KR20190125040A - A automatic system for depositing the atomic layer - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a system for depositing an automatic logistics atomic layer of high productivity, which significantly improves productivity by changing substrates between a normal cassette in which substrates are charged with wide intervals and a process cassette in which substrates are charged with narrow intervals, thereby allowing the plurality of process cassettes to be automatically inserted into and ejected from a plurality of process chambers. To this end, the system for depositing an automatic logistics atomic layer of high productivity comprises: a thin film deposition unit composed of a plurality of process chambers that can perform a thin film deposition process when a plurality of process cassettes are charged therein; a process cassette standby unit installed to be adjacent to the plurality of process chambers, such that the plurality of process cassettes in which the substrates are charged before the process or the cassettes in which the substrates are charged after the process may wait therein; a process cassette transport unit provided between the plurality of process chambers and the cassette standby unit to insert the process cassettes before the process from the cassette standby unit into the plurality of process chambers or to transport the process cassettes after the process from the plurality of process chambers to the cassette standby unit; a cassette changing unit installed to be adjacent to the cassette standby unit, to move the substrates of normal cassettes to the process cassettes, and to move the substrates of the process cassettes to the normal cassettes; and a normal cassette transport unit installed to be adjacent to the cassette changing unit, to successively supply the normal cassettes containing the substrates that are to undergo the process to the cassette changing unit and to successively discharge the normal cassettes containing the substrates that completed the process.

Description

고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템{A AUTOMATIC SYSTEM FOR DEPOSITING THE ATOMIC LAYER}High productivity automatic logistics atomic layer deposition system {A AUTOMATIC SYSTEM FOR DEPOSITING THE ATOMIC LAYER}

본 발명은 원자층 증착 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 넓은 간격으로 기판이 장입되어 있는 일반 카세트로와 좁은 간격으로 기판이 장입되어 있는 공정용 카세트 사이에 기판을 체인징하고 다수개의 공정용 카세트를 다수개의 공정 챔버에 자동으로 반입 및 반출할 수 있는 자동 물류 라인을 구비하여 생산성이 대폭 향상되는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an atomic layer deposition system, and more particularly, a substrate is changed between a general cassette into which a substrate is loaded at a wide interval and a process cassette into which a substrate is loaded at a narrow interval. The present invention relates to a high-productivity automated logistics atomic layer deposition system having an automated logistic line capable of automatically importing and exporting to a plurality of process chambers.

일반적으로 반도체 소자나 평판 디스플레이 소자 등의 제조에서는 다양한 제조공정을 거치게 되는데, 그 중에서 웨이퍼나 글래스(이하, '기판'이라고 한다) 상에 소정의 박막을 증착시키는 공정이 필수적으로 진행된다. 이러한 박막 증착공정은 스퍼터링법(sputtering), 화학기상증착법(CVD: chemical vapor deposition), 원자층 증착법(ALD: atomic layer deposition) 등이 주로 사용된다.In general, a semiconductor device or a flat panel display device is subjected to various manufacturing processes, and among these, a process of depositing a predetermined thin film on a wafer or a glass (hereinafter, referred to as a substrate) is essential. The thin film deposition process is mainly used for sputtering, chemical vapor deposition (CVD), atomic layer deposition (ALD) and the like.

먼저, 스퍼터링법은 예를 들어, 플라즈마 상태에서 아르곤 이온을 생성시키기 위해 고전압을 타겟에 인가한 상태에서 아르곤 등의 비활성 가스를 공정챔버 내로 주입시킨다. 이때, 아르곤 이온들은 타겟의 표면에 스퍼터링되고, 타겟의 원자들은 타겟의 표면으로부터 이탈되어 기판에 증착된다.First, the sputtering method injects an inert gas such as argon into the process chamber while a high voltage is applied to the target, for example, to generate argon ions in a plasma state. At this time, argon ions are sputtered on the surface of the target, and atoms of the target are separated from the surface of the target and deposited on the substrate.

이러한 스퍼터링법에 의해 기판과 접착성이 우수한 고순도 박막을 형성할 수 있으나, 공정 차이를 갖는 고집적 박막을 스퍼터링법으로 증착하는 경우에는 전체 박막에 대해서 균일도를 확보하기가 매우 어려워 미세한 패턴을 위한 스퍼티링법의 적용에는 한계가 있다.The sputtering method can form a high purity thin film having excellent adhesion with the substrate. However, in the case of depositing a highly integrated thin film having a process difference by the sputtering method, it is very difficult to secure uniformity for the entire thin film. There is a limit to the application of the ring method.

다으로 화학기상증착법은 가장 널리 이용되는 증착기술로서, 반응가스와 분해가스를 이용하여 요구되는 두께를 갖는 박막을 기판상에 증착하는 방법이다. 예컨데, 화학기상증착법은 먼저 다양한 가스들을 반응 챔버로 주입시키고, 열, 빛 또는 플라즈마와 같은 고에너지에 의해 유도된 가스들을 화학반응시킴으로써 기판상에 요구되는 두께의 박막을 증착시킨다. In addition, chemical vapor deposition is the most widely used deposition technique, and is a method of depositing a thin film having a required thickness on a substrate using a reaction gas and decomposition gas. For example, chemical vapor deposition first deposits a variety of gases into a reaction chamber and deposits a thin film of the required thickness on a substrate by chemically reacting gases induced by high energy such as heat, light or plasma.

아울러 화학기상증착법에서는 반응에너지만큼 인가된 플라즈마 또는 가스들의 비(ratio) 및 양(amount)을 통해 반응 조건을 제어함으로써, 증착률을 증가시킨다. 그러나 화학기상증착법에서는 반응들이 빠르기 때문에 원자들의 열역학적 안정성을 제어하기 매우 어렵고, 박막의 물리적, 화학적 전기적 특성을 저하시키는 문제점이 있다.In addition, the chemical vapor deposition method increases the deposition rate by controlling the reaction conditions through the ratio and amount of plasma or gases applied by the reaction energy. However, in chemical vapor deposition, the reactions are fast, and thus, it is very difficult to control the thermodynamic stability of atoms, and there is a problem of deteriorating the physical and chemical electrical properties of the thin film.

마지막으로 원자층 증착법은 (ALD: Atomic Layer Deposition)은 박막을 형성하기 [0008] 위한 반응 챔버(chamber) 내로 두 가지 이상의 반응물(reactants)을 하나씩 차례로 투입하여 각각의 반응물의 분해와 흡착에 의해서 박막을 원자층 단위로 증착하는 방법이다. 즉, 제1반응가스를 펄싱(pulsing) 방식으로 공급하여 챔버 내부에서 하부막에 화학적으로 증착시킨 후, 물리적으로 결합하고 있는 잔류 제1반응가스는 퍼지(purge) 방식으로 제거된다. 이어서, 제2반응가스도 펄싱(pulsing)과 퍼지(purge) 과정을 통해 일부가 제1반응가스(제1반응물)와 화학적인 결합을 하면서 원하는 박막이 기판에 증착된다. 상술한 원자층 증착공정에서, 각각의 반응가스가 일회의 펄싱(pulsing) 및 퍼지(purge)가 행해지는 시간을 사이클(cycle)이라 부른다. 이러한 원자층 증착방식으로 형성 가능한 박막으로는 Al2O3, HfO2, ZrO2, TiO2 및 ZnO가 대표적이다.Finally, atomic layer deposition (ALD: Atomic Layer Deposition) is a thin film by decomposition and adsorption of each reactant by injecting two or more reactants (reactants) one by one into the reaction chamber (chamber) to form a thin film one by one Is deposited in atomic layer units. That is, after the first reaction gas is supplied by a pulsing method and chemically deposited on the lower layer inside the chamber, the remaining first reaction gas which is physically bound is removed by a purge method. Subsequently, a desired thin film is deposited on the substrate while the second reaction gas is chemically combined with the first reaction gas (first reactant) through pulsing and purging. In the above-described atomic layer deposition process, the time at which each reaction gas is pulsed and purged is called a cycle. Al 2 O 3, HfO 2, ZrO 2, TiO 2 and ZnO are typical thin films that can be formed by such an atomic layer deposition method.

상기 원자층 증착은 60℃ 이하의 낮은 온도에서도 우수한 단차도포성(step coverage)을 갖는 박막을 형성할 수 있기 때문에, 차세대 반도체 소자, 디스플레이, 태양전지 등을 제조하는 공정에서 많은 사용이 예상되는 공정기술이다.The atomic layer deposition can form a thin film having excellent step coverage even at a low temperature of less than 60 ℃, a process that is expected to use a lot in the process of manufacturing next-generation semiconductor devices, displays, solar cells, etc. Technology.

이러한 원자층 증착 기술이 반도체 분야 뿐만아니라 디스플레이, 태양전지 등의 분야에 확대되어 사용되기 위해서는 대면적 기판에 대하여 균일한 박막을 얻을 수 있어야 할 뿐만아니라, 대면적 기판 다수장의 한 번의 공정으로 처리하여 충분한 생산성을 확보하여야 한다.In order for such atomic layer deposition technology to be used not only in the semiconductor field but also in the fields of display and solar cells, it is necessary not only to obtain a uniform thin film for a large area substrate, but also to process a large number of large area substrates in one process. Sufficient productivity must be ensured.

그런데 다수장의 기판을 한번의 공정으로 처리하기 위하여 다수장의 기판이 로딩된 카세트 다수개를 길게 장입한 상태에서 원자층 증착 공정을 수행하다 보면, 공정가스가 통과하는 구간이 길어져서 공정 시간이 길어질 뿐만아니라, 다수장의 기판에 대한 균일한 박막 형성이 어려운 문제점이 있다.However, when the atomic layer deposition process is performed in a state in which a large number of cassettes loaded with a plurality of substrates is long loaded in order to process a plurality of substrates in one process, the process gas passes longer and the process time becomes longer. Rather, it is difficult to form a uniform thin film on a plurality of substrates.

따라서 다수개의 카세트를 장입한 상태에서도 짧은 공정 시간 안에 모든 기판에 대하여 균일한 공정을 수행할 수 있는 원자층 증착장치의 개발이 절실하게 요구되고 있다.Therefore, there is an urgent need to develop an atomic layer deposition apparatus capable of performing a uniform process on all substrates within a short process time even when a plurality of cassettes are loaded.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 넓은 간격으로 기판이 장입되어 있는 일반 카세트로와 좁은 간격으로 기판이 장입되어 있는 공정용 카세트 사이에 기판을 체인징하고 다수개의 공정용 카세트를 다수개의 공정 챔버에 자동으로 반입 및 반출할 수 있는 자동 물류 라인을 구비하여 생산성이 대폭 향상되는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템을 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to change the substrate between the general cassette furnace in which the substrate is loaded at a wide interval and the process cassette in which the substrate is loaded at a narrow interval, and to automatically process a plurality of process cassettes in a plurality of process chambers. It is to provide a high-productivity automatic logistics atomic layer deposition system having a significantly improved productivity by having an automatic logistics line that can be imported and exported to.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템은, 다수개의 공정용 카세트가 장입된 상태에서 박막 증착 공정을 수행할 수 있는 다수개의 공정 챔버로 구성된 박막 증착부; 상기 다수개의 공정 챔버에 인접하게 설치되며, 공정 전 기판이 장입된 다수 개의 공정용 카세트들 또는 공정 후 기판이 장입된 카세트들이 대기하는 공정용 카세트 대기부; 다수개의 공정챔버와 카세트 대기부 사이에서 공정 전 공정용 카세트를 카세트 대기부에서 다수의 공정챔버로 반입시키거나 공정 후 공정용 카세트를 다수개의 공정 챔버에서 카세트 대기부로 이송시키는 공정용 카세트 이송부; 상기 카세트 대기부에 인접하게 설치되며, 상기 공정용 카세트에 상기 일반 카세트의 기판을 옮겨 담고, 상기 일반 카세트에 상기 공정용 카세트의 기판을 옮겨 담는 카세트 체인징부; 상기 카세트 체인징부에 인접하게 설치되며, 상기 카세트 체인징부에 공정이 진행될 기판이 담긴 일반 카세트를 연속적으로 공급하고 공정이 완료된 기판이 담긴 일반 카세트를 연속적으로 배출하는 일반카세트 이송부;를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a high productivity automated logistics atomic layer deposition system comprising: a thin film deposition unit including a plurality of process chambers capable of performing a thin film deposition process in a state where a plurality of process cassettes are loaded; A process cassette waiting unit installed adjacent to the plurality of process chambers and waiting for a plurality of process cassettes loaded with a substrate before processing or cassettes loaded with a substrate after processing; A process cassette transfer unit for transferring a pre-process process cassette from the cassette atmosphere to the process chamber between the plurality of process chambers and the cassette atmosphere, or transferring the process cassette from the process chamber to the cassette atmosphere in the process chamber; A cassette changing unit installed adjacent to the cassette standby unit, transferring a substrate of the general cassette to the process cassette, and transferring a substrate of the process cassette to the general cassette; It is installed adjacent to the cassette changing unit, the cassette change unit for continuously supplying the general cassette containing the substrate to be processed in the cassette changing unit and the continuous cassette containing the substrate is completed in the process;

그리고 본 발명에서 상기 공정 챔버는, 다수개의 공정용 카세트를 챔버 내부에 배치한 상태에서 공정을 수행할 수 있는 공정용 카세트 배치부를 더 포함하는 것이 바람직하다. In the present invention, the process chamber preferably further comprises a process cassette arrangement capable of performing a process in a state in which a plurality of process cassettes are arranged in the chamber.

또한 본 발명에서 상기 공정용 카세트 배치부는, 다수개의 공정용 카세트가 밀착된 상태에서 길이방향으로 일직선상으로 장착되는 카세트 배치 프레임; 상기 카세트 배치 프레임의 전단에 결합되어 설치되며, 상기 공정 챔버의 게이트를 차단하는 도어부;를 포함하는 것이 바람직하다. In addition, the process cassette arrangement portion in the present invention, the cassette arrangement frame which is mounted in a straight line in the longitudinal direction in a state where a plurality of process cassettes are in close contact; It is preferable to include a; coupled to the front end of the cassette arrangement frame, the door unit for blocking the gate of the process chamber.

또한 본 발명에서 상기 공정 챔버는, 상기 다수개의 공정용 카세트를 상기 공정 챔버 내에서 밀착된 상태로 직접 장입하여 다수개의 공정용 카세트에 장입된 기판 사이로 라미나 플로우가 형성되도록 하여 공정을 수행하는 것이 바람직하다. In the present invention, the process chamber, by directly loading the plurality of process cassettes in close contact in the process chamber to perform a process by forming a lamina flow between the substrates loaded in the plurality of process cassettes. desirable.

또한 본 발명에서 상기 공정 챔버는, 하나의 공정 챔버 내에 2단 이상으로 다수개의 공정용 카세트를 적층하여 공정을 진행하는 것이 바람직하다. In the present invention, the process chamber, it is preferable to proceed with the process by stacking a plurality of process cassettes in two or more stages in one process chamber.

또한 본 발명에 따른 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템은, 상기 공정용 카세트 대기부나 상기 카세트 체인징부에 설치되며, 공정이 완료된 기판의 온도를 내리는 냉각장치를 더 포함하는 것이 바라직하다. In addition, the highly productive automatic logistics atomic layer deposition system according to the present invention is preferably installed in the process cassette atmospheric portion or the cassette changing portion, and preferably further comprises a cooling device for lowering the temperature of the substrate is completed.

또한 본 발명에 따른 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템에서, 상기 공정용 카세트에 장입된 기판 사이의 간격은 상기 일반용 카세트에 장입된 기판 사이의 간격의 1/2 또는 1/3인 것이 바람직하다. In addition, in the high productivity automatic logistics atomic layer deposition system according to the present invention, the spacing between the substrates loaded in the process cassette is preferably 1/2 or 1/3 of the spacing between the substrates loaded in the general cassette.

또한 본 발명에서 상기 카세트 체인징부는, 상기 일반 카세트에서 공정용 카세트로 공정 전 기판을 옮기고, 공정용 카세트에서 일반 카세트로 공정 후 기판을 옮기는 짝수 개의 카세트 체인징 장치가 배치되는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, it is preferable that the cassette changing unit has an even number of cassette changing devices for transferring the substrate before the process from the general cassette to the process cassette and the substrate after the process from the process cassette to the general cassette.

또한 본 발명에서 상기 카세트 체인징부는, 상기 공정용 카세트가 그 상부에 안착되며, 상기 공정용 카세트에 장착되어 있는 다수개의 기판을 승강시키는 공정용 카세트 승강모듈; 상기 공정용 카세트 승강모듈에 인접하게 설치되며, 상기 일반 카세트가 그 상부에 안착되어 상기 일반 카세트에 장착되어 있는 다수개의 기판을 승강시키는 일반 카세트 승강모듈; 상기 공정 카세트 승강모듈 및 일반 카세트 승강모듈의 상측에 걸쳐서 설치되며, 상기 공정용 카세트 승강 모듈에 의하여 상승된 기판 또는 상기 일반 카세트 승강모듈에 의하여 상승된 기판을 그리핑하여 이송하는 기판 그리핑 모듈;을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, the cassette changing unit in the present invention, the process cassette is mounted on the upper, the process cassette lifting module for lifting a plurality of substrates mounted on the process cassette; A general cassette elevating module installed adjacent to the process cassette elevating module and configured to elevate a plurality of substrates mounted on the general cassette by mounting the general cassette on an upper portion thereof; A substrate gripping module installed over the process cassette elevating module and the general cassette elevating module and gripping and transporting the substrate elevated by the process cassette elevating module or the substrate elevated by the general cassette elevating module; It is preferable to include.

또한 본 발명에서 상기 일반 카세트 승강 모듈은, 상기 일반 카세트 하단에 설치되어 다수의 기판을 슬라이딩하여 기판을 정렬하고 다수의 기판을 상승시키는 승강 모듈을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, the general cassette elevating module, it is preferable to include an elevating module installed on the lower end of the common cassette to align the substrate by sliding a plurality of substrates and to raise the plurality of substrates.

또한 본 발명에서 상기 공정용 카세트 승강모듈은, 상기 공정용 카세트에 장착되어 있는 다수개의 기판 중 절반의 기판을 교번적으로 승강시키는 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that the process cassette elevating module alternately elevates one half of a plurality of substrates mounted on the process cassette.

또한 본 발명에서 상기 기판 그리핑 모듈은, 기판 양측 하부 모서리를 지지하는 기판 그리퍼; 상기 기판 그리퍼를 전후진 시키는 그리퍼 구동수단; 상기 그리퍼 구동수단에 설치되며, 상기 기판 그리퍼에 이재된 기판의 측면을 지지하는 기판 가이드부; 상기 그리퍼 구동수단을 상하 및 수평 방향으로 이동시키는 이송 로봇;을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, the substrate gripping module in the present invention, the substrate gripper for supporting the lower edge of both sides of the substrate; Gripper driving means for advancing and retreating the substrate gripper; A substrate guide part installed at the gripper driving means and supporting a side surface of the substrate transferred to the substrate gripper; It is preferable to include a; transfer robot for moving the gripper driving means in the vertical and horizontal directions.

또한 본 발명에서 상기 기판 그리핑 모듈에는, 상기 다수의 기판을 진공으로 흡착하여 배출 또는 장입하는 기판 흡착 모듈이 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, the substrate gripping module is preferably further provided with a substrate adsorption module for adsorbing or discharging or charging the plurality of substrates in a vacuum.

또한 본 발명에서 상기 기판 흡착 모듈은, 기판 사이의 공간으로 진입하여 기판의 일측면을 흡착하는 기판 흡착 패드 다수개가 나란하게 배열되는 흡착 패드부; 상기 흡착 패드부를 승강시키는 패드부 승강모듈; 상기 패드부 승강모듈을 회전시키는 회전모듈; 상기 패드부 승강모듈을 수평 이동시키는 패드부 수평이동모듈;을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, the substrate adsorption module in the present invention, the plurality of substrate adsorption pads that enter the space between the substrate and adsorbs one side of the substrate are arranged side by side; A pad part elevating module for elevating the suction pad part; A rotation module for rotating the pad lifting module; It is preferable to include; a pad unit horizontal movement module for horizontally moving the pad unit lifting module.

또한 본 발명에서 상기 공정용 카세트는, 다수개의 카세트가 서로 일직선으로 연결되어 있어서 하나의 모듈로 이송이 가능한 것이 바람직하다. In addition, the process cassette in the present invention, it is preferable that the plurality of cassettes are connected in a straight line to each other can be transferred to one module.

또한 본 발명에서 상기 박막 증착부는 다수개의 공정 챔버가 일정 간격으로 이격되어 나란히 설치되는 것이 바람직하다. In addition, in the present invention, the thin film deposition unit is preferably installed side by side spaced apart a plurality of process chambers.

또한 본 발명에서 상기 공정 챔버는, 일측에 개구부가 형성된 외부 챔버; 상기 외부 챔버의 내부에 구비되며, 일측에 개구부가 형성되는 내부 챔버; 상기 내부 챔버의 개구부를 개폐하는 제1 도어; 상기 외부 챔버의 개구부를 개폐하는 제2 도어;를 포함하며, 상기 제2 도어는 다수의 제2 도어와 연결되어 있는 것이 바람직하다. In addition, the process chamber in the present invention, the outer chamber is formed with an opening on one side; An inner chamber provided inside the outer chamber and having an opening formed at one side thereof; A first door for opening and closing the opening of the inner chamber; And a second door for opening and closing the opening of the outer chamber, wherein the second door is connected to a plurality of second doors.

또한 본 발명에서 상기 카세트 이송부는 다수의 공정용 카세트를 한번에 잡는 그리핑 모듈을 포함하고, In addition, the cassette transfer unit in the present invention includes a gripping module for holding a plurality of process cassettes at once,

상기 그리핑 모듈은, 상기 다수개의 공정용 카세트의 측면을 그리핑할 수 있는 다수의 그리퍼부; 상기 그리퍼부를 전후진 시키는 그리퍼부 구동수단; 상기 그리퍼부 구동수단을 상하 및 수평 방향으로 이동 및 회전시키는 이송로봇;을 포함하는 것이 바람직하다. The gripping module may include a plurality of gripper parts capable of gripping side surfaces of the plurality of process cassettes; Gripper part driving means for advancing and retreating the gripper part; It is preferable to include a; transfer robot for moving and rotating the gripper drive unit in the vertical and horizontal directions.

또한 본 발명에 따른 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템에는, 상기 카세트 체인징부에서 인접한 공정용 카세트 대기부의 하단에 구비된 공정 전후의 공정용 카세트를 카세트 체인징부로 이송시키는 이송 수단이 구비되고, 상기 이송 수단은 상하 및 수평 방향으로 다수의 공정용 카세트를 이동시키는 이송 로봇을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, the high productivity automatic logistics atomic layer deposition system according to the present invention is provided with a transfer means for transferring the process cassette before and after the process provided in the lower end of the cassette standby portion adjacent to the cassette changing portion to the cassette changing portion, the transfer The means preferably comprises a transfer robot for moving the plurality of process cassettes in the vertical and horizontal directions.

또한 본 발명에 따른 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템에서, 상기 공정용 카세트의 그리핑 포인트 배열은 상기 공정 챔버 간격 및 공정용 카세트 간격에 맞추어서 구성되는 것이 바람직하다. In addition, in the high-productivity automated logistics atomic layer deposition system according to the present invention, the gripping point arrangement of the process cassette is preferably configured in accordance with the process chamber interval and the process cassette interval.

본 발명의 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템에 의하면 넓은 간격으로 기판이 장입되어 있는 일반 카세트로와 좁은 간격으로 기판이 장입되어 있는 공정용 카세트 사이에 기판을 체인징하고 다수개의 공정용 카세트를 다수개의 공정 챔버에 자동으로 반입 및 반출할 수 있는 자동 물류 라인을 구비하여 생산성이 대폭 향상되는 장점이 있다. According to the high-productivity automated logistics atomic layer deposition system of the present invention, a substrate is changed between a general cassette path in which a substrate is loaded at a wide interval and a process cassette in which a substrate is loaded at a narrow interval, and a plurality of process cassettes are provided. There is an advantage that the productivity is greatly improved by having an automatic logistics line that can be automatically imported and exported to the process chamber.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템의 구성을 도시하는 레이아웃도이다.
도 2는 공정용 카세트와 일반 카세트의 구조를 도시하는 도면들이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정용 카세트 대기부의 구성을 도시하는 도면이다. 1 is a layout showing the configuration of a high productivity automatic logistics atomic layer deposition system according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram showing the structure of a process cassette and a general cassette.
3 is a diagram illustrating a configuration of a cassette cassette standby part according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a specific embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템(1)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 박막 증착부(100), 공정용 카세트 대기부(200), 공정용 카세트 이송부(300), 카세트 체인징부(400), 일반카세트 이송부(500)를 포함하여 구성될 수 있다. As shown in FIG. 1, the highly productive automatic logistics atomic layer deposition system 1 according to the present embodiment includes a thin film deposition unit 100, a process cassette standby unit 200, a process cassette transfer unit 300, It may be configured to include a cassette changing unit 400, a general cassette transfer unit 500.

먼저 상기 박막 증착부(110)는 다수개의 공정용 카세트가 장입된 상태에서 박막 증착 공정을 수행할 수 있는 다수개의 공정 챔버로 구성된 구성요소이다. 여기에서 상기 공정 챔버는, 일측에 개구부가 형성된 외부 챔버, 상기 외부 챔버의 내부에 구비되며, 일측에 개구부가 형성되는 내부 챔버, 상기 내부 챔버의 개구부를 개폐하는 제1 도어 및 상기 외부 챔버의 개구부를 개폐하는 제2 도어를 포함하며, 상기 제2 도어는 다수의 제2 도어와 연결되어 있는 구조를 가진다. First, the thin film deposition unit 110 is a component composed of a plurality of process chambers capable of performing a thin film deposition process in a state where a plurality of process cassettes are loaded. The process chamber may include an outer chamber having an opening formed at one side, an inner chamber provided at an inside of the outer chamber, an inner chamber having an opening formed at one side, a first door opening and closing the opening of the inner chamber, and an opening of the outer chamber. And a second door configured to open and close the second door, wherein the second door has a structure connected to a plurality of second doors.

여기에서 상기 공정 챔버는, 다수개의 공정용 카세트를 챔버 내부에 배치한 상태에서 공정을 수행할 수 있는 공정용 카세트 배치부를 더 포함하는 것이 바람직하다. Here, the process chamber preferably further includes a process cassette arrangement capable of performing a process in a state in which a plurality of process cassettes are disposed in the chamber.

구체적으로 상기 공정용 카세트 배치부는, 다수개의 공정용 카세트가 밀착된 상태에서 길이방향으로 일직선상으로 장착되는 카세트 배치 프레임 및 상기 카세트 배치 프레임의 전단에 결합되어 설치되며, 상기 공정 챔버의 게이트를 차단하는 도어부를 포함하는 것이 바람직하다. Specifically, the process cassette arranging unit is installed to be coupled to a front end of the cassette arranging frame and the cassette arranging frame which are mounted in a straight line in the longitudinal direction in a state where a plurality of process cassettes are in close contact, and blocks the gate of the process chamber. It is preferable to include the door part.

한편 본 실시예에서 상기 공정 챔버는, 전술한 공정용 카세트 배치부를 구비하지 않고, 상기 다수개의 공정용 카세트를 상기 공정 챔버 내에서 밀착된 상태로 직접 장입하여 다수개의 공정용 카세트에 장입된 기판 사이로 라미나 플로우가 형성되도록 하여 공정을 수행하는 구조를 가질 수도 있다. On the other hand, in the present embodiment, the process chamber does not include the process cassette arrangement described above, and directly loads the plurality of process cassettes in a state of being in close contact in the process chamber and between the substrates loaded in the plurality of process cassettes. The lamina flow may be formed to perform a process.

또한 본 실시예에서 상기 공정 챔버는, 하나의 공정 챔버 내에 2단 이상으로 다수개의 공정용 카세트를 적층하여 공정을 진행하는 독특한 구조를 가질 수도 있다. In addition, in the present embodiment, the process chamber may have a unique structure in which a process is performed by stacking a plurality of process cassettes in two or more stages in one process chamber.

다음으로 상기 공정용 카세트 대기부(200)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 다수개의 공정 챔버에 인접하게 설치되며, 공정 전 기판이 장입된 다수 개의 공정용 카세트들 또는 공정 후 기판이 장입된 카세트들이 대기하는 구성요소이다. Next, as shown in FIG. 1, the process cassette waiting part 200 is installed adjacent to the plurality of process chambers, and a plurality of process cassettes or a substrate after the process are loaded with a substrate before the process. Cassettes are components that wait.

다음으로 상기 공정용 카세트 이송부(300)는 도 1에 도시된 바와 같이, 다수개의 공정챔버와 카세트 대기부 사이에서 공정 전 공정용 카세트를 카세트 대기부에서 다수의 공정챔버로 반입시키거나 공정 후 공정용 카세트를 다수개의 공정 챔버에서 카세트 대기부로 이송시키는 구성요소이다. Next, as shown in FIG. 1, the process cassette transfer part 300 imports a pre-process cassette into a plurality of process chambers from a cassette standby part or a post-process between a plurality of process chambers and a cassette standby part. It is a component that transfers a cassette for the cassette atmosphere from a plurality of process chambers.

다음으로 상기 카세트 체인징부(400)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 카세트 대기부에 인접하게 설치되며, 상기 공정용 카세트에 상기 일반 카세트의 기판을 옮겨 담고, 상기 일반 카세트에 상기 공정용 카세트의 기판을 옮겨 담는 구성요소이다. 본 실시예에서 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 공정용 카세트에 장입된 기판 사이의 간격은 상기 일반용 카세트에 장입된 기판 사이의 간격의 1/2 또는 1/3인 것이, 증착 공정의 생산성을 극대화할 수 있어서 바람직하다. Next, as shown in FIG. 1, the cassette changing unit 400 is installed adjacent to the cassette standby unit, and transfers the substrate of the general cassette to the process cassette, and the process cassette to the general cassette. It is a component that carries the substrate of. In the present embodiment, as shown in Figure 2, the spacing between the substrates loaded in the process cassette is 1/2 or 1/3 of the spacing between the substrates loaded in the general cassette, the productivity of the deposition process It is preferable because it can be maximized.

그리고 상기 카세트 체인징부(400)에는, 상기 일반 카세트에서 공정용 카세트로 공정 전 기판을 옮기고, 공정용 카세트에서 일반 카세트로 공정 후 기판을 옮기는 짝수 개의 카세트 체인징 장치가 배치되는 것이 바람직하다. In the cassette changing unit 400, it is preferable that an even number of cassette changing devices are disposed to transfer the substrate before the process from the general cassette to the process cassette and to transfer the substrate after the process from the process cassette to the general cassette.

이때 각 카세트 체인징 장치는 구체적으로 공정용 카세트 승강모듈, 일반 카세트 승강모듈 및 기판 그리핑 모듈을 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 공정용 카세트가 그 상부에 안착되며, 상기 공정용 카세트에 장착되어 있는 다수개의 기판을 승강시키는 구성요소이며, 상기 일반 카세트 승강모듈은 상기 공정용 카세트 승강모듈에 인접하게 설치되며, 상기 일반 카세트가 그 상부에 안착되어 상기 일반 카세트에 장착되어 있는 다수개의 기판을 승강시키는 구성요소이다. 마지막으로 상기 기판 그리핑 모듈은 상기 공정 카세트 승강모듈 및 일반 카세트 승강모듈의 상측에 걸쳐서 설치되며, 상기 공정용 카세트 승강 모듈에 의하여 상승된 기판 또는 상기 일반 카세트 승강모듈에 의하여 상승된 기판을 그리핑하여 이송한다. In this case, each cassette changing apparatus may include a cassette lifting module, a general cassette lifting module, and a substrate gripping module. First, the process cassette is seated thereon, and is a component for elevating a plurality of substrates mounted on the process cassette. The general cassette elevating module is installed adjacent to the process cassette elevating module. A cassette is seated on top thereof to lift and lower a plurality of substrates mounted on the general cassette. Finally, the substrate gripping module is installed over the process cassette lift module and the general cassette lift module, and grips the substrate lifted by the process cassette lift module or the substrate lifted by the general cassette lift module. Transfer it.

그리고 본 발명에서 상기 일반 카세트 승강 모듈은, 상기 일반 카세트 하단에 설치되어 다수의 기판을 슬라이딩하여 기판을 정렬하고 다수의 기판을 상승시키는 승강 모듈을 포함하는 것이 바람직하다. 상 공정용 카세트 승강모듈은 상기 공정용 카세트에 장착되어 있는 다수개의 기판 중 절반의 기판을 교번적으로 승강시키는 것이 바람직하다. In the present invention, the general cassette elevating module, it is preferable to include an elevating module installed on the lower end of the common cassette to align the substrate by sliding a plurality of substrates and to raise the plurality of substrates. The cassette raising and lowering module for the upper process is preferably elevating the substrate half of the plurality of substrates mounted on the process cassette alternately.

다음으로 상기 기판 그리핑 모듈은, 구체적으로 기판 양측 하부 모서리를 지지하는 기판 그리퍼과, 상기 기판 그리퍼를 전후진 시키는 그리퍼 구동수단 및 상기 그리퍼 구동수단에 설치되며, 상기 기판 그리퍼에 이재된 기판의 측면을 지지하는 기판 가이드부 그리고 상기 그리퍼 구동수단을 상하 및 수평 방향으로 이동시키는 이송 로봇을 포함하는 구조를 가진다. Next, the substrate gripping module includes a substrate gripper for supporting lower edges of both sides of the substrate, gripper driving means for advancing and retreating the substrate gripper, and a side surface of the substrate disposed on the gripper driving means. It has a structure including a substrate guide portion for supporting and the transfer robot for moving the gripper driving means in the vertical and horizontal directions.

그리고 상기 기판 그리핑 모듈에는, 상기 다수의 기판을 진공으로 흡착하여 배출 또는 장입하는 기판 흡착 모듈이 더 구비된다. The substrate gripping module further includes a substrate adsorption module for adsorbing and discharging or charging the plurality of substrates in a vacuum.

이때 상기 기판 흡착 모듈은, 기판 사이의 공간으로 진입하여 기판의 일측면을 흡착하는 기판 흡착 패드 다수개가 나란하게 배열되는 흡착 패드부, 상기 흡착 패드부를 승강시키는 패드부 승강모듈, 상기 패드부 승강모듈을 회전시키는 회전모듈 및 상기 패드부 승강모듈을 수평 이동시키는 패드부 수평이동모듈을 포함하여 구성된다. In this case, the substrate adsorption module includes a plurality of substrate adsorption pads arranged in parallel to enter a space between the substrates and adsorbing one side of the substrate, a pad part lifting module for elevating the adsorption pad part, and the pad part lifting module. It comprises a rotating module for rotating the pad unit horizontal moving module for horizontally moving the pad unit lifting module.

다음으로 상기 일반카세트 이송부(500)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 카세트 체인징부에 인접하게 설치되며, 상기 카세트 체인징부에 공정이 진행될 기판이 담긴 일반 카세트를 연속적으로 공급하고 공정이 완료된 기판이 담긴 일반 카세트를 연속적으로 배출하는 구성요소이다. Next, as shown in FIG. 1, the general cassette transfer unit 500 is installed adjacent to the cassette changing unit, and continuously supplies a general cassette containing a substrate to be processed to the cassette changing unit and finishes the process. It is a component that discharges the regular cassette containing this continuously.

한편 본 실시예에서 상기 공정용 카세트 대기부(200)나 상기 카세트 체인징부(400)에는 도 3에 도시된 바와 같이, 공정이 완료된 기판의 온도를 내리는 냉각장치(210)가 더 구비되는 것이 바람직하다. Meanwhile, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, the process cassette waiting unit 200 or the cassette changing unit 400 may further include a cooling device 210 for lowering the temperature of the substrate on which the process is completed. Do.

그리고 본 실시예에서 상기 카세트 이송부(300)는 다수의 공정용 카세트를 한번에 잡는 그리핑 모듈을 포함하고, 상기 그리핑 모듈은 상기 다수개의 공정용 카세트의 측면을 그리핑할 수 있는 다수의 그리퍼부, 상기 그리퍼부를 전후진 시키는 그리퍼부 구동수단 및 상기 그리퍼부 구동수단을 상하 및 수평 방향으로 이동 및 회전시키는 이송로봇을 포함하여 구성될 수 있다. In the present embodiment, the cassette transfer part 300 includes a gripping module for holding a plurality of process cassettes at a time, and the gripping module includes a plurality of gripper parts capable of gripping side surfaces of the plurality of process cassettes. It may be configured to include a gripper unit driving means for advancing and retreating the gripper unit and a transfer robot for moving and rotating the gripper unit driving means in the vertical and horizontal directions.

또한 상기 카세트 체인징부(400)에서 인접한 공정용 카세트 대기부(200)의 하단에 구비된 공정 전후의 공정용 카세트를 카세트 체인징부(400)로 이송시키는 이송 수단이 구비되고, 상기 이송 수단은 상하 및 수평 방향으로 다수의 공정용 카세트를 이동시키는 이송 로봇을 포함한다. In addition, a transfer means for transferring the process cassettes before and after the process provided at the lower end of the process cassette standby unit 200 adjacent to the cassette changing unit 400 to the cassette changing unit 400 is provided, and the transfer means is provided up and down. And a transfer robot for moving the plurality of process cassettes in the horizontal direction.

1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템
100 : 박막 증착부 200 : 공정용 카세트 대기부
300 : 공정용 카세트 이송부 400 : 카세트 체인징부
500 : 일반카세트 이송부1: high productivity automatic logistics atomic layer deposition system according to an embodiment of the present invention
100: thin film deposition portion 200: process cassette atmospheric portion
300: cassette transfer part for processing 400: cassette changing part
500: General cassette transfer unit

Claims (20)

다수개의 공정용 카세트가 장입된 상태에서 박막 증착 공정을 수행할 수 있는 다수개의 공정 챔버로 구성된 박막 증착부;
상기 다수개의 공정 챔버에 인접하게 설치되며, 공정 전 기판이 장입된 다수 개의 공정용 카세트들 또는 공정 후 기판이 장입된 카세트들이 대기하는 공정용 카세트 대기부;
다수개의 공정챔버와 카세트 대기부 사이에서 공정 전 공정용 카세트를 카세트 대기부에서 다수의 공정챔버로 반입시키거나 공정 후 공정용 카세트를 다수개의 공정 챔버에서 카세트 대기부로 이송시키는 공정용 카세트 이송부;
상기 카세트 대기부에 인접하게 설치되며, 상기 공정용 카세트에 상기 일반 카세트의 기판을 옮겨 담고, 상기 일반 카세트에 상기 공정용 카세트의 기판을 옮겨 담는 카세트 체인징부;
상기 카세트 체인징부에 인접하게 설치되며, 상기 카세트 체인징부에 공정이 진행될 기판이 담긴 일반 카세트를 연속적으로 공급하고 공정이 완료된 기판이 담긴 일반 카세트를 연속적으로 배출하는 일반카세트 이송부;를 포함하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템.
A thin film deposition unit including a plurality of process chambers capable of performing a thin film deposition process in a state where a plurality of process cassettes are loaded;
A process cassette waiting unit installed adjacent to the plurality of process chambers and waiting for a plurality of process cassettes loaded with a substrate before processing or cassettes loaded with a substrate after processing;
A process cassette conveying unit for transferring a pre-process process cassette from the cassette atmosphere to the plurality of process chambers between the plurality of process chambers and the cassette atmosphere, or transferring the process cassette from the plurality of process chambers to the cassette atmosphere after the process;
A cassette changing unit installed adjacent to the cassette standby unit, transferring a substrate of the general cassette to the process cassette, and transferring a substrate of the process cassette to the general cassette;
It is installed adjacent to the cassette changing unit, the general cassette transfer unit for continuously supplying a general cassette containing a substrate to be processed in the cassette changing unit, and continuously discharge the normal cassette containing the completed substrate; High productivity Automatic logistics atomic layer deposition system.
제1항에 있어서, 상기 공정 챔버는,
다수개의 공정용 카세트를 챔버 내부에 배치한 상태에서 공정을 수행할 수 있는 공정용 카세트 배치부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1, wherein the process chamber,
A high productivity automated logistics atomic layer deposition system further comprising a process cassette arrangement capable of performing a process in a state in which a plurality of process cassettes are arranged in a chamber. 제2항에 있어서, 상기 공정용 카세트 배치부는,
다수개의 공정용 카세트가 밀착된 상태에서 길이방향으로 일직선상으로 장착되는 카세트 배치 프레임;
상기 카세트 배치 프레임의 전단에 결합되어 설치되며, 상기 공정 챔버의 게이트를 차단하는 도어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 2, wherein the cassette arrangement portion for the process,
A cassette arrangement frame mounted in a straight line in the longitudinal direction with a plurality of process cassettes in close contact;
And a door unit coupled to a front end of the cassette arrangement frame and blocking a gate of the process chamber. 2. 제1항에 있어서, 상기 공정 챔버는,
상기 다수개의 공정용 카세트를 상기 공정 챔버 내에서 밀착된 상태로 직접 장입하여 다수개의 공정용 카세트에 장입된 기판 사이로 라미나 플로우가 형성되도록 하여 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1, wherein the process chamber,
A high productivity automatic logistics atomic layer is performed by directly loading the plurality of process cassettes in close contact in the process chamber to form a lamina flow between the substrates loaded in the plurality of process cassettes. Deposition system. 제1항에 있어서, 상기 공정 챔버는,
하나의 공정 챔버 내에 2단 이상으로 다수개의 공정용 카세트를 적층하여 공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1, wherein the process chamber,
A high productivity automated logistics atomic layer deposition system characterized in that the process proceeds by stacking a plurality of process cassettes in two or more stages in one process chamber. 제1항에 있어서,
상기 공정용 카세트 대기부나 상기 카세트 체인징부에 설치되며, 공정이 완료된 기판의 온도를 내리는 냉각장치를 더 포함하는 것을 특징으로하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1,
And a cooling device installed in the process cassette standby unit or the cassette changing unit, the apparatus for lowering the temperature of the substrate on which the process is completed. 제1항에 있어서,
상기 공정용 카세트에 장입된 기판 사이의 간격은 상기 일반용 카세트에 장입된 기판 사이의 간격의 1/2 또는 1/3인 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1,
The spacing between the substrates loaded into the process cassette is 1/2 or 1/3 of the spacing between the substrates loaded into the general cassette. 제1항에 있어서, 상기 카세트 체인징부는,
상기 일반 카세트에서 공정용 카세트로 공정 전 기판을 옮기고, 공정용 카세트에서 일반 카세트로 공정 후 기판을 옮기는 짝수 개의 카세트 체인징 장치가 배치되는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1, wherein the cassette changing unit,
A high productivity automatic logistics atomic layer deposition system is characterized in that the number of cassette changing device for transferring the substrate before the process from the general cassette to the process cassette, and the substrate after the process from the process cassette to the general cassette is disposed. 제1항에 있어서, 상기 카세트 체인징부는,
상기 공정용 카세트가 그 상부에 안착되며, 상기 공정용 카세트에 장착되어 있는 다수개의 기판을 승강시키는 공정용 카세트 승강모듈;
상기 공정용 카세트 승강모듈에 인접하게 설치되며, 상기 일반 카세트가 그 상부에 안착되어 상기 일반 카세트에 장착되어 있는 다수개의 기판을 승강시키는 일반 카세트 승강모듈;
상기 공정 카세트 승강모듈 및 일반 카세트 승강모듈의 상측에 걸쳐서 설치되며, 상기 공정용 카세트 승강 모듈에 의하여 상승된 기판 또는 상기 일반 카세트 승강모듈에 의하여 상승된 기판을 그리핑하여 이송하는 기판 그리핑 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1, wherein the cassette changing unit,
A process cassette lift module mounted on the process cassette and lifting a plurality of substrates mounted on the process cassette;
A general cassette elevating module installed adjacent to the process cassette elevating module and configured to elevate a plurality of substrates mounted on the general cassette by mounting the general cassette on an upper portion thereof;
A substrate gripping module installed over the process cassette elevating module and the general cassette elevating module and gripping and transporting the substrate elevated by the process cassette elevating module or the substrate elevated by the general cassette elevating module; High productivity automatic logistics atomic layer deposition system comprising a. 제9항에 있어서, 상기 일반 카세트 승강 모듈은,
상기 일반 카세트 하단에 설치되어 다수의 기판을 슬라이딩하여 기판을 정렬하고 다수의 기판을 상승시키는 승강 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 9, wherein the general cassette lifting module,
And a lifting module installed at a lower side of the general cassette to align the substrates by sliding the plurality of substrates and to raise the plurality of substrates. 제9항에 있어서, 상기 공정용 카세트 승강모듈은,
상기 공정용 카세트에 장착되어 있는 다수개의 기판 중 절반의 기판을 교번적으로 승강시키는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템.
The method of claim 9, wherein the cassette lifting module for the process,
High-productivity automatic logistics atomic layer deposition system, characterized in that for raising and lowering half the substrate of the plurality of substrates mounted in the process cassette alternately.
제9항에 있어서, 상기 기판 그리핑 모듈은,
기판 양측 하부 모서리를 지지하는 기판 그리퍼;
상기 기판 그리퍼를 전후진 시키는 그리퍼 구동수단;
상기 그리퍼 구동수단에 설치되며, 상기 기판 그리퍼에 이재된 기판의 측면을 지지하는 기판 가이드부;
상기 그리퍼 구동수단을 상하 및 수평 방향으로 이동시키는 이송 로봇;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 9, wherein the substrate gripping module,
A substrate gripper supporting lower edges of both sides of the substrate;
Gripper driving means for advancing and retreating the substrate gripper;
A substrate guide part installed at the gripper driving means and supporting a side surface of the substrate transferred to the substrate gripper;
And a transfer robot for moving the gripper driving means in the vertical direction and the horizontal direction. 제9항에 있어서, 상기 기판 그리핑 모듈에는,
상기 다수의 기판을 진공으로 흡착하여 배출 또는 장입하는 기판 흡착 모듈이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 9, wherein the substrate gripping module,
The high productivity automatic logistics atomic layer deposition system further comprises a substrate adsorption module for adsorbing or discharging or charging the plurality of substrates in a vacuum. 제13항에 있어서, 상기 기판 흡착 모듈은,
기판 사이의 공간으로 진입하여 기판의 일측면을 흡착하는 기판 흡착 패드 다수개가 나란하게 배열되는 흡착 패드부;
상기 흡착 패드부를 승강시키는 패드부 승강모듈;
상기 패드부 승강모듈을 회전시키는 회전모듈;
상기 패드부 승강모듈을 수평 이동시키는 패드부 수평이동모듈;을 포함하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템.
The method of claim 13, wherein the substrate adsorption module,
An adsorption pad unit in which a plurality of substrate adsorption pads which enter a space between the substrates and adsorb one side of the substrate are arranged in parallel;
A pad part elevating module for elevating the suction pad part;
A rotation module for rotating the pad lifting module;
And a pad unit horizontal moving module for horizontally moving the pad unit elevating module.
제1항에 있어서, 상기 공정용 카세트는,
다수개의 카세트가 서로 일직선으로 연결되어 있어서 하나의 모듈로 이송이 가능한 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1, wherein the cassette for the process,
A high productivity automated logistics atomic layer deposition system, characterized in that a plurality of cassettes are connected in a straight line to each other can be transferred to a single module. 제1항에 있어서, 상기 박막 증착부는,
다수개의 공정 챔버가 일정 간격으로 이격되어 나란히 설치되는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1, wherein the thin film deposition unit,
A high productivity automated logistics atomic layer deposition system, characterized in that a plurality of process chambers are spaced apart at regular intervals. 제1항에 있어서, 상기 공정 챔버는,
일측에 개구부가 형성된 외부 챔버;
상기 외부 챔버의 내부에 구비되며, 일측에 개구부가 형성되는 내부 챔버;
상기 내부 챔버의 개구부를 개폐하는 제1 도어;
상기 외부 챔버의 개구부를 개폐하는 제2 도어;를 포함하며, 상기 제2 도어는 다수의 제2 도어와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1, wherein the process chamber,
An outer chamber having an opening formed at one side thereof;
An inner chamber provided inside the outer chamber and having an opening formed at one side thereof;
A first door for opening and closing the opening of the inner chamber;
And a second door opening and closing the opening of the outer chamber, wherein the second door is connected to a plurality of second doors. 제1항에 있어서, 상기 카세트 이송부는 다수의 공정용 카세트를 한번에 잡는 그리핑 모듈을 포함하고,
상기 그리핑 모듈은,
상기 다수개의 공정용 카세트의 측면을 그리핑할 수 있는 다수의 그리퍼부;
상기 그리퍼부를 전후진 시키는 그리퍼부 구동수단;
상기 그리퍼부 구동수단을 상하 및 수평 방향으로 이동 및 회전시키는 이송로봇;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1, wherein the cassette transfer unit comprises a gripping module for holding a plurality of process cassettes at once,
The gripping module,
A plurality of gripper portions capable of gripping side surfaces of the plurality of process cassettes;
Gripper part driving means for advancing and retreating the gripper part;
And a transfer robot for moving and rotating the gripper driving means in the vertical direction and the horizontal direction. 제1항에 있어서,
상기 카세트 체인징부에서 인접한 공정용 카세트 대기부의 하단에 구비된 공정 전후의 공정용 카세트를 카세트 체인징부로 이송시키는 이송 수단이 구비되고,
상기 이송 수단은 상하 및 수평 방향으로 다수의 공정용 카세트를 이동시키는 이송 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템. The method of claim 1,
Transfer means for transferring the process cassette before and after the process provided in the lower end of the cassette waiting portion for the process adjacent to the cassette changing portion to the cassette changing portion,
The transfer means is a high productivity automated logistics atomic layer deposition system comprising a transfer robot for moving a plurality of process cassettes in the vertical direction and the horizontal direction. 제1항에 있어서,
상기 공정용 카세트의 그리핑 포인트 배열은 상기 공정 챔버 간격 및 공정용 카세트 간격에 맞추어서 구성되는 것을 특징으로 하는 고생산성 자동물류 원자층 증착 시스템.
The method of claim 1,
And the gripping point arrangement of the process cassette is configured in accordance with the process chamber spacing and the process cassette spacing.
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KR101173081B1 (en) * 2010-07-30 2012-08-10 주식회사 엔씨디 Horizontal batch type ald
KR101321331B1 (en) * 2012-05-21 2013-10-23 주식회사 엔씨디 The system for depositing the thin layer
KR20170036348A (en) * 2015-09-24 2017-04-03 주식회사 엔씨디 The system for depositing a atomic layer

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