KR20190027523A - 초박막 터치 패널 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 초박막 터치 패널 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명의 일실시예에 따르면 초박막 터치 패널은 플렉서블 기판, 상기 플렉서블 기판 상에 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극, 상기 플렉서블 기판 및 상기 복수의 제1 감지 전극 상에 형성되는 접합 절연층 및 습식-전사(wet-transfer) 방식을 이용하여 상기 플렉서블 기판 및 상기 접합 절연층 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 복수의 제2 감지 전극을 포함하고, 상기 플렉서블 기판은, 산소 플라즈마 식각에 의해 상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극에 대응하는 형태로 패터닝되어 다각형의 메쉬 구조를 형성할 수 있다.

Description

초박막 터치 패널 및 그 제조 방법{THIN FILM TOUCH PANEL AND FABRICATING METHOD THEREOF}
본 발명은 초박막 터치 패널을 제조하기 위한 기술적 사상에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 화학기상증착법으로 성장시킨 대면적의 그래핀(graphene)을 전극 물질로 이용하여 제작되는 초박막 터치 패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
터치 패널(touch panel)은 디스플레이 장치의 표면에 장착되어 사용자의 손가락 등의 물리적 접촉을 전기적 신호로 변환하여 제품을 작동시키는 입력장치로서, 각종 디스플레이 장치에 폭넓게 응용될 수 있으며, 근래에 와서는 그 수요가 증가하고 있다.
이러한 터치 패널은 동작원리에 따라 저항막 방식(Resistive), 정전용량 방식(Capacitive), 초음파 방식(SAW), 적외선 방식(IR)등으로 구분될 수 있다. 이 중 정전용량 방식의 터치 패널은, 사람의 손 또는 물체가 접촉될 때 도전성 감지 전극이 주변의 다른 감지전극 또는 접지전극 등과 형성하는 정전용량의 변화를 감지함으로써, 접촉위치를 전기적 신호로 변환한다.
최근 플렉서블 디스플레이 장치 및 웨어러블 장치가 개발되고 있는 추세로, 이들 장치에 장착되는 터치 패널은 플렉서블한 특성이 요구된다. 특히, 웨어러블 장치의 경우, 곡면형으로 이루어진 신체에 부착되기 위해서 플렉서블 특성과 함께 신축성(stretchability)이 요구된다.
기존의 터치 패널에서 감지 전극들은 ITO(Indium Tin Oxide) 등과 같은 투명 도전성 물질을 사용하여 구현되는 것이 일반적이다. 플렉서블 터치 패널이 휘어지거나 접히게 되면 감지 전극들에 크랙(Crack)이 발생하여 제품이 손상되며, 그로 인해 동작 불량이 발생된다.
또한, ITO의 경우, 고온 공정에 적합하지 않기 때문에, ITO를 이용한 감지전극을 대체하면서도 플렉서블 디스플레이 장치 및 웨어러블 장치에 적용할 수 있는 플렉서블하고 신축성을 갖는 터치 패널이 요구된다.
선행 기술들 중 하나인, 한국등록특허(제10-1749861호)는 복수의 제1 감지 전극을 제1 플렉서블 기판에 패터닝하여 형성하고, 복수의 제2 감지 전극을 제2 플렉서블 기판에 패터닝하여 형성하며, 복수의 제1 감지 전극과 복수의 제2 감지 전극 사이에 접합 절연층을 패터닝하여 복수의 제1 감지 전극과 복수의 제2 감지 전극 사이에 캐패시터를 형성되는 터치 패널 및 그 제조 방법을 개시한다.
다만, 종래 기술에 따른 터치 패널 및 그 제조 방법은 두 개의 플렉서블 기판을 필요함에 따라 2-글래스 방식으로 제작되므로, 디스플레이의 두께가 상대적으로 두껍고, 딱딱하다는 단점이 존재한다.
따라서, 디스플레이의 두께를 감소시키면서, 유연성이 증가된 1-글래스 방식을 이용한 터치 패널의 제조 방법이 제안될 필요성이 있다.
한국공개특허 제10-2012-0067031호, "터치스크린 일체형 평판표시장치" 한국등록특허 제10-1458919호, "터치스크린 패널의 전도성 패턴 형성방법" 한국등록특허 제10-1749861호, "터치패널 및 그 제조 방법"
본 발명은 플렉서블 기판 사이에 ITO를 대체할 물질을 이용하여 감지 전극을 형성함으로써, 플렉서블한 특성 및 신축성이 증가된 초박막 터치 패널 및 그의 제조 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 산소 플라즈마 식각 방식을 이용하여 플렉서블 기판을 다각형의 메쉬 구조로 형성함으로써, 플렉서블한 특성 및 신축성을 증가된 초박막 터치 패널 및 그의 제조 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 캐패시터를 구성하는 제1 감지 전극 및 제2 감지 전극을 하나의 플렉서블 기판에 모두 형성함으로써, 1-글래스 형태의 메쉬구조를 갖는 초박막 터치 패널 및 그의 제조 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 초박막 터치 패널은 플렉서블 기판, 상기 플렉서블 기판 상에 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극, 상기 플렉서블 기판 및 상기 복수의 제1 감지 전극 상에 형성되는 접합 절연층 및 습식-전사(wet-transfer) 방식을 이용하여 상기 플렉서블 기판 및 상기 접합 절연층 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 복수의 제2 감지 전극을 포함하고, 상기 플렉서블 기판은, 산소 플라즈마 식각에 의해 상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극에 대응하는 형태로 패터닝되어 다각형의 메쉬 구조를 형성할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 상기 다각형의 메쉬 구조는, 사각 메쉬 구조, 육각(hexagonal) 메쉬 구조 및 팽창(auxetic) 메쉬 구조 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 상기 복수의 제1 감지 전극은, 정방향 또는 역방향으로 경사진 구조의 요철 패턴으로 형성될 수 있고, 상기 복수의 제2 감지 전극은, 상기 복수의 제1 감지 전극의 요철 패턴을 지나는 지그재그 패턴으로 형성되어, 상기 복수의 제1 감지 전극과 육각(hexagonal) 메쉬 구조 또는 팽창(auxetic) 메쉬 구조를 이루어 질 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 상기 복수의 제1 감지 전극 및 상기 복수의 제2 감지 전극은, 그래핀(graphene), 탄소나노튜브(carbon nano tube), 메탈 와이어 및 메탈 메쉬 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 상기 플렉서블 기판은, PET(Polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate), PES(polyethersulfone), PI(polyimide), PMMA(PolymethlymethAcrylate) 및 COP (Cyclo-Olefin Polymers) 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 상기 접합 절연층은, 상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극 사이에 위치하고, 상기 플렉서블 기판과 동일한 형상의 메쉬 구조를 갖을 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 상기 접합 절연층은, OCR(optical clean resin), OCA(optical clean adhesive) 및 SU-8 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 초박막 터치 패널은 상기 플렉서블 기판의 하부에 형성되며, 그래핀, 탄소나노튜브(carbon nano tube), 메탈 와이어 및 메탈 메쉬 중 어느 하나로 이루어진 그라운드 보호층(ground shielding layer)을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 초박막 터치 패널은 플렉서블 기판, 상기 플렉서블 기판 상에 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극, 상기 플렉서블 기판 및 상기 복수의 제1 감지 전극 상에 형성되는 접합 절연층, 상기 플렉서블 기판 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 복수의 제2 감지 전극 및 상기 플렉서블 기판, 상기 접합 절연층 및 상기 복수의 제2 감지 전극 상에 형성되는 금속 브릿지층을 포함하고, 상기 플렉서블 기판은, 산소 플라즈마 식각에 의해 상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극에 대응하는 형태로 패터닝되어 다각형의 메쉬 구조를 형성할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 초박막 터치 패널의 제조 방법은 금속 기판 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계, 상기 플렉서블 기판 상에 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극을 형성하는 단계, 상기 플렉서블 기판 및 상기 복수의 제1 감지 전극 상에 접합 절연층 형성하는 단계, 습식-전사(wet-transfer) 방식을 이용하여 상기 플렉서블 기판 및 상기 접합 절연층 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 복수의 제2 감지 전극을 형성하는 단계 및 상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극에 대응하는 다각형의 메쉬 구조를 패터닝되도록 상기 플렉서블 기판을 산소 플라즈마 식각하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 상기 복수의 제2 감지 전극을 형성하는 단계는, 상기 접합 절연층 상에 상기 복수의 제2 감지 전극을 습식-전사한 후, 상기 제2 방향으로 상기 복수의 제2 감지 전극을 패터닝하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 초박막 터치 패널의 제조 방법은 금속 기판 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계, 상기 플렉서블 기판 상에 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극을 형성하는 단계, 상기 플렉서블 기판 및 상기 복수의 제1 감지 전극 상에 접합 절연층 형성하는 단계, 상기 플렉서블 기판 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로, 상기 접합 절연층과 갭(gap)을 두고 배열되는 복수의 제2 감지 전극을 형성하는 단계, 상기 플렉서블 기판, 상기 접합 절연층 및 상기 복수의 제2 감지 전극 상에 형성되는 금속 브릿지층을 형성하는 단계 및 상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극에 대응하는 다각형의 메쉬 구조를 패터닝되도록 상기 플렉서블 기판을 산소 플라즈마 식각하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판 사이에 ITO를 대체할 물질을 이용하여 감지 전극을 형성함으로써, 플렉서블한 특성 및 신축성이 증가된 초박막 터치 패널을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 산소 플라즈마 식각 방식을 이용하여 플렉서블 기판을 다각형의 메쉬 구조로 형성함으로써, 플렉서블한 특성 및 신축성을 증가된 초박막 터치 패널을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 캐패시터를 구성하는 제1 감지 전극 및 제2 감지 전극을 하나의 플렉서블 기판에 모두 형성함으로써, 1-글래스 형태의 메쉬구조를 갖는 초박막 터치 패널을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 1-글래스 형태의 메쉬구조를 갖는 초박막 터치 패널을 제조함으로써, 디스플레이의 딱딱한 성질을 개선할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일실시예에 따른 초박막 터치 패널이 적용된 플렉서블 디스플레이 장치를 도시한다.
도 1b는 본 발명의 일실시예에 따른 초박막 터치 패널의 평면도를 도시한다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일실시예에 따른 초박막 터치 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 다른실시예에 따른 초박막 터치 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른실시예에 따른 초박막 터치 패널의 상평면도를 도시한다.
도 5는 본 발명의 다른실시예에 따른 초박막 터치 패널의 평면도를 도시한다.
도 6은 본 발명의 다른실시예에 따른 육각 메쉬 구조의 플렉서블 기판을 포함하는 초박막 터치 패널의 평면도를 도시한다.
도 7은 본 발명의 다른실시예에 따른 팽창형 메쉬 구조의 플렉서블 기판을 포함하는 초박막 터치 패널의 평면도를 도시한다.
이하, 본 문서의 다양한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 기재된다.
실시 예 및 이에 사용된 용어들은 본 문서에 기재된 기술을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 해당 실시 예의 다양한 변경, 균등물, 및/또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
하기에서 다양한 실시 예들을 설명에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
그리고 후술되는 용어들은 다양한 실시 예들에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도면의 설명과 관련하여, 유사한 구성요소에 대해서는 유사한 참조 부호가 사용될 수 있다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다.
