KR20190018974A - Device for coloring surface of Material - Google Patents

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KR20190018974A
KR20190018974A KR1020170103814A KR20170103814A KR20190018974A KR 20190018974 A KR20190018974 A KR 20190018974A KR 1020170103814 A KR1020170103814 A KR 1020170103814A KR 20170103814 A KR20170103814 A KR 20170103814A KR 20190018974 A KR20190018974 A KR 20190018974A
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이정희
이경
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주식회사 포스코
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Abstract

The present invention relates to a device for coloring a surface of a material. According to the present invention, the device for coloring a surface of a material comprises: a chamber unit coloring a surface of a material in a vacuum state; a drive unit connected to the chamber unit, and provided to move in the chamber unit; and a clamp unit inserted into the chamber unit by the drive unit in a state of supporting or fixing the material.

Description

표면 발색 장치{Device for coloring surface of Material}Device for coloring surface of Material

본 발명은 표면 발색 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a surface coloring apparatus.

소재 표면에 색상을 입히는 작업 중 하나로 듀얼 스퍼터 증착 장치를 이용한 플라즈마 증착 작업을 들 수 있다. 이러한 플라즈마 증착 작업은 마그네슘(Mg) 및 스테인리스(STS)를 포함하는 재질로 된 소재 표면에 색상을 입히기 위해서 실시될 수 있다.One of the tasks of coloring the surface of the material is plasma deposition using a dual sputter deposition system. Such a plasma deposition operation can be performed to color the surface of a material made of a material including magnesium (Mg) and stainless steel (STS).

도 1에는 이러한 플라즈마 증착 작업을 실시하기 위한 소재(1)의 고정상태가 도시되어 있다. 먼저, 소재(1)를 고정보드(10) 상에 올려놓은 뒤, 소재가 움직이지 않도록 테이프(20)를 이용해 소재(1)를 고정보드(10) 상에 고정할 수 있다.Fig. 1 shows a fixed state of the work 1 for carrying out such a plasma deposition operation. The material 1 can be fixed on the fixed board 10 by using the tape 20 so that the material 1 does not move after the material 1 is placed on the fixed board 10.

그리고, 도 2에서 보이듯, 상기 고정보드(10)를 증착 장치(50)의 고정지그(30)에 올려 증착 장치(50) 내부로 삽입하여 증착 작업을 실시하면 도 3에서 보이듯 표면에 색상이 입혀진 소재(1)를 얻을 수 있다.As shown in FIG. 2, when the fixed board 10 is placed on the fixing jig 30 of the deposition apparatus 50 and inserted into the deposition apparatus 50 to perform the deposition operation, as shown in FIG. 3, The material (1) can be obtained.

그런데 도 1에서 보이듯, 대량의 소재(1)의 증착 작업을 실시하기 위해서는 소재(1)를 순차적으로 고정보드(10)에 고정해야 하는데 테이프(20)를 통한 소재(1) 고정작업을 통해서는 소재(1)를 견고하게 고정하기 어려울 뿐만 아니라, 작업의 효율성도 저하된다는 문제가 있다.However, as shown in FIG. 1, in order to perform the deposition of a large amount of the material 1, the material 1 must be sequentially fixed to the fixed board 10. Through the fixing operation of the material 1 via the tape 20, There is a problem that it is difficult to firmly fix the material 1 and the efficiency of the work is lowered.

또한, 테이프(20)의 접착제는 증착 장치(50)의 내부 환경에서 오래 버티기 힘들기 때문에 소재(1)의 증착 작업 중에 소재(1)가 고정보드(10)로부터 탈락하게 되는 문제도 발생하게 된다.In addition, since the adhesive of the tape 20 is hard to stand long in the internal environment of the deposition apparatus 50, there arises a problem that the work 1 is removed from the fixed board 10 during the deposition work of the work 1 .

그러면 소재(1)의 증착 작업이 연속적으로 수행될 수 없기 때문에 소재(1)의 균일한 표면을 얻기 어렵고, 이는 곧 제품 품질 저하로 이어지게 된다는 문제가 있다.
Then, since the deposition of the material 1 can not be continuously performed, it is difficult to obtain a uniform surface of the material 1, which leads to a deterioration in product quality.

KR 10-2017-0074008 A (2017.06.29)KR 10-2017-0074008 A (2017.06.29)

본 발명은 소재를 신속하게 고정하며, 소재의 고정력을 증가시키는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to quickly fix a material and increase the fixing force of the material.

또한, 화학 접착제가 소재 표면을 오염시키지 않도록 하며, 화학 접착제가 사용되기 어려운 환경에서도 소재의 고정을 용이하게 하는 것을 일 목적으로 한다.
The object of the present invention is to prevent the chemical adhesive from contaminating the surface of the material and to facilitate fixing of the material even in an environment where a chemical adhesive is difficult to use.

본 발명은 표면 발색 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 표면 발색 장치는 진공 상태에서 소재 표면에 색을 입히는 챔버유닛;과, 상기 챔버유닛에 연결되고, 상기 챔버유닛에서 이동되게 구비되는 구동유닛; 및 상기 소재를 지지 또는 고정한 상태에서 상기 구동유닛에 의해 상기 챔버유닛으로 인입되는 클램프유닛;을 포함할 수 있다. A surface coloring apparatus according to the present invention comprises: a chamber unit for applying color to a surface of a workpiece in a vacuum state; a driving unit connected to the chamber unit and movably provided in the chamber unit; And a clamp unit which is pulled into the chamber unit by the driving unit in a state where the material is supported or fixed.

바람직하게, 상기 클램프유닛은, 상기 구동유닛에 안착되는 메인클램핑보드;와, 적어도 하나의 상기 소재를 지지 또는 고정하고, 상기 메인클램핑보드에 안착되는 적어도 하나의 단위클램핑보드;와, 상기 단위클램핑보드에 구비되고, 상기 소재에 밀착되어 상기 소재를 상기 단위클램핑보드 상에 고정시키는 단위블럭; 및 상기 단위클램핑보드에 구비되어, 상기 단위클램핑보드를 상기 메인클램핑보드 상에 고정시키는 고정부재;를 포함할 수 있다.Preferably, the clamp unit includes: a main clamping board that is seated on the drive unit; at least one unit clamping board that supports or fixes at least one workpiece and is seated on the main clamping board; A unit block provided on the board and closely attached to the workpiece to fix the workpiece on the unit clamping board; And a fixing member provided on the unit clamping board and fixing the unit clamping board on the main clamping board.

보다 바람직하게, 상기 단위클램핑보드는, 상기 단위블럭과 대면하는 면에서 연속되게 형성되는 결합홈;을 포함하고, 상기 단위블럭은, 상기 결합홈에 삽입되어 상기 단위클램핑보드에 밀착되고, 상기 단위클램핑보드를 가압하는 결합돌기;를 포함할 수 있다.More preferably, the unit clamping board includes a coupling groove continuously formed on a surface facing the unit block, and the unit block is inserted into the coupling groove and is in close contact with the unit clamping board, And a coupling protrusion for pressing the clamping board.

보다 바람직하게, 상기 단위클램핑보드는, 외면에 형성되는 적어도 하나의 노치홈;을 포함하고, 상기 고정부재는, 상기 단위클램핑보드의 상기 노치홈에 삽입될 수 있다.More preferably, the unit clamping board includes at least one notch groove formed on the outer surface, and the fixing member may be inserted into the notch groove of the unit clamping board.

보다 바람직하게, 상기 메인클램핑보드는 자성을 가지는 물질을 포함하는 재질로 구비되고, 상기 고정부재는 영구자석 또는 전자석일 수 있다.More preferably, the main clamping board is made of a material containing magnetic material, and the fixing member may be a permanent magnet or an electromagnet.

또한 바람직하게, 상기 클램프유닛은, 상기 단위클램핑보드 및 상기 단위블럭에 연결되어 상기 단위블럭을 상기 단위클램핑보드 상에 고정시키는 고정핀부재;를 더 포함할 수 있다.Preferably, the clamp unit further includes a fixing pin member connected to the unit clamping board and the unit block to fix the unit block on the unit clamping board.

또한 바람직하게, 상기 결합돌기는, 탄성체일 수 있다.
Further, preferably, the engaging projection may be an elastic body.

본 발명에 따르면 소재를 신속하고 정확하게 고정할 수 있으며, 소재의 고정력을 증가시킬 수 있다.According to the present invention, the material can be quickly and accurately fixed, and the fixing force of the material can be increased.

