KR20180133215A - Method for manufacturing chip - Google Patents
Method for manufacturing chip Download PDFInfo
- Publication number
- KR20180133215A KR20180133215A KR1020180062576A KR20180062576A KR20180133215A KR 20180133215 A KR20180133215 A KR 20180133215A KR 1020180062576 A KR1020180062576 A KR 1020180062576A KR 20180062576 A KR20180062576 A KR 20180062576A KR 20180133215 A KR20180133215 A KR 20180133215A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- silicon wafer
- work
- chip
- holding
- divided
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 39
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 39
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 39
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 27
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 12
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 12
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 9
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 5
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Dicing (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 판형의 피가공물을 분할하여 복수의 칩을 제조하는 칩의 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE
웨이퍼로 대표되는 판형의 피가공물(워크)을 복수의 칩으로 분할하기 위해, 투과성이 있는 레이저 빔을 피가공물의 내부에 집광시켜, 다광자 흡수에 의해 개질된 개질층(개질 영역)을 형성하는 방법이 알려져 있다(예컨대 특허문헌 1 참조). 개질층은 다른 영역에 비교해서 취약하기 때문에, 분할 예정 라인(스트리트)을 따라서 개질층을 형성하고 나서 피가공물에 힘을 가함으로써, 이 개질층을 기점으로 피가공물을 복수의 칩으로 분할할 수 있다. In order to divide a plate-shaped workpiece (workpiece) represented by a wafer into a plurality of chips, a transmissive laser beam is condensed inside the workpiece to form a modified layer (modified region) modified by multiphoton absorption (See, for example, Patent Document 1). Since the modified layer is weaker than other regions, it is possible to divide the workpiece into a plurality of chips starting from the modified layer by applying a force to the workpiece after forming the modified layer along the line to be divided have.
개질층이 형성된 피가공물에 힘을 가할 때에는, 예컨대, 신장성이 있는 익스팬드 시트(익스팬드 테이프)를 피가공물에 붙여 확장하는 방법이 채용된다(예컨대 특허문헌 2 참조). 이 방법에서는, 통상 레이저 빔을 조사하여 피가공물에 개질층을 형성하기 전에 익스팬드 시트를 피가공물에 붙이고, 그 후, 개질층을 형성하고 나서 익스팬드 시트를 확장하여 피가공물을 복수의 칩으로 분할한다. When a force is applied to the workpiece on which the modified layer is formed, for example, a method of expanding an expand sheet (expanded tape) having stretchability by attaching it to the workpiece is adopted (see, for example, Patent Document 2). In this method, the expand sheet is attached to the workpiece before the modified layer is formed on the workpiece by irradiating a laser beam, and after that, the modified layer is formed, and then the expand sheet is expanded so that the workpiece is divided into a plurality of chips .
그런데, 전술한 바와 같은 익스팬드 시트를 확장하는 방법에서는, 사용후의 익스팬드 시트를 다시 사용할 수 없기 때문에, 칩의 제조에 요하는 비용도 높아지기 쉽다. 특히, 점착재가 칩에 잔류하기 어려운 고성능의 익스팬드 시트는, 가격도 높기 때문에, 그와 같은 익스팬드 시트를 이용하면, 칩의 제조에 요하는 비용도 높아진다.However, in the method of expanding the expand sheet as described above, since the expanded sheet after use can not be used again, the cost for manufacturing the chip tends to increase. Particularly, a high-performance expanded sheet in which the adhesive material is difficult to remain on the chip is high in price, and therefore, when such an expanded sheet is used, the manufacturing cost is also increased.
본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 익스팬드 시트를 이용하지 않고 판형의 피가공물을 분할하여 복수의 칩을 제조할 수 있는 칩의 제조 방법을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a chip by which a plurality of chips can be manufactured by dividing a plate-shaped workpiece without using an expanded sheet.
본 발명의 일양태에 의하면, 교차하는 복수의 분할 예정 라인에 의해 칩이 되는 복수의 영역으로 구획된 칩 영역과, 상기 칩 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역을 갖는 실리콘 웨이퍼로부터 복수의 상기 칩을 제조하는 칩의 제조 방법으로서, 실리콘 웨이퍼를 유지 테이블로 직접 유지하는 유지 단계와, 상기 유지 단계를 실시한 후에, 실리콘 웨이퍼에 대하여 투과성을 갖는 파장의 레이저 빔의 집광점을 상기 유지 테이블에 유지된 실리콘 웨이퍼의 내부에 위치 부여하도록 상기 분할 예정 라인을 따라서 실리콘 웨이퍼의 상기 칩 영역에만 상기 레이저 빔을 조사하고, 상기 칩 영역의 상기 분할 예정 라인을 따라서 개질층을 형성하고, 상기 외주 잉여 영역을 개질층이 형성되지 않은 보강부로 하는 레이저 가공 단계와, 상기 레이저 가공 단계를 실시한 후에, 상기 유지 테이블로부터 실리콘 웨이퍼를 반출하는 반출 단계와, 상기 반출 단계를 실시한 후에, 실리콘 웨이퍼에 힘을 부여하여 실리콘 웨이퍼를 개개의 상기 칩으로 분할하는 분할 단계를 포함하고, 상기 분할 단계에서는, 한번의 냉각 또는 가열에 의해 상기 힘을 부여하여 실리콘 웨이퍼를 개개의 상기 칩으로 분할하는 칩의 제조 방법이 제공된다. According to one aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a semiconductor device, comprising: preparing a plurality of chips from a silicon wafer having a chip region divided into a plurality of regions to be chips by a plurality of lines to be divided, A holding step of holding a silicon wafer directly on a holding table; and a holding step of holding the light-converging point of a laser beam having a transmittance to a silicon wafer after the holding step, The laser beam is irradiated only to the chip area of the silicon wafer along the line to be divided so as to position the inside of the silicon wafer, and a modified layer is formed along the line to be divided of the chip area, A laser processing step of making the laser processing step as an unformed reinforcing part, And a dividing step of dividing the silicon wafer into individual chips by applying a force to the silicon wafer after carrying out the carrying out step, wherein the step of dividing the silicon wafer into individual chips And the silicon wafer is divided into individual chips by applying the force by cooling or heating the wafer.
본 발명의 일양태에 있어서, 상기 레이저 가공 단계를 실시한 후, 상기 분할 단계를 실시하기 전에, 상기 보강부를 제거하는 보강부 제거 단계를 더 포함해도 좋다. 또한, 본 발명의 일양태에 있어서, 상기 유지 테이블의 상면은 유연한 재료로 구성되어 있고, 상기 유지 단계에서는, 상기 유연한 재료로 실리콘 웨이퍼의 표면측을 유지해도 좋다. In one embodiment of the present invention, after the laser processing step is performed, the step of removing the reinforcing portion may be further included before the dividing step. Further, in an aspect of the present invention, the upper surface of the holding table is made of a flexible material, and in the holding step, the surface side of the silicon wafer may be held by the flexible material.
본 발명의 일양태에 관한 칩의 제조 방법에서는, 실리콘 웨이퍼를 유지 테이블로 직접 유지한 상태로, 실리콘 웨이퍼의 칩 영역에만 레이저 빔을 조사하여 분할 예정 라인을 따르는 개질층을 형성하고, 그 후, 한번의 냉각 또는 가열에 의해 힘을 부여하여 실리콘 웨이퍼를 개개의 칩으로 분할하기 때문에, 실리콘 웨이퍼에 힘을 가하여 개개의 칩으로 분할하기 위해 익스팬드 시트를 이용할 필요가 없다. 이와 같이, 본 발명의 일양태에 관한 칩의 제조 방법에 의하면, 익스팬드 시트를 이용하지 않고 판형의 피가공물인 실리콘 웨이퍼를 분할하여 복수의 칩을 제조할 수 있다. In the method of manufacturing a chip according to an embodiment of the present invention, a laser beam is irradiated to only a chip region of a silicon wafer in a state in which a silicon wafer is directly held by a holding table to form a modified layer along a line to be divided, Since the silicon wafer is divided into individual chips by applying a force by cooling or heating once, it is not necessary to use an expand sheet to divide the silicon wafer into individual chips by applying a force to the silicon wafer. As described above, according to the method of manufacturing a chip according to an embodiment of the present invention, a silicon wafer, which is a plate-shaped workpiece, can be divided into a plurality of chips without using an expand sheet.
