KR20190054261A - 플렉서블 누설 감지 센서 - Google Patents

플렉서블 누설 감지 센서 Download PDF

Info

Publication number
KR20190054261A
KR20190054261A KR1020170150338A KR20170150338A KR20190054261A KR 20190054261 A KR20190054261 A KR 20190054261A KR 1020170150338 A KR1020170150338 A KR 1020170150338A KR 20170150338 A KR20170150338 A KR 20170150338A KR 20190054261 A KR20190054261 A KR 20190054261A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
base bar
flexible
chemical
sensor
present
Prior art date
Application number
KR1020170150338A
Other languages
English (en)
Inventor
이재희
Original Assignee
플로우닉스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 플로우닉스 주식회사 filed Critical 플로우닉스 주식회사
Priority to KR1020170150338A priority Critical patent/KR20190054261A/ko
Publication of KR20190054261A publication Critical patent/KR20190054261A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
    • G01M3/18—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/186—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
    • G01M3/187—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators for flexible or elastic containers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/40—Investigating fluid-tightness of structures by using electric means, e.g. by observing electric discharges

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

본 발명은 길이방향으로 일정길이 연장되고, 전기가 통하지 않으며, 휘어질 수 있는 플렉서블한 소재로 이루어진 베이스 바; 상기 베이스 바의 외면에, 도전성 물질을 설정된 패턴에 따라 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서부를 포함하고, 상기 베이스 바는 육면체 형상으로 형성되고, 상기 센서부는 상기 베이스 바의 저면에 형성된 제1 패턴, 상기 베이스 바의 좌측면에 형성된 제2 패턴 및 상기 베이스 바의 우측면에 형성된 제3 패턴 중 적어도 하나 이상을 포함하는 플렉서블 누설 감지 센서에 관한 것으로서, 저장 탱크의 형상에 맞추어 또는 설치 공간에 맞추어 용이하게 설치 가능하며, 소정 길이 단위로 제품을 규격화하여 대량 생산이 가능하다.

