KR20190013582A - Substrate - Google Patents

Substrate Download PDF

Info

Publication number
KR20190013582A
KR20190013582A KR1020180087287A KR20180087287A KR20190013582A KR 20190013582 A KR20190013582 A KR 20190013582A KR 1020180087287 A KR1020180087287 A KR 1020180087287A KR 20180087287 A KR20180087287 A KR 20180087287A KR 20190013582 A KR20190013582 A KR 20190013582A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
less
spacer
substrate
metal
Prior art date
Application number
KR1020180087287A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102097812B1 (en
Inventor
배남석
이승헌
장성호
오동현
박진우
황지영
유정선
서한민
송철옥
Original Assignee
주식회사 엘지화학
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘지화학 filed Critical 주식회사 엘지화학
Priority to CN201880048877.4A priority Critical patent/CN110959134B/en
Priority to PCT/KR2018/008553 priority patent/WO2019022566A1/en
Priority to JP2020503705A priority patent/JP7067695B2/en
Priority to EP18838175.0A priority patent/EP3660582B1/en
Publication of KR20190013582A publication Critical patent/KR20190013582A/en
Priority to US16/751,778 priority patent/US11163197B2/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102097812B1 publication Critical patent/KR102097812B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13392Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers dispersed on the cell substrate, e.g. spherical particles, microfibres
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133305Flexible substrates, e.g. plastics, organic film
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/04Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B23/00Layered products comprising a layer of cellulosic plastic substances, i.e. substances obtained by chemical modification of cellulose, e.g. cellulose ethers, cellulose esters, viscose
    • B32B23/04Layered products comprising a layer of cellulosic plastic substances, i.e. substances obtained by chemical modification of cellulose, e.g. cellulose ethers, cellulose esters, viscose comprising such cellulosic plastic substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B23/00Layered products comprising a layer of cellulosic plastic substances, i.e. substances obtained by chemical modification of cellulose, e.g. cellulose ethers, cellulose esters, viscose
    • B32B23/04Layered products comprising a layer of cellulosic plastic substances, i.e. substances obtained by chemical modification of cellulose, e.g. cellulose ethers, cellulose esters, viscose comprising such cellulosic plastic substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B23/08Layered products comprising a layer of cellulosic plastic substances, i.e. substances obtained by chemical modification of cellulose, e.g. cellulose ethers, cellulose esters, viscose comprising such cellulosic plastic substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B27/08Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/28Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/28Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
    • B32B27/281Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polyimides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/28Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
    • B32B27/285Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polyethers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/28Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
    • B32B27/286Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polysulphones; polysulfides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/28Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
    • B32B27/288Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polyketones
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/306Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising vinyl acetate or vinyl alcohol (co)polymers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/32Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/32Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins
    • B32B27/325Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins comprising polycycloolefins
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/36Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyesters
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/36Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyesters
    • B32B27/365Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyesters comprising polycarbonates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B3/00Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form
    • B32B3/26Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by a particular shape of the outline of the cross-section of a continuous layer; characterised by a layer with cavities or internal voids ; characterised by an apertured layer
    • B32B3/30Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by a particular shape of the outline of the cross-section of a continuous layer; characterised by a layer with cavities or internal voids ; characterised by an apertured layer characterised by a layer formed with recesses or projections, e.g. hollows, grooves, protuberances, ribs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04Interconnection of layers
    • B32B7/06Interconnection of layers permitting easy separation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512Light shielding layers, e.g. black matrix
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13394Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13398Spacer materials; Spacer properties
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136209Light shielding layers, e.g. black matrix, incorporated in the active matrix substrate, e.g. structurally associated with the switching element
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2255/00Coating on the layer surface
    • B32B2255/10Coating on the layer surface on synthetic resin layer or on natural or synthetic rubber layer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2255/00Coating on the layer surface
    • B32B2255/20Inorganic coating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2255/00Coating on the layer surface
    • B32B2255/20Inorganic coating
    • B32B2255/205Metallic coating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2255/00Coating on the layer surface
    • B32B2255/26Polymeric coating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2255/00Coating on the layer surface
    • B32B2255/28Multiple coating on one surface
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/40Properties of the layers or laminate having particular optical properties
    • B32B2307/402Coloured
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/40Properties of the layers or laminate having particular optical properties
    • B32B2307/412Transparent
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/40Properties of the layers or laminate having particular optical properties
    • B32B2307/416Reflective
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/40Properties of the layers or laminate having particular optical properties
    • B32B2307/42Polarizing, birefringent, filtering
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/50Properties of the layers or laminate having particular mechanical properties
    • B32B2307/546Flexural strength; Flexion stiffness
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70Other properties
    • B32B2307/748Releasability
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00Electrical equipment
    • B32B2457/20Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
    • B32B2457/202LCD, i.e. liquid crystal displays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13396Spacers having different sizes
    • G02F2001/13398
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2202/00Materials and properties
    • G02F2202/04Materials and properties dye

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

The present application relates to a substrate formed with a specific-shaped spacer, the substrate including an alignment film formed on the spacer, and an optical device and the like using the substrate. In the present application, a structure capable of forming a spacer having a high drop and a desired dark color ensured is able to be presented.

Description

기판{Substrate}[0001]

본 출원은 2017년 7월 27일자 제출된 대한민국 특허출원 제10-2017-0095466호에 기초한 우선권의 이익을 주장하며, 해당 대한민국 특허출원의 문헌에 개시된 모든 내용은 본 명세서의 일부로서 포함된다.This application claims the benefit of priority based on Korean Patent Application No. 10-2017-0095466 filed on July 27, 2017, and the entire contents of which are incorporated herein by reference.

본 출원은 기판에 대한 것이다.The present application is directed to a substrate.

대향 배치된 기판의 사이에 액정 화합물이나, 액정 화합물과 염료의 혼합물 등과 같은 광변조 물질을 배치시켜서 광의 투과율이나 색상 또는 반사도 등을 조절할 수 있도록 한 광학 디바이스는 공지이다. 예를 들면, 특허 문헌 1은 액정 호스트(liqid crystal host)와 이색성 염료 게스트(dichroic dye guest)의 혼합물을 적용한 소위 GH셀(Guest host cell)을 개시하고 있다.Optical devices in which a light modulating material such as a liquid crystal compound or a mixture of a liquid crystal compound and a dye is disposed between substrates disposed opposite to each other to adjust the transmittance, hue, or reflectivity of light is known. For example, Patent Document 1 discloses a so-called GH cell (Guest host cell) applying a mixture of a liquid crystal host (liqid crystal host) and a dichroic dye guest.

이러한 장치에서는 기판 사이의 간격을 유지하기 위해서 소위 스페이서가 상기 기판의 사이에 위치한다.In such a device, so-called spacers are located between the substrates to maintain the spacing between the substrates.

특허문헌 1: 유럽 특허공개공보 제0022311호Patent Document 1: European Patent Publication No. 0022311

본 출원은 기판을 제공한다.The present application provides a substrate.

본 명세서에서 언급하는 물성 중에서 측정 온도가 그 결과에 영향을 미치는 경우에는, 특별히 달리 규정하지 않는 한, 해당 물성은 상온에서 측정한 물성이다. 용어 상온은 가온되거나 감온되지 않은 자연 그대로의 온도로서, 통상 약 10℃ 내지 30℃의 범위 내의 한 온도 또는 약 23℃ 또는 약 25℃ 정도이다. 또한, 본 명세서에서 특별히 달리 언급하지 않는 한, 온도의 단위는 ℃이다.Unless otherwise specified, the physical properties measured at room temperature when the measured temperature affects the result in the properties mentioned in the present specification. The term ambient temperature is a natural, non-warming or non-warming temperature, usually at a temperature within the range of about 10 ° C to 30 ° C, or about 23 ° C or about 25 ° C. In addition, unless otherwise specified herein, the unit of temperature is degrees Celsius.

본 명세서에서 언급하는 물성 중에서 측정 압력이 그 결과에 영향을 미치는 경우에는, 특별히 달리 규정하지 않는 한, 해당 물성은 상압에서 측정한 물성이다. 용어 상압은 가압되거나 감압되지 않은 자연 그대로의 온도로서, 통상 약 1 기압 정도를 상압으로 지칭한다.Unless otherwise specified otherwise, the physical properties measured at normal pressure are those measured when the measured pressure affects the result in the physical properties mentioned in this specification. The term atmospheric pressure is a natural temperature without being pressurized or depressurized, and usually about 1 atm is referred to as atmospheric pressure.

본 출원의 기판은, 기재층 및 상기 기재층상에 존재하는 스페이서를 포함하고, 상기 기재층과 스페이서의 사이에 흑색층을 또한 포함할 수 있다. 이 때 상기 스페이서는 다양한 형상으로 형성될 수 있는데, 예를 들어, 도 1은, 반구형, 원기둥형, 사각기둥형 또는 메쉬형 스페이서의 하부에 흑색층이 형성된 경우를 보여주는 모식도이다. The substrate of the present application includes a base layer and a spacer existing on the base layer, and may also include a black layer between the base layer and the spacer. The spacer may be formed in various shapes. For example, FIG. 1 is a schematic view showing a case where a black layer is formed on a lower portion of a hemispherical, cylindrical, rectangular columnar or mesh spacer.

도 2 및 3도, 본 출원의 예시적인 기판으로서, 기재층(10)상에 상기 스페이서(20)가 존재하는 경우를 보여주는 도면이다.Figs. 2 and 3 are diagrams showing the case where the spacer 20 is present on the base material layer 10 as an example substrate of the present application. Fig.

기재층으로는, 특별한 제한 없이, LCD(Liquid Crystal Display)와 같은 공지의 광학 디바이스의 구성에서 기판에 사용되는 임의의 기재층이 적용될 수 있다. 예를 들면, 기재층은 무기 기재층이거나 유기 기재층일 수 있다. 무기 기재층으로는 글라스(glass) 기재층 등이 예시될 수 있고, 유기 기재층으로는, 다양한 플라스틱 필름 등이 예시될 수 있다. 플라스틱 필름으로는 TAC(triacetyl cellulose) 필름; 노르보르넨 유도체 등의 COP(cyclo olefin copolymer) 필름; PMMA(poly(methyl methacrylate) 등의 아크릴 필름; PC(polycarbonate) 필름; PE(polyethylene) 또는 PP(polypropylene) 등의 폴리올레핀 필름; PVA(polyvinyl alcohol) 필름; DAC(diacetyl cellulose) 필름; Pac(Polyacrylate) 필름; PES(poly ether sulfone) 필름; PEEK(polyetheretherketon) 필름; PPS(polyphenylsulfone) 필름, PEI(polyetherimide) 필름; PEN(polyethylenemaphthatlate) 필름; PET(polyethyleneterephtalate) 필름; PI(polyimide) 필름; PSF(polysulfone) 필름 또는 PAR(polyarylate) 필름 등이 예시될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다.As the substrate layer, any substrate layer used in a substrate in a configuration of a known optical device such as a liquid crystal display (LCD) can be applied without particular limitation. For example, the substrate layer may be an inorganic substrate layer or an organic substrate layer. As the inorganic base layer, a glass base layer and the like can be exemplified. As the organic base layer, various plastic films and the like can be exemplified. Plastic films include TAC (triacetyl cellulose) film; Cycloolefin copolymer (COP) films such as norbornene derivatives; Polyacrylate films such as PMMA (poly (methyl methacrylate), polycarbonate films, polyolefin films such as PE (polyethylene) or PP (polypropylene), polyvinyl alcohol films, DAC (diacetyl cellulose) A polyether sulfone (PES) film, a polyetheretherketone (PES) film, a polyphenylsulfone (PPS) film, a polyetherimide (PEI) film, a polyethylenemaphthatate (PEN) film, a polyethyleneterephtalate (PET) Film or PAR (polyarylate) film, and the like can be exemplified, but are not limited thereto.

하나의 예시에서 상기 기재층은 소위 플렉서블 기재층일 수 있다. 본 출원의 경우 플렉서블 기재층에 대해서도 후술하는 흑색층을 크렉(crack) 등의 결함 없이 효과적으로 형성할 수 있고, 기재층이 적용 용도 등에 따라서 벤딩(bending)되는 경우에도 흑색층의 내구성이 확보될 수 있다. 플렉서블 기재층의 구체적인 종류는 특별히 제한되지 않으며, 전술한 기재층 중에서 주로 플라스틱 필름이나, 박막 유리(thin glass)와 같은 매우 얇은 무기 기재 등도 플렉서블 기재층으로 사용될 수 있다.In one example, the substrate layer may be a so-called flexible substrate layer. In the present application, the black layer to be described later can be effectively formed on the flexible base layer without defects such as cracks and the durability of the black layer can be ensured even when the base layer is bending according to the application purpose or the like have. The specific kind of the flexible substrate layer is not particularly limited, and a plastic film, an extremely thin inorganic substrate such as a thin glass, and the like can be mainly used as the flexible substrate layer.

본 출원의 기판에서 상기 기재층의 두께도 특별히 제한되지 않고, 용도에 따라서 적정 범위가 선택될 수 있다.The thickness of the substrate layer in the substrate of the present application is not particularly limited, and an appropriate range may be selected depending on the application.

기재층상에는 스페이서가 존재한다. 상기 스페이서는 상기 기재층에 고정되어 있을 수 있다. 이러한 경우에 상기 스페이서는 상기 기재층에 직접 접하여 고정되어 있거나, 혹은 기재층과 스페이서의 사이에 다른 층이 존재하는 경우에 해당 다른층상에 고정되어 있을 수 있다. 상기 다른 층의 종류에는 광학 디바이스의 구동에 필요한 공지의 층이 포함되고, 예를 들면, 후술하는 전극층이나 흑색층 등이 예시될 수 있다.Spacers are present on the base layer. The spacer may be fixed to the substrate layer. In this case, the spacer may be fixed directly in contact with the substrate layer, or may be fixed on the other layer if there is another layer between the substrate layer and the spacer. The type of the other layer includes a known layer necessary for driving the optical device, and for example, an electrode layer or a black layer described later can be exemplified.

본 출원의 기판의 일 예시에서는 상기 스페이서는 투명 컬럼 스페이서일 수 있으며, 상기 투명 컬럼 스페이서의 하부에 흑색층이 형성되어 있을 수 있다. In one example of the substrate of the present application, the spacer may be a transparent column spacer, and a black layer may be formed on a lower portion of the transparent column spacer.

상기에서 스페이서가 투명하다는 것은, 가시광 영역 중 적어도 어느 하나의 파장 영역 또는 그 전체 파장 영역의 광에 대한 투과율이 50% 이상, 55% 이상, 60% 이상, 65% 이상, 70% 이상, 75% 이상, 80% 이상, 85% 이상 또는 90% 이상인 경우를 의미하고, 이러한 경우에 상기 투과율의 상한은 특별히 제한되지 않는다. 상기와 같은 투명 컬럼 스페이서는, 투명한 수지를 사용하여 일반적인 컬럼 스페이서의 제조 방법에 따라 형성할 수 있다. 통상 가시광 영역은 대략 380 nm 내지 720 nm의 범위 내이고, 일 예시에서 상기 투과율은 대략 550 nm의 파장에서 측정할 수 있다.When the spacer is transparent, the transmittance of the spacer is at least 50%, at least 55%, at least 60%, at least 65%, at least 70%, at least 75% , Not less than 80%, not less than 85%, or not less than 90%. In this case, the upper limit of the transmittance is not particularly limited. The transparent column spacer may be formed using a transparent resin according to a general method for producing a column spacer. Typically, the visible light region is in the range of approximately 380 nm to 720 nm, and in one example, the transmittance can be measured at a wavelength of approximately 550 nm.

본 출원에서 상기 컬럼 스페이서의 형태는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면, 원기둥형이나 삼각, 사각, 오각 또는 육각 기둥형과 같은 다각 기둥형이나, 후술하는 반구형, 메쉬형 또는 기타 다른 형태가 모두 적용될 수 있다. 도 1은 사각 기둥형의 스페이서(20)가 적용된 단면도이고, 도 2는 반구형 스페이서(20)가 적용된 단면도이다.The shape of the column spacer in the present application is not particularly limited and may be, for example, a cylindrical shape, a polygonal column shape such as a triangular shape, a square shape, a pentagonal shape or a hexagonal column shape, or a hemispherical shape, mesh shape, . FIG. 1 is a cross-sectional view to which a square columnar spacer 20 is applied, and FIG. 2 is a cross-sectional view to which a hemispherical spacer 20 is applied.

본 출원에서 상기 투명 컬럼 스페이서의 하부, 즉 상기 투명 컬럼 스페이서와 기재층의 사이에는 흑색층이 존재한다.In the present application, there is a black layer below the transparent column spacer, i.e. between the transparent column spacer and the substrate layer.

본 명세서에서 용어 상부는, 기재층에서 상기 기재층상에 형성된 스페이서를 향하는 방향을 의미하고, 하부는 상기 상부의 반대 방향을 의미한다. 또한, 상기에서 흑색층은 광학 밀도(optical density)가 대략 1 내지 6 정도인 층을 의미할 수 있다. 상기 흑색층은, 기판의 상부 및 하부 중 어느 한 방향에서 관찰하였을 때에 상기 광학 밀도를 나타낼 수도 있고, 경우에 따라서는 상부 및 하부 양측 모두에서 관찰하였을 때에 상기 광학 밀도를 나타낼 수 있다. 상기 광학 밀도는, 상기 흑색층의 투과율(transmittance, 단위: %)을 측정한 후에 이를 광학 밀도의 수식(광학 밀도= -log10(T), T는 상기 투과율)에 대입하여 구할 수 있다. 광학 밀도는, 다른 예시에서 약 1.5 이상, 2 이상, 2.5 이상, 3 이상, 3.5 이상, 4 이상 또는 4.5 이상 정도일 있거나, 약 5.5 이하 또는 5 이하 정도일 수 있다.In this specification, the term top refers to the direction from the base layer toward the spacer formed on the base layer, and the bottom refers to the opposite direction of the top. In addition, the black layer may mean a layer having an optical density of about 1 to about 6. The black layer may exhibit the optical density when observed in either the upper or lower direction of the substrate, and in some cases may exhibit the optical density when observed on both the upper and lower sides. The optical density can be obtained by measuring the transmittance (unit:%) of the black layer and then substituting it into the optical density (optical density = -log 10 (T) and T = transmittance). The optical density may be about 1.5 or more, 2 or more, 2.5 or more, 3 or more, 3.5 or more, 4 or more or 4.5 or more, or about 5.5 or less or about 5 or less in other examples.