또한, 본 발명은 소재의 표면이 오염되는 것을 방지하며, 소재의 품질향상에 기여할 수 있다.
Further, the present invention prevents the surface of the material from being contaminated and contributes to the improvement of the quality of the material.

도 1은 일반적인 방법으로 고정된 소재를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 통상의 소재 표면 발색 장치를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 표면 발색된 소재를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 표면 발색 장치를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 클램프유닛을 개략적으로 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 클램프유닛의 분해사시도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 클램프유닛의 분해사시도이다.
도 8은 본 발명의 클램프유닛에 의해 고정된 소재를 개략적으로 도시한 것이다.
도 9는 본 발명의 챔버유닛에 인입되는 클램프유닛을 개략적으로 도시한 것이다.Figure 1 schematically shows a fixed workpiece in a general manner.
2 schematically shows a conventional material surface coloring apparatus.
Fig. 3 shows a surface-colored material.
4 schematically shows a surface coloring apparatus according to the present invention.
Fig. 5 schematically shows a clamping unit according to the present invention.
6 is an exploded perspective view of the clamp unit according to the present invention.
7 is an exploded perspective view of a clamp unit according to another embodiment of the present invention.
8 schematically shows a workpiece fixed by the clamp unit of the present invention.
Fig. 9 schematically shows a clamping unit which is introduced into the chamber unit of the present invention.

본 발명의 실시 예에 관한 설명의 이해를 돕기 위하여 첨부된 도면에 동일한 부호로 기재된 요소는 동일한 요소이고, 각 실시 예에서 동일한 작용을 하게 되는 구성요소 중 관련된 구성요소는 동일 또는 연장 선상의 숫자로 표기하였다. In order to facilitate an understanding of the description of the embodiments of the present invention, elements denoted by the same reference numerals in the accompanying drawings are the same element, and among the constituent elements that perform the same function in each embodiment, Respectively.

또한, 본 발명의 요지를 명확히 하기 위하여 종래의 기술에 의해 익히 알려진 요소와 기술에 대한 설명은 생략하며, 이하에서는, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명에 관하여 상세히 설명하도록 한다.Further, in order to clarify the gist of the present invention, a description of elements and techniques well known in the prior art will be omitted, and the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하고, 당업자에 의해 특정 구성요소가 추가, 변경, 삭제된 다른 형태로도 제안될 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명과 동일한 사상의 범위 내에 포함됨을 밝혀 둔다.
It is to be understood, however, that the spirit and scope of the present invention are not limited to the embodiments shown, but may be suggested by those skilled in the art in other forms, additions, or alternatives, .

먼저, 도 4 및 도 5에서 보이듯, 본 발명에 따른 표면 발색 장치(100)는 진공 상태에서 소재(1) 표면에 색을 입히는 챔버유닛(110)과, 상기 챔버유닛에 연결되고, 상기 챔버유닛에서 이동되게 구비되는 구동유닛(120) 및 상기 소재(1)를 지지 또는 고정한 상태에서 상기 구동유닛에 의해 상기 챔버유닛(110)으로 인입되는 클램프유닛(130)을 포함하여 구성될 수 있다.4 and 5, a surface coloring apparatus 100 according to the present invention includes a chamber unit 110 for applying color to a surface of a work 1 in a vacuum state, a chamber unit 110 connected to the chamber unit 110, And a clamping unit 130 that is drawn into the chamber unit 110 by the driving unit in a state where the workpiece 1 is supported or fixed.

바람직하게, 본 발명에 따른 표면 발색 장치(100)는 스퍼터링(Sputtering)을 사용하는 스퍼터 장비일 수 있다. Preferably, the surface coloring apparatus 100 according to the present invention may be a sputtering apparatus using sputtering.

스퍼터링(Sputtering)은 집적회로 생산라인 공정에서 많이 쓰이는 진공 증착법의 일종으로 비교적 낮은 진공도에서 플라즈마를 이온화된 아르곤 등의 가스를 가속하여 타겟에 충돌시키고, 원자를 분출시켜 웨이퍼나 유리 같은 기판상에 막을 만드는 방법을 뜻한다. Sputtering is a kind of vacuum deposition method widely used in integrated circuit production line process. It accelerates gas such as argon ionized by plasma at a relatively low degree of vacuum, and impinges atoms on the target to form a film on a wafer or a glass substrate It means how to make.

