KR20200010786A - Syringe unit device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 헤드유닛에 고정 상태에서 평판 디스플레이 등과 같은 토출대상물에 점성 액체를 토출하는 시린지 유닛 장치에 대한 것이다.The present invention relates to a syringe unit apparatus for discharging viscous liquid to a discharge object such as a flat panel display in a fixed state to a head unit.
일반적으로 평판 디스플레이 또는 반도체 패키지 등과 같은 전자 기기의 제조공정에서는 부품의 상호 접착이나 유체 충진 등의 공정이 수행된다.In general, in the manufacturing process of an electronic device such as a flat panel display or a semiconductor package, a process such as adhesion of parts or fluid filling is performed.
액정 디스플레이(Liquid Crystal Display : LCD), 유기발광 다이오드(Organic Light Eimitting Diode : OLED) 디스플레이 등과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD)는 두 개의 평판을 합착하여 제조한다. 두 개의 평판 합착을 위하여 페이스트(Paste) 또는 실런트(Sealant) 등과 같은 점성 액체를 디스펜서를 이용하여 어느 하나의 평판에 디스펜싱한다. 한편, 반도체 패키지 제조시 다이 본딩 공정에서 에폭시(Epoxy)를 디스펜서를 통해 디스펜싱한다. 디스펜서를 이용하여 점성 액체를 디스펜싱하는 경우, 점성 액체를 보관하는 시린지를 디스펜서에 장착하여 사용한다. 디스펜서에 충전된 점성 액체가 완전히 소모되거나 소모되기 전에 새로운 시린지로 교체하는 것이 요구된다.Flat panel displays (FPDs), such as liquid crystal displays (LCDs) and organic light emitting diode (OLED) displays, are manufactured by bonding two flat panels together. In order to bond the two plates, a viscous liquid such as a paste or a sealant is dispensed onto one of the plates using a dispenser. Meanwhile, epoxy is dispensed through a dispenser in a die bonding process in the manufacture of a semiconductor package. In the case of dispensing viscous liquid using a dispenser, a syringe for storing the viscous liquid is attached to the dispenser and used. It is necessary to replace with a new syringe before the viscous liquid filled in the dispenser is completely consumed or consumed.
점성 액체를 보관하는 시린지의 교체는 작업자에 의한 수동 작업으로 이루어지거나 일부 자동화된 시린지 교체 시스템을 통해 이루어질 수 있다. 일례로서, 본 출원인이 출원한 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0066713호(2011.06.17. 공개)는 시린지를 자동으로 교체하는 시린지 교체시스템 및 이를 구비하는 페이스트 디스펜서를 개시한다.Replacement of syringes containing viscous liquids may be by manual operation by an operator or through some automated syringe replacement system. As an example, Korean Patent Application Publication No. 10-2011-0066713 (published on June 17, 2011) filed by the present applicant discloses a syringe replacement system for automatically replacing a syringe and a paste dispenser having the same.
그러나 수동 작업을 통해 시린지를 교체하는 경우에는 작업자가 직접 관여하여야 하므로 불편하고 교체 시간이 많이 소요되는 문제가 있다. 또한, 시린지의 자동 교체의 경우에도 시린지를 인식하고 시린지를 디스펜서의 헤드 유닛으로부터 탈착하고 장착하는 과정이 정확하게 이루어지지 않는 문제점이 있을 수 있다.However, when replacing the syringe through a manual operation, the operator must be directly involved, there is a problem that takes a lot of inconvenience and replacement time. In addition, even in the case of automatic replacement of the syringe, there may be a problem in that the process of recognizing the syringe and detaching and mounting the syringe from the head unit of the dispenser is not performed correctly.
이러한 문제점을 해결하기 위해 본 출원인은 대한민국 공개특허공보 제10-2017-0134088호(2017.12.06. 공개) "시린지 유닛 교체 장치 및 방법과 이를 구비한 점성 액체 디스펜서"를 출원한 바 있다. 상기 공개특허공보에 따르면, 시린지 보관대에 보관된 시린지를 시린지 유닛 교체 장치를 이용하여 교체하는 구성을 개시한다.In order to solve this problem, the present applicant has filed a Korean Patent Application Publication No. 10-2017-0134088 (published on Dec. 06, 2017), "A syringe unit replacement apparatus and method and a viscous liquid dispenser having the same". According to the above patent publication, a configuration for replacing a syringe stored in a syringe holder using a syringe unit replacement device is disclosed.
이에 대하여 본 발명은 종래기술에 비해 개선된 점성 액체 토출을 가능하게 하고 보다 효과적으로 시린지 유닛을 헤드유닛에 결합할 수 있는 시린지 유닛 장치의 기술을 제시하고자 한다.On the contrary, the present invention is directed to a technique of a syringe unit apparatus that enables improved viscous liquid discharge and more effectively couples the syringe unit to the head unit compared to the prior art.
본 발명은 시린지의 점성 액체를 챔버로 덜어서 챔버에서 점성 액체를 토출대상물에 토출하는 것이 가능하고, 시린지 유닛 교체 장치에 의해 시린지 유닛을 헤드유닛에 장착하기 위한 최적의 장착구조를 가지는 시린지 유닛 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is capable of discharging the viscous liquid of the syringe into the chamber to discharge the viscous liquid from the chamber to the discharge object, and having a syringe unit device having an optimal mounting structure for mounting the syringe unit to the head unit by the syringe unit replacement device. It aims to provide.
본 발명은, 내부에 점성 액체가 저장되는 시린지 및 상기 시린지가 장착되고 상기 시린지로부터 상기 점성 액체를 공급받아 토출하는 토출부를 포함하는 시린지 유닛; 및 상기 토출부가 고정되는 고정장치; 를 포함하고, 상기 시린지 유닛은 상기 고정장치에 일체로 장착 또는 탈착되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치를 제공한다.The present invention includes a syringe unit including a syringe in which a viscous liquid is stored, and a discharge unit to which the syringe is mounted and receives and discharges the viscous liquid from the syringe; And a fixing device to which the discharge part is fixed. Includes, the syringe unit provides a syringe unit device, characterized in that the mounting or detachment integrally to the fixing device.
또한, 상기 토출부 내부에는 상기 시린지 내부의 점성 액체가 충진되는 챔버가 구비될 수 있다.In addition, a chamber in which the viscous liquid is filled in the syringe may be provided in the discharge part.
또한, 상기 토출부는 상기 시린지가 결합되는 삽입홀이 구비되는 제1 몸체 및 상기 제1 몸체의 하향으로 연장되는 것으로서 상기 제1 몸체보다 작은 면적으로 형성되고 점성 액체를 토출대상물에 토출하는 노즐이 구비되는 제2 몸체로 이루어지는 노즐홀더; 를 포함하고, 상기 챔버는 상기 제1 몸체 내부에 구비될 수 있다.The discharge part may include a first body having an insertion hole to which the syringe is coupled, and a nozzle extending downward of the first body and having a smaller area than the first body and discharging viscous liquid to the discharge object. A nozzle holder comprising a second body; It includes, the chamber may be provided inside the first body.
또한, 상기 토출부는 수위감지 윈도우가 구비되는 캡을 더 포함하고, 상기 제1 몸체의 삽입홀 부근에 상기 캡이 안치되는 캡 안치부가 구비될 수 있다.The discharge part may further include a cap having a water level sensing window, and a cap settled part in which the cap is placed in the vicinity of an insertion hole of the first body may be provided.
또한, 상기 수위감지 윈도우의 상부에 챔버의 점성 액체 수위를 감지하는 수위감지 센서가 구비될 수 있다.In addition, a water level sensor may be provided at the top of the water level detection window to detect the level of the viscous liquid of the chamber.
또한, 상기 캡의 일측 단부에는 상기 챔버와 연통되며 상기 챔버로 공압을 공급하는 제1 피팅부가 구비될 수 있다.In addition, one end of the cap may be provided with a first fitting portion communicating with the chamber and supplying air pressure to the chamber.
또한, 상기 제1 몸체와 제2 몸체에는 상기 시린지와 연통되는 제2 피팅부와 상기 챔버와 연통되는 제3 피팅부가 구비되고 상기 제2 피팅부와 제3 피팅부는 피팅배관라인에 의해 연결될 수 있다.The first body and the second body may include a second fitting part communicating with the syringe and a third fitting part communicating with the chamber, and the second fitting part and the third fitting part may be connected by a fitting pipe line. .
또한, 상기 노즐홀더 내부에는 다이아프램 밸브가 구비되며 상기 다이아프램 밸브는 상기 챔버와 제3 피팅부를 연결하는 유로를 개폐할 수 있다.In addition, a diaphragm valve may be provided inside the nozzle holder, and the diaphragm valve may open and close a flow path connecting the chamber and the third fitting part.
또한, 상기 다이아프램 밸브는 핀 액추에이터의 신축 작동에 의해 개폐가 제어될 수 있다.In addition, the diaphragm valve can be controlled to open and close by the expansion and contraction operation of the pin actuator.
또한, 상기 시린지 유닛은 상기 고정장치에 고정되고, 상기 토출부에는 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부가 구비될 수 있다.In addition, the syringe unit is fixed to the fixing device, the discharge portion may be provided with a first gripper support and a second gripper support.
또한, 상기 시린지 유닛의 교체시 상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는 시린지 유닛 교체 장치의 제1, 2 그립퍼의 서로 마주보는 면에 구비되는 삽입홈에 삽입된 상태로 상기 제1 그립퍼와 제2 그립퍼에 파지될 수 있다.In addition, when the syringe unit is replaced, the first gripper support part and the second gripper support part are inserted into insertion grooves provided on opposite surfaces of the first and second grippers of the syringe unit replacement device, and the first gripper and the first gripper support part. Can be gripped by two grippers.
또한, 상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는 상기 제2 몸체의 일측면에서 돌출되는 한 쌍의 봉 형태일 수 있다.In addition, the first gripper support and the second gripper support may be in the form of a pair of rods protruding from one side of the second body.
또한, 상기 제1 그립퍼 지지부의 반대편 상기 제1 몸체 부위에는, 상기 고정장치에 결합되는 돌출 봉 형태의 접속부가 구비되고 상기 접속부 위쪽에는 상기 고정장치의 위치고정핀이 삽입되는 고정홀이 구비되며, 상기 고정홀과 상기 접속부 사이에는 상기 고정장치에 구비되는 결합핀이 삽입되는 핀홀이 구비될 수 있다.In addition, the first body portion on the opposite side of the first gripper support portion is provided with a connecting rod-shaped connecting portion coupled to the fixing device, and a fixing hole for inserting the position fixing pin of the fixing device is provided above the connecting portion. Between the fixing hole and the connection portion may be provided with a pin hole for inserting the coupling pin provided in the fixing device.
또한, 상기 고정장치는 상기 접속부에 구비되는 홈이 물리는 물림부가 구비되는 척; 및 상기 척에 연결되면서 위치고정핀 및 결합핀이 구비되고 상기 접속부가 통과하는 관통공이 구비되는 플레이트; 를 포함하며, 상기 위치고정핀 및 결합핀은 상기 플레이트에서 상기 노즐홀더를 향하여 돌출될 수 있다.In addition, the fixing device is a chuck provided with a biting portion that the groove provided in the connecting portion; And a plate having a fixing pin and a coupling pin connected to the chuck and having a through hole through which the connection part passes. It includes, the positioning pin and the coupling pin may protrude toward the nozzle holder in the plate.
또한, 상기 플레이트에는 히터가 장착되고, 상기 플레이트는 상기 제1 몸체에 접하여 상기 플레이트의 열이 상기 챔버 내부의 점성 액체로 전달될 수 있다. In addition, the plate is mounted with a heater, the plate is in contact with the first body heat of the plate can be transferred to the viscous liquid inside the chamber.
또한, 상기 플레이트에는, 상기 제2 몸체의 측면에 접하는 제1 가열플레이트와 제2 가열 플레이트를 포함하는 노즐 가열블록이 구비되고, 상기 노즐 가열블록을 통해 상기 플레이트의 열이 상기 제2 몸체로 전달될 수 있다. In addition, the plate is provided with a nozzle heating block including a first heating plate and a second heating plate in contact with the side of the second body, the heat of the plate is transferred to the second body through the nozzle heating block. Can be.
또한, 상기 노즐 가열블록은, 상기 플레이트에 결합되는 헤드부를 포함하고, 상기 헤드부는 제1 탄성부재에 의해 탄성 지지 상태로 상기 플레이트에 장착될 수 있다. In addition, the nozzle heating block may include a head portion coupled to the plate, and the head portion may be mounted to the plate in an elastically supported state by a first elastic member.
또한, 상기 노즐 가열블록은 상기 제1 가열플레이트와 상기 제2 가열플레이트를 연결하는 제3 가열플레이트를 포함하고, 상기 제1 내지 제3 가열플레이트는 제2 탄성부재에 의해 탄성 지지된 상태로 상기 플레이트에 결합될 수 있다. The nozzle heating block may further include a third heating plate connecting the first heating plate and the second heating plate, wherein the first to third heating plates are elastically supported by the second elastic member. May be coupled to the plate.
본 발명은 사용이 완료된 시린지 유닛의 교체 작업이 자동으로 이루어질 수 있도록 시린지 유닛 교체 장치에 의해 시린지 유닛을 헤드유닛에 장착하기 위한 최적의 장착구조를 가지는 시린지 유닛 장치를 제공함으로써 점성 액체 디스펜싱 공정의 편리성이 증대되고 작업 시간을 단축할 수 있다.The present invention provides a syringe unit apparatus having an optimal mounting structure for mounting the syringe unit to the head unit by the syringe unit replacement device so that the replacement operation of the used syringe unit can be automatically performed. Convenience is increased and work time can be shortened.
결합에 최적화된 구조의 시린지 유닛 장치를 제공함으로써 점성 액체 디스펜싱 공정의 편리성이 증대되고 작업 시간을 단축할 수 있다.By providing a syringe unit device with a structure optimized for bonding, the convenience of the viscous liquid dispensing process can be increased and the working time can be shortened.
또한, 본 발명에 따르면 점성 액체를 공급하는 신규한 시린지 유닛을 제공하는 한편, 상기 시린지 유닛을 일체화하여 교체 가능하도록 하고, 교체시 시린지 유닛의 파지 및 헤드유닛의 장착을 정확하게 하는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, while providing a novel syringe unit for supplying a viscous liquid, it is possible to integrate and replace the syringe unit, it is effective to accurately hold the syringe unit and the mounting of the head unit when replacing.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시린지 유닛과 시린지 유닛 교체 장치를 포함하는 점성 액체 디스펜서를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부를 나타내는 정면 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부를 나타내는 배면 사시도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 고정장치를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 정면 사시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 배면 사시도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 측면도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 결합상태를 나타내는 사이도이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 노즐 가열블록에 토출부가 밀착 결합된 상태를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부에 시린지가 결합된 상태를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부의 확대도이다.
도 12는 도 11의 A-A 선단면도로서, 다이아프램 밸브의 개방 상태를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 제1 피팅부에 공압 공급시 챔버의 점성 액체가 노즐을 통해 토출대상물에 토출되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 14는 도 11의 A-A 선단면도로서, 다이아프램 밸브의 닫힌 상태를 나타내는 도면이다.
도 15는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛 교체 장치에 의한 시린지 유닛의 분리 과정을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a viscous liquid dispenser including a syringe unit and a syringe unit replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a front perspective view showing a discharge unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a rear perspective view illustrating a discharge part according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is a view showing a fixing device according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a front perspective view showing a separation state of the discharge portion and the fixing device according to an embodiment of the present invention.
6 is a rear perspective view illustrating a separation state of a discharge part and a fixing device according to an exemplary embodiment of the present invention.
7 is a side view showing a separation state of the discharge unit and the fixing device according to an embodiment of the present invention.
8 is a diagram showing a coupling state between the discharge unit and the fixing device according to an embodiment of the present invention.
9 is a view showing a state in which the discharge portion in close contact with the nozzle heating block according to an embodiment of the present invention.
10 is a view showing a state in which the syringe coupled to the discharge unit according to an embodiment of the present invention.
11 is an enlarged view of a discharge part according to an exemplary embodiment of the present invention.
It is AA sectional drawing of FIG. 11, and is a figure which shows the open state of a diaphragm valve.
FIG. 13 is a view illustrating a state in which a viscous liquid of a chamber is discharged to a discharge object through a nozzle when pneumatically supplied to a first fitting part according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 11 and showing a closed state of the diaphragm valve.
15 is a view showing a separation process of the syringe unit by the syringe unit replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals have the same reference numerals as much as possible even if displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, preferred embodiments of the present invention will be described below, but the technical spirit of the present invention is not limited thereto, but may be variously modified and modified by those skilled in the art.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시린지 유닛과 시린지 유닛 교체 장치를 포함하는 점성 액체 디스펜서를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a viscous liquid dispenser including a syringe unit and a syringe unit replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.
점성 액체 디스펜서(10)는, 프레임(20)과, 프레임(20) 상에 설치되고 점성 액체가 디스펜싱될 기판 등의 대상체가 탑재되는 스테이지(50)와, 스테이지(50)의 상부를 가로질러 설치되는 헤드 지지대(30)와, 상기 헤드 지지대(30)를 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 헤드유닛(40)과, 상기 헤드유닛(40)에 장착되며 점성 액체를 보관하고 토출하는 시린지 유닛(300)과, 상기 시린지 유닛(300)의 교체를 수행하는 시린지 유닛 교체 장치(100)를 포함한다. 일 실시예에 있어서 상기 헤드 지지대(30)는 Y축 방향으로 구동될 수 있다. 또한, 상기 프레임(20)의 일측에는 로봇 가이드 레일(60)이 구비되고, 상기 시린지 유닛 교체 장치(100)는 로봇 가이드 레일(60)을 따라 이동 가능하게 설치될 수 있다. 또한, 교체 전후의 시린지 유닛(300)을 보관하는 시린지 유닛 보관대(200)가 시린지 유닛 교체 장치(100)의 접근 가능한 위치에 구비될 수 있다.The
본 발명에 있어서, 시린지 유닛(300)의 교체는 특정 헤드유닛(40)에 장착된 시린지 유닛(300)에 저장된 점성 액체의 양이 소정값 이하로 감소한 경우에 이루어질 수 있다. 또한, 상기 시린지 유닛(300)의 교체가 필요한 헤드유닛(40)은 헤드 지지대(30)의 일측으로 이동시켜 시린지 유닛 교체 장치(100)로 시린지 유닛(300)의 교체를 수행하고, 다른 헤드유닛(40)은 계속하여 스테이지(50)에 로딩된 기판에 점성 액체를 토출하는 것도 가능할 수 있다. 도 1에서는 헤드 지지대(30)의 좌측에 위치한 2개의 헤드유닛(40)에 대하여 시린지 유닛(300)의 교체를 수행하고, 나머지 헤드유닛(40)을 이용하여 점성 액체를 토출하는 것을 예시적으로 나타내었다.In the present invention, the replacement of the
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부를 나타내는 정면 사시도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부를 나타내는 배면 사시도이다.2 is a front perspective view showing a discharge unit according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a rear perspective view showing a discharge unit according to a preferred embodiment of the present invention.
본 발명의 시린지 유닛 장치는, 시린지(310)와 토출부(320)로 이루어지는 시린지 유닛(300) 및 헤드유닛(40)과 연결되며 토출부(320)가 고정되는 고정장치(500)를 포함한다.The syringe unit apparatus of the present invention includes a fixing
토출부(320)에는 도 10의 시린지(310)가 장착된다. 토출부(320)는 시린지(310)에서 공급받은 점성 액체를 토출대상물(400)을 향하여 토출하는 장치이다. 토출부(320)는 노즐홀더(321) 및 캡(322)을 포함한다. 노즐홀더(321)는 제1 몸체(321a) 및 제2 몸체(321b)를 포함한다.The
제1 몸체(321a)의 상부에는 시린지(310) 하부가 대응 결합되는 삽입홀(321c)과 캡(322)이 안치 결합되는 캡 안치부(321d)가 구비된다. 캡 안치부(321d)는 삽입홀(321c)에 근접 위치하며 평면으로 이루어질 수 있다. 제1 몸체(321a)의 내부에는 시린지(310)에서 공급되는 점성 액체가 저장되는 챔버(340)가 구비된다.An upper portion of the
챔버(340)는 시린지(310)의 용적보다 작은 용적으로 형성되는 것이 바람직하다. 일 실시예에 있어서, 챔버(340)의 용적은 시린지(310) 용적의 1/5 ~ 1/20일 수 있다. 챔버(340) 내부의 점성 액체 충진량이 설정 수위보다 떨어지면 시린지(310)에 저장되어 있던 점성 액체가 챔버(340)로 공급된다.The
챔버(340)는 시린지(310)보다 작은 용적을 갖기 때문에 점성 액체의 토출을 미세하고 정밀하게 제어할 수 있다. 즉, 후술하는 바와 같이 챔버(340)에 공압이 공급되어 챔버(340)로부터 노즐(344)로의 점성 액체 공급이 제어되는데, 챔버(340)의 용적이 작기 때문에 공압 제어를 보다 미세하게 할 수 있는 장점이 있다. 종래에는 시린지(310)에 공급되는 공압에 의존하여 토출량이 제어되었으나, 시린지(310)의 용적이 크기 때문에 정밀한 공압 제어가 어려웠다.Since the
그러나 본 발명은 챔버(340)를 채용함에 따라 점성 액체의 정밀한 토출 제어가 가능하다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 점성 액체의 토출을 위해 시린지 내에 공압이 가해지는데 시린지 용량을 크게 하면 점성 액체가 시린지로부터 토출됨에 따라 시린지의 공기가 존재하는 공간이 커지고, 공압을 변화시켜 시린지 내의 점성 액체에 가해지는 압량을 조정하고자 할 때 공간의 공기에 의해 압력이 점성 액체의 표면에 전달되게 되므로 점성 액체로 가압력의 조정에 시간적 지연이 발생할 수 있다. 이러한 이유로 미세한 점성 액체 패턴을 양호한 정밀도로 평판 디스플레이에 토출하기 위해서는 시린지 내의 점성 액체의 감압 조정을 빈번하게 시행해야 하는데 기존 시린지 구조로서는 제어가 어려웠다.However, the present invention enables precise discharge control of the viscous liquid by employing the
그러나 본 발명은 시린지(310)에 저장되어 있던 점성 액체를 시린지(310)의 용적보다 더 작은 챔버(340)로 덜어서 챔버(340)에서 점성 액체를 토출대상물(400)을 향하여 토출하고, 챔버(340)에 양압 또는 음압을 공급하는 메커니즘을 통해 기존 시린지 장치의 문제를 해결할 수 있다. However, according to the present invention, the viscous liquid stored in the
일 실시예에 있어서, 제2 몸체(321b)는 제1 몸체(321a)의 하방으로 연장 형성될 수 있다. 제1 몸체(321a)는 제1 몸체(321a)의 단면적보다 작은 단면적을 갖도록 형성될 수 있다. 제2 몸체(321b)의 저면 단부에는 노즐(344)이 구비된다. 노즐(344)은 챔버(340) 하단에 위치하여 챔버(340)로부터 점성 액체를 전달받거나, 또는 별도 유로를 통해 챔버(340)로부터 점성 액체를 전달받을 수 있다.In one embodiment, the
제1 몸체(321a)의 정면에는 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)가 구비된다. 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)는 쌍을 이루며 배치될 수 있다. 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)는 제1 몸체(321a)의 일면에서 시린지 유닛 교체 장치(100)를 향하여 돌출되도록 형성될 수 있다. 도 2와 도 3에서는 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)가 상하로 배치되는 것으로 도시되었으나, 본 발명의 실시에 있어서 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)는 좌우로 배치될 수 있다. 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)가 좌우로 배치되는 경우, 제1 몸체(321a)의 좌우 폭은 도 2와 도 3에 도시된 것보다 더 크게 형성될 수 있다.The first
캡(322)에는 챔버(340)에 충진된 점성 액체 수위를 감지하는 수위감지 윈도우(342)가 구비될 수 있다. 수위감지 윈도우(342)는 투명한 창으로 구비되고, 수위감지 윈도우(342)의 상부에 광을 이용한 수위감지 센서(미도시)가 구비될 수 있다.The
상기 수위감지 센서는 레이저 거리 센서일 수 있으며, 상기 수위감지 윈도우(342)를 통해 광을 조사하고 수신함으로써 챔버(340)의 점성 액체 수위를 센싱할 수 있다. The level sensor may be a laser distance sensor, and may sense the viscous liquid level of the
캡(322)의 일측 단부에는 챔버(340)와 연통되는 제1 피팅부(331)가 구비될 수 있다. 제1 피팅부(331)를 통해 챔버(340) 내부로 공압을 공급할 수 있다. 시린지(310)의 점성 액체는 챔버(340) 내부로 전달되는데, 제1 피팅부(331)를 통해 챔버 내부로 공압을 공급함으로써 챔버(340) 내부에 저장된 점성 액체를 노즐(344)로 토출하거나 토출을 중지할 수 있다. 즉, 챔버(340) 내부에 양압이 공급되면 챔버(340)의 점성 액체는 노즐(344)을 통해 토출되고, 챔버(340) 내부에 음압이 공급되면 노즐(344)로의 점성 액체 공급이 중단된다.One end of the
제1 몸체(321a)의 일면에는 제2 피팅부(332)가 구비될 수 있다. 제2 피팅부(332)는 제1 몸체(321a)의 삽입홀(321c)에 결합되는 시린지(310)와 연통된다.One surface of the
제2 몸체(321b)의 일면에는 제3 피팅부(333)가 구비될 수 있다. 제2 피팅부(332)와 제3 피팅부(333)는 피팅배관라인(334)에 의해 연결된다. 피팅배관라인(334)은 점성 액체가 흐르는 유로를 제공한다. 제3 피팅부(333)는 제1 몸체(321a) 내부에 구비되는 챔버(340)와 연통된다. 제3 피팅부(333)는 제2 피팅부(332)와 제1 그립퍼 지지부(324) 사이에 위치할 수 있다.One side of the
시린지(310)의 내부의 점성 액체는 제2 피팅부(332), 피팅배관라인(334) 및 제3 피팅부(332)를 거쳐 챔버(340)로 이동한다.The viscous liquid in the
제1 몸체(321a)의 배면에는 접속부(328)가 구비된다. 접속부(328)는 봉 형태로 구성될 수 있으며, 도 5에 도시된 고정장치(500)를 향하여 돌출형성될 수 있다.The connecting
접속부(328)의 외주면에는 홈(328a)이 형성될 수 있다. 접속부(328)는 고정장치(500)와 결합시 고정장치(500)의 척(510)에 구비되는 복수의 조오(jaw) 등과 같은 물림부(510a)가 홈(328a)에 삽입되어 견고한 결합상태를 이룰 수 있다. 홈(328a)에 대한 물림부(510a)의 물림작동은 척(chuck)과 같은 공지된 기술에 의해 이루어질 수 있다.
접속부(328)가 구비되는 제1 몸체(321a)의 배면에는 고정홀(321e)과 핀홀(321f)이 구비된다. 일 실시예에 있어서, 고정홀(321e)과 핀홀(321f)은 접속부(328) 위쪽에 위치하고, 핀홀(321f)은 고정홀(321e) 아래에 위치할 수 있다. 핀홀(321f)은 복수로 구성될 수 있다.A fixing
고정홀(321e)에 고정장치(500)의 위치고정핀(521)이 삽입되고, 핀홀(321f)에 고정장치(500)의 결합핀(522)이 삽입된다.The
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 고정장치를 나타내는 도면이다.4 is a view showing a fixing device according to an embodiment of the present invention.
고정장치(500)는 헤드유닛(40)과 연결된다. 시린지 유닛(300)은 시린지 유닛 교체 장치(100)에 의해 고정장치(500)에 장탈될 수 있다.The fixing
고정장치(500)는 척(510) 및 플레이트(520)를 포함한다. 척(510)은 헤드유닛(40) 쪽에 위치하며, 접속부(328)가 물리는 복수의 물림부(510a)가 구비될 수 있다. 플레이트(520)는 노즐홀더(321) 쪽에 위치하며 척(510)과 연결된다. 척(510)은 로터리 척(rotary chuck)일 수 있다.Fixing
플레이트(520)의 내부에는 열을 전달하는 히터(341)가 구비될 수 있다. 히터(341)의 열은 챔버(40) 내부의 점성 액체 및 챔버(40)와 노즐(344)을 연결하는 유로(357)를 통과하는 점성 액체에 전달된다. 히터(341)의 열이 가해진 점성 액체는 점성이 낮아져 토출이 원활히 이루어질 수 있다. 히터(314)의 열은 플레이트(520)를 거쳐 챔버(40) 내부의 점성 액체로 전달될 수 있다. 플레이트(520)의 하부에는 온도센서(345)가 구비될 수 있다.The
플레이트(520)에는 위치고정핀(521) 및 결합핀(522)이 구비된다. 위치고정핀(521) 및 결합핀(522)은 플레이트(520)에서 노즐홀더(321)를 향하여 돌출될 수 있다. 결합핀(522)은 위치고정핀(521) 아래에 위치할 수 있다.The
위치고정핀(521)은 토출부(320)를 고정장치(500)에 고정하는 경우 위치를 정렬하는 역할을 하며 결합핀(522)보다는 작은 길이로 형성될 수 있다. 고정홀(321e)에 대응 결합되는 위치고정핀(521)과 핀홀(321f)에 대응 결합되는 결합핀(522)의 수에는 제한이 없다. 일 실시예에 있어서, 위치고정핀(521)은 1개, 결합핀(522)은 2개로 형성될 수 있다.The
플레이트(520)의 전면에는 노즐 가열블록(600)을 포함한다. 노즐 가열블록(600)은, 삽입공간(614)을 사이에 두고 이격된 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)를 포함할 수 있다. 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)는 제3 가열플레이트(617)에 의해 연결될 수 있다. 고정장치(500)에 토출부(320)가 고정되는 경우 상기 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)는 제2 몸체(321b)의 양측면에 접하고, 제3 가열플레이트(617)는 제2 몸체(321b)의 정면에 접한다.The front surface of the
플레이트(520)는 히터(341)에 의해 가열되는 한편, 플레이트(520)에 고정된 노즐 가열블록(600)으로 플레이트(520)의 열이 전달된다.The
고정장치(500)에 토출부(320)가 고정되는 경우, 플레이트(520)는 노즐홀더(321)의 제1 몸체(321a)에 접하고 플레이트(520)의 열은 챔버(340) 내부에 저장된 점성 액체로 전달된다. 또한, 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)는 제2 몸체(321b)의 양측면에 접하여 제2 몸체(321b)에 열을 전달함으로써 챔버(340)로부터 노즐(344)로 공급되는 점성 액체를 가열한다. 이러한 구성에 의해 챔버(340)에 저장된 점성 액체와 노즐(344)로 공급되는 점성 액체를 지속적으로 가열함으로써 점성을 유지할 수 있도록 한다.When the
노즐 가열블록(600)의 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)와 제3 가열플레이트(617)는 고정장치(500)에 토출부(320)가 고정되는 경우 제2 몸체(321b)의 양측면, 배면 등 3면을 밀착하여 감싼다. 이러한 구성에 의해 히터(341)의 열이 제1, 2, 3 가열플레이트(612, 613, 617)를 거쳐 제2 몸체(321b)로 전달되고 챔버(340)와 노즐(344)을 연결하는 유로(357)를 통과하는 점성 액체를 지속적으로 가열한다.The
고정장치(500)에 토출부(320)를 고정하는 경우, 노즐 가열블록(600)은 스프링 등과 같은 제1, 2 탄성부재(615, 616)에 의해 지지되면서 후퇴한다. 일 실시예에 있어서, 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)와 제3 가열플레이트(617) 자체가 탄성을 가질 수 있이며, 이 경우 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)와 제3 가열플레이트(617)가 제2 몸체(321b)에 밀착하면서 히터(341)의 열을 전달할 수 있다.When fixing the
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 정면 사시도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 배면 사시도이며, 도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 측면도이다.5 is a front perspective view illustrating a separation state of the discharge unit and the fixing device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a rear perspective view illustrating the separation state of the discharge unit and the fixing device according to an embodiment of the present invention. 7 is a side view illustrating a separation state of a discharge part and a fixing device according to an exemplary embodiment of the present invention.
플레이트(520)에는 관통공(524)이 구비된다. 관통공(524)은 결합핀(522)과 고정장치(500)의 헤드부(611) 사이에 위치한다. 관통공(524)을 통해 접속부(328)가 척(510)의 물림부(510a)에 결합될 수 있다.The
플레이트(520) 하부에는 결합영역(523)이 구비되며 결합영역(523)에는 노즐 가열블록(600)이 구비된다. 결합영역(523)은 결합핀(522) 아래의 위치한다.A
노즐 가열블록(600)은 헤드부(611) 및 헤드부(611)에서 하향으로 연장되는 제1, 2, 3 가열플레이트(612, 613, 617)를 포함한다.The
헤드부(611)는 볼트 또는 축핀 등과 같은 결합부재에 의해 결합영역(523) 상부에 결합된다. 헤드부(611)는 제1 탄성부재(615)에 의해 탄성 지지된다. 제1 탄성부재(615)는 헤드부(611)와 결합영역(523) 사이에 위치한다.The
제1, 2 가열플레이트(612, 613) 사이에는 삽입공간(614)이 구비된다. 제1, 2 가열플레이트(612, 613)는 제3 가열플레이트(617)에 의해 연결되며, 제2 탄성부재(616)에 의해 탄성 지지된다. 제2 탄성부재(616)는 제3 가열플레이트(617)와 결합영역(523) 사이에 위치한다.An
도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 결합상태를 나타내는 사이도이고, 도 9는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 노즐 가열블록에 토출부가 밀착 결합된 상태를 나타내는 도면이다.8 is a diagram illustrating a coupling state between a discharge unit and a fixing device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 9 illustrates a state in which the discharge unit is tightly coupled to a nozzle heating block according to an exemplary embodiment of the present invention. Drawing.
노즐홀더(321)와 고정장치(500)의 결합 시 삽입공간(614)에 제2 몸체(321b)가 대응 삽입된다. 이때, 제2 몸체(321b)는 제1, 2 탄성부재(615, 616)의 탄성 지지력에 의해 노즐 가열블록(600)에 밀착될 수 있다.When the
노즐홀더(321)와 고정장치(500)의 결합 시 제1 몸체(321a)는 헤드부(611) 위에 위치할 수 있다.When the
도 10은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부에 시린지가 결합된 상태를 나타내는 도면이고, 도 11은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부의 확대도이며, 도 12는 도 11의 A-A 선단면도로서, 다이아프램 밸브의 개방 상태를 나타내는 도면이다.10 is a view illustrating a state in which a syringe is coupled to a discharge unit according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 11 is an enlarged view of a discharge unit according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 12 is AA of FIG. 11. It is a sectional drawing which shows the open state of a diaphragm valve.
제1 몸체(321a)의 챔버(340)와 제3 피팅부(33)의 연결유로를 개폐하는 밸브(353)가 구비된다. 일 실시예에 있어서 상기 밸브(353)는 다이아프램 밸브(353)일 수 있다. 다이아프램 밸브(353)는 챔버(340)와 제3 피팅부(33)의 연결유로를 개폐한다. 다이아프램 밸브(353)는 핀 액추에이터(352)의 작동에 의해 개폐된다.A
밸브 작동핀(351)은 핀 액추에이터(352)와 연동하여 작동된다. 다이아프램 밸브(353) 개방시 밸브 작동핀(351)을 누르던 핀 액추에이터(352)의 길이는 축소되고 이에 밸브 작동핀(351)의 다이아프램(354) 누름 상태 해제로 다이아프램(354)이 개방되면서 다이아프램 밸브(353)가 열리게 된다.The
다이아프램 밸브(353) 폐쇄시 핀 액추에이터(352)의 길이가 신장되면서 밸브 작동핀(351)이 다이아프램(354)을 가압하여 다이아프램 밸브(353)가 닫히게 된다.When the
다이아프램 밸브(353)의 열림 상태에서 시린지(310)에 공압을 공급하면 공압에 의해 시린지(310) 내부의 점성 액체가 제2 피팅부(332), 피팅배관라인(334), 제3 피팅부(333)를 거쳐 챔버(340)로 충진된다.When pneumatic pressure is supplied to the
도 13은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 제1 피팅부에 공압 공급시 챔버의 점성 액체가 노즐을 통해 토출대상물에 토출되는 상태를 나타내는 도면이고, 도 14는 도 11의 A-A 선단면도로서, 다이아프램 밸브의 닫힌 상태를 나타내는 도면이다.FIG. 13 is a view illustrating a state in which a viscous liquid of a chamber is discharged to a discharge object through a nozzle when pneumatically supplied to a first fitting part according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 14 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 11. It is a figure which shows the closed state of a diaphragm valve.
다이아프램 밸브(353)의 열림 상태에서는 챔버(340)와 제3 피팅부(333)가 차단되기 때문에 시린지(310)의 점성 액체가 챔버(340)로 이동할 수 없게 된다. 이 상태에서 제1 피팅부(331)에 공압을 가하면 제1 피팅부(331)와 챔버(340)가 연결되어 있어 챔버(340)에 충진된 점성 액체가 노즐(344)을 통해 노즐(344) 아래에 위치하는 토출대상물(400)을 향하여 토출된다. In the opened state of the
일 실시예에 있어서, 다이아프램(354)은 EPDM(Ethylene Propylene Diene Monomer) 등과 같은 고무재질로 제작되는 시트(SHEET)일 수 있다. 다이아프램(354)는 다이아프램 밸브(353)에 부합하는 형태로 형성된다.In one embodiment, the
챔버(340)와 노즐(344)은 유로(357)에 의해 연결되어 있어 챔버(340)에 충진된 점성 액체는 챔버(340)와 유로(357)를 거쳐 노즐(344)을 통해 토출된다.The
한편, 시린지 유닛(300)의 교체시 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)는 시린지 유닛 교체 장치(100)의 제1 그립퍼(101) 및 제2 그립퍼(102)의 서로 마주보는 면에 구비되는 삽입홈(103)에 삽입된 상태로 제1 그립퍼(101)와 제2 그립퍼(102)에 의해 파지 된다.Meanwhile, when the
이 상태에서 시린지 유닛 교체 장치(100)가 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)를 후방으로 당기면 시린지 유닛(300)이 척(510)에서 분리된다.In this state, when the syringe
다음은 시린지 유닛을 고정장치에 결합하는 과정을 설명한다.The following describes the process of coupling the syringe unit to the fixing device.
도 5 내지 8과 같이 시린지 유닛(300)을 고정장치(500) 쪽으로 이동하여 고정장치(500)에 결합한다. 시린지 유닛(300)을 고정장치(500)에 결합시 고정장치(500)의 위치고정핀(521)은 고정홀(321e)에 대응 결합되고, 결합핀(522)은 핀홀(321f)에 대응 결합되며, 접속부(328)는 플레이트(520)의 관통공(524)에 대응 결합된다. 동시에 제2 몸체부(321b)는 노즐 가열블록(600)의 제1, 2 가열플레이트(612, 613) 사이의 삽입공간(614)에 결합되면서 제1 몸체(321a)는 헤드부(611)에 위치한다.5 to 8 to move the
제2 몸체부(321b)가 삽입공간(614)에 밀착 결합되는 과정에서 노즐 가열블록(600)의 헤드부(611)가 뒤로 밀리고, 노즐 가열블록(600)을 탄성 지지하던 제1, 2 탄성부재(615, 616)는 압축된다. 제1, 2 탄성부재(615, 616)의 탄성에 의해 제2 몸체부(321b)가 헤드부(611)에 긴밀히 밀착될 수 있다.The
접속부(328)의 홈(328a)은 관통공(524)을 통과하여 척(510)의 물림부(510a)에 견고하게 물림된다.The
다음은 점성 액체를 챔버에 충진하는 과정을 설명한다.The following describes the process of filling the chamber with viscous liquid.
도 10 내지 12와 같이 대용량의 시린지(310) 내의 점성 유체를 챔버(340) 내부로 옮겨 소량 토출 제어가 가능하도록 한다. 시린지(310)에 저장되는 점성 액체는 두 장의 기판이 합착되어 형성된 평판 디스플레이 패널을 합착하기 위한 페이스트(실런트) 또는 다이본딩 공정을 위한 에폭시 등일 수 있다.As shown in FIGS. 10 to 12, the viscous fluid in the large-
챔버(340)에 점성 액체를 충진하기 위해서 시린지(310) 내부로 공압을 공급한다. 시린지(310) 내부로 공압이 공급됨에 따라 시린지(310) 내부의 점성 액체는 시린지(310)와 챔버(340)를 연결하는 제2 피팅부(332), 피팅배관라인(334), 제3 피팅부(333) 등과 같은 유로를 거쳐 챔버(340)로 충진된다.Pneumatic pressure is supplied into the
점성 액체를 챔버(340)에 충진하는 과정에서 다이아프램 밸브(353)는 개방된다. 다이아프램 밸브(353)는 개폐는 핀 액추에이터(352)의 신축 작동에 의해 이루어진다. 핀 액추에이터(352)의 축소시 다이아프램(354)의 가압 상태가 해제되면서 다이아프램 밸브(353)가 열린다. 이 상태에서 시린지(310)에 공압을 가하면 시린지(310) 내부의 점성 액체가 제2 피팅부(332)와 피팅배관라인(334), 제3 피팅부(333)를 통해 제3 피팅부(333)와 연결된 챔버(340)로 충진된다.In filling the
다음은 점성 액체 토출 과정을 설명한다.The following describes the viscous liquid discharge process.
챔버(340)에 점성 액체가 충진된 상태에서 제1 피팅부(331)에 공압을 공급한다. 챔버(340)와 연통하는 제1 피팅부(331) 내부로 공압이 공급됨에 따라 챔버(340)에 충진된 점성 액체는 챔버(340)에서 챔버(340)와 노즐(344)을 연결하는 유로(357)를 거쳐 노즐(344)을 통해 토출대상물(400)에 토출된다.Pneumatic pressure is supplied to the first
한편, 도시되지 않은 제어부는, 수위감지 윈도우(342) 상부에 구비되는 수위감지 센서의 센싱값에 따라 챔버(340) 내부의 수위가 소정의 설정값 이하로 떨어지면, 점성 액체의 토출을 중단하고, 핀 액추에이터(352)를 축소하여 다이아프램 밸브(353)를 개방하고, 시린지(310)에 양압을 공급하여 시린지(310)의 점성 액체가 챔버(340)로 충진되게 한다. 또한, 제어부는, 수위감지 윈도우(342) 상부에 구비되는 수위감지 센서의 센싱값에 따라 챔버(340) 내부의 수위가 소정의 설정값 이상이 되면 핀 액추에이터(352)를 신장하여 다이아프램 밸브(353)를 닫아 챔버(340)로의 점성 액체 충진이 중단되게 한다.The controller (not shown) stops discharging the viscous liquid when the water level inside the
도 15와 같이 점성 액체 디스펜서(10)에 있어서 헤드유닛(40)에 결합되는 시린지 유닛(300)의 교체는 시린지 교체장치(100)에 의해 이루어질 수 있다.As illustrated in FIG. 15, the
도 15 (a)와 같이 시린지 유닛 교체 장치(100)의 제1, 2 그립퍼(101, 102)로 시린지 유닛(300)의 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)를 동시에 파지한다.As shown in FIG. 15 (a), the first
도 15 (b)와 같이 제1, 2 그립퍼(101, 102)를 당겨 헤드유닛(40)의 결합영역에서 시린지 유닛(300)을 분리한다. 척(510)의 물림부(510a)에 결합되어 있던 접속부(328)가 물림부(510a)에서 분리되면서 시린지 유닛(300)의 고정 상태가 해제된다.As shown in FIG. 15B, the first and
시린지 유닛(300)은 분리 과정에서 다른 구조물에 부딪히지 않아야 한다. 제1, 2 그립퍼(101, 102)에 파지된 상태의 시린지 유닛(300)은 제1, 2 그립퍼(101, 102)의 후진 작동에 의해 수평으로 이동하면서 분리가 이루어진다.
제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)의 일단이 제1 그립퍼(101)와 제2 그립퍼(102)의 삽입홈(103)에 삽입되어 견고한 파지 상태가 이루어지기 때문에 시린지 유닛(300)을 안전하게 분리할 수 있다.One end of the first
시린지 유닛 교체 장치(100)는 분리된 구 시린지 유닛(300)을 지정 장소에 놓고 로봇 가이드 레일(60)을 따라 시린지 유닛 보관대(200)로 이동한다. 경우에 따라서는, 시린지 유닛 보관대(200)에 분리된 구 시린지 유닛(300)을 보관하는 것도 가능할 수 있다. 시린지 유닛 보관대(200)로 이동한 시린지 유닛 교체 장치(100)는 시린지 유닛 보관대(200)에 구비되어 있는 새로운 시린지 유닛(300)을 파지한다.The syringe
구체적으로 시린지 유닛 교체 장치(100)는 새로운 시린지 유닛(300)의 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)를 제1 그립퍼(101)와 제2 그립퍼(102)로 파지한다.In detail, the syringe
시린지 유닛 교체 장치(100)는 로봇 가이드 레일(60)을 따라 헤드유닛(40)으로 이동한다. 시린지 유닛 교체 장치(100)는 구 시린지 유닛(300)의 제거로 비어 있는 헤드유닛(40)의 결합영역에 새로운 시린지 유닛(300)을 결합한다.The syringe
새로운 시린지 유닛(300)을 헤드유닛(40)의 결합영역에 결합시 새로운 시린지 유닛(300)의 접속부(328)가 헤드유닛(40)의 척(510)의 물림부(510a)에 대응 결합되면서 시린지 유닛(300)의 견고한 결합이 이루어진다.When the
본 발명에 따르면, 로봇 암과 등과 같은 시린지 유니 교체장치로 시린지 유닛을 교체할 경우 고정 또는 해제 작업이 신속 정확하게 이루어질 수 있다. 이로 인해 시린지 유닛의 교체에 소요되는 시간과 노력을 단축할 수 있도록 함과 아울러, 종래의 시린지 유닛의 결합을 위해 사용되었던 조임 볼트 등을 생략하여 분진 발생을 최소화하여 기판에 점성 액체를 토출하는 액정 도포 공정 중에 불순물의 유입을 최소화할 수 있다.According to the present invention, when the syringe unit is replaced with a syringe uni replacement device such as a robot arm, the fixing or releasing operation can be made quickly and accurately. As a result, it is possible to shorten the time and effort required for the replacement of the syringe unit, and to minimize the occurrence of dust by omitting the fastening bolts used for the combination of the conventional syringe units, thereby discharging the viscous liquid to the substrate. The introduction of impurities during the application process can be minimized.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various modifications, changes, and substitutions may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. will be. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are not intended to limit the technical spirit of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by the embodiments and the accompanying drawings. . The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.
10 : 점성 액체 디스펜서
20 : 프레임
30 : 헤드 지지대
40 : 헤드유닛
50 : 스테이지
60 : 로봇 가이드 레일
100 : 시린지 유닛 교체 장치
101 : 제1 그립퍼
102 : 제2 그립퍼
103 : 삽입홈
200 : 시린지 유닛 보관대
300 : 시린지 유닛
310 : 시린지
320 : 토출부
321 : 노즐홀더
321a : 제1 몸체
321b : 제2 몸체
321c : 삽입홀
321d : 캡 안치부
321e : 고정홀
321f : 핀홀
322 : 캡
324 : 제1 그립퍼 지지부
326 : 제2 그립퍼 지지부
328 : 접속부
328a : 홈
331 : 제1 피팅부
332 : 제2 피팅부
333 : 제3 피팅부
334 : 피팅배관라인
340 : 챔버
341 : 히터
342 : 수위감지 윈도우
344 : 노즐
345 : 온도센서
351 : 밸브 작동핀
352 : 핀 액추에이터
353 : 다이아프램 밸브
354 : 다이아프램
357 : 유로
400 : 토출대상물
500 : 고정장치
510 : 척
510a : 물림부
520 : 플레이트
521 : 위치고정핀
522 : 결합핀
523 : 결합영역
524 : 관통공
600 : 노즐 가열블록
611 : 헤드부
612 : 제1 가열플레이트
613 : 제2 가열플레이트
614 : 삽입공간
615 : 제1 탄성부재
616 : 제2 탄성부재
617 : 제3 가열플레이트10: viscous liquid dispenser 20: frame
30: head support 40: head unit
50: stage 60: robot guide rail
100: syringe unit replacement device 101: first gripper
102: second gripper 103: insertion groove
200: syringe unit storage 300: syringe unit
310: syringe 320: discharge part
321:
321b:
321d:
321f: pinhole 322: cap
324: first gripper support 326: second gripper support
328:
331: first fitting part 332: second fitting part
333: third fitting portion 334: fitting piping line
340: chamber 341: heater
342: water level detection window 344: nozzle
345: temperature sensor 351: valve operating pin
352: pin actuator 353: diaphragm valve
354: diaphragm 357: euro
400: discharge object 500: fixing device
510:
520: plate 521: position fixing pin
522: coupling pin 523: coupling region
524: through hole 600: nozzle heating block
611: head portion 612: first heating plate
613: second heating plate 614: insertion space
615: first elastic member 616: second elastic member
617: 3rd heating plate
Claims (19)
상기 토출부가 고정되는 고정장치;
를 포함하고,
상기 시린지 유닛은 상기 고정장치에 일체로 장착 또는 탈착되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.A syringe unit including a syringe in which a viscous liquid is stored, and a discharge unit in which the syringe is mounted and which receives and discharges the viscous liquid from the syringe; And
A fixing device to which the discharge part is fixed;
Including,
The syringe unit device, characterized in that the syringe unit is integrally mounted or detached to the fixing device.
상기 토출부 내부에는,
상기 시린지 내부의 점성 액체가 충진되는 챔버가 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 1,
Inside the discharge portion,
A syringe unit device, characterized in that the chamber is filled with a viscous liquid inside the syringe.
상기 토출부는,
상기 시린지가 결합되는 삽입홀이 구비되는 제1 몸체 및 상기 제1 몸체의 하향으로 연장되는 것으로서 상기 제1 몸체보다 작은 면적으로 형성되고 점성 액체를 토출대상물에 토출하는 노즐이 구비되는 제2 몸체로 이루어지는 노즐홀더;
를 포함하고,
상기 챔버는 상기 제1 몸체 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 2,
The discharge portion,
A first body having an insertion hole to which the syringe is coupled and a second body extending downward of the first body and having a smaller area than the first body and having a nozzle for discharging the viscous liquid to the discharge object; Nozzle holder made;
Including,
The chamber is a syringe unit device, characterized in that provided in the first body.
상기 토출부는,
수위감지 윈도우가 구비되는 캡을 더 포함하고,
상기 제1 몸체의 삽입홀 부근에 상기 캡이 안치되는 캡 안치부가 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 3, wherein
The discharge portion,
Further comprising a cap having a water level detection window,
Syringe unit device characterized in that the cap settled portion is provided with the cap in the vicinity of the insertion hole of the first body.
상기 수위감지 윈도우의 상부에 챔버의 점성 액체 수위를 감지하는 수위감지 센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 4, wherein
Syringe unit device, characterized in that the water level sensor for detecting the level of the viscous liquid of the chamber on the upper portion of the water level detection window.
상기 캡의 일측 단부에는,
상기 챔버와 연통되며 상기 챔버로 공압을 공급하는 제1 피팅부가 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 4, wherein
At one end of the cap,
And a first fitting portion communicating with the chamber and supplying air pressure to the chamber.
상기 제1 몸체와 제2 몸체에는 상기 시린지와 연통되는 제2 피팅부와 상기 챔버와 연통되는 제3 피팅부가 구비되고 상기 제2 피팅부와 제3 피팅부는 피팅배관라인에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 6,
The first body and the second body is provided with a second fitting part in communication with the syringe and a third fitting part in communication with the chamber, wherein the second fitting part and the third fitting part are connected by a fitting pipe line. Syringe unit device to say.
상기 노즐홀더 내부에는 다이아프램 밸브가 구비되며 상기 다이아프램 밸브는 상기 챔버와 제3 피팅부를 연결하는 유로를 개폐하는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 7, wherein
And a diaphragm valve inside the nozzle holder, wherein the diaphragm valve opens and closes a flow path connecting the chamber and the third fitting part.
상기 다이아프램 밸브는 핀 액추에이터의 신축 작동에 의해 개폐가 제어되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 8,
The diaphragm valve is a syringe unit device, characterized in that opening and closing is controlled by the expansion and contraction operation of the pin actuator.
상기 시린지 유닛은 상기 고정장치에 고정되고,
상기 토출부에는 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부가 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 3, wherein
The syringe unit is fixed to the fixing device,
The discharge unit is provided with a first gripper support portion and a second gripper support portion, characterized in that the syringe unit device.
상기 시린지 유닛의 교체시 상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는 시린지 유닛 교체 장치의 제1, 2 그립퍼의 서로 마주보는 면에 구비되는 삽입홈에 삽입된 상태로 상기 제1 그립퍼와 제2 그립퍼에 파지되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 10,
When the syringe unit is replaced, the first gripper support part and the second gripper support part are inserted into insertion grooves provided on opposite surfaces of the first and second grippers of the syringe unit replacement device, and the first gripper and the second gripper. A syringe unit device, wherein the syringe unit is gripped on.
상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는,
상기 제2 몸체의 일측면에서 돌출되는 한 쌍의 봉 형태인 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 11,
The first gripper support portion and the second gripper support portion,
Syringe unit device, characterized in that the pair of rods protruding from one side of the second body.
상기 제1 그립퍼 지지부의 반대편 상기 제1 몸체 부위에는,
상기 고정장치에 결합되는 돌출 봉 형태의 접속부가 구비되고 상기 접속부 위쪽에는 상기 고정장치의 위치고정핀이 삽입되는 고정홀이 구비되며, 상기 고정홀과 상기 접속부 사이에는 상기 고정장치에 구비되는 결합핀이 삽입되는 핀홀이 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치. The method of claim 3, wherein
On the first body portion opposite the first gripper support,
A protruding rod-shaped connecting portion coupled to the fixing device is provided, and a fixing hole into which the position fixing pin of the fixing device is inserted is provided above the connecting portion, and a coupling pin provided in the fixing device between the fixing hole and the connecting portion. The syringe unit device, characterized in that the pinhole is inserted.
상기 고정장치는,
상기 접속부에 구비되는 홈이 물리는 물림부가 구비되는 척; 및
상기 척에 연결되면서 위치고정핀 및 결합핀이 구비되고 상기 접속부가 통과하는 관통공이 구비되는 플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치. The method of claim 13,
The fixing device,
A chuck provided with a bite which is provided with a groove provided in the connection part; And
And a plate having a fixing pin and a coupling pin and a through hole through which the connection part is connected while being connected to the chuck.
상기 위치고정핀 및 결합핀은 상기 플레이트에서 상기 노즐홀더를 향하여 돌출되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 14,
The positioning pin and the coupling pin is a syringe unit device, characterized in that protruding toward the nozzle holder from the plate.
상기 플레이트에는 히터가 장착되고, 상기 플레이트는 상기 제1 몸체에 접하여 상기 플레이트의 열이 상기 챔버 내부의 점성 액체로 전달되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치. The method of claim 14,
The plate is equipped with a heater, the plate is in contact with the first body syringe unit device, characterized in that the heat of the plate is transferred to the viscous liquid inside the chamber.
상기 플레이트에는, 상기 제2 몸체의 측면에 접하는 제1 가열플레이트와 제2 가열 플레이트를 포함하는 노즐 가열블록이 구비되고,
상기 노즐 가열블록을 통해 상기 플레이트의 열이 상기 제2 몸체로 전달되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치. The method of claim 16,
The plate is provided with a nozzle heating block including a first heating plate and a second heating plate in contact with the side of the second body,
Syringe unit device characterized in that the heat of the plate is transferred to the second body through the nozzle heating block.
상기 노즐 가열블록은, 상기 플레이트에 결합되는 헤드부를 포함하고, 상기 헤드부는 제1 탄성부재에 의해 탄성 지지 상태로 상기 플레이트에 장착된 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.The method of claim 17,
The nozzle heating block includes a head portion coupled to the plate, wherein the head portion is a syringe unit device, characterized in that mounted to the plate in an elastically supported state by a first elastic member.
상기 노즐 가열블록은 상기 제1 가열플레이트와 상기 제2 가열플레이트를 연결하는 제3 가열플레이트를 포함하고, 상기 제1 내지 제3 가열플레이트는 제2 탄성부재에 의해 탄성 지지된 상태로 상기 플레이트에 결합되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치. The method of claim 18,
The nozzle heating block includes a third heating plate connecting the first heating plate and the second heating plate, wherein the first to third heating plates are elastically supported by the second elastic member to the plate. Syringe unit device, characterized in that coupled.
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- 2019-07-23 CN CN201921160125.5U patent/CN211563394U/en active Active
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