Description

플렉서블 누설 감지 센서{Flexible leak detector}
본 발명은 빗물, 화학 약품 등의 유체 누설을 감지하는 누설 감지 센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 감지 대상 구조물의 형상에 제약을 받지 않고 용이한 설치가 가능한 플렉서블 누설 감지 센서에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.
이러한 화학 물질들은 이송관을 통해 각 공정이 수행되는 위치로 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누액을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다.
이송관의 누설 감지는 일반적으로 플러스(+) 도체와 마이너스(-) 도체를 나란히 또는 교차 배치하고, 이 도체들과 누설 액체의 접촉에 따른 저항 변화를 측정하여 누설 여부를 판단하는 정전용량 검출형 센서를 주로 이용한다.
이러한 정전용량 검출형 센서 대한민국 공개특허공보 제10-2007-0005234호 및 공개실용신안공보 평01-171340호에 개시되어 있다.
또한, 최근에는 눈이나 빗물 등의 수분에는 반응하지 않고 특정 약품에만 반응하거나 특정 약품에 용해되어 약품의 누설만을 감지할 수 있는 약액 반응형 또는 약액 침투형 누설 감지 센서가 개발되어 사용되고 있다.
한편, 이러한 누설 감지 센서들은 화학 약품이 수용된 저장 탱크의 주변을 둘러싸도록 배치되어 누설된 약품을 감지하게 된다. 그런데, 종래의 누설 감지 센서들은 수용될 화학 약품의 종류나 저장 탱크가 설치된 현장의 구조 등에 따라 센서의 길이나 형태 등이 변경되어야 하므로, 설치 환경에 따라 센서의 설치 작업이 까다로워질 수 있으며, 규격화된 센서를 만드는데 어려움이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 설치 작업이 용이하고, 규격화가 가능한 플렉서블 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 길이방향으로 일정길이 연장되고, 전기가 통하지 않으며, 휘어질 수 있는 플렉서블한 소재로 이루어진 베이스 바; 상기 베이스 바의 외면에, 도전성 물질을 설정된 패턴에 따라 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서부를 포함하고, 상기 베이스 바는 육면체 형상으로 형성되고, 상기 센서부는 상기 베이스 바의 저면에 형성된 제1 패턴, 상기 베이스 바의 좌측면에 형성된 제2 패턴 및 상기 베이스 바의 우측면에 형성된 제3 패턴 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 베이스 바는 저면에 이격되어 배치된 복수의 배수 홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 베이스 바가 삽입될 수 있는 반응막 커버를 더 포함하고, 상기 반응막 커버는 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 용해 물질로 이루어지고, 상기 용해 물질은 도포 또는 함침된 후 건조 또는 경화되어 필름, 시트 또는 메시 형태로 상기 반응막 커버를 형성하는 것을 특징으로 한다.
대안적으로, 상기 베이스 바의 외면에는 상기 센서부를 덮는 반응막이 도포되고, 상기 반응막은 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 용해 물질로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 휘어질 수 있는 플렉서블한 소재로 이루어지기 때문에, 저장 탱크의 형상에 맞추어 또는 설치 공간에 맞추어 용이하게 설치 가능하다. 더욱이, 본 발명에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 설치 공간이나 형상에 제약이 크지 않아, 소정 길이 단위로 제품을 규격화하여 대량 생산이 가능하다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서를 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서가 휘어진 상태를 도시한 도면,
도 3a와 3b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서의 변형 예들을 개략적으로 도시한 사시도,
도 4a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서를 개략적으로 도시한 사시도,
도 4b는 도 4a의 측면도,
도 5a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서의 변형 예를 개략적으로 도시한 사시도,
도 5b는 도 5a의 측면도,
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서의 변형 예를 개략적으로 도시한 사시도,
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서를 개략적으로 도시한 분해 사시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블 누설 감지 센서에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.
도 1 내지 3b를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 막대 형상의 베이스 바(110) 및 유체, 예를 들면 화학 약품의 누설을 감지하는 센서부(120)를 포함한다.
베이스 바(110)는 길이방향으로 가늘고 길게 일정길이 연장된 막대 형상의 부재로 이루어진다. 이 베이스 바(110)는 대략 육면체 형상을 가지며, 전기가 통하지 않는 비전도성 소재로 이루어진다. 또한, 베이스 바(110)는 휘어질 수 있는 유연한 플렉서블 소재로 만들어진다. 이에 따라, 베이스 바(110)는 도 2에 도시된 것처럼 소정 반경으로 휘어질 수 있다. 또한, 베이스 바(110)는 내약품성을 갖도록 불소 수지 계열의 소재 이루어질 수 있다.
센서부(120)는 베이스 바(110)의 외면에 전기가 통하는 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 도포 또는 인쇄하여 형성된다. 이 센서부(120)는 누설된 유체와의 접촉에 의한 전기적 특성 변화를 감지하여 유체의 누설을 감지하게 된다. 여기서, 센서부(120)는 액상의 불소계 수지와 도전성 물질을 혼합하고, 이 혼합물을 기 설정된 패턴에 따라 베이스 바(110)의 외면에 도포 또는 인쇄하여 소정 면적으로 형성된다.
이 센서부는 도 1에 도시된 것처럼, 베이스 바(110)의 저면에 형성된 제1 패턴(120)으로 이루어질 수 있다. 또한, 센서부는 도 3a에 도시된 것처럼, 베이스 바(110)의 저면과 인접하게 베이스 바(110)의 일측면에 형성된 제2 패턴(130)을 추가로 포함할 수 있다. 또한, 센서부는 도 3b에 도시된 것처럼, 베이스 바(110)의 저면과 인접하게 베이스 바(110)의 타측면에 형성된 제3 패턴(140)을 추가로 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 베이스 바(110)가 휘어질 수 있는 플렉서블한 소재로 이루어지기 때문에, 누설 감지 대상 유체가 저장된 저장 탱크의 형상에 맞추어 또는 센서의 설치 공간에 맞추어 용이하게 설치 가능하다. 더욱이, 본 발명에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 설치 공간이나 형상에 제약이 크지 않아, 소정 길이 단위로 제품을 규격화하여 대량 생산이 가능하다.
한편, 베이스 바(110) 및 센서부(120, 130, 140)를 제조하는데에 사용되는 불소계 수지는 내약품성 및 내열성이 우수한, 예를 들면 ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE(PolyTetraFluoroeEhylene), PFA(Perfluorinated acids) 등일 수 있다.
도 4a 내지 6을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 저장 탱크 주변의 지면에 설치되는 경우, 누설된 화학 약품이 외부로 원활하게 배출되도록 구성될 수 있다.
이를 위해, 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 베이스 바(110)의 저면에 배수 홈(150)이 형성되어 있다. 이 배수 홈(150)은 베이스 바(110)의 저면에 길이방향을 따라 일정간격 이격되어 배치된 복수 개의 홈들로 이루어질 수 있다. 또한, 배수 홈(150)은 누설된 화학 약품이 정해진 위치로 배수될 수 있도록 베이스 바(110)의 특정 위치가 단독으로 구비될 수도 있다.
한편, 화학 약품이 저장되어 있는 저장 탱크는 일반적으로 옥외에 설치되는 경우가 많다. 이에 따라 옥외의 저장 탱크 주변에 설치된 누설 감지 장치는 빗물 등에 의해 오작동할 가능성이 있다. 이러한 센서 오작동을 방지하기 위해, 본 발명은 빗물 등의 수분에는 작동하지 않도록 구성되는 것이 바람직하다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 센서부(120, 130 ,140)가 빗물 등의 수분에 오작동되는 것을 방지하도록 반응막 커버(200)를 구비한다. 이 반응막 커버(200)는 베이스 바(110)가 삽입될 수 있는 형상을 갖는다.
여기서, 반응막 커버(200)는 특정 화학 약품에 용해되는 용해 물질로 이루어진다. 용해 물질은 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 물질일 수 있다. 예를 들면, 반응막 커버(200)는 산성 약품과 접촉하여 용해되는 폴리우레탄, 유성 도료, 유리 섬유, 폴리에틸렌 등의 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 반응막 커버(200)는 염기성 약품과 접촉하여 용해되는 알루미늄, 아연, 탄산칼륨 등의 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 반응막 커버(200)는 유기 약품과 접촉하여 용해되는 PVC, 유성 도료 등의 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 반응막 커버(200)는 오일과 접촉하여 용해되는 파라핀 등의 지용성 물질로 이루어질 수 있다. 여기서, 전술한 반응막 커버(200)는 도포 또는 융착된 후 건조 또는 경화되어 가늘고 긴 하우징 형성될 수 있다.
이러한 구성에 의해, 센서부(120, 130, 140)에 누설된 화학 약품이 접촉하는 경우, 화학 약품과의 반응에 의해 반응막 커버(200)가 용해되고, 이에 따라 화학 약품이 센서부(120, 130, 140)와 접촉할 수 있다. 그러나, 센서부에 화학 약품이 아닌 빗물 등의 수분이 접촉하는 경우에는 반응막 커버(200)가 용해되지 않기 때문에, 수분이 센서부와 접촉할 수 없다.
그러므로, 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 옥외에 설치되는 경우에도 빗물, 눈, 물 등의 수분 등에 의해 오작동되지 않고, 특정 화학 약품의 누설을 감지할 수 있다.
한편, 도면에 도시하지는 않았지만, 본 발명에 따른 플렉서블 누설 감지 센서는 전술한 반응막 커버(100) 대신에 반응막을 구비할 수 있다. 이 반응막은 센서부(120, 130, 140)를 덮도록 베이스 바(110)의 외면에 도포된다. 그리고, 반응막은 전술한 반응막 커버(200)의 용해 물질과 마찬가지로, 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 용해 물질로 이루어질 수 있다.
이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (4)