또한, 본 발명의 일양태에 관한 칩의 제조 방법에서는, 실리콘 웨이퍼의 칩 영역에만 레이저 빔을 조사하여 분할 예정 라인을 따르는 개질층을 형성하고, 외주 잉여 영역을 개질층이 형성되지 않은 보강부로 하기 때문에, 이 보강부에 의해 칩 영역은 보강된다. 따라서, 반송 등을 할 때 가해지는 힘에 의해 실리콘 웨이퍼이 개개의 칩으로 분할되어 버려, 실리콘 웨이퍼를 적절히 반송할 수 없게 되는 일도 없다. In the method of manufacturing a chip according to an embodiment of the present invention, a laser beam is irradiated to only a chip region of a silicon wafer to form a modified layer along a line to be divided, and the outer peripheral surplus region is made into a reinforcing portion Therefore, the chip region is reinforced by the reinforcing portion. Therefore, the silicon wafer is divided into individual chips by the force applied when carrying, etc., so that the silicon wafer can not be properly transported.
도 1은 피가공물의 구성예를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 2는 레이저 가공 장치의 구성예를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 3의 (A)는, 유지 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이며, 도 3의 (B)는, 레이저 가공 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이다.
도 4의 (A)는, 레이저 가공 단계후의 피가공물의 상태를 모식적으로 도시하는 평면도이며, 도 4의 (B)는, 레이저 가공 단계후의 피가공물의 상태를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 5의 (A) 및 도 5의 (B)는, 보강부 제거 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 분할 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 변형예에 관한 유지 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이다.
도 8의 (A)는, 변형예에 관한 분할 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이며, 도 8의 (B)는, 변형예에 관한 분할 단계에서 칩 영역을 분할하기 전의 피가공물의 상태를 모식적으로 도시하는 평면도이다. 1 is a perspective view schematically showing a configuration example of a workpiece.
2 is a perspective view schematically showing a configuration example of a laser machining apparatus.
3 (A) is a cross-sectional view for explaining a holding step, and Fig. 3 (B) is a cross-sectional view for explaining a laser processing step.
Fig. 4A is a plan view schematically showing the state of the workpiece after the laser machining step, and Fig. 4B is a sectional view schematically showing the state of the workpiece after the laser machining step.
5A and 5B are cross-sectional views for explaining the reinforced portion removing step.
6 is a cross-sectional view for explaining the dividing step.
7 is a cross-sectional view for explaining a holding step according to a modification.
8A is a cross-sectional view for explaining a dividing step according to a modified example, and FIG. 8B is a diagram showing a state of a workpiece before dividing a chip area in a dividing step according to a modification, Fig.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일양태에 관한 실시형태에 관해 설명한다. 본 실시형태에 관한 칩의 제조 방법은, 유지 단계(도 3의 (A) 참조), 레이저 가공 단계(도 3의 (B), 도 4의 (A) 및 도 4의 (B) 참조), 반출 단계, 보강부 제거 단계(도 5의 (A) 및 도 5의 (B) 참조) 및 분할 단계(도 6 참조)를 포함한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The manufacturing method of a chip according to the present embodiment is characterized in that the chip manufacturing method includes the steps of holding (see Fig. 3A), laser processing (see Fig. 3B, Fig. 4A and Fig. (Refer to FIG. 5 (A) and FIG. 5 (B)) and a dividing step (see FIG. 6).
유지 단계에서는, 분할 예정 라인에 의해 복수의 영역으로 구획된 칩 영역과, 칩 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역을 갖는 피가공물(워크)을 척 테이블(유지 테이블)로 직접 유지한다. 레이저 가공 단계에서는, 피가공물에 대하여 투과성을 갖는 파장의 레이저 빔을 조사하고, 분할 예정 라인을 따르는 개질층(개질 영역)을 칩 영역에 형성하고, 외주 잉여 영역을 개질층이 형성되지 않은 보강부로 한다. In the holding step, a workpiece (work) having a chip area divided into a plurality of areas by the line to be divided and an outer peripheral surplus area surrounding the chip area is directly held by the chuck table (holding table). In the laser processing step, a laser beam of a wavelength having a transmittance to the workpiece is irradiated to form a modified layer (modified region) along the line to be divided in the chip region, and the outer peripheral surplus region is made into a reinforcing portion do.
반출 단계에서는, 유지 테이블로부터 피가공물을 반출한다. 보강부 제거 단계에서는, 피가공물로부터 보강부를 제거한다. 분할 단계에서는, 한번의 냉각 또는 가열에 의해 힘을 부여하여 피가공물을 복수의 칩으로 분할한다. 이하, 본 실시형태에 관한 칩의 제조 방법에 관해 상세히 설명한다. In the carrying out step, the workpiece is carried out from the holding table. In the reinforced portion removing step, the reinforced portion is removed from the workpiece. In the dividing step, a force is applied by one cooling or heating to divide the workpiece into a plurality of chips. Hereinafter, a method of manufacturing a chip according to the present embodiment will be described in detail.
도 1은, 본 실시형태에서 사용되는 피가공물(워크)(11)의 구성예를 모식적으로 도시하는 사시도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 피가공물(11)은, 예컨대 실리콘(Si), 비소화갈륨(GaAs), 인화인듐(InP), 질화갈륨(GaN), 실리콘 카바이드(SiC) 등의 반도체, 사파이어(Al2O3), 소다 유리, 붕규산 유리, 석영 유리 등의 유전체(절연체), 또는, 탄탈산리튬(LiTa3), 니오븀산리튬(LiNb3) 등의 강유전체(강유전체 결정)로 이루어진 원반형의 웨이퍼(기판)이다. Fig. 1 is a perspective view schematically showing a structural example of a work (work) 11 used in the present embodiment. As shown in Fig. 1, the
피가공물(11)의 표면(11a)측은, 교차하는 복수의 분할 예정 라인(스트리트)(13)에 의해 칩이 되는 복수의 영역(15)으로 구획되어 있다. 또, 이하에서는, 칩이 되는 복수의 영역(15)을 모두 포함하는 대략 원형의 영역을 칩 영역(11c)이라고 부르고, 칩 영역(11c)을 둘러싸는 고리형의 영역을 외주 잉여 영역(11d)이라고 부른다. The
칩 영역(11c) 내의 각 영역(15)에는, 필요에 따라서, IC(Integrated Circuit), MEMS(Micro Electro Mechanical Systems), LED(Light Emitting Diode), LD(Laser Diode), 포토다이오드(Photodiode), SAW(Surface Acoustic Wave) 필터, BAW(Bulk Acoustic Wave) 필터 등의 디바이스가 형성되어 있다. Each of the
이 피가공물(11)을 분할 예정 라인(13)을 따라서 분할함으로써, 복수의 칩을 얻을 수 있다. 구체적으로는, 피가공물(11)이 실리콘 웨이퍼인 경우에는, 예컨대, 메모리나 센서 등으로서 기능하는 칩을 얻을 수 있다. 피가공물(11)이 비소화갈륨 기판이나 인화인듐 기판, 질화갈륨 기판인 경우에는, 예컨대 발광 소자나 수광 소자 등으로서 기능하는 칩을 얻을 수 있다. A plurality of chips can be obtained by dividing the
피가공물(11)이 실리콘 카바이드 기판인 경우에는, 예컨대 파워 디바이스 등으로서 기능하는 칩을 얻을 수 있다. 피가공물(11)이 사파이어 기판인 경우에는, 예컨대 발광 소자 등으로서 기능하는 칩을 얻을 수 있다. 피가공물(11)이 소다 유리나 붕규산 유리, 석영 유리 등으로 이루어진 유리 기판인 경우에는, 예컨대 광학 부품이나 커버 부재(커버 유리)로서 기능하는 칩을 얻을 수 있다. When the
피가공물(11)이 탄탈산리튬이나, 니오븀산리튬 등의 강유전체로 이루어진 강유전체 기판(강유전체 결정 기판)인 경우에는, 예컨대 필터나 액츄에이터 등으로서 기능하는 칩을 얻을 수 있다. 또, 피가공물(11)의 재질, 형상, 구조, 크기, 두께 등에 제한은 없다. 마찬가지로, 칩이 되는 영역(15)에 형성되는 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없다. 칩이 되는 영역(15)에는 디바이스가 형성되어 있지 않아도 좋다. In the case where the
본 실시형태에 관한 칩의 제조 방법에서는, 피가공물(11)로서 원반형의 실리콘 웨이퍼를 이용하여 복수의 칩을 제조한다. 구체적으로는, 우선 이 피가공물(11)을 척 테이블로 직접 유지하는 유지 단계를 행한다. 도 2는, 본 실시형태에서 사용되는 레이저 가공 장치의 구성예를 모식적으로 도시하는 사시도이다. In the method of manufacturing a chip according to the present embodiment, a plurality of chips are manufactured using a disk-shaped silicon wafer as the
도 2에 도시한 바와 같이, 레이저 가공 장치(2)는, 각 구성 요소가 탑재되는 베이스(4)를 포함하고 있다. 베이스(4)의 상면에는, 피가공물(11)을 흡인, 유지하기 위한 척 테이블(유지 테이블)(6)을 X축 방향(가공 이송 방향) 및 Y축 방향(인덱싱 이송 방향)으로 이동시키는 수평 이동 기구(8)가 설치되어 있다. 수평 이동 기구(8)는, 베이스(4)의 상면에 고정되고 X축 방향에 대략 평행한 한쌍의 X축 가이드 레일(10)을 포함하고 있다. As shown in Fig. 2, the
X축 가이드 레일(10)에는, X축 이동 테이블(12)이 슬라이드 가능하게 부착되어 있다. X축 이동 테이블(12)의 이면측(하면측)에는 너트부(도시되지 않음)가 설치되어 있고, 이 너트부에는, X축 가이드 레일(10)에 대략 평행한 X축 볼나사(14)가 나사 결합되어 있다. To the
X축 볼나사(14)의 일단부에는 X축 펄스 모터(16)가 연결되어 있다. X축 펄스 모터(16)로 X축 볼나사(14)를 회전시키는 것에 의해, X축 이동 테이블(12)은 X축 가이드 레일(10)을 따라서 X축 방향으로 이동한다. X축 가이드 레일(10)에 인접하는 위치에는, X축 방향에 있어서 X축 이동 테이블(12)의 위치를 검출하기 위한 X축 스케일(18)이 설치되어 있다. An
X축 이동 테이블(12)의 표면(상면)에는, Y축 방향에 대략 평행한 한쌍의 Y축 가이드 레일(20)이 고정되어 있다. Y축 가이드 레일(20)에는, Y축 이동 테이블(22)이 슬라이드 가능하게 부착되어 있다. Y축 이동 테이블(22)의 이면측(하면측)에는 너트부(도시되지 않음)가 설치되어 있고, 이 너트부에는, Y축 가이드 레일(20)에 대략 평행한 Y축 볼나사(24)가 나사 결합되어 있다. A pair of Y-axis guide rails 20, which are substantially parallel to the Y-axis direction, are fixed to the surface (upper surface) of the X-axis moving table 12. On the Y-
Y축 볼나사(24)의 일단부에는 Y축 펄스 모터(26)가 연결되어 있다. Y축 펄스 모터(26)로 Y축 볼나사(24)를 회전시키는 것에 의해, Y축 이동 테이블(22)은 Y축 가이드 레일(20)을 따라서 Y축 방향으로 이동한다. Y축 가이드 레일(20)에 인접하는 위치에는, Y축 방향에 있어서 Y축 이동 테이블(22)의 위치를 검출하기 위한 Y축 스케일(28)이 설치되어 있다. A Y-
Y축 이동 테이블(22)의 표면측(상면측)에는 지지대(30)가 설치되어 있고, 이 지지대(30)의 상부에는 척 테이블(6)이 배치되어 있다. 척 테이블(6)의 표면(상면)은, 전술한 피가공물(11)의 이면(11b)측(또는 표면(11a)측)을 흡인, 유지하는 유지면(6a)으로 되어 있다. 유지면(6a)은, 예컨대 산화알루미늄 등의 경도가 높은 다공질재로 구성되어 있다. 다만, 유지면(6a)은, 폴리에틸렌이나 에폭시 등의 수지로 대표되는 유연한 재료로 구성되어 있어도 좋다. A support table 30 is provided on the front surface side (upper surface side) of the Y-axis moving table 22, and a chuck table 6 is disposed on the upper side of the support table 30. The surface (upper surface) of the chuck table 6 is a holding
이 유지면(6a)은, 척 테이블(6)의 내부에 형성된 흡인로(6b)(도 3의 (A) 등 참조)나 밸브(32)(도 3의 (A) 등 참조) 등을 통해 흡인원(34)(도 3의 (A) 등 참조)에 접속되어 있다. 척 테이블(6)의 하측에는 회전 구동원(도시되지 않음)이 설치되어 있고, 척 테이블(6)은, 이 회전 구동원에 의해 Z축 방향에 대략 평행한 회전축을 중심으로 회전한다. The holding
수평 이동 기구(8)의 후방에는 기둥형의 지지 구조(36)가 설치되어 있다. 지지 구조(36)의 상부에는, Y축 방향으로 신장된 지지 아암(38)이 고정되어 있고, 이 지지 아암(38)의 선단부에는, 피가공물(11)에 대하여 투과성을 갖는 파장(흡수되기 어려운 파장)의 레이저 빔(17)(도 3의 (B) 참조)을 펄스 발진하여, 척 테이블(6) 위의 피가공물(11)에 조사하는 레이저 조사 유닛(40)이 설치되어 있다. In the rear of the
레이저 조사 유닛(40)에 인접하는 위치에는, 피가공물(11)의 표면(11a)측 또는 이면(11b)측을 촬상하는 카메라(42)가 설치되어 있다. 카메라(42)로 피가공물(11) 등을 촬상하여 형성된 화상은, 예컨대, 피가공물(11)과 레이저 조사 유닛(40)의 위치 등을 조정할 때에 사용된다. A
척 테이블(6), 수평 이동 기구(8), 레이저 조사 유닛(40), 카메라(42) 등의 구성 요소는, 제어 유닛(도시되지 않음)에 접속되어 있다. 제어 유닛은, 피가공물(11)이 적절히 가공되도록 각 구성 요소를 제어한다. The components such as the chuck table 6, the
도 3의 (A)는, 유지 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이다. 또, 도 3의 (A)에서는, 일부의 구성 요소를 기능 블록으로 나타내고 있다. 유지 단계에서는, 도 3의 (A)에 도시한 바와 같이, 예컨대, 피가공물(11)의 이면(11b)을 척 테이블(6)의 유지면(6a)에 접촉시킨다. 그리고, 밸브(32)를 개방하여 흡인원(34)의 부압을 유지면(6a)에 작용시킨다. 3 (A) is a cross-sectional view for explaining the holding step. 3 (A), some of the constituent elements are represented by functional blocks. 3 (A), the
이에 따라, 피가공물(11)은, 표면(11a)측이 상측에 노출된 상태로 유지 테이블(6)에 흡인, 유지된다. 또, 본 실시형태에서는, 도 3의 (A)에 도시한 바와 같이, 피가공물(11)의 이면(11b)측을 척 테이블(6)로 직접 유지한다. 즉, 본 실시형태에서는, 피가공물(11)에 대하여 익스팬드 시트를 붙일 필요가 없다. As a result, the
유지 단계의 후에는, 피가공물(11)에 대하여 투과성을 갖는 파장의 레이저 빔(17)을 조사하고, 분할 예정 라인(13)을 따르는 개질층을 형성하는 레이저 가공 단계를 행한다. 도 3의 (B)는, 레이저 가공 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이며, 도 4의 (A)는, 레이저 가공 단계후의 피가공물(11)의 상태를 모식적으로 도시하는 평면도이며, 도 4의 (B)는, 레이저 가공 단계후의 피가공물(11)의 상태를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 또, 도 3의 (B)에서는, 일부의 구성 요소를 기능 블록으로 나타내고 있다. After the holding step, a laser processing step is carried out for irradiating the
레이저 가공 단계에서는, 우선 척 테이블(6)을 회전시켜, 예컨대 대상이 되는 분할 예정 라인(13)이 연장되는 방향을 X축 방향에 대하여 평행하게 한다. 다음으로, 척 테이블(6)을 이동시켜, 대상이 되는 분할 예정 라인(13)의 연장선상에 레이저 조사 유닛(40)의 위치를 맞춘다. 그리고, 도 3의 (B)에 도시한 바와 같이, X축 방향(즉, 대상의 분할 예정 라인(13)이 연장되는 방향)으로 척 테이블(6)을 이동시킨다. In the laser processing step, first, the chuck table 6 is rotated so that the direction in which the to-
그 후, 대상이 되는 분할 예정 라인(13) 상의 2개소에 존재하는 칩 영역(11c)과 외주 잉여 영역(11d)의 경계의 한쪽 바로 위에 레이저 조사 유닛(40)이 도달한 타이밍에, 이 레이저 조사 유닛(40)으로부터 레이저 빔(17)의 조사를 시작한다. 본 실시형태에서는, 도 3의 (B)에 도시한 바와 같이, 피가공물(11)의 상측에 배치된 레이저 조사 유닛(40)으로부터, 피가공물(11)의 표면(11a)을 향해 레이저 빔(17)이 조사된다. Thereafter, at the timing when the
이 레이저 빔(17)의 조사는, 레이저 조사 유닛(40)이, 대상이 되는 분할 예정 라인(13) 상의 2개소에 존재하는 칩 영역(11c)과 외주 잉여 영역(11d)의 경계의 다른쪽 바로 위에 도달할 때까지 계속된다. 즉, 여기서는, 대상의 분할 예정 라인(13)을 따라서 칩 영역(11c) 내에만 레이저 빔(17)을 조사한다. The irradiation of the laser beam 17 is performed such that the
또한, 이 레이저 빔(17)은, 피가공물(11)의 내부의 표면(11a)(또는 이면(11b))으로부터 미리 정해진 깊이의 위치에 집광점을 위치 부여하도록 조사된다. 이와 같이, 피가공물(11)에 대하여 투과성을 갖는 파장의 레이저 빔(17)을 피가공물(11)의 내부에 집광시킴으로써, 집광점 및 그 근방에서 피가공물(11)의 일부를 다광자 흡수에 의해 개질하여, 분할의 기점이 되는 개질층(개질 영역)(19)을 형성할 수 있다. 본 실시형태에서는, 대상의 분할 예정 라인(13)을 따라서 칩 영역(11c) 내에만 레이저 빔(17)을 조사하기 때문에, 대상의 분할 예정 라인(13)을 따라서 칩 영역(11c) 내에만 개질층(19)이 형성된다. The laser beam 17 is irradiated so as to position the light-converging point at a predetermined depth from the
대상의 분할 예정 라인(13)을 따라서 미리 정해진 깊이의 위치에 개질층(19)을 형성한 후에는, 동일한 순서로, 대상의 분할 예정 라인(13)을 따라서 다른 깊이의 위치에 개질층(19)을 형성한다. 구체적으로는, 예컨대 도 4의 (B)에 도시한 바와 같이, 피가공물(11)의 표면(11a)(또는 이면(11b))으로부터의 깊이가 상이한 3개의 위치에 개질층(19)(제1 개질층(19a), 제2 개질층(19b), 제3 개질층(19c))을 형성한다. After the modified
다만, 하나의 분할 예정 라인(13)을 따라서 형성되는 개질층(19)의 수나 위치에 특별한 제한은 없다. 예컨대, 하나의 분할 예정 라인(13)을 따라서 형성되는 개질층(19)의 수를 1개로 해도 좋다. 또한, 개질층(19)은, 표면(11a)(또는 이면(11b))에 크랙이 도달하는 조건으로 형성되는 것이 바람직하다. 물론, 표면(11a) 및 이면(11b)의 양쪽에 크랙이 도달하는 조건으로 개질층(19)을 형성해도 좋다. 이에 따라, 피가공물(11)을 보다 적절히 분할할 수 있게 된다. However, there is no particular limitation on the number or position of the reforming
피가공물(11)이 실리콘 웨이퍼인 경우에는, 예컨대 다음과 같은 조건으로 개질층(19)이 형성된다. When the
피가공물 : 실리콘 웨이퍼Workpiece: Silicon wafer
레이저 빔의 파장 : 1340 nm Wavelength of laser beam: 1340 nm
레이저 빔의 반복 주파수 : 90 kHz Repetition frequency of laser beam: 90 kHz
레이저 빔의 출력 : 0.1 W∼2 W Laser beam output: 0.1 W to 2 W
척 테이블의 이동 속도(가공 이송 속도) : 180 mm/s∼1000 mm/s, 대표적으로는 500 mm/sThe moving speed of the chuck table (processing feed rate): 180 mm / s to 1000 mm / s, typically 500 mm / s
피가공물(11)이 비소화갈륨 기판이나 인화인듐 기판인 경우에는, 예컨대 다음과 같은 조건으로 개질층(19)이 형성된다. When the
피가공물 : 비소화갈륨 기판, 인화인듐 기판Workpiece: gallium arsenide substrate, indium phosphide substrate
레이저 빔의 파장 : 1064 nm Wavelength of laser beam: 1064 nm
레이저 빔의 반복 주파수 : 20 kHz Repetition frequency of laser beam: 20 kHz
레이저 빔의 출력 : 0.1 W∼2 W Laser beam output: 0.1 W to 2 W
척 테이블의 이동 속도(가공 이송 속도) : 100 mm/s∼400 mm/s, 대표적으로는 200 mm/sThe moving speed (machining feed rate) of the chuck table is 100 mm / s to 400 mm / s, typically 200 mm / s
피가공물(11)이 사파이어 기판인 경우에는, 예컨대 다음과 같은 조건으로 개질층(19)이 형성된다. When the
피가공물 : 사파이어 기판Workpiece: sapphire substrate
레이저 빔의 파장 : 1045 nm Wavelength of laser beam: 1045 nm
레이저 빔의 반복 주파수 : 100 kHz Repetition frequency of laser beam: 100 kHz
레이저 빔의 출력 : 0.1 W∼2 W Laser beam output: 0.1 W to 2 W
척 테이블의 이동 속도(가공 이송 속도) : 400 mm/s∼800 mm/s, 대표적으로는 500 mm/sThe moving speed of the chuck table (processing feed rate): 400 mm / s to 800 mm / s, typically 500 mm / s
피가공물(11)이 탄탈산리튬이나 니오븀산리튬 등의 강유전체로 이루어진 강유전체 기판인 경우에는, 예컨대 다음과 같은 조건으로 개질층(19)이 형성된다. When the
피가공물 : 탄탈산리튬 기판, 니오븀산리튬 기판Workpiece: Lithium tantalate substrate, lithium niobate substrate
레이저 빔의 파장 : 532 nm Wavelength of laser beam: 532 nm
레이저 빔의 반복 주파수 : 15 kHz Repetition frequency of laser beam: 15 kHz
레이저 빔의 출력 : 0.02 W∼0.2 W Laser beam output: 0.02 W to 0.2 W
척 테이블의 이동 속도(가공 이송 속도) : 270 mm/s∼420 mm/s, 대표적으로는 300 mm/sThe moving speed of the chuck table (machining feed rate): 270 mm / s to 420 mm / s, typically 300 mm / s
피가공물(11)이 소다 유리나 붕규산 유리, 석영 유리 등으로 이루어진 유리 기판인 경우에는, 예컨대 다음과 같은 조건으로 개질층(19)이 형성된다. When the
피가공물 : 소다 유리 기판, 붕규산 유리 기판, 석영 유리 기판Workpiece: Soda glass substrate, borosilicate glass substrate, quartz glass substrate
레이저 빔의 파장 : 532 nm Wavelength of laser beam: 532 nm
레이저 빔의 반복 주파수 : 50 kHz Repetition frequency of laser beam: 50 kHz
레이저 빔의 출력 : 0.1 W∼2 W Laser beam output: 0.1 W to 2 W
척 테이블의 이동 속도(가공 이송 속도) : 300 mm/s∼600 mm/s, 대표적으로는 400 mm/sThe moving speed of the chuck table (processing feed rate): 300 mm / s to 600 mm / s, typically 400 mm / s
피가공물(11)이 질화갈륨 기판인 경우에는, 예컨대 다음과 같은 조건으로 개질층(19)이 형성된다. When the
피가공물 : 질화갈륨 기판Workpiece: Gallium nitride substrate
레이저 빔의 파장 : 532 nm Wavelength of laser beam: 532 nm
레이저 빔의 반복 주파수 : 25 kHz Repetition frequency of laser beam: 25 kHz
레이저 빔의 출력 : 0.02 W∼0.2 W Laser beam output: 0.02 W to 0.2 W
척 테이블의 이동 속도(가공 이송 속도) : 90 mm/s∼600 mm/s, 대표적으로는 150 mm/sThe moving speed of the chuck table (machining feed rate): 90 mm / s to 600 mm / s, typically 150 mm / s
피가공물(11)이 실리콘 카바이드 기판인 경우에는, 예컨대 다음과 같은 조건으로 개질층(19)이 형성된다. When the
피가공물 : 실리콘 카바이드 기판Workpiece: Silicon carbide substrate
레이저 빔의 파장 : 532 nm Wavelength of laser beam: 532 nm
레이저 빔의 반복 주파수 : 25 kHz Repetition frequency of laser beam: 25 kHz
레이저 빔의 출력 : 0.02 W∼0.2 W, 대표적으로는 0.1 W The output of the laser beam is 0.02 W to 0.2 W, typically 0.1 W
척 테이블의 이동 속도(가공 이송 속도) : 90 mm/s∼600 mm/s, 대표적으로는, 실리콘 카바이드 기판의 벽개 방향에서 90 mm/s, 비벽개 방향에서 400 mm/s(Moving feed rate) of the chuck table: 90 mm / s to 600 mm / s, typically 90 mm / s in the cleavage direction of the silicon carbide substrate and 400 mm / s in the clearing direction
대상의 분할 예정 라인(13)을 따라서 필요한 수의 개질층(19)을 형성한 후에는, 전술의 동작을 반복하여, 다른 모든 분할 예정 라인(13)을 따라서 개질층(19)을 형성한다. 도 4의 (A)에 도시한 바와 같이, 모든 분할 예정 라인(13)을 따라서 개질층(19)이 형성되면, 레이저 가공 단계는 종료한다. After the necessary number of the reforming
본 실시형태에서는, 분할 예정 라인(13)을 따라서 칩 영역(11c) 내에만 개질층(19)을 형성하고, 외주 잉여 영역(11d)에는 개질층(19)을 형성하지 않기 때문에, 이 외주 잉여 영역(11d)에 의해 피가공물(11)의 강도가 유지된다. 이에 따라, 반송 등을 할 때 가해지는 힘에 의해 피가공물(11)이 개개의 칩으로 분할되어 버리는 일은 없다. 이와 같이, 레이저 가공 단계후의 외주 잉여 영역(11d)은, 개질층(19)이 형성된 칩 영역(11)을 보강하기 위한 보강부로서 기능한다. In this embodiment, since the modified
또한, 본 실시형태에서는, 외주 잉여 영역(11d)에 개질층(19)을 형성하지 않기 때문에, 예컨대, 개질층(19)으로부터 신장한 크랙이 표면(11a) 및 이면(11b)의 양쪽에 도달하여 피가공물(11)이 완전히 분할된 상황에서도, 각 칩이 탈락, 이산되는 일은 없다. 일반적으로, 피가공물(11)에 개질층(19)이 형성되면, 이 개질층(19)의 근방에서 피가공물(11)은 팽창한다. 본 실시형태에서는, 개질층(19)의 형성에 의해 발생하는 팽창의 힘을, 보강부로서 기능하는 링형의 외주 잉여 영역(11d)에서 내측을 향해 작용시킴으로써, 각 칩을 눌러서 탈락, 이산을 방지하고 있다. In the present embodiment, since the modified
레이저 가공 단계의 후에는, 척 테이블(6)로부터 피가공물(11)을 반출하는 반출 단계를 행한다. 구체적으로는, 예컨대, 피가공물(11)의 표면(11a)(또는 이면(11b))의 전체를 흡착, 유지할 수 있는 반송 유닛(도시되지 않음)으로 피가공물(11)의 표면(11a) 전체를 흡착하고 나서, 밸브(32)를 개방하여 흡인원(34)의 부압을 차단하고, 피가공물(11)을 반출한다. 또, 본 실시형태에서는, 전술한 바와 같이, 외주 잉여 영역(11d)이 보강부로서 기능하기 때문에, 반송 등을 할 때 가해지는 힘에 의해 피가공물(11)이 개개의 칩으로 분할되어 버려, 피가공물(11)을 적절하게 반송할 수 없게 되는 일은 없다. After the laser processing step, a carrying-out step of carrying out the
반출 단계의 후에는, 피가공물(11)로부터 보강부를 제거하는 보강부 제거 단계를 행한다. 도 5의 (A) 및 도 5의 (B)는, 보강부 제거 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이다. 또, 도 5의 (A) 및 도 5의 (B)에서는, 일부의 구성 요소를 기능 블록으로 나타내고 있다. 보강부 제거 단계는, 예컨대, 도 5의 (A) 및 도 5의 (B)에 도시하는 분할 장치(52)를 이용하여 행해진다. After the carrying-out step, a reinforced portion removing step for removing the reinforced portion from the
분할 장치(52)는, 피가공물(11)을 흡인, 유지하기 위한 척 테이블(54)을 포함하고 있다. 이 척 테이블(54)의 상면의 일부는, 피가공물(11)의 칩 영역(11c)을 흡인, 유지하는 유지면(54a)으로 되어 있다. 유지면(54a)은, 척 테이블(54)의 내부에 형성된 흡인로(54b)나 밸브(56) 등을 통해 흡인원(58)에 접속되어 있다. The dividing
또한, 척 테이블(54)의 상면의 다른 일부에는, 피가공물(11)의 외주 잉여 영역(11d)(즉 보강부)을 흡인, 유지하기 위한 흡인로(54c)의 일단이 개구되어 있다. 흡인로(54c)의 타단측은, 밸브(60) 등을 통해 흡인원(58)에 접속되어 있다. 이 척 테이블(54)은, 모터 등의 회전 구동원(도시되지 않음)에 연결되어 있고, 수직 방향에 대략 평행한 회전축을 중심으로 회전한다. One end of a
척 테이블(54)의 상측에는 절삭 유닛(62)이 배치되어 있다. 절삭 유닛(62)은, 유지면(54a)에 대하여 대략 평행한 회전축이 되는 스핀들(64)을 포함하고 있다. 스핀들(64)의 일단측에는, 결합재에 지립이 분산되어 이루어진 고리형의 절삭 블레이드(66)가 장착되어 있다. A cutting unit 62 is disposed above the chuck table 54. The cutting unit 62 includes a spindle 64 which becomes a rotation axis approximately parallel to the holding
스핀들(64)의 타단측에는, 모터 등의 회전 구동원(도시되지 않음)이 연결되어 있고, 스핀들(64)의 일단측에 장착된 절삭 블레이드(66)는, 이 회전 구동원으로부터 전달되는 힘에 의해 회전한다. 절삭 유닛(62)은, 예컨대 승강 기구(도시되지 않음)에 지지되어 있고, 절삭 블레이드(66)는, 이 승강 기구에 의해 수직 방향으로 이동한다. A cutting blade 66 mounted on one end side of the spindle 64 is connected to a rotation driving source (not shown) such as a motor by a force transmitted from the rotation driving source to the other end side of the spindle 64, do. The cutting unit 62 is supported by, for example, a lifting mechanism (not shown), and the cutting blade 66 moves vertically by the lifting mechanism.
또, 척 테이블(54)의 상면에는, 피가공물(11)의 칩 영역(11c)과 외주 잉여 영역(11d)의 경계에 대응하는 위치에, 절삭 블레이드(66)와의 접촉을 방지하기 위한 절삭 블레이드용 여유홈(도시되지 않음)이 형성되어 있다. The upper surface of the chuck table 54 is provided with a cutting blade 66 for preventing contact with the cutting blade 66 at a position corresponding to the boundary between the
보강부 제거 단계에서는, 우선, 피가공물(11)의 이면(11b)을 척 테이블(54)의 유지면(54a)에 접촉시킨다. 그리고, 밸브(56, 60)를 개방하고, 흡인원(58)의 부압을 유지면(54a) 등에 작용시킨다. 이에 따라, 피가공물(11)은, 표면(11a)측이 상측에 노출된 상태로 척 테이블(54)에 흡인, 유지된다. 또, 본 실시형태에서는, 도 5의 (A)에 도시한 바와 같이, 피가공물(11)의 이면(11b)측을 척 테이블(54)로 직접 유지한다. 즉, 여기서도, 피가공물(11)에 대하여 익스팬드 시트를 붙일 필요가 없다. In the reinforced portion removing step, first, the
다음으로, 절삭 블레이드(66)를 회전시켜, 피가공물(11)의 칩 영역(11c)과 외주 잉여 영역(11d)의 경계에 절입시킨다. 아울러, 도 5의 (A)에 도시한 바와 같이, 척 테이블(54)을, 수직 방향에 대략 평행한 회전축을 중심으로 회전시킨다. 이에 따라, 칩 영역(11c)과 외주 잉여 영역(11d)의 경계를 따라서 피가공물(11)을 절단할 수 있다. Next, the cutting blade 66 is rotated to be inserted at the boundary between the
그 후, 밸브(60)를 폐쇄하여, 피가공물(11)의 외주 잉여 영역(11d)에 대한 흡인원(58)의 부압을 차단한다. 그리고, 도 5의 (B)에 도시한 바와 같이, 척 테이블(54)로부터 외주 잉여 영역(11d)을 제거한다. 이에 따라, 척 테이블(54) 위에는, 피가공물(11)의 칩 영역(11c)만이 남는다. Thereafter, the
보강부 제거 단계의 후에는, 피가공물(11)을 개개의 칩으로 분할하는 분할 단계를 행한다. 구체적으로는, 예컨대 피가공물(11)의 내부(표면(11a)과 이면(11b) 사이)에 큰 온도차를 형성하고, 열충격(서멀 쇼크)에 의해 힘을 부여하여 피가공물(11)을 분할한다. 도 6은, 분할 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이다. 또, 도 6에서는, 일부의 구성 요소를 기능 블록으로 나타내고 있다. After the reinforced portion removing step, a dividing step of dividing the
분할 단계는, 계속해서 분할 장치(52)를 이용하여 행해진다. 도 6에 도시한 바와 같이, 분할 장치(52)는, 척 테이블(54)의 상측에 배치된 분사 노즐(온도차 형성 유닛)(68)을 더 포함하고 있다. 본 실시형태의 분할 단계에서는, 이 분사 노즐(68)로부터 피가공물(11)의 표면(11a)에 냉각용의 유체(21)를 분무함으로써, 열충격의 발생에 필요한 온도차를 형성한다. 다만, 가열용 유체(21)를 분무함으로써, 열충격의 발생에 필요한 온도차를 형성해도 좋다. The dividing step is subsequently performed using the
냉각용 유체(21)로는, 예컨대 기화함으로써 더욱 열을 제거할 수 있는 액체 질소 등의 저온의 액체를 이용하는 것이 좋다. 이에 따라, 피가공물(11)의 표면(11a)측을 신속하게 냉각시켜, 필요한 온도차를 형성하기 쉬워진다. 여기서, 필요한 온도차란, 피가공물(11)을 개질층(19)을 따라서 파단하기 위해 필요한 응력을 초과하는 열충격을 얻을 수 있는 온도차를 말한다. 이 온도차는, 예컨대 피가공물(11)의 재질이나 두께, 개질층(19)의 상태 등에 따라서 결정된다. As the cooling
다만, 유체(21)의 종류나 유량 등에 특별한 제한은 없다. 예컨대, 충분히 냉각된 에어 등의 기체나, 물 등의 액체를 이용할 수도 있다. 또, 유체(21)로서 액체를 이용하는 경우에는, 이 액체를 동결시키지 않을 정도로 낮은 온도(예컨대 응고점보다 0.1℃∼10℃ 정도 높은 온도)까지 냉각시켜 두면 좋다. However, there is no particular limitation on the kind and flow rate of the fluid 21. For example, a gas such as sufficiently cooled air or a liquid such as water may be used. When a liquid is used as the fluid 21, the liquid may be cooled to a temperature low enough not to freeze the liquid (for example, a temperature higher than the freezing point by about 0.1 to 10 DEG C).
충분한 온도차가 형성되도록 피가공물(11)을 냉각시키면, 열충격에 의해 개질층(19)으로부터 크랙(23)이 신장하고, 피가공물(11)은 분할 예정 라인(13)을 따라서 복수의 칩(25)으로 분할된다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 한번의 냉각에 의해 필요한 힘을 부여하여, 피가공물(11)을 개개의 칩(25)으로 분할할 수 있다. 또, 본 실시형태에서는, 피가공물(11)을 급속히 냉각시킴으로써 열충격을 발생시키고 있지만, 피가공물(11)을 급속히 가열함으로써 열충격을 발생시켜도 좋다. The
이상과 같이, 본 실시형태에 관한 칩의 제조 방법에서는, 피가공물(워크)(11)을 척 테이블(유지 테이블)(6)로 직접 유지한 상태로, 피가공물(11)의 칩 영역(11c)에만 레이저 빔(17)을 조사하여 분할 예정 라인(13)을 따르는 개질층(19)을 형성하고, 그 후, 한번의 냉각에 의해 힘을 부여하여 피가공물(11)을 개개의 칩(25)으로 분할하기 때문에, 피가공물(11)에 힘을 가하여 개개의 칩(25)으로 분할하기 위해 익스팬드 시트를 이용할 필요가 없다. 이와 같이, 본 실시형태에 관한 칩의 제조 방법에 의하면, 익스팬드 시트를 이용하지 않고 판형의 피가공물(11)인 실리콘 웨이퍼를 분할하여 복수의 칩(25)을 제조할 수 있다. As described above, in the method of manufacturing a chip according to the present embodiment, the
또한, 본 실시형태에 관한 칩의 제조 방법에서는, 피가공물(11)의 칩 영역(11c)에만 레이저 빔(17)을 조사하여 분할 예정 라인(13)을 따르는 개질층(19)을 형성하고, 외주 잉여 영역(11d)을 개질층(19)이 형성되지 않은 보강부로 하기 때문에, 이 보강부에 의해 칩 영역(11c)은 보강된다. 따라서, 반송 등을 할 때 가해지는 힘에 의해 피가공물(11)이 개개의 칩(25)으로 분할되어 버려, 피가공물(11)을 적절하게 반송할 수 없게 되는 일도 없다. In the method of manufacturing a chip according to the present embodiment, the laser beam 17 is irradiated to only the
또, 본 발명은, 상기 실시형태 등의 기재에 제한되지 않고 다양하게 변경하여 실시 가능하다. 예컨대, 상기 실시형태의 유지 단계에서는, 피가공물(11)의 이면(11b)측을 척 테이블(6)로 직접 유지하여, 표면(11a)측으로부터 레이저 빔(17)을 조사하고 있지만, 피가공물(11)의 표면(11a)측을 척 테이블(6)로 직접 유지하여, 이면(11b)측으로부터 레이저 빔(17)을 조사해도 좋다. The present invention is not limited to the description of the embodiments and the like, and can be variously modified. For example, in the holding step of the above embodiment, the side of the
도 7은, 변형예에 관한 유지 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이다. 이 변형예에 관한 유지 단계에서는, 도 7에 도시한 바와 같이, 예컨대, 폴리에틸렌이나 에폭시 등의 수지로 대표되는 유연한 재료로 이루어진 다공질형의 시트(다공성 시트)(44)에 의해 상면이 구성된 척 테이블(유지 테이블)(6)을 이용하는 것이 좋다.7 is a cross-sectional view for explaining a holding step according to a modified example. In the holding step according to this modified example, as shown in Fig. 7, a porous sheet (porous sheet) 44 made of a flexible material typified by a resin such as polyethylene or epoxy, (Holding table) 6 is preferably used.
이 척 테이블(6)에서는, 시트(44)의 상면(44a)에서 피가공물(11)의 표면(11a)측을 흡인, 유지하게 된다. 이에 따라, 표면(11a)측에 형성되어 있는 디바이스 등의 파손을 방지할 수 있다. 이 시트(44)는 척 테이블(6)의 일부이며, 척 테이블(6)의 본체 등과 함께 반복 사용된다. The chuck table 6 sucks and retains the
단, 척 테이블(6)의 상면은, 전술한 다공질형의 시트(44)에 의해 구성되어 있을 필요는 없고, 적어도, 피가공물(11)의 표면(11a)측에 형성되어 있는 디바이스 등을 손상하지 않을 정도로 유연한 재료로 구성되어 있으면 된다. 또한, 시트(44)는, 척 테이블(6)의 본체에 대하여 착탈할 수 있도록 구성되어, 파손된 경우 등에 교환할 수 있는 것이 바람직하다. The upper surface of the chuck table 6 does not have to be constituted by the
또한, 상기 실시형태에서는, 반출 단계의 후, 분할 단계의 전에, 보강부 제거 단계를 행하고 있지만, 예컨대, 레이저 가공 단계의 후, 반출 단계의 전에, 보강부 제거 단계를 행해도 좋다. 또, 반출 단계의 후, 분할 단계의 전에, 보강부 제거 단계를 행하는 경우에는, 보강부 제거 단계의 후에 피가공물(11)을 반송할 필요가 없기 때문에, 피가공물(11)을 적절히 반송할 수 없게 되는 등의 문제를 회피하기 쉽다. In the above embodiment, the reinforced portion removing step is performed after the carrying out step and before the dividing step. For example, the reinforced portion removing step may be performed after the laser processing step and before the carrying out step. In the case of performing the reinforced portion removing step after the carrying out step and before the dividing step, there is no need to carry the
또한, 보강부 제거 단계를 생략할 수도 있다. 이 경우에는, 예컨대 보강부의 폭이 피가공물(11)의 외주 가장자리로부터 2 mm∼3 mm 정도가 되도록, 레이저 가공 단계에서 개질층(19)을 형성하는 범위를 조정하는 것이 좋다. 또한, 예컨대 분할 단계에서 칩 영역(11c)을 분할하기 전에, 보강부에 분할의 기점이 되는 홈을 형성해도 좋다. 도 8의 (A)는, 변형예에 관한 분할 단계에 관해 설명하기 위한 단면도이며, 도 8의 (B)는, 변형예에 관한 분할 단계에서 칩 영역(11c)을 분할하기 전의 피가공물(11)의 상태를 모식적으로 도시하는 평면도이다. Also, the step of removing the reinforced portion may be omitted. In this case, it is preferable to adjust the range of forming the modified
변형예에 관한 분할 단계에서는, 도 8의 (A) 및 도 8의 (B)에 도시한 바와 같이, 외주 잉여 영역(11d)(즉 보강부)에 절삭 블레이드(66)를 절입시켜 분할의 기점이 되는 홈(11e)을 형성한다. 이 홈(11e)은, 예컨대 분할 예정 라인(13)을 따라서 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 홈(11e)을 형성함으로써, 열충격에 의해 피가공물(11)을 외주 잉여 영역(11d)마다 분할할 수 있게 된다. 또, 변형예에 관한 분할 단계에서는, 척 테이블(54)의 흡인로(54c)나 밸브(60) 등을 생략할 수 있다. 8 (A) and 8 (B), the cutting blade 66 is inserted into the outer
기타, 상기 실시형태 및 변형예에 관한 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다. Other structures, methods, and the like of the above-described embodiments and modifications can be appropriately modified without departing from the scope of the present invention.
11 : 피가공물(워크)
11a : 표면
11b : 이면
11c : 칩 영역
11d : 외주 잉여 영역
13 : 분할 예정 라인(스트리트)
15 : 영역
17 : 레이저 빔
19 : 개질층(개질 영역)
19a : 제1 개질층
19b : 제2 개질층
19c : 제3 개질층
21 : 유체
23 : 크랙
25 : 칩
2 : 레이저 가공 장치
4 : 베이스
6 : 척 테이블(유지 테이블)
6a : 유지면
6b : 흡인로
8 : 수평 이동 기구
10 : X축 가이드 레일
12 : X축 이동 테이블
14 : X축 볼나사
16 : X축 펄스 모터
18 : X축 스케일
20 : Y축 가이드 레일
22 : Y축 이동 테이블
24 : Y축 볼나사
26 : Y축 펄스 모터
28 : Y축 스케일
30 : 지지대
32 : 밸브
34 : 흡인원
36 : 지지 구조
38 : 지지 아암
40 : 레이저 조사 유닛
42 : 카메라
44 : 시트(다공성 시트)
44a : 상면
52 : 분할 장치
54 : 척 테이블(유지 테이블)
54a : 유지면
54b : 흡인로
54c : 흡인로
56 : 밸브
58 : 흡인원
60 : 밸브
62 : 절삭 유닛
64 : 스핀들
66 : 절삭 블레이드
68 : 분사 노즐(온도차 형성 유닛)11: Workpiece (workpiece)
11a: surface
11b:
11c: chip area
11d: outer surplus area
13: Line to be divided (street)
15: area
17: laser beam
19: modified layer (modified region)
19a: First reformed layer
19b: second reformed layer
19c: third modified layer
21: Fluid
23: crack
25: Chip
2: Laser processing device
4: Base
6: Chuck table (holding table)
6a:
6b:
8: horizontal movement mechanism
10: X-axis guide rail
12: X-axis moving table
14: X-axis Ball Screw
16: X axis pulse motor
18: X axis scale
20: Y-axis guide rail
22: Y-axis moving table
24: Y-axis Ball Screw
26: Y-axis pulse motor
28: Y axis scale
30: Support
32: Valve
34: suction source
36: Support structure
38: Support arm
40: laser irradiation unit
42: camera
44: sheet (porous sheet)
44a: upper surface
52: Partitioning device
54: chuck table (holding table)
54a:
54b:
54c:
56: Valve
58: suction source
60: Valve
62: cutting unit
64: spindle
66: cutting blade
68: injection nozzle (temperature difference forming unit)
Claims (3)
실리콘 웨이퍼를 유지 테이블로 직접 유지하는 유지 단계와,
상기 유지 단계를 실시한 후에, 실리콘 웨이퍼에 대하여 투과성을 갖는 파장의 레이저 빔의 집광점을 상기 유지 테이블에 유지된 실리콘 웨이퍼의 내부에 위치 부여하도록 상기 분할 예정 라인을 따라서 실리콘 웨이퍼의 상기 칩 영역에만 상기 레이저 빔을 조사하고, 상기 칩 영역의 상기 분할 예정 라인을 따라서 개질층을 형성하고, 상기 외주 잉여 영역을 개질층이 형성되지 않은 보강부로 하는 레이저 가공 단계와,
상기 레이저 가공 단계를 실시한 후에, 상기 유지 테이블로부터 실리콘 웨이퍼를 반출하는 반출 단계와,
상기 반출 단계를 실시한 후에, 실리콘 웨이퍼에 힘을 부여하여 실리콘 웨이퍼를 개개의 상기 칩으로 분할하는 분할 단계를 포함하고,
상기 분할 단계에서는, 한번의 냉각 또는 가열에 의해 상기 힘을 부여하여 실리콘 웨이퍼를 개개의 상기 칩으로 분할하는 것을 특징으로 하는 칩의 제조 방법. A method of manufacturing a plurality of chips from a silicon wafer having a chip region divided into a plurality of regions to be a chip by a plurality of lines to be divided which intersect each other and an outer peripheral region surrounding the chip region,
A holding step of holding the silicon wafer directly to the holding table,
Only the chip area of the silicon wafer along the expected line to be positioned so as to position the light-converging point of the laser beam having the wavelength that is transmissive to the silicon wafer inside the silicon wafer held in the holding table after the holding step A laser processing step of irradiating a laser beam to form a modified layer along the line to be divided in the chip area and making the outer peripheral redundant area a reinforcing part in which the modified layer is not formed,
A carrying-out step of taking out the silicon wafer from the holding table after performing the laser processing step;
And a dividing step of dividing the silicon wafer into individual chips by applying a force to the silicon wafer after performing the carrying out step,
Wherein in the dividing step, the force is applied by one cooling or heating to divide the silicon wafer into individual chips.
상기 유지 단계에서는, 상기 유연한 재료로 실리콘 웨이퍼의 표면측을 유지하는 것을 특징으로 하는 칩의 제조 방법. 3. The apparatus according to claim 1 or 2, wherein the upper surface of the holding table is made of a flexible material,
And in the holding step, the surface side of the silicon wafer is held with the flexible material.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2017-110732 | 2017-06-05 | ||
JP2017110732A JP6925717B2 (en) | 2017-06-05 | 2017-06-05 | Chip manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180133215A true KR20180133215A (en) | 2018-12-13 |
KR102554147B1 KR102554147B1 (en) | 2023-07-10 |
Family
ID=64542716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020180062576A KR102554147B1 (en) | 2017-06-05 | 2018-05-31 | Method for manufacturing chip |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6925717B2 (en) |
KR (1) | KR102554147B1 (en) |
CN (1) | CN108987339B (en) |
TW (1) | TWI765027B (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112404747B (en) * | 2020-11-09 | 2022-05-24 | 松山湖材料实验室 | Wafer stripping method and wafer stripping device |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002192370A (en) | 2000-09-13 | 2002-07-10 | Hamamatsu Photonics Kk | Laser beam machining method |
JP2003088973A (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-25 | Hamamatsu Photonics Kk | Laser beam machining method |
JP2003088974A (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-25 | Hamamatsu Photonics Kk | Laser beam machining method |
JP2008153420A (en) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Seiko Epson Corp | Dividing method of base, manufacturing method of drop discharge head, manufacturing method of semiconductor device, manufacturing method of substrate and manufacturing method of electro-optical device |
JP2009043992A (en) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | Treatment method for wafer |
JP2010186971A (en) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | Wafer processing method |
JP2010206136A (en) | 2009-03-06 | 2010-09-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | Work dividing device |
KR20130074737A (en) * | 2011-12-26 | 2013-07-04 | 가부시기가이샤 디스코 | Wafer processing method |
JP2014199834A (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 株式会社ディスコ | Holding means and processing method |
JP2014236034A (en) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 株式会社ディスコ | Method for processing wafer |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05198783A (en) * | 1992-01-23 | 1993-08-06 | Hitachi Ltd | Manufacture of semiconductor integrated circuit device |
JPH06275712A (en) * | 1993-03-24 | 1994-09-30 | Nec Kansai Ltd | Dicing apparatus |
JP4733934B2 (en) * | 2004-06-22 | 2011-07-27 | 株式会社ディスコ | Wafer processing method |
JP4198123B2 (en) * | 2005-03-22 | 2008-12-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | Laser processing method |
JP2007012878A (en) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | Method of dividing wafer |
JP2007019379A (en) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | Method for processing wafer |
JP4749851B2 (en) * | 2005-11-29 | 2011-08-17 | 株式会社ディスコ | Wafer dividing method |
JP2007223854A (en) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Seiko Epson Corp | Substrate splitting method, substrate splitting apparatus, laser scribing apparatus, electrooptic device and electronic apparatus |
JP5139739B2 (en) * | 2007-07-19 | 2013-02-06 | パナソニック株式会社 | Lamination method |
JP5967405B2 (en) * | 2012-01-17 | 2016-08-10 | アイシン精機株式会社 | Laser cleaving method and laser cleaving apparatus |
JP2013152988A (en) * | 2012-01-24 | 2013-08-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | Method for processing wafer |
JP5988601B2 (en) * | 2012-02-13 | 2016-09-07 | 株式会社ディスコ | Method for dividing optical device wafer |
JP2014209523A (en) * | 2013-04-16 | 2014-11-06 | 株式会社ディスコ | Wafer processing method |
JP2015069975A (en) * | 2013-09-26 | 2015-04-13 | 株式会社ディスコ | Workpiece processing method |
JP6366393B2 (en) * | 2014-07-15 | 2018-08-01 | 株式会社ディスコ | Wafer processing method |
JP6347714B2 (en) * | 2014-10-02 | 2018-06-27 | 株式会社ディスコ | Wafer processing method |
JP2017011134A (en) * | 2015-06-23 | 2017-01-12 | 株式会社ディスコ | Method for manufacturing device chip |
JP6775880B2 (en) * | 2016-09-21 | 2020-10-28 | 株式会社ディスコ | Wafer processing method |
-
2017
- 2017-06-05 JP JP2017110732A patent/JP6925717B2/en active Active
-
2018
- 2018-04-26 TW TW107114205A patent/TWI765027B/en active
- 2018-05-29 CN CN201810527430.7A patent/CN108987339B/en active Active
- 2018-05-31 KR KR1020180062576A patent/KR102554147B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002192370A (en) | 2000-09-13 | 2002-07-10 | Hamamatsu Photonics Kk | Laser beam machining method |
JP2003088973A (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-25 | Hamamatsu Photonics Kk | Laser beam machining method |
JP2003088974A (en) * | 2001-09-12 | 2003-03-25 | Hamamatsu Photonics Kk | Laser beam machining method |
JP2008153420A (en) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Seiko Epson Corp | Dividing method of base, manufacturing method of drop discharge head, manufacturing method of semiconductor device, manufacturing method of substrate and manufacturing method of electro-optical device |
JP2009043992A (en) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | Treatment method for wafer |
JP2010186971A (en) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | Wafer processing method |
JP2010206136A (en) | 2009-03-06 | 2010-09-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | Work dividing device |
KR20130074737A (en) * | 2011-12-26 | 2013-07-04 | 가부시기가이샤 디스코 | Wafer processing method |
JP2014199834A (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 株式会社ディスコ | Holding means and processing method |
JP2014236034A (en) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 株式会社ディスコ | Method for processing wafer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102554147B1 (en) | 2023-07-10 |
CN108987339A (en) | 2018-12-11 |
JP6925717B2 (en) | 2021-08-25 |
CN108987339B (en) | 2023-12-15 |
TWI765027B (en) | 2022-05-21 |
TW201903875A (en) | 2019-01-16 |
JP2018206941A (en) | 2018-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20180133215A (en) | Method for manufacturing chip | |
KR102578958B1 (en) | Method of manufacturing chip | |
KR20180133214A (en) | Method for manufacturing chip | |
JP6925721B2 (en) | Chip manufacturing method | |
JP2019040914A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2019040910A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2019059628A (en) | Method of manufacturing chip | |
JP2018206966A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2018206969A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2018206967A (en) | Chip manufacturing method | |
JP6925719B2 (en) | Chip manufacturing method | |
JP6925718B2 (en) | Chip manufacturing method | |
JP6821265B2 (en) | How to make chips | |
JP6925722B2 (en) | Chip manufacturing method | |
KR20190129736A (en) | Method for manufacturing chip | |
KR20190129737A (en) | Method for manufacturing chip | |
JP2018206946A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2019195834A (en) | Method of manufacturing chip | |
JP2019197828A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2019196285A (en) | Method for manufacturing chip | |
JP2019197827A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2019197826A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2019197829A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2018206944A (en) | Chip manufacturing method | |
JP2018206942A (en) | Chip manufacturing method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |