KR20190101221A - 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템 및 그의 제어 방법 - Google Patents

Abstract

적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템이 개시된다. 본 시스템은 복수의 적재물 운반부, 복수의 적재물 운반부가 이동하는 트랙, 특정의 프로세스가 수행되는 복수의 프로세스 수행 영역 및 트랙 및 복수의 프로세스 수행 영역을 복수의 섹터(Sector)로 구분하는 제어 모듈을 포함하며, 복수의 섹터 각각은, 트랙의 하부에 배치되어 복수의 적재물 운반부를 자기력에 의해 운반시키는 섹터 코일 세트를 포함하며, 섹터 코일 세트는, 자기력을 발생시켜 복수의 적재물 운반부를 이동시키는 복수의 코일부 및 발생된 자기력을 감지하는 복수의 센서부를 포함하며, 복수의 섹터 각각은, 코일 세트 각각을 구동하는 섹터 구동부 및 상기 복수의 섹터 각각의 통신을 수행하는 섹터 통신부를 포함할 수 있다. 이에 따라, 시스템 효율이 향상될 수 있다.

Description

적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템 및 그의 제어 방법{PROCESS FACILITY SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING LOAD CARRIER MOVEMENT}

본 발명은 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템 및 그의 제어 방법에 관한 것으로 더 상세하게는 안전하면서도 효율적으로 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템 및 그의 제어 방법에 관한 것이다.

물건을 제조하기 위한 기계에서, 운반 시스템은 기계의 다른 스테이션으로 물건의 제조를 위해 사용 가능한 부품, 공구 등을 운반하도록 사용된다.

종래의 운반 시스템은 부품, 공구 등의 적재물을 운반하는 적재물 운반부 간의 충돌이 빈번하게 발생되며, 물리적 접촉으로 인해 파티클이 필연적으로 생기기도 하였다.

이에 따라, 적재물 운반부 간의 충돌을 최소화하며, 기구 간의 물리적 접촉으로 인한 파티클 발생을 방지하는 공정 설비 시스템이 필요하다할 것이다.

한편, 상기와 같은 정보는 본 발명의 이해를 돕기 위한 백그라운드(background) 정보로서만 제시될 뿐이다. 상기 내용 중 어느 것이라도 본 발명에 관한 종래 기술로서 적용 가능할지 여부에 관해, 어떤 결정도 이루어지지 않았고, 또한 어떤 주장도 이루어지지 않는다.

공개특허공보 제10-2015-0022695호(공개일 : 2015.3.4)

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 일 실시예는 자기력을 이용하여 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템 및 그의 제어 방법을 제안한다.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템은 복수의 적재물 운반부; 상기 복수의 적재물 운반부가 이동하는 트랙; 특정의 프로세스가 수행되는 복수의 프로세스 수행 영역; 및 상기 트랙 및 상기 복수의 프로세스 수행 영역을 복수의 섹터(Sector)로 구분하는 제어 모듈;을 포함하며, 상기 복수의 섹터 각각은, 상기 트랙의 하부에 배치되어 상기 복수의 적재물 운반부를 자기력에 의해 운반시키는 섹터 코일 세트를 포함하며, 상기 섹터 코일 세트는, 자기력을 발생시켜 상기 복수의 적재물 운반부를 이동시키는 복수의 코일부 및 발생된 자기력을 감지하는 복수의 센서부를 포함하며, 상기 복수의 섹터 각각은, 코일 세트 각각을 구동하는 섹터 구동부 및 상기 복수의 섹터 각각의 통신을 수행하는 섹터 통신부를 포함할 수 있다.

보다 구체적으로, 상기 제어 모듈은, 상기 복수의 섹터 구동부를 제어하여, 특정 적재물 운반부가 제1 섹터에서 제2 섹터로 이동하는 경우, 상기 제2 섹터가 상기 특정 적재물 운반부를 수용 가능한지 판단할 수 있다.

본 발명의 다양한 실시예에 따르면 적재물 운반부 간의 충돌이 방지될 수 있으며, 적재물 운반부의 이동에 대한 스케줄링이 수행될 수 있다.