  1. 길이방향으로 일정길이 연장되고, 전기가 통하지 않으며, 휘어질 수 있는 플렉서블한 소재로 이루어진 베이스 바;
    상기 베이스 바의 외면에, 도전성 물질을 설정된 패턴에 따라 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서부를 포함하고,
    상기 베이스 바는 육면체 형상으로 형성되고, 상기 센서부는 상기 베이스 바의 저면에 형성된 제1 패턴, 상기 베이스 바의 좌측면에 형성된 제2 패턴 및 상기 베이스 바의 우측면에 형성된 제3 패턴 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 누설 감지 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 바는 저면에 이격되어 배치된 복수의 배수 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 누설 감지 센서.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 바가 삽입될 수 있는 반응막 커버를 더 포함하고, 상기 반응막 커버는 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 용해 물질로 이루어지고, 상기 용해 물질은 도포 또는 함침된 후 건조 또는 경화되어 필름, 시트 또는 메시 형태로 상기 반응막 커버를 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 누설 감지 센서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 바의 외면에는 상기 센서부를 덮는 반응막이 도포되고, 상기 반응막은 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 용해 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 플렉서블 누설 감지 센서.
KR1020170150338A 2017-11-13 2017-11-13 플렉서블 누설 감지 센서 KR20190054261A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170150338A KR20190054261A (ko) 2017-11-13 2017-11-13 플렉서블 누설 감지 센서

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170150338A KR20190054261A (ko) 2017-11-13 2017-11-13 플렉서블 누설 감지 센서

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20190054261A true KR20190054261A (ko) 2019-05-22

Family

ID=66679662

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170150338A KR20190054261A (ko) 2017-11-13 2017-11-13 플렉서블 누설 감지 센서

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20190054261A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113154266A (zh) * 2020-12-28 2021-07-23 浙江大学 一种基于柔性传感器的主动检漏管道装置及主动检漏方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113154266A (zh) * 2020-12-28 2021-07-23 浙江大学 一种基于柔性传感器的主动检漏管道装置及主动检漏方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101460020B1 (ko) 산성용액 누설 감지 장치
US7671754B2 (en) Sensor for detecting leakage of a liquid
US20090173143A1 (en) Leak sensor apparatus for sensing moisture
KR101538507B1 (ko) 측면 검출형 누설 감지 센서
KR102109143B1 (ko) 액체 유입 수단을 갖는 누액 감지 센서
KR101830005B1 (ko) 누액 감지 센서
KR20190054261A (ko) 플렉서블 누설 감지 센서
KR102021422B1 (ko) 배관 연결부용 누설 감지 장치
KR20200005851A (ko) 누액 감지 센서 및 누액 감지 장치
KR101799836B1 (ko) 강우 구분형 누설 감지 센서
KR101830026B1 (ko) 플렉시블 막대형 누액 감지 센서
KR101776006B1 (ko) 배관 부착형 누설 감지 센서
KR101799834B1 (ko) 다중 누설 감지 센서
KR102021427B1 (ko) 강우 구분형 누액 감지 장치
US10718685B2 (en) Liquid leak detector with plurality of detection positions
KR102156129B1 (ko) 비접촉식 누액 센서
KR20140099634A (ko) 산성용액 누설 감지 장치
KR101538509B1 (ko) 배관형 누설 감지 센서
KR101937437B1 (ko) 다중 누설 감지 센서
KR101806762B1 (ko) 벽면취부형 누액 감지 센서
KR20180075943A (ko) 신호 구분형 다중 누설 감지 센서
KR101895750B1 (ko) 국소 부위 누설감지 센서
KR101952340B1 (ko) 영역 구분형 누설 감지 센서
KR101538504B1 (ko) 거리 검출형 누설 감지 센서
KR20200041009A (ko) 노즐용 누설 감지 센서