광의 투과율, 색상 및/또는 반사도를 조절할 수 있는 광학 디바이스에서 스페이서가 존재하는 영역은 광학적으로 비활성 영역이 된다. 따라서, 경우에 따라서는 상기 스페이서가 존재하는 영역을 블랙화할 필요성이 있다. 이를 위해서, 예를 들면, 스페이서 자체를 블랙으로 하는 방법, 예를 들면, 블랙 수지를 사용하여 컬럼 스페이서를 제작하는 방법을 고려할 수 있지만, 이러한 경우에는 블랙 수지 자체가 광을 흡수하게 되어 경화 공정이 쉽지 않기 때문에 고단차의 스페이서를 제작하는 것이 용이하지 않다. 그러나, 상기와 같은 구조의 도입을 통해 고단차로 형성되면서도 광학 디바이스 구동 시에 비활성 영역에 의한 광학 특성의 저하를 방지하는 기판을 형성할 수 있다.In an optical device capable of adjusting the transmittance, hue and / or reflectivity of light, the area where the spacer is present becomes optically inactive. Therefore, in some cases, it is necessary to blacken the area where the spacer exists. For this purpose, for example, a method in which the spacer itself is made black, for example, a method of manufacturing a column spacer using a black resin can be considered, but in such a case, the black resin itself absorbs light, It is not easy to manufacture a spacer of a high-end car. However, through the introduction of the above-described structure, it is possible to form a substrate which is formed as a high-stage gap, and which prevents deterioration of optical characteristics due to inactive regions when the optical device is driven.

예를 들면, 상기 스페이서의 높이는 1㎛ 내지 50㎛의 범위 내에 있을 수 있다. 상기 높이는 다른 예시에서 3㎛ 이상, 5㎛ 이상, 7㎛ 이상, 9㎛ 이상, 11㎛ 이상, 13㎛ 이상, 15㎛ 이상, 17㎛ 이상, 19㎛ 이상, 21㎛ 이상, 23㎛ 이상, 25㎛ 이상 또는 27㎛ 이상일 수 있으며, 48㎛ 이하, 46㎛ 이하, 44㎛ 이하, 42㎛ 이하, 40㎛ 이하, 38㎛ 이하, 36㎛ 이하, 34㎛ 이하, 32㎛ 이하, 30㎛ 이하, 28㎛ 이하 또는 26㎛ 이하일 수도 있다.For example, the height of the spacer may be in the range of 1 탆 to 50 탆. The height may be 3 탆 or more, 5 탆 or more, 7 탆 or more, 9 탆 or more, 11 탆 or more, 13 탆 or more, 15 탆 or more, 17 탆 or more, 19 탆 or more, 21 탆 or more, 48 μm or less, 44 μm or less, 42 μm or less, 40 μm or less, 38 μm or less, 36 μm or less, 34 μm or less, 32 μm or less, 30 μm or less, 28 μm or less, Mu m or less or 26 mu m or less.

상기 흑색층은, 흑색을 구현할 수 있는 다양한 소재를 사용하여 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 흑색층은, 금속층, 금속 산화물층, 금속 질화물층 또는 금속 산질화물층이거나, 안료 또는 염료를 포함하는 층일 수 있다.The black layer may be formed using various materials capable of realizing black. For example, the black layer may be a metal layer, a metal oxide layer, a metal nitride layer or a metal oxynitride layer, or a layer containing a pigment or a dye.

흑색층의 구체적인 소재는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면, 금(Au), 납(Pb, lead), 니오븀(Nb), 팔라듐(Pd), 플래티늄(Pt), 은(Ag), 바나듐(V), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 니켈(Ni), 바나듐(V), 텅스텐(W), 탄탈(Ta), 몰리브덴(Mo), 티탄(Ti), 철(Fe), 크롬(Cr) 또는 코발트(Co) 등의 금속, 상기 금속 중 2종 이상을 포함하는 합금 금속, 상기 금속의 산화물, 질화물 또는 산질화물 등이 사용될 수 있고, 흑색을 구현할 수 있는 다양한 안료 또는 염료도 사용될 수 있다.The specific material of the black layer is not particularly limited and includes, for example, Au, Pb, Nb, Pd, ), Tin (Sn), aluminum (Al), copper (Cu), nickel (Ni), vanadium (V), tungsten (W), tantalum (Ta), molybdenum A metal such as chromium (Cr) or cobalt (Co), an alloy metal containing two or more of the above metals, an oxide, a nitride or an oxynitride of the above metal, Dyes may also be used.

목적에 따라 상기 흑색층은, 단층 구조이거나 다층 구조일 수 있다. 일 예시에서 공정의 효율성을 확보하면서도 목적하는 암색화를 달성할 수 있게 하기 위해 상기 흑색층은 다층 구조일 수 있다. 예를 들면, 상기 흑색층은, 금속층인 제 1 층과 금속 산화물층, 금속 질화물층 또는 금속 산질화물층인 제 2 층을 포함하는 2층 구조 또는 상기 제 1 층의 양측에 상기 제 2 층이 형성되어 있는 3층 구조의 다층 구조일 수 있다. 상기 제 2 층은 일 예시에서 금속 산질화물층일 수 있다. 도 4 및 5는 상기와 같은 제 1 층(301)과 제 2 층(302)이 형성된 3층 구조의 흑색층이 형성된 기판의 예시이다. 이와 같은 다층 구조에서는 상기 제 1 층과 제 2 층이 나타내는 고유의 굴절률, 투과 특성 및/또는 반사 특성이 서로 연계되어 적절한 암색화가 달성될 수 있으며, 특히 상기 언급한 3층 이상의 다층 구조의 경우 흑색층의 양면 모두에서 적절한 암색화가 달성될 수 있다. 상기 제 1 층 및 제 2 층에서 사용되는 금속, 금속 산화물, 금속 질화물 및/또는 금속 산질화물의 구체적인 종류는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면, 상기 언급된 재료 중에서 적절한 종류가 선택될 수 있다. 하나의 예시에서는 상기 제 2 층은 상기 제 1 층에서 적용된 것과 동일한 금속을 포함하는 산화물, 질화물 또는 산질화물을 가질 수 있다.Depending on the purpose, the black layer may have a single-layer structure or a multi-layer structure. In one example, the black layer may have a multi-layer structure so as to achieve the desired darkening while ensuring the efficiency of the process. For example, the black layer may have a two-layer structure including a first layer which is a metal layer and a second layer which is a metal oxide layer, a metal nitride layer or a metal oxynitride layer, or a two- Layer structure having a three-layer structure formed thereon. The second layer may be a metal oxynitride layer in one example. 4 and 5 are views showing a substrate on which a black layer having a three-layer structure formed with the first layer 301 and the second layer 302 as described above is formed. In such a multi-layer structure, the proper refractive index, transmission characteristic and / or reflection characteristic of the first layer and the second layer may be correlated with each other to attain an appropriate dark coloration. In particular, in the case of the above- Appropriate darkening can be achieved on both sides of the layer. The specific kind of the metal, the metal oxide, the metal nitride and / or the metal oxynitride used in the first layer and the second layer is not particularly limited, and for example, a suitable kind among the above-mentioned materials can be selected. In one example, the second layer may have an oxide, nitride, or oxynitride containing the same metal as applied in the first layer.

상기와 같은 스페이서와 흑색층은, 상부 또는 하부에서 관찰하였을 때에 서로 서로 중첩되어 있을 수 있다.The spacer and the black layer may be overlapped with each other when viewed from the top or the bottom.

상기 흑색층은, 상기 스페이서의 바닥부와 동일하거나 그보다 작은 면적을 가질 수 있다. 즉, 예를 들어, 흑색층은 실질적으로 스페이서가 존재하는 면적 내에서만 존재할 수 있다. 예를 들면, 상기 흑색층의 면적(B)과 상기 스페이서의 바닥부의 면적(T)의 비율(T/B)은 0.5 내지 1.5의 범위 내일 수 있다. 상기 비율(T/B)은 다른 예시에서 약 0.55 이상, 약 0.6 이상, 약 0.65 이상, 약 0.7 이상, 약 0.75 이상, 약 0.8 이상, 약 0.85 이상, 약 0.9 이상 또는 약 0.95 이상일 수 있다. 또한, 상기 비율(T/B)은 다른 예시에서 약 1.45 이하, 약 1.4 이하, 약 1.35 이하, 약 1.3 이하, 약 1.25 이하, 약 1.2 이하, 약 1.15 이하, 약 1.1 이하 또는 약 1.05 이하일 수 있다. 이와 같은 배치에서 스페이서의 기판에 대한 적절한 부착력을 확보하면서, 광학 디바이스의 구동 시에 빛샘 등이 유발되는 것을 적절하게 방지할 수 있다.The black layer may have an area equal to or less than the bottom of the spacer. That is, for example, the black layer may exist only substantially within the area where the spacer is present. For example, the ratio (T / B) of the area (B) of the black layer to the area (T) of the bottom of the spacer may be in the range of 0.5 to 1.5. In another example, the ratio T / B may be about 0.55 or more, about 0.6 or more, about 0.65 or more, about 0.7 or more, about 0.75 or more, about 0.8 or more, about 0.85 or more, about 0.9 or more or about 0.95 or more. In another example, the ratio T / B may be about 1.45 or less, about 1.4 or less, about 1.35 or less, about 1.3 or less, about 1.25 or less, about 1.2 or less, about 1.15 or less, about 1.1 or less, . In this arrangement, it is possible to appropriately prevent the occurrence of light leakage or the like when the optical device is driven while ensuring a proper adhesion force of the spacer to the substrate.

상기와 같은 흑색층은, 목적하는 단차 및 암색화 등을 고려하여 적절한 두께를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 흑색층의 두께는, 30 nm 내지 5000 nm의 범위 내에 있을 수 있다. 또한, 흑색층이 다층 구조로 형성되는 경우의 각 층의 두께도 목적하는 단차 및/또는 암색화 등을 고려하여 선택할 수 있다. 예를 들면, 상기 언급한 다층 구조에서 제 1 층 및 제 2 층의 각각은, 30 nm 내지 200 nm의 범위 내에서 두께를 가질 수 있다. The black layer may have an appropriate thickness in consideration of a desired level difference and darkening. For example, the thickness of the black layer may be in the range of 30 nm to 5000 nm. Further, the thickness of each layer in the case where the black layer is formed into a multilayer structure can be selected in consideration of the desired level difference and / or darkening. For example, in the above-mentioned multi-layer structure, each of the first and second layers may have a thickness within a range of 30 nm to 200 nm.

일 예시에서 상기 흑색층은, 물리적 연성(Physical Ductility)값이 0.6 이상인 소재를 기반으로 형성될 수 있다. 본 명세서에서 용어 물리적 연성값은, 소재별로 업계에서 공지된 값이며, 재료의 푸아송비(Poisson ratio)(v)를 기반으로 하기 수식 A 및 B를 통해서 구해지는 값이다. 물리적 연성값은 0 내지 1의 범위 내의 값을 가지고, 1에 가까울수록 Ductile한 특성을 가지는 것을 의미한다.In one example, the black layer may be formed based on a material having a physical ductility value of 0.6 or more. As used herein, the term " physical softness value " is a value known in the industry per material, and is a value obtained through the following equations A and B based on the Poisson ratio (v) of the material. The physical ductility value has a value within the range of 0 to 1, and the closer to 1, the more ductile the property.

[수식 A][Formula A]

Figure pat00001
Figure pat00001

수식 A에서 v는 재료의 푸아송비이다.In Equation A, v is the Poisson's ratio of the material.

[수식 B][Formula B]

Figure pat00002
Figure pat00002

수식 B에서 D는 물리적 연성값이고, x는 수식

Figure pat00003
로 구해지는 값이며, 상기에서 κ는 수식 A에서 구해지는 값이다.In equation (B), D is the physical ductility value, and x is the equation
Figure pat00003
. In the above, κ is a value obtained from the equation A.

상기 흑색층은 상기 물리적 연성(Physical Ductility)값이 0.55 이상인 소재를 포함할 수 있고, 상기 소재는 예를 들면 금속일 수 있다. 상기와 같은 소재를 적용함으로써 흑색층의 형성 과정이나, 기판이 용도에 따라서 벤딩되는 경우 등에 있어서 크랙이 발생하거나, 기타 결점(Defect)이 발생하는 문제를 해결할 수 있다. 상기 물리적 연성치는 다른 예시에서 약 1 이하, 약 0.95 이하, 약 0.9 이하, 약 0.85 이하, 약 0.8 이하, 약 0.75 이하, 약 0.7 이하 또는 약 0.65 이하 정도일 수도 있고, 약 0.6 이상일 수도 있다. 이러한 소재로는, 예를 들면, 금(Au, Physical Ductility: 약 0.93), 납(Pb, lead, Physical Ductility: 약 0.93), 니오븀(Nb, Physical Ductility: 약 0.82), 팔라듐(Pd, Physical Ductility: 약 0.80), 플래티늄(Pt, Physical Ductility: 약 0.76), 은(Ag, Physical Ductility: 약 0.73), 바나듐(V, Physical Ductility: 약 0.73), 주석(Sn, Physical Ductility: 약 0.69), 알루미늄(Al, Physical Ductility: 약 0.65) 또는 구리(Cu, Physical Ductility: 약 0.62) 등이 예시될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The black layer may include a material having a physical ductility value of 0.55 or more, and the material may be, for example, metal. By applying such a material as described above, it is possible to solve a problem that a crack occurs or other defects occur in the process of forming the black layer, the case where the substrate is bent according to the use, and the like. The physical ductility value may be about 1 or less, about 0.95 or less, about 0.9 or less, about 0.85 or less, about 0.8 or less, about 0.75 or less, about 0.7 or about 0.65 or less, or about 0.6 or more. Examples of such materials include gold (Au, Physical Durability: about 0.93), lead (Pb, lead, Physical Ductility: about 0.93), niobium (Nb, Physical Ductility: about 0.82), Pd About 0.80), platinum (Pt, Physical Ductility: about 0.76), silver (Ag, Physical Ductility: about 0.73), V (Physical Ductility: about 0.73), tin (Al, Physical Ductility: about 0.65) or copper (Cu: Physical Density: about 0.62), but the present invention is not limited thereto.

본 명세서에서 이미 기술한 흑색층과 관련된 내용은 상기 물리적 연성치가 0.6 이상인 소재를 사용하여 동일하게 적용될 수 있다.The content related to the black layer already described in this specification can be equally applied using a material having the physical softness value of 0.6 or more.

예를 들면, 금속층, 금속 산화물층, 금속 질화물층 및/또는 금속 산질화물층은 상기 물리적 연성값이 0.6 이상인 금속을 사용하여 형성할 수 있고, 단층 또는 다층 여부, 두께, 기타 형태 등에 대한 내용도 동일하게 적용될 수 있다.For example, the metal layer, the metal oxide layer, the metal nitride layer, and / or the metal oxynitride layer can be formed using a metal having a physical softness value of 0.6 or more, and the content of the single layer or multi layer, thickness, The same can be applied.

흑색층과 함께 형성되는 스페이서의 형태는 전술한 바와 같이 특별히 제한되지 않는다.The shape of the spacer formed together with the black layer is not particularly limited as described above.

일 예시에서 상기 스페이서는, 적어도 상부에는 반구부가 형성되어 있는 반구형 스페이서일 수 있다. 이러한 반구부를 가지는 스페이서를 적용함으로써, 상기 스페이서가 형성된 기재층에 배향막을 형성한 후에 러빙 배향 또는 광배향 등의 배향 처리를 진행하는 경우에도 상기 스페이서에 의한 단차의 영향 없이 스페이서가 존재하는 영역에서도 균일한 배향 처리가 가능하게 된다.In one example, the spacer may be a hemispherical spacer having at least a hemispherical portion formed thereon. By applying the spacer having such a hemispherical portion, even when the alignment treatment such as rubbing alignment or photo alignment is performed after the alignment layer is formed on the base layer on which the spacer is formed, even in the region where the spacer exists, An alignment process can be performed.

본 출원에서 용어 반구부는, 그 단면의 궤적이 소정 곡률을 가지는 곡선 형태를 포함하는 스페이서의 부위를 의미할 수 있다. 또한, 상기 반구부의 단면의 궤적은 적어도 곡률 중심이 상기 단면 궤적의 내부에 존재하는 곡선 부위를 포함할 수 있다.The term hemispherical portion in the present application may mean a portion of a spacer including a curved shape in which the trajectory of the cross section has a predetermined curvature. In addition, the trajectory of the cross section of the hemispherical portion may include a curved portion in which the center of curvature exists inside the cross section trajectory.

일 예시에서 상기 반구부는, 그 단면 궤적의 최대 곡률이 2,000 mm-1 이하일 수 있다. 공지된 것과 같이 곡률은 선의 굽은 정도를 표현하는 수치이고, 해당 곡선의 소정의 지점의 접촉원의 반경인 곡률 반경의 역수로 정의된다. 직선의 경우, 곡률은 0이며, 곡률이 클수록 곡선은 더 굽어서 존재한다. In one example, the hemispherical portion may have a maximum curvature of a cross-sectional locus of 2,000 mm < -1 > or less. As is known, the curvature is a numerical value representing the degree of curvature of a line, and is defined as an inverse number of a radius of curvature which is a radius of a contact point at a predetermined point of the curve. In the case of a straight line, the curvature is zero, and as the curvature increases, the curve bends further.