이를 위해, 먼저 챔버(111) 내부를 진공에 가깝게 만든 후에 낮은 압력의 아르르곤(Ar)을 챔버 내로 흘려준다. 그런 다음 음극에 (-)전압을 가하면 음극(증착할 대상물질인 타겟이 장착된)과 양극(웨이퍼나 유리 같은 기판) 사이에 전기장이 형성되고 이 전기장에 노출된 아르곤 가스는 Ar+로 이온화되면서 기판과 음극 간에 플라즈마가 발생한다. To this end, the inside of the chamber 111 is first brought close to a vacuum, and then low-pressure Arrons (Ar) are flowed into the chamber. Then, when a negative voltage is applied to the cathode, an electric field is formed between the cathode (the target to be deposited) and the anode (substrate such as a wafer or glass), and the argon gas exposed to the electric field is ionized to Ar + And a plasma is generated between the cathode and the cathode.

그러면, 음극에 장착되어 있는 타겟 물질의 표면은 기판보다 음전위로 유지되므로, 아르곤 이온(Ar+)은 타겟 표면으로 가속 후 충돌되고, 소스원자와 분자들은 타겟표면에서 방출되어 기판으로 날아가 증착(deposition)이 되는 원리이다.Since the surface of the target material mounted on the cathode is kept at a negative potential with respect to the substrate, the argon ions (Ar +) collide with the target surface after acceleration, and the source atoms and molecules are discharged from the target surface, .

이러한 표면 발색 장치(100)의 챔버(111)는 지지부재(141)를 포함하는 지지유닛(140)에 의해 지지될 수 있다. 그리고 상기 챔버(111) 내부로 연결되는 구동유닛(120)이 구비된다.The chamber 111 of the surface coloring apparatus 100 may be supported by a support unit 140 including a support member 141. And a driving unit 120 connected to the inside of the chamber 111 is provided.

상기 구동유닛(120)은 챔버(111) 내부로 인입되거나, 챔버(111) 내부로부터 인출되게 구비되며, 접철식으로 동작하게 구비되는 구동부재(122) 및 구동판(121)을 포함할 수 있다.The driving unit 120 may include a driving member 122 and a driving plate 121 which are provided to be drawn into the chamber 111 or drawn out from the chamber 111 and operated to operate in a folding manner.

구동판(121)에는 클램프유닛(130) 및 상기 클램프유닛(130)에 고정된 소재(1)가 안착되며, 구동판(121)에 안착된 클램프유닛(130) 및 소재(1)는 구동부재(122)의 구동에 의해 챔버(111) 내부로 인입될 수 있다. 또는, 반대로 챔버(111) 내부로부터 인출될 수도 있다.The clamping unit 130 and the workpiece 1 fixed to the clamping unit 130 are mounted on the drive plate 121. The clamping unit 130 and the workpiece 1, which are seated on the drive plate 121, Can be drawn into the chamber 111 by driving of the chamber 122. Or conversely, may be drawn out from the inside of the chamber 111.

이때, 상기 클램프유닛(130)은 도 5 및 도 6에서 보이듯, 상기 구동유닛의 구동판(121)에 안착되는 메인클램핑보드(131)와, 적어도 하나의 소재(1)를 지지 또는 고정하고, 상기 클램핑보드에 안착되는 적어도 하나의 단위클램핑보드(132)와, 상기 단위클램핑보드(132)에 구비되고, 상기 소재에 밀착되어 상기 소재를 상기 단위클램핑보드 상에 고정시키는 단위블럭(133) 및 상기 단위클램핑보드(132)에 구비되어, 상기 단위클램핑보드를 상기 메인클램핑보드(131) 상에 고정시키는 고정부재(134)를 포함할 수 있다.5 and 6, the clamp unit 130 includes a main clamping board 131 mounted on the driving plate 121 of the driving unit, at least one workpiece 1 supported or fixed, At least one unit clamping board 132 mounted on the clamping board 132, a unit block 133 provided on the unit clamping board 132 and closely attached to the workpiece to fix the workpiece on the unit clamping board, And a fixing member 134 provided on the unit clamping board 132 for fixing the unit clamping board on the main clamping board 131.

또한 상기 단위클램핑보드(132)는 외면에 형성되는 적어도 하나의 노치홈(242)을 포함할 수 있고, 상기 고정부재(134)는 상기 단위클램핑보드의 상기 노치홈(242)에 삽입되어 고정될 수 있다.The unit clamping board 132 may include at least one notch groove 242 formed on the outer surface thereof and the fixing member 134 may be inserted into the notch groove 242 of the unit clamping board .

일예로, 상기 노치홈(242)과 고정부재(134)는 억지끼워맞춤공차를 가지도록 구비될 수 있는데 그러면 추가적인 고정부품 없이도 노치홈(242)에 고정부재(134)를 용이하게 고정할 수 있다. For example, the notch groove 242 and the fixing member 134 may be provided with an interference fit tolerance so that the fixing member 134 can be easily fixed to the notch groove 242 without additional fixing parts .

또한, 고정부재(134)가 단위클램핑보드(132)에서 돌출되지 않으므로 고정부재(134)의 손상을 방지하여 부품의 수명을 연장시키는 효과가 있다.Further, since the fixing member 134 does not protrude from the unit clamping board 132, it is possible to prevent damage to the fixing member 134, thereby extending the service life of the component.

그리고 상기 단위블럭(133)은 상기 단위클램핑보드(132)의 내면을 가압하는 결합돌기(233)를 포함할 수 있다. 결합돌기(233)는 탄성을 가진 물질로 구비되어 단위블럭(133)의 양측에 고정될 수 있다.The unit block 133 may include a coupling protrusion 233 for pressing the inner surface of the unit clamping board 132. The coupling protrusions 233 may be made of a material having elasticity and may be fixed to both sides of the unit block 133.

그리고 상기 결합돌기(233)는 단위블럭(133)이 단위클램핑보드(132) 내면에 끼워질 때, 탄성에 의해 일시적으로 체적이 수축하여 단위블럭(133)이 단위클램핑보드(132) 내로 삽입될 수 있게 하며, 단위블럭(133)이 단위클램핑보드(132) 내로 삽입 완료된 이후에는 탄성에 의해 다시 체적이 원상복귀되어 단위클램핑보드(132)의 내면을 가압하면서 단위블럭(133)이 단위클램핑보드(132)로부터 이탈되는 것을 방지하는 효과가 있다.When the unit block 133 is fitted to the inner surface of the unit clamping board 132, the unit protrusion 233 temporarily contracts in volume due to elasticity and the unit block 133 is inserted into the unit clamping board 132 After the unit block 133 is completely inserted into the unit clamping board 132, the volume is returned to its original shape by elasticity so that the unit block 133 is pressed by the unit clamping board 132 while pressing the inner surface of the unit clamping board 132. (132).

이렇게 단위클램핑보드(132)에 끼워진 단위블럭(133)은 소재(1)의 양측에 밀착되면서 소재(1)를 단위클램핑보드(132) 상에 고정할 수 있다.The unit block 133 fitted to the unit clamping board 132 can be fixed on the unit clamping board 132 while being adhered to both sides of the work 1.

이때 바람직하게, 단위블럭(133)의 높이가 소재(1)의 높이보다 높아야 소재(1)가 단위블럭(133) 사이로 빠져나가는 것을 방지하며 소재(1)를 더욱 견고히 고정할 수 있다.In this case, preferably, the height of the unit block 133 is higher than the height of the work 1 to prevent the work 1 from escaping into the unit block 133, and more firmly fix the work 1.

소재(1)는 하나만이 고정될 수도 있지만 도 5에서 보이듯 메인클램핑보드(131) 상에 복수개가 고정될 수도 있다.Only one material may be fixed, but a plurality of materials may be fixed on the main clamping board 131 as shown in FIG.

즉, 메인클램핑보드(131)의 일측에 놓이는 제1,2 단위클램핑보드(132a, 132b)와, 상기 제1,2 단위클램핑보드(132a, 132b)에 각각 결합되는 단위블럭(133)에 의해 복수개의 소재(1)를 고정할 수 있으며, 다수의 소재(1)의 측면에는 단위블럭(133)이 각각 밀착되어 소재(1)를 견고하게 고정할 수 있다.That is, the first and second unit clamping boards 132a and 132b placed on one side of the main clamping board 131 and the unit blocks 133 coupled to the first and second unit clamping boards 132a and 132b The plurality of workpieces 1 can be fixed and the unit blocks 133 can be closely attached to the side surfaces of the plurality of workpieces 1 to firmly fix the workpieces 1. [

이때, 소재(1), 단위클램핑보드(132), 단위블럭(133)의 개수는 본 발명에 의해 한정되는 것이 아니며 작업자 및 작업환경에 의해 적절히 변경되어 적용될 수 있는 사항이다.At this time, the number of the work 1, the unit clamping board 132, and the unit block 133 is not limited to the present invention, but may be appropriately changed depending on the worker and work environment.

이와 같이 소재(1)가 다수개 구비되는 경우 다수의 소재(1)를 편리하게 고정하기 위해서 단위블럭(133)을 단위클램핑보드(132) 상에서 이동하게 구비할 수도 있다.When a plurality of materials 1 are provided in this manner, the unit block 133 may be provided on the unit clamping board 132 in order to conveniently fix a plurality of materials 1.

즉, 가장 선단에 마련된 단위블럭을 고정단위블럭(133a)으로 하여 상기 고정단위블럭(133a)을 단위클램핑보드(132)에 고정하고, 상기 고정단위블럭(133a)을 시작으로 하여 소재(1)와 이동단위블럭(133b)을 번갈아가며 배치할 수 있다.That is, the fixed unit block 133a is fixed to the unit clamping board 132 by using the unit block provided at the forefront as a fixed unit block 133a, and the fixed unit block 133a is fixed to the unit 1 using the fixed unit block 133a. And the mobile unit block 133b alternately.

이때, 도 6에서 보이듯, 상기 고정단위블럭(133a)을 고정하기 위해 단위클램핑보드(132)를 관통하는 고정핀부재(135)가 사용될 수 있고, 상기 고정핀부재(135)의 외부로는 탄성부재(136)가 감겨 완충작용을 수행할 수 있다.6, a fixing pin member 135 passing through the unit clamping board 132 may be used to fix the fixed unit block 133a, and the fixing pin member 135 may have elasticity The member 136 may be wound to perform the buffering action.

다만, 고정단위블럭(133a)을 고정하는 방법은 반드시 이에 한정되는 것이 아니며 작업자 및 작업환경에 의해 다양한 방법으로 변경되어 적용될 수 있다.However, the method of fixing the fixed unit block 133a is not limited thereto and may be modified in various ways depending on the operator and the work environment.

이와 같이 가장 선단에 마련된 단위블럭을 고정하고, 이후에 배치되는 단위블럭은 이동할 수 있게 구비하면 소재(1)의 너비를 고려하여 적절한 개수의 소재(1)를 선택하여 단위클램핑보드(132) 상에 고정할 수 있고, 테이프와 같은 화학적 접착제를 사용하여 일일이 소재(1)를 고정하는 것이 아니므로 소재(1)를 신속하게 고정할 수 있을 뿐만 아니라, 챔버(도 4의 111) 내의 환경에서도 접착력이 약해지지 않아 소재(1)를 견고히 고정할 수 있는 효과가 있다.If a unit block provided at the foremost end is fixed and a unit block disposed thereafter is movable, the appropriate number of workpieces 1 may be selected in consideration of the width of the workpiece 1, Since the material 1 is not always fixed using a chemical adhesive such as a tape, the material 1 can be quickly fixed, and even in an environment in the chamber 111 (FIG. 4) The material 1 can be firmly fixed.

또한 도 7 및 도 8에서 보이듯, 상기 단위클램핑보드(132)는 상기 고정단위블럭(133a) 및 이동단위블럭(133b)과 대면하는 면에서 연속되게 형성되는 결합홈(232)을 포함할 수 있다.7 and 8, the unit clamping board 132 may include a coupling groove 232 continuously formed on the surface facing the fixed unit block 133a and the moving unit block 133b .

그리고, 상기 고정단위블럭(133a) 및 이동단위블럭(133b)은 상기 결합홈에 삽입되어 상기 단위클램핑보드(132)에 밀착되고, 상기 단위클램핑보드(132)를 가압하는 결합돌기(233)를 포함할 수 있다.The fixed unit block 133a and the moving unit block 133b are inserted into the coupling groove to be closely attached to the unit clamping board 132 and have a coupling protrusion 233 for pressing the unit clamping board 132 .