본 발명에서 얻은 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템의 구동 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템의 구동 방법을 나타내는 시퀀스도이다.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 다양한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템의 구동 원리를 설명하기 위한 도면이다.

도 1에 따르면, 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템은 적재물 운반부(110TT)을 이동 시킬 수 있다. 공정 설비 시스템은 적재물 운반부(110TT) 위의 공구, 소자 등의 오브젝트(10)를 필요 작업 구간인 프로세스 수행 영역으로 이동시킬 수 있다.

공정 설비 시스템은 복수의 코일 및 센싱부(170A, 170B, 170C)를 포함하며, 복수의 코일(C1, C2, C3)은 복수의 코일(C1, C2, C3) 및 적재물 운반부(110TT) 간에 발생된 자기력에 의해 적재물 운반부(110TT)를 이동시킬 수 있다.

복수의 코일 및 센싱부(170A, 170B, 170C)는 자기장의 변화를 측정할 수 있는 센서(HS1A 내지 HS3B)를 포함할 수 있다. 센서(HS1A 내지 HS3B)들은 코일의 좌우에 각각 배치되어 자기장 변화를 감지하여 적재물 운반부(110TT)의 위치를 감지할 수 있다. 센서(HS1A 내지 HS3B)는 홀센서와 같은 수동형 센서가 적용될 수 있으나, 구현시에 능동형 센서가 적용될 수 있다.

적재물 운반부(110TT)는 N극 및 S극을 복수 개를 구비하여 코일(C1, C2, C3)을 통해 발생되는 자기장에 의해 전(Front) 방향 또는 후(Rear) 방향으로 이동될 수 있다.

복수의 코일 및 센싱부(170A, 170B, 170C)와 적재물 운반부(110TT) 사이에 종래 운반 시스템에서 사용하는 벨트 형태의 구성이 적용될 필요가 없게 되어 파티클이 발생이 방지될 수 있으며, 특별한 배선 구성이 적용될 필요가 없게 된다.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템(100)을 나타낸다.

도 2에 따르면, 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템(100)은 복수의 섹터(2A, 2B, 2C)로 구분될 수 있다. 복수의 섹터(2A, 2B, 2C)는 공정 설비 시스템(100)의 구현에 따라 다르게 구분될 수 있으며, 작업을 수행하는 프로세스 영역의 성질에 기초하여 구분될 수 있다. 가령, 복수의 섹터는 프로세스를 하나 수행하는 것에 기초하여 구분될 수 있으며, 프로세스의 평균 수행 시간에 기초하여 구분될 수 있고, 프로세스의 개수에 기초하여 구분될 수 있으나, 실시 예가 이에 국한되는 것은 아니다.

제1 섹터(2A)는 4개의 프로세스(ProcessA 내지 ProcessD)를 포함하고, 복수의 적재물 운반부(110AA 내지 11AD 등)를 포함할 수 있다. 제1 섹터(2A)를 구동하는 후술할 섹터 구동부는 ProcessA 에 다수의 적재물 운반부가 대기하는 경우 ProcessC로 적재물 운반부의 이동을 변경시킬 수 있다.

제2 섹터(2B)는 3개의 프로세스(ProcessE 내지 Process G)를 포함하고, 복수의 적재물 운반부(110AG 내지 110AH 등)를 포함할 수 있다. 제3 섹터(2C)의 경우에도 다양한 프로세스가 포함될 수 있다. 제2 섹터(2B) 및 제3 섹터(2C)를 제어하는 섹터 구동부가 있어서, 제2 섹터(2B) 및 제3 섹터(2C)의 복수의 코일 및 센싱부(170A, 170B, 170C)를 통해 적재물 운반부가 이동될 수 있다.

또한, 제1 섹터 내지 제3 섹터(2A 내지 2C)에는 섹터 통신부가 구비되어 섹터 통신부 간의 통신을 통해 적재물 운반부를 제1 섹터(2A)에서 제2 섹터(2B)로 제2 섹터(2B)에서 제3 섹터(2C)로 이동시킬 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 오브젝트의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템(100)의 구성들을 나타내는 블록도이다.