상기 반구부의 단면 궤적의 최대 곡률이 2,000 mm-1 이하가 되도록 반구부의 굽은 정도를 제어함으로 해서 해당 반구부의 상부에서 배향막의 배향 처리가 수행되는 경우에도 균일한 배향 처리가 진행될 수 있다. 상기에서 반구부의 단면 궤적을 확인하는 단면은, 상기 기재층에 대한 임의의 법평면일 수 있다. 또한, 최대 곡률은, 상기 반구부의 단면 궤적상에서 구해질 수 있는 모든 접촉원에 대한 곡률 중에서 가장 큰 곡률을 의미할 수 있다. 다시 말해서, 상기 반구부의 단면 궤적은 곡률이 2,000 mm-1를 초과할 정도로 굽어진 부위를 포함하지 않을 수 있다. The degree of curvature of the hemispherical portion is controlled so that the maximum curvature of the cross-sectional locus of the hemispherical portion is 2,000 mm < -1 > or less so that uniform alignment treatment can be performed even when the alignment treatment of the alignment layer is performed on the hemispherical portion. The section for confirming the cross-sectional locus of the hemispherical portion may be any arbitrary plane for the base layer. In addition, the maximum curvature may mean the largest curvature among the curvatures for all the contact sources that can be obtained on the cross-sectional locus of the hemispherical portion. In other words, the end face of said hemispherical locus may not include a portion bent to a curvature greater than about 2,000 mm -1.

최대 곡률은 다른 예시에서 1,800 mm-1 이하, 1,600 mm-1 이하, 1,400 mm-1 이하, 1,200 mm-1 이하, 1,000 mm-1 이하, 900 mm-1 이하, 950 mm-1 이하, 850 mm-1 이하, 800 mm-1 이하, 750 mm-1 이하, 700 mm-1 이하, 650 mm-1 이하, 600 mm-1 이하, 550 mm-1 이하, 500 mm-1 이하, 450 mm-1 이하, 400 mm-1 이하, 350 mm-1 이하, 300 mm-1 이하, 250 mm-1 이하, 200 mm-1 이하 또는 150 mm-1 이하 정도일 수 있다. 상기 최대 곡률은, 다른 예시에서 5 mm-1 이상, 10 mm-1 이상, 15 mm-1 이상, 20 mm-1 이상, 25 mm-1 이상, 30 mm-1 이상, 35 mm-1 이상, 40 mm-1 이상, 45 mm-1 이상 또는 50 mm-1 이상일 수 있다.In other examples, the maximum curvature may be less than 1,800 mm -1, less than 1,600 mm -1, less than 1,400 mm -1, less than 1,200 mm -1, less than 1,000 mm -1, less than 900 mm -1, less than 950 mm -1 , -1 or less, 800 mm -1 or less, 750 mm -1 or less, 700 mm -1 or less, 650 mm -1 or less, 600 mm -1 or less, 550 mm -1 or less, 500 mm -1 or less, 450 mm -1 , Not more than 400 mm -1, not more than 350 mm -1, not more than 300 mm -1, not more than 250 mm -1, not more than 200 mm -1, or not more than 150 mm -1 . The maximum curvature may be at least 5 mm -1, at least 10 mm -1, at least 15 mm -1, at least 20 mm -1, at least 25 mm -1, at least 30 mm -1, at least 35 mm -1 , At least 40 mm -1, at least 45 mm -1, or at least 50 mm -1 .

상기 반구부의 단면 궤적은 곡률이 0인 부위, 즉 직선 형태의 부위를 포함하거나, 포함하지 않을 수 있다.The cross-sectional locus of the hemispherical portion may or may not include a portion having a curvature of zero, that is, a linear portion.

예를 들면, 도 8은 상기 곡률이 0인 부위를 포함하지 않는 반구부의 단면 궤적의 예시이고, 도 9는 곡률이 0인 부위를 포함하는 반구부의 단면 궤적의 예시이다.For example, FIG. 8 shows an example of a cross section of a hemispherical portion that does not include a portion having a curvature of 0, and FIG. 9 shows an example of a cross section of a hemispherical portion including a portion having a curvature of zero.

상기 스페이서는 상기와 같은 반구부를 적어도 상부에 포함할 수 있다. 스페이서는 상기 반구부를 포함하는 한, 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 반구형 스페이서는, 도 8 또는 9에 나타난 것처럼 기재층(100) 표면상에 상기 반구부가 직접 형성된 형태이거나, 도 10 또는 11에 나타난 것처럼 상부에 상기 반구부를 포함하는 기둥 형태의 스페이서일 수 있다.The spacer may include at least the hemispherical portion as described above. The spacer may be formed in various shapes as long as it includes the hemispherical portion. For example, the hemispherical spacer may have a shape in which the hemisphere is directly formed on the surface of the base layer 100 as shown in FIG. 8 or 9, or a columnar spacer including the hemisphere as shown in FIG. 10 or 11, Lt; / RTI >

상기 반구형 스페이서의 반구부는, 도 8 또는 10에 나타난 바와 같이 그 단면 궤적이 곡률이 0인 부위를 포함하지 않을 수 있으며, 또는 도 9나 도 11에 나타난 것처럼 그 단면 궤적이 곡률이 0인 부위(정상부에 평편한 면)를 포함하는 것일 수도 있다. 이하, 명세서에서는, 편의상 도 8 또는 10의 스페이서의 반구부와 같은 형태의 반구부를 통상 반구부로 호칭하고, 도 9 또는 11의 스페이서의 반구부와 같이 상부에 평편한 면이 형성되어 있는 형태의 반구부를 평편 반구부라고 호칭할 수 있다.The hemispherical portion of the hemispherical spacer may not include a portion having a curvature of zero as shown in FIG. 8 or 10, or a portion having a curvature of zero as shown in FIG. 9 or 11 And a flat surface on the top). Hereinafter, for convenience, the hemispherical portion of the same shape as that of the hemispherical portion of the spacer of FIG. 8 or 10 is referred to as a hemispherical portion, and a hemispherical portion of a shape having a flat surface at the upper portion like the hemispherical portion of the spacer of FIG. The portion can be referred to as a flat hemispherical portion.

도 8 내지 11에서 H2는 반구부의 높이이고, R은 반구부의 곡률 반경이며, W1은 평편 반구부의 평편한 면의 길이(폭)이며, W2는 스페이서의 폭이고, H1은 스페이서의 전체 높이에서 반구부의 높이(H2)를 뺀 값이다.8 to 11, H2 is the height of the hemispherical portion, R is the radius of curvature of the hemispherical portion, W1 is the length (width) of the flat surface of the flat hemispherical portion, W2 is the width of the spacer, H1 is the height Min < / RTI >

상기 반구부는 완전한 반구 형태이거나 혹은 대략적으로 반구 형태를 가지는 것일 수 있다. 완전한 반구 형태는 후술하는 관계식 1을 만족하는 반구 형태이고, 대략적인 반구 형태는 하기 관계식 2 내지 4 중 어느 하나를 만족하는 반구 형태일 수 있다.The hemispherical portion may be a complete hemispherical shape or an approximately hemispherical shape. The complete hemispherical shape is a hemispherical shape that satisfies the following relational expression 1, and the approximate hemispherical shape can be a hemispherical shape that satisfies any of the following relational expressions 2 to 4.

상기 반구부는 그 단면 형태가 하기 관계식 1 내지 4 중 어느 하나를 만족하는 형태일 수 있다. The hemispherical section may have a shape in which the cross-sectional shape satisfies any one of the following relational formulas (1) to (4).

[관계식 1][Relation 1]

a = b = Ra = b = R

[관계식 2][Relation 2]

a ≠ b = R or b≠a = Ra? b = R or b? a = R

[관계식 3][Relation 3]

a = b < Ra = b < R

[관계식 4][Relation 4]

a ≠ b < Ra ≠ b <R

관계식 1 내지 4에서 a는 반구부 단면의 가상 접촉원의 중심에서 측정한 반구부 단면의 수평 길이이고, b는 반구부 단면의 가상 접촉원의 중심에서 측정한 반구부 단면의 수직 길이며, R은 반구부 단면의 가상 접촉원의 곡률 반경이다.In the relational expressions 1 to 4, a is the horizontal length of the hemispherical section measured at the center of the imaginary contact circle of the hemispherical section, b is the vertical length of the hemispherical section measured at the center of the virtual contact circle of the hemispherical section, Is the radius of curvature of the imaginary contact circle of the hemispherical section.

관계식 1 내지 4에서의 곡률 반경은 도 8 내지 11의 R로 표시되어 있는 길이에 대응한다.The curvature radii in the relational expressions 1 to 4 correspond to the lengths indicated by R in Figs. 8 to 11.

관계식 1 내지 4에서 가상 접촉원은, 반구부를 형성하는 곡선에 접하는 복수의 가상의 접촉원 중에서 가장 곡률 반경이 큰 접촉원을 의미할 수 있다. In the relational expressions 1 to 4, the virtual contact circle may mean a contact circle having the largest radius of curvature among a plurality of imaginary contact radii in contact with the curved line forming the hemispherical portion.

반구부가 도 8 및 10에 나타난 것과 같은 통상 반구부라면, 반구부 전체의 단면이 곡선이기 때문에 해당 곡선의 임의의 지점하는 복수의 가상의 접촉원 중에서 가장 곡률 반경이 큰 접촉원이 관계식 1 내지 4에서 말하는 가상 접촉원일 수 있다. 또한, 반구부가 도 9 및 11에 나타난 것과 같이 평편 반구부라면, 반구부 단면 중에서 상부의 평편한 선을 제외한 양측 곡선의 임의의 지점하는 복수의 가상의 접촉원 중에서 가장 곡률 반경이 큰 접촉원이 관계식 1 내지 4에서 말하는 가상 접촉원이 된다.Since the cross section of the hemispherical portion as a whole is curved in the case of the hemispherical portion as shown in Figs. 8 and 10, the contact circle having the greatest radius of curvature among the plurality of imaginary contact radii at arbitrary points of the curved line is expressed by the relational expressions 1 to 4 Can be a virtual contact circle. 9 and 11, if the hemispherical portion is a flat hemispherical portion, a contact circle having the greatest radius of curvature among a plurality of imaginary contact radii, which are arbitrary points of both curves except for the upper flat line, It becomes a virtual contact circle as referred to in relational expressions 1 to 4.

관계식 1 내지 4에서 수평 길이는, 상기 가상 접촉원의 중심점에서 기재층 표면(도 8 내지 11의 부호 100)과 수평한 방향으로 측정한 길이고, 수직 길이는 상기 가상 접촉원의 중심점에서 기재층 표면(도 8 내지 11의 부호 100)과 수직한 방향으로 측정한 길이다.In the relational expressions 1 to 4, the horizontal length is a length measured in a direction parallel to the base layer surface (100 in Figs. 8 to 11) at the center point of the virtual contact circle, (100 in Figs. 8 to 11).

관계식 1 내지 4에서 a는 반구부 단면의 상기 가상 접촉원의 중심에서부터 수평 방향으로 진행하면서 측정한 반구부가 종료되는 지점까지의 길이다. 이러한 수평 길이는 상기 가상 접촉원의 중심에서 우측 방향으로 진행하면서 측정되는 길이와 좌측 방향으로 진행하면서 측정되는 2개의 길이가 있을 수 있는데, 관계식 1 내지 4에서 적용되는 a는 상기 2개의 길이 중에서 짧은 길이를 의미한다. 도 8 및 10의 형태의 반구부의 경우 상기 수평 길이(a)는 스페이서의 폭(W2)의 1/2에 대응하는 수치이다. 또한, 도 9 및 11과 같은 경우에 상기 수평 길이(a)의 2배에 평편부의 길이(폭)(W1)를 더한 수치(2a+W1)가 스페이서의 폭(W2)에 대응할 수 있다.In the relational expressions 1 to 4, a is the distance from the center of the imaginary contact circle of the hemispherical section in the horizontal direction to the point where the hemispherical portion measured ends. The horizontal length may be a length measured from the center of the virtual contact circle in the rightward direction and two lengths measured in the leftward direction. The a applied in the relational expressions 1 to 4 is a short length of the two lengths Length. 8 and 10, the horizontal length a is a numerical value corresponding to 1/2 of the width W2 of the spacer. 9 and 11, the value (2a + W1) obtained by adding the length (width) W1 of the flat portion to twice the horizontal length (a) may correspond to the width W2 of the spacer.

관계식 1 내지 4에서 b는 반구부 단면의 상기 가상 접촉원의 중심에서부터 수직 방향으로 상부로 진행하면서 반구부와 최초로 만나는 지점까지의 길이다. 이러한 수직 길이(b)는 통상적으로 반구부의 높이, 예를 들면, 도 8 내지 11에서 부호 H2로 표시되는 길이와 대략 동일할 수 있다.In the relational expressions 1 to 4, b is the distance from the center of the virtual contact circle of the hemispherical cross section to the point where the hemispherical portion first contacts with the hemisphere portion in the vertical direction. This vertical length (b) can be generally the same as the height of the hemispherical portion, for example, the length denoted by H2 in Figs. 8 to 11.

도 12는, 상기 관계식 1을 만족하는 반구부의 단면 곡선의 형태로서 반구부의 곡선이 완전한 원의 곡선, 즉 상기 가상 접촉원과 일치하는 곡선을 가지는 경우를 나타낸다. Fig. 12 shows a case where the curved line of the hemispherical portion of the hemispherical portion satisfying the above-mentioned relational expression 1 has a complete circle curve, that is, a curve having the same curvature as the virtual contact circle.

또한, 도 13 내지 17은 관계식 2 내지 4 중 어느 하나를 만족하는 대략적인 반구부의 곡선 형태를 나타낸다.13 to 17 show a curved shape of the approximate hemispherical portion satisfying any of relational expressions 2 to 4. [

상기 스페이서의 하부, 예를 들면, 상기 기재층측과 접촉하는 하부에는 그 단면 궤적이 곡률 중심이 상기 단면의 외부에 형성되는 곡선 형태인 테이퍼부가 형성되어 있을 수 있다. 이러한 형태에 의해 본 출원의 스페이서의 특유의 형상에 따른 우수한 효과, 예를 들면, 균일한 배향 처리의 달성 등이 보다 향상될 수 있다.A tapered portion may be formed at a lower portion of the spacer, for example, at a lower portion contacting the base layer side, the curved portion having a curvature center on the outer surface of the cross section. With this form, an excellent effect according to the specific shape of the spacer of the present application, for example, achievement of a uniform alignment treatment can be further improved.

상기와 같은 형태의 스페이서의 치수는 특별히 제한되지 않고, 예를 들면, 목적하는 광학 디바이스의 셀갭(cell gap)이나, 개구율 등을 고려하여 적절하게 선택될 수 있다.The dimensions of the spacer of the above-described type are not particularly limited, and can be suitably selected in consideration of, for example, the cell gap of the desired optical device, the aperture ratio, and the like.

예를 들면, 상기 반구부의 높이(도 8 내지 11에서의 H2)는 1㎛ 내지 20㎛의 범위 내에 있을 수 있다. 상기 높이는 다른 예시에서 2㎛ 이상, 3㎛ 이상, 4㎛ 이상, 5㎛ 이상, 6㎛ 이상, 7㎛ 이상, 8㎛ 이상, 9㎛ 이상, 10㎛ 이상 또는 11㎛ 이상일 수 있다. 상기 높이는 또한 다른 예시에서 19㎛ 이하, 18㎛ 이하, 17㎛ 이하, 16㎛ 이하, 15㎛ 이하, 14㎛ 이하, 13㎛ 이하, 12㎛ 이하 또는 11㎛ 이하일 수 있다. For example, the height of the hemispherical portion (H2 in Figs. 8 to 11) may be in the range of 1 탆 to 20 탆. The height may be 2 탆 or more, 3 탆 or more, 4 탆 or more, 5 탆 or more, 6 탆 or more, 7 탆 or more, 8 탆 or more, 9 탆 or more, 10 탆 or 11 탆 or more in another example. The height may also be 19 μm or less, 18 μm or less, 17 μm or less, 16 μm or less, 15 μm or less, 14 μm or less, 13 μm or less, 12 μm or less or 11 μm or less in other examples.

또한, 상기 반구부의 폭(도 8 내지 11에서의 W2)은, 2㎛ 내지 40㎛의 범위 내에 있을 수 있다. 상기 폭은 다른 예시에서 4㎛ 이상, 6㎛ 이상, 8㎛ 이상, 10㎛ 이상, 12㎛ 이상, 14㎛ 이상, 16㎛ 이상, 18㎛ 이상, 20㎛ 이상 또는 22㎛ 이상일 수 있다. 상기 폭은 다른 예시에서 38㎛ 이하, 36㎛ 이하, 34㎛ 이하, 32㎛ 이하, 30㎛ 이하, 28㎛ 이하, 26㎛ 이하, 24㎛ 이하 또는 22㎛ 이하일 수 있다.Further, the width of the hemispherical portion (W2 in Figs. 8 to 11) may be in the range of 2 탆 to 40 탆. The width may be 4 탆 or more, 6 탆 or more, 8 탆 or more, 10 탆 or more, 12 탆 or more, 14 탆 or more, 16 탆 or more, 18 탆 or more, 20 탆 or 22 탆 or more in other examples. The width may be 38 μm or less, 36 μm or less, 34 μm or less, 32 μm or less, 30 μm or less, 28 μm or less, 26 μm or less, 24 μm or less or 22 μm or less in other examples.

상기 스페이서의 높이는, 스페이서가 도 8 또는 9와 같은 형태인 경우에 상기 기술한 반구부의 높이와 동일하고, 도 10 및 11과 같은 형태의 경우, 상기 반구부의 높이에 기둥부의 높이(H1)를 더한 수치일 수 있다. 상기 높이는 일 예시에서 1㎛ 내지 50㎛의 범위 내에 있을 수 있다. The height of the spacer is the same as the height of the hemispherical portion when the spacer has the shape as shown in FIG. 8 or 9, and in the case of the shapes as shown in FIGS. 10 and 11, the height of the hemispherical portion plus the height H1 of the column It can be a number. The height may be in the range of 1 [mu] m to 50 [mu] m in one example.

상기 높이는 다른 예시에서 3㎛ 이상, 5㎛ 이상, 7㎛ 이상, 9㎛ 이상, 11㎛ 이상, 13㎛ 이상, 15㎛ 이상, 17㎛ 이상, 19㎛ 이상, 21㎛ 이상, 23㎛ 이상, 25㎛ 이상 또는 27㎛ 이상일 수 있다. 상기 높이는 다른 예시에서 48㎛ 이하, 46㎛ 이하, 44㎛ 이하, 42㎛ 이하, 40㎛ 이하, 38㎛ 이하, 36㎛ 이하, 34㎛ 이하, 32㎛ 이하, 30㎛ 이하, 28㎛ 이하 또는 26㎛ 이하일 수 있다.The height may be 3 탆 or more, 5 탆 or more, 7 탆 or more, 9 탆 or more, 11 탆 or more, 13 탆 or more, 15 탆 or more, 17 탆 or more, 19 탆 or more, 21 탆 or more, Mu m or more or 27 mu m or more. In another example, the height may be 48 탆 or less, 46 탆 or less, 44 탆 or less, 42 탆 or less, 40 탆 or less, 38 탆 or less, 36 탆 or less, 34 탆 or less, 32 탆 or less, 30 탆 or less, Mu m or less.

상기와 같이 반구형 스페이서 또는 반구 기둥형 스페이서의 치수를 제어함으로써, 스페이서 상부에 형성된 배향막에 대해서도 균일한 배향 처리가 가능하고, 균일한 셀갭의 유지가 가능하여, 상기 기판이 광학 디바이스의 제조에 적용되었을 때에 해당 디바이스의 성능을 우수하게 유지할 수 있다.By controlling the dimensions of the hemispherical spacer or the hemispherical column spacer as described above, it is possible to uniformly perform the alignment treatment even on the alignment film formed on the spacer, maintain a uniform cell gap, The performance of the device can be maintained excellent.

상기 스페이서는, 예를 들면, 전술한 바와 같이 투명 수지를 사용하여 형성할 수 있다. 일 예시에서 상기 스페이서는, 투명한 자외선 경화형 수지를 포함하여 형성될 수 있다. 예를 들면, 후술하는 임프린팅 방식으로 상기 자외선 경화형 화합물의 형상을 목적하는 형태를 형성할 수 있는 상태로 유지한 상태에서 경화시켜서 형성할 수 있는데, 이러한 경우에 상기 자외선 경화형 화합물의 경화체인 자외선 경화형 수지가 상기 스페이서를 형성할 수 있다. 스페이서의 형성에 사용될 수 있는 자외선 경화형 화합물의 구체적인 종류는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면, 아크릴레이트 계열 고분자 재료 또는 에폭시 계열의 고분자 등이 사용될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The spacer may be formed using, for example, a transparent resin as described above. In one example, the spacer may be formed to include a transparent ultraviolet curable resin. For example, the ultraviolet curable compound can be formed by curing while keeping the shape of the ultraviolet curable compound in a state capable of forming a desired shape by an imprinting method described later. In this case, the ultraviolet curable compound A resin can form the spacer. The specific kind of ultraviolet curable compound that can be used for forming the spacer is not particularly limited, and for example, an acrylate-based polymer material or an epoxy-based polymer may be used, but the present invention is not limited thereto.

본 출원에서 상기와 같은 재료를 적용하여 전술한 형태의 스페이서를 제조하는 방식은 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 상기 스페이서는 임프린팅 방식을 적용하여 제조할 수 있다.The method of manufacturing the spacer of the above-mentioned type by applying the above-mentioned materials in the present application is not particularly limited. For example, the spacer may be manufactured by applying an imprinting method.

다만, 전술한 스페이서의 다양한 형태 중에서 반구형 스페이서의 경우, 일반적인 방식으로는 제조가 어렵거나 불가능하며, 하기 제시된 방식으로 제조되어야 한다.However, in the case of hemispherical spacers among the various forms of the above-described spacers, it is difficult or impossible to manufacture them in a general manner, and they must be manufactured in the manner described below.

즉, 상기 반구형 스페이서는 도 18에 모식적으로 나타난 바와 같은 차광막이 형성된 임프린팅 마스크를 적용하여 제조할 수 있다. 도 18의 차광막이 형성된 임프린팅 마스크는 광투과성, 예를 들면 자외선 투과성의 본체의 일 표면에 오목한 반구 형상(9011)이 형성되어 있고, 상기 반구 형상(9011)이 형성되어 있는 표면에서 반구 형상이 형성되어 있지 않은 부분에는 차광막(902)이 형성되어 있는 형태이다. 도면과 같이 상기 반구 형상(9011)은, 임프린팅 마스크의 본체(9)의 일면에 임프린팅 몰드(901)를 형성하고, 그 몰드(901)에 상기 반구 형상(9011) 및 차광막(902)을 형성하여 제조할 수 있다. 필요한 경우에 상기 차광막(902)이 형성되어 있는 몰드(901)의 표면에는 적절한 이형 처리가 되어 있을 수 있다.That is, the hemispherical spacer can be manufactured by applying an imprinting mask having a light-shielding film as schematically shown in FIG. The imprinting mask having the light shielding film shown in Fig. 18 has a concave hemispherical shape 9011 formed on one surface of a light transmissive body such as ultraviolet ray permeable body, and a semi-spherical shape is formed on the surface on which the hemispherical shape 9011 is formed And a light shielding film 902 is formed in a portion not formed. As shown in the drawing, the hemispherical shape 9011 is formed by forming an imprinting mold 901 on one surface of the main body 9 of the imprinting mask, and forming the hemispherical shape 9011 and the light shielding film 902 on the mold 901 . If necessary, the surface of the mold 901 on which the light-shielding film 902 is formed may be subjected to appropriate mold releasing treatment.

상기와 같은 형태의 마스크를 사용하여 상기 스페이서를 제조하는 예시적인 공정이 도 19에 도시되어 있다. 도 19와 같이 우선 기재층(100)의 표면에 자외선 경화형 화합물의 층(200)을 형성하고, 그 층(200)상에 상기 마스크(900)의 오목부를 압착한다. 그 후 상기 차광막이 형성된 마스크의 상부에서 자외선 등을 조사하여 상기 화합물의 층(200)을 경화시키면, 마스크(900)에 형성된 반구 형태에 따라서 상기 화합물이 경화되어 스페이서가 형성된다. 그 후 마스크를 제거하고, 미경화된 화합물을 제거함으로써 스페이서를 기재층(100)상에 고정된 형태로 형성할 수 있다.An exemplary process for fabricating the spacer using a mask of this type is shown in Fig. 19, a layer 200 of an ultraviolet curable compound is formed on the surface of a base material layer 100, and a concave portion of the mask 900 is pressed onto the layer 200. Next, Then, when the layer 200 of the compound is cured by irradiating ultraviolet light or the like on the mask having the light-shielding film formed thereon, the compound is cured according to the hemispherical shape formed in the mask 900 to form a spacer. The spacer can then be formed in a fixed form on the substrate layer 100 by removing the mask and removing the uncured compound.

상기 과정에서 조사되는 자외선의 광량, 마스크의 압착 정도 및/또는 마스크(900)의 반구 형상의 형태 등을 조절함으로써 목적하는 반구형 또는 반구 기둥형 스페이서를 제조할 수 있다.The target hemispherical or hemispherical columnar spacer can be manufactured by adjusting the amount of ultraviolet light, the degree of squeezing of the mask, and / or the hemispherical shape of the mask 900 irradiated in the above process.

전술한 흑색층의 형성을 위해서는, 상기 도 19의 방식에서 자외선 경화형 화합물의 층(200)과 기재층(100)의 사이에 미리 상기 흑색층을 형성하여 둘 수 있다. 즉, 미리 기재층(100)상에 흑색층을 형성하여 두고, 상기 경화 공정을 진행한 후에, 미경화된 수지층(200)을 제거하고, 잔존하는 경화된 수지층을 다시 마스크로 적용하여 기재층(100)상의 흑색층을 제거함으로써 스페이서와 기재층의 사이에 흑색층이 존재하는 상기 기판을 제작할 수 있다. 또한, 도 19의 경우 반구형 스페이서를 제조하기 위한 마스크를 사용하는 방식을 보여주고 있으나, 전술한 바와 같이 스페이서의 형상은 제한되지 않기 때문에, 상기 마스크의 형태는 목적하는 스페이서의 형태에 따라서 변경될 수 있다. 또한, 스페이서의 상부에 흑색층을 형성하는 방식은, 레지스트 잉크(resist ink)를 양각부(스페이서 상부)에 선택적으로 코팅하는 방식등의 Reverse Offset 공정 등의 방식을 사용할 수 있다.In order to form the black layer described above, the black layer may be previously formed between the layer 200 of the ultraviolet curable compound and the substrate layer 100 in the method of Fig. That is, a black layer is formed on the substrate layer 100 in advance, and after the curing process is performed, the uncured resin layer 200 is removed, and the remaining cured resin layer is applied again as a mask, By removing the black layer on the layer 100, the substrate in which a black layer is present between the spacer and the substrate layer can be produced. In addition, although FIG. 19 shows a method of using a mask for manufacturing hemispherical spacers, since the shape of the spacer is not limited as described above, the shape of the mask can be changed according to the shape of the desired spacer have. The method of forming the black layer on the upper part of the spacer may be a reverse offset method such as a method of selectively coating a resist ink on the embossed part (upper part of the spacer).

본 출원의 기판은, 상기 기재층과 스페이서에 추가로 광학 디바이스의 구동에 요구되는 다른 요소를 포함할 수 있다. 이러한 요소는 다양하게 공지되어 있으며, 대표적으로는 전극층 등이 있다. 도 6은 도 1의 구조의 기판에서 흑색층(30)과 기재층(10)의 사이에 전극층(40)이 형성된 구조의 예시이고, 도 7은, 도 2의 구조의 기판에서 흑색층(30)과 기재층(10)의 사이에 전극층(40)이 형성된 구조의 예시이다.The substrate of the present application may include, in addition to the substrate layer and the spacer, other elements required for driving the optical device. These elements are variously known, and typically include an electrode layer and the like. 6 shows an example of a structure in which an electrode layer 40 is formed between a black layer 30 and a substrate layer 10 in the substrate of the structure of Fig. 1, and Fig. 7 shows an example of a structure in which a black layer 30 And an electrode layer 40 is formed between the base layer 10 and the substrate layer 10.

도면과 같이 상기 기판은, 상기 기재층과 상기 스페이서의 사이에 전극층을 추가로 포함할 수 있다. 전극층으로는, 공지의 소재가 적용될 수 있다. 예를 들면, 전극층은, 금속 합금, 전기 전도성 화합물 또는 상기 중 2종 이상의 혼합물을 포함할 수 있다. 이러한 재료로는, 금 등의 금속, CuI, ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ZTO(Zinc Tin Oxide), 알루미늄 또는 인듐이 도핑된 아연 옥사이드, 마그네슘 인듐 옥사이드, 니켈 텅스텐 옥사이드, ZnO, SnO2 또는 In2O3 등의 산화물 재료나, 갈륨 니트라이드와 같은 금속 니트라이드, 아연 세레나이드 등과 같은 금속 세레나이드, 아연 설파이드와 같은 금속 설파이드 등이 예시될 수 있다. 투명한 정공 주입성 전극층은, 또한, Au, Ag 또는 Cu 등의 금속 박막과 ZnS, TiO2 또는 ITO 등과 같은 고굴절의 투명 물질의 적층체 등을 사용하여서도 형성할 수 있다.As shown in the figure, the substrate may further include an electrode layer between the base layer and the spacer. As the electrode layer, a known material can be applied. For example, the electrode layer may comprise a metal alloy, an electrically conductive compound, or a mixture of two or more thereof. As such a material, metal such as gold, CuI, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc tin oxide (ZTO), zinc oxide doped with aluminum or indium, magnesium indium oxide, nickel tungsten oxide, Metal oxides such as ZnO, SnO 2 or In 2 O 3 , metal serrides such as gallium nitride and zinc selenide, and metal sulfides such as zinc sulfide. The transparent positive hole injecting electrode layer can also be formed using a metal thin film of Au, Ag or Cu and a laminate of a transparent material of high refractive index such as ZnS, TiO 2 or ITO.

전극층은, 증착, 스퍼터링, 화학 증착 또는 전기화학적 수단 등의 임의의 수단으로 형성될 수 있다. 전극층의 패턴화도 특별한 제한 없이 공지의 방식으로 가능하며, 예를 들면, 공지된 포토리소그래피나 새도우 마스크 등을 사용한 공정을 통하여 패턴화될 수도 있다. The electrode layer can be formed by any means such as vapor deposition, sputtering, chemical vapor deposition or electrochemical means. Patterning of the electrode layer is also possible in a known manner without any particular limitation, and may be patterned through a process using, for example, a known photolithography or a shadow mask.

본 출원의 기판은 또한 상기 기재층과 스페이서상에 존재하는 배향막을 추가로 포함할 수 있다.The substrate of the present application may further include an alignment layer present on the substrate layer and the spacer.

따라서, 다른 예시적인 본 출원의 기판은, 기재층; 상기 기재층상에 존재하는 스페이서; 및 상기 기재층과 스페이서상에 형성된 배향막을 포함할 수 있다.Thus, another exemplary substrate of the present application comprises a substrate layer; A spacer present on the base layer; And an alignment layer formed on the base layer and the spacer.

상기에서 기재층과 스페이서에 대한 구체적인 내용은 상기 기술한 바와 같다.The details of the base layer and the spacer in the above are the same as described above.

또한, 상기 기재층과 스페이서상에 형성되는 배향막의 종류도 특별히 제한되지 않고, 공지의 배향막, 예를 들면, 공지의 러빙 배향막 또는 광 배향막이 적용될 수 있다.The kind of the alignment layer formed on the base layer and the spacer is not particularly limited, and a well-known alignment film, for example, a well-known rubbing alignment film or a photo alignment film can be applied.

상기 배향막을 기재층과 스페이서상에 형성하고, 그에 대한 배향 처리를 수행하는 방식도 공지의 방식에 따른다.The method of forming the alignment film on the base layer and the spacer and performing the alignment treatment thereon is also in accordance with a known method.

다만, 일 예시에서 상기 배향막이 전술한 반구형 스페이서상에 형성된다면, 상기 배향막 역시 스페이서의 형상에 따른 특유의 형상을 가질 수 있다. 도 20은, 이러한 배향막의 단면 궤적을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 20은, 상기 스페이서상에 형성된 배향막 단면 형태의 예시로서, 소정의 폭(W3)과 높이(H3)를 가지면서 상부가 곡률 중심이 단면 내측에 형성되는 반구 형태를 나타낸다.However, if the alignment layer is formed on the semi-spherical spacer in one example, the alignment layer may have a specific shape depending on the shape of the spacer. Fig. 20 is a diagram schematically showing the cross section of such an orientation film. Fig. 20 shows an example of a cross-sectional shape of an alignment film formed on the spacer, in which the upper portion has a hemispherical shape with a center of curvature formed inside the cross-section while having a predetermined width W3 and a height H3.

예를 들면, 상기 배향막도 그 상부에 전술한 반구부를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 반구부는, 스페이서의 경우와 같이 그 단면 궤적의 최대 곡률이 2,000 mm-1 이하일 수 있다. 상기 최대 곡률은 다른 예시에서 1,800 mm-1 이하, 1,600 mm-1 이하, 1,400 mm-1 이하, 1,200 mm-1 이하, 1,000 mm-1 이하, 900 mm-1 이하, 950 mm-1 이하, 850 mm-1 이하, 800 mm-1 이하, 750 mm-1 이하, 700 mm-1 이하, 650 mm-1 이하, 600 mm-1 이하, 550 mm-1 이하, 500 mm-1 이하, 450 mm-1 이하, 400 mm-1 이하, 350 mm-1 이하, 300 mm-1 이하, 250 mm-1 이하, 200 mm-1 이하 또는 150 mm-1 이하 정도일 수 있다. 상기 최대 곡률은, 다른 예시에서 5 mm-1 이상, 10 mm-1 이상, 15 mm-1 이상, 20 mm-1 이상, 25 mm-1 이상, 30 mm-1 이상, 35 mm-1 이상, 40 mm-1 이상, 45 mm-1 이상 또는 50 mm-1 이상일 수 있다.For example, the alignment film may also include the hemispherical portion described above. In this case, the hemispherical portion may have a maximum curvature of the cross-sectional locus of 2,000 mm &lt; -1 &gt; or less as in the case of the spacer. The maximum curvature is In another example 1,800 mm -1 or less, 1,600 mm -1 or less, 1,400 mm -1 or less, 1,200 mm -1 or less, 1,000 mm -1 or less, 900 mm -1 or less, 950 mm -1 or less, 850 mm -1 or less, 800 mm -1 or less, 750 mm -1 or less, 700 mm -1 or less, 650 mm -1 or less, 600 mm -1 or less, 550 mm -1 or less, 500 mm -1 or less, 450 mm - 1 or less, 400 mm -1 or less, 350 mm -1 or less, 300 mm -1 or less, 250 mm -1 or less, 200 mm -1 or 150 mm -1 or less. The maximum curvature may be at least 5 mm -1, at least 10 mm -1, at least 15 mm -1, at least 20 mm -1, at least 25 mm -1, at least 30 mm -1, at least 35 mm -1 , At least 40 mm -1, at least 45 mm -1, or at least 50 mm -1 .

상기 배향막의 반구부의 단면 궤적도 곡률이 0인 부위, 즉 직선 형태의 부위를 포함하거나, 포함하지 않을 수 있다.The cross-sectional locus of the hemispherical portion of the alignment film may or may not include a portion having a curvature of zero, that is, a linear portion.

상기와 같은 스페이서상에 형성된 배향막의 높이 내지 폭도 그 하부에 존재하는 스페이서의 높이와 폭, 그리고 형성된 배향막의 두께 등에 따라 결정되는 것으로 특별히 제한되는 것은 아니다.The height or width of the alignment layer formed on the spacer as described above is not particularly limited as long as it is determined according to the height and width of the spacer existing therebelow and the thickness of the formed alignment layer.

예를 들면, 상기 반구부의 높이(도 20의 H3)는 1㎛ 내지 50㎛의 범위 내에 있을 수 있다. 상기 높이는 다른 예시에서 2㎛ 이상, 3㎛ 이상, 4㎛ 이상, 5㎛ 이상, 6㎛ 이상, 7㎛ 이상, 8㎛ 이상, 9㎛ 이상, 10㎛ 이상 또는 11㎛ 이상일 수 있다. 상기 높이는 또한 다른 예시에서 48㎛ 이하, 46㎛ 이하, 44㎛ 이하, 42㎛ 이하, 40㎛ 이하, 38㎛ 이하, 36㎛ 이하, 34㎛ 이하, 32㎛ 이하, 30㎛ 이하, 28㎛ 이하, 26㎛ 이하, 24㎛ 이하, 22㎛ 이하 19㎛ 이하, 18㎛ 이하, 17㎛ 이하, 16㎛ 이하, 15㎛ 이하, 14㎛ 이하, 13㎛ 이하, 12㎛ 이하 또는 11㎛ 이하일 수 있다. For example, the height of the hemispherical portion (H3 in Fig. 20) may be in the range of 1 탆 to 50 탆. The height may be 2 탆 or more, 3 탆 or more, 4 탆 or more, 5 탆 or more, 6 탆 or more, 7 탆 or more, 8 탆 or more, 9 탆 or more, 10 탆 or 11 탆 or more in another example. In another example, the height is not more than 48 μm, not more than 46 μm, not more than 44 μm, not more than 42 μm, not more than 40 μm, not more than 38 μm, not more than 36 μm, not more than 34 μm, not more than 32 μm, Less than or equal to 26 탆, less than or equal to 24 탆, less than or equal to 22 탆, less than or equal to 19 탆, less than or equal to 18 탆, less than or equal to 17 탆, less than or equal to 16 탆, less than or equal to 15 탆, less than or equal to 14 탆, less than or equal to 13 탆, less than or equal to 12.

상기 반구부의 폭(도 20의 W3)은, 1㎛ 내지 80㎛의 범위 내에 있을 수 있다. 상기 폭은 다른 예시에서 2㎛ 이상, 3㎛ 이상, 4㎛ 이상, 6㎛ 이상, 8㎛ 이상, 10㎛ 이상, 12㎛ 이상, 14㎛ 이상, 16㎛ 이상, 18㎛ 이상, 20㎛ 이상 또는 22㎛ 이상일 수 있다. 상기 폭은 다른 예시에서 78㎛ 이하, 76㎛ 이하, 74㎛ 이하, 72㎛ 이하, 70㎛ 이하, 68㎛ 이하, 66㎛ 이하, 64㎛ 이하, 62㎛ 이하, 60㎛ 이하, 58㎛ 이하, 56㎛ 이하, 54㎛ 이하, 52㎛ 이하, 50㎛ 이하, 48㎛ 이하, 46㎛ 이하, 44㎛ 이하, 42㎛ 이하, 40㎛ 이하, 38㎛ 이하, 36㎛ 이하, 34㎛ 이하, 32㎛ 이하, 30㎛ 이하, 28㎛ 이하, 26㎛ 이하, 24㎛ 이하 또는 22㎛ 이하일 수 있다.The width of the hemispherical portion (W3 in Fig. 20) may be in the range of 1 탆 to 80 탆. The width may be 2 탆 or more, 3 탆 or more, 4 탆 or more, 6 탆 or more, 8 탆 or more, 10 탆 or more, 12 탆 or more, 14 탆 or more, 16 탆 or more, 18 탆 or more, Or more. In another example, the width is not more than 78 μm, not more than 76 μm, not more than 74 μm, not more than 72 μm, not more than 70 μm, not more than 68 μm, not more than 66 μm, not more than 64 μm, 45 μm or less, 44 μm or less, 42 μm or less, 40 μm or less, 38 μm or less, 36 μm or less, 34 μm or less, 32 μm or less Or less, 30 mu m or less, 28 mu m or less, 26 mu m or less, 24 mu m or less, or 22 mu m or less.

전술한 것과 같이 본 출원의 기판의 경우, 스페이서의 형태를 특유의 형태로 조절하는 것에 의해서 스페이서상에 형성된 배향막의 배향 처리도 스페이서의 단차의 영향을 받지 않고, 균일하게 수행될 수 있다.As described above, in the case of the substrate of the present application, alignment treatment of the alignment film formed on the spacer by adjusting the shape of the spacer to a specific shape can be performed uniformly without being influenced by the step difference of the spacer.

이러한 효과를 극대화하기 위해서 상기 배향막의 형태가 추가로 제어될 수 있다.In order to maximize this effect, the shape of the alignment layer can be further controlled.

예를 들면, 상기 배향막의 단면은 도 20 및 21에 나타난 것과 같이 상기 배향막 단면에서 기재층과 접하는 지점에서 상부로 향하는 영역은 곡률 중심이 상기 단면의 외측에 형성되는 곡선 형태일 수 있다. 이러한 형태는, 예를 들면, 상기 스페이서의 형태와 배향막의 형성 조건에 따라서 형성될 수 있다. 이에 의해 상기 배향막에 러빙 처리와 같은 배향 처리가 수행되는 경우에도 스페이서의 단차에 영향을 받지 않는 균일한 배향 처리가 수행될 수 있다.For example, as shown in Figs. 20 and 21, the cross section of the alignment film may have a curved shape in which the center of curvature is formed on the outer side of the cross section, with the region facing upward from a point of contact with the base layer in the cross section of the alignment film. This shape can be formed, for example, in accordance with the shape of the spacer and the formation conditions of the orientation film. Thereby, even when the alignment treatment such as rubbing treatment is performed on the alignment film, a uniform alignment treatment which is not affected by the step of the spacer can be performed.

상기 기재층은 상기 언급한 바와 같은 반구형 스페이서를 포함하여, 그와 동일하거나 다른 스페이서들을 포함함으로써 복수의 스페이서들을 포함할 수 있다. 이러한 복수의 스페이서들은, 상기 기재층상에서 소정의 규칙성과 불규칙성을 동시에 가지면서 배치되어 있을 수 있다. 구체적으로 상기 기재층상의 복수의 스페이서 중에서 적어도 일부는 서로 상이한 피치를 가지도록 배치되어 있다는 측면에서는 불규칙한 배치이지만, 소정 규칙에 따라 정해진 영역간에서는 실질적으로 동일한 밀도를 가지면서 배치된다는 측면에서는 규칙적일 수 있다. The base layer may include a plurality of spacers by including the same or different spacers, including hemispherical spacers as mentioned above. Such a plurality of spacers may be disposed on the base layer at the same time with predetermined regularity and irregularity. Specifically, at least a part of the plurality of spacers on the base layer is irregular in terms of being arranged so as to have mutually different pitches, but it may be regular in terms of being arranged with substantially the same density between regions determined according to a predetermined rule .

즉, 하나의 예시에서 상기 기재층상에 배치되는 스페이서의 적어도 일부는 서로 상이한 피치를 가지도록 배치될 수 있다.That is, in one example, at least some of the spacers disposed on the substrate layer may be arranged to have different pitches from one another.

상기에서 용어 피치는, 상기 복수의 스페이서들 중 일부를 내부에 다른 스페이서가 존재하지 않는 상태의 폐도형을 형성하도록 선택하였을 때에 상기 폐도형의 변의 길이로 정의될 수 있다. 또한, 특별히 달리 규정하지 않는 한, 피치의 단위는 ㎛이다.In the above, the term pitch can be defined as the length of the side of the closed figure when a part of the plurality of spacers is selected so as to form a closed figure in which no other spacer is present therein. Unless otherwise specified, the unit of the pitch is 탆.

상기 형성되는 폐도형은 삼각형, 사각형 또는 육각형일 수 있다. 즉, 복수의 스페이서들 중 임의로 3개의 스페이서들을 선택하여 그들을 서로 연결하였을 때에는 상기 삼각형이 형성되고, 4개의 스페이서들을 선택하여 그들을 서로 연결하였을 때는 상기 사각형이 형성되며, 6개의 스페이서들을 선택하여 그들을 서로 연결하였을 때는 상기 육각형이 형성된다. 다만, 상기 피치를 결정하는 때에 형성되는 상기 폐도형은 그 내부에 스페이서가 존재하지 않도록 형성되는 것이어서, 예를 들면, 내부에 다른 스페이서가 존재하도록 스페이서들이 선택되는 경우는 상기 피치의 결정 시에 제외된다.The formed figure to be formed may be triangular, square or hexagonal. That is, when three arbitrary spacers among a plurality of spacers are selected and connected to each other, the triangle is formed. When the four spacers are selected and connected to each other, the square is formed, and the six spacers are selected, When connected, the hexagon is formed. However, the closed figure formed at the time of determining the pitch is formed such that no spacer exists therein. For example, when the spacers are selected so that another spacer exists in the inside, do.

하나의 예시에서 상기와 같이 형성된 폐도형인 삼각형, 사각형 또는 육각형의 변 중에서 동일한 길이를 가지는 변의 수의 비율(%)(삼각형인 경우에 100×(동일 길이의 변의 수)/3, 사각형인 경우에 100×(동일 길이의 변의 수)/4, 육각형인 경우에 100×(동일 길이의 변의 수)/6)은, 85% 이하일 수 있다. 상기 비율은 다른 예시에서 84% 이하, 80% 이하, 76% 이하, 67% 이하, 55% 이하 또는 40% 이하일 수 있다. 상기 비율의 하한은 특별히 제한되지 않는다. 즉, 경우에 따라서는 상기 폐도형의 모든 변의 길이가 다 동일하지 않을 수 있기 때문에 상기 비율의 하한은 0%일 수 있다.In one example, the ratio (%) of the number of sides having the same length among the sides of the triangle, quadrangle, or hexagon, which is the closed figure formed as described above (100 x (number of sides of the same length) 100 × (number of sides of the same length) / 4 in the case of hexagonal, and 100 × (number of sides of the same length) / 6 in the case of a hexagon can be 85% or less. In another example, the ratio may be 84% or less, 80% or less, 76% or less, 67% or less, 55% or 40% or less. The lower limit of the ratio is not particularly limited. That is, in some cases, since the lengths of all sides of the closed diagram may not be the same, the lower limit of the ratio may be 0%.

상기와 같이 본 출원의 스페이서들의 배치는 그 적어도 일부가 서로 다른 피치를 가지고 있다는 점에서 불규칙적이나, 이러한 불규칙성은 일정한 규칙성 하에서 제어된다. 상기에서 규칙성은 스페이서의 배치 밀도가 일정 영역간에서는 실질적으로 근접하는 것을 의미할 수 있다.As described above, the arrangement of the spacers of the present application is irregular in that at least some of them have different pitches, but this irregularity is controlled under a certain regularity. The regularity described above may mean that the arrangement density of the spacers is substantially close to each other in a certain region.

예를 들면, 상기 불규칙적으로 배치된 복수의 스페이서들의 정상 피치를 P라고 하면, 상기 기재층의 표면에서 10P를 한 변의 길이로 하는 정사각형 영역을 임의로 2개 이상 복수 선택하였을 때에 각 정사각형 영역 내에 존재하는 스페이서들의 개수의 표준 편차는 2 이하이다. For example, when the normal pitch of the plurality of irregularly arranged spacers is P, a plurality of square regions having a length of one side of 10P on the surface of the substrate layer are arbitrarily selected. The standard deviation of the number of spacers is 2 or less.

용어 정상 피치는, 실제로는 불규칙적으로 기재층상에 배치되어 있는 복수의 스페이서들을 상기 스페이서들의 개수와 상기 기재층의 면적을 고려하여 가상적으로 모든 스페이서들이 동일한 피치로 배치되도록 위치시킨 상태에서 인접하는 스페이서들의 중심간의 거리를 의미한다. The term "normal pitch" means that a plurality of spacers arranged on the base layer in an actually irregular manner are arranged so that virtually all of the spacers are disposed at the same pitch in consideration of the number of the spacers and the area of the base layer, Center distance.

상기 언급된 모든 스페이서들이 동일 피치를 가지도록 배치된 가상의 상태를 확인하는 방식은 공지이며, 예를 들면, CAD, MATLAB, STELLA 또는 엑셀(Excel) 등과 같은 난수 좌표 발생 프로그램을 사용하여 달성할 수 있다.The manner in which all of the above-mentioned spacers are arranged so as to have the same pitch is known, and can be achieved by using a random number generating program such as CAD, MATLAB, STELLA or Excel have.

또한, 상기 표준 편차(standard deviation)는, 스페이서 개수의 산포도를 나타내는 수치이고, 분산의 양의 제곱근으로 정해지는 수치이다.In addition, the standard deviation is a numerical value indicating the scattering degree of the number of the spacers, and is a numerical value determined by the square root of the amount of dispersion.

즉, 기재층의 스페이서가 형성된 표면에 임의로 상기 사각형 영역을 적어도 2개 이상 복수 지정한 후에 그 영역 내에 존재하는 스페이서의 개수들의 표준 편차를 구하였을 때에 그 표준 편차는 2 이하이다. 상기 표준 편차는 다른 예시에서 1.5 이하, 1 이하 또는 0.5 이하일 수 있다. 또한, 상기 표준 편차는 그 수치가 낮을수록 목적하는 규칙성이 달성된 것을 의미하기 때문에 그 하한은 특별히 제한되지 않고, 예를 들면, 0일 수 있다.That is, when a standard deviation of the number of spacers existing in the region after designating at least two or more of the square regions is arbitrarily set on the surface on which the spacer of the base layer is formed, its standard deviation is 2 or less. The standard deviation may be 1.5 or less, 1 or less, or 0.5 or less in other examples. The lower limit of the standard deviation means that the desired regularity is achieved as the numerical value is lower, so that the lower limit is not particularly limited and may be zero, for example.

또한, 상기에서 지정되는 사각형 영역의 수는 2개 이상인 한 특별히 제한되는 것은 아니지만, 일 예시에서 상기 사각형 영역이 기재층의 표면상에서 서로 겹쳐지지 않도록 임의로 선택되되, 그 임의로 선택된 영역이 차지하는 면적이 상기 기재층의 전체 면적의 약 10% 이상, 20% 이상, 30% 이상, 40% 이상, 50% 이상, 60% 이상, 70% 이상, 80% 이상 또는 90% 이상이 되도록 하는 개수로 선택될 수 있다.Although the number of the rectangular areas specified above is not particularly limited as long as the number of the rectangular areas is two or more, in an example, the rectangular areas are arbitrarily selected so as not to overlap each other on the surface of the base layer, At least about 10%, at least 20%, at least 30%, at least 40%, at least 50%, at least 60%, at least 70%, at least 80%, or at least 90% of the total area of the substrate layer have.

또한, 상기 임의의 사각형 영역의 한 변을 형성하는 정상 피치(P)의 범위는 전술한 것처럼 기재층상에 존재하는 스페이서들의 개수와 해당 기재층의 면적에 의해 결정될 수 있는 것으로 특별히 제한되지 않으며, 통상적으로 약 100㎛ 내지 1,000㎛의 범위 내에서 결정될 수 있다.The range of the normal pitch P forming one side of the arbitrary rectangular area is not particularly limited as long as it can be determined by the number of spacers present on the base layer and the area of the base layer as described above, In the range of about 100 mu m to 1,000 mu m.

특별히 제한되는 것은 아니지만, 상기와 같이 임의로 선택된 정사각형 영역들 내에 존재하는 스페이서들의 평균 개수는 예를 들면, 약 80개 내지 150개 정도일 수 있다. 상기 평균 개수는 다른 예시에서 82개 이상, 84개 이상, 86개 이상, 88개 이상, 90개 이상, 92개 이상, 94개 이상, 96개 이상 또는 98개 이상일 수 있다. 또한 다른 예시에서 상기 평균 개수는 148개 이하, 146개 이하, 144개 이하, 142개 이하, 140개 이하, 138개 이하, 136개 이하, 134개 이하, 132개 이하, 130개 이하, 128개 이하, 126개 이하, 124개 이하, 122개 이하, 120개 이하, 118개 이하, 116개 이하, 114개 이하 또는 112개 이하일 수 있다. Although not particularly limited, the average number of spacers present in the randomly selected square regions as described above may be, for example, about 80 to about 150. In another example, the average number may be 82 or more, 84 or more, 86 or more, 88 or more, 90 or more, 92 or more, 94 or more, 96 or 98 or more. In another example, the average number is 148 or less, 146 or less, 144 or less, 142 or less, 140 or less, 138 or less, 136 or less, 134 or less, 132 or less, 130 or less, 128 Or less, 126 or less, 124 or less, 122 or less, 120 or less, 118 or less, 116 or less, 114 or less, or 112 or less.

또한, 상기 스페이서들의 평균 개수(A)와 상기 언급한 표준 편차(SD)의 비율(SD/A)은, 0.1 이하일 수 있다. 상기 비율은 다른 예시에서 0.09 이하, 0.08 이하, 0.07 이하, 0.06 이하, 0.05 이하, 0.04 이하 또는 0.03 이하일 수 있다.The ratio SD / A of the average number A of the spacers to the standard deviation SD mentioned above may be 0.1 or less. In other examples, the ratio may be 0.09 or less, 0.08 or less, 0.07 or less, 0.06 or less, 0.05 or less, 0.04 or less, or 0.03 or less.

상기 평균 개수(A)나 비율(SD/A)은, 경우에 따라 변경될 수 있는데, 예를 들면, 상기 기판이 적용되는 디바이스에서 요구되는 투과율, 셀갭(cell gap) 및/또는 셀갭의 균일도 등을 고려하여 상기 수치는 변경될 수 있다.The average number (A) and the ratio (SD / A) may be changed depending on the case. For example, the transmittance, the cell gap, and / or the uniformity of the cell gap required in the device to which the substrate is applied The above values may be changed.

다른 예시에서 상기 불규칙적으로 배치된 스페이서가 형성되어 있는 기재층의 표면을 동일 면적을 가지는 2개 이상의 영역으로 분할하였을 때, 각 단위 영역 내에 상기 스페이서의 개수의 표준 편차가 2 이하일 수 있다. In another example, when the surface of the substrate layer on which the irregularly arranged spacers are formed is divided into two or more regions having the same area, the standard deviation of the number of the spacers in each unit region may be 2 or less.

상기에서 표준 편차의 의미와 그 구체적인 예시들은 상기 기술한 바와 같다.The meaning of the standard deviation and the concrete examples thereof are as described above.