본 문서에서, "A 또는 B" 또는 "A 및/또는 B 중 적어도 하나" 등의 표현은 함께 나열된 항목들의 모든 가능한 조합을 포함할 수 있다.
"제1," "제2," "첫째," 또는 "둘째," 등의 표현들은 해당 구성요소들을, 순서 또는 중요도에 상관없이 수식할 수 있고, 한 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위해 사용될 뿐 해당 구성요소들을 한정하지 않는다.
어떤(예: 제1) 구성요소가 다른(예: 제2) 구성요소에 "(기능적으로 또는 통신적으로) 연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나, 다른 구성요소(예: 제3 구성요소)를 통하여 연결될 수 있다.
본 명세서에서, "~하도록 구성된(또는 설정된)(configured to)"은 상황에 따라, 예를 들면, 하드웨어적 또는 소프트웨어적으로 "~에 적합한," "~하는 능력을 가지는," "~하도록 변경된," "~하도록 만들어진," "~를 할 수 있는," 또는 "~하도록 설계된"과 상호 호환적으로(interchangeably) 사용될 수 있다.
어떤 상황에서는, "~하도록 구성된 장치"라는 표현은, 그 장치가 다른 장치 또는 부품들과 함께 "~할 수 있는" 것을 의미할 수 있다.
예를 들면, 문구 "A, B, 및 C를 수행하도록 구성된(또는 설정된) 프로세서"는 해당 동작을 수행하기 위한 전용 프로세서(예: 임베디드 프로세서), 또는 메모리 장치에 저장된 하나 이상의 소프트웨어 프로그램들을 실행함으로써, 해당 동작들을 수행할 수 있는 범용 프로세서(예: CPU 또는 application processor)를 의미할 수 있다.
또한, '또는' 이라는 용어는 배타적 논리합 'exclusive or' 이기보다는 포함적인 논리합 'inclusive or' 를 의미한다.
즉, 달리 언급되지 않는 한 또는 문맥으로부터 명확하지 않는 한, 'x가 a 또는 b를 이용한다' 라는 표현은 포함적인 자연 순열들(natural inclusive permutations) 중 어느 하나를 의미한다.
도 1a는 본 발명의 일실시예에 따른 초박막 터치 패널이 적용된 플렉서블 디스플레이 장치를 도시한다.
도 1a를 참조하면, 플렉서블 디스플레이 장치(1000)는 장치(1000)와 일체화되는 초박막 터치 패널(100)을 포함한다.
초박막 터치 패널(100)은 상호 교차하는 복수의 제1 감지 전극과 복수의 제2 감지 전극을 포함하며, 이들 감지 전극에서 발생하는 정전용량의 변화를 이용하여 피대상물의 터치 위치를 감지할 수 있다.
일례로, 초박막 터치 패널(100)은 정전용량의 변화를 검출하기 위한 정전용량 감지 회로와, 정전용량 감지 회로의 출력 신호를 디지털 값으로 변환하는 아날로그-디지털 변환 회로, 디지털 값으로 변환된 데이터를 이용하여 터치 입력을 판단하는 연산 회로 등을 포함하는 컨트롤러 집적 회로를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 초박막 터치 패널(100)은 플렉서블한 특성 및 신축성을 갖는 것으로, 플렉서블 디스플레이 장치(1000)에 적용되어 외압에 의해 휘어지거나 접히더라도 각 감지 전극들이 손상되는 것이 없이 동작할 수 있다.
도 1b는 본 발명의 일실시예에 따른 초박막 터치 패널의 평면도를 도시한다.
도 1b를 참고하면, 초박막 터치 패널(100)은 플렉서블(flexible) 기판(110), 복수의 제1 감지 전극(120) 및 복수의 제2 감지 전극(130)을 포함한다.
플렉서블 기판(110)은 복수의 제1 감지 전극(120) 및 복수의 제2 감지 전극(130)과 접합되어 복수의 제1 감지 전극(120) 및 복수의 제2 감지 전극(130)을 지지한다.
일례로, 플렉서블 기판(110)은 제1 방향의 행과 제2 방향의 열이 상호 교차한 형태의 다각형의 메쉬 구조를 가질 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면 플렉서블 기판(110)은 사각 메쉬 구조를 갖는다.
일례로, 복수의 제1 감지 전극(120)은 플렉서블 기판(110) 상에서 제1 방향의 행 영역에 접합된다.
본 발명의 일실시예에 따르면 복수의 제2 감지 전극(130)은 플렉서블 기판(110) 상에서 제2 방향의 열 영역에 접합될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 복수의 제1 감지 전극(120) 및 복수의 제2 감지 전극(130)은 캐패시터를 형성하고, 피대상물(예를 들어, 사람의 손가락)에 의해 터치가 발생될 경우, 복수의 제1 감지 전극(120)과 복수의 제2 감지 전극(130)은 정전용량이 변화된 지점의 위치(좌표)를 감지할 수 있다.
한편, 복수의 제1 감지 전극(120) 및 복수의 제2 감지 전극(130)은 그래핀(graphene)으로 이루어진다. 그래핀은 투명의 전극 재료로, 높은 전하 이동도(~ 200,000cm2/V·s)와 열전도도 (~ 5000W/mK) 및 뛰어난 내화학성을 갖는다.
또한, 그래핀은 밴드갭이 없어 전파장 영역대의 빛을 고르게 흡수하지만, 두께가 탄소원자 한층에 불과하여 투명도가 97.7%에 달하고 좋은 전기 전도도와 뛰어난 기계적 강도 (Young's modulus ~1.0TPa) 및 높은 유연성 (ε ~ 25%)을 갖기 때문에 투명 전극 소재로 사용될 수 있다.