도 3에 따르면, 공정 설비 시스템(100)은 복수의 섹터 코일 세트(110A 내지 110D,..), 통신부(120), 구동부(130), 메모리(140), 디스플레이(150) 및 제어 모듈(160)을 포함한다. 상기 구성 요소들은 공정 설비 시스템(100)을 구현하는데 필수적인 것은 아니여서 본 발명에 따른 공정 설비 시스템(100)은 상술한 구성요소보다 더 많은 또는 더 적은 구성요소를 포함할 수 있다.

복수의 섹터 코일 세트(110A 내지 110D,..) 각각은 복수의 코일부 및 센서부를 포함한다.

가령, 제1 섹터 코일 세트(110A)는 복수의 코일부(C1, C2) 및 복수의 센서부(S1, S2)를 포함할 수 있다. 복수의 코일부(C1, C2)는 자기력을 이용하여 적재물 운반부를 이동시킬 수 있다. 이를 위해 적재물 운반부의 하부에는 S극 및 N극이 교차로 구현될 수 있으나, 실시 예가 이에 국한되는 것은 아니다. 복수의 센서부(S1, S2)는 적재물 운반부가 센서부(S1, S2)에 접근하는지 멀어지는지 판단할 수 있다. 복수의 센서부(S1, S2)는 하나의 코일부(C1, C2) 사이에 복수개로 구현될 수 있다.

통신부(120)는 섹터 간의 통신 및 제어 장비와의 통신 등을 제공할 수 있다. 통신부(120)는 각 섹터 별로 제1 섹터 통신부(120A), 제2 섹터 통신부(120B), 제3 섹터 통신부(130C) 등을 포함할 수 있다. 각각의 섹터 통신부(120A 내지 120D)는 인접한 섹터 통신부와 통신을 수행할 수 있다.

가령, 제1 섹터 통신부(120A)는 제2 섹터 통신부(120B)에 특정 적재물 운반부를 이동시키는 경우, 제2 섹터 통신부(120B)가 준비가 되었는지 통신할 수 있다. 제1 섹터 통신부(120A)는 제2 섹터 통신부(120B)의 준비가 된 경우, 특정 적재물 운반부를 제2 섹터로 전송할 수 있다.

구동부(130)는 각 섹터의 코일 세트를 각각 제어하는 제1 섹터 구동부(130A), 제2 섹터 구동부(130B), 제3 섹터 구동부(130C) 등을 포함할 수 있다.

가령, 제1 섹터 구동부(130A)는 제1 섹터에서 이동 및 정지된 적재물 운반부가 이동될 수 있도록 적절한 전압을 코일부(C1, C2)에 인가할 수 있다. 제1 섹터 구동부(130A)는 때로는 빠르게 또는 때로는 느리게 적재물 운반부가 이동될 수 있도록 제어할 수 있다.

메모리(140)는 다양한 섹터 정보, 섹터를 이동 중인 적재물 운반부 개수 정보, 적재물 운반부의 내용 정보, 각 섹터에 배치된 프로세스에 대한 정보 등을 저장할 수 있다. 구현시 메모리(140)는 플래시 메모리 타입(flash memory type), 하드디스크 타입(hard disk type), SSD 타입(Solid State Disk type), SDD 타입(Silicon Disk Drive type), 멀티미디어 카드 마이크로 타입(multimedia card micro type), 카드 타입의 메모리(예를 들어 SD 또는 XD 메모리 등), 램(random access memory; RAM), SRAM(static random access memory), 롬(read-only memory; ROM), EEPROM(electrically erasable programmable read-only memory), PROM(programmable read-only memory), 자기 메모리, 자기 디스크 및 광디스크 중 적어도 하나의 타입의 저장매체를 포함할 수 있다.

디스플레이(150)는 제어 모듈(160)의 제어에 따라 다양한 정보를 표시할 수 있다. 디스플레이(150)는 현재 각 섹터 별 적재물 운반부들의 상태, 프로세스의 진행율 등을 실시간으로 모니터링할 수 있다. 디스플레이부(150)는 액정 디스플레이(liquid crystal display, LCD), 박막 트랜지스터 액정 디스플레이(thin film transistor-liquid crystal display, TFT LCD), 유기 발광 다이오드(organic light-emitting diode, OLED), 플렉서블 디스플레이(flexible display), 3차원 디스플레이(3D display), 전자잉크 디스플레이(e-ink display) 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.

제어 모듈(160)은 공정 설비 시스템(100)을 전반적으로 제어하는 모듈이다.

이하에서는 도 4 내지 도 6을 참고하여, 공정 설비 시스템(100)의 구동 방법을 설명하기로 한다.

도 4에 따르면, 공정 설비 시스템(100)은 특정 적재물 운반부가 N 섹터의 프로세스를 진행한 후(S410), N 섹터의 프로세스가 완료된 경우 복수의 섹터 별 상태를 인식한다(S420).

공정 설비 시스템(100)의 제어 모듈(160)은 복수의 섹터 별로 적재물 운반부들의 위치를 인식하고 인터페이스들의 상황을 인식할 수 있다.

도 5에 따르면, 공정 설비 시스템(100)의 복수의 섹터 간의 통신을 나타낸다. 복수의 섹터 간에 다양한 통신 문구가 사용될 수 있다. 가령, “N Ready 2 Receive”는 “N 섹터가 수신할 준비가 되었음”을 나타내며, “N Movement”는 “N 섹터에서 적재물 운반부가 움직임”을 나타내고, “N+1 SND Completion”은 “N+1 섹터로 전송이 완료 되었음”을 나타낼 수 있으나, 실시 예가 이에 국한되는 것은 아니다.

먼저, N 섹터(110N)는 N+1 섹터(110N1)로 적재물 운반부를 전송하기 위한 준비를 완료한다(S510). 이를 인터페이스적으로 “N Ready 2 Send”로 구현될 수 있다.

그 다음, N+1 섹터(110N1)은 N 섹터(110N)로부터 적재물 운반부를 수신하기 위한 준비를 완료한다(S520). 이를 인터페이스적으로 “N+1 Ready 2 RCV”로 구현될 수 있다.

그러면, N 섹터(110N)은 N+1 섹터(110N1)으로 적재물 운반부를 전송한다(S530). 이어서, N+1 섹터(110N1)은 적재물 운반부 전송 완료 신호를 N 섹터(110N)으로 전송한다(S540). 그 다음으로, N+1 섹터(110N1)는 적재물 운반부 수신 완료 신호를 N 섹터(110N)로 전송한다(S550).

도 6은 각 섹터 별로 운반부의 원점을 설정하는 방법을 나타내는 시퀀스도이다.

우선, 공정 설비 시스템(100)은 현재 적재물 운반부 및 코일부의 개수를 인식한다(S605).

그 다음으로, 적재물 운반부 수가 조건을 충족하는 경우(S610), 기준 적재물 운반부를 설정하고 섹터 내 다량의 적재물 운반부의 블록을 지정한다(S620).

여기서 적재물 운반수의 수 조건은 시스템에 따라 달리 설정될 수 있으나, 테스트시 적재물 운반부 간의 충돌이 가장 적은 경우를 상정할 수 있다.

그 후에, 공정 설비 시스템(100)은 기준 적재물 운반부 센서 인식까지 블록으로 지정된 적재물 운반부를 이동시킨다(S625).

즉, 기준 적재물 운반부가 센서 인식하기까지 적재물 운반부의 위치를 재조정할 수 있다.

그려면, A 모드로 원점이 복귀될 수 있다(S630). 여기서, A 모드는 특정의 모드로 적재물 운반부 수가 특정 개수를 만족하는 경우 설정될 수 있다.

만약, 적재물 운반부 수가 조건을 충족하지 못하는 경우(S610), 코일 수가 조건을 충족하는 경우(S640), B 모드로 원점 복귀한다(S645).

코일 수를 충족하는 조건 역시 시스템에 따라 달리 설정될 수 있으며, B 모드 역시 특정 모드에 해당된다.

만약 코일 수가 조건을 충족하지 못하는 경우(S640), C 모드로 원점 복귀한다(S655).

한편, 본 명세서에서 설명하는 기능적인 동작과 주제의 구현물들은 디지털 전자 회로로 구현되거나, 본 명세서에서 개시하는 구조 및 그 구조적인 등가물들을 포함하는 컴퓨터 소프트웨어, 펌웨어 혹은 하드웨어로 구현되거나, 이들 중 하나 이상의 결합으로 구현 가능하다. 본 명세서에서 설명하는 주제의 구현물들은 하나 이상의 컴퓨터 프로그램 제품, 다시 말해 제어 시스템의 동작을 제어하기 위하여 혹은 이것에 의한 실행을 위하여 유형의 프로그램 저장매체 상에 인코딩된 컴퓨터 프로그램 명령에 관한 하나 이상의 모듈로서 구현될 수 있다.

컴퓨터로 판독 가능한 매체는 기계로 판독 가능한 저장 장치, 기계로 판독 가능한 저장 기판, 메모리 장치, 기계로 판독 가능한 전파형 신호에 영향을 미치는 물질의 조성물 혹은 이들 중 하나 이상의 조합일 수 있다.

본 명세서에서 "시스템"이나 "장치"라 함은 예컨대 프로그래머블 프로세서, 컴퓨터 혹은 다중 프로세서나 컴퓨터를 포함하여 데이터를 제어하기 위한 모든 기구, 장치 및 기계를 포괄한다. 제어 시스템은, 하드웨어에 부가하여, 예컨대 프로세서 펌웨어를 구성하는 코드, 프로토콜 스택, 데이터베이스 관리 시스템, 운영 체제 혹은 이들 중 하나 이상의 조합 등 요청 시 컴퓨터 프로그램에 대한 실행 환경을 형성하는 코드를 포함할 수 있다.

컴퓨터 프로그램(프로그램, 소프트웨어, 소프트웨어 어플리케이션, 스크립트 혹은 코드로도 알려져 있음)은 컴파일되거나 해석된 언어나 선험적 혹은 절차적 언어를 포함하는 프로그래밍 언어의 어떠한 형태로도 작성될 수 있으며, 독립형 프로그램이나 모듈, 컴포넌트, 서브루틴 혹은 컴퓨터 환경에서 사용하기에 적합한 다른 유닛을 포함하여 어떠한 형태로도 전개될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 파일 시스템의 파일에 반드시 대응하는 것은 아니다. 프로그램은 요청된 프로그램에 제공되는 단일 파일 내에, 혹은 다중의 상호 작용하는 파일(예컨대, 하나 이상의 모듈, 하위 프로그램 혹은 코드의 일부를 저장하는 파일) 내에, 혹은 다른 프로그램이나 데이터를 보유하는 파일의 일부(예컨대, 마크업 언어 문서 내에 저장되는 하나 이상의 스크립트) 내에 저장될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 하나의 사이트에 위치하거나 복수의 사이트에 걸쳐서 분산되어 통신 네트워크에 의해 상호 접속된 다중 컴퓨터나 하나의 컴퓨터 상에서 실행되도록 전개될 수 있다.

한편, 컴퓨터 프로그램 명령어와 데이터를 저장하기에 적합한 컴퓨터로 판독 가능한 매체는, 예컨대 EPROM, EEPROM 및 플래시메모리 장치와 같은 반도체 메모리 장치, 예컨대 내부 하드디스크나 외장형 디스크와 같은 자기 디스크, 자기광학 디스크 및 CD-ROM과 DVD-ROM 디스크를 포함하여 모든 형태의 비휘발성 메모리, 매체 및 메모리 장치를 포함할 수 있다. 프로세서와 메모리는 특수 목적의 논리 회로에 의해 보충되거나, 그것에 통합될 수 있다.

본 명세서에서 설명한 주제의 구현물은 예컨대 데이터 서버와 같은 백엔드 컴포넌트를 포함하거나, 예컨대 어플리케이션 서버와 같은 미들웨어 컴포넌트를 포함하거나, 예컨대 사용자가 본 명세서에서 설명한 주제의 구현물과 상호 작용할 수 있는 웹 브라우저나 그래픽 유저 인터페이스를 갖는 클라이언트 컴퓨터와 같은 프론트엔드 컴포넌트 혹은 그러한 백엔드, 미들웨어 혹은 프론트엔드 컴포넌트의 하나 이상의 모든 조합을 포함하는 연산 시스템에서 구현될 수도 있다. 시스템의 컴포넌트는 예컨대 통신 네트워크와 같은 디지털 데이터 통신의 어떠한 형태나 매체에 의해서도 상호 접속 가능하다.

본 명세서는 다수의 특정한 구현물의 세부사항들을 포함하지만, 이들은 어떠한 발명이나 청구 가능한 것의 범위에 대해서도 제한적인 것으로서 이해되어서는 안되며, 오히려 특정한 발명의 특정한 실시형태에 특유할 수 있는 특징들에 대한 설명으로서 이해되어야 한다. 마찬가지로, 개별적인 실시형태의 문맥에서 본 명세서에 기술된 특정한 특징들은 단일 실시형태에서 조합하여 구현될 수도 있다. 반대로, 단일 실시형태의 문맥에서 기술한 다양한 특징들 역시 개별적으로 혹은 어떠한 적절한 하위 조합으로도 복수의 실시형태에서 구현 가능하다. 나아가, 특징들이 특정한 조합으로 동작하고 초기에 그와 같이 청구된 바와 같이 묘사될 수 있지만, 청구된 조합으로부터의 하나 이상의 특징들은 일부 경우에 그 조합으로부터 배제될 수 있으며, 그 청구된 조합은 하위 조합이나 하위 조합의 변형물로 변경될 수 있다.

또한, 본 명세서에서는 특정한 순서로 도면에서 동작들을 묘사하고 있지만, 이는 바람직한 결과를 얻기 위하여 도시된 그 특정한 순서나 순차적인 순서대로 그러한 동작들을 수행하여야 한다거나 모든 도시된 동작들이 수행되어야 하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 특정한 경우, 멀티태스킹과 병렬 프로세싱이 유리할 수 있다. 또한, 상술한 실시형태의 다양한 시스템 컴포넌트의 분리는 그러한 분리를 모든 실시형태에서 요구하는 것으로 이해되어서는 안되며, 설명한 프로그램 컴포넌트와 시스템들은 일반적으로 단일의 소프트웨어 제품으로 함께 통합되거나 다중 소프트웨어 제품에 패키징될 수 있다는 점을 이해하여야 한다

이와 같이, 본 명세서는 그 제시된 구체적인 용어에 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 따라서, 상술한 예를 참조하여 본 발명을 상세하게 설명하였지만, 당업자라면 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서도 본 예들에 대한 개조, 변경 및 변형을 가할 수 있다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (2)

1. 복수의 적재물 운반부;
   상기 복수의 적재물 운반부가 이동하는 트랙;
   적어도 하나의 특정 프로세스가 수행되는 복수의 프로세스 수행 영역; 및
   상기 트랙 및 상기 복수의 프로세스 수행 영역을 복수의 섹터(Sector)로 구분하는 제어 모듈;을 포함하며,
   상기 복수의 섹터 각각은, 상기 트랙의 하부에 배치되어 상기 복수의 적재물 운반부를 자기력에 의해 운반시키는 섹터 코일 세트를 포함하며,
   상기 섹터 코일 세트는, 자기력을 발생시켜 상기 복수의 적재물 운반부를 이동시키는 복수의 코일부 및 발생된 자기력을 감지하는 복수의 센서부를 포함하며,
   상기 복수의 섹터 각각은, 섹터 코일 세트 각각을 구동하는 섹터 구동부 및 상기 복수의 섹터 각각의 통신을 수행하는 섹터 통신부를 포함하는, 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제어 모듈은,
   상기 복수의 섹터 구동부를 제어하여, 특정 적재물 운반부가 제1 섹터에서 제2 섹터로 이동하는 경우, 상기 제2 섹터가 상기 특정 적재물 운반부를 수용 가능한지 판단하는, 적재물 운반부의 이동을 제어하는 공정 설비 시스템.
   

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