즉, 상기 예시에서는, 기재층을 동일 면적을 가지는 적어도 2개 이상의 영역으로 분할하고, 분할된 각 단위 영역 내에 존재하는 스페이서의 개수들의 표준 편차를 구하였을 때에 그 표준 편차는 2 이하이다. 이러한 경우에 분할된 각 단위 영역의 형태는 해당 단위 영역들이 동일한 면적을 가지도록 분할되는 한 특별히 제한되지 않으나, 예를 들면, 삼각, 사각 또는 육각형 영역일 수 있다. 또한, 상기 상태에서 표준 편차는 다른 예시에서 1.5 이하, 1 이하 또는 0.5 이하일 수 있고, 그 하한은 전술한 것과 같이 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면, 0일 수 있다. That is, in the above example, when the base layer is divided into at least two regions having the same area and the standard deviation of the numbers of the spacers present in the divided unit regions is obtained, the standard deviation thereof is 2 or less. In this case, the shape of each divided unit area is not particularly limited as long as the unit areas are divided so as to have the same area, but may be, for example, a triangular, square, or hexagonal area. Further, the standard deviation in the above state may be 1.5 or less, 1 or less, or 0.5 or less in other examples, and the lower limit thereof is not particularly limited as described above, and may be 0, for example.

상기에서 단위 영역의 개수는 특별히 제한되는 것은 아니지만, 일 예시에서 상기 기재층은 동일 면적을 가지는 2개 이상, 4개 이상, 6개 이상, 8개 이상 또는 10개 이상의 영역으로 분할될 수 있다. 상기에서 분할되는 영역의 수가 많을수록 스페이서의 밀도가 보다 균일하게 유지되는 것을 의미하기 때문에 분할 영역의 개수의 상한은 특별히 제한되지 않는다.The number of unit regions is not particularly limited, but in one example, the base layer may be divided into two or more, four or more, six or more, eight or more, or ten or more regions having the same area. The larger the number of divided regions, the more uniform the density of the spacers is, so the upper limit of the number of divided regions is not particularly limited.

상기와 같이 규칙성과 불규칙성을 동시에 가지도록 복수의 스페이서들이 배치되어 있는 기판상에서 상기 정상 피치인 P를 한변으로 하는 가상의 정사각형 영역을 선택하였을 때에 해당 영역 내에 존재하는 스페이서의 평균 개수는 0 내지 4의 범위 내일 수 있다. 상기 평균 개수는, 다른 예시에서 3.5 이하, 3 이하, 2.5 이하, 2 이하 또는 1.5 이하일 수 있다. 상기 평균 개수는 또한 다른 예시에서 0.5 이상일 수 있다. 상기에서 임의로 지정되는 한변의 길이가 정상 피치(P)인 정사각형 영역의 수는 2개 이상인 한 특별히 제한되는 것은 아니지만, 일 예시에서 상기 정사각형 영역이 기재층의 표면상에서 서로 겹쳐지지 않도록 임의로 선택되되, 그 임의로 선택된 영역이 차지하는 면적이 상기 기재층의 전체 면적의 약 10% 이상, 20% 이상, 30% 이상, 40% 이상, 50% 이상, 60% 이상, 70% 이상, 80% 이상 또는 90% 이상이 되도록 하는 개수로 선택될 수 있다.When a virtual square area having the regular pitch P as one side is selected on the substrate on which the plurality of spacers are arranged so as to have regularity and irregularity at the same time, the average number of the spacers existing in the area is 0 to 4 It can be in range. The average number may be 3.5 or less, 3 or less, 2.5 or less, 2 or less, or 1.5 or less in other examples. The average number may also be greater than or equal to 0.5 in other examples. The number of square regions having a normal pitch P of one side arbitrarily specified is not particularly limited as long as the number of square regions is two or more. However, in one example, the square regions are arbitrarily selected so as not to overlap each other on the surface of the base layer, The area occupied by the randomly selected area is at least about 10%, at least 20%, at least 30%, at least 40%, at least 50%, at least 60%, at least 70%, at least 80%, or at least 90% Or more.

상기 복수의 스페이서들의 전체 밀도는 기재층의 전 면적 대비 스페이서들이 차지하는 면적의 비율이 약 50% 이하가 되도록 조절될 수 있다. 상기 비율은 다른 예시에서 약 45% 이하, 약 40% 이하, 약 35% 이하, 약 30% 이하, 약 25% 이하, 약 20% 이하, 약 15% 이하, 약 10% 이하, 약 9.5% 이하, 9% 이하, 8.5% 이하, 8% 이하, 7.5% 이하, 7% 이하, 6.5% 이하, 6% 이하, 5.5% 이하, 5% 이하, 4.5% 이하, 4% 이하, 3.5% 이하, 3% 이하, 2.5% 이하, 2% 이하 또는 1.5% 이하일 수 있다. 다른 예시에서 상기 비율은 약 0.1% 이상, 0.2% 이상, 0.3% 이상, 0.4% 이상, 0.5% 이상, 0.6% 이상, 0.7% 이상, 0.8% 이상, 0.9% 이상 또는 0.95% 이상일 수 있다.The total density of the plurality of spacers can be adjusted so that the ratio of the area occupied by the spacers to the entire area of the base layer is about 50% or less. In another example, less than or equal to about 45%, less than or equal to about 40%, less than or equal to about 35%, less than or equal to about 30%, less than or equal to about 25%, less than or equal to about 20%, less than or equal to about 15%, less than or equal to about 10% , Not more than 9%, not more than 8.5%, not more than 8%, not more than 7.5%, not more than 7%, not more than 6.5%, not more than 6%, not more than 5.5%, not more than 5%, not more than 4.5% Or less, 2.5% or less, 2% or less, or 1.5% or less. In another example, the ratio may be about 0.1% or more, 0.2% or more, 0.3% or more, 0.4% or more, 0.5% or more, 0.6% or more, 0.7% or more, 0.8% or more, 0.9% or more or 0.95% or more.

위와 같은 형태로 복수의 스페이서들이 기재층상에 배치됨으로 해서 광학 디바이스를 구현하였을 때에 스페이서들이 기판간의 피치(cell gap)을 균일하게 유지하면서도 소위 모와레 현상을 유발시키지 않고, 균일한 광학 특성이 확보되도록 할 수 있다.When a plurality of spacers are disposed on the substrate layer in the above-described manner, when the optical device is implemented, the spacers are formed so as to maintain the uniform cell gap between the substrates, while ensuring uniform optical characteristics without causing so- can do.

상기 각 수치들은, 필요한 경우에 변경될 수 있는데, 예를 들면, 상기 기판이 적용되는 디바이스에서 요구되는 투과율, 셀갭(cell gap) 및/또는 셀갭의 균일도 등을 고려하여 상기 수치는 변경될 수 있다.The above numerical values can be changed when necessary, for example, the numerical values can be changed in consideration of the transmittance, the cell gap, and / or the uniformity of the cell gap required in the device to which the substrate is applied .

상기 복수의 스페이서들은 그 스페이싱 정규 분포도가 소정 형태를 나타내도록 배치될 수 있다. The plurality of spacers may be arranged such that the spacing normal distribution diagram represents a predetermined shape.

상기에서 스페이싱 정규 분포도는, 스페이서간의 피치를 X축으로 하고, 전체 스페이서 중에서 해당 피치를 가지는 스페이서의 비율을 Y축으로 하여 도시한 분포도이고, 이 때 스페이서의 비율은 전체 스페이서의 수를 1로 하였을 때에 구해지는 비율이다. In the above, the spacing normal distribution diagram is a distribution diagram showing the pitch between the spacers as the X-axis and the ratio of the spacers having the corresponding pitches as the Y-axis among all the spacers, wherein the ratio of the spacers was 1 It is the ratio that is obtained when.

본 명세서에서 상기 스페이싱 정규 분포도와 관련된 설명에서의 피치는, 상기 언급한 폐도형인 삼각형, 사각형 또는 육각형에서의 변의 길이이다. In the present specification, the pitch in the description related to the above-described spacing normal distribution is the length of a side in a triangle, a quadrangle, or a hexagon, which is the above-mentioned closed shape.

상기 분포도는, 공지의 난수 좌표 프로그램, 예를 들면, CAD, MATLAB 또는 STELLA 난수 좌표 프로그램 등을 사용하여 구할 수 있다.The distribution diagram can be obtained by using a known random number coordinate program, for example, a CAD, MATLAB or STELLA random number coordinate program or the like.

일 예시에서 상기 복수의 스페이서들은 상기 분포도에서의 반 높이 면적이 0.4 내지 0.95의 범위 내가 되도록 배치될 수 있다. 상기 반 높이 면적은 다른 예시에서 0.6 이상, 0.7 이상 또는 0.85 이상일 수 있다. 또한, 상기 반 높이 면적은 다른 예시에서는 0.9 이하, 0.85 이하, 0.8 이하, 0.75 이하, 0.7 이하, 0.65 이하, 0.6 이하, 0.55 이하 또는 0.5 이하일 수 있다.In one example, the plurality of spacers may be arranged such that the half height area in the distribution diagram is in the range of 0.4 to 0.95. The half height area may be 0.6 or more, 0.7 or more, or 0.85 or more in other examples. The half height area may be 0.9 or less, 0.85 or less, 0.8 or less, 0.75 or less, 0.7 or less, 0.65 or less, 0.6 or less, 0.55 or less or 0.5 or less in another example.

상기 복수의 스페이서들은, 상기 분포도에서의 반높이폭(FWHM)과 평균 피치(Pm)의 비(FWHM/Pm)가 1 이하가 되도록 배치될 수 있다. 상기 비(FWHM/Pm)는, 다른 예시에서 0.05 이상, 0.1 이상, 0.11 이상, 0.12 이상 또는 0.13 이상일 수 있다. 또한, 상기 비(FWHM/Pm)는, 다른 예시에서는 약 0.95 이하, 약 0.9 이하, 약 0.85 이하, 약 0.8 이하, 약 0.75 이하, 약 0.7 이하, 약 0.65 이하, 약 0.6 이하, 약 0.55 이하, 약 0.5 이하, 약 0.45 이하 또는 약 0.4 이하일 수 있다. The plurality of spacers may be arranged such that the ratio (FWHM / Pm) of the half height width (FWHM) to the average pitch (Pm) in the distribution diagram is 1 or less. The ratio (FWHM / Pm) may be 0.05 or more, 0.1 or more, 0.11 or more, 0.12 or more, or 0.13 or more in another example. In another example, the ratio FWHM / Pm is about 0.95 or less, about 0.9 or less, about 0.85 or less, about 0.8 or less, about 0.75 or less, about 0.7 or less, about 0.65 or less, about 0.6 or less, about 0.55 or less, About 0.5 or less, about 0.45 or less, or about 0.4 or less.

상기에서 말하는 평균 피치(Pm)는, 전술한 폐도형인 삼각형, 사각형 또는 육각형을 형성하도록 적어도 80% 이상, 85% 이상, 90% 이상 또는 95% 이상의 스페이서들을 선택하였을 때에 선택된 스페이서들에 의해 형성되는 삼각형, 사각형 또는 육각형의 각 변의 길이의 평균이다. 또한, 상기에서 스페이서들은 형성된 삼각형, 사각형 또는 육각형이 서로 꼭지점은 공유하지 않도록 선택된다.The average pitch Pm is defined by the spacers selected when at least 80%, at least 85%, at least 90% or at least 95% of the spacers are selected to form the triangular, square or hexagonal shape as described above. Is the average of the length of each side of a triangle, square, or hexagon. Also, in the above, the spacers are selected such that the triangles, squares or hexagons formed do not share vertices with each other.

상기 복수의 스페이서들은, 상기 분포도에서의 반높이폭(FWHM)이 0.5㎛ 내지 1,000㎛ 의 범위 내에 있도록 배치될 수 있다. 상기 반높이폭(FWHM)은 다른 예시에서 약 1㎛ 이상, 2㎛ 이상, 3㎛ 이상, 4㎛ 이상, 5㎛ 이상, 6㎛ 이상, 7㎛ 이상, 8㎛ 이상, 9㎛ 이상, 10㎛ 이상, 11㎛ 이상, 12㎛ 이상, 13㎛ 이상, 14㎛ 이상, 15㎛ 이상, 16㎛ 이상, 17㎛ 이상, 18㎛ 이상, 19㎛ 이상, 20㎛ 이상, 21㎛ 이상, 22㎛ 이상, 23㎛ 이상 또는 24㎛ 이상일 수 있다. 다른 예시에서 상기 반높이폭(FWHM)은 약 900㎛ 이하, 800㎛ 이하, 700㎛ 이하, 600㎛ 이하, 500㎛ 이하, 400㎛ 이하, 300㎛ 이하, 200㎛ 이하, 150㎛ 이하, 100㎛ 이하, 90㎛ 이하, 80㎛ 이하, 70㎛ 이하, 60㎛ 이하, 50㎛ 이하, 40㎛ 이하 또는 30㎛ 이하일 수 있다.The plurality of spacers may be arranged such that the half height width (FWHM) in the above distribution diagram is in the range of 0.5 mu m to 1,000 mu m. In another example, the half height width FWHM may be at least about 1 탆, at least 2 탆, at least 3 탆, at least 4 탆, at least 5 탆, at least 6 탆, at least 7 탆, at least 8 탆, 15 mu m or more, 16 mu m or more, 17 mu m or more, 18 mu m or more, 19 mu m or more, 20 mu m or more, 21 mu m or more, 22 mu m or more, 23 mu m or more, or 24 mu m or more. In another example, the half height width (FWHM) is about 900 占 퐉, 800 占 퐉, 700 占 퐉, 600 占 퐉, 500 占 퐉, 400 占 퐉, 300 占 퐉, 200 占 퐉, Or less, 90 μm or less, 80 μm or less, 70 μm or less, 60 μm or less, 50 μm or less, 40 μm or less, or 30 μm or less.

상기 복수의 스페이서들은, 상기 스페이싱 정규 분포도의 최대 높이(Fmax)가 0.006 이상이고, 1 미만이 되도록 배치될 수 있다. 상기 최대 높이(Fmax)는 다른 예시에서 약 0.007 이상, 약 0.008 이상, 약 0.009 이상 또는 약 0.0095 이상일 수 있다. 또한, 상기 최대 높이(Fmax)는 다른 예시에서 약 0.9 이하, 약 0.8 이하, 약 0.7 이하, 약 0.6 이하, 약 0.5 이하, 약 0.4 이하, 약 0.3 이하, 약 0.2 이하, 약 0.1 이하, 약 0.09 이하, 약 0.08 이하, 약 0.07 이하, 약 0.06 이하, 약 0.05 이하, 약 0.04 이하, 약 0.03 이하 또는 약 0.02 이하일 수 있다.The plurality of spacers may be arranged such that the maximum height (Fmax) of the spacing normal distribution is at least 0.006 and less than 1. The maximum height Fmax may be about 0.007 or more, about 0.008 or more, about 0.009 or more, or about 0.0095 or more in other examples. In another example, the maximum height Fmax is about 0.9 or less, about 0.8 or less, about 0.7 or less, about 0.6 or less, about 0.5 or less, about 0.4 or less, about 0.3 or less, about 0.2 or less, about 0.1 or less, About 0.08 or less, about 0.07 or less, about 0.06 or less, about 0.05 or less, about 0.04 or less, about 0.03 or less, or about 0.02 or less.

복수의 스페이서들이 상기와 같은 형태의 스페이싱 정규 분포도를 가지도록 배치됨으로 해서, 상기 기판을 통해 광학 디바이스를 구현하였을 때에 스페이서들이 기판간의 피치(cell gap)을 균일하게 유지하면서도 소위 모와레 현상을 유발시키지 않고, 균일한 광학 특성이 확보되도록 할 수 있다.When a plurality of spacers are arranged to have a spacing normal distribution of the above-described type, when the optical device is implemented through the substrate, the spacers maintain a uniform cell gap between the substrates while causing a so- So that uniform optical characteristics can be ensured.

복수의 스페이서들이 상기와 같이 불규칙성과 규칙성을 동시에 가지도록 배치되기 위해서 불규칙도라는 개념이 도입된다. 이하, 상기와 같은 형태의 스페이서들의 배치를 설계하기 위한 방법을 설명한다.The concept of irregularity is introduced so that a plurality of spacers are arranged so as to have both irregularity and regularity as described above. Hereinafter, a method for designing the arrangement of the above-described types of spacers will be described.

상기 언급된 규칙성과 불규칙성을 동시에 가지는 스페이서들의 배치를 달성하기 위해서는 정상 배치 상태에서 출발하여 불규칙성을 가지도록 스페이서들을 재배치하는 단계를 수행한다.In order to achieve the arrangement of the spacers having the above-mentioned regularity and irregularity, a step of starting the normal arrangement and relocating the spacers to have irregularities is performed.

상기에서 정상 배치 상태는, 복수의 스페이서들이 기재층상에 모든 변의 길이가 동일한 정삼각형, 정사각형 또는 정육각형을 형성할 수 있도록 배치된 상태이다. 도 22는, 일 예시로서 스페이서들이 상기 정사각형을 형성하도록 배치된 상태이다. 이 상태에서의 정사각형의 한변의 길이 P는, 전술한 정상 피치와 같을 수 있다. 상기와 같은 배치 상태에서 하나의 스페이서가 존재하는 지점을 기준으로 상기의 한변의 길이 P에 대하여 일정 비율이 되는 길이의 반경을 가지는 원 영역을 지정하고, 그 영역 내에서 상기 하나의 스페이서가 무작위적으로 이동할 수 있도록 프로그램을 셋팅한다. 예를 들어, 도 22는상기 길이 P 대비 50%의 길이(0.5P)의 반경을 가지는 원 영역을 설정하고, 그 영역 내의 임의의 지점으로 상기 스페이서가 이동하는 형태를 모식적으로 보여주고 있다. 상기와 같은 이동을 적어도 80% 이상, 85% 이상, 90% 이상, 95% 이상 또는 100%(모든 스페이서)의 스페이서에 적용하여 전술한 배치를 달성할 수 있다.The normal arrangement state is a state in which a plurality of spacers are arranged on the base layer so as to form an equilateral triangle, a square, or a regular hexagon having the same length on all sides. 22 is a state in which spacers are arranged to form the square as an example. The length P of one side of the square in this state may be equal to the normal pitch mentioned above. In the above-described arrangement, a circle area having a radius having a length proportional to the length P of one side is designated on the basis of a point where one spacer exists, and the one spacer is randomly The program is set to move to For example, FIG. 22 schematically shows a form in which a circle area having a radius of 0.5% of a length of 50% of the length P is set and the spacer moves to an arbitrary point in the area. The above arrangement can be achieved by applying the above movement to spacers of at least 80%, 85%, 90%, 95% or 100% (all spacers).