그러면, 소재를 고정하는 과정에 있어서 이동단위블럭(133b)을 단위클램핑보드(132) 상에서 이동시키는 시간을 단축할 수 있고, 서로 다른 크기의 소재(1a, 1b)가 동시에 단위클램핑보드(132)에 안착 되더라도 소재의 크기에 맞게 이동단위블럭을 빠르게 이동시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, it is possible to shorten the time required to move the movable unit block 133b on the unit clamping board 132 in the process of fixing the workpiece, and the workpieces 1a and 1b of different sizes can simultaneously move the unit clamping board 132, There is an effect that the moving unit block can be moved quickly in accordance with the size of the material.

또한, 이동단위블럭(133b)의 이동경로도 확보하는 효과가 있어 이동단위블럭(133b)의 경로이탈로 인한 장치의 손상도 방지할 수 있는 효과가 있다.Also, the movement path of the mobile unit block 133b is also secured, and the apparatus can be prevented from being damaged due to the movement of the mobile unit block 133b.

한편, 바람직하게, 도 9에서 보이듯, 전술한 메인클램핑보드(131)는 스틸(Steel) 재질로 구비될 수 있고, 자성체일 수 있다. 9, the main clamping board 131 may be made of a steel material or may be a magnetic material.

그리고 단위클램핑보드(132)에 고정되는 고정부재(134)는 영구자석 또는 전자석으로 구비될 수 있다.The fixing member 134 fixed to the unit clamping board 132 may be formed of a permanent magnet or an electromagnet.

그러면 상기 단위클램핑보드(132)의 고정부재(134)와 메인클램핑보드(131) 사이에 작용하는 자력에 의해 단위클램핑보드(132)가 메인클램핑보드(131) 상에 붙어있을 수 있으며, 필요에 따라 구동판(도 4의 111)에 메인클램핑보드(131)를 뒤집은 상태로 안착시켜야 하는 경우에도 소재(1)를 용이하게 고정할 수 있다.The unit clamping board 132 may be attached to the main clamping board 131 by the magnetic force acting between the fixing member 134 of the unit clamping board 132 and the main clamping board 131, The work 1 can be easily fixed even if the main clamping board 131 is to be seated in a state in which the main clamping board 131 is turned upside down on the driving plate 111 (FIG. 4).

이때, 도 5에서 보이듯, 단위클램핑보드(132)의 길이는 소재(1)의 폭과 단위블럭(133)의 폭을 고려하여 적용될 수 있다. 즉, 모든 소재(1)의 폭과 모든 단위블럭(133)의 폭의 합 또는 모든 소재(1)의 폭과 모든 단위블럭(133)의 폭과 고정핀부재(도 6의 135)의 몸체부의 길이의 합은 단위클램핑보드(132)의 내면의 길이와 적어도 동일하게 구비될 수 있으며, 이와 같이 되도록 단위클램핑보드(132) 및 단위블럭(133)의 폭을 선택할 수 있다.5, the length of the unit clamping board 132 can be applied in consideration of the width of the work 1 and the width of the unit block 133. Referring to FIG. That is, the width of all the materials 1 and the width of all the unit blocks 133 or the width of all the materials 1 and the width of all the unit blocks 133 and the width of the body portion of the fixing pin member 135 The length of the unit block 132 and the length of the unit block 133 may be at least equal to the length of the inner surface of the unit clamping board 132. Thus,

더욱 바람직하게, 단위클램핑보드(132) 상에서 소재(1)와, 단위블럭(133)을 서로 밀착시킬수록 소재(1)를 고정하는 고정력이 커지므로 소재(1)와 단위블럭(133)의 밀착도를 고려하여 소재(1) 및 단위블럭(133)의 폭을 선택할 수 있다.
More preferably, as the material 1 and the unit block 133 are closely contacted with each other on the unit clamping board 132, the fixation force for fixing the work 1 becomes larger, so that the adhesion between the work 1 and the unit block 133 The width of the work 1 and the width of the unit block 133 can be selected.

이상에서 설명한 사항은 본 발명의 일 실시 예에 관하여 설명한 것이며, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것이 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It will be apparent to those of ordinary skill in the art.