특히, 그래핀은 얇은 필름 형태로 제조할 수 있어 플렉서블한 특성 및 신축성을 가지며, 변형되더라도 전기적 특성에 영향을 받지 않기 때문에 플렉서블 디스플레이 장치(1000)에 적용 가능한 감지 전극으로 이용될 수 있다.
또한, 복수의 제1 감지 전극(120) 및 복수의 제2 감지 전극(130)은 탄소나노튜브(carbon nano tube, CNT), 메탈 와이어 또는 메탈 메쉬로 이루어질 수도 있다.
탄소나노튜브는 벌집처럼 육각형 고리 형태의 탄소 구조를 가지며, 강성이 강철보다 100배 높고, 전도성에서도 구리보다 1,000배 정도 높은 신소재로, 안정적인 전도성을 갖는다.
또한, 메탈 메쉬는 실버 또는 구리를 2~6㎛ 두께의 격자 형태로 인쇄한 것으로, 전도성이 높은 금속을 이용하기 때문에 저항값이 낮아 대면적의 터치 패널에 적용될 수 있다.
상술한 그래핀, 탄소나노튜브, 메탈 와이어, 메탈 메쉬 등은 전도성이 높고 플렉서블한 특성을 갖기 때문에 ITO(Indium Tin Oxide)를 대체할 수 있는 전극 재료로 사용될 수 있다.
도면을 통해 도시되어 있지는 않으나, 복수의 제1 감지 전극(120)와 복수의 제2 감지 전극(130) 사이에 접합 절연층이 위치된다.
접합 절연층은 복수의 제1 감지 전극(120)과 복수의 제2 감지 전극(130)을 접합시킴과 동시에 절연시키는 물질로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 OCR(optical clean resin), OCA(optical clean adhesive) 또는 SU-8로 이루어질 수 있다.
한편, 플렉서블 기판(110)은 PET(Polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate), PES(polyethersulfone), PI(polyimide), PMMA(PolymethlymethAcrylate), COP (Cyclo-Olefin Polymers) 등의 필름으로, 플렉서블한 특성을 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 이 같이, 플렉서블 기판(110)은 물질 특성에 따라 플렉서블한 특성을 갖는다.
플렉서블 기판(110)은 산소 플라즈마 식각에 의해 복수의 제1 감지 전극(120) 및 복수의 제2 감지 전극(140) 사이의 영역이 패터닝되어 사각 메쉬 구조를 갖는다.
또한, 접합 절연층은 플렉서블 기판(110)과 함께 패터닝되어 플렉서블 기판(110)과 동일한 형상의 사각 메쉬 구조를 갖는다. 이 사각 메쉬 구조로 인해 행과 열 사이에 사각형 구멍들이 존재하는데, 이 구멍들에 의해 터치 패널(100)의 신축성이 증가하게 된다.
상술한 바와 같이, 사각 메쉬 구조의 플렉서블 기판(110) 사이에 그래핀, 탄소나노튜브, 메탈 와이어 또는 메탈 메쉬 등으로 이루어진 복수의 제1 및 제2 감지 전극(120, 130)을 형성함으로써, 터치 패널(100)은 플렉서블하고 신축성을 갖게 되어 플렉서블 디스플레이 장치(1000)나 웨어러블 장치에 적용될 수 있다.
일례로, 다각형의 매쉬 구조는 사각 메쉬 구조, 육각(hexagonal) 메쉬 구조 및 팽창(auxetic) 메쉬 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 일실시예에 따른 초박막 터치 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
구체적으로, 도 2a 내지 도 2e는 초박막 터치 패널의 제조 방법에 따라 제조되는 초박막 터치 패널의 전(front)평면도를 예시한다.
도 2a를 참고하면, 금속 기판(200) 상에 플렉서블 기판(210)이 형성된다. 금속 기판(200)은 구리(Cu) 기판 등을 포함할 수 있다.
일례로, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 금속 기판(200) 상에 PET(Polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate), PES(polyethersulfone), PI(polyimide), PMMA(PolymethlymethAcrylate), COP (Cyclo-Olefin Polymers) 등의 필름을 코팅하여 플렉서블 기판(210)을 형성할 수 있다.
도 2b를 참고하면, 플렉서블 기판(210) 상에 복수의 제1 감지 전극(220)이 형성된다.
일례로, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판(210) 상에 그래핀을 전사시킨 후, 이를 패터닝하여 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극(220)을 형성할 수 있다.
여기서, 그래핀은 얇은 필름 형태로 제조하여 플렉서블 기판(210) 상에 전사시킬 수 있다. 그래핀 필름은 고품질 흑연으로부터 기계적 박리 방식, SiC 웨이퍼로부터 실리콘(Si)의 선택적 승화를 이용한 방식, 흑연의 화학적 산화/환원 반응을 이용한 방식, 화학증기증착(Chemical vapor deposition, CVD) 방식 등을 이용하여 제조할 수 있다.
이 같이 제조된 그래핀 필름은 롤투롤 방식, 습식 전사 방식, 건식 전사 방식, PDMD(폴리디메틸실론산) 전사 방식, 직접 전사 방식 등을 이용하여 플렉서블 기판(210) 상에 전사될 수 있다.
도 2c를 참고하면, 플렉서블 기판(210) 및 복수의 제1 감지 전극(220) 상에 접합 절연층(230)이 형성된다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판(210) 및 복수의 제1 감지 전극(220) 상에 OCR(optical clean resin), OCA(optical clean adhesive) 또는 SU-8 물질을 코팅하여 접합 절연층(230)을 형성한다.
일례로, 접합 절연층(230)은 복수의 제1 감지 전극(220)과, 다음 공정에서 형성될 복수의 제2 감지 전극(240)을 접합시키기 위한 구성일 수 있다. 예를 들어, 접합 절연층(230)은 제1 감지 전극 보호층을 포함할 수 있고, 복수의 제1 감지 전극(220)과 복수의 제2 감지 전극(240)의 브릿지 역할을 수행할 수 있다.
예를 들어, 접합 절연층(230)은 복수의 제1 감지 전극(220)과 복수의 제2 감지 전극(240)을 분리할 수 있다.
도 2d를 참고하면, 플렉서블 기판(210) 및 접합 절연층(230) 상에 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 복수의 제2 감지 전극(240)이 배열된다.
일례로, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판(210) 및 접합 절연층(230) 상에 그래핀을 전사시킨 후, 복수의 제1 감지 전극(220)과 서로 수직 교차하는 제2 방향으로 배열되도록 패터닝하여 복수의 제2 감지 전극(240)을 형성한다.
예를 들어, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 복수의 제2 감지 전극(240)을 습식-전사 방식을 이용하여 플렉서블 기판(210) 및 접합 절연층(230) 상에 전사시킬 수 있다.
예를 들어, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 접합 절연층(230)에 복수의 제2 감지 전극(240)을 전사하여 추가 브릿지 구성 없이 복수의 제1 감지 전극(220) 및 복수의 제2 감지 전극(240)을 플렉서블 기판(210) 상에 형성할 수 있다.
이후, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 복수의 제1 감지 전극(220)과 복수의 제2 감지 전극(240)이 서로 수직 교차하여 형성되는 사각 메쉬 구조와 동일하게 패터닝되도록 플렉서블 기판(210)을 산소 플라즈마 식각한다. 산소 플라즈마 식각시, 사각 메쉬 구조 형성을 위한 메탈 마스크를 이용하여 포토그래피 공정을 진행할 수 있다. 이 과정에서 접합 절연층(230)이 함께 패터닝되기 때문에, 접합 절연층(230)도 사각 메쉬 구조를 가질 수 있다.
위와 같이, 산소 플라즈마를 이용하여 플렉서블 기판(210) 및 접합 절연층(230)을 한 번에 식각할 경우, 기존의 기계적 커팅(cutting) 방식에 비해 사각 메쉬 구조의 식각이 용이하며 제조 공정이 간소해진다.
도 2e를 참고하면, 금속 기판(200)을 플렉서블 기판(210)으로부터 분리한다.
본 발명의 일실시예에 따르면 초박막 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판(210)에 대한 식각이 완료되면, APS(과황산암모늄) 습식 식각을 이용하여 금속 기판(200)을 분리시켜 초박막 터치 패널을 제조한다.
예를 들어, 플렉서블 기판(210), 복수의 제1 감지 전극(220), 접합 절연층(230) 및 복수의 제2 감지 전극(240)은 사각 메쉬 구조의 행과 열 사이에 존재하는 구멍들을 통해 휘어짐에 따른 변형이 흡수되어 신축성이 증가될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 산소 플라즈마 식각 방식을 이용하여 플렉서블 기판을 다각형의 메쉬 구조로 형성함으로써, 플렉서블한 특성 및 신축성을 증가된 초박막 터치 패널을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 캐패시터를 구성하는 제1 감지 전극 및 제2 감지 전극을 하나의 플렉서블 기판에 모두 형성함으로써, 1-글래스 형태의 메쉬구조를 갖는 초박막 터치 패널을 제조할 수 있다.
도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 다른실시예에 따른 초박막 터치 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
구체적으로, 도 3a 내지 도 3f는 초박막 터치 패널의 제조 방법에 따라 제조되는 초박막 터치 패널의 전평면도를 예시한다.
도 3a를 참고하면, 금속 기판(300) 상에 플렉서블 기판(310)이 형성된다.
일례로, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 금속 기판(300) 상에 PET, PC, PES, PI, PMMA, COP 등의 필름을 코팅하여 플렉서블 기판(310)을 형성할 수 있다.
도 3b를 참고하면, 플렉서블 기판(310) 상에 복수의 제1 감지 전극(320)이 형성된다.
일례로, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판(310) 상에 그래핀을 전사시킨 후, 이를 패터닝하여 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극(320)을 형성할 수 있다.
여기서, 그래핀은 얇은 필름 형태로 제조하여 플렉서블 기판(310) 상에 전사시킬 수 있다. 그래핀 필름은 고품질 흑연으로부터 기계적 박리 방식, SiC 웨이퍼로부터 실리콘(Si)의 선택적 승화를 이용한 방식, 흑연의 화학적 산화/환원 반응을 이용한 방식, 화학증기증착(Chemical vapor deposition, CVD) 방식 등을 이용하여 제조할 수 있다.
이 같이 제조된 그래핀 필름은 롤투롤 방식, 습식 전사 방식, 건식 전사 방식, PDMD(폴리디메틸실론산) 전사 방식, 직접 전사 방식 등을 이용하여 플렉서블 기판(310) 상에 전사될 수 있다.
도 3c를 참고하면, 플렉서블 기판(310) 및 복수의 제1 감지 전극(320) 상에 접합 절연층(330)이 형성된다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판(310) 및 복수의 제1 감지 전극(320) 상에 OCR, OCA 또는 SU-8 물질을 스핀 코팅하여 접합 절연층(330)을 형성한다.
일례로, 접합 절연층(330)은 복수의 제1 감지 전극(320)과, 다음 공정에서 형성될 복수의 제2 감지 전극(340)을 분리시키는 동시에 접합 시키기 위한 구성일 수 있다. 즉, 접합 절연층(330)은 복수의 제1 감지 전극(320)과 복수의 제2 감지 전극(340) 사이의 브릿지 역할을 수행할 수 있다.
도 3d를 참고하면, 플렉서블 기판(310) 상에 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 복수의 제2 감지 전극(340)이 배열된다.
일례로, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판(310) 및 접합 절연층(330) 상에 그래핀을 전사시킨 후, 복수의 제1 감지 전극(320)과 서로 수직 교차하는 제2 방향으로 배열되도록 패터닝하여 복수의 제2 감지 전극(340)을 형성한다.
예를 들어, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 복수의 제2 감지 전극(340)을 습식-전사 방식을 이용하여 플렉서블 기판(310) 상에 전사시킬 수 있다.
도 3e를 참고하면, 플렉서블 기판(310), 접합 절연층(330) 및 복수의 제2 감지 전극(340) 상에 금속 브릿지층(350)이 포함된다.
일례로, 초박판 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판(310), 접합 절연층(330) 및 복수의 제2 감지 전극(340) 상에 금속 브릿지층(350)을 패터닝하여 형성한다.
이후, 초박막 터치 패널의 제조 방법은 복수의 제1 감지 전극(320)과 복수의 제2 감지 전극(340)이 서로 수직 교차하여 형성되는 사각 메쉬 구조와 동일하게 패터닝되도록 플렉서블 기판(310)을 산소 플라즈마 식각한다. 산소 플라즈마 식각시, 사각 메쉬 구조 형성을 위한 메탈 마스크를 이용하여 포토그래피 공정을 진행할 수 있다.
이 과정에서 접합 절연층(330)이 함께 패터닝되기 때문에, 접합 절연층(330)도 사각 메쉬 구조를 가질 수 있다.
예를 들어, 금속 브릿지층(350)은 금(Au) 등을 이용하여 형성될 수 있으며, 접합 절연층(330)과 복수의 제2 감지 전극(340) 사이의 금속 브릿지(metal bridge) 역할을 수행할 수 있다.
도 3f를 참고하면, 금속 기판(300)을 플렉서블 기판(310)으로부터 분리한다.
본 발명의 일실시예에 따르면 초박막 터치 패널의 제조 방법은 플렉서블 기판(310)에 대한 식각이 완료되면, APS(과황산암모늄) 습식 식각을 이용하여 금속 기판(300)을 분리시켜 초박막 터치 패널을 제조한다.
도 4는 본 발명의 다른실시예에 따른 초박막 터치 패널의 상평면도를 도시한다.
구체적으로, 도 4는 도 3a 내지 도 3f에 따라 형성되는 초박막 터치 패널의 상평면도를 예시한다.
도 4를 참고하면, 초박막 터치 패널은 플렉서블 기판(310) 상에 복수의 제1 감지 전극(320), 접합 절연층(330), 복수의 제2 감지 전극(340) 및 금속 브릿지층(350)이 도 3a 내지 도 3f에서 설명된 형성 순서에 따라 형성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른실시예에 따른 초박막 터치 패널의 평면도를 도시한다.
구체적으로, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 초박막 터치 패널로, 웨어러블 장치에 적용 가능한 터치 패널의 평면도를 예시한다.
초박막 터치 패널은 플렉서블 기판(510), 복수의 제1 감지 전극(520), 접합 절연층(530), 복수의 제2 감지 전극(540)을 포함하며, 플렉서블 기판(510)의 하부에는 그래핀, 탄소나노튜브, 메탈 와이어 또는 메탈 메쉬 등으로 이루어진 그라운드 보호층(ground shielding layer)(550)을 포함한다.
그라운드 보호층(550)은 도 2a 내지 도 2e에 도시된 제조 방법과 동일하되, 금속 기판(미도시) 상에 플렉서블 기판(510)을 형성하기 전에, 형성될 수 있다. 즉, 금속 기판 상에, 그라운드 보호층(550), 플렉서블 기판(510)의 순서로 형성될 수 있다.
또는, 도 2a 내지 도 2e에 도시된 제조 방법을 이용하여 초박막 터치 패널이 제조되면, 플렉서블 기판(510) 하부에 전극 물질을 전사하는 방식으로 그라운드 보호층(560)이 형성될 수도 있다.
초박막 터치 패널이 손목에 부착하는 시계와 같은 웨어러블 장치에 적용될 경우, 피부에 접촉되거나 근접하게 위치되기 때문에 간섭이 발생할 수 있다.
이를 차폐하기 위하여 플렉서블 기판(510)의 하부에 그라운드 보호층(560)을 형성될 수 있다.
터치 패널을 웨어러블 장치에 적용할 경우, 간섭이 차폐되어 안정적인 동작이 가능하며, 플렉서블한 특성 및 신축성으로 인해 곡면형으로 이루어진 신체에 용이하게 부착될 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른실시예에 따른 육각 메쉬 구조의 플렉서블 기판을 포함하는 초박막 터치 패널의 평면도를 도시한다.
구체적으로, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 초박막 터치 패널의 평면도로, 복수의 제1 감지 전극 및 복수의 제2 감지 전극의 대응 구조에 따라 육각 메쉬 구조로 식각되는 플렉서블 기판을 포함하는 초박막 터치 패널을 예시한다.
도 6을 참고하면, 초박막 터치 패널(600)은 플렉서블 기판(610), 복수의 제1 감지 전극(620) 및 복수의 제2 감지 전극(630)을 포함한다.
일례로, 복수의 제1 감지 전극(620)은 플렉서블 기판(610) 상에서 제1 방향으로 배열되며, 정방향으로 경사진 구조의 요철 패턴을 갖는다. 즉, 평면에서 볼 때, 오목 영역과 볼록 영역이 반복되는 요철 패턴을 포함하되, 볼록 영역이 정방향 또는 상부 방향으로 갈수록 좁아지는 형태로 경사진 구조로 이루어질 수 있다.
한편, 복수의 제2 감지 전극(630)은 복수의 제1 감지 전극(620) 상에서 제2 방향으로 배열되어 복수의 제1 감지 전극(620)과 상호 교차한다.
일례로, 복수의 제2 감지 전극(630)은 복수의 제1 감지 전극(620)의 볼록 영역에서 경사진 영역을 지나는 지그재그 패턴으로 이루어질 수 있다.
따라서, 평면에서 볼 경우, 복수의 제1 감지 전극(620)과 복수의 제2 감지 전극(630)은 육각 메쉬 구조를 이룰 수 있다.
복수의 제1 감지 전극(620) 및 복수의 제2 감지 전극(630)은 그래핀, 탄소나노튜브(carbon nano tube), 메탈 와이어 및 메탈 메쉬 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
또한, 도 6에 도시되어 있지는 않으나, 복수의 제1 감지 전극(620)과 복수의 제2 감지 전극(630) 사이에는 접합 절연층이 형성된다.
한편, 플렉서블 기판(610)은 산소 플라즈마 식각에 의해 복수의 제1 감지 전극(620) 및 복수의 제2 감지 전극(630)에 대응하는 형태로 패터닝되어 육각 메쉬 구조를 이룰 수 있다.
즉, 플렉서블 기판(610)에서, 복수의 제1 감지 전극(620)과 복수의 제2 감지 전극(630)이 위치한 영역을 제외한 나머지 영역을 식각함으로써, 행과 열 사이에 육각형 구멍들이 존재하는 육각 메쉬 구조로 제조할 수 있다. 이 과정에서 접합 절연층이 함께 패터닝되어 플렉서블 기판(610)과 동일한 형상의 메쉬 구조를 이룰 수 있다.
예를 들어, 복수의 제1 감지 전극(620) 및 복수의 제2 감지 전극(630)은 육각 메쉬 구조의 행과 열 사이에 존재하는 오목 다각형의 구멍들을 통해 휘어짐에 따른 변형이 흡수되어 신축성이 증가될 수 있다.
따라서, 복수의 제1 감지 전극(620) 및 복수의 제2 감지 전극(630)은 외압에 의해 휘어지거나 접히더라도 손상되지 않고 동작할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른실시예에 따른 팽창형 메쉬 구조의 플렉서블 기판을 포함하는 초박막 터치 패널의 평면도를 도시한다.
도 7을 참조하면, 터치 패널(700)은 플렉서블 기판(710), 복수의 제1 감지 전극(720), 복수의 제2 감지 전극(730)을 포함한다.
일례로, 복수의 제1 감지 전극(720)은 플렉서블 기판(710) 상에서 제1 방향으로 배열되며, 역방향으로 경사진 구조의 요철 패턴을 갖는다. 즉, 평면에서 볼 때, 오목 영역과 볼록 영역이 반복되는 요철 패턴을 갖되, 볼록 영역이 정방향(또는 상부 방향)으로 갈수록 넓어지는 형태로 경사진 구조를 갖는다.
한편, 복수의 제2 감지 전극(730)은 복수의 제1 감지 전극(720) 상에서 제2 방향으로 배열되어 복수의 제1 감지 전극(720)과 상호 교차한다. 여기서, 복수의 제2 감지 전극(730)은 복수의 제1 감지 전극(720)의 볼록 영역에서 경사진 영역을 지나는 지그재그 패턴을 갖는다. 따라서, 평면에서 볼 때, 복수의 제1 감지 전극(720)과 복수의 제2 감지 전극(730)은 팽창 메쉬 구조를 이룬다.
또한, 도 7에 도시되어 있지는 않으나, 복수의 제1 감지 전극(820)과 복수의 제2 감지 전극(830) 사이에는 접합 절연층이 형성된다.
한편, 플렉서블 기판(710)은 산소 플라즈마 식각에 의해 복수의 제1 감지 전극(720) 및 복수의 제2 감지 전극(730)에 대응하는 형태로 패터닝되어 팽창 메쉬 구조를 갖는다. 즉, 플렉서블 기판(710)에서, 복수의 제1 감지 전극(720)과 복수의 제2 감지 전극(730)이 위치한 영역을 제외한 나머지 영역을 식각함으로써, 행과 열 사이에 오목 다각형의 구멍들이 존재하는 팽창 메쉬 구조로 제조할 수 있다. 이 과정에서 접합 절연층이 함께 패터닝되어 플렉서블 기판(710)과 동일한 형상의 메쉬 구조를 갖게 된다.
도 7에서와 같이, 플렉서블 기판(710), 복수의 제1 감지 전극(720) 및 복수의 제2 감지 전극(730)은 팽창 메쉬 구조의 행과 열 사이에 존재하는 오목 다각형의 구멍들을 통해 휘어짐에 따른 변형이 흡수되어 신축성이 증가하게 된다.
따라서, 터치 패널(700)은 플렉서블 디스플레이 장치에 적용되어 외압에 의해 휘어지거나 접히더라도 각 감지 전극들이 손상되는 것 없이 동작할 수 있다.
상술한 구체적인 실시 예들에서, 발명에 포함되는 구성 요소는 제시된 구체적인 실시 예에 따라 단수 또는 복수로 표현되었다.
그러나, 단수 또는 복수의 표현은 설명의 편의를 위해 제시한 상황에 적합하게 선택된 것으로서, 상술한 실시 예들이 단수 또는 복수의 구성 요소에 제한되는 것은 아니며, 복수로 표현된 구성 요소라 하더라도 단수로 구성되거나, 단수로 표현된 구성 요소라 하더라도 복수로 구성될 수 있다.
