 각각 호스의 하측과 양측을 탄성적으로 지지하게 된다. At this time, the hose support unit 800 will support the hose connected to the male connector (901, 902) to the rising ecology. Three hose rollers 810 installed on the roller support portion 820 elastically support the lower side and both sides of the hose, respectively.

다음으로 그리퍼 유닛(610, 620)이 지그 블록(110, 120)으로부터 수커넥터(901, 902)를 전달받아 암커넥터(903, 904)에 삽입하는 과정을 설명한다.Next, the process of the gripper units 610 and 620 receiving the male connectors 901 and 902 from the jig blocks 110 and 120 and inserting them into the female connectors 903 and 904 will be described.

그리퍼 이송 유닛(700)은 그리퍼 유닛(610, 620)을 하강시켜 지그 블록(110, 120)이 파지하고 있는 수커넥터(901, 902)를 그리퍼 유닛(610, 620)가 전달 받을 수 있는 위치가 되도록 한다.The gripper transfer unit 700 has a position where the gripper units 610 and 620 can receive the male connectors 901 and 902 held by the jig blocks 110 and 120 by lowering the gripper units 610 and 620. As possible.

그리퍼 유닛(610, 620)이 수커넥터(901, 902)를 파지하면, 지그 블록(110, 120)은 스윙 클램프를 작동시켜 수커넥터(901, 902)의 클램핑 상태를 해제한다. When the gripper units 610 and 620 grip the male connectors 901 and 902, the jig blocks 110 and 120 activate the swing clamp to release the clamping state of the male connectors 901 and 902.

이와 같은 상태에서 지그 블록 이송 유닛(300)의 제1승강 부재(350)는 지지 테이블(320) 및 마운트 테이블(200)과 함께 지그 블록(110, 120)을 하강시킨다.In this state, the first lifting member 350 of the jig block transfer unit 300 lowers the jig blocks 110 and 120 together with the support table 320 and the mount table 200.

지그 블록(110, 120)의 하강이 완료되면, 그리퍼 이송 유닛(700)은 그리퍼 유닛(610, 620)을 전진시켜 수커넥터(901, 902)를 암커넥터(903, 904)에 삽입한다. 이때, 개폐 유닛(510, 520)은 수커넥터(901, 902)가 암커넥터(903, 904)에 삽입될 수 있도록 암커넥터(903, 904)를 개방한다. 개폐 유닛(510, 520)의 링크 회전 부재(514, 524)가 제1회전 링크(511, 521)를 도 4를 기준으로 시계 방향으로 회전시키면, 캡 부재(513, 523)가 암커넥터(903, 904)로부터 후퇴하면서 상승하여 암커넥터(903, 904)를 개방하게 된다. When the lowering of the jig blocks 110 and 120 is completed, the gripper transfer unit 700 advances the gripper units 610 and 620 to insert the male connectors 901 and 902 into the female connectors 903 and 904. At this time, the opening and closing units 510 and 520 open the female connectors 903 and 904 so that the male connectors 901 and 902 can be inserted into the female connectors 903 and 904. When the link rotation members 514 and 524 of the opening and closing units 510 and 520 rotate the first rotation links 511 and 521 clockwise based on FIG. 4, the cap members 513 and 523 are the female connector 903 , 904), while ascending while retracting, the female connectors 903 and 904 are opened.

이와 같이 본 실시예에 따른 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치의 개폐 유닛(510, 520)은 캡 부재(513, 523)를 단순히 수평 이동하거나 회전 운동시키는 것이 아니라, 링크 구조에 의해 반원 경로를 따라 움직이면서 암커넥터(903, 904)를 개폐하게 된다. 이와 같은 구조에 의해 암커넥터(903, 904)의 기밀을 더욱 확실하게 유지하면서 캡 부재(513, 523)의 작동을 컴팩트하게 구성할 수 있는 장점이 있다.In this way, the opening and closing units 510 and 520 of the male connector automatic connection device for the ACQC unit according to the present embodiment do not simply move or rotate the cap members 513 and 523 horizontally, but follow a semicircle path by a link structure. As it moves, the female connectors 903 and 904 are opened and closed. With this structure, there is an advantage that the operation of the cap members 513 and 523 can be compactly configured while maintaining the airtightness of the female connectors 903 and 904 more reliably.