1 : 소재 10 : 고정보드
20 : 테이프 30 : 고정지그
50 : 증착 장치 100 : 표면 발색 장치
110 : 챔버유닛 120 : 구동유닛
130 : 클램프유닛 140 : 지지유닛1: Material 10: fixed board
20: tape 30: fixing jig
50: Deposition apparatus 100: Surface color developing apparatus
110: chamber unit 120: drive unit
130: clamp unit 140: support unit

Claims (7)

진공 상태에서 소재 표면에 색을 입히는 챔버유닛;
상기 챔버유닛에 연결되고, 상기 챔버유닛에서 이동되게 구비되는 구동유닛; 및
상기 소재를 지지 또는 고정한 상태에서 상기 구동유닛에 의해 상기 챔버유닛으로 인입되는 클램프유닛;
을 포함하는 표면 발색 장치.
A chamber unit for applying color to the workpiece surface in a vacuum state;
A driving unit connected to the chamber unit and movably provided in the chamber unit; And
A clamping unit which is pulled into the chamber unit by the drive unit in a state where the material is supported or fixed;
And the surface coloring device.
제1항에 있어서,
상기 클램프유닛은,
상기 구동유닛에 안착되는 메인클램핑보드;
적어도 하나의 상기 소재를 지지 또는 고정하고, 상기 메인클램핑보드에 안착되는 적어도 하나의 단위클램핑보드;
상기 단위클램핑보드에 구비되고, 상기 소재에 밀착되어 상기 소재를 상기 단위클램핑보드 상에 고정시키는 단위블럭; 및
상기 단위클램핑보드에 구비되어, 상기 단위클램핑보드를 상기 메인클램핑보드 상에 고정시키는 고정부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 발색 장치.
The method according to claim 1,
The clamp unit includes:
A main clamping board mounted on the drive unit;
At least one unit clamping board that supports or fixes at least one of the workpieces and is seated on the main clamping board;
A unit block provided on the unit clamping board and closely attached to the workpiece to fix the workpiece on the unit clamping board; And
A fixing member provided on the unit clamping board for fixing the unit clamping board on the main clamping board;
Wherein the surface coloring device comprises:
제2항에 있어서,
상기 단위클램핑보드는,
상기 단위블럭과 대면하는 면에서 연속되게 형성되는 결합홈;을 포함하고,
상기 단위블럭은,
상기 결합홈에 삽입되어 상기 단위클램핑보드에 밀착되고, 상기 단위클램핑보드를 가압하는 결합돌기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 발색 장치.
3. The method of claim 2,
The unit clamping board includes:
And a coupling groove formed continuously on a surface facing the unit block,
The unit block includes:
And a coupling protrusion inserted into the coupling groove to closely contact the unit clamping board and press the unit clamping board.
제2항에 있어서,
상기 단위클램핑보드는,
외면에 형성되는 적어도 하나의 노치홈;을 포함하고,
상기 고정부재는,
상기 단위클램핑보드의 상기 노치홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 표면 발색 장치.
3. The method of claim 2,
The unit clamping board includes:
And at least one notch groove formed on the outer surface,
Wherein:
Is inserted into the notch groove of the unit clamping board.
제4항에 있어서,
상기 메인클램핑보드는 자성을 가지는 물질을 포함하는 재질로 구비되고,
상기 고정부재는 영구자석 또는 전자석인 것을 특징으로 하는 표면 발색 장치.
5. The method of claim 4,
Wherein the main clamping board is made of a material containing magnetic material,
Wherein the fixing member is a permanent magnet or an electromagnet.
제3항에 있어서,
상기 클램프유닛은,
상기 단위클램핑보드 및 상기 단위블럭에 연결되어 상기 단위블럭을 상기 단위클램핑보드 상에 고정시키는 고정핀부재;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 발색 장치.
The method of claim 3,
The clamp unit includes:
A fixing pin member connected to the unit clamping board and the unit block to fix the unit block on the unit clamping board;
Further comprising: a light source for emitting light;
제3항에 있어서,
상기 결합돌기는,
탄성체인 것을 특징으로 하는 표면 발색 장치.
The method of claim 3,
The engaging projection
Wherein the surface color developing device is an elastic body.
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