상기와 같은 설계 방식에서 상기 원 영역의 반경이 되는 길이 P에 대한 비율이 불규칙도로 정의될 수 있다. 일 예시에서 상기 설계 방식에서의 불규칙도는 약 5% 이상, 약 10% 이상, 약 15% 이상, 약 20% 이상, 약 25% 이상, 약 30% 이상, 약 35% 이상, 약 40% 이상, 약 45% 이상, 약 50% 이상, 약 55% 이상, 약 60% 이상 또는 약 65% 이상일 수 있다. 상기 불규칙도는 일 예시에서 약 95% 이하, 약 90% 이하, 약 85% 이하 또는 약 80% 이하일 수 있다.In the above-described design method, the ratio to the length P, which is the radius of the original area, can be defined to be irregular. In one example, the irregularity in the design scheme is at least about 5%, at least about 10%, at least about 15%, at least about 20%, at least about 25%, at least about 30%, at least about 35% , About 45% or more, about 50% or more, about 55% or more, about 60% or more, or about 65% or more. In one example, the irregularity may be about 95% or less, about 90% or less, about 85% or less, or about 80% or less.

상기와 같은 방식으로 스페이서의 배치를 설계하고, 설계된 배치에 따라서 스페이서를 형성함으로써 전술한 불규칙성과 규칙성을 동시에 가지는 배치를 달성할 수 있다.By arranging the spacers in the same manner as described above and forming the spacers according to the designed arrangement, it is possible to achieve the arrangement having the above-described irregularity and regularity at the same time.

또한, 상기에서는 정상 상태가 정사각형에서 출발하는 경우를 예시로 하였으나, 상기 정상 상태는 정삼각형 또는 정육각형 등 다른 도형일 수 있으며, 그 경우에도 전술한 배치가 달성될 수 있다.In the above description, the steady state starts from a square. However, the steady state may be another shape such as an equilateral triangle or a regular hexagon. In this case, the above arrangement can also be achieved.

또한, 상기와 같은 방식으로 스페이서들의 배치를 설계하는 수단은 특별히 제한되지 않고, 공지의 난수 좌표 프로그램, 예를 들면, CAD, MATLAB, STELLA 또는 Excel 난수 좌표 프로그램 등을 사용할 수 있다.The means for designing the arrangement of the spacers in the above manner is not particularly limited, and a known random number coordinate program, for example, a CAD, MATLAB, STELLA or Excel random number coordinate program can be used.

예를 들면, 상기와 같은 방식으로 우선 스페이서의 배치를 설계한 후에 해당 설계에 따른 패턴을 가지는 마스크 등을 제조하고, 해당 마스크를 전술한 리소그라피 또는 임프린팅 방식 등에 적용하여 상기와 같은 스페이서를 구현할 수 있다.For example, after the arrangement of the spacers is designed in the above-described manner, a mask having a pattern according to the design may be manufactured, and the spacer may be implemented by applying the mask to the lithography or imprinting method described above have.

본 출원은 또한, 상기와 같은 기판을 사용하여 형성한 광학 디바이스에 대한 것이다. The present application is also directed to an optical device formed using such a substrate.

본 출원의 예시적인 광학 디바이스는, 상기 기판 및 상기 기판과 대향 배치되어 있고, 상기 기판의 스페이서에 의해 상기 기판과의 간격이 유지된 제 2 기판을 포함할 수 있다.An exemplary optical device of the present application may include a second substrate opposing the substrate and the substrate and spaced apart from the substrate by a spacer of the substrate.

상기 광학 디바이스에서 2개의 기판의 사이의 간격에는 광변조층이 존재할 수 있다. 본 출원에서 용어 광변조층에는, 입사된 광의 편광 상태, 투과율, 색조 및 반사율 등의 특성 중에서 적어도 하나의 특성을 목적에 따라 변화시킬 수 있는 공지의 모든 종류의 층이 포함될 수 있다.In the optical device, a light-modulating layer may be present in an interval between the two substrates. The term optical modulation layer in the present application may include all known types of layers capable of changing at least one of the characteristics such as the polarization state, transmittance, color tone, and reflectance of the incident light according to purposes.

예를 들면, 상기 광변조층은, 액정 물질을 포함하는 층으로서, 전압, 예를 들면 수직 전계나 수평 전계의 온오프(on-off)에 의하여 확산 모드와 투과 모드 사이에서 스위칭되는 액정층이거나, 투과 모드와 차단 모드 사이에서 스위칭되는 액정층이거나, 투과 모드와 칼라 모드에서 스위칭되는 액정층 또는 서로 다른 색의 칼라 모드 사이를 스위칭하는 액정층일 수 있다. For example, the light modulating layer may be a liquid crystal layer that is switched between a diffusion mode and a transmissive mode by on-off of a voltage, for example, a vertical electric field or a horizontal electric field, A liquid crystal layer switched between a transmissive mode and a cut-off mode, a liquid crystal layer switched between a transmissive mode and a color mode, or a liquid crystal layer switching between color modes of different colors.

상기와 같은 광변조층, 예를 들면, 액정층은 다양하게 공지되어 있다. 하나의 예시적인 광변조층으로는 통상적인 액정 디스플레이에 사용되는 액정층의 사용이 가능하다. 다른 예시에서, 광변조층은 다양한 형태의 소위 게스트 호스트 액정층(Guest Host Liquid Crystal Layer), 고분자 분산형 액정층(Polymer Dispersed Liquid Crystal), 화소 고립형 액정층(Pixcel-isolated Liquid Crystal), 부유 입자 디바이스(Suspended Particle Deivice) 또는 전기변색 디스플레이(Electrochromic device) 등일 수도 있다. Various optical modulation layers, such as liquid crystal layers, are known in the art. As one exemplary optical modulation layer, it is possible to use a liquid crystal layer used in a typical liquid crystal display. In another example, the light modulating layer may include various types of so-called guest host liquid crystal layers, polymer dispersed liquid crystals, pixel-isolated liquid crystals, A particle device (Suspended Particle Deivice) or an electrochromic device.

상기에서 고분자 분산형 액정층(PDLC)은 소위 PILC(pixel isolated liquid crystal), PDLC(polymer dispersed liquid crystal), PNLC(Polymer Network Liquid Crystal) 또는 PSLC(Polymer Stablized Liquid Crystal) 등을 포함하는 상위 개념이다. 고분자 분산형 액정층(PDLC)은, 예를 들면, 고분자 네트워크 및 상기 고분자 네트워크와 상분리된 상태로 분산되어 있는 액정 화합물을 포함하는 액정 영역을 포함할 수 있다. The polymer dispersed liquid crystal layer (PDLC) is a superordinate concept including a pixel isolated liquid crystal (PILC), a polymer dispersed liquid crystal (PDLC), a polymer network liquid crystal (PNLC), a polymer stabilized liquid crystal . The polymer dispersed liquid crystal layer (PDLC) may include, for example, a polymer network and a liquid crystal region containing a liquid crystal compound that is dispersed in a state of being phase-separated from the polymer network.

상기와 같은 광변조층의 구현 방식이나 형태는 특별히 제한되지 않으며, 목적에 따라서 공지된 방식을 제한 없이 채택할 수 있다.The manner and form of the optical modulation layer are not particularly limited, and any known method may be employed without any limitations depending on the purpose.

또한, 상기 광학 디바이스는 필요한 경우 추가적인 공지의 기능성층, 예를 들면, 편광층, 하드코팅층 및/또는 반사 방지층 등도 추가로 포함할 수 있다.In addition, the optical device may further include additional known functional layers such as a polarizing layer, a hard coating layer, and / or an antireflection layer, if necessary.

본 출원은 특정 형태의 스페이서가 형성되 기판, 상기 스페이서상에 형성된 배향막을 포함하는 기판 및 그러한 기판을 사용한 광학 디바이스 등에 대한 것이다. 본 출원에서는 목적하는 암색화가 확보된 고단차의 스페이서를 형성할 수 있는 구조가 제시될 수 있다.The present application is directed to a substrate, a substrate including an alignment film formed on the spacer, and an optical device using such a substrate, in which a specific type of spacer is formed. In the present application, a structure capable of forming a spacer of a high-stage difference in which a desired darkening is ensured can be presented.

도 1, 2, 4 내지 7은, 본 출원의 예시적인 기판의 구조를 보여주는 도면이다.
도 3은, 스페이서의 형성 형태를 보여주는 예시적인 도면이다.
도 8 내지 11은 본 출원의 스페이서의 예시적인 형태의 모식도이다.
도 12 내지 17은, 본 출원의 스페이서의 예시적인 형태를 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 일 예시에 따라서 본 출원의 스페이서의 제작에 사용될 수 있는 마스크의 형태를 나타내는 도면이다.
도 19는, 도 18의 마스크를 사용하여 스페이서를 제작하는 과정의 모식도이다.
도 20 및 21은, 스페이서상에 형성된 배향막의 예시적인 단면의 모식도이다.
도 22는 불규칙도를 구현하는 방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 23 내지 36은 실시예 또는 비교예에서 형성된 흑색층 또는 스페이서의 사진 또는 실시예 또는 비교예의 성능을 비교하는 사진이다.
Figures 1, 2, 4 to 7 show the structure of an exemplary substrate of the present application.
3 is an exemplary view showing the formation of the spacer.
8-11 are schematic diagrams of an exemplary form of the spacer of the present application.
12 to 17 are views for explaining an exemplary form of the spacer of the present application.
Fig. 18 is a view showing the shape of a mask which can be used for manufacturing the spacer of the present application, according to an example.
19 is a schematic view of a process of fabricating a spacer using the mask of FIG.
20 and 21 are schematic diagrams of exemplary cross sections of an alignment film formed on a spacer.
22 is a diagram for explaining a method of implementing the irregularity degree.
Figs. 23 to 36 are photographs of a black layer or spacer formed in Examples or Comparative Examples, or photographs for comparing performance of Examples or Comparative Examples. Fig.

이하 실시예를 통하여 본 출원을 구체적으로 설명하지만, 본 출원의 범위가 하기 실시예에 의해 제한되는 것은 아니다.The present application will be specifically described by way of the following examples, but the scope of the present application is not limited by the following examples.

실시예 1.Example 1.

도 18에 나타난 바와 같은 형태의 임프린팅 마스크를 제조하고, 그를 사용하여 반구형 스페이서를 제조하였다. 임프린팅 마스크는 도 18에 나타난 형태에 따라서 PET(poly(ethylene terephthalate)) 본체(9)에 임프린팅 몰드(901)를 형성하고, 상기 몰드(901)에 오목부(9011)를 형성한 후, 오목부(9011)가 형성되어 있지 않은 면에 흑색층(AlOxNy)(902)을 형성하고, 흑색층(902)과 오목부(9011)상에 이형층을 형성하여 제조하였다. 이 때 오목부는 폭이 대략 24㎛ 내지 26㎛의 범위 내이고, 높이가 대략 9㎛ 내지 10㎛ 정도인 반구 형상으로 형성하였다. 또한, 스페이서의 배치가 도 22에 기재된 불규칙도가 약 70% 정도가 되도록 상기 오목부를 형성하였다.An imprinting mask of the type shown in Fig. 18 was prepared, and hemispherical spacers were prepared using the same. The imprinting mask is formed by forming an imprinting mold 901 on a poly (ethylene terephthalate) body 9 according to the shape shown in FIG. 18, forming a recess 9011 in the mold 901, A black layer (AlO x N y) 902 was formed on the surface on which the concave portion 9011 was not formed and a release layer was formed on the black layer 902 and the concave portion 9011. At this time, the concave portion was formed into a hemispherical shape having a width of approximately 24 to 26 mu m and a height of approximately 9 to 10 mu m. In addition, the concave portion was formed such that the arrangement of the spacers was such that the degree of irregularity described in FIG. 22 was about 70%.

PC(polycarbonate) 기재층(도 6 및 7의 10)상에 결정질의 ITO(Indium Tin Oxide) 전극층(도 6 및 7의 40)을 형성하고, 그 위에 흑색층(도 6 및 7의 30)을 형성하였다. 흑색층은, 알루미늄 산질화물(AlON), 알루미늄(Al) 및 알루미늄 산질화물(AlON)을 각각 약 60 nm, 80 nm 및 60 nm 정도의 두께로 증착하여 전체 두께가 약 200 nm 정도인 3층 구조(AlON/Al/AlON)로 형성하였다. 상기에서 알루미늄은 물리적 연성(physical ductility)치가 대략 0.65 정도로 알려진 금속이다. 도 24는 상기 형성된 흑색층이 형성된 기재층을 상부에서 관찰한 도면이고, 플렉서블 기재층인 PC 기재층 상에서 크랙(crack) 등을 유발하지 않고, 안정적으로 흑색층이 형성된 것을 확인할 수 있다. A crystalline ITO (Indium Tin Oxide) electrode layer (40 in Figs. 6 and 7) is formed on a PC (polycarbonate) base layer (10 in Figs. 6 and 7), and a black layer . The black layer is formed by depositing aluminum oxynitride (AlON), aluminum (Al) and aluminum oxynitride (AlON) to a thickness of about 60 nm, 80 nm and 60 nm, respectively, (AlON / Al / AlON). Aluminum is a metal whose physical ductility value is known to be about 0.65. Fig. 24 is a view of the base layer formed with the black layer formed thereon from above, and it can be confirmed that a black layer is stably formed without causing cracks or the like on the PC base layer, which is a flexible base layer.

이어서, 상기 흑색층상에 컬럼 스페이스 제조에 사용되는 통상의 자외선 경화형 아크릴레이트 계열 바인더 및 개시제의 혼합물(UV(Ultraviolet) 수지)을 약 2 내지 3 mL 정도 적가(dropping)하고, 상기 임프린팅 마스크로 상기 적가된 혼합물을 압착하여, 기재층, 전극층, 흑색층, UV 수지층 및 임프린팅 마스크층을 포함하는 적층체를 형성한 상태로 자외선을 조사하여 상기 UV 수지층을 경화시켰다. 이와 같은 공정을 통해 마스크(900)의 오목부 패턴에 의한 렌즈의 집광 효과를 얻을 수 있어서 경화 부위의 경화도를 높일 수 있다.Subsequently, about 2 to 3 mL of a mixture (UV (Ultraviolet) resin) of a conventional ultraviolet curing type acrylate-based binder and initiator used for preparing a column space is dropped on the black layer, The dropped mixture was pressed to cure the UV resin layer by irradiating ultraviolet rays while forming a laminate including a base layer, an electrode layer, a black layer, a UV resin layer and an imprinting mask layer. Through such a process, the condensing effect of the lens by the concave pattern of the mask 900 can be obtained, and the degree of curing of the cured portion can be increased.

그 후, 미경화된 UV 수지층(200)을 제거(현상)하고, 미경화된 UV 수지층이 제거된 부위의 흑색층을 제거(에칭)하여, PC 기재층의 ITO 전극층 및 흑색층상에 반구형 스페이서를 형성하였다.Thereafter, the uncured UV resin layer 200 is removed (developed), and the black layer at the removed portion of the uncured UV resin layer is removed (etched) to form a hemispherical shape on the ITO electrode layer and the black layer of the PC substrate layer Thereby forming spacers.

도 23은 상기 방식으로 제조된 반구형 스페이서의 측면이고, 형성된 반구형 스페이서는 높이가 대략 12㎛ 정도이고, 폭이 대략 25㎛ 정도였다. 사진을 나타낸다. 도 25는 실시예의 기판을 적용하여 제작한 액정셀의 차광 상태에서의 사진이다.Fig. 23 is a side view of the hemispherical spacer manufactured in the above manner, and the hemispherical spacer formed was about 12 mu m in height and about 25 mu m in width. Picture. 25 is a photograph of the liquid crystal cell manufactured by applying the substrate of the embodiment in the light shielding state.

실시예 2.Example 2.

실시예 1에서와 같이 PC(polycarbonate) 기재층(도 6 및 7의 10)상에 결정질의 ITO(Indium Tin Oxide) 전극층(도 6 및 7의 40)을 형성하고, 그 위에 흑색층(도 6 및 7의 30)을 형성하였다. 흑색층은, 먼저 구리(Cu)를 ITO 전극층 상에 약 80 nm 정도의 두께로 증착한 후에 다시 구리 산화물(CuOx)을 약 30 nm 정도의 두께로 증착하여 2층 구조(Cu/CuOx)로 형성하였다. 상기에서 구리는 물리적 연성(physical ductility)치가 대략 0.62 정도로 알려진 금속이다. 이어서, 스페이서로서, 원기둥 형상의 컬럼 스페이서가 형성될 수 있도록 마스크를 변경하여 적용한 것을 제외하고는 실시예 1과 같은 방식으로 스페이서를 제작하였다. 상기 원기둥 형상의 컬럼 스페이서의 형성 시에는 차광층이 포함된 포토마스크로서, 폴리에스테르 필름인 본체의 일면에 차광층이 형성되고, 이어서 보호층이 형성된 코어링크社의 상용 제품을 적용하였다. 도 26은 상기와 같이 형성된 스페이서의 사진이다. 도 26의 (a)는 OM 형상이며, (b)는 SEM 이미지이다.A crystalline ITO (Indium Tin Oxide) electrode layer (40 in Figs. 6 and 7) is formed on a polycarbonate base layer (10 in Figs. 6 and 7) as in Example 1 and a black layer And 7 of 30). The black layer is formed by first depositing copper (Cu) on the ITO electrode layer to a thickness of about 80 nm and then depositing copper oxide (CuOx) to a thickness of about 30 nm to form a two-layer structure (Cu / CuOx) Respectively. Copper is a metal whose physical ductility value is known to be about 0.62. Subsequently, a spacer was prepared in the same manner as in Example 1, except that the mask was changed so as to form a columnar column spacer as a spacer. At the time of formation of the columnar columnar spacer, a commercial product of Corelink Co., Ltd., in which a light-shielding layer is formed on one side of a main body of a polyester film and then a protective layer is formed, is used as a photomask including the light- 26 is a photograph of the spacer formed as described above. 26 (a) is an OM shape and (b) is an SEM image.