수커넥터(901, 902)가 암커넥터(903, 904)에 삽입되면, 암커넥터(903, 904)의 양측에 설치된 잠금 노치(905, 906)가 피봇 운동하여 수커넥터(901, 902)의 금속링 일부분을 후면봉쇄함으로써, 수커넥터(901, 902)가 암커넥터(903, 904)로부터 이탈되는 것을 방지한다.When the male connectors 901 and 902 are inserted into the female connectors 903 and 904, the locking notches 905 and 906 installed on both sides of the female connectors 903 and 904 pivot to move the metal of the male connectors 901 and 902 By sealing the back portion of the ring, the male connectors 901 and 902 are prevented from being disengaged from the female connectors 903 and 904.

이와 같은 상태에서 ACQC 유닛이 질소용 수커넥터(901) 및 호스에 질소를 주입하면 탱크 롤리에 저장된 화학물질이 화학 약품용 호스를 통해 ACQC 유닛에 공급된다. In this state, when the ACQC unit injects nitrogen into the male connector 901 for nitrogen and the hose, the chemicals stored in the tank lolly are supplied to the ACQC unit through the chemical hose.

화학 약품 이송 작업이 완료되면 잠금 노치(905, 906)는 반대 방향으로 피봇 운동하여 수커넥터(901, 902)의 금속 링 잠금 상태를 해제한다. When the chemical transfer operation is completed, the locking notches 905 and 906 pivot in the opposite direction to unlock the metal rings of the male connectors 901 and 902.

그리퍼 이송 유닛(700)은 수커넥터(901, 902)를 후방으로 수평 이송시킨다. 하강되어 있던 마운트 테이블(200) 및 지지 테이블(320)을 제1승강 부재(350)에 의해 상승하고, 지그 블록(110, 120)은 그리퍼 유닛(610, 620)으로부터 수커넥터(901, 902)를 넘겨 받아 고정한다.The gripper transfer unit 700 horizontally transfers the male connectors 901 and 902 to the rear. The lowered mount table 200 and the support table 320 are raised by the first lifting member 350, and the jig blocks 110 and 120 are male connectors 901 and 902 from the gripper units 610 and 620. Take it over and fix it.

개폐 유닛(510, 520)은 다시 암커넥터(903, 904)를 폐쇄한다. 그리퍼 이송 유닛(700)은 지그 블록(110, 120)의 움직임에 간섭되지 않는 위치로 그리퍼 유닛(610, 620)을 상승시킨다.The opening and closing units 510 and 520 again close the female connectors 903 and 904. The gripper transfer unit 700 raises the gripper units 610 and 620 to a position that does not interfere with the movement of the jig blocks 110 and 120.

지그 블록 이송 유닛(300)은 지그 블록(110, 120)을 수평 방향으로 후퇴시켜 연장 유닛(400)의 위치까지 이동시킨다. The jig block transfer unit 300 retracts the jig blocks 110 and 120 in the horizontal direction to move them to the position of the extension unit 400.

지그 블록(110, 120)이 스윙 클램프를 해제하면, 작업자는 수커넥터(901, 902)를 들어 올려 후퇴시킨다.When the jig blocks 110 and 120 release the swing clamp, the operator lifts the male connectors 901 and 902 to retract them.

한편, 본 실시예의 호스 지지 유닛(800)은 단순히 수커넥터(901, 902)를 따라 움직이는 호스의 움직임을 가이드하도록 지지하는 것뿐만 아니라, 호스 표면의 요철 구조에 의해 발생하는 진동을 방지하는 역할을 한다. 호스 롤러(810)가 강체(rigid body)로 형성된 것이 아니라 호스 표면의 요철에 의해 발생하는 진동을 방지할 수 있을 정도의 충분한 탄성을 가진 재질로 형성되기 때문에, 호스 롤러(810)는 롤러 지지부(820)에 대해 회전하면서 스스로 탄성 변형되어 호스 롤러(810)에 의해 발생하는 진동을 완화시킨다. 이와 같이 호스 지지 유닛(800)에 의해 진동이 방지되면, 주변의 다른 구성에 전달되는 충격을 차단하여 다른 구성의 고장을 방지하고 작동 정밀도가 나빠지는 것을 방지하는 장점이 있다. 또한 소음의 발생을 방지하기도 한다. On the other hand, the hose support unit 800 of this embodiment not only supports to guide the movement of the hose moving along the male connectors 901 and 902, but also serves to prevent vibrations caused by the uneven structure of the hose surface. do. Since the hose roller 810 is not formed of a rigid body, but is formed of a material having sufficient elasticity to prevent vibration caused by irregularities on the surface of the hose, the hose roller 810 has a roller support ( It is elastically deformed by itself while rotating relative to 820) to alleviate vibration generated by the hose roller 810. When vibration is prevented by the hose support unit 800 as described above, the impact transmitted to other components in the vicinity is blocked to prevent failure of other components and to prevent the operation precision from deteriorating. It also prevents noise.

