KR20180106840A - Adaptor for adjusting length of pipe duct - Google Patents

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KR20180106840A
KR20180106840A KR1020170177613A KR20170177613A KR20180106840A KR 20180106840 A KR20180106840 A KR 20180106840A KR 1020170177613 A KR1020170177613 A KR 1020170177613A KR 20170177613 A KR20170177613 A KR 20170177613A KR 20180106840 A KR20180106840 A KR 20180106840A
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piping
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비케이엠 주식회사
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Abstract

Disclosed is an adaptor to adjust the length of a pipe duct, capable of preventing loosening between a coupling holding member and a coupling member. According to the present invention, the adaptor to adjust the length of a pipe duct comprises: the pipe duct having a hollow cylindrical coupling end formed at least one end by being cut for length adjustment; a hollow cylindrical airtight maintenance member including an insertion end inserted through the coupling end to be disposed inside the pipe duct, and a flange end disposed outside the pipe duct in a state of being in contact with the coupling end and formed in a flange shape; the coupling member formed in a hollow cylindrical shape with an inner diameter corresponding to the outer diameter of the pipe duct, and including a fixed side fixed to the flange end and a coupling side having a first thread on an outer circumferential surface; a fixing ring having an inner diameter corresponding to the outer diameter of the pipe duct and having an outer diameter gradually increased towards the coupling end; the coupling holding member having a second thread formed on one side of an inner circumferential surface to be screw-coupled to the first thread and having a pressing part formed on the other side to press the outer circumferential surface of the fixing ring as coupling between the first and second threads are advanced; and an anti-loosening corrugation disposed on either or both of an end of a coupling side in the longitudinal direction of the pipe duct from the coupling end and one end of the fixing ring in contact with the end of the coupling side, and preventing coupling between the first and second threads from being loosened.

Description

배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터{Adaptor for adjusting length of pipe duct}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an adapter for adjusting the length of a duct for a pipe,

본 발명(Disclsoure)은, 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에 관한 것으로서, 구체적으로 길이 조절을 위해 절단된 일단에 결합 되어 배관용 덕트의 길이를 조절하는데 사용되며, 배관용 덕트의 기밀성 유지 및 견고한 결합상태를 유지시킬 수 있는 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에 관한 것이다.Disclosure of the Invention The present invention relates to an adapter for adjusting the length of a duct for piping, and more particularly, to an adapter for adjusting the length of a duct for piping, The present invention relates to an adapter for adjusting the length of a duct for piping that can maintain the state of the duct.

여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).Herein, the background art relating to the present invention is provided, and they are not necessarily referred to as known arts.

일반적으로, 반도체 제조공정에서 웨이퍼 상에 박막을 형성하기 위해 다양한 종류의 반응가스가 사용된다. Generally, various kinds of reaction gases are used to form a thin film on a wafer in a semiconductor manufacturing process.

이러한 반응가스는 산화성분, 인화성분 및 유독성분을 포함하고 있다. This reaction gas contains an oxidizing component, a burning component and a toxic component.

따라서 사용을 마친 폐가스를 그대로 대기중에 방출할 경우 인체에 유해할 뿐만 아니라 환경오염의 원인이 된다.Therefore, when the used waste gas is directly discharged into the air, it is harmful to the human body and causes environmental pollution.

이에 따라, 폐가스의 유해성분함량을 허용농도 이하로 낮추는 정화처리과정을 거쳐 대기중으로 배출시키게 되며, 이를 위해 폐가스를 배기시키는 반도체 제조장비의 배기 라인에는 폐가스의 유독성분을 제거하기 위한 가스 스크러버가 설치된다. Accordingly, the harmful component content of the waste gas is reduced to below the allowable concentration, and then discharged to the atmosphere. To this end, a gas scrubber for removing the toxic components of the waste gas is installed in the exhaust line of the semiconductor manufacturing equipment that exhausts the waste gas do.

이러한 가스 스크러버는 가스유입관이 배기 라인에 연결되어 폐가스를 공급받은 후 여러 가지 방식에 의해 폐가스를 세정하게 된다.The gas scrubber is connected to the exhaust line of the gas inlet pipe to supply the waste gas, and then the waste gas is cleaned by various methods.

상기 배기 라인은 특정한 길이로 이루어진 배관용 덕트 복수 개를 연이어 설치하는 방식으로 구성된다. 배관용 덕트를 연결하기 위한 방법으로 보통 플랜지를 이용한 이음 방식을 사용하게 된다. The exhaust line is constituted in such a manner that a plurality of ducts for piping having a specific length are installed successively. As a method for connecting ducts for piping, a joint method using a flange is usually used.

이러한 플랜지 이음 방식에 대하여 종래 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0133501호로 선 출원된 바 있다.Such a flange jointing method has been previously filed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2012-0133501.

그러나 배관용 덕트가 특정한 길이로 이루어져 연결되므로, 배기 라인의 길이를 조절하는데 한계가 있으며, 배기 라인이 굽어지는 경우에 대응하는데 한계가 있다. However, since the piping ducts are connected to each other by a specific length, there is a limit in adjusting the length of the exhaust line, and there is a limit in coping with the case where the exhaust line is bent.

이 경우, 특정한 길이로 이루어진 배관용 덕트의 일 측을 절단한 후, 절단된 일 단에 플랜지 이음을 위한 어댑터를 고정하는 것이 필요하다.In this case, it is necessary to cut one side of the duct for a specific length, and then fix the adapter for flange fitting to the cut end.

이때, 어댑터의 고정에는, 배관용 덕트 일단에서의 폐가스 누설을 방지할 수 있는 기밀유지 및 어댑터의 분리를 방지할 수 있는 결합구조의 개발이 요구된다.At this time, it is required to develop a coupling structure capable of preventing the leakage of the waste gas from one end of the duct for piping and preventing the separation of the adapter.

1. 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0133501호1. Korean Patent Publication No. 10-2012-0133501

본 발명(Discloure)은, 특정한 길이의 배관용 덕트의 길이를 조절하기 위해 일단을 절단한 상태에서 절단된 일단에 플랜지 이음을 위해 설치할 수 있는 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터의 제공을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an adapter for adjusting the length of a duct for piping that can be installed to join a flange at one end cut in a state where one end is cut in order to adjust the length of the duct for a specific length .

본 발명(Discloure)은, 배관용 덕트의 절단된 일단에 고정된 상태를 견고하게 유지시킬 수 있는 결합구조를 가지는 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터의 제공을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an adapter for adjusting the length of a duct for piping having a coupling structure capable of firmly holding a fixed state at a cut end of a duct for piping.

본 발명(Discloure)은, 배관용 덕트의 절단된 일단에 고정된 상태에서 폐가스의 누설을 방지할 수 있는 기밀유지가 가능한 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터의 제공을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an adapter for adjusting the length of a duct for piping which is capable of maintaining airtightness to prevent leakage of waste gas while being fixed to a cut end of a duct for piping.

여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).The present invention is not intended to be exhaustive or to limit the scope of the present invention to the full scope of the present invention. of its features).

상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터는, 적어도 일단에 길이 조절을 위해 절단되어 형성되는 중공 원통형의 결합 단을 가지는 배관용 덕트; 상기 결합 단을 통해 끼워져 상기 배관용 덕트의 내부에 위치되는 삽입 단과, 상기 결합 단에 접촉된 상태로 상기 배관용 덕트의 외부에 배치되며 플랜지 형상으로 구비되는 플랜지 단을 가지는 중공 원통형의 기밀 유지 부재; 상기 배관용 덕트의 외경에 대응하는 내경을 가지는 중공 원통형으로 구비되며, 상기 플랜지 단에 고정되는 고정 측과, 외주면에 제1 나사산이 형성된 결합 측을 가지는 체결 부재; 상기 배관용 덕트의 외경에 대응하는 내경을 가지며, 상기 결합 단을 향하는 방향으로 외경이 점차 증가하는 고정 링; 상기 제1 나사산과 나사 결합 되는 제2 나사산이 내주면 일 측에 구비되며, 타측에는 상기 제1 나사산과 상기 제2 나사산의 체결이 진행될수록 상기 고정 링의 외주면을 가압하는 가압부를 가지는 체결 유지 부재; 및 상기 결합 단으로부터 상기 배관용 덕트의 길이방향으로 상기 결합 측의 말단 및 상기 결합 측의 말단과 맞닿는 상기 고정 링의 일단 중 적어도 하나에 구비되며, 상기 제1 나사산과 상기 제2 나사산의 체결이 풀리는 것을 방지하는 풀림 방지 요철;을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an adapter for adjusting the length of a duct for a pipe, the duct comprising: a pipe duct having a hollow cylindrical coupling end cut at least at one end for length adjustment; A hollow cylindrical airtightness maintaining member having a flange end disposed on the outside of the duct for piping in a state of being in contact with the coupling end and being inserted through the coupling end and positioned inside the duct for piping, ; A fastening member provided in a hollow cylindrical shape having an inner diameter corresponding to an outer diameter of the duct for piping and having a fixed side fixed to the flange end and a coupling side having a first screw thread formed on an outer peripheral surface thereof; A stationary ring having an inner diameter corresponding to an outer diameter of the duct for piping and having an outer diameter gradually increasing in a direction toward the coupling end; And a second screw thread screwed to the first screw thread is provided on one side of the inner circumferential surface and a screw tightening member having a pressing portion for pressing the outer circumferential surface of the fixing ring as the first screw thread and the second thread screw progresses on the other side, And at least one of an end of the engaging side and an end of the engaging ring abutting the end of the engaging side in the longitudinal direction of the pipe duct from the engaging end, wherein the engagement of the first thread and the second thread And an unlocking convex / concave portion for preventing unfastening.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에서, 상기 기밀 유지 부재의 상기 삽입 단과 상기 체결 부재의 상기 결합 측 사이에는 상기 결합 단이 끼워지는 환형 공간부;가 형성되는 것을 특징으로 한다.In the adapter for adjusting the length of the duct for piping according to an aspect of the present invention, an annular space portion into which the coupling end is fitted is formed between the insertion end of the hermetic retaining member and the engagement side of the coupling member .

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에서, 상기 고정 링의 외주면은 상기 결합 단을 향하는 방향으로 외경이 선형 증가하여 형성되는 테이퍼 면을 형성하고, 상기 체결 유지 부재의 상기 가압부는 상기테이퍼 면에 상보하는 형상의 압박면을 가지는 것을 특징으로 한다.In the adapter for adjusting the length of the duct for piping according to an aspect of the present invention, the outer peripheral surface of the fixed ring forms a tapered surface formed by linearly increasing the outer diameter in the direction toward the coupling end, And the pressing portion has a pressing surface having a shape complementary to the tapered surface.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에서, 상기 고정 링은, 상기 가압부에 의한 압박에 의해 내경이 감소 되어 상기 배관용 덕트의 외면에 밀착되도록, 상기 배관용 덕트의 길이방향으로 형성된 절개부;를 가지는 것을 특징으로 한다.In the adapter for adjusting the length of the duct for piping according to an aspect of the present invention, the fixing ring is formed so that the inner diameter of the fixing ring is reduced by the pressing by the pressing portion and is brought into close contact with the outer surface of the duct for piping, And a cut-out portion formed in the longitudinal direction of the cutter.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에서, 상기 체결 유지 부재에 의해 체결된 상태에서 상기 고정 링이 상기 배관용 덕트의 길이방향으로 유동 되는 것이 방지되도록, 상기 고정 링의 내주면에는 원주방향으로 형성된 적어도 일렬 이상의 유동 방지 돌기;가 구비되는 것을 특징으로 한다.In the adapter for adjusting the length of the pipe duct according to an aspect of the present invention, in order to prevent the fixing ring from flowing in the longitudinal direction of the pipe duct in the state of being fastened by the fastening and retaining member, At least one or more flow preventing protrusions formed in the circumferential direction on the inner circumferential surface of the housing.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에서, 상기 기밀 유지 부재는, 상기 삽입 단의 외주면에 적어도 하나의 실링 부재가 구비되는 것을 특징으로 한다.In the adapter for adjusting the length of the duct for piping according to an aspect of the present invention, the hermetic retaining member is characterized in that at least one sealing member is provided on the outer peripheral surface of the inserting end.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에서, 상기 적어도 하나의 실링 부재는, 탄성 재질의 고리 형상으로 구비되며, 상기 삽입 단은, 상기 적어도 하나의 실링 부재가 결합 되고 위치가 고정되도록 원주방향으로 형성된 삽입홈;을 가지는 것을 특징으로 한다.In the adapter for adjusting the length of a duct for a pipe according to an aspect of the present invention, the at least one sealing member is provided in an annular shape of elastic material, and the inserting end is connected to the at least one sealing member And an insertion groove formed in the circumferential direction so as to fix the position.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에서, 상기 풀림 방지 요철은, 상기 결합 측의 말단 및/또는 상기 결합 측의 말단과 맞닿는 상기 고정 링의 일단으로서, 고리형상의 면에 형성되며, 피라미드 형상으로 연속하여 형성되는 것을 특징으로 한다.In the adapter for adjusting the length of a duct for piping according to an aspect of the present invention, the unlocking protrusions and / or recesses have one end of the fixing ring abutting the end of the coupling side and / or the end of the coupling side, And is formed continuously in a pyramid shape.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에서, 상기 풀림 방지 요철은, 상기 결합 측의 말단 및 상기 결합 측의 말단과 맞닿는 상기 고정 링의 일단에 각각 상보하는 형상으로 구비되되, 상기 체결 유지 부재의 체결 회전 시 접촉이 이루어지는 면은 상기 결합 측의 말단 및 상기 결합 측의 말단과 맞닿는 상기 고정 링의 일단에 대해 예각을 가지도록 구비되며, 상기 체결 유지 부재의 체결 회전과 반대방향으로 회전 시 접촉이 이루어지는 면은 상기 결합 측의 말단 및 상기 결합 측의 말단과 맞닿는 상기 고정 링의 일단과 직교하는 면으로 구비되는 것을 특징으로 한다.In the adapter for adjusting the length of the duct for piping according to an aspect of the present invention, the unlocking concavity and convexity has a shape complementary to each end of the stationary ring abutting the end of the engaging side and the end of the engaging side Wherein a surface on which the contact holding member is brought into contact during the tightening rotation of the clamping and holding member is provided with an acute angle with respect to one end of the fixing ring abutting the end of the engaging side and the end of the engaging side, And the surface on which the contact is made when rotating in the opposite direction is provided as a surface orthogonal to one end of the stationary ring abutting the end of the engaging side and the end of the engaging side.

본 발명의 일 태양(aspect)에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터에서, 상기 고정 링은, 그 최대 외경이 상기 제1 나사산의 골지름보다 작게 형성되는 것을 특징으로 한다.In the adapter for adjusting the length of the duct for piping according to an aspect of the present invention, the maximum diameter of the fixing ring is formed to be smaller than the bore diameter of the first screw thread.

본 발명에 따르면, 체결 유지 부재에 의해 기밀 유지 부재가 배관용 덕트에 고정된 상태에서, 풀림 방지 요철에 의해 의도하지 않은 외력에 의해 체결 유지 부재와 체결 부재의 나사결합이 풀리는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, in the state that the hermetic retaining member is fixed to the duct for piping by the fastening and retaining member, it is possible to prevent the thread engagement of the fastening maintaining member and the fastening member from being released by an unintended external force due to the anti- .

본 발명에 따르면, 체결 유지 부재의 가압부에 의해 고정 링이 압박되어 기밀 유지 부재가 배관용 덕트의 길이방향으로 유동 되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent the fixing ring from being pressed by the pressing portion of the clamping and holding member to prevent the airtightness maintaining member from flowing in the longitudinal direction of the pipe duct.

본 발명에 따르면, 고정 링의 외주면이 테이퍼 면으로 형성되므로 가압부에 의한 고정 링의 압박 효과를 향상시킬 수 있다.According to the present invention, since the outer circumferential surface of the stationary ring is formed by the tapered surface, the pressing effect of the stationary ring by the pressurizing portion can be improved.

도 1은 본 발명에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터의 일 실시형태의 체결 상태를 보인 도면.
도 2는 도 1에서 A를 확대하여 보인 도면.
도 3은 도 1에서 기밀 유지 부재와 체결 부재를 분리하여 보인 도면.
도 4는 도 3에서 체결 부재를 분리하여 보인 도면.
도 5는 도 1에서 체결 유지 부재를 분리하여 보인 도면.
도 6은 도 1에서 고정 링을 분리하여 보인 도면.
도 7은 도 6의 고정 링을 B 방향으로 바라본 도면.
도 8은 풀림 방지 돌기의 변형 예를 보인 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing a fastening state of an embodiment of a length-adjusting adapter of a duct for a pipe according to the present invention; FIG.
Fig. 2 is an enlarged view of A in Fig. 1; Fig.
Fig. 3 is a view showing the hermetic holding member and the fastening member separated in Fig. 1; Fig.
Fig. 4 is a view showing the fastening members separated in Fig. 3; Fig.
Fig. 5 is a view showing the fastening and holding members separated in Fig. 1; Fig.
Fig. 6 is a view showing the fixing ring detached from Fig. 1; Fig.
Fig. 7 is a view of the fixing ring of Fig. 6 in the direction of B; Fig.
8 is a view showing a modified example of the release preventing projection.

이하, 본 발명에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터를 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a length-adjusting adapter of a duct according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

다만, 본 발명의 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 사상을 이해하는 통상의 기술자는 본 개시와 동일한 기술적 사상의 범위 내에 포함되는 다양한 실시 형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 기술적 사상에 포함됨을 밝힌다.It is to be understood, however, that the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below, and those skilled in the art of the present invention, other than the scope of the present invention, It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention.

또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 기술적 내용을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다. In addition, the terms used below are selected for convenience of explanation. Therefore, the technical meaning of the present invention should not be limited to the prior meaning, but should be properly interpreted in accordance with the technical idea of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터의 일 실시형태의 체결 상태를 보인 도면, 도 2는 도 1에서 A를 확대하여 보인 도면, 도 3은 도 1에서 기밀 유지 부재와 체결 부재를 분리하여 보인 도면, 도 4는 도 3에서 체결 부재를 분리하여 보인 도면, 도 5는 도 1에서 체결 유지 부재를 분리하여 보인 도면, 도 6은 도 1에서 고정 링을 분리하여 보인 도면, 도 7은 도 6의 고정 링을 B 방향으로 바라본 도면이다.FIG. 1 is an enlarged view of FIG. 1, FIG. 3 is an enlarged view of FIG. 3, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a hermetic holding member and a fastening member Fig. 4 is a view showing the fastening members separated in Fig. 3, Fig. 5 is a view showing the fastening and holding members separated in Fig. 1, Fig. 7 is a view of the stationary ring of Fig. 6 in the direction of B; Fig.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 실시형태에 따른 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터(100)는, 배관용 덕트(110), 기밀 유지 부재(120), 체결 부재(130), 고정 링(140), 체결 유지 부재(150) 및 풀림 방지 요철(160)을 포함한다.1 to 7, a length-adjusting adapter 100 according to the present embodiment includes a pipe duct 110, a hermetic holding member 120, a fastening member 130, a fastening ring 140 ), A fastening and retaining member (150), and unlocking protrusions (160).

배관용 덕트(110)는, 반도체 공정용 폐가스를 배기하는데 사용되는 배관용 덕트를 예로 들 수 있으나, 배관용 덕트의 용도가 한정되지 않음은 물론이다.The piping duct 110 may be, for example, a piping duct used to exhaust waste gas for semiconductor processing, but it is needless to say that the use of the piping duct is not limited.

본 실시형태에서, 배관용 덕트(110)는, 설정된 길이로 가지며 양 단에 플랜지가 형성된 것을 의미하며, 이들은 서로 플랜지 이음되어 설계된 배관 라인을 형성하게 된다. In the present embodiment, the pipe duct 110 has a predetermined length and means that flanges are formed at both ends, and they are connected to each other by flanges to form a designed pipeline.

그러나 배관용 덕트(110)가 설정된 길이로 제작되므로 설계된 배관 라인을 형성하기 위해 배관용 덕트(110)의 길이를 짧게 하는 것이 빈번히 요구되는데, 이때마다 배관용 덕트(110)를 별도로 제작하는 것은 시간과 비용이 과하게 소모된다.However, since the piping duct 110 is manufactured to a predetermined length, it is frequently required to shorten the length of the piping duct 110 in order to form the designed piping line. It is necessary to separately manufacture the piping duct 110 And the cost is excessive.

이를 방지하기 위해, 본 실시형태는 설정된 길이로 제작된 배관용 덕트(110)를 요구되는 길이로 절단하고, 절단된 일단에 플랜지를 형성하는 방법을 개시하고 있으며, 그 과정에서 새롭게 체결되는 플랜지가 견고하게 고정될 수 있는 구조를 개시한 것이다. In order to prevent this, the present embodiment discloses a method of cutting a duct 110 for a pipe having a predetermined length to a required length and forming a flange at the cut end. In this process, So that it can be firmly fixed.

따라서, 본 실시형태에서, 배관용 덕트(110)는, 적어도 일단에 길이 조절을 위해 절단되어 형성되는 중공 원통형의 결합 단(110a)을 가지는 것으로 구비된다.Therefore, in the present embodiment, the duct 110 for piping is provided with a coupling end 110a of a hollow cylindrical shape formed by cutting at least one end for length adjustment.

기밀 유지 부재(120)는, 배관용 덕트(110)에 끼워져 기밀을 유지하며 플랜지 형성을 위한 기초로 제공된다.The airtightness maintaining member 120 is fitted to the duct 110 for airtightness and is provided as a base for flange formation.

기밀 유지 부재(120)는, 전체적으로 중공 원통형으로 형성되는데, 결합 단(110a)을 통해 끼워져 배관용 덕트(110)의 내부에 위치되는 삽입 단(120a)을 일 측에 가지며, 타 측에는, 결합 단(110a)에 접촉된 상태로 배관용 덕트(110)의 외부에 배치되며 플랜지 형상으로 구비되는 플랜지 단(120b)을 가진다.The airtightness maintaining member 120 is formed as a hollow cylinder as a whole and has an insertion end 120a which is inserted through the coupling end 110a and is located inside the duct 110 for piping at one side, And a flange end 120b disposed on the outside of the pipe duct 110 in a state of being in contact with the pipe 110a and having a flange shape.

반도체 공정용 폐가스의 배기에 사용되는 배관용 덕트(110)는 금속재질(예: SUS)의 외부층과, 부식이나 화학반응을 방지하기 위해 내화학성을 가지는 합성수지 재질의 내부층을 가지는 2개의 층으로 이루어진다. The duct 110 for use in exhausting the waste gas for semiconductor processing includes an outer layer of a metal material (e.g., SUS) and two layers of an inner layer of a synthetic resin material having chemical resistance to prevent corrosion or chemical reaction Lt; / RTI >

이때, 기밀 유지 부재(120)는, 내부층과 같은 재질로 구비된다.At this time, the airtightness maintaining member 120 is made of the same material as the inner layer.

체결 부재(130)는, 기밀 유지 부재(120)와 연결되며 배관용 덕트(110)의 외주면에 맞대어 지도록 구비되는 구성으로, 배관용 덕트(110)의 결합 단(110a)이 끼워지는 자리를 형성한다.The coupling member 130 is connected to the airtightness maintaining member 120 and is configured to be brought into contact with the outer circumferential surface of the duct 110 for the pipe to form a seat in which the coupling end 110a of the duct 110 is inserted do.

이를 위해, 체결 부재(130)는, 배관용 덕트(110)의 외경에 대응하는 내경을 가지는 중공 원통형으로 구비된다.For this purpose, the fastening member 130 is provided in a hollow cylindrical shape having an inner diameter corresponding to the outer diameter of the duct 110 for piping.

구체적으로, 기밀 유지 부재(120)의 삽입 단(120a)과 체결 부재(130)의 결합 측(130a) 사이에는 결합 단(110a)이 끼워지는 환형 공간부(115)가 형성된다.Specifically, an annular space portion 115 is formed between the insertion end 120a of the airtightness maintaining member 120 and the engagement side 130a of the fastening member 130, in which the engagement end 110a is fitted.

또한, 체결 부재(130)는, 플랜지 단(120b)에 고정되는 고정 측(130b)과, 외주면에 제1 나사산(131)이 형성된 결합 측(130a)을 가진다.The fastening member 130 has a fastening side 130b fixed to the flange end 120b and a fastening side 130a formed with a first thread 131 on the outer circumferential surface.

여기서 결합 측(130a)은, 내주면이 배관용 덕트(110)의 외주면과 마주하는 부분을 의미한다.Here, the coupling side 130a refers to a portion where the inner circumferential surface faces the outer circumferential surface of the duct 110 for piping.

고정 링(140)은, 후술하는 체결 유지 부재(150)에 의해 배관용 덕트(110)의 외주면에 밀착되어 고정되는 구성으로서, 기밀 유지 부재(120)가 배관용 덕트(110)의 길이방향으로 유동되는 것을 방지하기 위한 구성이다.The fixing ring 140 is fixedly attached to the outer circumferential surface of the pipe duct 110 by a clamping and holding member 150 to be described later so that the airtightness holding member 120 is fixed in the longitudinal direction of the pipe duct 110 So that it is prevented from flowing.

이를 위해, 고정 링(140)은, 배관용 덕트(110)의 외경에 대응하는 내경을 가지며, 결합 단(110a)을 향하는 방향으로 외경이 점차 증가하도록 구비된다.For this purpose, the stationary ring 140 has an inner diameter corresponding to the outer diameter of the duct 110, and is provided so that the outer diameter gradually increases in the direction toward the coupling end 110a.

체결 유지 부재(150)는, 체결 부재(130)와 나사 결합되어, 고정 링(140)을 배관용 덕트(110)의 외주면에 밀착시키며, 고정 링(140)의 위치를 고정한다.The fastening and retaining member 150 is screwed to the fastening member 130 to fix the fastening ring 140 to the outer circumferential surface of the duct 110 for fixing the position of the fastening ring 140.

이를 위해, 체결 유지 부재(150)는 너트 형상으로 구비되며, 고정 링(140)의 압박을 위한 가압부(153)를 가진다.To this end, the fastening and retaining member 150 is provided in the form of a nut and has a pressing portion 153 for pressing the fastening ring 140. [

구체적으로, 체결 유지 부재(150)는, 체결 부재(130)의 제1 나사산(131)과 나사 결합 되는 제2 나사산(151)이 내주면 일 측에 구비되며, 타 측에는 제1 나사산(131)과 제2 나사산(151)의 체결이 진행될수록 고정 링(140)의 외주면을 가압하는 가압부(153)를 가진다.Specifically, the fastening and retaining member 150 is provided with a second thread 151 threadedly engaged with the first thread 131 of the fastening member 130 on one side of the inner circumferential surface, and a first thread 131 and a second thread 151 on the other side. And a pressing portion 153 for pressing the outer circumferential surface of the fixing ring 140 as the second thread 151 proceeds.

풀림 방지 요철(160)은, 체결 유지 부재(150)와 체결 부재(130)의 결합 상태가 의도하지 않은 외력에 의해 풀리거나 느슨해지는 것을 방지하는 구성이다.The unlocking protrusions 160 are configured to prevent the engagement state of the lock holding member 150 and the fastening member 130 from being released or loosened by an unintended external force.

더하여, 풀림 방지 요철(160)은, 체결 유지 부재(150)와 체결 부재(130)의 체결과정에서 체결의 완료시점을 인지하게 하는 기능을 수행한다.In addition, the unlocking convex / concave portions 160 perform a function of recognizing the completion time of the fastening in the fastening member 150 and the fastening member 130.

풀림 방지 요철(160)은, 배관용 덕트(110)의 결합 단(110a)으로부터 배관용 덕트(110)의 길이방향으로 체결 부재(130)의 결합 측(130a)의 말단, 또는 체결 부재(130)의 결합 측(130a)의 말단과 맞닿는 고정 링(140)의 일단에 구비된다. 즉 원형의 고리형상의 면적에 연속하여 배치된다.The unlocking protrusions 160 extend from the coupling end 110a of the duct 110 to the end of the coupling side 130a of the coupling member 130 in the longitudinal direction of the duct 110, And the other end of the fixing ring 140 abuts the distal end of the engaging side 130a. That is, in a circular ring-shaped area.

이에 의하면, 결합 측(130a)의 말단과 고정 링(140)의 말단 사이의 상대운동을 방지하거나 적어도 완화할 수 있게 된다. 즉, 제1 나사산(131)과 제2 나사산(151)의 체결이 풀리는 것을 방지한다.This makes it possible to prevent or at least mitigate relative motion between the distal end of the mating side 130a and the distal end of the retention ring 140. In other words, it prevents the first thread 131 and the second thread 151 from being loosened.

여기서, 풀림 방지 요철(160)은, 결합 측(130a)의 말단과 고정 링(140)의 말단에 각각 구비되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the unlocking protrusions 160 are provided at the distal end of the engaging side 130a and at the distal end of the retaining ring 140, respectively.

또한, 본 실시형태에서, 풀림 방지 요철(160)은, 결합 측(130a)의 말단 및 결합 측(130a)의 말단과 맞닿는 고정 링(140)의 일단으로서, 고리형상의 면에 형성되며, 피라미드 형상으로 연속하여 형성되는 것이 바람직하다.In this embodiment, the unlocking protrusions 160 are formed on the annular surface as one end of the retaining ring 140 abutting the distal end of the engaging side 130a and the end of the engaging side 130a, It is preferable that they are formed in a continuous shape.

한편, 본 실시형태에서, 고정 링(140)은, 그 최대 외경이 제1 나사산(131)의 골지름보다 작게 형성되는 것이 바람직하다. 이는 고정 링(140)에 의해 제1 나사산(131)과 제2 나사산(151)의 체결이 방해되는 것을 방지하기 위함이다.On the other hand, in the present embodiment, it is preferable that the maximum diameter of the fixing ring 140 is formed to be smaller than the bore diameter of the first thread 131. This is to prevent the fastening of the first thread 131 and the second thread 151 by the fixing ring 140 from being disturbed.

한편, 본 실시형태에서, 고정 링(140)의 외주면은 결합 단(110a)을 향하는 방향으로 외경이 선형 증가하여 형성되는 테이퍼 면(141)을 형성하는 것이 바람직하다.On the other hand, in the present embodiment, it is preferable that the outer circumferential surface of the stationary ring 140 be formed with a tapered surface 141 whose outer diameter is linearly increased in the direction toward the coupling end 110a.

또한, 체결 유지 부재(150)의 가압부(153)는 테이퍼 면(141)에 상보하는 형상의 압박면을 가지는 것이 바람직하다.Further, it is preferable that the pressing portion 153 of the fastening holding member 150 has a pressing surface having a shape complementary to the tapered surface 141.

한편, 본 실시형태에서, 고정 링(140)은, 가압부(153)에 의한 압박에 의해 내경이 감소 되어 배관용 덕트(110)의 외면에 밀착되도록, 배관용 덕트(110)의 길이방향으로 형성된 절개부(145)를 가지는 것이 바람직하다.In the present embodiment, in the present embodiment, the stationary ring 140 is arranged in the longitudinal direction of the pipe duct 110 so that the inner diameter thereof is reduced by the pressing by the pressing portion 153 and is brought into close contact with the outer surface of the duct 110 for the pipe. It is preferable to have a cutout 145 formed therein.

여기서, 절개부(145)의 폭은, 고정 링(140)의 내경이 감소될 수 있는 크기와 연관되므로, 고정 링(140)이 배관용 덕트(110)의 외면에 밀착되기 위한 고정 링(140)의 내경을 감안하여 정하는 것이 바람직하다.Since the width of the cutout portion 145 is related to the size that the inner diameter of the stationary ring 140 can be reduced so that the stationary ring 140 is fixed to the outer surface of the duct 110, In consideration of the inner diameter.

한편, 본 실시형태에서, 체결 유지 부재(150)에 의해 체결된 상태에서 고정 링(140)이 배관용 덕트(110)의 길이방향으로 유동 되는 것이 방지되도록, 고정 링(140)의 내주면에는 원주방향으로 형성된 적어도 일렬 이상의 유동 방지 돌기(143)가 구비되는 것이 바람직하다.On the other hand, in the present embodiment, in order to prevent the fixing ring 140 from flowing in the longitudinal direction of the pipe duct 110 in a state of being fastened by the fastening and retaining member 150, It is preferable that at least one or more flow prevention protrusions 143 formed in the direction of the arrows are provided.

여기서 유동 방지 돌기(143)는 나사산 형상으로 구비될 수도 있고, 원형의 고리가 반복 형성될 수도 있다.Here, the flow preventing protrusion 143 may be provided in a threaded shape, or a circular ring may be repeatedly formed.

한편, 본 실시형태에서, 기밀 유지 부재(120)는, 삽입 단(120a)의 외주면에 적어도 하나의 실링 부재(170)가 구비되는 것이 바람직하다.On the other hand, in the present embodiment, it is preferable that the hermetic sealing member 120 is provided with at least one sealing member 170 on the outer peripheral surface of the insertion end 120a.

이는 기밀 유지 부재(120)의 외주면과, 배관용 덕트(110)의 내주면 사이의 간극을 통해 배관용 덕트(110)의 내부를 유동하는 가스가 외부로 누출되는 것을 방지하기 위함이다.This is to prevent the gas flowing in the duct 110 from leaking to the outside through the gap between the outer circumferential surface of the airtightness maintaining member 120 and the inner circumferential surface of the duct 110 for piping.

더하여, 기밀 유지 부재(120)가 배관용 덕트(110)의 길이 방향으로 유동되는 것을 방지하는 기능도 함께 수행한다.In addition, it also functions to prevent the airtightness maintaining member 120 from flowing in the longitudinal direction of the duct 110.

여기서, 실링 부재(170)는, 탄성 재질의 고리 형상으로 구비될 수 있다.Here, the sealing member 170 may be provided in an annular shape of an elastic material.

이때, 삽입 단(120a)은, 적어도 하나의 실링 부재(170)가 결합 되고 위치가 고정되도록 원주방향으로 형성된 삽입홈(170a)을 가지는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the insertion end 120a has an insertion groove 170a formed in a circumferential direction so that at least one sealing member 170 is coupled and fixed in position.

또한, 삽입홈(170a)의 깊이는 실링 부재(170)의 직경보다 작게 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that the depth of the insertion groove 170a is smaller than the diameter of the sealing member 170. [

다음으로, 도 8은 풀림 방지 돌기의 변형 예를 보인 도면이다.Next, Fig. 8 is a view showing a modified example of the release preventing projection.

도 8을 참조하면, 본 실시형태에서, 풀림 방지 요철(160)은, 결합 측(130a)의 말단 및 결합 측(130a)의 말단과 맞닿는 고정 링(140)의 일단에 각각 상보하는 형상으로 구비된다.Referring to Fig. 8, in this embodiment, the unlocking protrusions 160 are formed in a shape complementary to one end of the retaining ring 140 abutting the distal end of the engaging side 130a and the end of the engaging side 130a do.

또한, 풀림 방지 요철(160)은, 체결 유지 부재(150)의 체결 회전 시 접촉이 이루어지는 면이, 결합 측(130a)의 말단 및 결합 측(130a)의 말단과 맞닿는 고정 링(140)의 일단에 대해 예각(a)을 가지도록 구비된다.The unlocking protrusions 160 are formed such that the surfaces of the clamping and holding members 150 that are brought into contact with each other during the tightening rotation of the clamping and holding members 150 are in contact with the ends of the engaging side 130a and the engaging side 130a, As shown in FIG.

또한, 풀림 방지 요철(160)은, 체결 유지 부재(150)의 체결 회전과 반대방향으로 회전 시 접촉이 이루어지는 면이, 결합 측(130a)의 말단 및 결합 측(130a)의 말단과 맞닿는 고정 링(140)의 일단과 직교(b)하는 면으로 구비된다.The unlocking convexo-concave portion 160 has a surface on which the contact is made during rotation in a direction opposite to the tightening rotation of the tightening and holding member 150 is in contact with the distal end of the engaging portion 130a and the distal end of the engaging portion 130a, (B) orthogonally to one end of the base plate 140.

이에 의하면, 체결 유지 부재(150)의 체결 회전 시에는 그 회전방향을 따라 결합 측(130a)의 말단 및 결합 측(130a)의 말단과 맞닿는 고정 링(140)의 일단에 각각 구비된 풀림 방지 요철(160)의 상호 상대 운동이 가능하게 되어, 체결 유지 부재(150)와 체결 부재(130)의 나사 결합에 장애가 없으나, 체결 유지 부재(150)의 체결 회전과 반대방향으로 체결 유지 부재(150)를 회전시키는 경우, 결합 측(130a)의 말단 및 결합 측(130a)의 말단과 맞닿는 고정 링(140)의 일단에 각각 구비된 풀림 방지 요철(160)의 상호 상대 운동이 제한되어 체결 유지 부재(150)와 체결 부재(130)의 나사 결합이 해제되는 것을 방해하게 된다. When the fastening and retaining members 150 are fastened and rotated, the fastening protrusions 140 are provided at one end of the fastening ring 140, which abuts the distal end of the fastening side 130a and the end of the fastening side 130a, The fastening member 150 can be moved relative to the fastening member 150 in a direction opposite to the fastening rotation of the fastening and retaining member 150, The relative movement of the unlocking protrusions 160 provided at one end of the stationary ring 140 abutting the ends of the engaging side 130a and the engaging side 130a is limited, 150 and the fastening member 130 from being released.

따라서, 풀림 방지 요철(160)은 의도하지 않은 외력에 의해 체결 유지 부재(150)와 체결 부재(130)의 나사결합이 풀리는 것을 방지할 수 있다.Therefore, the unlocking convex / concave portions 160 can prevent the unlocking member 150 and the fastening member 130 from being unscrewed by an unintended external force.

Claims (1)

적어도 일단에 길이 조절을 위해 절단되어 형성되는 중공 원통형의 결합 단을 가지는 배관용 덕트;
상기 결합 단을 통해 끼워져 상기 배관용 덕트의 내부에 위치되는 삽입 단과, 상기 결합 단에 접촉된 상태로 상기 배관용 덕트의 외부에 배치되며 플랜지 형상으로 구비되는 플랜지 단을 가지는 중공 원통형의 기밀 유지 부재;
상기 배관용 덕트의 외경에 대응하는 내경을 가지는 중공 원통형으로 구비되며, 상기 플랜지 단에 고정되는 고정 측과, 외주면에 제1 나사산이 형성된 결합 측을 가지는 체결 부재;
상기 배관용 덕트의 외경에 대응하는 내경을 가지며, 상기 결합 단을 향하는 방향으로 외경이 점차 증가하는 고정 링;
상기 제1 나사산과 나사 결합 되는 제2 나사산이 내주면 일 측에 구비되며, 타측에는 상기 제1 나사산과 상기 제2 나사산의 체결이 진행될수록 상기 고정 링의 외주면을 가압하는 가압부를 가지는 체결 유지 부재; 및
상기 결합 단으로부터 상기 배관용 덕트의 길이방향으로 상기 결합 측의 말단 및 상기 결합 측의 말단과 맞닿는 상기 고정 링의 일단 중 적어도 하나에 구비되며, 상기 제1 나사산과 상기 제2 나사산의 체결이 풀리는 것을 방지하는 풀림 방지 요철;을 포함하되,
상기 기밀 유지 부재의 상기 삽입 단과 상기 체결 부재의 상기 결합 측 사이에는 상기 결합 단이 끼워지는 환형 공간부;가 형성되는 것을 특징으로 하고,
상기 고정 링의 외주면은 상기 결합 단을 향하는 방향으로 외경이 선형 증가하여 형성되는 테이퍼 면을 형성하고, 상기 체결 유지 부재의 상기 가압부는 상기테이퍼 면에 상보하는 형상의 압박면을 가지는 것을 특징으로 하고,
상기 고정 링은, 상기 가압부에 의한 압박에 의해 내경이 감소 되어 상기 배관용 덕트의 외면에 밀착되도록, 상기 배관용 덕트의 길이방향으로 형성된 절개부;를 가지는 것을 특징으로 하고,
상기 체결 유지 부재에 의해 체결된 상태에서 상기 고정 링이 상기 배관용 덕트의 길이방향으로 유동 되는 것이 방지되도록, 상기 고정 링의 내주면에는 원주방향으로 형성된 적어도 일렬 이상의 유동 방지 돌기;가 구비되는 것을 특징으로 하고,
상기 기밀 유지 부재는, 상기 삽입 단의 외주면에 적어도 하나의 실링 부재가 구비되는 것을 특징으로 하고,
상기 적어도 하나의 실링 부재는, 탄성 재질의 고리 형상으로 구비되며,
상기 삽입 단은, 상기 적어도 하나의 실링 부재가 결합 되고 위치가 고정되도록 원주방향으로 형성된 삽입홈;을 가지는 것을 특징으로 하고,
상기 풀림 방지 요철은, 상기 결합 측의 말단 및/또는 상기 결합 측의 말단과 맞닿는 상기 고정 링의 일단으로서, 고리형상의 면에 형성되며, 피라미드 형상으로 연속하여 형성되는 것을 특징으로 하고,
상기 고정 링은, 그 최대 외경이 상기 제1 나사산의 골지름보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 배관용 덕트의 길이 조절용 어댑터.A duct for piping having a hollow cylindrical coupling end formed at least at one end thereof for length adjustment;
A hollow cylindrical airtightness maintaining member having a flange end disposed on the outside of the duct for piping in a state of being in contact with the coupling end and being inserted through the coupling end and positioned inside the duct for piping, ;
A fastening member provided in a hollow cylindrical shape having an inner diameter corresponding to an outer diameter of the duct for piping and having a fixed side fixed to the flange end and a coupling side having a first screw thread formed on an outer peripheral surface thereof;
A stationary ring having an inner diameter corresponding to an outer diameter of the duct for piping and having an outer diameter gradually increasing in a direction toward the coupling end;
And a second screw thread screwed to the first screw thread is provided on one side of the inner circumferential surface and a screw tightening member having a pressing portion for pressing the outer circumferential surface of the fixing ring as the first screw thread and the second thread screw progresses on the other side, And
And at least one of the end of the engaging side and the end of the engaging side abutting the end of the engaging side in the longitudinal direction of the pipe duct from the engaging end, and the engagement of the first thread and the second thread is released And an anti-loose unevenness preventing the anti-
And an annular space portion in which the coupling end is fitted is formed between the insertion end of the hermetic retaining member and the engagement side of the fastening member,
Wherein the outer peripheral surface of the fixed ring forms a tapered surface formed by linearly increasing the outer diameter in the direction toward the coupling end and the pressing portion of the clamp holding member has a pressing surface having a shape complementary to the tapered surface ,
Wherein the fixing ring has a cut-out portion formed in the longitudinal direction of the pipe duct so that the inner diameter is reduced due to the pressing by the pressing portion and is brought into close contact with the outer surface of the pipe duct.
And at least one or more flow preventive protrusions formed in the circumferential direction on the inner circumferential surface of the stationary ring so as to prevent the stationary ring from flowing in the longitudinal direction of the pipe duct in the state of being fastened by the fastening and retaining member Lt; / RTI &
Characterized in that the hermetic sealing member is provided with at least one sealing member on the outer peripheral surface of the insertion end,
Wherein the at least one sealing member is provided in an annular shape of an elastic material,
Wherein the insertion end has an insertion groove formed in the circumferential direction so that the at least one sealing member is engaged and the position is fixed,
Wherein the unlocking concavity and convexity is formed on an annular surface as one end of the stationary ring abutting the end of the engaging side and / or the end of the engaging side, and is formed continuously in a pyramid shape,
Wherein the fixing ring is formed such that its maximum outer diameter is smaller than the bore diameter of the first screw thread.
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