한편 발명의 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 다양한 실시 예들이 내포하는 기술적 사상의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니되며 후술하는 청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 초박막 터치 패널 1000: 플렉서블 디스플레이 장치
110: 플렉서블 기판 120: 복수의 제1 감지 전극
130: 복수의 제2 감지 전극 200: 금속 기판
210: 플렉서블 기판 220: 복수의 제1 감지 전극
230: 접합 절연층 240: 복수의 제2 감지 전극
300: 금속 기판 310: 플렉서블 기판
320: 복수의 제1 감지 전극 330: 접합 절연층
340: 복수의 제2 감지 전극 350: 금속 브릿지층

Claims (14)

  1. 플렉서블 기판;
    상기 플렉서블 기판 상에 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극;
    상기 플렉서블 기판 및 상기 복수의 제1 감지 전극 상에 형성되는 접합 절연층; 및
    습식-전사(wet-transfer) 방식을 이용하여 상기 플렉서블 기판 및 상기 접합 절연층 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 복수의 제2 감지 전극을 포함하고,
    상기 플렉서블 기판은,
    산소 플라즈마 식각에 의해 상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극에 대응하는 형태로 패터닝되어 다각형의 메쉬 구조를 형성하는
    초박막 터치 패널.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다각형의 메쉬 구조는,
    사각 메쉬 구조, 육각(hexagonal) 메쉬 구조 및 팽창(auxetic) 메쉬 구조 중 어느 하나인
    초박막 터치 패널.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 제1 감지 전극은,
    정방향 또는 역방향으로 경사진 구조의 요철 패턴으로 형성되고,
    상기 복수의 제2 감지 전극은,
    상기 복수의 제1 감지 전극의 요철 패턴을 지나는 지그재그 패턴으로 형성되어, 상기 복수의 제1 감지 전극과 육각(hexagonal) 메쉬 구조 또는 팽창(auxetic) 메쉬 구조를 이루는
    초박막 터치 패널.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 제1 감지 전극 및 상기 복수의 제2 감지 전극은,
    그래핀(graphene), 탄소나노튜브(carbon nano tube), 메탈 와이어 및 메탈 메쉬 중 어느 하나로 이루어진
    초박막 터치 패널.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판은,
    PET(Polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate), PES(polyethersulfone), PI(polyimide), PMMA(PolymethlymethAcrylate) 및 COP (Cyclo-Olefin Polymers) 중 어느 하나로 이루어진
    초박막 터치 패널.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 접합 절연층은,
    상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극 사이에 위치하고, 상기 플렉서블 기판과 동일한 형상의 메쉬 구조를 갖는
    초박막 터치 패널.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 접합 절연층은,
    OCR(optical clean resin), OCA(optical clean adhesive) 및 SU-8 중 어느 하나로 이루어진
    초박막 터치 패널.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블 기판의 하부에 형성되며, 그래핀, 탄소나노튜브(carbon nano tube), 메탈 와이어 및 메탈 메쉬 중 어느 하나로 이루어진 그라운드 보호층(ground shielding layer)을 더 포함하는
    초박막 터치 패널.
  9. 플렉서블 기판;
    상기 플렉서블 기판 상에 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극;
    상기 플렉서블 기판 및 상기 복수의 제1 감지 전극 상에 형성되는 접합 절연층;
    상기 플렉서블 기판 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 복수의 제2 감지 전극; 및
    상기 플렉서블 기판, 상기 접합 절연층 및 상기 복수의 제2 감지 전극 상에 형성되는 금속 브릿지층을 포함하고,
    상기 플렉서블 기판은,
    산소 플라즈마 식각에 의해 상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극에 대응하는 형태로 패터닝되어 다각형의 메쉬 구조를 형성하는
    초박막 터치 패널.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 다각형의 메쉬 구조는,
    사각 메쉬 구조, 육각(hexagonal) 메쉬 구조 및 팽창(auxetic) 메쉬 구조 중 어느 하나인
    초박막 터치 패널.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 제1 감지 전극은,
    정방향 또는 역방향으로 경사진 구조의 요철 패턴으로 형성되고,
    상기 복수의 제2 감지 전극은,
    상기 복수의 제1 감지 전극의 요철 패턴을 지나는 지그재그 패턴으로 형성되어, 상기 복수의 제1 감지 전극과 육각(hexagonal) 메쉬 구조 또는 팽창(auxetic) 메쉬 구조를 이루는
    초박막 터치 패널.
  12. 금속 기판 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 상에 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 및 상기 복수의 제1 감지 전극 상에 접합 절연층 형성하는 단계;
    습식-전사(wet-transfer) 방식을 이용하여 상기 플렉서블 기판 및 상기 접합 절연층 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 복수의 제2 감지 전극을 형성하는 단계; 및
    상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극에 대응하는 다각형의 메쉬 구조를 패터닝되도록 상기 플렉서블 기판을 산소 플라즈마 식각하는 단계를 포함하는
    초박막 터치 패널의 제조 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 제2 감지 전극을 형성하는 단계는,
    상기 접합 절연층 상에 상기 복수의 제2 감지 전극을 습식-전사한 후, 상기 제2 방향으로 상기 복수의 제2 감지 전극을 패터닝하는 단계를 포함하는
    초박막 터치 패널의 제조 방법.
  14. 금속 기판 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 상에 제1 방향으로 배열되는 복수의 제1 감지 전극을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 및 상기 복수의 제1 감지 전극 상에 접합 절연층 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로, 상기 접합 절연층과 갭(gap)을 두고 배열되는 복수의 제2 감지 전극을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판, 상기 접합 절연층 및 상기 복수의 제2 감지 전극 상에 형성되는 금속 브릿지층을 형성하는 단계; 및
    상기 복수의 제1 감지 전극과 상기 복수의 제2 감지 전극에 대응하는 다각형의 메쉬 구조를 패터닝되도록 상기 플렉서블 기판을 산소 플라즈마 식각하는 단계를 포함하는
    초박막 터치 패널의 제조 방법.
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