이상, 본 발명에 따른 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명되고 도시된 형태로 한정되는 것은 아니다. The preferred embodiment of the ACQC unit male connector automatic connection device according to the present invention has been described above, but the scope of the present invention is not limited to the above-described and illustrated forms.

예를 들어, 앞에서 그리퍼 유닛(610, 620)이 지그 블록(110, 120)으로부터 수커넥터(901, 902)를 전달 받아 그리퍼 이송 유닛(700)의 작동에 의해 암커넥터(903, 904)에 수커넥터(901, 902)를 삽입하는 것으로 설명하였으나, 그리퍼 유닛(610, 620)과 그리퍼 이송 유닛(700)을 구비하지 않는 구조의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치를 구성하는 것도 가능하다. 이 경우, 지그 블록이 수커넥터를 파지한 상태로 지그 블록 이송 유닛에 의해 수커넥터를 암커넥터에 삽입하는 방식으로 작동하게 된다. For example, in the front, the gripper units 610 and 620 receive the male connectors 901 and 902 from the jig blocks 110 and 120, and receive the female connectors 903 and 904 by the operation of the gripper transfer unit 700. Although described as inserting the connectors 901 and 902, it is also possible to configure the male connector automatic connection device for the ACQC unit having a structure that does not include the gripper units 610 and 620 and the gripper transfer unit 700. In this case, the jig block is operated by inserting the male connector into the female connector by the jig block transfer unit while the male connector is gripped.

또한, 앞에서 연장 유닛(400)을 구비하는 구조의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치를 예로 들어 설명하였으나, 연장 유닛(400)을 구비하지 않는 구조의 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치를 구성하는 것도 가능하다. 이 경우, 지그 블록은 지지 가이드의 범위 내에서만 움직이게 되지만, 시소 링크를 이용하는 지그 블록 이송 유닛의 구조에 의해 지그 블록을 수평 이송하는 구조를 간단하고 단순하게 구성하는 장점은 그대로 유지된다. 이와 같은 구조에 의해 지그 블록을 이송하는 구조의 내구성을 향상시킬 수 있고 제조 원가를 낮추는 장점이 있다.In addition, although the automatic connection device for the male connector for the ACQC unit having the extension unit 400 was described as an example, the automatic connection device for the male connector for the ACQC unit having the structure without the extension unit 400 is also described. It is possible. In this case, the jig block is moved only within the range of the support guide, but the advantage of simply and simply configuring the structure for horizontally transporting the jig block by the structure of the jig block transport unit using the seesaw link is maintained. With this structure, the durability of the structure for transporting the jig block can be improved, and there is an advantage of lowering the manufacturing cost.

또한, 앞에서 4절링크 구조를 가지는 개폐 유닛(510, 520)의 구조를 설명하였으나, 경우에 따라서 다른 구조의 개폐 유닛을 구비하는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치를 구성하는 것도 가능하다.In addition, the structure of the opening / closing units 510 and 520 having a four-section link structure has been described above, but it is also possible to configure an ACQC unit male connector automatic connection device having an opening / closing unit of another structure in some cases.

또한, 앞에서 승강 가능하게 설치되는 호스 지지 유닛(800)의 구조에 대해 설명하였으나, 호스 지지 유닛(800)이 승강하지 않고 고정된 구조로 설치되는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치를 구성하는 것도 가능하다. 또한, 호스의 측면을 지지하는 호스 롤러가 경사지게 배치되는 것이 아니라 수직 방향으로 배치되는 구조의 호스 지지 유닛을 구성하는 것도 가능하다. 또한, 3개의 호스 롤러를 구비하는 것이 아니라 호스의 하면 만을 지지하는 1개의 호스 롤러를 구비하는 호스 지지 유닛을 구성하는 것도 가능하다. In addition, although the structure of the hose support unit 800 that is installed to be liftable in the above was described, it is also possible to configure the male connector automatic connection device for the ACQC unit that is installed in a fixed structure without the hose support unit 800 being elevated. Do. In addition, it is also possible to constitute a hose support unit having a structure in which a hose roller supporting a side surface of the hose is disposed in a vertical direction rather than being inclined. In addition, it is also possible to constitute a hose support unit having one hose roller that supports only the lower surface of the hose rather than three hose rollers.

또한, 호스 롤러(810)의 탄성에 의해 호스 요철 구조에 의한 진동을 완충하는 것이 아니라 호스 지지부에 스프링을 설치하여 호스 지지부의 상하 방향 탄성 운동에 의해 호스 포면 요철에 의한 진동을 완화시키는 구조의 호스 지지 유닛을 구성하는 것도 가능하다.In addition, the hose of the structure to dampen the vibration due to the unevenness of the hose surface by installing a spring in the hose support portion, rather than cushioning the vibration caused by the concavo-convex structure by the elasticity of the hose roller 810. It is also possible to construct a support unit.

또한, 앞에서 호스 지지 유닛(800)은 연장 테이블(420)의 후방 끝단에 설치되는 것으로 설명하였으나, 호스 지지 유닛이 지지 테이블과 연장 테이블의 사이에 설치되고 필요에 따라 승강하도록 구성하는 것도 가능하다. 호스 지지 유닛의 설치 위치는 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다. In addition, although the hose support unit 800 was previously described as being installed at the rear end of the extension table 420, it is also possible to configure the hose support unit to be installed between the support table and the extension table so as to be elevated. The installation position of the hose support unit can be variously changed as necessary.

또한, 지그 블록(110, 120)이 수커넥터(901, 902)를 파지하는 구성 역시 앞에서 설명하고 도시한 스윙 클램프 구조를 사용하지 않고 다른 메커니즘에 의하여 수커넥터를 클램핑하는 구조를 사용하는 것이 가능하다.In addition, the configuration in which the jig blocks 110 and 120 grip the male connectors 901 and 902 is also possible to use a structure for clamping the male connector by another mechanism without using the swing clamp structure described and illustrated above. .

110, 120: 지그 블록 200: 마운트 테이블
210: 가이드 롤러 300: 지그 블록 이송 유닛
310: 지지 가이드 320: 지지 테이블
330: 시소 링크 340: 작동 부재
350: 제1승강 부재 400: 연장 유닛
410: 연장 가이드 420: 연장 테이블
510, 520: 개폐 유닛 511, 521: 제1회전 링크
512, 522: 제2회전 링크 513, 523: 캡 부재
514, 524: 링크 회전 부재 610, 620: 그리퍼 유닛
700: 그리퍼 이송 유닛 800: 호스 지지 유닛
810: 호스 롤러 820: 롤러 지지부
901, 902: 수커넥터 903, 904: 암커넥터
110, 120: jig block 200: mount table
210: guide roller 300: jig block transfer unit
310: support guide 320: support table
330: seesaw link 340: no operation
350: first lifting member 400: extension unit
410: extension guide 420: extension table
510, 520: opening and closing units 511, 521: first rotation link
512, 522: second rotation link 513, 523: cap member
514, 524: Link rotating member 610, 620: Gripper unit
700: Gripper transfer unit 800: Hose support unit
810: hose roller 820: roller support
901, 902: male connector 903, 904: female connector

Claims (11)

탱크 롤리와 호스로 연결된 수커넥터를 전달 받아 ACQC 유닛의 암커넥터에 자동으로 장착하는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치에 있어서,
상기 수커넥터가 장착되어 고정되는 지그 블록;
상기 지그 블록이 고정되는 마운트 테이블;
상기 마운트 테이블에 수평 방향으로 배열되어 설치되는 복수의 가이드 롤러; 및
상기 복수의 가이드 롤러의 움직임을 수평 방향으로 가이드하는 한 쌍의 지지 가이드와, 상기 한 쌍의 지지 가이드가 고정되는 지지 테이블과, 링크 결합구조에 의해 길이가 늘어나거나 줄어들도록 구성되어 상기 마운트 테이블에 일측이 연결되는 시소 링크와, 상기 마운트 테이블이 상기 한 쌍의 지지 가이드를 따라 움직일 수 있도록 상기 시소 링크의 타측에 연결되어 상기 시소 링크(Scissor Link)를 작동시키는 작동 부재를 구비하는 지그 블록 이송 유닛;을 포함하는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
In the male connector automatic connection device for the ACQC unit that receives the male connector connected to the tank lolly and the hose and automatically mounts it to the female connector of the ACQC unit,
A jig block to which the male connector is mounted and fixed;
A mount table to which the jig block is fixed;
A plurality of guide rollers arranged and installed in the horizontal direction on the mount table; And
A pair of support guides for guiding the movements of the plurality of guide rollers in a horizontal direction, a support table to which the pair of support guides are fixed, and a length of which is increased or decreased by a link coupling structure, the mount table is A jig block transfer unit having a seesaw link to which one side is connected, and an operation member connected to the other side of the seesaw link so as to move the mount table along the pair of support guides to operate the seesaw link. Male connector automatic connection device for ACQC unit comprising a.
제1항에 있어서,
상기 복수의 가이드 롤러가 가이드되어 상기 마운트 테이블이 움직일 수 있도록 상기 지그 블록 이송 유닛의 한 쌍의 지지 가이드에 이어져 동일 방향으로 연장되도록 배치되는 한 쌍의 연장 가이드와, 상기 연장 가이드가 결합되어 지지되는 연장 테이블을 구비하는 연장 유닛;을 더 포함하고,
상기 지그 블록 이송 유닛의 시소 링크는 상기 작동 부재의 행정을 확대하여 상기 마운트 테이블을 상기 연장 유닛까지 이송하는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
According to claim 1,
The plurality of guide rollers are guided, and a pair of extension guides arranged to extend in the same direction by being connected to a pair of support guides of the jig block transfer unit so that the mount table can move, and the extension guides are coupled and supported Further comprising; an extension unit having an extension table,
The seesaw link of the jig block transfer unit extends the stroke of the operation member to automatically connect the male connector for the ACQC unit to transfer the mount table to the extension unit.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 지그 블록 이송 유닛의 작동 부재는 상기 시소 링크의 어느 하나의 링크에 연결되어 그 링크의 각도를 조절하도록 신축되는 공압 액츄에이터인 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
The method according to claim 1 or 2,
The operation member of the jig block transfer unit is connected to any one link of the seesaw link, the male connector automatic connection device for the ACQC unit which is a pneumatic actuator that is stretched and adjusted to adjust the angle of the link.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 지그 블록 이송 유닛의 작동 부재는 상기 시소 링크의 어느 하나의 링크에 연결되어 그 링크의 각도를 조절하도록 신축되는 볼스크류나 리니어 모터 중 어느 하나인 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
The method according to claim 1 or 2,
The operation member of the jig block transfer unit is connected to any one link of the seesaw link, the male connector automatic connection device for the ACQC unit which is either a ball screw or a linear motor that is stretched to adjust the angle of the link.
제3항에 있어서,
상기 연장 유닛의 연장 테이블은, 상기 ACQC 유닛이 설치되는 건물의 내부에서 상기 건물의 내벽 바깥까지 연장되는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
According to claim 3,
The extension table of the extension unit, the male connector automatic connection device for the ACQC unit extending from the inside of the building where the ACQC unit is installed to the outside of the inner wall of the building.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 ACQC 유닛에 고정되는 고정 링크와, 상기 고정 링크에 회전 가능하게 결합되는 제1회전 링크와, 상기 고정 링크에 회전 가능하게 결합되는 제2회전 링크와, 상기 제1회전 링크 및 제2회전 링크에 각각 회전 가능하게 결합되고 상기 암커넥터의 입구를 막을 수 있도록 형성되는 캡 부재와, 상기 캡 부재에 의해 상기 암커넥터의 입구를 개폐하도록 상기 제1회전 링크와 제2회전 링크 중 어느 하나를 회전시키는 링크 회전 부재를 구비하는 개폐 유닛;을 더 포함하는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
The method according to claim 1 or 2,
A fixed link fixed to the ACQC unit, a first rotating link rotatably coupled to the fixed link, a second rotating link rotatably coupled to the fixed link, and the first rotating link and the second rotating link And a cap member rotatably coupled to each other and formed to block the inlet of the female connector, and rotate any one of the first and second rotating links to open and close the inlet of the female connector by the cap member. ACQC unit male connector automatic connection device further comprising a; opening and closing unit having a link rotating member to let.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 지그 블록으로부터 상기 수커넥터를 전달 받아 고정하는 그리퍼 유닛; 및
상기 그리퍼 유닛에 파지된 상기 수커넥터가 상기 ACQC 유닛의 암커넥터에 착탈되도록 상기 그리퍼 유닛을 이송하는 그리퍼 이송 유닛;을 더 포함하는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
The method according to claim 1 or 2,
A gripper unit for receiving and fixing the male connector from the jig block; And
And a gripper transfer unit for transferring the gripper unit so that the male connector gripped by the gripper unit is detachably attached to the female connector of the ACQC unit.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수커넥터에 연결된 호스의 외면 요철을 완충 지지할 수 있도록 탄성 재질로 형성된 호스 롤러와, 상기 호스 롤러를 회전 가능하게 지지하는 롤러 지지부를 구비하고 상기 마운트 테이블의 후방에 배치되는 호스 지지 유닛;을 더 포함하는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
The method according to claim 1 or 2,
A hose roller formed of an elastic material so as to cushion and support the outer surface irregularities of the hose connected to the male connector, and a hose support unit provided with a roller support portion rotatably supporting the hose roller and disposed behind the mount table; Male connector automatic connection device for ACQC unit further comprising.
제8항에 있어서,
상기 호스 지지 유닛은, 승강 가능하게 설치되는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
The method of claim 8,
The hose support unit is a male connector automatic connection device for the ACQC unit is installed to be elevated.
제9항에 있어서,
상기 호스 지지 유닛의 호스 롤러는 복수로 구비되고, 상기 복수의 호스 롤러는 상기 호스의 하면과 측면을 각각 지지하도록 상기 롤러 지지부에 회전 가능하게 설치되는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
The method of claim 9,
A plurality of hose rollers of the hose support unit are provided, and the plurality of hose rollers are automatically connected to the male connector for the ACQC unit, which is rotatably installed on the roller support portion to support the bottom and side surfaces of the hose, respectively.
제8항에 있어서,
상기 호스 지지 유닛의 롤러 지지부는, 상기 호스의 외면 요철에 의한 충격을 완화시킬 수 있도록 탄성 지지되는 ACQC 유닛용 수커넥터 자동 접속 장치.
The method of claim 8,
The roller support part of the hose support unit, the male connector automatic connection device for the ACQC unit is elastically supported so as to mitigate the impact caused by the unevenness of the outer surface of the hose.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140118105A (en) * 2013-03-28 2014-10-08 주식회사 원익아이피에스 Substrate process apparatus
KR101572537B1 (en) * 2015-06-15 2015-11-27 주식회사 에이치에스티 Auto-connecting system between chemical tank lorry and acqc
KR101796655B1 (en) * 2017-08-28 2017-11-10 (주)에스티아이 Automatic supplying apparatus of chemical
KR20180002237A (en) * 2016-06-29 2018-01-08 김태형 The male connector feed driving device for the automatic cleaning device connected to feed the chemical

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140118105A (en) * 2013-03-28 2014-10-08 주식회사 원익아이피에스 Substrate process apparatus
KR101572537B1 (en) * 2015-06-15 2015-11-27 주식회사 에이치에스티 Auto-connecting system between chemical tank lorry and acqc
KR20180002237A (en) * 2016-06-29 2018-01-08 김태형 The male connector feed driving device for the automatic cleaning device connected to feed the chemical
KR101796655B1 (en) * 2017-08-28 2017-11-10 (주)에스티아이 Automatic supplying apparatus of chemical

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