실시예 3.Example 3.

허니컴 형태로 배치된 스페이서를 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 같은 방식으로 스페이서를 제작하였다. 도 27은 상기와 같이 형성된 스페이서의 사진이다. 도 27에서 (A) 및 (B)는 각각 저단차 패턴의 저배율 및 고배율 SEM(Scanning electron microscope) 이미지이고, (C) 고단차 패턴의 고배율 SEM(Scanning electron microscope) 이미지이며, (D)는 반사 모드의 OM(Optical Microscopy) 저배율 이미지이고, (E) 투과 모드의 고배율 사진이다.Spacers were produced in the same manner as in Example 1, except that spacers arranged in a honeycomb shape were formed. 27 is a photograph of the spacer formed as described above. 27 (A) and 27 (B) are low-magnification and high-magnification SEM (Scanning Electron Microscope) images of the low-stage difference pattern, (C) high-magnification SEM (Scanning Electron Microscope) images of the high- Mode OM (Optical Microscopy) low magnification image, and (E) Transmission mode high magnification image.

비교예 1.Comparative Example 1

흑색층을 형성하지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 같은 방식으로 스페이서를 제작하였다. 도 28은 상기 비교예 1의 기판을 적용한 액정셀의 차광 상태에서의 사진이다.A spacer was prepared in the same manner as in Example 1, except that a black layer was not formed. 28 is a photograph of the liquid crystal cell to which the substrate of Comparative Example 1 is applied in the light shielding state.

비교예 2.Comparative Example 2

실시예와 같이 흑색층과 컬럼 스페이서를 형성하지 않고, 스페이서로서 공지의 블랙 볼 스페이서(Black Ball Spacer)(Sekisui Chem社, KBN-512)를 적용하여, 액정셀을 제조하였다. 상기 액정셀은, 하부 기재층인 ITO 전극층이 형성된 필름의 상기 ITO 전극층상에 상기 블랙 볼 스페이서가 분산된 배향막을 코팅한 후에 동일하게 ITO 전극층이 형성된 필름의 상기 ITO 전극층을 볼 스페이서가 분산된 배향막이 코팅된 하부 기재층의 ITO 전극층과 대향 배치시킨 상태에서 그 사이에 액정을 채우고 합착하여 제작하였다. 도 29는 상기 액정셀의 차광 상태에서의 사진이다.A liquid crystal cell was prepared by applying a black ball spacer (Sekisui Chem, KBN-512) known as a spacer without forming a black layer and a column spacer as in Example. The liquid crystal cell may be formed by coating an alignment film in which the black ball spacer is dispersed on the ITO electrode layer of a film on which an ITO electrode layer as a lower substrate layer is formed and then coating the ITO electrode layer of the film on which the ITO electrode layer is formed, And the ITO electrode layer of the coated lower substrate layer was disposed opposite to the ITO electrode layer. 29 is a photograph of the liquid crystal cell in the light shielding state.

비교예 3.Comparative Example 3

흑색층을 형성하지 않고, 그 대신 자외선 경화형 수지(UV) 내에 카본 블랙을 약 3 중량%의 양으로 적용하여 컬럼 스페이서를 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 같은 방식으로 스페이서를 제작하였다. 도 30은 상기 비교예 3의 기판을 적용한 액정셀의 차광 상태에서의 사진이다.A spacer was prepared in the same manner as in Example 1, except that a black layer was not formed, and instead, carbon black was applied in an amount of about 3% by weight in an ultraviolet curable resin (UV) to form a column spacer. 30 is a photograph of the liquid crystal cell to which the substrate of Comparative Example 3 is applied in a light shielding state.

시험예 1.Test Example 1

도 31 및 32는 각각 실시예 1 및 비교예 1에서 형성된 컬럼 스페이서 필름의 OM(Optical Microscopy) 이미지이다.31 and 32 are OM (Optical Microscopy) images of the column spacer film formed in Example 1 and Comparative Example 1, respectively.

도 31은 좌측에서부터 각각 실시예 1의 저배율(x200) 반사 모드 이미지, 저배율(x200) 투과 모드 이미지, 고배율(x500) 반사 모드 이미지 및 고배율(x500) 투과 모드 이미지이고, 도 32는 좌측에서부터 각각 비교예 1의 저배율(x200) 반사 모드 이미지, 저배율(x200) 투과 모드 이미지, 고배율(x500) 반사 모드 이미지 및 고배율(x500) 투과 모드 이미지이다.31 is a low magnification (x200) reflective mode image, a low magnification (x200) transmissive mode image, a high magnification (x500) reflective mode image and a high magnification (x500) transmissive mode image of Example 1 from the left, (X200) reflective mode image of Example 1, a low magnification (x200) transmissive mode image, a high magnification (x500) reflective mode image, and a high magnification (x500) transmissive mode image.

도 33 및 34는 각각 실시예 1의 컬럼 스페이서 필름을 적용하여 제작한 액정셀에서 차광 모드에서의 저배율(x200) 및 고배율(x500) 투과 모드의 OM(Optical Microscopy) 이미지이고, 도 35 및 36은 각각 비교예 1의 컬럼 스페이서 필름을 적용하여 제작한 액정셀에서 차광 모드에서의 저배율(x200) 및 고배율(x500) 투과 모드의 OM(Optical Microscopy) 이미지이다. 도면을 통해서 비교예 1은, 컬럼 스페이서 형성 부위에서 발생하는 빛샘이 관찰되고, 이로 인해서 투과율이 증가하게 되는 문제가 발생하였다.33 and 34 are OM (Optical Microscopy) images of a low magnification (x200) and a high magnification (x500) transmission mode in a light shield mode in a liquid crystal cell manufactured by applying the column spacer film of Embodiment 1, (X200) and high magnification (x500) transmission mode OM (Optical Microscopy) images in the light shielding mode in the liquid crystal cell manufactured by applying the column spacer film of Comparative Example 1, respectively. In the comparative example 1, light leakage occurred at the column spacer formation site was observed, which resulted in an increase in transmittance.

또한, Black Ink 코팅 후 측정 결과, 실시예 1은, 코팅된 Black Ink 대비 높은 광학 밀도로 인해서 전체 투과율이 전면 Black Ink 코팅보다 낮게 나타났으며(11.7㎛ 전면 Black Ink 코팅 투과율: 약 1.7%), 비교예 1의 경우 빛샘으로 인해, 전체 투과율이 전면 Black Ink 코팅보다 높게 나타났다(12.5㎛ 전면 Black Ink 코팅 투과율: 약 2.2%).Also, as a result of measurement after Black Ink coating, Example 1 showed lower total transmittance than the front Black Ink coating (11.7 占 퐉 front Black Ink coating transmittance: about 1.7%) due to high optical density compared to coated Black Ink, In the case of Comparative Example 1, the total transmittance was higher than that of the entire Black Ink coating due to light leakage (12.5 占 퐉 front Black Ink coating transmittance: about 2.2%).

Claims (15)

기재층; 상기 기재층상에 형성된 투명 컬럼 스페이서; 및 상기 투명 컬럼 스페이서와 기재층의 사이에 존재하는 흑색층을 포함하는 기판.A base layer; A transparent column spacer formed on the base layer; And a black layer present between the transparent column spacer and the substrate layer. 제 1 항에 있어서, 기재층은 플렉서블 기재층인 기판.The substrate according to claim 1, wherein the substrate layer is a flexible substrate layer. 제 1 항에 있어서, 흑색층의 면적(B)과 컬럼 스페이서의 바닥부의 면적(T)의 비율(T/B)은 0.5 내지 1.5의 범위 내인 기판.The substrate according to claim 1, wherein the ratio (T / B) of the area (B) of the black layer to the area (T) of the bottom of the column spacer is in the range of 0.5 to 1.5. 제 1 항에 있어서, 흑색층은, 상기 컬럼 스페이서의 바닥부와 동일하거나 그보다 작은 면적을 가지는 기판.The substrate of claim 1 wherein the black layer has an area equal to or less than the bottom of the column spacer. 제 1 항에 있어서, 흑색층과 컬럼 스페이서는 서로 중첩되어 있는 기판.The substrate according to claim 1, wherein the black layer and the column spacer overlap each other. 제 1 항에 있어서, 흑색층은, 물리적 연성값이 0.55 이상인 금속을 포함하는 기판.The substrate according to claim 1, wherein the black layer comprises a metal having a physical softness value of 0.55 or more. 제 1 항에 있어서, 흑색층은, 물리적 연성값이 0.55 이상인 금속의 금속층, 물리적 연성값이 0.55 이상인 금속의 금속 산화물층, 물리적 연성값이 0.55 이상인 금속의 금속 질화물층 또는 물리적 연성값이 0.55 이상인 금속의 금속 산질화물층이거나, 상기 중 2종 이상의 적층 구조를 가지는 기판.The optical information recording medium according to claim 1, wherein the black layer is a metal layer of a metal having a physical ductility value of 0.55 or more, a metal oxide layer of a metal having a physical ductility value of 0.55 or more, a metal nitride layer of a metal having a physical ductility value of 0.55 or more, A metal oxynitride layer of a metal, or a laminate structure of two or more of the above. 제 7 항에 있어서, 흑색층은, 상기 금속층인 제 1 층과 상기 금속 산화물층, 상기 금속 질화물층 또는 상기 금속 산질화물층인 제 2 층을 포함하는 다층 구조인 기판.The substrate according to claim 7, wherein the black layer is a multilayer structure including a first layer which is the metal layer and a second layer which is the metal oxide layer, the metal nitride layer or the metal oxynitride layer. 제 7 항에 있어서, 흑색층은, 상기 금속층인 제 1 층의 양측에 상기 금속 산화물층, 상기 금속 질화물층 또는 상기 금속 산질화물층인 제 2 층을 포함하는 다층 구조인 기판.The substrate according to claim 7, wherein the black layer is a multilayer structure including the metal oxide layer, the metal nitride layer or the metal oxynitride layer on both sides of the first layer which is the metal layer. 제 1 항에 있어서, 흑색층은 두께가 30 nm 내지 5000 nm의 범위 내에 있는 기판.The substrate according to claim 1, wherein the black layer has a thickness in the range of 30 nm to 5000 nm. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 제 1 층과 제 2 층의 두께는 각각 30 nm 내지 200 nm의 범위 내에 있는 기판.The substrate according to claim 8 or 9, wherein the thicknesses of the first layer and the second layer are each in the range of 30 nm to 200 nm. 제 1 항에 있어서, 스페이서는, 상부에 반구부를 가지는 반구형 스페이서인 기판.2. The substrate of claim 1, wherein the spacer is a hemispherical spacer having a hemispherical portion at the top. 제 1 항에 있어서, 흑색층과 기재층의 사이에 전극층을 추가로 포함하는 기판.The substrate according to claim 1, further comprising an electrode layer between the black layer and the substrate layer. 제 1 항의 기판 및 상기 기판과 대향 배치되어 있고, 상기 기판의 스페이서에 의해 상기 기판과의 간격이 유지된 제 2 기판을 포함하는 광학 디바이스.11. An optical device comprising: the substrate of claim 1; and a second substrate facing the substrate, the second substrate being spaced apart from the substrate by a spacer of the substrate. 제 14 항에 있어서, 기판 사이의 간격에는 액정 물질이 존재하는 광학 디바이스.15. The optical device of claim 14, wherein a liquid crystal material is present in an interval between the substrates.
KR1020180087287A 2017-07-27 2018-07-26 Substrate KR102097812B1 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201880048877.4A CN110959134B (en) 2017-07-27 2018-07-27 Substrate
PCT/KR2018/008553 WO2019022566A1 (en) 2017-07-27 2018-07-27 Substrate
JP2020503705A JP7067695B2 (en) 2017-07-27 2018-07-27 substrate
EP18838175.0A EP3660582B1 (en) 2017-07-27 2018-07-27 Substrate
US16/751,778 US11163197B2 (en) 2017-07-27 2020-01-24 Substrate

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20170095466 2017-07-27
KR1020170095466 2017-07-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190013582A true KR20190013582A (en) 2019-02-11
KR102097812B1 KR102097812B1 (en) 2020-04-07

Family

ID=65370613

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180087287A KR102097812B1 (en) 2017-07-27 2018-07-26 Substrate

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11163197B2 (en)
EP (1) EP3660582B1 (en)
JP (1) JP7067695B2 (en)
KR (1) KR102097812B1 (en)
CN (1) CN110959134B (en)
TW (1) TWI758519B (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0022311A1 (en) 1979-06-15 1981-01-14 Stanley Electric Co., Ltd. Multilayer liquid crystal device
JP2001234267A (en) * 1999-12-17 2001-08-28 Geomatec Co Ltd Alloy or metallic sintered body for thin film deposition and use thereof
JP2011197521A (en) * 2010-03-23 2011-10-06 Asahi Glass Co Ltd Glass substrate with light shielding film, and liquid crystal display device
KR20150083956A (en) * 2014-01-10 2015-07-21 삼성디스플레이 주식회사 Display apparatus and method of manufacturing the same
US20170090232A1 (en) * 2015-09-28 2017-03-30 Boe Technology Group Co., Ltd. Display substrate, manufacturing method thereof and display device

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3472422B2 (en) 1996-11-07 2003-12-02 シャープ株式会社 Liquid crystal device manufacturing method
KR100475165B1 (en) 2002-05-16 2005-03-08 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Apparatus and Method of Fabricating Liquid Crystal Display
KR20040051951A (en) 2002-12-13 2004-06-19 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid Crystal Display Panel And Fabricating Method Thereof
TWI278695B (en) * 2003-04-09 2007-04-11 Innolux Display Corp Liquid crystal display device
KR20050049985A (en) * 2003-11-24 2005-05-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Fabrication method of liquid crystal display device using color filter substrate formed using back exposure
KR100662781B1 (en) 2003-12-15 2007-01-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Method of babricating a color filter substrate of liquid crystal display device
KR101022552B1 (en) 2003-12-30 2011-03-16 엘지디스플레이 주식회사 Device and the fabrication method for lcd
KR101036723B1 (en) * 2003-12-30 2011-05-24 엘지디스플레이 주식회사 Lquid Crystal Display and method for manufacturing the same
JP2006184505A (en) 2004-12-27 2006-07-13 Shin Sti Technology Kk Color filter and its manufacturing method
KR20080072953A (en) 2005-11-29 2008-08-07 후지필름 가부시키가이샤 Substrate for liquid crystal display device, liquid crystal display element, and liquid crystal display device
KR101241596B1 (en) 2006-07-28 2013-03-08 코오롱인더스트리 주식회사 Photoresist resin composition for column spacer
JP2009031778A (en) 2007-06-27 2009-02-12 Mitsubishi Chemicals Corp Photosensitive composition, method, cured product, and liquid crystal display device
JP2009128799A (en) * 2007-11-27 2009-06-11 Sharp Corp Liquid crystal display and method for manufacturing the same
JP5197418B2 (en) 2008-08-26 2013-05-15 三菱電機株式会社 Antireflection film, method for manufacturing the same, and display device
KR102094683B1 (en) 2008-09-19 2020-03-30 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 Display device
KR101564332B1 (en) 2008-10-28 2015-10-30 삼성전자주식회사 Touch screen panel integrated with liquid crystal display method of manufacturing the same and method of touch sensing
CN201804187U (en) * 2010-08-17 2011-04-20 天马微电子股份有限公司 Liquid crystal display (LCD) device
CN103235450B (en) * 2013-03-15 2015-12-02 合肥京东方光电科技有限公司 Display panel and preparation method thereof, mask plate and preparation method thereof, display device
KR102028988B1 (en) * 2013-04-02 2019-10-07 엘지디스플레이 주식회사 Liquid crystal display device and method of fabricating the same
KR102133036B1 (en) * 2014-03-11 2020-07-14 삼성디스플레이 주식회사 Display panel and display apparatus having the same
US10429704B2 (en) 2015-03-26 2019-10-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device, display module including the display device, and electronic device including the display device or the display module
CN105093709B (en) * 2015-09-15 2018-11-30 京东方科技集团股份有限公司 A kind of display panel and preparation method thereof
SG11201802076PA (en) 2015-09-30 2018-04-27 Toray Industries Negative photosensitive resin composition, cured film, element and display device each provided with cured film, and method for manufacturing display device
CN109917575A (en) * 2017-12-12 2019-06-21 中华映管股份有限公司 Bendable liquid crystal display

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0022311A1 (en) 1979-06-15 1981-01-14 Stanley Electric Co., Ltd. Multilayer liquid crystal device
JP2001234267A (en) * 1999-12-17 2001-08-28 Geomatec Co Ltd Alloy or metallic sintered body for thin film deposition and use thereof
JP2011197521A (en) * 2010-03-23 2011-10-06 Asahi Glass Co Ltd Glass substrate with light shielding film, and liquid crystal display device
KR20150083956A (en) * 2014-01-10 2015-07-21 삼성디스플레이 주식회사 Display apparatus and method of manufacturing the same
US20170090232A1 (en) * 2015-09-28 2017-03-30 Boe Technology Group Co., Ltd. Display substrate, manufacturing method thereof and display device

Also Published As

Publication number Publication date
KR102097812B1 (en) 2020-04-07
CN110959134A (en) 2020-04-03
TWI758519B (en) 2022-03-21
EP3660582B1 (en) 2022-08-31
JP2020529040A (en) 2020-10-01
EP3660582A1 (en) 2020-06-03
CN110959134B (en) 2023-01-03
US20200233252A1 (en) 2020-07-23
EP3660582A4 (en) 2020-06-03
JP7067695B2 (en) 2022-05-16
US11163197B2 (en) 2021-11-02
TW201911598A (en) 2019-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102363734B1 (en) Substrate
KR102602274B1 (en) Substrate
KR102159500B1 (en) Substrate
KR20200134758A (en) Substrate
US11493807B2 (en) Substrate
US11163197B2 (en) Substrate
US11467452B2 (en) Substrate
KR20200132377A (en) Substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant