KR20190125861A - Inspection device and method for cassette - Google Patents

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KR20190125861A
KR20190125861A KR1020180050200A KR20180050200A KR20190125861A KR 20190125861 A KR20190125861 A KR 20190125861A KR 1020180050200 A KR1020180050200 A KR 1020180050200A KR 20180050200 A KR20180050200 A KR 20180050200A KR 20190125861 A KR20190125861 A KR 20190125861A
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이이원
권성오
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Abstract

The present invention relates to an inspection device and an inspection method using the same, which are used to inspect breakage or failure of a cassette used to store and transport a glass substrate. Therefore, according to a device for inspecting a cassette and a method thereof of the present invention, a laser sensor is used to deduct an exact measurement value with respect to the location of an end portion of a cassette support bar. Then, the measurement value is compared to the reference value of a mast cassette, thereby guaranteeing reliability of inspection. Furthermore, according to the present invention, a plurality of inspection units, which are simultaneously moved in a z-axis direction and have a laser sensing method, are used to conduct a batch inspection with respect to multi-row support bars, thereby rapidly deducing the measurement value. In addition, the simple operation structure of the inspection units enables a quick inspection with respect to the cassette. Continuous inspection is possible by the installation structure of the inspection units while not hindering the movement of the cassette which is completely inspected, thereby increasing the overall speed of a cassette inspection process.

Description

카세트 검사장치 및 방법{INSPECTION DEVICE AND METHOD FOR CASSETTE }Cassette inspection apparatus and method {INSPECTION DEVICE AND METHOD FOR CASSETTE}

본 발명은 글라스 기판의 수납 및 운반에 사용되는 카세트의 파손이나 불량을 검사하는 데 이용되는 검사장치 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus used for inspecting breakage or failure of a cassette used for storing and transporting a glass substrate and an inspection method using the same.

일반적으로 기판, 예컨대 LCD, OLED 등과 같은 대면적 평판표시장치를 구성하는 글라스 기판은 그 처리공정 간에 복수 개로 단위지워져 저장 및 운반되며, 이를 위한 수납 케이스로서 카세트(Cassette)가 사용된다. 이러한 카세트는 평판표시장치의 전 제조공정에서 기판의 수납 및 운반에 대한 최소 단위를 이루고 있다.In general, a glass substrate constituting a large area flat panel display device such as an LCD, an OLED, etc. is stored and transported in plural numbers during the processing process, and a cassette is used as a storage case for this. Such a cassette constitutes a minimum unit for storing and transporting a substrate in the entire manufacturing process of the flat panel display device.

도 1은 일반적인 카세트(1)에 대한 사시도로서, 외관상 전면이 개방된 대략 육면체 박스형상을 갖는다. 카세트(1)의 내부 수납공간(S)에는 후면에서 개방된 전면으로 연장되어 제공되되 카세트(1) 수직방향으로 수납피치(P)에 대응하는 간격으로 병설된 외팔보 형태의 서포트바(18)가 복수로 구비되며, 이러한 서포트바(18)는 동일 평면상에서 대면적의 기판(3)을 지지할 수 있도록 카세트(1) 수평방향으로도 소정 간격으로 병설되어 복수로 제공될 수 있다. 수납공간(S) 내에서 각각의 기판(3)은 동일 수평면에 위치하는 복수의 서포트바(18)에 의해 지지된 형태로 수납되며, 복수의 기판(3)은 상하방향으로 수납피치(P)에 따라 일정한 간격을 두고 수납공간(S) 내에 다단으로 수납된다.Fig. 1 is a perspective view of a general cassette 1, which has a substantially hexahedral box shape with an open front in appearance. The inner storage space (S) of the cassette (1) is provided extending from the rear to the open front, but the support bar 18 of the cantilever shape in parallel to the storage pitch (P) in the cassette (1) vertical direction is provided The support bar 18 may be provided in plural, and the support bar 18 may be provided in parallel with a predetermined interval in the horizontal direction of the cassette 1 so as to support the large-area substrate 3 on the same plane. In the storage space (S), each substrate 3 is accommodated in a form supported by a plurality of support bars 18 located on the same horizontal plane, the plurality of substrates 3 are stored in the vertical direction (P) In accordance with the predetermined intervals are accommodated in the storage space (S) in multiple stages.

한편 이러한 구조의 카세트(1)에서 카세트(1)의 영구변형이 일어나면 수납된 기판(3) 간 수직방향으로의 수납피치(P)가 불균일해지거나 또는 수평방향으로의 수평도가 저하될 수 있고 이에 따라 기판(3)의 반출입 과정이나 기판(3)을 수납한 카세트(1)의 운반과정에서 의도하지 않게 기판(3)이 손상될 위험이 있기 때문에, 검사장치를 이용해 카세트(1)의 변형 유무를 주기적으로 검사하여 교체 및 유지보수를 수행하고 있다.On the other hand, if the permanent deformation of the cassette 1 in the cassette 1 of such a structure occurs, the storage pitch P in the vertical direction between the accommodated substrates 3 may become uneven or the horizontal degree in the horizontal direction may be reduced. Accordingly, there is a risk that the substrate 3 may be unintentionally damaged during the carrying out of the substrate 3 or during the transportation of the cassette 1 accommodating the substrate 3, so that the cassette 1 may be deformed using an inspection apparatus. Regularly inspected for replacement and maintenance.

이 경우, 수납된 기판(3) 간 수직방향으로의 수납피치(P)의 균일도 및 수평방향으로의 수평도는 궁극적으로 외팔보 형태의 서포트바(18)와 관계되기 때문에, 카세트(1)의 영구변형 유무에 대한 여러 검사항목 중 특히 서포트바(18) 단부의 처짐이 설계기준치로부터 벗어난 정도에 대한 검사가 중요하다. In this case, since the uniformity of the storage pitch P in the vertical direction and the horizontal level in the horizontal direction between the accommodated substrates 3 is ultimately related to the support bar 18 in the form of a cantilever, the permanentity of the cassette 1 is permanent. Among the various inspection items for the presence of deformation, it is particularly important to check the degree of deflection of the end of the support bar 18 from the design reference value.

상기 서포트바(18)의 처짐의 정도를 검사하는 방법으로서, 종래 비젼 카메라와 같은 영상처리장치를 이용해 서포트바(18)에 대한 이미지를 촬상하는 방법이 보편적으로 적용되고 있으나, 측정하고자 하는 카세트(1) 제품군이 동일하더라도 그 형상이 균일하지 못하여 영상처리의 한계상 측정 편차의 발생이 불가피하고, 또한 최초 세팅된 측정 위치로 반복하여 측정하는 경우 설비 변경으로 발생된 치수 오류를 다시 측정 세팅해야 하고 때문에 검사속도가 현저히 지연되는 문제가 있고, 또한 이러한 형태의 검사장치에서는 검사 대상 카세트의 이동이 제한되어 검사공정을 연속적으로 수행하기 어려운 문제가 있다.As a method of inspecting the degree of deflection of the support bar 18, a method of capturing an image of the support bar 18 using an image processing apparatus such as a vision camera is generally applied. 1) Even if the product range is the same, the shape is not uniform and measurement deviation is inevitable due to the limitation of the image processing.In addition, if the measurement is repeated at the initially set measurement position, the dimension error caused by the change of the equipment must be measured again. Therefore, there is a problem that the inspection speed is remarkably delayed, and in this type of inspection apparatus, the movement of the cassette to be inspected is restricted, which makes it difficult to continuously perform the inspection process.

본 발명의 목적은, 카세트 서포트바의 위치 검사시 검사의 신뢰성 및 속도가 우수한 카세트 검사장치 및 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cassette inspection apparatus and method which is excellent in reliability and speed of inspection when inspecting a position of a cassette support bar.

본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위하여 예의 검토한 결과 이루어진 것으로, 그 요지는 특허청구범위에 기재한 바와 동일한 아래의 내용이다.The present invention has been made as a result of a thorough investigation in order to solve the above problems, the subject matter of which is the same as described in the claims.

(1) 전면이 개방된 박스형상을 가지며, 높이방향으로 일정한 수납피치에 대응하는 간격으로 배치되어 복수의 단을 형성함과 동시에 너비방향으로 하나 이상의 열을 형성하는 복수의 서포트바를 구비하되, 상기 서포트바가 내부 수납공간에서 후면에서 전면으로 연장되어 제공되는 형태를 가지며, 외부 컨베이어를 통해 연속적으로 이동되는 카세트를 검사하기 위한 검사장치로서, 상기 검사장치는 하나 이상의 검사유닛을 포함하며, 상기 검사유닛은, 상기 카세트의 이동경로를 y축으로 하고 상기 카세트의 높이방향 및 너비방향을 각각 z축 및 x축으로 할 때, z축 방향으로 연장되는 포스트 어셈블리; 일단이 상기 포스트 어셈블리에 슬라이딩 가능하게 장착되는 서포트; 상기 서포트의 타단에 고정되고, 상기 카세트의 전면 개방부를 향해 y축 방향으로 연장되며, 레이저센서 유닛을 탑재한 센싱유닛; 및 상기 서포트바를 슬라이딩시키기 위한 구동수단;을 포함하고, 상기 서포트의 슬리이딩 동작에 의해 상기 센싱유닛이 z축 방향으로 이동하는 과정에서, 상기 레이저센서 유닛이 상기 복수의 서포트바 단부 각각에 대한 z축 방향 위치를 감지하여 측정치로 수집하는 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.(1) a plurality of support bars having a box shape with an open front surface and arranged at intervals corresponding to a constant storage pitch in the height direction to form a plurality of stages and at least one row in the width direction; The support bar has a form provided extending from the rear to the front in the inner storage space, the inspection device for inspecting the cassette continuously moved through the outer conveyor, the inspection device includes at least one inspection unit, the inspection unit The post assembly extends in the z-axis direction when the movement path of the cassette is y-axis and the height and width directions of the cassette are z-axis and x-axis, respectively; A support, one end of which is slidably mounted to the post assembly; A sensing unit fixed to the other end of the support, extending in the y-axis direction toward the front opening of the cassette, and equipped with a laser sensor unit; And driving means for sliding the support bar, wherein the laser sensor unit is moved by the laser sensor unit in the z-axis direction by a sliding operation of the support. Cassette inspection apparatus, characterized in that the detection of the axial position to collect the measurement.

(2) 상기 검사유닛은 상기 카세트의 이동경로를 사이에 두고 x축 방향으로 대칭되어 쌍으로 제공되는 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 카세트 검사장치.(2) The cassette inspection apparatus according to (1), wherein the inspection units are provided in pairs symmetrically in the x-axis direction with the moving paths of the cassettes interposed therebetween.

(3) 상기 카세트의 검사위치 도달 여부를 감지하는 안착감지센서를 더 포함한 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 카세트 검사장치.(3) The cassette inspection apparatus of (1), further comprising a seating detection sensor for detecting whether the cassette reaches the inspection position.

(4) 상기 센싱유닛은 y축 방향으로 신축 가능한 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 카세트 검사장치.(4) The cassette inspection device according to (1), wherein the sensing unit is stretchable in the y-axis direction.

(5) 상기 레이저센서 유닛은 x축 방향으로 대향된 빔조사부 및 빔수신부로 이루어진 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 카세트 검사장치.(5) The cassette inspection apparatus according to (1), wherein the laser sensor unit comprises a beam irradiator and a beam receiver opposed to the x-axis direction.

(6) 상기 레이저센서 유닛은 복수로 제공되며, 복수의 레이저센서 유닛 각각은 복수의 서포트바 열 각각에 대응되어 제공되는 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 카세트 검사장치.(6) The cassette inspection apparatus according to (1), wherein the laser sensor unit is provided in plurality, and each of the plurality of laser sensor units is provided corresponding to each of the plurality of support bar rows.

(7) 상기 서포트가 슬라이딩 이동되어 검사 대기상태에 놓여진 경우 상기 카세트의 이동이 방해되지 않는 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 카세트 검사장치.(7) The cassette inspection apparatus of (1), wherein the movement of the cassette is not hindered when the support is slid and placed in a test standby state.

(8) 상기 측정치는 z축 방향으로 미리 설정된 최상단 점위치로부터 각 단의 서포트바가 갖는 직선변위 값인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 카세트 검사장치.(8) The cassette inspection apparatus according to (1), wherein the measurement value is a linear displacement value of the support bar of each stage from the highest point position preset in the z-axis direction.

(9) 상기 구동수단은 서보모터인 것을 특징으로 하는 상기 (1)의 카세트 검사장치.(9) The cassette inspection device according to (1), wherein the drive means is a servo motor.

(10) 전면이 개방된 박스형상을 가지며, 높이방향으로 일정한 수납피치에 대응하는 간격으로 배치되어 복수의 단을 형성함과 동시에 너비방향으로 하나 이상의 열을 형성하는 복수의 서포트바를 구비하되, 상기 서포트바가 내부 수납공간에서 후면에서 전면으로 연장되어 제공되는 형태를 가지며, 외부 컨베이어를 통해 연속적으로 이동되는 카세트를 검사하는 방법으로서, 상기 카세트의 이동경로를 y축으로 하고 상기 카세트의 높이방향 및 너비방향을 각각 z축 및 x축으로 할 때, 검사될 카세트를 y축 방향으로 이동시키면서 검사위치 도달 여부를 감지하는 단계; 레이저센서 유닛을 탑재한 센싱유닛을 서포트바 열의 z축 방향 점위치로 이동시키는 단계; 상기 센싱유닛을 z축 방향으로 이동시키면서 각 단의 서포트바가 갖는 직선변위 값을 측정치로 도출하는 단계; 상기 측정치를 외부 판정수단에 전송하는 단계; 상기 센싱유닛을 상기 카세트의 이동경로로부터 이탈시키는 단계; 검사완료된 카세트를 y축 방향으로 반출시키는 단계;를 포함하는 사이클 공정으로 수행되며, 상기 외부 판정수단은 기준치와 측정치를 비교하여 카세트의 불량여부를 판정하는 것을 특징으로 하는 카세트 검사방법.(10) having a box shape with an open front surface, and having a plurality of support bars arranged at intervals corresponding to a constant storage pitch in the height direction to form a plurality of stages and at least one row in the width direction; The support bar has a shape in which the support bar extends from the rear to the front in the inner storage space, and is a method for inspecting a cassette continuously moved through an external conveyor, wherein the cassette has a y-axis, and a height direction and width of the cassette. Detecting whether the inspection position is reached while moving the cassette to be inspected in the y-axis direction when the directions are the z-axis and the x-axis, respectively; Moving the sensing unit equipped with the laser sensor unit to a point position in the z-axis direction of the support bar row; Deriving a linear displacement value of the support bar of each stage while moving the sensing unit in the z-axis direction as a measured value; Transmitting the measurement to an external judging means; Separating the sensing unit from a movement path of the cassette; And carrying out the inspected cassette in the y-axis direction, wherein the external determination means compares the reference value and the measured value to determine whether the cassette is defective.

(11) 상기 점위치는 z축 방향 최상단으로 설정되고, 상기 센싱유닛은 상기 점위치로부터 z축 방향으로 하강되는 것을 특징으로 하는 상기 (10)의 카세트 검사방법.(11) The cassette inspection method according to (10), wherein the point position is set at the uppermost end in the z-axis direction, and the sensing unit is lowered in the z-axis direction from the point position.

본 발명의 카세트 검사장치 장치 및 방법에 따르면, 레이저센서를 사용함으로써 카세트 서포트바의 단부 위치에 대한 정확한 측정치 도출이 가능하고, 해당 측정치를 마스트 카세트의 기준치와 비교함으로써 검사의 신뢰성이 확보될 수 있다. 또한 본 발명에 따르면, z축 방향으로 동시 이동되는 한편 레이저 센싱 방식을 갖는 복수의 검사유닛을 이용해 다열 서포트바를 일괄 검사함으로써 신속한 측정치 도출이 가능하고, 검사유닛의 간단한 동작 구조에 의해 카세트에 대한 신속한 검사가 가능하고, 또한 검사유닛의 설치 구조에 의해 검사가 완료된 카세트의 이동을 방해하지 않으면서도 연속적인 검사가 가능하여, 카세트 검사공정에 관한 전체적인 속도가 향상될 수 있다.According to the cassette inspection apparatus apparatus and method of the present invention, accurate measurement of the end position of the cassette support bar can be derived by using a laser sensor, and reliability of inspection can be secured by comparing the measurement with the reference value of the mast cassette. . In addition, according to the present invention, it is possible to quickly derive the measured values by collectively inspecting the multi-row support bar using a plurality of inspection units having a laser sensing method while being simultaneously moved in the z-axis direction, and the quick operation of the cassette by the simple operation structure of the inspection unit. The inspection is possible, and the installation structure of the inspection unit enables continuous inspection without disturbing the movement of the completed cassette, so that the overall speed of the cassette inspection process can be improved.

도 1은 카세트의 구조도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 배치도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 사시도.
도 4는 도 3의 분해사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 센싱 유닛의 신장 및 수축에 관한 동작도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 검사과정에서 센싱 유닛의 배치 평면도.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치의 동작 도면.1 is a structural diagram of a cassette.
2 is a layout view of the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view of a test apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is an exploded perspective view of FIG. 3;
5 is an operation of the stretching and contraction of the sensing unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a plan view of the arrangement of the sensing unit in the inspection process according to an embodiment of the present invention.
7 and 8 are views of the operation of the inspection device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다. 도면에서 동일 또는 균등물에 대해서는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하였다. 또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 '포함' 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 어떤 구성요소가 '선택적으로' 제공, 구비 또는 포함된다고 할 때, 이는 본 발명의 해결과제를 위한 필수적으로 채택되는 구성요소는 아니나 그러한 해결과제와 견련성을 가지고 임의적으로 채택될 수 있음을 의미한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail with respect to the present invention. In the drawings, the same or equivalent reference numerals are given the same or similar reference numerals. In addition, throughout the specification, when a portion is to include a certain component, which means that it may further include other components, except for the other components, unless specifically stated otherwise. In addition, when any component is provided as 'optionally' provided, provided or included, it is not an essential component for the solution of the present invention, but it can be arbitrarily adopted in terms of such a solution. it means.

본 발명이 적용되는 카세트(1)는 상술한 도 1에 도시된 바와 같이, 전면이 개방된 박스형상을 가지며, 높이방향으로 일정한 수납피치(P)에 대응하는 간격으로 배치되어 복수의 단을 형성함과 동시에 너비방향으로 하나 이상의 열을 형성하는 복수의 서포트바(18)를 구비하되, 상기 서포트바(18)가 내부 수납공간(S)에서 후면에서 전면으로 연장되어 제공되는 형태를 갖는다. As shown in FIG. 1, the cassette 1 to which the present invention is applied has a box shape with an open front surface, and is arranged at intervals corresponding to a predetermined storage pitch P in the height direction to form a plurality of stages. At the same time having a plurality of support bar 18 to form one or more rows in the width direction, the support bar 18 has a form that is provided extending from the rear to the front in the inner storage space (S).

구체적으로 카세트(1)는 프레임 구조의 상부 지지부재(12) 및 하부 지지부재(14), 상부 지지부재(12) 및 하부 지지부재(14)의 가장자리를 지지하여 수직하게 연결하는 복수의 수직 지지부재(16)를 포함하며, 상기 서포트바(18)는 후면측 수직 지지부재(16)에 일단이 고정되어 전면 개방부로 연장된 외팔보 형태로 제공되며, 수직방향으로는 수납피치(P)에 대응하는 간격으로 병설된다. 또한 상기 수직 지지부재(16)에는 상기 수납피치(P)와 동일한 간격으로 돌설된 슬롯 핀(19)이 구비될 수 있다. 상기 카세트(1)를 구성하는 각 부재는 프레임 격자 구조로 예시되어 있지만, 이들 지지부재 중 전부 또는 일부는 플레이트 형태로 제공될 수 있다. 기판(3)은 카세트(1)의 개방된 전면을 통해 수납공간(S)으로 반출입되며, 수납공간(S) 내에서 각각의 기판(3)은 동일 수평면에 위치하는 복수의 서포트바(18) 및 슬롯 핀(19)에 의해 그 중심부 및 가장자리가 지지된 형태로 수납되고, 복수의 기판(3)은 상기 수납피치(P)에 따라 일정한 간격을 두고 수납공간(S) 내에 다단으로 수납된다. Specifically, the cassette 1 supports a plurality of vertical supports for vertically connecting the edges of the upper support member 12 and the lower support member 14, the upper support member 12, and the lower support member 14 of the frame structure. It includes a member 16, the support bar 18 is provided in the form of a cantilever that is fixed to the rear vertical support member 16, one end is extended to the front opening portion, corresponding to the storage pitch (P) in the vertical direction It is added at intervals to say. In addition, the vertical support member 16 may be provided with a slot pin 19 protruding at the same interval as the receiving pitch (P). Each member constituting the cassette 1 is illustrated in a frame lattice structure, but all or part of these support members may be provided in a plate form. The substrate 3 is carried in and out of the storage space S through the open front surface of the cassette 1, and each of the substrates 3 is located in the same horizontal plane in the storage space S. And a central portion and an edge thereof are supported by the slot pins 19, and the plurality of substrates 3 are stored in the storage space S in multiple stages at regular intervals according to the accommodation pitch P.

이러한 카세트(1)는 적재 및 보관을 위한 스토커 또는 카세트(1)의 세정을 위한 카세트(1) 세정장치와 연동되는 이른 바 인라인 시스템에 적용되는 검사장치를 이용하여 검사되는 것을 예정할 수 있으며, 이 경우 카세트(1)는 도면에 도시되어 있지 않은 외부 컨베이어에 의해 연속적으로 이동될 수 있는 것을 예정한다. 이하에서 설명 및 이해의 편의상, 상기 카세트(1)의 이동경로를 y축으로 하고 상기 카세트(1)의 높이방향 및 너비방향을 각각 z축 및 x축으로 하여 설명한다.Such a cassette 1 may be scheduled to be inspected using a stocker for loading and storage or a testing device applied to a so-called inline system that is interlocked with a cassette 1 cleaning device for cleaning the cassette 1, In this case it is assumed that the cassette 1 can be continuously moved by an external conveyor not shown in the figure. Hereinafter, for convenience of explanation and understanding, the moving path of the cassette 1 will be described as the y axis and the height and width directions of the cassette 1 will be described as the z axis and the x axis, respectively.

먼저 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(2)의 연결 및 설치 구조에 대해 설명한다. 도 2는 본 발명에 따른 검사장치(2)의 설치도를 나타내고, 도 3 및 4는 상기 검사장치(2)를 구성하는 검사유닛(20; 20A, 20B)의 사시도 및 분해사시도를 각각 나타낸다. 또한 도 5는 상기 검사유닛(20; 20A, 20B)을 구성하는 센싱유닛(230)의 신장 및 수축에 관한 동작도를 나타낸다.First, the connection and installation structure of the inspection apparatus 2 according to an embodiment of the present invention will be described. 2 shows an installation diagram of the inspection device 2 according to the present invention, and FIGS. 3 and 4 show a perspective view and an exploded perspective view of the inspection unit 20 (20A, 20B) constituting the inspection device 2, respectively. In addition, Figure 5 shows the operation of the stretching and contraction of the sensing unit 230 constituting the inspection unit (20; 20A, 20B).

도 2를 참고할 때, 상기 검사장치(2)는 도 3의 검사유닛(20; 20A, 20B)이 한 쌍을 이루어 제공된 예를 나타내고, 검사유닛(20; 20A, 20B)은 카세트(1)의 이동경로인 y축을 사이에 두고 x축 방향으로 대칭하여 제공되어 있다. 한 쌍의 검사유닛(20; 20A, 20B) 각각의 구조 및 동작 내용은 동일하며, 검사유닛(20; 20A, 20B)이 쌍을 이루어 복수로 제공됨으로써 서포트바(18) 열이 복수로 구비된 카세트(1)에 대한 검사 속도는 증가될 수 있다. 검사유닛(20; 20A, 20B)은 포스트 어셈블리(210), 서포트(220), 센싱유닛(230) 및 구동수단(240)을 포함한다. 상기 구동수단(240)은 서포트(220)를 매개로 궁극적으로 센싱유닛(230)의 z축 방향 변위를 유도하기 위해 제공되며, 실시예에서는 포스트 어셈블리(210)의 일 요소로 제공되는 것으로 예시하였다.Referring to FIG. 2, the inspection apparatus 2 shows an example in which the inspection units 20 (20A, 20B) of FIG. 3 are provided in pairs, and the inspection units 20 (20A, 20B) of the cassette 1 It is provided symmetrically in the x-axis direction with the y-axis as the movement path interposed therebetween. The structure and operation of each of the pair of test units 20 (20A, 20B) are the same, and the test units 20 (20A, 20B) are provided in plural in pairs so that a plurality of rows of support bars 18 are provided. The inspection speed for the cassette 1 can be increased. The inspection unit 20 (20A, 20B) includes a post assembly 210, the support 220, the sensing unit 230 and the driving means 240. The drive means 240 is provided to ultimately induce a z-axis displacement of the sensing unit 230 via the support 220, in the embodiment illustrated as being provided as one element of the post assembly 210. .

상기 포스트 어셈블리(210)는 z축 방향으로 연장되되, 그 높이는 검사 대상 카세트(1)보다 크다. 포스트 어셈블리(210)는 메인포스트(212)와 서브포스트(214)를 포함한다. 메인포스트(212)와 서브포스트(214)는 z축 방향으로 평행하게 배치되고 하나 이상의 커넥터(216)에 의해 연결된다. 한 쌍의 검사유닛(20; 20A, 20B)은 x축 방향으로 연장되는 브라켓(218)이 검사유닛(20; 20A, 20B) 각각의 메인포스트(212) 상단에 연결하는 방식으로 견고히 지지될 수 있다. 상기 브라켓(218)은 선택적으로 제공될 수 있으며, 도면에서 투명하게 도시하였다.The post assembly 210 extends in the z-axis direction, the height of which is greater than that of the inspection target cassette 1. Post assembly 210 includes a main post 212 and a subpost 214. Main post 212 and subpost 214 are arranged in parallel in the z-axis direction and connected by one or more connectors 216. The pair of inspection units 20 (20A, 20B) can be firmly supported in such a way that the bracket 218 extending in the x-axis direction is connected to the top of each main post 212 of the inspection units 20 (20A, 20B). have. The bracket 218 may optionally be provided and is shown transparently in the figure.

상기 메인포스트(212)은 그 하단이 카세트(1) 검사영역 근방, 예컨대 외부 컨베이어에 의해 y축 방향으로 이동되는 카세트(1)의 이동경로 근방에 고정되어 검사유닛(20; 20A, 20B)을 전체적으로 지지하는 역할을 한다. 선택적으로 메인포스트(212)의 소정 위치에는 카세트(1)의 검사위치 도달 여부를 감지하는 안착감지센서(250)가 구비될 수 있다. 안착감지센서(250)가 카세트(1)의 도달을 감지하면, 외부 컨베이어가 멈추고 카세트(1)는 정지된다. 이러한 안착감지센서(250)는 카세트(1)가 외부 컨베이어를 통해 검사위치로 연속적으로 공급되는 경우에, 검사 전후에서 카세트(1)이 정지 및 이동을 자동적으로 제어함으로써 연속적인 검사를 가능케 하고 이와 동시에 전체적인 검사 효율 및 속도를 향상시킨다. 실시예에서, 안착감지센서(250)가 메인포스트(212)에 제공되는 것으로 예시되어 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.The main post 212 has a lower end fixed near the inspection area of the cassette 1, for example, near a moving path of the cassette 1 moved in the y-axis direction by an external conveyor, thereby inspecting the inspection units 20 (20A, 20B). It serves as an overall support. Optionally, the predetermined position of the main post 212 may be provided with a seating detection sensor 250 for detecting whether the cassette 1 reaches the inspection position. When the seating detection sensor 250 detects the arrival of the cassette 1, the external conveyor is stopped and the cassette 1 is stopped. The seating detection sensor 250 enables continuous inspection by automatically controlling the stop and movement of the cassette 1 before and after the inspection when the cassette 1 is continuously supplied to the inspection position through an external conveyor. At the same time improve the overall inspection efficiency and speed. In an embodiment, the seating detection sensor 250 is illustrated as being provided to the main post 212, but is not limited thereto.

상기 서브포스트(214)는 상기 메인포스트(212)에 장착되어 서포트(220)를 상하방향으로 슬라이딩시키는 역할을 한다. 서브포스트(214)에는 슬라이더(2142)가 구비되고, 슬라이더(2142)에는 서포트(220)의 일단이 고정된다. 슬라이더(2142)는 서브포스트(214)를 따라 슬라이딩 가능하게 장착되며, 서브포스트(214)에 구비된 구동수단(240)의 동작에 따라 슬라이더(2142) 또는 이에 고정된 서포트(220)가 z축 방향으로 슬라이딩된다. 상기 구동수단(240)은 서보모터 형태로 제공되는 것이 바람직하며, 서보모터에 구비된 엔코더(도면 미도시)를 이용하여 상기 슬라이더(2142) 및 서포트(220)와 일체로 z축 변위가 이루어지는 센싱유닛(230)의 위치 정보를 측정할 수 있다. 한편, 서브포스트(214)는, 후술하는 서포트(220), 및 센싱유닛(230)을 구성하는 암(232)과 함께 상용의 리니어 액츄에이터직 모듈 형태로 구현될 수 있다. The sub post 214 is mounted on the main post 212 and serves to slide the support 220 in the vertical direction. The subpost 214 is provided with a slider 2142, and one end of the support 220 is fixed to the slider 2142. The slider 2142 is slidably mounted along the subpost 214, and the slider 2142 or the support 220 fixed thereto is z-axis according to the operation of the driving means 240 provided in the subpost 214. Sliding in the direction. Preferably, the driving means 240 is provided in the form of a servo motor, and a z-axis displacement is integrally formed with the slider 2142 and the support 220 by using an encoder (not shown) provided in the servo motor. The location information of the unit 230 may be measured. Meanwhile, the subpost 214 may be implemented in the form of a commercial linear actuator module together with the support 220, which will be described later, and the arm 232 constituting the sensing unit 230.

상기 서포트(220)는 일단이 상기 슬라이더(2142)에 고정된 상태에서 x축 방향으로 연장된 형태로 제공된다. 서포트(220)의 타단에는 센싱유닛(230)이 장착되며, 이에 따라 센싱유닛(230)은 카세트(1)의 이동경로 상에 놓여진다. 슬라이더(2142)의 z축 변위시 서포트(220) 및 센싱유닛(230)도 z축 변위를 일으키게 되며, 이에 따라 각각의 센싱유닛(230)은 z축 방향으로 배열된 서포트바(18) 열을 따라 이동하면서 서포트바(18) 단부 각각에 대한 z축 방향 위치를 감지하게 된다. 서포트(220)에는 센싱유닛(230)의 단부를 고정하기 위한 장착홀(222)이 구비된다. 장착홀(222)은 일정 간격으로 복수로 제공됨으로써 다른 규격의 카세트(1)에 따라 서포트바(18) 열의 x축 방향 위치가 변경되더라도 이에 맞추어 센싱유닛(230)이 서포트(220)에 장착되는 위치를 조절할 수 있다.The support 220 is provided in a form extending in the x-axis direction with one end fixed to the slider 2142. The other end of the support 220 is mounted with the sensing unit 230, so that the sensing unit 230 is placed on the movement path of the cassette (1). In the z-axis displacement of the slider 2142, the support 220 and the sensing unit 230 also cause a z-axis displacement. Accordingly, each of the sensing units 230 forms a row of support bars 18 arranged in the z-axis direction. As it moves along, it detects the z-axis position with respect to each of the ends of the support bar 18. The support 220 is provided with a mounting hole 222 for fixing the end of the sensing unit 230. The mounting holes 222 are provided in plural at regular intervals so that the sensing unit 230 is mounted to the support 220 according to the cassette 1 of another standard even if the position of the support bar 18 is changed in the x-axis direction. You can adjust the position.

상기 센싱유닛(230)은 서포트바(18) 단부 각각에 대한 z축 방향 위치를 감지하는 역할을 한다. 이를 위해 센싱유닛(230)은 레이저센서 유닛(236)을 포함하며, 레이저센서 유닛(236)은 장착대(234) 및 암(232)을 매개로 서포트(220)의 타단에 고정된다. 암(232)은 서포트(220)의 타단에 일단이 고정된 상태로 y축 방향으로 연장되며, 장착대(234)은 그 중심이 암(232)의 단부에 고정된 상태로 x축 방향으로 연장된다. 이 경우, 암(232)은 공압실린더 등을 이용해 신축가능한 구조로 제공될 수 있다. 도 5를 참조할 때, 암(232)의 신축 동작에 의해 레이저센서 유닛(236)의 y축 방향 위치가 전후 방향으로 조절되며, 이에 따라 레이저센서 유닛(236)은 검사 개시 전후에서 카세트(1)의 전면 개방부의 바깥쪽에 위치하고(도 5의 (a)) 검사시에는 카세트(1)의 전면 개방부의 안쪽에 위치하는(도 5의 (b) 형태로 수납공간(S) 안팎으로 출입하게 된다. 또한 상기 장착대(234)에는 후술하는 레이저센서 유닛(236)이 고정되는 장착홀(2342)이 소정 간격을 두고 복수로 제공된다. 검사대기 상태에서, 센싱유닛(230)은 검사 전후 카세트(1)의 y축 방향으로 이동을 방해하지 않도록 카세트(1)보다 높은 위치에서 대기한다. The sensing unit 230 serves to detect the z-axis position of each of the ends of the support bar 18. To this end, the sensing unit 230 includes a laser sensor unit 236, and the laser sensor unit 236 is fixed to the other end of the support 220 via the mounting table 234 and the arm 232. The arm 232 extends in the y-axis direction with one end fixed to the other end of the support 220, and the mount 234 extends in the x-axis direction with its center fixed to the end of the arm 232. do. In this case, the arm 232 may be provided in a flexible structure using a pneumatic cylinder or the like. Referring to FIG. 5, the y-axis position of the laser sensor unit 236 is adjusted in the front-rear direction by the stretching operation of the arm 232, so that the laser sensor unit 236 may move the cassette 1 before and after the inspection start. In the outside of the front opening of the () of Figure 5 (a), the inside of the front opening of the cassette (1) (in Figure 5 (b) in the form of the inside and outside the storage space (S) in and out). In addition, the mounting table 234 is provided with a plurality of mounting holes (2342) to be fixed to the laser sensor unit 236 to be described later at predetermined intervals. Wait at a position higher than the cassette 1 so as not to disturb the movement in the y-axis direction of 1).

상기 레이저센서 유닛(236)은 x축 방향으로 대향된 빔조사부(2362) 및 빔수신부(2364)가 쌍을 이루는 형태로 제공되며, 빔조사부(2362)를 통해 조사된 레이저 광은 빔수신부(2364)에 의해 수신되는 것을 예정한다. 빔조사부(2362) 및 빔수신부(2364)는 장착대(234)에 마련된 장착홀(2342)에 고정되며, 서포트바(18) 열의 x축 방향 위치에 따라 그 장착 위치가 적절히 조절될 수 있다. 검사과정은 도 6 에 도시된 바와 같이 상기 빔조사부(2362) 및 빔수신부(2364) 사이에 서포트바(18) 단부가 위치한 상태에서, 구동수단(240)에 의한 슬라이더(2142)의 동작에 따라 그 단부에 연결된 서포트(220)를 매개로 센싱유닛(230)을 z축 방향으로 이동시키면서 수행되며, 센싱유닛(230)의 이동과정 중 빔조사부(2362)를 통해 조사된 레이저 광이 서포트바(18) 단부에 의해 간섭되어 빔수신부(2364)에 수신되지 않는 지점에서 해당 서포트바(18) 단부의 z축 방향 위치값을 측정치로 정확히 도출하게 된다.The laser sensor unit 236 is provided in a form in which the beam irradiator 2322 and the beam receiver 2324 opposite to the x-axis direction are paired, and the laser light irradiated through the beam irradiator 2236 is a beam receiver 2324. To be received by). The beam irradiator 2362 and the beam receiver 2324 are fixed to the mounting hole 2342 provided in the mounting table 234, and the mounting position thereof may be appropriately adjusted according to the x-axis position of the row of support bars 18. As shown in FIG. 6, the end of the support bar 18 is positioned between the beam irradiator 2362 and the beam receiver 2364 according to the operation of the slider 2142 by the driving means 240. It is performed while moving the sensing unit 230 in the z-axis direction through the support 220 connected to the end, and the laser beam irradiated through the beam irradiator 2322 during the movement of the sensing unit 230 is supported by the support bar ( 18) The z-axis position value of the end of the support bar 18 is accurately derived as a measured value at the point where it is interfered by the end and is not received by the beam receiver 2264.

이 경우, 서포트바(18) 단부의 z축 방향 위치값에 대한 측정치는 절대값으로 도출되기 보다는 z축 방향으로 미리 설정된 최상단 점위치로부터 각 단의 서포트바(18)까지의 직선변위 값에 해당하는 상대값으로 도출되는 것이 바람직하다. 다만, 본 발명에서 상기 측정치를 상대값으로 한정하는 것으로 해석되지는 않는다. 인접한 서포트바(18) 단부 각각의 직선변위 값의 차는 해당 서포트바(18) 단에서 수납피치(P)에 대응된다. 이에 따라 최상단 점위치에 대한 0점 조절을 간단히 수행하는 것만으로도 다양한 규격의 카세트(1)를 검사할 수 있다. 상기 점위치는 센싱유닛(230)의 검사 개시시점에 해당하며, 카세트(1)의 형태에 따라 전면 개방부 내측에서 최상단 서포트바(18)의 z축 방향 기준 위치값 보다는 높게 설정되는 것이 바람직하다. In this case, the measured value for the position value of the z axis direction of the end of the support bar 18 corresponds to the linear displacement value from the uppermost point position preset in the z axis direction to the support bar 18 of each stage, rather than being derived as an absolute value. It is desirable to derive a relative value. However, the present invention is not to be construed as limiting the measured value to a relative value. The difference in the linear displacement value of each end of the adjacent support bar 18 corresponds to the storage pitch P at the corresponding support bar 18 end. Accordingly, the cassette 1 of various specifications can be inspected simply by performing the zero point adjustment with respect to the uppermost point position. The point position corresponds to the start point of inspection of the sensing unit 230, and is set higher than the z-axis reference position value of the uppermost support bar 18 in the front opening part according to the shape of the cassette 1. .

상기 레이저센서 유닛(236) 또는 이를 구성하는 빔조사부(2362) 및 빔수신부(2364) 쌍은 복수로 제공되며, 복수의 레이저센서 유닛(236) 각각은 복수의 서포트바(18) 열 각각에 대응되도록 제공되어 동시에 검사함으로써 검사 속도가 향상될 수 있다. 도 2의 실시예에서 하나의 검사유닛(20; 20A, 20B)에 2개의 빔조사부(2362) 및 빔수신부(2364) 쌍이 제공되는 것으로 예시되었으며, 한 쌍의 검사유닛(20; 20A, 20B)으로 이루어진 검사장치(2) 전체에서 4개의 빔조사부(2362) 및 빔수신부(2634) 쌍이 제공되어 4개의 서포트바(18) 열에 대해 동시에 검사를 수행할 수 있는 것으로 예시되어 있다.The laser sensor unit 236 or a pair of beam irradiator 2362 and the beam receiver 2364 constituting the laser sensor unit 236 are provided in plurality, and each of the plurality of laser sensor units 236 corresponds to each of a plurality of rows of the support bars 18. The inspection speed can be improved by providing the same test simultaneously. In the embodiment of FIG. 2, it is illustrated that one pair of inspection units 20; 20A and 20B is provided with two beam irradiation units 2322 and a beam receiving unit 2264, and a pair of inspection units 20; 20A and 20B. It is illustrated that four pairs of beam irradiator 2362 and beam receiver 2634 are provided in the entire inspection apparatus 2, which can perform inspection on four rows of support bars 18 simultaneously.

다음으로 본 발명의 실시예에 따른 카세트 검사방법에 대해 설명한다. 도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(2)의 동작 도면을 나타낸다. 도면에서 검사유닛(20; 20 A, 20B) 간 연결을 위한 브라켓(218)은 생략하여 도시하였다. 앞서와 마찬가지로 상기 카세트(1)의 이동경로를 y축으로 하고 상기 카세트(1)의 높이방향 및 너비방향을 각각 z축 및 x축으로 할 때 상기 검사방법은, 검사될 카세트(1)를 y축 방향으로 이동시키면서 검사위치 도달 여부를 감지하는 단계(S1, 도 7의 (a)); 레이저센서 유닛(236)을 탑재한 센싱유닛(230)을 서포트바(18) 열의 z축 방향 점위치로 이동시키는 단계(S2, 도 7의 (b)); 상기 센싱유닛(230)을 z축 방향으로 이동시키면서 각 단의 서포트바(18)가 갖는 직선변위 값을 측정치로 도출하는 단계(S3, 도 8의 (c)); 상기 측정치를 외부 판정수단에 전송하는 단계(S4); 상기 센싱유닛(230)을 상기 카세트(1)의 이동경로로부터 이탈시키는 단계(S5, 도 8의 (d)); 검사완료된 카세트(1)를 y축 방향으로 반출시키는 단계(S6);를 포함하는 사이클 공정으로 수행하며, 외부 판정수단(도면 미도시)은 기준치와 측정치를 비교하여 카세트(1)의 불량 여부를 판정한다. 위 방법을 앞서 설명한 검사장치(2)의 동작 내용에 적용해 보면, 상기 S1 단계는 검사될 카세트(1)가 외부 컨베이어가 적재되어 검사장치(2)에 근접하는 과정에서 안착감지센서(250)에 의해 수행될 수 있다. 상기 S2 단계는, 센싱유닛(230)의 암(232)이 수축된 상태에서 구동수단(240)에 의한 슬라이더(2142)의 동작에 따라 그 단부에 연결된 서포트(220)를 매개로 센싱유닛(230)을 z축 방향 점위치로 이동시키는 방식일 수 있다. 상기 S3 단계는, 센싱유닛(230)의 암(232)을 가세트 수납공간(S) 내부로 신장 전진시켜 레이저센서 유닛(236)의 빔조사부(2362) 및 빔수신부(2364) 사이에 서포트바(18) 단부가 놓여지게 하고, 구동수단(240)에 의한 슬라이더(2142)의 동작에 따라 그 단부에 연결된 서포트(220)를 매개로 센싱유닛(230)을 z축 방향으로 순차 이동시키면서 각 단의 서포트바(18)까지의 직선변위값을 측정하는 방식일 수 있다. 한편 도 7의 (b)에서는 S2 단계 이후에 S3에서 센싱유닛(230)이 신장 전진된 상태를 함께 나타내었다. 상기 S5단계는, 센싱유닛(230)의 암(232)을 카세트(1) 수납공간(S) 밖으로 수축 후퇴시킨 후, 구동수단(240)에 의한 슬라이더(2142)의 동작에 따라 그 단부에 연결된 서포트(220)를 매개로 센싱유닛(230)을 카세트(1)보다 높은 대기 위치로 이동시켜 검사 전후 카세트(1)가 y축 방향으로 이동하는 것을 방해하지 않도록 동작하는 방식일 수 있다. 도면에서 상기 S4, S6 단계는 나타내지 않았다.Next, a cassette inspection method according to an embodiment of the present invention will be described. 7 and 8 show an operation diagram of the inspection apparatus 2 according to the embodiment of the present invention. In the drawings, the bracket 218 for the connection between the inspection units 20 (20 A, 20B) is omitted. As before, when the movement path of the cassette 1 is the y-axis and the height direction and the width direction of the cassette 1 are the z-axis and the x-axis, respectively, the inspection method is used to determine the cassette 1 to be inspected by y. Detecting whether the inspection position is reached while moving in the axial direction (S1, FIG. 7 (a)); Moving the sensing unit 230 equipped with the laser sensor unit 236 to the z-axis point position of the row of support bars 18 (S2, FIG. 7 (b)); Deriving a linear displacement value of the support bar 18 of each stage as the measured value while moving the sensing unit 230 in the z-axis direction (S3, FIG. 8 (c)); Transmitting the measurement value to an external determination means (S4); Separating the sensing unit 230 from the moving path of the cassette 1 (S5, FIG. 8 (d)); Carrying out the inspected cassette 1 in the y-axis direction (S6). The external determination means (not shown) compares the reference value with the measured value to determine whether the cassette 1 is defective. Determine. Applying the above method to the operation contents of the inspection apparatus 2 described above, the step S1 is the seating detection sensor 250 in the process of the cassette 1 to be inspected close to the inspection apparatus 2 is loaded with an external conveyor It can be performed by. In the step S2, in response to the operation of the slider 2142 by the driving means 240 while the arm 232 of the sensing unit 230 is contracted, the sensing unit 230 is connected to the support 220 connected to the end thereof. ) May be moved to a point position in the z-axis direction. In step S3, the arm 232 of the sensing unit 230 extends and extends into the set accommodating space S to support the beam between the beam irradiation unit 2362 and the beam receiving unit 2264 of the laser sensor unit 236. (18) The end is placed, each step while the sensing unit 230 is sequentially moved in the z-axis direction via the support 220 connected to the end in accordance with the operation of the slider 2142 by the drive means 240 It may be a method of measuring the linear displacement value to the support bar 18. Meanwhile, in FIG. 7B, the sensing unit 230 is extended in S3 after the step S2. In step S5, the arm 232 of the sensing unit 230 is retracted and retracted out of the cassette 1 accommodating space S, and then connected to an end of the sensing unit 230 according to the operation of the slider 2142 by the driving means 240. The sensing unit 230 may be moved to a standby position higher than the cassette 1 via the support 220 so as to prevent the cassette 1 from moving in the y-axis direction before and after the test. In the drawings, the steps S4 and S6 are not shown.

이 경우, 상기 외부 판정수단은 산술장치와, 측정치 및 기준치에 대한 저장수단을 구비한 예컨대 통상의 PC일 수 있다. 상기 점위치는 카세트(1)의 하단 또는 상단일 수 있으며 이에 대응하여 검사과정에 센싱유닛(230)도 상방향 또는 하방향으로 이동될 수 있으나, 상기 점위치는 카세트(1)의 최상단으로 하고 검사과정에서 센싱유닛(230)은 하방향으로 이동되는 것이 검사장치의 설치 구조를 단순하게 하면서도 속도 및 비용을 개선할 수 있어 바람직하다.In this case, the external judging means may be, for example, a normal PC having an arithmetic device and storage means for measured values and reference values. The point position may be a lower end or an upper end of the cassette 1 and the sensing unit 230 may also be moved upward or downward in the inspection process, but the point position may be the uppermost end of the cassette 1. In the inspection process, the sensing unit 230 is preferably moved downward so that the speed and cost can be improved while simplifying the installation structure of the inspection apparatus.

이상과 같이 본 발명의 카세트 검사장치(2) 및 방법에 따르면, 레이저센서를 사용함으로써 카세트(1) 서포트바(18)의 단부 위치에 대한 정확한 측정치 도출이 가능하고, 해당 측정치를 마스트 카세트(1)의 기준치와 비교함으로써 검사의 신뢰성이 확보될 수 있다. 상기 검사장치(2) 및 방법에 따르면, z축 방향으로 동시 이동되는 한편 레이저 센싱 방식을 갖는 복수의 검사유닛(20; 20A, 20B)을 이용해 다열 서포트바(18)를 일괄 검사함으로써 신속한 측정치 도출이 가능하고, 검사유닛(20; 20A, 20B)의 간단한 동작 구조에 의해 카세트(1)에 대한 신속한 검사가 가능하고, 또한 검사유닛(20; 20A, 20B)의 설치 구조에 의해 검사가 완료된 카세트(1)의 이동을 방해하지 않으면서도 연속적인 검사가 가능하여, 카세트(1) 검사공정에 관한 전체적인 속도가 크게 향상될 수 있다.As described above, according to the cassette inspection apparatus 2 and the method of the present invention, it is possible to derive the accurate measurement value for the end position of the support bar 18 of the cassette 1 by using the laser sensor, and the measurement value to the mast cassette 1 The reliability of the test can be secured by comparing with the reference value. According to the inspection apparatus 2 and the method, a quick measurement value is derived by collectively inspecting the multi-row support bar 18 using a plurality of inspection units 20 (20A, 20B) having a laser sensing method while being simultaneously moved in the z-axis direction. It is possible to perform a quick inspection of the cassette 1 by the simple operation structure of the inspection units 20; 20A and 20B, and also to complete the inspection by the installation structure of the inspection units 20; 20A and 20B. Continuous inspection is possible without disturbing the movement of (1), so that the overall speed with respect to the cassette 1 inspection process can be greatly improved.

이상의 설명은, 본 발명의 구체적인 실시예에 관한 것이나 본 발명에 따른 상기 실시예는 설명의 목적으로 개시된 사항이고 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 이해되지는 않으며, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질을 벗어나지 아니하고 개시된 실시예에 대해 다양한 변경 및 수정이 가능한 것으로 이해되어야 한다. 따라서, 이러한 모든 수정과 변경은 특허청구범위에 개시된 발명의 범위 또는 이들의 균등물에 해당하는 것으로 이해될 수 있다.The foregoing description relates to specific embodiments of the present invention, but the embodiments according to the present invention are disclosed for the purpose of description and are not to be understood as limiting the scope of the present invention. It should be understood that various changes and modifications can be made to the disclosed embodiments without departing from the spirit of the invention. Accordingly, all such modifications and variations can be understood as fall within the scope of the invention as set forth in the claims or their equivalents.

1: 카세트
12: 상부 지지부재
14: 하부 지지부재
16: 수직 지지부재
18: 서포트바
19: 슬롯 핀
S: 수납공간
P: 수납피치
2: 검사장치
20, 20A, 20B: 검사유닛
210: 포스트 어셈블리
212: 메인포스트
214: 서브포스트
2142: 슬라이더
216: 커넥터
218: 브라켓
220: 서포트
222: 장착홀
230: 센싱유닛
232: 암
234: 장착대
2342: 장착홀
236: 레이저센서 유닛
2362: 빔조사부
2364: 빔수신부
240: 구동수단
250: 안착감지센서
3: 기판1: cassette
12: upper support member
14: lower support member
16: vertical support member
18: Support Bar
19: slot pin
S: storage space
P: Storage Pitch
2: inspection device
20, 20A, 20B: Inspection Unit
210: post assembly
212: main post
214: subpost
2142: slider
216: connector
218: bracket
220: support
222: mounting hole
230: sensing unit
232: cancer
234: mount
2342: mounting hole
236: laser sensor unit
2362: beam irradiation unit
2364: beam receiver
240: driving means
250: seating detection sensor
3: substrate

Claims (11)

전면이 개방된 박스형상을 가지며, 높이방향으로 일정한 수납피치에 대응하는 간격으로 배치되어 복수의 단을 형성함과 동시에 너비방향으로 하나 이상의 열을 형성하는 복수의 서포트바를 구비하되, 상기 서포트바가 내부 수납공간에서 후면에서 전면으로 연장되어 제공되는 형태를 가지며, 외부 컨베이어를 통해 연속적으로 이동되는 카세트를 검사하기 위한 검사장치로서, 상기 검사장치는 하나 이상의 검사유닛을 포함하며,
상기 검사유닛은, 상기 카세트의 이동경로를 y축으로 하고 상기 카세트의 높이방향 및 너비방향을 각각 z축 및 x축으로 할 때, z축 방향으로 연장되는 포스트 어셈블리; 일단이 상기 포스트 어셈블리에 슬라이딩 가능하게 장착되는 서포트; 상기 서포트의 타단에 고정되고, 상기 카세트의 전면 개방부를 향해 y축 방향으로 연장되며, 레이저센서 유닛을 탑재한 센싱유닛; 및 상기 서포트바를 슬라이딩시키기 위한 구동수단;을 포함하고,
상기 서포트의 슬리이딩 동작에 의해 상기 센싱유닛이 z축 방향으로 이동하는 과정에서, 상기 레이저센서 유닛이 상기 복수의 서포트바 단부 각각에 대한 z축 방향 위치를 감지하여 측정치로 수집하는 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.It has a box shape with an open front surface, and has a plurality of support bars arranged at intervals corresponding to a constant storage pitch in the height direction to form a plurality of stages and at least one row in the width direction, wherein the support bar is inside An inspection apparatus for inspecting a cassette continuously extending from the rear to the front in the storage space, and continuously moving through an external conveyor, the inspection apparatus includes one or more inspection units,
The inspection unit may include a post assembly extending in the z-axis direction when the moving path of the cassette is the y-axis and the height and width directions of the cassette are the z-axis and the x-axis, respectively; A support, one end of which is slidably mounted to the post assembly; A sensing unit fixed to the other end of the support, extending in the y-axis direction toward the front opening of the cassette, and equipped with a laser sensor unit; And driving means for sliding the support bar.
In the process of moving the sensing unit in the z-axis direction by the sliding operation of the support, the laser sensor unit detects the z-axis direction position with respect to each of the end of the plurality of support bar to collect as a measurement value Cassette Inspection System. 제1항에 있어서, 상기 검사유닛은 상기 카세트의 이동경로를 사이에 두고 x축 방향으로 대칭되어 쌍으로 제공되는 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.The cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection units are provided in pairs symmetrically in the x-axis direction with the moving paths of the cassettes interposed therebetween. 제1항에 있어서, 상기 카세트의 검사위치 도달 여부를 감지하는 안착감지센서를 더 포함한 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.The cassette inspection apparatus according to claim 1, further comprising a seating detection sensor for detecting whether the cassette reaches the inspection position. 제1항에 있어서, 상기 센싱유닛은 y축 방향으로 신축 가능한 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.The cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the sensing unit is expandable in the y-axis direction. 제1항에 있어서, 상기 레이저센서 유닛은 x축 방향으로 대향된 빔조사부 및 빔수신부로 이루어진 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.The cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the laser sensor unit comprises a beam irradiator and a beam receiver opposed to the x-axis direction. 제1항에 있어서, 상기 레이저센서 유닛은 복수로 제공되며, 복수의 레이저센서 유닛 각각은 복수의 서포트바 열 각각에 대응되어 제공되는 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.The cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the laser sensor unit is provided in plurality, and each of the plurality of laser sensor units is provided corresponding to each of the plurality of support bar rows. 제1항에 있어서, 상기 서포트가 슬라이딩 이동되어 검사 대기상태에 놓여진 경우 상기 카세트의 이동이 방해되지 않는 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.The cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the movement of the cassette is not hindered when the support is slid and placed in a test standby state. 제1항에 있어서, 상기 측정치는 z축 방향으로 미리 설정된 최상단 점위치로부터 각 단의 서포트바가 갖는 직선변위 값인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.The cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the measurement value is a linear displacement value of the support bar of each stage from the highest point position preset in the z-axis direction. 제1항에 있어서, 상기 구동수단은 서보모터인 것을 특징으로 하는 카세트 검사장치.The cassette inspection apparatus according to claim 1, wherein the driving means is a servomotor. 전면이 개방된 박스형상을 가지며, 높이방향으로 일정한 수납피치에 대응하는 간격으로 배치되어 복수의 단을 형성함과 동시에 너비방향으로 하나 이상의 열을 형성하는 복수의 서포트바를 구비하되, 상기 서포트바가 내부 수납공간에서 후면에서 전면으로 연장되어 제공되는 형태를 가지며, 외부 컨베이어를 통해 연속적으로 이동되는 카세트를 검사하는 방법으로서,
상기 카세트의 이동경로를 y축으로 하고 상기 카세트의 높이방향 및 너비방향을 각각 z축 및 x축으로 할 때, 검사될 카세트를 y축 방향으로 이동시키면서 검사위치 도달 여부를 감지하는 단계; 레이저센서 유닛을 탑재한 센싱유닛을 서포트바 열의 z축 방향 점위치로 이동시키는 단계; 상기 센싱유닛을 z축 방향으로 이동시키면서 각 단의 서포트바가 갖는 직선변위 값을 측정치로 도출하는 단계; 상기 측정치를 외부 판정수단에 전송하는 단계; 상기 센싱유닛을 상기 카세트의 이동경로로부터 이탈시키는 단계; 검사완료된 카세트를 y축 방향으로 반출시키는 단계;를 포함하는 사이클 공정으로 수행되며, 상기 외부 판정수단은 기준치와 측정치를 비교하여 카세트의 불량여부를 판정하는 것을 특징으로 하는 카세트 검사방법.It has a box shape with an open front surface, and has a plurality of support bars arranged at intervals corresponding to a constant storage pitch in the height direction to form a plurality of stages and at least one row in the width direction, wherein the support bar is inside A method of inspecting a cassette having a shape extending from the rear to the front in the storage space and continuously moving through an external conveyor,
Detecting whether the inspection position is reached while moving the cassette to be inspected in the y-axis direction when the moving path of the cassette is the y-axis and the height and width directions of the cassette are the z-axis and the x-axis, respectively; Moving the sensing unit equipped with the laser sensor unit to a point position in the z-axis direction of the support bar row; Deriving a linear displacement value of the support bar of each stage while moving the sensing unit in the z-axis direction as a measured value; Transmitting the measurement to an external judging means; Separating the sensing unit from a movement path of the cassette; And carrying out the inspected cassette in the y-axis direction, wherein the external determination means compares the reference value and the measured value to determine whether the cassette is defective. 제10항에 있어서, 상기 점위치는 z축 방향 최상단으로 설정되고, 상기 센싱유닛은 상기 점위치로부터 z축 방향으로 하강되는 것을 특징으로 하는 카세트 검사방법.The cassette inspection method according to claim 10, wherein the point position is set at the top of the z-axis direction, and the sensing unit is lowered in the z-axis direction from the point position.
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